JP2005299784A - スライダ装置および測定機 - Google Patents
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Abstract
【課題】走行ヘッドの走行精度が向上するとともに、耐久性が向上して精度が維持されるスライダ装置を提供する。
【解決手段】ベース部210と、ベース部200に対してスライド走行可能に設けられた走行ヘッド300と、走行ヘッド300の走行方向である第1方向にガイド方向を有するメインガイド機構410と、第1方向とは異なる第2方向に変位を許容するサブガイド機構450と、を備える。メインガイド機構410は、第1方向に沿って互いに略平行にベース部200に配設された2本のメインレール421、422と、それぞれのメインレール421、422を摺動するメインスライダ431、433と、を備える。サブガイド機構450は、メインスライダ431に配設され第2方向に沿うサブレール461と、サブレール461を摺動するサブスライダ471と、を備える。
【選択図】 図5
Description
図7に、従来のスライダ装置を示す。
スライダ装置900は、上面に平坦面を有する長手状のベース部910と、ベース部910の長手方向に沿って往復走行する走行ヘッド920と、走行ヘッド920の走行方向を案内(ガイド)するガイド機構930と、走行ヘッド920を駆動する駆動手段940と、を備える。
ガイド機構930は、ベース部910の上面において互いに平行に敷設された二本のレール931、932と、それぞれのレール931、932に跨乗して設けられレール931、932をスライド移動するスライダ933、934と、を備える。スライダ933、934は、走行ヘッド920の下面に取り付けられており、これらスライダ933、934がレール931、932に沿ってスライド移動することにより走行ヘッド920の走行方向がガイドされる。
駆動手段940は、二本のレール931、932の間においてレール931、932と平行に配設されたラック941と、ラック941に噛合するピニオン942と、ピニオン942を回転駆動させるモータ943と、を備える。
モータ943は、走行ヘッド920に取付固定され、モータ943の回転子にピニオン942が直結されている。
なお、ラック941の歯面は、ラック941の一側面(いずれか一方のレールに対向する面)に設けられ、ピニオン942の回転軸方向はベース部910の上面に垂直な方向である。
しかしながら、近年では走行ヘッド920の高速化が望まれており、このような高速化を図るためには走行ヘッド920を軽量の部材で形成する必要がある。そして、走行ヘッド920を軽量の部材で形成すると、走行ヘッド920とベース部910との材質が異なるため、温度変化があった場合に走行ヘッド920とベース部910との熱膨張量が異なってくるという問題が生じる。
特に、短手方向において走行ヘッド920とベース部910との熱膨張量が異なってくると、レール931、932に直交する方向の力がレール931、932に作用するので、レール931、932およびスライダ933、934にストレスが作用し、ガイド機構930(レール、スライダ)の耐久性および幾何精度が損なわれるという問題が生じる。すると、走行ヘッド920の走行精度も低減されるという問題が生じる。
ここで、走行ヘッドとベース部とに変形量の差が生じた場合、この変形量の差をサブガイド機構が許容して吸収することにより、走行ヘッドとベース部との変形量の差が吸収される。すると、走行ヘッドとベース部との変形量の差がメインレールに作用しないので、メインガイド機構が損傷されず、メインガイド機構の耐久性が向上するとともに幾何精度が維持される。その結果、走行ヘッドの走行精度が向上される。
また、走行ヘッドとベース部との間に生じる変形量の差が許容されるので、例えば、走行ヘッドを軽量の部材(たとえばアルミ合金)などで形成することができる。その結果、走行ヘッドの高速化を図ることができる。
また、メインレールの平行度が精密でない場合でも、メインレール同士の間隔の違いをサブガイド機構により吸収できるので、メインレールの平行度は精密でなくても走行ヘッドの走行精度が維持される。その結果、部品精度や取付精度が低減できるので、部品コストや組み立てコストを低減することができる。
この構成によれば、サブスライダがサブレールをスライド移動することによって走行ヘッドとベース部との変形量の差が許容され、メインガイド機構にストレスが作用するのを防止することができる。
このような構成によれば、上記発明と同様の作用効果を奏することができる。そして、スライダ装置のスライド移動の精度が高精度となるので、被測定物を高精度に測定することができる。
本発明の一実施形態について、図1〜図6を参照して説明する。
図1は、測定機の全体図である。図2は、ベースカバーを外した状態における走行部およびベース部の拡大図である。図3は、ドライブユニットの部分図であり、図4は、図3中のIV方向からドライブユニットを見た部分図である。図5は、走行ヘッドの走行方向からガイド機構を見た部分図であり、図6は、走行部の上面図である。
本発明の測定機としての三次元測定機100は、長手状のベース部200と、ベース部200の長手方向に往復走行可能に設けられた走行部800と、走行部800により移動され被測定物を測定する測定部700と、を備えている(図1、図2参照)。
基台部210は、長手状で上面が平坦に形成された略直方体形状である。基台部210は、熱変形しないように低熱膨張の部材で形成されることが一例としてあげられる。
基台部210の上面には、基台部210の長手方向に沿った長さを有する3本の台座211、212、213が所定間隔を持って配置されている。なお、台座は、一側縁から順に台座211、台座212、台座213が配置されているとする。
ベースカバー220は、基台部210の上面と略同形の天板部224と、天板部224の両側縁から折曲形成された側板部225と、を有し、基台部210の上面側に設けられて、基台部210の上面との間に所定の収納空間250を区画する。
天板部224には、長手方向に沿った長さを有する3本のスリット221、222、223が開口形成されている。なお、スリット221、222、223のそれぞれの位置は、台座211、212、213の位置に略対応している。
走行ヘッド300は、走行ヘッド本体330と、ヘッドカバー321(図1参照)と、高台部310と、を備える。
走行ヘッド本体330は、全体として略扁平直方体形状に形成されている。走行ヘッド本体330は、ベースカバー220上を走行し、走行ヘッド本体330の上面には測定部700が立設される。
そして、走行ヘッド本体330は、一端面の略中央から所定幅をもって中心に向けて切欠き形成され平面視略矩形状の凹部320を有し(図6参照)、ヘッドカバー321は、凹部320を覆うように設けられている。
高台部310は、走行ヘッド本体330の両側縁に沿って下面に立設されている。ここで、走行ヘッド本体330の一側縁側から高台311が立設され、走行ヘッドの他側縁側から高台312が立設されているとする。
ここで、走行ヘッド本体330がベースカバー220の上面を走行するところ、高台部310(高台311、312)は、ベースカバー220のスリット221、223に挿入されて下端がベース部200内の収納空間250に位置する。
走行ヘッド300は、軽量化のためにアルミ合金等で形成されることが例として挙げられる。
ガイド機構400は、ベース部200内の収納空間250に配設されている。
ガイド機構400は、ベース部200の長手方向(第1方向、走行ヘッドの走行方向)に沿った方向にガイド方向を有するメインガイド機構410と、ベース部200の長手方向に直交する方向(第2方向、メインガイド機構410のガイド方向に直交する方向)にガイド方向を有するサブガイド機構450と、を備える(図2、図5、図6参照)。
メインレール420は、基台部210の一側縁側に配設された第1メインレール421と、基台部210の他側縁側において台座213の上面に配設された第2メインレール422と、を備えて構成されている。
メインスライダ430は、断面コ字上の部材であってメインレール420に跨乗するように設けられている。
メインスライダ430は、第1メインレール421をスライド移動する第1メインスライダ431および第2メインスライダ432と、第2メインレール422をスライド移動する第3メインスライダ433および第4メインスライダ434と、を備えて構成されている。
第1メインスライダ431および第2メインスライダ432は、サブガイド機構450を介して高台部310の下端に連結されている。ここで、走行ヘッド300の下面側において、第1メインスライダ431は一端側に配置され、第2メインスライダ432は他端側に配置されているとする。
第3メインスライダ433は高台312の一端側に取り付け固定され、第4メインスライダ434は高台312の他端側に取り付け固定されている。
サブレール460は、第1メインスライダ431の上面に配設された第1サブレール461と、第2メインスライダ432の上面に配設された第2サブレール462と、を備えて構成されている。
サブスライダ470は、断面コ字状の部材であってサブレール460(第1サブレール461、第2サブレール462)に跨乗するように設けられ、サブスライダ470は、第1サブレール461上をスライド移動する第1サブスライダ471と、第2サブレール462上をスライド移動する第2サブスライダ472と、を備えて構成されている。
ここで、第1サブスライダ471は、高台311の一端側に取付固定され、第2サブスライダ472は、高台311の他端側に取付固定されている。
ドライブユニット500は、基台部210の長手方向に沿って配設されたラック510と、ラック510に噛合するピニオン520と、ピニオン520を揺動支持する揺動支持手段530と、ピニオン520を回転駆動させる回転駆動手段560と、ピニオン520をラック510に向けて付勢する付勢機構570と、を備える(図2、図3、図4参照)。
ラック510はラック歯を有し、ラック歯面はラック510の一側面(第1メインレールに対向する側の面)に設けられている。すなわち、ラック歯面の法線の方向は、基台部210の上面に平行な方向であり、また、メインガイド機構410のガイド方向に対して垂直な方向である。
スイングアーム540は、走行ヘッド本体330の凹部320に配設されるアーム本体部541と、アーム本体部541の下端に連続して設けられピニオン520を収容するピニオン収容部542と、を備える。
アーム本体部541は、一端に揺動軸550が挿通され、この揺動軸550により他端が揺動可能となっている。
ピニオン収容部542は、アーム本体部541の下端においてラック歯面に対して垂直な貫通孔542Dを形成する枠状に設けられており、アーム本体部541の一端側から連続して垂下する一端側柱部542Aと、アーム本体部541の他端側から連続して垂下する他端側柱部542Bと、一端側柱部542Aと他端側柱部542Bの下端を繋ぐ下梁部542Cと、を有する。そして、ピニオン収容部542の貫通孔542D内にピニオン520が収納される。
ここで、ピニオン520の回転軸とスイングアーム540の揺動軸とを結ぶ線L(図4参照)は、ラック510に対して略平行である。
アーム本体部541の一側縁から連続してブラケット562が突設され(図3参照)、このブラケット562に筐体561が設けられている。そして、筐体561から垂下する状態にモータ564が配設されているとともに筐体561内に歯車列およびベルト&プーリを有する伝達機構563が配設されている。
駆動ギア565は、アーム本体部541の上面において回転可能に設けられ、駆動ギア565の回転軸線はピニオン520の回転軸線に一致している。
駆動軸566は、アーム本体部541およびピニオン収容部542を貫通して回転可能に設けられ、駆動ギア565とピニオン520の回転軸を連結している。そして、駆動ギア565の回転が駆動軸566によってピニオン520に伝達され、ピニオン520は駆動ギア565に従動して回転する。
また、駆動軸566がスイングアーム540を貫通して設けられることにより、駆動軸566とスイングアーム540とが係合されている。
テンションローラ573は、基台部210の上面に対して略垂直な回転軸を有する。テンションローラ573の回転軸とピニオン520の回転軸とを結ぶ線は、ラック510に対して略直交する。
レバーアーム572は、壁板部571とピニオン収容部542との間において、壁板部571とピニオン収容部542とのそれぞれに対して略平行かつ揺動可能に配設されている。そして、レバーアーム572の略中央にテンションローラ573が回転可能に設けられている。これにより、レバーアーム572は、テンションローラ573の回転軸を支点とする「てこ」となっている。
また、レバーアーム572の一端とピニオン収容部542の一端(一端側柱部542A)と間にバネ574が介装され、このバネ574によりレバーアーム572の一端がピニオン収容部542の一端から離間する方向(レバーアーム572の一端を壁板部571に近接させる方向)へ付勢されている。
ピニオン収容部542の他端(他端側柱部542B)から壁板部571に向けて連結桿576が連続して突設され、レバーアーム572の他端が連結桿576に回転自在に枢支されている。
ここで、バネ574によりレバーアーム572の一端がラック510から離間する方向に付勢されるところ、レバーアーム572の他端はラック510に向けて付勢される。これにより、連結桿576を介してスイングアーム540の他端側がラック510に向けて付勢される。
連結手段600は、揺動支持枠610と、連結部材620、620と、を備えている(図2、図6参照)。
揺動支持枠610は貫通孔を有する枠状部材であって、この貫通孔にスイングアーム540を受け入れるようにスイングアーム540の一端に外挿されて設けられている。そして、揺動支持枠610およびスイングアーム540の一端を貫通して揺動軸550が設けられ、揺動軸550を中心にスイングアーム540が揺動支持枠610に対して揺動可能となっている。
連結部材620、620は、揺動支持枠610を走行ヘッド本体330に取り付ける断面L字上の部材である。
例えば、走行ヘッド300の位置を検出する検出手段としては、第2メインレール422と第3メインスライダ433(あるいは第4メインスライダ434)との相対変位量を検出する変位検出手段であってもよく、あるいは、モータ564の回転数あるいはピニオン520の回転数を検出する回転検出手段であってもよい。
また、Zコラム710に対するYスピンドル720の昇降量、および、Yスピンドルの伸縮量を検出する変位検出手段を備えていることが好ましい。
まず、走行ヘッド300がベース部200の長手方向に往復走行する動作について説明する。
モータ564が回転駆動すると、モータ564の動力は伝達機構563を介して駆動ギア565に伝達されて駆動ギア565が回転駆動される。
駆動ギア565の回転により駆動軸566が回転され、駆動軸566が回転することで駆動ギア565の回転動力がピニオン520に伝達され、ピニオン520が駆動ギア565に従動して回転される。
ピニオン520がラック510に噛合した状態で回転駆動すると、ピニオン520がラック510に沿って移動する。
ピニオン520とともに駆動軸566がラック510に沿って移動されるところ、駆動軸566がスイングアーム540に係合している(駆動軸566がスイングアーム540を貫通している)ので、駆動軸566とともにスイングアーム540がラック510に沿って移動する。
スイングアーム540は、揺動軸550を介して揺動支持枠610に連係されている(揺動軸550は揺動支持枠610およびスイングアーム540を貫通している)ので、スイングアーム540(ドライブユニット500)とともに揺動支持枠610がラック510に沿って移動される。
揺動支持枠610が連結部材620、620により走行ヘッド300に固定されているので、揺動支持枠610とともに走行ヘッド300がラック510に沿って移動される。
このとき、メインガイド機構410の第2メインレール422に対する第3メインスライダ433および第4メインスライダ434の摺嵌により、走行ヘッド300は、メインガイド機構410にてガイドされる方向(すなわちラック510に沿った方向)に走行する。
ピニオン520が回転する際にラック歯に高低があると、ラック510に垂直な方向(走行方向に直交方向)の力がピニオン520に作用する。すると、ピニオン520が走行方向に直交する方向で振動する。
ピニオン520が走行方向に直交する方向に振られて振動すると、駆動軸566がピニオン520とともに振られて振動する。
ここで、一端側の揺動軸550を揺動中心としてスイングアーム540が揺動可能に設けられているので、スイングアーム540の他端がピニオン520および駆動軸566とともに振られて振動する。
すると、走行方向に直交する方向のピニオン520の振動はスイングアーム540の揺動により吸収され、スイングアーム540の一端に設けられた揺動支持枠610にはピニオン520の振動が伝達されず、走行ヘッド300はメインガイド機構410にてガイドされる方向からずれることなく、走行する。
走行ヘッド300が軽量のアルミ合金等で形成され、基台部210が低熱膨張部材で形成されているところ、温度変化があると走行ヘッド300と基台部210との熱膨張量(熱変形量)が異なってくる。
特に、短手方向(走行方向に直交する方向)において変形量に違いが生じると、第1メインレール421と第2メインレール422との間隔に対して走行ヘッド300の幅が違ってくる。
このとき、第1メインスライダ431および第2メインスライダ432の上面にサブレール460(第1サブレール461、第2サブレール462)が設けられ、このサブレール460にサブスライダ470(第1サブスライダ471、第2サブスライダ472)が摺嵌されているので、サブスライダ470が走行ヘッド300の変形に応じて走行方向に直交する方向にスライド移動する。
すると、走行ヘッド300と基台部210との変形量の差異が吸収される。
被測定物を測定するにあたっては、プローブ730を被測定物に当接させた状態でプローブ730で被測定物表面を走査する。すなわち、プローブ730が被測定物表面に当接した状態を保つように走行ヘッド300の走行動作、Yスピンドル720の昇降動作、Yスピンドル720の伸縮動作等の制御が所定の制御手段により実行される。
(1)ラック510のラック歯に高低のばらつきなどがあった場合、ピニオン520はスイングアーム540により揺動支持されているので、ピニオン520がラック510の略直交方向へ揺動して逃げることができる。従って、ピニオン520とラック510との間には過大な噛み合い圧が生じることはなく、ピニオン520およびラック510の損傷が防止され、幾何精度が維持される。
(2)ラック510のラック歯に高低のばらつきなどがあった場合でも、ラック510に直交する方向の応力はスイングアーム540の揺動により吸収することができる。従って、メインガイド機構410(特に、第2メインレール422、第3メインスライダ433、第4メインスライダ434)にはガイド方向と異なるストレスが作用せず、メインガイド機構410の損傷が防止され、幾何精度が維持される。その結果、走行ヘッド300のスライド移動が高精度となる。
(8)第1メインレール421と第2メインレール422との平行度が精密でない場合でも、メインレール同士の間隔の違いがサブガイド機構450(サブレール460、サブスライダ470)により吸収される。従って、第1メインレール421と第2メインレール422との平行度は精密でなくても走行ヘッド300の走行精度が維持される。その結果、部品精度や取付精度が低減できるので、部品コストや組み立てコストを低減することができる。
例えば、前記実施形態では、ラックが基台部に設けられピニオンが走行ヘッドに設けられているとしたが、逆に、ラックが走行ヘッドに設けられピニオンが基台部に設けられていてもよい。
付勢機構の構成としては、上記実施形態に限定されず、スイングアームの揺動端をラックに向けて付勢する構成であれば特に限定されない。
ガイド機構において、メインレールとしては二本設けられているとして説明したが、例えば3本、4本であってもよい。この場合、メインレールのうちの一本をスライドするメインスライダは走行ヘッドに取付固定され、他のメインレールをスライドするメインスライダの上面にはサブガイド機構が配設される。また、サブガイド機構は、サブレールとサブスライダとで構成されているとしたが、例えば、メインスライダと走行ヘッドとの間にボールが介在配置されたり、メインスライダと走行ヘッドとの間をバネ等の弾性部材で繋いだりするなど、その構成は特に限定されない。
Claims (3)
- ベース部と、
前記ベース部に対してスライド走行可能に設けられた走行ヘッドと、
前記走行ヘッドの走行方向である第1方向にガイド方向を有するメインガイド機構と、
前記第1方向とは異なる第2方向に変位を許容するサブガイド機構と、を備え、
前記メインガイド機構は、前記第1方向に沿って互いに略平行に前記ベース部に配設された2以上のメインレールと、それぞれの前記メインレールを摺動するメインスライダと、を備え、
前記走行ヘッドには、前記メインレールのうち任意の一本を摺動する前記メインスライダが配設されているとともに、前記走行ヘッドと他のメインスライダとの間には前記サブガイド機構が介在配置されている
ことを特徴とするスライダ装置。 - 請求項1に記載のスライダ装置において、
前記サブガイド機構は、前記メインレールのうち任意の一本を摺動するメインスライダを除いた他のメインスライダに配設され、前記第1方向とは異なる第2方向に沿うサブレールと、
それぞれの前記サブレールを摺動するサブスライダと、を備えている
ことを特徴とするスライダ装置。 - 請求項1または請求項2に記載のスライダ装置と、
前記走行ヘッドにより移動され、被測定物表面を走査して被測定物を検出する検出部を有する測定部と、
前記検出部の座標位置を検出する位置検出手段と、を備えた測定機。
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