JP2003215374A - Light guide tape carrier and method for producing the same - Google Patents

Light guide tape carrier and method for producing the same

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JP2003215374A
JP2003215374A JP2002011693A JP2002011693A JP2003215374A JP 2003215374 A JP2003215374 A JP 2003215374A JP 2002011693 A JP2002011693 A JP 2002011693A JP 2002011693 A JP2002011693 A JP 2002011693A JP 2003215374 A JP2003215374 A JP 2003215374A
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JP
Japan
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tape
optical waveguide
printed circuit
circuit board
tape carrier
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Application number
JP2002011693A
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Japanese (ja)
Inventor
Hirohisa Endo
裕寿 遠藤
Kenichiro Fujimoto
憲一朗 藤本
Kanji Tanaka
寛司 田仲
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Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light guide tape carrier capable of simply holding light guides for photo-electric composite substrates as individual chips without deforming the light guides and having enhanced mass production efficiency and to provide a method for producing the same. <P>SOLUTION: Light guides 4a, 4b,... to be stuck on a printed board 31 are continuously produced at a uniform pitch on a flexible tape based on a polyimide or the like along the lengthwise direction of the tape 3. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板に光
導波路と電気配線とが混在して形成された光−電気複合
基板用の光導波路テープキャリア及びその製造方法に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical waveguide tape carrier for an optical-electrical composite substrate, which is formed by mixing an optical waveguide and an electric wiring on a printed circuit board, and a manufacturing method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、プリント基板は全て電気信号で
送受信を行うが、近年、電気での伝送速度の限界から高
速の部分は光を使うような方式、すなわち、図3に示す
ようなプリント基板31に光導波路32と電気配線33
とが混在して形成された光−電気複合基板30が提案さ
れてきている。このような光−電気複合基板は、例え
ば、特開2000−332301号公報などにも開示さ
れている。
2. Description of the Related Art Generally, all printed circuit boards transmit and receive by electric signals, but in recent years, a method in which light is used in a high speed part due to the limit of electric transmission speed, that is, a printed circuit board as shown in FIG. 31 is an optical waveguide 32 and electrical wiring 33
There has been proposed an opto-electric composite substrate 30 formed by mixing and. Such an opto-electric composite substrate is also disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2000-332301.

【0003】光−電気複合基板30では、外部からとり
込まれた信号はI/O用チップ34を通り、処理用のI
C,LSI35に伝達されるが、通常の速度の線路は電
気配線33で構成されている。しかし、数Gbps以上
の高速信号を伝達する部分は光導波路32が用いられ、
その信号変換にはLD(レーザダイオード、半導体レー
ザ)部材36やPD(フォトダイオード)部材37が使
われる。
In the optical-electrical composite substrate 30, the signal taken in from the outside passes through the I / O chip 34 and is processed by the I / O chip 34.
Although transmitted to the C and LSI 35, the line of normal speed is composed of electric wiring 33. However, the optical waveguide 32 is used in a portion that transmits a high-speed signal of several Gbps or more,
An LD (laser diode, semiconductor laser) member 36 and a PD (photodiode) member 37 are used for the signal conversion.

【0004】従来の光導波路32は、後述するように、
プリント基板31とは別工程でSi基板上に作製され、
図4に示すような光−電気複合基板30の高速信号を伝
達する部分30hに用いられる。
The conventional optical waveguide 32 is, as will be described later,
It is produced on the Si substrate in a process different from the printed circuit board 31,
It is used for a portion 30h for transmitting a high speed signal of the opto-electric composite substrate 30 as shown in FIG.

【0005】この部分30hは、電気配線33が内部に
形成されたプリント基板31上に、コア41とクラッド
42からなる従来の光導波路32を、接着層43を介し
て貼り付けたものである。光導波路32上にも電気配線
33が形成されている。LD44、LD用ドライバ45
などからなるLD部材36と、PD46、PD用ドライ
バ47などからなるPD部材37とは、お互いが電気的
に絶縁されるように、光導波路32上の電気配線33に
接続される。LD部材36とPD部材37は光導波路3
2で光学的に接続されている。
This portion 30h is obtained by pasting a conventional optical waveguide 32 consisting of a core 41 and a clad 42 via an adhesive layer 43 on a printed circuit board 31 having an electric wiring 33 formed therein. The electrical wiring 33 is also formed on the optical waveguide 32. LD44, LD driver 45
The LD member 36 made of, for example, and the PD member 37 made of the PD 46, the PD driver 47, etc. are connected to the electrical wiring 33 on the optical waveguide 32 so as to be electrically insulated from each other. The LD member 36 and the PD member 37 are the optical waveguide 3
Optically connected at 2.

【0006】部分30hに入力された電気信号aは、光
導波路32上の電気配線33を介してLD部材36に入
力され、LD44とLD用ドライバ45によって光信号
bに変換される。光信号bはコア41中を伝搬し、PD
部材37に入力され、PD46とPD用ドライバ47に
よって再び電気信号aに変換される。電気信号aは、プ
リント基板31内の電気配線33を介して部分30hか
ら出力される。
The electrical signal a input to the portion 30h is input to the LD member 36 via the electrical wiring 33 on the optical waveguide 32, and is converted into the optical signal b by the LD 44 and the LD driver 45. The optical signal b propagates through the core 41, and the PD
It is input to the member 37, and is converted again into the electric signal a by the PD 46 and the PD driver 47. The electric signal a is output from the portion 30h via the electric wiring 33 in the printed board 31.

【0007】従来の光導波路32の製造方法を図5
(a)〜(g)で説明する。まず、Siなどの平坦な基
板(ウェハ)51上に下部クラッド層52を形成する。
ポリマなどの樹脂を用いるときにはスピンコータなどで
樹脂膜を形成し、その後に露光して硬化させる{図5
(a)、(b)}。下部クラッド層52上に樹脂をスピ
ンコート法により塗布してコア層53を形成し{図5
(c)}、マスク54を用いて露光し{図5(d)}、
エッチングにて不要な部分を除去して光導波路パターン
となるコア53aを形成する{図5(e)}。最後に全
面をクラッドコーティング層55で覆うと、光導波路3
2が作製される{図5(f)}。この光導波路32を、
図6に示すようにSi基板51から引き剥がし、プリン
ト基板31に接着層43を介して貼り付けると、プリン
ト基板31に光導波路と電気配線が混在して形成された
光−電気複合基板30が完成する{図5(g)}。
A conventional method for manufacturing the optical waveguide 32 is shown in FIG.
This will be described in (a) to (g). First, the lower clad layer 52 is formed on a flat substrate (wafer) 51 such as Si.
When a resin such as a polymer is used, a resin film is formed by a spin coater or the like, and then exposed and cured (FIG. 5).
(A), (b)}. A resin is applied onto the lower clad layer 52 by a spin coating method to form a core layer 53 {see FIG.
(C)}, exposing using the mask 54 {FIG. 5 (d)},
Unnecessary portions are removed by etching to form a core 53a to be an optical waveguide pattern {FIG. 5 (e)}. Finally, when the entire surface is covered with the clad coating layer 55, the optical waveguide 3
2 is produced {FIG. 5 (f)}. This optical waveguide 32
As shown in FIG. 6, when peeled off from the Si substrate 51 and attached to the printed circuit board 31 via the adhesive layer 43, the optical-electrical composite substrate 30 formed by mixing the optical waveguide and the electrical wiring on the printed circuit board 31 is obtained. Completed (FIG. 5 (g)).

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題 】しかしながら、従来
の光導波路32は、Si基板51上に作製されているの
で、光−電気複合基板30を作製するにあたり、光導波
路32をSi基板51から剥離する必要があるが、その
際、光導波路32が大きい剥離力のために変形し、伝送
特性を劣化させるという問題がある。
However, since the conventional optical waveguide 32 is manufactured on the Si substrate 51, the optical waveguide 32 is separated from the Si substrate 51 when the optical-electrical composite substrate 30 is manufactured. However, in that case, there is a problem that the optical waveguide 32 is deformed due to a large peeling force and the transmission characteristics are deteriorated.

【0009】そのため、この剥離力を少なくするために
離型処理を施す場合があるが、この場合には、プリント
基板31に光導波路32を接着した際に接着信頼性が問
題となる。
Therefore, a releasing treatment may be performed in order to reduce the peeling force, but in this case, adhesion reliability becomes a problem when the optical waveguide 32 is adhered to the printed board 31.

【0010】さらに、Si基板51は枚葉式のために、
量産効率が劣るという欠点もある。すなわち、現在作製
可能なSi基板51の大きさには制限があるので、1枚
のSi基板51上に作製できる光導波路32の数にも自
ずと制限がある。
Further, since the Si substrate 51 is a single wafer type,
It also has the drawback of poor mass production efficiency. That is, since the size of the Si substrate 51 that can be currently manufactured is limited, the number of optical waveguides 32 that can be manufactured on one Si substrate 51 is naturally limited.

【0011】そこで、本発明の目的は、光−電気複合基
板用の光導波路を変形させずに簡単に個片化でき、しか
も量産効率を向上させた光導波路テープキャリア及びそ
の製造方法を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide an optical waveguide tape carrier and its manufacturing method in which the optical waveguide for an optical-electrical composite substrate can be easily separated into individual pieces without being deformed and the mass production efficiency is improved. Especially.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために創案されたものであり、請求項1の発明は、
ポリイミドなどをベースとしたフレキシブルなテープ上
に、プリント基板上に貼り付けられる光導波路を、テー
プの長手方向に沿って一定ピッチで連続的に作製した光
導波路テープキャリアである。
The present invention was devised to achieve the above object, and the invention of claim 1 is
This is an optical waveguide tape carrier in which an optical waveguide to be attached to a printed circuit board is continuously produced at a constant pitch along the longitudinal direction of the tape on a flexible tape based on polyimide or the like.

【0013】請求項2の発明は、テープ上に作製した光
導波路は、その下面のテープと共に切断分離されて個片
化され、プリント基板上に貼り付けられる請求項1記載
の光導波路テープキャリアである。
According to a second aspect of the present invention, in the optical waveguide tape carrier according to the first aspect, the optical waveguide formed on the tape is cut and separated with the tape on the lower surface thereof into individual pieces, and the individual pieces are attached to the printed circuit board. is there.

【0014】請求項3の発明は、ポリイミドなどをベー
スとしたフレキシブルなテープ上に、プリント基板上に
貼り付けられる光導波路を、テープの長手方向に沿って
一定ピッチで連続的に作製するべく、テープ上にクラッ
ド用樹脂をロールコート法により塗布し、クラッド用樹
脂を露光して下部クラッド層を形成し、下部クラッド層
上にコア用樹脂をロールコート法により塗布し、コア用
樹脂をマスク上から露光した後エッチングしてコアを形
成し、コアと下部クラッド層を覆うクラッドコーティン
グ層を形成する光導波路テープキャリアの製造方法であ
る。
According to a third aspect of the present invention, an optical waveguide to be attached to a printed circuit board is continuously produced on a flexible tape made of polyimide or the like at a constant pitch along the longitudinal direction of the tape. The clad resin is applied on the tape by a roll coating method, the clad resin is exposed to form a lower clad layer, the core resin is applied on the lower clad layer by a roll coating method, and the core resin is applied on a mask. Is a method of manufacturing an optical waveguide tape carrier, in which a core is formed by exposing after exposure to light and a clad coating layer covering the core and the lower clad layer is formed.

【0015】請求項4の発明は、テープ上に作製した光
導波路は、その下面のテープと共にプレスなどによって
打ち抜かれ、プリント基板上に貼り付けられる請求項3
記載の光導波路テープキャリアの製造方法である。
According to a fourth aspect of the present invention, the optical waveguide formed on the tape is punched together with the tape on the lower surface thereof by a press or the like, and attached to a printed circuit board.
It is a manufacturing method of the optical waveguide tape carrier described.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適実施の形態を
添付図面にしたがって説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

【0017】図1は、本発明の好適実施の形態である光
導波路テープキャリアの概略図を示したものである。
FIG. 1 is a schematic view of an optical waveguide tape carrier which is a preferred embodiment of the present invention.

【0018】図1に示すように、本発明に係る光導波路
テープキャリア1は、主に、プリント基板31に光導波
路と電気配線とが混在して形成された光−電気複合基板
2用の光導波路として用いられるものであり、ポリイミ
ドやエポキシなどをベースにしたフレキシブルなテープ
3上に、プリント基板31上に貼り付けられる光導波路
4a,4b…を、テープ3の長手方向に沿って一定ピッ
チで連続的に作製したものである。
As shown in FIG. 1, the optical waveguide tape carrier 1 according to the present invention is mainly used for an optical-electrical composite substrate 2 formed on a printed circuit board 31 in which optical waveguides and electrical wiring are mixed. The optical waveguides 4a, 4b, etc., which are used as waveguides and are attached to the printed circuit board 31 on a flexible tape 3 based on polyimide, epoxy or the like, are arranged at a constant pitch along the longitudinal direction of the tape 3. It was produced continuously.

【0019】光導波路テープキャリア1は、例えば、リ
ールに巻き取られた状態で製品化されている。この光導
波路テープキャリア1は、必要に応じて必要な長さ分だ
けリールから送り出されて供給され、使用される。
The optical waveguide tape carrier 1 is manufactured, for example, in a state wound on a reel. The optical waveguide tape carrier 1 is fed from the reel by a required length, supplied, and used.

【0020】テープ3上に作製した各光導波路4a,4
b…は、その下面のテープ3と共に光導波路テープキャ
リア1から切断分離されて個片化され、下面のテープ3
が下側となるように、プリント基板31上に貼り付けら
れる。
Optical waveguides 4a, 4 produced on the tape 3
b ... is cut and separated from the optical waveguide tape carrier 1 together with the tape 3 on the lower surface thereof into individual pieces.
Is affixed on the printed circuit board 31 so that is on the lower side.

【0021】次に、光導波路テープキャリア1の製造方
法を、図2(a)〜(g)により説明する。
Next, a method of manufacturing the optical waveguide tape carrier 1 will be described with reference to FIGS.

【0022】光導波路テープキャリア1の製造に先立っ
て、ポリイミドやエポキシを主体としたフレキシブルな
テープ3を、図示しないテープ3が巻き付けられた上流
側の供給リールから下流側の巻き取りリールまで掛け渡
す。図示しない巻き取り手段によって巻き取りリールを
駆動し、テープ3を所定速度で巻き取るようにする。こ
れら供給リールと巻き取りリール間をテープ3が移動す
る間に、以下に説明する工程で、テープ3上に、光導波
路4a…がテープ3の長手方向に沿って一定ピッチで連
続的に作製される。
Prior to the manufacture of the optical waveguide tape carrier 1, a flexible tape 3 mainly composed of polyimide or epoxy is wound from an upstream supply reel around which the tape 3 (not shown) is wound to a downstream take-up reel. . The winding reel is driven by a winding means (not shown) to wind the tape 3 at a predetermined speed. While the tape 3 moves between the supply reel and the take-up reel, the optical waveguides 4a ... Are continuously formed on the tape 3 at a constant pitch along the longitudinal direction of the tape 3 in the process described below. It

【0023】まず、テープ3上に、クラッド用樹脂を塗
布手段としてのロール21などを用いたロールコート法
により塗布し、塗布したクラッド用樹脂を露光して下部
クラッド層22を形成する{図2(a),(b)}。ク
ラッド用樹脂としては、例えば、感光性樹脂であるフッ
素、ホウ素などが添加された紫外線硬化型樹脂などを用
いることができる。
First, the tape 3 is coated with a clad resin by a roll coating method using a roll 21 as a coating means, and the coated clad resin is exposed to form a lower clad layer 22 (FIG. 2). (A), (b)}. As the clad resin, for example, an ultraviolet curable resin to which a photosensitive resin such as fluorine or boron is added can be used.

【0024】下部クラッド層22上に、コア用樹脂を、
上述と同様の塗布手段としてのロールなどを用いたロー
ルコート法により塗布し、コア層23を形成する{図2
(c)}。コア用樹脂としては、例えば、感光性樹脂で
あるゲルマニウム、チタン、リンなどが添加された紫外
線硬化型樹脂などを用いることができる。
On the lower clad layer 22, a resin for core is
The core layer 23 is formed by coating by a roll coating method using a roll or the like as a coating means similar to that described above (FIG. 2).
(C)}. As the core resin, for example, an ultraviolet curable resin to which a photosensitive resin such as germanium, titanium or phosphorus is added can be used.

【0025】コア層23の上部近傍にマスク24を配置
し、そのマスク24の上方からコア層23を露光する
{図2(d)}。このとき、テープ3はマスク24の下
部近傍を所定速度で移動しているので、テープ3の移動
速度に合わせて所定時間ごとにコア層23の露光を行う
ようにする。露光後、エッチングにて不要な部分(露光
されずに硬化していないコア層23)を除去して光導波
路パターンとなる断面矩形状のコア23a…を形成する
{図2(e)}。
A mask 24 is arranged near the upper part of the core layer 23, and the core layer 23 is exposed from above the mask 24 (FIG. 2 (d)). At this time, since the tape 3 is moving near the lower part of the mask 24 at a predetermined speed, the core layer 23 is exposed every predetermined time according to the moving speed of the tape 3. After the exposure, unnecessary portions (core layer 23 that is not exposed and cured) are removed by etching to form cores 23a having a rectangular cross section, which will be an optical waveguide pattern {FIG. 2 (e)}.

【0026】コア23a…形成後、コア23a…と下部
クラッド層22を覆うクラッドコーティング層25を、
上述したクラッド用樹脂を用いて形成する。これによ
り、テープ3上に、下部クラッド層22、コア23a
…、クラッドコーティング層25からなる光導波路4a
…が、テープ3の長手方向に沿って一定ピッチで連続的
に作製され{図2(f)}、図1に示した光導波路テー
プキャリア1が完成する。
After the cores 23a are formed, a clad coating layer 25 covering the cores 23a and the lower clad layer 22 is formed.
It is formed using the above-mentioned clad resin. As a result, the lower clad layer 22 and the core 23a are formed on the tape 3.
..., the optical waveguide 4a including the clad coating layer 25
Are continuously produced at a constant pitch along the longitudinal direction of the tape 3 {FIG. 2 (f)}, and the optical waveguide tape carrier 1 shown in FIG. 1 is completed.

【0027】光導波路テープキャリア1は、例えば、巻
き取りリールに巻き取られた状態で製品化されている。
この光導波路テープキャリア1は、必要に応じて必要な
長さ分だけリールから送り出されて供給され、使用され
る。
The optical waveguide tape carrier 1 is commercialized, for example, in a state of being wound on a winding reel.
The optical waveguide tape carrier 1 is fed from the reel by a required length, supplied, and used.

【0028】テープ3上に作製した各光導波路4a…
は、その下面のテープ3と共に、例えば、プレスなどに
よって光導波路テープキャリア1から打ち抜かれて個片
化される。プリント基板31上に、その下面のテープ3
と共に個片化された光導波路4aを、下面のテープ3が
下側となるように接着層26を介して貼り付けると、光
と電気の配線が複合化された光−電気複合基板2が完成
する{図2(g)}。
Each optical waveguide 4a produced on the tape 3 ...
Together with the tape 3 on the lower surface thereof are punched out from the optical waveguide tape carrier 1 by a press or the like to be separated into individual pieces. The tape 3 on the lower surface of the printed circuit board 31
When the individualized optical waveguide 4a is attached together with the adhesive tape 26 so that the tape 3 on the lower surface is on the lower side, the optical-electrical composite substrate 2 in which optical and electrical wirings are combined is completed. Do {FIG. 2 (g)}.

【0029】接着層26は、予めプリント基板31上の
光導波路4aが貼り付けられる位置に形成しておけばよ
い。接着層26としては、例えば、紫外線硬化型、熱硬
化型、感圧型などのものを使用することができる。
The adhesive layer 26 may be formed in advance on the printed board 31 at a position where the optical waveguide 4a is attached. As the adhesive layer 26, for example, an ultraviolet curable type, a thermosetting type, or a pressure sensitive type can be used.

【0030】図5および図6で説明した従来の光導波路
32は、Si基板上に作製されているので、光−電気複
合基板を作製するにあたり、光導波路32をSi基板か
ら引き剥がしてプリント基板31上に貼り付ける工程が
必要である。その際、従来の光導波路32は大きい剥離
力のために変形し、伝送特性を劣化させるが、本発明に
係る光導波路テープキャリア1は、フレキシブルなテー
プ3上に、各光導波路4a,4b…がテープ3の長手方
向に沿って一定ピッチで連続的に作製されているので、
各光導波路4a,4b…をその下面のテープ3と共に、
プレスなどによって光導波路テープキャリア1から打ち
抜いてそのままプリント基板31上に貼り付けることが
できるため、各光導波路4a,4b…の変形を最小限に
でき、簡単に個片化できる。
Since the conventional optical waveguide 32 described with reference to FIGS. 5 and 6 is produced on a Si substrate, the optical waveguide 32 is peeled off from the Si substrate to produce an optical-electric composite substrate. A step of pasting on 31 is required. At that time, the conventional optical waveguide 32 is deformed due to a large peeling force and deteriorates the transmission characteristics. However, the optical waveguide tape carrier 1 according to the present invention has the optical waveguides 4a, 4b ... Are continuously produced at a constant pitch along the longitudinal direction of the tape 3,
Each of the optical waveguides 4a, 4b ... With the tape 3 on the lower surface thereof,
Since the optical waveguide tape carrier 1 can be punched from the optical waveguide tape carrier 1 and attached to the printed circuit board 31 as it is, deformation of the optical waveguides 4a, 4b ... Can be minimized and individualized easily.

【0031】また、従来の光導波路32では、大きい剥
離力を少なくするために離型処理を施す場合があるが、
本発明に係る光導波路テープキャリア1は、離型処理が
不用である。したがって、プリント基板31上に各光導
波路4a,4b…を接着した際の接着信頼性も十分であ
る。
Further, in the conventional optical waveguide 32, a releasing treatment may be applied to reduce a large peeling force.
The optical waveguide tape carrier 1 according to the present invention does not require a mold release treatment. Therefore, the adhesion reliability when the optical waveguides 4a, 4b ... Are adhered to the printed circuit board 31 is also sufficient.

【0032】Si基板は枚葉式のために量産効率に劣る
が、本発明に係る光導波路テープキャリア1は、各光導
波路4a,4b…がリール状のテープキャリアのまま製
造・供給されるので、大量生産に適しており、コスト的
にも有利である。したがって、量産効率が向上し、低コ
ストである。
Since the Si substrate is a single-wafer type, it is inferior in mass production efficiency. However, in the optical waveguide tape carrier 1 according to the present invention, the respective optical waveguides 4a, 4b ... Are manufactured and supplied as reel tape carriers. Suitable for mass production and cost effective. Therefore, mass production efficiency is improved and the cost is low.

【0033】さらに、ポリイミドやエポキシなどをベー
スとしたフレキシブルなテープ3は、Si基板と比べる
と、取り扱いが非常に簡便である。
Further, the flexible tape 3 based on polyimide or epoxy is very easy to handle as compared with the Si substrate.

【0034】上記実施の形態では、クラッド用樹脂やコ
ア用樹脂を塗布する手段としてロール21を用いた例で
説明したが、塗布手段としては、ロール21に限らず、
ナイフのようなものでもよい。ナイフを用いた場合に
は、塗布した樹脂の厚さのばらつきが低減できる。
In the above embodiment, the roll 21 is used as a means for applying the clad resin or the core resin, but the application means is not limited to the roll 21.
It can be something like a knife. When a knife is used, variations in the thickness of the applied resin can be reduced.

【0035】コア4a…の形成方法としては、上述した
感光性樹脂を用いる方法の他に、反応性イオンエッチン
グ(RIE:Reactive Ion Etchin
g)などを用いることができる。この場合、精度が高い
光導波路を作製できる。
As the method for forming the cores 4a, in addition to the method using the above-mentioned photosensitive resin, reactive ion etching (RIE: Reactive Ion Etchin) is used.
g) or the like can be used. In this case, an optical waveguide with high accuracy can be manufactured.

【0036】クラッドコーティング層25を形成後、そ
の下流側にプレス機などの切断分離手段を設け、製品化
された光導波路テープキャリア1ではなく、各光導波路
4a,4b…が打ち抜かれた後のテープ3を、巻き取り
リールで巻き取るようにしてもよい。
After the clad coating layer 25 is formed, cutting and separating means such as a press is provided on the downstream side of the clad coating layer 25, and the optical waveguides 4a, 4b ... The tape 3 may be taken up by a take-up reel.

【0037】接着層26は、プリント基板31上ではな
く、予めテープ3の下面に形成してもよい。この場合、
接着層付きテープ上に光導波路4a,4b…を作製する
ことになるので、上記実施の形態と比べるとややコスト
が高くなるが、テープから切断分離されて個片化した各
光導波路4a,4b…を、より簡単にプリント基板31
上に貼り付けることができる。予め接着層付きテープの
下面に接着層の粘着力を保護する保護テープなどを貼り
付けておくと、なおよい。
The adhesive layer 26 may be formed in advance on the lower surface of the tape 3 instead of on the printed board 31. in this case,
Since the optical waveguides 4a, 4b ... Are produced on the tape with the adhesive layer, the cost is slightly higher than that of the above-mentioned embodiment, but the optical waveguides 4a, 4b are cut and separated from the tape into individual pieces. ... more easily on the printed circuit board 31
Can be pasted on. It is more preferable to previously attach a protective tape or the like for protecting the adhesive force of the adhesive layer to the lower surface of the adhesive layer-provided tape.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば、次のような優れた効果を発揮する。
As is apparent from the above description,
According to the present invention, the following excellent effects are exhibited.

【0039】(1)光導波路の変形を最小限にでき、簡
単に個片化できる。
(1) The deformation of the optical waveguide can be minimized and individualized easily.

【0040】(2)量産効率が向上する。(2) Mass production efficiency is improved.

【0041】(3)取り扱いが簡便である。(3) The handling is simple.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の好適実施の形態を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing a preferred embodiment of the present invention.

【図2】図1に示した光導波路テープキャリアの製造方
法の一例を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of a method of manufacturing the optical waveguide tape carrier shown in FIG.

【図3】光−電気複合基板の平面図である。FIG. 3 is a plan view of an opto-electric composite substrate.

【図4】光−電気複合基板の部分断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view of an opto-electric composite substrate.

【図5】従来の光導波路の製造方法を示す断面図であ
る。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a conventional method of manufacturing an optical waveguide.

【図6】従来の光導波路をプリント基板上に貼り付ける
プロセスを示す概略図である。
FIG. 6 is a schematic view showing a process of pasting a conventional optical waveguide on a printed board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光導波路テープキャリア 2 光−電気複合基板 3 フレキシブルなテープ 4a,4b… 光導波路 31 プリント基板 1 Optical waveguide tape carrier 2 Optical-electrical composite substrate 3 flexible tape 4a, 4b ... Optical waveguide 31 printed circuit board

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田仲 寛司 東京都千代田区大手町一丁目6番1号 日 立電線株式会社内 Fターム(参考) 2H047 KA03 PA02 PA15 PA24 PA28 QA05 RA08 TA05 TA41    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Kanji Tanaka             1-6-1, Otemachi, Chiyoda-ku, Tokyo             Standing Wire Co., Ltd. F term (reference) 2H047 KA03 PA02 PA15 PA24 PA28                       QA05 RA08 TA05 TA41

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ポリイミドなどをベースとしたフレキシ
ブルなテープ上に、プリント基板上に貼り付けられる光
導波路を、テープの長手方向に沿って一定ピッチで連続
的に作製したことを特徴とする光導波路テープキャリ
ア。
1. An optical waveguide characterized in that a flexible tape made of polyimide or the like is provided with optical waveguides to be adhered onto a printed circuit board continuously at a constant pitch along the longitudinal direction of the tape. Tape carrier.
【請求項2】 テープ上に作製した光導波路は、その下
面のテープと共に切断分離されて個片化され、プリント
基板上に貼り付けられる請求項1記載の光導波路テープ
キャリア。
2. The optical waveguide tape carrier according to claim 1, wherein the optical waveguide formed on the tape is cut and separated into individual pieces together with the tape on the lower surface of the optical waveguide, and the optical waveguide tape carrier is attached onto a printed circuit board.
【請求項3】 ポリイミドなどをベースとしたフレキシ
ブルなテープ上に、プリント基板上に貼り付けられる光
導波路を、テープの長手方向に沿って一定ピッチで連続
的に作製するべく、テープ上にクラッド用樹脂をロール
コート法により塗布し、クラッド用樹脂を露光して下部
クラッド層を形成し、下部クラッド層上にコア用樹脂を
ロールコート法により塗布し、コア用樹脂をマスク上か
ら露光した後エッチングしてコアを形成し、コアと下部
クラッド層を覆うクラッドコーティング層を形成するこ
とを特徴とする光導波路テープキャリアの製造方法。
3. A clad for clad on a tape for continuously producing optical waveguides to be attached on a printed circuit board on a flexible tape made of polyimide or the like at a constant pitch along the longitudinal direction of the tape. Apply the resin by roll coating method, expose the cladding resin to form the lower cladding layer, apply the core resin on the lower cladding layer by roll coating method, expose the core resin from the mask, and then etch Forming a core and forming a clad coating layer covering the core and the lower clad layer.
【請求項4】 テープ上に作製した光導波路は、その下
面のテープと共にプレスなどによって打ち抜かれ、プリ
ント基板上に貼り付けられる請求項3記載の光導波路テ
ープキャリアの製造方法。
4. The method of manufacturing an optical waveguide tape carrier according to claim 3, wherein the optical waveguide formed on the tape is punched together with the tape on the lower surface by a press or the like, and is attached on a printed circuit board.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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