JP2006160523A - Cantilever panel carrying device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cantilever panel carrying device in which a clamping carrier moved according to the size of panels is formed of a pair of cantilevers and which is simply formed as a whole. <P>SOLUTION: This cantilever panel carrying device comprises a mobile body reciprocatingly moved between a sub table and a work table by a prescribed drive means, a pair of carrier moving means installed on the upper surface of the mobile body, a moving block reciprocatingly moved in the longitudinal direction of the mobile body by a carrier moving means, two cantilever clamp carriers coupled, at its one end, to the moving block, moved by the carrier moving means, and opposed parallel to each other, and a grip means clamping the panels coupled to the two cantilever clamp carriers for carrying and movable in the longitudinal direction of the cantilever clamp carriers. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、パネル検査装置のパネル移送装置に関するものであり、特に検査するパネルサイズによって自動移動できるクランピングキャリアーを二つのカンチレバーから構成し、それぞれのカンチレバーを移動させるために一対のキャリアー移動手段を備えることによって、装置の構造を簡単にしてコストを大幅に低減させることができるカンチレバーパネル移送装置に関するものである。   The present invention relates to a panel transfer device of a panel inspection apparatus, and in particular, a clamping carrier that can be automatically moved according to a panel size to be inspected is composed of two cantilevers, and a pair of carrier moving means is provided to move each cantilever. The present invention relates to a cantilever panel transfer device that can simplify the structure of the device and greatly reduce the cost.

一般に知られたような液晶パネル検査装置は、液晶パネルのラインの断線検査と色相検査のためプローブユニットを用いて点灯検査を行い、その外顕微鏡を用いて肉眼検査を行う。   A generally known liquid crystal panel inspection apparatus performs a lighting inspection using a probe unit for a disconnection inspection and a hue inspection of a line of a liquid crystal panel, and performs a visual inspection using an external microscope.

このような液晶パネル検査装置は、図1に示されたように検査装置本体100と、検査装置本体100の一側に形成された液晶パネル供給部10と、液晶パネル供給部10と並んで水平構造に設けられた検査部30と液晶パネル供給部10から液晶パネルが供給されて検査部30にローディング及びアンローディングさせるパネル移送装置40と、から構成される。   As shown in FIG. 1, the liquid crystal panel inspection apparatus is horizontally aligned with the inspection apparatus main body 100, the liquid crystal panel supply unit 10 formed on one side of the inspection apparatus main body 100, and the liquid crystal panel supply unit 10. An inspection unit 30 provided in the structure and a panel transfer device 40 that is supplied with a liquid crystal panel from the liquid crystal panel supply unit 10 and loads and unloads the inspection unit 30 are configured.

ここで、従来のパネル検査装置のパネル移送装置40は、図2に示されたように、移送装置本体41と、移送装置本体41の側端に少なくとも一つ以上設けられることと同時に液晶パネル供給部10及び検査部30にかけて液晶パネル48の縦長手方向側に所定の間隔を置いて配置されることと同時に多段に配置されるガイドレール42と、ガイドレール42に沿って互いに離隔に水平移動されるように設けられる四角移動部材43と、各四角移動部材43の上、下端側に形成されることと同時に各ガイドレール42に沿って移動することによって、各四角移動部材43を水平移動させる複数の移送体44と、四角移動部材43の上、下端側のうちいずれか一側に連結された移送体44と結合されてその移送体44を移動可能に駆動させる複数の駆動手段(図示せず)と、から構成される。   Here, as shown in FIG. 2, the panel transfer device 40 of the conventional panel inspection apparatus is provided with a transfer device main body 41 and at least one at the side end of the transfer device main body 41 and at the same time a liquid crystal panel supply. The guide rails 42 are arranged at predetermined intervals on the longitudinal and longitudinal sides of the liquid crystal panel 48 over the section 10 and the inspection section 30, and are simultaneously moved horizontally along the guide rails 42 along the guide rails 42. And a plurality of square moving members 43 horizontally moved by moving along the guide rails 42 at the same time as being formed on the upper and lower ends of the square moving members 43. The transfer body 44 and the transfer body 44 connected to one of the upper and lower ends of the square moving member 43 are coupled to drive the transfer body 44 so as to be movable. And drive means (not shown), and a.

併せて、四角移動部材43の一側面に上、下対称に形成される二対のガイド45と、ガイド45に沿って上、下対称の形態に移動可能に設けられる一対の移動ブロック46と、それぞれの移動ブロック46を駆動させる駆動手段(図示せず)と、移動ブロック46の内端側に設けられて液晶パネル48を固定するように設けられるグリップ手段47と、から構成される。ここで、グリップ手段47は、移動ブロック46の内端側の中央に固定されて設けられる。   In addition, two pairs of guides 45 formed symmetrically on one side of the square moving member 43, and a pair of moving blocks 46 provided so as to be movable in a symmetrical manner on the top and bottom along the guides 45, It comprises driving means (not shown) for driving each moving block 46 and grip means 47 provided on the inner end side of the moving block 46 and provided to fix the liquid crystal panel 48. Here, the grip means 47 is fixedly provided at the center on the inner end side of the moving block 46.

このグリップ手段47は、図2の拡大部分に示されたように、移動ブロック46に設けられるエアシリンダーのような駆動手段47cとこの駆動手段によって移動される移動軸47bとこの移動軸47bと連結されて液晶パネル48をグリップするグリッパー47aと、から構成される。従って、液晶パネル48をグリップするためには駆動手段47cの駆動によって移動軸47bに連結されるグリッパー47aを移動させなければならない。   As shown in the enlarged portion of FIG. 2, the grip means 47 is connected to a drive means 47c such as an air cylinder provided in the moving block 46, a moving shaft 47b moved by the driving means, and the moving shaft 47b. And a gripper 47a for gripping the liquid crystal panel 48. Therefore, in order to grip the liquid crystal panel 48, the gripper 47a connected to the moving shaft 47b must be moved by driving the driving means 47c.

それぞれの移動ブロック46を駆動するためには、それぞれの移動ブロック46の両端と連結された一対の駆動手段(図示せず)を同期駆動させる。一対の駆動手段を同期駆動させて検査するパネルがクランピングできる位置まで移動ブロック46を移動させることができる。   In order to drive each moving block 46, a pair of drive means (not shown) connected to both ends of each moving block 46 is driven synchronously. The moving block 46 can be moved to a position where the panel to be inspected can be clamped by synchronously driving the pair of driving means.

一方、液晶パネル供給部10は、供給された液晶パネル48を待機させるサブテーブル(図1で参照符号20を付記される。)が設けられ、サブテーブル20に待機中である液晶パネル48は、移送装置40によって検査部30にローディングされるように構成され、移送装置40によって再び検査テーブルからアンローディングされて液晶パネル供給部10に復帰するように構成され、移動ブロック46は駆動手段(図示せず)によって検査するパネルをクランピングできる位置まで移動された後、エアシリンダー47cによって上、下対称になった方向に前進後退移動されてグリッパー47aに液晶パネルを嵌め方式によってグリップするように構成される。   On the other hand, the liquid crystal panel supply unit 10 is provided with a sub-table (referred to by reference numeral 20 in FIG. 1) that waits for the supplied liquid crystal panel 48. The transfer device 40 is configured to be loaded into the inspection unit 30, and is configured to be unloaded from the inspection table again by the transfer device 40 and returned to the liquid crystal panel supply unit 10, and the moving block 46 is a driving means (not shown). After the panel to be inspected is moved to a position where it can be clamped by the air cylinder 47c, it is moved forward and backward by the air cylinder 47c in a symmetrical direction, and the liquid crystal panel is fitted to the gripper 47a and gripped by the fitting method. The

前述したように構成された状態で作業者は、検査する液晶パネルを液晶パネル供給部10のサブテーブル20に安着させた後、作動スイッチを押す。そして、作動スイッチによって制御部は制御信号を発生し、制御信号に応じてエアシリンダーが作動されて液晶パネル供給部10のサブテーブル20に安着された液晶パネルを四角移動部材43に供給させる位置に待機する。   In the state configured as described above, the operator places the liquid crystal panel to be inspected on the sub-table 20 of the liquid crystal panel supply unit 10, and then presses the operation switch. The control unit generates a control signal by the operation switch, and the air cylinder is operated according to the control signal to supply the liquid crystal panel seated on the sub-table 20 of the liquid crystal panel supply unit 10 to the square moving member 43. To wait.

前述したように液晶パネル供給部10のサブテーブル20に安着された液晶パネル48が待機状態を成せば、サブテーブル20に供給された液晶パネル48のサイズ及び種類についての情報が制御部(図示せず)に伝達される。そうすれば、制御部(図示せず)の制御信号に応じて液晶パネル48のサイズ及び種類に対応する位置に移動ブロック46が移動される。   As described above, when the liquid crystal panel 48 seated on the sub-table 20 of the liquid crystal panel supply unit 10 is in a standby state, information on the size and type of the liquid crystal panel 48 supplied to the sub-table 20 is transferred to the control unit (FIG. (Not shown). If it does so, the movement block 46 will be moved to the position corresponding to the size and kind of the liquid crystal panel 48 according to the control signal of a control part (not shown).

そして、エアシリンダーのような移動手段47cによって上、下対称の形態に前進後退移動されるグリッパー47aに液晶パネル上、下端側を嵌め方式によって取る。   Then, the upper and lower ends of the liquid crystal panel are fitted into a gripper 47a that is moved forward and backward in a symmetrical manner by a moving means 47c such as an air cylinder.

その後、グリップ手段47の一側に設けられたセンサーによって液晶パネル48のグリップ状態が確認されれば、再びエアシリンダーの動作によってサブテーブル20は後進して初期状態に待機し、検査部30の検査テーブルもまた前進して検査初期状態に待機する。   Thereafter, when the grip state of the liquid crystal panel 48 is confirmed by a sensor provided on one side of the grip means 47, the sub-table 20 moves backward again by the operation of the air cylinder and waits in the initial state, and the inspection unit 30 inspects. The table also moves forward and waits for the initial test state.

以上で調べた従来の液晶パネル検査装置のパネル移送装置40によれば、四角移動部材43上に一対の移動ブロック46が存在し、一対の移動ブロック46を移動させるために二対の駆動手段(図示せず)が備えられ、装備の構造が複雑で装備製作コストが高まるといった問題点がある。   According to the panel transfer device 40 of the conventional liquid crystal panel inspection apparatus examined above, there are a pair of moving blocks 46 on the square moving member 43, and two pairs of driving means (in order to move the pair of moving blocks 46 ( (Not shown), and there is a problem that the equipment structure is complicated and the equipment manufacturing cost increases.

また、液晶パネル48をグリップするためにグリッパー47aを移動させるさらに他の駆動手段47cが備えられることによって、駆動手段を駆動するための駆動電力の消耗が増加して装置の重さが増加するといった短所がある。   In addition, since another driving means 47c for moving the gripper 47a to grip the liquid crystal panel 48 is provided, the consumption of driving power for driving the driving means is increased and the weight of the apparatus is increased. There are disadvantages.

また、駆動手段47cをエアシリンダーから構成する場合、エアを供給する別途のライン及びセンサーが備えられなければならないので、装備が複雑で制御が煩わしい短所が発生する。そして、各グリッパー47aを駆動するエアシリンダーに同一なエアを供給しなければならないが、もし同一なエアが供給されない場合、液晶パネル48を正確にグリップできない場合が発生し得る。   Further, when the driving means 47c is composed of an air cylinder, a separate line and sensor for supplying air must be provided, which causes a disadvantage that the equipment is complicated and the control is troublesome. The same air must be supplied to the air cylinders that drive the grippers 47a. If the same air is not supplied, the liquid crystal panel 48 may not be accurately gripped.

また、移動ブロック46の両端に連結される駆動手段(図示せず)を同期駆動させてそれぞれの移動ブロック46を移動させるので、一対の駆動手段に含まれる一対のモーターの出力が相異なる場合、移動ブロック46の両端に位置差異が生じて両側のガイドに沿って移動する移動ブロックが破損されるという問題点が発生し、装置が誤動作できるだけではなく、移送装置全体が破壊されるという問題点が発生する。   Further, since the driving means (not shown) connected to both ends of the moving block 46 are synchronously driven to move the respective moving blocks 46, when the outputs of the pair of motors included in the pair of driving means are different, There is a problem in that a position difference occurs at both ends of the moving block 46 and the moving blocks moving along the guides on both sides are damaged, and the apparatus not only malfunctions but also the entire transfer device is destroyed. appear.

本発明の技術的課題は、パネルのサイズによって移動されるクランピングキャリアーを一対のカンチレバーから構成して全体的な構造が簡単なカンチレバーパネル移送装置を提供することである。   The technical problem of the present invention is to provide a cantilever panel transfer device having a simple overall structure by constituting a clamping carrier moved according to the size of the panel from a pair of cantilevers.

本発明の他の技術的課題は、一対のクランピングキャリアーを移動させるためのキャリアー移動手段を一対のみ備えることによって、構成手段のレイアウトが簡単になり、コストと駆動電力を低めさせるカンチレバーパネル移送装置を提供することである。   Another technical object of the present invention is to provide a cantilever panel transfer device that includes only one pair of carrier moving means for moving a pair of clamping carriers, thereby simplifying the layout of the constituent means and reducing cost and driving power. Is to provide.

本発明のさらに他の技術的課題は、ホルダーの形状を多様に構成して液晶パネル供給部の誤動作によって垂直方向にパネルが過移動される場合に発生するパネルの損傷を防止できるカンチレバーパネル移送装置を提供することである。   Still another technical problem of the present invention is that the cantilever panel transfer device can prevent the panel from being damaged when the panel is excessively moved in the vertical direction due to a malfunction of the liquid crystal panel supply unit by configuring the holder in various shapes. Is to provide.

前述した他の技術的課題を達成するための本発明の一実施形態によるカンチレバーパネル移送装置を成す構成手段は、液晶パネル検査装置のサブテーブルとワークテーブルとの間で被検査パネルを移送するパネル移送装置であって、所定の駆動手段によってサブテーブルとワークテーブルとの間を往来する移動体と、この移動体の上面に設けられる一対のキャリアー移動手段と、キャリアー移動手段によって移動体の長手方向に往復運動できる移動ブロックと、移動ブロックと一端が結合されてキャリアー移動手段によって移動され、互いに平行に向き合っている二つのカンチレバークランプキャリアーと、二つのカンチレバークランプキャリアーにそれぞれ少なくとも二つ以上結合されて移送されるパネルをクランピングするグリップ手段と、を含んで成ることを特徴とする。   In order to achieve the other technical problems described above, the constituent means of the cantilever panel transfer device according to an embodiment of the present invention is a panel for transferring a panel to be inspected between a sub-table and a work table of a liquid crystal panel inspection device. A transfer device that moves between a sub table and a work table by a predetermined driving means, a pair of carrier moving means provided on the upper surface of the moving body, and a longitudinal direction of the moving body by the carrier moving means A movable block capable of reciprocating, a movable block coupled to one end of the movable block and moved by the carrier moving means, and coupled to at least two cantilever clamp carriers facing each other in parallel. Grip means for clamping the panel to be transferred Characterized by comprising.

また、それぞれのキャリアー移動手段は、移動体の長手方向に設けられる一対のガイドレールと、ガイドレールの間に設けられるボールスクリューと、ボールスクリューを駆動するモーターと、を含んで構成され、移動ブロックは、ガイドレールと噛み合って摺動摺動するガイド結合部材と、ボールスクリューに結合されて連動されるナット結合体と、を含んで成ることを特徴とする。   Each carrier moving means includes a pair of guide rails provided in the longitudinal direction of the moving body, a ball screw provided between the guide rails, and a motor for driving the ball screw. Includes a guide coupling member that is slidably slidably engaged with the guide rail, and a nut coupling body that is coupled to and coupled with the ball screw.

また、移動ブロックと移動ブロック端が結合されるカンチレバークランプキャリアーの上面にはリブ(rib)がさらに備えられることが好ましく、このリブは、カンチレバークランプキャリアーの他端で移動ブロックに行くほど厚さと幅が増加することが好ましい。   Further, it is preferable that a rib is provided on the upper surface of the cantilever clamp carrier to which the moving block and the moving block end are coupled. The rib has a thickness and a width so as to go to the moving block at the other end of the cantilever clamp carrier. Is preferably increased.

また、移動ブロックは、カンチレバークランプキャリアーと連結される上部移動ブロックと上部移動ブロックの下部に結合される下部移動ブロックとより成り、上部移動ブロックは下部移動ブロック上で微細回転が可能に結合されることを特徴とする。   The moving block includes an upper moving block coupled to the cantilever clamp carrier and a lower moving block coupled to a lower portion of the upper moving block. The upper moving block is coupled to the lower moving block so as to allow fine rotation. It is characterized by that.

また、上部移動ブロックと下部移動ブロックのそれぞれには、垂直線上に対応する一つの回転ホールと二つの微細調整ホールが形成され、回転ホールには回転ボルトが結合され、微細調整ホールには微細調整ボルトが結合されることを特徴とする。   Also, each of the upper moving block and the lower moving block has one rotating hole and two fine adjustment holes corresponding to the vertical line, and a rotating bolt is connected to the rotating hole, and fine adjustment is made to the fine adjustment hole. A bolt is connected.

また、二つの微細調整ホールは、微細調整ボルトとねじ結合できるようにねじ山が形成され、微細調整ボルトが移動できるように長く曲がった形状を有することを特徴とする。   Further, the two fine adjustment holes are formed with a thread so that they can be screw-coupled with the fine adjustment bolt, and have a long bent shape so that the fine adjustment bolt can move.

また、上部移動ブロックの側面には、少なくとも二つ以上の補正ピンがさらに備えられることが好ましい。従って、上部移動ブロックに結合されるカンチレバークランプキャリアーの水平度などを補正できる。   In addition, it is preferable that at least two or more correction pins are further provided on the side surface of the upper moving block. Therefore, the level of the cantilever clamp carrier coupled to the upper moving block can be corrected.

また、グリップ手段は、カンチレバークランプキャリアーの自由端側に固定されるように設けられる第1のグリップ手段と、第1のグリップ手段に所定間隔内側に離隔されるようにカンチレバークランプキャリアーの一側面に長手方向に形成された溝に沿って受動に移動可能に設けられる第2のグリップ手段と、を含んで成ることを特徴とする。   Further, the grip means is provided on one side surface of the cantilever clamp carrier so as to be spaced apart from the first grip means by a predetermined distance inside the first grip means so as to be fixed to the free end side of the cantilever clamp carrier. And second grip means provided passively movable along a groove formed in the longitudinal direction.

また、グリップ手段は、カンチレバークランプキャリアーの自由端側に固定されるように設けられる第1のグリップ手段と、第1のグリップ手段に所定間隔離隔されるようにカンチレバークランプキャリアーの一側面に長手方向に沿って自動に移動可能に設けられる第2のグリップ手段と、を含んで成ることを特徴とする。   The grip means includes a first grip means provided so as to be fixed to the free end side of the cantilever clamp carrier, and a longitudinal direction on one side surface of the cantilever clamp carrier so as to be separated from the first grip means by a predetermined distance. And a second grip means provided so as to be movable automatically along the line.

また、グリップ手段は、カンチレバークランプキャリアーの自由端側に長手方向に形成された溝に沿って受動に移動可能に設けられる第1のグリップ手段と、第1のグリップ手段に所定間隔内側に離隔されるようにカンチレバークランプキャリアーの一側面に長手方向に沿って自動又は受動に移動可能に設けられる第2のグリップ手段と、を含んで成ることを特徴とする。   The grip means is separated from the first grip means by a predetermined distance inside the first grip means provided so as to be passively movable along a groove formed in the longitudinal direction on the free end side of the cantilever clamp carrier. And a second grip means provided on one side surface of the cantilever clamp carrier so as to be automatically or passively movable along the longitudinal direction.

また、テンション維持部は、グリップベースと支持体とを結合する一対の結合バーと、結合バーの外周面に設けられてグリップベースについて支持体のテンションを維持させるスプリングと、を含んで成ることを特徴とする。   In addition, the tension maintaining unit includes a pair of coupling bars that couple the grip base and the support, and a spring that is provided on the outer peripheral surface of the coupling bar and maintains the tension of the support with respect to the grip base. Features.

また、カンチレバークランプキャリアーの他端側の上面には、長手方向に一対の溝がさらに形成され、グリップベースを一対の溝のうちに内側溝に固定させるか、或いは内側溝とボルト締めによって受動移動が可能に結合されることを特徴とする。   In addition, a pair of grooves are further formed in the longitudinal direction on the upper surface of the other end of the cantilever clamp carrier, and the grip base is fixed to the inner groove of the pair of grooves, or passively moved by tightening the inner groove and bolts. Are connected to each other.

また、支持体の両側面には、カンチレバークランプキャリアーの中央部分まで延長される第1及び第2の感知対象バーがさらに備えられ、カンチレバークランプキャリアーには、第1の感知対象バーを通じてパネルがクランピングされたかを感知するパネル有無センサーと、第2の感知対象バーを通じてパネルに過度な力が加えられるかを感知するパネル損傷防止センサーがさらに備えられることを特徴とする。   Further, first and second sensing bars extending to the center portion of the cantilever clamp carrier are further provided on both side surfaces of the support, and the panel is clamped to the cantilever clamp carrier through the first sensing bar. A panel presence / absence sensor that senses whether the panel has been pinged and a panel damage prevention sensor that senses whether excessive force is applied to the panel through the second sensing target bar are further provided.

また、パネル損傷防止センサーは、カンチレバークランプキャリアーの上面に長手方向に形成された一対の溝のうちに外側溝に設けられることを特徴とする。   In addition, the panel damage prevention sensor is provided in an outer groove of a pair of grooves formed in the longitudinal direction on the upper surface of the cantilever clamp carrier.

また、カンチレバークランプキャリアーの一端側に結合されるグリップ手段を自動に移動させるために、カンチレバークランプキャリアーの長手方向に一対のL/Mガイドを設け、一対のL/Mガイドの間にスクリューシャフトと、スクリューシャフトを駆動するモーターを設け、グリップベースの下部面には、スクリューシャフトとねじ結合されるナットとL/Mガイドと噛み合うガイド結合体と、が設けられることを特徴とする。   In order to automatically move the grip means coupled to one end of the cantilever clamp carrier, a pair of L / M guides are provided in the longitudinal direction of the cantilever clamp carrier, and a screw shaft and a pair of L / M guides are provided between the pair of L / M guides. A motor for driving the screw shaft is provided, and a lower surface of the grip base is provided with a nut that is screwed to the screw shaft and a guide coupling body that meshes with the L / M guide.

また、ホルダーは、パネルと接触する一端に形成される接触部が凹溝形状であるか、或いはL字形状であることを特徴とし、接触部には、ラバー(rubber)がさらに備えられることが好ましい。   In addition, the holder is characterized in that a contact portion formed at one end in contact with the panel has a concave groove shape or an L shape, and the contact portion further includes a rubber. preferable.

前述したような構成及び作用そして好適な実施形態を有する本発明のカンチレバーパネル移送装置200によれば、検査するパネルのサイズによって移動されるクランピングキャリアーをカンチレバーから構成することによって、パネル移送装置200の構成を簡単にしてコストを低減させることができる効果がある。   According to the cantilever panel transfer device 200 of the present invention having the above-described configuration, operation, and preferred embodiment, the panel transfer device 200 is configured by forming the clamping carrier moved according to the size of the panel to be inspected from the cantilever. There is an effect that the configuration can be simplified and the cost can be reduced.

また、クランピングキャリアーを駆動するために使用されるキャリアー移動手段220を二つのみ使用することによって、コストと電力消費とを低減させる効果がある。   Further, by using only two carrier moving means 220 used for driving the clamping carrier, there is an effect of reducing cost and power consumption.

また、本発明はカンチレバークランプキャリアーを使用してパネルを移送するので、構成部品のサイズと重さが縮小して製作コストを低減させる長所がある。   In addition, since the present invention uses the cantilever clamp carrier to transfer the panel, there is an advantage that the size and weight of the components are reduced and the manufacturing cost is reduced.

また、移送するパネルをクランピングするホルダーを駆動手段によって動作させないので、装備構成が簡単で電力消耗を減少させることができる長所がある。   In addition, since the holder for clamping the panel to be transferred is not operated by the driving means, there is an advantage that the equipment configuration is simple and the power consumption can be reduced.

また、カンチレバークランプキャリアー上に所定位置に位置するようにグリップ手段を自動に移動させることができて、多様なサイズを有するパネルについて迅速に対応してクランピングできる長所がある。   In addition, the grip means can be automatically moved so as to be positioned at a predetermined position on the cantilever clamp carrier, and there is an advantage that panels having various sizes can be quickly responded and clamped.

また、カンチレバークランプキャリアーの端部に結合された上部移動ブロックが下部移動ブロック上で微細回転が可能なようにしてカンチレバークランプキャリアーのθ軸のセッティングが可能である。従って、多様な形のパネルに対応でき、多様な角度に供給されるパネルに対応できる効果がある。   The θ axis of the cantilever clamp carrier can be set so that the upper moving block coupled to the end of the cantilever clamp carrier can be finely rotated on the lower moving block. Therefore, it is possible to deal with various types of panels, and it is possible to deal with panels supplied at various angles.

また、ホルダーの形状をL字形状から構成することによって、液晶パネル供給部によってパネル移送装置にパネルが供給される場合、液晶パネル供給部の誤動作によって垂直方向にパネルが過移動されるとき、ホルダーの形状によってパネルが破損されるといった問題点を解決できる。   Further, by configuring the holder in an L shape, when the panel is supplied to the panel transfer device by the liquid crystal panel supply unit, when the panel is excessively moved in the vertical direction due to the malfunction of the liquid crystal panel supply unit, the holder It is possible to solve the problem that the panel is damaged by the shape.

以下、添付した図面を参照して前述したような構成手段より成っている本発明のカンチレバーパネル移送装置200に関する作用及び好適な実施形態を詳細に説明する。   Hereinafter, operations and preferred embodiments of the cantilever panel transfer device 200 according to the present invention including the above-described components will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図3は、液晶パネル検査装置のサブテーブルとワークテーブルとの間で被検査パネルを移送するカンチレバーパネル移送装置200を示す構成図である。   FIG. 3 is a configuration diagram showing a cantilever panel transfer device 200 that transfers a panel to be inspected between a sub-table and a work table of the liquid crystal panel inspection device.

図3に示されたように、本発明のカンチレバーパネル移送装置200は、所定の駆動手段(図示せず)によってレール211に沿ってサブテーブルとワークテーブルとの間を往来する移動体210と、移動体210の上面に設けられるキャリアー移動手段220と、キャリアー移動手段220によって移動される移動ブロック230と、移動ブロック230と一端が連結される一対のカンチレバークランプキャリアー240と、カンチレバークランプキャリアーの所定部分に固定されて結合されるか、或いは自動又は受動に移動可能に設けられるグリップ手段250,260と、を含んで成る。   As shown in FIG. 3, the cantilever panel transfer device 200 of the present invention includes a moving body 210 that moves between a sub-table and a work table along a rail 211 by a predetermined driving means (not shown), Carrier moving means 220 provided on the upper surface of the moving body 210, a moving block 230 moved by the carrier moving means 220, a pair of cantilever clamp carriers 240 connected at one end to the moving block 230, and a predetermined portion of the cantilever clamp carrier And grip means 250 and 260 which are fixedly coupled to each other, or provided to be movable automatically or passively.

移動体210は、長方形の板状構造になっており、両端はワークテーブルとサブテーブルとの間に長く形成されたレール211に沿って移動できるように設けられている。レール211に沿って移動される移動体210は、所定の駆動手段(図示せず)によってサブテーブルとワークテーブルとの間を往復移動できる。所定の移動手段(図示せず)とレール211は、従来のパネル移送装置と類似した構造を有して動作される。   The moving body 210 has a rectangular plate-like structure, and both ends thereof are provided so as to move along a rail 211 that is formed long between the work table and the sub-table. The moving body 210 moved along the rail 211 can reciprocate between the sub table and the work table by a predetermined driving means (not shown). The predetermined moving means (not shown) and the rail 211 are operated with a structure similar to a conventional panel transfer device.

そして、移動体210の上面には、一対のカンチレバークランプキャリアー240を移動させることができる一対のキャリアー移動手段220が設けられている。キャリアー移動手段220は、二つのカンチレバークランプキャリアー240を移動させるために移動体210の上面に対称に設けられる。   A pair of carrier moving means 220 that can move the pair of cantilever clamp carriers 240 is provided on the upper surface of the moving body 210. The carrier moving means 220 is provided symmetrically on the upper surface of the moving body 210 in order to move the two cantilever clamp carriers 240.

また、一対のキャリアー移動手段220には、移動ブロック230が結合されている。そして、移動ブロック230にカンチレバークランプキャリアー240の一端が結合される。   A moving block 230 is coupled to the pair of carrier moving means 220. Then, one end of the cantilever clamp carrier 240 is coupled to the moving block 230.

従って、キャリアー移動手段220によって移動ブロック230は移動体210の長手方向に往復運動でき、移動ブロック230に結合されるカンチレバークランプキャリアーもやはり移動体210の長手方向に往復移動できる。   Therefore, the moving block 230 can be reciprocated in the longitudinal direction of the moving body 210 by the carrier moving means 220, and the cantilever clamp carrier coupled to the moving block 230 can also be reciprocated in the longitudinal direction of the moving body 210.

図4には、移動ブロック230とキャリアー移動手段220の結合構造が示されている。以下ではそれぞれのカンチレバークランプキャリアー240と結合された一対の移動ブロック230とキャリアー移動手段220はそれぞれ同一な構造と動作を行うので、一側のカンチレバークランプキャリアー240と結合された移動ブロック230とキャリアー移動手段220についてのみ説明する。   FIG. 4 shows a coupling structure of the moving block 230 and the carrier moving means 220. Hereinafter, since the pair of moving blocks 230 and the carrier moving means 220 coupled to each cantilever clamp carrier 240 perform the same structure and operation, the moving block 230 coupled to one cantilever clamp carrier 240 and the carrier movement Only the means 220 will be described.

図4に示されたように、キャリアー移動手段220は、移動体210の長手方向に並んで設けられる一対のガイドレール221と、ガイドレール221の間に設けられるボールスクリュー223と、ボールスクリュー223を駆動するサーボモーター225と、を含んで構成される。そして、キャリアー移動手段220によって移動体210の長手方向に移動される移動ブロック230はガイドレール221と噛み合って摺動摺動するガイド結合部材231と、ボールスクリュー223に結合されて連動されるためにねじ山が形成されたナット結合体233と、を含んで構成される。   As shown in FIG. 4, the carrier moving unit 220 includes a pair of guide rails 221 provided side by side in the longitudinal direction of the moving body 210, a ball screw 223 provided between the guide rails 221, and a ball screw 223. And a servo motor 225 for driving. The moving block 230 moved in the longitudinal direction of the moving body 210 by the carrier moving means 220 is coupled to and interlocked with the guide coupling member 231 that engages and slides on the guide rail 221 and the ball screw 223. And a nut coupling body 233 formed with a screw thread.

前述したような構造で、パネルサイズに対応して一対のカンチレバークランプキャリアー240を移動させるためには、サーボモーター225を駆動してボールスクリュー223を回転させる。そうすれば、ボールスクリュー223にナット結合体233が連動されて移動ブロック230がガイドレール221に沿って移動できる。   In order to move the pair of cantilever clamp carriers 240 in accordance with the panel size, the servo motor 225 is driven to rotate the ball screw 223. Then, the nut combined body 233 is interlocked with the ball screw 223 so that the moving block 230 can move along the guide rail 221.

すなわち、前述したように移動ブロック230がガイドレール221に沿って移動されれば、移動ブロック230と一端が結合された一対のカンチレバークランプキャリアー240はパネルサイズに対応してクランピングポイントまで移動できる。   That is, if the moving block 230 is moved along the guide rail 221 as described above, the pair of cantilever clamp carriers 240 having one end coupled to the moving block 230 can move to the clamping point corresponding to the panel size.

また、一対のカンチレバークランプキャリアー240は、図3に示されたように、互いに平行に向き合うことができるように設けられるために一対の移動ブロック230にそれぞれ一端が結合されている。   Further, as shown in FIG. 3, the pair of cantilever clamp carriers 240 are provided so that they can face each other in parallel, so that one end is coupled to the pair of moving blocks 230.

一方、図3又は図4に示されたように、移動ブロック230は、カンチレバークランプキャリアー240と連結される上部移動ブロック230aと上部移動ブロック230aの下部に結合される下部移動ブロック230bとより成る。そして、上部移動ブロック230aは下部移動ブロック230b上で微細回転が可能なように結合されている。このように下部移動ブロック230b上に結合される上部移動ブロック230aを微細回転させることができるので、供給される多様な種類のパネルについても対応できる。   Meanwhile, as shown in FIG. 3 or 4, the moving block 230 includes an upper moving block 230a coupled to the cantilever clamp carrier 240 and a lower moving block 230b coupled to the lower portion of the upper moving block 230a. The upper moving block 230a is coupled on the lower moving block 230b so as to be finely rotated. As described above, since the upper moving block 230a coupled to the lower moving block 230b can be finely rotated, various types of supplied panels can be handled.

ここで、カンチレバークランプキャリアー240に結合される上部移動ブロック230aが下部移動ブロック230b上で微細回転できるようにするため、上部移動ブロック230aと下部移動ブロック230bのそれぞれには垂直線上に対応する一つの回転ホール233a,233bと二つの微細調整ホール232a,232bが形成され、回転ホール233a,233bには回転ボルト234が結合され、微細調整ホール232a,232bには微細調整ボルト235が結合されるようにする。   Here, in order to allow the upper moving block 230a coupled to the cantilever clamp carrier 240 to finely rotate on the lower moving block 230b, each of the upper moving block 230a and the lower moving block 230b has one corresponding vertical line. The rotation holes 233a and 233b and the two fine adjustment holes 232a and 232b are formed, the rotation bolt 234 is coupled to the rotation holes 233a and 233b, and the fine adjustment bolt 235 is coupled to the fine adjustment holes 232a and 232b. To do.

すなわち、下部移動ブロック230bに回転ホール233bと微細調整ホール232bの二つを設け、下部移動ブロック230b上に結合される上部移動ブロック230aにも下部移動ブロック230b上に形成された回転ホール233bと微細調整ホール232bの対応する位置に回転ホール233aと微細調整ホール232aを形成させる。   That is, the lower movement block 230b is provided with two rotation holes 233b and a fine adjustment hole 232b, and the upper movement block 230a coupled to the lower movement block 230b is also formed with the rotation hole 233b formed on the lower movement block 230b. A rotation hole 233a and a fine adjustment hole 232a are formed at positions corresponding to the adjustment hole 232b.

そして、上部移動ブロック230aと下部移動ブロック230b上に形成された回転ホール233a,233bに回転ボルト234を結合させ、微細調整ホール232a,232bには微細調整ボルト235を結合させる。   Then, the rotating bolt 234 is coupled to the rotating holes 233a and 233b formed on the upper moving block 230a and the lower moving block 230b, and the fine adjusting bolt 235 is coupled to the fine adjusting holes 232a and 232b.

従って、二つの微細調整ホール232a,232bは、微細調整ボルト235とねじ結合できるようにねじ山が形成され、微細調整ボルト235が移動できるように長く曲がった形状を有している。   Accordingly, the two fine adjustment holes 232a and 232b are threaded so as to be screw-coupled with the fine adjustment bolt 235, and have a long bent shape so that the fine adjustment bolt 235 can move.

前述したような構造で、微細調整ホール232a,232bに結合された微細調整ボルト235と回転ホール233a,233bと、に結合された回転ボルト234の締め力を解除した後、カンチレバークランプキャリアー240を所定角度回転させれば、カンチレバークランプキャリアー240の端部に結合された上部移動ブロック230aが回転ボルト234を中心に回転し、長く曲がった形状を有する微細調整ホール232a,232bが微細調整ボルト235に沿って滑る。   After releasing the tightening force of the rotating bolts 234 connected to the fine adjusting bolts 235 and the rotating holes 233a and 233b connected to the fine adjusting holes 232a and 232b with the above-described structure, the cantilever clamp carrier 240 is fixed to the predetermined position. If the angle is rotated, the upper moving block 230a coupled to the end of the cantilever clamp carrier 240 rotates about the rotating bolt 234, and the fine adjustment holes 232a and 232b having long bent shapes follow the fine adjustment bolt 235. Slip.

そして、カンチレバークランプキャリアー240を所望の角度に回転させた後、上部移動ブロック230aの微細調整ホール232aと下部移動ブロック230bの微細調整ホール232bに微細調整ボルト235とを結合して堅固に固定することによってカンチレバークランプキャリアー240のθ軸のセッティングが完了される。   Then, after rotating the cantilever clamp carrier 240 to a desired angle, the fine adjustment bolt 235 is coupled and firmly fixed to the fine adjustment hole 232a of the upper moving block 230a and the fine adjustment hole 232b of the lower moving block 230b. Thus, the setting of the θ axis of the cantilever clamp carrier 240 is completed.

前述したように構成されたカンチレバークランプキャリアー240のθ軸のセッティングによって、多様な形のパネルに対応でき、多様な角度に供給されるパネルに対応できる。   By setting the θ axis of the cantilever clamp carrier 240 configured as described above, it is possible to deal with various types of panels, and it is possible to deal with panels supplied at various angles.

一方、図3及び図4に示されたように、上部移動ブロック230aの側面には少なくとも二つ以上の補正ピン236がさらに備えられることが好ましい。上部移動ブロック230aに結合されるカンチレバークランプキャリアー240は、製作過程で発生する誤差によって完全な水平度を維持できない場合が発生できる。この場合、補正ピン236を用いて上部移動ブロック230a上に結合されたカンチレバークランプキャリアー240の水平度などの誤差を補正できる。   Meanwhile, as shown in FIGS. 3 and 4, it is preferable that at least two or more correction pins 236 are further provided on the side surface of the upper moving block 230a. The cantilever clamp carrier 240 coupled to the upper moving block 230a may not be able to maintain perfect levelness due to an error generated in the manufacturing process. In this case, errors such as the level of the cantilever clamp carrier 240 coupled on the upper moving block 230a can be corrected using the correction pin 236.

他方、移動ブロック230とこの移動ブロック230に一端が結合されるカンチレバークランプキャリアー240の上面には図5に示されたように、リブ(rib)270を設けることが好ましい。前述したようにリブ270をさらに備えることによって、カンチレバークランプキャリアー240と移動ブロック230の結合をさらに堅固にし、移動ブロック230と結合されるカンチレバークランプキャリアー240の固定端側で受ける応力を分散させることができる。   On the other hand, it is preferable to provide a rib 270 on the upper surface of the moving block 230 and the cantilever clamp carrier 240 having one end coupled to the moving block 230, as shown in FIG. As described above, by further providing the rib 270, the coupling between the cantilever clamp carrier 240 and the moving block 230 can be further strengthened, and the stress received on the fixed end side of the cantilever clamp carrier 240 coupled with the moving block 230 can be dispersed. it can.

ここで、カンチレバークランプキャリアー240に設けられるグリップ手段250,260に検査パネルがクランピングされる場合、カンチレバークランプキャリアー240の自由端側よりは移動ブロック230側である固定側に行くほどパネルの荷重による応力が増加する。   Here, when the inspection panel is clamped to the grip means 250 and 260 provided on the cantilever clamp carrier 240, the load on the panel increases depending on the fixed side which is the moving block 230 side rather than the free end side of the cantilever clamp carrier 240. Stress increases.

従って、リブ270はカンチレバークランプキャリアー240の他端で移動ブロック230に行くほど厚さと幅が増加することが好ましい。   Therefore, the rib 270 preferably increases in thickness and width toward the moving block 230 at the other end of the cantilever clamp carrier 240.

一方、二つのカンチレバークランプキャリアー240には移送されるパネルをクランピング(clamping)できるグリップ(grip)手段が結合される。二つのカンチレバークランプキャリアー240に結合されるグリップ手段250,260は、移送されるパネルをクランピングするために向き合うことができるように設けられる。   On the other hand, the two cantilever clamp carriers 240 are coupled with grip means for clamping a panel to be transferred. Grip means 250, 260 coupled to the two cantilever clamp carriers 240 are provided so that they can be faced to clamp the panels to be transferred.

前述したように、移送されるパネルをクランピングするためにカンチレバークランプキャリアー240に結合されるグリップ手段250,260は、カンチレバークランプキャリアー240のそれぞれに少なくとも二つ以上結合されて固定又は移動可能に設けられる。すなわち、グリップ手段250,260は、移送するパネルのサイズに対応できるように少なくとも一つのグリップ手段がカンチレバークランプキャリアー240の長手方向に移動できるように設けられる。   As described above, the grip means 250 and 260 coupled to the cantilever clamp carrier 240 for clamping the panel to be transferred are coupled to each of the cantilever clamp carriers 240 so as to be fixed or movable. It is done. That is, the grip means 250 and 260 are provided such that at least one grip means can move in the longitudinal direction of the cantilever clamp carrier 240 so as to correspond to the size of the panel to be transferred.

本発明でのグリップ手段250,260は、図5に示されたように、パネル移送装置200の構造を簡単にするためにそれぞれのカンチレバークランプキャリアー240が二つづつ設けられる。   As shown in FIG. 5, the grip means 250 and 260 according to the present invention is provided with two cantilever clamp carriers 240 for simplifying the structure of the panel transfer device 200.

このグリップ手段250,260は、固定されるか、或いは移動可能にカンチレバークランプキャリアー240に設けられる。従って、カンチレバークランプキャリアー240の自由端側に設けられるグリップ手段250を第1のグリップ手段250、第1のグリップ手段250と離隔されるようにカンチレバークランプキャリアー240の一側面の所定位置に設けられるグリップ手段260を第2のグリップ手段260というとき、次の通り設けられることができる。   The grip means 250 and 260 are fixed to the cantilever clamp carrier 240 or movable. Accordingly, the grip means 250 provided on the free end side of the cantilever clamp carrier 240 is provided at a predetermined position on one side surface of the cantilever clamp carrier 240 so as to be separated from the first grip means 250 and the first grip means 250. When means 260 is referred to as second grip means 260, it can be provided as follows.

すなわち、第1のグリップ手段250は、カンチレバークランプキャリアー240の自由端側に固定されるように設けられ、第2のグリップ手段260はカンチレバークランプキャリアー240の一側面に長手方向に形成された溝241に沿って受動に移動可能に設けられることができる。   That is, the first grip means 250 is provided so as to be fixed to the free end side of the cantilever clamp carrier 240, and the second grip means 260 is a groove 241 formed in the longitudinal direction on one side surface of the cantilever clamp carrier 240. Can be provided so as to be passively movable along.

また、第1のグリップ手段250は、カンチレバークランプキャリアー240の自由端側に固定されるように設けられ、第2のグリップ手段260はカンチレバークランプキャリアー240の一側面に長手方向に沿って自動に移動可能に設けられることができる。   The first grip means 250 is provided so as to be fixed to the free end side of the cantilever clamp carrier 240, and the second grip means 260 is automatically moved along the longitudinal direction on one side surface of the cantilever clamp carrier 240. Can be provided.

そして、第1のグリップ手段250は、カンチレバークランプキャリアー240の自由端側に長手方向に形成された溝に沿って受動に微細移動可能に設けられ、第2のグリップ手段260は、カンチレバークランプキャリアー240の一側面に長手方向に沿って自動又は受動に移動可能に設けられることができる。   The first grip means 250 is provided so as to be passively movable along a groove formed in the longitudinal direction on the free end side of the cantilever clamp carrier 240, and the second grip means 260 is provided on the cantilever clamp carrier 240. It can be provided on one side surface so as to be movable automatically or passively along the longitudinal direction.

図5は、第1のグリップ手段250は、固定されており、第2のグリップ手段260は受動移動可能に設けたグリップ手段250,260を示す。図5に示されたように第2のグリップ手段260は、カンチレバークランプキャリアー240上に長く形成された溝241に沿って受動に移動できて、移送するパネルサイズに対応して一定方向に移動された後ボルト265によって固定されることが好ましい。   FIG. 5 shows grip means 250, 260 in which the first grip means 250 is fixed and the second grip means 260 is provided so as to be passively movable. As shown in FIG. 5, the second grip means 260 can be moved passively along a groove 241 formed long on the cantilever clamp carrier 240 and moved in a certain direction corresponding to the size of the panel to be transferred. After that, it is preferably fixed by a bolt 265.

もしカンチレバークランプキャリアー240の自由端側に設けられる第1のグリップ手段250も受動に移動可能に設ければ、図6に示されたように第1のグリップ手段250をカンチレバークランプキャリアー240の一側面の所定位置に移動させた後ボルト251a締めによって固定できる。   If the first grip means 250 provided on the free end side of the cantilever clamp carrier 240 is also provided so as to be passively movable, the first grip means 250 is arranged on one side of the cantilever clamp carrier 240 as shown in FIG. After being moved to a predetermined position, it can be fixed by tightening the bolt 251a.

カンチレバークランプキャリアー240に固定されるか、又は受動に移動できるようにカンチレバークランプキャリアー240の自由端側に結合された第1のグリップ手段250の結合構造は図6で示す。   The coupling structure of the first gripping means 250 fixed to the cantilever clamp carrier 240 or coupled to the free end side of the cantilever clamp carrier 240 so as to be passively movable is shown in FIG.

図6に示されたように、カンチレバークランプキャリアー240の上面には、長手方向に並んで形成された一対の溝241,242が形成されている。そしてグリップ手段250は、一対の溝241,242のうちにクランピングされるパネル側に近い溝241(以下、“内側溝241”という。)に移動可能に設けられ、ボルト251a締めによって固定されるグリップベース251と、グリップベース251に一対のテンション(tension)維持部253によって結合される支持体255と、この支持体255の下部面に結合されるホルダー257と、を含んで成される。   As shown in FIG. 6, a pair of grooves 241 and 242 formed in the longitudinal direction are formed on the upper surface of the cantilever clamp carrier 240. The grip means 250 is movably provided in a groove 241 (hereinafter referred to as “inner groove 241”) near the panel side to be clamped in the pair of grooves 241 and 242 and is fixed by tightening a bolt 251a. The grip base 251 includes a support body 255 coupled to the grip base 251 by a pair of tension maintaining portions 253, and a holder 257 coupled to the lower surface of the support body 255.

そして、テンション維持部253は、図6に示されたように、グリップベース251と支持体255とを結合する一対の結合バー253″と、結合バー253″の外周面に設けられるスプリング253′と、から構成される。   As shown in FIG. 6, the tension maintaining unit 253 includes a pair of coupling bars 253 ″ for coupling the grip base 251 and the support body 255, and a spring 253 ′ provided on the outer peripheral surface of the coupling bar 253 ″. Is composed of.

前述したように、グリップベース251と支持体255との間にテンション維持部253を設けることによって、ホルダー257にパネルがクランピングされる場合、パネルに及ぶ力を吸収してパネルを保護できる。   As described above, by providing the tension maintaining portion 253 between the grip base 251 and the support body 255, when the panel is clamped to the holder 257, the force applied to the panel can be absorbed to protect the panel.

このパネルをクランピングするホルダー257は、パネルと接触する一端に特定形状の接触部257a,257bが設けられている。接触部257a,257bは、図7の(a)に示されたように凹溝形状をしているか、或いは図7の(b)に示されたようにL字形状をしている。そして、接触部257a,257bにはパネルがクランピングされた場合、パネルがかかれるか、或いは損傷されることを防止するために図7の(c)と図7の(d)に示されたように、ラバー(rubber)257cが備えられることが好ましい。   The holder 257 for clamping the panel is provided with contact portions 257a and 257b having specific shapes at one end in contact with the panel. The contact portions 257a and 257b have a concave groove shape as shown in FIG. 7 (a) or an L shape as shown in FIG. 7 (b). Then, when the panel is clamped to the contact portions 257a and 257b, as shown in FIG. 7C and FIG. 7D in order to prevent the panel from being scratched or damaged. Further, it is preferable that a rubber 257c is provided.

特に、ホルダーの形状をL字形状から構成するので、液晶パネル供給部によってパネル移送装置にパネルが供給される場合、液晶パネル供給部の誤動作によって垂直方向にパネルが過移動されるとき、ホルダーの形状によってパネルが破損するといった問題点を解決できる。   In particular, since the shape of the holder is an L shape, when the panel is supplied to the panel transfer device by the liquid crystal panel supply unit, when the panel is excessively moved in the vertical direction due to a malfunction of the liquid crystal panel supply unit, The problem that the panel is damaged by the shape can be solved.

一方、受動に移動できる第1のグリップ手段250が結合されるカンチレバークランプキャリアー240の所定部分には、第1のグリップ手段250のホルダー257にパネルがクランピングされたかを感知するセンサーと、カンチレバークランプキャリアー240のオーバー駆動にパネルに加えられる力が過度であるかを感知するセンサーがさらに設けられることが好ましい。   On the other hand, a predetermined part of the cantilever clamp carrier 240 to which the passively movable first grip means 250 is coupled includes a sensor for detecting whether the panel is clamped on the holder 257 of the first grip means 250, and a cantilever clamp. Preferably, a sensor is further provided for detecting whether an excessive force is applied to the panel when the carrier 240 is overdriven.

前述したようなセンサーを設けるために、支持体255の両側面には図6に示されたようにカンチレバークランプキャリアー240の中央部分まで延長される第1及び第2の感知対象バー258,259がさらに備えられる。そして、カンチレバークランプキャリアー240上には、第1の感知対象バー258を通じてパネルがクランピングされたかを感知するパネル有無センサー245と、第2の感知対象バー259を通じてパネルに過度な力が加えられるかを感知するパネル損傷防止センサー247がさらに備えられる。   In order to provide the sensor as described above, first and second sensing bars 258 and 259 extending to the central portion of the cantilever clamp carrier 240 as shown in FIG. Further provided. Then, on the cantilever clamp carrier 240, is a panel presence / absence sensor 245 for detecting whether the panel is clamped through the first sensing target bar 258 and whether an excessive force is applied to the panel through the second sensing target bar 259? A panel damage prevention sensor 247 is further provided.

一方、第2の感知対象バー259を通じてパネルに過度な力が加えられるかを感知するパネル損傷防止センサー247はカンチレバークランプキャリアー240の上面に長手方向に形成された一対の溝241,242のうちから外側溝242に移動可能に設けられることと同時にねじ結合されて固定される。   Meanwhile, the panel damage prevention sensor 247 that senses whether an excessive force is applied to the panel through the second sensing target bar 259 is provided from the pair of grooves 241 and 242 formed in the longitudinal direction on the upper surface of the cantilever clamp carrier 240. At the same time as being movably provided in the outer groove 242, it is screwed and fixed.

この構造で、カンチレバークランプキャリアー240の移動によってパネルがホルダー257にクランピングされれば、支持体255はテンション維持部253によって弾力を維持しつつ後退移動される。そうすれば、第1の感知対象バー258も同時後退移動されてパネル有無センサー245によって感知されることによって、パネルがクランピングされたことを制御部(図示せず)で認知する。   With this structure, if the panel is clamped to the holder 257 by the movement of the cantilever clamp carrier 240, the support 255 is moved backward while maintaining elasticity by the tension maintaining unit 253. Then, the first sensing object bar 258 is simultaneously moved backward and sensed by the panel presence / absence sensor 245, so that the control unit (not shown) recognizes that the panel is clamped.

ところで、カンチレバークランプキャリアー240がオーバー駆動されてパネルに過度な力が加えられる場合には、支持体255はテンション維持部253によって弾力を維持しつつ一定以上後退移動される。そうすれば、第2の感知対象バー259も同時後退移動されてパネル損傷防止センサー247によって感知されることによって、パネルに過度な力が加えられていることを制御部(図示せず)で認知する。   By the way, when the cantilever clamp carrier 240 is overdriven and an excessive force is applied to the panel, the support body 255 is moved backward by a certain amount while maintaining the elasticity by the tension maintaining unit 253. Then, the second sensing object bar 259 is also simultaneously moved backward and sensed by the panel damage prevention sensor 247, so that a control unit (not shown) recognizes that an excessive force is applied to the panel. To do.

一方、各カンチレバークランプキャリアー240に結合される二つのグリップ手段250,260は、図8又は図9に示されたように、カンチレバークランプキャリアー240の自由端側に結合される第1のグリップ手段250は固定に設けられ、カンチレバークランプキャリアー240の一側面の所定位置に位置するように移動可能に設けられる第2のグリップ手段260は自動に移動されるように設けられることができる。   On the other hand, the two grip means 250 and 260 coupled to each cantilever clamp carrier 240 are first grip means 250 coupled to the free end side of the cantilever clamp carrier 240 as shown in FIG. Is fixed, and the second grip means 260 movably provided so as to be located at a predetermined position on one side of the cantilever clamp carrier 240 can be provided so as to be automatically moved.

第2のグリップ手段260がカンチレバークランプキャリアー240の所定位置に移動可能に設けられるので、移送するパネルのサイズが変更されても迅速に対応できる。   Since the 2nd grip means 260 is provided in the predetermined position of the cantilever clamp carrier 240 so that a movement is possible, it can respond quickly even if the size of the panel to transfer is changed.

図8は、カンチレバークランプキャリアー240に結合されたグリップ手段250,260を示す斜視図である。図8に示されたように、カンチレバークランプキャリアー240の自由端側に結合された第1のグリップ手段250は、ねじボルト251a締めによってカンチレバークランプキャリアー240上の所定位置に固定される構造であり、第1のグリップ手段250と所定間隔離隔されてカンチレバークランプキャリアー240の一側面の所定位置に位置するように移動可能に設けられた第2のグリップ手段260は、移動手段280によって自動に移動させることができる構造である。そして、パネル有無センサー245とパネル損傷防止センサー247は第1のグリップ手段250が結合されたカンチレバークランプキャリアー240の周辺に備えられる。   FIG. 8 is a perspective view showing the gripping means 250, 260 coupled to the cantilever clamp carrier 240. As shown in FIG. 8, the first grip means 250 coupled to the free end side of the cantilever clamp carrier 240 is structured to be fixed at a predetermined position on the cantilever clamp carrier 240 by tightening the screw bolt 251a. The second grip means 260 provided so as to be located at a predetermined position on one side surface of the cantilever clamp carrier 240 and spaced apart from the first grip means 250 by a predetermined distance is automatically moved by the moving means 280. It is a structure that can. The panel presence / absence sensor 245 and the panel damage prevention sensor 247 are provided around the cantilever clamp carrier 240 to which the first grip means 250 is coupled.

図9は、カンチレバークランプキャリアー240の一端に結合された第2のグリップ手段260を自動に移動させるため備えられる移動手段280の構成部品を示す。   FIG. 9 shows the components of the moving means 280 provided for automatically moving the second grip means 260 coupled to one end of the cantilever clamp carrier 240.

図9に示されたように、カンチレバークランプキャリアー240の長手方向に一対のL/Mガイド281を設け、一対のL/Mガイド281の間にスクリューシャフト283とこのスクリューシャフト283を駆動するモーター285とを設ける。そして、自動に移動されるグリップベース251の下部面にはスクリューシャフト283とねじ結合されるナット263と、L/Mガイド281と噛み合うガイド結合体261が設けられる。   As shown in FIG. 9, a pair of L / M guides 281 is provided in the longitudinal direction of the cantilever clamp carrier 240, and a screw shaft 283 and a motor 285 that drives the screw shaft 283 between the pair of L / M guides 281. And provide. The lower surface of the grip base 251 that is automatically moved is provided with a nut 263 that is screwed to the screw shaft 283 and a guide coupling body 261 that meshes with the L / M guide 281.

この構造で、モーター285を駆動させてスクリューシャフト283を回転させれば、スクリューシャフト283とねじ結合されるナット263が連動されてグリップベース251は,L/Mガイド281に沿って摺動しながら移動される。従って、移送されるパネルのサイズに対応して第2のグリップ手段260を自動に移動させることができるので、多様なサイズのパネルに直ちに対応してパネルエッジ部分を迅速で堅固に固定できる。   In this structure, when the motor 285 is driven and the screw shaft 283 is rotated, the nut 263 that is screw-coupled with the screw shaft 283 is interlocked and the grip base 251 slides along the L / M guide 281. Moved. Accordingly, since the second grip means 260 can be automatically moved in accordance with the size of the panel to be transferred, the panel edge portion can be quickly and firmly fixed in response to various sizes of panels.

一方、自動に移動される第2のグリップ手段260は、前述した第1のグリップ手段250(受動に移動される第1のグリップ手段250)と同一な構造を有しているので構造説明を省略する。また、ホルダー257の形状も図7を参照して前述したので説明を省略する。   On the other hand, since the second grip means 260 that is automatically moved has the same structure as the first grip means 250 (the first grip means 250 that is passively moved), the description of the structure is omitted. To do. Further, since the shape of the holder 257 has been described above with reference to FIG.

以下では、前述したカンチレバーパネル移送装置を成す構成手段の動作によって移送されるパネルをグリップして移送する全体的な動作について調べる。   Hereinafter, the overall operation of gripping and transferring the panel to be transferred by the operation of the constituent means constituting the above-described cantilever panel transfer device will be examined.

まず、移送されるパネルのサイズに合うようにグリップ手段250,260をセッティングする。すなわち、移送されるパネルのエッジ部を完全にクランピングするための位置にグリップ手段250,260をセッティングするために、カンチレバークランプキャリアー240の自由端側に設けられる第1のグリップ手段250を固定させ、カンチレバークランプキャリアー240の一端に設けられる第2のグリップ手段260を受動に移動させた後、ボルト265によってセッティングするか、或いは移動手段280によって第2のグリップ手段260の位置を自動にセッティングさせる。また、カンチレバークランプキャリアー240の自由端側に設けられる第1のグリップ手段250を受動に移動させた後、ボルトによってセッティングすることもできる。   First, the grip means 250 and 260 are set so as to match the size of the panel to be transferred. That is, the first grip means 250 provided on the free end side of the cantilever clamp carrier 240 is fixed in order to set the grip means 250 and 260 at a position for completely clamping the edge portion of the transferred panel. The second grip means 260 provided at one end of the cantilever clamp carrier 240 is passively moved and then set by the bolt 265 or the position of the second grip means 260 is automatically set by the moving means 280. Alternatively, the first grip means 250 provided on the free end side of the cantilever clamp carrier 240 can be passively moved and then set with a bolt.

前述したように、移送されるパネルのサイズによってグリップ手段250,260のセッティングを完了した場合には供給されるパネルが伝達されてサブテーブルから液晶パネル検査部のワークテーブルへ移送させる。   As described above, when the setting of the grip means 250 and 260 is completed depending on the size of the transferred panel, the supplied panel is transmitted and transferred from the sub-table to the work table of the liquid crystal panel inspection unit.

すなわち、サブテーブルに供給される液晶パネルのサイズ及び種類についての情報が制御部(図示せず)に送られれば、制御部(図示せず)はキャリアー移動手段220に制御信号を送る。制御信号に応じてキャリアー移動手段220はカンチレバークランプキャリアー240を液晶パネルのサイズ及び種類に対応される位置まで迅速に移動させる。   That is, if information about the size and type of the liquid crystal panel supplied to the sub-table is sent to the control unit (not shown), the control unit (not shown) sends a control signal to the carrier moving means 220. In response to the control signal, the carrier moving means 220 quickly moves the cantilever clamp carrier 240 to a position corresponding to the size and type of the liquid crystal panel.

カンチレバークランプキャリアー240が液晶パネルをグリップできる所定の位置まで移動されれば、制御部(図示せず)は、キャリアー移動手段220の駆動を減少させることによって、カンチレバークランプキャリアー240に結合されるグリップ手段250,260によって液晶パネルが完全にクランピングできるようにする。   If the cantilever clamp carrier 240 is moved to a predetermined position where the liquid crystal panel can be gripped, the control unit (not shown) reduces the driving of the carrier moving means 220, thereby the grip means coupled to the cantilever clamp carrier 240. 250 and 260 allow the liquid crystal panel to be completely clamped.

この際、正常的にグリップ手段250,260によって液晶パネルがクランピングされたかをパネル有無センサー245が感知して制御部(図示せず)に伝達する。もし制御部(図示せず)の制御信号に応じてキャリアー移動手段220が必要以上駆動されることによってグリップ手段250,260にクランピングされる液晶パネルに過度な力が加えられた場合には、パネル損傷防止センサー247によって感知されて制御部(図示せず)に伝達される。そうすれば、制御部(図示せず)は、制御信号に応じてキャリアー移動手段220の駆動を停止させるか、或いはカンチレバークランプキャリアー240を後退させた後、再び液晶パネルをクランピングさせることができる。   At this time, the panel presence / absence sensor 245 senses whether the liquid crystal panel is normally clamped by the grip means 250, 260 and transmits it to the control unit (not shown). If an excessive force is applied to the liquid crystal panel clamped by the grip means 250 and 260 by driving the carrier moving means 220 more than necessary according to a control signal from a control unit (not shown), It is detected by the panel damage prevention sensor 247 and transmitted to a control unit (not shown). Then, the control unit (not shown) can stop the driving of the carrier moving unit 220 according to the control signal, or can retract the liquid crystal panel again after the cantilever clamp carrier 240 is retracted. .

前述したような動作によって正常的に液晶パネルをクランピングした後には所定の駆動手段によって移送体を移動させて検査部に液晶パネルを移送させる。   After the liquid crystal panel is normally clamped by the operation as described above, the transfer body is moved by a predetermined driving means to transfer the liquid crystal panel to the inspection unit.

一般的なパネル検査装置を示す全体斜視図である。It is a whole perspective view which shows a general panel inspection apparatus. 図1に示された従来パネル移送装置の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the conventional panel transfer device shown in FIG. 1. 本発明のカンチレバーパネル移送装置の全体構成図である。It is a whole block diagram of the cantilever panel transfer apparatus of this invention. 本発明の構成要素であるキャリアー移動手段と移動ブロックの分離斜視図である。It is a separation perspective view of a carrier moving means and a moving block which are components of the present invention. 本発明の構成要素であるリブが結合されたカンチレバークランプキャリアーの構成図である。It is a block diagram of the cantilever clamp carrier with which the rib which is a component of this invention was couple | bonded. 本発明の構成要素であるカンチレバークランプキャリアーの自由端側に連結されたグリップ手段の構成図である。It is a block diagram of the grip means connected with the free end side of the cantilever clamp carrier which is a component of this invention. 本発明の構成要素であるホルダーの多様な形態を示す例示図である。It is an illustration figure which shows the various forms of the holder which is a component of this invention. 本発明の構成要素であるカンチレバークランプキャリアーの上側面の長手方向に沿って移動可能に設けられたグリップ手段とグリップ手段を移送させる移動手段の構成図である。It is a block diagram of the moving means which transfers the grip means provided in the longitudinal direction of the upper surface of the cantilever clamp carrier which is a component of this invention, and a grip means. 図8のグリップ手段と移動手段の分離図である。FIG. 9 is a separated view of the grip means and moving means of FIG. 8.

符号の説明Explanation of symbols

200 カンチレバーパネル移送装置
210 移動体
211 レール
220 キャリアー移動手段
230 移動ブロック
240 カンチレバークランプキャリアー
250,260 グリップ手段
200 cantilever panel transfer device 210 moving body 211 rail 220 carrier moving means 230 moving block 240 cantilever clamp carrier 250, 260 grip means

Claims (19)

液晶パネル検査装置のサブテーブルとワークテーブルとの間で被検査パネルを移送するパネル移送装置であって、
所定の駆動手段によって前記サブテーブルとワークテーブルとの間を往来する移動体と、
前記移動体の上面に設けられる一対のキャリアー移動手段と、
前記キャリアー移動手段によって前記移動体の長手方向に往復運動できる移動ブロックと、
前記移動ブロックと一端が結合されて前記キャリアー移動手段によって移動され、互いに平行に向き合っている二つのカンチレバークランプキャリアーと、
前記二つのカンチレバークランプキャリアーにそれぞれ少なくとも二つ以上結合されて移送されるパネルをクランピングするグリップ手段と、を含んで成ることを特徴とするカンチレバーパネル移送装置。
A panel transfer device for transferring a panel to be inspected between a sub-table and a work table of a liquid crystal panel inspection device,
A moving body that moves between the sub-table and the work table by a predetermined driving means;
A pair of carrier moving means provided on an upper surface of the moving body;
A moving block capable of reciprocating in the longitudinal direction of the moving body by the carrier moving means;
Two cantilever clamp carriers, one end of which is connected to the moving block and moved by the carrier moving means and facing each other in parallel;
A cantilever panel transfer device comprising: grip means for clamping a panel to be transferred while being coupled to at least two of the two cantilever clamp carriers.
前記それぞれのキャリアー移動手段は、
前記移動体の長手方向に設けられる一対のガイドレールと、
前記ガイドレールの間に設けられるボールスクリューと、
前記ボールスクリューを駆動するモーターと、を含んで構成され、
前記移動ブロックは、
前記ガイドレールと噛み合って摺動摺動するガイド結合部材と、
前記ボールスクリューに結合されて連動されるナット結合体と、を含んで成ることを特徴とする、請求項1に記載のカンチレバーパネル移送装置。
Each of the carrier moving means is
A pair of guide rails provided in the longitudinal direction of the moving body;
A ball screw provided between the guide rails;
A motor for driving the ball screw,
The moving block is
A guide coupling member that meshes with and slides on the guide rail;
The cantilever panel transfer device according to claim 1, further comprising: a nut combined body coupled to and interlocked with the ball screw.
前記移動ブロックと前記移動ブロック端が結合されるカンチレバークランプキャリアーの上面にはリブがさらに備えられることを特徴とする、請求項1に記載のカンチレバーパネル移送装置。   The cantilever panel transfer device of claim 1, further comprising a rib on an upper surface of the cantilever clamp carrier to which the moving block and the moving block end are coupled. 前記リブは、前記カンチレバークランプキャリアーの他端で前記移動ブロックに行くほど厚さと幅が増加することを特徴とする、請求項3に記載のカンチレバーパネル移送装置。   4. The cantilever panel transfer device according to claim 3, wherein the rib increases in thickness and width toward the moving block at the other end of the cantilever clamp carrier. 5. 前記移動ブロックは、カンチレバークランプキャリアーと連結される上部移動ブロックと前記上部移動ブロックの下部に結合される下部移動ブロックとより成り、
前記上部移動ブロックは前記下部移動ブロック上で微細回転が可能に結合されることを特徴とする、請求項1に記載のカンチレバーパネル移送装置。
The moving block includes an upper moving block connected to a cantilever clamp carrier and a lower moving block coupled to a lower portion of the upper moving block.
The cantilever panel transfer device of claim 1, wherein the upper moving block is coupled to the lower moving block so as to be finely rotated.
前記上部移動ブロックと下部移動ブロックのそれぞれには、垂直線上に対応する一つの回転ホールと二つの微細調整ホールが形成され、
前記回転ホールには回転ボルトが結合され、
前記微細調整ホールには微細調整ボルトが結合されることを特徴とする、請求項5に記載のカンチレバーパネル移送装置。
Each of the upper moving block and the lower moving block is formed with one rotation hole and two fine adjustment holes corresponding to the vertical line,
A rotating bolt is coupled to the rotating hole,
The cantilever panel transfer device according to claim 5, wherein a fine adjustment bolt is coupled to the fine adjustment hole.
前記二つの微細調整ホールには、前記微細調整ボルトとねじ結合できるようにねじ山が形成され、
前記微細調整ボルトが移動できるように長く曲がった形状を有することを特徴とする、請求項6に記載のカンチレバーパネル移送装置。
The two fine adjustment holes are threaded so that they can be screwed together with the fine adjustment bolts.
The cantilever panel transfer device according to claim 6, wherein the fine adjustment bolt has a long bent shape so that the fine adjustment bolt can move.
前記上部移動ブロックの側面には、少なくとも二つ以上の補正ピンをさらに備えることを特徴とする、請求項5に記載のカンチレバーパネル移送装置。   The cantilever panel transfer device of claim 5, further comprising at least two correction pins on a side surface of the upper moving block. 前記グリップ手段は、
前記カンチレバークランプキャリアーの自由端側に固定されるように設けられる第1のグリップ手段と、
前記第1のグリップ手段に所定間隔固定端側に離隔されるように前記カンチレバークランプキャリアーの一側面に長手方向に形成された溝に沿って受動に移動可能に設けられる第2のグリップ手段と、
を含んで成ることを特徴とする、請求項1に記載のカンチレバーパネル移送装置。
The grip means is
First grip means provided to be fixed to a free end side of the cantilever clamp carrier;
Second grip means provided so as to be passively movable along a groove formed in a longitudinal direction on one side surface of the cantilever clamp carrier so as to be separated from the first grip means at a fixed end side by a predetermined interval;
The cantilever panel transfer device according to claim 1, comprising:
前記グリップ手段は、
前記カンチレバークランプキャリアーの自由端側に固定されるように設けられる第1のグリップ手段と、
前記第1のグリップ手段に所定間隔固定端側に離隔されるように前記カンチレバークランプキャリアーの一側面に長手方向に沿って自動的に移動可能に設けられる第2のグリップ手段と、
を含んで成ることを特徴とする、請求項1に記載のカンチレバーパネル移送装置。
The grip means is
First grip means provided to be fixed to a free end side of the cantilever clamp carrier;
Second grip means provided on one side surface of the cantilever clamp carrier so as to be automatically movable along the longitudinal direction so as to be spaced apart from the first grip means at a fixed interval side at a predetermined interval;
The cantilever panel transfer device according to claim 1, comprising:
前記グリップ手段は、
前記カンチレバークランプキャリアーの自由端側に長手方向に形成された溝に沿って受動に移動可能に設けられる第1のグリップ手段と、
前記第1のグリップ手段に所定間隔固定端側に離隔されるように前記カンチレバークランプキャリアーの一側面に長手方向に沿って自動的又は受動的に移動可能に設けられる第2のグリップ手段と、
を含んで成ることを特徴とする、請求項1に記載のカンチレバーパネル移送装置。
The grip means is
First grip means provided so as to be passively movable along a groove formed in a longitudinal direction on a free end side of the cantilever clamp carrier;
Second grip means provided on one side surface of the cantilever clamp carrier so as to be automatically or passively movable along a longitudinal direction so as to be spaced apart from the first grip means at a fixed interval side at a predetermined interval;
The cantilever panel transfer device according to claim 1, comprising:
前記グリップ手段は、
前記カンチレバークランプキャリアー上に移動可能に結合されるグリップベースと、
前記グリップベースに一対のテンション維持部によって結合される支持体と、
前記支持体の下部面に結合されるホルダーと、
を含んで成ることを特徴とする、請求項9乃至請求項11のうちいずれか一つの項に記載のカンチレバーパネル移送装置。
The grip means is
A grip base movably coupled on the cantilever clamp carrier;
A support coupled to the grip base by a pair of tension maintaining portions;
A holder coupled to the lower surface of the support;
The cantilever panel transfer device according to any one of claims 9 to 11, characterized by comprising:
前記テンション維持部は、
前記グリップベースと前記支持体とを結合する一対の結合バーと、
前記結合バーの外周面に設けられて前記グリップベースについて前記支持体のテンションを維持させるスプリングと、を含んで成ることを特徴とする、請求項12に記載のカンチレバーパネル移送装置。
The tension maintaining part is
A pair of coupling bars for coupling the grip base and the support;
The cantilever panel transfer device according to claim 12, further comprising a spring provided on an outer peripheral surface of the coupling bar to maintain the tension of the support with respect to the grip base.
前記カンチレバークランプキャリアー上の上面には、長手方向に一対の溝がさらに形成され、
前記グリップベースを前記一対の溝のうちの内側溝に固定させるか、或いは内側溝に沿って受動移動が可能に結合されることを特徴とする、請求項13に記載のカンチレバーパネル移送装置。
On the upper surface of the cantilever clamp carrier, a pair of grooves are further formed in the longitudinal direction,
The cantilever panel transfer device according to claim 13, wherein the grip base is fixed to an inner groove of the pair of grooves, or is coupled so as to be passively movable along the inner groove.
前記支持体の両側面には、前記カンチレバークランプキャリアーの中央部分まで延長される第1及び第2の感知対象バーがさらに備えられ、
前記カンチレバークランプキャリアーには、
前記第1の感知対象バーを通じて前記パネルがクランピングされたかを感知するパネル有無センサーと、
前記第2の感知対象バーを通じて前記パネルに過度な力が加えられるかを感知するパネル損傷防止センサーと、がさらに備えられることを特徴とする、請求項14に記載のカンチレバーパネル移送装置。
The both sides of the support further comprise first and second sensing bars extending to the central portion of the cantilever clamp carrier,
In the cantilever clamp carrier,
A panel presence sensor for sensing whether the panel is clamped through the first sensing bar;
The cantilever panel transfer device of claim 14, further comprising a panel damage prevention sensor that detects whether an excessive force is applied to the panel through the second sensing target bar.
前記パネル損傷防止センサーは、前記カンチレバークランプキャリアーの上面に長手方向に形成された一対の溝のうちの外側溝に設けられることを特徴とする、請求項15に記載のカンチレバーパネル移送装置。   The cantilever panel transfer device according to claim 15, wherein the panel damage prevention sensor is provided in an outer groove of a pair of grooves formed in a longitudinal direction on an upper surface of the cantilever clamp carrier. 前記カンチレバークランプキャリアーの一側面の長手方向に移動可能に設けられるグリップ手段を自動的に移動させるために、
前記カンチレバークランプキャリアーの長手方向に一対のL/Mガイドを設け、
前記一対のL/Mガイドの間にスクリューシャフトと、前記スクリューシャフトを駆動するモーターと、を設け、
前記グリップベースの下部面には、前記スクリューシャフトとねじ結合されるナットと前記L/Mガイドと噛み合うガイド結合体と、が設けられることを特徴とする、請求項10又は請求項11に記載のカンチレバーパネル移送装置。
In order to automatically move grip means provided to be movable in the longitudinal direction of one side surface of the cantilever clamp carrier,
A pair of L / M guides are provided in the longitudinal direction of the cantilever clamp carrier,
A screw shaft and a motor for driving the screw shaft are provided between the pair of L / M guides,
12. The lower surface of the grip base is provided with a nut coupled to the screw shaft and a guide coupling body that meshes with the L / M guide, according to claim 10 or claim 11. Cantilever panel transfer device.
前記ホルダーは、前記パネルと接触する一端に形成される接触部が凹溝形状であるか、或いはL字形状であることを特徴とする、請求項12に記載のカンチレバーパネル移送装置。   The cantilever panel transfer device according to claim 12, wherein the holder has a concave groove shape or an L-shaped contact portion formed at one end in contact with the panel. 前記接触部には、ラバーがさらに備えられることを特徴とする、請求項18に記載のカンチレバーパネル移送装置。   The cantilever panel transfer device of claim 18, wherein the contact part further comprises a rubber.
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Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2981598A1 (en) * 2011-10-25 2013-04-26 Plastic Omnium Cie PREPARER FOR PIECE TO BE PAINTED FOR MANIPULATOR ROBOT
CN104150136A (en) * 2014-08-25 2014-11-19 长沙开元仪器股份有限公司 Cabinet for coal samples for back-check, sample bottle clamping device and clamping method of sample bottle clamping device
JP2016531060A (en) * 2013-09-13 2016-10-06 シムボティック エルエルシー Automatic storage and retrieval system
CN107478257A (en) * 2017-08-15 2017-12-15 江苏集萃智能制造技术研究所有限公司 A kind of self-adjustable detection platform
WO2018003733A1 (en) * 2016-06-27 2018-01-04 川崎重工業株式会社 Workpiece retaining mechanism
KR20180012092A (en) * 2016-07-26 2018-02-05 에이피시스템 주식회사 Stage unit and substrate treatment apparatus including the same and processing method using the same
CN107843492A (en) * 2017-12-06 2018-03-27 张家港市沙源检测技术有限公司 A kind of metal stresses fixture for testing
CN108594494A (en) * 2018-06-14 2018-09-28 广东速美达自动化股份有限公司 One kind detecting assembly line automatically without FPC liquid crystal displays
US10280000B2 (en) 2010-12-15 2019-05-07 Symbotic, LLC Suspension system for autonomous transports
US10683169B2 (en) 2010-12-15 2020-06-16 Symbotic, LLC Automated bot transfer arm drive system
US10759600B2 (en) 2009-04-10 2020-09-01 Symbotic Llc Autonomous transports for storage and retrieval systems
US11078017B2 (en) 2010-12-15 2021-08-03 Symbotic Llc Automated bot with transfer arm
CN113771075A (en) * 2021-10-25 2021-12-10 北方导航控制技术股份有限公司 Flexible self-adaptive manipulator gripper device for grabbing objects
CN114378573A (en) * 2022-01-25 2022-04-22 深圳市顺章电器有限公司 Automatic assembling equipment for household appliances
CN114872071A (en) * 2021-02-05 2022-08-09 江西华派光电科技有限公司 Glass substrate centre gripping manipulator

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4674151B2 (en) * 2005-11-16 2011-04-20 株式会社日本マイクロニクス Lighting inspection device
KR100860721B1 (en) * 2006-11-27 2008-09-29 주식회사 파이컴 Apparatus for Carrying A Panel
KR100913188B1 (en) * 2008-05-02 2009-08-20 (주)유비프리시젼 Support for all sizes panel of worktable usingtesting device for display panel
CN102686370A (en) * 2010-02-02 2012-09-19 夏普株式会社 Conveying device
JP2012000687A (en) * 2010-06-14 2012-01-05 Yutaka Electronics Industry Co Ltd Hand device, and articulated robot
CN102172910B (en) * 2011-01-26 2012-10-17 上海铭源数康生物芯片有限公司 Device for fetching and releasing magnetic sleeve
CN102672520A (en) * 2012-05-21 2012-09-19 典发食品(苏州)有限公司 Two-cylinder movement bearing buffer device
CN103786041A (en) * 2012-10-31 2014-05-14 苏州久工自动化科技有限公司 Parallel gripper
CN103887220A (en) * 2012-12-20 2014-06-25 上海华虹宏力半导体制造有限公司 Wafer manipulator provided with overload sensor
CN104860014A (en) * 2014-01-09 2015-08-26 何良双 Full-automatic conveying device of automobile body-in-white production line
CN104785659B (en) * 2014-01-21 2017-02-08 深圳市金洲精工科技股份有限公司 Automatic transfer device of collecting pipe punching mold
CN104148325A (en) * 2014-08-27 2014-11-19 吴中区横泾博尔机械厂 Light-emitting plate parallel clamping jaw of displaying screen light-emitting plate full-automatic washing machine
CN105459076A (en) * 2016-01-05 2016-04-06 南通迅达橡塑制造有限公司 Novel manual clamping device
CN105835049B (en) * 2016-05-05 2018-03-09 佛山科学技术学院 A kind of manipulator of hydrogen fuel cell reactor captures transporting equipment automatically
CN106003110A (en) * 2016-06-07 2016-10-12 江苏八达电子有限公司 Unloading hand in SC adapter automatic assembly device
CN106241269A (en) * 2016-07-12 2016-12-21 常熟市惠机电有限公司 A kind of automatic production line pay-off
CN106006034A (en) * 2016-07-28 2016-10-12 苏州高通机械科技有限公司 Glass substrate carrying arm
CN106006033A (en) * 2016-07-28 2016-10-12 苏州高通机械科技有限公司 Adjustable glass substrate carrying arm
CN106323874A (en) * 2016-11-02 2017-01-11 苏州鼎纳自动化技术有限公司 Light source manually adjusting support in laboratory
KR101743507B1 (en) * 2017-02-16 2017-06-15 (주)천보하이텍 Slide Clamp Fixing Type Both Side of PCB Drying Apparatus
CN107132678A (en) * 2017-06-29 2017-09-05 武汉精测电子技术股份有限公司 A kind of lifting detection means suitable for large scale LCM modules
CN107214723A (en) * 2017-08-03 2017-09-29 刘力瑗 One kind automation special line conveying robot
CN107498574B (en) * 2017-08-21 2019-06-18 东莞合安机电有限公司 A kind of NC film gripping body
CN107263515B (en) * 2017-08-21 2018-06-26 东莞合安机电有限公司 A kind of NC films item folds up machine
CN107813333B (en) * 2017-09-05 2021-04-27 芜湖瑞思机器人有限公司 Food grabbing mechanism for high-speed parallel robot
CN111470308B (en) * 2019-01-23 2022-04-01 上海微电子装备(集团)股份有限公司 Clamping manipulator and automatic carrying device
CN112573053B (en) * 2019-09-27 2021-11-26 江苏华章物流科技股份有限公司 Storing and taking mechanism suitable for AGV (automated guided vehicle), AGV and storing and taking method
CN114728751A (en) * 2019-11-20 2022-07-08 康宁公司 Apparatus, assembly and method for transporting a sheet of brittle material
CN111266743B (en) * 2020-02-21 2021-09-24 上海精测半导体技术有限公司 Panel cutting equipment microscope carrier replacing device and panel cutting equipment
CN111362020B (en) * 2020-03-20 2021-03-23 温州益蓉机械有限公司 Efficient mechanical automatic unloading mechanism
KR102602306B1 (en) * 2021-03-30 2023-11-17 오디씨(주) Jig for inspecting display panel
KR102494903B1 (en) * 2021-06-23 2023-02-06 경북대학교 산학협력단 Universal zig for fixing specimen
CN114380044B (en) * 2022-01-19 2024-04-02 常州创捷电气科技有限公司 Automatic clamping device of robot for high-temperature operation

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10759600B2 (en) 2009-04-10 2020-09-01 Symbotic Llc Autonomous transports for storage and retrieval systems
US10280000B2 (en) 2010-12-15 2019-05-07 Symbotic, LLC Suspension system for autonomous transports
US11078017B2 (en) 2010-12-15 2021-08-03 Symbotic Llc Automated bot with transfer arm
US10683169B2 (en) 2010-12-15 2020-06-16 Symbotic, LLC Automated bot transfer arm drive system
WO2013060993A1 (en) * 2011-10-25 2013-05-02 Compagnie Plastic Omnium Painting workpiece gripper for handling robot
FR2981598A1 (en) * 2011-10-25 2013-04-26 Plastic Omnium Cie PREPARER FOR PIECE TO BE PAINTED FOR MANIPULATOR ROBOT
JP2016531060A (en) * 2013-09-13 2016-10-06 シムボティック エルエルシー Automatic storage and retrieval system
US10894663B2 (en) 2013-09-13 2021-01-19 Symbotic Llc Automated storage and retrieval system
JP2019142723A (en) * 2013-09-13 2019-08-29 シムボティック エルエルシー Automated storage and ejection system
CN104150136A (en) * 2014-08-25 2014-11-19 长沙开元仪器股份有限公司 Cabinet for coal samples for back-check, sample bottle clamping device and clamping method of sample bottle clamping device
JP2018001279A (en) * 2016-06-27 2018-01-11 川崎重工業株式会社 Work-piece holding mechanism
CN109311171A (en) * 2016-06-27 2019-02-05 川崎重工业株式会社 Workpiece holding mechanism
KR20190026760A (en) * 2016-06-27 2019-03-13 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 Work holding mechanism
WO2018003733A1 (en) * 2016-06-27 2018-01-04 川崎重工業株式会社 Workpiece retaining mechanism
KR102253409B1 (en) 2016-06-27 2021-05-18 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 Work holding mechanism
TWI744355B (en) * 2016-07-26 2021-11-01 南韓商Ap系統股份有限公司 Stage unit for objet to be treated and apparatus and method for treating object to be treated
KR102007907B1 (en) * 2016-07-26 2019-08-06 에이피시스템 주식회사 Stage unit and substrate treatment apparatus including the same and processing method using the same
KR20180012092A (en) * 2016-07-26 2018-02-05 에이피시스템 주식회사 Stage unit and substrate treatment apparatus including the same and processing method using the same
CN107478257B (en) * 2017-08-15 2023-08-15 江苏集萃智能制造技术研究所有限公司 But automatically regulated's testing platform
CN107478257A (en) * 2017-08-15 2017-12-15 江苏集萃智能制造技术研究所有限公司 A kind of self-adjustable detection platform
CN107843492A (en) * 2017-12-06 2018-03-27 张家港市沙源检测技术有限公司 A kind of metal stresses fixture for testing
CN108594494A (en) * 2018-06-14 2018-09-28 广东速美达自动化股份有限公司 One kind detecting assembly line automatically without FPC liquid crystal displays
CN108594494B (en) * 2018-06-14 2023-08-29 广东速美达自动化股份有限公司 Automatic detection assembly line without FPC (flexible printed circuit) liquid crystal display
CN114872071A (en) * 2021-02-05 2022-08-09 江西华派光电科技有限公司 Glass substrate centre gripping manipulator
CN113771075A (en) * 2021-10-25 2021-12-10 北方导航控制技术股份有限公司 Flexible self-adaptive manipulator gripper device for grabbing objects
CN114378573A (en) * 2022-01-25 2022-04-22 深圳市顺章电器有限公司 Automatic assembling equipment for household appliances
CN114378573B (en) * 2022-01-25 2023-12-26 深圳市顺章电器有限公司 Automatic assembly equipment for household appliances

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