JP2006121073A - 終点検出器及び粒子モニタ - Google Patents
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Abstract
【課題】PECVDシステムの洗浄サイクルを制御するための改良された方法及びシステムを提供する。
【解決手段】 排気口152が堆積サイクルの間に1つ以上の粒子と洗浄サイクルの間に洗浄ガス反応種を排出するように構成された真空堆積プロセスチャンバ133と、排気口152に結合したインサイチュ粒子モニタ190とを含む基板処理システムを用いる。インサイチュ粒子モニタ190は洗浄サイクルの開始点を求めるように構成されている。プラズマ増強型化学気相堆積システムは、更に、排気口152に結合された赤外線用終点検出アセンブリ200を含んでいる。赤外線用終点検出アセンブリ200は、洗浄サイクルの終点を求めるように構成されている。
【選択図】図1
【解決手段】 排気口152が堆積サイクルの間に1つ以上の粒子と洗浄サイクルの間に洗浄ガス反応種を排出するように構成された真空堆積プロセスチャンバ133と、排気口152に結合したインサイチュ粒子モニタ190とを含む基板処理システムを用いる。インサイチュ粒子モニタ190は洗浄サイクルの開始点を求めるように構成されている。プラズマ増強型化学気相堆積システムは、更に、排気口152に結合された赤外線用終点検出アセンブリ200を含んでいる。赤外線用終点検出アセンブリ200は、洗浄サイクルの終点を求めるように構成されている。
【選択図】図1
Description
発明の分野
[0001]本発明の実施形態は、一般的には、化学気相堆積(CVD)処理、更に詳細には、CVDチャンバを洗浄する方法及びシステムに関する。
[0001]本発明の実施形態は、一般的には、化学気相堆積(CVD)処理、更に詳細には、CVDチャンバを洗浄する方法及びシステムに関する。
関連技術の説明
[0002]化学気相堆積(CVD)は、基板上に真性のものやドープされたアモルファスシリコン(a‐Si)、酸化シリコン(SixOy)、窒化シリコン(SirNs)、酸窒化シリコンのような膜を堆積するために半導体産業で広く用いられている。現代の半導体CVD処理は、一般的には、所望の膜を形成するために解離し反応させる前駆ガスを用いることにより真空チャンバ内で行われる。低温と比較的高い堆積速度で膜を堆積するために、プラズマが堆積の間チャンバ内で前駆ガスから形成することができる。このようなプロセスの1つのタイプがプラズマ増強型CVDプロセス(PECVD)である。このようなプラズマプロセスの他のタイプがHDP‐CVDである。
[0002]化学気相堆積(CVD)は、基板上に真性のものやドープされたアモルファスシリコン(a‐Si)、酸化シリコン(SixOy)、窒化シリコン(SirNs)、酸窒化シリコンのような膜を堆積するために半導体産業で広く用いられている。現代の半導体CVD処理は、一般的には、所望の膜を形成するために解離し反応させる前駆ガスを用いることにより真空チャンバ内で行われる。低温と比較的高い堆積速度で膜を堆積するために、プラズマが堆積の間チャンバ内で前駆ガスから形成することができる。このようなプロセスの1つのタイプがプラズマ増強型CVDプロセス(PECVD)である。このようなプラズマプロセスの他のタイプがHDP‐CVDである。
[0003]当該技術のCVD半導体処理チャンバの状態はアルミニウムから作られ、基板の支持体と必要とされる前駆ガスを注入するためのポートを含んでいる。プラズマが用いられる場合、ガス流入口及び/又は基板支持体は、高周波(RF)電源のような、電源に接続される。真空ポンプは、チャンバ内の圧力を制御し且つ堆積の間生成される種々のガスや汚染物質を除去するためにチャンバに接続される。
[0004]全ての半導体処理においては、チャンバ内の汚染物質は最小限に維持されなければならない。堆積プロセス中、膜は基板上に堆積されるだけでなく、チャンバ内の壁や種々のコンポーネント、例えば、シールド、基板支持体等にも堆積する。その後の堆積中に、壁や種々のコンポーネント上の膜が亀裂又は剥離することがあり、基板上に汚染物質が落下する。このことにより基板上の特定のデバイスに問題や損傷が生じる。損傷したデバイスは処分されなければならない。
[0005]大ガラス基板、例えば、370mm×470mm以上がコンピュータスクリーン等として用いられる薄膜トランジスタを形成するように処理される場合、百万以上のトランジスタを単一の基板上に形成することができる。コンピュータスクリーン等が微粒子によって損傷した場合には不作動になるので、処理チャンバ内の汚染物質の存在はこの場合になお一層深刻である。この場合には、大ガラス基板全体が処分されなければならない。
[0006]従って、CVDチャンバは以前の堆積から蓄積された膜を除去するために定期的に洗浄されなければならない。洗浄は、一般的には、エッチングガス、フッ素含有ガス、例えば、三フッ化窒素(NF3)をチャンバに送ることにより行われる。この洗浄方法を行う標準的な方法は、チャンバにNF3の一定のフローを送ることである。プラズマは、チャンバ壁や取付け具上の以前の堆積からのコーティング、例えば、Si、SixOy、SirNs、SiON等、また、チャンバ内の他のあらゆる物質のコーティングと反応させるフッ素含有ガスから開始する。特に、NF3はSi含有残留物と反応するフッ素遊離基“F*”を生じる。
[0007]現在、洗浄サイクルの頻度や継続時間は、典型的には、トライアルエラー、又はヒストリカルなデータによって決定される。例えば、チャンバの状態に無関係に、所定の基板数を処理した後にチャンバは洗浄が予定されてもよい。持続時間に関して、過剰な洗浄時間がチャンバ及びその中に含まれるコンポーネントに引き起こすことがある損傷を考慮せずに、典型的には、洗浄時間の過剰の20〜30パーセントが洗浄サイクルに加えられる。
[0008]それ故、フラットパネルディスプレイを処理するように構成されたPECVDシステムの洗浄サイクルを制御するための改良された方法及びシステムが当該技術において求められている。
[0009]本発明の1以上の実施形態は、基板処理システムに関する。基板処理システムは、排出口が堆積サイクルの間に1つ以上の粒子と洗浄サイクルの間に洗浄ガス反応種を放出するように構成された真空堆積プロセスチャンバと、排出口に結合したインサイチュ粒子モニタとを含んでいる。インサイチュ粒子モニタは、洗浄サイクルの開始点を求めるように構成されている。プラズマ増強型化学気相堆積システムは、更に、排出口に結合した赤外線用終点検出アセンブリを含んでいる。赤外線用終点検出アセンブリは、洗浄サイクルの終点を求めるように構成されている。
[0010]本発明の1以上の実施形態は、基板処理システムの洗浄サイクルを制御するための方法に関する。その方法は、堆積サイクルの間、真空堆積処理チャンバの排出口に結合されたインサイチュ粒子モニタを用いて洗浄サイクルの開始点を求めるステップと、洗浄サイクルの開始点が求められると真空堆積プロセスチャンバの内部で洗浄サイクルを開始し、排気口に結合された赤外線用終点検出アセンブリを用いて洗浄サイクルの終点を求めるステップと、洗浄サイクルの終点が求められると洗浄サイクルを終了するステップとを含んでいる。
[0011]本発明の上記特徴が詳細に理解され得るように、上記で簡単に纏められた本発明の更に具体的な説明は、添付された図面にその一部が示されている実施形態によるものである。しかしながら、添付された図面が本発明の典型的な実施形態しか示してなく、本発明の範囲を制限するものではないので、他の同等の効果的な実施形態を許容できることに留意すべきである。
[0016]図1は、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアルズ社の子会社、AKTから得ることができる、プラズマ増強型化学気相堆積(PECVD)システム100の一実施形態を示す概略断面図である。PECVDシステム100は、クラスタプロセスシステム、インラインシステム、スタンドアローンシステム等に用いることができる。PECVDシステム100は、真空堆積プロセスチャンバ133を含んでいる。プロセスチャンバ133は、壁106と底面108を有し、これらは処理領域141を部分的に画成する。壁106と底面108は、典型的には、アルミニウム又は処理と適合できる他の物質のユニタリブロックから製造される。壁106は、プロセスチャンバ133の内外にフラットパネルディスプレイを搬送するための開口142を有する。フラットパネルディスプレイ基板の例は、ガラス基板、ポリマー基板等を含んでいる。
[0017]温度制御された基板支持アセンブリ135は、処理チャンバ133内の中央に配置されている。支持アセンブリ135は、処理の間フラットパネルディスプレイ基板を支持するように構成されている。基板支持アセンブリ135は、少なくとも1つの組み込まれたヒータ(図示せず)を封入するアルミニウム本体を有してもよい。抵抗素子のようなヒータは任意の電源に結合され、所定の温度に支持アセンブリ135とその上に配置されたフラットパネルディスプレイ基板を制御可能に加熱する。典型的には、CVDプロセスにおいて、ヒータは堆積される物質の堆積処理パラメータに依存して、約150℃〜約460℃の均一な温度でフラットパネルディスプレイ基板を維持する。
[0018]一般的には、支持アセンブリ135は、下側166及び上側164を有する。上側164は、フラットパネルディスプレイ基板を支持するために構成される。下側166はそこに結合したステム137を有する。ステム137は、支持アセンブリ135をプロセスチャンバ133の内外への基板搬送を容易にする、上の処理位置と下の位置の間に支持アセンブリ135を移動させるリフトシステム(図示せず)に結合する。ステム137は支持アセンブリ135とシステム100の他のコンポーネント間に電気的熱電対導線のコンジットを更に備えている。
[0019]ベローズ(図示せず)は、支持アセンブリ135と処理チャンバ133の底面108間で結合することができる。ベローズは、支持アセンブリ135の垂直移動を容易にしつつ処理領域141と処理チャンバ133の外側の大気との間の真空シールを与える。
[0020]支持アセンブリ135は、更に、囲んでいるシャドーフレーム(図示せず)を支持することができる。一般的には、シャドーフレームは、基板が支持アセンブリ135に付着しないように、フラットパネルディスプレイ基板のエッジと支持アセンブリ135での堆積を防止するように構成される。支持アセンブリ135は、複数のホール128がそれを通って配置され、複数のリフトピン(図示せず)を受けるように構成されている。リフトピンは、典型的には、セラミック又は陽極酸化アルミニウムから構成されている。リフトピンは、任意のリフトプレート(図示せず)により支持アセンブリ135に相対して動作することができ、支持表面(図示せず)から突き出て、それによって支持アセンブリ135に対して隔置された位置に基板を配置する。
[0021]処理チャンバ133は、更に、リッドアセンブリ110を含み、これは処理領域141に上部の境界を与える。リッドアセンブリ110は、典型的には、処理チャンバ133を点検するために取り外され又は開放し得る。リッドアセンブリ110は、アルミニウム(Al)から製造することができる。リッドアセンブリ110は排気プレナム150を含み、これは処理領域141から処理チャンバ133の外に均一にガスと処理副生成物を送るように構成されている。
[0022]リッドアセンブリ110は、典型的には、プロセスガスや洗浄ガスはガスマニホールド61を通って処理チャンバ133に導入される注入ポート180を含んでいる。ガスマニホールド61はプロセスガス源170と洗浄ガス源182に結合されている。洗浄ガス源182は、典型的には、フッ素ラジカルのような洗浄物質を供給し、処理チャンバハードウェアから堆積副生成物や膜を除去するために処理チャンバ133に導入される。NF3はフッ素ラジカルを供給するために洗浄ガスとして用いることができる。N2、O2、Arのような他の洗浄ガスもフッ素ラジカルを供給するためにNF3と組合わせることができる。洗浄ガス源182はエッチングプラズマを生成するために構成されたリモートプラズマ洗浄源を組み込むことができる。そのようなリモートプラズマ洗浄源は、典型的には、処理チャンバ133から離れており、マイクロ波プラズマシステム、トロイダルプラズマ生成器又は類似のデバイスのような高密度プラズマ源であってもよい。
[0023]一実施形態においては、バルブ280は洗浄源182とガスマニホールド61間に配置することができる。バルブ280は、洗浄ガスをガスマニホールド61に入れることを選択的に可能にし又は防止するように構成されている。洗浄中、バルブ280は、洗浄ガスを洗浄ガス源182からガスマニホールド61内に通過させるよう構成され、内部チャンバ壁とその中に含有する他のコンポーネントをエッチングするために処理領域141への注入ポート180を介して送られる。堆積中、バルブ280はプロセスガスをガスマニホールド61に移ることを防止するように構成される。この方法において、バルブ280は洗浄プロセスを堆積プロセスと分離する。
[0024]処理チャンバ133は、更に、リッドアセンブリ210の内側に結合されたガス拡散プレートアセンブリ122を含んでいる。ガス分配プレートアセンブリ122は、フラットパネルディスプレイ基板とほぼ同様の表面積を有してもよい。ガス分配プレートアセンブリは、それを通って処理ガスや洗浄ガスが処理領域141に分配される貫通領域121を含んでいる。ガス分配プレートアセンブリ122の貫通領域121は、処理チャンバ133へガス分配プレートアセンブリ122を通過する均一な分配を与えるように構成されている。
[0025]動作中、処理ガスはガスマニホールド61と注入ポート180を通って処理チャンバ133に流される。その後、ガスは、ガス分配プレートアセンブリ122の貫通領域121を通って処理領域141に流される。RF電源(図示せず)は、ガス分配プレートアセンブリ122と支持アセンブリ135間に電力を加えてプロセスガス混合物を励起してプラズマを形成するために用いることができる。プラズマの成分は、支持アセンブリ135上の基板の表面上に所望の膜を堆積するように反応する。RF電力は、一般的には、化学気相堆積プロセスを駆動させるために基板のサイズと比例して選ばれる。
[0026]堆積プロセスガスは、プロセスチャンバ133から処理領域141を囲むスロット型オリフィス131を通って排気プレナム150に排気することができる。排気空間150から、ガスは外部真空ポンプ(図示せず)に接続する排出コンジット60を備えている排出口152へ真空シャットオフバルブ154を通って流される。
[0027]本発明の実施形態によれば、赤外線用終点検出アセンブリ200は排気口152の下側に取り付けられる。赤外線用終点検出アセンブリ200は、SiF4のような排気された洗浄ガス反応種による光の吸収のために生じた光強度の変化を検出することによって洗浄サイクルの終点を求めるように構成されている。赤外線用終点検出アセンブリ200は、インサイチュプラズマか又はリモートプラズマと用いることができる。
[0028]赤外線用終点検出アセンブリ200は、排出コンジット60に沿って配置されたガス検出器202を含んでいる。一実施形態においては、ガス検出器202は、図2に示されるように、コンジット60からガスの試料流を受けるバイパスライン204に沿って配置される。本実施形態において、バイパスライン204は、ライン204を通過するフロー量を変化させる又は、例えば、堆積中にバイパスライン204に沿ってガスフローを完全に止める制御バルブ206を含むことができる。
[0029]図3は、本発明の1以上の実施形態に従ったガス検出器300を示す概略図である。図3に示されるように、ガス検出器300は、処理チャンバ133からのガスや他の残留物を通過させるコンジット60と連通したスルーホール306を画成するハウジング304を含んでいる。一組のフランジ308、310はハウジング304とコンジット60を取り付けることが好ましい。ハウジング304の側壁は、赤外線の光を通過させるように構成される一組の赤外線用(IR)窓312、313を含んでいる。遠赤外線の光の波長は約10μmで開始する。赤外線用窓312、313は長さLで隔置され、0又は実質的にわずかな光が窓312、313によって吸収されるように、遠赤外線の光に対して実質的に透明な物質を含むことが好ましい。更に、赤外線用窓312、313の物質はプロセス適合性であり、処理ガスと洗浄ガス化学に関して不活性でなければならず、物質は膜を汚染してはならない。フッ素ラジカルが洗浄プロセスに用いられる実施形態においては、窓312及び313はフッ素に耐性がある。赤外線用窓312、313は、ゲルマニウム、フッ化カルシウム等の物質から製造することができる。
[0030]検出器300は、更に、遠赤外線の光を生成するとともに窓312、313を通ってこの光を送るので光がスルーホール306を通過するためのハウジング304に適切に結合された遠赤外線用光源を含んでいる。赤外線用光検出器316は、窓313を通過する遠赤外線の光を受け取り検出する位置でハウジング304に結合されている。遠赤外線用光源314は光学ノッチフィルタを備えたタングステンランプ源であってもよい。
[0031]赤外線用終点検出アセンブリ200が用いられている場合、洗浄ガス反応種(例えば、SiF4)は検出器300のコンジット60とスルーホール306に沿って進む。遠赤外線用光源314は、窓312、スルーホール306、窓313を通って遠赤外線の光を送り、検出器316によって受け取られる。光が洗浄ガスのSiF4反応種を通過するので、これらの反応種(即ち、シリコン)は遠赤外線の光の一部を吸収し、検出器316によって受け取られた光強度を低下させる。フッ素は遠赤外線の光を吸収しない。それ故、検出された遠赤外線の光強度が基準値まで増加する場合、検出器316はコントローラ250に信号を送り、コンジット60を通過するSiF4の濃度が実質的に減少又は完全に停止したことを示し、これは洗浄サイクルの終点に達したことを示している。この点で、コントローラ250は、更にエッチングガスをチャンバに注入することを防止するためにバルブ280を閉じるプロセッサ(図示せず)に適切な信号を送ることができる。上記の例示的な洗浄プロセスにおいては、終点検出システム200は、所定の波長、例えば、10μmの光を吸収する洗浄ガス反応種SiF4や、約5−6μmの波長をもつ光を吸収するフッ素によって吸収され得る遠赤外線の光波長を与えるための赤外線用光源314と、それを検出するための検出器316を用いる。他の実施形態においては、赤外線用光源314と検出器316は、異なる波長の光を供給することができ、洗浄サイクルに用いられた個々の洗浄ガス反応種の光吸収特性に左右される。
[0032]例として、I0は、SiF4がコンジット60を流れず検出器316が赤外線用光源314から十分な強度を受けるときの赤外線の光の強度である。SiF4が洗浄中にスルーホール306を通って流れるとき、遠赤外線の光は吸収され、検出器316によって受け取られた強度(I)が低下し、以下のように表される。
I/I0=exp(−X*L*C)
ここで、XはIR窓312、313又はフィルタ(図示せず)の吸光係数、Lは窓312、313間の長さであり、Cは検出器300を通過するSiF4の濃度である。I/I0が数値1に接近するにつれて、SiF4濃度は減少し、これは洗浄終点が近づいていることを意味する。コントローラ250は、洗浄終点に達したことを意味するI/I0が1に接近するまで連続してモニタする。赤外線用終点検出アセンブリ200の詳細は、共同譲渡された米国特許第5,879,574号に見出すことができ、この開示内容は本明細書全体で援用されている。本発明の1以上の実施形態が赤外線用終点検出アセンブリによって記載してきたが、排気された洗浄ガス反応種を検出することができる他のタイプの化学検出器も本発明の他の実施形態によって企図される。
ここで、XはIR窓312、313又はフィルタ(図示せず)の吸光係数、Lは窓312、313間の長さであり、Cは検出器300を通過するSiF4の濃度である。I/I0が数値1に接近するにつれて、SiF4濃度は減少し、これは洗浄終点が近づいていることを意味する。コントローラ250は、洗浄終点に達したことを意味するI/I0が1に接近するまで連続してモニタする。赤外線用終点検出アセンブリ200の詳細は、共同譲渡された米国特許第5,879,574号に見出すことができ、この開示内容は本明細書全体で援用されている。本発明の1以上の実施形態が赤外線用終点検出アセンブリによって記載してきたが、排気された洗浄ガス反応種を検出することができる他のタイプの化学検出器も本発明の他の実施形態によって企図される。
[0033]本発明の他の実施形態によれば、インサイチュ粒子モニタ(ISPM)190は排気口152に結合される。ISPM190は排気口152を通過する粒子の数をモニタするように構成されている。ISPM190はオレゴン州、グランツパスのパシフィックサイエンティフィック インスツルメンツ(Pacific Scientific Instruments)から市販されているものである。ISPM190は、排気口152と外部真空ポンプ又は外部真空ポンプの下流間の排出コンジット60に沿って配置されてもよい。
[0034]ISPM190は、光源、例えば、レーザ、検出器、コントローラを含むことができる。光源は、排出コンジット60全体に光ビームを送るように構成される。粒子がISPM190を通って排気口152から排出されるにつれて、粒子は光ビームを中断させ、散乱光を生じる。散乱光の一部は検出器により検出され、これは散乱光が光線を交差する粒子の存在が関係している。検出器はコントローラに結合され、ISPM190を通過する粒子の数を算出するよう構成されている。一実施形態においては、ISPM190は、堆積の間排気口152を通過する粒子の総数をモニタするために用いられる。粒子の総数が所定数(例えば、10,000粒子)に達したとき、洗浄サイクルが現在の堆積完了時に開始する。他の実施形態においては、ISPM190は、洗浄中に排気口152を通過する粒子の総数をモニタするために用いられる。粒子の総数は、プロセスチャンバ133の洗浄度について使用者(例えば、プロセスエンジニア)に指示することができる。ISPM190の詳細は、共同譲渡された米国特許第5,271,264号に見出すことができ、この開示内容は本明細書に全体で援用されている。
[0035]図4は本発明の1以上の実施形態に従ってプラズマ増強型化学気相堆積システム100の洗浄サイクルを制御するための方法を示す流れ図である。ステップ410で、堆積サイクルの間、排気口152を流れる粒子の総数がモニタされる。一実施形態においては、排気口152を流れる粒子の総数が排気口152に結合されたISPM190によってモニタされる。ステップ420で、粒子の総数が所定数を超えるかについて求められる。所定の数はレシピ、ガスの種類、堆積中に用いられる基板のサイズに依存して変化させることができる。一実施形態においては、所定数は10,000粒子とすることができる。答えが否定である場合には、処理はステップ410に戻る。答えが肯定である場合には、処理はステップ430に続き、洗浄リサイクルが堆積サイクルの完了時に開始される。このようにして、プラズマ増強型化学気相堆積システム100の洗浄サイクルの頻度を求めることができる。
[0036]洗浄サイクル中、排気口152を流れる洗浄ガス反応種(例えば、SiF4)の量又は濃度がモニタすることができる(ステップ440)。一実施形態においては、洗浄ガス反応種の量は、排出コンジット60に沿って配置された赤外線用終点検出アセンブリ200によってモニタされる。ステップ450で、排気口152の外に排出されるガスの総量における洗浄ガス反応種の量がかなり減少したかについて求められる。一実施形態においては、排気口152を流れる洗浄ガス反応種の量が、排気口152を流れるガスの総量の約5パーセント未満であるかについて求められる。答えが否定である場合には、処理はステップ440に戻る。答えが肯定である場合には、処理はステップ460に続き、洗浄サイクルは終了する。このようにして、プラズマ増強型化学気相堆積システム100の洗浄サイクルの持続時間を求めることができる。本発明の様々な実施形態の利点は、洗浄サイクルの間のNF3ガス使用の減少(例えば、約5〜30%の減少)を含み、システム利用増加したによる処理量増加を含んでいる。
[0037]前述は本発明の実施形態に関するが、本発明の更に多くの実施形態が本発明の基本的な範囲から逸脱することなく構成されてもよく、本発明の範囲は次の特許請求の範囲によって決定される。
60…排出コンジット、61…ガスマニホールド、100…PECVDシステム、106…壁、108…底面、110…リッドアセンブリ、121…貫通領域、122…ガス分配プレートアセンブリ、128…ホール、131…オリフィス、133…真空堆積プロセスチャンバ、135…基板支持アセンブリ、137…ステム、141…処理領域、142…開口、150…排気プレナム、152…排気口、154…真空シャットアウトバルブ、164…上側、166…下側、170…処理ガス源、180…注入ポート、182…洗浄ガス源、190…粒子モニタ(“ISPM”)190、200…終点検出アセンブリ200、202…ガス検出器202、204…バイパスライン204、206…制御バルブ206、210…リッドアセンブリ210、250…コントローラ250、280…バルブ、300…ガス検出器、304…ハウジング、306…スルーホール、308…フランジ、310…フランジ、312…窓、313…窓、314…赤外線用光源、316…赤外線用検出器
Claims (35)
- 基板処理システムであって、
排出口が堆積サイクルの間に1つ以上の粒子と洗浄サイクルの間に1つ以上の洗浄ガス反応種を排出するように構成された真空堆積プロセスチャンバと、
該排出口に結合されたインサイチュ粒子モニタであって、該インサイシュ粒子モニタが該洗浄サイクルの出発点を求めるように構成されている、前記モニタと、
該排出口に結合された赤外線用終点検出アセンブリであって、該赤外線用終点検出アセンブリが該洗浄サイクルの終点を求めるように構成されている、前記アセンブリと、
を備えている、前記システム。 - 該インサイチュ粒子モニタが、該堆積サイクルの間に該排出口を流れる粒子の総数をモニタすることにより該開始点を求めるように構成されている、請求項1記載のシステム。
- 該インサイチュ粒子モニタが、
該堆積サイクルの間に該排出口を流れる粒子の総数をモニタするステップと、
粒子の該総数が所定値を超える場合に該堆積サイクルの完了時に該洗浄サイクルを開始するステップと、
により該開始点を求めるように構成されている、請求項1記載のシステム。 - 該所定値が約10,000粒子である、請求項3記載のシステム。
- 該赤外線用終点検出アセンブリが、該洗浄サイクルの間に該排出口を流れるガスの総量中の洗浄ガス反応種の量をモニタすることによって該洗浄サイクルの該終点を求めるように構成されている、請求項1記載のシステム。
- 該赤外線用終点検出アセンブリが、該洗浄サイクルの間に該ガス流出口を流れるガスの総量中の洗浄ガス反応種の量をモニタし、該ガス流出口を流れる洗浄ガス反応種の該量が該ガス流出口を流れる該総量の約5パーセント未満である場合に該洗浄サイクルを終了することによって、該洗浄サイクルの該終点を求めるように構成されている、請求項1記載のシステム。
- 該基板処理システムが1枚以上のフラットパネルディスプレイ基板を処理するためのプラズマ増強型化学気相堆積システムである、請求項1記載のシステム。
- 該基板処理システムがHDP化学気相堆積システムである、請求項1記載のシステム。
- 該赤外線用終点検出器が、該排気口によって該チャンバから排出された洗浄ガス反応種の存在を検出するためのガス検出器を備えている、請求項1記載のシステム。
- 該検出器が、
側壁が流出ガスの通過のためのスルーホールを画成しているハウジングであって、該側壁が赤外線用窓を含んでいる、前記ハウジングと、
該ハウジングを該排気口に取り付けるように適合された一組のフランジと、
該ハウジングに結合された赤外線用光源と、
該ハウジングに結合された赤外線用検出器と、
を備えている、請求項9記載のシステム。 - 該赤外線用窓が、ゲルマニウム、フッ化カルシウム又はその組合わせからなる群より選ばれた物質を含んでいる、請求項10記載のシステム。
- 該赤外線用光源がタングステンランプを備えている、請求項11記載のシステム。
- 該赤外線用光源が、赤外線の光を生成するとともに該赤外線用窓を通ってこの光を送るので該赤外線の光が該スルーホールを通過するハウジングに結合されている、請求項10記載のシステム。
- 該赤外線用検出器が、該窓を通過する該赤外線の光を受け取る位置に該ハウジングに結合されている、請求項13記載のシステム。
- 該赤外線の光の波長が少なくとも10μmである、請求項13記載のシステム。
- 排気口に結合するように適合されたインサイチュ粒子モニタであって、該インサイチュ粒子モニタが洗浄サイクルの開始点を求めるように構成されている、前記モニタと、
該排気口に結合するように適合された赤外線用終点検出アセンブリであって、該赤外線用終点検出アセンブリが該洗浄サイクルの終点を求めるように構成されている、前記アセンブリと、
を備えている、ガス検出システム。 - 請求項16記載の該赤外線用終点検出アセンブリが、
側壁がガスの通過ためのスルーホールを画成しているハウジングであって、該側壁が窓を含んでいる、前記ハウジングと、
赤外線の光を生成するとともに該窓を通って該赤外線の光を送るので該赤外線の光が該スルーホールを通過する該ハウジングに結合されている赤外線用光源と、
該ハウジングに結合されている赤外線用検出器であって、該赤外線用検出器が該窓を通過する該赤外線の光を受け取るように位置している、前記赤外線用検出器と、
を備えている、請求項16記載のガス検出システム。 - 該インサイチュ粒子モニタが、堆積サイクルの間に該排気口を流れる粒子の総数をモニタすることによって該開始点を求めるように構成されている、請求項16記載のガス検出システム。
- 該インサイチュ粒子モニタが、粒子の該総数が所定値を超えるときの該堆積サイクルの完了時に該洗浄サイクルを開始する、請求項18記載のガス検出システム。
- 該所定値が約10,000粒子である、請求項19記載のガス検出システム。
- 該赤外線用終点検出アセンブリが、該洗浄サイクルの間に該排気口を流れるガスの総量中の洗浄ガス反応種の量をモニタすることによって該洗浄サイクルの該終点を求めるように構成されている、請求項16記載のガス検出システム。
- 該洗浄ガス反応種がSiF4を含んでいる、請求項21記載のガス検出システム。
- 該赤外線用終点検出アセンブリが、排気された該洗浄ガス反応種による光の吸収のために生じる光強度の変化を検出することにより該洗浄サイクルの終点を求めるように構成されている、請求項16記載のガス検出システム。
- 該インサイチュ粒子モニタが、
該排気口全体に光ビームを送るように構成された光源と、
粒子が該光ビームを中断する場合に生じた散乱光を検出するように構成された検出器と、
該排気口を通過する粒子の該総数をモニタするように構成されたコントローラと、
を備えている、請求項16記載のガス検出システム。 - 側壁が流出ガスの通過のためのスルーホールを画成しているハウジングであって、該側壁が赤外線用窓を含んでいる、前記ハウジングと、
該ハウジングを該排気口に取り付けるように適合された一組のフランジと、
該ハウジングに結合された赤外線用光源と、
該ハウジングに結合された赤外線用検出器と、
を備えている、ガス検出器。 - 該赤外線用窓が、ゲルマニウム、フッ化カルシウム又はその組合わせからなる群より選ばれた物質を含んでいる、請求項25記載のガス検出器。
- 該赤外線用光源が、タングステンランプを備えている、請求項26記載のガス検出器。
- 基板処理システムの洗浄サイクルを制御する方法であって、
堆積サイクルの間に真空堆積プロセスチャンバの排気口に結合されたインサイチュ粒子モニタを用いて該洗浄サイクルの開始点を求めるステップと、
該洗浄サイクルの該開始点が求められると該真空堆積プロセスチャンバ内部で該洗浄サイクルを開始するステップと、
該排気口に結合された赤外線用終点検出アセンブリを用いて該洗浄サイクルの終点を求めるステップと、
該洗浄サイクルの該終点が求められると該洗浄サイクルを終了するステップと、
を含む、前記方法。 - 該洗浄サイクルの該開始点が、該堆積サイクルの間に該排気口を流れる粒子の全数をモニタすることによって求められる、請求項28記載の方法。
- 該洗浄サイクルの該開始点が、
該堆積サイクルの間に該排気口を流れる粒子の総数をモニタし、
粒子の該総数が所定値を超えるかを求める、
ことによって決定される、請求項29記載の方法。 - 該洗浄サイクルを開始するステップが、粒子の該総数が該所定値を超えるときの該堆積サイクルの完了時に該洗浄サイクルを開始する工程を含んでいる、請求項30記載の方法。
- 該所定値が、約10,000粒子である、請求項31記載の方法。
- 該洗浄サイクルの該終点を求めるステップが、該洗浄サイクルの間に該排気口を流れるガスの総量中の洗浄ガス反応種の量をモニタする工程を含んでいる、請求項28記載の方法。
- 該洗浄サイクルの該終点を求めるステップであって、
該洗浄サイクルの間に該排気口を流れるガスの総量中の洗浄ガス反応種の量をモニタする工程と、
該排気口を流れる洗浄ガス反応種の該量が該排気口を流れるガスの該総量の約5パーセント未満であるかを求める工程と、
を含んでいる、前記方法。 - 該洗浄サイクルを終了するステップが、該排気口を流れる洗浄ガス反応種の該総量が該排気口を流れるガスの該総量の約5パーセント未満であることが決定されたときに該洗浄サイクルを終了する工程を含んでいる、請求項34記載の方法。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008059839A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Noritsu Koki Co Ltd | プラズマ発生装置およびそれを用いるワーク処理装置 |
JP2011508428A (ja) * | 2007-12-20 | 2011-03-10 | エス. オー. アイ. テック シリコン オン インシュレーター テクノロジーズ | 半導体材料を大量生産するためのin−situチャンバ洗浄プロセスの方法 |
US7921804B2 (en) | 2008-12-08 | 2011-04-12 | Amarante Technologies, Inc. | Plasma generating nozzle having impedance control mechanism |
US7976672B2 (en) | 2006-02-17 | 2011-07-12 | Saian Corporation | Plasma generation apparatus and work processing apparatus |
US8035057B2 (en) | 2004-07-07 | 2011-10-11 | Amarante Technologies, Inc. | Microwave plasma nozzle with enhanced plume stability and heating efficiency |
JP2016534398A (ja) * | 2013-08-14 | 2016-11-04 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | レーザ持続プラズマ照明出力により試料を撮像するためのシステム及び方法 |
JP2018113461A (ja) * | 2012-10-18 | 2018-07-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | シャドーフレームサポート |
CN112595689A (zh) * | 2020-12-02 | 2021-04-02 | 安徽砺剑防务科技有限公司 | 一种矿用有毒粉末泄漏监测装置 |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2008050596A1 (ja) * | 2006-10-25 | 2010-02-25 | パナソニック株式会社 | プラズマドーピング方法及びプラズマドーピング装置 |
US20080124453A1 (en) * | 2006-11-28 | 2008-05-29 | Applied Matrials, Inc. | In-situ detection of gas-phase particle formation in nitride film deposition |
JP5133013B2 (ja) * | 2007-09-10 | 2013-01-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置の排気系構造、成膜装置、および排ガスの処理方法 |
CN102094186B (zh) * | 2009-12-15 | 2013-03-13 | 财团法人工业技术研究院 | 气体供应设备 |
WO2012027104A1 (en) * | 2010-08-25 | 2012-03-01 | Linde Aktiengesellschaft | Chemical vapor deposition chamber cleaning with molecular fluorine |
US8728239B2 (en) * | 2011-07-29 | 2014-05-20 | Asm America, Inc. | Methods and apparatus for a gas panel with constant gas flow |
CN103594390B (zh) * | 2012-08-15 | 2018-07-06 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 终点检测装置及终点检测方法 |
CN102861737B (zh) * | 2012-09-26 | 2015-04-01 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 洁净室 |
KR102372893B1 (ko) | 2014-12-04 | 2022-03-10 | 삼성전자주식회사 | 발광 소자 제조용 화학 기상 증착 장치 |
KR102477302B1 (ko) | 2015-10-05 | 2022-12-13 | 주성엔지니어링(주) | 배기가스 분해기를 가지는 기판처리장치 및 그 배기가스 처리방법 |
US10535506B2 (en) | 2016-01-13 | 2020-01-14 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for deposition cleaning in a pumping line |
CN105714270A (zh) * | 2016-04-15 | 2016-06-29 | 信利(惠州)智能显示有限公司 | 化学气相沉积清洗终点监测方法及其系统 |
JP6924775B2 (ja) | 2016-04-26 | 2021-08-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 排気堆積物の除去のための温度制御された遠隔プラズマ洗浄 |
WO2018222942A1 (en) * | 2017-06-01 | 2018-12-06 | Aecom (Delaware Corporation) | Quantum cascade laser trace-gas detection for in-situ monitoring, process control, and automating end-point determination of chamber clean in semiconductor manufacturing |
TWI621193B (zh) * | 2017-06-20 | 2018-04-11 | 華邦電子股份有限公司 | 製程腔室氣體偵測系統及其操作方法 |
CN109097755A (zh) | 2017-06-20 | 2018-12-28 | 华邦电子股份有限公司 | 工艺腔室气体检测系统及其操作方法 |
CN107910278A (zh) * | 2017-11-15 | 2018-04-13 | 上海华力微电子有限公司 | 一种实时监测多晶硅沉积工艺过程氧气浓度的装置 |
CN110112049B (zh) * | 2019-04-09 | 2021-07-23 | Tcl华星光电技术有限公司 | 化学气相沉积装置维护保养方法 |
US11745229B2 (en) | 2020-08-11 | 2023-09-05 | Mks Instruments, Inc. | Endpoint detection of deposition cleaning in a pumping line and a processing chamber |
US11664197B2 (en) | 2021-08-02 | 2023-05-30 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for plasma generation |
CN113652745A (zh) * | 2021-08-17 | 2021-11-16 | 季华实验室 | 外延设备清洗提醒方法、装置、电子设备及存储介质 |
US11664283B2 (en) * | 2021-08-20 | 2023-05-30 | Tokyo Electron Limited | Raman sensor for supercritical fluids metrology |
CN114360997A (zh) * | 2021-12-09 | 2022-04-15 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 多腔室清洗方法和半导体工艺设备 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5047648A (en) * | 1990-04-20 | 1991-09-10 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for detecting particles in ion implantation machines |
US5271264A (en) * | 1991-11-27 | 1993-12-21 | Applied Materials, Inc. | Method of in-situ particle monitoring in vacuum systems |
US5812403A (en) * | 1996-11-13 | 1998-09-22 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for cleaning surfaces in a substrate processing system |
US5879574A (en) * | 1996-11-13 | 1999-03-09 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for detecting end of chamber clean in a thermal (non-plasma) process |
US6534007B1 (en) * | 1997-08-01 | 2003-03-18 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Method and apparatus for detecting the endpoint of a chamber cleaning |
US6172322B1 (en) * | 1997-11-07 | 2001-01-09 | Applied Technology, Inc. | Annealing an amorphous film using microwave energy |
US6197123B1 (en) * | 1997-12-18 | 2001-03-06 | Texas Instruments Incorporated | Method for cleaning a process chamber used for manufacturing substrates during nonproduction intervals |
US7515264B2 (en) * | 1999-06-15 | 2009-04-07 | Tokyo Electron Limited | Particle-measuring system and particle-measuring method |
US6771371B2 (en) * | 2000-08-10 | 2004-08-03 | Texas Instruments Incorporated | Particle detection and removal apparatus for use on wafer fabrication equipment to lower tool related defects from particle contamination |
TW533503B (en) * | 2000-09-14 | 2003-05-21 | Nec Electronics Corp | Processing apparatus having particle counter and cleaning device, cleaning method, cleanliness diagnosis method and semiconductor fabricating apparatus using the same |
US6878214B2 (en) * | 2002-01-24 | 2005-04-12 | Applied Materials, Inc. | Process endpoint detection in processing chambers |
US20040045577A1 (en) * | 2002-09-10 | 2004-03-11 | Bing Ji | Cleaning of processing chambers with dilute NF3 plasmas |
-
2005
- 2005-10-04 TW TW094134718A patent/TWI279260B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-10-10 KR KR1020050094978A patent/KR100767804B1/ko active IP Right Grant
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8035057B2 (en) | 2004-07-07 | 2011-10-11 | Amarante Technologies, Inc. | Microwave plasma nozzle with enhanced plume stability and heating efficiency |
US7976672B2 (en) | 2006-02-17 | 2011-07-12 | Saian Corporation | Plasma generation apparatus and work processing apparatus |
JP2008059839A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Noritsu Koki Co Ltd | プラズマ発生装置およびそれを用いるワーク処理装置 |
JP4647566B2 (ja) * | 2006-08-30 | 2011-03-09 | 株式会社サイアン | プラズマ発生装置およびそれを用いるワーク処理装置 |
JP2011508428A (ja) * | 2007-12-20 | 2011-03-10 | エス. オー. アイ. テック シリコン オン インシュレーター テクノロジーズ | 半導体材料を大量生産するためのin−situチャンバ洗浄プロセスの方法 |
US7921804B2 (en) | 2008-12-08 | 2011-04-12 | Amarante Technologies, Inc. | Plasma generating nozzle having impedance control mechanism |
JP2018113461A (ja) * | 2012-10-18 | 2018-07-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | シャドーフレームサポート |
JP2016534398A (ja) * | 2013-08-14 | 2016-11-04 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | レーザ持続プラズマ照明出力により試料を撮像するためのシステム及び方法 |
CN112595689A (zh) * | 2020-12-02 | 2021-04-02 | 安徽砺剑防务科技有限公司 | 一种矿用有毒粉末泄漏监测装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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