JP2003209017A - Stacked composite electronic component and method for manufacturing the same - Google Patents

Stacked composite electronic component and method for manufacturing the same

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JP2003209017A
JP2003209017A JP2002007079A JP2002007079A JP2003209017A JP 2003209017 A JP2003209017 A JP 2003209017A JP 2002007079 A JP2002007079 A JP 2002007079A JP 2002007079 A JP2002007079 A JP 2002007079A JP 2003209017 A JP2003209017 A JP 2003209017A
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conductive paste
laminated
electronic component
film thickness
metal material
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Japanese (ja)
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Ken Takaoka
建 高岡
Kenjiro Hatano
研次郎 羽田野
Makoto Ishino
真 石野
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an internal electrode having a desired thickness without allowing interlayer separation, cracking or the like to occur. <P>SOLUTION: Coil electrodes 9 to 11 and capacitor electrodes 13 to 16 are both formed with conductive paste comprising Ag powder. The coil electrodes are formed with conductive paste comprising Ag powder whose average particle size is from 0.5 μm to 2.5 μm or/and specific surface area is from 1.6 m<SP>2</SP>/g to 2.6 m<SP>2</SP>/g, with a film thickness being from 5.0 μm to 9.5 μm. The capacitor electrodes are formed with conductive paste comprising Ag powder whose average particle size is from 3.0 μm to 5.5 μm or/and specific surface area is from 0.2 m<SP>2</SP>/g to 1.4 m<SP>2</SP>/g, with a film thickness being from 0.5 μm to 4.0 μm. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は積層型複合電子部
品、及びその製造方法に関し、より詳しくは、同一金属
種を主成分とする2種類以上の内部導体を備えた積層型
複合LC部品等の積層型複合電子部品と、該積層型複合
電子部品の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminated composite electronic component and a method for manufacturing the same, and more particularly to a laminated composite LC component including two or more kinds of internal conductors containing the same metal species as a main component. The present invention relates to a laminated composite electronic component and a method for manufacturing the laminated composite electronic component.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、内部導体としてコイル電極を
有する積層インダクタンス素子や積層インピーダンス素
子では、積層体のコイル電極は直流抵抗(RDC)の低
いことが要求されているため、電極膜厚を5.0〜9.
5μm程度まで厚くしなければならないが、斯かる電極
膜厚は、積層コンデンサの内部導体であるコンデンサ電
極に比べて非常に厚く、焼成時におけるフェライト素体
(磁性材料)とコイル電極との間の収縮量に大きな差が
生じ、このためフェライト素体とコイル電極との界面で
層間剥離が発生しやすい欠点があった。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a laminated inductance element or a laminated impedance element having a coil electrode as an inner conductor, it is required that the coil electrode of the laminated body has a low direct current resistance (R DC ). 5.0-9.
It must be thickened up to about 5 μm, but such an electrode film thickness is much thicker than that of the capacitor electrode which is the internal conductor of the multilayer capacitor, and the thickness between the ferrite element body (magnetic material) and the coil electrode during firing is large. There was a big difference in the amount of shrinkage, and therefore there was a drawback that delamination was likely to occur at the interface between the ferrite element body and the coil electrode.

【0003】そこで、このような欠点を解消するため
に、フェライト素体成分の有機金属化合物を添加した導
電性ペーストが提案されている(特開平6−21562
1号公報;以下、「第1の従来技術」という)。
Therefore, in order to eliminate such drawbacks, a conductive paste containing an organometallic compound as a ferrite element component has been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 6-21562).
No. 1 gazette; hereinafter referred to as "first conventional technology").

【0004】該第1の従来技術では、導電性ペーストに
フェライト素体成分を含有させることにより、内部電極
であるコイル電極とフェライト素体との結合強度を向上
させ、これにより界面での層間剥離の発生を抑制してい
る。
In the first prior art, the ferrite paste component is contained in the conductive paste to improve the bonding strength between the coil electrode, which is an internal electrode, and the ferrite body, and thereby delaminate at the interface. The occurrence of is suppressed.

【0005】一方、内部導体としてコンデンサ電極を有
する積層コンデンサでは、小型化、大容量化、低コスト
化の観点から電極膜厚を0.5〜4.0μm程度に薄く
することが望まれているが、このような薄膜電極を形成
しようとすると、焼成時に金属成分の蒸発や拡散等が生
じてコンデンサ電極と外部電極である入出力電極や接地
電極との間で接続不良が生じ易いという欠点があった。
On the other hand, in a multilayer capacitor having a capacitor electrode as an internal conductor, it is desired to reduce the electrode film thickness to about 0.5 to 4.0 μm from the viewpoint of downsizing, large capacity, and cost reduction. However, when attempting to form such a thin film electrode, there is a drawback in that evaporation or diffusion of a metal component occurs during firing and a connection failure easily occurs between the capacitor electrode and the external electrode such as the input / output electrode or the ground electrode. there were.

【0006】そこで、このような観点からコンデンサ電
極と外部電極とが電気的に接続する接続部を他の部位よ
りも厚くした積層セラミック電子部品が提案されている
(特開平5−304042号公報、特開平11−972
88号公報;以下、「第2の従来技術」という)。
From this point of view, there has been proposed a monolithic ceramic electronic component in which a connecting portion for electrically connecting a capacitor electrode and an external electrode is thicker than other portions (Japanese Patent Laid-Open No. 304042/1993). JP-A-11-972
No. 88 publication; hereinafter referred to as "second prior art").

【0007】さらに、積層セラミックコンデンサでも、
積層インダクタンス素子や積層インピーダンス素子と同
様、焼成時におけるセラミック素体とコンデンサ電極の
収縮量との相違から、層間剥離やクラックが発生する虞
がある。
Furthermore, even in a monolithic ceramic capacitor,
Similar to the laminated inductance element and laminated impedance element, delamination and cracks may occur due to the difference in shrinkage between the ceramic body and the capacitor electrode during firing.

【0008】そこで、このような層間剥離やクラックの
発生を回避する観点から、Zr、Nb、Fe、Ta等の
金属を含んだ金属アルコラートを含有した導電性ペース
トや、カルボン酸とPdやAu、Ag、Cu、Ni等の
金属との化合物である金属レジネートを含有させた導電
性ペーストが提案されている(特開平7−176448
号公報、特開平8−298224号公報、特開平5−2
58608号公報;以下、「第3の従来技術」とい
う)。
From the viewpoint of avoiding such delamination and cracking, a conductive paste containing a metal alcoholate containing a metal such as Zr, Nb, Fe or Ta, a carboxylic acid and Pd or Au, A conductive paste containing a metal resinate, which is a compound with a metal such as Ag, Cu, or Ni, has been proposed (JP-A-7-176448).
Japanese Patent Laid-Open No. 8-298224, Japanese Patent Laid-Open No. 5-2224
58608; hereinafter referred to as "third prior art").

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、コイル部と
コンデンサ部とを有する積層型複合LC部品のような積
層型複合電子部品では、上述したようにコイル電極の膜
厚を5.0〜9.5μm程度に厚くしなければならない
一方で、コンデンサ電極の膜厚は0.5〜4.0μm程
度に薄くするのが望ましい。
By the way, in a laminated composite electronic component such as a laminated composite LC component having a coil portion and a capacitor portion, as described above, the film thickness of the coil electrode is 5.0 to 9. The thickness of the capacitor electrode should be as thin as about 0.5 to 4.0 μm, while the thickness of the capacitor electrode should be about 5 μm.

【0010】しかしながら、上記第1〜第3の従来技術
では、たとえ積層インピーダンス素子や積層コンデンサ
等で生じる個々の問題点を解決することができても、こ
れら個々の積層型電子部品を組み合わせた複合LC部品
等の複合電子部品では、上述した内部電極(コイル電極
及びコンデンサ電極)やセラミック素体等に発生し得る
問題点を全て解決することはできず、しかも、コイル部
とコンデンサ部とで要求される膜厚も異なるため、上述
した全ての問題点を解決して所望の膜厚を得るのは困難
であるという問題点があった。
However, in the above-mentioned first to third prior arts, even if the individual problems occurring in the multilayer impedance element, the multilayer capacitor and the like can be solved, a composite in which these individual multilayer electronic parts are combined is combined. In complex electronic parts such as LC parts, it is not possible to solve all of the problems that may occur in the internal electrodes (coil electrodes and capacitor electrodes), ceramic element bodies, etc., and moreover, it is required in the coil part and the capacitor part. Since the applied film thickness is different, it is difficult to solve all the problems described above and obtain a desired film thickness.

【0011】本発明はこのような事情に鑑みなされたも
のであって、層間剥離やクラック等が生じることなく、
所望の膜厚を有する内部電極を備えた積層型複合電子部
品、及びその製造方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and is free from delamination, cracks, etc.
It is an object of the present invention to provide a laminated composite electronic component including an internal electrode having a desired film thickness and a method for manufacturing the same.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成するために鋭意研究したところ、電極膜厚が厚く
なっても層間剥離やクラック、ワレ等が発生しないよう
にするためには、平均粒径Daveが小さく、又は/及び
比表面積Swの大きい金属粉末を含有した導電材料を使
用して内部電極(内部導体)を形成するのが望ましく、
電極膜厚が薄くなっても焼成時に蒸発、拡散を抑制する
ためには、平均粒径Daveが大きく、又は/及び比表面
積Swの小さい金属粉末を含有した導電性ペーストを使
用して内部電極を形成するのが望ましいという知見を得
た。
[Means for Solving the Problems] The inventors of the present invention have conducted extensive studies in order to achieve the above-mentioned object. In order to prevent delamination, cracks, cracks, etc., from occurring even when the electrode film thickness is increased. It is desirable to form the internal electrode (internal conductor) using a conductive material containing a metal powder having a small average particle diameter Dave and / or a large specific surface area Sw.
In order to suppress evaporation and diffusion during firing even if the electrode film thickness becomes thin, the internal electrode is formed by using a conductive paste containing a metal powder having a large average particle diameter Dave and / or a small specific surface area Sw. We have found that it is desirable to form them.

【0013】本発明は斯かる知見に基づきなされたもの
であって、本発明に係る積層型複合電子部品は、内部導
体とシート状部材とが交互に積層された2種類以上の積
層体からなる積層型複合電子部品において、前記内部導
体が、同一種の金属材料を含有した導電性ペーストが焼
結してなると共に前記積層体毎に異なる膜厚で形成さ
れ、かつ、膜厚の厚い内部導体は、膜厚の薄い内部導体
に比べて平均粒径の小さな金属材料、又は/及び比表面
積の大きな金属材料を含有した導電性ペーストで形成さ
れていることを特徴としている。
The present invention has been made on the basis of such findings, and the laminated composite electronic component according to the present invention is composed of two or more kinds of laminated bodies in which internal conductors and sheet-like members are alternately laminated. In the multilayer composite electronic component, the inner conductor is formed by sintering a conductive paste containing the same kind of metal material, and is formed to have a different film thickness for each laminated body, and the inner conductor has a large film thickness. Is characterized by being formed of a conductive paste containing a metal material having a smaller average particle size and / or a metal material having a larger specific surface area than the inner conductor having a small film thickness.

【0014】さらに、本発明者らは、積層型複合電子部
品としての複合LC部品について鋭意研究した結果、上
述した目的を達成するための金属材料としては、コンデ
ンサ電極は、平均粒径Daveが3.0μm〜5.5μ
m、比表面積が0.2m/g〜1.4m/gである
のが望ましく、コイル電極は、平均粒径Daveが0.5
μm〜2.5μm、比表面積が1.6m/g〜2.6
/gであるのが望ましいことが判明した。
Further, as a result of intensive studies on the composite LC component as the laminated composite electronic component, the present inventors have found that as a metal material for achieving the above-mentioned object, the capacitor electrode has an average particle diameter Dave of 3 0.0 μm to 5.5 μm
m, the ratio is the desirably a 0.2m 2 /g~1.4m 2 / g surface area, the coil electrode has an average particle diameter Dave 0.5
μm to 2.5 μm, specific surface area 1.6 m 2 / g to 2.6
It has been found that m 2 / g is desirable.

【0015】すなわち、本発明の積層型複合電子部品
は、前記積層体が、第1の内部導体を有する第1の積層
体と、前記第1の内部導体よりも膜厚の薄い第2の内部
導体を有する第2の積層体とから構成され、前記第1の
内部導体は、平均粒径が0.5μm〜2.5μm又は/
及び比表面積が1.6m/g〜2.6m/gの金属
材料を含有した導電性ペーストが焼結してなり、前記第
2の内部導体は、平均粒径が3.0μm〜5.5μm又
は/及び0.2m/g〜1.4m/gの金属材料を
含有した導電性ペーストが焼結してなることを特徴と
し、さらに、前記第1の積層体はコイル部を構成し、前
記第2の積層体はコンデンサ部を構成すると共に、前記
第1の内部導体はコイル用電極であり、前記第2の内部
電極はコンデンサ電極であることを特徴としている。
That is, in the laminated composite electronic component of the present invention, the laminated body has a first laminated body having a first inner conductor and a second inner body having a film thickness smaller than that of the first inner conductor. And a second laminated body having a conductor, wherein the first inner conductor has an average particle size of 0.5 μm to 2.5 μm or /
And a specific surface area of 1.6m 2 /g~2.6m 2 / g of metal material conductive paste containing is sintered, said second internal conductor has an average particle size of 3.0μm~5 .5μm or / and 0.2m 2 /g~1.4m 2 / g of metal material conductive paste containing is characterized by being sintered, and further, the first laminate coil portion The second laminated body constitutes a capacitor portion, the first inner conductor is a coil electrode, and the second inner electrode is a capacitor electrode.

【0016】また、本発明の積層型複合電子部品は、前
記金属材料が、銀を主成分とすることを特徴としてお
り、これにより各積層体が所望の導電性を有する積層型
複合電子部品を得ることができる。
Further, the laminated composite electronic component of the present invention is characterized in that the metallic material contains silver as a main component, whereby each laminated body has a desired conductivity. Obtainable.

【0017】さらに、本発明の積層型複合電子部品は、
前記導電性ペーストには、有機ビヒクルが含有されてい
ることを特徴としており、これにより所望のペースト状
を有する導電性ペーストにより金属材料が均一に分散し
た内部導体を有する積層型複合電子部品を得ることがで
きる。
Further, the laminated composite electronic component of the present invention is
The conductive paste is characterized by containing an organic vehicle, thereby obtaining a laminated composite electronic component having an internal conductor in which a metal material is uniformly dispersed by the conductive paste having a desired paste form. be able to.

【0018】また、本発明の積層型複合電子部品の製造
方法は、金属材料を含有した導電性ペーストを使用して
電極パターンを形成したシート状部材を積層して積層体
を形成すると共に、2種類以上の前記積層体を互いに重
ねた後、焼成処理を施して積層型複合電子部品を製造す
る積層型複合電子部品の製造方法において、同一種の金
属材料を含有した導電性ペーストを使用すると共に、前
記積層体毎に異なる膜厚を有するように前記導電性ペー
ストを使用して各々電極パターンを形成し、かつ、膜厚
の厚い電極パターンの形成には、膜厚の薄い電極パター
ンと比べて平均粒径の小さな金属材料、又は/及び比表
面積の大きな金属材料を含有した導電性ペーストを使用
することを特徴としている。
Further, according to the method of manufacturing a laminated composite electronic component of the present invention, sheet-like members having an electrode pattern formed thereon are laminated using a conductive paste containing a metal material to form a laminate, and In the method for producing a laminated composite electronic component, in which a laminated composite electronic component is produced by stacking the above laminated bodies of at least one type on top of each other, a conductive paste containing the same type of metal material is used. The electrode patterns are formed by using the conductive paste so that each of the laminated bodies has a different film thickness. It is characterized in that a conductive paste containing a metal material having a small average particle size and / or a metal material having a large specific surface area is used.

【0019】上記製造方法によれば、各積層体毎に異な
る膜厚を有するように前記導電性ペーストを使用して電
極パターンを形成し、膜厚の厚い電極パターンは、膜厚
の薄い電極パターンに比べて粒径の小さな金属材料を含
有した導電性ペースト、又は/及び比表面積の大きな金
属材料を含有した導電性ペーストを使用し、膜厚の薄い
電極パターンは、膜厚の厚い電極パターンに比べて粒径
の大きな金属材料を含有した導電性ペースト、又は/及
び比表面積の小さな金属材料を含有した導電性ペースト
を使用しているので、層間剥離やクラック、ワレ等が生
じることもなく、各積層体に応じて所望膜厚の形成され
た内部電極を有する積層型複合電子部品を容易に得るこ
とができる。
According to the above manufacturing method, the conductive paste is used to form an electrode pattern so that each laminated body has a different film thickness, and a thick electrode pattern is a thin electrode pattern. Use a conductive paste containing a metal material with a smaller particle size than that of the above, or / and use a conductive paste containing a metal material with a large specific surface area. Compared with the conductive paste containing a metal material having a large particle diameter, or / and the conductive paste containing a metal material having a small specific surface area, delamination, cracks, cracks, etc. do not occur, It is possible to easily obtain a laminated composite electronic component having an internal electrode having a desired film thickness according to each laminated body.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
に基づき詳説する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0021】図1は本発明に係る積層型複合電子部品と
しての積層型複合LC部品(以下、「複合LC部品」と
いう)の一実施の形態を示す斜視図であって、該複合L
C部品は、コイル部1とコンデンサ部2とを有し、該コ
イル部1とコンデンサ部2との間にはガラス材等で形成
された中間層3が介装されている。そして、コイル部
1、コンデンサ部2、及び中間層3で部品本体4を構成
し、該部品本体4の両端部には入出力電極5、6が形成
され、該2つの入出力電極5、6の略中央部には断面コ
字状の接地電極7、8が形成されている。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a laminated composite LC component (hereinafter referred to as "composite LC component") as a laminated composite electronic component according to the present invention.
The C component has a coil portion 1 and a capacitor portion 2, and an intermediate layer 3 made of a glass material or the like is interposed between the coil portion 1 and the capacitor portion 2. The coil unit 1, the capacitor unit 2, and the intermediate layer 3 constitute a component body 4, and input / output electrodes 5 and 6 are formed at both ends of the component body 4, and the two input / output electrodes 5 and 6 are formed. Ground electrodes 7 and 8 having a U-shaped cross section are formed in the substantially central portion of.

【0022】図2は図1のX−X断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line XX of FIG.

【0023】コイル部1は、内部導体としてのコイル電
極9〜11が表面に形成された磁性体シートが積層され
てなり、コイル電極9の引出部9aは一方の入出力電極
5と電気的に接続されると共に、コイル電極11の引出
部11aは他方の入出力電極6と電気的に接続され、さ
らに、前記コイル電極10は略C字状に形成されてい
る。
The coil portion 1 is formed by laminating a magnetic material sheet having coil electrodes 9 to 11 as internal conductors formed on the surface thereof, and a lead portion 9a of the coil electrode 9 is electrically connected to one of the input / output electrodes 5. In addition to being connected, the lead-out portion 11a of the coil electrode 11 is electrically connected to the other input / output electrode 6, and the coil electrode 10 is formed in a substantially C shape.

【0024】そして、コイル電極9〜11は、磁性体シ
ート上に形成されたビアホール(不図示)を介して電気
的に直列に接続され、時計回り方向に巻回されたコイル
を形成している。
The coil electrodes 9 to 11 are electrically connected in series through via holes (not shown) formed on the magnetic sheet to form a coil wound in a clockwise direction. .

【0025】また、コンデンサ部2は、内部導体として
のコンデンサ電極13〜16が表面に形成された誘電体
シートが積層されてなり、コンデンサ電極16の引出部
16aは前記一方の入出力電極5と電気的に接続され、
コンデンサ電極13の引出部13aは前記他方の入出力
電極6と電気的に接続されている。また、コンデンサ電
極14、15の引出部は、夫々接地電極7、8に電気的
に接続されている。そして、本実施の形態では、コンデ
ンサ電極13、15とコンデンサ電極14、16との間
に静電容量が形成される。
The capacitor portion 2 is formed by laminating dielectric sheets having capacitor electrodes 13 to 16 as internal conductors formed on the surface thereof, and the lead-out portion 16a of the capacitor electrode 16 is connected to the one input / output electrode 5 described above. Electrically connected,
The lead-out portion 13a of the capacitor electrode 13 is electrically connected to the other input / output electrode 6. The lead-out portions of the capacitor electrodes 14 and 15 are electrically connected to the ground electrodes 7 and 8, respectively. Then, in the present embodiment, capacitance is formed between the capacitor electrodes 13 and 15 and the capacitor electrodes 14 and 16.

【0026】そして、前記コイル電極9〜11及び前記
コンデンサ電極13〜16は、Agを主成分とする導電
性ペーストで形成されると共に、コイル電極9〜11と
コンデンサ電極13〜16とは異なる膜厚を有してい
る。すなわち、コイル電極9〜11は、直流抵抗(R
DC)が低いことが要求されることから、電極膜厚は厚
くする必要があり、このため本実施の形態ではコイル電
極9〜11の電極膜厚は5.0μm〜9.5μmに形成
されている。一方、コンデンサ電極13〜16は、小形
化、大容量化、低コスト化の観点から、電極膜厚は薄い
ことが望ましく、本実施の形態ではコンデンサ電極13
〜16の電極膜厚は0.5μm〜4.0μmに形成され
ている。
The coil electrodes 9 to 11 and the capacitor electrodes 13 to 16 are formed of a conductive paste containing Ag as a main component, and the coil electrodes 9 to 11 and the capacitor electrodes 13 to 16 are different films. Have a thickness. That is, the coil electrodes 9 to 11 have a DC resistance (R
Since it is required that DC ) be low, it is necessary to make the electrode film thickness thick. Therefore, in the present embodiment, the electrode film thickness of the coil electrodes 9 to 11 is set to 5.0 μm to 9.5 μm. There is. On the other hand, it is desirable that the capacitor electrodes 13 to 16 have a small electrode film thickness from the viewpoints of downsizing, large capacity, and cost reduction.
The electrode film thicknesses of 16 to 16 are formed to 0.5 μm to 4.0 μm.

【0027】また、コイル電極9〜11及びコンデンサ
電極13〜16の各電極膜厚は、導電性ペーストに含有
される固形分としてのAg粉末の含有量や導電性ペース
トの粘度、及びスクリーン印刷の印刷条件を調整するこ
とにより制御される。
The electrode film thicknesses of the coil electrodes 9 to 11 and the capacitor electrodes 13 to 16 are determined by the content of Ag powder as a solid content contained in the conductive paste, the viscosity of the conductive paste, and the screen printing. It is controlled by adjusting the printing conditions.

【0028】すなわち、本実施の形態では、コイル電極
用及びコンデンサ電極用の導電性ペーストには有機ビヒ
クルが含有され、これにより、導電性ペーストが所望の
ペースト状となるように粘度調整され、さらにAg粉末
の含有量を調整したり、スクリーン印刷の印刷条件を適
宜変更することにより、電極膜厚を制御することができ
る。
That is, in the present embodiment, the organic paste is contained in the conductive paste for the coil electrode and the capacitor electrode, whereby the viscosity of the conductive paste is adjusted to a desired paste state, and further, The electrode film thickness can be controlled by adjusting the content of Ag powder or appropriately changing the printing conditions of screen printing.

【0029】尚、有機ビヒクルとしては、特に限定され
るものではなく、エチルセルロースをα―テルピネオー
ルに溶解したものや、ブチラール樹脂、アクリル樹脂な
どを所定の有機溶剤に溶解したものを使用することがで
きる。
The organic vehicle is not particularly limited, and it is possible to use one obtained by dissolving ethyl cellulose in α-terpineol, or one obtained by dissolving butyral resin, acrylic resin, etc. in a predetermined organic solvent. .

【0030】そして、上述した電極膜厚を確保すると共
に、接続不良やクラック、ワレ、或いは層間剥離の発生
を回避するために、本実施の形態では、コイル電極9〜
11は平均粒径Daveが0.5μm〜2.5μmのAg
粉末を含有した導電性ペーストが焼結してなり、コンデ
ンサ電極13〜16は平均粒径Daveが3.0μm〜
5.5μmのAg粉末を含有した導電性ペーストが焼結
してなる。すなわち、コイル電極9〜11には平均粒径
Daveが0.5μm〜2.5μmのAg粉末が含有さ
れ、コンデンサ電極13〜16には平均粒径Daveが
3.0μm〜5.5μmのAg粉末が含有されている。
In order to secure the above-mentioned electrode film thickness and to avoid the occurrence of defective connections, cracks, cracks, or delamination, the coil electrodes 9 to 9 are used in this embodiment.
11 is Ag having an average particle diameter Dave of 0.5 μm to 2.5 μm
The conductive paste containing powder is sintered, and the capacitor electrodes 13 to 16 have an average particle diameter Dave of 3.0 μm or more.
The conductive paste containing Ag powder of 5.5 μm is sintered. That is, the coil electrodes 9 to 11 contain Ag powder having an average particle diameter Dave of 0.5 μm to 2.5 μm, and the capacitor electrodes 13 to 16 contain Ag powder having an average particle diameter Dave of 3.0 μm to 5.5 μm. Is included.

【0031】次に、上記複合LC部品の製造方法を図3
を参照しながら説明する。
Next, a method of manufacturing the above composite LC component will be described with reference to FIG.
Will be described with reference to.

【0032】まず、コイル部1の素体となる磁性材料と
して、Ni−Zn−Cuフェライト材料等のフェライト
材料を準備し、フェライト材料粉末にバインダや可塑
剤、分散剤、溶剤等を混錬させた後、ドクターブレード
法等を使用して所定膜厚の磁性体シート12を作製し、
さらに、レーザ加工機を使用して磁性体シート12の所
定箇所にビアホールを貫設する。そして、上述した導電
性ペーストを使用して磁性体シート12に所定の電極パ
ターンをスクリーン印刷し、前記ビアホールを介してコ
イル電極9〜11が電気的に直列接続可能となるように
する。そして、コイル電極9〜11が形成された磁性体
シート12を積層し、これにより第1の積層体が作製さ
れる。
First, a ferrite material such as a Ni—Zn—Cu ferrite material is prepared as a magnetic material to be the element body of the coil portion 1, and a ferrite material powder is kneaded with a binder, a plasticizer, a dispersant, a solvent and the like. After that, a magnetic sheet 12 having a predetermined film thickness is produced by using a doctor blade method or the like,
Further, a via hole is provided at a predetermined position of the magnetic material sheet 12 using a laser processing machine. Then, a predetermined electrode pattern is screen-printed on the magnetic material sheet 12 by using the above-mentioned conductive paste so that the coil electrodes 9 to 11 can be electrically connected in series through the via holes. Then, the magnetic material sheets 12 on which the coil electrodes 9 to 11 are formed are laminated, whereby a first laminated body is manufactured.

【0033】次に、コンデンサ部2の素体となるBaT
iO等の誘電性材料を準備し、該誘電性材料粉末にバ
インダや可塑剤、分散剤、溶剤等を混錬させた後、ドク
ターブレード法等を使用して所定膜厚の誘電体シート1
7を作製する。次いで、上述した導電性ペーストを使用
して誘電体シート17に所定の電極パターンをスクリー
ン印刷し、コンデンサ電極13〜16を形成する。そし
て、コンデンサ電極13〜16が形成された誘電体シー
ト17を積層し、これにより第2の積層体が作製され
る。
Next, BaT which is an element body of the capacitor section 2 is formed.
A dielectric material such as iO 3 is prepared, and the dielectric material powder is kneaded with a binder, a plasticizer, a dispersant, a solvent, etc., and then a dielectric sheet 1 having a predetermined thickness is formed by using a doctor blade method or the like.
7 is produced. Then, a predetermined electrode pattern is screen-printed on the dielectric sheet 17 using the above-mentioned conductive paste to form the capacitor electrodes 13 to 16. Then, the dielectric sheets 17 on which the capacitor electrodes 13 to 16 are formed are laminated, whereby a second laminated body is manufactured.

【0034】次いで、ガラス材で形成された中間層3を
介して第1の積層体と第2の積層体とを互いに重ね合わ
せた後、圧着し、所定温度で焼成する、これにより第1
の積層体がコイル部1となり、第2の積層体がコンデン
サ部2となる。そして、焼成物の両端部及び中央部にA
gやAg−Pd等を主成分とする導電性ペーストを塗布
して焼付処理を施し、複合LC部品が製造される。
Next, the first laminated body and the second laminated body are superposed on each other via the intermediate layer 3 formed of a glass material, and then they are pressure-bonded and fired at a predetermined temperature.
The laminated body of 1 becomes the coil portion 1, and the second laminated body becomes the capacitor portion 2. Then, at both ends and the center of the baked product, A
The composite LC component is manufactured by applying a conductive paste containing g, Ag—Pd, or the like as a main component and performing a baking process.

【0035】尚、上記中間層3も、磁性体シート12や
誘電体シート17と同様、所定膜厚のシート部材が任意
枚数積層される。
As with the magnetic sheet 12 and the dielectric sheet 17, the intermediate layer 3 is also formed by laminating an arbitrary number of sheet members having a predetermined film thickness.

【0036】このように本実施の形態では、電極膜厚の
異なるコイル電極9〜11とコンデンサ電極13〜16
とで平均粒径の異なるAg粉末を使い分けることによ
り、層間剥離やクラック、ワレ、接続不良等が生じるこ
となく所望膜厚を有する複合LC部品を得ることができ
る。具体的には、5.0μm〜9.5μmと電極膜厚の
厚いコイル電極9〜11は、平均粒径Daveが0.5μ
m〜2.5μmのAg粉末を含有した導電性ペーストで
形成し、0.5μm〜4.0μmと電極膜厚の薄いコン
デンサ電極13〜16は、平均粒径Daveが3.0μm
〜5.5μmのAg粉末を含有した導電性ペーストで形
成することにより、層間剥離やクラック、ワレ、接続不
良等が生じることのない複合LC部品を得ることができ
る。
As described above, in this embodiment, the coil electrodes 9 to 11 and the capacitor electrodes 13 to 16 having different electrode film thicknesses are used.
By selectively using Ag powders having different average particle diameters in and, it is possible to obtain a composite LC component having a desired film thickness without causing delamination, cracks, cracks, connection failures, and the like. Specifically, the coil electrodes 9 to 11 having a large electrode thickness of 5.0 μm to 9.5 μm have an average particle diameter Dave of 0.5 μm.
The capacitor electrodes 13 to 16 formed of a conductive paste containing Ag powder of m to 2.5 μm and having a thin electrode film thickness of 0.5 μm to 4.0 μm have an average particle diameter Dave of 3.0 μm.
By forming the conductive paste containing Ag powder of ˜5.5 μm, it is possible to obtain a composite LC component free from delamination, cracks, cracks, connection failure and the like.

【0037】また、本発明は、前記平均粒径Daveに代
えて、或いは前記平均粒径Daveに加えて、Ag粉末の
比表面積Swを所定範囲としたAg粉末を使用しても上
述と同様の作用効果を得ることができる。具体的には、
Ag粉末の比表面積Swを1.6m/g〜2.6m
/gとすることにより、層間剥離や、クラック、ワレ、
或いは接続不良が生じることなく電極膜厚が5.0μm
〜9.5μmのコイル電極9〜11を形成することがで
き、また、Ag粉末の比表面積Swを0.2m/g〜
1.4m/gとすることにより、層間剥離や、クラッ
ク、ワレ、或いは接続不良が生じることなく電極膜厚が
0.5μm〜4.0μmのコンデンサ電極13〜16を
形成することができる。
Further, in the present invention, instead of the average particle diameter Dave or in addition to the average particle diameter Dave, Ag powder having a specific surface area Sw of the Ag powder within a predetermined range is used. The effect can be obtained. In particular,
The specific surface area Sw of Ag powder 1.6m 2 /g~2.6m 2
/ G, delamination, cracks, cracks,
Alternatively, the electrode film thickness is 5.0 μm without connection failure.
It is possible to form coil electrodes 9 to 11 having a thickness of ˜9.5 μm, and the specific surface area Sw of Ag powder is 0.2 m 2 / g to
By setting the thickness to 1.4 m 2 / g, the capacitor electrodes 13 to 16 having an electrode film thickness of 0.5 μm to 4.0 μm can be formed without delamination, cracks, cracks, or connection failure.

【0038】尚、本発明は上記実施の形態に限定される
ものではなく、コイル部1やコンデンサ部2における磁
性体シート12や誘電体シート17の積層数も任意に設
定することができる。
The present invention is not limited to the above embodiment, and the number of laminated magnetic sheets 12 and dielectric sheets 17 in the coil portion 1 and the capacitor portion 2 can be set arbitrarily.

【0039】また、本実施の形態では複合LC部品につ
いて説明したが、他の積層型複合電子部品についても適
用可能である。
Although the composite LC component has been described in the present embodiment, the present invention can be applied to other laminated composite electronic components.

【0040】[0040]

【実施例】〔第1の実施例〕本発明者らは、平均粒径D
aveの異なる導電性ペーストを使用して内部電極の膜厚
が異なる種々の複合LC部品を作製し、電極膜厚と平均
粒径Daveとの関係を測定した。
EXAMPLES [First Example] The present inventors have found that the average particle diameter D
Various composite LC parts having different internal electrode film thicknesses were produced using conductive pastes having different aves, and the relationship between the electrode film thickness and the average particle diameter Dave was measured.

【0041】すなわち、本発明者らは、まず、磁性体セ
ラミック材料として、Fe:48.5モル%、N
iO:29.5モル%、ZnO:14.0モル%、Cu
O:8.0モル%を含有したNi−Zn−Cuフェライ
ト材料を準備した。
That is, the present inventors first of all, as the magnetic ceramic material, Fe 2 O 3 : 48.5 mol%, N
iO: 29.5 mol%, ZnO: 14.0 mol%, Cu
A Ni—Zn—Cu ferrite material containing O: 8.0 mol% was prepared.

【0042】また、誘電体セラミック原料として、ペロ
ブスカイト型結晶構造(一般式ABO)を有するBa
TiO系材料にBaO−SiO系ガラスを添加した
ものを準備した。BaTiO系材料は、具体的には、
Aサイト成分が、BaO:98.5モル%、CaO:
1.5モル%、Bサイト成分が、TiO:81.0モ
ル%、ZrO:19.0モル%からなるものを使用し
た。
As a dielectric ceramic raw material, Ba having a perovskite type crystal structure (general formula ABO 3 ).
It was prepared which was added BaO-SiO 2 based glass to TiO 3 based material. Specifically, the BaTiO 3 -based material is
A site component is BaO: 98.5 mol%, CaO:
1.5 mol%, B-site component was TiO 2 : 81.0 mol%, ZrO 2 : 19.0 mol%.

【0043】さらに、中間層原料として、LiO:7
モル%、BaO:12モル%、CaO:4モル%、Sr
O:6モル%、MgO:2モル%、SiO:26モル
%、CuO:15モル%、TiO:18モル%、Bi
:10モル%を含有した結晶化ガラス材料を準備
した。
Further, as a raw material for the intermediate layer, Li 2 O: 7
Mol%, BaO: 12 mol%, CaO: 4 mol%, Sr
O: 6 mol%, MgO: 2 mol%, SiO 2 : 26 mol%, CuO: 15 mol%, TiO 2 : 18 mol%, Bi
A crystallized glass material containing 2 O 3 : 10 mol% was prepared.

【0044】そして、これら各材料にバインダとしてポ
リビニルブチラール、可塑剤としてジブチルフタレー
ト、分散剤としてポリカルボン酸アンモニウム塩、溶剤
としてトルエン及びエチルアルコールを加えて混合し、
各原料をスラリー状にした。次にスラリー状の原料をド
クターブレード法により夫々厚さ40μmの誘電体シー
ト、磁性体シート、及び厚さ30μmの中間層用シート
を作製した。
Then, polyvinyl butyral as a binder, dibutyl phthalate as a plasticizer, polycarboxylic acid ammonium salt as a dispersant, toluene and ethyl alcohol as a solvent are added to each of these materials and mixed,
Each raw material was made into a slurry. Next, a slurry-like raw material was prepared by a doctor blade method into a dielectric sheet, a magnetic sheet, and an intermediate layer sheet, each having a thickness of 40 μm.

【0045】一方、本発明者らは、α―テルピネオール
とエチルセルロースとの比が90wt%:10wt%と
なるようにエチルセルロースをα―テルピネオールに溶
解させて有機ビヒクルを作製し、該有機ビヒクルと所定
平均粒径のAg粉末とを3本ロールミルで十分に混練
し、コイル電極用導電性ペースト及びコンデンサ電極用
導電性ペーストを作製した。
On the other hand, the present inventors prepared an organic vehicle by dissolving ethyl cellulose in α-terpineol so that the ratio of α-terpineol to ethyl cellulose was 90% by weight: 10% by weight. Ag powder having a particle size was sufficiently kneaded with a three-roll mill to prepare a conductive paste for coil electrodes and a conductive paste for capacitor electrodes.

【0046】本実施例では、平均粒径Daveが0.5μ
m、1.5μm、2.5μm、3.0μm、4.0μ
m、6.0μm、及び7.0μmのAg粉末を使用し、
該Ag粉末と有機ビヒクルとを混練し、導電性ペースト
を作製した。
In this embodiment, the average particle diameter Dave is 0.5 μm.
m, 1.5 μm, 2.5 μm, 3.0 μm, 4.0 μ
m, 6.0 μm, and 7.0 μm Ag powder were used,
The Ag powder and the organic vehicle were kneaded to prepare a conductive paste.

【0047】尚、内部電極であるコイル電極やコンデン
サ電極の電極膜厚は、導電性ペーストの粘度や導電性ペ
ースト中の固形分であるAgの含有量及び電極形成条件
により調製することができ、本実施例では、導電性ペー
ストについて、固形分であるAgの含有率が60.0w
t%〜85.0wt%、ペースト粘度が20Pa・s〜
60Pa・sの範囲となるように各種調製を行った。
The electrode film thickness of the coil electrode or the capacitor electrode, which is an internal electrode, can be adjusted by the viscosity of the conductive paste, the content of Ag which is a solid content in the conductive paste, and the electrode forming conditions. In this example, the content of Ag, which is a solid content, of the conductive paste was 60.0 w.
t% to 85.0 wt%, paste viscosity is 20 Pa · s or more
Various preparations were performed so that the range was 60 Pa · s.

【0048】次に、本発明者らは、コイル電極同士が電
気的に直列接続可能となるようにレーザ加工機を使用し
てビアホールを形成し、前記導電性ペーストを使用して
電極パターンをスクリーン印刷し、コイル電極を形成し
た。
Next, the present inventors used a laser beam machine to form via holes so that the coil electrodes could be electrically connected in series, and screened the electrode pattern using the conductive paste. It printed and formed the coil electrode.

【0049】また、誘電体シートについても同様、前記
導電性ペーストを使用して電極パターンをスクリーン印
刷し、コンデンサ電極を形成した。
Similarly, with respect to the dielectric sheet, an electrode pattern was screen-printed using the conductive paste to form a capacitor electrode.

【0050】そしてこの後、コイル電極が形成された磁
性体シート及びコンデンサ電極が形成された誘電体シー
トを多数積層してコイル部及びコンデンサ部の層厚を夫
々500μmとし、コイル部とコンデンサ部との間に厚
みが30μmの中間層を介装し、1mmの厚さに圧着し
て積層体ブロックを作製した。
Then, after that, a large number of magnetic sheets having coil electrodes and dielectric sheets having capacitor electrodes are laminated to make the coil portion and the capacitor portion each have a layer thickness of 500 μm. An intermediate layer having a thickness of 30 μm was interposed between the layers, and pressure-bonded to a thickness of 1 mm to produce a laminated body block.

【0051】次に、前記積層体ブロックを縦2.5m
m、横1.5mm、厚み1.0mmに切断した後、空気
中、900℃で2時間焼成した。
Next, the laminated body block is set to a length of 2.5 m.
After cutting into m, width 1.5 mm, and thickness 1.0 mm, it was fired in air at 900 ° C. for 2 hours.

【0052】さらに、本発明者らは、Ag粉末にガラス
フリット及び有機ビヒクルを加えて分散させた外部電極
用Agペーストを別途作製し、該Agペーストを前記焼
成物の両端部及び略中央部に塗布して800℃で30分
間焼付けし、入出力電極及び接地電極を形成した。
Furthermore, the present inventors separately prepared an Ag paste for external electrodes in which glass frit and an organic vehicle were added to Ag powder and dispersed, and the Ag paste was applied to both ends and substantially the center of the fired product. It was applied and baked at 800 ° C. for 30 minutes to form an input / output electrode and a ground electrode.

【0053】尚、コイル部は、それ単独で初透磁率が4
00であり、使用周波数1KHz〜10MHzに対応可
能とされ、コンデンサ部は、それ単独で比誘電率が70
0であり、誘電損失が0.01%の特性を有する。
The coil portion has an initial magnetic permeability of 4 by itself.
00, it is possible to support the operating frequency of 1 KHz to 10 MHz, and the capacitor section alone has a relative permittivity of 70.
It has a property of 0 and a dielectric loss of 0.01%.

【0054】そして、このようにして作製された複合L
C部品について、各コイル電極及びコンデンサ電極と、
外部電極である入出力電極や接地電極との接続性、クラ
ック、ワレ、層間剥離の有無を調査した。
Then, the composite L produced in this way
For C part, each coil electrode and capacitor electrode,
The connectivity with external input / output electrodes and ground electrodes, cracks, cracks, and delamination were investigated.

【0055】すなわち、コイル部において、両入出力電
極間でのインピーダンス|Z|もしくは直流抵抗(R
DC)を測定し、コイル電極及び入出力電極間の断線不
良の有無を調べ、また、コンデンサ部では、入出力電極
と接地電極との間の静電容量を測定し、コンデンサ電極
と入出力電極又は接地電極との間での断線不良の有無を
調べた。
That is, in the coil portion, the impedance | Z | or the DC resistance (R
DC ) to check whether there is a disconnection defect between the coil electrode and the input / output electrode. Also, in the capacitor section, the capacitance between the input / output electrode and the ground electrode is measured, and the capacitor electrode and the input / output electrode are measured. Alternatively, the presence or absence of disconnection failure with the ground electrode was examined.

【0056】また、クラック、ワレ、層間剥離は、超音
波探傷試験機(日立建機ファインテック社製mi−scop
e)を使用して測定した。
Also, cracks, cracks, and delamination were detected by an ultrasonic flaw detector (mi-scop manufactured by Hitachi Construction Machinery Finetech Co., Ltd.).
e) was used.

【0057】図4は、コイル部における平均粒径Dave
と電極膜厚との関係を示したマッピング図である。
FIG. 4 shows the average particle diameter Dave in the coil portion.
It is a mapping diagram showing the relationship between the electrode thickness.

【0058】各試験片は10個ずつ作製し、クラックや
ワレ、或いは接続不良等の不具合が生じた試験片を「不
良品」と判断して×印で示し、これらクラック等が発生
しなかった試験片を「良品」と判断して○印で示してい
る。尚、本第1の実施例ではコイル部に層間剥離が生じ
た試験片はなかった。
Ten pieces of each test piece were produced, and a test piece having a defect such as a crack, a crack, or a connection failure was judged as a "defective product" and indicated by an X mark, and these cracks and the like did not occur. The test piece was judged to be a "non-defective product" and is indicated by a circle. In the first example, no test piece had delamination in the coil portion.

【0059】この図4から明らかなように、コイル電極
の厚みが5.0μm〜9.5μmの場合、クラック、ワ
レ、接続不良などの不具合が発生しないようにするに
は、「A」で示すように、平均粒径が0.5μm〜2.
5μmのAg粉末を含有した導電性ペーストを使用すれ
ば良いことが分かる。
As is apparent from FIG. 4, when the thickness of the coil electrode is 5.0 μm to 9.5 μm, in order to prevent defects such as cracks, cracks, and poor connection, the symbol "A" is used. So that the average particle size is 0.5 μm to 2.
It can be seen that a conductive paste containing 5 μm Ag powder may be used.

【0060】尚、コイル電極の厚みを5.0μm〜9.
5μmとするためには、固形分であるAg粉末の含有量
を85.0wt%、導電性ペーストの粘度を40〜60
Pa・sに調製した導電性ペーストを使用すれば良いこ
とも分かった。
The thickness of the coil electrode is 5.0 μm-9.
In order to set the thickness to 5 μm, the content of Ag powder, which is a solid content, is 85.0 wt%, and the viscosity of the conductive paste is 40 to 60.
It was also found that a conductive paste adjusted to Pa · s should be used.

【0061】図5はコンデンサ部における平均粒径Dav
eと電極膜厚との関係を示したマッピング図である。
FIG. 5 shows the average particle diameter Dav in the condenser part.
It is a mapping diagram showing the relationship between e and the electrode film thickness.

【0062】各試験片は10個ずつ作製し、接続不良や
層間剥離等の不具合の生じた試験片を「不良品」と判断
して×印で示し、これらクラック等が発生しなかった試
験片を「良品」と判断して○印で示している。尚、本第
1の実施例ではコンデンサ部にクラックやワレが生じた
試験片はなかった。
Ten pieces of each test piece were prepared, and a test piece having a defect such as a connection failure or delamination was judged as a "defective product" and indicated by an X mark. Is judged to be a "good product" and is indicated by a circle. In the first embodiment, no test piece had cracks or cracks in the capacitor part.

【0063】この図5から明らかなように、コンデンサ
電極の厚みが0.5μm〜4.0μmの場合、層間剥離
や接続不良などの不具合が発生しないようにするには、
「B」で示すように、平均粒径が3.0μm〜5.5μ
mのAg粉末を含有した導電性ペーストを使用すれば良
いことが分かる。
As is clear from FIG. 5, when the thickness of the capacitor electrode is 0.5 μm to 4.0 μm, in order to prevent problems such as delamination and connection failure,
As shown by “B”, the average particle size is 3.0 μm to 5.5 μm.
It is understood that the conductive paste containing Ag powder of m should be used.

【0064】尚、コンデンサ電極の厚みを0.5μm〜
4.0μmとするためには、固形分であるAg粉末の含
有量を70.0wt%、導電性ペーストの粘度を20P
a・s〜40Pa・sに調製した導電性ペーストを使用
すれば良いことも分かった。
The thickness of the capacitor electrode is 0.5 μm
In order to set the thickness to 4.0 μm, the content of Ag powder which is a solid content is 70.0 wt%, and the viscosity of the conductive paste is 20 P.
It was also found that a conductive paste prepared to have a.s to 40 Pa.s should be used.

【0065】〔第2の実施例〕本発明者らは、比表面積
Swが0.2m/g、0.6m/g、1.0m
g、1.4m/g、1.6m/g、2.2m
g、及び2.6m/gのAg粉末が所定固形分含まれ
るようにして第1の実施例と同様にして導電性ペースト
を作製した。
[0065] Second Embodiment The present inventors, the specific surface area Sw is 0.2m 2 /g,0.6m 2 /g,1.0m 2 /
g, 1.4m 2 /g,1.6m 2 /g,2.2m 2 /
A conductive paste was prepared in the same manner as in the first example, so that Ag and 2.6 m 2 / g of Ag powder were contained in a predetermined solid content.

【0066】そして、第1の実施例と同様の方法・手順
で複合LC部品を作製し、コイル部及びコンデンサ部で
の断線不良の有無や、クラック、ワレ、層間剥離を測定
した。
Then, a composite LC component was manufactured by the same method and procedure as in the first embodiment, and the presence or absence of disconnection defects in the coil portion and the capacitor portion, cracks, cracks, and delamination were measured.

【0067】図6はコイル部における比表面積Swと電
極膜厚との関係を示したマッピング図である。
FIG. 6 is a mapping diagram showing the relationship between the specific surface area Sw in the coil portion and the electrode film thickness.

【0068】この図6から明らかなように、コイル電極
の電極膜厚が5.0μm〜9.5μmの場合、クラッ
ク、ワレ、接続不良などの不具合が発生しないようにす
るには、「C」で示すように比表面積を1.6m/g
〜2.6m/gとする必要のあることが確認された。
As is clear from FIG. 6, when the electrode film thickness of the coil electrode is 5.0 μm to 9.5 μm, in order to prevent defects such as cracks, cracks, and connection failures, "C" is set. Specific surface area is 1.6 m 2 / g
It was confirmed that it is necessary to set the pressure to be about 2.6 m 2 / g.

【0069】図7はコンデンサ部における比表面積Sw
と電極膜厚との関係を示したマッピング図である。
FIG. 7 shows the specific surface area Sw in the capacitor section.
It is a mapping diagram showing the relationship between the electrode thickness.

【0070】この図7から明らかなように、コンデンサ
電極の電極膜厚が0.5〜4.0μmの場合、層間剥離
や接続不良などの不具合が発生しないようにするには、
「D」で示すように比表面積を0.2m/g〜1.4
/gとする必要のあることが確認された。
As is apparent from FIG. 7, when the electrode film thickness of the capacitor electrode is 0.5 to 4.0 μm, in order to prevent problems such as delamination and connection failure,
The specific surface area is 0.2 m 2 / g to 1.4 as indicated by “D”.
It was confirmed that it was necessary to set m 2 / g.

【0071】[0071]

【発明の効果】以上詳述したように本発明に係る積層型
複合電子部品は、内部導体とシート状部材とが交互に積
層された2種類以上の積層体からなる積層型複合電子部
品において、前記内部導体が、同一種の金属材料を含有
した導電性ペーストが焼結してなると共に前記積層体毎
に異なる膜厚で形成され、かつ、膜厚の厚い内部導体
は、膜厚の薄い内部導体に比べて平均粒径の小さな金属
材料を含有した導電性ペースト、又は/及び比表面積の
大きな金属材料を含有した導電性ペーストが焼結してな
るので、層間剥離やクラック、ワレ等が発生したり、層
間剥離等が生じることなく所望膜厚の内部導体を有する
積層型複合電子部品を得ることができる。
As described above in detail, the laminated composite electronic component according to the present invention is a laminated composite electronic component composed of two or more kinds of laminated bodies in which the internal conductors and the sheet-shaped members are alternately laminated, The inner conductor is formed by sintering a conductive paste containing the same kind of metal material, and is formed with a different film thickness for each of the stacked bodies, and the thick inner conductor is a thin film inner conductor. Delamination, cracks, cracks, etc. occur because the conductive paste containing a metal material with a smaller average particle size than the conductor or / and the conductive paste containing a metal material with a larger specific surface area is sintered. It is possible to obtain a laminated composite electronic component having an internal conductor having a desired film thickness without causing delamination or the like.

【0072】また、本発明の積層型複合電子部品は、前
記積層体は、第1の内部導体(コイル電極)を有する第
1の積層体(コイル部)と、前記第1の内部導体(コイ
ル部)よりも膜厚の薄い第2の内部導体(コンデンサ電
極)を有する第2の積層体(コンデンサ部)を備え、前
記第1の内部導体(コイル電極)は、平均粒径が0.5
μm〜2.5μm、又は/及び比表面積が1.6m
g〜2.6m/gの金属材料を含有した導電性ペース
トが焼結してなり、前記第2の内部導体(コンデンサ電
極)は、平均粒径が3.0μm〜5.5μm、又は/及
び0.2m/g〜1.4m/gの金属材料を含有し
た導電性ペーストが焼結してなることにより、上記作用
効果を容易に得ることができる。
In the laminated composite electronic component of the present invention, the laminated body includes a first laminated body (coil portion) having a first inner conductor (coil electrode) and the first inner conductor (coil). A second laminated body (capacitor portion) having a second inner conductor (capacitor electrode) having a smaller film thickness than that of the first inner conductor (coil electrode).
μm to 2.5 μm, or / and a specific surface area of 1.6 m 2 /
The conductive paste containing a metal material of g to 2.6 m 2 / g is sintered, and the second inner conductor (capacitor electrode) has an average particle diameter of 3.0 μm to 5.5 μm, or / and 0.2m by 2 /g~1.4m 2 / g of the conductive paste containing a metal material is formed by sintering, it is possible to easily obtain the function and effect.

【0073】また、前記導電性ペーストは、金属材料と
して銀を主成分とし、有機ビヒクルを含有することによ
り、電極膜厚の膜厚制御も容易に行うことが可能とな
る。
Further, since the conductive paste contains silver as a metallic material as a main component and an organic vehicle, it becomes possible to easily control the film thickness of the electrode.

【0074】また、本発明に係る積層型複合電子部品の
製造方法は、金属材料を含有した導電性ペーストを使用
して電極パターンを形成したシート状部材を積層して積
層体を形成すると共に、2種類以上の積層体を互いに重
ねた後、焼成処理を施して積層型複合電子部品を製造す
る積層型複合電子部品の製造方法において、同一種の金
属材料を含有した導電性ペーストを使用すると共に、前
記積層体毎に異なる膜厚を有するように前記導電性ペー
ストを使用して各々電極パターンを形成し、かつ、膜厚
の厚い電極パターンの形成には、膜厚の薄い電極パター
ンと比べて平均粒径の小さな金属材料、又は/及び比表
面積の大きな金属材料を含有しているので、層間剥離や
クラック、ワレ等が生じることもなく、各積層体に応じ
て所望膜厚の形成された内部電極を有する信頼性に優れ
た高品質な積層型複合電子部品を容易に製造することが
できる。
Further, in the method for manufacturing a laminated composite electronic component according to the present invention, a sheet-like member having an electrode pattern formed thereon is laminated using a conductive paste containing a metal material to form a laminate, and In a method of manufacturing a laminated composite electronic component, in which two or more kinds of laminated bodies are stacked on each other and then subjected to a firing treatment to manufacture a laminated composite electronic component, a conductive paste containing the same kind of metal material is used. The electrode patterns are formed by using the conductive paste so that each of the laminated bodies has a different film thickness. Since it contains a metal material with a small average particle size and / or a metal material with a large specific surface area, delamination, cracks, cracks, etc. do not occur, and a desired film thickness is formed according to each laminate. The The high quality multilayer composite electronic component having excellent reliability with internal electrodes can be easily produced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る積層型複合電子部品としての複合
LC部品の一実施の形態を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a composite LC component as a laminated composite electronic component according to the present invention.

【図2】図1のX−X断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line XX of FIG.

【図3】上記複合LC部品の製造方法を説明するための
模式図である。
FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a method for manufacturing the composite LC component.

【図4】第1の実施例におけるコイル部でのAg粉末の
平均粒径Daveと電極膜厚との関係を示したマッピング
図である。
FIG. 4 is a mapping diagram showing the relationship between the average particle diameter Dave of Ag powder in the coil portion and the electrode film thickness in the first embodiment.

【図5】第1の実施例におけるコンデンサ部でのAg粉
末の平均粒径Daveと電極膜厚との関係を示したマッピ
ング図である。
FIG. 5 is a mapping diagram showing the relationship between the average particle diameter Dave of Ag powder and the electrode film thickness in the capacitor unit in the first embodiment.

【図6】第2の実施例におけるコイル部でのAg粉末の
比表面積Swと電極膜厚との関係を示したマッピング図
である。
FIG. 6 is a mapping diagram showing a relationship between a specific surface area Sw of Ag powder in a coil portion and an electrode film thickness in a second embodiment.

【図7】第2の実施例におけるコンデンサ部でのAg粉
末の比表面積Swと電極膜厚との関係を示したマッピン
グ図である
FIG. 7 is a mapping diagram showing the relationship between the specific surface area Sw of Ag powder and the electrode film thickness in the capacitor section in the second embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 コイル部(積層体) 2 コンデンサ部(積層体) 9〜11 コイル電極(内部導体) 12 磁性体シート(シート状部材) 13〜16 コンデンサ電極(内部導体) 17 誘電体シート(シート状部材) 1 Coil part (laminate) 2 Capacitor part (laminated body) 9-11 Coil electrode (inner conductor) 12 Magnetic sheet (sheet-shaped member) 13-16 Capacitor electrode (inner conductor) 17 Dielectric sheet (sheet-shaped member)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石野 真 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Fターム(参考) 5E070 AA05 CB03 CB13 5E082 AA01 AB03 BB01 BB07 BC14 BC39 EE04 EE23 EE35 FF05 FG04 FG16 FG26 FG46 PP09 5J024 AA10 CA03 DA04 DA29 DA35   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Makoto Ishino             2-10-10 Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto Stock             Murata Manufacturing Co., Ltd. F-term (reference) 5E070 AA05 CB03 CB13                 5E082 AA01 AB03 BB01 BB07 BC14                       BC39 EE04 EE23 EE35 FF05                       FG04 FG16 FG26 FG46 PP09                 5J024 AA10 CA03 DA04 DA29 DA35

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 内部導体とシート状部材とが交互に積層
された2種類以上の積層体からなる積層型複合電子部品
において、 前記内部導体が、同一種の金属材料を含有した導電性ペ
ーストが焼結してなると共に前記積層体毎に異なる膜厚
で形成され、 かつ、膜厚の厚い内部導体は、膜厚の薄い内部導体に比
べて平均粒径の小さな金属材料を含有した導電性ペース
トが焼結してなることを特徴とする積層型複合電子部
品。
1. A laminated composite electronic component comprising two or more kinds of laminates in which inner conductors and sheet-shaped members are alternately laminated, wherein the inner conductor is a conductive paste containing the same kind of metal material. The conductive paste that is formed by sintering and has a different film thickness for each laminated body, and the thick inner conductor contains a metal material having a smaller average particle diameter than the thin inner conductor. A laminated composite electronic component characterized by being sintered.
【請求項2】 内部導体とシート状部材とが交互に積層
された2種類以上の積層体からなる積層型複合電子部品
において、 前記内部導体が、同一種の金属材料を含有した導電性ペ
ーストが焼結してなると共に前記積層体毎に異なる膜厚
で形成され、 かつ、膜厚の厚い内部導体は、膜厚の薄い内部導体に比
べて比表面積の大きな金属材料を含有した導電性ペース
トが焼結してなることを特徴とする積層型複合電子部
品。
2. A laminated composite electronic component comprising two or more kinds of laminates in which inner conductors and sheet-shaped members are alternately laminated, wherein the inner conductor is a conductive paste containing the same kind of metal material. The inner conductor having a large film thickness, which is formed by sintering and has a different film thickness for each laminated body, is a conductive paste containing a metal material having a larger specific surface area than the inner conductor having a thin film thickness. A laminated composite electronic component characterized by being sintered.
【請求項3】 内部導体とシート状部材とが交互に積層
された2種類以上の積層体からなる積層型複合電子部品
において、 前記内部導体が、同一種の金属材料を含有した導電性ペ
ーストが焼結してなると共に前記積層体毎に異なる膜厚
で形成され、 かつ、膜厚の厚い内部導体は、膜厚の薄い内部導体に比
べて平均粒径が小さく且つ比表面積の大きな金属材料を
含有した導電性ペーストが焼結してなることを特徴とす
る積層型複合電子部品。
3. A laminated composite electronic component comprising two or more kinds of laminates in which inner conductors and sheet-shaped members are alternately laminated, wherein the inner conductor is a conductive paste containing the same kind of metal material. The inner conductor having a large film thickness, which is formed by sintering and has a different film thickness for each laminated body, is made of a metal material having a smaller average particle size and a larger specific surface area than an inner conductor having a thin film thickness. A laminated composite electronic component, characterized in that the contained conductive paste is sintered.
【請求項4】 前記積層体は、第1の内部導体を有する
第1の積層体と、前記第1の内部導体よりも膜厚の薄い
第2の内部導体を有する第2の積層体とから構成され、 前記第1の内部導体は、平均粒径が0.5μm〜2.5
μmの金属材料を含有した導電性ペーストが焼結してな
り、前記第2の内部導体は、平均粒径が3.0μm〜
5.5μmの金属材料を含有した導電性ペーストが焼結
してなることを特徴とする請求項1又は請求項3記載の
積層型複合電子部品。
4. The laminated body comprises a first laminated body having a first inner conductor and a second laminated body having a second inner conductor having a thickness smaller than that of the first inner conductor. The first inner conductor has an average particle size of 0.5 μm to 2.5 μm.
The conductive paste containing a metal material of μm is sintered, and the second inner conductor has an average particle diameter of 3.0 μm to
The laminated composite electronic component according to claim 1 or 3, wherein a conductive paste containing a metal material of 5.5 µm is sintered.
【請求項5】 前記積層体は、第1の内部導体を有する
第1の積層体と、前記第1の内部導体よりも膜厚の薄い
第2の内部導体を有する第2の積層体とからなり、 前記第1の内部導体は、比表面積が1.6m/g〜
2.6m/gの金属材料を含有した導電性ペーストが
焼結してなり、前記第2の内部導体は、比表面積が0.
2m/g〜1.4m/gの金属材料を含有した導電
性ペーストが焼結してなることを特徴とする請求項2又
は請求項3記載の積層型複合電子部品。
5. The laminated body comprises a first laminated body having a first inner conductor and a second laminated body having a second inner conductor having a film thickness smaller than that of the first inner conductor. The first inner conductor has a specific surface area of 1.6 m 2 / g to
A conductive paste containing a metal material of 2.6 m 2 / g is sintered, and the second inner conductor has a specific surface area of 0.
The laminated composite electronic component according to claim 2 or 3, wherein a conductive paste containing 2 m 2 / g to 1.4 m 2 / g of a metal material is sintered.
【請求項6】 前記第1の積層体はコイル部を構成し、
前記第2の積層体はコンデンサ部を構成すると共に、 前記第1の内部導体はコイル電極であり、前記第2の内
部電極はコンデンサ電極であることを特徴とする請求項
4又は請求項5記載の積層型複合電子部品。
6. The first laminated body constitutes a coil portion,
The said 2nd laminated body comprises a capacitor | condenser part, The said 1st internal conductor is a coil electrode and the said 2nd internal electrode is a capacitor electrode, The claim 4 or claim 5 characterized by the above-mentioned. Multi-layer composite electronic component of.
【請求項7】 前記金属材料は、銀を主成分とすること
を特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の
積層型複合電子部品。
7. The multilayer composite electronic component according to claim 1, wherein the metal material contains silver as a main component.
【請求項8】 前記導電性ペーストには、有機ビヒクル
が含有されていることを特徴とする請求項1乃至請求項
7のいずれかに記載の積層型複合電子部品。
8. The laminated composite electronic component according to claim 1, wherein the conductive paste contains an organic vehicle.
【請求項9】 金属材料を含有した導電性ペーストを使
用して電極パターンを形成したシート状部材を積層して
積層体を形成すると共に、2種類以上の前記積層体を互
いに重ねた後、焼成処理を施して積層型複合電子部品を
製造する積層型複合電子部品の製造方法において、 同一種の金属材料を含有した導電性ペーストを使用する
と共に、前記積層体毎に異なる膜厚を有するように前記
導電性ペーストを使用して各々電極パターンを形成し、 かつ、膜厚の厚い電極パターンの形成には、膜厚の薄い
電極パターンと比べて粒径の小さな金属材料を含有した
導電性ペーストを使用することを特徴とする積層型複合
電子部品の製造方法。
9. A laminated body is formed by laminating sheet-like members on which an electrode pattern is formed by using a conductive paste containing a metal material, and at least two kinds of the laminated bodies are laminated on each other and then fired. In a method for manufacturing a laminated composite electronic component, which is subjected to a treatment to produce a laminated composite electronic component, a conductive paste containing the same kind of metal material is used, and each laminated body has a different film thickness. To form each electrode pattern using the conductive paste and to form the electrode pattern having a large film thickness, a conductive paste containing a metal material having a particle diameter smaller than that of the electrode pattern having a small film thickness is used. A method for manufacturing a laminated composite electronic component, which is characterized by being used.
【請求項10】 金属材料を含有した導電性ペーストを
使用して電極パターンを形成したシート状部材を積層し
て積層体を形成すると共に、2種類以上の前記積層体を
互いに重ねた後、焼成処理を施して積層型複合電子部品
を製造する積層型複合電子部品の製造方法において、 同一種の金属材料を含有した導電性ペーストを使用する
と共に、前記積層体毎に異なる膜厚を有するように前記
導電性ペーストを使用して各々電極パターンを形成し、 かつ、膜厚の厚い電極パターンの形成には、膜厚の薄い
電極パターンに比べて比表面積の大きな金属材料を含有
した導電性ペーストを使用することを特徴とする積層型
複合電子部品の製造方法。
10. A laminated body is formed by laminating sheet-like members on which an electrode pattern is formed using a conductive paste containing a metal material, and at least two kinds of the laminated bodies are superposed on each other and then fired. In a method for manufacturing a laminated composite electronic component, which is subjected to a treatment to produce a laminated composite electronic component, a conductive paste containing the same kind of metal material is used, and each laminated body has a different film thickness. To form each electrode pattern using the conductive paste and to form an electrode pattern having a large film thickness, a conductive paste containing a metal material having a larger specific surface area than an electrode pattern having a thin film thickness is used. A method for manufacturing a laminated composite electronic component, which is characterized by being used.
【請求項11】 金属材料を含有した導電性ペーストを
使用して電極パターンを形成したシート状部材を積層し
て積層体を形成すると共に、2種類以上の前記積層体を
互いに重ねた後、焼成処理を施して積層型複合電子部品
を製造する積層型複合電子部品の製造方法において、 同一種の金属材料を含有した導電性ペーストを使用する
と共に、前記積層体毎に異なる膜厚を有するように前記
導電性ペーストを使用して各々電極パターンを形成し、 かつ、膜厚の厚い電極パターンの形成には、膜厚の薄い
電極パターンに比べて平均粒径が小さく比表面積の大き
な金属材料を含有した導電性ペーストを使用することを
特徴とする積層型複合電子部品の製造方法。
11. A laminated body is formed by laminating sheet-like members on which an electrode pattern is formed using a conductive paste containing a metal material, and at least two kinds of the laminated bodies are laminated on each other and then fired. In the method of manufacturing a laminated composite electronic component, which is subjected to a treatment to produce a laminated composite electronic component, a conductive paste containing the same kind of metal material is used, and each laminated body has a different film thickness. The conductive paste is used to form each electrode pattern, and when forming an electrode pattern having a large film thickness, a metal material having a smaller average particle size and a larger specific surface area than that of an electrode pattern having a small film thickness is contained. A method for producing a laminated composite electronic component, characterized by using the above-mentioned conductive paste.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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