JP2003290695A - Coating apparatus for solid-liquid suspension - Google Patents
Coating apparatus for solid-liquid suspensionInfo
- Publication number
- JP2003290695A JP2003290695A JP2002096668A JP2002096668A JP2003290695A JP 2003290695 A JP2003290695 A JP 2003290695A JP 2002096668 A JP2002096668 A JP 2002096668A JP 2002096668 A JP2002096668 A JP 2002096668A JP 2003290695 A JP2003290695 A JP 2003290695A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- solid
- liquid
- liquid reservoir
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、凝集し易い固液懸
濁液の塗布品質を向上させるための技術に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for improving the coating quality of a solid-liquid suspension that easily aggregates.
【０００２】[0002]
【従来の技術】凝集し易いスラリー（固液懸濁液）をス
プレーにより噴射し、製品表面に薄膜を形成する場合に
おいて、通常のスプレーを用いて塗布を行うと、塗布物
をノズルへと送る流路内で固体粒子が凝集し、ノズル詰
まり、吐出量の不安定化を招くことになる。かかる問題
を解決するため、従来から、塗布物に超音波振動を与え
て固体粒子の凝集を防ぎ、固液懸濁液を塗布することを
目的とした、超音波噴霧装置が開発されている。2. Description of the Related Art When a slurry (solid-liquid suspension) that easily aggregates is sprayed to form a thin film on the surface of a product, if a normal spray is applied, the applied product is sent to a nozzle. Solid particles agglomerate in the flow path, resulting in nozzle clogging and unstable discharge amount. In order to solve such a problem, an ultrasonic spraying device has been conventionally developed for the purpose of applying ultrasonic vibration to a coating material to prevent agglomeration of solid particles and coating a solid-liquid suspension.
【０００３】例えば、特開平８−１０６０号公報に開示
された塗布装置は、固液懸濁液をノズルへと供給するチ
ューブに二重構造のチューブを用いるものである。そし
て、内側のチューブ内に固液懸濁液を流通させ、外側の
チューブにも液体を充填し、当該外側のチューブに充填
した液体に超音波振動を印加することにより、内側のチ
ューブ内の固液懸濁液を攪拌するものである。For example, the coating device disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 8-1060 uses a double-structured tube as a tube for supplying a solid-liquid suspension to a nozzle. Then, the solid-liquid suspension is circulated in the inner tube, the outer tube is also filled with the liquid, and ultrasonic vibration is applied to the liquid filled in the outer tube, whereby the solid in the inner tube is solidified. The liquid suspension is agitated.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、外側の
チューブに充填された液体中の、超音波エネルギーの伝
播は微弱であることから、上記従来の塗布装置は、内側
のチューブ内の固液懸濁液に対し十分な超音波振動を印
加することが困難であった。よって、内側のチューブ内
で一度固体粒子の凝集を生じると、かかる凝集物を破壊
することができず、また、ノズル先端部まで十分な超音
波エネルギーが伝播されず、ノズル詰まり、吐出量の不
安定化を回避することが困難であった。However, since the ultrasonic energy in the liquid filled in the outer tube is weakly propagated, the above-mentioned conventional coating apparatus has a solid-liquid suspension in the inner tube. It was difficult to apply sufficient ultrasonic vibration to the liquid. Therefore, once the solid particles agglomerate in the inner tube, such agglomerates cannot be destroyed, and sufficient ultrasonic energy is not propagated to the nozzle tip portion, resulting in nozzle clogging and discharge amount failure. It was difficult to avoid stabilization.
【０００５】本発明は上記課題に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、塗布物の流路内での固
体粒子の凝集を確実に防ぎ、また、固体粒子の凝集を生
じた場合にも、ノズルから噴射する前段階で凝集物を確
実に粉砕して、ノズル詰まり、吐出量の不安定化を回避
することにある。そして、凝集し易い固液懸濁液の塗布
品質を向上させることにある。また、固体粒子の凝集を
防ぎ、かつ、凝集した固体粒子を粉砕して、固液懸濁液
の塗布品質を向上させることが可能な塗布装置を、単純
な構成で実現することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to surely prevent solid particles from aggregating in a flow path of a coating material and to cause solid particles to agglomerate. Also in this case, the agglomerate is surely crushed before the ejection from the nozzle to avoid the nozzle clogging and the unstable discharge amount. Then, it is to improve the coating quality of the solid-liquid suspension which easily aggregates. Another object of the present invention is to realize a coating device having a simple structure, which can prevent the solid particles from agglomerating and crush the agglomerated solid particles to improve the coating quality of the solid-liquid suspension.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の、本発明の請求項１に係る固液懸濁液塗布装置は、塗
布物を内部に保持する中空管路と、当該中空管路に挿入
される振動印加手段とを備え、前記振動印加手段の振動
方向延長線上に、液溜部を配置し、当該液溜部に塗布口
を開口したことを特徴とするものである。本発明によれ
ば、前記振動印加手段によって、前記液溜部内の塗布物
に対し、直接的に超音波を印加することにより、塗布口
から噴射する直前における前記液溜部内の塗布物の、固
体粒子の凝集を防ぎ、または、凝集した固体粒子を粉砕
する。そして、前記液溜部に開口する塗布口から塗布物
を噴射することにより、固体粒子の凝集の無い塗布物を
噴射することが可能となる。In order to solve the above-mentioned problems, a solid-liquid suspension coating apparatus according to a first aspect of the present invention is provided with a hollow pipe line for holding a coating material therein, and the hollow pipe. A vibration applying means inserted into the pipe is provided, and a liquid reservoir is arranged on an extension line of the vibration applying means in the vibration direction, and an application port is opened in the liquid reservoir. According to the present invention, by applying ultrasonic waves directly to the coating material in the liquid reservoir by the vibration applying means, the solid matter of the coating material in the liquid reservoir immediately before being jetted from the coating port Agglomeration of particles is prevented, or agglomerated solid particles are ground. Then, by spraying the coating material from the coating port opening to the liquid reservoir, it becomes possible to spray the coating material without solid particle aggregation.
【０００７】また、本発明の請求項２に係る固液懸濁液
塗布装置は、請求項１記載の固液懸濁液塗布装置におい
て、前記液溜部の少なくとも一部分は、前記振動印加手
段の、振動エネルギーの有効伝達範囲内に位置すること
としたものである。本発明によれば、液溜部内の塗布物
へと確実に超音波振動を印加することができる。A solid-liquid suspension coating apparatus according to a second aspect of the present invention is the solid-liquid suspension coating apparatus according to the first aspect, wherein at least a part of the liquid reservoir is of the vibration applying means. , Is located within the effective transmission range of vibration energy. According to the present invention, it is possible to reliably apply ultrasonic vibration to the applied material in the liquid reservoir.
【０００８】また、本発明の請求項３に係る固液懸濁液
塗布装置は、請求項１または２記載の固液懸濁液塗布装
置において、前記振動印加手段と前記中空管路との相対
変位により前記液溜部への塗布物の流量を制御する制御
手段を設けたものである。本発明によれば、前記振動印
加手段と前記中空管路とを相対変位させることにより前
記液溜部への塗布物の流量を制御することが可能とな
り、当該固液懸濁液塗布装置の部品点数を減少させるこ
とができる。Further, a solid-liquid suspension coating apparatus according to a third aspect of the present invention is the solid-liquid suspension coating apparatus according to the first or second aspect, wherein the vibration applying means and the hollow conduit are provided. Control means is provided for controlling the flow rate of the coating material to the liquid reservoir by relative displacement. According to the present invention, it is possible to control the flow rate of the applied material to the liquid reservoir by relatively displacing the vibration applying means and the hollow conduit, and The number of parts can be reduced.
【０００９】また、本発明の請求項４に係る固液懸濁液
塗布装置は、請求項３記載の固液懸濁液塗布装置におい
て、前記制御手段は、前記液溜部への導入口が形成され
た、前記中空管路を塞ぐ弁座と、前記中空管路に挿入さ
れた振動印加手段の振動増幅ホーン先端部分と、で構成
されるものである。本発明によれば、前記弁座と前記振
動増幅ホーン先端部分の壁面同士を密着させることによ
り、前記液溜部への導入口を閉鎖して、前記中空管路か
ら前記液溜部への塗布物の流入を止めることができる。
また、前記振動印加手段と前記中空管路とを相対変位さ
せて、前記弁座と前記振動増幅ホーン先端部分の壁面を
離間させることにより、前記中空管路から前記液溜部へ
の導入口を開放し、液溜部へと塗布物を流入させること
ができる。しかも、前記弁座と前記振動増幅ホーン先端
部分の壁面の距離に応じ、前記中空管路から前記液溜部
への塗布物の流量を変えることが可能である。なお、前
記振動増幅ホーンによる超音波振動の印加は、前記弁座
と前記振動増幅ホーン先端部分の壁面を離間させ、液溜
部へと塗布物を流入させた状態で行うものである。Further, a solid-liquid suspension coating apparatus according to a fourth aspect of the present invention is the solid-liquid suspension coating apparatus according to the third aspect, wherein the control means has an inlet port to the liquid reservoir. The valve seat is formed so as to close the hollow conduit, and the tip end portion of the vibration amplification horn of the vibration applying means inserted into the hollow conduit. According to the present invention, the valve seat and the wall surface of the tip end portion of the vibration amplification horn are brought into close contact with each other to close the inlet port to the liquid reservoir portion, and the hollow pipe passage to the liquid reservoir portion is closed. The inflow of coating material can be stopped.
Further, the vibration applying means and the hollow conduit are relatively displaced so that the valve seat and the wall surface of the vibration amplification horn tip portion are separated from each other, so that the introduction from the hollow conduit to the liquid reservoir is achieved. The mouth can be opened to allow the applied material to flow into the liquid reservoir. Moreover, it is possible to change the flow rate of the coating material from the hollow conduit to the liquid reservoir according to the distance between the valve seat and the wall surface of the tip end of the vibration amplification horn. The application of ultrasonic vibration by the vibration amplifying horn is performed in a state where the valve seat and the wall surface of the tip end portion of the vibration amplifying horn are separated from each other and the applied substance is allowed to flow into the liquid reservoir.
【００１０】また、本発明の請求項５に係る固液懸濁液
塗布装置は、請求項４項記載の固液懸濁液塗布装置にお
いて、前記振動印加手段および前記中空管路は、塗布装
置本体内部に設けられており、前記振動印加手段および
その振動増幅ホーンは当該塗布装置本体に直接的に固定
され、前記中空管路は、前記振動増幅ホーンに対し、軸
方向に移動可能に支持されているものである。本発明に
よれば、前記振動印加手段を本体に固定することで、振
動を減衰させることなく、確実に、前記液溜部内の塗布
物に対し伝えることができる。また、固定された振動増
幅ホーンに対し、前記中空管路を移動させることで、前
記液溜部への塗布物の流量を制御することができる。A solid-liquid suspension coating apparatus according to a fifth aspect of the present invention is the solid-liquid suspension coating apparatus according to the fourth aspect, wherein the vibration applying means and the hollow conduit are coated. The vibration applying means and the vibration amplifying horn are provided inside the apparatus main body, and are directly fixed to the coating apparatus main body, and the hollow conduit is axially movable with respect to the vibration amplifying horn. It is supported. According to the present invention, by fixing the vibration applying means to the main body, it is possible to reliably transmit the vibration to the coating material in the liquid reservoir without attenuating the vibration. Further, the flow rate of the coating material to the liquid reservoir can be controlled by moving the hollow conduit with respect to the fixed vibration amplification horn.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
【００１２】図４には、本発明の実施の形態に係る固液
懸濁液塗布装置１の装置本体２を、一部断面図で示して
いる。また、図５には、固液懸濁液塗布装置１の側面図
を示している。装置本体２は、基本的には通常の加圧噴
射式ノズルガンと同様の構造を有しているが、固液懸濁
液を塗布するために、以下に説明する特徴部分を有する
点で、通常の加圧噴射式ノズルガンと異なっている。FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing the apparatus main body 2 of the solid-liquid suspension coating apparatus 1 according to the embodiment of the present invention. Further, FIG. 5 shows a side view of the solid-liquid suspension coating apparatus 1. The apparatus main body 2 basically has a structure similar to that of a normal pressure injection type nozzle gun, but in order to apply a solid-liquid suspension, it has a characteristic part described below. It is different from the pressure injection type nozzle gun.
【００１３】装置本体２には、振動印加手段を構成する
超音波発振器３が内蔵されている。超音波発振器３は、
超音波増幅ホーン４を備えており、超音波増幅ホーン４
のホーン振動節５を、装置本体２の内部で、装置本体２
の先端方向に向かって、延設して設けられる。また、ホ
ーン振動節５の先端部に位置する振動チップ６は、塗布
物であるスラリーを内部に保持する中空管路７に挿入さ
れている。そして、超音波発振器３およびその超音波ホ
ーン４は、装置本体２に対し不動状態に固定されてい
る。なお、振動チップ６の先端面は、後述する理由か
ら、中空管路７と直交する平面として形成されている。
中空管路７の先端部には、ノズル８が固定されている。
図５に符号９で示す部分は、中空管路７へとスラリーを
供給するための、材料供給ポートである。装置本体２の
構造をさらに詳細に説明するため、図１には、図４に示
す装置本体２の要部を拡大して示している。また、図２
には、図１のＡ−Ａ線における断面図を示している。ま
た、図３には、図１の要部を更に拡大図示している。An ultrasonic oscillator 3 which constitutes a vibration applying means is built in the apparatus main body 2. The ultrasonic oscillator 3
The ultrasonic amplification horn 4 is provided, and the ultrasonic amplification horn 4 is provided.
The horn vibration node 5 of the device main body 2
Is provided so as to extend in the direction of the tip of. The vibrating tip 6 located at the tip of the horn vibrating node 5 is inserted into the hollow pipe line 7 that holds the slurry, which is the coating material, inside. The ultrasonic oscillator 3 and the ultrasonic horn 4 thereof are fixed to the apparatus main body 2 in an immovable state. The tip surface of the vibrating tip 6 is formed as a flat surface orthogonal to the hollow conduit 7 for the reason described later.
A nozzle 8 is fixed to the tip of the hollow conduit 7.
A portion indicated by reference numeral 9 in FIG. 5 is a material supply port for supplying the slurry to the hollow conduit 7. In order to explain the structure of the device body 2 in more detail, FIG. 1 shows an enlarged main part of the device body 2 shown in FIG. Also, FIG.
1 shows a sectional view taken along the line AA of FIG. Further, FIG. 3 shows an enlarged view of the main part of FIG.
【００１４】中空管路７は、超音波増幅ホーン４の振動
チップ６を内部に挿入した状態で、その内部に円管状の
材料流通路10を形成することが可能な内径を有し、塗布
装置本体２および装置本体に固定された振動チップ６に
対し、軸方向に摺動可能となるように、塗布装置本体２
に支持されている。また、中空管路７の外筒部には、ピ
ストン11を一体に形成し、ピストン11を塗布装置本体２
に形成されたエアシリンダ室12の内部に封入している。
図３に示すように、エアシリンダ室12の伸び作動側室に
は、塗布装置本体２の駆動用エア流入口13に固定された
駆動用エア配管14から、加圧エア（矢印Ｂで示す。）を
供給する。一方、エアシリンダ室12の縮み作動側室には
圧縮スプリング15が配置されており、伸び作動側室への
加圧エアの供給が止められた状態では、圧縮スプリング
15の弾性力を受けて、ピストン11（中空管路７）は可動
範囲の上死点に付勢される。なお、図１〜図３は何れ
も、中空管路７が可動範囲の上死点にある状態を示して
いる。The hollow pipe line 7 has an inner diameter capable of forming a circular material flow passage 10 inside the vibrating tip 6 of the ultrasonic amplification horn 4 inserted therein, The coating apparatus main body 2 is configured to be slidable in the axial direction with respect to the apparatus main body 2 and the vibration chip 6 fixed to the apparatus main body.
Supported by. In addition, a piston 11 is integrally formed on the outer tube portion of the hollow pipe line 7, and the piston 11 is attached to the main body 2 of the coating apparatus.
It is sealed inside the air cylinder chamber 12 formed in.
As shown in FIG. 3, in the expansion operation side chamber of the air cylinder chamber 12, pressurized air (indicated by arrow B) is supplied from the driving air pipe 14 fixed to the driving air inlet 13 of the coating apparatus main body 2. To supply. On the other hand, the compression spring 15 is arranged in the contraction side chamber of the air cylinder chamber 12, and when the supply of the pressurized air to the expansion side chamber is stopped, the compression spring 15 is arranged.
By receiving the elastic force of 15, the piston 11 (hollow conduit 7) is urged to the top dead center of the movable range. It should be noted that FIGS. 1 to 3 all show a state in which the hollow conduit 7 is at the top dead center of the movable range.
【００１５】また、中空管路７には、その壁面を軸方向
に貫通する霧化エア流路16を設けている。霧化エア流路
16への霧化エア流入口17は、塗布装置本体２に形成され
ており、エア流入口17に、霧化エア配管18が接続されて
いる。一方、霧化エア流路16からの霧化エア流出口19
は、ノズル８の塗布口20の近傍に設けられている。そし
て、中空管路７の先端は、弁座21によって塞がれてい
る。弁座21は、中空管路７の内径部に挿入され、中空管
路７の先端部外壁に形成されたネジ部と係合する固定ナ
ット22によって、中空管路７に対し着脱自在に固定され
ている。ノズル８は、弁座21に密着しており、固定ナッ
ト22の外壁部分に形成されたネジ部と係合するキャップ
23により、アウタノズル24と共に弁座21に対し着脱自在
に固定されている。Further, the hollow pipe line 7 is provided with an atomizing air flow passage 16 which axially penetrates the wall surface of the hollow pipe line 7. Atomized air flow path
An atomizing air inlet 17 to 16 is formed in the coating apparatus main body 2, and an atomizing air pipe 18 is connected to the air inlet 17. On the other hand, the atomized air outlet 19 from the atomized air flow path 16
Is provided in the vicinity of the coating port 20 of the nozzle 8. The tip of the hollow conduit 7 is closed by the valve seat 21. The valve seat 21 is detachably attached to the hollow conduit 7 by a fixing nut 22 that is inserted into the inner diameter of the hollow conduit 7 and engages with a threaded portion formed on the outer wall of the distal end of the hollow conduit 7. It is fixed to. The nozzle 8 is a cap that is in close contact with the valve seat 21 and that engages with the threaded portion formed on the outer wall portion of the fixed nut 22.
The outer nozzle 24 is detachably fixed to the valve seat 21 by the outer nozzle 23.
【００１６】さらに、弁座21には、中空管路７の霧化エ
ア流路16と連通する開口部25が形成され、固定ナット22
には、開口部25と連通する開口部26が形成され、なおか
つ、ノズル８には、開口部26と連通する開口部27が形成
されている。また、ノズル８の円錐状の外壁とノズルア
ウタ24との間には、円錐状の間隙28が形成され、円錐状
の間隙28の先端部が、霧化エアのエア流出口19となって
いる。よって、霧化エア流入口17から塗布装置本体２の
内部に導入された霧化エア（矢印Ｃで示す）は、霧化エ
ア流路16、開口部、25、26、27、円錐状の間隙28を通
り、前述のようにノズル８の塗布口20の近傍に設けられ
た霧化エア流出口19から噴出する。Further, the valve seat 21 is formed with an opening 25 which communicates with the atomizing air flow path 16 of the hollow pipe line 7, and the fixing nut 22.
An opening portion 26 communicating with the opening portion 25 is formed in the nozzle 8, and an opening portion 27 communicating with the opening portion 26 is formed in the nozzle 8. A conical gap 28 is formed between the conical outer wall of the nozzle 8 and the nozzle outer 24, and the tip of the conical gap 28 serves as an air outlet 19 for atomized air. Therefore, the atomized air (indicated by the arrow C) introduced from the atomized air inlet 17 into the coating apparatus main body 2 is the atomized air flow path 16, the openings 25, 26, 27 and the conical gap. It passes through the nozzle 28 and is jetted from the atomizing air outlet 19 provided in the vicinity of the coating port 20 of the nozzle 8 as described above.
【００１７】また、弁座22の中芯部には円筒室29が形成
され、ノズル８の中芯部には円筒室30が形成されてお
り、両円筒室29、30が連続して、スラリーを貯留する液
溜部を形成している（以下、円筒室29、30を「液溜部」
ともいう。）。そして、ノズル８の塗布口20は、液溜部
30に開口するものである。さらに、弁座22は、中空管路
７が図示のごとく上死点にある時、振動チップ６の先端
面31と密着する端面32を有し、端面32に液溜部29への導
入口33を形成している。なお、弁座22の端面32は、振動
チップ６の先端面31と同様に、中空管路７と直交する平
面として構成されている。A cylindrical chamber 29 is formed in the central portion of the valve seat 22, and a cylindrical chamber 30 is formed in the central portion of the nozzle 8. Both cylindrical chambers 29, 30 are continuous to form a slurry. To form a liquid reservoir (hereinafter, the cylindrical chambers 29 and 30 are referred to as “liquid reservoir”).
Also called. ). The coating port 20 of the nozzle 8 is a liquid reservoir.
It opens to 30. Further, the valve seat 22 has an end face 32 that comes into close contact with the tip end face 31 of the vibrating tip 6 when the hollow conduit 7 is at the top dead center as shown in the drawing, and the end face 32 has an inlet port for introducing the liquid reservoir 29. Forming 33. The end face 32 of the valve seat 22 is configured as a plane orthogonal to the hollow pipe line 7, like the tip end face 31 of the vibrating tip 6.
【００１８】ところで、導入口33の直径は、振動チップ
６の先端面31に比して小径であることから、振動チップ
６の先端面31と弁座22の端面32とを密着させた状態で
は、液溜部29への導入口33は閉鎖される。一方、中空管
路７を振動チップ６に対し下降させると、中空管路７に
固定された弁座22およびノズル８も一体に下降して、振
動チップ６の先端面31と弁座22の端面32との間に隙間が
形成される。このとき、弁座22の端面32に形成された液
溜部29への導入口33は開放状態となり、中空管路７の材
料流通路10に満たされたスラリーを、液溜部29へと流入
させることができる。By the way, since the diameter of the inlet 33 is smaller than that of the tip surface 31 of the vibrating tip 6, when the tip surface 31 of the vibrating tip 6 and the end surface 32 of the valve seat 22 are in close contact with each other, The inlet 33 to the liquid reservoir 29 is closed. On the other hand, when the hollow pipe line 7 is lowered with respect to the vibrating tip 6, the valve seat 22 and the nozzle 8 fixed to the hollow pipe line 7 are also lowered integrally, and the tip surface 31 of the vibrating tip 6 and the valve seat 22. A gap is formed between the end face 32 and the end face 32. At this time, the inlet 33 to the liquid reservoir 29 formed on the end surface 32 of the valve seat 22 is opened, and the slurry filled in the material flow passage 10 of the hollow pipeline 7 is transferred to the liquid reservoir 29. Can be flowed in.
【００１９】以上の構造を採ることにより、振動チップ
６の振動方向延長線上に、液溜部29、30を配置すること
ができる。しかも、液溜部29、30の一部または全部が、
振動チップ６により発生する超音波の、振動エネルギー
の有効伝達範囲に位置するように構成されている。な
お、詳しい説明は省略するが、装置本体２を構成する各
部品間の密着面において、エアまたはスラリーの漏れを
防止する必要がある部分には、適宜、シールが設けら
れ、各部品間の密閉性が確保されている。By adopting the above structure, the liquid reservoirs 29 and 30 can be arranged on the extension line of the vibrating tip 6 in the vibration direction. Moreover, part or all of the liquid reservoirs 29, 30 are
It is configured to be located in an effective transmission range of vibration energy of ultrasonic waves generated by the vibration tip 6. Although detailed description is omitted, a seal is appropriately provided at a portion of the contact surface between the respective components forming the apparatus main body 2 where it is necessary to prevent air or slurry from leaking, and a seal is provided between the respective components. Sex is secured.
【００２０】上記構成をなす本発明の実施の形態により
得られる作用効果は、以下の通りである。まず、固液懸
濁液塗布装置１は、スラリーを内部に保持する中空管路
７と、中空管路７に挿入される振動印加手段２の振動チ
ップ６とを備え、振動チップ６の振動方向延長線上に、
液溜部29、30を配置し、液溜部30に塗布口20を開口して
いる。そして、振動チップ６によって、液溜部29、30内
のスラリーに対し、直接的に超音波を印加することによ
り、塗布口20から噴射する直前における液溜部29、30内
のスラリーの、固体粒子の凝集を防ぎ、または、凝集し
た固体粒子を粉砕することができる。そして、液溜部2
9、30に開口する塗布口20からスラリーを噴射すること
により、固体粒子の凝集の無いスラリーを噴射すること
が可能となる。The operational effects obtained by the embodiment of the present invention having the above-mentioned structure are as follows. First, the solid-liquid suspension coating apparatus 1 includes a hollow pipe line 7 for holding a slurry therein and a vibrating tip 6 of a vibration applying means 2 inserted in the hollow pipe line 7. On the extension line of the vibration direction,
The liquid reservoirs 29 and 30 are arranged, and the coating port 20 is opened in the liquid reservoir 30. Then, by applying ultrasonic waves directly to the slurry in the liquid reservoirs 29, 30 by the vibrating tip 6, the solids of the slurry in the liquid reservoirs 29, 30 immediately before being jetted from the coating port 20 Agglomeration of particles can be prevented, or agglomerated solid particles can be crushed. And the liquid reservoir 2
By injecting the slurry from the application port 20 that is opened in the holes 9 and 30, it is possible to inject the slurry in which solid particles are not aggregated.
【００２１】また、液溜部29、30の少なくとも一部分
は、振動チップ６により発生する超音波の、振動エネル
ギーの有効伝達範囲に位置するように構成されているの
で、液溜部29、30内のスラリーへと確実に超音波振動を
印加して、固体粒子の凝集を防ぎ、または、凝集した固
体粒子を粉砕することができる。また、液溜部29、30の
少なくとも一部分（本発明の実施の形態では、液溜部3
0）が、ノズル８内に設けられているので、振動チップ
６からノズル８の液溜部30内の、噴射直前のスラリーに
対し直接的に超音波を印加することができる。また、ノ
ズル８にも振動チップ６の超音波振動を伝えることが可
能となり、ノズル内壁に固体粒子がノズル８に固着した
場合でも、超音波洗浄の原理でこれを洗い流し、ノズル
８の塗布口20の詰まりによる、スラリーの吐出量の減少
を防ぐことができる。Further, since at least a part of the liquid reservoirs 29, 30 is arranged so as to be located within the effective transmission range of the vibration energy of the ultrasonic waves generated by the vibrating tip 6, the inside of the liquid reservoirs 29, 30 is shown. It is possible to reliably apply ultrasonic vibration to the slurry to prevent the solid particles from aggregating, or to agglomerate the agglomerated solid particles. Further, at least a part of the liquid reservoirs 29, 30 (in the embodiment of the present invention, the liquid reservoir 3
0) is provided in the nozzle 8, it is possible to apply ultrasonic waves directly from the vibrating tip 6 to the slurry in the liquid reservoir 30 of the nozzle 8 immediately before jetting. Further, it becomes possible to transmit the ultrasonic vibration of the vibrating tip 6 to the nozzle 8 as well, and even if solid particles adhere to the nozzle 8 on the inner wall of the nozzle 8, they are washed away by the principle of ultrasonic cleaning, and the coating port 20 of the nozzle 8 is used. It is possible to prevent the discharge amount of the slurry from decreasing due to the clogging of the slurry.
【００２２】また、液溜部29、30への導入口33が形成さ
れた弁座21と、中空管路７に挿入された振動チップ６の
先端部分とで、振動チップ６と中空管路７との相対変位
により液溜部29、30へのスラリーの流量を制御する、制
御手段を構成している。具体的には、振動チップ６の先
端面31と弁座22の端面32とを密着させた状態では、液溜
部29への導入口33は閉鎖される。一方、中空管路７を振
動チップ６に対し下降させると、中空管路７に固定され
た弁座22およびノズル８も一体に下降して、振動チップ
６の先端面31と弁座22の端面32との間に隙間が形成され
る。このとき、弁座22の端面32に形成された液溜部29へ
の導入口33は開放状態となり、中空管路７の材料流通路
10に満たされたスラリーを液溜部29へと流入させること
ができる。しかも、弁座22の端面32と振動チップ６の先
端面31との距離に応じ、中空管路７の素材流通路10から
液溜部29、30へのスラリーの流量を変えることが可能で
ある。よって、この構成によれば、振動チップ６と中空
管路７とを相対変位させることにより液溜部29、30への
スラリーの流量を制御することが可能となり、固液懸濁
液塗布装置１の部品点数の削減に貢献することができ
る。Further, the vibrating tip 6 and the hollow tube are formed by the valve seat 21 in which the inlet 33 to the liquid reservoirs 29 and 30 is formed and the tip portion of the vibrating tip 6 inserted into the hollow conduit 7. A control means for controlling the flow rate of the slurry to the liquid reservoirs 29 and 30 by the relative displacement with the passage 7 is configured. Specifically, when the tip end surface 31 of the vibrating tip 6 and the end surface 32 of the valve seat 22 are in close contact with each other, the inlet 33 to the liquid reservoir 29 is closed. On the other hand, when the hollow pipe line 7 is lowered with respect to the vibrating tip 6, the valve seat 22 and the nozzle 8 fixed to the hollow pipe line 7 are also lowered integrally, and the tip surface 31 of the vibrating tip 6 and the valve seat 22. A gap is formed between the end face 32 and the end face 32. At this time, the inlet 33 to the liquid reservoir 29 formed on the end surface 32 of the valve seat 22 is opened, and the material flow passage of the hollow pipeline 7 is opened.
The slurry filled with 10 can be made to flow into the liquid reservoir 29. Moreover, the flow rate of the slurry from the material flow passage 10 of the hollow pipe 7 to the liquid reservoirs 29, 30 can be changed according to the distance between the end surface 32 of the valve seat 22 and the tip surface 31 of the vibrating tip 6. is there. Therefore, according to this configuration, it is possible to control the flow rate of the slurry to the liquid reservoirs 29 and 30 by relatively displacing the vibrating tip 6 and the hollow pipe line 7, and the solid-liquid suspension coating apparatus. It can contribute to the reduction of the number of parts.
【００２３】なお、振動チップ６による超音波振動の印
加は、弁座22の端面32と振動チップ６の先端面31とを離
間させ、液溜部29、30へとスラリーを流入させた状態で
行うものであり、液溜部29、30の長さや直径は、必要と
される単位時間辺りのスラリー噴射量と、固体粒子の凝
集を十分に防ぐための印加時間、等を確保することを考
慮して決定されるものである。The ultrasonic vibration is applied by the vibrating tip 6 in a state where the end surface 32 of the valve seat 22 and the tip end surface 31 of the vibrating tip 6 are separated from each other and the slurry is allowed to flow into the liquid reservoirs 29 and 30. The length and diameter of the liquid reservoirs 29, 30 are considered to ensure the required slurry injection amount per unit time and the application time for sufficiently preventing the solid particles from aggregating. It is decided by.
【００２４】また、本発明の実施の形態では、振動チッ
プ６の先端面31と弁座21の端面32とを、何れも中空管路
７と直交する平面としていることから、先端面31と端面
32の壁面形状が単純化され、両者の密閉性を容易に確保
することができる。その結果として、単純な形状であり
ながら、振動チップ６と中空管路７との相対変位により
液溜部29、30へのスラリーの流入を確実に止め、若しく
は流入を許容して、液溜部29、30へのスラリーの流量を
確実に制御することが可能となる。Further, in the embodiment of the present invention, since the tip surface 31 of the vibrating tip 6 and the end surface 32 of the valve seat 21 are both planes orthogonal to the hollow conduit 7, End face
The wall shape of 32 is simplified, and it is possible to easily ensure the hermeticity of both. As a result, even though the shape is simple, the relative displacement between the vibrating tip 6 and the hollow conduit 7 reliably stops the inflow of the slurry into the liquid reservoirs 29 and 30, or allows the inflow to allow the liquid to be retained. It is possible to reliably control the flow rate of the slurry to the parts 29 and 30.
【００２５】また、ノズル８は、弁座21に対し着脱自在
に固定されており、ノズル８が弁座21に固定された状態
では、弁座21を介してノズル８にも振動チップ６の超音
波振動を伝えることができるので、ノズル８の内壁に固
体粒子が固着した場合でも、超音波洗浄の原理でこれを
洗い流し、ノズル塗布口からのスラリーの吐出量の減少
を防ぐことができる。なおかつ、ノズル８は消耗部品で
あることから、ノズル８のみ弁座21から取外して交換
し、初期の性能を維持することができる。しかも、ノズ
ル交換の際に、振動チップ６の先端面31と弁座21の端面
32とを密着させ、液溜部29、30へのスラリーの導入口33
を閉鎖しておけば、中空管路７の素材流通路10へのスラ
リーの供給を停止することなく、ノズル８の交換を行う
ことが可能となる。Further, the nozzle 8 is detachably fixed to the valve seat 21, and when the nozzle 8 is fixed to the valve seat 21, the nozzle 8 is also attached to the nozzle 8 through the valve seat 21 and the vibrating tip 6 is superposed. Since the sound wave vibration can be transmitted, even if the solid particles adhere to the inner wall of the nozzle 8, the solid particles can be washed away by the principle of ultrasonic cleaning to prevent a decrease in the discharge amount of the slurry from the nozzle application port. Moreover, since the nozzle 8 is a consumable part, only the nozzle 8 can be removed from the valve seat 21 and replaced, and the initial performance can be maintained. Moreover, when replacing the nozzle, the tip surface 31 of the vibrating tip 6 and the end surface of the valve seat 21 are replaced.
32 is brought into close contact, and a slurry inlet port 33 is placed in the liquid reservoir 29, 30.
If it is closed, the nozzle 8 can be replaced without stopping the supply of the slurry to the material flow passage 10 of the hollow pipe 7.
【００２６】さらに、振動増幅ホーン４および中空管路
７は、塗布装置本体２内部に設けられており、振動増幅
ホーン４の振動チップ６は塗布装置本体２に直接的に固
定され、中空管路７は、振動チップ６に対し、軸方向に
移動可能に支持されている。そして、振動増幅ホーン４
とその振動チップ６を塗布装置本体２に直接的に固定す
ることで、振動増幅ホーン４で発生させた超音波振動を
減衰させることなく、確実に、液溜部29、30内のスラリ
ーに対し伝えることができる。また、固定された振動増
幅ホーン４とその振動チップ６に対し、中空管路７を移
動させることで、前述の如く、液溜部29、30へのスラリ
ーの流量制御を行うことができる。Further, the vibration amplification horn 4 and the hollow pipe line 7 are provided inside the coating apparatus main body 2, and the vibration chip 6 of the vibration amplification horn 4 is directly fixed to the coating apparatus main body 2 and is hollow. The pipe line 7 is supported so as to be movable in the axial direction with respect to the vibrating tip 6. And the vibration amplification horn 4
By directly fixing the vibrating chip 6 and the vibrating chip 6 to the coating apparatus main body 2, the ultrasonic vibration generated in the vibration amplifying horn 4 is not attenuated, and the slurry in the liquid reservoirs 29 and 30 is securely applied to the slurry. I can tell. Further, by moving the hollow conduit 7 with respect to the fixed vibration amplification horn 4 and its vibrating tip 6, the flow rate of the slurry to the liquid reservoirs 29, 30 can be controlled as described above.
【００２７】また、中空管路７の壁面を軸方向に貫通す
る霧化エア流路16を設け、霧化エア流路16への霧化エア
流入口17を塗布装置本体２に、霧化エア流路16からの霧
化エア流出口19をノズル８の塗布口20の近傍に設けたこ
とから、霧化エア流出口19から噴出するエアによって、
ノズル８の塗布口20から噴射されたスラリーの霧化を、
確実に行うことができる。また、霧化エアの供給を最初
に塗布装置本体２の霧化エア流入口17へと行い、その霧
化エアを中空管路７の壁面に設けた霧化エア流路16を介
して、ノズル８の塗布口20近傍の霧化エア流出口19へと
供給することにより、霧化エアを供給するためのエア配
管の曲げ抵抗が、中空管路７に直接かかることを防ぎ、
中空管路７の動作を阻害することによる弁座開閉レスポ
ンスの鈍化を防止することができる。Further, an atomizing air passage 16 is provided which penetrates the wall surface of the hollow pipe line 7 in the axial direction, and the atomizing air inlet 17 to the atomizing air passage 16 is atomized to the coating apparatus main body 2. Since the atomizing air outlet 19 from the air flow path 16 is provided in the vicinity of the coating port 20 of the nozzle 8, the air ejected from the atomizing air outlet 19 causes
Atomization of the slurry sprayed from the coating port 20 of the nozzle 8,
It can be done reliably. Further, atomized air is first supplied to the atomized air inlet 17 of the coating apparatus main body 2, and the atomized air is supplied through the atomized air flow path 16 provided on the wall surface of the hollow pipe line 7, By supplying to the atomizing air outlet 19 near the application port 20 of the nozzle 8, the bending resistance of the air pipe for supplying the atomizing air is prevented from being directly applied to the hollow pipe line 7,
It is possible to prevent the valve seat opening / closing response from being slowed down by hindering the operation of the hollow conduit 7.
【００２８】加えて、中空管路７の外筒部にピストン11
を一体に設け、ピストン11を封入するエアシリンダ室12
を、塗布装置本体２内部に備えることとし、中空管路７
をエアシリンダにより駆動することで、固定された振動
チップ７に対し、中空管路７を移動させ、液溜部29、30
へのスラリーの流量を制御することができる。また、中
空管路７をエアシリンダにより駆動することで、中空管
路７を駆動するための加圧エア源と霧化エアの供給源と
の共通化を図ることができる。しかも、中空管路７の外
周部にピストン11およびエアシリンダ室12が位置するこ
とで、塗布装置本体２の軸方向の大型化を避けることが
できる。In addition, the piston 11 is attached to the outer cylinder of the hollow pipeline 7.
Air cylinder chamber 12 that encloses the piston 11
Is provided inside the coating apparatus main body 2, and the hollow pipe line 7 is provided.
The hollow pipe line 7 is moved with respect to the fixed vibration tip 7 by driving the liquid cylinder 29, 30 by the air cylinder.
The flow rate of the slurry to the can be controlled. Further, by driving the hollow conduit 7 with an air cylinder, it is possible to make the pressurized air source for driving the hollow conduit 7 and the atomized air supply source common. Moreover, since the piston 11 and the air cylinder chamber 12 are located on the outer peripheral portion of the hollow pipe line 7, it is possible to prevent the coating apparatus main body 2 from becoming large in the axial direction.
【００２９】さて、図６には、図１〜図３に示した塗布
装置本体２の別例を示している。図６は図３に相当する
ものであり、両者において互いに共通する構造部分に
は、特に符号を示していない。図６示す例では、図１〜
図３に示した塗布装置本体２の、中空管路７の先端を塞
ぐ弁座21を省略したものである。換言すれば、ノズル８
は弁座21と一体をなすものであり、独立した弁座は存在
しない構造となっている。Now, FIG. 6 shows another example of the coating apparatus main body 2 shown in FIGS. FIG. 6 corresponds to FIG. 3, and the structural parts common to both of them are not shown by the reference numerals. In the example shown in FIG.
The valve seat 21 that closes the tip of the hollow conduit 7 of the coating apparatus main body 2 shown in FIG. 3 is omitted. In other words, the nozzle 8
Is integral with the valve seat 21, and has a structure in which there is no independent valve seat.
【００３０】したがって、ノズル８は中空間路７の先端
部に直接的に密着し、かつ、中空管路７の先端部外壁に
形成されたネジ部と係合する固定ナット22の、外壁部分
に形成されたネジ部と係合するキャップ23により、アウ
タノズル24と共に中空管路７に対し着脱自在に固定され
ている。なお、ノズル８と振動チップ６との密閉性を確
保するためのシール34は、振動チップ６からノズル８が
離間する際に、シール34が振動チップ６の先端面31に貼
りついてノズル８の端面32から外れることがないよう
に、脱落防止構造を有するものが用いられている。Therefore, the nozzle 8 is in close contact with the tip portion of the intermediate space passage 7 directly, and the outer wall portion of the fixing nut 22 that engages with the screw portion formed on the outer wall of the tip portion of the hollow conduit 7. The outer nozzle 24 and the outer nozzle 24 are detachably fixed to the hollow conduit 7 by a cap 23 that engages with a threaded portion formed on the. The seal 34 for ensuring the hermeticity between the nozzle 8 and the vibrating tip 6 is attached to the tip surface 31 of the vibrating tip 6 when the nozzle 8 is separated from the vibrating tip 6, and the end surface of the nozzle 8 is To prevent it from coming off from 32, one with a fall prevention structure is used.
【００３１】図６に示す構造においても、液溜部30は、
振動チップ６により発生する超音波の、振動エネルギー
の有効伝達範囲に位置するように構成されている。よっ
て、液溜部30内のスラリーへと確実に超音波振動を印加
して、固体粒子の凝集を防ぎ、または、凝集した固体粒
子を粉砕することができる。また、弁座と一体のノズル
８に振動チップ６の超音波振動を伝えることで、ノズル
内壁に固体粒子が固着した場合でも、超音波洗浄の原理
でこれを洗い流し、ノズル８の詰まりによる塗布物の吐
出量の減少を防ぐことができる。また、消耗部品である
ノズル８を取外して交換し、初期の性能を維持すること
ができる。よって、図１〜図３に示した例と同様の作用
効果を得ることができる。なお、図６の構造の場合に
は、ノズル８の交換を行う際には、中空管路７の素材流
通路10への、スラリーの供給を停止することとする。Also in the structure shown in FIG. 6, the liquid reservoir 30 is
It is configured to be located in an effective transmission range of vibration energy of ultrasonic waves generated by the vibration tip 6. Therefore, it is possible to reliably apply ultrasonic vibration to the slurry in the liquid reservoir 30 to prevent the solid particles from aggregating or to pulverize the agglomerated solid particles. Further, by transmitting the ultrasonic vibration of the vibrating tip 6 to the nozzle 8 which is integrated with the valve seat, even if solid particles adhere to the inner wall of the nozzle, the solid particles are washed away by the principle of ultrasonic cleaning, and the coating material caused by clogging of the nozzle 8 is applied. It is possible to prevent a decrease in the discharge amount of. In addition, the nozzle 8 which is a consumable component can be removed and replaced to maintain the initial performance. Therefore, it is possible to obtain the same effects as those of the example shown in FIGS. In the case of the structure shown in FIG. 6, when the nozzle 8 is replaced, the supply of the slurry to the material flow passage 10 of the hollow pipe 7 is stopped.
【００３２】[0032]
【発明の効果】本発明はこのように構成したので、凝集
し易い固液懸濁液をスプレーにより噴射し、製品表面に
薄膜を形成する場合において、塗布物の流路内での固体
粒子の凝集を確実に防ぎ、また、固体粒子の凝集を生じ
た場合にも、ノズルから噴射する前段階で凝集物を確実
に粉砕して、ノズル詰まり、吐出量の不安定化を回避す
ることが可能となる。そして、凝集し易い固液懸濁液の
塗布品質を向上させることができる。また、固液懸濁液
内の固体粒子の凝集を防ぎ、かつ、凝集した固体粒子を
粉砕して、固液懸濁液の塗布品質を向上させることが可
能な塗布装置を、単純な構成で実現することが可能とな
る。EFFECTS OF THE INVENTION Since the present invention is configured in this way, when a solid-liquid suspension that easily aggregates is sprayed to form a thin film on the product surface, the solid particles in the flow path of the coating material Agglomeration can be reliably prevented, and even if solid particles agglomerate, it is possible to reliably pulverize the agglomerates before jetting from the nozzle to avoid nozzle clogging and unstable discharge amount. Becomes Then, the coating quality of the solid-liquid suspension that easily aggregates can be improved. Further, with a simple configuration, a coating device capable of preventing the solid particles in the solid-liquid suspension from aggregating and crushing the aggregated solid particles to improve the coating quality of the solid-liquid suspension. It can be realized.
【図１】本発明の実施の形態に係る固液懸濁液塗布装置
の、装置本体の要部拡大断面図である。FIG. 1 is an enlarged cross-sectional view of a main part of a device body of a solid-liquid suspension coating device according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１のＡ−Ａ線における断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.
【図３】図１の要部を更に拡大図示した断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an enlarged view of a main part of FIG.
【図４】本発明の実施の形態に係る固液懸濁液塗布装置
の装置本体を、一部断面図で示したものである。FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing a device body of a solid-liquid suspension coating device according to an embodiment of the present invention.
【図５】本発明の実施の形態に係る固液懸濁液塗布装置
の側面図である。FIG. 5 is a side view of the solid-liquid suspension coating apparatus according to the embodiment of the present invention.
【図６】本発明の実施の形態に係る固液懸濁液塗布装置
の、装置本体の別例を示す、要部拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged sectional view of an essential part showing another example of the apparatus body of the solid-liquid suspension coating apparatus according to the embodiment of the present invention.
１ 固液懸濁液塗布装置 ２ 塗布装置本体 ３ 超音波発振器 ４ 超音波増幅ホーン ５ ホーン振動節 ６ 振動チップ ７ 中空管路 ８ ノズル 10 材料流通路 19 霧化エア流出口 20 塗布口 21 弁座 24 ノズルアウタ 25、26、27 開口部 28 円錐状の間隙 29、30 液溜部 31 先端面 32 端面 33 導入口 1 Solid-liquid suspension coating device 2 Coating device body 3 Ultrasonic oscillator 4 ultrasonic amplification horn 5 horn vibration node 6 vibrating chips 7 Hollow pipeline 8 nozzles 10 Material flow passage 19 Atomizing air outlet 20 Application port 21 valve seat 24 nozzle outer 25, 26, 27 openings 28 conical gap 29, 30 Liquid reservoir 31 Tip surface 32 end face 33 Inlet
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D074 BB02 DD07 DD14 DD17 DD22 DD34 DD48 4F041 BA04 BA12 BA31 BA35 BA36 4F042 BA11 BA21 CA01 CB03 CB08 CB11 CB14 5D107 AA14 BB02 FF03 FF08 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page F term (reference) 4D074 BB02 DD07 DD14 DD17 DD22 DD34 DD48 4F041 BA04 BA12 BA31 BA35 BA36 4F042 BA11 BA21 CA01 CB03 CB08 CB11 CB14 5D107 AA14 BB02 FF03 FF08
Claims (5)
該中空管路に挿入される振動印加手段とを備え、前記振
動印加手段の振動方向延長線上に、液溜部を配置し、当
該液溜部に塗布口を開口したことを特徴とする固液懸濁
液塗布装置。1. A hollow conduit for holding a coating material therein, and a vibration applying means inserted into the hollow conduit, wherein a liquid reservoir is arranged on an extension line of the vibration applying means in the vibration direction. Then, the solid-liquid suspension coating apparatus is characterized in that a coating port is opened in the liquid reservoir.
振動印加手段の、振動エネルギーの有効伝達範囲内に位
置することを特徴とする請求項１記載の固液懸濁液塗布
装置。2. The solid-liquid suspension coating apparatus according to claim 1, wherein at least a part of the liquid reservoir is located within an effective transmission range of vibration energy of the vibration applying unit.
対変位により前記液溜部への塗布物の流量を制御する制
御手段を設けることを特徴とする請求項１または２記載
の固液懸濁液塗布装置。3. The solid means according to claim 1, further comprising a control means for controlling the flow rate of the coating material to the liquid reservoir by the relative displacement between the vibration applying means and the hollow conduit. Liquid suspension coating device.
が形成された、前記中空管路を塞ぐ弁座と、前記中空管
路に挿入された振動印加手段の振動増幅ホーン先端部分
と、で構成されることを特徴とする請求項３記載の固液
懸濁液塗布装置。4. The vibration amplification horn of the vibration applying means inserted into the hollow pipe line, and a valve seat for closing the hollow pipe line in which the introduction port to the liquid reservoir is formed. The solid-liquid suspension coating apparatus according to claim 3, comprising a tip portion.
は、塗布装置本体内部に設けられており、前記振動印加
手段およびその振動増幅ホーンは当該塗布装置本体に直
接的に固定され、前記中空管路は、前記振動増幅ホーン
に対し、軸方向に移動可能に支持されていることを特徴
とする請求項４記載の固液懸濁液塗布装置。5. The vibration applying means and the hollow conduit are provided inside the coating apparatus main body, and the vibration applying means and the vibration amplification horn are directly fixed to the coating apparatus main body. The solid-liquid suspension coating apparatus according to claim 4, wherein the empty pipe line is supported so as to be movable in the axial direction with respect to the vibration amplification horn.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002096668A JP4022729B2 (en) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | Solid-liquid suspension applicator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002096668A JP4022729B2 (en) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | Solid-liquid suspension applicator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003290695A true JP2003290695A (en) | 2003-10-14 |
| JP4022729B2 JP4022729B2 (en) | 2007-12-19 |
Family
ID=29239597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002096668A Expired - Fee Related JP4022729B2 (en) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | Solid-liquid suspension applicator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4022729B2 (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006239502A (en) * | 2005-03-01 | 2006-09-14 | Toyota Motor Corp | Solid liquid suspension coating apparatus |
| KR100647194B1 (en) * | 2005-06-08 | 2006-11-23 | (주)수도프리미엄엔지니어링 | Spraying apparatus of a liquid for manufacturing a semiconductor device and lcd and chemical-mechanical processing apparatus |
| JP2012180588A (en) * | 2011-02-03 | 2012-09-20 | Mott Corp | Sinter bonded porous metallic coating |
| JP2013116443A (en) * | 2011-12-02 | 2013-06-13 | Mitsubishi Electric Corp | Coating apparatus for manufacturing fine particle, method for coating fine particle, and fine particle-containing thin film |
| JP2015083170A (en) * | 2009-09-04 | 2015-04-30 | アボット カーディオヴァスキュラー システムズ インコーポレイテッド | Drug-eluting coatings applied to medical devices by spraying and drying to remove solvent |
| US9149750B2 (en) | 2006-09-29 | 2015-10-06 | Mott Corporation | Sinter bonded porous metallic coatings |
-
2002
- 2002-03-29 JP JP2002096668A patent/JP4022729B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006239502A (en) * | 2005-03-01 | 2006-09-14 | Toyota Motor Corp | Solid liquid suspension coating apparatus |
| JP4725715B2 (en) * | 2005-03-01 | 2011-07-13 | トヨタ自動車株式会社 | Solid-liquid suspension coating apparatus and solid-liquid suspension coating method |
| KR100647194B1 (en) * | 2005-06-08 | 2006-11-23 | (주)수도프리미엄엔지니어링 | Spraying apparatus of a liquid for manufacturing a semiconductor device and lcd and chemical-mechanical processing apparatus |
| US9149750B2 (en) | 2006-09-29 | 2015-10-06 | Mott Corporation | Sinter bonded porous metallic coatings |
| JP2015083170A (en) * | 2009-09-04 | 2015-04-30 | アボット カーディオヴァスキュラー システムズ インコーポレイテッド | Drug-eluting coatings applied to medical devices by spraying and drying to remove solvent |
| US10139163B2 (en) | 2009-09-04 | 2018-11-27 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | Drug-eluting coatings applied to medical devices by spraying and drying to remove solvent |
| JP2012180588A (en) * | 2011-02-03 | 2012-09-20 | Mott Corp | Sinter bonded porous metallic coating |
| JP2013116443A (en) * | 2011-12-02 | 2013-06-13 | Mitsubishi Electric Corp | Coating apparatus for manufacturing fine particle, method for coating fine particle, and fine particle-containing thin film |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4022729B2 (en) | 2007-12-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5495272A (en) | Ink jet head and cleaning device and method for the head | |
| US6039442A (en) | Electrostatic ink jet recording device having a stirring system | |
| KR200420184Y1 (en) | Apparatus for reducing ink conglomerates during inkjet printing for flat panel display manufacturing | |
| JP5060726B2 (en) | Spray nozzle and insert | |
| JP2003290695A (en) | Coating apparatus for solid-liquid suspension | |
| US20120205464A1 (en) | Distribution head for a device for distributing a fluid product | |
| EP1092541A3 (en) | Liquid-drop discharge device | |
| CN108786509A (en) | A kind of solid-liquid mixing device and method | |
| JP6444163B2 (en) | Spray gun | |
| JP4725715B2 (en) | Solid-liquid suspension coating apparatus and solid-liquid suspension coating method | |
| JP2002326715A (en) | Liquid material discharging method and its device | |
| JP3989079B2 (en) | Spray nozzle | |
| JP4104898B2 (en) | Chemical supply system | |
| JP2001137747A (en) | Atomizing nozzle | |
| JPS6132148B2 (en) | ||
| JP2004305994A (en) | Particulate treatment apparatus | |
| TWM600659U (en) | Wafer surface particle cleaning nozzle | |
| JPS635947A (en) | Ink jet head | |
| JP4246550B2 (en) | Injection nozzle | |
| JP2002018327A (en) | Powder supply device | |
| JPH11276938A (en) | Spraying nozzle | |
| JP2001259550A (en) | Washing nozzle | |
| JP3635431B2 (en) | Spray gun | |
| JPS63251199A (en) | High-pressure liquid injection working device | |
| JPS5811174A (en) | Generator for ink jet liquid-drop |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041116 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070122 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070516 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070713 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070905 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070918 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111012 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111012 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121012 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121012 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131012 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |