JP2004230469A - Micropump driving device - Google Patents

Micropump driving device Download PDF

Info

Publication number
JP2004230469A
JP2004230469A JP2003018255A JP2003018255A JP2004230469A JP 2004230469 A JP2004230469 A JP 2004230469A JP 2003018255 A JP2003018255 A JP 2003018255A JP 2003018255 A JP2003018255 A JP 2003018255A JP 2004230469 A JP2004230469 A JP 2004230469A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
micropump
waveform
circuit
drive
clock
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003018255A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshio Yoshida
敏雄 吉田
Tadayoshi Kajiyama
佶是 梶山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FLUIDWARE TECHNOLOGIES KK
Original Assignee
FLUIDWARE TECHNOLOGIES KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FLUIDWARE TECHNOLOGIES KK filed Critical FLUIDWARE TECHNOLOGIES KK
Priority to JP2003018255A priority Critical patent/JP2004230469A/en
Publication of JP2004230469A publication Critical patent/JP2004230469A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small-sized micropump driving device with simple circuit constitution which easily generates driving waveform allowing a micropump to discharge migration liquid corresponding to the analysis application, at a prescribed feed speed and at a prescribed flow rate without depending on arithmetic processing. <P>SOLUTION: The driving waveform of the micropump 7 is stored in a memory 15, and the addresses of the memory is sequentially increased by an address counter 14 and accessed to read driving waveform data. The read data is converted from digital to analog to acquire driving waveform of an analog voltage signal, which is added to the micropump 7 through a gain adjusting circuit 5, and the driving waveform is read in a prescribed cycle. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、マイクロポンプ駆動装置に関し、詳しくは、動植物や微生物などのゲノムやタンパク質の解析等に利用されるマイクロ流体チップ上の泳動路に泳動液を送り出すマイクロポンプの駆動装置において、演算処理によらなくてもマイクロポンプが分析用途に対応した泳動液を所定の送り速度をもって所定の流量で吐出することができるような駆動波形を容易に発生させることができ、小型でかつ回路構成が簡単なマイクロポンプ駆動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、動植物や微生物などのゲノムやタンパク質の解析等に利用されるマイクロ流体プラットフォームシステムでは、ゲノムやタンパク質を含む泳動液をマイクロポンプを駆動してマイクロ流体チップの泳動路(キャピラリ)に送り出し、泳動された試料(サンプル)を分析あるいは解析するためにサンプル(例えば目的のDNAバンド部分)を抽出することなどが行われている。
この場合のマイクロポンプの発生圧力は、数kPa〜十数kPa程度が必要とされ、0.2μl/s〜0.5μl/s程度の流量が必要になる。マイクロポンプは、ダイヤフラムが利用され、圧電素子で駆動される。動植物や微生物などのゲノムやタンパク質の解析等に対応するためにその駆動電圧は、DC10V〜DC50V程度の電圧が要求され、駆動周波数は、数Hz〜十数kHzの範囲で可変である必要がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
泳動液には粘度があるので、マイクロポンプは、流路の液圧変化速度に対する非線形抵抗を利用して泳動液の吐き出しと吸い込みを行う。そのため、ダイヤフラムポンプの場合には、泳動液を送り出す駆動波形が、例えば、前縁部で急速に立上がり、後縁部がゆっくりと落ちる傾斜部分を持つ非対称な矩形波となる。この駆動波形は、ダイヤフラムポンプの非線形特性と構造に合わせた波形となるので、サンプルを含む泳動液の特性に応じて流量と送り速度を調整することが必要になる。そのために駆動周波数と駆動電圧とが調整できるような駆動波形発生回路が必要になる。例えば、流量を増加させるてめに駆動電圧を高くすると、その分、矩形波の傾斜部の傾きを緩やかにしなければならなず、そのための演算処理等が必要になり、回路が複雑とならざるを得ない。
その結果、マイクロ流体チップとマイクロポンプが小さくできても、その駆動回路が大きくなり、装置全体が大型化する問題がある。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、演算処理によらなくてもマイクロポンプが分析用途に対応した泳動液を所定の送り速度をもって所定の流量で吐出することができる駆動波形を容易に発生させることができ、小型でかつ回路構成が簡単なマイクロポンプ駆動装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するためのこの発明のマイクロポンプ駆動装置の特徴は、メモリにマイクロポンプの駆動波形を記憶して、アドレスカウンタによりメモリのアドレスを順次インクリメントしてアクセスして駆動波形のデータを読出し、読出されたデータをD/A変換してアナログ電圧信号の駆動波形とし、これをゲイン調整回路を介してマイクロポンプに加え、駆動波形の読出を所定の周期で行うものである。
【0005】
【発明の実施の形態】
【0006】
ところで、動植物や微生物などのゲノムやタンパク質の解析等において、その対象を特定のものに限れば、駆動周波数と駆動電圧はある程度の範囲に限定できる。
そこで、この発明にあっては、メモリにマイクロポンプの解析対象に対応するような傾斜部を持つ駆動波形を記憶しておき、解析対象に対応した所定の周期で読出すことで、マイクロポンプから吐き出される泳動液を必要な流速で吐出することができ、ゲイン調整回路で駆動波形の出力電圧を調整することで必要な流量を得ることが容易にできる。
しかも、演算処理装置で演算した駆動波形のデータを外部からメモリに書込むようにすれば、演算処理装置側から切り離された独立の装置として利用することができる。
その結果、駆動波形の演算処理が不要となり、マイクロポンプが分析用途に対応した泳動液を所定の送り速度をもって所定の流量で吐出することができ、小型でかつ回路構成が簡単なマイクロポンプ駆動装置を実現することができる。
【0007】
【実施例】
図1は、この発明のマイクロポンプ駆動装置を適用した一実施例のブロック図であり、図2は、その駆動波形の説明図、図3は、そのマイクロポンプの断面図である。
図1において、10は、マイクロポンプ駆動装置であって、1は駆動波形発生回路、2はD/A変換回路(D/A)、3は、15kHz以下の信号を通過させる中・低域フィルタ、4はゲインコントロールアンプ、5はゲイン調整回路、6はパワーアンプ、7はマイクロポンプである。
駆動波形発生回路1は、クロック発生回路11と、プログラマブル分周回路12、ディップスイッチ13、アドレスカウンタ14、波形記憶メモリ15、ワンショット回路16、アンド回路17、遅延回路18、波形データ書込回路19、そしてインターフェース20とからなる。
【0008】
クロック発生回路11で発生するクロックCLKの周波数は、ここでは、例えば、1.0MHz〜3MHz程度であり、このクロックCLKがアンド回路17を介して6ビットのアドレスカウンタ14に加えられ、このクロックCLKの周波数でそのアドレス値がインクリメントされていく。このアドレス値は、波形記憶メモリ15の6ビットの下位アドレスA0〜A5として波形記憶メモリ15に加えられる。
波形記憶メモリ15は、アドレス値が8ビット(A0〜A7)でデータ深さが4ビットのメモリであって、外部から書込み可能な不揮発性メモリとしてのEEPROMで構成されている。その7ビット目(A6)は、ディップスイッチ13の0番のスイッチが割り当てられている。そして、8ビット目(A7)、すなわち、最上位1ビット(MSB)は、ゲイン調整回路5のコンパレータ52からバッファアンプ53を介して供給される。
ディップスイッチ13は、0番〜12番までの13個のスイッチ回路で構成され、それぞれのスイッチSW0〜SW12は、一端が抵抗を介して電源ライン+VDD(5V)にプルアップされていて、他端が抵抗を介してグランドGNDにプルダウンされ、この他端がさらにバッファアンプ13aを介して出力とされる。そこで、スイッチがON状態でHIGHレベル(以下“H”あるいは“1”)となり、OFF状態でLOWレベル(以下“L”あるいは“0”)を出力する。
【0009】
波形記憶メモリ15は、図2に示すような4つの駆動波形F,R,FG,RGが4ビットのデジタル値で記憶されている。駆動電圧波形Fは、マイクロポンプ7が順方向に泳動液を吐き出す駆動波形であって、前縁部が急速に立上がり、後縁部がゆっくりと落ちる傾斜部分を持つ矩形波である。この波形を形成するデータがA(0)〜A(63)のアドレス領域にアナログ電圧レベルに対応するデジタル値として記憶されている。これは、“0”番地から標準流量を発生するための最大DC駆動電圧のデータ(“FE”h)が記憶され、例えば、19番地から以降に順次低下する傾斜する電圧に対応するデータが図示するように入っている。なお、後部の多数のアドレスにはデータ“0”が入っている。
Rは、マイクロポンプ7が逆方向に泳動液を吐き出す駆動電圧波形であり、前縁部がゆっくりと立上がる傾斜部分を持ち、後縁部が急速に立下がる矩形波となる。そのデータがA(64)〜A(127)のアドレス領域にそれぞれのアナログ電圧レベルに対応するデジタル値として記憶されている。これは、“0”番地から最大駆動電圧のデータが記憶され、例えば、80番地から以降に順次上昇する傾斜電圧に対応するデータが図示するように入っていて、108番地以降に標準流量を発生するための最大DC駆動電圧のデータ(“FE”h)が入っている。
これら波形は、動植物や微生物などのゲノムやタンパク質の解析等のうちのある対象を含む泳動液に対して標準流量をマイクロポンプ7から吐き出す場合の駆動波形である。
さらに、流量を大きく採る場合の波形としてアドレスA(128)〜A(191)のアドレス領域には、出力電圧が高くなったときの順方向送りの駆動波形FGがその立下がり傾斜部分の傾斜をさらに緩やかな波形を持つものが記憶されている。同様に、流量を大きく採る場合の波形として、アドレスA(192)〜A(255)のアドレス領域には、出力電圧が高くなったときに逆方向送りの駆動波形RGとして、その立上がり傾斜部分の傾斜がさらに緩やかな波形をもつものが記憶されている。
なお、大きな流量を発生するために、最大DC駆動電圧のデータは、“FE”hより大きい値の“FF”h、すなわち、オール4ビット“1”が記憶されている。また、傾斜波形を形成するためのデータ数は、駆動波形FG,RGの方が駆動波形F,Rよりもそれぞれに多くなっている。
また、駆動波形が記憶された領域の最後のアドレス数番地分には、図示するように、“0”のデータが記憶されている。
【0010】
ディップスイッチ13の1番〜12番の出力は、プログラマブル分周回路12に入力されて、この入力データ値に応じてクロックCLKの周波数が分周される。この分周されたクロックCLKは、プログラマブル分周回路12からワンショット回路16に入力される。ワンショット回路16は、プログラマブル分周回路12から分周された周波数のクロックCLを受けて、その立上がりで、63×T(ただし、Tは、クロックCLKの周期)のパルス幅のウインドパルスWを発生する。このウインドパルスWがアンド回路17に加えられて、この間、クロックCLKを通過させてクロックCLKをアドレスカウンタ14に供給する。
これにより、リセット後に波形記憶メモリ15を63アドレス分、アクセスすることができる。例えば、クロック発生回路11のクロック周波数を1.5MHzとすると、1クロックがT=0.66μsecとなるので、パルス幅は、このウインドパルスWの幅は、41.6μsecである。
アドレスカウンタ14は、そのカウント値がワンショット回路16のウインドパルスWの立ち上がりでリセットされ、“0”からカウントを開始する。
D/A2は、波形記憶メモリ15から読出された4ビットのデジタル値をアナログ値に変換するものであり、クロック発生回路11からのクロックCLKを遅延回路18でタイミング調整して1.5MkHzのクロックをD/A変換のクロックとして受けて、波形記憶メモリ15から読み出されたデータをアナログ値に変換する。
【0011】
変換されたアナログ値は、抵抗RとコンデンサCからなる、中・低域フィルタ3を介してゲインコントロールアンプ4に入力されて増幅される。ゲインコントロールアンプ4は、ゲイン調整回路5により、そのゲインが調整される。ゲイン調整回路5は、可変抵抗器51とコンパレータ52とバッファアンプ53とからなり、コンパレータ52の出力がバッファアンプ53を介して波形記憶メモリ15の最上位ビット(MSB,A7)として出力される。コンパレータ52は、可変抵抗器51の設定電圧が所定値以下になったときに、“H”(あるいは“1”)の電圧値を発生する。なお、可変抵抗器51の設定電圧は、ゲインが高くなると、電圧値が小さくなるものであり、パワーアンプ6の出力電圧が10V〜30Vの範囲では、コンパレータ52の出力が“L”(あるいは“0”)であり、出力電圧が30Vを越えた時点でその出力が“H”(あるいは“1”)になる。
【0012】
その結果、得られた電圧値に応じた電流値あるいは電圧値が設定されたゲインに応じて増幅されて、パワーアンプ6に入力されて、ゲイン調整値に応じて10V〜50Vの電圧波形をパワーアンプ6が発生する。この出力電圧信号がパワーアンプ6からマイクロポンプ7に加えられる。
なお、10V〜30Vの範囲では、コンパレータ52の出力が“L”となるので、MSBが“0”であり、駆動電圧波形Fあるいは駆動電圧波形Rが読み出されるが、ゲイン調整回路5を調整して可変抵抗器51の抵抗値が小さくなって、設定するゲインが大きくなると、ゲイン調整回路5の設定電圧がコンパレータ51の出力“H”となり、波形記憶メモリ15のMSBビットを“1”にしてアドレスカウンタ14によりアクセスされる領域をアドレスA(128)以上の領域に切り換える。
【0013】
中・低域フィルタ3は、D/A変換ノイズをカットするものであり、ここでは、駆動波形の最大周波数を10kHzとし、D/A変換の1.5MkHのクロックCLKにより発生する変換アナログ信号のノイズを除去するものであって、15kHz以下を通過させる。
ここで、駆動電圧波形Fあるいは駆動電圧波形R、駆動電圧波形FGあるいは駆動電圧波形RGは、それぞれインターフェース20を介して、外部、例えば、コンピュータから波形データと書込アドレスとを波形データ書込回路19が受けて、この波形データ書込回路19により書込まれる。
これらの駆動波形F,R,FG,RGは、動植物や微生物などのゲノムやタンパク質の解析等において、解析対象に対応した駆動波形データが選択され、あらかみじ波形記憶メモリ15に書込まれる。
【0014】
次にその動作を説明すると、ゲイン調整回路5による調整によりパワーアンプ6の出力電圧が30V以下の範囲では、波形記憶メモリ15の8ビット目(A7)が“0”となり、ディップスイッチ13の0番をOFFにすると、波形記憶メモリ15の7ビット目(A6)が“0”となるので、波形記憶メモリ15のA(0)〜A(63)のアドレスがクロックCLKに応じてアドレスカウンタ14によりアクセスされる。これにより駆動電圧波形Fが読み出されて、これがD/A2によりアナログ電圧値に変換されて、電圧調整され、パワーアンプ6を介してマイクロポンプ7を駆動する。その結果、マイクロポンプ7から順方向に泳動液が吐き出される。
ディップスイッチ13の0番をONにすると、波形記憶メモリ15の7ビット目が“1”となり、波形記憶メモリ15のA(64)〜A(127)がアドレスカウンタ14によりアクセスされる。これにより、駆動電圧波形Rが発生して、これがD/A2によりアナログ電圧値に変換されて、電圧調整され、パワーアンプ6を介してマイクロポンプ7を駆動する。その結果、マイクロポンプ7から逆方向に泳動液が吐き出される。
このとき、たとえ、クロックCLKとプログラマブル分周回路12の出力のタイミングがずれて、1乃至2クロック分ずれ、ワンショット回路16のウインドパルスWの発生タイミングとそのパルス幅が変動したとしても、波形記憶領域の間のアドレスの最後の数番地は、“0”のデータが入力されているので、タイミングずれによる問題は生じない。
なお、タイミングずれによりクロックCLKが増加するような場合には、各領域の最初のアドレスに“0”のデータを入れることで対処できる。すなわち、ウインドパルスWのパルス幅に64個のクロックCLKが含まれる場合には、最初のアドレスに“0”のデータを入れ、2個増加して65個にクロックCLKがなるようなときには最初の2番地分のアドレスに“0”のデータを入れるとよい。
【0015】
ゲイン調整回路5の調整により出力電圧が30Vを越えると、波形記憶メモリ15のMSBが“1”となって、アドレスA(128)〜A(191)あるいはアドレスA(128)〜A(191)がアクセスされて、流量が大となる、傾斜部分が緩やかなそれぞれの駆動波形データが読み出される。これが高いゲインで増幅されることで、その傾斜波形は、駆動電圧波形F,Rと実質的に同程度の傾斜波形となって、パワーアンプ6に加えられる。その結果、高い電圧波形の出力がマイクロポンプ7に加えられて、泳動液が大きな流量で吐出される。
ここで、プログラマブル分周回路12の分周率は、ディップスイッチ13の1番〜12番の出力により、2分周から4096段階で設定でき、1.5MHzの周波数を5Hz〜10kHzの範囲で選択できる。そこで、ワンショット回路16の出力を5Hz〜10kHzの範囲で調整することができる。これにより、流速を調整することができる。
なお、マイクロポンプ7を間欠的に駆動動作させる場合には、タイマ等を設けて、タイマ出力をアンドゲートに加え、このアンドゲートを介してクロック発生回路11のクロックCLKを特定の周期で間欠的に供給するようにすればよい。
【0016】
図3は、マイクロポンプ7の断面図であり、70は、マイクロチップのプレート7に設けられた泳動液73が充填されているポンプ室である。圧電素子71がダイヤフラム72に接着され、圧電素子71の長さLが伸縮することで、ダイヤフラム72が進退して泳動液73を図面右側あるいは左側に吐出する。
74,75は、開口であって、開口74のパスは短く、開口75のパスは長い。ここで、開口74は、流路抵抗がポンプ室70の加圧速度の変化によって変化する非線形特性の開口である。すなわち、ポンプ室70内の加圧速度の変化が速いときには、開口75の流路抵抗よりも開口74の流路抵抗が大きくなり、開口74から流れ出す泳動液73の流量は減少する。そのため開口75側から泳動液73が流れ出す。
一方、ポンプ室70の加圧速度の変化がゆっくりとしているときには、開口75の流路抵抗よりも開口74の流路抵抗が小さくなる。その結果、開口74から流れ出す流量は大きくなる。そのため開口74側から泳動液73が流れ出す。ポンプ室70の減圧速度が急峻のときと、ゆっくりしたときも同様であり、減圧速度のときには、ポンプ室70へ泳動液73を吸い込むことになる。
そこで、電圧駆動波形を急峻に立上げると、開口74から流出する流量が小さくなり、開口75から泳動液73が流れ出る。そして、電圧駆動波形をゆっくりと立下げると、開口74から流入する流量が大きくなり、泳動液73がポンプ室70に供給される。その結果、矢印Bに示す方向に駆動電圧波形Fにより泳動液73が送出される。一方、駆動電圧波形Rを加えると、前記の関係が逆になり、泳動液73は、矢印Aに示す方向に送り出され、その方向が逆転する。
【0017】
以上説明してきたが、実施例では、波形記憶メモリ15に、順方向吐き出しと逆方向吐き出しの波形データを記憶しているが、これらは、いずれか一方だけであってもよい。また、流量が標準(普通)の場合と、流量が大の場合の波形を記憶しているが、これらは、いずれか一方だけであってもよい。さらに、波形記憶メモリ15の記憶容量を大きく採れば、さらに、吐出する流量に応じて適正な駆動波形を多数設け、それぞれ選択するることができる。
実施例では、波形記憶メモリ15に記憶する駆動波形のデータ数が一部“0”データを含む64個を単位とした例を挙げているが、これは、一例であって、データ数を多くしても少なくしてもよいことはもちろんであり、D/A変換回路の変換ビット数も4ビットに限定されるものではない。
また、実施例では、液圧変化速度に対して流路抵抗が非線形となる開口を有し、圧電素子により駆動されるダイヤフラム型のマイクロポンプを例に挙げているが、駆動するマイクロポンプの特性に応じた波形を波形記憶メモリ15に記憶すれば、各種の形態のマイクロポンプを駆動できることはもちろんであって、この発明は、実施例のマイクロポンプに限定されるものではない。したがって、この発明のマイクロポンプ駆動装置は、マイクロポンプの特性に応じた波形を外部から書込めば、同じ回路構成で各種のマイクロポンプを駆動することができ、汎用性の高い駆動装置を実現できる。
【0018】
【発明の効果】
以上説明してように、この発明にあっては、メモリにマイクロポンプの解析対象に対応するような傾斜部を持つ駆動波形を記憶しておき、解析対象に対応した所定の周期で読出すことで、マイクロポンプから吐き出される泳動液を必要な流速で吐出することができ、ゲイン調整回路で駆動波形の出力電圧を調整することで必要な流量を得ることが容易にできる。
その結果、駆動波形の演算処理が不要となり、マイクロポンプが分析用途に対応した泳動液を所定の送り速度をもって所定の流量で吐出することができ、小型でかつ回路構成が簡単なマイクロポンプ駆動装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、この発明のマイクロポンプ駆動装置を適用した一実施例のブロック図である。
【図2】図2は、その駆動波形の説明図である。
【図3】図3は、そのマイクロポンプの断面図である。
【符号の説明】
1…駆動波形発生回路、
2…D/A変換回路(D/A)、
3…中・低域フィルタ、
4…ゲインコントロールアンプ、
5…ゲイン調整回路、
6…パワーアンプ、7…マイクロポンプ、
10…マイクロポンプ駆動装置、
11…クロック発生回路、12…プログラマブル分周回路、
13…ディップスイッチ、14…アドレスカウンタ、
15…波形記憶メモリ、16…ワンショット回路、
17…アンド回路、18…遅延回路、
19…波形データ書込回路、20…インターフェース。
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a micropump driving device, and more particularly, to a micropump driving device that sends out an electrophoresis running solution to a migration path on a microfluidic chip used for analysis of genomes and proteins of animals, plants, microorganisms, and the like. The drive waveform can be easily generated so that the micropump can discharge the electrophoresis running liquid corresponding to the analysis application at a predetermined flow rate at a predetermined flow rate without any need, and it is small and has a simple circuit configuration. The present invention relates to a micropump driving device.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in a microfluidic platform system used for analysis of genomes and proteins of animals, plants, microorganisms, and the like, an electrophoresis solution containing genomes and proteins is driven by a micropump and sent to an electrophoresis path (capillary) of a microfluidic chip. Extraction of a sample (for example, a target DNA band portion) in order to analyze the analyzed sample (sample) or analysis is performed.
In this case, the pressure generated by the micropump needs to be about several kPa to several tens of kPa, and a flow rate of about 0.2 μl / s to 0.5 μl / s is required. The micropump is driven by a piezoelectric element using a diaphragm. In order to cope with the analysis of genomes and proteins of animals and plants, microorganisms, and the like, the driving voltage is required to be about DC 10 V to DC 50 V, and the driving frequency needs to be variable in the range of several Hz to several tens of kHz. .
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
Since the electrophoresis liquid has a viscosity, the micropump performs discharge and suction of the electrophoresis liquid by using a non-linear resistance to a liquid pressure change rate of the flow path. Therefore, in the case of the diaphragm pump, the drive waveform for sending out the electrophoresis running liquid is, for example, an asymmetric rectangular wave having an inclined portion where the leading edge rapidly rises and the trailing edge slowly falls. Since this drive waveform is a waveform that matches the nonlinear characteristics and structure of the diaphragm pump, it is necessary to adjust the flow rate and the feed rate according to the characteristics of the electrophoresis running solution containing the sample. Therefore, a driving waveform generating circuit that can adjust the driving frequency and the driving voltage is required. For example, if the drive voltage is increased to increase the flow rate, the slope of the slope of the rectangular wave must be moderated accordingly, which requires arithmetic processing and the like, and the circuit becomes complicated. Not get.
As a result, even if the microfluidic chip and the micropump can be made smaller, there is a problem that the drive circuit becomes larger and the whole device becomes larger.
An object of the present invention is to solve such a problem of the prior art, and a micro pump discharges an electrophoresis running liquid corresponding to an analysis application at a predetermined flow rate at a predetermined flow rate without using an arithmetic process. It is an object of the present invention to provide a micropump driving device that can easily generate a driving waveform that can be generated, and is small in size and simple in circuit configuration.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
A feature of the micropump driving apparatus of the present invention for achieving the above object is that the driving waveform of the micropump is stored in the memory, and the address of the memory is sequentially incremented and accessed by the address counter to access the data of the driving waveform. Is read out, and the read data is D / A converted into a drive waveform of an analog voltage signal, which is applied to a micropump via a gain adjustment circuit, and the drive waveform is read out at a predetermined cycle.
[0005]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
[0006]
By the way, in the analysis of genomes and proteins of animals and plants, microorganisms, and the like, if the target is limited to a specific target, the driving frequency and the driving voltage can be limited to a certain range.
Therefore, in the present invention, a drive waveform having an inclined portion corresponding to the analysis target of the micropump is stored in the memory, and read at a predetermined cycle corresponding to the analysis target, so that the micropump can be read from the micropump. The discharged electrophoretic liquid can be discharged at a required flow rate, and the required flow rate can be easily obtained by adjusting the output voltage of the drive waveform by the gain adjustment circuit.
In addition, if the drive waveform data calculated by the arithmetic processing unit is externally written to the memory, it can be used as an independent device separated from the arithmetic processing unit.
As a result, the operation processing of the drive waveform becomes unnecessary, and the micropump can discharge the electrophoresis running liquid corresponding to the analysis application at a predetermined flow rate at a predetermined flow rate. Can be realized.
[0007]
【Example】
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment to which a micropump driving device according to the present invention is applied, FIG. 2 is an explanatory diagram of a driving waveform thereof, and FIG. 3 is a sectional view of the micropump.
In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a micropump driving device, 1 denotes a driving waveform generation circuit, 2 denotes a D / A conversion circuit (D / A), and 3 denotes a middle / low-pass filter that passes a signal of 15 kHz or less. Reference numeral 4 denotes a gain control amplifier, 5 denotes a gain adjustment circuit, 6 denotes a power amplifier, and 7 denotes a micro pump.
The drive waveform generating circuit 1 includes a clock generating circuit 11, a programmable frequency dividing circuit 12, a dip switch 13, an address counter 14, a waveform storage memory 15, a one-shot circuit 16, an AND circuit 17, a delay circuit 18, a waveform data writing circuit. 19, and an interface 20.
[0008]
Here, the frequency of the clock CLK generated by the clock generation circuit 11 is, for example, about 1.0 MHz to 3 MHz, and this clock CLK is applied to a 6-bit address counter 14 via an AND circuit 17. The address value is incremented at the frequency of. This address value is added to the waveform storage memory 15 as 6-bit lower addresses A0 to A5 of the waveform storage memory 15.
The waveform storage memory 15 is a memory having an address value of 8 bits (A0 to A7) and a data depth of 4 bits, and is constituted by an EEPROM as an externally writable nonvolatile memory. The seventh bit (A6) is assigned to the 0th switch of the DIP switch 13. The eighth bit (A7), that is, the most significant bit (MSB) is supplied from the comparator 52 of the gain adjustment circuit 5 via the buffer amplifier 53.
The dip switch 13 is composed of thirteen switch circuits from No. 0 to No. 12, and each of the switches SW0 to SW12 has one end pulled up to a power supply line + VDD (5V) via a resistor, and the other end. Is pulled down to ground GND via a resistor, and the other end is further output via a buffer amplifier 13a. Therefore, the switch outputs a HIGH level (hereinafter "H" or "1") when the switch is ON, and outputs a LOW level (hereinafter "L" or "0") when the switch is OFF.
[0009]
The waveform storage memory 15 stores four drive waveforms F, R, FG, and RG as shown in FIG. 2 as 4-bit digital values. The drive voltage waveform F is a drive waveform in which the micropump 7 discharges the electrophoretic liquid in the forward direction, and is a rectangular wave having an inclined portion in which the leading edge rises rapidly and the trailing edge slowly falls. Data forming this waveform is stored as digital values corresponding to analog voltage levels in address areas A (0) to A (63). This is because the maximum DC drive voltage data (“FE” h) for generating the standard flow rate from the address “0” is stored. For example, the data corresponding to the sloping voltage gradually decreasing from the address 19 onward is shown. I'm into it. Note that data "0" is stored in a number of addresses at the rear.
R is a drive voltage waveform in which the micropump 7 discharges the electrophoresis running liquid in the reverse direction, and is a rectangular wave having a gradually rising slope at the front edge and falling rapidly at the rear edge. The data is stored as digital values corresponding to the respective analog voltage levels in the address areas A (64) to A (127). This is because the data of the maximum drive voltage is stored from the address "0", and for example, the data corresponding to the ramp voltage that sequentially increases from the address 80 is included as shown in the figure, and the standard flow rate is generated at the address 108 and thereafter. The data (“FE” h) of the maximum DC drive voltage for performing the operation.
These waveforms are driving waveforms when a standard flow rate is discharged from the micropump 7 for an electrophoresis running solution including a certain target, such as analysis of genomes and proteins of animals and plants and microorganisms.
Further, in the address area of addresses A (128) to A (191) as a waveform when a large flow rate is adopted, the forward drive waveform FG when the output voltage becomes high indicates the slope of the falling slope. Those having a gentler waveform are stored. Similarly, as a waveform when the flow rate is large, the address area of addresses A (192) to A (255) is a drive waveform RG of reverse feed when the output voltage becomes high, and the rising slope portion thereof is Those having a waveform with a gentler slope are stored.
In order to generate a large flow rate, the data of the maximum DC drive voltage stores “FF” h having a value larger than “FE” h, that is, all four bits “1”. In addition, the number of data for forming the gradient waveform is larger in the drive waveforms FG and RG than in the drive waveforms F and R, respectively.
As shown in the figure, data "0" is stored in the last several addresses of the area where the drive waveform is stored.
[0010]
The first to twelfth outputs of the dip switch 13 are input to the programmable frequency divider 12, and the frequency of the clock CLK is divided according to the input data value. The frequency-divided clock CLK is input from the programmable frequency dividing circuit 12 to the one-shot circuit 16. The one-shot circuit 16 receives the clock CL having the frequency divided from the programmable frequency dividing circuit 12, and generates a window pulse W having a pulse width of 63 × T (where T is the cycle of the clock CLK) at the rising edge. appear. This window pulse W is applied to the AND circuit 17, during which the clock CLK is passed and the clock CLK is supplied to the address counter 14.
Thereby, the waveform storage memory 15 can be accessed for 63 addresses after reset. For example, if the clock frequency of the clock generation circuit 11 is 1.5 MHz, one clock becomes T = 0.66 μsec. Therefore, the pulse width of the window pulse W is 41.6 μsec.
The count value of the address counter 14 is reset at the rise of the window pulse W of the one-shot circuit 16, and starts counting from "0".
The D / A 2 converts a 4-bit digital value read from the waveform storage memory 15 into an analog value. The D / A 2 adjusts the timing of the clock CLK from the clock generation circuit 11 by the delay circuit 18 to generate a 1.5 MkHz clock. As a clock for D / A conversion, and converts the data read from the waveform storage memory 15 into an analog value.
[0011]
The converted analog value is input to a gain control amplifier 4 via a middle / low-pass filter 3 including a resistor R and a capacitor C and amplified. The gain of the gain control amplifier 4 is adjusted by a gain adjustment circuit 5. The gain adjustment circuit 5 includes a variable resistor 51, a comparator 52, and a buffer amplifier 53. The output of the comparator 52 is output as the most significant bit (MSB, A7) of the waveform storage memory 15 via the buffer amplifier 53. The comparator 52 generates a voltage value of “H” (or “1”) when the set voltage of the variable resistor 51 becomes equal to or less than a predetermined value. Note that the voltage value of the variable resistor 51 decreases as the gain increases, and when the output voltage of the power amplifier 6 is in the range of 10 V to 30 V, the output of the comparator 52 becomes “L” (or “ 0 "), and the output becomes" H "(or" 1 ") when the output voltage exceeds 30V.
[0012]
As a result, the current value or the voltage value corresponding to the obtained voltage value is amplified according to the set gain, and is amplified and input to the power amplifier 6, and the voltage waveform of 10V to 50V is changed according to the gain adjustment value. The amplifier 6 is generated. This output voltage signal is applied from the power amplifier 6 to the micro pump 7.
In the range of 10 V to 30 V, the output of the comparator 52 is “L”, so that the MSB is “0” and the drive voltage waveform F or the drive voltage waveform R is read. When the resistance value of the variable resistor 51 decreases and the gain to be set increases, the set voltage of the gain adjustment circuit 5 becomes the output “H” of the comparator 51 and the MSB bit of the waveform storage memory 15 is set to “1”. The area accessed by the address counter 14 is switched to an area of address A (128) or higher.
[0013]
The middle / low-pass filter 3 cuts the D / A conversion noise. Here, the maximum frequency of the drive waveform is set to 10 kHz, and the converted analog signal generated by the clock CLK of 1.5 MkH of the D / A conversion is used. This is for removing noise, and passes 15 kHz or less.
Here, the drive voltage waveform F or the drive voltage waveform R, the drive voltage waveform FG or the drive voltage waveform RG are respectively connected to the waveform data writing circuit from the outside, for example, a computer via the interface 20 by a waveform data writing circuit. 19, and is written by the waveform data writing circuit 19.
For the drive waveforms F, R, FG, and RG, drive waveform data corresponding to an analysis target is selected in the analysis of genomes and proteins of animals, plants, microorganisms, and the like, and is written into the waveform storage memory 15.
[0014]
Next, the operation will be described. When the output voltage of the power amplifier 6 is in the range of 30 V or less by adjustment by the gain adjustment circuit 5, the eighth bit (A7) of the waveform storage memory 15 becomes "0", When the number is turned OFF, the seventh bit (A6) of the waveform storage memory 15 becomes "0", so that the addresses of A (0) to A (63) of the waveform storage memory 15 are changed according to the clock CLK. Accessed by As a result, the drive voltage waveform F is read out, converted into an analog voltage value by the D / A 2, adjusted in voltage, and drives the micro pump 7 via the power amplifier 6. As a result, the electrophoresis running liquid is discharged from the micro pump 7 in the forward direction.
When the No. 0 of the dip switch 13 is turned ON, the seventh bit of the waveform storage memory 15 becomes “1”, and A (64) to A (127) of the waveform storage memory 15 are accessed by the address counter 14. As a result, a drive voltage waveform R is generated, which is converted into an analog voltage value by the D / A 2, the voltage is adjusted, and the micro pump 7 is driven via the power amplifier 6. As a result, the electrophoresis running liquid is discharged from the micro pump 7 in the reverse direction.
At this time, even if the timing of the clock CLK and the output of the programmable frequency dividing circuit 12 are shifted, the timing is shifted by one or two clocks, and even if the generation timing and the pulse width of the window pulse W of the one-shot circuit 16 fluctuate, At the last few addresses of the addresses between the storage areas, since data of "0" is input, no problem occurs due to the timing shift.
In the case where the clock CLK increases due to a timing deviation, it can be dealt with by putting data “0” into the first address of each area. That is, when 64 clocks CLK are included in the pulse width of the window pulse W, data of "0" is put in the first address, and when the clock CLK is increased by 2 and 65 clocks are included, the first address is used. It is preferable to put "0" data in addresses of two addresses.
[0015]
When the output voltage exceeds 30 V by the adjustment of the gain adjustment circuit 5, the MSB of the waveform storage memory 15 becomes "1", and the addresses A (128) to A (191) or the addresses A (128) to A (191). Are accessed, and the respective drive waveform data in which the flow rate is large and the slope portion is gentle are read out. When this is amplified with a high gain, the gradient waveform becomes substantially the same as the drive voltage waveforms F and R, and is applied to the power amplifier 6. As a result, an output having a high voltage waveform is applied to the micropump 7, and the electrophoresis running liquid is discharged at a large flow rate.
Here, the frequency division ratio of the programmable frequency divider circuit 12 can be set in 4096 steps from the frequency division of 2 by the output of the DIP switches 13 to 12, and the frequency of 1.5 MHz is selected in the range of 5 Hz to 10 kHz. it can. Therefore, the output of the one-shot circuit 16 can be adjusted in the range of 5 Hz to 10 kHz. Thereby, the flow velocity can be adjusted.
When the micropump 7 is driven intermittently, a timer or the like is provided, a timer output is applied to an AND gate, and the clock CLK of the clock generation circuit 11 is intermittently transmitted at a specific cycle via the AND gate. What is necessary is just to supply it to.
[0016]
FIG. 3 is a cross-sectional view of the micropump 7, and reference numeral 70 denotes a pump chamber provided on the microchip plate 7 and filled with the electrophoresis liquid 73. The piezoelectric element 71 is adhered to the diaphragm 72, and the length L of the piezoelectric element 71 expands and contracts, so that the diaphragm 72 advances and discharges the electrophoretic liquid 73 to the right or left side in the drawing.
Reference numerals 74 and 75 denote openings. The path of the opening 74 is short, and the path of the opening 75 is long. Here, the opening 74 is an opening having non-linear characteristics in which the flow path resistance changes according to a change in the pressurizing speed of the pump chamber 70. That is, when the change in the pressurizing speed in the pump chamber 70 is fast, the flow path resistance of the opening 74 becomes larger than the flow path resistance of the opening 75, and the flow rate of the electrophoresis liquid 73 flowing out of the opening 74 decreases. Therefore, the electrophoresis running liquid 73 flows out from the opening 75 side.
On the other hand, when the pressure change rate of the pump chamber 70 changes slowly, the flow path resistance of the opening 74 becomes smaller than the flow path resistance of the opening 75. As a result, the flow rate flowing out of the opening 74 increases. Therefore, the electrophoresis running liquid 73 flows out from the opening 74 side. The same applies when the depressurizing speed of the pump chamber 70 is steep and when it is slow. When the depressurizing speed is high, the electrophoresis liquid 73 is sucked into the pump chamber 70.
Therefore, when the voltage drive waveform rises steeply, the flow rate flowing out of the opening 74 decreases, and the electrophoresis liquid 73 flows out of the opening 75. Then, when the voltage drive waveform is slowly lowered, the flow rate flowing from the opening 74 is increased, and the electrophoresis liquid 73 is supplied to the pump chamber 70. As a result, the electrophoresis running liquid 73 is sent out in the direction indicated by the arrow B with the driving voltage waveform F. On the other hand, when the drive voltage waveform R is applied, the above relationship is reversed, and the electrophoresis running liquid 73 is sent out in the direction shown by the arrow A, and the direction is reversed.
[0017]
As described above, in the embodiment, the waveform data of the forward discharge and the backward discharge are stored in the waveform storage memory 15, but only one of them may be stored. Further, the waveforms when the flow rate is standard (normal) and when the flow rate is large are stored, but only one of them may be stored. Furthermore, if the storage capacity of the waveform storage memory 15 is increased, a number of appropriate drive waveforms can be further provided and selected according to the flow rate to be discharged.
In the embodiment, an example is given in which the number of data of the drive waveform stored in the waveform storage memory 15 is 64 units including a part of “0” data. However, this is an example, and the number of data is large. Needless to say, the number of conversion bits of the D / A conversion circuit is not limited to 4 bits.
Further, in the embodiment, the diaphragm type micro pump having an opening whose flow path resistance is non-linear with respect to the fluid pressure change speed and driven by a piezoelectric element is taken as an example. Is stored in the waveform storage memory 15, it is possible to drive various types of micropumps, and the present invention is not limited to the micropumps of the embodiments. Therefore, the micropump driving device of the present invention can drive various micropumps with the same circuit configuration by writing a waveform corresponding to the characteristics of the micropump from the outside, and can realize a driving device with high versatility. .
[0018]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the drive waveform having the inclined portion corresponding to the analysis target of the micropump is stored in the memory, and read at a predetermined cycle corresponding to the analysis target. Thus, the electrophoresis running fluid discharged from the micropump can be discharged at a required flow rate, and the required flow rate can be easily obtained by adjusting the output voltage of the drive waveform by the gain adjustment circuit.
As a result, the operation processing of the drive waveform becomes unnecessary, and the micropump can discharge the electrophoresis running liquid corresponding to the analysis application at a predetermined flow rate at a predetermined flow rate. Can be realized.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment to which a micropump driving device according to the present invention is applied.
FIG. 2 is an explanatory diagram of the driving waveform.
FIG. 3 is a sectional view of the micropump.
[Explanation of symbols]
1 .... Drive waveform generation circuit
2 ... D / A conversion circuit (D / A),
3: Middle / low-pass filter
4: Gain control amplifier,
5 ... gain adjustment circuit,
6 Power amplifier, 7 Micro pump,
10. Micropump drive,
11: clock generation circuit, 12: programmable frequency divider circuit,
13: Dip switch, 14: Address counter,
15: waveform storage memory, 16: one-shot circuit,
17 ... AND circuit, 18 ... delay circuit,
19: waveform data writing circuit, 20: interface.

Claims (6)

メモリにマイクロポンプの駆動波形を記憶して、アドレスカウンタにより前記メモリのアドレスを順次インクリメントしてアクセスして前記駆動波形のデータを読出し、読出されたデータをD/A変換してアナログ電圧信号の駆動波形とし、これをゲイン調整回路を介して前記マイクロポンプに加え、前記駆動波形の読出を所定の周期で行うマイクロポンプ駆動装置。The driving waveform of the micropump is stored in a memory, the address of the memory is sequentially incremented by an address counter to access the data, the data of the driving waveform is read, and the read data is D / A-converted to obtain an analog voltage signal. A micro-pump driving device that reads a drive waveform at a predetermined cycle, and adds the drive waveform to the micro-pump via a gain adjustment circuit. 前記駆動波形は、マイクロチップ上で得るサンプルに対応して記憶されていて、前記マイクロポンプは、液圧変化速度に対して流路抵抗が非線形となる開口と圧電素子により駆動されるダイヤフラムとを有し、前記アナログ電圧信号の駆動波形が前記圧電素子に加えられて前記サンプルに対する流量を前記マイクロポンプに発生させる請求項1記載のマイクロポンプ駆動装置。The drive waveform is stored in correspondence with a sample obtained on a microchip, and the micropump includes an opening having a non-linear flow path resistance with respect to a fluid pressure change rate and a diaphragm driven by a piezoelectric element. 2. The micropump driving device according to claim 1, further comprising a driving waveform of the analog voltage signal applied to the piezoelectric element to generate a flow rate for the sample in the micropump. 前記アドレスカウンタは、クロックを受けてインクリメントされ、前記メモリは外部から書込可能な不揮発性メモリであり、前記クロックが少なくとも前記駆動波形を読出す個数分カウントされるパルス幅のパルスを前記所定の周波数で発生する可変周波数パルス発生回路と、前記クロックと前記パルスとを受けて前記クロックを前記パルス幅の期間の間、前記アドレスカウンタに供給するゲート回路とを有し、前記可変周波数パルス発生回路の周波数が選択されることで前記マイクロポンプから流出される液の流速が選択される請求項2記載のマイクロポンプ駆動装置。The address counter is incremented in response to a clock, the memory is an externally writable nonvolatile memory, and the clock has a pulse width having a pulse width counted at least by the number of reading the drive waveforms. A variable frequency pulse generation circuit that generates a frequency and a gate circuit that receives the clock and the pulse and supplies the clock to the address counter during the period of the pulse width; The micropump driving device according to claim 2, wherein the flow rate of the liquid flowing out of the micropump is selected by selecting the frequency of the micropump. さらに、ゲイン調整回路の出力を受けて前記マイクロポンプに駆動電圧信号を出力する出力回路を有し、前記不揮発性メモリには前記駆動波形として順方向と逆方向の駆動波形がそれぞれの領域に記憶され、これら領域のいずれかの先頭アドレスが指定されて、前記順方向と逆方向の駆動波形のいずれかが選択的に読出される請求項3記載のマイクロポンプ駆動装置。Further, the nonvolatile memory has an output circuit for receiving the output of the gain adjustment circuit and outputting a drive voltage signal to the micropump, and the nonvolatile memory stores the drive waveforms in the forward and reverse directions as the drive waveforms in respective areas. 4. The micropump driving device according to claim 3, wherein a start address of one of these areas is designated, and one of the drive waveforms in the forward direction and the reverse direction is selectively read. さらに、前記クロックを発生するクロック発生回路を有し、前記可変周波数パルス発生回路は、前記クロックを分周するプログラマブル分周回路と、このプログラマブル分周回路の出力を受けて前記パルスを発生するワンショット回路とからなり、前記順方向と逆方向の駆動波形の少なくとも最後の数アドレスのデータ値が“0”となっていて、前記プログラマブル分周回路の分周率を選択することで前記所定の周波数が選択される請求項4記載のマイクロポンプ駆動装置。A clock generating circuit for generating the clock; wherein the variable frequency pulse generating circuit includes a programmable frequency dividing circuit for dividing the clock; and a variable frequency generating circuit for receiving the output of the programmable frequency generating circuit and generating the pulse. A shot circuit, wherein the data value of at least the last few addresses of the forward and reverse drive waveforms is "0", and the predetermined frequency is selected by selecting a frequency division ratio of the programmable frequency divider. 5. The micropump drive according to claim 4, wherein the frequency is selected. 前記不揮発性メモリに記憶される前記駆動波形のデータは、前記サンプルに対応して外部から書込まれる請求項3記載のマイクロポンプ駆動装置。4. The micropump driving device according to claim 3, wherein the driving waveform data stored in the non-volatile memory is externally written in correspondence with the sample.
JP2003018255A 2003-01-28 2003-01-28 Micropump driving device Pending JP2004230469A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003018255A JP2004230469A (en) 2003-01-28 2003-01-28 Micropump driving device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003018255A JP2004230469A (en) 2003-01-28 2003-01-28 Micropump driving device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004230469A true JP2004230469A (en) 2004-08-19

Family

ID=32948437

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003018255A Pending JP2004230469A (en) 2003-01-28 2003-01-28 Micropump driving device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004230469A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8016260B2 (en) 2007-07-19 2011-09-13 Formulatrix, Inc. Metering assembly and method of dispensing fluid
US8100293B2 (en) 2009-01-23 2012-01-24 Formulatrix, Inc. Microfluidic dispensing assembly
JP2014098393A (en) * 2014-01-30 2014-05-29 Seiko Epson Corp Fluid injection device, driving device of fluid injection device, driving method of fluid injection device and surgery instrument
US9510851B2 (en) 2008-09-16 2016-12-06 Seiko Epson Corporation Fluid jet device, drive device of fluid jet device, surgical instrument, and method of driving fluid jet device
JPWO2016208750A1 (en) * 2015-06-26 2018-04-12 株式会社菊池製作所 Dosing mechanism and method of manufacturing pump unit for dosing mechanism

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8016260B2 (en) 2007-07-19 2011-09-13 Formulatrix, Inc. Metering assembly and method of dispensing fluid
US9510851B2 (en) 2008-09-16 2016-12-06 Seiko Epson Corporation Fluid jet device, drive device of fluid jet device, surgical instrument, and method of driving fluid jet device
US8100293B2 (en) 2009-01-23 2012-01-24 Formulatrix, Inc. Microfluidic dispensing assembly
US8550298B2 (en) 2009-01-23 2013-10-08 Formulatrix, Inc. Microfluidic dispensing assembly
JP2014098393A (en) * 2014-01-30 2014-05-29 Seiko Epson Corp Fluid injection device, driving device of fluid injection device, driving method of fluid injection device and surgery instrument
JPWO2016208750A1 (en) * 2015-06-26 2018-04-12 株式会社菊池製作所 Dosing mechanism and method of manufacturing pump unit for dosing mechanism

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7348829B2 (en) Slew rate control of a charge pump
US8041056B2 (en) Voltage supply circuit and microphone unit comprising the same
CN101779252B (en) Shift register
CN109410822B (en) Voltage level conversion circuit and display panel drive control method
EP1519358A3 (en) Frame rate conversion device, overtaking prediction method for use in the same, display control device and video receiving display device
EP0588398B1 (en) Active matrix display devices and methods for driving such
JP2003271099A5 (en)
JP2010107966A (en) Display device
EP1251481A3 (en) Display device and method of driving a display device
JP2004230469A (en) Micropump driving device
US7477176B2 (en) Method and apparatus for generating multiple analog signals using a single microcontroller output pin
JP2001357686A (en) Non-volatile semiconductor storage device
KR960035411A (en) DATA PROCESSING METHOD AND DEVICE FOR DISPLAY DEVICE
US5692164A (en) Method and apparatus for generating four phase non-over lapping clock pulses for a charge pump
US7242544B2 (en) Apparatus and method for applying write signals for driving a write head
EP1635466A3 (en) Digital interface between a baseband processor and a high-frequency integrated circuit
JP3387243B2 (en) Driving device for inkjet recording head
JP2007011193A (en) Plasma display panel driving circuit and display device
US6784710B2 (en) Multistage pulse width modulator
JPH0895522A (en) Driving circuit for liquid crystal display device
US20100117732A1 (en) Power amplifier and liquid jet printing apparatus
JP2007224837A (en) Micropump drive circuit, micropump array drive circuit, micropump and micropump array
EP1482402A3 (en) Fill level capture in a buffer
JPH0479586B2 (en)
JP2005204217A (en) Pwm circuit and class-d amplifier circuit using same