JP2004160966A - Ink jet head, its manufacturing method, ink jet printer and manufacturing method for actuator unit - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、印刷媒体にインクを吐出して印刷を行うインクジェットヘッド、及びその製造方法、インクジェットプリンタ、並びに、アクチュエータユニットの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
インクジェットプリンタにおいて、インクジェットヘッドは、インクタンクから供給されたインクを複数の圧力室に分配し、各圧力室に選択的にパルス状の圧力を付与することによりノズルからインクを吐出する。圧力室に選択的に圧力を付与するための一つの手段として、セラミックからなる複数の圧電シートが積層されたアクチュエータユニットが用いられることがある。
【0003】
かかるインクジェットヘッドの一例として、複数の圧力室に跨る複数枚の連続平板状の圧電シートが積層され、その少なくとも1枚の圧電シートを、多数の圧力室に共通であってグランド電位に保持された共通電極と、各圧力室に対応する位置に配置された多数の個別電極すなわち駆動電極とで挟み込んだ1つのアクチュエータユニットを有するものが知られている(特許文献1参照)。駆動電極及び共通電極に挟まれ且つ積層方向に分極された圧電シートの部分は、外部電界の印加により活性層として働く。そのため、その両側にある駆動電極が共通電極と異なる電位にされると、活性層は、いわゆる圧電縦効果により圧電シートの積層方向に伸縮する。これにより圧力室内の容積が変動し、圧力室に連通したノズルから印刷媒体に向けてインクを吐出することが可能となっている。
【0004】
【特許文献1】
特開平4−341852号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
従って、このようなインクジェットヘッドにおいて良好なインク吐出性能を確保するためには、平面視における各個別電極により規定される活性層の位置が圧力室と重なるように、流路ユニットに対してアクチュエータユニットを正確に位置合わせしなければならない。
【0006】
このようなインクジェットヘッドでは、共通電極及び個別電極となる導電性のペーストが圧電シート上に所定のパターンで印刷された後に加熱されることによって、共通電極及び個別電極が形成される。一般に、ペーストを印刷することによって共通電極及び個別電極が形成される場合、接着剤の耐熱温度を超えた高温でペーストが圧電シートと共に加熱処理される。そのため、圧力室等を含むインク流路が形成された流路ユニットとアクチュエータユニットとが別々に製造された後、圧力室を内側として接着剤を用いて両者を互いに接着しなければならない。
【0007】
しかしながら、上述したようにアクチュエータユニットが導電性の電極材料と圧電シートとを高温の加熱処理を経て製造された焼結体であるのに対して、流路ユニットは複数の金属シートを接着剤で貼り合わせた積層体である。このうち、高温の焼結工程で構成材料の収縮を生じるアクチュエータユニットにおいては、圧電シートのサイズが大きくなるほど個別電極の寸法精度が低下する。そのため、ヘッドが長尺化するにつれて流路ユニット内の圧力室とアクチュエータユニット内の個別電極との位置合わせは困難となり、ヘッドの製造歩留まりは低下してしまう。
【0008】
また、アクチュエータユニット上には個別電極とドライバICとを接続するためにフレキシブルプリント回路(FPC:flexible printed circuit)などの外部接続部材が貼り合わせられる。従って、外部接続部材はアクチュエータユニットに対して強固に貼り付けられる必要がある。
【0009】
そこで、本発明の一つの目的は、流路ユニットにある各圧力室とアクチュエータユニットにある個別電極とを高い精度で位置合わせすることができるインクジェットヘッドの製造方法を提供することである。
【0010】
また、本発明の別の目的は、アクチュエータユニットに貼り合わせられるFPCなどの外部接続部材がアクチュエータユニットから剥がれにくく信頼性の高いインクジェットヘッド、及び、これに用いられるアクチュエータユニットの製造方法を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の一つの観点によると、一端をノズルに他端をインク供給源にそれぞれ接続された複数の圧力室を含み、前記複数の圧力室が平面に沿って相互に隣接配置された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットであって、一定電位に保たれた共通電極、各圧力室に対応する位置に配置された個別電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれた圧電シートを含むアクチュエータユニットとを有するインクジェットヘッドの製造方法において、前記流路ユニットの前記一表面にマークを形成する工程と、前記共通電極を支持した前記圧電シートを含む圧電シート含有体を用意する工程と、前記圧電シート含有体を、前記流路ユニットの前記一表面に固定する工程と、前記マークに基づいて、前記流路ユニットに固定された前記圧電シート含有体の前記流路ユニットとの固定面とは反対側の面上に、前記個別電極を形成する工程とを備えているインクジェットヘッドの製造方法、これによって製造されたインクジェットヘッド及びこれを含むインクジェットプリンタが提供される(請求項1)。
【0012】
これによると、アクチュエータユニットとなる圧電シート含有体と流路ユニットとが固定されてから流路ユニットに形成されたマークに基づいて圧電シート含有体上に個別電極が形成されるので、予め個別電極が形成されたアクチュエータユニットを流路ユニットに固定する場合と比較して、アクチュエータユニット上の個別電極の圧力室に対する位置精度が向上したインクジェットヘッドを得ることができる。
【0013】
本発明において、各工程の順序は適宜入れ替えることが可能である。例えば、マークを形成する工程は圧電シート含有体を用意する工程の後に行ってもよい。
【0014】
本発明の別の観点によると、一端をノズルに他端をインク供給源にそれぞれ接続された複数の圧力室を含み、前記複数の圧力室が平面に沿って相互に隣接配置された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットであって、一定電位に保たれた共通電極、各圧力室に対応する位置に配置された個別電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれた圧電シートを含むアクチュエータユニットとを有するインクジェットヘッドの製造方法において、前記流路ユニットの前記一表面に第1のマークを形成する工程と、前記共通電極を支持した前記圧電シートを含む圧電シート含有体を用意する工程と、前記圧電シート含有体に第2のマークを形成する工程と、前記第1のマークと前記第2のマークとが所定位置関係となるように、前記圧電シート含有体を前記流路ユニットの前記一表面に固定する工程と、前記第1のマーク又は前記第2のマークに基づいて、前記圧電シート含有体上に前記個別電極を形成する工程とを備えているインクジェットヘッドの製造方法が提供される(請求項14)。
【0015】
これによると、アクチュエータユニットとなる圧電シート含有体と流路ユニットとの両方に形成されたマークが所定位置関係となるように固定されてから、圧電シート含有体又は流路ユニットに形成されたマークに基づいて圧電シート含有体上に個別電極が形成されるので、予め個別電極が形成されたアクチュエータユニットを流路ユニットに固定する場合と比較して、アクチュエータユニット上の個別電極の圧力室に対する位置精度が向上したインクジェットヘッドを得ることができる。
【0016】
本発明の別の一つの観点によると、一端をノズルに他端をインク供給源にそれぞれ接続された複数の圧力室を含み、前記複数の圧力室が平面に沿って相互に隣接配置された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットであって、一定電位に保たれた共通電極、各圧力室に対応する位置に配置された個別電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれた圧電シートを含むアクチュエータユニットと、前記アクチュエータユニットの前記流路ユニットとの固定面とは反対側の面上に、前記個別電極との離隔を保ちつつ前記個別電極と実質的に同じ厚みに形成された導電膜とを備えているインクジェットヘッドが提供される(請求項15)。
【0017】
これによると、FPCなどの外部接続部材とアクチュエータユニットとの固定力の強化のために個別電極以外の領域に形成された導電膜が個別電極と実質的に同じ厚みを有しているので、個別電極が形成された領域と導電膜が形成された領域とに高低差がほとんど生じない。そのため、アクチュエータユニットに貼り合わされた外部接続部材剥がれにくくなり、インクジェットヘッドの信頼性が向上する。
【0018】
本発明のさらに別の一つの観点によると、圧電シートを含むアクチュエータユニットであって、複数の圧力室が形成された流路ユニットに積層されるアクチュエータユニットの製造方法において、複数の前記圧力室に共通に設けられた共通電極を支持した前記圧電シートを含む圧電シート含有体であって、その側面から前記共通電極が露出している圧電シート含有体を用意する工程と、前記圧電シート含有体の前記流路ユニットとの固定面となる面とは反対側の面を覆うと共に、前記圧電シート含有体の側面上で前記共通電極と接触する表面電極を形成する工程と、各圧力室に対応した位置に個別電極が形成されるように、前記表面電極を部分的に除去する工程とを備えているアクチュエータユニットの製造方法が提供される(請求項20)。
【0019】
これによると、個別電極と表面電極との高低差がほとんど生じないので、アクチュエータユニットの両電極に対して外部接続部材が同様に貼り合わされると共にアクチュエータユニットから剥がれにくくなる。そのため、インクジェットヘッドの信頼性が向上する。また、圧電シートにスルーホールを形成するという複雑な工程を行わなくても共通電極と表面電極とを導通させることができるために、製造コストを削減することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【0021】
図1は、本発明の第1の実施の形態によるインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの概略図である。図1に示すインクジェットプリンタ101は、4つのインクジェットヘッド1を有するカラーインクジェットプリンタである。このプリンタ101には、図中左方に給紙部111が、図中右方に排紙部112が、それぞれ構成されている。
【0022】
プリンタ101内部には、給紙部111から排紙部112に向かって流れる用紙搬送経路が形成されている。給紙部111のすぐ下流側には、画像記録媒体たる用紙を挟持搬送する一対の送りローラ105a、105bが配置されている。一対の送りローラ105a、105bによって用紙は図中左方から右方へ送られる。用紙搬送経路の中間部には、二つのベルトローラ106、107と、両ローラ106、107間に架け渡されるように巻回されたエンドレスの搬送ベルト108とが配置されている。搬送ベルト108の外周面すなわち搬送面にはシリコーン処理が施されており、一対の送りローラ105a、105bによって搬送されてくる用紙を、搬送ベルト108の搬送面にその粘着力により保持させながら、一方のベルトローラ106の図中時計回り(矢印104の方向)への回転駆動によって下流側(右方)に向けて搬送できるようになっている。
【0023】
用紙のベルトローラ106に対する挿入及び排出位置には、押さえ部材109a、109bがそれぞれ配置されている。押さえ部材109a、109bは、搬送ベルト108上の用紙が搬送面から浮かないように、搬送ベルト108の搬送面に用紙を押し付けて搬送面上に確実に粘着させるためのものである。
【0024】
用紙搬送経路に沿って搬送ベルト108のすぐ下流側には、剥離機構110が設けられている。剥離機構110は、搬送ベルト108の搬送面に粘着されている用紙を搬送面から剥離して、右方の排紙部112へ向けて送るように構成されている。
【0025】
4つのインクジェットヘッド1は、その下端にヘッド本体1aを有している。ヘッド本体1aは、それぞれが矩形断面を有しており、その長手方向が用紙搬送方向に垂直な方向(図1の紙面垂直方向)となるように互いに近接配置されている。つまり、このプリンタ101は、ライン式プリンタである。4つのヘッド本体1aの各底面は用紙搬送経路に対向しており、これら底面には微小径を有する多数のインク吐出口が形成されたノズルが設けられている。4つのヘッド本体1aのそれぞれからは、マゼンタ、イエロー、シアン、ブラックのインクが吐出される。
【0026】
ヘッド本体1aは、その下面と搬送ベルト108の搬送面との間に少量の隙間が形成されるように配置されており、この隙間部分に用紙搬送経路が形成されている。この構成で、搬送ベルト108上を搬送される用紙が4つのヘッド本体1aのすぐ下方側を順に通過する際、この用紙の上面すなわち印刷面に向けてノズルから各色のインクが噴射されることで、用紙上に所望のカラー画像を形成できるようになっている。
【0027】
インクジェットプリンタ101は、インクジェットヘッド1に対するメンテナンスを自動的に行うためのメンテナンスユニット117を有している。このメンテナンスユニット117には、4つのヘッド本体1aの下面を覆うための4つのキャップ116や、図示せぬパージ機構などが設けられている。
【0028】
メンテナンスユニット117は、インクジェットプリンタ101で印刷が行われているときには、給紙部111の直下方の位置(退避位置)に位置している。そして、印刷終了後に所定の条件が満たされたとき(例えば、印刷動作が行われない状態が所定の時間だけ継続したときや、プリンタ101の電源OFF操作がされたとき)は、4つのヘッド本体1aの直ぐ下方の位置に移動して、この位置(キャップ位置)にて、キャップ116によってヘッド本体1aの下面をそれぞれ覆い、ヘッド本体1aのノズル部分のインクの乾燥を防止するようになっている。
【0029】
ベルトローラ106、107や搬送ベルト108は、シャーシ113によって支持されている。シャーシ113は、その下方に配置された円筒部材115上に載置されている。円筒部材115は、その中心から外れた位置に取り付けられた軸114を中心として回転可能となっている。そのため、軸114の回転に伴って円筒部材115の上端高さが変化すると、それに合わせてシャーシ113が昇降する。メンテナンスユニット117を退避位置からキャップ位置に移動させる際には、予め円筒部材115を適宜の角度回転させてシャーシ113、搬送ベルト108及びベルトローラ106、107を図1に示す位置から適宜の距離だけ下降させ、メンテナンスユニット117の移動のためのスペースを確保しておく必要がある。
【0030】
搬送ベルト108によって囲まれた領域内には、インクジェットヘッド1と対向する位置、つまり上側にある搬送ベルト108の下面と接触することによって内周側からこれを支持するほぼ直方体形状(搬送ベルト108と同程度の幅を有している)のガイド121が配置されている。
【0031】
次に、本実施の形態によるインクジェットヘッド1の構造について、より詳細に説明する。図2は、インクジェットヘッド1の斜視図である。図3は、図2のIII−III線に沿った断面図である。図2及び図3に示すように、本実施の形態によるインクジェットヘッド1は、一方向(主走査方向)に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体1aと、ヘッド本体1aを支持するための基部131とを有している。基部131は、ヘッド本体1aのほかに、個別電極35(図6参照)などに駆動信号を供給するドライバIC132及び基板133を支持している。
【0032】
基部131は、図2に示すように、ヘッド本体1aの上面と部分的に接着されることでヘッド本体1aを支持するベースブロック138と、ベースブロック138の上面と接着されることでベースブロック138を保持するホルダ139とから構成されている。ベースブロック138は、ヘッド本体1aの長尺方向長さとほぼ同じ長さを有する略直方体形状の部材である。ステンレスなどの金属材料からなるベースブロック138は、ホルダ139を補強する軽量の構造体としての機能を有している。ホルダ139は、ヘッド本体1a側に配置されるホルダ本体141と、ホルダ本体141からヘッド本体1aとは反対側に延在した一対のホルダ支持部142とから構成されている。一対のホルダ支持部142は、いずれも平板状の部材であって、ホルダ本体141の長尺方向に沿って所定の間隔を隔てて互いに平行に設けられている。
【0033】
ホルダ本体141の副走査方向(主走査方向と直交する方向)両端部には、下方に突出した一対のスカート部141aが設けられている。ここで、一対のスカート部141aは、いずれもホルダ本体141の長尺方向全幅にわたって形成されているため、ホルダ本体141の下面には、一対のスカート部141aによって略直方体形状の溝部141bが形成されている。この溝部141b内に、ベースブロック138が収納されている。ベースブロック138の上面と、ホルダ本体141の溝部141bの底面とは、接着剤によって接着されている。ベースブロック138の厚さは、ホルダ本体141の溝部141bの深さよりも若干大きいため、ベースブロック138の下端部は、スカート部141aよりも下方に飛び出している。
【0034】
ベースブロック138の内部には、ヘッド本体1aに供給されるインクの流路として、その長尺方向に延在する略直方体形状の空隙(中空領域)であるインク溜まり3が形成されている。ベースブロック138の下面145には、インク溜まり3に連通した開口3b(図4参照)が形成されている。なお、インク溜まり3は、プリンタ本体内の図示しないメインインクタンク(インク供給源)に、図示しない供給チューブにより接続されている。そのため、インク溜まり3には、メインインクタンクから適宜インクが補充されるようになっている。
【0035】
ベースブロック138の下面145は、開口3bの近傍において周囲よりも下方に飛び出している。そして、ベースブロック138は、下面145の開口3b近傍部分145aにおいてのみヘッド本体1aの流路ユニット4(図3参照)と接触している。そのため、ベースブロック138の下面145の開口3b近傍部分145a以外の領域は、ヘッド本体1aから離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット21が配されている。
【0036】
ホルダ139のホルダ支持部142の外側面には、スポンジなどの弾性部材137を介してドライバIC132が固定されている。ドライバIC132の外側面には、ヒートシンク134が密着配置されている。ヒートシンク134は、略直方体形状の部材であって、ドライバIC132で発生する熱を効率的に散逸させる。ドライバIC132には、給電部材であるフレキシブルプリント配線板136が接続されている。ドライバIC132に接続されたFPC136は、基板133及びヘッド本体1aとハンダ付けによって電気的に接合されている。ドライバIC132およびヒートシンク134の上方であって、FPC136の外側には、基板133が配置されている。ヒートシンク134の上面と基板133との間、および、ヒートシンク134の下面とFPC136との間は、それぞれシール部材149で接着されている。
【0037】
ホルダ本体141のスカート部141aの下面と流路ユニット4の上面との間には、FPC136を挟むようにシール部材150が配置されている。つまりFPC136は、流路ユニット4およびホルダ本体141に対してシール部材150によって固定されている。これにより、ヘッド本体1aが長尺化した場合の撓みの防止、アクチュエータユニット21とFPC136との接続部への応力印可の防止およびFPC136の確実な保持が可能となる。
【0038】
図2に示すように、インクジェットヘッド1の主走査方向に沿った下方角部近傍には、インクジェットヘッド1の側壁に沿って6つの凸設部30aが均等に離隔配置されている。これら凸設部30aは、ヘッド本体1aの最下層にあるノズルプレート30(図7参照)の副走査方向両端部に設けられた部分である。つまり、ノズルプレート30は、凸設部30aとそれ以外の部分との境界線に沿って約90度折り曲げられている。凸設部30aは、プリンタ101において印刷に用いられる各種サイズの用紙の両端部付近に対応する位置に設けられている。ノズルプレート30の折り曲げ部分は直角ではなく丸みを帯びた形状となっているため、ヘッド1と近接する方向に搬送されてきた用紙の先端部がヘッド1の側面と接触することで生じる用紙の詰まりすなわちジャミングが起こりにくくなっている。
【0039】
図4は、ヘッド本体1aの模式的な平面図である。図4において、ベースブロック138内に形成されたインク溜まり3が仮想的に破線で描かれている。図4に示すように、ヘッド本体1aは、一方向(主走査方向)に延在した矩形平面形状をしている。ヘッド本体1aは、後述する多数の圧力室10やノズル先端のインク吐出口8(共に図5、図6、図7参照)が形成された流路ユニット4を有しており、その上面には、千鳥状になって2列に配列された複数の台形のアクチュエータユニット21が接着されている。各アクチュエータユニット21は、その平行対向辺(上辺及び下辺)が流路ユニット4の長手方向に沿うように配置されている。そして、隣接するアクチュエータユニット21の斜辺同士が、流路ユニット4の幅方向にオーバーラップしている。
【0040】
アクチュエータユニット21の接着領域と対応した流路ユニット4の下面は、インク吐出領域となっている。インク吐出領域の表面には、後述するように、多数のインク吐出口8がマトリクス状に多数配列されている。また、流路ユニット4の上方に配置されたベースブロック138内には、その長手方向に沿ってインク溜まり3が形成されている。インク溜まり3は、その一端に設けられた開口3aを介してインクタンク(図示せず)に連通しており、常にインクで満たされている。インク溜まり3には、その延在方向に沿って開口3bが2つずつ対になって、アクチュエータユニット21が設けられていない領域に千鳥状に設けられている。
【0041】
図5は、図4内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図4及び図5に示すように、インク溜まり3は、開口3bを介してその下層にある流路ユニット4内のマニホールド5と連通している。開口3bには、インク内に含有される塵埃などを捕獲するためのフィルタ(図示せず)が設けられている。マニホールド5は、その先端部が2つに分岐して副マニホールド5aとなっている。1つのアクチュエータユニット21の下部には、当該アクチュエータユニット21に対してインクジェットヘッド1の長手方向両隣にある2つの開口3bからそれぞれ2つの副マニホールド5aが進入してきている。つまり、1つのアクチュエータユニット21の下部には、合計で4つの副マニホールド5aがインクジェットヘッド1の長手方向に沿って延在している。各副マニホールド5aは、インク溜まり3から供給されたインクで満たされている。
【0042】
図6は、図5内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図5及び図6に示すように、アクチュエータユニット21の上面には、平面形状がほぼひし形の個別電極35がマトリクス状に規則的に配列されている。また、流路ユニット4のアクチュエータユニット21に対応したインク吐出領域の表面には、多数のインク吐出口8がマトリクス状に規則的に配列されている。流路ユニット4内には、共に各インク吐出口8と連通した、平面形状が個別電極35よりも一回り大きいほぼひし形の圧力室(キャビティ)10と、アパーチャ12とがそれぞれマトリクス状に規則的に配列されている。圧力室10は、個別電極35と対応する位置に形成されており、平面視において個別電極35は圧力室10の領域に含まれている。なお、図5及び図6において、図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット21内又は流路ユニット4内にあって破線で描くべき圧力室10及びアパーチャ12等を実線で描いている。
【0043】
図7は、図4に描かれたヘッド本体1aの圧力室長手方向に沿った部分断面図である。各インク吐出口8は、図7からも分かるように、先細形状のノズルの先端に形成されている。各インク吐出口8は、圧力室10(長さ900μm、幅350μm)及びアパーチャ12を介して副マニホールド5aと連通している。このようにして、インクジェットヘッド1には、インクタンクからインク溜まり3、マニホールド5、副マニホールド5a、アパーチャ12及び圧力室10を経てインク吐出口8に至るインク流路32が形成されている。
【0044】
また、図7から明らかなように、圧力室10とアパーチャ12とは異なる高さに設けられている。これにより、図6に示すように、アクチュエータユニット21の下方にあるインク吐出領域に対応した流路ユニット4内において、1つの圧力室10と連通したアパーチャ12を、当該圧力室に隣接する圧力室10と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室10同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド1により高解像度の画像印刷が実現される。
【0045】
圧力室10は、図5及び図6に描かれた平面内において、インクジェットヘッド1の長手方向(第1配列方向)と、インクジェットヘッド1の幅方向からやや傾いた方向(第2配列方向)との2方向にインク吐出領域内で配列されている。第1配列方向と第2配列方向は、直角よりもやや小さい角度θをなしている。インク吐出口8は、第1配列方向には50dpiで配列されている。一方で、圧力室10は、第2配列方向には1つのアクチュエータユニット21に対応するインク吐出領域内に12個が含まれるように配列されている。これにより、インクジェットヘッド1の全幅内で、第1配列方向に隣接する2つのインク吐出口8間の距離だけ離隔した範囲には、12個のインク吐出口8が存在するようになっている。なお、各インク吐出領域の第1配列方向についての両端部(アクチュエータユニット21の斜辺に相当する)では、インクジェットヘッド1の幅方向に対向する別のアクチュエータユニット21に対応するインク吐出領域と相補関係となることで上記条件を満たしている。そのため、本実施の形態によるインクジェットヘッド1では、第1及び第2配列方向に配列された多数のインク吐出口8から、インクジェットヘッド1の幅方向への用紙に対する相対的な移動に伴って順次インク滴を吐出させることで、主走査方向に600dpiで印刷を行うことが可能になっている。
【0046】
次に、図8を参照して、流路ユニット4の構造をより詳細に説明する。図8は、圧力室10、インク吐出口8及びアパーチャ(制限流路)12の三者の位置関係を示す模式的な図である。図8に示すように、圧力室10は、第1配列方向に所定の間隔である50dpiで列状に配列されている。このような圧力室10の列は、第2配列方向には12列配列されて、全体として圧力室10は1つのアクチュエータユニット21に対応したインク吐出領域内において2次元配列をしている。
【0047】
圧力室10には、ノズルが図8中上側の鋭角部に接続されている圧力室10aと、下側の鋭角部に接続されている圧力室10bとの2種類がある。複数の圧力室10a及び複数の圧力室10bは、共に第1配列方向に配列されて圧力室列11a、11bをそれぞれ形成している。図8に示すように、1つのアクチュエータユニット21に対応したインク吐出領域内においては、図8中下側から順に2列の圧力室列11aが配列され、その上側に隣接して2列の圧力室列11bが配列されている。このような2列の圧力室列11aと2列の圧力室列11bとの合わせて4列の圧力室列を1組とした圧力室列の組が、1つのアクチュエータユニット21に対応したインク吐出領域内において、下側から3回繰り返して配列されている。各圧力室列11a、11b中の各圧力室の上側鋭角部を結ぶ直線は、この圧力室列に上側から隣接する圧力室列中の各圧力室の下側斜辺と交差している。
【0048】
上述のように、図8の紙面に対して垂直な方向から見て、圧力室10に接続されたノズルの配置位置が異なる第1の圧力室列11aと第2の圧力室列11bとを2列ずつ隣接して配列することにより、全体として圧力室10は規則正しく整列している。一方、ノズルは、これら4列の圧力室列を1組とした圧力室列の組の中において中央領域に集まって配列されることになる。これにより、上述のように、4列の圧力室列を1組として、下側から3回繰り返して圧力室列の組を配置した場合、圧力室列の組と組との境界近傍領域、すなわち、このような4列の圧力室列からなる組の両側には、ノズルが存在しない領域が形成される。そして、そこに各圧力室10にインクを供給するための幅の広い副マニホールド5aが延設されている。本実施の形態では、1つのアクチュエータユニット21に対応したインク吐出領域内において、図中下側に1本、一番下側の圧力室列の組と二番目の圧力室列の組との間に1本、一番上側の圧力室列の組の両側に2本、合わせて4本の幅の広い副マニホールド5aが第1配列方向に延設されている。
【0049】
図8に示すように、インクを吐出するインク吐出口8に連通するノズルは、第1配列方向には、この方向に規則正しく並ぶ圧力室10に対応して、50dpiの等間隔で配列されている。また、第1配列方向と角度θで交差している第2配列方向にも12個の圧力室10が規則正しく配列されているのとは異なり、これら12個の圧力室10に対応した12個のノズルは、上述したように圧力室10の上側の鋭角部に連通したものと下側の鋭角部に連通したものとがあって、第2配列方向に規則的に一定の間隔で配列されていない。
【0050】
他方、ノズルが圧力室10の同じ側の鋭角部に常に連通している場合には、ノズルも第2配列方向の方向に規則的に一定の間隔で配列されることになる。すなわち、この場合、ノズルは、図中下側から上側に1圧力室列上がるごとに第1配列方向に印字時の解像度である600dpiに相当する間隔ずつ変位するように配列される。これに対して、本実施の形態では、2列の圧力室列11aと2列の圧力室列11bとの合わせて4列の圧力室列を1組として、これが下側から3回繰り返して配列されているので、図中下側から上側に1圧力室列上がるごとのノズル位置の第1配列方向への変位は常に同じではない。
【0051】
本実施の形態によるインクジェットヘッド1において、第1配列方向に50dpiに相当する幅(約508.0μm)を有し、この第1配列方向と直交する方向に延在する帯状領域Rについて考える。この帯状領域Rの中には、12列の圧力室列の内の何れの列についても、ノズルが1つしか存在していない。すなわち、1つのアクチュエータユニット21に対応したインク吐出領域内の任意の位置に、このような帯状領域Rを区画した場合、この帯状領域R内には、常に12個のノズルが分布している。そして、これら12個の各ノズルを第1配列方向に延びる直線上に射影した点の位置は、印字時の解像度である600dpiに相当する間隔ずつ離隔している。
【0052】
1つの帯状領域Rに属する12個のノズルを第1配列方向に延びる直線上に射影した位置が左にあるものから順に、これら12個のノズルを(1)〜(12)と記することにしたとき、これら12個のノズルは、下から、(1)、(7)、(2)、(8)、(5)、(11)、(6)、(12)、(9)、(3)、(10)、(4)の順番に並んでいる。
【0053】
このように構成された本実施の形態によるインクジェットヘッド1において、アクチュエータユニット21内の活性層を適宜駆動させると、600dpiの解像度を有する文字や図形等を描画することができる。つまり、12列の圧力室列に対応した活性層を印字媒体の搬送に合わせて順次選択的に駆動することで、特定の文字や図形を印字媒体に印刷することができる。
【0054】
例えば、600dpiの解像度で第1配列方向に延びる直線を印字する場合について説明する。まず、ノズルが圧力室10の同じ側の鋭角部に連通している場合について簡単に説明する。この場合には、印字蝶体が搬送されるのに対応して、図8中一番下に位置する圧力室列中のノズルからインクの吐出を始め、順次上側に隣接する圧力室列に属するノズルを選択してインクを吐出する。これにより、インクのドットが第1配列方向に向かって600dpiの間隔で隣接しながら形成されていく。最終的には、全体で600dpiの解像度で第1配列方向に延びる直線が描かれることになる。
【0055】
一方、本実施の形態では、図8中一番下に位置する圧力室列11a中のノズルからインクの吐出を始め、印字媒体が搬送されるのに伴って順次上側に隣接する圧力室に連通するノズルを選択してインクを吐出していく。このとき、下側から上側に1圧力室列上がるごとのノズル位置の第1配列方向への変位が常に同じでないので、印字媒体が搬送されるのに伴って第1配列方向に沿って順次形成されるインクのドットは、600dpiの間隔で等間隔にはならない。
【0056】
すなわち、図8に示したように、印字媒体が搬送されるのに対応して、まず図中一番下の圧力室列11aに連通するノズル(1)からインクが吐出され、印字媒体上に50dpiに相当する間隔(約508.0μm)でドット列が形成される。この後、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から2番目の圧力室列11aに連通するノズル(7)の位置に達すると、このノズル(7)からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から600dpiに相当する間隔分(約42.3μm)の6倍だけ第1配列方向に変位した位置(約42.3μm×6=約254.0μm)に2番目のインクドットが形成される。
【0057】
次に、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から3番目の圧力室列11bに連通するノズル(2)の位置に達すると、ノズル(2)からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から600dpiに相当する間隔分(約42.3μm)だけ第1配列方向に変位した位置に3番目のインクドットが形成される。さらに、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から4番目の圧力室列11bに連通するノズル(8)の位置に達すると、ノズル(8)からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドットの位置から600dpiに相当する間隔分(約42.3μm)の7倍だけ第1配列方向に変位した位置(約42.3μm×7=約296.3μm)に4番目のインクドットが形成される。さらに、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から5番目の圧力室列11aに連通するノズル(5)の位置に達すると、ノズル(5)からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から600dpiに相当する間隔分(約42.3μm)の4倍だけ第1配列方向に変位した位置(約42.3μm×4=約169.3μm)に5番目のインクドットが形成される。
【0058】
以下同様にして、順次図中下側から上側に位置する圧力室10に連通するノズルを選択しながらインクドットが形成されていく。このとき、図8中に示したノズルの番号をNとすると、(倍率n=N−1)×(600dpiに相当する間隔)に相当する分だけ、始めに形成されたドット位置から第1配列方向に変位した位置にインクドットが形成される。最終的に12個のノズルを選択し終わったときには、図中一番下の圧力室列11a中のノズル(1)により50dpiに相当する間隔(約508.0μm)で形成されたインクドットの間が600dpiに相当する間隔(約42.3μm)毎に離れて形成された12個のドットで繋げられ、全体で600dpiの解像度で第1配列方向に延びる直線を描くことが可能になっている。
【0059】
次に、本実施の形態によるインクジェットヘッド1の断面構造について説明する。図9は、図4に描かれたヘッド本体1aの部分分解斜視図である。図7及び図9に示すように、インクジェットヘッド1の底部側の要部は、上から、アクチュエータユニット21、キャビティプレート22、ベースプレート23、アパーチャプレート24、サプライプレート25、マニホールドプレート26,27,28、カバープレート29及びノズルプレート30の合計10枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット21を除いた9枚のプレートから流路ユニット4が構成されている。
【0060】
アクチュエータユニット21は、後で詳述するように、4枚の圧電シート41〜44(図11参照)が積層され且つ電極が配されることによってそのうちの最上層だけが電界印加時に活性層となる部分を有する層(以下、単に「活性層を有する層」というように記する)とされ、残り3層が非活性層とされたものである。キャビティプレート22は、圧力室10に対応するほぼ菱形の開口が多数設けられた金属プレートである。ベースプレート23は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、圧力室10とアパーチャ12との連絡孔及び圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。アパーチャプレート24は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、アパーチャ12のほかに圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート25は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、アパーチャ12と副マニホールド5aとの連絡孔及び圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート26、27、28は、副マニホールド5aに加えて、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。カバープレート29は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート30は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、ノズルとして機能する先細のインク吐出口8がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【0061】
これら10枚のシート21〜30は、図7に示すようなインク流路32が形成されるように、互いに位置合わせして積層される。このインク流路32は、副マニホールド5aからまず上方へ向かい、アパーチャ12において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室10において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ12から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にインク吐出口8へと向かう。
【0062】
次に、アクチュエータユニット21の詳細な構造について説明する。図10は、アクチュエータユニット21の拡大平面図である。図11は、図10のXI−XI線に沿ったインクジェットヘッド1の部分断面図である。
【0063】
図10に示すように、アクチュエータユニット21の上面であって平面視で各圧力室10と実質的に重なり合う位置には、厚さ1.1μm程度の個別電極35がそれぞれ設けられている。個別電極35は、ほぼひし形の主電極部35aと、主電極部35aの一方の鋭角部から連続して形成された、主電極部35aよりも小さいほぼひし形の補助電極部35bとからなる。主電極部35aは、圧力室10よりも一回り小さくほぼこれと相似形状を有しており、平面視において圧力室10に収まるように配置されている。また、補助電極部35bは、平面視においてそのほとんどの領域が圧力室10からはみ出している。アクチュエータユニット21の上面の個別電極35以外の領域には、後述する圧電シート41が露出している。
【0064】
図11に示すように、アクチュエータユニット21は、それぞれ厚みが15μm程度で同じになるように形成された4枚の圧電シート41、42、43、44を含んでいる。そして、アクチュエータユニット21には、個別電極35及び共通電極34の電位を制御する信号を供給するためのFPC136が貼り付けられている。圧電シート41〜44は、インクジェットヘッド1内の1つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室10に跨って配置されるように連続した層状の平板(連続平板層)となっている。圧電シート41〜44が連続平板層として多数の圧力室10に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより個別電極35を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極35に対応する位置に形成される圧力室10をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。本実施の形態において、圧電シート41〜44は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料からなるものである。なお、図11では、FPC136と圧電シート41とが互いの全面において接着されているように描かれているが、実際には、両者は各個別電極35の補助電極部35bにおいてのみ接着されている。これは、図22及び図32においても同様である。
【0065】
最上層にある圧電シート41とその下方に隣接した圧電シート42との間には、シート全面に形成された厚み2μm程度の共通電極34が介在している。また、上述したように、アクチュエータユニット21の上面つまり圧電シート41の上面には、平面形状が圧力室10と相似形状(長さ850μm、幅250μm)を有し且つ積層方向への射影領域が圧力室領域に含まれる主電極部35aと、主電極部35aよりも小さいほぼひし形の補助電極部35bとからなる個別電極35が、圧力室10ごとに形成されている。さらに、圧電シート43と圧電シート44との間、及び、圧電シート42と圧電シート43との間には、アクチュエータユニット21を補強するための補強用金属膜36a、36bがそれぞれ介在している。補強用金属膜36a、36bは、共通電極34と同様にシート全面に形成され且つこれとほぼ同じ厚さを有している。本実施の形態において、個別電極35は下地にNi(膜厚1μm程度)、表層にAu(膜厚0.1μm程度)が形成された積層金属材料からなるものであり、共通電極34及び補強用金属膜36a、36bは、Ag−Pd系の金属材料からなるものである。補強用金属膜36a、36bは電極として作用するものではなく必ずしも設ける必要もないが、補強用金属膜36a、36bがあることで焼結後の圧電シート41〜44の脆さを補うことができ、圧電シート41〜44がハンドリングし易くなるという利点がある。
【0066】
共通電極34は、図示しない領域においてFPC136を介して接地されている。これにより、共通電極34は、すべての圧力室10に対応する領域において等しくグランド電位に保たれている。また、個別電極35は、各圧力室10に対応して選択的に電位を制御することができるように、ほぼひし形の補助電極部35bにおいて、個別電極35ごとに独立してFPC136内に配線されたリード線(図示せず)と電気的に接合しており、このリード線を介してドライバIC132に接続されている。このように、本実施の形態では、平面視において圧力室10の外側にある補助電極部35bにおいて個別電極35とFPC136とが接続されていることにより、アクチュエータユニット21の積層方向への変形が阻害されることが少なく、圧力室10の容積変化量を大きくすることができるようになっている。なお、共通電極34は、積層方向への射影領域が圧力室領域を含むように圧力室10よりも大きいものが圧力室10ごとに多数形成されてもよいし、或いは、射影領域が圧力室領域に含まれるように圧力室10よりもやや小さいものが圧力室10ごとに多数形成されてもよく、必ずしもシート全面に形成された1枚の導電層である必要はない。ただし、このとき、圧力室10に対応する部分がすべて同一電位となるように共通電極どうしが電気的に接続されていることが必要である。
【0067】
本実施の形態によるインクジェットヘッド1において、圧電シート41〜44の分極方向はその厚み方向となっている。つまり、アクチュエータユニット21は、最上側(つまり、圧力室10から最も離れた側)の圧電シート41を活性層が存在する層とし且つ下側(つまり、圧力室10に近い側)3枚の圧電シート42〜44を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極35を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート41〜43中の電極に挟まれた部分が活性層として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。一方、圧電シート42〜44は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、最上層の圧電シート41と下層の圧電シート42〜44との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート41〜44全体が非活性側に凸となるように変形しようとする(ユニモルフ変形)。このとき、図11で示したように、圧電シート41〜44の下面は圧力室を区画する隔壁(キャビティプレート)22の上面に固着されているので、結果的に圧電シート41〜44は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室10の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、インク吐出口8からインクが吐出される。その後、個別電極35を共通電極34と同じ電位に戻すと、圧電シート41〜44は元の形状になって圧力室10の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド5側から吸い込む。
【0068】
なお、他の駆動方法として、予め個別電極35を共通電極34と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極35を共通電極34と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極35を共通電極34と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極35と共通電極34とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート41〜44が元の形状に戻ることにより、圧力室10の容積は初期状態(両電極の電位が異なる状態)と比較して増加し、インクがマニホールド5側から圧力室10内に吸い込まれる。その後再び個別電極35を共通電極34と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート41〜44が圧力室10側へ凸となるように変形し、圧力室10の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。
【0069】
また、圧電シート41〜44に印加される電界方向とその分極方向とが逆であれば、圧電横効果により、個別電極35と共通電極34とで挟まれた圧電シート41内の活性層が分極方向と直角方向に伸長しようとする。従って、圧電シート41〜44は、圧力室10側に凹となるように変形する。このため、圧力室10の容積が増加して、インクをマニホールド5側から吸い込む。その後、個別電極35の電位が元に戻れば、圧電シート41〜44は元の平板形状となり、圧力室10の容積が元の容積に戻るので、インク吐出口8からインクを吐出する。
【0070】
このように、本実施の形態によるインクジェットヘッド1は、アクチュエータユニット21の最外層であって圧力室から最も離れた圧電シート41だけに活性層が含まれていて、その外側面(上面)上だけに個別電極35が形成されたものである。そのため、アクチュエータユニット21を作製する際に、平面視で重なるように設けられた個別電極同士を互いに接続するためのスルーホールを形成する必要がなく、容易に製造可能である。
【0071】
さらに、本実施の形態によるインクジェットヘッド1は、圧力室10から最も離れた活性層を含む圧電シート41と流路ユニット4との間に、3枚の非活性層としての圧電シート42、43、44が配置されたものである。このように、1層の活性層を含む圧電シートに対して非活性層を3層とすることで、圧力室10の容積変化量を比較的大きくすることができ、従って、個別電極35の駆動電圧の低電圧化と共に圧力室10の小型化及び高集積化を図ることが可能となることが本発明者によって確認された。
【0072】
インクジェットヘッド1は、活性層が存在する圧電シート41と非活性層である圧電シート42〜44とが同じ材料で形成されているために、材料を交換する手間が不要となり、比較的簡略な製造工程により製造可能である。そのため、製造コストを低減できることが期待される。さらに、活性層を含む圧電シート41と非活性層である圧電シート42〜44とがすべて実質的に同じ厚みを有していることからも、製造工程の簡略化によるコスト削減を図ることができる。なぜなら、圧電シートとなるセラミックス材料を積層していくときの厚さ調整工程を簡単に行うことができるようになるからである。
【0073】
また、インクジェットヘッド1によると、圧電シート41を共通電極34と個別電極35とで挟み込むことにより、圧電効果によって容易に圧力室10の容積を変化させることができる。また、活性層を含む圧電シート41が連続平板層であるため、容易に製造することが可能である。
【0074】
また、本実施の形態によるインクジェットヘッド1は、圧力室10に近い圧電シート42〜44を非活性層とし、圧力室10から離れた圧電シート41を活性層を含む層としたユニモルフ構造のアクチュエータユニット21を有している。そのため、圧電横効果により圧力室10の容積変化量を大きくすることができて、圧力室10側が活性層を含む層でその反対側が非活性層のインクジェットヘッドと比較して、個別電極35に印加される電圧の低電圧化及び/又は圧力室10の高集積化を図ることが可能となる。印加電圧の低電圧化を図ることにより、個別電極35を駆動するドライバICを小型化できてコストを抑えることができ、圧力室10を小さくできてその高集積化を図ったときであっても十分な量のインクを吐出することが可能となって、ヘッド1の小型化と印刷ドットの高密度配置が実現される。
【0075】
次に、図4に示したインクジェットヘッド1の第1の製造方法について、さらに図12〜図15を参照しつつ説明する。
【0076】
インクジェットヘッド1を製造するには、まず流路ユニット4及びアクチュエータユニット21をそれぞれ並行して別個に作製し、その後両者を接着する。流路ユニット4を作製するには、これを構成する各プレート22〜30に、パターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチングを施して、図7及び図9に示すような開孔及び凹部を各プレート22〜30のそれぞれに形成する。特に、本製造方法では、図12に示すように、キャビティプレート22に圧力室10を形成する際、これと同時のエッチング工程により、円形のマーク(キャビティ位置認識マーク)55を形成する。つまり、圧力室10及びマーク55に相当する部分に開孔を有するフォトレジストをマスクとしてキャビティプレート22にエッチングを施す。マーク55は、後述する個別電極35の印刷位置決めのために設けられるものであり、例えば、インク吐出領域外において、キャビティプレート22の長手方向の所定間隔ごとに、キャビティプレート22の幅方向に離れた2個所に形成される。マーク55は開孔であってもよいし、凹部であってもよい。なお、図12においては、多数の圧力室10のうち一部の圧力室10だけを図示している。
【0077】
変形例として、マーク55は、圧力室10を形成するためのエッチングと別工程で、つまり別のフォトレジストをマスクとして行うようにしてもよい。しかしながら、マーク55を形成するためのエッチングを圧力室10を形成するためのエッチングと同時の工程とすることで、圧力室10に対するマーク55の位置精度を高めることができ、後述するように個別電極35と圧力室10との位置精度が向上するという利益が得られる。
【0078】
また、キャビティプレート22以外の8枚のプレート23〜30についても、エッチングにより開孔を形成する。その後、インク流路32が形成されるように9枚のプレート22〜30を接着剤を介在させつつ重ね合わせ、接着することで流路ユニット4を作製する。
【0079】
一方、アクチュエータユニット21を作製するには、まず、圧電シート44となるセラミックス材料のグリーンシート上に、補強用金属膜36aとなる導電性のペーストをパターン印刷する。それと並行して、圧電シート43となるセラミックス材料のグリーンシート上に補強用金属膜36bとなる導電性のペーストをパターン印刷すると共に、圧電シート42となるセラミックス材料のグリーンシート上に共通電極34となる導電性のペーストをパターン印刷する。その後、4枚の圧電シート41〜44を治具を用いて位置合わせしつつ重ね合わせることによって得られた積層物を所定の温度で焼成する。これにより、最上層にある圧電シート41の下面に共通電極34が形成された、個別電極を有しない積層物(圧電シート含有体)が形成される。
【0080】
次に、上述のようにして作製されたアクチュエータユニット21となる積層物は、圧電シート44とキャビティプレート22とが接触するように、接着剤により流路ユニット4と接着される。この際、流路ユニット4のキャビティプレート22の表面及び圧電シート41の表面にそれぞれ形成された位置合わせのための目印55,55a(図15参照)に基づいて両者が接着される。なお、この位置合わせは、アクチュエータユニット21となる積層物に未だ個別電極が形成されていないことから、高い精度を要求されない。この時点でのインクジェットヘッドの図11に相当する要部断面図を図13(a)に、その一点鎖線で囲った領域の部分拡大図を図14(a)にそれぞれ示す。なお、圧電シート41上の目印55aの形成は、圧電シート41〜44の焼成の前に行ってもよいし、後に行ってもよい。
【0081】
しかる後、図13(b)及び図15に示すように、キャビティプレート22上に形成されたマーク55を光学的に認識し、認識されたマーク55の位置を基準にして、圧電シート41上の上述したような位置に、個別電極35となる導電性のペースト39をそれぞれパターン印刷する。このとき、図13(b)の一点鎖線で囲った領域の部分拡大図を図14(b)に示す。
【0082】
次に、焼成工程を行ってペースト39を焼結させる。これにより、圧電シート41上に個別電極35が形成され、アクチュエータユニット21が作製される。なお、このとき行う焼成工程において、流路ユニット4とアクチュエータユニット21となる積層物とを接着する接着剤として、その耐熱温度が個別電極35のパターンで印刷されたペースト39を焼成する際の焼成温度以上であるものを用いるか、或いは、ペースト39の材料として、その焼成温度が流路ユニット4とアクチュエータユニット21とを接着する接着剤の耐熱温度以下であるものを用いる必要がある。
【0083】
その後、個別電極35に電気信号を供給するためのFPC136をアクチュエータユニット21上にハンダ付けにより電気的に接合し、さらに所定の工程を経ることによってインクジェットヘッド1の製造が完了する。なお、ここでは詳述しないが、FPC136内の配線が共通電極34と接続されることで共通電極34がグランド電位に維持される。
【0084】
以上説明したインクジェットヘッドの製造法では、圧力室10のある流路ユニット4側に形成されたマーク55に基づいてパターン印刷されたペースト39を焼成することで個別電極35のパターンを形成するので、予め個別電極が形成されたアクチュエータユニットを流路ユニットに接着する場合と比較して、圧電シート41上に形成される個別電極35の圧力室10に対する位置精度が向上する。これにより、インク吐出性能の均一性が優れたものとなり、インクジェットヘッド1の長尺化を図ることが容易になる。つまり、本実施の形態のインクジェットヘッド1のようにアクチュエータユニット21を複数設け、それらを流路ユニット4の長手方向に配列するのではなく、アクチュエータユニット21として流路ユニット4と同じ程度に長いものを1つだけ用いるようにでき得る。
【0085】
また、本製造方法では、上述したように、圧電シート41〜44と流路ユニット4とを接着してからペースト39の印刷及び焼成を行っているので、アクチュエータユニット21のハンドリングが非常に容易である。しかも、共通電極34を形成する際に用いる印刷機を用いて個別電極35を印刷することができるので、製造コストを削減することができる。
【0086】
また、本製造方法では、圧電シート41〜44を積層する際に隣接する圧電シート間に個別電極を形成しない、つまり、圧力室10から最も離れた圧電シート41だけが活性層を含む層となるようにしているので、平面視で重なるように設けられた個別電極同士を互いに接続するためのスルーホールを圧電シート41〜44に形成する必要がない。そのため、上述したように、本製造方法によると、比較的簡易な工程により低コストでインクジェットヘッド1を製造可能である。
【0087】
さらに、本製造方法では、4枚の圧電シート41〜44を積層し、そのうち最上層の圧電シート41だけが活性層を含む層となり残りの3枚の圧電シート42〜44が非活性層となるようにしている。このようにして製造されたインクジェットヘッド1によると、上述したように、圧力室10の容積変化量を比較的大きくすることができ、従って、個別電極35の駆動電圧の低電圧化と共に圧力室10の小型化及び高集積化を図ることが可能となる。
【0088】
変形例として、圧電シート41〜44を含む積層物を焼成した後に、圧電シート41上に目印55a及び個別電極を形成し、その後にアクチュエータユニット21と流路ユニット4とを貼り合わせてもよい。この目印55a及び個別電極35は、導電性ペーストのパターン印刷後に焼成工程を行うことで形成される。なお、目印55aが予め圧電シート41上に形成されているのであれば、この目印55aに基づいて個別電極35を形成してもよい。いずれにしても、焼成された積層物(圧電シート41〜44)の寸法は、個別電極35となるペーストの焼成時にほとんど変化しない。そのため、流路ユニット4上の目印55と圧電シート41上の目印55aとが所定の位置関係となるように両者を位置合わせしてしまえば、アクチュエータユニット21全体にわたって個別電極35と流路ユニット4に形成された圧力室10とを精度よく位置合わせすることができる。また、この変形例によると、アクチュエータユニット21と流路ユニット4とを貼り合わせた後において個別電極35を焼成するための加熱処理を行う必要がなくなるので、アクチュエータユニット21と流路ユニット4とを貼り合わせるために用いられる接着剤の選択の自由度が増すという利点が生じる。
【0089】
また、先に述べたように、補強用金属膜36a、36bを設けることで圧電シート41〜44の脆さを補い、圧電シート41〜44のハンドリング性を向上させることができるが、必ずしも補強用金属膜36a、36bを設ける必要はない。例えば、アクチュエータユニット21のサイズが1インチ程度であれば、補強用金属膜36a、36bを設けなくても、脆さにより圧電シート41〜44のハンドリング性が損なわれることはない。
【0090】
さらに、本実施の形態では、上述のように、圧電シート41上にのみ個別電極35が形成される。一方、圧電シート41以外の圧電シート42〜44上にも個別電極を形成する場合には、かかる個別電極を圧電シート41〜44の積層及び焼成前に所望の圧電シート41〜44上に印刷しなければならなくなる。したがって、焼成時に生じる圧電シート41〜44の収縮のために、圧電シート42〜44上の個別電極の位置精度と、圧電シート41上の個別電極35の位置精度とに差が生じてしまう。しかし、本実施の形態では圧電シート41上にのみ個別電極35を形成するようにしているので、かかる位置精度の差が生じることがなく、個別電極35は、対応する圧力室10と精度よく位置合わせされることになる。
【0091】
次に、インクジェットヘッド1の第2の製造方法について、図16〜図18をさらに参照して説明する。なお、図13(a)に示す接着工程までは同じ工程であるのでここでは説明を省略する。
【0092】
まず、接着工程が行われた図13(a)に示す状態から、キャビティプレート22上に形成されたマーク55を光学的に認識し、認識されたマーク55の位置を基準にして、圧電シート41の上方にメタルマスク61を配置する。このメタルマスク61は、図18にも示すように、個別電極35と同形状の開孔61aが個別電極35と同じマトリクス配列で多数形成されたものである。メタルマスク61は、開孔61aの位置が個別電極35を形成すべき位置と一致するようにマーク55に基づき治具を用いて位置合わせされる。メタルマスク61の開孔61aは、予めフォトレジストをマスクとして用いたエッチングにより形成されたものであってよい。この時点でのインクジェットヘッドの図11に相当する要部断面図を図16(a)に、その一点鎖線で囲った領域の部分拡大図を図17(a)にそれぞれ示す。
【0093】
しかる後、図16(b)及びその一点鎖線で囲った領域の部分拡大図である図17(b)に示すように、PVD(Physical Vapor Deposition:物理的蒸着)プロセスにより、メタルマスク61の開孔61aから露出した圧電シート41上に個別電極35としての導電膜をパターン形成する。なお、PVDの代わりにCVD(Chemical Vapor Deposition:化学的蒸着)を行って個別電極35をパターン形成してもよい。また、個別電極35となる導電膜の下地のNi及び表層のAuを共にPVDで形成してもよいし、下地NiをPVDで、表層Auをメッキで形成してもよい。
【0094】
その後、流路ユニット4上からメタルマスク61を移動させた後、個別電極35に電気信号を供給するためのFPC136をアクチュエータユニット21上に貼り付け、さらに所定の工程を経ることによってインクジェットヘッド1の製造が完了する。
【0095】
このように、本製造方法では、圧力室10のある流路ユニット4側に形成されたマーク55に基づいて配置されたメタルマスク61を用いてPVDプロセスで個別電極35のパターンを形成するので、予め個別電極が形成されたアクチュエータユニットを流路ユニットに接着する場合と比較して、圧電シート41上に形成される個別電極35の圧力室10に対する位置精度が向上する。これにより、インク吐出性能の均一性が優れたものとなり、インクジェットヘッド1の長尺化を図ることが容易になる。
【0096】
また、PVDプロセスで個別電極35を形成しているためにペーストを印刷する場合とは異なり高温処理を行う必要がなくなるので、上述したように、圧電シート41〜44と流路ユニット4とを接着してから個別電極35の形成及びそのパターニングを行うことができるようになる。従って、アクチュエータユニット21のハンドリングが非常に容易になる。
【0097】
また、本製造方法によると、第1の製造方法で行ったような印刷の場合とは異なり、接着剤の耐熱温度又は導電性ペーストの焼成温度を考慮する必要がないので、接着剤や導電性ペーストの材料選択の範囲が広がる。
【0098】
なお、本製造方法では、個別電極35のみPVDで形成している。つまり、個別電極35は、共通電極34及び補強用金属膜36a、36bとは異なり圧電シート41〜44となるセラミックス材料と一緒に焼成しない。従って、外部に露出した個別電極35が、焼成時の高温加熱により蒸発するというおそれがない。また、個別電極35をPVDで形成することにより、その膜厚を比較的薄く形成することが可能である。このように、インクジェットヘッド1では、最も上層にある個別電極35を薄くすることで、活性層を含む圧電シート41の変位が個別電極35によって規制されづらくなって、インクジェットヘッド1における圧力室10の容積変形量を向上させている。
【0099】
本製造方法において、例えばPVDの代わりにメッキによって個別電極35を形成することができる。その場合には、メタルマスク61に代えて、フォトレジストを圧電シート41上に塗布した後、キャビティプレート22上に形成されたマーク55を光学的に認識し、認識されたマーク55の位置を基準にして、圧力室10の内壁のやや内側に対応する領域内にあるフォトレジストに光を照射する。その後、現像液を用いて光の照射された領域内のフォトレジストを除去する。これにより、フォトレジストがメタルマスク61と同等のパターンで開孔を有するようになる。なお、上述のように開孔が設けられたフォトレジストをマスクとして、PVDにより個別電極35をパターン形成してもよい。ただし、メタルマスクを用いる方が、再利用が可能で工程も簡略化できるなどフォトレジストを用いる場合よりも利益が大きい。また、個別電極を形成する際のマスクとしてメタルマスクやフォトレジスト以外のものを用いることも可能であり、フォトレジストとしてポジ型のほかネガ型を用いることも可能である。
【0100】
次に、インクジェットヘッド1の第3の製造方法について、図19〜図20をさらに参照して説明する。なお、図13(a)に示す接着工程までは同じ工程であるのでここでは説明を省略する。
【0101】
まず、接着工程が行われた図13(a)に示す状態から、流路ユニット4と接着されたアクチュエータユニット21上の全面にPVDプロセスによって導電膜64を形成する。なお、PVDの代わりにCVD、メッキを行うか或いはペーストの印刷及び焼成を行って導電膜64を形成してもよい。なお、ペーストの印刷及び焼成を行う場合には、上述したように接着剤の耐熱温度などに留意する必要がある。この時点でのインクジェットヘッドの図11に相当する要部断面図を図19(a)に示す。
【0102】
次に、導電膜64上の全面にポジ型のフォトレジスト65を塗布する。しかる後、キャビティプレート22上に形成されたマーク55を光学的に認識し、認識されたマーク55の位置を基準にして、圧力室10の内壁のやや内側位置に対応する領域外にあるフォトレジスト65に光を照射する。その後、現像液を用いて光の照射された領域内のフォトレジスト65を除去する。これにより、図20にも示すように、フォトレジスト65は各圧力室10に対応した位置だけに個別電極35のパターンで残存する。
【0103】
しかる後、残存したフォトレジスト65をエッチングマスクとして、フォトレジスト65で覆われていない領域の導電膜64をエッチングにより除去する。これにより、圧電シート41上には、個別電極35がパターン形成される。この時点でのインクジェットヘッドの要部断面図を図19(b)に示す。
【0104】
その後、残存しているフォトレジスト65を除去してから、個別電極35に電気信号を供給するためのFPC136をアクチュエータユニット21上に貼り付け、さらに所定の工程を経ることによってインクジェットヘッド1の製造が完了する。
【0105】
この第3の製造方法によっても、第1及び第2の製造方法と同様の利益を得ることが可能である。
【0106】
次に、第3の製造方法の変形例について説明する。本変形例では、アクチュエータユニット21を作製する際の圧電シート41〜44の積層工程において、圧電シート44となるセラミックス材料のグリーンシート上に、補強用金属膜36aとなる導電性のペーストをパターン印刷する。それと並行して、圧電シート43となるセラミックス材料のグリーンシート上に補強用金属膜36bとなる導電性のペーストをパターン印刷すると共に、圧電シート42となるセラミックス材料のグリーンシート上に共通電極34となる導電性のペーストをパターン印刷し、さらに、圧電シート41となるセラミックス材料のグリーンシート上の全面に個別電極35となる導電膜64をPVDやメッキにより形成する。なお、導電膜をPVDやメッキにより形成する代わりに、導電性のペーストを全面に印刷した後焼成してもよい。
【0107】
その後、4枚の圧電シート41〜44を治具を用いて位置合わせしつつ重ね合わせることによって得られた積層物を所定の温度で焼成する。これにより、最上層にある圧電シート41の下面に共通電極34が形成され且つ圧電シート41の上面に導電膜64が形成された積層物が形成される。しかる後、この積層物を流路ユニット4と接着する。この時点でのインクジェットヘッドの図11に相当する要部断面図は図19(a)と同じである。その後、第3の製造方法と同様の工程を経ることによりインクジェットヘッド1が完成する。
【0108】
この変形例によっても、上述した第1及び第2の製造方法と同様の利益を得ることが可能である。
【0109】
次に、本発明の第2の実施の形態によるインクジェットヘッドについて、図21及び図22を参照して説明する。本実施の形態によるインクジェットヘッドは、アクチュエータユニットの最上層にある圧電シート及びその周辺に関する構造においてのみ、第1の実施の形態と相違している。そのため、図1〜図9にかけて説明した構造は、本実施の形態によるインクジェットヘッドにおいてもほぼ共通である。なお、本実施の形態において、第1の実施の形態と同様の部材には同じ符号を付してその説明を省略する。
【0110】
図21は、本実施の形態によるインクジェットヘッドにおけるアクチュエータユニットの拡大平面図である。図22は、図21のXXII−XXII線に沿ったインクジェットヘッド1の部分断面図である。本実施の形態によるインクジェットヘッドに含まれる流路ユニットは、第1の実施の形態と同様に構成されている。また、本実施の形態によるインクジェットヘッドに含まれるアクチュエータユニット221は、積層された4枚の圧電シート241〜244の内部に共通電極234及び補強用電極236a、236bが支持されたものである点において、第1の実施の形態のアクチュエータユニット21と共通している。しかしながら、圧電シート241の外側面(圧力室10側の面とは反対側の面)に、(主電極部235a及び補助電極部235bからなる)個別電極235の外縁に沿って、これを取り囲むように溝部253が形成されており、且つ、圧電シート241の上面の個別電極253及び溝部253以外のほぼ全領域が導電膜238で被覆されている点において、第1の実施の形態のアクチュエータユニット21と相違している。
【0111】
導電膜238は、個別電極235と同じ材料を用いて同じ厚みに形成されている。個別電極235と導電膜238との間を絶縁する溝部253は、幅30μm程度、深さ5〜10μm程度に形成されている。後述するように、溝部253によって、ある圧力室10に対応した圧電シートの変形による影響が隣接する圧力室10上の圧電シートに伝わりにくくなり、隣接した圧力室10間のクロストークの発生を低減させることが可能となっている。
【0112】
このように、本実施の形態によるインクジェットヘッドでは、アクチュエータユニット221の圧力室から最も離れた圧電シート241が活性層を含む層であって、アクチュエータユニット221の外側面に個別電極235が形成されていると共に、圧電シート241の上面に個別電極235同士の離隔を保ちつつ導電膜238が個別電極235と同じ厚みに形成されている。そのため、個別電極235が形成された領域とそれ以外の領域とに高低差がほとんど生じない。従って、接着力の強化のために個別電極235にだけでなく圧電シート241上の全面にFPC136を接着剤により貼り合わせた場合に、FPC136を引き剥がそうとする外力がこれに加えられた場合であっても、FPC136とアクチュエータユニット221とが剥がれにくくなって、インクジェットヘッドの信頼性が向上する。その他、本実施の形態のインクジェットヘッドによると、第1の実施の形態のものと同様の利益を得ることができる。
【0113】
次に、本実施の形態によるインクジェットヘッドの製造方法について、さらに図23〜図27を参照しつつ説明する。
【0114】
インクジェットヘッドを製造するには、まず流路ユニット4及びアクチュエータユニット221をそれぞれ並行して別個に作製し、その後両者を接着する。流路ユニット4は第1の実施の形態で説明したのと同様に作製される。この際、図23に示すように、圧力室10を形成するのと同時のエッチング工程により、円形のマーク(キャビティ位置認識マーク)55をキャビティプレート22に形成する。つまり、圧力室10及びマーク55に相当する部分に開孔を有するフォトレジストをマスクとしてキャビティプレート22にエッチングを施す。マーク55は、後述するレーザ加工のトレース位置決定・修正のために設けられるものであり、例えば、インク吐出領域外において、キャビティプレート22の長手方向の所定間隔ごとに、キャビティプレート22の幅方向に離れた2個所に形成される。マーク55は開孔であってもよいし、凹部であってもよい。なお、図23においては、多数の圧力室10のうち一部の圧力室10だけを図示している。変形例として、マーク55は、圧力室10を形成するためのエッチングと別工程で、つまり別のフォトレジストをマスクとして行うようにしてもよい。
【0115】
一方、アクチュエータユニット221を作製するには、まず、圧電シート244となるセラミックス材料のグリーンシート上に、補強用金属膜236aとなる導電性のペーストをパターン印刷する。それと並行して、圧電シート243となるセラミックス材料のグリーンシート上に補強用金属膜236bとなる導電性のペーストをパターン印刷すると共に、圧電シート242となるセラミックス材料のグリーンシート上に共通電極234となる導電性のペーストをパターン印刷する。その後、4枚の圧電シート241〜244を治具を用いて位置合わせしつつ重ね合わせることによって得られた積層物を所定の温度で焼成する。これにより、最上層にある圧電シート241の下面に共通電極234が形成された、個別電極を有しない積層物が形成される。この時点でのアクチュエータユニット221となる積層物の部分拡大断面図を図24に示す。
【0116】
次に、上述のようにして作製されたアクチュエータユニット221となる積層物は、圧電シート244とキャビティプレート22とが接触するように、接着剤により流路ユニット4と接着される。この際、流路ユニット4のキャビティプレート22の表面及び圧電シート241の表面にそれぞれ形成された位置合わせのための目印55,55a(図27参照)に基づいて両者が接着される。なお、この位置合わせは、アクチュエータユニット221となる積層物に未だ個別電極が形成されていないことから、高い精度を要求されない。
【0117】
しかる後、圧電シート241上の全面に導電膜238がPVD、印刷又はメッキにより形成される。この時点でのインクジェットヘッド1の図22に相当する断面図を図25(a)に、その一点鎖線で囲った領域の部分拡大図を図26(a)にそれぞれ示す。
【0118】
次に、図25(b)及び図27に示すように、キャビティプレート22上に形成されたマーク55を基準にして、平面視で圧力室10の外縁やや内側にレーザが照射されるよう出射方向を制御しつつ例えばYAGレーザを用いてレーザ加工を行い、圧電シート241上の導電膜238の図21に示す溝部253に対応する領域257(図27において太線で示す)だけを除去する。こうして導電膜238を部分的に除去することにより、導電膜238とは絶縁した個別電極235のパターンが形成される。このときの図25(b)の一点鎖線で囲った領域の部分拡大図を図26(b)に示す。
【0119】
その後、個別電極235に電気信号を供給するためのFPC136をアクチュエータユニット221上に貼り付け、さらに所定の工程を経ることによってインクジェットヘッド1の製造が完了する。
【0120】
このように、本実施の形態では、圧力室10のある流路ユニット4側に形成されたマーク55に基づいてレーザー加工により個別電極235のパターンを形成するので、予め個別電極などが形成されたアクチュエータユニットを流路ユニットに接着する場合と比較して、圧電シート241上に形成される個別電極235の圧力室10に対する位置精度が向上する。これにより、インク吐出性能の均一性が優れたものとなり、インクジェットヘッド1の長尺化を図ることが容易になる。つまり、本実施の形態のようにアクチュエータユニット221を複数設け、それらを流路ユニット4の長手方向に配列するのではなく、アクチュエータユニット221として流路ユニット4と同じ程度に長いものを1つだけ用いるようにでき得る。
【0121】
また、PVDなどで導電膜238を形成する場合はペーストを印刷する場合とは異なり高温処理を行う必要がなくなるので、上述したように、圧電シート241〜244と流路ユニット4とを接着してから導電膜238の形成及びそのパターニングを行うことができるようになる。従って、アクチュエータユニット221のハンドリングが非常に容易になる。
【0122】
以上説明した本実施の形態によるインクジェットヘッドの製造方法では、圧電シート241〜244を積層する際に隣接する圧電シート間に個別電極を形成しない、つまり、圧力室10から最も離れた圧電シート241だけが活性層を含む層となるようにしているので、平面視で重なるように設けられた個別電極同士を互いに接続するためのスルーホールを圧電シート241〜44に形成する必要がない。そのため、上述したように、本実施の形態によるインクジェットヘッドは、比較的簡易な工程により低コストで製造可能である。
【0123】
さらに、本実施の形態では、4枚の圧電シート241〜244を積層し、そのうち最上層の圧電シート241だけが活性層となり残りの3枚の圧電シート242〜44が非活性層となるようにしている。このようにして製造されたインクジェットヘッド1によると、上述したように、圧力室10の容積変化量を比較的大きくすることができ、従って、個別電極235の駆動電圧の低電圧化と共に圧力室10の小型化及び高集積化を図ることが可能となる。
【0124】
また、本実施の形態では、導電膜238が除去された後もレーザ加工を引き続いて行うことにより、圧電シート241の厚さの1/3〜2/3程度の深さを有する溝部253を圧電シート241に形成する。このように、個別電極235と導電膜238との間に個別電極235の外縁に沿って溝部253を形成することによって、ある圧力室10に対応した圧電シートの変形による影響が隣接する圧力室10上の圧電シートに伝わりにくくなり、隣接した圧力室10間のクロストークの発生を低減させることが可能となっている。
【0125】
また、本実施の形態では、溝部253に対応する部分以外の導電膜238は除去しない。そのため、上述したように、接着力の強化のために個別電極235だけでなく圧電シート241上の全面にFPC136を接着により貼り合わせた場合に、個別電極235以外の領域に個別電極235とほぼ同じ厚さを有する導電膜238が存在することで、個別電極235が形成された領域とそれ以外の領域とに高低差がほとんど生じない。従って、FPC136を引き剥がそうとする外力がこれに加えられた場合であっても、FPC136とアクチュエータユニット221とが剥がれにくくなって、インクジェットヘッドの信頼性が向上するという利益が得られる。ただし、主電極部235aにFPC136を貼り付けるとアクチュエータユニット221及び圧力室10の変形が阻害されるおそれがあるため、FPC136は各個別電極235の主電極部235aには接着されていない。
【0126】
なお、本実施の形態では、レーザ加工を行う際に個別電極235となる以外の導電膜238を残存させているが、一変形例として、個別電極235となる領域以外の導電膜238は完全に除去してもよい。ただし、上述した利益が得られなくなることに加え加工時間が増加してコストアップにつながるので個別電極235となる領域以外の導電膜238の除去は特に行う必要はない。
【0127】
また、本実施の形態では、導電膜238の除去に引き続いて最上層の圧電シート241を一部除去して溝部253を形成しているが、溝部253は必ずしも形成しなくてよい。また、溝部253は共通電極234を孤立させない限りは上から2層目の圧電シート242以下まで達していてもよく、溝部253を深く形成するほどクロストーク抑制効果は大きくなる。
【0128】
また、本実施の形態では、アクチュエータユニット221と流路ユニット4とを接着してから導電膜238を形成しているが、アクチュエータユニット221上に導電膜238をPVDなどで形成してから流路ユニット4を接着するようにしてもよい。
【0129】
次に、本発明の第3の実施の形態によるインクジェットヘッドについて説明する。先ず、本実施の形態に係るインクジェットヘッド301の概略構成について、図28〜図30に基づき説明する。
【0130】
図28〜図30に示すように、インクジェットヘッド301は、略長方形に形成された薄い金属板の積層構造からなる流路ユニット302の上に、後述のように形成された平面視略台形状のプレート型の4枚の各アクチュエータユニット320(図31〜図36参照)が千鳥状になって2列に積層された構造となっている。そして、この各アクチュエータユニット320の各々の上側には、FPC303の先端部に形成される電極パターン部303aが載置され、ハンダ付けにより電気的に接続されている。この電極パターン部303aは、このアクチュエータユニット320の形状にほぼ等しい平面視略台形状に形成されている。
【0131】
各アクチュエータユニット320は、その平行対向辺(上辺及び下辺)が流路ユニット302の長手方向に沿うように配置されている。また、隣接するアクチュエータユニット320の斜辺同士が、流路ユニット302の幅方向にオーバーラップしている。アクチュエータユニット320が積層される流路ユニット302の表面には、ほぼ菱形形状に形成された圧力室310が要求される印字密度に対応してマトリックス状に配列されている。また、この複数列の各圧力室310は、この圧力室310の鋭角部を互いに他の列の圧力室310間に入り込ませるように高密度に配置されている。
【0132】
また、流路ユニット302は、略長方形の金属板の板材を9枚積層した9層構造になっている。具体的には、流路ユニット302は、図30(b)に示すように、下層から、ノズルプレート311、カバープレート312、3枚のマニホールドプレート313、314、315、サプライプレート316、アパーチャプレート317、スペーサプレート318及びキャビティプレート319の9枚の薄い金属板を積層した構造となっている。
【0133】
図28に示すように、アクチュエータユニット320が設けられない流路ユニット302の各領域には、各アクチュエータユニット320の上辺に対向するようにインクが供給される各インク導入口319aが2つずつ対になって長手方向に千鳥状に設けられている。また、左右両端部の各アクチュエータユニット320の下辺の外側近傍位置にも各インク導入口319aが1つずつ設けられている。この各インク導入口319aのキャビティプレート319における下端には、インク内のゴミが侵入するのを防ぐための微細な貫通孔が多数形成される不図示のフィルタが設けられている。そして、各インク導入口319aは、各マニホールドプレート313、314、315によって形成される後述のインクマニホールド通路に連通し、このインクマニホールド通路へインクが供給される。
【0134】
図30(b)に示すように、ノズルプレート311には、微小径のインク吐出口311aが、多数個穿設されている。また、カバープレート312には、各インク吐出口311aに対向する位置にインク吐出口311aに連通した微小径のインクの通路である貫通孔312aが多数穿設されると共に、各マニホールドプレート313、314、315によって形成される後述のインクマニホールド通路の1つの壁面を構成している。
【0135】
マニホールドプレート313には、貫通孔312aに対向する位置に貫通孔312aに連通した微小径のインクの通路である貫通孔313aが多数穿設されると共に、インクマニホールド通路の一部を構成する溝状の孔部313bが長手方向に沿って延びるように各圧力室310の各列に沿って複数列形成されている。
【0136】
マニホールドプレート314には、貫通孔313aに対向する位置に貫通孔313aに連通した微小径のインクの通路である貫通孔314aが多数穿設されると共に、インクマニホールド通路の一部を構成する溝状の孔部314bが長手方向に沿って延びるように各圧力室310の各列に沿って複数列形成されている。
【0137】
マニホールドプレート315には、貫通孔314aに対向する位置に該貫通孔314aに連通した微小径のインクの通路である貫通孔315aが多数穿設されると共に、インクマニホールド通路の一部を構成する溝状の孔部315bが長手方向に沿って延びるように各圧力室310の各列に沿って複数列形成されている。
【0138】
サプライプレート316には、貫通孔315aに対向する位置に貫通孔315aに連通した微小径のインクの通路である貫通孔316aが多数穿設されている。また、このサプライプレート316の貫通孔316aに対して圧力室310の鋭角部と反対の対角線方向で、かつ、孔部315bの側端縁部の近傍位置(図30(b)中、右側端縁部の近傍位置)には、インクマニホールド通路に連通してインクの供給通路を形成する貫通孔316bが多数穿設されている。
【0139】
このようにして、カバープレート312の上面、溝状の各孔部313b、314b、315b、及びサプライプレート316の底面によって構成され、インクを各圧力室310に供給する共通のインク室として働くインクマニホールド通路が、長手方向に複数列形成されている。
【0140】
アパーチャプレート317には、貫通孔316aに連通した微小径のインクの通路である貫通孔317aが多数穿設されている。また、このアパーチャプレート317には、各圧力室310のインク供給側の鋭角部の下側の位置に貫通孔317bが穿設されると共に、貫通孔317bの下端部から貫通孔316bに対向する位置まで溝状の凹部であるアパーチャ317cが底面部に形成されている。このアパーチャ317cは、アパーチャプレート317の厚みの約半分程度の深さを有している。
【0141】
スペーサプレート318には、各貫通孔317aに連通する貫通孔318aが多数穿設されている。また、スペーサプレート318には、各貫通孔317bに連通する貫通孔318bが多数穿設されている。
【0142】
キャビティプレート319には、略菱形形状の圧力室310が多数形成されている。また、スペーサプレート318に穿設された各貫通孔318a、318bは、圧力室310の各鋭角部に対向するように配置されている。そして、この各圧力室310の上面は、上側に積層される各アクチュエータユニット320によって塞がれている。
【0143】
図29に示すように、アクチュエータユニット320の上面には、個別電極325が形成されている。個別電極325は、主電極部325aと、補助電極部325bとから構成されている。主電極部325aは、各圧力室310に対応する位置にあって、菱形の圧力室310の投影形状よりも少し小さいほぼ相似形の略菱形形状を有している。また、図30(a)に示すように、補助電極部325bは、圧力室310のインク供給側の鋭角部に対応する主電極部325aの鋭角部から圧力室310の外側に対応する位置まで連続して引き出されており、略菱形形状を有している。なお、図面を見やすくするため、図29においては、後述する導電膜328の上面部328a及び溝330の図示を省略している。
【0144】
次に、アクチュエータユニット320の詳細な構造について図31及び図32に基づいて説明する。図31に示すように、アクチュエータユニット320の上面には、厚さ1.1μm程度の主電極部325a及び補助電極部325bが各圧力室310に対向して配置されている。また、各補助電極部325bは、平面視においてそのほとんどの領域が圧力室310の外側に形成されている。
【0145】
アクチュエータユニット320の上面の主電極部325a及び補助電極部325bから形成される個別電極325以外の領域には、そのほとんどがこの各個別電極325と同じ厚みで同じ材料からなる導電膜328の上面部328a(表面電極として機能する)で被覆されている。また、各個別電極325と導電膜328の上面部328aとの間は、この個別電極325の外縁に沿ってアクチュエータユニット320の表面に形成された幅30μm程度、深さ5〜10μm程度の溝330によって絶縁されている。この溝330によって隣接する活性層同士の相互干渉が軽減されるので、クロストークの発生を抑制することができる。
【0146】
図32に示すように、アクチュエータユニット320は、各々厚みが15μm程度の平面視略台形状で同じになるように形成された4枚の圧電シート321、322、323、324を積層した構造に形成されている。圧電シート321の上面には、上記のように、各圧力室310に対応する位置に圧力室310の投影形状よりも少し小さいほぼ相似形の略菱形の主電極部325aと、主電極部325aの鋭角部から圧力室310の外側に対応する位置まで連続して引き出される略菱形形状の補助電極部325bとから構成された個別電極325が形成されている。
【0147】
圧電シート322の上面には、そのほぼ全面にわたって厚み2μm程度の共通電極326が形成されている。共通電極326は、圧電シート322の左右両側面(アクチュエータユニット320の両斜辺に相当する側面)にまで延在し、アクチュエータユニット320の側面から露出している。圧電シート323の上面には、電極が形成されていない。
【0148】
圧電シート324の上面には、そのほぼ全面にわたって厚み2μm程度の補強用電極327が形成されている。補強用電極327は、圧電シート324の左右両側面(アクチュエータユニット320の両斜辺に相当する側面)にまで延在し、アクチュエータユニット320の側面から露出している。なお、補強用電極327は、必ずしも、外部に露出させないでよい。
【0149】
図32及び図34に示すように、アクチュエータユニット320の左右両側面(両斜辺に相当する側面)は、アクチュエータユニット320の上面から左右側面にまで延在した導電膜328の側面部328bによって被覆されている。これにより、共通電極326及び補強用電極327が導電膜328と接触し、これと電気的に接続されている。導電膜328は、さらに、アクチュエータユニット320の下面にまで延在することで下面部328cを有しており、下面部328cはアクチュエータユニット320の圧力室310に臨んでいない領域を被覆している。ただし、図32に示すように、下面部328cの最も圧力室310に近い端部は、圧力室310からやや離れている。これは、導電膜328がインクによって腐食するのを防止するためである。
【0150】
アクチュエータユニット320の上面には、ドライバICから延設されるFPC303が配設されている。FPC303からは、各補助電極部325b及び導電膜328を介して主電極部325a及び共通電極326にそれぞれ駆動電圧が供給される。主電極部325a及び共通電極326に駆動電圧が供給されることにより、アクチュエータユニット320の圧電シート321〜324が変形して、流路ユニット302の対応する圧力室310内のインクに圧力を与えることができる。
【0151】
各インク導入口319aを介してカバープレート312の上面、溝状の各孔部313b〜315b、及びサプライプレート316の底面部から構成されるインクマニホールド通路から供給されるインクは、貫通孔316b、アパーチャ317c、貫通孔317b及び貫通孔318bを経て、圧力室310に流入する。そして、FPC303を介して主電極部325aと共通電極326との間に駆動電圧が印可されると、アクチュエータユニット320が圧力室310側に変形して、圧力室310内のインクは押し出され、各貫通孔318a〜312aを経て、インク吐出口311aからインクが吐出される。
【0152】
次に、アクチュエータユニット320の製造方法について図33〜図36に基づいて説明する。先ず、図33に示すように、アクチュエータユニット320の圧電シート322となるセラミックス材料のグリーンシート及び圧電シート324となるセラミックス材料のグリーンシートの上面全面にAg−Pb系の金属材料からなる導電性ペーストを塗布して乾燥し、共通電極326及び補強用電極327をそれぞれ形成する。その後、圧電シート221、222、223、224となるセラミックス材料のグリーンシートをこの順番で積層後、プレスして焼成する。これにより、平面視略台形状の4層の圧電シート321〜324を含む積層体335が形成される。積層体335の左右斜辺に相当する側面からは、共通電極326及び補強用電極327が露出している。
【0153】
続いて、図35(a)に示すように、焼成後の積層体335の、上面(図34(b)における上面)、4つの側面のうちの2つの側面(図34(a)における左右斜辺に対応した側面)、及び、下面であって前記2つの側面との接続部から一定距離内の領域に、Ni層(膜厚1μm程度)を形成する。この一定距離は、Ni層が流路ユニット302の圧力室310に臨まないような距離に設定されている。そして、この下地としてのNi層の上側に、表層としてAu層(膜厚0.1μm程度)を形成する。Ni層、Au層は、PVD、印刷又はメッキにより形成される。これにより、積層体335の上面、2つの側面、及び、下面であって前記2つの側面との接続部から一定距離内の領域に、Ni層とAu層とが積層された導電膜328(328a、328b、328c)が形成される。導電膜328は、積層体335の左右斜辺に相当する側面から露出する共通電極326及び補強用電極327と電気的に接続される。このときの図35(a)の一点鎖線で囲まれた領域の部分拡大図を図36(a)に示す。
【0154】
その後、積層体335の上面の4隅の角部にエッチングにより円形の位置決めマーク336を形成する。このようにして積層体338が作成される。
【0155】
なお、上述した工程は、下面のうち圧力室310に臨むことになる領域と位置決めマーク336とを同時にマスクした後、Ni層及びAu層を形成して、その後にマスクを除去する工程に置き換えることもできる。このようにすると、位置決めマーク336を導電膜328の形成と同時に形成でき製造工数の削減を図ることができる。
【0156】
しかる後、図35(b)に示すように、積層体338の上面に形成された位置決めマーク336を基準にして、平面視で圧力室310の外縁やや内側にレーザが照射されるよう出射方向を制御しつつ例えばYAGレーザを用いてレーザ加工を行い、図31に示す溝330に対応する領域の導電膜328を除去する。こうして導電膜328を部分的に除去することにより、導電膜328とは絶縁された主電極部325a及び補助電極部325bとからなる個別電極325のパターンが形成され、アクチュエータユニット320が作製される。このときの図35(b)の一点鎖線で囲まれた領域の部分拡大図を図36(b)に示す。
【0157】
次に、アクチュエータユニット320を流路ユニット302上に配設する方法について図37及び図38に基づいて説明する。図37に示すように、流路ユニット302のキャビティプレート319においてアクチュエータユニット320によって覆われない表面領域の所定位置には、位置合わせ用の目印として複数の位置合わせマーク340を形成する。位置合わせマーク340は、圧力室310を形成する際に同時に形成する。そのため、圧力室310に対する位置合わせマーク340の位置精度は高精度となる。
【0158】
続いて、図38に示すように、上述のようにして作製されたアクチュエータユニット320を、導電膜328の下面部328cとキャビティプレート319の上面の圧力室310以外の部分とが接触するように、接着剤により流路ユニット302と接着する。この際、流路ユニット302の表面に形成された位置合わせマーク340と、アクチュエータユニット320の上面に形成された位置決めマーク336とが所定位置関係(例えば流路ユニット302の長手方向に両者が所定距離離れているといった関係)となるように両者を接着する。これにより、導電膜328と流路ユニット302とが電気的に接続される。また、アクチュエータユニット320上に形成された個別電極325の圧力室310に対する位置精度を高精度とすることができる。従って、インク吐出性能の均一性が優れたものとなり、インクジェットヘッド301の長尺化を図ることが容易になる。
【0159】
その後、アクチュエータユニット320の各補助電極部325b及び導電膜328の上面部328aに駆動電圧を供給するために、FPC303の電極パターン部303aを、アクチュエータユニット320上に熱圧着などにより半田付けする。そして、さらに所定の工程を経ることによりインクジェットヘッド301の製造が完了する。
【0160】
以上詳細に説明した通り、本実施の形態のインクジェットヘッド301において、流路ユニット302は、9枚の薄い金属プレート311〜319を積層した構造となっている。また、キャビティプレート319には、略菱形形状の圧力室310がマトリックス上に配列されて多数形成されていると共に、複数の位置合わせマーク340がアクチュエータユニット320によって覆われない表面領域の所定位置に形成されている。一方、アクチュエータユニット320の上面、2つの側面、及び、下面の一部であって圧力室310に臨まない領域を被覆するように、導電膜328が形成されている。そして、圧電シート321〜324が積層されたアクチュエータユニット320の内部に配置される共通電極326及び補強用電極327が、アクチュエータユニット320の左右斜辺に相当する側面から露出して導電膜328の側面部328bと接触してこれと電気的に導通している。そのため、個別電極325の補助電極部325bと導電膜328の上面部328aとにFPC303の電極パターン部303aの導体パターンを重ねて電気的に接続することによって、個別電極325及び共通電極326の電位を制御することができるようになるので、インクジェットヘッド301の組立工数の削減を図ることができる。また、導電膜328の側面部328bが、アクチュエータユニット320の両側面で共通電極326と電気的に接続されているため、アクチュエータユニット320上に形成される接地用電極と共通電極326との相互間を電気的に接続するためのスルーホール等を形成する必要がない。そのため、インクジェットヘッド301の製造コストの削減を図ることができる。また、共通電極326が露出したアクチュエータユニット320の2つの側面のほぼ全面が導電膜328の側面部328bによって覆われているため、共通電極326と導電膜328との電気的接続を確実に行うことができる。
【0161】
本実施の形態のインクジェットヘッド301を製造するには、アクチュエータユニット320の上面に形成された位置決めマーク336に基づいて、レーザ加工により個別電極325のパターンが形成され、しかる後、流路ユニット302に形成された位置合わせマーク340と、アクチュエータユニット320に形成された位置決めマーク336とが所定位置関係となるように両者が接着される。そのため、個別電極325と圧力室310とを高い位置精度で位置合わせすることができる。
【0162】
また、アクチュエータユニット320を流路ユニット302に積層することによって、共通電極326と流路ユニット302とが導電膜328を介して電気的に導通するため、部品点数及び組立工数を増やすことなく共通電極326と流路ユニット302とを等電位にすることができる。これにより、製造コストの削減を図ることができると共に、インクの帯電に起因して流路ユニット302又は圧電シート324が腐食するのを防止することができる。
【0163】
さらに、アクチュエータユニット320の内部に配置される共通電極326がアクチュエータユニット320の上面を覆う導電膜328と確実に導通されると共に、各個別電極325と導電膜328とが電気的に確実に絶縁されるため、アクチュエータユニット320の上面に共通電極326に導通する接地用の電極としての導電膜328と各個別電極325とを容易に形成することができると共に、スルーホール等を形成する必要がないため、アクチュエータユニット320の製造コストの削減を図ることができる。
【0164】
次に、本実施の形態の変形例について説明する。本実施の形態において、図39(a)及び図39(b)に示すように、積層体338に形成された位置決めマーク336と、流路ユニット302に形成された位置合わせマーク340とに基づいて両者を接着した後、位置合わせマーク340に基づいてレーザ加工により積層体338の上面に個別電極325のパターンを形成することによってアクチュエータユニット320を形成してもよい。これにより、アクチュエータユニット320上に形成される個別電極325の圧力室310に対する位置精度をさらに高精度とすることができる。従って、インク吐出性能の均一性の向上を図ることができ、インクジェットヘッド301の長尺化をより容易に行うことができる。なお、図39(a)及び図39(b)において、本実施の形態に係るインクジェットヘッド301と同一符号は、インクジェットヘッド301と同一あるいは相当部分を示すものである。
【0165】
また、本実施の形態では、アクチュエータユニット320の左右斜辺に相当する2つの側面の全領域に導電膜328を形成しているが、アクチュエータユニット320の左右斜辺に相当する2つの側面のうちのいずれか一方の一部分だけに導電膜328を形成してもよい。また、本実施の形態では、アクチュエータユニット320の下面であって圧力室310に臨まないほぼ全領域にわたって導電膜328を形成したが、下面内においてこれよりも小さい領域だけに導電膜328を形成してもよい。これにより、導電膜328を形成するために必要な材料の使用量を削減することができる。
【0166】
さらに、本実施の形態では、アクチュエータユニット320の左右斜辺に相当する2つの側面に導電膜328を形成しているが、アクチュエータユニット320の上辺及び下辺に相当する側面に導電膜328を形成してもよい。また、このとき、アクチュエータユニット320の上辺及び下辺に相当する側面近傍の下面であって、圧力室310に臨まないほぼ領域に導電膜328を形成してもよい。これにより、共通電極326と流路ユニット302との電気的な接続を導電膜328を介してさらに確実に行うことができる。
【0167】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、上述した3つの実施の形態で用いられている圧電シートや電極の材料は、上述したものに限らず、その他の公知の材料に変更してもよい。また、圧力室の平面形状や断面形状、配置形態、そして、活性層を含む圧電シートの数、非活性層の数などは、適宜変更してよい。また、活性層を含む圧電シートと非活性層とで層厚を異なる厚みにしてもよい。
【0168】
また、上述の実施の形態では、圧電シートに個別電極及び共通電極を配置することでアクチュエータユニットを形成しているが、必ずしもこのようなアクチュエータユニットを流路ユニットに接着する必要はなく、アクチュエータユニットは各圧力室の容積を個別に変化させることができるものであれば他のものを用いることもできる。また、上述の実施の形態では、圧力室がマトリクス状に配置されたものについて説明したが、圧力室が一列又は複数列に列設されたものについても本発明を適用することが可能である。
【0169】
上述の実施の形態では、圧力室から最も離れた最上層の圧電シートだけに活性層を形成しているが、最上層の圧電シートは必ずしも活性層を含んでいなくてもよく、また、最上層の圧電シートに加えてそれ以外の圧電シートに活性層を形成してもよい。これらの場合であっても、十分なクロストークの抑制効果を得ることができる。また、上述の実施の形態のインクジェットヘッドは圧電横効果を利用したユニモルフ構造を有するものであるが、これとは異なり、活性層を含む層を非活性層よりも圧力室側に配置した圧電縦効果を利用したインクジェットヘッドにも本発明は適用可能である。
【0170】
また、上述の実施の形態では、エッチングにより流路ユニットを構成する各プレートに開孔やマークを形成しているが、エッチング以外の方法で各プレートに開孔やマークを形成してもよい。
【0171】
さらに、上述の実施の形態では非活性層はすべて圧電シートであるが、非活性層として圧電シート以外の絶縁シートを用いてもよい。また、本発明において、アクチュエータユニットは、複数の圧力室に跨って連続して配置されていなくてもよい。つまり、アクチュエータユニットは各圧力室ごとに独立したものが圧力室の数ずつ流路ユニットに貼り付けられていてもよい。
【0172】
また、本発明において、圧電シート含有体は、上述の実施の形態のように、共通電極と個別電極とによって挟まれた活性層が存在する圧電シート1層だけを含むものであってもよいし、活性層が存在する一又は複数の圧電シートのほかにこれに積層された非活性層としての複数のシート状部材を含むものであってもよい。
【0173】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、流路ユニットにある各圧力室とアクチュエータユニットにある個別電極とを高い精度で位置合わせすることが可能となり、インクジェットプリンタで形成される画像の画質が向上する。
【0174】
また、アクチュエータユニットに貼り合わせられるFPCなどの外部接続部材がアクチュエータユニットから剥がれにくく信頼性の高いインクジェットヘッドが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態によるインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの概略図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態によるインクジェットヘッドの斜視図である。
【図3】図2のIII−III線に沿った断面図である。
【図4】図2に描かれたインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の平面図である。
【図5】図4内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図6】図5内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図7】図4に描かれたヘッド本体の部分断面図である。
【図8】図5内に描かれた二点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図9】図4に描かれたヘッド本体の部分分解斜視図である。
【図10】図6に示す領域におけるアクチュエータユニットの拡大平面図である。
【図11】図10のXI−XI線に沿った図4に示すヘッド本体の部分断面図である。
【図12】第1の製造方法に基づいた図4に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、マークが形成されたキャビティプレートを示す平面図である。
【図13】図13(a)及び図13(b)は、それぞれ、第1の製造方法に基づいた図4に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における部分断面図である。
【図14】図14(a)及び図14(b)は、それぞれ、第1の製造方法に基づいた図4に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、アクチュエータユニットの部分拡大断面図である。
【図15】第1の製造方法に基づいた図4に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、印刷が施される領域を説明するための平面図である。
【図16】図16(a)及び図16(b)は、それぞれ、第2の製造方法に基づいた図4に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における部分断面図である。
【図17】図17(a)及び図17(b)は、それぞれ、第2の製造方法に基づいた図4に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、アクチュエータユニットの部分拡大断面図である。
【図18】第2の製造方法に基づいた図4に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、メタルマスクが配置された領域を説明するための平面図である。
【図19】図19(a)及び図19(b)は、それぞれ、第3の製造方法に基づいた図4に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における部分断面図である。
【図20】第3の製造方法に基づいた図4に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、フォトレジストが配置された領域を説明するための平面図である。
【図21】本発明の第2の実施の形態によるインクジェットヘッドにおけるアクチュエータユニットの拡大平面図である。
【図22】図21のXXII−XXII線に沿ったインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図23】本発明の第2の実施の形態によるインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、マークが形成されたキャビティプレートを示す平面図である。
【図24】本発明の第2の実施の形態によるインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、アクチュエータユニットの部分拡大断面図である。
【図25】本発明の第2の実施の形態によるインクジェットヘッドの製造途中の一過程における部分断面図である。
【図26】図25に対応した部分拡大断面図である。
【図27】本発明の第2の実施の形態によるインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、レーザ照射される領域を説明するための平面図である。
【図28】本発明の第3の実施の形態によるインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図29】図28に示すインクジェットヘッドにおける流路ユニット及びアクチュエータユニットの要部分解斜視図である。
【図30】図30(a)は、図28に示すインクジェットヘッドにおける圧力室及び個別電極の平面図である。
図30(b)は、図28に示すインクジェットヘッドの部分縦断面図である。
【図31】図28に示すインクジェットヘッドにおけるアクチュエータユニットの拡大部分平面図である。
【図32】図31のXXXII−XXXII線に沿ったインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図33】図28に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程におけるアクチュエータユニットの分解斜視図である。
【図34】図34(a)、図34(b)及び図34(c)は、それぞれ、アクチュエータユニットとなる積層体の平面図、正面図及び底面図である。
【図35】図35(a)及び図35(b)は、それぞれ、図28に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における部分断面図である。
【図36】図36(a)及び図36(b)は、それぞれ、図28に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、アクチュエータユニットの部分拡大断面図である。
【図37】図28に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、位置合わせマークの一例を示す平面図である。
【図38】図28に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、流路ユニット上にアクチュエータユニットが接着された状態を示す平面図である。
【図39】図39(a)及び図39(b)は、それぞれ、図28に示すインクジェットヘッドの変形例としての製造途中の一過程における部分断面図である。
【符号の説明】
1 インクジェットヘッド
1a ヘッド本体
4 流路ユニット
5 マニホールド
5a 副マニホールド
8 インク吐出口
10 圧力室
12 アパーチャ
21 アクチュエータユニット
22 キャビティプレート
30 ノズルプレート
32 インク流路
34 共通電極
35 個別電極
35a 主電極部
35b 補助電極部
36a,36b 補強用電極
41 圧電シート(活性層を含む層)
42、43、44 圧電シート(非活性層)
55 マーク
101 インクジェットプリンタ
136 フレキシブルプリント回路(FPC)[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an inkjet head that performs printing by discharging ink onto a print medium, a method of manufacturing the same, an inkjet printer, and a method of manufacturing an actuator unit.
[0002]
[Prior art]
In an ink jet printer, an ink jet head distributes ink supplied from an ink tank to a plurality of pressure chambers, and discharges ink from nozzles by selectively applying a pulsed pressure to each pressure chamber. As one means for selectively applying pressure to the pressure chamber, an actuator unit in which a plurality of ceramic piezoelectric sheets are stacked may be used.
[0003]
As an example of such an ink jet head, a plurality of continuous flat-plate-like piezoelectric sheets straddling a plurality of pressure chambers are stacked, and at least one of the piezoelectric sheets is common to many pressure chambers and held at a ground potential. 2. Description of the Related Art There is known an actuator having one actuator unit sandwiched between a common electrode and a number of individual electrodes arranged at positions corresponding to the respective pressure chambers, that is, drive electrodes (see Patent Document 1). The portion of the piezoelectric sheet sandwiched between the driving electrode and the common electrode and polarized in the stacking direction functions as an active layer by applying an external electric field. Therefore, when the driving electrodes on both sides thereof are set to a potential different from that of the common electrode, the active layer expands and contracts in the stacking direction of the piezoelectric sheets due to a so-called piezoelectric longitudinal effect. As a result, the volume in the pressure chamber fluctuates, and ink can be ejected from the nozzles communicating with the pressure chamber toward the print medium.
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-4-341852
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
Therefore, in order to ensure good ink ejection performance in such an ink jet head, the actuator unit is positioned relative to the flow path unit such that the position of the active layer defined by each individual electrode in plan view overlaps the pressure chamber. Must be precisely aligned.
[0006]
In such an ink-jet head, the common electrode and the individual electrode are formed by printing the conductive paste serving as the common electrode and the individual electrode in a predetermined pattern on the piezoelectric sheet and then heating the paste. Generally, when the common electrode and the individual electrode are formed by printing the paste, the paste is heated together with the piezoelectric sheet at a high temperature exceeding the heat resistant temperature of the adhesive. Therefore, after the flow path unit having the ink flow path including the pressure chamber and the like and the actuator unit are separately manufactured, the two must be bonded to each other using the adhesive with the pressure chamber inside.
[0007]
However, as described above, the actuator unit is a sintered body manufactured by subjecting the conductive electrode material and the piezoelectric sheet to high-temperature heat treatment, whereas the channel unit is formed by bonding a plurality of metal sheets with an adhesive. It is a laminated body that is bonded. Among them, in an actuator unit in which a constituent material is shrunk in a high-temperature sintering step, the dimensional accuracy of the individual electrodes decreases as the size of the piezoelectric sheet increases. Therefore, as the head becomes longer, it becomes more difficult to align the pressure chamber in the flow path unit with the individual electrodes in the actuator unit, and the production yield of the head decreases.
[0008]
An external connection member such as a flexible printed circuit (FPC) is attached on the actuator unit to connect the individual electrodes and the driver IC. Therefore, the external connection member needs to be firmly attached to the actuator unit.
[0009]
Therefore, one object of the present invention is to provide a method of manufacturing an ink jet head that can align each pressure chamber in a flow path unit with an individual electrode in an actuator unit with high accuracy.
[0010]
Another object of the present invention is to provide a highly reliable inkjet head in which an external connection member such as an FPC bonded to an actuator unit is hardly peeled off from the actuator unit, and a method of manufacturing the actuator unit used in the inkjet head. It is.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
According to one aspect of the present invention, a flow path unit includes a plurality of pressure chambers each having one end connected to a nozzle and the other end connected to an ink supply source, wherein the plurality of pressure chambers are arranged adjacent to each other along a plane. And an actuator unit fixed to one surface of the flow path unit to change the volume of the pressure chamber, a common electrode maintained at a constant potential, and an individual unit disposed at a position corresponding to each pressure chamber. Forming a mark on the one surface of the flow path unit, wherein the electrode and an actuator unit including an actuator unit including a piezoelectric sheet sandwiched between the common electrode and the individual electrode; A step of preparing a piezoelectric sheet-containing body including the piezoelectric sheet supporting electrodes, and fixing the piezoelectric sheet-containing body to the one surface of the flow path unit And forming the individual electrodes on a surface of the piezoelectric sheet-containing member fixed to the flow channel unit on a surface opposite to a fixing surface with the flow channel unit, based on the mark. A method of manufacturing an ink jet head provided, an ink jet head manufactured by the method, and an ink jet printer including the same are provided.
[0012]
According to this, the individual electrodes are formed on the piezoelectric sheet-containing body based on the marks formed on the flow path unit after the piezoelectric sheet-containing body serving as the actuator unit and the flow path unit are fixed. As compared with the case where the actuator unit formed with is formed on the channel unit, an ink jet head in which the positional accuracy of the individual electrodes on the actuator unit with respect to the pressure chambers can be improved.
[0013]
In the present invention, the order of each step can be appropriately changed. For example, the step of forming a mark may be performed after the step of preparing a piezoelectric sheet-containing body.
[0014]
According to another aspect of the present invention, a flow path unit includes a plurality of pressure chambers each having one end connected to a nozzle and the other end connected to an ink supply source, wherein the plurality of pressure chambers are arranged adjacent to each other along a plane. And an actuator unit fixed to one surface of the flow path unit to change the volume of the pressure chamber, a common electrode maintained at a constant potential, and an individual unit disposed at a position corresponding to each pressure chamber. An electrode, and a method of manufacturing an ink jet head having an actuator unit including a piezoelectric sheet sandwiched between the common electrode and the individual electrode, wherein a step of forming a first mark on the one surface of the flow path unit; Preparing a piezoelectric sheet-containing body including the piezoelectric sheet supporting the common electrode, and forming a second mark on the piezoelectric sheet-containing body; Fixing the piezoelectric sheet-containing member to the one surface of the flow path unit so that the first mark and the second mark have a predetermined positional relationship; and the first mark or the second mark. Forming an individual electrode on the piezoelectric sheet-containing body based on a mark.
[0015]
According to this, the marks formed on both the piezoelectric sheet containing body serving as the actuator unit and the flow path unit are fixed so as to have a predetermined positional relationship, and then the marks formed on the piezoelectric sheet containing body or the flow path unit are formed. Since the individual electrodes are formed on the piezoelectric sheet-containing body based on the above, the position of the individual electrodes on the actuator unit with respect to the pressure chambers in comparison with the case where the actuator unit in which the individual electrodes are formed in advance is fixed to the channel unit. An inkjet head with improved accuracy can be obtained.
[0016]
According to another aspect of the present invention, the method includes a plurality of pressure chambers each having one end connected to a nozzle and the other end connected to an ink supply source, wherein the plurality of pressure chambers are arranged adjacent to each other along a plane. A passage unit and an actuator unit fixed to one surface of the flow passage unit to change the volume of the pressure chamber, a common electrode maintained at a constant potential, disposed at a position corresponding to each pressure chamber. An individual electrode, and an actuator unit including a piezoelectric sheet sandwiched between the common electrode and the individual electrode, and the individual electrode on a surface of the actuator unit opposite to a surface on which the flow path unit is fixed. An ink jet head comprising: a conductive film formed to have substantially the same thickness as the individual electrodes while maintaining a distance from the ink jet head.
[0017]
According to this, the conductive film formed in a region other than the individual electrode for strengthening the fixing force between the external connection member such as the FPC and the actuator unit has substantially the same thickness as the individual electrode. Almost no difference in height occurs between the region where the electrode is formed and the region where the conductive film is formed. Therefore, the external connection member bonded to the actuator unit is hardly peeled off, and the reliability of the ink jet head is improved.
[0018]
According to still another aspect of the present invention, in a method of manufacturing an actuator unit including a piezoelectric sheet, the actuator unit being stacked on a flow path unit in which a plurality of pressure chambers are formed; A step of preparing a piezoelectric sheet-containing body including the piezoelectric sheet supporting a common electrode provided in common, wherein the piezoelectric sheet-containing body in which the common electrode is exposed from a side surface thereof; A step of forming a surface electrode that contacts the common electrode on a side surface of the piezoelectric sheet-containing body while covering a surface opposite to a surface serving as a fixing surface with the flow channel unit, and corresponding to each pressure chamber. Partially removing the surface electrode so that an individual electrode is formed at a position.
[0019]
According to this, since there is almost no height difference between the individual electrode and the surface electrode, the external connection member is similarly bonded to both electrodes of the actuator unit, and it is difficult for the external connection member to be separated from the actuator unit. Therefore, the reliability of the inkjet head is improved. In addition, since the common electrode and the surface electrode can be electrically connected without performing a complicated process of forming a through hole in the piezoelectric sheet, the manufacturing cost can be reduced.
[0020]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0021]
FIG. 1 is a schematic diagram of an ink jet printer including an ink jet head according to a first embodiment of the present invention. An
[0022]
Inside the
[0023]
Pressing
[0024]
A
[0025]
The four
[0026]
The head
[0027]
The
[0028]
When printing is being performed by the
[0029]
The
[0030]
In a region surrounded by the
[0031]
Next, the structure of the
[0032]
As shown in FIG. 2, the
[0033]
At both ends of the
[0034]
Inside the
[0035]
The
[0036]
A
[0037]
A
[0038]
As shown in FIG. 2, in the vicinity of a lower corner portion of the
[0039]
FIG. 4 is a schematic plan view of the head
[0040]
The lower surface of the
[0041]
FIG. 5 is an enlarged view of a region surrounded by a chain line drawn in FIG. As shown in FIGS. 4 and 5, the
[0042]
FIG. 6 is an enlarged view of a region surrounded by a chain line drawn in FIG. As shown in FIGS. 5 and 6, on the upper surface of the
[0043]
FIG. 7 is a partial cross-sectional view of the head
[0044]
As is clear from FIG. 7, the
[0045]
The
[0046]
Next, the structure of the
[0047]
The
[0048]
As described above, the first
[0049]
As shown in FIG. 8, the nozzles communicating with the
[0050]
On the other hand, when the nozzles are always in communication with the acute angle portion on the same side of the
[0051]
In the
[0052]
The 12 nozzles belonging to one band-shaped region R are projected on a straight line extending in the first arrangement direction, and the positions of the 12 nozzles are described as (1) to (12) in the order from the left. Then, these 12 nozzles, from the bottom, (1), (7), (2), (8), (5), (11), (6), (12), (9), ( 3), (10), and (4).
[0053]
In the
[0054]
For example, a case where a straight line extending in the first arrangement direction is printed at a resolution of 600 dpi will be described. First, the case where the nozzle communicates with the acute angle portion on the same side of the
[0055]
On the other hand, in the present embodiment, ink starts to be ejected from the nozzles in the lowermost
[0056]
That is, as shown in FIG. 8, in response to the printing medium being conveyed, first, ink is ejected from the nozzle (1) communicating with the lowermost
[0057]
Next, as the printing medium is transported, when the straight line formation position reaches the position of the nozzle (2) communicating with the third
[0058]
In the same manner, ink dots are successively formed while sequentially selecting the nozzles communicating with the
[0059]
Next, a sectional structure of the
[0060]
As will be described in detail later, the
[0061]
These ten
[0062]
Next, a detailed structure of the
[0063]
As shown in FIG. 10,
[0064]
As shown in FIG. 11, the
[0065]
Between the
[0066]
The
[0067]
In the
[0068]
As another driving method, the
[0069]
If the direction of the electric field applied to the
[0070]
As described above, in the
[0071]
Further, the
[0072]
Since the
[0073]
In addition, according to the
[0074]
In addition, the
[0075]
Next, a first manufacturing method of the
[0076]
In order to manufacture the
[0077]
As a modification, the
[0078]
Also, holes are formed in the eight
[0079]
On the other hand, to manufacture the
[0080]
Next, the laminate to be the
[0081]
Thereafter, as shown in FIGS. 13B and 15, the
[0082]
Next, a firing step is performed to sinter the
[0083]
Thereafter, an
[0084]
In the manufacturing method of the ink jet head described above, the pattern of the
[0085]
Further, in the present manufacturing method, as described above, since the printing and baking of the
[0086]
In the present manufacturing method, when the
[0087]
Further, in the present manufacturing method, four
[0088]
As a modified example, after firing the laminate including the
[0089]
Further, as described above, by providing the reinforcing
[0090]
Further, in the present embodiment, as described above, the
[0091]
Next, a second method of manufacturing the
[0092]
First, from the state shown in FIG. 13A in which the bonding process has been performed, the
[0093]
Thereafter, as shown in FIG. 16 (b) and FIG. 17 (b) which is a partially enlarged view of the region surrounded by the dashed line, the
[0094]
Then, after moving the
[0095]
As described above, in the present manufacturing method, since the pattern of the
[0096]
Further, since the
[0097]
Also, according to the present manufacturing method, unlike the case of printing as performed in the first manufacturing method, it is not necessary to consider the heat-resistant temperature of the adhesive or the firing temperature of the conductive paste. The range of paste material selection is expanded.
[0098]
In this manufacturing method, only the
[0099]
In the present manufacturing method, for example, the
[0100]
Next, a third method of manufacturing the
[0101]
First, a
[0102]
Next, a
[0103]
Thereafter, using the remaining
[0104]
Thereafter, after removing the remaining
[0105]
According to the third manufacturing method, the same advantages as in the first and second manufacturing methods can be obtained.
[0106]
Next, a modification of the third manufacturing method will be described. In this modification, in the step of laminating the
[0107]
Thereafter, a laminate obtained by stacking the four
[0108]
According to this modification, it is possible to obtain the same advantages as those of the first and second manufacturing methods.
[0109]
Next, an inkjet head according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The ink jet head according to the present embodiment is different from the first embodiment only in the structure relating to the piezoelectric sheet on the uppermost layer of the actuator unit and its periphery. Therefore, the structure described with reference to FIGS. 1 to 9 is substantially common to the inkjet head according to the present embodiment. In this embodiment, the same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
[0110]
FIG. 21 is an enlarged plan view of an actuator unit in the inkjet head according to the present embodiment. FIG. 22 is a partial cross-sectional view of the
[0111]
The
[0112]
As described above, in the ink jet head according to the present embodiment, the
[0113]
Next, a method of manufacturing the ink jet head according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.
[0114]
In order to manufacture the ink jet head, first, the
[0115]
On the other hand, in order to manufacture the
[0116]
Next, the laminate to be the
[0117]
Thereafter, a
[0118]
Next, as shown in FIG. 25B and FIG. 27, the emission direction is set so that the laser is applied to the outer edge or the inside of the
[0119]
Thereafter, an
[0120]
As described above, in the present embodiment, the pattern of the
[0121]
In addition, when the
[0122]
In the manufacturing method of the inkjet head according to the present embodiment described above, when the
[0123]
Further, in the present embodiment, four
[0124]
In this embodiment mode, laser processing is continuously performed even after the
[0125]
In this embodiment, the
[0126]
Note that in this embodiment mode, the
[0127]
Further, in the present embodiment, following the removal of the
[0128]
Further, in the present embodiment, the
[0129]
Next, an inkjet head according to a third embodiment of the present invention will be described. First, a schematic configuration of the
[0130]
As shown in FIGS. 28 to 30, the
[0131]
Each
[0132]
The
[0133]
As shown in FIG. 28, in each area of the
[0134]
As shown in FIG. 30B, the
[0135]
In the
[0136]
In the
[0137]
In the
[0138]
In the
[0139]
In this manner, the ink manifold, which is constituted by the upper surface of the
[0140]
The
[0141]
The
[0142]
In the
[0143]
As shown in FIG. 29, an
[0144]
Next, a detailed structure of the
[0145]
In regions other than the
[0146]
As shown in FIG. 32, the
[0147]
On the upper surface of the
[0148]
On the upper surface of the
[0149]
As shown in FIGS. 32 and 34, the left and right side surfaces (side surfaces corresponding to both oblique sides) of the
[0150]
An
[0151]
The ink supplied from the ink manifold passage including the top surface of the
[0152]
Next, a method for manufacturing the
[0153]
Subsequently, as shown in FIG. 35A, the upper surface (the upper surface in FIG. 34B) of the fired
[0154]
After that, circular positioning marks 336 are formed at the four corners of the upper surface of the
[0155]
Note that the above-described process may be replaced by a process of simultaneously masking an area of the lower surface facing the
[0156]
Thereafter, as shown in FIG. 35 (b), the emission direction is set so that the laser is applied to the outer edge or the inside of the
[0157]
Next, a method of disposing the
[0158]
Subsequently, as shown in FIG. 38, the
[0159]
Thereafter, in order to supply a driving voltage to each
[0160]
As described in detail above, in the
[0161]
In order to manufacture the
[0162]
Further, by stacking the
[0163]
Further, the
[0164]
Next, a modified example of the present embodiment will be described. In the present embodiment, as shown in FIGS. 39A and 39B, a
[0165]
Further, in the present embodiment, the
[0166]
Further, in the present embodiment, the
[0167]
The preferred embodiment of the present invention has been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various design changes can be made within the scope of the appended claims. For example, the materials of the piezoelectric sheets and electrodes used in the above-described three embodiments are not limited to those described above, and may be changed to other known materials. Further, the planar shape, the cross-sectional shape, the arrangement form, the number of the piezoelectric sheets including the active layer, the number of the inactive layers, and the like of the pressure chamber may be appropriately changed. Further, the piezoelectric sheet including the active layer and the non-active layer may have different thicknesses.
[0168]
In the above-described embodiment, the actuator unit is formed by arranging the individual electrodes and the common electrode on the piezoelectric sheet. However, such an actuator unit does not necessarily need to be bonded to the flow path unit. Any other material can be used as long as the capacity of each pressure chamber can be individually changed. Further, in the above-described embodiment, the case where the pressure chambers are arranged in a matrix has been described. However, the present invention can be applied to a case where the pressure chambers are arranged in one or more rows.
[0169]
In the above-described embodiment, the active layer is formed only on the uppermost piezoelectric sheet farthest from the pressure chamber. However, the uppermost piezoelectric sheet does not necessarily need to include the active layer. The active layer may be formed on other piezoelectric sheets in addition to the upper piezoelectric sheet. Even in these cases, a sufficient effect of suppressing crosstalk can be obtained. Further, the ink jet head according to the above-described embodiment has a unimorph structure utilizing the lateral piezoelectric effect. However, unlike this, the piezoelectric vertical in which the layer including the active layer is disposed closer to the pressure chamber than the non-active layer. The present invention can be applied to an ink jet head utilizing the effect.
[0170]
Further, in the above-described embodiment, the openings and marks are formed in each plate constituting the flow path unit by etching, but the holes and marks may be formed in each plate by a method other than etching.
[0171]
Further, in the above-described embodiment, all the non-active layers are piezoelectric sheets, but an insulating sheet other than the piezoelectric sheet may be used as the non-active layer. Further, in the present invention, the actuator units need not be arranged continuously over a plurality of pressure chambers. In other words, the actuator units that are independent for each pressure chamber may be attached to the channel unit by the number of pressure chambers.
[0172]
Further, in the present invention, the piezoelectric sheet-containing body may include only one piezoelectric sheet having an active layer sandwiched between a common electrode and an individual electrode as in the above-described embodiment. In addition, one or a plurality of piezoelectric sheets having an active layer and a plurality of sheet-like members as inactive layers laminated thereon may be included.
[0173]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to align each pressure chamber in the flow path unit and the individual electrode in the actuator unit with high accuracy, and to improve the image quality of an image formed by the inkjet printer. I do.
[0174]
Further, an external connection member such as an FPC bonded to the actuator unit is hardly peeled off from the actuator unit, and a highly reliable ink jet head can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram of an inkjet printer including an inkjet head according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of the inkjet head according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a sectional view taken along the line III-III in FIG. 2;
FIG. 4 is a plan view of a head body included in the inkjet head illustrated in FIG. 2;
FIG. 5 is an enlarged view of a region surrounded by a chain line drawn in FIG. 4;
FIG. 6 is an enlarged view of a region surrounded by a chain line drawn in FIG. 5;
FIG. 7 is a partial sectional view of the head main body depicted in FIG. 4;
FIG. 8 is an enlarged view of a region surrounded by a two-dot chain line drawn in FIG. 5;
FIG. 9 is a partially exploded perspective view of the head main body depicted in FIG. 4;
FIG. 10 is an enlarged plan view of the actuator unit in a region shown in FIG. 6;
11 is a partial cross-sectional view of the head main body shown in FIG. 4, taken along the line XI-XI in FIG.
FIG. 12 is a plan view showing a cavity plate on which marks have been formed in a process during the manufacture of the ink jet head shown in FIG. 4 based on the first manufacturing method.
13 (a) and 13 (b) are partial cross-sectional views each showing a step in the process of manufacturing the ink jet head shown in FIG. 4 based on the first manufacturing method.
14 (a) and 14 (b) are partial enlarged cross-sectional views of the actuator unit in a process of manufacturing the inkjet head shown in FIG. 4 based on the first manufacturing method, respectively. .
FIG. 15 is a plan view illustrating a region where printing is performed in a process of manufacturing the inkjet head illustrated in FIG. 4 based on the first manufacturing method.
16 (a) and 16 (b) are partial cross-sectional views each showing a step in the process of manufacturing the ink jet head shown in FIG. 4 based on the second manufacturing method.
17 (a) and 17 (b) are partial enlarged cross-sectional views of the actuator unit in a process of manufacturing the inkjet head shown in FIG. 4 based on the second manufacturing method, respectively. .
FIG. 18 is a plan view for explaining a region where a metal mask is arranged in one process of manufacturing the ink jet head shown in FIG. 4 based on the second manufacturing method.
19 (a) and 19 (b) are partial cross-sectional views each showing a step in the process of manufacturing the ink-jet head shown in FIG. 4 based on the third manufacturing method.
FIG. 20 is a plan view for explaining a region where a photoresist is arranged in a process of manufacturing the inkjet head shown in FIG. 4 based on a third manufacturing method.
FIG. 21 is an enlarged plan view of an actuator unit in an inkjet head according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 22 is a partial cross-sectional view of the inkjet head taken along line XXII-XXII in FIG.
FIG. 23 is a plan view showing a cavity plate on which marks have been formed in a process during the manufacture of the ink jet head according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 24 is a partially enlarged cross-sectional view of the actuator unit during a step in the process of manufacturing the ink jet head according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 25 is a partial cross-sectional view showing a step in the process of manufacturing the inkjet head according to the second embodiment of the present invention.
26 is a partially enlarged cross-sectional view corresponding to FIG.
FIG. 27 is a plan view illustrating a region irradiated with a laser in a process of manufacturing the ink jet head according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 28 is an exploded perspective view of an inkjet head according to a third embodiment of the present invention.
29 is an exploded perspective view of a main part of a flow channel unit and an actuator unit in the ink jet head shown in FIG. 28.
FIG. 30A is a plan view of a pressure chamber and individual electrodes in the inkjet head shown in FIG. 28.
FIG. 30B is a partial longitudinal sectional view of the ink jet head shown in FIG.
31 is an enlarged partial plan view of an actuator unit in the inkjet head shown in FIG. 28.
FIG. 32 is a partial cross-sectional view of the inkjet head taken along the line XXXII-XXXII of FIG.
FIG. 33 is an exploded perspective view of the actuator unit in a process of manufacturing the ink jet head shown in FIG. 28.
34 (a), 34 (b), and 34 (c) are a plan view, a front view, and a bottom view, respectively, of a stacked body serving as an actuator unit.
35 (a) and 35 (b) are partial cross-sectional views each showing a step in the process of manufacturing the ink jet head shown in FIG. 28.
36 (a) and 36 (b) are each a partially enlarged cross-sectional view of the actuator unit during a step in the process of manufacturing the ink jet head shown in FIG. 28.
FIG. 37 is a plan view showing an example of an alignment mark in a process during the manufacture of the ink jet head shown in FIG. 28.
FIG. 38 is a plan view showing a state where the actuator unit is adhered to the flow channel unit in a process during the manufacture of the ink jet head shown in FIG. 28.
FIGS. 39 (a) and 39 (b) are partial cross-sectional views each showing a process during manufacturing as a modified example of the ink jet head shown in FIG. 28.
[Explanation of symbols]
1 inkjet head
1a Head body
4 Channel unit
5 Manifold
5a Sub manifold
8 Ink ejection port
10 Pressure chamber
12 Aperture
21 Actuator unit
22 Cavity plate
30 Nozzle plate
32 ink flow path
34 common electrode
35 individual electrodes
35a Main electrode
35b auxiliary electrode
36a, 36b Reinforcing electrode
41 Piezoelectric sheet (layer including active layer)
42, 43, 44 Piezoelectric sheet (inactive layer)
55 mark
101 inkjet printer
136 Flexible Printed Circuit (FPC)
Claims (22)
前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットであって、一定電位に保たれた共通電極、各圧力室に対応する位置に配置された個別電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれた圧電シートを含むアクチュエータユニットとを有するインクジェットヘッドの製造方法において、
前記流路ユニットの前記一表面にマークを形成する工程と、
前記共通電極を支持した前記圧電シートを含む圧電シート含有体を用意する工程と、
前記圧電シート含有体を、前記流路ユニットの前記一表面に固定する工程と、
前記マークに基づいて、前記流路ユニットに固定された前記圧電シート含有体の前記流路ユニットとの固定面とは反対側の面上に、前記個別電極を形成する工程とを備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。A flow path unit including a plurality of pressure chambers each having one end connected to the nozzle and the other end connected to the ink supply source, wherein the plurality of pressure chambers are arranged adjacent to each other along a plane;
An actuator unit fixed to one surface of the flow path unit to change the volume of the pressure chamber, a common electrode maintained at a constant potential, an individual electrode disposed at a position corresponding to each pressure chamber, And, in a method of manufacturing an inkjet head having an actuator unit including a piezoelectric sheet sandwiched between the common electrode and the individual electrode,
Forming a mark on the one surface of the flow path unit,
A step of preparing a piezoelectric sheet-containing body including the piezoelectric sheet supporting the common electrode,
Fixing the piezoelectric sheet-containing body to the one surface of the flow channel unit,
Forming the individual electrode on a surface of the piezoelectric sheet-containing member fixed to the flow channel unit, the surface being opposite to a surface fixed to the flow channel unit, based on the mark. A method for manufacturing an ink jet head, comprising:
前記圧電シート含有体を固定する工程において、前記圧電シート含有体の他方の最外層を前記流路ユニットの前記一表面に固定することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。In the step of preparing the piezoelectric sheet containing body, while forming the piezoelectric sheet as one outermost layer of the piezoelectric sheet containing body,
2. The method according to claim 1, wherein, in the step of fixing the piezoelectric sheet containing member, the other outermost layer of the piezoelectric sheet containing member is fixed on the one surface of the flow path unit. 3.
前記マークに基づいて、前記圧電シート含有体の前記流路ユニットとの固定面とは反対側の面上に、導電性材料からなる前記個別電極のパターンを印刷する工程と、
前記個別電極のパターンを焼成する工程とを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。Forming the individual electrodes,
Based on the mark, a step of printing a pattern of the individual electrodes made of a conductive material on a surface of the piezoelectric sheet containing body opposite to a surface fixed with the flow path unit,
3. The method according to claim 1, further comprising: firing the pattern of the individual electrode.
前記マークに基づいて、前記圧電シート含有体の前記流路ユニットとの固定面とは反対側の面上に、前記個別電極のパターンの開孔を有するマスクを配置する工程と、
物理蒸着、化学蒸着及びメッキからなる群より選択されたいずれかによって、前記開孔から露出した前記圧電シート含有体上に前記個別電極のパターンで導電膜を形成する工程とを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。Forming the individual electrodes,
Based on the mark, a step of arranging a mask having an opening of the pattern of the individual electrode on a surface of the piezoelectric sheet containing body opposite to a surface fixed with the flow path unit,
Physical vapor deposition, by any one selected from the group consisting of chemical vapor deposition and plating, the step of forming a conductive film in the pattern of the individual electrode on the piezoelectric sheet containing body exposed from the opening. The method for manufacturing an ink jet head according to claim 1 or 2, wherein:
前記圧電シート含有体の前記流路ユニットとの固定面とは反対側の面上に、導電膜を形成する工程と、
前記マークに基づいて、前記個別電極のパターンとは反対のパターンで開孔を有するマスクを前記導電膜上に配置する工程と、
前記導電膜の前記開孔から露出した部分を除去する工程とを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。Forming the individual electrodes,
A step of forming a conductive film on the surface of the piezoelectric sheet containing body opposite to the surface fixed with the flow channel unit,
A step of disposing a mask having openings in a pattern opposite to the pattern of the individual electrode on the conductive film based on the mark,
3. The method according to claim 1, further comprising: removing a portion of the conductive film exposed from the opening.
前記圧電シート含有体の前記流路ユニットとの固定面とは反対側の面上に、導電膜を形成する工程と、
前記マークに基づいて、前記個別電極が形成されるようにレーザー加工により前記導電膜を部分的に除去する工程とを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。Forming the individual electrodes,
A step of forming a conductive film on the surface of the piezoelectric sheet containing body opposite to the surface fixed with the flow channel unit,
3. The method according to claim 1, further comprising: a step of partially removing the conductive film by laser processing based on the mark so that the individual electrode is formed. Method.
前記圧電シート含有体を固定する工程において、前記圧電シート含有体の他方の最外層を前記流路ユニットの前記一表面に固定することを特徴とする請求項10に記載のインクジェットヘッドの製造方法。In the step of preparing the piezoelectric sheet-containing body, the piezoelectric sheet and the three sheets are formed such that the piezoelectric sheet becomes one outermost layer of the piezoelectric sheet-containing body and a common electrode is formed inside the piezoelectric sheet-containing body. Lamination of inactive layers of
The method according to claim 10, wherein, in the step of fixing the piezoelectric sheet-containing member, the other outermost layer of the piezoelectric sheet-containing member is fixed to the one surface of the flow path unit.
前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットであって、一定電位に保たれた共通電極、各圧力室に対応する位置に配置された個別電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれた圧電シートを含むアクチュエータユニットとを有するインクジェットヘッドであって、
前記流路ユニットの前記一表面にマークを形成する工程と、
前記共通電極を支持した前記圧電シートを含む圧電シート含有体を用意する工程と、
前記圧電シート含有体を、前記流路ユニットの前記一表面に固定する工程と、
前記マークに基づいて、前記圧電シート含有体の前記流路ユニットとの固定面とは反対側の面上に、前記個別電極を形成する工程とを少なくとも行うことによって製造されたことを特徴とするインクジェットヘッド。A flow path unit including a plurality of pressure chambers each having one end connected to the nozzle and the other end connected to the ink supply source, wherein the plurality of pressure chambers are arranged adjacent to each other along a plane;
An actuator unit fixed to one surface of the flow channel unit to change the volume of the pressure chamber, a common electrode maintained at a constant potential, an individual electrode disposed at a position corresponding to each pressure chamber, An inkjet head having an actuator unit including a piezoelectric sheet sandwiched between the common electrode and the individual electrodes,
Forming a mark on the one surface of the flow path unit,
A step of preparing a piezoelectric sheet-containing body including the piezoelectric sheet supporting the common electrode,
Fixing the piezoelectric sheet-containing body to the one surface of the flow channel unit,
Forming at least a step of forming the individual electrodes on a surface of the piezoelectric sheet-containing body opposite to a surface on which the flow path unit is fixed, based on the mark. Ink jet head.
前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットであって、一定電位に保たれた共通電極、各圧力室に対応する位置に配置された個別電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれた圧電シートを含むアクチュエータユニットとを有するインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタであって、
前記インクジェットヘッドが、
前記流路ユニットの前記一表面にマークを形成する工程と、
前記共通電極を支持した前記圧電シートを含む圧電シート含有体を用意する工程と、
前記圧電シート含有体を、前記流路ユニットの前記一表面に固定する工程と、
前記マークに基づいて、前記圧電シート含有体の前記流路ユニットとの固定面とは反対側の面上に、前記個別電極を形成する工程とを少なくとも行うことによって製造されたものであることを特徴とするインクジェットプリンタ。A flow path unit including a plurality of pressure chambers each having one end connected to the nozzle and the other end connected to the ink supply source, wherein the plurality of pressure chambers are arranged adjacent to each other along a plane;
An actuator unit fixed to one surface of the flow path unit to change the volume of the pressure chamber, a common electrode maintained at a constant potential, an individual electrode disposed at a position corresponding to each pressure chamber, An inkjet printer including an inkjet head having an actuator unit including a piezoelectric sheet sandwiched between the common electrode and the individual electrodes,
The inkjet head,
Forming a mark on the one surface of the flow path unit,
A step of preparing a piezoelectric sheet-containing body including the piezoelectric sheet supporting the common electrode,
Fixing the piezoelectric sheet-containing body to the one surface of the flow channel unit,
Forming at least a step of forming the individual electrodes on a surface of the piezoelectric sheet-containing body opposite to a surface fixed to the flow channel unit based on the mark. Characteristic inkjet printer.
前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットであって、一定電位に保たれた共通電極、各圧力室に対応する位置に配置された個別電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれた圧電シートを含むアクチュエータユニットとを有するインクジェットヘッドの製造方法において、
前記流路ユニットの前記一表面に第1のマークを形成する工程と、
前記共通電極を支持した前記圧電シートを含む圧電シート含有体を用意する工程と、
前記圧電シート含有体に第2のマークを形成する工程と、
前記第1のマークと前記第2のマークとが所定位置関係となるように、前記圧電シート含有体を前記流路ユニットの前記一表面に固定する工程と、
前記第1のマーク又は前記第2のマークに基づいて、前記流路ユニットに固定された前記圧電シート含有体の前記流路ユニットとの固定面とは反対側の面上に、前記個別電極を形成する工程とを備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。A flow path unit including a plurality of pressure chambers each having one end connected to the nozzle and the other end connected to the ink supply source, wherein the plurality of pressure chambers are arranged adjacent to each other along a plane;
An actuator unit fixed to one surface of the flow path unit to change the volume of the pressure chamber, a common electrode maintained at a constant potential, an individual electrode disposed at a position corresponding to each pressure chamber, And, in a method of manufacturing an inkjet head having an actuator unit including a piezoelectric sheet sandwiched between the common electrode and the individual electrode,
Forming a first mark on the one surface of the channel unit;
A step of preparing a piezoelectric sheet-containing body including the piezoelectric sheet supporting the common electrode,
Forming a second mark on the piezoelectric sheet-containing body;
Fixing the piezoelectric sheet-containing member to the one surface of the flow path unit so that the first mark and the second mark have a predetermined positional relationship;
Based on the first mark or the second mark, the individual electrode is formed on a surface of the piezoelectric sheet-containing member fixed to the channel unit on a surface opposite to a surface fixed to the channel unit. Forming an ink jet head.
前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットであって、一定電位に保たれた共通電極、各圧力室に対応する位置に配置された個別電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれた圧電シートを含むアクチュエータユニットと、
前記アクチュエータユニットの前記流路ユニットとの固定面とは反対側の面上に、前記個別電極との離隔を保ちつつ前記個別電極と実質的に同じ厚みに形成された導電膜とを備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。A flow path unit including a plurality of pressure chambers each having one end connected to the nozzle and the other end connected to the ink supply source, wherein the plurality of pressure chambers are arranged adjacent to each other along a plane;
An actuator unit fixed to one surface of the flow path unit to change the volume of the pressure chamber, a common electrode maintained at a constant potential, an individual electrode disposed at a position corresponding to each pressure chamber, And, an actuator unit including a piezoelectric sheet sandwiched between the common electrode and the individual electrode,
On the surface of the actuator unit opposite to the fixed surface with the flow path unit, a conductive film formed to have substantially the same thickness as the individual electrodes while maintaining a separation from the individual electrodes is provided. An ink jet head, characterized in that:
複数の前記圧力室に共通に設けられた共通電極を支持した前記圧電シートを含む圧電シート含有体であって、その側面から前記共通電極が露出している圧電シート含有体を用意する工程と、
前記圧電シート含有体の前記流路ユニットとの固定面となる面とは反対側の面を覆うと共に、前記圧電シート含有体の側面上で前記共通電極と接触する表面電極を形成する工程と、
各圧力室に対応した位置に個別電極が形成されるように、前記表面電極を部分的に除去する工程とを備えていることを特徴とするアクチュエータユニットの製造方法。A method of manufacturing an actuator unit including a piezoelectric sheet, wherein the actuator unit is stacked on a channel unit in which a plurality of pressure chambers are formed.
A step of preparing a piezoelectric sheet-containing body including the piezoelectric sheet supporting a common electrode provided in common to the plurality of pressure chambers, wherein the common electrode is exposed from a side surface thereof,
A step of forming a surface electrode that contacts the common electrode on a side surface of the piezoelectric sheet-containing body while covering a surface opposite to a surface of the piezoelectric sheet-containing body that becomes a fixing surface with the flow path unit,
A step of partially removing the surface electrode so that an individual electrode is formed at a position corresponding to each pressure chamber.
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