JP2006184414A - Case for large photomask and case exchanging apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mask case for gripping a large photomask with increased size and weight in a high cleanliness state, preventing the mask from being damaged or contaminated during storage or conveyance, and allowing the mask to be easily taken in and out, and a case exchanging apparatus. <P>SOLUTION: The case for a large photomask is composed of a tray and a top cover for housing and conveying a large photomask, and has a metal frame on at least the top cover of the case, a pawl protruding from the metal frame to the inside of the case so as to grip and fix a photomask, and a handle protruding outward from the metal frame. A photomask can be fixed by the pawl to the inside of the top cover while the tray is separated from the top cover, and be conveyed by gripping the handle outside the top cover by a worker or a conveying apparatus. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は主として液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造工程において、露光用原版として使用される大型フォトマスク（以後、単に「マスク」とも記す。）を収納するためのマスク用ケース及びケースを交換する装置に関する。   The present invention mainly replaces a mask case and a case for housing a large photomask (hereinafter, also simply referred to as “mask”) used as an exposure original plate in the manufacturing process of a flat panel display such as a liquid crystal display. Relates to the device.

大型フォトマスクは板厚１０ｍｍ程度のガラス基板の表面に、クロム等の遮光性の薄膜にて微細なパターンを形成したものである。ディスプレイの大型化に伴い、その原版となる大型フォトマスクも１辺が１ｍを超えるサイズにまで大型化し、その重さも１枚のマスクで数１０ｋｇを示すものがあるなど重量化している。
大型フォトマスクは通常、フォトマスクメーカーの工場内（通常はクリーンルーム）で作製された後、ディスプレイパネルメーカーに出荷され、ディスプレイパネルメーカーの工場内（通常はクリーンルーム）で使用されている。マスクメーカーではマスクをクリーンな状態に保ちつつ、かつ破損しないように輸送するために、頑強でかつ密閉性の高い出荷専用のケースにマスクを入れて梱包し、出荷している。
半導体用フォトマスクの分野におけるマスク用ケースとしては、種々のマスク用ケースが用いられている（例えば、特許文献１〜３参照。）。しかし、大型化、重量化したフラットパネルディスプレイ用の大型フォトマスクに適合したものではなかった。
従来、大型マスクのケースは、主にアクリル樹脂や塩化ビニル樹脂等の樹脂板を貼り合わせて作製されている。ケースの形状としては、図９に示すように、マスク９１を垂直にしてケース本体９２のマスク固定用溝９４で保持して収納するマスク用ケース９０と、図１０に示すように、マスク１０１をトレー１０２のマスク支持体１０４で支えて水平に収納するマスク用ケース１００が存在する。
出荷用のケースとしては、開口部が小さく、剛性の取りやすい、マスクを垂直に収納する型のマスク用ケースが主に用いられてきた。
マスクユーザーの工場内では、通常、マスクは出荷用ケースから、工程内でマスクを保管するためのケースや露光装置等にセットして装置内部の搬送機がマスクを取り出すための専用ケース（以降、内部工程用ケースと総称する）に入れ替えられて運用される。内部工程用ケースとしては、通常、人間や搬送装置がマスクを取り出しやすい、水平収納型のケースが用いられる。出荷用ケースから内部工程用ケースにマスクを移し換えるためには、従来、搬送ロボットや専用の冶具や人間が直接手でマスクを掴んで行っていた。
実開平３−８１９４５号公報 特開平１０−１４２７７３号公報 特開２００３−２６４２２５号公報 The large photomask is a glass substrate having a thickness of about 10 mm and a fine pattern formed of a light-shielding thin film such as chromium. Along with the increase in size of the display, a large photomask as an original plate is also increased in size to a size exceeding 1 m on one side, and the weight of such a photomask is several tens of kilograms per mask.
Large photomasks are usually produced in a photomask manufacturer's factory (usually a clean room), then shipped to the display panel manufacturer, and used in the display panel manufacturer's factory (usually a clean room). In order to keep the mask clean and to prevent damage, the mask manufacturer packs and ships the mask in a special case for shipping that is robust and highly sealed.
Various mask cases are used as mask cases in the field of semiconductor photomasks (see, for example, Patent Documents 1 to 3). However, it was not suitable for large photomasks for flat panel displays that were larger and heavier.
Conventionally, a case of a large-sized mask is mainly produced by bonding a resin plate such as an acrylic resin or a vinyl chloride resin. As shown in FIG. 9, the shape of the case includes a mask case 90 that holds the mask 91 vertically and holds it in the mask fixing groove 94 of the case main body 92, and a mask 101 as shown in FIG. There is a mask case 100 that is supported horizontally by the mask support 104 of the tray 102 and stored horizontally.
As a shipping case, a mask case of a type in which a mask is stored vertically, which has a small opening and is easy to obtain rigidity, has been mainly used.
In the mask user's factory, the mask is usually set from a shipping case to a case for storing the mask in the process, an exposure device, etc. It is replaced with the internal process case for operation. As the case for the internal process, a horizontal storage type case in which a person or a transfer device can easily take out the mask is usually used. In order to transfer a mask from a shipping case to an internal process case, conventionally, a transfer robot, a dedicated jig, or a human has directly held the mask by hand.
Japanese Utility Model Publication No. 3-81945 JP-A-10-142773 JP 2003-264225 A

しかしながら、ディスプレイサイズの大型化によるマスク重量の増大に伴い、従来使用されてきたマスク垂直収納型ケースでは、マスクの上部を掴んで引き上げ、取り出すことが非常に困難になってきた。一方、水平収納型ケースの場合、マスクの４辺が利用できるため把持しやすくはなるが、巨大で重いマスクを把持し、搬送することはやはり困難であった。更に大型フォトマスクは精密電子装置の原版となるため、高い清浄度を維持して作業を行う必要があり、作業は困難を極めた。また、水平収納型ケースでは、ケースの分割領域（開口部）が大きくなるため、構造上剛性が弱くなり、重量のあるマスクを安全に輸送するのに問題があった。   However, as the mask weight increases due to an increase in the display size, it has become very difficult to grab the upper part of the mask, lift it up, and take it out in the conventionally used mask vertical storage case. On the other hand, in the case of the horizontal storage type case, the four sides of the mask can be used, so that it is easy to grip, but it is still difficult to grip and transport a huge and heavy mask. Furthermore, since a large photomask is an original plate of a precision electronic device, it is necessary to work while maintaining high cleanliness, and the work is extremely difficult. Further, in the horizontally housed case, since the divided region (opening) of the case becomes large, the rigidity is structurally weak, and there is a problem in safely transporting a heavy mask.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、大型化、重量化する大型フォトマスクを高清浄度で把持し、保管時および運搬時に、マスクが損傷したり、汚染したりすることを防止し、マスクの出し入れが容易なマスク用ケース、及びケース交換装置を提供するものである。   The present invention has been made in view of the above problems, and its purpose is to hold a large photomask that is large and heavy with a high cleanliness, and the mask may be damaged during storage and transportation. It is intended to provide a mask case and a case exchange device that prevent contamination and can easily be taken in and out of the mask.

請求項１の発明は、大型フォトマスクを収納し搬送するためのトレーと上蓋からなる大型フォトマスク用ケースであって、少なくとも前記ケースの上蓋に金属のフレームと、前記フォトマスクを把持し固定するために前記金属フレームから前記ケース内部に突き出た爪と、前記金属フレームから前記ケースの外側に突き出たハンドルと、を有し、前記トレーと前記上蓋を分離した状態で、前記上蓋の内側に前記フォトマスクを前記爪で固定し、前記上蓋の外側の前記ハンドルを人間あるいは搬送装置が把持して搬送できることを特徴とする。   The invention of claim 1 is a large photomask case comprising a tray and an upper lid for storing and transporting a large photomask, and at least holds a metal frame and the photomask on the upper lid of the case. And a handle protruding from the metal frame to the outside of the case, and the tray and the upper lid are separated from each other, and the tray is separated from the upper lid. A photomask is fixed with the nail, and the handle outside the upper lid can be gripped and transported by a person or a transport device.

請求項２の発明は、請求項１に記載の大型フォトマスク用ケースにおいて、前記フォトマスクを把持し固定するための前記爪が、前記上蓋の外側からの爪固定用ネジによる開閉機構を有することを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the case for a large photomask according to the first aspect, the claw for gripping and fixing the photomask has an opening / closing mechanism by a claw fixing screw from the outside of the upper lid. It is characterized by.

請求項３の発明は、請求項１に記載の大型フォトマスク用ケースにおいて、前記フォトマスクを把持し固定するための前記爪が、エアシリンダーによる開閉機構を有することを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the case for a large photomask according to the first aspect, the claw for gripping and fixing the photomask has an opening / closing mechanism by an air cylinder.

請求項４の発明は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の大型フォトマスク用ケースにおいて、前記上蓋の側面の下端が、前記フォトマスクの水平位置よりも下にあり、前記フォトマスクが把持された前記上蓋を前記トレーから分離して搬送する際に、前記上蓋が前記フォトマスクに対して防塵カバーの役割をすることを特徴とする。   The invention of claim 4 is the large photomask case according to any one of claims 1 to 3, wherein a lower end of a side surface of the upper lid is below a horizontal position of the photomask, When the upper lid holding the photomask is separated from the tray and transported, the upper lid serves as a dust-proof cover for the photomask.

請求項５の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の大型フォトマスク用ケースのケース交換装置において、少なくとも前記ケースの上蓋の前記ハンドル部分を保持して前記上蓋を上下させる機構を有し、前記上蓋を前記トレーから持ち上げた状態で保持し、下にある前記トレーを交換することによりケースを移し換えることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in the case exchanging device for a large photomask case according to any one of the first to fourth aspects, the upper lid is moved up and down while holding at least the handle portion of the upper lid of the case. The upper lid is lifted from the tray, and the case is transferred by exchanging the underlying tray.

本発明のマスク用ケースを用いることにより、マスクユーザーは高清浄度が要求されるマスクに全く触れることなく、簡単に、出荷ケースから内部工程用ケースにマスクを移し換えることが可能となる。これにより、マスクユーザーでマスクハンドリングツールあるいはマスク搬送装置を準備する必要がなくなる。また、高価なマスクを汚染したり、破損したりする危険が少なくなる。さらに、本発明のケース交換装置を用いた場合は、安全確実にマスクを移し換えることが可能となる。   By using the mask case of the present invention, the mask user can easily transfer the mask from the shipping case to the internal process case without touching the mask that requires high cleanliness. This eliminates the need for a mask user to prepare a mask handling tool or a mask transport device. Further, the risk of contaminating or damaging the expensive mask is reduced. Furthermore, when the case exchange device of the present invention is used, the mask can be transferred safely and reliably.

本発明のマスク用ケースは、基本的にはマスク水平収納型のケースの形態をもち、ケースの剛性を上げるために樹脂製のケースの外側に金属のフレームを配し、ケース上蓋の該金属フレームからケース内部に突き出たマスクを把持するための爪と、ケース上蓋の金属フレームからケースの外側に突き出たハンドルとを有するものである。工場間の輸送においては、上蓋の内側の爪でマスクをケースに頑強に固定してマスクを保護するケースとして機能するとともに、ユーザーの工場内では、マスクを上蓋に固定したままトレーを外し、上蓋の外側のハンドルを人間あるいは搬送装置が保持して搬送することにより、マスクハンドリングツールとしての機能を有するものである。
以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。 The mask case of the present invention basically has the form of a mask horizontal storage type case, in order to increase the rigidity of the case, a metal frame is arranged on the outside of the resin case, and the metal frame of the case upper lid is provided. A claw for gripping the mask protruding from the inside of the case, and a handle protruding from the metal frame of the case upper cover to the outside of the case. When transporting between factories, it functions as a case that protects the mask by firmly fixing the mask to the case with the nails inside the upper lid. At the user's factory, the tray is removed while the mask is fixed to the upper lid. A handle as a mask handling tool is provided by holding a handle on the outside of the handle while being transported by a person or a transport device.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

（マスク用ケース）
図１は本発明のマスク用ケースの一例を示す外観図であり、図２はその透視図、図３は図１のＡ−Ａ' 線における断面模式図である。ただし、図２、及び図３は、ケースを上下に分離した状態での透視図、断面図としてある。
本発明のマスク用ケース１０は、トレー１２と上蓋１３とからなり、各々、マスクの清浄度を維持するためのカバーとなる樹脂板１４と、剛性を持たせて、輸送中にマスクを衝撃から保護するための金属フレーム１５から構成されている。止め金具１７を外すことにより、ケース１０はトレー１２と上蓋１３とに上下に分離される。図２、図３は、トレー１２と上蓋１３とを上下に分離した状態で示している。トレー１２と上蓋１３の勘合部にはゴム製のOリング（図示せず）が取り付けられ、組み合わせて上下から押し付け、止め金具１７でクランプすることにより、ケース１０は密閉される。上蓋１３には、マスク１１を把持、固定するための開閉動作が可能な爪１８と、搬送するためのハンドル１６が取り付けられている。 (Mask case)
FIG. 1 is an external view showing an example of the mask case of the present invention, FIG. 2 is a perspective view thereof, and FIG. 3 is a schematic sectional view taken along the line AA ′ of FIG. However, FIGS. 2 and 3 are a perspective view and a cross-sectional view in a state where the case is separated vertically.
The mask case 10 of the present invention comprises a tray 12 and an upper lid 13, each of which has a resin plate 14 serving as a cover for maintaining the cleanliness of the mask, and has rigidity so that the mask is protected from impact during transportation. It consists of a metal frame 15 for protection. By removing the stopper 17, the case 10 is separated into the tray 12 and the upper lid 13 in the vertical direction. 2 and 3 show the tray 12 and the upper lid 13 separated in the vertical direction. A rubber O-ring (not shown) is attached to the mating portion between the tray 12 and the upper lid 13, pressed together from above and below, and clamped with a stopper 17 to seal the case 10. A claw 18 that can be opened and closed for holding and fixing the mask 11 and a handle 16 for transporting are attached to the upper lid 13.

本発明において、樹脂板１４の材料としては、従来用いられているアクリル樹脂や塩化ビニル樹脂等が用いられる。また、金属フレーム１５、ハンドル１６、止め金具１７、爪１８等の材料としては、アルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス等が用いられる。   In the present invention, conventionally used acrylic resin, vinyl chloride resin, or the like is used as the material for the resin plate 14. Further, as a material for the metal frame 15, the handle 16, the stopper 17, the claws 18, etc., aluminum, an aluminum alloy, stainless steel or the like is used.

図３に示されるように、マスク１１を確実に保持し、マスク荷重をケース外側に伝えるために、マスク把持用の爪１８はケース上面の樹脂板１４を挟んで上蓋１３の金属フレーム１５に直接、取り付けられている。爪１８は、マスク端面を把握し保持し易いように、マスクを保持する部分が凹部となっている。図１に示す例では、図２に示されるように、爪１８は上蓋１３の計６箇所に設けてある。
マスク荷重を支えるために、ハンドル１６もまた上蓋１３の金属フレーム１５に直接、取り付けられている。このような構造により、トレー１２を外した状態で、上蓋１３の爪１８でマスク１１を把持、固定したまま、ハンドル１６を人間あるいは搬送機が保持して、マスク１１を安全確実に搬送することができる。 As shown in FIG. 3, in order to hold the mask 11 securely and transmit the mask load to the outside of the case, the mask gripping claws 18 are directly attached to the metal frame 15 of the upper lid 13 with the resin plate 14 on the upper surface of the case interposed therebetween. Is attached. The claw 18 has a concave portion for holding the mask so that the end face of the mask can be easily grasped and held. In the example shown in FIG. 1, as shown in FIG. 2, the claws 18 are provided at a total of six locations on the upper lid 13.
A handle 16 is also attached directly to the metal frame 15 of the top lid 13 to support the mask load. With such a structure, with the tray 12 removed, the mask 11 is gripped and fixed by the claw 18 of the upper lid 13, and the handle 16 is held by a person or a transporter so that the mask 11 can be transported safely and reliably. Can do.

本発明のマスクケース１０のトレー１２の構造は、基本的には図１０に示した水平収納型ケースと同様である。トレー１２の内部には、マスク１１のコーナーを載置することのできるマスク支持体１９が四隅に設けられている。マスク支持体１９にはマスクを位置決めするための凹みがある。当該凹み同士の間隔は巨大なマスクを容易に載置できるように、マスクサイズよりも５ｍｍ程度、大きく設計されている。
次に、マスクを保持する爪の開閉機構について説明する。以下の説明においては、同一の箇所を示す場合には、同じ符号を用ることとする。 The structure of the tray 12 of the mask case 10 of the present invention is basically the same as that of the horizontal storage case shown in FIG. Inside the tray 12, mask supports 19 on which corners of the mask 11 can be placed are provided at the four corners. The mask support 19 has a recess for positioning the mask. The space between the recesses is designed to be about 5 mm larger than the mask size so that a huge mask can be easily placed.
Next, a claw opening / closing mechanism for holding the mask will be described. In the following description, the same reference numerals are used to indicate the same parts.

<爪の開閉機構の第１の例>
図４は、マスク１１を把持する爪１８の開閉機構の第１の例を示す断面図であり、マスク１１を把持する工程を順に図４（ａ）〜図４（ｂ）に示す。図４（ａ）に示すように、通常、上蓋１３に具備された爪１８はスプリング４１の力で、開いた状態にある。一方、収納するマスク１１はトレー１２のマスク支持体１９上に載せられた状態にある。
次に、上蓋１３をトレー１２に載せてケースを閉じ、外側から爪固定用ネジ４２を挿入し、ネジ４２を締めることで、爪１８は閉じられ、マスク１１は固定される（図４（ｂ））。
この状態で、上蓋１３を持ち上げることにより、マスク１１は爪１８に保持され、マスク１１を搬送することができる（図４（ｃ））。 <First example of nail opening and closing mechanism>
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a first example of the opening / closing mechanism of the claw 18 that holds the mask 11, and the steps of holding the mask 11 are sequentially shown in FIGS. 4 (a) to 4 (b). As shown in FIG. 4A, the claw 18 provided on the upper lid 13 is normally in an open state by the force of the spring 41. On the other hand, the mask 11 to be stored is placed on the mask support 19 of the tray 12.
Next, the upper lid 13 is placed on the tray 12, the case is closed, the nail fixing screw 42 is inserted from the outside, and the screw 42 is tightened, whereby the nail 18 is closed and the mask 11 is fixed (FIG. 4B). )).
By lifting the upper lid 13 in this state, the mask 11 is held by the claw 18 and can be transported (FIG. 4C).

<爪の開閉機構の第２の例>
図５は、爪１８の開閉機構の第２の例を示す断面図である。この場合、爪１８の開閉は単動式のエアシリンダー５１の動作により行う。この場合、爪１８が通常閉じた状態の動作とする場合と、逆に、通常開いた状態の動作とする場合の２通りの方法があり、いずれかを用いることが可能である。 <Second example of nail opening and closing mechanism>
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a second example of the opening / closing mechanism of the claw 18. In this case, the claw 18 is opened and closed by the operation of the single-acting air cylinder 51. In this case, there are two methods, i.e., when the nail 18 is normally closed, and conversely, when the nail 18 is normally open, one of them can be used.

まず、第１の方法について説明する。この場合、通常、爪１８は単動式エアシリンダー５１の内部にあるバネの力により、閉じた状態にある。マスク１１を収納する前に、予め上蓋１３にエアーの供給ライン５２を接続し、エアシリンダー５１にエアーを供給して爪１８を開状態にしておく。収納するマスク１１をトレー１２に載せ、ケースを閉じた後、エアーの供給ライン５２を外し、エアシリンダー５１内の空気を抜いて開放状態にすると、バネの力で爪１８が閉じ、マスク１１は固定される。爪１８はスライドベアリング５４により可動する。マスク１１を外す場合は、再度、エアシリンダー５１にエアーを供給し、爪１８を開状態にして上蓋１３を取り去る。   First, the first method will be described. In this case, the claw 18 is normally closed by the force of the spring inside the single-acting air cylinder 51. Before storing the mask 11, an air supply line 52 is connected to the upper lid 13 in advance, and air is supplied to the air cylinder 51 to open the claw 18. After the mask 11 to be stored is placed on the tray 12 and the case is closed, the air supply line 52 is removed, and the air in the air cylinder 51 is released to open the claw 18. Fixed. The claw 18 is moved by a slide bearing 54. When removing the mask 11, air is again supplied to the air cylinder 51, the claw 18 is opened, and the upper lid 13 is removed.

次に、第２の方法について説明する。この場合、エアシリンダーを逆の動作にするものである。この場合、通常状態で、爪１８は単動式エアシリンダー５１の内部にあるバネの力により、開いた状態にある。マスク１１をトレー１２に載せてケースを閉じた後、エアシリンダー５１にエアーを供給し、爪１８を閉じてマスク１１を固定する。この状態で、エアー供給ライン５２のバルブ５３を閉じるとエアシリンダー５１内の空気の圧力で爪１８を閉じた状態で、マスク１１を保持し、輸送することができる。エアシリンダー５１のバルブ５３を開き、圧力を開放すれば、爪１８はバネの力で開き、マスク１１を取り出すことができる。   Next, the second method will be described. In this case, the air cylinder is operated in reverse. In this case, in a normal state, the claw 18 is in an open state by the force of the spring inside the single-acting air cylinder 51. After the mask 11 is placed on the tray 12 and the case is closed, air is supplied to the air cylinder 51 and the nail 18 is closed to fix the mask 11. When the valve 53 of the air supply line 52 is closed in this state, the mask 11 can be held and transported with the claw 18 closed by the pressure of the air in the air cylinder 51. If the valve 53 of the air cylinder 51 is opened and the pressure is released, the claw 18 is opened by the spring force, and the mask 11 can be taken out.

本マスク用ケース１０にマスク１１を収納するためには、まず、搬送装置等を使用して、マスク１１をトレー１２に載せる。トレー１２にはマスク支持体１９以外には構造物がないため、各種のハンドリングエリアを有するマスク搬送装置を使用することが可能である。次に、上蓋１３の爪１８が開いた状態で、上蓋１３を載せてケース１０を閉じ、止め金具１７によりケース１０の上下を固定してトレー１２と上蓋１３の勘合部を密閉する。次に前述の手法にて、爪１８を閉じてマスク１１をクランプする。この状態でマスク１１はケース１０に頑強に固定されており、ケース１０をこの向きで、あるいは９０度回転させて立てた状態で、梱包し、工場間を輸送することが可能である。   In order to store the mask 11 in the mask case 10, first, the mask 11 is placed on the tray 12 using a transfer device or the like. Since the tray 12 has no structure other than the mask support 19, a mask transfer device having various handling areas can be used. Next, in a state where the claw 18 of the upper lid 13 is open, the upper lid 13 is placed and the case 10 is closed, and the upper and lower sides of the case 10 are fixed by the fasteners 17 to seal the mating portion between the tray 12 and the upper lid 13. Next, the nail | claw 18 is closed and the mask 11 is clamped by the above-mentioned method. In this state, the mask 11 is firmly fixed to the case 10, and the case 10 can be packed and transported between factories with the case 10 standing in this direction or rotated 90 degrees.

（マスク用ケースの交換）
次に、本発明のマスク用ケース１０から図６に示す内部工程用ケース６０にマスクを入れ換える方法を、図７を使用して説明する。ユーザーの工場に到着後、開梱してマスク用ケース１０を取り出し、クリーンルームに入れる。予め、内部工程用ケース６０の上蓋６３を外しておく。本発明のマスク用ケース１０の止め金具を外し、トレー１２を分離して、ハンドルを人間あるいは搬送装置が掴み、固定されたマスク１１ごと上蓋１３を持ち上げ、必要な場所に搬送する（図７（ａ））。次に、図７（ｂ）に示すように、搬送したマスク１１を上蓋１３ごと内部工程用ケース６０のトレー６２に被せ、マスク１１を内部工程用ケース６０のトレー６２のマスク支持体６４の上に載せる。その後、ケース上蓋１３の爪を開き、上蓋１３を持ち上げて取り去り（図７（ｃ））、内部工程用ケース６０の上蓋６３をして作業を完了する（図７（ｄ））。一連の作業により、マスクユーザーはマスク１１に全く触れることなしにマスク１１を内部工程用ケース６０に収納することができる。 (Replacement of mask case)
Next, a method of replacing the mask from the mask case 10 of the present invention to the internal process case 60 shown in FIG. 6 will be described with reference to FIG. After arriving at the user's factory, it is unpacked and the mask case 10 is taken out and placed in a clean room. The upper lid 63 of the internal process case 60 is removed in advance. The stopper of the mask case 10 of the present invention is removed, the tray 12 is separated, the handle is grasped by a person or a transport device, the upper cover 13 is lifted together with the fixed mask 11, and transported to a necessary place (FIG. 7 ( a)). Next, as shown in FIG. 7B, the transported mask 11 is covered with the upper lid 13 on the tray 62 of the internal process case 60, and the mask 11 is placed on the mask support 64 of the tray 62 of the internal process case 60. Put it on. Thereafter, the claw of the case upper lid 13 is opened, and the upper lid 13 is lifted and removed (FIG. 7C), and the upper lid 63 of the internal process case 60 is put on to complete the operation (FIG. 7D). Through a series of operations, the mask user can store the mask 11 in the internal process case 60 without touching the mask 11 at all.

（ケース交換装置）
また、マスクユーザーが出荷ケースから内部工程用ケースにマスクを移し換えるのに際し、図８に示すような、マスク用のケース交換装置８０を用いることもできる。当該装置を用い、昇降機８１のアーム８２により、マスク用ケースの上蓋１３のハンドル１６部分をつかんでトレー１２から持ち上げた状態で保持し、下にあるケースのトレーを交換する。図８では、ケース搬送台車８３の上にトレー１２が載置してある場合を示す。本発明のマスク用ケース交換装置８０によれば、重量の大きなマスクも簡単に内部工程用ケースに移し変えることが可能である。また、本発明のマスク用ケースを用いて、直接、露光装置等のステージにマスクをセットすることも可能である。 (Case changing device)
Further, when the mask user transfers the mask from the shipping case to the internal process case, a mask case changing device 80 as shown in FIG. 8 can be used. Using the apparatus, the handle 82 of the upper lid 13 of the mask case is grasped and held by the arm 82 of the elevator 81 and is lifted from the tray 12, and the lower case tray is replaced. FIG. 8 shows a case where the tray 12 is placed on the case transport carriage 83. According to the mask case replacement apparatus 80 of the present invention, a heavy mask can be easily transferred to the internal process case. It is also possible to directly set a mask on a stage such as an exposure apparatus using the mask case of the present invention.

上記のように、本発明のマスク用ケースを使用することにより、全く人間がマスクに触れることなく、また、別のマスクハンドリングツールや搬送装置を使用することなく、容易にマスクを内部工程用ケースや装置のステージに移し変えることを可能にするものである。   As described above, by using the mask case of the present invention, the mask can be easily attached to the internal process case without any human touching the mask, and without using another mask handling tool or transfer device. And can be transferred to the stage of the device.

本発明のマスク用ケースの一例を示す外観図である。It is an external view which shows an example of the case for masks of this invention. 図１に示す本発明のマスク用ケースの一例の透視図である。It is a perspective view of an example of the case for masks of this invention shown in FIG. 図１に示す本発明の一例の断面図である。It is sectional drawing of an example of this invention shown in FIG. 本発明における爪の開閉機構の第１の例を説明するための工程断面図である。It is process sectional drawing for demonstrating the 1st example of the opening / closing mechanism of the nail | claw in this invention. 本発明における爪の開閉機構の第２の例を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the 2nd example of the opening / closing mechanism of the nail | claw in this invention. 内部工程用のマスク用ケースの断面図である。It is sectional drawing of the case for masks for an internal process. 本発明のマスク用ケースから図６の内部工程用ケースにマスクを入れ換える方法を示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows the method of replacing a mask from the case for masks of this invention to the case for internal processes of FIG. 本発明のマスク用ケース交換装置の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of the mask case exchange apparatus of this invention. 従来の大型マスクの垂直収納型のマスク用ケースの透視図である。FIG. 6 is a perspective view of a conventional case for vertically storing a large mask. 従来の大型マスクの水平収納型のマスク用ケースの外観図であり、構成要素を分離して示してある。It is an external view of the case for the masks of the conventional large-sized mask horizontal storage type | mold, and has shown the component separately.

符号の説明Explanation of symbols

１０ マスク用ケース
１１ マスク
１２ トレー
１３ 上蓋
１４ 樹脂板
１５ 金属フレーム
１６ ハンドル
１７ 止め金具
１８ 爪
１９ マスク支持体
４１ スプリング
４２ 爪固定用ネジ
５１ エアシリンダー
５２ エアー供給ライン
５３ バルブ
５４ スライドベアリング
６０ 内部工程用ケース
６２ トレー
６３ 上蓋
６４ マスク支持体
８０ ケース交換装置
８１ 昇降機
８２ アーム
８３ ケース搬送台車
９０、１００ マスク用ケース
９１、１０１ マスク
９２、１０２ トレー（ケース本体）
９３、１０３ 上蓋
９４ マスク固定用溝
１０４ マスク支持体
















10 Mask Case 11 Mask 12 Tray 13 Top Cover 14 Resin Plate 15 Metal Frame 16 Handle 17 Fastener 18 Claw 19 Mask Support 41 Spring 42 Claw Fixing Screw 51 Air Cylinder 52 Air Supply Line 53 Valve 54 Slide Bearing 60 For Internal Process Case 62 Tray 63 Upper lid 64 Mask support 80 Case changer 81 Elevator 82 Arm 83 Case transport cart 90, 100 Mask case 91, 101 Mask 92, 102 Tray (case body)
93, 103 Upper lid 94 Mask fixing groove 104 Mask support
















Claims (5)

大型フォトマスクを収納し搬送するためのトレーと上蓋からなる大型フォトマスク用ケースであって、
少なくとも前記ケースの上蓋に金属のフレームと、前記フォトマスクを把持し固定するために前記金属フレームから前記ケース内部に突き出た爪と、前記金属フレームから前記ケースの外側に突き出たハンドルと、を有し、
前記トレーと前記上蓋を分離した状態で、前記上蓋の内側に前記フォトマスクを前記爪で固定し、前記上蓋の外側の前記ハンドルを人間あるいは搬送装置が把持して搬送できることを特徴とする大型フォトマスク用ケース。 A case for a large photomask comprising a tray and an upper lid for storing and transporting a large photomask,
A metal frame at least on the upper lid of the case; a claw protruding from the metal frame into the case to hold and fix the photomask; and a handle protruding from the metal frame to the outside of the case. And
In a state where the tray and the upper lid are separated, the photomask is fixed to the inner side of the upper lid with the claws, and the handle outside the upper lid can be gripped and transported by a human or a transport device. Case for mask. 前記フォトマスクを把持し固定するための前記爪が、前記上蓋の外側からの爪固定用ネジによる開閉機構を有することを特徴とする請求項１に記載の大型フォトマスク用ケース。   The large photomask case according to claim 1, wherein the claw for holding and fixing the photomask has an opening / closing mechanism by a claw fixing screw from the outside of the upper lid. 前記フォトマスクを把持し固定するための前記爪が、エアシリンダーによる開閉機構を有することを特徴とする請求項１に記載の大型フォトマスク用ケース。   The large photomask case according to claim 1, wherein the claw for gripping and fixing the photomask has an opening / closing mechanism using an air cylinder. 前記上蓋の側面の下端が、前記フォトマスクの水平位置よりも下にあり、前記フォトマスクが把持された前記上蓋を前記トレーから分離して搬送する際に、前記上蓋が前記フォトマスクに対して防塵カバーの役割をすることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の大型フォトマスク用ケース。   The lower end of the side surface of the upper lid is below the horizontal position of the photomask, and when the upper lid on which the photomask is gripped is transported separately from the tray, the upper lid is in relation to the photomask. The large photomask case according to any one of claims 1 to 3, wherein the case serves as a dustproof cover. 少なくとも前記ケースの上蓋の前記ハンドル部分を保持して前記上蓋を上下させる機構を有し、前記上蓋を前記トレーから持ち上げた状態で保持し、下にある前記トレーを交換することによりケースを移し換えることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の大型フォトマスク用ケースのケース交換装置。



















At least the handle portion of the upper lid of the case is held to move the upper lid up and down, the upper lid is held in a state where it is lifted from the tray, and the case is transferred by exchanging the lower tray The case replacement device for a case for a large photomask according to any one of claims 1 to 4, wherein



















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