JP2006125919A - Spectral analyzer and spectral analysis method - Google Patents

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Toshitsugu Ueda
敏嗣 植田
Sunao Sugiyama
直 杉山
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Waseda University
Yokogawa Electric Corp
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Waseda University
Yokogawa Electric Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectral analyzer and a spectral analysis method for performing high-sensitivity measurement by using a slight amount of samples. <P>SOLUTION: This spectral analyzer 10 is equipped with photonic crystal fiber 20 for housing a gas which is a measuring object, a laser light source 12 for supplying laser light of a plurality of wavelengths toward the gas housed in the crystal fiber 20, a light detection means 13 for detecting the intensity of laser light having passed through the gas housed in the crystal fiber 20, a gas generator 15 for supplying the gas to the crystal fiber 20, and a vacuum pump unit 16 for controlling gas pressure in the crystal fiber 20. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は分光分析装置及び分光分析方法に係り、更に詳しくは、物質の成分、濃度及び分子構造解析を微量のサンプルで高精度に行うことのできる分光分析装置及び分光分析方法に関する。   The present invention relates to a spectroscopic analysis apparatus and a spectroscopic analysis method, and more particularly to a spectroscopic analysis apparatus and a spectroscopic analysis method capable of performing a high-accuracy analysis of a component, concentration and molecular structure of a substance with a small amount of sample.

従来、物質の吸収スペクトルを測定することで、その物質の成分や組成を同定する吸収分光法が知られている。この吸収分光法としては、レーザ光を光源としたレーザ分光法があり、このレーザ分光法を用いた測定装置として、特許文献1に開示されたガス測定装置が知られている。このガス測定装置は、複数波長のレーザ光を照射するレーザ光源と、このレーザ光源からのレーザ光が通過する空間を有し、当該空間に測定対象の気体が供給される中空ファイバと、この中空ファイバを通過したレーザ光を受光する光検出器とを備えている。
特開2002−107299号公報
2. Description of the Related Art Conventionally, absorption spectroscopy for identifying a component or composition of a substance by measuring the absorption spectrum of the substance is known. As this absorption spectroscopy, there is laser spectroscopy using laser light as a light source, and a gas measurement device disclosed in Patent Document 1 is known as a measurement device using this laser spectroscopy. The gas measuring device includes a laser light source that emits laser light of a plurality of wavelengths, a hollow fiber that has a space through which the laser light from the laser light source passes, and a gas to be measured is supplied to the space. And a photodetector for receiving the laser beam that has passed through the fiber.
JP 2002-107299 A

しかしながら、前記ガス測定装置は、アンモニアガス等の比較的分子量の小さい気体の成分や組成を同定する目的の装置であり、高分子の測定、特に、たんぱく質などの成分、或いは、分子のクラスター成分や構造解析を行うには不十分である。すなわち、前記ガス測定装置に用いる中空ファイバは、内径が数mm程度のマルチモードタイプのものであって、複数の異なるモードが混在した光を伝播する性質のものである。このため、ファイバ中を伝播する光の分散が生じ、光信号に歪みが生じることから伝送距離が短くなり、高感度性を得るために長い作用長を必要とする測定、すなわち、高分子等の吸収スペクトルの測定を良好に行えないという問題がある。また、中空ファイバの内径が数mm程度のオーダであることから、光路長を数百mにすると、中空ファイバ内にサンプルガスを多量に入れなければならず、当該サンプルガスが微量である場合には測定ができないという問題がある。   However, the gas measuring device is a device intended to identify a component or composition of a gas having a relatively low molecular weight such as ammonia gas, and measures a polymer, particularly a component such as a protein or a cluster component of a molecule. Insufficient for structural analysis. That is, the hollow fiber used in the gas measuring device is of a multimode type having an inner diameter of about several millimeters, and has a property of propagating light in which a plurality of different modes are mixed. For this reason, dispersion of light propagating in the fiber occurs, distortion occurs in the optical signal, the transmission distance is shortened, and a measurement requiring a long action length to obtain high sensitivity, that is, a polymer or the like There is a problem that the absorption spectrum cannot be measured satisfactorily. Moreover, since the inner diameter of the hollow fiber is on the order of several millimeters, if the optical path length is several hundred meters, a large amount of sample gas must be put into the hollow fiber. Has a problem that it cannot be measured.

本発明は、このような問題に着目して案出されたものであり、その目的は、微量のサンプルで高感度の測定が可能となる分光分析装置及び分光分析方法を提供することにある。   The present invention has been devised by paying attention to such a problem, and an object of the present invention is to provide a spectroscopic analysis apparatus and a spectroscopic analysis method that enable high-sensitivity measurement with a small amount of sample.

(1)前記目的を達成するため、本発明は、測定対象の気体が収容される中空のコア部分を有するフォトニック結晶ファイバと、前記コア部分に複数波長のレーザ光を照射するレーザ光源と、前記コア部分を通過したレーザ光の強度を検出する光検出手段とを備える、という構成を採っている。   (1) In order to achieve the above object, the present invention provides a photonic crystal fiber having a hollow core portion in which a gas to be measured is accommodated, a laser light source for irradiating the core portion with laser light having a plurality of wavelengths, And a light detecting means for detecting the intensity of the laser light that has passed through the core portion.

(2)また、前記光検出手段は、前記コア部分を通過したレーザ光を直交二方向の偏波に分離する偏波分離素子と、この偏波分離素子によって分離された各偏波を受光する受光素子とを備え、
各偏波の大きさを合わせてレーザ光の強度を算出する、という構成を採ることが好ましい。
(2) The light detecting means receives a polarization beam splitting element that splits the laser beam that has passed through the core portion into two orthogonal polarizations, and each polarization beam separated by the polarization beam splitting element. A light receiving element,
It is preferable to adopt a configuration in which the intensity of the laser light is calculated in accordance with the magnitude of each polarization.

(3)更に、前記フォトニック結晶ファイバの一端側に、レーザ光源及び光検出手段が設けられる一方、前記フォトニック結晶ファイバの他端側に、レーザ光の反射手段が設けられ、
前記レーザ光は、前記一端側から導入され、前記他端側の反射手段で反射されて、前記一端側で前記光検出手段に受光される、という構成を採用することができる。
(3) Furthermore, a laser light source and a light detection means are provided on one end side of the photonic crystal fiber, while a laser light reflecting means is provided on the other end side of the photonic crystal fiber.
The laser light may be introduced from the one end side, reflected by the reflecting means on the other end side, and received by the light detecting means on the one end side.

(4)また、前記フォトニック結晶ファイバの端部と、レーザ光源及び/又は光検出手段との間に、フォトニック結晶ファイバからなる光屈折手段が設けられる、という構成を採用するとよい。   (4) Further, it is preferable to adopt a configuration in which a light refraction means made of a photonic crystal fiber is provided between the end of the photonic crystal fiber and the laser light source and / or the light detection means.

(5)更に、本発明は、中空のコア部分を有するフォトニック結晶ファイバを使った分光分析方法であって、
前記コア部分に測定対象の気体を収容した後で、複数波長のレーザ光を前記コア部分に照射し、当該コア部分を伝播したレーザ光の強度を波長毎に測定する、という手法を採っている。
(5) Furthermore, the present invention is a spectroscopic analysis method using a photonic crystal fiber having a hollow core portion,
After the gas to be measured is accommodated in the core portion, a technique is employed in which the core portion is irradiated with laser light having a plurality of wavelengths, and the intensity of the laser light propagated through the core portion is measured for each wavelength. .

(6)ここで、コア部分に収容された気体を大気圧未満に減圧するとよい。   (6) Here, the gas accommodated in the core portion may be decompressed to less than atmospheric pressure.

前記(1)の構成によれば、中空のコア部分を含むシングルモードのファイバを使うことになるため、当該ファイバ中では、単一モードの光が伝播し、マルチモードファイバで見られるような光の分散が生じなくなり、長い作用長を得ることができ、物質の吸収スペクトル等を高感度に測定することができる。
また、気体が収容されるコア部分の内径は、単一モードの光が伝播する程度の微細な大きさ(例えば、10μm程度)であることから、測定対象となるガスの消費量を格段に少なくすることができ、バイオメディカルに関する物質の測定等、一般的にサンプル量が少ない場合でも正確な測定が可能になる。
更に、微細なフォトニック結晶ファイバを使用するため、当該ファイバ部分を容易に変形させることができ、種々の設置条件に汎用的に対応可能になるとともに、装置全体の小型化を促進することができ、プラント、医用、環境等の種々の測定に利用することができる。
According to the configuration (1), since a single mode fiber including a hollow core portion is used, single mode light propagates in the fiber, and light that can be seen in a multimode fiber. Can be obtained, a long action length can be obtained, and the absorption spectrum of the substance can be measured with high sensitivity.
In addition, since the inner diameter of the core portion in which the gas is accommodated is so small that light of a single mode propagates (for example, about 10 μm), the consumption of the gas to be measured is significantly reduced. In general, accurate measurement is possible even when the amount of sample is small, such as measurement of biomedical substances.
In addition, since a fine photonic crystal fiber is used, the fiber portion can be easily deformed, can be used for various installation conditions in general, and can promote downsizing of the entire apparatus. It can be used for various measurements such as plant, medical, and environment.

前記(2)のように構成することで、ファイバ内を通過する際にレーザ光の偏波面が乱れても、光検出手段の感度の偏波依存性による測定誤差を少なくし、レーザ光の強度を一層正確に測定することができる。   By configuring as in (2) above, even if the polarization plane of the laser beam is disturbed when passing through the fiber, the measurement error due to the polarization dependence of the sensitivity of the light detection means is reduced, and the intensity of the laser beam is reduced. Can be measured more accurately.

前記(3)の構成によれば、ファイバ内の一方向にのみ光を伝播させる場合に対し、光の作用長を二倍にすることができ、より高感度の測定が可能となる。   According to the configuration of (3), the light action length can be doubled compared to the case where light is propagated only in one direction in the fiber, and measurement with higher sensitivity is possible.

前記(4)の構成により、ファイバ端部とレーザ光源及び/又は光検出手段との間の離間距離を短縮することができ、装置全体の小型化を一層促進可能となる。   With the configuration (4), the separation distance between the fiber end portion and the laser light source and / or the light detection means can be shortened, and the miniaturization of the entire apparatus can be further promoted.

前記(5)の手法により、前記(1)と同様、微量のサンプルで高感度の測定が可能となる。   The method (5) enables high-sensitivity measurement with a very small amount of sample as in the case (1).

前記(6)の手法によれば、吸収スペクトルの圧力広がりを抑えることができ、超高感度の物質同定が可能になる。   According to the method (6), it is possible to suppress the pressure spread of the absorption spectrum, and it is possible to identify a substance with extremely high sensitivity.

以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1には、本実施例に係る分光分析装置の概略構成図が示されている。この図において、分光分析装置10は、測定対象となる気体が収容されるファイバセル11と、このファイバセル11内に収容された気体に向かって複数波長のレーザ光を供給するレーザ光源12と、ファイバセル11に収容された気体を通過したレーザ光の強度を検出する光検出手段13と、ファイバセル11に気体を供給するガス発生装置15と、ファイバセル11内の気圧を制御する真空ポンプユニット16とを備えて構成されている。   FIG. 1 shows a schematic configuration diagram of a spectroscopic analyzer according to the present embodiment. In this figure, a spectroscopic analyzer 10 includes a fiber cell 11 in which a gas to be measured is accommodated, a laser light source 12 that supplies laser light of a plurality of wavelengths toward the gas accommodated in the fiber cell 11, Photodetection means 13 for detecting the intensity of the laser light that has passed through the gas accommodated in the fiber cell 11, a gas generator 15 for supplying the gas to the fiber cell 11, and a vacuum pump unit for controlling the atmospheric pressure in the fiber cell 11. 16.

前記ファイバセル11は、図1及び図2に示されるように、ガス発生装置15からのガス管Pに繋がるガス導入部18と、真空ポンプユニット16へのガス管Pに繋がるガス排出部19と、これらガス導入部18及びガス排出部19の間を掛け渡すように配置されたフォトニック結晶ファイバ20とを備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the fiber cell 11 includes a gas introduction unit 18 connected to the gas pipe P from the gas generator 15, and a gas discharge unit 19 connected to the gas pipe P to the vacuum pump unit 16. The photonic crystal fiber 20 is provided so as to span between the gas introduction part 18 and the gas discharge part 19.

前記ガス導入部18は、設置面となるブロック状のベース22と、このベース22の上に起立配置された本体23とを備えている。この本体23は、その上端側でガス管Pに繋がる管路25と、この管路25の下端側から下方に延びるガス流路26と、ガス流路26に繋がるともに、フォトニック結晶ファイバ20の端部が臨む内部空間28と、この内部空間28を図1中左側から閉塞するとともに、フォトニック結晶ファイバ20を保持するファイバ保持体29と、内部空間28の図1中右側から透光性部材31を挟んで外部に開放する透光窓32とを備えている。透光性部材31は、内部空間28と外部との間での光の透過のみを許容する一方で、内部空間28から外部へのガスの流出を阻止するようになっている。   The gas introduction unit 18 includes a block-shaped base 22 serving as an installation surface, and a main body 23 erected on the base 22. The main body 23 has a pipe 25 connected to the gas pipe P on its upper end side, a gas flow path 26 extending downward from the lower end side of the pipe 25, a gas flow path 26 and a photonic crystal fiber 20. An internal space 28 facing the end, the internal space 28 is closed from the left side in FIG. 1, a fiber holder 29 for holding the photonic crystal fiber 20, and a translucent member from the right side of the internal space 28 in FIG. And a translucent window 32 that opens to the outside with 31 interposed therebetween. The translucent member 31 allows only light transmission between the internal space 28 and the outside, while preventing gas from flowing out from the internal space 28 to the outside.

前記ガス排出部19は、前記ガス導入部18と略左右対称となる構成となっており、同一若しくは同等の構成部分については同一符号を用いるものとし、説明を省略する。   The gas discharge part 19 has a configuration that is substantially symmetrical with the gas introduction part 18, and the same or equivalent components are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

前記フォトニック結晶ファイバ20は、周期的な屈折率構造となるフォトニック結晶構造からなるシングルモードファイバのうち、コア部分が中空となる公知の構造が採用されており、ここでは詳細な説明を省略する。   The photonic crystal fiber 20 employs a known structure in which a core portion is hollow among single mode fibers having a photonic crystal structure having a periodic refractive index structure, and detailed description thereof is omitted here. To do.

前記レーザ光源12は、種々の波長のレーザ光を選択的に照射可能にする波長可変レーザが採用されており、その照射部がガス導入部18の透光窓32に相対するように配置されている。ここで、レーザ光源12から照射されたレーザ光は、レンズにより構成された光屈折手段Bで集光された上で、前記透光窓32から内部空間28内に臨むフォトニック結晶ファイバ20のコア部分に導入され、ガス排出部19に向かって伝播する。   The laser light source 12 employs a wavelength tunable laser that can selectively irradiate laser beams of various wavelengths, and the irradiation unit is disposed so as to face the light transmitting window 32 of the gas introduction unit 18. Yes. Here, the laser light emitted from the laser light source 12 is collected by the light refracting means B constituted by a lens, and then the core of the photonic crystal fiber 20 facing the inner space 28 from the light transmitting window 32. It is introduced into the part and propagates toward the gas discharge part 19.

前記光検出手段13は、前記コア部分を通過したレーザ光を垂直方向及び水平方向の偏波に分離する偏波分離素子36と、この偏波分離素子36によって分離された各偏波を受光する二つの受光素子38,38と、これら受光素子38,38で受光した各偏波の大きさを加算してレーザ光の強度を検出する検出器40とを備えている。   The light detection means 13 receives a polarized light separating element 36 that separates laser light that has passed through the core portion into vertically and horizontally polarized waves, and each polarized light separated by the polarized light separating element 36. Two light receiving elements 38, 38 and a detector 40 for detecting the intensity of the laser beam by adding the magnitudes of the respective polarizations received by the light receiving elements 38, 38 are provided.

前記偏波分離素子36は、その受光部分がガス排出部19の透光窓32に相対するように配置されている。このため、ガス排出部19に向かってフォトニック結晶ファイバ20を伝播してきたレーザ光は、ガス排出部19の内部空間28からその透光窓32を通って外部に放出され、外部に放出されたレーザ光は、レンズにより構成された光屈折手段Bで分光された上で、偏波分離素子36に受光され、二方向の偏波に分離される。   The polarization separation element 36 is disposed such that the light receiving portion thereof faces the light transmission window 32 of the gas discharge unit 19. For this reason, the laser beam propagating through the photonic crystal fiber 20 toward the gas discharge unit 19 is emitted from the internal space 28 of the gas discharge unit 19 to the outside through the translucent window 32 and is emitted to the outside. The laser light is split by the light refracting means B constituted by a lens, and then received by the polarization separation element 36 and separated into two directions of polarization.

なお、好ましくは、光検出手段13を複数設け、それら各データの差を取ることで、レーザの揺らぎによる誤差を除去するとよい。   Preferably, a plurality of light detection means 13 are provided, and an error due to laser fluctuation is removed by taking a difference between the respective data.

前記ガス発生装置15は、測定対象となる試料ガスを発生させ、当該試料ガスをガス導入部18の内部空間28に供給するようになっている。当該内部空間28に供給された試料ガスは、フォトニック結晶ファイバ20のコア部分を通り、ガス排出部19に向かって流れ、当該ガス排出部19の内部空間28から真空ポンプユニット16に向かって排出される。   The gas generator 15 generates a sample gas to be measured, and supplies the sample gas to the internal space 28 of the gas introduction unit 18. The sample gas supplied to the internal space 28 passes through the core portion of the photonic crystal fiber 20, flows toward the gas discharge unit 19, and is discharged from the internal space 28 of the gas discharge unit 19 toward the vacuum pump unit 16. Is done.

前記真空ポンプユニット16は、フォトニック結晶ファイバ20内を通る試料ガスの気圧を調整可能に設けられている。ここで、試料ガスの気圧としては、測定対象となる物質の種類に応じて適宜選択されるが、一般的に、大気圧以下で、各波長での吸収スペクトルの山の広がりが所定の範囲内になるように調整される。   The vacuum pump unit 16 is provided so that the pressure of the sample gas passing through the photonic crystal fiber 20 can be adjusted. Here, the pressure of the sample gas is appropriately selected according to the type of the substance to be measured, but generally, it is below atmospheric pressure, and the spread of the peak of the absorption spectrum at each wavelength is within a predetermined range. It is adjusted to become.

次に、前記分光分析装置10による分光分析方法につき説明する。   Next, a spectroscopic analysis method using the spectroscopic analyzer 10 will be described.

ガス発生装置15から発生した試料ガスは、ガス導入部18に導入され、フォトニック結晶ファイバ20の中空コア部分を通って、ガス排出部19から排気されて真空ポンプユニット16に吸入される。このとき、真空ポンプユニット16の動作により、試料ガスの気圧が大気圧以下の所定圧力に調整される。その状態で、レーザ光源12からレーザ光がガス導入部18に向かって照射され、当該レーザ光は、試料ガスが収容されたフォトニック結晶ファイバ20のコア部分をガス排出部19に向かって伝播する。そして、フォトニック結晶ファイバ20内を通過したレーザ光は、ガス排出部19の透光窓32から放出され、その強度が光検出手段13によって検出される。以上の手順は、レーザ光源12で段階的に変えられるレーザ光の波長毎に行われ、それらデータを集めて、試料ガスを通過したレーザ光の吸収スペクトルが求められる。   The sample gas generated from the gas generator 15 is introduced into the gas introduction unit 18, passes through the hollow core portion of the photonic crystal fiber 20, is exhausted from the gas exhaust unit 19, and is sucked into the vacuum pump unit 16. At this time, the pressure of the sample gas is adjusted to a predetermined pressure equal to or lower than the atmospheric pressure by the operation of the vacuum pump unit 16. In this state, laser light is irradiated from the laser light source 12 toward the gas introduction unit 18, and the laser light propagates toward the gas discharge unit 19 through the core portion of the photonic crystal fiber 20 containing the sample gas. . The laser light that has passed through the photonic crystal fiber 20 is emitted from the light transmission window 32 of the gas discharge unit 19, and its intensity is detected by the light detection means 13. The above procedure is performed for each wavelength of the laser light that is changed stepwise by the laser light source 12, and the data is collected to obtain an absorption spectrum of the laser light that has passed through the sample gas.

従って、このような実施例によれば、シングルモードのフォトニック結晶ファイバ20を用いるために、光の伝送損失を抑え、長い作用長が得られて高感度の測定が可能になる。   Therefore, according to such an embodiment, since the single-mode photonic crystal fiber 20 is used, the transmission loss of light is suppressed, a long action length is obtained, and high-sensitivity measurement is possible.

また、内径10μm程度のコア部分に試料ガスを収容させることで測定可能となるため、ファイバ20の長さを数百mと長くしても、試料ガスの量を従来よりも少なくすることができ、バイオメディカル等、一般的にサンプル量が少ない物質でも正確な測定が可能となる。   Further, since the sample gas can be measured by accommodating the sample gas in the core portion having an inner diameter of about 10 μm, even if the length of the fiber 20 is increased to several hundred meters, the amount of the sample gas can be reduced as compared with the conventional case. In addition, accurate measurement is possible even for a substance having a small sample amount, such as biomedical.

次に、前記実施例の変形例につき説明する。なお、以下の説明において、前記実施例と同一若しくは同等の構成部分については同一符号を用いるものとし、説明を省略若しくは簡略にする。   Next, a modification of the above embodiment will be described. In the following description, the same reference numerals are used for the same or equivalent components as in the above embodiment, and the description is omitted or simplified.

図3に示されるように、本変形例は、前記実施例に対し、ガス排出部19の透光窓32内の透光性部材31(図1参照)の代わりに、レーザ光を全反射する鏡等からなる反射手段42を設けるとともに、光検出手段13をガス導入部18側に配置したところに特徴を有する。   As shown in FIG. 3, the present modification totally reflects the laser beam in place of the translucent member 31 (see FIG. 1) in the translucent window 32 of the gas discharge unit 19 in the modification. A feature is that a reflecting means 42 such as a mirror is provided, and the light detecting means 13 is disposed on the gas introduction unit 18 side.

本変形例においては、ガス導入部18の透光窓32に相対配置された光屈折手段Bの外側にビームスプリッタ44が設けられている。このビームスプリッタ44は、レーザ光源12からのレーザ光をガス導入部18に伝播させるとともに、ガス導入部18からのレーザ光を光検出手段13に伝播させるように入出力光を分光する。   In the present modification, a beam splitter 44 is provided outside the light refracting means B disposed relative to the light transmission window 32 of the gas introduction unit 18. The beam splitter 44 splits the input / output light so that the laser light from the laser light source 12 propagates to the gas introduction unit 18 and the laser light from the gas introduction unit 18 propagates to the light detection means 13.

以上の構成では、レーザ光源12から照射されたレーザ光は、ビームスプリッタ44及び光屈折手段Bを通ってガス導入部18に導入される。このレーザ光は、フォトニック結晶ファイバ内20のコア部分をガス排出部19に向かって伝播し、反射手段42で反射されて折り返し逆向きに進み、ガス導入部18に戻ってくる。そして、このレーザ光は、ガス導入部18の透光窓32から外部に放出され、光屈折手段B及びビームスプリッタ44を通って偏波分離素子36に受光される。そして、前記実施例と同様にして、試料ガスに対するレーザ光の吸収スペクトルが求められる。   In the above configuration, the laser light emitted from the laser light source 12 is introduced into the gas introduction unit 18 through the beam splitter 44 and the light refracting means B. The laser light propagates through the core portion in the photonic crystal fiber 20 toward the gas discharge portion 19, is reflected by the reflecting means 42, travels in the reverse direction, and returns to the gas introduction portion 18. Then, this laser light is emitted to the outside from the light transmission window 32 of the gas introduction unit 18, and is received by the polarization separation element 36 through the light refracting means B and the beam splitter 44. And the absorption spectrum of the laser beam with respect to sample gas is calculated | required similarly to the said Example.

本変形例によれば、前記実施例に対し、レーザ光の作用長が二倍になり、同じファイバ20の長さでより高精度な測定が可能となる。   According to this modification, the working length of the laser beam is doubled compared to the above-described embodiment, and higher-precision measurement is possible with the same length of the fiber 20.

なお、前記実施例及び変形例では、レーザ光を集光及び分光する光屈折手段Bとして、レンズを用いたが、その他、短寸化したフォトニック結晶ファイバ20を用いるとよい。これによれば、フォトニック結晶ファイバ20の端部と光屈折手段Bとの離間距離をレンズの場合よりも短くすることができ、装置の小型化を一層促進することができる。   In the above-described embodiments and modifications, a lens is used as the light refracting means B that condenses and separates the laser light. However, a photonic crystal fiber 20 that is shortened may be used. According to this, the separation distance between the end portion of the photonic crystal fiber 20 and the light refraction means B can be made shorter than in the case of a lens, and the downsizing of the apparatus can be further promoted.

また、前記実施例では、光検出手段13として、偏波分離素子36と、複数の受光素子38,38とが設けられた構成となっているが、本発明はこれに限らず、フォトニック結晶ファイバのうち、偏波面を保持する性質のものを使えば、偏波分離素子36を省略し、受光素子38を一つにすることもできる。   In the embodiment, the polarization detecting element 36 and the plurality of light receiving elements 38, 38 are provided as the light detecting means 13. However, the present invention is not limited to this, and the photonic crystal is used. If a fiber having the property of maintaining the polarization plane is used, the polarization separation element 36 can be omitted and the light receiving element 38 can be integrated.

その他、本発明における装置各部の構成は図示構成例に限定されるものではなく、実質的に同様の作用を奏する限りにおいて、種々の変更が可能である。   In addition, the configuration of each part of the apparatus in the present invention is not limited to the illustrated configuration example, and various modifications are possible as long as substantially the same operation is achieved.

本実施例に係る分光分析装置の概略構成図。The schematic block diagram of the spectroscopic analyzer which concerns on a present Example. ファイバセルの概略斜視図。The schematic perspective view of a fiber cell. 変形例に係る分光分析装置の概略構成図。The schematic block diagram of the spectroscopic analyzer which concerns on a modification.

符号の説明Explanation of symbols

10 分光分析装置
12 レーザ光源
13 光検出手段
20 フォトニック結晶ファイバ
36 偏波分離素子
38 受光素子
42 反射手段
B 光屈折手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Spectroanalyzer 12 Laser light source 13 Photodetection means 20 Photonic crystal fiber 36 Polarization separation element 38 Light receiving element 42 Reflection means B Photorefractive means

Claims (6)

測定対象の気体が収容される中空のコア部分を有するフォトニック結晶ファイバと、前記コア部分に複数波長のレーザ光を照射するレーザ光源と、前記コア部分を通過したレーザ光の強度を検出する光検出手段とを備えたことを特徴とする分光分析装置。 A photonic crystal fiber having a hollow core part in which a gas to be measured is accommodated, a laser light source for irradiating the core part with laser light having a plurality of wavelengths, and light for detecting the intensity of the laser light that has passed through the core part A spectroscopic analysis device comprising a detection means. 前記光検出手段は、前記コア部分を通過したレーザ光を直交二方向の偏波に分離する偏波分離素子と、この偏波分離素子によって分離された各偏波を受光する受光素子とを備え、
各偏波の大きさを合わせてレーザ光の強度を算出することを特徴とする請求項1記載の分光分析装置。
The light detection means includes a polarization separation element that separates laser light that has passed through the core portion into two orthogonal polarizations, and a light receiving element that receives each polarization separated by the polarization separation element. ,
2. The spectroscopic analyzer according to claim 1, wherein the intensity of the laser beam is calculated by combining the magnitudes of the polarized waves.
前記フォトニック結晶ファイバの一端側に、レーザ光源及び光検出手段が設けられる一方、前記フォトニック結晶ファイバの他端側に、レーザ光の反射手段が設けられ、
前記レーザ光は、前記一端側から導入され、前記他端側の反射手段で反射されて、前記一端側で前記光検出手段に受光されることを特徴とする請求項1又は2記載の分光分析装置。
On one end side of the photonic crystal fiber, a laser light source and light detection means are provided, and on the other end side of the photonic crystal fiber, laser light reflecting means is provided,
3. The spectroscopic analysis according to claim 1, wherein the laser light is introduced from the one end side, reflected by the reflecting means on the other end side, and received by the light detecting means on the one end side. apparatus.
前記フォトニック結晶ファイバの端部と、レーザ光源及び/又は光検出手段との間に、フォトニック結晶ファイバからなる光屈折手段が設けられていることを特徴とする請求項1、2又は3記載の分光分析装置。 4. A light refraction means comprising a photonic crystal fiber is provided between an end of the photonic crystal fiber and a laser light source and / or a light detection means. Spectroscopic analyzer. 中空のコア部分を有するフォトニック結晶ファイバを使った分光分析方法であって、
前記コア部分に測定対象の気体を収容した後で、複数波長のレーザ光を前記コア部分に照射し、当該コア部分を伝播したレーザ光の強度を波長毎に測定することを特徴とする分光分析方法。
A spectroscopic analysis method using a photonic crystal fiber having a hollow core portion,
A spectroscopic analysis characterized in that after the gas to be measured is accommodated in the core part, laser light of a plurality of wavelengths is irradiated onto the core part, and the intensity of the laser light propagated through the core part is measured for each wavelength. Method.
コア部分に収容された気体を大気圧未満に減圧することを特徴とする請求項5記載の分光分析方法。 6. The spectroscopic analysis method according to claim 5, wherein the gas contained in the core portion is depressurized to less than atmospheric pressure.
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