JP2003270159A - Object inspection device and computer program for object inspection - Google Patents

Object inspection device and computer program for object inspection

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JP2003270159A
JP2003270159A JP2002072766A JP2002072766A JP2003270159A JP 2003270159 A JP2003270159 A JP 2003270159A JP 2002072766 A JP2002072766 A JP 2002072766A JP 2002072766 A JP2002072766 A JP 2002072766A JP 2003270159 A JP2003270159 A JP 2003270159A
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Japan
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inspected
defect
inspection
defect position
input screen
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Japanese (ja)
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Masaki Mochizuki
真己 望月
Nozomi Okochi
望 大河内
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Victor Company of Japan Ltd
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Victor Company of Japan Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To convert an inspection result into an electronic file without picking up an image of an object to be inspected and limiting the object to be inspected. <P>SOLUTION: When a workman designates a defect position of the object to be inspected by a stylus 11a, a position detector 11b detects a coordinate position indicated by the stylus, a personal computer 12 displays the detected defect position in an input image plane (a GUI image plane) of a monitor 13, and a position, type and size or the like of a defect is converted into an electronic file. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、物体の欠陥、外
観、特徴などを検査するための物体検査装置及び物体検
査用コンピュータプログラムに関し、特に検査結果を電
子ファイル化する技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an object inspection device and an object inspection computer program for inspecting an object for defects, appearance, characteristics, etc., and more particularly to a technique for converting inspection results into an electronic file.

【0002】[0002]

【従来の技術】欠陥、外観、特徴などを検査する物体と
しては、液晶素子、液晶ディスプレイ、光学部品、ガラ
ス、シリコンウエハなどの電子部品、船体や車体など、
建物の壁面など、多種多様である。従来の物体検査方法
としては、物体上の欠陥や外観の検査を目視で行う場
合、作業者が検査結果記入用紙上に、その物体の欠陥の
位置や種別、形状、個数、特徴などを観察した結果を記
入する方法が一般的である。
2. Description of the Related Art As objects for inspecting for defects, appearance, features, etc., liquid crystal elements, liquid crystal displays, optical parts, glass, electronic parts such as silicon wafers, hulls and car bodies, etc.
There are a wide variety of things such as the walls of buildings. As a conventional object inspection method, when visually inspecting a defect or appearance on an object, an operator observes the position, type, shape, number, characteristics, etc. of the defect on the inspection result entry sheet. The method of filling in the results is common.

【0003】しかしながら、上記のように検査(観察)
結果を用紙上に記入する方法では、用紙上の欠陥などの
位置はおおよその位置であるので、再検査を行う際に正
確に同定することができず、特に欠陥個数が複数の場合
には単一の欠陥でも同定することができないなどの問題
点がある。さらに、検査を行った後にその検査結果に基
づいて等級分けなどを行う場合、欠陥位置や個数、分布
などが等級分けの規格になるので、この作業が非常に煩
雑になる。また、作業者が観察を行いながら記録を行う
際に、視線を被検査体と記入用紙間を往復させるので、
正確性や作業効率が低下する。さらに、被検査物体の数
が多い場合、記入用紙も多くなるので、日報などの報告
書作成に時間がかかり、正確性も欠くという問題点があ
る。
However, the inspection (observation) as described above
In the method of writing the result on the form, the position of the defect on the form is an approximate position, so it cannot be accurately identified during re-inspection, especially when there are multiple defects. There is a problem that it is not possible to identify even one defect. Further, when the inspection is performed and then the classification is performed based on the inspection result, the defect position, the number, the distribution, and the like are standards of the classification, and this work becomes very complicated. Also, when the operator makes a recording while observing, since the line of sight is reciprocated between the object to be inspected and the entry form,
Accuracy and work efficiency decrease. Further, when the number of objects to be inspected is large, the number of filling sheets becomes large, so that it takes time to create a report such as a daily report and there is a problem that accuracy is insufficient.

【0004】そこで、上記問題点を解決する方法とし
て、近年では被検査物体をCCDカメラ、固体撮像素
子、FA用カメラなどの電子撮像手段により撮像して検
査結果を画像ファイルに電子化する方法がとられてい
る。また、他の従来例としては、例えば特公平7−18
807号公報や特開平10−325780号公報には、
液晶ディスプレイの表示素子の欠陥の検査結果を電子化
する方法として、液晶ディスプレイの表示画面をGUI
画面として検査結果を書き込み、これを電子化する方法
が提案されている。
Therefore, as a method for solving the above problems, in recent years, there has been a method in which an object to be inspected is imaged by an electronic image pickup means such as a CCD camera, a solid-state image pickup device, an FA camera, etc., and the inspection result is digitized into an image file. It is taken. As another conventional example, for example, Japanese Patent Publication No. 7-18
In Japanese Patent Laid-Open No. 807 and Japanese Patent Laid-Open No. 10-325780,
As a method of digitizing the inspection result of the display element of the liquid crystal display, the GUI of the display screen of the liquid crystal display is used.
A method of writing the inspection result as a screen and digitizing it has been proposed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、被検査
物体を電子撮像手段により撮像して検査結果を画像ファ
イルに電子化する方法では、撮像した画面をさらにGU
I画面として表示して検査結果を書き込む必要があるの
で、時間がかかり、また、ファイル容量も大きくなると
いう問題点がある。また、上記の公報に示す方法では、
被検査物体が液晶ディスプレイなどの表示素子に限定さ
れるという問題点がある。
However, in the method of photographing the object to be inspected by the electronic image pickup means and digitizing the inspection result into an image file, the imaged screen is further GU.
Since it is necessary to display it as the I screen and write the inspection result, there is a problem that it takes time and the file capacity becomes large. In the method disclosed in the above publication,
There is a problem that the object to be inspected is limited to a display element such as a liquid crystal display.

【0006】本発明は上記従来例の問題点に鑑み、被検
査物体を撮像することなく、また、被検査物体も限定さ
れることなく検査結果を電子化することができる物体検
査装置及び物体検査用コンピュータプログラムを提供す
ることを目的とする。
In view of the above-mentioned problems of the conventional example, the present invention is an object inspection apparatus and an object inspection which can digitize an inspection result without imaging the object to be inspected and without limiting the object to be inspected. A computer program for use is provided.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、検査者が目視検査を行う被検査物体上の欠
陥位置を指定するための欠陥位置指定手段と、前記欠陥
位置指定手段により指定された欠陥位置を検出する欠陥
位置検出手段とを設け、その欠陥位置を被検査物体の検
査結果を入力するための入力画面に表示して電子ファイ
ル化するようにしたものである。
In order to achieve the above object, the present invention provides a defect position designating unit for designating a defect position on an object to be inspected by an inspector, and the defect position designating unit. The defect position detecting means for detecting the defect position designated by is provided, and the defect position is displayed on an input screen for inputting the inspection result of the object to be inspected and converted into an electronic file.

【0008】すなわち本発明によれば、検査者が目視検
査を行う被検査物体上の欠陥位置を指定する欠陥位置指
定手段と、前記欠陥位置指定手段により指定された欠陥
位置を検出する欠陥位置検出手段と、前記被検査物体の
検査結果を入力するための入力画面を表示する表示手段
と、前記欠陥位置検出手段により検出された欠陥位置を
前記表示手段の入力画面に表示して前記入力画面上に表
示された欠陥位置を電子ファイル化する制御手段とを、
有する物体検査装置が提供される。
That is, according to the present invention, the defect position designation means for designating the defect position on the object to be inspected by the inspector and the defect position detection for detecting the defect position designated by the defect position designation means. Means, a display means for displaying an input screen for inputting an inspection result of the object to be inspected, and a defect position detected by the defect position detecting means on the input screen of the display means. And a control means for converting the defect position displayed in to an electronic file,
An object inspection apparatus having the same is provided.

【0009】また本発明によれば、前記被検査物体の検
査結果を入力するための入力画面を表示手段に表示する
ステップと、検査者が目視検査を行う被検査物体上の欠
陥位置を位置指定手段で指定して位置検出手段により検
出された欠陥位置を前記表示手段の入力画面に表示する
ステップと、前記入力画面上に表示された欠陥位置を電
子ファイル化するステップとを、有する物体検査用コン
ピュータプログラムが提供される。
According to the present invention, the step of displaying an input screen for inputting the inspection result of the object to be inspected on the display means, and the defect position on the object to be inspected by the inspector to be visually inspected are designated. For object inspection, which has a step of displaying on the input screen of the display means the defect position specified by the position detection means and detected by the position detection means, and a step of converting the defect position displayed on the input screen into an electronic file. A computer program is provided.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図1は本発明に係る物体検
査装置の一実施形態を示すブロック図、図2は被検査物
体を示す説明図、図3〜図6は図1の物体検査装置の検
査結果入力画面を示す説明図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is a block diagram showing an embodiment of an object inspection apparatus according to the present invention, FIG. 2 is an explanatory view showing an object to be inspected, and FIGS. 3 to 6 are explanations showing an inspection result input screen of the object inspection apparatus of FIG. It is a figure.

【0011】図1において、物体検査装置10は、スタ
イラス11aと、位置検出装置11bと、パソコン12
とモニタ13(及びマウス、キーボードなど)により構
成されている。スタイラス11aは赤外線、超音波、
光、電波などの位置検出のための信号を発しており、作
業者がスタイラス11aにより被検査物体の欠陥位置を
指定すると、位置検出装置11bがスタイラス11aに
より指示された座標位置を検出する。そして、その検出
位置がパソコン12に取り込まれ、パソコン12が物体
検査用コンピュータプログラムを実行する。
In FIG. 1, an object inspection device 10 includes a stylus 11a, a position detection device 11b, and a personal computer 12.
And monitor 13 (and mouse, keyboard, etc.). The stylus 11a uses infrared rays, ultrasonic waves,
When a worker specifies a defect position of the object to be inspected by the stylus 11a, the position detector 11b detects a coordinate position designated by the stylus 11a. Then, the detected position is taken into the personal computer 12, and the personal computer 12 executes the object inspection computer program.

【0012】この実施形態の被検査物体は一例として、
液晶素子を有する投影装置14であり、投影装置14内
の液晶素子は、映像発生装置15が発生する検査用映像
を投影スクリーン16に投影する。このため、パソコン
12の物体検査用コンピュータプログラムは、液晶素子
の黒点、黒線、黒ムラ、白点、白線、白ムラなどの欠陥
を検査するように構成されている。そして、投影スクリ
ーン16に投影された検査用映像に対して、作業者が目
視検査してその欠陥位置をスタイラス11aにより指示
すると、その位置が位置検出装置11bを介してパソコ
ン12に取り込まれる。
The object to be inspected in this embodiment is, for example,
The projection device 14 has a liquid crystal element, and the liquid crystal element in the projection device 14 projects the inspection image generated by the image generation device 15 onto the projection screen 16. Therefore, the object inspection computer program of the personal computer 12 is configured to inspect the liquid crystal element for defects such as black dots, black lines, black unevenness, white dots, white lines, and white unevenness. Then, when the operator visually inspects the inspection image projected on the projection screen 16 and indicates the defect position with the stylus 11a, the position is captured by the personal computer 12 via the position detection device 11b.

【0013】図2は被検査物体である投影装置14によ
り投影された検査用映像20を示す。この検査用映像2
0はマトリクスで形成された多数の液晶素子の内、どの
液晶素子が黒点、黒線、黒ムラであるかを検出するため
の白色画面であり、欠陥である液晶素子は白色を表示で
きず、例えば黒点(図の欠陥21)となる。
FIG. 2 shows an inspection image 20 projected by the projection device 14 which is an object to be inspected. This inspection video 2
0 is a white screen for detecting which of the many liquid crystal elements formed in a matrix are black dots, black lines, and black unevenness, and the defective liquid crystal element cannot display white. For example, it becomes a black dot (defect 21 in the figure).

【0014】図3は図2に示す検査用映像20の欠陥2
1に対して、作業者がスタイラス11aにより指示した
状態を示している。そして、その位置が位置検出装置1
1bを介してパソコン12に取り込まれると、パソコン
12は図4に示すように、モニタ13のGUI画面30
上の検出位置に対応する位置に+印のマーク31を表示
するとともに、マーク31の近傍に案内表示32を表示
する。図4に示す案内表示32には上記の欠陥種別が表
示され、また、案内表示32はマウスをドラッグして他
の位置に移動したり、右クリックにより表示/非表示を
切り替えることができる。
FIG. 3 shows a defect 2 of the inspection image 20 shown in FIG.
1 shows the state in which the operator has instructed with the stylus 11a. Then, the position is the position detection device 1
When loaded into the personal computer 12 via 1b, the personal computer 12 displays the GUI screen 30 of the monitor 13 as shown in FIG.
A + mark 31 is displayed at a position corresponding to the upper detection position, and a guide display 32 is displayed near the mark 31. The defect type described above is displayed on the guide display 32 shown in FIG. 4, and the guide display 32 can be moved to another position by dragging the mouse or can be switched between display / non-display by right-clicking.

【0015】図4に示す案内表示32において、オペレ
ータが案内表示32中の「黒点」をマウスでクリックす
ると、欠陥21の位置とその欠陥種別が決定され、次い
で図5に示すように案内表示32の代わりに、「黒点」
の個数、大きさを入力する案内表示33が表示される。
この表示状態においてオペレータがマウスを移動して例
えば個数=1、大きさ=2をクリックすると、黒点の個
数、大きさが決定され、次いで図6に示すように案内表
示33の代わりに、黒点34がその位置に表示され、ま
た、その近傍にその個数=1、大きさ=2を表す「黒点
(1,2)」の欠陥情報表示35が表示される。これに
より、黒点34の位置(画面上の座標)、黒点の個数、
大きさの検査結果の入力が完了し、他の欠陥位置の入力
に移行する。これらの情報は、テキストデータなどの文
字や数字をコード情報として電子ファイルとして生成さ
れ、保存される。
In the guide display 32 shown in FIG. 4, when the operator clicks on the "black dot" in the guide display 32 with the mouse, the position of the defect 21 and its defect type are determined, and then the guide display 32 as shown in FIG. Instead of "black dot"
A guide display 33 for inputting the number and size of the is displayed.
In this display state, when the operator moves the mouse and clicks, for example, the number = 1 and the size = 2, the number and size of the black dots are determined. Then, as shown in FIG. Is displayed at that position, and a defect information display 35 of "black dots (1,2)" indicating the number of units = 1 and the size = 2 is displayed in the vicinity thereof. As a result, the positions of the black dots 34 (coordinates on the screen), the number of black dots,
The input of the inspection result of the size is completed, and the process moves to the input of another defect position. These pieces of information are generated and stored as an electronic file using characters and numbers such as text data as code information.

【0016】上記実施形態によれば、検査結果を電子フ
ァイル化するので、用紙、筆記用具も不要となり、ま
た、集計作業を自動化、再利用することができる。さら
に、作業者は被検査物体の欠陥や特徴に対してスタイラ
ス11aを位置合わせするだけで欠陥位置を入力するこ
とができる。また、欠陥位置を入力した後はモニタ13
のGUI画面を見ながら検査を進めることができるの
で、検査画面から視線を離さずに検査を行うことがで
き、検査作業効率が向上する。さらに、被検査物体の大
きさが異なる場合には、モニタ13の入力画面の大きさ
を変更するのみで簡単に対応することができ、このた
め、大がかりな装置の変更や調整も不要である。
According to the above embodiment, since the inspection result is converted into an electronic file, paper and writing tools are not required, and the totaling work can be automated and reused. Furthermore, the operator can input the defect position only by aligning the stylus 11a with the defect or feature of the object to be inspected. After inputting the defect position, the monitor 13
Since it is possible to proceed with the inspection while looking at the GUI screen, the inspection can be performed without taking a look from the inspection screen, and the inspection work efficiency is improved. Further, when the size of the object to be inspected is different, it can be easily dealt with by simply changing the size of the input screen of the monitor 13. Therefore, a large-scale change or adjustment of the device is unnecessary.

【0017】さらに、被検査物体そのものの映像を電子
撮像手段により撮像してさらに撮像した画面を表示して
検査結果を書き込む方法より、短時間で作業を完了する
ことができ、また、本発明のファイルは画像ファイルで
ないのでファイル容量を低減することができる。また、
被検査物体の種類については、表示素子に限定されず、
スタイラス11aと位置検出装置11bにより欠陥位置
を入力可能な全ての物体を検査することができる。さら
に、被検査物体は二次元に限定されず、三次元の物体を
検査することができる。
Further, the work can be completed in a shorter time than the method in which the image of the inspected object itself is imaged by the electronic image pickup means and the imaged screen is displayed to write the inspection result. Since the file is not an image file, the file size can be reduced. Also,
The type of object to be inspected is not limited to the display element,
With the stylus 11a and the position detection device 11b, it is possible to inspect all objects for which defect positions can be input. Furthermore, the object to be inspected is not limited to two dimensions, and three-dimensional objects can be inspected.

【0018】また、GUI画面はパソコン12のモニタ
13に表示する代わりに、プロジェクタにより壁面に表
示するようにしてもよい。また、プロジェクタによりG
UI画面を被検査物体上に表示するようにしてもよい。
Further, the GUI screen may be displayed on the wall surface by a projector instead of being displayed on the monitor 13 of the personal computer 12. In addition, G
A UI screen may be displayed on the inspected object.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、検
査者が目視検査を行う被検査物体上の欠陥位置を指定す
るための欠陥位置指定手段と、前記欠陥位置指定手段に
より指定された欠陥位置を検出する欠陥位置検出手段と
を設け、その欠陥位置を被検査物体の検査結果を入力す
るための入力画面に表示して電子ファイル化するように
したので、被検査物体を撮像することなく、また、被検
査物体も限定されることなく検査結果を電子ファイル化
することができる。
As described above, according to the present invention, the defect position designating means for designating the defect position on the object to be inspected by the inspector and the defect position designating means. Since the defect position detecting means for detecting the defect position is provided and the defect position is displayed on the input screen for inputting the inspection result of the inspection object and converted into an electronic file, the inspection object is imaged. The inspection result can be converted into an electronic file without any limitation on the object to be inspected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る物体検査装置の一実施形態を示す
ブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an object inspection device according to the present invention.

【図2】被検査物体を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing an object to be inspected.

【図3】図2の被検査物体の欠陥位置指定操作を示す説
明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a defect position specifying operation of the inspection object of FIG.

【図4】図1の物体検査装置の欠陥種別入力画面を示す
説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a defect type input screen of the object inspection apparatus of FIG.

【図5】図1の物体検査装置の欠陥大きさ入力画面を示
す説明図である。
5 is an explanatory diagram showing a defect size input screen of the object inspection apparatus of FIG.

【図6】図1の物体検査装置の入力完了画面を示す説明
図である。
6 is an explanatory view showing an input completion screen of the object inspection device of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11a スタイラス 11b 位置検出装置 12 パソコン 13 モニタ 11a stylus 11b Position detection device 12 PC 13 monitors

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 検査者が目視検査を行う被検査物体上の
欠陥位置を指定する欠陥位置指定手段と、 前記欠陥位置指定手段により指定された欠陥位置を検出
する欠陥位置検出手段と、 前記被検査物体の検査結果を入力するための入力画面を
表示する表示手段と、 前記欠陥位置検出手段により検出された欠陥位置を前記
表示手段の入力画面に表示して前記入力画面上に表示さ
れた欠陥位置を電子ファイル化する制御手段とを、 有する物体検査装置。
1. A defect position specifying means for specifying a defect position on an object to be inspected by an inspector, a defect position detecting means for detecting a defect position specified by the defect position specifying means, and Display means for displaying an input screen for inputting the inspection result of the inspection object, and a defect displayed on the input screen by displaying the defect position detected by the defect position detecting means on the input screen of the display means. An object inspection device having a control means for converting a position into an electronic file.
【請求項2】 前記入力画面は、前記被検査物体の欠陥
の種類が入力可能であることを特徴とする請求項1に記
載の物体検査装置。
2. The object inspection apparatus according to claim 1, wherein the type of defect of the object to be inspected can be input to the input screen.
【請求項3】 前記入力画面の大きさは、前記被検査物
体の大きさに応じて可変であることを特徴とする請求項
1又は2に記載の物体検査装置。
3. The object inspection apparatus according to claim 1, wherein the size of the input screen is variable according to the size of the object to be inspected.
【請求項4】 前記被検査物体の検査結果を入力するた
めの入力画面を表示手段に表示するステップと、 検査者が目視検査を行う被検査物体上の欠陥位置を位置
指定手段で指定して位置検出手段により検出された欠陥
位置を前記表示手段の入力画面に表示するステップと、 前記入力画面上に表示された欠陥位置を電子ファイル化
するステップとを、 有する物体検査用コンピュータプログラム。
4. A step of displaying an input screen for inputting an inspection result of the object to be inspected on a display means, and an inspector designating a defect position on the object to be inspected by visual inspection by the position designating means. An object inspection computer program comprising: a step of displaying a defect position detected by the position detecting means on an input screen of the display means; and a step of converting the defect position displayed on the input screen into an electronic file.
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JP2006038549A (en) * 2004-07-26 2006-02-09 Sumitomo Chemical Co Ltd Grade determining method

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