JP2006145584A - 波長が紫外域の複数のレーザの形成方法および形成装置並びにレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
レーザ発振器1から出力される波長が近赤外域のレーザ2aを、レーザ分配装置9により複数のレーザ2adに分岐させ、波長偏光素子3により分岐されたレーザ2adの一部を波長が1/2のレーザ2bdに変換し、波長偏光素子3から出力されたレーザ2adとレーザ2bdとから波長偏光素子4により波長がレーザ2aの1/3である紫外線レーザ2tdを形成する。そして、波長分離素子5により紫外線レーザ2tdを抽出して加工部に供給する。
【選択図】図1
Description
レーザ発振器1から出力された波長が近赤外域の基本波2aは、波長変換素子3を通過することにより一部が2倍波2bに変換にされる。基本波2aと2倍波2bが混合した混合波7は波長変換素子4を通過することにより一部が紫外線レーザ2tに変換にされ、波長変換素子4からは基本波2a、2倍波2bおよび紫外線レーザ2tが混合した混合波8が出力される。混合波8は、波長分離素子5により紫外線レーザ2tとその他のレーザ7とに分離される。そして、紫外線レーザ2tは加工部に照射され、その他のレーザ12はレーザ減衰器6に入射して熱に変換される(特許文献1)。
2a 波長が近赤外域のレーザ
2ad 分岐された波長が近赤外域のレーザ
2bd 波長がレーザ2aの1/2のレーザ
2td 波長がレーザ2aの1/3である紫外線レーザ
3 波長偏光素子
4 波長偏光素子
5 波長分離素子
9 レーザ分配装置
Claims (5)
- 波長が近赤外域のレーザを波長変換して波長が紫外域のレーザを形成するようにした波長が紫外域のレーザの形成方法において、
波長が近赤外域のレーザまたは波長が前記近赤外域のレーザの1/2のレーザを複数に分岐した後、
分岐された複数のレーザのそれぞれを波長変換し、波長が紫外域の複数のレーザを形成することを特徴とする波長が紫外域の複数のレーザの形成方法。 - 形成された前記紫外域のレーザの波長は、前記近赤外域のレーザの波長の1/3または1/4であることを特徴とする請求項1に記載の波長が紫外域の複数のレーザの形成方法。
- 波長が近赤外域の第1のレーザを出力するレーザ発振器と、
前記第1のレーザを複数に分岐する分岐手段と、
前記第1のレーザの一部を波長が1/2の第2のレーザに変換する第1の波長変換手段と、
前記第1の波長変換手段から出力された前記第2のレーザと前記第1の波長変換手段によって波長変換されなかった前記第1のレーザとから波長が前記第1のレーザの1/3の紫外域のレーザを形成する第2の波長変換手段と、を備え、
前記分岐手段により前記第1のレーザを複数に分岐した後、前記第1および第2の波長変換手段により、分岐された複数の前記第1のレーザのそれぞれを波長が紫外域のレーザに形成することを特徴とする波長が紫外域の複数のレーザの形成装置。 - 波長が近赤外域の第1のレーザを出力するレーザ発振器と、
入射する前記レーザの波長を波長が1/2のレーザに変換する2個の波長変換手段と、
入射するレーザを複数に分岐する分岐手段と、
を備え、
前記波長変換手段の一方により、波長が近赤外域の第1のレーザを波長が1/2の第2のレーザに変換した後、
前記分岐手段により前記第2のレーザを複数のレーザに分岐し、
前記波長変換手段の他方により、分岐された前記第2のレーザを波長が前記第2のレーザの1/2の紫外域のレーザに形成することを特徴とする波長が紫外域の複数のレーザの形成装置。 - 波長が近赤外域の第1のレーザを出力するレーザ発振器と、請求項3または請求項4に記載の波長が紫外域の複数のレーザの形成装置と、レーザの位置決め手段と、を備え、
前記レーザ発振器から出力された前記近赤外域の第1のレーザを前記形成装置により波長が紫外域の複数のレーザに形成し、形成された前記波長が紫外域の複数のレーザを前記位置決め手段によりそれぞれ位置決めして加工をすることを特徴とするレーザ加工装置。
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