JP2004063644A - 半導体ウェハの保護シート着脱方法及び半導体ウェハの保護シート着脱装置 - Google Patents
半導体ウェハの保護シート着脱方法及び半導体ウェハの保護シート着脱装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】半導体ウェハ6を支持するフレーム2にダイシングテープ3を貼着するダイシングシート貼着部11と、前記フレーム2に貼着されたダイシングテープ3を前記半導体ウェハ6の回路形成面の裏面に貼着するウェハ一体化部31と、前記フレーム2と一体となった半導体ウェハ6のBGテープ5面に紫外線を照射するUV照射部61と、前記紫外線照射が終了した半導体ウェハ6のBGテープ5を剥離するバックグラインドシート剥離部81とを備えた。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路面が形成された半導体ウェハをダイシング工程に移行する際に、前記半導体ウェハの回路面や裏面に保護シートを貼着し、あるいは剥離する半導体ウェハの保護シート着脱方法及び半導体ウェハの保護シート着脱装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体の製造工程において、回路面が形成された半導体ウェハをダイシングして個々の半導体チップに分割するダイシング工程に移行する前に、前記半導体ウェハの表面を研磨して薄く平坦化するバックグラインド工程が置かれる。このバックグラインド工程では、半導体ウェハの回路形成面を保護するためのバックグラインド用の保護シート(バックグラインドシート)が貼着され、反対側の面を研磨盤に擦り付けて平坦化する。そして、このバックグラインド工程による研磨が終了した後、半導体ウェハ面からバックグラインドシートを剥離する。なお、前記バックグラインドシートが紫外線(UV)硬化型のシートの場合は、UV照射して接合部の粘着力を低下させた後、半導体ウェハ面から剥離される。
【0003】
ダイシング工程では、その前処理として前記半導体ウェハの回路形成面の裏面にダイシング用の保護シート(ダイシングシート)が貼り付けられる。このダイシングシートは、半導体ウェハの回路形成面を所定のチップ領域に分割する際に、位置ずれを起こさないようにある程度の粘着力を持って接合されている。
【0004】
このように、半導体ウェハをダイシングするまでには、半導体ウェハに対して各種の保護シートを貼着あるいは剥離する一連の作業が発生している。このような作業工程の中で、従来は保護シートを貼着する装置、剥離する装置、剥離を容易にするための紫外線照射装置が利用され、半導体ウェハを前記それぞれの装置に移し替えて作業していたが、これらの作業を連続且つ自動で行わせる装置も提案されている(特開2001−267402号公報)。この装置は半導体ウェハにバックグラインド用の保護シートを貼着してUV照射までを自動で行わせる半導体ウェハの保護シート貼着装置である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の半導体ウェハの保護シート貼着装置は、半導体ウェハに保護シートを貼着する保護シート貼着部と、UV照射部を備えた装置構成になっているが、主にバックグラインド工程に移行するために限定されたものとなっている。このため、ダイシング工程等に移行する際にダイシング用の保護シートを貼着したり、バックグラインド用の保護シートを剥離したりするためには、別の装置に移し替える必要がある。
【0006】
また、上記半導体ウェハの保護シート貼着装置等に搭載されているUV照射部や専用のUV照射装置では、半導体ウェハの幅に合わせた棒状の紫外線光源を半導体ウェハの表面をスキャンして照射させる構造をとるため、広い設置スペースが必要となる。また、スキャンする位置や速度によって照射量に差が生じることもあるので粘着力が均一に低下せず、後の工程で保護シートを剥がす際に半導体ウェハにダメージを与えてしまうこともある。このため、製品の歩留りも低下するといった問題もある。
【0007】
そこで、本発明の第1の目的は、ダイシング工程に移行する際に必要な半導体ウェハの保護シートの貼着や剥離を効率よく、また確実に行うことのできる工程を備えた半導体ウェハの保護シート着脱方法を提供することである。
【0008】
また、本発明の第2の目的は、ダイシング工程で必要な各種の保護シートを半導体ウェハに連続且つ自動で着脱可能な半導体ウェハの保護シート着脱装置を提供することである。
【0009】
また、本発明の第3の目的は、半導体ウェハに貼着された各種の保護シートを粘着痕が残らないようにきれいに素早く剥離することのできるUV照射装部を備えた半導体ウェハの保護シート着脱装置を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の請求項1に係る半導体ウェハの保護シート着脱方法は、半導体ウェハを支持するフレームにダイシング保護シートを貼着するダイシングシート貼着工程と、バックグラインド保護シートが貼着されている半導体ウェハの回路形成面の裏面に前記ダイシング保護シートを貼着してフレームと一体化するウェハ一体化工程と、前記バックグラインド保護シート面に紫外線を照射する紫外線照射工程と、紫外線が照射された後のバックグラインド保護シートを半導体ウェハ面から剥離するバックグラインドシート剥離工程とを備えたことを特徴とする。
【0011】
この発明によれば、半導体ウェハがダイシングシート貼着工程、ウェハ一体化工程、紫外線照射工程、バックグラインドシート剥離工程の順に効率よく処理を行うことができるので、処理スピードが向上し、次のダイシング工程に移行する際の作業時間を短縮することができる。
【0012】
また、前記紫外線照射工程では、紫外線発光源に対して、半導体ウェハを回転させながら照射させることで、バックグラインド保護シートが貼着された面の粘着力をムラなく均一に低下させることができる。
【0013】
本発明の請求項3に係る半導体ウェハの保護シート着脱装置は、半導体ウェハの回路形成面の裏面にダイシング保護シートを貼着すると共に、前記回路形成面に貼着されているバックグラインド保護シートを剥離してダイシング工程に移行する半導体ウェハの保護シート着脱装置であって、前記半導体ウェハを支持するためのフレームにダイシング保護シートを貼着するダイシングシート貼着部と、前記フレームに貼着されたダイシング保護シートを前記半導体ウェハの回路形成面の裏面に貼着するためのウェハ一体化部と、前記フレームと一体となった半導体ウェハのバックグラインド保護シート面に紫外線を照射する紫外線照射部と、前記紫外線照射が終了した半導体ウェハのバックグラインド保護シートを剥離するバックグラインドシート剥離部とを備えたことを特徴とする。
【0014】
この発明によれば、半導体ウェハに対してダイシングシートの貼着からバックグラインドシートの剥離までを一台の装置で連続的且つ自動的に実施できるので、ダイシング工程に移行するまでの半導体ウェハを大量に短時間で処理することができる。また、処理の途中に人手が介入しないので、埃等の不純物の混入を防止することができる。
【0015】
また、ダイシングシート貼着部からウェハ一体化部、ウェハ一体化部からバックグラインドシート剥離部へのフレームの移送が、装置本体に回転可能に軸支持され且つフレームの把持部材を備えた搬送部を介して最短距離で行われるので、一連の作業を短時間で処理することができると共に、搬送するためのスペースが少なくて済む。
【0016】
また、紫外線照射部が、直線状に延びる紫外線発光源と、この紫外線発光源に沿ってその上方を回転しながら移動するウェハ移動機構とを備えた構造となっているので、紫外線照射部の設置スペースが最小限に抑えられ、保護シート着脱装置全体の小型化が実現できる。さらに、半導体ウェハに貼着された保護シート全体にムラなく紫外線が照射されるので、保護シートの粘着力が均等に低下して剥離が容易に行える。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて本発明に係る半導体ウェハの保護シート着脱方法及び半導体ウェハの保護シート着脱装置の実施形態を詳細に説明する。図1は本発明の半導体ウェハの保護シート着脱方法を示す工程図、図2は半導体ウェハの保護シート着脱装置の全体構成を示す平面図である。なお、本発明の半導体ウェハの保護シート着脱方法及び装置は、バックグラインド工程とダイシング工程の中間に介在する方法及び装置であり、以下の説明中のバックグラインド工程とダイシング工程は図示しない別の方法及び装置が用いられる。
【0018】
本発明の半導体ウェハの保護シート着脱方法は、図1に示すように、リング状のフレーム2の全面にダイシング保護シート(以下、ダイシングテープ3という)を貼り付けるダイシングシート貼着工程(a)と、前記ダイシングテープ3の粘着面4が露出したフレーム2の中央部にバックグラインド保護シート(以下、BGテープ5という)が貼着された半導体ウェハ(以下、単にウェハ6という)の裏面7を貼り合わせるウェハ一体化工程(b)と、前記ウェハ6のBGテープ貼着面に紫外線(UV光8)を照射してBGテープ5の粘着力を低下させる紫外線照射工程(c)と、BGテープ5を回路形成面9から剥離するバックグラインドシート剥離工程(d)とを備えている。
【0019】
前記ダイシングシート貼着工程(a)でフレーム2の上面に貼り付けられるダイシングテープ3は、回路が形成されたウェハ6をダイシングする際の土台となるものであるので、ウェハ6を載置したときに容易に剥がれないような粘着力を備えている。このダイシングテープ3は、下面全面が粘着面となっている。ウェハ一体化工程(b)は、前記フレーム2の中央部に露出されたダイシングテープ3の粘着面にウェハ6の回路が形成されていない面が貼り合わされる。この貼り合わせは真空引きした容器内で行われる。このような真空状態で貼り合わせることで、接合面に気泡等が発生しないので、接合面の強度を高めることができる。紫外線照射工程(c)では、ウェハ6の回路形成面9に貼着されているBGテープ5にUV光8を照射してBGテープ5の粘着力を低減させる。BGテープ5は、バックグラインド工程の研磨作業においてウェハ6の回路形成面9を保護するために貼着されたものであり、作業中に剥離しないように強い粘着力で接合されているが、UV光8を照射することで剥離が容易になると共に、剥離した後に粘着材が残らない。最後のバックグラインドシート剥離工程(d)では、前記BGテープ5をウェハ6から完全に取り除いて回路形成面9を露出させ、このまま次のダイシング工程に移送される。
【0020】
図2は前記各工程を備えた半導体ウェハの保護シート着脱装置(以下、保護シート着脱装置1という)の構成を示したものである。前記工程(a)はダイシングシート貼着部11、工程(b)はウェハ一体化部31、工程(c)は紫外線照射部(UV照射部61)、工程(d)はバックグラインドシート剥離部81に対応している。また、前記構成に加えて、ウェハ6を搬送するウェハ搬送部21と、前記ダイシングシート貼着部11,ウェハ一体化部31,UV照射部61,バックグラインドシート剥離部81の所定位置にフレーム2を搬送するフレーム搬送部51とを備えている。
【0021】
前記ダイシングシート貼着部11は、フレーム2が複数枚スタックされたフレーム収納ケース12をセットするフレーム供給部13と、前記フレーム収納ケース12内からフレーム2を一枚ずつ持ち上げるフレーム吸着ハンド14及びフレーム位置出し部17に向けて移動するフレーム直行搬送機15を備えたフレーム移動機構と、前記搬送されてきたフレーム2上にダイシングテープ3を貼り付けるテープ貼着部18とを備えている。フレーム2は、ウェハ搬送部21によって搬送されてきたウェハ6の外周縁を載置するように、リング状に形成された薄い金属板である。前記フレーム収納ケース12にスタックされたフレーム2は、一枚ずつフレーム吸着ハンド14によって持ち上げられ、このフレーム吸着ハンド14ごとフレーム直行搬送機15でフレーム位置出し部17に搬送される。フレーム位置出し部17では、フレーム2が所定位置に載置されたことを確認した後、テープ貼着部18に平行移動し、フレーム2の形状に合わせて切断線が設けられているロール状のダイシングテープ3を順に送りながら一枚ずつ貼り合わせる。このようにして、ダイシングテープ3の貼着が終了したフレーム2は再びフレーム位置出し部17に置かれる。
【0022】
ウェハ搬送部21は、複数枚のウェハ6が収納されたウェハ収納ケース22をセットするウェハ供給部23と、このウェハ供給部23にセットされたウェハ収納ケース22からウェハ6を一枚ずつ取り出して搬送する第1ウェハ吸着ハンド24及びこの第1ウェハ吸着ハンド24ごと所定位置に移動させる第1ウェハ直行搬送機25を備えた第1ウェハ移動機構と、前記ウェハ収納ケース22にスタックされたウェハ6の間に挟み込まれている層間紙を回収する層間紙回収アーム30と、ウェハ6のオリエンテーションフラットあるいはVノッチを検出して位置決めするウェハ位置決め部20と、このウェハ位置決め部20で揃えられたウェハ6を持ち上げてウェハ一体化部31に搬送する第2ウェハ吸着ハンド27及び第2ウェハ直行搬送機28とを備えた第2ウェハ移動機構とで構成されている。なお、ウェハ6の回路形成面には、前工程のバックグラインド工程においてBGテープ5が貼着されており、このBGテープ貼着面を下にした状態でウェハ収納ケース22内に収納され、搬送する際もこのままの状態で行われる。
【0023】
ウェハ一体化部31では、前記第2ウェハ移動機構で搬入されたウェハ6に、ダイシングシート貼着部11で処理が完了したダイシングテープ3を真空状態で貼着する処理が行われる。図3乃至図5はこのような処理が行われる真空チャンバ32の構成を示したものである。この真空チャンバ32は、図4に示されるように、下チャンバ33と上チャンバ34とを組み合わせて構成される真空容器内にウェハ6を吸着するウェハチャック部35、フレーム2の外周部を支持するフレームベース部36、上チャンバ駆動機構37、その他下チャンバ33及び上チャンバ34を密着するための接合部材、真空引きを行うための真空配管類が設けられている。
【0024】
前記ウェハ搬送部21から搬出されたウェハ6は、下チャンバ33に設けられているウェハチャック部35に移送される。このウェハチャック部35は、前記ウェハ6を載置するウェハチャック台38と、このウェハチャック台38に載置されたウェハ6を吸着するウェハ吸着機構39が設けられている。前記ウェハチャック台38は多孔質部材でできており、このウェハチャック台38の下方に配設されているウェハチャックシリンダ40、ウェハ吸着配管41を介してウェハ6が動かないように吸着される。一方、ダイシングテープ3が貼着されたフレーム2は、図2に示されるように、フレーム位置出し部17からフレーム搬送部51によって、上チャンバ34側の設けられているフレームベース部36に置かれる。このようにして、ウェハ6及びフレーム2がセットされた後、上チャンバ駆動シリンダ42を駆動して上チャンバ34を下降させ、下チャンバ33に完全密着する。このとき、フレームベース支持ガイド43は、下チャンバ33に設けられた図示しないストッパに当たって、フレームベース支持ガイド案内ロッド44の軸方向に移動する。これによって、ウェハ6とフレーム2との間に僅かな隙間を設けた状態で下チャンバ33と上チャンバ34が閉じられる。
【0025】
その後、スタンパ真空配管46を使用してスタンパ45を真空に引いた状態にしておき、下チャンバ33に設けられた真空孔47から真空配管48を介して真空チャンバ32内を真空引きする。このとき、真空チャンバ32内の真空度は、ウェハ6をチャックするための真空度よりも低く設定してあるので、真空引きした際に、ウェハ6が浮いたり位置ずれしたりするのが防止される。この1回目の真空引きが終了した後、前記真空孔47から窒素を注入して真空チャンバ32内を窒素置換して2回目の真空引きを行う。この2回目の真空引きでは、スタンパ45の真空度を徐々に下げていき、真空チャンバ32内の真空度との差圧を設けるようにして行う。このときの真空度は、真空チャンバ32がスタンパ45より高い状態になっているので、フレーム2を上から押圧する円盤状のゴムパッド49が下方に膨らむ。そして、スタンパ駆動シリンダ50を駆動することによって、スタンパ45を徐々に下降し、ダイシングテープ3をウェハ6に密着する。最後に、スタンパ駆動シリンダ50及び上チャンバ駆動シリンダ42を元の位置に戻してウェハ一体化作業が完了する。
【0026】
前記ウェハ一体化部31でダイシングテープ3の貼着が終了したウェハ(以下、ワーク7という)をフレーム搬送部51に載せてUV照射部51に搬送する。前記フレーム搬送部51は、ワーク7を載置するためにコ字状に形成された回転式のアーム52を備え、このアーム52によってワーク7を移し替えるようになっている。ワーク7が搬入されるUV照射部61は図5乃至図7に示されるように、紫外線発光源であるUVランプ62を備えたUVランプユニット63と、このUVランプユニット63の上方を回転しながら直線移動するワーク移動機構64とで構成される。前記UVランプユニット63は、棒状のUVランプ62と、このUVランプ62の下方で長手方向に沿って配設される断面半円形状の反射鏡65と、前記UVランプ62の上方を覆う石英ガラス板66とで構成される。ワーク移動機構64は、ワーク7を載置するワーク支持部材67と、このワーク支持部材67を回転させるモータ68と、ワーク支持部材67を平行移動させるワーク直行駆動部材69とで構成される。前記ワーク支持部材67は、底面にワーク7と略同じ直径の石英ガラス円板70が設けられ、この石英ガラス円板70から一定の間隔をおいてワーク7がセットされる構造となっている。
【0027】
ワーク7は、BGテープ5が貼着されている面を下にしてワーク支持部材67に移し替えられ、ワーク押えツメ71でワーク7の外周部を固定する。そして、窒素配管72及び窒素注入口73を経由して石英ガラス円板70とセットしたワーク7との隙間に窒素ガスを注入した後、UVランプユニット63上に設けられている図示しないシャッタを開き、遮光されているUV光をワーク7のBGテープ面に向けて照射する。なお、前記UVランプ62は、保護シート着脱装置1が作動している間は常時ON状態となっている。次に、モータ68を駆動させてワーク支持部材67に回転運動を与え、この回転運動と同時に前記UVランプ62の長手方向に沿って延びるガイド部材74に沿ってワーク支持部材67を駆動させる。このワーク支持部材67の直進運動は、UVランプ62の一端部からスタートして他端部で折り返して最初のスタート位置に戻るものである。この一連のワーク支持部材67の動作が終了した後、図示しないシャッタを閉じてUV光を遮光する。
【0028】
前記UV照射が終了したワーク7は、フレーム搬送部51を介して図8及び図9に示すバックグラインドシート剥離部81に搬送される。このバックグラインドシート剥離部81は、図2に示したフレーム反転チャック82によってウェハ6のBGテープ5が貼着された面を上にした状態で載置される吸着テーブル84と、テープ剥離部85と、ワーク位置決め部86、その他の図示しない搬送機構とで構成される。前記UV照射部61での処理を終えたワーク7は、図2に示したように、フレーム搬送部51のアーム52によって取り出され、フレーム反転チャック82にBGテープ面を下にした状態でチャックされる。次に、前記フレーム反転チャック82を反転アーム83で180度回転させて吸着テーブル84に重ね合わせる。図8は前記吸着テーブル84にワーク7がBGテープ面を上にした状態で載置され、BGテープを剥離する直前の状態を示したものである。前記ワーク7がセットされる吸着テーブル84は多孔質のポーラスチックで形成されており、ダイシングテープ3が貼着されているワーク面を真空吸着して固定する。次に、第1直行搬送機99によってワーク7が載置された吸着テーブル84をワーク位置決め部86のマスクプレート87の下に移動する。この移動の際には、吸着テーブル回転モータ88を駆動して吸着テーブル84を回転させながらマスクプレート87に設けられた位置決めピン孔89にマスクプレート位置決めピン90を合わせる。続いて、エアシリンダ91を用いてチャック92を下降させ、吸着テーブル84に載置されたマスクプレート87をフレーム吸着チャック93で吸着する。次に、チャック92を退避させて吸着テーブル84をテープ剥離部85の下に移動し、このテープ剥離部85から供給される剥離用のテープ(図示せず)をワーク7のBGテープ5面に貼り付けてBGテープ5をウェハ6面から剥離する。この剥離作業が終了した後、吸着テーブル84をフレームガイド板94方向に移動してフレーム2とマスクプレート87とをマスクプレート吸着パット95及びフレーム吸着パット96で同時に吸着する。そして、チャック92が退避後、吸着テーブル84を図8に示される元の原点位置の戻す。続いて、チャック92を下降させ、フレームガイド板94の上にフレーム2が下降したところでフレーム吸着チャック93の真空引きを止め、BGテープが剥離されたワーク7をフレームガイド板94に載置する。最後にエアシリンダ91でチャック92を上方に退避させた後、回転アクチュエータ97でプッシャ98をフレームガイド板94の高さまで回転させて第2直行搬送機100で図2に示したフレーム収納カセット101に搬出して元に戻る。
【0029】
以上の各工程を経てウェハ6の回路形成面の裏面にダイシングテープ3を貼り付け、前記回路形成面に前工程で貼着されているBGテープ5を剥離するといった一連の工程が連続して行われる。
【0030】
本発明の保護シート着脱装置1は、同一作業スペース上にダイシングシート貼着部11、ウェハ一体化部31、UV照射部61及びバックグラインドシート剥離部81を配置しているので、ダイシング工程に移行するまでに必要なウェハ処理が連続且つ自動的に行うことができる。また、前記ダイシングシート貼着部11、ウェハ一体化部31、UV照射部61及びバックグラインドシート剥離部81がフレーム搬送部51から略等距離に配置されているので、ワーク7の移送を最短距離で行うことができる。このため、各処理工程にワークを移送する時間が短縮されることで、全体の生産性が向上する。
【0031】
本発明のUV照射部61では、線状のUVランプ62に対してBGテープ5が貼着されたウェハ6に回転を加えながら走査する構造となっているので、BGテープ5が貼着されたウェハ6面にUV光を均一に照射させることができる。また、UVランプ62が固定された状態でワーク7の方を移動させる機構となっているので、UVランプ62及び反射鏡65といったUVランプユニット63を配設するスペースを抑えることができる。したがって、装置全体の小型化及び多機能化が実現できる。
【0032】
なお、本実施形態では、回路形成面を保護するBGテープを貼着したウェハを使用したが、強度が十分確保できるような厚板状のウェハを使用した場合は、BGテープを貼着しない場合もある。このようなBGテープなしのウェハを処理する場合は、UV照射部やバックグラインドシート剥離部を介さずに、ダイシングシート貼着部、ウェハ搬送部、ウェハ一体化部のみを選択して制御することも可能である。
【0033】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の半導体ウェハの保護シート着脱方法によれば、半導体ウェハにダイシングシートの貼着及びバックグラインドシートの剥離を効率よく行うことができ、次のダイシング工程にスムーズに移行することができる。
【0034】
また、本発明の半導体ウェハの保護シート着脱装置によれば、ダイシングシートの貼着からバックグラインドシートの剥離までを一台の装置で連続的且つ自動的に実施できるので、ダイシング工程に移行するまでの半導体ウェハを大量に短時間で処理することができる。また、処理の途中に人手が介入しないので、埃等の不純物の混入を防止することができる。
【0035】
また、紫外線照射部が、直線状に延びる紫外線発光源と、この紫外線発光源に沿ってその上方を回転しながら移動するウェハ移動機構を備えた構造となっているので、紫外線照射部の設置スペースが最小限に抑えられ、保護シート着脱装置全体の小型化が実現できる。さらに、半導体ウェハに貼着された保護シート全体にムラなく紫外線が照射されるので、保護シートの粘着力が均等に低下して剥離が容易に行えるといった効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体ウェハの保護シート着脱方法を用いた処理手順を示す工程図である。
【図2】本発明に係る半導体ウェハの保護シート着脱装置の全体構成を示す平面図である。
【図3】ウェハ一体化部における真空チャンバの平面図である。
【図4】上記真空チャンバの断面図である。
【図5】紫外線照射部の側面図である。
【図6】上記紫外線照射部の断面図である。
【図7】上記紫外線照射部の平面図である。
【図8】上記バックグラインドシート剥離部の平面図である。
【図9】上記バックグラインドシート剥離部の側面図である。
【符号の説明】
1 保護シート着脱装置
2 フレーム
3 ダイシングテープ(ダイシング保護シート)
5 BGテープ(バックグラインド保護シート)
6 半導体ウェハ
11 ダイシングシート貼着部
21 ウェハ搬送部
31 ウェハ一体化部
51 フレーム搬送部
61 UV照射部
81 バックグラインドシート剥離部
Claims (5)
- 半導体ウェハを支持するフレームにダイシング保護シートを貼着するダイシングシート貼着工程と、バックグラインド保護シートが貼着されている半導体ウェハの回路形成面の裏面に前記ダイシング保護シートを貼着してフレームと一体化するウェハ一体化工程と、前記バックグラインド保護シート面に紫外線を照射する紫外線照射工程と、紫外線が照射された後のバックグラインド保護シートを半導体ウェハ面から剥離するバックグラインドシート剥離工程とを備えたことを特徴とする半導体ウェハの保護シート着脱方法。
- 前記紫外線照射工程において、半導体ウェハを回転させながらバックグラインド保護シート面に紫外線を照射してなる請求項1記載の半導体ウェハの保護シート着脱方法。
- 半導体ウェハの回路形成面の裏面にダイシング保護シートを貼着すると共に、前記回路形成面に貼着されているバックグラインド保護シートを剥離してダイシング工程に移行する半導体ウェハの保護シート着脱装置であって、
前記半導体ウェハを支持するためのフレームにダイシング保護シートを貼着するダイシングシート貼着部と、前記フレームに貼着されたダイシング保護シートを前記半導体ウェハの回路形成面の裏面に貼着するためのウェハ一体化部と、前記フレームと一体となった半導体ウェハのバックグラインド保護シート面に紫外線を照射する紫外線照射部と、前記紫外線照射が終了した半導体ウェハのバックグラインド保護シートを剥離するバックグラインドシート剥離部とを備えたことを特徴とする半導体ウェハの保護シート着脱装置。 - 前記ダイシングシート貼着部、ウェハ一体化部及びバックグラインドシート剥離部との間のフレームの移送が、装置本体に回転可能に軸支持され且つ前記フレームの把持部材を備えた搬送部によって行われる請求項3記載の半導体ウェハの保護シート着脱装置。
- 前記紫外線照射部が、直線状に延びる紫外線発光源と、この紫外線発光源に沿って回転しながら移動するウェハ移動機構とを備えてなる請求項3記載の半導体ウェハの保護シート着脱装置。
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-
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