【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気テープ、フレキシブルディスク、ハードディスク等の磁気記録媒体に関し、特に高密度磁気記録が可能な垂直磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、インターネット等の普及による大容量の画像情報の取り扱いに対応して、パーソナルコンピュータには大容量のハードディスクが装着されているが、このハードディスクドライブでは動画情報の保存のニーズが高く、さらに高容量化、低価格化が要求されている。また、このハードディスクに蓄積した大量の情報をバックアップしたり、あるいは他のコンピュータで利用するためには、各種のリムーバブル型の記録媒体が用いられている。磁気テープ、フレキシブルディスク等の可撓性の磁気記録媒体は、ハードディスクと同様に情報の記録、読み出しに要する時間が短く、また情報の記録、読み出しに必要な装置も小型である等の多くの特徴を有している。このため、磁気テープ、フレキシブルディスクは代表的なリムーバブル型の記録媒体として、コンピュータのバックアップ、大量のデータの保存に用いられている。そして、少ない個数の磁気テープ、フレキシブルディスクで大量のデータを保存可能な磁気記録媒体が求められており、記録密度の更なる向上が求められている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【０００３】
このため、高密度記録特性に優れているとされている垂直磁気記録方式が注目されてきており、様々な記録方式、磁気ヘッド、磁気記録媒体が提案されている。しかしながら、従来のＣｏＣｒ合金、ＣｏＣｒＰｔ合金を磁性層とする垂直磁気記録媒体で、さらに高い面記録密度を達成するためには、低ノイズ化のため、記録膜厚を３０ｎｍ以下にしなければならないが、この様な超薄膜では室温程度の熱によって磁化が失われる、いわゆる「熱揺らぎ」の問題が顕著なり、実用化を行う上で大きな問題となっている。一方、高い垂直磁気異方性を示し、熱揺らぎに強いとされる材料として、Ｃｏ／ＰｄやＣｏ／ＰｔといったＣｏ系多層膜やＴｂＦｅＣｏ等の希土類遷移金属合金が知られているが、この様な磁性材料では面内方向の交換結合が強く、従来のＣｏＣｒＰｔ系合金よりもノイズが高いといった問題があった。これらの課題に対し、最近なって、面内の交換結合と垂直磁気異方性を制御する手法としてＣｏＣｒＰｔ系垂直磁気記録膜と上記Ｃｏ系多層膜や希土類遷移金属合金記録膜を積層する媒体（ハイブリッド媒体あるいはＣＧＣ媒体と呼ばれる）が提案されている。
【０００４】
この様なハイブリッド媒体ではＣｏＣｒＰｔ系合金を成膜する際には基板温度を２００℃以上に加熱し、その上のＣｏ系多層膜や希土類遷移金属合金を成膜する際には基板温度を室温とする必要があるため、これら２層の成膜工程間に冷却工程が必要であり、生産性に課題があった。また支持体として高分子基板を使用するフレキシブル媒体やポリカーボネート基板を使用しようとする場合、ＣｏＣｒＰｔ系合金を成膜する基板温度では、これらの高分子基板が変形してしまうため、記録媒体を作製することができなかった。
【０００５】
【特許文献１】
特開平５−７３８８０号公報
【特許文献２】
特開平７−３１１９２９号公報
【特許文献３】
特開２００２−１６３８１９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、高密度記録が可能な垂直磁気記録媒体を安価に提供することを課題とするものである。またリムーバブル型磁気記録媒体として使用することができる磁気テープ、フレキシブルディスク等に有用な磁気記録媒体を提供することを課題とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の課題は、支持体の少なくとも一方の面に、コバルトを含有する強磁性金属合金と非磁性の金属酸化物から構成された第一磁性層と、遷移金属と貴金属の多層膜からなる第二磁性層をこの順に積層してなる記録層を有することを特徴とする磁気記録媒体によって解決される。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の磁気記録媒体は、支持体の少なくとも一方の面に、コバルトを含有する強磁性金属合金と非磁性の金属酸化物から構成された第一磁性層と、遷移金属と貴金属の多層膜からなる第二磁性層をこの順に積層してなる記録層を有することを特徴とする。
本発明は、磁気異方性定数が比較的小さく、交換相互作用が小さい第一磁性層と、磁気異方性定数が大きく、交換相互作用が大きいため単独では高密度の垂直磁気記録に適さない第二磁性層をこの順に積層してなる記録層を垂直磁気記録に用いることにより、高密度でかつ高Ｃ／Ｎの磁気記録媒体を提供することを可能としたものである。
また、第一磁性層は、支持体の温度が室温であってもスパッタリング法等によって形成することが可能であるので、引き続きその上に成膜する第二磁性層を成膜する前に必要な、基板冷却の工程を省略することできる。また支持体としてポリカーボネートやポリエチレンナフタレートなどの高分子支持体を基板とした場合であっても、熱による基板変形が無く、記録特性が優れた磁気記録媒体を製造することができる。
第二磁性層は、遷移金属と貴金属の多層膜である。ここで、当該遷移金属と貴金属から多層膜の構造は、遷移金属からなる膜１と貴金属からなる膜２を単位とする構造が１以上積層されたものを言う。膜１および／または膜２は単体でも複数元素の混合体でもよい。該単位が複数の場合、各々の単位の元素組成は同一でも異なっていてもよい。
【０００９】
以下に図面を参照して本発明を説明する。
図１は、本発明の一実施例を示す図であり、断面図である。
磁気記録媒体１は、支持体２上に、コバルトを含有する強磁性金属合金と非磁性金属酸化物から構成された第一磁性層３Ａと遷移金属と貴金属の多層膜からなる第二磁性層３Ｂをこの順に積層してなる記録層３が形成されたものである。記録層３上には、磁性層の酸化等による劣化を防止し、ヘッドや摺動部材との接触による摩耗かから保護する保護層４が形成されている。また、保護層４上には、走行耐久性および耐食性等を改善する目的で潤滑層５が設けられている。
【００１０】
また、上記層構成において、第一磁性層３Ａと支持体２の間に、支持体２の表面性を調整するとともに、支持体２から生じた気体が第一磁性層３Ａ等に達することを防止するために下塗り層を支持体２上に設けてもよい。そして、さらに第一磁性層３Ａに形成される強磁性金属の結晶配向性を制御して記録特性を高めるための下地層を下塗り層と磁性層３Ａの間に設けてもよく、下地層によって強磁性金属の結晶配向性が良好となり、図１に示したものに比べて特性がより優れたものが得られる。
磁気記録媒体が磁気テープの場合は、通常、片面に上記構成の層が設けられ、開放リール、あるいはカートリッジ内に収納されたもののいずれの形態で用いることができる。
磁気記録媒体がフレキシブルディスクである場合、通常、支持体の両面に上記構成の層が設けられ、中心部には、フレキシブルディスクドライブに装着するための係合手段が装着される。
磁気記録媒体がハードディスクである場合、支持体は表面研磨されたガラス基板が通常用いられる。また、中心部には、ディスクドライブに装着するための係合手段が装着されている。
本発明の磁気記録媒体において、単磁極ヘッドを使用する際の垂直磁気記録特性を改善するため、軟磁性層を記録層と支持体の間に設けることができる。
【００１１】
本発明の磁気記録媒体に形成する記録層は、コバルトを含有する強磁性金属合金と非磁性の金属酸化物から構成された第一磁性層と、遷移金属と貴金属の多層膜からなる第二磁性層を備えているので、従来のＣｏＣｒＰｔ系合金薄膜磁性層と同様に高記録密度記録が可能となり、さらに熱揺らぎを大幅に低減することがきる。また室温の基板温度で磁性層を形成することできるため、従来のＣｏＣｒＰｔ系合金磁性層やこれとＣｏあるいはＦｅを含んだ遷移金属とＰｔあるいはＰｄを含んだ貴金属の多層膜を組み合わせた媒体より、生産性に優れている。さらに支持体を高分子基板で形成するリムーバブル型の磁気記録媒体の高容量化が可能となる。
このコバルトを含有する強磁性金属合金と非磁性の金属酸化物からなる強磁性金属薄膜はハードディスクで提案されている、特開平５−７３８８０号公報や特開平７−３１１９２９号公報等に記載されているものと同様の方法によって製造したものが使用できる。
【００１２】
本発明の磁気記録媒体における記録層は、記録層面に対して垂直方向に磁化容易軸を有するいわゆる垂直磁気記録膜である。この磁化容易軸の方向は下地層の材料や結晶構造および磁性膜の組成と成膜条件によって制御することができる。
【００１３】
本発明におけるコバルトを含有する強磁性金属合金と非磁性の金属酸化物から構成された第一磁性層は、微細な強磁性金属合金結晶が均一に分散しているので、高い保磁力を達成できるとともに、分散性が均一となる結果、ノイズの小さな磁気記録媒体を得ることができる。また本発明の記録層は、その第一磁性層上に垂直磁気異方性が高い遷移金属と貴金属の多層膜からなる第二磁性層を有しているために、熱揺らぎに強く、一度記録した磁気記録情報を長期間にわたって保持することができる。
コバルトを含有する強磁性金属合金としてはＣｏと、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｐｔ、Ｂ、Ｓｉ、Ｔａ等の元素との合金が使用できるが、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｐｔ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｔａ、Ｃｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｂ等が磁気記録特性が良好であるので好ましい。
【００１４】
例えば、垂直記録に使用するＣｏＰｔＣｒ系合金の好ましい元素組成としては、Ｃｏが６５〜８０ａｔｍ％、Ｐｔが５〜２０ａｔｍ％、Ｃｒが１０〜２０ａｔｍ％の範囲から選択される組成が挙げられる。また、これにＢやＴａ等の非磁性元素を添加する場合には、１０ａｔｍ％以下の範囲でＰｔまたはＣｒを置換するように添加すれば良い。Ｃｏの含有率が多いほど、磁化が大きくなり、信号の再生出力が高まるが、ノイズも同時に増加する。一方、ＣｒやＰｔ等の非磁性元素の含有率が多いほど磁化が小さくなるが、保磁力が増加するため、信号の再生出力が減少するものの、ノイズが減少する。したがって、使用する磁気ヘッドや使用機器に応じてこれらの元素の配合比率を調整することが好ましい。
【００１５】
また、磁化の異方性は組成の他、成膜時のアルゴン圧などの条件によっても調整することができるが、後述の下地層の種類にも依存する。下地層を使用しない場合やアモルファス材料を使用した場合には、第一磁性層は垂直に配向しやすいが、Ｃｒまたはその合金、Ｒｕまたはその合金を使用した場合には面内配向する場合がある。
【００１６】
非磁性の金属酸化物としてはＳｉ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｂ、Ｔｉ、Ａｌ等の酸化物が使用できるが、ケイ素の酸化物を用いたものが記録特性が最も良好である。
【００１７】
コバルトを含有する強磁性金属合金と非磁性酸化物の混合比は、強磁性金属合金：非磁性の金属酸化物＝９５：５〜８０：２０（原子比）の範囲であることが好ましく、９０：１０〜８５：１５の範囲であることが特に好ましい。このような範囲とすることにより、磁性粒子間の分離が十分となり、保磁力が低下することがなく、磁化量も高く維持できるので、高い信号出力が得られる。
【００１８】
コバルトを含有する強磁性金属合金と非磁性酸化物の混合物からなる第一磁性層の厚みとしては好ましくは５ｎｍ〜６０ｎｍ、さらに好ましくは１０ｎｍ〜２０ｎｍの範囲である。このような厚みとすればノイズが低い媒体が得られる。
【００１９】
コバルトを含有する強磁性金属合金と非磁性の金属酸化物からなる第一磁性層を形成する方法としては真空蒸着法、スパッタリング法などの真空成膜法が使用できる。なかでもスパッタリング法は良質な薄膜が容易に成膜可能であることから、本発明に好適である。スパッタリング法としてはＤＣスパッタリング法、ＲＦスパッタリング法のいずれも使用可能である。磁気テープやフレキシブルディスクを製造しようとする場合には、スパッタリング法は連続フィルム上に連続して成膜するウェブスパッタリング装置を用いることが好ましい。
スパッタリング時の雰囲気に使用する気体はアルゴンが使用できるが、その他の希ガスを使用しても良い。また非磁性の金属酸化物の酸素含有率を調整するために微量の酸素を導入しても良い。
【００２０】
スパッタリング法でコバルトを含有する強磁性金属合金と、非磁性の金属酸化物からなる第一磁性層を形成するためには強磁性金属合金ターゲットと非磁性の金属酸化物ターゲットの２種を用い、これらの共スパッタリング法を使用することも可能であるが、形成すべき強磁性金属合金と非磁性の金属酸化物の組成比に合致した強磁性金属合金と非磁性の金属酸化物を均質に混合した混合物ターゲットを用いると、強磁性金属合金が均一に分散した第一磁性層を形成することができる。また、この混合物ターゲットはホットプレス法で作製することができる。
【００２１】
第二磁性層の多層膜を形成する遷移金属は、少なくともＣｏあるいはＦｅを含むことが好ましい。貴金属としてはＡｕ、Ａｇ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｐｔ、等を使用できるが、ＰｔあるいはＰｄを用いることが好ましい。
第二の磁性層の多層膜に用いられる遷移金属と貴金属の組合せとしては、コバルト／パラジウムまたはコバルト／白金多層膜が好ましく、例えば０．２ｎｍのコバルト薄膜と０．８ｎｍのパラジウム薄膜を交互に総和で数層〜数十層積層した多層膜が挙げられる。この様な多層膜ではパラジウムまたは白金に接するコバルトの格子歪によって垂直磁気異方性が発現すると考えられている。これら多層膜からなる第二磁性層は室温近傍で成膜した場合にも十分な磁気特性を得ることができる。
【００２２】
コバルト膜の厚みは、好ましくは０．１０〜１．００ｎｍであり、さらに好ましくは０．１５〜０．５０ｎｍである。これよりもコバルト膜が薄くなると、記録層が磁性を失ってしまい、これ以上厚くなると保磁力が低下し、ノイズが上昇してしまう。また白金膜またはパラジウム膜の厚みは、好ましくは０．１０〜２．０ｎｍであり、さらに好ましくは０．４０〜１．２０ｎｍである。これよりも白金膜またはパラジウム膜が薄くなると垂直磁気異方性が低下し、出力の低下やノイズの増加を生じ、これよりも厚くなると、磁化が減少するため、出力の低下を生じてしまう。多層膜からなる第二磁性層の膜厚としては２ｎｍ〜２０ｎｍが好ましく、４〜１０ｎｍが特に好ましい。このため、上記の膜厚の膜を必要量積層することで好ましい第二磁性層の厚みを得る。これらの膜構成と後述の成膜条件を制御することで、磁気記録層の垂直方向の保磁力を制御することできる。保磁力としては２０００〜１００００Ｏｅ（１６０〜８００ｋＡ／ｍ）の範囲であることが好ましい。
【００２３】
この第二磁性層を形成する方法としては真空蒸着法、スパッタリング法などの真空成膜法が使用できる。なかでもスパッタリング法は良質な薄膜が容易に成膜可能であることから、本発明に好適である。スパッタリング法としてはＤＣスパッタリング法、ＲＦスパッタリング法のいずれも使用可能である。磁気テープやフレキシブルディスクを製造しようとする場合には、スパッタリング法は連続フィルム上に連続して成膜するウェブスパッタリング装置を用いることが好ましい。
スパッタリング時の雰囲気に使用する気体はアルゴンが使用できるが、その他の希ガスを使用しても良い。
【００２４】
本発明の磁気記録媒体について以下、更に説明する。
支持体は、ハードディスクの場合には、ガラス、アルミニウム、カーボン、シリコンなどが使用でき、浮上ヘッドを低く安定した距離で浮上走行させるため、支持体表面は機械的あるいは化学的に鏡面研磨されていることが好ましい。また必要に応じてめっきなどの表面処理が施されたものでもかまわない。
【００２５】
ハードディスク用支持体の厚みは、その素材の機械強度と使用する環境や回転数に依存するため一概に決定できないが、通常０．３ｍｍ〜３．０ｍｍが好ましく、０．５ｍｍ〜２．０ｍｍがさらに好ましい。厚みが薄くなると機械強度が不足するため、面ぶれの増加によるヘッド走行状態の悪化を招き、厚みが厚くなると製造コスト、ドライブ厚みの点から好ましくない。
また、フレキシブルディスクの場合の支持体は、合成樹脂フィルム（可撓性高分子支持体）が好ましい。
具体的には、芳香族ポリイミド、芳香族ポリアミド、芳香族ポリアミドイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルイミド、ポリスルホン、ポリフェニレンスルフィド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、トリアセテートセルロース、フッ素樹脂等からなる合成樹脂フィルムが挙げられる。本発明では基板を加熱することなく良好な記録特性を達成することができるため、表面性が良好で、また入手も容易なポリエチレンテレフタレートまたはポリエチレンナフタレートが特に好ましい。
【００２６】
可撓性高分子支持体の厚みは、磁気テープの場合、好ましくは３〜２０μｍ、さらに好ましくは４μｍ〜１２μｍである。可撓性高分子支持体の厚みが３μｍより薄いと、強度が不足し、切断やエッジ折れが発生しやすくなる。一方、可撓性高分子支持体の厚みが２０μｍより厚いと、磁気テープ一巻当たりに巻き取れる磁気テープ長が少なくなり、体積記録密度が低下してしまう。また剛性が高くなるため、磁気ヘッドへの当たり、すなわち追従性が悪化する。
【００２７】
可撓性高分子支持体の厚みは、磁気ディスクの場合、１０〜２００μｍ、好ましくは２０〜１５０μｍ、さらに好ましくは３０〜１００μｍである。可撓性高分子支持体の厚みが１０μｍより薄いと、高速回転時の安定性が低下し、面ぶれが増加する。一方、可撓性高分子支持体の厚みが２００μｍより厚いと、回転時の剛性が高くなり、接触時の衝撃を回避することが困難になり磁気ヘッドの跳躍を招く。また、支持体の腰の強さは、下記式で表され、ｂ＝１０ｍｍでの値が４．９〜１９．６ＭＰａ（０．５ｋｇｆ／ｍｍ２〜２．０ｋｇｆ／ｍｍ２）の範囲にあることが好ましく、６．９〜１４．７ＭＰａ（０．７ｋｇｆ／ｍｍ２〜１．５ｋｇｆ／ｍｍ２）がより好ましい。
支持体の腰の強さ＝Ｅｂｄ３／１２
なお、この式において、Ｅはヤング率、ｂはフィルム幅、ｄはフィルム厚さを各々表す。
【００２８】
磁気記録媒体における、可撓性高分子支持体の表面は、磁気ヘッドと接触して情報の記録および読み出しを行うために、可能な限り平滑であることが好ましい。可撓性高分子支持体表面の凹凸は、信号の記録再生特性を著しく低下させる。具体的には、後述する下塗り層を使用する場合は、光干渉式の表面粗さ計で測定した表面粗さが中心面平均粗さ（ＳＲａ）で５ｎｍ以内、好ましくは２ｎｍ以内、触針式粗さ計で測定した突起高さが１μｍ以内、好ましくは０．１μｍ以内である。また、下塗り層を用いない場合では、光干渉式の表面粗さ計で測定した表面粗さが中心面平均粗さ（ＳＲａ）で３ｎｍ以内、好ましくは１ｎｍ以内、触針式粗さ計で測定した突起高さが０．１μｍ以内、好ましくは０．０６μｍ以内である。
【００２９】
可撓性高分子支持体表面には、平面性の改善と気体遮断性を目的として下塗り層を設けることが好ましい。記録層をスパッタリング等で形成するため、下塗り層は耐熱性に優れることが好ましく、下塗り層の材料としては、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等を使用することができる。溶剤可溶型ポリイミド樹脂、熱硬化型ポリイミド樹脂、熱硬化型シリコーン樹脂は、平滑化効果が高く特に好ましい。下塗り層の厚みは、０．１μｍ〜３．０μｍが好ましい。
熱硬化性シリコーン樹脂としては、有機基が導入されたケイ素化合物を原料としてゾルゲル法で重合したシリコーン樹脂が好適に用いられる。このシリコーン樹脂は、二酸化ケイ素の結合の一部を有機基で置換した構造からなりシリコーンゴムよりも大幅に耐熱性に優れると共に、二酸化ケイ素膜よりも柔軟性に優れるため、可撓性フィルムからなる高分子支持体上に樹脂膜を形成しても、クラックや剥離が生じ難い。また、原料となるモノマーを可撓性高分子支持体上に直接塗布して硬化させることができる。しかも、一般的な有機溶剤にモノマーを溶解させて塗布することができるので、凹凸に対する回り込みも良く、平滑化効果が高い。更に、縮重合反応は、酸やキレート剤などの触媒の添加により比較的低温から進行するため、短時間で硬化させることができ、汎用の塗布装置を用いて樹脂膜を形成することができる。
また熱硬化性シリコーン樹脂は気体遮断性に優れている。このため記録層または下地層形成時に可撓性高分子支持体から発生して記録層または下地層の結晶性、配向性を阻害する気体を遮蔽する気体遮蔽性が高く、特に好適である。
【００３０】
下塗り層の表面には、磁気ヘッドやガイドポール等の摺動部材と磁気テープとの真実接触面積を低減し、または磁気ヘッドとフレキシブルディスクとの真実接触面積を低減し、摺動特性を改善することを目的として、微小突起（テクスチャ）を設けることが好ましい。また、微小突起を設けることにより、可撓性高分子支持体の取り扱い性も良好になる。微小突起を形成する方法としては、球状シリカ粒子を塗布する方法、エマルジョンを塗布して有機物の突起を形成する方法などが使用できるが、下塗り層の耐熱性を確保するため、球状シリカ粒子を塗布して微小突起を形成するのが好ましい。
【００３１】
微小突起の高さは５ｎｍ〜６０ｎｍが好ましく、ｌ０ｎｍ〜３０ｍｍがより好ましい。微小突起の高さが高すぎると記録再生ヘッドと磁気記録媒体のスペーシング損失によって信号の記録再生特性が劣化し、微小突起が低すぎると摺動特性の改善効果が少なくなる。微小突起の密度は０．１〜１００個／μｍ２ が好ましく、１〜１０個／μｍ２ がより好ましい。微小突起の密度が少なすぎる場合は摺動特性の改善効果が少なくなり、多過ぎると凝集粒子の増加によって高い突起が増加して記録再生特性が劣化する。
また、バインダーを用いて微小突起を支持体表面に固定することもできる。バインダーには、十分な耐熱性を備えた樹脂を使用することが好ましく、耐熱性を備えた樹脂としては、溶剤可溶型ポリイミド樹脂、熱硬化型ポリイミド樹脂、熱硬化型シリコン樹脂を使用することが特に好ましい。
【００３２】
記録層の下層には、下地層を設けることが好ましい。下地層としてはＴｉ、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｐｄ等の金属あるいはこれらの金属を主体とする合金、ＣｒまたはＣｒとＴｉ、Ｓｉ、Ｗ、Ｔａ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｎｂ等から選ばれる金属との合金、あるいはＣ等のアモルファス材料、Ｓｉ、Ａｌ、Ｔｉなどの窒化物、酸化物などをあげることができる。
この様な下地層を用いることによって、記録層の配向性や粒状性を改善できるため、記録特性が向上する。下地層の厚みは１０ｎｍ〜２００ｎｍが好ましく、２０ｎｍ〜１００ｎｍが特に好ましい。
下地層によって記録層が柱状に形成されたものが特に好ましい。柱状に形成されることによって、強磁性金属間の分離構造が安定し、高い保磁力を得ると共に、高出力が可能となり、また強磁性金属の分散が一様なものとなり低ノイズの磁気記録媒体が得られる。
【００３３】
更に、下地層と支持体との間には、下地層の密着性や構造を改善するために、シード層を設けることができる。シード層には、Ｔａ、Ｔａ−Ｓｉ、Ｎｉ−Ｐ、Ｎｉ−Ａｌ、Ｃなどを使用することができる。
【００３４】
単磁極ヘッドによる垂直磁気記録を行う場合には記録層と支持体の間、好ましくは下地層と支持体あるいは下塗り層の間に軟磁性層を設けることが好ましい。軟磁性層を設けることによって、電磁変換特性を高めることができる。軟磁性材料としてはＦｅ−Ｔａ−Ｃ、Ｃｏ−Ｎｂ−Ｚｒ、Ｃｏ−Ｔａ−Ｚｒ、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ等の材料が使用できる。その膜厚としては３０〜２００ｎｍであることが好ましい。
【００３５】
記録層上には保護層が設けられる。保護層は記録層に含まれる金属材料の腐蝕を防止し、磁気ヘッドと磁気記録媒体との擬似接触または接触摺動による摩耗を防止して、走行耐久性、耐食性を改善するために設けられる。保護層には、シリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア、酸化コバルト、酸化ニッケルなどの酸化物、窒化チタン、窒化ケイ素、窒化ホウ素などの窒化物、炭化ケイ素、炭化クロム、炭化ホウ素等の炭化物、グラファイト、無定型カーボンなどの炭素等の材料を使用することができる。
【００３６】
保護層としては、磁気ヘッド材質と同等またはそれ以上の硬度を有する硬質膜であり、摺動中に焼き付きを生じ難くその効果が安定して持続するものが、摺動耐久性に優れており好ましい。また、同時にピンホールが少ないものが、耐食性に優れておりより好ましい。このような保護膜としては、ＣＶＤ法で作製されるダイヤモンド状炭素（ＤＬＣ）と呼ばれる硬質炭素膜が挙げられる。
保護層は、性質の異なる２種類以上の薄膜を積層した構成とすることができる。例えば、表面側に摺動特性を改善するための硬質炭素保護膜を設け、磁気記録層側に耐食性を改善するための窒化ケイ素などの窒化物保護膜を設けることで、耐食性と耐久性とを高い次元で両立することが可能となる。
【００３７】
保護層上には、走行耐久性および耐食性を改善するために、潤滑層が設けられる。潤滑層には、炭化水素系潤滑剤、フッ素系潤滑剤、極圧添加剤等の潤滑剤が使用される。
炭化水素系潤滑剤としては、ステアリン酸、オレイン酸等のカルボン酸類、ステアリン酸ブチル等のエステル類、オクタデシルスルホン酸等のスルホン酸類、リン酸モノオクタデシル等のリン酸エステル類、ステアリルアルコール、オレイルアルコール等のアルコール類、ステアリン酸アミド等のカルボン酸アミド類、ステアリルアミン等のアミン類などが挙げられる。
【００３８】
フッ素系潤滑剤としては、上記炭化水素系潤滑剤のアルキル基の一部または全部をフルオロアルキル基もしくはパーフルオロポリエーテル基で置換した潤滑剤が挙げられる。パーフルオロポリエーテル基としては パーフルオロメチレンオキシド重合体、パーフルオロエチレンオキシド重合体、パーフルオロ−ｎ−プロピレンオキシド重合体（ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）ｎ、パーフルオロイソプロピレンオキシド重合体（ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ）ｎ 、またはこれらの共重合体等である。具体的には、分子量末端に水酸基を有するパーフルオロメチレン−パーフルオロエチレン共重合体（アウジモント社製、商品名 ＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ−ＤＯＬ ）等が挙げられる。
【００３９】
極圧添加剤としては、リン酸トリラウリル等のリン酸エステル類、亜リン酸トリラウリル等の亜リン酸エステル類、トリチオ亜リン酸トリラウリル等のチオ亜リン酸エステルやチオリン酸エステル類、二硫化ジベンジル等の硫黄系極圧剤などが挙げられる。
【００４０】
上記の潤滑剤は単独もしくは複数を併用して使用することができ、潤滑剤を有機溶剤に溶解した溶液を、スピンコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、ディップコート法等で保護層表面に塗布するか、真空蒸着法により保護層表面に付着させればよい。潤滑剤の塗布量としては、１〜３０ｍｇ／ｍ２が好ましく、２〜２０ｍｇ／ｍ２が特に好ましい。
【００４１】
また、耐食性をさらに高めるために、防錆剤を併用することが好ましい。防錆剤としては、ベンゾトリアゾール、ベンズイミダゾール、プリン、ピリミジン等の窒素含有複素環類およびこれらの母核にアルキル側鎖等を導入した誘導体、ベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、テトラザインデン環化合物、チオウラシル化合物等の窒素および硫黄含有複素環類およびこの誘導体等が挙げられる。これら防錆剤は、潤滑剤に混合して保護層上に塗布してもよく、潤滑剤を塗布する前に保護層上に塗布し、その上に潤滑剤を塗布してもよい。防錆剤の塗布量としては、０．１〜１０ｍｇ／ｍ２が好ましく、０．５〜５ｍｇ／ｍ２が特に好ましい。
【００４２】
テープにあっては、可撓性高分子支持体の記録層を形成した面とは反対側の面にはバックコート層を設けることが好ましい。バックコート層は磁気記録媒体と摺動部材が摺動する際に磁気記録媒体の背面の磨耗を防止する潤滑効果を有している。また、バックコート層に潤滑層に用いる潤滑剤や防錆剤を添加することによって、バックコート層側から記録層側へ潤滑剤や防錆剤が供給されるので、記録層の耐食性を長期間保持することが可能となる。また、バックコート層自体のｐＨを調整するることで記録層の耐食性をさらに高めることもできる。
バックコート層はカーボンブラック、炭酸カルシウム、アルミナ等の非磁性紛体とポリ塩化ビニルやポリウレタンなどの樹脂結合剤、さらに潤滑剤や硬化剤を有機溶剤に分散した溶液をグラビア法やワイヤーバー法などで塗布し、乾燥することで作製できる。
バックコート層に防錆剤や潤滑剤を付与する方法としては、前記の溶液中に溶解しても良いし、作製したバックコート層に塗布しても良い。
【００４３】
磁気記録媒体として、ハードディスクを作製する場合には、支持体としてＡｌまたはその合金、ガラス、カーボン、ポリカーボネート、アモルファスポリオレフィン等を使用し、上記と同様にしてハードディスクを作製することができる。これらの材料は打ち抜き、成型等の手法によってあらかじめ所定の形状に加工したものを準備し、この表面を機械的あるいは化学的に研磨し、十分に平滑にした後、必要に応じてテクスチャーを設け、適度の表面粗さに仕上げる。
【００４４】
以下に、可撓性高分子支持体を用いた磁気記録媒体の作製方法の一例について説明する。
成膜装置を用いた可撓性高分子支持体上への記録層等の層の形成方法を説明する。
成膜装置は、真空室を有し、真空ポンプによって所定の圧力に減圧された状態でアルゴンガスがスパッタリング気体供給管から所定の流量で供給されている。可撓性高分子支持体は、巻だしロールから巻きだされ、張力調整ロールによって張力を調整されて、成膜ロールに沿って搬送された状態で、下地層、第一磁性層、第二磁性層の各々の形成用スパッタリング装置のターゲットを用いて、該支持体上に順次、下地層、第一磁性層、第二磁性層の各々の層が成膜される。
次に、記録層が形成された面を第２の成膜ロールに沿わせた状態で、上記と同様に各々の層が成膜される。
【００４５】
以上の工程によって、可撓性高分子支持体の両面に記録層が形成されて、巻き取りロールによって巻き取られる。
また、以上の説明では、可撓性高分子支持体の両面に記録層を形成する方法について説明をしたが、同様の方法で一方の面のみに形成することも可能である。また、上記方法では第二磁性層も同一の真空室で形成するが、別のスパッタ装置にて形成してもよい。
記録層を形成した後に、記録層上にダイヤモンド状炭素をはじめとした保護層がＣＶＤ法によって形成される。
【００４６】
本発明に適用可能な高周波プラズマを利用したＣＶＤ装置の一例を説明する。記録層を形成した可撓性高分子支持体は、ロールから巻き出され、パスローラによってバイアス電源からバイアス電圧が記録層に給電され成膜ロールに沿わせた状態で搬送される。
一方、炭化水素、窒素、希ガス等を含有する原料気体は、高周波電源から印加された電圧によって発生したプラズマによって、成膜ロール上の記録層上に窒素、希ガスを含有した炭素保護膜が形成され、巻き取りロールに巻き取られる。また、炭素保護膜の作製の前に記録層表面を希ガスや水素ガスによるグロー処理などによって清浄化することでより大きな密着性を確保することができる。また、記録層表面にシリコン中間層等を形成することによって密着性をさらに高めることができる。
【００４７】
【実施例】
以下に実施例、比較例を示し、本発明を説明する。
実施例１
厚み６３μｍ、表面粗さＲａ＝１．４ｎｍのポリエチレンナフタレートフィルム上に３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、塩酸、アルミニウムアセチルアセトネート、エタノールからなる下塗り液をグラビアコート法で塗布した後、１００℃で乾燥と硬化を行い、厚み１．０μｍのシリコン樹脂からなる下塗り層を作製した。この下塗り層上に粒子径２５ｎｍのシリカゾルと前記下塗り液を混合した塗布液をグラビアコート法で塗布して、下塗り層上に高さ１５ｎｍの突起を１０個／μｍ２の密度で形成した。また、この下塗り層は可撓性高分子支持体フィルムの両面に形成した。得られた可撓性高分子支持体フィルムを原反としてスパッタリング装置に装着した。
【００４８】
次にウェブスパッタリング装置に得られた原反を装着し、水冷した成膜ロール上にフィルムを密着させながら搬送し、下塗り層上にＤＣマグネトロンスパッタリング法でＴｉからなる下地層を３０ｎｍの厚みで形成し、引き続き、ＣｏＰｔＣｒ合金（Ｃｏ：Ｐｔ：Ｃｒ＝７０：２０：１０、原子比）：ＳｉＯ２＝８８：１２（原子比）からなる組成の第一磁性層を２０ｎｍの厚みで形成した。この下地層、第一磁性層はフィルムの両面に成膜した。次に第一磁性層を形成した原反をバッチ式のスパッタ装置に設置し、ＣｏターゲットとＰｄターゲットによる共スパッタ法でＣｏ／Ｐｄ＝０．２ｎｍ／０．８ｎｍのＣｏ／Ｐｄ膜を５層積層し、５ｎｍの第二磁性層を作成した。引き続き、同スパッタ装置でＣターゲットを使用してＣ保護膜を第一磁性層及び第二の磁性層からなる記録層上に１０ｎｍの厚みで形成した。この、第二磁性層、保護層もフィルムの両面に成膜した。
【００４９】
次に、両面の保護層表面に分子末端に水酸基を有するパーフルオロポリエーテル系潤滑剤（モンテフルオス社製ＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ−ＤＯＬ）をフッ素系溶剤（住友スリーエム社製ＨＦＥ−７２００）に溶解した溶液をグラビアコート法で塗布し、厚み１ｎｍの潤滑層を形成した。
得られた原反から直径９４ｍｍの磁気ディスク形状に打ち抜き、これをテープ研磨した後、フレキシブルディスク用合成樹脂製カートリッジ（富士写真フイルム社製Ｚｉｐ１００用）に組み込んで、フレキシブルディスクを作製した。
得られたフレキシブルディスクを以下に示した評価方法によって特性の評価を行い、その結果を表１に示す。
【００５０】
実施例２
実施例１において、第二磁性層Ｃｏ／Ｐｄ＝０．２ｎｍ／０．８ｎｍをＣｏ／Ｐｔ＝０．２ｎｍ／０．８ｎｍに変更した以外は実施例１と同様に試料を作成した。
【００５１】
比較例１
実施例１において、第一磁性層の組成をＣｏ：Ｐｔ：Ｃｒ＝７０：２０：１０（原子比）とした以外は実施例１と同様にフレキシブルディスクを作製した。
【００５２】
比較例２
比較例１において、下地層と第一磁性層を成膜する際の成膜温度を１５０℃として成膜した以外は実施例１と同様にフレキシブルディスクを作製した。
【００５３】
（評価方法）
１．磁気特性
垂直方向の保磁力Ｈｃを試料振動型磁力計（ＶＳＭ）で測定して磁気特性とした。
２．面ぶれ
フレキシブルディスクおよびハードディスクを３０００ｒｐｍで回転させ、中心から半径２５ｍｍの位置における面ぶれをレーザー変位計で測定した。
３．ＳＮＲ
再生トラック幅０．３８μｍ、再生ギャップ０．１２μｍのＧＭＲヘッドを用いて、線記録密度２００ｋＦＣＩの記録再生を行い（ただし、記録はリングヘッド）、再生信号／ノイズ比（ＳＮＲ）を測定した。なおこのとき回転数は３０００ｒｐｍ、ヘッドは半径は２５ｍｍに設けて測定した。
４．モジュレーション
前記Ｃ／Ｎ測定の際の再生出力をディスク一周について計測し、この出力の最小値の最大値に対する比を１００分率で表した。
５．耐久性
フレキシブルディスクをフレキシブルディスク用ドライブ（富士写真フイルム社製Ｚｉｐ１００用ドライブ）で記録再生を繰り返し行いながら走行させ、出力が初期値−３ｄＢとなった時点で走行を中止し、耐久時間とした。なお環境は２３℃５０％ＲＨとした。
６．保存性
ＳＮＲの測定条件において、３０℃の環境で１時間後の信号出力減少を調べた。
【００５４】
【表１】
【００５５】
上記結果からわかるように、本発明の磁気記録媒体は、ＳＮＲが高く、耐久性、保存性ともに優れていることがわかる。一方、また第一磁性層に非磁性化合物（ＳｉＯ２）を使用しなかった比較例１ではＳＮＲ及び保存性が劣り、同第一磁性層を高温で作製した比較例２では面ぶれが大きく、実施例に比べて全ての性能が劣る。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の一実施態様を示す図であり、支持体面に対して垂直方向に切断した断面図である。
【符号の説明】
１：磁気記録媒体、２：支持体、３Ａ：第一磁性層、３Ｂ：第二磁性層、３：記録層、４：保護層、５：潤滑層[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a magnetic recording medium such as a magnetic tape, a flexible disk, and a hard disk, and more particularly to a perpendicular magnetic recording medium capable of high-density magnetic recording.
[0002]
[Prior art]
In recent years, personal computers are equipped with large-capacity hard disks in response to the handling of large-capacity image information due to the spread of the Internet and the like. And lower prices are required. Various types of removable recording media are used to back up a large amount of information stored in the hard disk or to use it on other computers. A flexible magnetic recording medium such as a magnetic tape or a flexible disk has many features such as a short time required for recording and reading information, as well as a hard disk, and a small device necessary for recording and reading information. have. For this reason, magnetic tapes and flexible disks are used as typical removable recording media for computer backup and storage of large amounts of data. A magnetic recording medium capable of storing a large amount of data with a small number of magnetic tapes and flexible disks is required, and further improvement in recording density is required (for example, see Patent Documents 1 to 3).
[0003]
For this reason, attention has been paid to a perpendicular magnetic recording system that is said to be excellent in high-density recording characteristics, and various recording systems, magnetic heads, and magnetic recording media have been proposed. However, in order to achieve a higher surface recording density in a perpendicular magnetic recording medium using a conventional CoCr alloy or CoCrPt alloy as a magnetic layer, the recording film thickness must be 30 nm or less in order to reduce noise. In such an ultra-thin film, a problem of so-called “thermal fluctuation” in which magnetization is lost due to heat at about room temperature becomes a serious problem in practical use. On the other hand, Co multilayer films such as Co / Pd and Co / Pt and rare earth transition metal alloys such as TbFeCo are known as materials that exhibit high perpendicular magnetic anisotropy and are resistant to thermal fluctuation. However, such a magnetic material has a problem that exchange coupling in the in-plane direction is strong and noise is higher than that of a conventional CoCrPt alloy. Recently, as a method for controlling in-plane exchange coupling and perpendicular magnetic anisotropy, a medium in which a CoCrPt-based perpendicular magnetic recording film and a Co-based multilayer film or a rare earth transition metal alloy recording film are stacked ( Hybrid media or CGC media) have been proposed.
[0004]
In such a hybrid medium, the substrate temperature is heated to 200 ° C. or higher when forming a CoCrPt alloy, and the substrate temperature is set to room temperature when forming a Co multilayer film or a rare earth transition metal alloy thereon. Therefore, a cooling process is necessary between the two-layer film forming processes, and there is a problem in productivity. Further, when a flexible medium using a polymer substrate or a polycarbonate substrate is used as a support, these polymer substrates are deformed at the substrate temperature at which the CoCrPt-based alloy is formed, so that a recording medium is produced. I couldn't.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-5-73880
[Patent Document 2]
Japanese Patent Laid-Open No. 7-311929
[Patent Document 3]
JP 2002-163819 A
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to provide a perpendicular magnetic recording medium capable of high density recording at low cost. It is another object of the present invention to provide a magnetic recording medium useful for a magnetic tape, a flexible disk and the like that can be used as a removable magnetic recording medium.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
An object of the present invention is to provide a first magnetic layer composed of a ferromagnetic metal alloy containing cobalt and a nonmagnetic metal oxide, and a multilayer film of a transition metal and a noble metal on at least one surface of a support. This is solved by a magnetic recording medium having a recording layer in which two magnetic layers are laminated in this order.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The magnetic recording medium of the present invention comprises, on at least one surface of a support, a first magnetic layer composed of a ferromagnetic metal alloy containing cobalt and a nonmagnetic metal oxide, and a multilayer film of transition metal and noble metal. And a recording layer formed by laminating the second magnetic layers in this order.
The present invention alone is not suitable for high-density perpendicular magnetic recording because it has a relatively small magnetic anisotropy constant and a small exchange interaction, and a large magnetic anisotropy constant and a large exchange interaction. By using the recording layer formed by laminating the second magnetic layer in this order for perpendicular magnetic recording, it is possible to provide a high-density and high C / N magnetic recording medium.
Further, since the first magnetic layer can be formed by sputtering or the like even if the temperature of the support is room temperature, it is necessary before the second magnetic layer to be subsequently formed thereon is formed. The step of cooling the substrate can be omitted. Further, even when a polymer support such as polycarbonate or polyethylene naphthalate is used as the support, a magnetic recording medium having excellent recording characteristics can be produced without causing substrate deformation due to heat.
The second magnetic layer is a multilayer film of transition metal and noble metal. Here, the structure of the multilayer film composed of the transition metal and the noble metal means a structure in which one or more structures each having the film 1 made of the transition metal and the film 2 made of the noble metal as a unit are laminated. The film 1 and / or the film 2 may be a single element or a mixture of a plurality of elements. When the unit is plural, the elemental composition of each unit may be the same or different.
[0009]
The present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention.
The magnetic recording medium 1 includes a support 2 on a first magnetic layer 3A composed of a ferromagnetic metal alloy containing cobalt and a nonmagnetic metal oxide, and a second magnetic layer 3B composed of a multilayer film of transition metal and noble metal. Are formed in this order to form a recording layer 3. A protective layer 4 is formed on the recording layer 3 to prevent the magnetic layer from being deteriorated due to oxidation or the like and to protect it from abrasion due to contact with the head or the sliding member. On the protective layer 4, a lubricating layer 5 is provided for the purpose of improving running durability, corrosion resistance, and the like.
[0010]
Further, in the above layer configuration, the surface property of the support 2 is adjusted between the first magnetic layer 3A and the support 2, and the gas generated from the support 2 is prevented from reaching the first magnetic layer 3A and the like. For this purpose, an undercoat layer may be provided on the support 2. Further, an underlayer for controlling the crystal orientation of the ferromagnetic metal formed in the first magnetic layer 3A to improve the recording characteristics may be provided between the undercoat layer and the magnetic layer 3A. The crystal orientation of the magnetic metal is good, and a magnetic metal having better characteristics than that shown in FIG. 1 can be obtained.
When the magnetic recording medium is a magnetic tape, the layer having the above-described configuration is usually provided on one side, and it can be used in any form of an open reel or one stored in a cartridge.
When the magnetic recording medium is a flexible disk, the above-described layers are usually provided on both sides of the support, and an engaging means for mounting on the flexible disk drive is mounted at the center.
When the magnetic recording medium is a hard disk, a glass substrate whose surface is polished is usually used as the support. An engaging means for mounting on the disk drive is mounted at the center.
In the magnetic recording medium of the present invention, a soft magnetic layer can be provided between the recording layer and the support in order to improve the perpendicular magnetic recording characteristics when using a single pole head.
[0011]
The recording layer formed in the magnetic recording medium of the present invention includes a first magnetic layer composed of a ferromagnetic metal alloy containing cobalt and a nonmagnetic metal oxide, and a second magnetic layer composed of a multilayer film of transition metal and noble metal. Since the layer is provided, high recording density recording is possible as in the case of the conventional CoCrPt-based alloy thin film magnetic layer, and thermal fluctuation can be greatly reduced. In addition, since the magnetic layer can be formed at a substrate temperature of room temperature, a conventional CoCrPt alloy magnetic layer, or a medium in which this is combined with a transition metal containing Co or Fe and a multilayer film of noble metal containing Pt or Pd, Excellent productivity. Furthermore, it is possible to increase the capacity of a removable magnetic recording medium in which the support is formed of a polymer substrate.
A ferromagnetic metal thin film made of a cobalt-containing ferromagnetic metal alloy and a non-magnetic metal oxide has been proposed for hard disks, and is described in JP-A-5-73880, JP-A-7-31929, and the like. What was manufactured by the method similar to what is used can be used.
[0012]
The recording layer in the magnetic recording medium of the present invention is a so-called perpendicular magnetic recording film having an easy axis of magnetization in the direction perpendicular to the recording layer surface. The direction of the easy axis of magnetization can be controlled by the material and crystal structure of the underlayer, the composition of the magnetic film, and the film formation conditions.
[0013]
The first magnetic layer composed of the ferromagnetic metal alloy containing cobalt and the non-magnetic metal oxide in the present invention can achieve a high coercive force because fine ferromagnetic metal alloy crystals are uniformly dispersed. At the same time, as a result of uniform dispersibility, a magnetic recording medium with low noise can be obtained. In addition, the recording layer of the present invention has a second magnetic layer composed of a multilayer film of transition metal and noble metal having high perpendicular magnetic anisotropy on the first magnetic layer. The recorded magnetic recording information can be held for a long time.
As a ferromagnetic metal alloy containing cobalt, an alloy of Co and elements such as Cr, Ni, Fe, Pt, B, Si, and Ta can be used, but Co—Pt, Co—Cr, and Co—Pt—Cr. , Co—Pt—Cr—Ta, Co—Pt—Cr—B, and the like are preferable because of good magnetic recording characteristics.
[0014]
For example, a preferable element composition of the CoPtCr alloy used for perpendicular recording includes a composition selected from the range of Co of 65 to 80 atm%, Pt of 5 to 20 atm%, and Cr of 10 to 20 atm%. Further, when a nonmagnetic element such as B or Ta is added thereto, it may be added so as to replace Pt or Cr within a range of 10 atm% or less. The greater the Co content, the greater the magnetization and the higher the signal reproduction output, but the noise also increases at the same time. On the other hand, as the content of nonmagnetic elements such as Cr and Pt increases, the magnetization decreases, but the coercive force increases, so that the signal reproduction output decreases, but the noise decreases. Therefore, it is preferable to adjust the blending ratio of these elements according to the magnetic head to be used and the equipment to be used.
[0015]
In addition to the composition, the magnetization anisotropy can be adjusted by conditions such as the argon pressure during film formation, but also depends on the type of the underlayer described later. When the underlayer is not used or when an amorphous material is used, the first magnetic layer is easily oriented vertically, but when Cr or its alloy, Ru or its alloy is used, it may be in-plane oriented. .
[0016]
As the nonmagnetic metal oxide, oxides such as Si, Zr, Ta, B, Ti, and Al can be used, but those using silicon oxide have the best recording characteristics.
[0017]
The mixing ratio of the ferromagnetic metal alloy containing cobalt and the nonmagnetic oxide is preferably in the range of ferromagnetic metal alloy: nonmagnetic metal oxide = 95: 5 to 80:20 (atomic ratio), 90 Is particularly preferably in the range of 10 to 85:15. By setting it as such a range, isolation | separation between magnetic particles becomes enough, a coercive force does not fall, and since the amount of magnetization can be maintained high, a high signal output is obtained.
[0018]
The thickness of the first magnetic layer made of a mixture of a ferromagnetic metal alloy containing cobalt and a nonmagnetic oxide is preferably in the range of 5 nm to 60 nm, more preferably 10 nm to 20 nm. With such a thickness, a medium with low noise can be obtained.
[0019]
As a method for forming the first magnetic layer made of a ferromagnetic metal alloy containing cobalt and a nonmagnetic metal oxide, a vacuum film forming method such as a vacuum deposition method or a sputtering method can be used. Among these, the sputtering method is suitable for the present invention because a good-quality thin film can be easily formed. As the sputtering method, either a DC sputtering method or an RF sputtering method can be used. When manufacturing a magnetic tape or a flexible disk, it is preferable to use a web sputtering apparatus that continuously forms a film on a continuous film.
Argon can be used as the gas used in the atmosphere during sputtering, but other rare gases may be used. A small amount of oxygen may be introduced in order to adjust the oxygen content of the nonmagnetic metal oxide.
[0020]
In order to form a first magnetic layer made of a ferromagnetic metal alloy containing cobalt and a nonmagnetic metal oxide by sputtering, a ferromagnetic metal alloy target and a nonmagnetic metal oxide target were used. Although it is possible to use these co-sputtering methods, the ferromagnetic metal alloy and the nonmagnetic metal oxide that match the composition ratio of the ferromagnetic metal alloy to be formed and the nonmagnetic metal oxide are homogeneously mixed. When the mixed target is used, the first magnetic layer in which the ferromagnetic metal alloy is uniformly dispersed can be formed. Moreover, this mixture target can be produced by a hot press method.
[0021]
The transition metal forming the multilayer film of the second magnetic layer preferably contains at least Co or Fe. As the noble metal, Au, Ag, Ru, Rh, Pd, Pt, or the like can be used, but Pt or Pd is preferably used.
As the combination of transition metal and noble metal used for the multilayer film of the second magnetic layer, a cobalt / palladium or cobalt / platinum multilayer film is preferable. For example, a 0.2 nm cobalt thin film and a 0.8 nm palladium thin film are summed alternately. And a multilayer film in which several to several tens of layers are laminated. In such a multilayer film, it is considered that perpendicular magnetic anisotropy is expressed by lattice strain of cobalt in contact with palladium or platinum. The second magnetic layer composed of these multilayer films can obtain sufficient magnetic characteristics even when it is formed near room temperature.
[0022]
The thickness of the cobalt film is preferably 0.10 to 1.00 nm, and more preferably 0.15 to 0.50 nm. If the cobalt film becomes thinner than this, the recording layer loses magnetism, and if it becomes thicker than this, the coercive force decreases and noise increases. The thickness of the platinum film or palladium film is preferably 0.10 to 2.0 nm, and more preferably 0.40 to 1.20 nm. If the platinum film or the palladium film becomes thinner than this, the perpendicular magnetic anisotropy decreases, causing a decrease in output and an increase in noise. If it becomes thicker than this, the magnetization decreases, resulting in a decrease in output. The thickness of the second magnetic layer made of a multilayer film is preferably 2 nm to 20 nm, and particularly preferably 4 to 10 nm. For this reason, a preferable thickness of the second magnetic layer is obtained by laminating a required amount of the above-mentioned film thickness. By controlling these film configurations and film forming conditions described later, the coercive force in the perpendicular direction of the magnetic recording layer can be controlled. The coercive force is preferably in the range of 2000 to 10000 Oe (160 to 800 kA / m).
[0023]
As a method of forming the second magnetic layer, a vacuum film forming method such as a vacuum deposition method or a sputtering method can be used. Among these, the sputtering method is suitable for the present invention because a good-quality thin film can be easily formed. As the sputtering method, either a DC sputtering method or an RF sputtering method can be used. When manufacturing a magnetic tape or a flexible disk, it is preferable to use a web sputtering apparatus that continuously forms a film on a continuous film.
Argon can be used as the gas used in the atmosphere during sputtering, but other rare gases may be used.
[0024]
The magnetic recording medium of the present invention will be further described below.
In the case of a hard disk, glass, aluminum, carbon, silicon, etc. can be used as the support, and the surface of the support is mechanically or chemically mirror-polished in order to make the flying head float and travel at a low and stable distance. It is preferable. Further, it may be subjected to a surface treatment such as plating if necessary.
[0025]
The thickness of the hard disk support depends on the mechanical strength of the material, the environment used and the rotational speed, and cannot be determined unconditionally, but is usually preferably 0.3 mm to 3.0 mm, more preferably 0.5 mm to 2.0 mm. preferable. When the thickness is reduced, the mechanical strength is insufficient, which leads to deterioration of the head running state due to an increase in surface deflection.
The support in the case of a flexible disk is preferably a synthetic resin film (flexible polymer support).
Specifically, aromatic polyimide, aromatic polyamide, aromatic polyamideimide, polyether ketone, polyethersulfone, polyetherimide, polysulfone, polyphenylene sulfide, polyethylene naphthalate, polyethylene terephthalate, polycarbonate, triacetate cellulose, fluororesin, etc. The synthetic resin film which consists of these is mentioned. In the present invention, since good recording characteristics can be achieved without heating the substrate, polyethylene terephthalate or polyethylene naphthalate, which has good surface properties and is easily available, is particularly preferable.
[0026]
In the case of a magnetic tape, the thickness of the flexible polymer support is preferably 3 to 20 μm, more preferably 4 to 12 μm. When the thickness of the flexible polymer support is less than 3 μm, the strength is insufficient and cutting and edge breakage are likely to occur. On the other hand, when the thickness of the flexible polymer support is greater than 20 μm, the length of the magnetic tape that can be wound per volume of the magnetic tape decreases, and the volume recording density decreases. Further, since the rigidity is increased, the contact with the magnetic head, that is, the followability is deteriorated.
[0027]
In the case of a magnetic disk, the thickness of the flexible polymer support is 10 to 200 μm, preferably 20 to 150 μm, and more preferably 30 to 100 μm. When the thickness of the flexible polymer support is less than 10 μm, the stability at high speed rotation is lowered, and the surface blur increases. On the other hand, if the thickness of the flexible polymer support is larger than 200 μm, the rigidity at the time of rotation becomes high, and it becomes difficult to avoid the impact at the time of contact, and the magnetic head jumps. The waist strength of the support is expressed by the following formula, and the value at b = 10 mm is 4.9 to 19.6 MPa (0.5 kgf / mm 2 ~ 2.0kgf / mm 2 ) Is preferably in the range of 6.9 to 14.7 MPa (0.7 kgf / mm 2 ~ 1.5kgf / mm 2 ) Is more preferable.
Waist strength of support = Ebd 3 / 12
In this equation, E represents Young's modulus, b represents film width, and d represents film thickness.
[0028]
The surface of the flexible polymer support in the magnetic recording medium is preferably as smooth as possible in order to record and read information in contact with the magnetic head. The unevenness on the surface of the flexible polymer support significantly reduces the signal recording / reproducing characteristics. Specifically, when using an undercoat layer to be described later, the surface roughness measured by a light interference type surface roughness meter is 5 nm or less, preferably 2 nm or less, as a center plane average roughness (SRa), stylus type The height of the protrusion measured with a roughness meter is within 1 μm, preferably within 0.1 μm. When the undercoat layer is not used, the surface roughness measured with an optical interference type surface roughness meter is within 3 nm, preferably within 1 nm, with a center surface average roughness (SRa), measured with a stylus roughness meter. The projected height is within 0.1 μm, preferably within 0.06 μm.
[0029]
An undercoat layer is preferably provided on the surface of the flexible polymer support for the purpose of improving planarity and gas barrier properties. Since the recording layer is formed by sputtering or the like, the undercoat layer is preferably excellent in heat resistance. As the material of the undercoat layer, for example, a polyimide resin, a polyamideimide resin, a silicone resin, a fluorine resin, or the like can be used. Solvent-soluble polyimide resins, thermosetting polyimide resins, and thermosetting silicone resins are particularly preferred because of their high smoothing effect. The thickness of the undercoat layer is preferably 0.1 μm to 3.0 μm.
As the thermosetting silicone resin, a silicone resin polymerized by a sol-gel method using a silicon compound having an organic group introduced as a raw material is preferably used. This silicone resin has a structure in which a part of the silicon dioxide bond is substituted with an organic group, and has a heat resistance significantly higher than that of silicone rubber, and also has a softness superior to that of a silicon dioxide film, and thus a flexible film. Even if a resin film is formed on the polymer support, cracks and peeling are unlikely to occur. Moreover, the monomer used as a raw material can be directly applied on a flexible polymer support and cured. In addition, since the monomer can be dissolved and applied in a general organic solvent, it is easy to wrap around unevenness and has a high smoothing effect. Furthermore, since the condensation polymerization reaction proceeds from a relatively low temperature by adding a catalyst such as an acid or a chelating agent, it can be cured in a short time, and a resin film can be formed using a general-purpose coating apparatus.
Thermosetting silicone resins are excellent in gas barrier properties. For this reason, the gas shielding property which shields the gas which generate | occur | produces from a flexible polymer support at the time of formation of a recording layer or a base layer, and obstructs the crystallinity and orientation of a recording layer or a base layer is high, and is especially suitable.
[0030]
On the surface of the undercoat layer, the real contact area between the magnetic tape and the sliding member such as the magnetic head and the guide pole and the magnetic tape is reduced, or the real contact area between the magnetic head and the flexible disk is reduced to improve the sliding characteristics. For this purpose, it is preferable to provide fine protrusions (texture). In addition, by providing the fine protrusions, the handleability of the flexible polymer support is improved. As a method for forming the fine protrusions, a method of applying spherical silica particles, a method of forming an organic protrusion by applying an emulsion, and the like can be used. However, in order to ensure the heat resistance of the undercoat layer, the spherical silica particles are applied. Thus, it is preferable to form minute protrusions.
[0031]
The height of the microprojections is preferably 5 nm to 60 nm, and more preferably 10 nm to 30 mm. If the height of the microprotrusions is too high, the signal recording / reproducing characteristics deteriorate due to the spacing loss between the recording / reproducing head and the magnetic recording medium, and if the microprotrusions are too low, the effect of improving the sliding characteristics is reduced. The density of microprojections is 0.1-100 / μm 2 1 to 10 / μm is preferable 2 Is more preferable. If the density of the microprojections is too small, the effect of improving the sliding characteristics is reduced. If the density is too large, high projections are increased due to an increase in aggregated particles, and the recording / reproducing characteristics are deteriorated.
In addition, the fine protrusions can be fixed to the support surface using a binder. It is preferable to use a resin having sufficient heat resistance for the binder, and as the resin having heat resistance, a solvent-soluble polyimide resin, a thermosetting polyimide resin, or a thermosetting silicone resin should be used. Is particularly preferred.
[0032]
It is preferable to provide a base layer below the recording layer. As the underlayer, a metal such as Ti, Pt, Ru, Pd or an alloy mainly composed of these metals, an alloy of Cr or Cr and a metal selected from Ti, Si, W, Ta, Zr, Mo, Nb, etc. Alternatively, amorphous materials such as C, nitrides such as Si, Al, and Ti, oxides, and the like can be given.
By using such an underlayer, the orientation and graininess of the recording layer can be improved, so that the recording characteristics are improved. The thickness of the underlayer is preferably 10 nm to 200 nm, particularly preferably 20 nm to 100 nm.
It is particularly preferable that the recording layer is formed in a columnar shape by the underlayer. By forming the columnar shape, the separation structure between the ferromagnetic metals is stabilized, high coercive force is obtained, high output is possible, and the dispersion of the ferromagnetic metals is uniform, and the magnetic recording medium is low noise. Is obtained.
[0033]
Furthermore, a seed layer can be provided between the underlayer and the support in order to improve the adhesion and structure of the underlayer. Ta, Ta-Si, Ni-P, Ni-Al, C, or the like can be used for the seed layer.
[0034]
When performing perpendicular magnetic recording with a single pole head, it is preferable to provide a soft magnetic layer between the recording layer and the support, preferably between the underlayer and the support or undercoat layer. By providing the soft magnetic layer, the electromagnetic conversion characteristics can be enhanced. As the soft magnetic material, Fe-Ta-C, Co-Nb-Zr, Co-Ta-Zr, Fe-Al-Si, or the like can be used. The film thickness is preferably 30 to 200 nm.
[0035]
A protective layer is provided on the recording layer. The protective layer is provided to prevent corrosion of the metal material included in the recording layer, to prevent wear due to pseudo contact or contact sliding between the magnetic head and the magnetic recording medium, and to improve running durability and corrosion resistance. The protective layer includes silica, alumina, titania, zirconia, oxides such as cobalt oxide and nickel oxide, nitrides such as titanium nitride, silicon nitride and boron nitride, carbides such as silicon carbide, chromium carbide and boron carbide, graphite, Materials such as carbon such as amorphous carbon can be used.
[0036]
As the protective layer, a hard film having a hardness equal to or higher than that of the magnetic head material, which is less likely to cause seizure during sliding and has a stable effect, is preferable because of excellent sliding durability. . At the same time, those having few pinholes are more preferred because they have excellent corrosion resistance. As such a protective film, a hard carbon film called diamond-like carbon (DLC) produced by a CVD method can be given.
The protective layer can be formed by laminating two or more types of thin films having different properties. For example, by providing a hard carbon protective film for improving sliding characteristics on the surface side and providing a nitride protective film such as silicon nitride for improving corrosion resistance on the magnetic recording layer side, corrosion resistance and durability can be achieved. It is possible to achieve a high level of compatibility.
[0037]
On the protective layer, a lubricating layer is provided in order to improve running durability and corrosion resistance. A lubricant such as a hydrocarbon-based lubricant, a fluorine-based lubricant, and an extreme pressure additive is used for the lubricant layer.
Hydrocarbon lubricants include carboxylic acids such as stearic acid and oleic acid, esters such as butyl stearate, sulfonic acids such as octadecyl sulfonic acid, phosphate esters such as monooctadecyl phosphate, stearyl alcohol, oleyl alcohol And the like, carboxylic acid amides such as stearamide, and amines such as stearylamine.
[0038]
Examples of the fluorine-based lubricant include a lubricant in which part or all of the alkyl group of the hydrocarbon-based lubricant is substituted with a fluoroalkyl group or a perfluoropolyether group. Perfluoropolyether groups include perfluoromethylene oxide polymer, perfluoroethylene oxide polymer, perfluoro-n-propylene oxide polymer (CF 2 CF 2 CF 2 O) n Perfluoroisopropylene oxide polymer (CF (CF 3 CF 2 O) n Or a copolymer thereof. Specific examples thereof include a perfluoromethylene-perfluoroethylene copolymer having a hydroxyl group at the molecular weight terminal (trade name FOMBLIN Z-DOL, manufactured by Augmont).
[0039]
Extreme pressure additives include phosphate esters such as trilauryl phosphate, phosphites such as trilauryl phosphite, thiophosphites and thiophosphates such as trilauryl trithiophosphite, dibenzyl disulfide And sulfur-based extreme pressure agents such as
[0040]
The above lubricants can be used alone or in combination. A solution obtained by dissolving a lubricant in an organic solvent can be used for the surface of the protective layer by spin coating, wire bar coating, gravure coating, dip coating, etc. What is necessary is just to apply | coat to a protective layer surface by a vacuum evaporation method. As a coating amount of the lubricant, 1 to 30 mg / m 2 2-20 mg / m 2 Is particularly preferred.
[0041]
Moreover, in order to further improve corrosion resistance, it is preferable to use a rust inhibitor together. Examples of rust inhibitors include nitrogen-containing heterocycles such as benzotriazole, benzimidazole, purine, and pyrimidine, and derivatives in which an alkyl side chain is introduced into the mother nucleus, benzothiazole, 2-mercaptobenzothiazole, tetrazaindene ring And nitrogen- and sulfur-containing heterocycles such as thiouracil compounds and derivatives thereof. These rust preventives may be mixed with a lubricant and applied on the protective layer, or may be applied on the protective layer before applying the lubricant, and the lubricant may be applied thereon. The coating amount of the rust inhibitor is 0.1 to 10 mg / m. 2 Is preferably 0.5 to 5 mg / m 2 Is particularly preferred.
[0042]
In the tape, a back coat layer is preferably provided on the surface of the flexible polymer support opposite to the surface on which the recording layer is formed. The backcoat layer has a lubricating effect of preventing wear on the back surface of the magnetic recording medium when the magnetic recording medium and the sliding member slide. Also, by adding the lubricant and rust preventive agent used in the lubricating layer to the back coat layer, the lubricant and rust preventive agent are supplied from the back coat layer side to the recording layer side. It becomes possible to hold. Further, the corrosion resistance of the recording layer can be further improved by adjusting the pH of the backcoat layer itself.
The backcoat layer is made of a non-magnetic powder such as carbon black, calcium carbonate, or alumina, a resin binder such as polyvinyl chloride or polyurethane, and a solution in which a lubricant or curing agent is dispersed in an organic solvent using the gravure method or wire bar method. It can be produced by applying and drying.
As a method of applying a rust preventive or lubricant to the back coat layer, it may be dissolved in the above solution or applied to the produced back coat layer.
[0043]
When a hard disk is manufactured as a magnetic recording medium, Al or an alloy thereof, glass, carbon, polycarbonate, amorphous polyolefin, or the like is used as a support, and the hard disk can be manufactured in the same manner as described above. These materials are prepared by punching, molding, etc. in advance to a predetermined shape, and this surface is mechanically or chemically polished and sufficiently smoothed, and then textured as necessary. Finish with moderate surface roughness.
[0044]
An example of a method for producing a magnetic recording medium using a flexible polymer support will be described below.
A method for forming a layer such as a recording layer on a flexible polymer support using a film forming apparatus will be described.
The film forming apparatus has a vacuum chamber, and argon gas is supplied from the sputtering gas supply pipe at a predetermined flow rate in a state where the pressure is reduced to a predetermined pressure by a vacuum pump. The flexible polymer support is unrolled from the unwinding roll, adjusted in tension by the tension adjusting roll, and conveyed along the film forming roll. Each of the underlayer, the first magnetic layer, and the second magnetic layer is sequentially formed on the support using the target of the sputtering apparatus for forming each layer.
Next, each layer is formed in the same manner as described above, with the surface on which the recording layer is formed along the second film forming roll.
[0045]
Through the above steps, recording layers are formed on both surfaces of the flexible polymer support and are wound up by a winding roll.
In the above description, the method for forming the recording layer on both surfaces of the flexible polymer support has been described. However, it is also possible to form the recording layer on only one surface by the same method. In the above method, the second magnetic layer is also formed in the same vacuum chamber, but may be formed by another sputtering apparatus.
After forming the recording layer, a protective layer including diamond-like carbon is formed on the recording layer by a CVD method.
[0046]
An example of a CVD apparatus using a high-frequency plasma applicable to the present invention will be described. The flexible polymer support on which the recording layer is formed is unwound from the roll, and is fed in a state where the bias voltage is fed from the bias power source to the recording layer by the pass roller and along the film forming roll.
On the other hand, a raw material gas containing hydrocarbon, nitrogen, rare gas, etc. is used to form a carbon protective film containing nitrogen, rare gas on the recording layer on the film forming roll by plasma generated by a voltage applied from a high frequency power source. Formed and wound on a take-up roll. Also, greater adhesion can be ensured by cleaning the surface of the recording layer by glow treatment with a rare gas or hydrogen gas before the carbon protective film is formed. Further, the adhesion can be further enhanced by forming a silicon intermediate layer or the like on the surface of the recording layer.
[0047]
【Example】
The present invention will be described below with reference to examples and comparative examples.
Example 1
An undercoat solution consisting of 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, hydrochloric acid, aluminum acetylacetonate, and ethanol on a polyethylene naphthalate film having a thickness of 63 μm and a surface roughness Ra = 1.4 nm is obtained by a gravure coating method. After coating, drying and curing were performed at 100 ° C., and an undercoat layer made of a silicon resin having a thickness of 1.0 μm was produced. A coating solution obtained by mixing a silica sol having a particle diameter of 25 nm and the undercoat liquid is applied on the undercoat layer by a gravure coating method, and 10 protrusions / μm having a height of 15 nm are applied on the undercoat layer. 2 The density was formed. The undercoat layer was formed on both sides of the flexible polymer support film. The obtained flexible polymer support film was mounted on a sputtering apparatus as a raw fabric.
[0048]
Next, the raw material obtained is mounted on a web sputtering apparatus, conveyed while adhering the film onto a water-cooled film forming roll, and an underlayer made of Ti is formed on the undercoat layer with a thickness of 30 nm by DC magnetron sputtering. Subsequently, CoPtCr alloy (Co: Pt: Cr = 70: 20: 10, atomic ratio): SiO 2 A first magnetic layer having a composition of 88:12 (atomic ratio) was formed to a thickness of 20 nm. The underlayer and the first magnetic layer were formed on both sides of the film. Next, the raw material on which the first magnetic layer is formed is placed in a batch type sputtering apparatus, and five Co / Pd films of Co / Pd = 0.2 nm / 0.8 nm are formed by co-sputtering using a Co target and a Pd target. A 5 nm second magnetic layer was formed by stacking. Subsequently, a C protective film having a thickness of 10 nm was formed on the recording layer composed of the first magnetic layer and the second magnetic layer using the C target in the same sputtering apparatus. The second magnetic layer and the protective layer were also formed on both sides of the film.
[0049]
Next, a gravure solution obtained by dissolving a perfluoropolyether lubricant (FOMBLIN Z-DOL manufactured by Montefluos Co., Ltd.) having a hydroxyl group at the molecular terminal on the protective layer surfaces on both sides in a fluorine-based solvent (HFE-7200 manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.) The coating was applied to form a 1 nm thick lubricating layer.
The obtained raw material was punched into a magnetic disk shape with a diameter of 94 mm, tape-polished, and then incorporated into a synthetic resin cartridge for flexible disks (for Zip 100 manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) to produce a flexible disk.
The characteristics of the obtained flexible disk were evaluated by the evaluation method shown below, and the results are shown in Table 1.
[0050]
Example 2
A sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the second magnetic layer Co / Pd = 0.2 nm / 0.8 nm was changed to Co / Pt = 0.2 nm / 0.8 nm.
[0051]
Comparative Example 1
A flexible disk was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the composition of the first magnetic layer in Example 1 was changed to Co: Pt: Cr = 70: 20: 10 (atomic ratio).
[0052]
Comparative Example 2
In Comparative Example 1, a flexible disk was produced in the same manner as in Example 1 except that the film was formed at a film formation temperature of 150 ° C. when forming the base layer and the first magnetic layer.
[0053]
(Evaluation methods)
1. Magnetic properties
The coercive force Hc in the vertical direction was measured with a sample vibration magnetometer (VSM) to obtain magnetic characteristics.
2. Face shake
The flexible disk and the hard disk were rotated at 3000 rpm, and surface blurring at a radius of 25 mm from the center was measured with a laser displacement meter.
3. SNR
Using a GMR head having a reproduction track width of 0.38 μm and a reproduction gap of 0.12 μm, recording / reproduction with a linear recording density of 200 kFCI was performed (however, recording was a ring head), and a reproduction signal / noise ratio (SNR) was measured. At this time, the rotation speed was set at 3000 rpm and the head was set at a radius of 25 mm.
4). Modulation
The reproduction output at the time of the C / N measurement was measured for one round of the disk, and the ratio of the minimum value of this output to the maximum value was expressed in 100%.
5). durability
The flexible disk was run while repeatedly recording and reproducing with a flexible disk drive (Zip100 drive manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.). When the output reached an initial value of -3 dB, the running was stopped and the durability time was set. The environment was 23 ° C. and 50% RH.
6). Preservability
Under the SNR measurement conditions, the decrease in signal output after 1 hour in a 30 ° C. environment was examined.
[0054]
[Table 1]
[0055]
As can be seen from the above results, it can be seen that the magnetic recording medium of the present invention has a high SNR and excellent durability and storage stability. On the other hand, a nonmagnetic compound (SiO 2 In Comparative Example 1 in which no S) was used, the SNR and storage stability were inferior, and in Comparative Example 2 in which the first magnetic layer was produced at a high temperature, surface blurring was large, and all the performances were inferior to those of the Examples.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a view showing an embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view cut in a direction perpendicular to a support surface.
[Explanation of symbols]
1: magnetic recording medium, 2: support, 3A: first magnetic layer, 3B: second magnetic layer, 3: recording layer, 4: protective layer, 5: lubricating layer
