JP2006275621A

JP2006275621A - Analyzer

Info

Publication number: JP2006275621A
Application number: JP2005092162A
Authority: JP
Inventors: Ryoichi Otani; 良一大谷
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Electron Tubes and Devices Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp; Canon Electron Tubes and Devices Co Ltd
Priority date: 2005-03-28
Filing date: 2005-03-28
Publication date: 2006-10-12

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an analyzer capable of improving measurement accuracy and measurement sensitivity without raising the intensity of pulsed laser light. <P>SOLUTION: When raising the intensity of the pulsed laser light L from a laser oscillation device 3, the laser oscillation device 3 becomes larger and laser oscillation cost becomes higher. When irradiating a sample A with high-output pulsed laser light L, the sample A is fouled or damaged. The pulsed laser light L is allowed to pass a laser passing hole 24 on the center part of a parabolic mirror 22, and the sample A is irradiated therewith. Fluorescence F from plasma P generated from the sample A is reflected in a parallel beam shape toward the upside by a parabolic reflecting surface 23 inside the parabolic mirror 22 and converged. Hereby, the fluorescence F in a wider range can be condensed efficiently by the reflecting surface 23 of the parabolic mirror 22, and even feeble fluorescence F can be condensed with high probability. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、分析対象物にレーザ光を照射して発生するプラズマからの蛍光を集光し、この蛍光から分析対象物中に含まれる元素を定量する分析装置に関する。 The present invention relates to an analyzer for condensing fluorescence from plasma generated by irradiating an analysis target with laser light and quantifying elements contained in the analysis target from the fluorescence.

従来、分析対象物中に含まれる各種元素を定量する分析技術としては、蛍光Ｘ線分析やＩＣＰ(Inductively Coupled Plasma)誘導プラズマ発光分析が知られているとともに、レーザ光を用いた技術としてレーザ光ブレイクダウン(Laser Induced Breakdown:ＬＩＢ)分光分析手段が知られている。このレーザ光ブレイクダウン分光分析手段は、パルスレーザ光としてのＬＩＢ用レーザ光を分析対象物表面に集光照射して、この分析対象物から球状に広がって発生したプラズマからの蛍光の一部分を蛍光集光レンズにて集光して、この集光した蛍光を蛍光測定装置でスペクトル分光分析するものであり、簡便で多種の元素分析が瞬時にできるものである(例えば、特許文献１参照。)。
特開２０００−３１０５９６号公報 Conventionally, fluorescent X-ray analysis and ICP (Inductively Coupled Plasma) induction plasma emission analysis are known as analysis techniques for quantifying various elements contained in an analysis object, and laser light is a technique using laser light. Laser Induced Breakdown (LIB) spectroscopic analysis means are known. This laser light breakdown spectroscopic analysis means collects and irradiates the LIB laser light as pulsed laser light on the surface of the object to be analyzed, and fluoresces a part of the fluorescence from the plasma generated in a spherical shape from the object to be analyzed. The light is condensed by a condensing lens, and the collected fluorescence is subjected to spectral spectroscopic analysis by a fluorescence measuring device, and simple and various elemental analyzes can be performed instantaneously (see, for example, Patent Document 1). .
JP 2000-310596 A

しかしながら、従来の分析装置では、パルスレーザ光の照射にて発生するプラズマ中の蛍光が球状に広がってしまい、この蛍光の一部分のみを蛍光集光レンズで集光して蛍光測定装置で分光分析するに過ぎないから、より大きな強度のパルスレーザ光が必要であるとともに、測定する蛍光が微弱なため測定精度や測定感度が小さいという問題を有している。 However, in the conventional analyzer, the fluorescence in the plasma generated by the irradiation of the pulsed laser beam spreads in a spherical shape, and only a part of this fluorescence is collected by the fluorescence condenser lens and spectrally analyzed by the fluorescence measuring device. Therefore, there is a problem that a pulse laser beam having a larger intensity is required and measurement accuracy and measurement sensitivity are low because the fluorescence to be measured is weak.

本発明は、このような点に鑑みなされたもので、レーザ光の強度を上げることなく測定精度および測定感度を向上できる分析装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of these points, and an object of the present invention is to provide an analyzer that can improve measurement accuracy and measurement sensitivity without increasing the intensity of laser light.

本発明の分析装置は、分析対象物にレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、このレーザ光照射手段によるレーザ光の照射にて発生するプラズマからの蛍光を集光する蛍光集光手段と、この蛍光集光手段にて集光した蛍光の波長および強度から元素を定量する分析手段とを具備し、前記蛍光集光手段は、前記レーザ光照射手段によるレーザ光の照射にて発生する蛍光を反射させて集光する放物面状の放物面鏡を備えたものである。 The analysis apparatus of the present invention includes a laser light irradiation means for irradiating an analysis target with laser light, a fluorescence condensing means for condensing fluorescence from plasma generated by laser light irradiation by the laser light irradiation means, Analyzing means for quantifying the element from the wavelength and intensity of the fluorescence collected by the fluorescence collecting means, and the fluorescence collecting means emits the fluorescence generated by the laser light irradiation by the laser light irradiation means. A parabolic parabolic mirror that reflects and collects light is provided.

そして、レーザ光照射手段によるレーザ光の分析対象物への照射にて発生するプラズマからの蛍光を、蛍光集光手段の放物面状の放物面鏡にて反射させて集光してから、この蛍光集光手段にて集光した蛍光の波長および強度から分析手段にて元素を定量する。 Then, after the fluorescence from the plasma generated by the irradiation of the laser beam to the analysis object by the laser beam irradiation means is reflected by the parabolic parabolic mirror of the fluorescence focusing means, the light is collected. Then, the element is quantified by the analyzing means from the wavelength and intensity of the fluorescence condensed by the fluorescence condensing means.

本発明によれば、レーザ光照射手段によるレーザ光の分析対象物への照射にて発生するプラズマからの蛍光を、より広い範囲で放物面鏡にて反射させて集光できるから、この蛍光をより効率良く集光できる。したがって、レーザ光照射手段から照射されるレーザ光の強度を上げることなく、分析手段による定量の測定精度および測定感度を向上できる。 According to the present invention, the fluorescence from the plasma generated by the irradiation of the laser beam to the analysis object by the laser beam irradiation means can be reflected and collected by the parabolic mirror in a wider range. Can be collected more efficiently. Therefore, it is possible to improve the measurement accuracy and measurement sensitivity of the quantitative measurement by the analysis means without increasing the intensity of the laser light emitted from the laser light irradiation means.

以下、本発明の分析装置の第１の実施の形態を図面を参照して説明する。 Hereinafter, a first embodiment of an analyzer according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図１に示すように、１は分析装置で、この分析装置１はレーザ光を用いた技術であるレーザ光ブレイクダウン(Laser Induced Breakdown:ＬＩＢ)分光分析手段手法を利用した蛍光元素分析装置である。すなわち、この分析装置１は、レーザ光としてのＬＩＢ用レーザ光であるパルスレーザ光Ｌを分析対象物としての環境物質である試料Ａの表面に集光照射して、この試料Ａの表面の照射領域がプラズマ化して発生する蛍光Ｆを集光して、この蛍光Ｆから試料Ａ中に含まれている特定の元素をスペクトル分光分析にて定量して元素分析するものである。 As shown in FIG. 1, reference numeral 1 denotes an analyzer, and this analyzer 1 is a fluorescent element analyzer using a laser light breakdown (LIB) spectroscopic analysis technique that is a technique using laser light. . That is, the analyzer 1 collects and irradiates the surface of the sample A, which is an environmental substance as an analysis target, with the pulsed laser light L that is LIB laser light as laser light, and irradiates the surface of the sample A. The fluorescence F generated when the region is turned into plasma is condensed, and a specific element contained in the sample A is quantified from the fluorescence F by spectral spectroscopic analysis to perform elemental analysis.

具体的に、この分析装置１は、試料Ａへのパルスレーザ光Ｌの集光照射にてこの試料Ａのパルスレーザ光Ｌの照射領域をプラズマ化させる。そして、この分析装置１は、パルスレーザ光Ｌの照射に起因したプラズマＰの発生にて、このプラズマＰがパルスレーザ光Ｌの照射終了とともに再結合し始めさせて、数μ秒から数十μ秒程度の間に試料Ａの照射領域を構成する元素の原子が励起状態となるから、この励起状態の原子が下準位に遷移するときに、原子数に比例した蛍光Ｆを発生させて、この蛍光Ｆのスペクトルおよび発光強度を測定して試料Ａ中の元素種類および各元素の濃度を特定する。ここで、このパルスレーザ光Ｌの試料Ａの表面への照射にて生成される蛍光は、この試料Ａの表面から球状に広がるように放射状に拡散される。 Specifically, the analyzer 1 converts the irradiation region of the pulse laser light L of the sample A into plasma by the focused irradiation of the pulse laser light L onto the sample A. Then, the analyzer 1 causes the plasma P to start to recombine with the end of the irradiation of the pulsed laser beam L by the generation of the plasma P caused by the irradiation of the pulsed laser beam L. Since the atoms of the elements constituting the irradiation region of the sample A are in the excited state in about a second, when the excited state atoms transition to the lower level, the fluorescence F proportional to the number of atoms is generated, The spectrum and emission intensity of the fluorescence F are measured to identify the element type and the concentration of each element in the sample A. Here, the fluorescence generated by irradiating the surface of the sample A with the pulsed laser light L is diffused radially so as to spread spherically from the surface of the sample A.

具体的に、この分光装置１は、パルスレーザ光Ｌを発振して試料Ａの表面に照射するレーザ光照射手段２を備えている。このレーザ光照射手段２は、例えばパルスエネルギが５０ｍＪ程度、波長が１０６４ｎｍでパルス幅が５ｎｓ程度のＹＡＧ(Yttrium・Aluminium・Garnet:イットリウム・アルミニウム・ガーネット)レーザ光であって出力がパルス的に１０ＭＷ程度のパルスレーザ光Ｌを発振させるレーザ発振装置３を有している。このレーザ発振装置３は、分析対象の試料Ａを原子化およびプラズマ化させるパルスレーザ光Ｌを発振させる。 Specifically, the spectroscopic device 1 includes laser light irradiation means 2 that oscillates the pulse laser light L and irradiates the surface of the sample A. This laser beam irradiation means 2 is a YAG (Yttrium / Aluminium / Garnet) laser beam having a pulse energy of about 50 mJ, a wavelength of 1064 nm and a pulse width of about 5 ns. It has a laser oscillation device 3 that oscillates a pulse laser beam L of a certain degree. The laser oscillation device 3 oscillates a pulsed laser beam L that atomizes and converts the sample A to be analyzed into atoms and plasma.

そして、このレーザ発振装置３から発振されたパルスレーザ光Ｌの伝送経路である光路上には、分光手段としての矩形平板状のスクレーパミラー４が取り付けられている。このスクレーパミラー４は、パルスレーザ光Ｌの光路に対して、例えば４５゜の角度で傾斜して設置されている。さらに、このスクレーパミラー４の中央部には、パルスレーザ光Ｌの光路に沿って貫通した孔であるレーザ通過孔５が設けられている。このレーザ通過孔５は、スクレーパミラー４の両側面に対して４５゜の角度で傾斜した方向に直線状に貫通している。 A rectangular flat plate scraper mirror 4 as a spectroscopic means is attached on the optical path which is a transmission path of the pulsed laser light L oscillated from the laser oscillation device 3. The scraper mirror 4 is installed at an angle of, for example, 45 ° with respect to the optical path of the pulse laser beam L. Further, a laser passage hole 5 which is a hole penetrating along the optical path of the pulsed laser light L is provided at the center of the scraper mirror 4. The laser passage hole 5 penetrates linearly in a direction inclined at an angle of 45 ° with respect to both side surfaces of the scraper mirror 4.

すなわち、このスクレーパミラー４は、このスクレーパミラー４のレーザ通過孔５を介してパルスレーザ光Ｌがスクレーパミラー４を通過するように設置されている。そして、このスクレーパミラー４のパルスレーザ光Ｌに対向する側とは反対側の一側面である下側面には、可視光および紫外光を反射する蛍光反射面６が設けられている。この蛍光反射面６は、パルスレーザ光Ｌの試料Ａへの照射によって発生するプラズマＰ中の蛍光Ｆを反射する反射面である。 That is, the scraper mirror 4 is installed so that the pulsed laser light L passes through the scraper mirror 4 through the laser passage hole 5 of the scraper mirror 4. A fluorescent reflecting surface 6 that reflects visible light and ultraviolet light is provided on the lower surface of the scraper mirror 4 that is one side opposite to the side facing the pulse laser beam L. The fluorescent reflecting surface 6 is a reflecting surface that reflects the fluorescence F in the plasma P generated by irradiating the sample A with the pulsed laser light L.

さらに、このスクレーパミラー４のレーザ通過孔５を通過したパルスレーザ光Ｌの光路上には、集光手段としての集光レンズ７が設置されている。この集光レンズ７は、この集光レンズ７へと照射したパルスレーザ光Ｌを集光させる。そして、この集光レンズ７にて集光されたパルスレーザ光Ｌの光路上には、レーザ伝送手段としての断面円形細長棒状のレーザ伝送光ファイバ11が設置されている。このレーザ伝送光ファイバ11は、このレーザ伝送光ファイバ11の長手方向の一端部である始端部としての上端部12が集光レンズ７にて集光されたパルスレーザ光Ｌの集光点Ｂに位置するように設置されている。すなわち、このレーザ伝送光ファイバ11は、集光レンズ７にて集光された後のパルスレーザ光Ｌが導光されるように設置されている。 Furthermore, a condensing lens 7 as a condensing means is installed on the optical path of the pulsed laser light L that has passed through the laser passage hole 5 of the scraper mirror 4. The condensing lens 7 condenses the pulsed laser light L applied to the condensing lens 7. On the optical path of the pulsed laser light L condensed by the condenser lens 7, a laser transmission optical fiber 11 having a cross-sectional circular elongated rod shape as a laser transmission means is installed. The laser transmission optical fiber 11 has an upper end 12 as a starting end which is one end in the longitudinal direction of the laser transmission optical fiber 11 at a condensing point B of the pulsed laser light L condensed by the condenser lens 7. It is installed to be located. That is, the laser transmission optical fiber 11 is installed so that the pulsed laser light L after being condensed by the condenser lens 7 is guided.

そして、このレーザ伝送光ファイバ11の長手方向の他端部である終端部としての下端部13は、試料Ａの表面近傍に位置している。すなわち、このレーザ伝送光ファイバ11の下端部13は、試料Ａの表面に対して離間対向して設けられている。さらに、このレーザ伝送光ファイバ11の下端部13には、この下端部13から出光されたパルスレーザ光Ｌを試料Ａに照射させる照射手段としての照射ヘッド14が取り付けられている。この照射ヘッド14は、集光手段としての集光レンズ群15を備えている。この集光レンズ群15は、レーザ伝送光ファイバ11の下端部13から出射されたパルスレーザ光Ｌを集光させて、この集光したパルスレーザ光Ｌを試料Ａの表面に照射させる。さらに、この集光レンズ群15は、この集光レンズ群15にて集光したパルスレーザ光Ｌの集光点Ｃが試料Ａの表面に位置するように設置されている。ここで、この集光レンズ群15は、第１の集光レンズ16および第２の集光レンズ17を備えている。そして、これら第１の集光レンズ16および第２の集光レンズ17のそれぞれは、レーザ集光レンズであって、上側面および下側面のそれぞれが円弧面状に突出した凸レンズである。 The lower end portion 13 as the end portion which is the other end portion in the longitudinal direction of the laser transmission optical fiber 11 is located in the vicinity of the surface of the sample A. That is, the lower end portion 13 of the laser transmission optical fiber 11 is provided so as to face and separate from the surface of the sample A. Furthermore, an irradiation head 14 is attached to the lower end portion 13 of the laser transmission optical fiber 11 as an irradiation means for irradiating the sample A with the pulsed laser light L emitted from the lower end portion 13. The irradiation head 14 includes a condensing lens group 15 as condensing means. The condensing lens group 15 condenses the pulsed laser light L emitted from the lower end portion 13 of the laser transmission optical fiber 11 and irradiates the surface of the sample A with the condensed pulsed laser light L. Further, the condensing lens group 15 is installed so that the condensing point C of the pulsed laser light L condensed by the condensing lens group 15 is located on the surface of the sample A. Here, the condenser lens group 15 includes a first condenser lens 16 and a second condenser lens 17. Each of the first condensing lens 16 and the second condensing lens 17 is a laser condensing lens, and is a convex lens in which each of the upper side surface and the lower side surface protrudes in a circular arc shape.

一方、分光装置１は、照射ヘッド14の集光レンズ群15にて集光されたパルスレーザ光Ｌの試料Ａの表面への照射にて、この試料Ａを気化させて発生したプラズマＰ中の試料Ａの含有元素から放出される蛍光Ｆを集光する蛍光集光手段21を備えている。この蛍光集光手段21は、照射ヘッド14の集光レンズ群15にて集光されたパルスレーザ光Ｌに対向した位置に設置された放物面鏡22を備えている。この放物面鏡22は、照射ヘッド14の集光レンズ群15にて集光されたパルスレーザ光Ｌが照射される試料Ａの表面上に設置されている。 On the other hand, the spectroscopic device 1 has a plasma P generated by vaporizing the sample A by irradiating the surface of the sample A with the pulsed laser light L collected by the condenser lens group 15 of the irradiation head 14. Fluorescent light condensing means 21 for condensing the fluorescent light F emitted from the element contained in the sample A is provided. The fluorescence condensing means 21 includes a parabolic mirror 22 installed at a position facing the pulsed laser light L condensed by the condensing lens group 15 of the irradiation head 14. The parabolic mirror 22 is installed on the surface of the sample A irradiated with the pulsed laser light L condensed by the condenser lens group 15 of the irradiation head 14.

そして、この放物面鏡22の内側面には、中央部から放物面状に上方に向けて同心円状に拡径した放物面である反射面23が設けられている。この反射面23は、この反射面23の下側に位置する中央部を試料Ａの表面上に設置させた状態で、この反射面23の中心線が試料Ａの表面の法線と一致するように設置されている。さらに、この反射面23は、この反射面23の中心線が集光レンズ群15にて集光されたパルスレーザ光Ｌの光路と一致するように設置されている。 The inner surface of the parabolic mirror 22 is provided with a reflecting surface 23 that is a parabolic surface whose diameter is increased concentrically from the central portion upward in a parabolic shape. The reflection surface 23 is arranged such that the center line of the reflection surface 23 coincides with the normal line of the surface of the sample A in a state where the central portion located below the reflection surface 23 is placed on the surface of the sample A. Is installed. Further, the reflecting surface 23 is installed so that the center line of the reflecting surface 23 coincides with the optical path of the pulsed laser light L condensed by the condenser lens group 15.

また、この反射面23の中心部である下側中央部には、この反射面23の中心線に沿って同心状に貫通した穴部としてのレーザ通過穴24が設けられている。このレーザ通過穴24は、集光レンズ群15にて集光されたパルスレーザ光Ｌが放物面鏡22の反射面23にて反射されずに通過して試料Ａの表面へと照射させる。すなわち、放物面鏡22は、この放物面鏡22のレーザ通過穴24が、集光レンズ群15にて集光されたパルスレーザ光Ｌの光路上に位置するように設置されている。 Further, a laser passing hole 24 as a hole portion concentrically penetrating along the center line of the reflecting surface 23 is provided in the lower central portion which is the central portion of the reflecting surface 23. The laser passage hole 24 allows the pulsed laser light L collected by the condenser lens group 15 to pass through the reflecting surface 23 of the parabolic mirror 22 without being reflected and irradiate the surface of the sample A. That is, the parabolic mirror 22 is installed so that the laser passage hole 24 of the parabolic mirror 22 is positioned on the optical path of the pulsed laser light L condensed by the condenser lens group 15.

したがって、この放物面鏡22は、この放物面鏡22のレーザ通過穴24を介した試料Ａの表面へのパルスレーザ光Ｌの照射にて発生したプラズマＰからの球状に放射される蛍光Ｆを、この放物面鏡22の反射面23にて反射させて、この反射面23の中心線に沿った上側に向けて効果的に集光させる。すなわち、この放物面鏡22は、この放物面鏡22の反射面23にて反射した蛍光Ｆを、パルスレーザ光Ｌの光路に一致した光路に集光させるとともに、このパルスレーザ光Ｌの照射方向に対向する側である、このパルスレーザ光Ｌの照射方向の反対側に向けて集光させる。ここで、この蛍光Ｆは、可視光から紫外光までに亘った(２００ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長の)色収差を有している。 Therefore, the parabolic mirror 22 is a fluorescent light emitted in a spherical shape from the plasma P generated by the irradiation of the pulsed laser light L onto the surface of the sample A through the laser passage hole 24 of the parabolic mirror 22. F is reflected by the reflecting surface 23 of the parabolic mirror 22, and is effectively condensed toward the upper side along the center line of the reflecting surface 23. That is, the parabolic mirror 22 condenses the fluorescence F reflected by the reflecting surface 23 of the parabolic mirror 22 in an optical path that matches the optical path of the pulse laser light L, and the pulse laser light L The light is condensed toward the opposite side of the irradiation direction of the pulse laser beam L, which is the side facing the irradiation direction. Here, the fluorescence F has chromatic aberration (with a wavelength of 200 nm to 500 nm) ranging from visible light to ultraviolet light.

さらに、スクレーパミラー４の蛍光反射面６に対向した位置には、集光手段としての蛍光集光レンズ25が取り付けられている。この蛍光集光レンズ25は、蛍光集光手段21の一部であって、パルスレーザ光Ｌの光路に直交して設置されている。具体的に、この蛍光集光レンズ25は、パルスレーザ光Ｌの試料Ａへの照射にて発生したプラズマＰからの蛍光Ｆであって、放物面鏡22の反射面23にて反射されて集光されてから再び集光レンズ群15にて集光されてレーザ伝送光ファイバ11の下端部13から上端部12へと伝送された後に集光レンズ７にて平行状に拡散されて平行ビームＥにされてからスクレーパミラー４の蛍光反射面６にて反射された蛍光Ｆが入射して、この蛍光Ｆを集光させる。 Further, a fluorescent condensing lens 25 as a condensing means is attached at a position facing the fluorescent reflecting surface 6 of the scraper mirror 4. The fluorescent condensing lens 25 is a part of the fluorescent condensing means 21 and is installed orthogonal to the optical path of the pulsed laser light L. Specifically, the fluorescent condensing lens 25 is the fluorescence F from the plasma P generated by irradiating the sample A with the pulsed laser light L, and is reflected by the reflecting surface 23 of the parabolic mirror 22. After being condensed, the light is condensed again by the condenser lens group 15 and transmitted from the lower end portion 13 to the upper end portion 12 of the laser transmission optical fiber 11, and then diffused in parallel by the condenser lens 7 to be a parallel beam. The fluorescent light F reflected by the fluorescent reflecting surface 6 of the scraper mirror 4 after being set to E is incident, and the fluorescent light F is condensed.

そして、この蛍光集光レンズ25にて集光された蛍光Ｆの光路上には、分析手段としての蛍光分光測定手段である蛍光分光測定装置31が設置されている。この蛍光分光測定装置31は、蛍光Ｆをスペクトル分光分析して、この蛍光Ｆの波長および強度から試料Ａ中に含まれる元素含有量を定量して元素分析する蛍光計である。そして、この蛍光分光測定装置31は、パルスレーザ光Ｌの照射にて試料Ａから生成された蛍光Ｆのスペクトルおよび発光強度を測定する蛍光測定装置としての分光器32を備えている。この分光器32は、蛍光集光レンズ25による蛍光Ｆの集光点Ｇに設置されている。そして、この分光器32には、この分光器32にて測定した蛍光Ｆを電気信号に変換する蛍光検出器33が接続されている。すなわち、この蛍光検出器33は、分光器32にて測定した蛍光に応じた電気信号を出力する。また、この蛍光検出器33には、この蛍光検出器33から出力された電気信号を収録するデータ収録装置34が接続されている。 Then, on the optical path of the fluorescence F condensed by the fluorescence condenser lens 25, a fluorescence spectroscopy measuring device 31 which is a fluorescence spectroscopy measuring means as an analyzing means is installed. The fluorescence spectroscopic measurement device 31 is a fluorometer that performs spectral spectroscopic analysis of the fluorescence F, quantifies the element content contained in the sample A from the wavelength and intensity of the fluorescence F, and performs elemental analysis. The fluorescence spectroscopic measurement device 31 includes a spectroscope 32 as a fluorescence measurement device that measures the spectrum and emission intensity of the fluorescence F generated from the sample A by irradiation with the pulsed laser light L. This spectroscope 32 is installed at the condensing point G of the fluorescence F by the fluorescence condensing lens 25. The spectroscope 32 is connected to a fluorescence detector 33 that converts the fluorescence F measured by the spectroscope 32 into an electrical signal. That is, the fluorescence detector 33 outputs an electrical signal corresponding to the fluorescence measured by the spectrometer 32. The fluorescence detector 33 is connected to a data recording device 34 that records the electrical signal output from the fluorescence detector 33.

次に、上記第１の実施の形態の分析装置の動作について説明する。 Next, the operation of the analyzer according to the first embodiment will be described.

まず、レーザ発振装置３からパルスレーザ光Ｌを発振させる。 First, the pulse laser beam L is oscillated from the laser oscillation device 3.

この後、このパルスレーザ光Ｌは、スクレーパミラー４のレーザ通過孔５を通過した後に集光レンズ７にて集光される。 Thereafter, the pulse laser beam L is condensed by the condenser lens 7 after passing through the laser passage hole 5 of the scraper mirror 4.

さらに、この集光レンズ７にて集光されたパルスレーザ光Ｌは、レーザ伝送光ファイバ11の上端部12へと導入された後に、このレーザ伝送光ファイバ11内を通過して、このレーザ伝送光ファイバ11の下端部13から導出される。 Further, the pulsed laser light L condensed by the condenser lens 7 is introduced into the upper end portion 12 of the laser transmission optical fiber 11 and then passes through the laser transmission optical fiber 11 so that the laser transmission is performed. Derived from the lower end 13 of the optical fiber 11.

そして、このレーザ伝送光ファイバ11の下端部13から導出したパルスレーザ光Ｌは、集光レンズ群15にて集光された後に、放物面鏡22のレーザ通過穴24を通過して、試料Ａの表面の一部である照射領域へと照射される。 Then, the pulse laser beam L derived from the lower end portion 13 of the laser transmission optical fiber 11 is condensed by the condenser lens group 15, and then passes through the laser passage hole 24 of the parabolic mirror 22, Irradiation is performed on an irradiation region that is a part of the surface of A.

このとき、このパルスレーザ光Ｌによる試料Ａの照射領域への集光照射によって、この試料Ａの照射領域がプラズマ化する。 At this time, the irradiation area of the sample A is converted into plasma by the focused irradiation of the irradiation area of the sample A with the pulsed laser light L.

そして、このパルスレーザ光Ｌの照射に起因して試料Ａの照射領域からプラズマＰが発生する。 Then, plasma P is generated from the irradiation region of the sample A due to the irradiation of the pulsed laser light L.

この後、レーザ発振装置３からのパルスレーザ光Ｌの照射を停止させる。 Thereafter, the irradiation of the pulse laser beam L from the laser oscillation device 3 is stopped.

このとき、このパルスレーザ光Ｌの照射停止とともに試料Ａの照射領域から発生するプラズマＰが再結合し始めて、数μ秒から数十μ秒程度の間に試料Ａの照射領域を構成する元素の原子が励起状態となる。 At this time, the plasma P generated from the irradiation region of the sample A begins to recombine with the stop of the irradiation of the pulsed laser beam L, and the elements constituting the irradiation region of the sample A within several microseconds to several tens of microseconds. Atom is excited.

そして、この励起状態の原子が下準位に遷移するときに、原子数に比例した蛍光Ｆが放射状に発生して球状に放射される。 When the excited state atoms transition to the lower level, fluorescence F proportional to the number of atoms is generated radially and emitted spherically.

この後、この蛍光Ｆは、放物面鏡22の反射面23にて反射されて平行な平行ビーム状に集光される。 Thereafter, the fluorescence F is reflected by the reflecting surface 23 of the parabolic mirror 22 and condensed into a parallel parallel beam.

そして、この放物面鏡22の反射面23にて集光された蛍光Ｆは、集光レンズ群15にて集光された後に、レーザ伝送光ファイバ11の下端部へと導入された後に、このレーザ伝送光ファイバ11内を通過して、このレーザ伝送光ファイバ11の上端部12から導出される。 Then, after the fluorescence F collected by the reflecting surface 23 of the parabolic mirror 22 is collected by the condenser lens group 15, it is introduced into the lower end of the laser transmission optical fiber 11, The light passes through the laser transmission optical fiber 11 and is led out from the upper end portion 12 of the laser transmission optical fiber 11.

さらに、このレーザ伝送光ファイバ11の上端部12から導出された蛍光Ｆは、集光レンズ７にて平行状に拡散されて平行ビーム状にされた後に、スクレーパミラー４の蛍光反射面６にて直角に反射される。 Further, the fluorescence F derived from the upper end portion 12 of the laser transmission optical fiber 11 is diffused in parallel by the condenser lens 7 to form a parallel beam, and then is reflected on the fluorescence reflecting surface 6 of the scraper mirror 4. Reflected at right angles.

そして、このスクレーパミラー４の蛍光反射面６にて反射された蛍光Ｆは、蛍光集光レンズ25にて集光された後に、分光器32へと導入されて、この分光器32にて蛍光Ｆがスペクトル分光分析されて、この蛍光Ｆのスペクトルおよび発光強度のそれぞれが測定される。 The fluorescent light F reflected by the fluorescent reflecting surface 6 of the scraper mirror 4 is collected by the fluorescent condenser lens 25 and then introduced into the spectroscope 32. Are spectroscopically analyzed, and the spectrum and emission intensity of the fluorescence F are measured.

この後、この分光器32にて測定された試料Ａの含有元素の蛍光のスペクトルおよび発光強度の測定情報が蛍光検出器33へと送られて、これらスペクトルおよび発光強度のそれぞれの測定情報が蛍光検出器33にて電気信号に変換される。 Thereafter, the measurement information of the fluorescence and emission intensity of the element A contained in the sample A measured by the spectroscope 32 is sent to the fluorescence detector 33, and each measurement information of the spectrum and emission intensity is fluorescence. It is converted into an electric signal by the detector 33.

そして、この蛍光検出器33にて変換された電気信号は、データ収録装置34へと出力されて、このデータ収録装置34に収録される。 The electrical signal converted by the fluorescence detector 33 is output to the data recording device 34 and recorded in the data recording device 34.

この後、このデータ収録装置34に収録された電気信号に基づいて、試料Ａの照射領域に含まれている含有元素の種類およびそれぞれの元素の濃度が同定および定量されて特定される。 Thereafter, based on the electrical signal recorded in the data recording device 34, the type of contained element and the concentration of each element contained in the irradiation region of the sample A are identified and quantified to be identified.

上述したように、上記第１の実施の形態によれば、レーザ発振装置３から発振されるパルスレーザ光Ｌの強度を上げた場合には、このレーザ発振装置３を大型にしなければならないとともに、このレーザ発振装置３でのレーザ発振によるコストが上昇してしまう。さらに、高出力のパルスレーザ光Ｌを試料Ａの照射領域に照射させた場合には、この試料Ａの照射領域の汚れや損傷が大きくなってしまう。 As described above, according to the first embodiment, when the intensity of the pulsed laser light L oscillated from the laser oscillation device 3 is increased, the laser oscillation device 3 must be enlarged, The cost due to laser oscillation in the laser oscillation device 3 increases. Further, when the irradiation region of the sample A is irradiated with the high-power pulse laser beam L, the contamination or damage of the irradiation region of the sample A becomes large.

そこで、レーザ発振装置３にて発振されたパルスレーザ光Ｌを放物面鏡22の中央部に開口させたレーザ通過穴24を通過させて試料Ａの照射領域に照射させて発生したプラズマＰからの蛍光Ｆを、放物面鏡22の内側面に設けた放射面状の反射面23にて上方に向けて平行ビーム状に反射させて集束させる構成とした。この結果、レーザ発振装置３によるパルスレーザ光Ｌの試料Ａの照射領域への照射にて発生するプラズマＰからの蛍光Ｆを、より広い範囲で放物面鏡22の反射面23にて効率良く反射させて集光できるから、このパルスレーザ光Ｌの照射にて発生した蛍光Ｆをより効率良く集光できる。 Therefore, from the plasma P generated by irradiating the irradiation region of the sample A with the laser beam L oscillated by the laser oscillation device 3 through the laser passage hole 24 opened at the center of the parabolic mirror 22. The fluorescent light F is reflected and focused in a parallel beam shape upward by a radial reflecting surface 23 provided on the inner surface of the parabolic mirror 22. As a result, the fluorescence F from the plasma P generated when the laser oscillation device 3 irradiates the irradiation region of the sample A with the pulsed laser light L is efficiently reflected on the reflecting surface 23 of the parabolic mirror 22 in a wider range. Since the light can be reflected and condensed, the fluorescence F generated by the irradiation of the pulse laser beam L can be condensed more efficiently.

したがって、微弱な蛍光Ｆであっても高確率で集光できるため、様々な形態の試料Ａに対してもレーザ発振装置３から発振させて試料Ａの照射領域に照射されるパルスレーザ光Ｌの出力を高くすることなく、このパルスレーザ光Ｌの照射にて発生する蛍光Ｆのスペクトルおよび発光強度を蛍光分光測定装置31にて測定できる。 Therefore, since even the weak fluorescence F can be condensed with high probability, the pulsed laser light L emitted from the laser oscillation device 3 to the irradiation region of the sample A by oscillating the sample A of various forms. The spectrum and emission intensity of the fluorescence F generated by the irradiation with the pulse laser beam L can be measured by the fluorescence spectrometer 31 without increasing the output.

よって、レーザ発振装置３から発振されるパルスレーザ光Ｌの強度を上げることなく、微小元素の分析を高精度にできるから、蛍光分光測定装置31にて測定したスペクトルおよび発光強度それぞれの測定精度および測定感度を向上できる。すなわち、レーザ発振装置３から発振されるパルスレーザ光Ｌの出力が少なくても、このパルスレーザ光Ｌの試料Ａへの照射にて生成される蛍光Ｆを効率良く集光できるので、試料Ａ中の含有元素を少ないパルスレーザ光Ｌで有効に検出できる。 Therefore, since the analysis of the microelements can be performed with high accuracy without increasing the intensity of the pulsed laser light L oscillated from the laser oscillation device 3, the measurement accuracy of each of the spectrum and emission intensity measured by the fluorescence spectrometer 31 and Measurement sensitivity can be improved. That is, even if the output of the pulse laser beam L oscillated from the laser oscillation device 3 is small, the fluorescence F generated by irradiating the sample A with the pulse laser beam L can be condensed efficiently. Can be effectively detected with a small amount of pulsed laser light L.

また、レーザ発振装置３から発振されるパルスレーザ光Ｌの強度を上げる必要がなくなるので、このレーザ発振装置３を小型化できるとともに、このレーザ発振装置３からのレーザ発振のためのコストを削減できる。さらに、このレーザ発振装置３から発振させるパルスレーザ光Ｌの強度を上げる必要がないので、このパルスレーザ光Ｌを照射させた際の試料Ａの照射領域の汚れや損傷を減少できる。 Further, since it is not necessary to increase the intensity of the pulsed laser beam L oscillated from the laser oscillation device 3, the laser oscillation device 3 can be reduced in size and the cost for laser oscillation from the laser oscillation device 3 can be reduced. . Furthermore, since it is not necessary to increase the intensity of the pulsed laser light L oscillated from the laser oscillation device 3, it is possible to reduce contamination and damage of the irradiation area of the sample A when the pulsed laser light L is irradiated.

なお、上記第１の実施の形態では、試料Ａの表面の照射領域に対して垂直にパルスレーザ光Ｌを照射したが、図２に示す第２の実施の形態のように、試料Ａの表面に対して傾斜した方向からパルスレーザ光Ｌを照射することもできる。そして、分析装置１のレーザ発振装置３は、このレーザ発振装置３から発振されるパルスレーザ光Ｌが、試料Ａの表面の法線に対して、例えば４５゜の角度で傾斜した方向から照射されるように設置されている。さらに、レーザ伝送光ファイバ11もまた、試料Ａの表面の法線に対して、例えば４５゜の角度で傾斜した状態で設置されている。また、このレーザ伝送光ファイバ11の下端部13から導出したパルスレーザ光Ｌの光路上には、照射ヘッド14の集光レンズ群15が例えば４５゜の角度で傾斜した状態で設置されている。 In the first embodiment, the pulse laser beam L is irradiated perpendicularly to the irradiation area on the surface of the sample A. However, as in the second embodiment shown in FIG. It is also possible to irradiate the pulsed laser beam L from a direction inclined with respect to the direction. Then, the laser oscillation device 3 of the analyzer 1 is irradiated with the pulse laser beam L oscillated from the laser oscillation device 3 from a direction inclined at an angle of 45 ° with respect to the normal line of the surface of the sample A, for example. It is installed so that. Further, the laser transmission optical fiber 11 is also installed in an inclined state with respect to the normal line of the surface of the sample A, for example, at an angle of 45 °. Further, on the optical path of the pulsed laser light L derived from the lower end portion 13 of the laser transmission optical fiber 11, the condenser lens group 15 of the irradiation head 14 is installed in a state inclined at an angle of 45 °, for example.

そして、この集光レンズ群15にて集光されたパルスレーザ光Ｌが照射される試料Ａの照射領域上には、放物面鏡22が設置されている。この放物面鏡22の内側面には、中央部から放物面状に上方に向けて同心円状に拡径した放物面を中心線に沿って二等分した形状の半放物面状の反射面23が設けられている。そして、この放物面鏡22は、この放物面鏡22の反射面23の中心線を試料Ａの表面に一致させた状態であるとともに、この反射面23の開口方向をパルスレーザ光Ｌが照射される側に向けて設置されている。 A parabolic mirror 22 is installed on the irradiation area of the sample A irradiated with the pulsed laser light L condensed by the condenser lens group 15. The inner surface of the parabolic mirror 22 is a semi-parabolic shape in which the paraboloid which is concentrically expanded from the center toward the upper side in a parabolic shape is divided into two along the center line. The reflecting surface 23 is provided. The parabolic mirror 22 is in a state in which the center line of the reflecting surface 23 of the parabolic mirror 22 coincides with the surface of the sample A, and the opening direction of the reflecting surface 23 is changed by the pulse laser beam L. It is installed toward the irradiated side.

さらに、この放物面鏡22は、集光レンズ群15にて集光されたパルスレーザ光Ｌが照射しない位置に設置されている。言い換えると、この放物面鏡22は、集光レンズ群15にて集光されたパルスレーザ光Ｌを遮蔽しない位置に設置されている。具体的に、この放物面鏡22は、この放物面鏡22の反射面23の外側縁が、集光レンズ群15にて集光されたパルスレーザ光Ｌの光路上に入り込まないように設置されている。 Further, the parabolic mirror 22 is installed at a position where the pulse laser beam L condensed by the condenser lens group 15 is not irradiated. In other words, the parabolic mirror 22 is installed at a position that does not block the pulsed laser light L collected by the condenser lens group 15. Specifically, the parabolic mirror 22 is configured so that the outer edge of the reflecting surface 23 of the parabolic mirror 22 does not enter the optical path of the pulsed laser light L collected by the condenser lens group 15. is set up.

また、この放物面鏡22の反射面23にて反射されて平行ビーム状に集光された蛍光Ｆが入射する位置には、この平行ビーム状の蛍光Ｆを集光させる蛍光集光レンズ41が設置されている。この蛍光集光レンズ41は、試料Ａの表面の法線に対して若干傾斜した状態に設置されている。さらに、この蛍光集光レンズ41にて集光された蛍光Ｆの光路上には、蛍光伝送手段としての断面円形細長棒状の蛍光伝送光ファイバ42が設置されている。この蛍光伝送光ファイバ42は、光透過率が高く、この蛍光伝送光ファイバ42の長手方向の一端部43が蛍光集光レンズ41にて集光された蛍光Ｆの集光点Ｈに位置するように設置されている。 In addition, a fluorescence condensing lens 41 that condenses the parallel beam-like fluorescence F at a position where the fluorescence F reflected by the reflecting surface 23 of the parabolic mirror 22 and collected in the parallel beam shape is incident. Is installed. The fluorescent condensing lens 41 is installed in a state slightly inclined with respect to the normal line of the surface of the sample A. Further, on the optical path of the fluorescence F condensed by the fluorescence condensing lens 41, a fluorescent transmission optical fiber 42 having a circular elongated cross section as a fluorescence transmission means is installed. The fluorescence transmission optical fiber 42 has a high light transmittance, and one end portion 43 in the longitudinal direction of the fluorescence transmission optical fiber 42 is positioned at the condensing point H of the fluorescence F condensed by the fluorescence condensing lens 41. Is installed.

そして、この蛍光伝送光ファイバ42の長手方向の他端部44に対向した位置には、この他端部44から導光された蛍光Ｆを集光させる蛍光集光レンズ25が設置されている。したがって、これら蛍光集光レンズ41、蛍光伝送光ファイバ42および蛍光集光レンズ25にて蛍光集光手段21が構成されている。そして、この蛍光集光手段21は、放物面鏡22の反射面23にて反射して集光した蛍光Ｆを試料Ａの表面に対して略平行な方向に集光させる。さらに、この蛍光集光レンズ25にて集光された蛍光Ｆの光路上に分光器32が設置されており、この分光器32に蛍光検出器33が接続され、この蛍光検出器33にデータ収録装置34が接続されている。 A fluorescence condensing lens 25 that condenses the fluorescence F guided from the other end 44 is installed at a position facing the other end 44 in the longitudinal direction of the fluorescence transmission optical fiber 42. Therefore, the fluorescence condensing means 21 is constituted by the fluorescence condensing lens 41, the fluorescence transmission optical fiber 42, and the fluorescence condensing lens 25. The fluorescence condensing means 21 condenses the fluorescence F reflected and condensed by the reflecting surface 23 of the parabolic mirror 22 in a direction substantially parallel to the surface of the sample A. Further, a spectroscope 32 is installed on the optical path of the fluorescence F collected by the fluorescence condensing lens 25, and a fluorescence detector 33 is connected to the spectroscope 32, and data is recorded in the fluorescence detector 33. A device 34 is connected.

この結果、レーザ発振装置３にて発振されたパルスレーザ光Ｌを試料Ａの照射領域に対して傾斜して照射させて発生した蛍光Ｆを、放物面鏡22の反射面23にて略水平に平行ビーム状に反射させて集束させるので、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。 As a result, the fluorescence F generated by irradiating the pulse laser beam L oscillated by the laser oscillation device 3 with an inclination to the irradiation area of the sample A is substantially horizontal at the reflecting surface 23 of the parabolic mirror 22. Therefore, the same effect as the first embodiment can be obtained.

ここで、例えば金属元素の多くは、代表的な発光ラインが４００ｎｍ以下の、いわゆる紫外域であることが知られている。このため、パルスレーザ光Ｌを伝送するレーザ伝送光ファイバ11では、光透過率が極端に低いため、このレーザ伝送光ファイバ11にて蛍光Ｆを導光させた場合には、多くの金属元素の測定が困難となってしまう。 Here, for example, most of the metal elements are known to have a typical emission line in a so-called ultraviolet region having a wavelength of 400 nm or less. For this reason, in the laser transmission optical fiber 11 that transmits the pulsed laser light L, the light transmittance is extremely low. Therefore, when the fluorescence F is guided by the laser transmission optical fiber 11, many metal elements are used. Measurement becomes difficult.

そこで、パルスレーザ光Ｌ伝送用のレーザ伝送光ファイバ11と、蛍光Ｆ伝送用の蛍光伝送光ファイバ42とを別個に構成するとともに、この蛍光Ｆを集光させる蛍光集光レンズ41を集光レンズ群15と別個に配置した。この結果、この蛍光伝送光ファイバ42によって紫外域の蛍光Ｆを効率良く伝送できるので、紫外域が代表的な発光ラインの多くの金属元素を容易かつ確実に測定できる。 Therefore, the laser transmission optical fiber 11 for transmitting the pulsed laser light L and the fluorescence transmission optical fiber 42 for transmitting the fluorescent F are separately configured, and the fluorescent condensing lens 41 for condensing the fluorescent F is provided as a condensing lens. Arranged separately from group 15. As a result, since the fluorescence F in the ultraviolet region can be efficiently transmitted by the fluorescence transmission optical fiber 42, it is possible to easily and reliably measure many metal elements in a light emission line whose ultraviolet region is representative.

なお、図３に示す第３の実施の形態のように、蛍光伝送光ファイバ42の他端部44から導光される蛍光Ｆを蛍光集光レンズ41にて集光せずに、この蛍光伝送光ファイバ42の他端部44を蛍光分光測定装置31の分光器32に直接接続することもできる。この結果、これら蛍光伝送光ファイバ42の他端部44と分光器32との間に蛍光集光レンズ41を設置する必要がなくなるので、蛍光分光測定装置31の構成を簡略化できるから、分析装置１をより小型化できる。 In addition, as in the third embodiment shown in FIG. 3, the fluorescence F guided from the other end 44 of the fluorescence transmission optical fiber 42 is not condensed by the fluorescence condenser lens 41, but this fluorescence transmission is performed. The other end 44 of the optical fiber 42 can also be directly connected to the spectroscope 32 of the fluorescence spectroscopic measurement device 31. As a result, it is not necessary to install the fluorescence condensing lens 41 between the other end portion 44 of the fluorescence transmission optical fiber 42 and the spectroscope 32, so that the configuration of the fluorescence spectroscopic measurement device 31 can be simplified. 1 can be further downsized.

さらに、上記各実施の形態では、試料Ａにパルスレーザ光Ｌを照射した照射領域から発生する蛍光Ｆを蛍光分光測定装置31にて試料Ａ中に含まれている元素を定量する構成としたが、この試料Ａに含まれている元素に応じて蛍光分光測定装置31の計測対象波長を可視光波領域や紫外光波領域とすることも容易にできるとともに、この蛍光分光測定装置31にて効率良い含有元素の定量が可能となる。 Further, in each of the above embodiments, the fluorescence F generated from the irradiation region where the sample A is irradiated with the pulse laser beam L is configured to quantify the elements contained in the sample A by the fluorescence spectrometer 31. The wavelength to be measured by the fluorescence spectrometer 31 can be easily set to the visible light wave region or the ultraviolet light wave region according to the element contained in the sample A, and the fluorescent spectrometer 31 can efficiently contain it. Element quantification is possible.

また、この蛍光分光測定装置31として分光器32を用いたが、試料Ａに含まれている元素中の特定元素のみの計測で足りる場合には、この分光器32の代わりに図示しない干渉フィルタを設置した光電子増倍管を用いても、この試料Ａ中の特定元素の計測が可能である。さらに、レーザ伝送光ファイバ11あるいは蛍光伝送光ファイバ42として一本の光ファイバを用いたが、これらレーザ伝送光ファイバ11あるいは蛍光伝送光ファイバ42として複数の光ファイバを用いても良い。 In addition, although the spectroscope 32 is used as the fluorescence spectroscopic measurement device 31, when only the measurement of a specific element in the elements contained in the sample A is sufficient, an interference filter (not shown) is used instead of the spectroscope 32. Even if an installed photomultiplier tube is used, the specific element in the sample A can be measured. Further, although one optical fiber is used as the laser transmission optical fiber 11 or the fluorescence transmission optical fiber 42, a plurality of optical fibers may be used as the laser transmission optical fiber 11 or the fluorescence transmission optical fiber 42.

そして、レーザ光照射手段２のレーザ発振装置３から発振させるレーザ光を連続出力にするとレーザ光の出力が無駄になるので、このレーザ発振装置３から発振させるレーザ光を、パルスを用いたパルス状のパルスレーザ光Ｌとすると、出力の無駄を少なくできるからより効果的である。 Then, if the laser beam oscillated from the laser oscillation device 3 of the laser beam irradiation means 2 is continuously output, the output of the laser beam is wasted. Therefore, the laser beam oscillated from the laser oscillation device 3 is pulsed using a pulse. The pulse laser beam L is more effective because waste of output can be reduced.

本発明の第１の実施の形態の分析装置を示す説明構成図である。It is an explanatory block diagram which shows the analyzer of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施の形態の分析装置を示す説明構成図である。It is explanatory drawing which shows the analyzer of the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態の分析装置を示す説明構成図である。It is explanatory drawing which shows the analyzer of the 3rd Embodiment of this invention.

Explanation of symbols

１分析装置
２レーザ光照射手段
21 蛍光集光手段
22 放物面鏡
24 穴部としてのレーザ通過穴
31 分析手段としての蛍光分光測定装置
Ａ分析対象物としての試料
Ｆ蛍光
Ｌレーザ光としてのパルスレーザ光
Ｐプラズマ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Analyzer 2 Laser beam irradiation means
21 Fluorescent light collecting means
22 Parabolic mirror
24 Laser passage hole as hole
31 Fluorescence spectrometer as analytical means A Sample as analysis object F Fluorescence L Pulsed laser beam as laser beam P Plasma

Claims

Laser light irradiation means for irradiating the analysis object with laser light;
Fluorescence condensing means for condensing fluorescence from plasma generated by laser light irradiation by the laser light irradiating means,
And an analyzing means for quantifying the element from the wavelength and intensity of the fluorescence collected by the fluorescence collecting means,
The analysis apparatus characterized in that the fluorescence condensing means includes a parabolic parabolic mirror that reflects and condenses the fluorescence generated by the laser light irradiation by the laser light irradiation means.

The parabolic mirror of the fluorescence condensing means is installed at a position where the laser light emitted from the laser light irradiating means is not shielded,
The analyzer according to claim 1, wherein the fluorescence condensing unit condenses the fluorescence condensed by the parabolic mirror in a direction substantially parallel to the surface of the analysis object.

The parabolic mirror of the fluorescence condensing means has a hole provided in the central portion of the parabolic mirror, and the laser light from the laser light irradiation means passes through the hole and irradiates the analysis object. The analyzer according to claim 1, wherein the fluorescence generated by the laser light irradiation is collected toward the side irradiated with the laser light.