JP2006067621A - Electronic device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To connect a signal wiring of a functional module to a coaxial cable, without being affected by external noise. <P>SOLUTION: The functional module 101 has a first signal pad 104, and a first reference potential pad 107 enclosing the first signal pad. A multilayered circuit board has a second signal pad 111 electrically connected to the first signal pad, a second reference potential pad 114, which is electrically connected to the first reference potential pad and encloses the second signal pad, a first wiring 109 for a signal formed within the board, and second wiring, third wiring 113 for the reference potential respectively provided on surface, inside of the board, such that they sandwich the first wiring. The multilayered circuit board has a signal via 110 connecting the second signal pad to the first wiring, and a plurality of reference potential vias 112, connecting the second reference potential pad to the third wiring, and the signal via is enclosed by a plurality of the reference potential vias. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電子装置に関し、特に、センサ等の機能モジュールと、機能モジュールの出力信号配線を同軸ケーブルに中継接続するための多層回路基板とを備える電子装置に関する。   The present invention relates to an electronic device, and more particularly to an electronic device including a functional module such as a sensor and a multilayer circuit board for relay connection of output signal wiring of the functional module to a coaxial cable.

従来例のセンサ装置として、図21に示す構成について説明する。図21は従来例のセンサ装置の斜視図である。機能モジュールとしてのセンサモジュール2001において、基板表面に薄膜形成された多層配線部の信号配線2003の一端が信号用パッド2004に接続され、多層配線部のグラウンド配線2005の一端がグラウンド用パッド2006に接続されている。ここで、信号配線2003が内層にある場合には、信号配線2003がヴィアを介して最上層に導かれる。また、多層回路基板2002において、信号配線2007の一端が信号用パッド2008に接続され、信号配線2007の他端が信号用パッド2013に接続され、グラウンド配線2009の一端がグラウンド用パッド2010に接続され、グラウンド配線2009の他端がグラウンド用パッド2014に接続されている。さらに、センサモジュール2001が多層回路基板2002に固着され、信号用パッド2004と信号用パッド2008とがボンディングワイヤ2011により接続され、グラウンド用パッド2006とグラウンド用パッド2010とがボンディングワイヤ2012により接続されている。そして、セミリジッド同軸ケーブル2015の中心導体2016が信号用パッド2013に半田などを用いて接続され、セミリジッド同軸ケーブル2015の外導体2017がグラウンド用パッド2014に半田などを用いて接続されている。   A configuration shown in FIG. 21 will be described as a conventional sensor device. FIG. 21 is a perspective view of a conventional sensor device. In the sensor module 2001 as a functional module, one end of the signal wiring 2003 of the multilayer wiring portion formed in a thin film on the substrate surface is connected to the signal pad 2004, and one end of the ground wiring 2005 of the multilayer wiring portion is connected to the ground pad 2006. Has been. Here, when the signal wiring 2003 is in the inner layer, the signal wiring 2003 is led to the uppermost layer through the via. In the multilayer circuit board 2002, one end of the signal wiring 2007 is connected to the signal pad 2008, the other end of the signal wiring 2007 is connected to the signal pad 2013, and one end of the ground wiring 2009 is connected to the ground pad 2010. The other end of the ground wiring 2009 is connected to the ground pad 2014. Further, the sensor module 2001 is fixed to the multilayer circuit board 2002, the signal pad 2004 and the signal pad 2008 are connected by the bonding wire 2011, and the ground pad 2006 and the ground pad 2010 are connected by the bonding wire 2012. Yes. The center conductor 2016 of the semi-rigid coaxial cable 2015 is connected to the signal pad 2013 using solder or the like, and the outer conductor 2017 of the semi-rigid coaxial cable 2015 is connected to the ground pad 2014 using solder or the like.

なお、多層回路基板とセミリジッド同軸ケーブルとの接続の構成については、特許文献1、特許文献2に例が示されている。
特開2001−102817号公報 特開2001−320208号公報
Examples of the connection configuration between the multilayer circuit board and the semi-rigid coaxial cable are shown in Patent Document 1 and Patent Document 2.
JP 2001-102817 A JP 2001-320208 A

しかし、図21に示す従来例のセンサ装置の構成においては、センサモジュール2001の多層配線部及び多層回路基板2002の信号配線、パッド及びボンディングワイヤが露出しているために、外来ノイズの影響を受けやすいという問題があり、また、ボンディングワイヤの抵抗やインダクタンスの影響により、高周波信号伝送特性が劣化しやすいという問題があり、また、センサモジュール2001とセミリジッド同軸ケーブル2015とを直接半田付けしようとしても半田付けなどに伴う機械的衝撃に弱いという問題があり、さらに、センサモジュール2001を多層回路基板2002に固着するための工程が必要となるという問題がある。   However, in the configuration of the conventional sensor device shown in FIG. 21, the multilayer wiring portion of the sensor module 2001 and the signal wiring, pads, and bonding wires of the multilayer circuit board 2002 are exposed, so that they are affected by external noise. In addition, there is a problem that high-frequency signal transmission characteristics are likely to deteriorate due to the influence of the resistance and inductance of the bonding wire, and soldering is attempted even if the sensor module 2001 and the semi-rigid coaxial cable 2015 are directly soldered. There is a problem that the sensor module 2001 is weak against a mechanical shock accompanying attachment, and further, a process for fixing the sensor module 2001 to the multilayer circuit board 2002 is required.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであって、センサなどの機能モジュールの薄膜形成された多層配線部の内層配線である信号配線が、外来ノイズの影響を受けることなく良好な高周波信号伝送特性をもって同軸ケーブルに接続され、同時に、その機能モジュールが強固に多層回路基板に固着される電子装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a problem, and the signal wiring that is the inner layer wiring of the multilayer wiring part formed with a thin film of a functional module such as a sensor is not affected by external noise and has a good high frequency. An object of the present invention is to provide an electronic device that is connected to a coaxial cable with signal transmission characteristics, and at the same time, its functional module is firmly fixed to a multilayer circuit board.

本発明の電子装置は、基板の第1の表面に形成された第1の信号用パッドと、前記第1の表面に前記第1の信号用パッドを囲むように形成された第1の基準電位用パッドと、を有する機能モジュールと、
絶縁基板と、前記第1の信号用パッドに電気的に接続され、前記絶縁基板の第2の表面に形成された第2の信号用パッドと、前記第1の基準電位用パッドに電気的に接続され、前記第2の表面に前記第2の信号用パッドを囲むように形成された第2の基準電位用パッドと、前記絶縁基板の内部に形成された信号用の第1の配線と、前記第1の配線を介して前記第2の信号用パッドと電気的に接続された第3の信号用パッドと、前記第1の配線を挟むように、前記絶縁基板の前記第2の表面又は内部に設けられた基準電位用の第2の配線および前記絶縁基板の内部に設けられた基準電位用の第3の配線と、前記第2の配線及び前記第3の配線を介して前記第2の基準電位用パッドと電気的に接続された第3の基準電位用パッドと、を有する多層回路基板と、
中心導体とそれを囲む外導体を有し、前記中心導体が前記第3の信号用パッドに接続され、前記外導体が前記第3の基準電位用パッドに接続された同軸ケーブルと、
を備えた電子装置であって、
前記多層回路基板は、前記第2の信号用パッドと前記第1の配線とを接続する信号用ヴィアと、前記第2の基準電位用パッドと前記第3の配線とを接続する複数の基準電位用ヴィアとを有し、
前記信号用ヴィアは前記複数の基準電位用ヴィアにより囲まれてなる電子装置である。
The electronic device according to the present invention includes a first signal pad formed on a first surface of a substrate and a first reference potential formed on the first surface so as to surround the first signal pad. A functional module having a pad,
An insulating substrate, electrically connected to the first signal pad, electrically connected to the second signal pad formed on the second surface of the insulating substrate, and the first reference potential pad A second reference potential pad connected to the second surface so as to surround the second signal pad; a first signal wiring formed inside the insulating substrate; A third signal pad electrically connected to the second signal pad via the first wiring, and the second surface of the insulating substrate or the second wiring so as to sandwich the first wiring; A second wiring for reference potential provided inside, a third wiring for reference potential provided inside the insulating substrate, and the second wiring via the second wiring and the third wiring. And a third reference potential pad electrically connected to the reference potential pad And the road board,
A coaxial cable having a center conductor and an outer conductor surrounding the center conductor, the center conductor being connected to the third signal pad, and the outer conductor being connected to the third reference potential pad;
An electronic device comprising:
The multilayer circuit board includes a plurality of reference potentials for connecting the second reference potential pad and the third wiring, and a signal via for connecting the second signal pad and the first wiring. For vias,
The signal via is an electronic device surrounded by the plurality of reference potential vias.

上記本発明の電子装置においては、前記機能モジュールの基板は多層配線部を有する基板であって、
前記多層配線部の内部に設けられた、前記第1の信号用パッドと電気的に接続される第4の配線と、
前記第4の配線を挟むように、前記第1の表面に設けられた基準電位用の第5の配線および前記多層配線部の内部に設けられた基準電位用の第6の配線と、
前記第4の配線と前記第1の信号用パッドとを接続する第2の信号用ヴィアと、
前記第1の基準電位用パッドと前記第6の配線とを接続する複数の第2の基準電位用ヴィアと、を備え、
前記第2の信号用ヴィアは前記複数の第2の基準電位用ヴィアにより囲まれていることが望ましい。
In the electronic device of the present invention, the substrate of the functional module is a substrate having a multilayer wiring portion,
A fourth wiring provided in the multilayer wiring portion and electrically connected to the first signal pad;
A fifth wiring for reference potential provided on the first surface and a sixth wiring for reference potential provided inside the multilayer wiring portion so as to sandwich the fourth wiring;
A second signal via for connecting the fourth wiring and the first signal pad;
A plurality of second reference potential vias for connecting the first reference potential pad and the sixth wiring;
It is desirable that the second signal via is surrounded by the plurality of second reference potential vias.

また上記本発明の電子装置においては、前記第2の配線は前記絶縁基板の内部に設けられており、
前記2の基準電位用パッドと前記第2の配線とは第3の基準電位用ヴィアで接続されており、
前記複数の基準電位用ヴィアと前記第3の基準電位用ヴィアで前記信号用ヴィアを囲むことが望ましい。
また上記本発明の電子装置においては、前記機能モジュールとして、センサモジュールを用いることができる。
In the electronic device of the present invention, the second wiring is provided inside the insulating substrate,
The second reference potential pad and the second wiring are connected by a third reference potential via,
It is preferable that the signal via is surrounded by the plurality of reference potential vias and the third reference potential via.
In the electronic device of the present invention, a sensor module can be used as the functional module.

本発明による効果は、センサなどの機能モジュールの信号配線が、外来ノイズの影響を受けることなく良好な高周波信号伝送特性をもって同軸ケーブルに接続され、同時に、その機能モジュールが強固に多層回路基板に固着される電子装置を実現することができることである。
また本発明では、信号用ヴィアを基準電位用ヴィアで囲むことにより、ヴィア層部分のシールド性能を向上させることができる。
The effect of the present invention is that the signal wiring of a functional module such as a sensor is connected to a coaxial cable with good high-frequency signal transmission characteristics without being affected by external noise, and at the same time, the functional module is firmly fixed to the multilayer circuit board. It is possible to realize an electronic device.
Further, in the present invention, the shielding performance of the via layer portion can be improved by surrounding the signal via with the reference potential via.

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

次に、本発明の第1の実施の形態の電子装置の構成について、図1から図6までを参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施の形態の電子装置の分解斜視図であり、図2は、本実施の形態の電子装置の断面図であり、図3は、図2における多層配線部と多層回路基板との接続部分の断面図であり、図4(a)は、図3における多層配線部のパッド部分の平面図であり、図4(b)は、多層回路基板のパッド部分の平面図であり、図5(a)は、図3における多層配線部のヴィア部分の断面図であり、図5(b)は、多層回路基板のヴィア部分の断面図であり、図6(a)は、図3における多層配線部の信号配線及びグラウンド配線部分の断面図であり、図6(b)は、多層回路基板の信号配線及びグラウンド配線部分の断面図である。   Next, the configuration of the electronic device according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 is an exploded perspective view of an electronic device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of the electronic device according to the present embodiment, and FIG. 3 is a multilayer wiring portion in FIG. FIG. 4A is a plan view of a pad portion of the multilayer wiring portion in FIG. 3, and FIG. 4B is a cross-sectional view of the pad portion of the multilayer circuit substrate. 5A is a cross-sectional view of the via portion of the multilayer wiring portion in FIG. 3, FIG. 5B is a cross-sectional view of the via portion of the multilayer circuit board, and FIG. ) Is a cross-sectional view of the signal wiring and ground wiring portion of the multilayer wiring portion in FIG. 3, and FIG. 6B is a cross-sectional view of the signal wiring and ground wiring portion of the multilayer circuit board.

図1に示すように、本発明の第1の実施の形態の電子装置は、機能モジュールとしてのセンサモジュール101と、誘電体材料からなる多層回路基板108と、を備え、センサモジュール101が多層回路基板108の表面の一端に電気的に接続されるとともに固着され、さらに外部の測定装置に接続されるセミリジッド同軸ケーブル120の一端が多層回路基板108の表面の他端に接続され、さらに、導体ケース125によりセミリジッド同軸ケーブル120の接続部分が囲まれる構成である。   As shown in FIG. 1, the electronic device according to the first embodiment of the present invention includes a sensor module 101 as a functional module and a multilayer circuit board 108 made of a dielectric material, and the sensor module 101 is a multilayer circuit. One end of a semi-rigid coaxial cable 120 that is electrically connected and fixed to one end of the surface of the substrate 108 and connected to an external measuring device is connected to the other end of the surface of the multilayer circuit substrate 108, and further, a conductor case The connection part of the semi-rigid coaxial cable 120 is surrounded by 125.

図3に示すように、センサモジュール101が、ガラス基板、サファイア基板、シリコン基板等である基板129と、基板129の表面に薄膜形成された多層配線部130と、を備える。   As shown in FIG. 3, the sensor module 101 includes a substrate 129 that is a glass substrate, a sapphire substrate, a silicon substrate, and the like, and a multilayer wiring portion 130 that is formed as a thin film on the surface of the substrate 129.

多層配線部130が、内層配線である信号配線102と、信号用ヴィア103と、信号用パッド104と、基準電位用ヴィアとしてのグラウンド用ヴィア105と、基準電位配線としての2つのグラウンド配線106と、基準電位用パッドとしてのグラウンド用パッド107と、を備える。   The multilayer wiring section 130 includes a signal wiring 102 as an inner layer wiring, a signal via 103, a signal pad 104, a ground via 105 as a reference potential via, and two ground wirings 106 as reference potential wirings. And a ground pad 107 as a reference potential pad.

2つのグラウンド配線106のうちの一方のグラウンド配線106、信号用パッド104及びグラウンド用パッド107が、多層配線部130の表面の同一層に設けられる。   One of the two ground wirings 106, the signal pad 104, and the ground pad 107 is provided in the same layer on the surface of the multilayer wiring part 130.

信号用パッド104には、接続用の導電体としてのバンプ115が設けられ、グラウンド用パッド107には、接続用の導電体としてのバンプ116が設けられる。   The signal pad 104 is provided with bumps 115 as conductors for connection, and the ground pad 107 is provided with bumps 116 as conductors for connection.

図2及び図3に示すように、多層回路基板108が、内層配線である信号配線109と、信号用ヴィア110と、信号用パッド111と、基準電位用ヴィアとしてのグラウンド用ヴィア112と、基準電位配線としての2つのグラウンド配線113と、基準電位用パッドとしてのグラウンド用パッド114と、信号用パッド121と、グラウンド用パッド122と、信号用ヴィア132と、グラウンド用ヴィア133と、を備える。   As shown in FIGS. 2 and 3, the multilayer circuit board 108 includes a signal wiring 109 which is an inner layer wiring, a signal via 110, a signal pad 111, a ground via 112 as a reference potential via, and a reference Two ground wirings 113 as potential wirings, a ground pad 114 as a reference potential pad, a signal pad 121, a ground pad 122, a signal via 132, and a ground via 133 are provided.

信号用パッド111及びグラウンド用パッド114が多層回路基板108の一端に設けられ、信号用パッド121及びグラウンド用パッド122が多層回路基板108の他端に設けられる。   A signal pad 111 and a ground pad 114 are provided at one end of the multilayer circuit board 108, and a signal pad 121 and a ground pad 122 are provided at the other end of the multilayer circuit board 108.

2つのグラウンド配線113のうちの一方のグラウンド配線113、信号用パッド111、グラウンド用パッド114、信号用パッド121及びグラウンド用パッド122が、多層回路基板108の表面の同一層に設けられる。2つのグラウンド配線113のうちの他方のグラウンド配線113が、多層回路基板108の内層に設けられる。   One of the two ground wirings 113, the signal pad 111, the ground pad 114, the signal pad 121, and the ground pad 122 are provided in the same layer on the surface of the multilayer circuit board 108. The other of the two ground wirings 113 is provided in the inner layer of the multilayer circuit board 108.

先ず、センサモジュール101と多層回路基板108との接続部分の構成について説明する。   First, the configuration of the connection portion between the sensor module 101 and the multilayer circuit board 108 will be described.

基板129上に形成されたセンサ素子の出力信号が、信号配線102の一端に伝達され、センサ素子の出力信号の基準電位が、グラウンド配線106の一端に伝達される。   An output signal of the sensor element formed on the substrate 129 is transmitted to one end of the signal wiring 102, and a reference potential of the output signal of the sensor element is transmitted to one end of the ground wiring 106.

信号配線102の他端が、信号用ヴィア103を介して信号用パッド104に接続される。表面側のグラウンド配線106の他端が、グラウンド用パッド107に接続され、内層側のグラウンド配線106の他端が、グラウンド用ヴィア105を介してグラウンド用パッド107に接続される。   The other end of the signal wiring 102 is connected to the signal pad 104 through the signal via 103. The other end of the surface side ground wiring 106 is connected to the ground pad 107, and the other end of the inner layer side ground wiring 106 is connected to the ground pad 107 via the ground via 105.

一方、信号配線109の一端が、信号用ヴィア110を介して信号用パッド111に接続され、信号配線109の他端が、信号用ヴィア132を介して信号用パッド121に接続される。   On the other hand, one end of the signal wiring 109 is connected to the signal pad 111 via the signal via 110, and the other end of the signal wiring 109 is connected to the signal pad 121 via the signal via 132.

表面側のグラウンド配線113の一端が、グラウンド用パッド114に接続され、表面側のグラウンド配線113の他端が、グラウンド用パッド122に接続される。内層側のグラウンド配線113の一端が、グラウンド用ヴィア112を介してグラウンド用パッド114に接続され、内層側のグラウンド配線113の他端が、グラウンド用ヴィア133を介してグラウンド用パッド122に接続される。   One end of the surface side ground wiring 113 is connected to the ground pad 114, and the other end of the surface side ground wiring 113 is connected to the ground pad 122. One end of the ground wiring 113 on the inner layer side is connected to the ground pad 114 via the ground via 112, and the other end of the ground wiring 113 on the inner layer side is connected to the ground pad 122 via the ground via 133. The

そして、信号用パッド104と信号用パッド111とがバンプ115により接続され、グラウンド用パッド107とグラウンド用パッド114とがバンプ116により接続される。   The signal pad 104 and the signal pad 111 are connected by the bump 115, and the ground pad 107 and the ground pad 114 are connected by the bump 116.

バンプ115の大きさ及び位置は、接続後に信号用パッド104及び信号用パッド111から大きくはみ出してバンプ116、グラウンド用パッド107及びグラウンド用パッド114と短絡しないように設定される。   The size and position of the bump 115 are set so that they do not protrude from the signal pad 104 and the signal pad 111 after connection and are short-circuited with the bump 116, the ground pad 107, and the ground pad 114.

図4(a)に示すように、多層配線部130において、信号用パッド104の周りをグラウンド用パッド107が囲んでいる。信号用パッド104の表面にはバンプ115が設けられ、グラウンド用パッド107の表面には複数(ここでは8個)のバンプ116が設けられる。図4(b)に示すように、多層回路基板108において、信号用パッド111の周りをグラウンド用パッド114が囲んでいる。   As shown in FIG. 4A, the ground pad 107 surrounds the signal pad 104 in the multilayer wiring portion 130. Bumps 115 are provided on the surface of the signal pad 104, and a plurality (eight in this case) of bumps 116 are provided on the surface of the ground pad 107. As shown in FIG. 4B, in the multilayer circuit board 108, a ground pad 114 surrounds the signal pad 111.

信号用パッド104と信号用パッド111とが同じ大きさであることが好ましい。また、信号用パッド104とグラウンド用パッド107との間隔と、信号用パッド111とグラウンド用パッド114との間隔と、が同じであることが好ましい。これにより、バンプ接続の際の位置合わせが容易となり、また、接続後に配線構造の連続性をできるだけ保つことによって電磁界の乱れが抑えられ、高周波特性が向上する。   It is preferable that the signal pad 104 and the signal pad 111 have the same size. In addition, the distance between the signal pad 104 and the ground pad 107 and the distance between the signal pad 111 and the ground pad 114 are preferably the same. As a result, alignment at the time of bump connection is facilitated, and disturbance of the electromagnetic field is suppressed by maintaining the continuity of the wiring structure as much as possible after connection, thereby improving high-frequency characteristics.

信号用パッド104に設けるバンプ115の数と配置については、1つの場合はパッドの中心に、また複数の場合はパッドの中心点に対して点対称に配置することが好ましい。   As for the number and arrangement of the bumps 115 provided on the signal pad 104, it is preferable to arrange the bumps 115 symmetrically with respect to the center of the pad in the case of one, and symmetrical with respect to the center point of the pad in the case of plural.

また、グラウンド用パッド107に設ける複数のバンプ116は、バンプ115を囲むように配置されているが、複数のバンプ116は、それぞれ隣り合うバンプ116が等間隔になるように配置されることが好ましい。   In addition, the plurality of bumps 116 provided on the ground pad 107 are disposed so as to surround the bump 115, but the plurality of bumps 116 are preferably disposed such that adjacent bumps 116 are equally spaced. .

図5(a)は、多層配線部130の一点鎖線131の位置におけるヴィア部分の断面図であり、グラウンド用パッド107に接続された7個のグラウンド用ヴィア105が信号用ヴィア103を囲んでいる。ここで、信号配線102とグラウンド用ヴィア105とが短絡しないように、信号配線102の通過部分にはグラウンド用ヴィア105が配置されない。図5(b)は、多層回路基板108の一点鎖線117の位置におけるヴィア部分の断面図であり、グラウンド用パッド114に接続された7個のグラウンド用ヴィア112が信号用ヴィア110を囲んでいる。ここで、信号配線109とグラウンド用ヴィア112とが短絡しないように、信号配線109の通過部分にはグラウンド用ヴィア112が配置されない。   FIG. 5A is a cross-sectional view of the via portion at the position of the alternate long and short dash line 131 of the multilayer wiring portion 130, and seven ground vias 105 connected to the ground pad 107 surround the signal via 103. . Here, the ground via 105 is not disposed in the passage portion of the signal wiring 102 so that the signal wiring 102 and the ground via 105 are not short-circuited. FIG. 5B is a cross-sectional view of the via portion at the position of the one-dot chain line 117 of the multilayer circuit board 108, and seven ground vias 112 connected to the ground pad 114 surround the signal via 110. . Here, the ground via 112 is not disposed in the passage portion of the signal wiring 109 so that the signal wiring 109 and the ground via 112 are not short-circuited.

グラウンド用ヴィア105及びグラウンド用ヴィア112の数と配置とについては以上のように限定したものではなく、できる限り個数が多く等間隔に設けられることが好ましい。   The number and arrangement of the ground vias 105 and the ground vias 112 are not limited as described above. It is preferable that the number of ground vias 105 and the number of ground vias 112 be as large as possible.

図6(a)は、多層配線部130の一点鎖線118の位置における信号配線102及びグラウンド配線106部分の断面図であり、信号配線102がその上下の導体層である2つのグラウンド配線106により挟まれるストリップライン構造となっている。ここで、グラウンド配線106のパターン幅は信号配線102のパターン幅より大きく設定される。図6(b)は、多層回路基板108の一点鎖線119の位置における信号配線109及びグラウンド配線113部分の断面図であり、信号配線109がその上下の導体層である2つのグラウンド配線113により挟まれるストリップライン構造となっている。ここで、グラウンド配線113のパターン幅は信号配線109のパターン幅より大きく設定される。   FIG. 6A is a cross-sectional view of the signal wiring 102 and the ground wiring 106 at the position of the one-dot chain line 118 of the multilayer wiring section 130, and the signal wiring 102 is sandwiched between two ground wirings 106 that are upper and lower conductor layers. Stripline structure. Here, the pattern width of the ground wiring 106 is set larger than the pattern width of the signal wiring 102. FIG. 6B is a cross-sectional view of the signal wiring 109 and the ground wiring 113 at the position of the one-dot chain line 119 of the multilayer circuit board 108. The signal wiring 109 is sandwiched between two ground wirings 113 that are upper and lower conductor layers. Stripline structure. Here, the pattern width of the ground wiring 113 is set larger than the pattern width of the signal wiring 109.

次に、多層回路基板108とセミリジッド同軸ケーブル120との接続部分の構成について説明する。   Next, the configuration of the connection portion between the multilayer circuit board 108 and the semi-rigid coaxial cable 120 will be described.

図1及び図2に示すように、セミリジッド同軸ケーブル120の中心導体123が、半田126により信号用パッド121に半田付け接続され、セミリジッド同軸ケーブル120の外導体124が、グラウンド用パッド122に半田付け接続される。   As shown in FIGS. 1 and 2, the central conductor 123 of the semi-rigid coaxial cable 120 is soldered to the signal pad 121 by solder 126, and the outer conductor 124 of the semi-rigid coaxial cable 120 is soldered to the ground pad 122. Connected.

さらに、導体ケース125が、中心導体123の接続部分を覆って囲むように、導体ケース125が、半田127によりグラウンド用パッド122に半田付け接続されるとともに、導体ケース125が、半田128により外導体124に半田付け接続される。ここで、グラウンド用パッド122、外導体124及び導体ケース125が互いに隙間なく半田付け接続されることが好ましい。   Further, the conductor case 125 is soldered and connected to the ground pad 122 by solder 127 so that the conductor case 125 covers and surrounds the connection portion of the center conductor 123, and the conductor case 125 is soldered by the solder 128. 124 is connected by soldering. Here, it is preferable that the ground pad 122, the outer conductor 124, and the conductor case 125 are soldered and connected to each other without a gap.

次に、本実施の形態による効果について説明する。先ず、センサモジュール101と多層回路基板108とをバンプ115及びバンプ116により接続する構成としたことにより、センサモジュール101を多層回路基板108上に実装するためのスペースを削減することができる。また、極めて短い距離で接続されるため、従来例において発生するボンディングワイヤの有するインダクタンス成分及び抵抗成分による伝送損失又は遅延などを抑えることができる。また、バンプ115及びバンプ116によりセンサモジュール101及び多層回路基板108の電気的接続と固着(機械的接続)とが同時に行われるので、従来例において必要となるセンサモジュールを多層回路基板上に固着するための組立工程を不要にすることができる。   Next, the effect by this Embodiment is demonstrated. First, since the sensor module 101 and the multilayer circuit board 108 are connected by the bumps 115 and 116, a space for mounting the sensor module 101 on the multilayer circuit board 108 can be reduced. Further, since the connection is made at an extremely short distance, transmission loss or delay due to the inductance component and resistance component of the bonding wire generated in the conventional example can be suppressed. In addition, since the electrical connection and fixing (mechanical connection) of the sensor module 101 and the multilayer circuit board 108 are simultaneously performed by the bump 115 and the bump 116, the sensor module required in the conventional example is fixed on the multilayer circuit board. The assembly process for this can be made unnecessary.

さらに、信号配線102に接続する信号用パッド104をグラウンド配線106に接続するグラウンド用パッド107により囲み、信号配線109に接続する信号用パッド111をグラウンド配線113に接続するグラウンド用パッド114により囲む構成としたことにより、センサ出力信号と、外来ノイズ或いは別の配線信号との電磁干渉を抑制することができる。また、バンプ115及びバンプ116を集中して設けることができるので、導通の安定性と機械的強度とを増大させることができる。   Further, the signal pad 104 connected to the signal wiring 102 is surrounded by the ground pad 107 connected to the ground wiring 106, and the signal pad 111 connected to the signal wiring 109 is surrounded by the ground pad 114 connected to the ground wiring 113. Thus, electromagnetic interference between the sensor output signal and external noise or another wiring signal can be suppressed. Further, since the bumps 115 and the bumps 116 can be provided in a concentrated manner, the stability of conduction and the mechanical strength can be increased.

次に、信号配線102及び信号配線109に接続されるバンプ115を、グラウンド配線106及びグラウンド配線113に接続されるバンプ116により囲む構成としたことにより、バンプ接続部分のシールド性能が向上され、センサ出力信号と、外来ノイズ或いは別の配線信号との電磁干渉を抑制することができる。グラウンド配線106及びグラウンド配線113に接続されるバンプ116について、隣り合うバンプとの距離が小さいほどその抑制効果が大きいため、接近して配置することが好ましい。   Next, the bump 115 connected to the signal wiring 102 and the signal wiring 109 is surrounded by the bump 116 connected to the ground wiring 106 and the ground wiring 113, so that the shield performance of the bump connection portion is improved, and the sensor Electromagnetic interference between the output signal and external noise or another wiring signal can be suppressed. The bumps 116 connected to the ground wiring 106 and the ground wiring 113 are preferably arranged close to each other because the smaller the distance from the adjacent bump, the greater the suppression effect.

次に、信号配線102に接続される信号用ヴィア103をグラウンド用ヴィア105により囲み、信号配線109に接続される信号用ヴィア110をグラウンド用ヴィア112により囲む構成としたことにより、ヴィア層部分のシールド性能が向上され、センサ出力信号と、外来ノイズ或いは別の配線信号との電磁干渉を抑制することができる。グラウンド配線106に接続されるグラウンド用ヴィア105と、グラウンド配線113に接続されるグラウンド用ヴィア112と、について、それぞれ、隣り合うヴィアとの距離が小さいほどその抑制効果が大きいため、接近して配置することが好ましい。   Next, the signal via 103 connected to the signal wiring 102 is surrounded by the ground via 105, and the signal via 110 connected to the signal wiring 109 is surrounded by the ground via 112. The shield performance is improved, and electromagnetic interference between the sensor output signal and external noise or another wiring signal can be suppressed. The ground vias 105 connected to the ground wiring 106 and the ground vias 112 connected to the ground wiring 113 are arranged closer to each other because the smaller the distance between adjacent vias, the greater the suppression effect. It is preferable to do.

また、本実施の形態では、多層配線部130及び多層回路基板108の両方において、それぞれ、信号用ヴィアをグラウンド用ヴィアにより囲む構成としたが、多層配線部130及び多層回路基板108のうちの少なくとも一方において、信号用ヴィアをグラウンド用ヴィアにより囲む構成とすることもでき、相応の上記効果が得られる。   In the present embodiment, the signal via is surrounded by the ground via in both of the multilayer wiring part 130 and the multilayer circuit board 108. However, at least one of the multilayer wiring part 130 and the multilayer circuit board 108 is used. On the other hand, the signal via can be surrounded by the ground via, and the corresponding effect can be obtained.

さらに、接続のためのバンプ115及びバンプ116を多数設ける構成としたことにより、接続部分のインピーダンスの低下させて、回路動作の安定性と機械的強度を増大させることができる。   Further, by providing a large number of bumps 115 and bumps 116 for connection, the impedance of the connection portion can be lowered, and the stability and mechanical strength of the circuit operation can be increased.

次に、多層配線部130の内層の信号配線102を、その上下の導体層である2つのグラウンド配線106により挟んでストリップライン構造とし、多層回路基板108の内層の信号配線109を、その上下の導体層である2つのグラウンド配線113により挟んでストリップライン構造とする構成としたことにより、中継配線部分のシールド性能が向上され、センサ出力信号と、外来ノイズ或いは別の配線信号との電磁干渉を抑制することができる。また、配線の特性インピーダンスの設計を容易に行うことができるため、インピーダンス不整合による反射損失を抑えて高周波信号伝送特性を良好にすることができる。   Next, the signal wiring 102 in the inner layer of the multilayer wiring part 130 is sandwiched between two ground wirings 106 that are the upper and lower conductor layers to form a strip line structure, and the signal wiring 109 in the inner layer of the multilayer circuit board 108 is By adopting a strip line structure sandwiched between two ground wirings 113 which are conductor layers, the shield performance of the relay wiring portion is improved, and electromagnetic interference between the sensor output signal and external noise or another wiring signal is reduced. Can be suppressed. In addition, since the characteristic impedance of the wiring can be easily designed, reflection loss due to impedance mismatching can be suppressed and high-frequency signal transmission characteristics can be improved.

また、本実施の形態では、多層配線部130及び多層回路基板108の両方において、それぞれ、信号配線を2つのグラウンド配線により挟んでストリップライン構造としたが、多層配線部130及び多層回路基板108のうちの少なくとも一方において、信号配線を2つのグラウンド配線により挟んでストリップライン構造とすることもでき、相応の上記効果が得られる。   In this embodiment, both the multilayer wiring part 130 and the multilayer circuit board 108 have a stripline structure in which the signal wiring is sandwiched between two ground wirings. In at least one of them, a signal line can be sandwiched between two ground lines to form a stripline structure, and the above-described effects can be obtained.

次に、多層回路基板108の信号用パッド121と、セミリジッド同軸ケーブル120の中心導体123と、の接続部分を導体ケース125により囲んで密閉する構成としたことにより、外来ノイズに対するシールド性能を向上させることができる。また、その導体ケースを、多層回路基板108のグラウンド用パッド122とセミリジッド同軸ケーブル120の外導体124とに接続する構成としたことにより、さらにシールド性能を向上させることができる。加えて、導体ケース125がグラウンド配線の一部として機能するために、インピーダンス整合が良好となってグラウンド電位が安定し、高周波信号伝送特性を向上させることができる。また、セミリジッド同軸ケーブル120の接続部分の機械的強度を増大させることができる。   Next, since the connection portion between the signal pad 121 of the multilayer circuit board 108 and the central conductor 123 of the semi-rigid coaxial cable 120 is enclosed by the conductor case 125 and sealed, the shielding performance against external noise is improved. be able to. Further, since the conductor case is connected to the ground pad 122 of the multilayer circuit board 108 and the outer conductor 124 of the semi-rigid coaxial cable 120, the shielding performance can be further improved. In addition, since the conductor case 125 functions as part of the ground wiring, impedance matching is good, the ground potential is stabilized, and high-frequency signal transmission characteristics can be improved. Further, the mechanical strength of the connecting portion of the semi-rigid coaxial cable 120 can be increased.

以上説明したように、センサなどの機能モジュールの薄膜形成された多層配線部の内層配線である信号配線が、外来ノイズの影響を受けることなく良好な高周波信号伝送特性をもって同軸ケーブルに接続され、同時に、その機能モジュールが強固に多層回路基板に固着される電子装置が実現される。   As described above, the signal wiring that is the inner layer wiring of the multilayer wiring portion formed of the thin film of the functional module such as the sensor is connected to the coaxial cable with good high frequency signal transmission characteristics without being affected by external noise, and at the same time An electronic device in which the functional module is firmly fixed to the multilayer circuit board is realized.

次に、本発明の第2の実施の形態の電子装置の構成について、図7及び図8を参照して説明する。図7は、本発明の第2の実施の形態の電子装置の分解斜視図であり、図8は、本発明の第2の実施の形態の電子装置の断面図である。   Next, the configuration of the electronic device according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is an exploded perspective view of the electronic device according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a cross-sectional view of the electronic device according to the second embodiment of the present invention.

本実施の形態の電子装置の構成と図1から図6までに示す本発明の第1の実施の形態の電子装置の構成との相違部分は、セミリジッド同軸ケーブル120の接続構成が変更されて、多層回路基板108が多層回路基板108aに変更された部分のみであり、他の構成部分は同一であるため、図7及び図8に示す構成と、図1から図6までに示す構成と、の同一構成部分には同一符号を付して、その説明を省略する。   The difference between the configuration of the electronic device of the present embodiment and the configuration of the electronic device of the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 6 is that the connection configuration of the semi-rigid coaxial cable 120 is changed, Since the multilayer circuit board 108 is only the part that has been changed to the multilayer circuit board 108a and the other components are the same, the configuration shown in FIGS. 7 and 8 and the configuration shown in FIGS. The same components are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図7に示すように、本発明の第2の実施の形態の電子装置は、センサモジュール101と、多層回路基板108aと、を備え、センサモジュール101が多層回路基板108aの表面の一端に電気的に接続されるとともに固着され、さらに外部の測定装置に接続されるセミリジッド同軸ケーブル120の一端が多層回路基板108aの表面の他端に接続され、さらに、導体ケース203によりセミリジッド同軸ケーブル120の接続部分が囲まれる構成である。   As shown in FIG. 7, the electronic device according to the second embodiment of the present invention includes a sensor module 101 and a multilayer circuit board 108a. The sensor module 101 is electrically connected to one end of the surface of the multilayer circuit board 108a. One end of the semi-rigid coaxial cable 120 connected to and fixed to the external measuring device is connected to the other end of the surface of the multilayer circuit board 108a, and the connection portion of the semi-rigid coaxial cable 120 is further connected by the conductor case 203 Is a configuration surrounded by

図8に示すように、多層回路基板108aが、信号用パッド121の代わりとなる信号用パッド201と、グラウンド用パッド122の代わりとなるグラウンド用パッド202と、信号用ヴィア132の代わりとなる信号用ヴィア207と、グラウンド用ヴィア133の代わりとなるグラウンド用ヴィア208と、を備える。   As shown in FIG. 8, the multilayer circuit board 108 a includes a signal pad 201 that replaces the signal pad 121, a ground pad 202 that replaces the ground pad 122, and a signal that replaces the signal via 132. A via 207 for ground and a ground via 208 instead of the ground via 133.

信号配線109の他端が、信号用ヴィア207を介して信号用パッド201に接続される。表面側のグラウンド配線113の他端が、グラウンド用パッド202に接続される。内層側のグラウンド配線113の他端が、グラウンド用ヴィア208を介してグラウンド用パッド202に接続される。   The other end of the signal wiring 109 is connected to the signal pad 201 via the signal via 207. The other end of the ground wiring 113 on the front side is connected to the ground pad 202. The other end of the ground wiring 113 on the inner layer side is connected to the ground pad 202 via the ground via 208.

セミリジッド同軸ケーブル120の中心導体123が、半田204により信号用パッド201に半田付け接続される。そして、中空円筒形の導体ケース203の中空部にセミリジッド同軸ケーブル120を通して、導体ケース203が中心導体123の接続部分を覆って囲むように、導体ケース203の端部がグラウンド用パッド202に密着されて、半田205により導体ケース203とグラウンド用パッド202とが半田付け接続され、半田206により導体ケース203とセミリジッド同軸ケーブル120の外導体124とが半田付け接続される。この場合、隙間なく導体ケース203を半田付けすることが好ましい。   The center conductor 123 of the semi-rigid coaxial cable 120 is soldered and connected to the signal pad 201 by solder 204. Then, the semi-rigid coaxial cable 120 is passed through the hollow portion of the hollow cylindrical conductor case 203 so that the end of the conductor case 203 is in close contact with the ground pad 202 so that the conductor case 203 covers and surrounds the connection portion of the center conductor 123. Thus, the conductor case 203 and the ground pad 202 are soldered and connected by the solder 205, and the conductor case 203 and the outer conductor 124 of the semi-rigid coaxial cable 120 are soldered and connected by the solder 206. In this case, it is preferable to solder the conductor case 203 without a gap.

また、図7及び図8に示す構成においては、セミリジッド同軸ケーブル120を多層回路基板108aに対し垂直に突き当てるように90度の角度で接続しているが、この角度に限定されることなく、セミリジッド同軸ケーブル120を多層回路基板108aに対し任意の角度で斜めに突き当てて、導体ケース203をそれに合うように端部を斜め切りした中空円筒形としてもかまわない。   In the configuration shown in FIGS. 7 and 8, the semi-rigid coaxial cable 120 is connected at an angle of 90 degrees so as to abut against the multilayer circuit board 108a vertically, but is not limited to this angle. The semi-rigid coaxial cable 120 may be abutted obliquely at an arbitrary angle with respect to the multilayer circuit board 108a, and the conductor case 203 may be formed in a hollow cylindrical shape whose end is obliquely cut so as to match it.

以上説明したように、本発明の第2の実施の形態の電子装置によれば、本発明の第1の実施の形態の電子装置を、L字形形状にすることができるという効果が得られる。   As described above, according to the electronic device of the second embodiment of the present invention, an effect that the electronic device of the first embodiment of the present invention can be formed in an L shape is obtained.

次に、本発明の第3の実施の形態の電子装置の構成について、図9及び図10を参照して説明する。図9は、本発明の第3の実施の形態の電子装置の分解斜視図であり、図10は、本発明の第3の実施の形態の電子装置の断面図である。   Next, the configuration of the electronic device according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 9 is an exploded perspective view of the electronic device according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a cross-sectional view of the electronic device according to the third embodiment of the present invention.

本実施の形態の電子装置の構成と図1から図6までに示す本発明の第1の実施の形態の電子装置の構成との相違部分は、セミリジッド同軸ケーブル120の接続構成が変更されて、多層回路基板108が多層回路基板108bに変更された部分のみであり、他の構成部分は同一であるため、図9及び図10に示す構成と、図1から図6までに示す構成と、の同一構成部分には同一符号を付して、その説明を省略する。   The difference between the configuration of the electronic device of the present embodiment and the configuration of the electronic device of the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 6 is that the connection configuration of the semi-rigid coaxial cable 120 is changed, Since the multilayer circuit board 108 is only the part that has been changed to the multilayer circuit board 108b and the other components are the same, the configuration shown in FIGS. 9 and 10 and the configuration shown in FIGS. The same components are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図9に示すように、本発明の第3の実施の形態の電子装置は、センサモジュール101と、多層回路基板108bと、を備え、センサモジュール101が多層回路基板108bの表面の一端に電気的に接続されるとともに固着され、さらに外部の測定装置に接続されるセミリジッド同軸ケーブル120の一端が多層回路基板108bの表面の他端に接続され、さらに、導体ケース304によりセミリジッド同軸ケーブル120の接続部分が囲まれる構成である。   As shown in FIG. 9, the electronic device according to the third embodiment of the present invention includes a sensor module 101 and a multilayer circuit board 108b. The sensor module 101 is electrically connected to one end of the surface of the multilayer circuit board 108b. One end of the semi-rigid coaxial cable 120 connected to and fixed to the external measuring device is connected to the other end of the surface of the multilayer circuit board 108b, and the connection portion of the semi-rigid coaxial cable 120 is connected by the conductor case 304 Is a configuration surrounded by

多層回路基板108bが、一端の中央付近に形成された階段構造301を備え、図10に示すように、多層回路基板108bが、信号用パッド121の代わりとなる信号用パッド302と、グラウンド用パッド122の代わりとなるグラウンド用パッド303及びグラウンド用パッド305と、を備える。   The multilayer circuit board 108b includes a staircase structure 301 formed near the center of one end. As shown in FIG. 10, the multilayer circuit board 108b includes a signal pad 302 instead of the signal pad 121, and a ground pad. And a ground pad 303 and a ground pad 305 instead of 122.

信号用パッド302が、階段構造301における多層回路基板108bの表面から1段下の階段面に設けられる。グラウンド用パッド303が、階段構造301における多層回路基板108bの表面から2段下の階段面に設けられる。   A signal pad 302 is provided on the staircase surface one step below the surface of the multilayer circuit board 108 b in the staircase structure 301. A ground pad 303 is provided on the step surface two steps below the surface of the multilayer circuit board 108 b in the staircase structure 301.

信号配線109の他端が、信号用パッド302に接続される。表面側のグラウンド配線113の他端が、グラウンド用パッド305に接続される。内層側のグラウンド配線113の他端が、グラウンド用パッド303に接続される。   The other end of the signal wiring 109 is connected to the signal pad 302. The other end of the ground wiring 113 on the front side is connected to the ground pad 305. The other end of the ground wiring 113 on the inner layer side is connected to the ground pad 303.

セミリジッド同軸ケーブル120の中心導体123が、半田306により信号用パッド302に半田付け接続される。また、セミリジッド同軸ケーブル120の外導体124が、半田によりグラウンド用パッド303に半田付け接続される。そして、導体ケース304が、中心導体123の接続部分を覆って囲むように、半田307により導体ケース304とグラウンド用パッド305とが半田付け接続され、半田308により導体ケース304とセミリジッド同軸ケーブル120の外導体124とが半田付け接続される。この場合、隙間なく導体ケース304を半田付けすることが好ましい。   The central conductor 123 of the semi-rigid coaxial cable 120 is soldered and connected to the signal pad 302 by solder 306. Further, the outer conductor 124 of the semi-rigid coaxial cable 120 is soldered to the ground pad 303 by soldering. The conductor case 304 and the ground pad 305 are soldered and connected by the solder 307 so that the conductor case 304 covers and surrounds the connection portion of the center conductor 123, and the conductor case 304 and the semi-rigid coaxial cable 120 are connected by the solder 308. The outer conductor 124 is connected by soldering. In this case, it is preferable to solder the conductor case 304 without a gap.

以上説明したように、本発明の第3の実施の形態の電子装置によれば、本発明の第1の実施の形態の電子装置を、より薄型形状にすることができるという効果が得られる。   As described above, according to the electronic device of the third embodiment of the present invention, there is an effect that the electronic device of the first embodiment of the present invention can be made thinner.

次に、本発明の第4の実施の形態の電子装置の構成について、図11及び図12を参照して説明する。図11は、本発明の第4の実施の形態の電子装置の分解斜視図であり、図12は、本発明の第4の実施の形態の電子装置の断面図である。   Next, the configuration of the electronic device according to the fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 11 is an exploded perspective view of the electronic device according to the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a cross-sectional view of the electronic device according to the fourth embodiment of the present invention.

本実施の形態の電子装置の構成と図1から図6までに示す本発明の第1の実施の形態の電子装置の構成との相違部分は、セミリジッド同軸ケーブル120の接続構成が変更されて、多層回路基板108が多層回路基板108cに変更された部分のみであり、他の構成部分は同一であるため、図11及び図12に示す構成と、図1から図6までに示す構成と、の同一構成部分には同一符号を付して、その説明を省略する。   The difference between the configuration of the electronic device of the present embodiment and the configuration of the electronic device of the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 6 is that the connection configuration of the semi-rigid coaxial cable 120 is changed, Since the multilayer circuit board 108 is only the part that has been changed to the multilayer circuit board 108c and the other components are the same, the configuration shown in FIGS. 11 and 12 and the configuration shown in FIGS. The same components are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図11に示すように、本発明の第4の実施の形態の電子装置は、センサモジュール101と、多層回路基板108cと、を備え、センサモジュール101が多層回路基板108cの表面の一端に電気的に接続されるとともに固着され、さらに外部の測定装置に接続されるセミリジッド同軸ケーブル120の一端が多層回路基板108cの端面に接続され、さらに、導体ケース404によりセミリジッド同軸ケーブル120の接続部分が囲まれる構成である。   As shown in FIG. 11, the electronic device according to the fourth embodiment of the present invention includes a sensor module 101 and a multilayer circuit board 108c, and the sensor module 101 is electrically connected to one end of the surface of the multilayer circuit board 108c. One end of the semi-rigid coaxial cable 120 connected to and fixed to the external measuring device is connected to the end surface of the multilayer circuit board 108c, and the connection portion of the semi-rigid coaxial cable 120 is surrounded by the conductor case 404. It is a configuration.

図12に示すように、多層回路基板108cが、信号用パッド121の代わりとなる信号用パッド401と、グラウンド用パッド122の代わりとなるグラウンド用パッド403及びグラウンド用パッド405と、グラウンド用ヴィア133の代わりとなるグラウンド用ヴィア402と、を備える。   As shown in FIG. 12, the multilayer circuit board 108 c includes a signal pad 401 that replaces the signal pad 121, a ground pad 403 and a ground pad 405 that replaces the ground pad 122, and a ground via 133. A ground via 402 instead of the above.

信号用パッド401が、多層回路基板108cの端面に設けられる。グラウンド用パッド403が、表面側のグラウンド配線113とは反対側の多層回路基板108cの表面に設けられる。   A signal pad 401 is provided on the end surface of the multilayer circuit board 108c. A ground pad 403 is provided on the surface of the multilayer circuit board 108c opposite to the ground wiring 113 on the front surface side.

信号配線109の他端が、信号用パッド401に接続される。表面側のグラウンド配線113の他端が、グラウンド用パッド405に接続される。内層側のグラウンド配線113の他端が、グラウンド用ヴィア402を介してグラウンド用パッド403に接続される。   The other end of the signal wiring 109 is connected to the signal pad 401. The other end of the ground wiring 113 on the front side is connected to the ground pad 405. The other end of the ground wiring 113 on the inner layer side is connected to the ground pad 403 through the ground via 402.

セミリジッド同軸ケーブル120の中心導体123が、半田406により信号用パッド401に半田付け接続される。そして、導体ケース404に穴が設けられ、その穴にセミリジッド同軸ケーブル120を通して、導体ケース404が中心導体123の接続部分を覆って囲むように、導体ケース404の端部がグラウンド用パッド403及びグラウンド用パッド405の一部分に重ねられて、半田407により導体ケース404とグラウンド用パッド403及びグラウンド用パッド405とが半田付け接続され、半田408により導体ケース404とセミリジッド同軸ケーブル120の外導体124とが半田付け接続される。この場合、隙間なく導体ケース404を半田付けすることが好ましい。   The center conductor 123 of the semi-rigid coaxial cable 120 is soldered and connected to the signal pad 401 with solder 406. A hole is provided in the conductor case 404, and the end of the conductor case 404 is connected to the ground pad 403 and the ground so that the semi-rigid coaxial cable 120 passes through the hole and the conductor case 404 covers and surrounds the connection portion of the center conductor 123. The conductor case 404 and the ground pad 403 and the ground pad 405 are soldered and connected to a part of the pad 405 for soldering, and the conductor case 404 and the outer conductor 124 of the semi-rigid coaxial cable 120 are connected to each other by the solder 408. Solder connection. In this case, it is preferable to solder the conductor case 404 without a gap.

以上説明したように、本発明の第4の実施の形態の電子装置によれば、本発明の第3の実施の形態の電子装置を、より薄型形状にすることができるという効果が得られる。   As described above, according to the electronic device of the fourth embodiment of the present invention, an effect that the electronic device of the third embodiment of the present invention can be made thinner is obtained.

次に、本発明の第5の実施の形態の電子装置の構成について、図13及び図14を参照して説明する。図13は、本発明の第5の実施の形態の電子装置における多層配線部と多層回路基板との接続部分の断面図であり、図14は、図13における多層回路基板のヴィア部分の断面図である。   Next, the configuration of the electronic device according to the fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 13 is a cross-sectional view of a connection portion between a multilayer wiring portion and a multilayer circuit board in an electronic device according to a fifth embodiment of the present invention. FIG. 14 is a cross-sectional view of a via portion of the multilayer circuit board in FIG. It is.

本発明の第5の実施の形態の電子装置の構成と図1から図6までに示す本発明の第1の実施の形態の電子装置の構成との相違部分は、図3に示す表面側のグラウンド配線113が、図13に示すように内層配線に変更されて、多層回路基板108が多層回路基板108dに変更された部分のみであり、他の構成部分は同一であるため、図13及び図14に示す構成と、図1から図6までに示す構成と、の同一構成部分には同一符号を付して、その説明を省略する。   The difference between the configuration of the electronic device according to the fifth embodiment of the present invention and the configuration of the electronic device according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 1 to FIG. Since the ground wiring 113 is changed to the inner wiring as shown in FIG. 13 and the multilayer circuit board 108 is changed to the multilayer circuit board 108d, and the other components are the same. The same reference numerals are given to the same components of the configuration shown in FIG. 14 and the configurations shown in FIGS. 1 to 6, and the description thereof will be omitted.

図14は、多層回路基板108dの一点鎖線501の位置におけるヴィア部分の断面図であり、8個のグラウンド用ヴィア112が信号用ヴィア110を囲んでいる。ここで、上側のグラウンド配線113がグラウンド用ヴィア112より下の内層配線となるため、信号配線109とグラウンド用ヴィア112との短絡の可能性がなくなり、図5(b)に示す本発明の第1の実施の形態の電子装置の構成よりも多数のグラウンド用ヴィア112を設けることができ、ヴィア層部分のシールド性能がさらに向上される。   FIG. 14 is a cross-sectional view of the via portion at the position of the alternate long and short dash line 501 of the multilayer circuit board 108 d, and eight ground vias 112 surround the signal via 110. Here, since the upper ground wiring 113 is an inner layer wiring below the ground via 112, there is no possibility of a short circuit between the signal wiring 109 and the ground via 112, and the first embodiment of the present invention shown in FIG. More ground vias 112 can be provided than in the configuration of the electronic device of the first embodiment, and the shield performance of the via layer portion is further improved.

なお、グラウンド用ヴィア112の数と配置とについては以上のように限定したものではなく、できる限り個数が多く等間隔に設けられることが好ましい。   Note that the number and arrangement of the ground vias 112 are not limited as described above, and it is preferable that the number of ground vias 112 be as large as possible and provided at equal intervals.

以上説明したように、本発明の第5の実施の形態の電子装置によれば、本発明の第1の実施の形態の電子装置よりも、さらに良好な高周波信号伝送特性となるという効果が得られる。   As described above, according to the electronic device of the fifth embodiment of the present invention, it is possible to obtain an effect that the high-frequency signal transmission characteristics are better than those of the electronic device of the first embodiment of the present invention. It is done.

次に、本発明の第6の実施の形態の電子装置の構成について、図15及び図16を参照して説明する。図15は、本発明の第6の実施の形態の電子装置における多層配線部と多層回路基板との接続部分の断面図であり、図16(a)は、図15における多層配線部のパッド部分の平面図であり、図16(b)は、多層回路基板のパッド部分の平面図である。   Next, the configuration of the electronic device according to the sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 15 and 16. 15 is a cross-sectional view of a connection portion between a multilayer wiring portion and a multilayer circuit board in an electronic device according to a sixth embodiment of the present invention. FIG. 16A is a pad portion of the multilayer wiring portion in FIG. FIG. 16B is a plan view of the pad portion of the multilayer circuit board.

本発明の第6の実施の形態の電子装置の構成と図1から図6までに示す本発明の第1の実施の形態の電子装置の構成との相違部分は、図15に示すように、領域601において、多層配線部130aがパッド602を備え、多層回路基板108eがパッド602に対向するパッド603を備え、さらにパッド602とパッド603とを接続する導電体としてのバンプ604を備えることにより、センサモジュール101及び多層配線部130がセンサモジュール101a及び多層配線部130aに変更され、多層回路基板108が多層回路基板108eに変更された部分のみであり、他の構成部分は同一であるため、図15及び図16に示す構成と、図1から図6までに示す構成と、の同一構成部分には同一符号を付して、その説明を省略する。   The difference between the configuration of the electronic device of the sixth embodiment of the present invention and the configuration of the electronic device of the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 6 is as shown in FIG. In the region 601, the multilayer wiring portion 130a includes the pad 602, the multilayer circuit board 108e includes the pad 603 facing the pad 602, and further includes the bump 604 as a conductor connecting the pad 602 and the pad 603. Since the sensor module 101 and the multilayer wiring part 130 are changed to the sensor module 101a and the multilayer wiring part 130a, only the part where the multilayer circuit board 108 is changed to the multilayer circuit board 108e, and the other components are the same. 15 and FIG. 16 and the configurations shown in FIG. 1 to FIG. 6 are assigned the same reference numerals and explanations thereof are omitted. .

図16(a)に示すように、多層配線部130aの領域601において、グラウンド用パッド107と同一層に形成されるパッド602がグラウンド用パッド107に接続される。また、図16(b)に示すように、多層回路基板108eの領域601において、グラウンド用パッド114と同一層に形成されるパッド603がグラウンド用パッド114に接続される。そして、パッド602とパッド603とが複数(ここでは6個)のバンプ604により接続される。   As shown in FIG. 16A, a pad 602 formed in the same layer as the ground pad 107 is connected to the ground pad 107 in the region 601 of the multilayer wiring portion 130a. Further, as shown in FIG. 16B, in a region 601 of the multilayer circuit board 108e, a pad 603 formed in the same layer as the ground pad 114 is connected to the ground pad 114. Then, the pad 602 and the pad 603 are connected by a plurality of (here, six) bumps 604.

グラウンド配線に接続されたパッド602及びパッド603を設けて、グラウンド接続用のバンプ数を増やすことにより、バンプ接続部分のグラウンド電位が安定化されてセンサモジュール101aの回路動作の安定性がさらに向上され、多層配線部130aと多層回路基板108eとの密着度が増すことによって機械的強度がさらに向上されてバンプの接続状態を良好に保つことができるようになる。しかも、センサモジュール101aが発生する熱を多数のバンプを介して逃がすことができるので、放熱性がさらに向上される。   By providing the pads 602 and 603 connected to the ground wiring and increasing the number of bumps for ground connection, the ground potential at the bump connection portion is stabilized and the stability of the circuit operation of the sensor module 101a is further improved. As the adhesion between the multilayer wiring part 130a and the multilayer circuit board 108e increases, the mechanical strength is further improved and the connection state of the bumps can be kept good. In addition, since the heat generated by the sensor module 101a can be released through a large number of bumps, heat dissipation is further improved.

なお、バンプ604の数と配置とについては以上のように限定したものではなく、できる限り個数が多く設けられることが好ましい。   Note that the number and arrangement of the bumps 604 are not limited as described above, and it is preferable to provide as many as possible.

以上説明したように、本発明の第6の実施の形態の電子装置によれば、本発明の第1の実施の形態の電子装置よりも、さらに良好な高周波信号伝送特性となり、さらにセンサモジュールと多層回路基板とが強固に固着されるという効果が得られる。   As described above, according to the electronic device of the sixth embodiment of the present invention, the electronic device of the first embodiment of the present invention has better high-frequency signal transmission characteristics, and the sensor module and The effect that the multilayer circuit board is firmly fixed is obtained.

次に、本発明の第7の実施の形態の電子装置の構成について、図17及び図18を参照して説明する。図17は、本発明の第7の実施の形態の電子装置における多層配線部と多層回路基板との接続部分の断面図であり、図18(a)は、図17における多層配線部のパッド部分の平面図であり、図18(b)は、多層回路基板のパッド部分の平面図である。   Next, the configuration of the electronic device according to the seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 17 and 18. 17 is a cross-sectional view of a connection portion between a multilayer wiring portion and a multilayer circuit board in an electronic device according to a seventh embodiment of the present invention. FIG. 18A is a pad portion of the multilayer wiring portion in FIG. FIG. 18B is a plan view of the pad portion of the multilayer circuit board.

本発明の第7の実施の形態の電子装置の構成と図1から図6までに示す本発明の第1の実施の形態の電子装置の構成との相違部分は、図17に示すように、領域701において、多層配線部130bがパッド702を備え、多層回路基板108fがパッド702に対向するパッド703を備え、さらにパッド702とパッド703とを接続する導電体としてのバンプ704を備えることにより、センサモジュール101及び多層配線部130がセンサモジュール101b及び多層配線部130bに変更され、多層回路基板108が多層回路基板108fに変更された部分のみであり、他の構成部分は同一であるため、図17及び図18に示す構成と、図1から図6までに示す構成と、の同一構成部分には同一符号を付して、その説明を省略する。   The difference between the configuration of the electronic device of the seventh embodiment of the present invention and the configuration of the electronic device of the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 6 is as shown in FIG. In the region 701, the multilayer wiring part 130 b includes a pad 702, the multilayer circuit board 108 f includes a pad 703 facing the pad 702, and further includes a bump 704 as a conductor that connects the pad 702 and the pad 703. Since the sensor module 101 and the multilayer wiring part 130 are changed to the sensor module 101b and the multilayer wiring part 130b, only the part where the multilayer circuit board 108 is changed to the multilayer circuit board 108f, and the other components are the same. The same reference numerals are given to the same components of the configuration shown in FIGS. 17 and 18 and the configuration shown in FIGS. 1 to 6, and the description thereof will be omitted. .

図18(a)に示すように、多層配線部130bの領域701において、グラウンド用パッド107と同一層に形成され電気的に何れにも接続されない複数(ここでは6個)のパッド702が設けられる。また、図18(b)に示すように、多層回路基板108fの領域701において、グラウンド用パッド114と同一層に形成されるパッド703がグラウンド用パッド114に接続される。そして、複数(ここでは6個)のパッド702とパッド703とが複数(ここでは6個)のバンプ704により接続される。複数のパッド702のそれぞれに、1個のバンプ704が設けられる。   As shown in FIG. 18A, a plurality (six in this case) of pads 702 that are formed in the same layer as the ground pads 107 and are not electrically connected to any of the regions 701 of the multilayer wiring portion 130b are provided. . Further, as shown in FIG. 18B, a pad 703 formed in the same layer as the ground pad 114 is connected to the ground pad 114 in the region 701 of the multilayer circuit board 108f. A plurality (six here) of pads 702 and a pad 703 are connected by a plurality (six here) of bumps 704. One bump 704 is provided on each of the plurality of pads 702.

なお、それぞれのパッド702は、図16(a)におけるパッド602を、バンプ対応になるように複数に分割したものに相当する。   Each pad 702 corresponds to the pad 602 in FIG. 16A divided into a plurality of bumps so as to correspond to the bumps.

分割することにより、組み立て工程におけるバンプ実装の際の位置合わせを容易にすることができる。もちろん、図16(a)におけるパッド602に相当するような、電気的に何れにも接続されない1個のパッド702とすることもできる。   By dividing, it is possible to facilitate alignment during bump mounting in the assembly process. Needless to say, a single pad 702 that is not electrically connected to any one of the pads 602 in FIG.

機械的接続用のバンプ数を増やすことにより、多層配線部130bと多層回路基板108fとの密着度が増すことによって機械的強度がさらに向上されてバンプの接続状態を良好に保つことができるようになる。しかも、センサモジュール101bが発生する熱を多数のバンプを介して逃がすことができるので、放熱性がさらに向上される。   By increasing the number of bumps for mechanical connection, the degree of adhesion between the multilayer wiring portion 130b and the multilayer circuit board 108f is increased, so that the mechanical strength is further improved and the connection state of the bumps can be kept good. Become. In addition, since the heat generated by the sensor module 101b can be released through a large number of bumps, heat dissipation is further improved.

なお、パッド702及びバンプ704の数と配置とについては以上のように限定したものではなく、できる限り個数が多く設けられることが好ましい。しかし、パッド702については少なくともバンプ704の数以上を必要とする。   Note that the number and arrangement of the pads 702 and bumps 704 are not limited as described above, and it is preferable to provide as many as possible. However, at least the number of bumps 704 is required for the pad 702.

また、本実施の形態においては、多層配線部130b側に電気的に何れにも接続されないパッドを設け、多層回路基板108f側にグラウンド配線に接続されるパッドを設ける構成となっているが、これとは反対に、多層配線部130b側にグラウンド配線に接続されるパッドを設け、多層回路基板108f側に電気的に何れにも接続されないパッドを設ける構成とすることができる。   In the present embodiment, a pad that is not electrically connected to either is provided on the multilayer wiring portion 130b side, and a pad connected to the ground wiring is provided on the multilayer circuit board 108f side. On the other hand, a pad connected to the ground wiring can be provided on the multilayer wiring portion 130b side, and a pad not electrically connected to either can be provided on the multilayer circuit board 108f side.

以上説明したように、本発明の第7の実施の形態の電子装置によれば、本発明の第6の実施の形態の電子装置よりも、さらに組み立て工程におけるバンプ実装の際の位置合わせを容易にすることができるという効果が得られる。   As described above, according to the electronic device of the seventh embodiment of the present invention, it is easier to align the bump mounting in the assembly process than the electronic device of the sixth embodiment of the present invention. The effect that it can be made is obtained.

次に、本発明の第8の実施の形態の電子装置の構成について、図19及び図20を参照して説明する。図19は、本発明の第8の実施の形態の電子装置における多層配線部と多層回路基板との接続部分の断面図であり、図20(a)は、図19における多層配線部のパッド部分の平面図であり、図20(b)は、多層回路基板のパッド部分の平面図である。   Next, the configuration of the electronic device according to the eighth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 19 and 20. 19 is a cross-sectional view of a connection portion between a multilayer wiring portion and a multilayer circuit board in an electronic device according to an eighth embodiment of the present invention, and FIG. 20A is a pad portion of the multilayer wiring portion in FIG. FIG. 20B is a plan view of the pad portion of the multilayer circuit board.

本発明の第8の実施の形態の電子装置の構成と図1から図6までに示す本発明の第1の実施の形態の電子装置の構成との相違部分は、図19に示すように、領域801において、多層配線部130cがパッド802を備え、多層回路基板108gがパッド802に対向するパッド803を備え、さらにパッド802とパッド803とを接続する導電体としてのバンプ804を備えることにより、センサモジュール101及び多層配線部130がセンサモジュール101c及び多層配線部130cに変更され、多層回路基板108が多層回路基板108gに変更された部分のみであり、他の構成部分は同一であるため、図19及び図20に示す構成と、図1から図6までに示す構成と、の同一構成部分には同一符号を付して、その説明を省略する。   The difference between the configuration of the electronic device of the eighth embodiment of the present invention and the configuration of the electronic device of the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 6 is as shown in FIG. In the region 801, the multilayer wiring part 130c includes a pad 802, the multilayer circuit board 108g includes a pad 803 facing the pad 802, and further includes a bump 804 as a conductor that connects the pad 802 and the pad 803. Since the sensor module 101 and the multilayer wiring portion 130 are changed to the sensor module 101c and the multilayer wiring portion 130c, only the portion where the multilayer circuit board 108 is changed to the multilayer circuit board 108g, and the other components are the same. 19 and FIG. 20 and the configuration shown in FIG. 1 to FIG. 6 are assigned the same reference numerals, and the description thereof is omitted. .

図20(a)に示すように、多層配線部130cの領域801において、グラウンド用パッド107と同一層に形成され電気的に何れにも接続されない複数(ここでは6個)のパッド802が設けられる。また、図20(b)に示すように、多層回路基板108gの領域801において、グラウンド用パッド114と同一層に形成され電気的に何れにも接続されない複数(ここでは6個)のパッド803が設けられる。そして、複数(ここでは6個)のパッド802と複数(ここでは6個)のパッド803とが複数(ここでは6個)のバンプ804により1対1に接続される。複数のパッド802のそれぞれに、1個のバンプ804が設けられる。   As shown in FIG. 20A, in the region 801 of the multilayer wiring portion 130c, a plurality (six in this case) of pads 802 that are formed in the same layer as the ground pad 107 and are not electrically connected to any one are provided. . As shown in FIG. 20B, in the region 801 of the multilayer circuit board 108g, a plurality (six in this case) of pads 803 that are formed in the same layer as the ground pad 114 and are not electrically connected to any of them are formed. Provided. A plurality of (here, six) pads 802 and a plurality (here, six) pads 803 are connected one-to-one by a plurality of (here, six) bumps 804. One bump 804 is provided on each of the plurality of pads 802.

なお、それぞれのパッド802は、図16(a)におけるパッド602を、バンプ対応になるように複数に分割したものに相当し、それぞれのパッド803は、図16(b)におけるパッド603を、バンプ対応になるように複数に分割したものに相当する。   Note that each pad 802 corresponds to the pad 602 in FIG. 16A divided into a plurality of bumps so as to correspond to the bumps, and each pad 803 corresponds to the pad 603 in FIG. It corresponds to what was divided into multiple parts so as to correspond.

パッド802とパッド803とをそれぞれ複数に分割することにより、本発明の第7の実施の形態の電子装置よりも、さらに組み立て工程におけるバンプ実装の際の位置合わせを容易にすることができる。もちろん、図16(a)におけるパッド602に相当するような、電気的に何れにも接続されない1個のパッド802とすることもできるし、図16(b)におけるパッド603に相当するような、電気的に何れにも接続されない1個のパッド803とすることもできる。   By dividing each of the pad 802 and the pad 803 into a plurality of parts, it is possible to facilitate alignment at the time of bump mounting in the assembly process as compared with the electronic device according to the seventh embodiment of the present invention. Of course, it can be a single pad 802 that is not electrically connected to any of the pads 602 in FIG. 16A, or the pad 603 in FIG. One pad 803 that is not electrically connected to any one of them may be used.

機械的接続用のバンプ数を増やすことにより、多層配線部130cと多層回路基板108gとの密着度が増すことによって機械的強度がさらに向上されてバンプの接続状態を良好に保つことができるようになる。しかも、センサモジュール101cが発生する熱を多数のバンプを介して逃がすことができるので、放熱性がさらに向上される。   By increasing the number of bumps for mechanical connection, the degree of adhesion between the multilayer wiring part 130c and the multilayer circuit board 108g is increased, so that the mechanical strength is further improved and the connection state of the bumps can be kept good. Become. In addition, since the heat generated by the sensor module 101c can be released through a large number of bumps, heat dissipation is further improved.

なお、パッド802、パッド803及びバンプ804の数と配置とについては以上のように限定したものではなく、できる限り個数が多く設けられることが好ましい。しかし、パッド802及びパッド803については少なくともバンプ804の数以上を必要とする。   Note that the number and arrangement of the pads 802, the pads 803, and the bumps 804 are not limited as described above, and it is preferable to provide as many as possible. However, at least the number of bumps 804 is required for the pad 802 and the pad 803.

以上説明したように、本発明の第8の実施の形態の電子装置によれば、本発明の第7の実施の形態の電子装置よりも、さらに組み立て工程におけるバンプ実装の際の位置合わせを容易にすることができるという効果が得られる。   As described above, according to the electronic device of the eighth embodiment of the present invention, it is easier to align the bump mounting in the assembly process than the electronic device of the seventh embodiment of the present invention. The effect that it can be made is obtained.

なお、いずれの実施の形態においても、信号用パッドに接続しているバンプとグラウンド用パッドに接続しているバンプとの周囲を樹脂により封止することにより、多層配線部と多層回路基板との接続の機械的強度を増大させ、信頼性の高い電気的接続を確保することができる。   In any of the embodiments, the periphery of the bump connected to the signal pad and the bump connected to the ground pad is sealed with resin, so that the multilayer wiring portion and the multilayer circuit board are sealed. The mechanical strength of the connection can be increased, and a highly reliable electrical connection can be ensured.

また、グラウンド用パッドに接続しているバンプの周囲のみを樹脂により封止することによっても、多層配線部と多層回路基板との接続の機械的強度を増大させて、信頼性の高い電気的接続を確保することができる。このとき封止に使用する樹脂に導電性の材料を添加することにより、電磁干渉に対する抑制効果を向上させることができる。   In addition, by sealing only the periphery of the bump connected to the ground pad with resin, the mechanical strength of the connection between the multilayer wiring part and the multilayer circuit board is increased, and the electrical connection is highly reliable. Can be secured. At this time, the effect of suppressing electromagnetic interference can be improved by adding a conductive material to the resin used for sealing.

また、いずれの実施の形態においても、信号用パッド及びグラウンド用パッドの接続にバンプを用いているが、半田ボールであってもよく、或は、印刷半田を用いたリフロー半田付けによってパッド全面が半田により接続される構成とすることもできる。半田を用いることで接続強度の向上並びに電磁干渉の抑制効果を向上させることができる。   In any of the embodiments, the bumps are used to connect the signal pads and the ground pads. However, solder balls may be used, or the entire pad surface may be formed by reflow soldering using printed solder. It can also be set as the structure connected by solder. By using solder, the connection strength can be improved and the effect of suppressing electromagnetic interference can be improved.

本発明の第1の実施の形態の電子装置の分解斜視図である。1 is an exploded perspective view of an electronic device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施の形態の電子装置の断面図である。It is sectional drawing of the electronic device of the 1st Embodiment of this invention. 図2における多層配線部と多層回路基板との接続部分の断面図である。It is sectional drawing of the connection part of the multilayer wiring part and multilayer circuit board in FIG. 図4(a)は、図3における多層配線部のパッド部分の平面図であり、図4(b)は、多層回路基板のパッド部分の平面図である。4A is a plan view of the pad portion of the multilayer wiring portion in FIG. 3, and FIG. 4B is a plan view of the pad portion of the multilayer circuit board. 図5(a)は、図3における多層配線部のヴィア部分の断面図であり、図5(b)は、多層回路基板のヴィア部分の断面図である。5A is a cross-sectional view of the via portion of the multilayer wiring portion in FIG. 3, and FIG. 5B is a cross-sectional view of the via portion of the multilayer circuit board. 図6(a)は、図3における多層配線部の信号配線及びグラウンド配線部分の断面図であり、図6(b)は、多層回路基板の信号配線及びグラウンド配線部分の断面図である。6A is a cross-sectional view of the signal wiring and ground wiring portion of the multilayer wiring portion in FIG. 3, and FIG. 6B is a cross-sectional view of the signal wiring and ground wiring portion of the multilayer circuit board. 本発明の第2の実施の形態の電子装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the electronic device of the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態の電子装置の断面図である。It is sectional drawing of the electronic device of the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態の電子装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the electronic device of the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態の電子装置の断面図である。It is sectional drawing of the electronic device of the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施の形態の電子装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the electronic device of the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施の形態の電子装置の断面図である。It is sectional drawing of the electronic device of the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第5の実施の形態の電子装置における多層配線部と多層回路基板との接続部分の断面図である。It is sectional drawing of the connection part of the multilayer wiring part and multilayer circuit board in the electronic device of the 5th Embodiment of this invention. 図13における多層回路基板のヴィア部分の断面図である。It is sectional drawing of the via part of the multilayer circuit board in FIG. 本発明の第6の実施の形態の電子装置における多層配線部と多層回路基板との接続部分の断面図である。It is sectional drawing of the connection part of the multilayer wiring part and multilayer circuit board in the electronic device of the 6th Embodiment of this invention. 図16(a)は、図15における多層配線部のパッド部分の平面図であり、図16(b)は、多層回路基板のパッド部分の平面図である。16A is a plan view of the pad portion of the multilayer wiring portion in FIG. 15, and FIG. 16B is a plan view of the pad portion of the multilayer circuit board. 本発明の第7の実施の形態の電子装置における多層配線部と多層回路基板との接続部分の断面図である。It is sectional drawing of the connection part of the multilayer wiring part and multilayer circuit board in the electronic device of the 7th Embodiment of this invention. 図18(a)は、図17における多層配線部のパッド部分の平面図であり、図18(b)は、多層回路基板のパッド部分の平面図である。18A is a plan view of the pad portion of the multilayer wiring portion in FIG. 17, and FIG. 18B is a plan view of the pad portion of the multilayer circuit board. 本発明の第8の実施の形態の電子装置における多層配線部と多層回路基板との接続部分の断面図である。It is sectional drawing of the connection part of the multilayer wiring part and multilayer circuit board in the electronic device of the 8th Embodiment of this invention. 図20(a)は、図19における多層配線部のパッド部分の平面図であり、図20(b)は、多層回路基板のパッド部分の平面図である。20A is a plan view of the pad portion of the multilayer wiring portion in FIG. 19, and FIG. 20B is a plan view of the pad portion of the multilayer circuit board. 従来例のセンサ装置の斜視図である。It is a perspective view of the sensor apparatus of a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

101 センサモジュール
101a センサモジュール
101b センサモジュール
101c センサモジュール
102 信号配線
103 信号用ヴィア
104 信号用パッド
105 グラウンド用ヴィア
106 グラウンド配線
107 グラウンド用パッド
108 多層回路基板
108a 多層回路基板
108b 多層回路基板
108c 多層回路基板
108d 多層回路基板
108e 多層回路基板
108f 多層回路基板
108g 多層回路基板
109 信号配線
110 信号用ヴィア
111 信号用パッド
112 グラウンド用ヴィア
113 グラウンド配線
114 グラウンド用パッド
115 バンプ
116 バンプ
117 一点鎖線
118 一点鎖線
119 一点鎖線
120 セミリジッド同軸ケーブル
121 信号用パッド
122 グラウンド用パッド
123 中心導体
124 外導体
125 導体ケース
126 半田
127 半田
128 半田
129 基板
130 多層配線部
130a 多層配線部
130b 多層配線部
130c 多層配線部
131 一点鎖線
132 信号用ヴィア
133 グラウンド用ヴィア
201 信号用パッド
202 グラウンド用パッド
203 導体ケース
204 半田
205 半田
206 半田
207 信号用ヴィア
208 グラウンド用ヴィア
301 階段構造
302 信号用パッド
303 グラウンド用パッド
304 導体ケース
305 グラウンド用パッド
306 半田
307 半田
308 半田
401 信号用パッド
402 ヴィア
403 グラウンド用パッド
404 導体ケース
405 グラウンド用パッド
406 半田
407 半田
408 半田
501 一点鎖線
601 領域
602 パッド
603 パッド
604 バンプ
701 領域
702 パッド
703 パッド
704 バンプ
801 領域
802 パッド
803 パッド
804 バンプ
2001 センサモジュール
2002 多層回路基板
2003 信号配線
2004 信号用パッド
2005 グラウンド配線
2006 グラウンド用パッド
2007 信号配線
2008 信号用パッド
2009 グラウンド配線
2010 グラウンド用パッド
2011 ボンディングワイヤ
2012 ボンディングワイヤ
2013 信号用パッド
2014 グラウンド用パッド
2015 セミリジッド同軸ケーブル
2016 中心導体
2017 外導体
101 sensor module 101a sensor module 101b sensor module 101c sensor module 102 signal wiring 103 signal via 104 signal pad 105 ground via 106 ground wiring 107 ground pad 108 multilayer circuit board 108a multilayer circuit board 108b multilayer circuit board 108c multilayer circuit board 108d Multilayer Circuit Board 108e Multilayer Circuit Board 108f Multilayer Circuit Board 108g Multilayer Circuit Board 109 Signal Wiring 110 Signal Via 111 Signal Pad 112 Ground Via 113 Ground Wiring 114 Ground Pad 115 Bump 116 Bump 117 Dotted Line 118 Dotted Line 119 Single Point Chain line 120 Semi-rigid coaxial cable 121 Signal pad 122 Ground pad 123 central conductor 124 outer conductor 125 conductor case 126 solder 127 solder 128 solder 129 substrate 130 multilayer wiring section 130a multilayer wiring section 130b multilayer wiring section 130c multilayer wiring section 131 one-dot chain line 132 signal via 133 ground via 201 signal pad 202 ground Pad 203 conductor case 204 solder 205 solder 206 solder 207 signal via 208 ground via 301 step structure 302 signal pad 303 ground pad 304 conductor case 305 ground pad 306 solder 307 solder 308 solder 401 signal pad 402 via 403 Ground pad 404 Conductor case 405 Ground pad 406 Solder 407 Solder 408 Solder 501 Dotted line 601 region 602 pad 603 pad 604 bump 701 area 702 pad 703 pad 704 bump 801 area 802 pad 803 pad 804 bump 2001 sensor module 2002 multilayer circuit board 2003 signal wiring 2004 signal pad 2005 ground pad 2007 ground pad 2007 2009 Ground Wiring 2010 Ground Pad 2011 Bonding Wire 2012 Bonding Wire 2013 Signal Pad 2014 Ground Pad 2015 Semi-Rigid Coaxial Cable 2016 Center Conductor 2017 Outer Conductor

Claims (4)

基板の第1の表面に形成された第1の信号用パッドと、前記第1の表面に前記第1の信号用パッドを囲むように形成された第1の基準電位用パッドと、を有する機能モジュールと、
絶縁基板と、前記第1の信号用パッドに電気的に接続され、前記絶縁基板の第2の表面に形成された第2の信号用パッドと、前記第1の基準電位用パッドに電気的に接続され、前記第2の表面に前記第2の信号用パッドを囲むように形成された第2の基準電位用パッドと、前記絶縁基板の内部に形成された信号用の第1の配線と、前記第1の配線を介して前記第2の信号用パッドと電気的に接続された第3の信号用パッドと、前記第1の配線を挟むように、前記絶縁基板の前記第2の表面又は内部に設けられた基準電位用の第2の配線および前記絶縁基板の内部に設けられた基準電位用の第3の配線と、前記第2の配線及び前記第3の配線を介して前記第2の基準電位用パッドと電気的に接続された第3の基準電位用パッドと、を有する多層回路基板と、
中心導体とそれを囲む外導体を有し、前記中心導体が前記第3の信号用パッドに接続され、前記外導体が前記第3の基準電位用パッドに接続された同軸ケーブルと、
を備えた電子装置であって、
前記多層回路基板は、前記第2の信号用パッドと前記第1の配線とを接続する信号用ヴィアと、前記第2の基準電位用パッドと前記第3の配線とを接続する複数の基準電位用ヴィアとを有し、
前記信号用ヴィアは前記複数の基準電位用ヴィアにより囲まれてなる電子装置。
A function having a first signal pad formed on the first surface of the substrate and a first reference potential pad formed on the first surface so as to surround the first signal pad. Module,
An insulating substrate, electrically connected to the first signal pad, electrically connected to the second signal pad formed on the second surface of the insulating substrate, and the first reference potential pad A second reference potential pad connected to the second surface so as to surround the second signal pad; a first signal wiring formed inside the insulating substrate; A third signal pad electrically connected to the second signal pad via the first wiring, and the second surface of the insulating substrate or the second wiring so as to sandwich the first wiring; A second wiring for reference potential provided inside, a third wiring for reference potential provided inside the insulating substrate, and the second wiring via the second wiring and the third wiring. And a third reference potential pad electrically connected to the reference potential pad And the road board,
A coaxial cable having a center conductor and an outer conductor surrounding the center conductor, the center conductor being connected to the third signal pad, and the outer conductor being connected to the third reference potential pad;
An electronic device comprising:
The multilayer circuit board includes a plurality of reference potentials for connecting the second reference potential pad and the third wiring, and a signal via for connecting the second signal pad and the first wiring. For vias,
An electronic device in which the signal via is surrounded by the plurality of reference potential vias.
前記機能モジュールの基板は多層配線部を有する基板であって、
前記多層配線部の内部に設けられた、前記第1の信号用パッドと電気的に接続される第4の配線と、
前記第4の配線を挟むように、前記第1の表面に設けられた基準電位用の第5の配線および前記多層配線部の内部に設けられた基準電位用の第6の配線と、
前記第4の配線と前記第1の信号用パッドとを接続する第2の信号用ヴィアと、
前記第1の基準電位用パッドと前記第6の配線とを接続する複数の第2の基準電位用ヴィアと、を備え、
前記第2の信号用ヴィアは前記複数の第2の基準電位用ヴィアにより囲まれていることを特徴とする請求項1に記載の電子装置。
The substrate of the functional module is a substrate having a multilayer wiring part,
A fourth wiring provided in the multilayer wiring portion and electrically connected to the first signal pad;
A fifth wiring for reference potential provided on the first surface and a sixth wiring for reference potential provided inside the multilayer wiring portion so as to sandwich the fourth wiring;
A second signal via for connecting the fourth wiring and the first signal pad;
A plurality of second reference potential vias for connecting the first reference potential pad and the sixth wiring;
The electronic device according to claim 1, wherein the second signal via is surrounded by the plurality of second reference potential vias.
前記第2の配線は前記絶縁基板の内部に設けられており、
前記2の基準電位用パッドと前記第2の配線とは第3の基準電位用ヴィアで接続されており、
前記複数の基準電位用ヴィアと前記第3の基準電位用ヴィアで前記信号用ヴィアを囲むことを特徴とする請求項1又は2に記載の電子装置。
The second wiring is provided inside the insulating substrate;
The second reference potential pad and the second wiring are connected by a third reference potential via,
The electronic device according to claim 1, wherein the signal via is surrounded by the plurality of reference potential vias and the third reference potential via.
前記機能モジュールが、センサモジュールであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の電子装置。   The electronic device according to claim 1, wherein the functional module is a sensor module.
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