JP2003173153A - Signal line wiring method and thin film transistor array board - Google Patents

Signal line wiring method and thin film transistor array board

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JP2003173153A
JP2003173153A JP2001372635A JP2001372635A JP2003173153A JP 2003173153 A JP2003173153 A JP 2003173153A JP 2001372635 A JP2001372635 A JP 2001372635A JP 2001372635 A JP2001372635 A JP 2001372635A JP 2003173153 A JP2003173153 A JP 2003173153A
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JP
Japan
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signal line
thin film
substrate
film transistor
line
Prior art date
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Application number
JP2001372635A
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Japanese (ja)
Inventor
Mutsumi Yamamoto
睦 山本
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display panel array board which is suitable for downsizing equipment, especially portable equipment, and enlarging screen and which gives a high degree of freedom to portable equipment design. <P>SOLUTION: In a thin film transistor array board where a plurality of thin film transistors are arranged in a matrix form on the surface of a non- conductive substrate, among a group of source signal lines and a group of gate signal lines, one of the groups of signal lines are almost linear and arranged in parallel to each other, and the other group of signal lines constitute an almost cross-shape including almost linear main line parts arranged in parallel to the signal lines and almost linear branch line parts orthogonal to the main line parts and connected with the thin film transistors, and a plurality of them are arranged in a lattice form. In an area where a pair of almost cross-shaped signal lines are crossing, one of them is partly arranged on the other layer with an insulating layer interposed between them and via a hole arranged in the insulating layer so that they are electrically insulated from each other and cross each other three-dimensionally. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、画素のそれぞれを
薄膜トランジスタを用いて制御するアクティブマトリク
ス型表示パネル用薄膜トランジスタアレイ基板に代表さ
れる、基板上にマトリクス状に配された複数の要素のそ
れぞれに、系外からの信号を供給するための一対の信号
線の配置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plurality of elements arranged in a matrix on a substrate, which is represented by a thin film transistor array substrate for an active matrix type display panel for controlling each pixel by using a thin film transistor. , Arrangement of a pair of signal lines for supplying signals from outside the system.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、携帯電話やPDA(パーソナルデ
ジタルアシスタント)等の携帯型端末機器の普及が目覚
しい。それにつれて、これらの機器をよりコンパクトに
またはより軽くするための開発が盛んである。これらの
機器の表示パネルには、低消費電力、軽量といった利点
を有する液晶表示パネルが広く用いられている。また、
液晶表示パネルに代えてより視野角が広いエレクトロル
ミネッセンス(EL)表示パネルを用いた機器の開発も
行われている。液晶表示パネルは、互いに対向した一対
の基板の間に挟持された液晶層に電圧を印加して液晶層
中の液晶材料の配向を変化させ、液晶層を透過する光の
量を調整することにより画像等を形成する。EL表示パ
ネルは、発光層に電圧を印加または電流を供給して発光
させることにより画像等を形成する。
2. Description of the Related Art In recent years, portable terminal devices such as mobile phones and PDAs (personal digital assistants) have been remarkably spread. Along with this, developments have been actively made to make these devices more compact or lighter. Liquid crystal display panels, which have advantages of low power consumption and light weight, are widely used as display panels for these devices. Also,
A device using an electroluminescence (EL) display panel having a wider viewing angle instead of the liquid crystal display panel has been developed. In a liquid crystal display panel, a voltage is applied to a liquid crystal layer sandwiched between a pair of substrates facing each other to change the orientation of a liquid crystal material in the liquid crystal layer and adjust the amount of light passing through the liquid crystal layer. Form images, etc. The EL display panel forms an image or the like by applying voltage or current to the light emitting layer to emit light.

【0003】これら表示パネルにおいて、画素のそれぞ
れを薄膜トランジスタ(TFT)等のスイッチング素子
を用いて独立して駆動するアクティブマトリクス型の表
示パネルが、より精彩な画像の表示が可能であること、
より速い表示が可能であること等から、単純マトリクス
型の表示パネルに代えて広く普及してきている。従来よ
り、MOS型トランジスタであるTFTは、絶縁基板上
に形成可能であること等から、アクティブマトリクス型
の液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス(EL)表
示装置等、表示装置の各画素の制御のためのスイッチン
グ素子として広く用いられている。
In these display panels, an active matrix type display panel in which each pixel is independently driven by using a switching element such as a thin film transistor (TFT) can display a more vivid image,
Since it is possible to display at higher speed, it has been widely used in place of the simple matrix type display panel. Conventionally, since a TFT, which is a MOS type transistor, can be formed on an insulating substrate, it is used for controlling each pixel of a display device such as an active matrix type liquid crystal display device and an electroluminescence (EL) display device. Widely used as a switching element.

【0004】これらアクティブマトリクス型表示装置に
おいては、多数のTFTが、ガラス等の絶縁基板上にマ
トリクス状に配列して形成される。一例として、アクテ
ィブマトリクス型液晶表示パネルのアレイ基板を図16
に示す。図16(a)に示すように、基板2上には複数
のゲート信号線3が互いに平行に配され、さらにこれら
の上層には絶縁層を隔ててそれらに直交して複数のソー
ス信号線4が配されている。隣接する一対のゲート信号
線3および隣接する一対のソース信号線4により囲まれ
た領域、すなわち画素領域には、図16(b)に示すよ
うに、インジウム・スズ酸化物(ITO)等の透明導電
材からなる画素電極5およびそのスイッチング素子とし
ての薄膜トランジスタ6が配される。
In these active matrix type display devices, a large number of TFTs are arranged in a matrix on an insulating substrate such as glass. As an example, FIG. 16 shows an array substrate of an active matrix type liquid crystal display panel.
Shown in. As shown in FIG. 16A, a plurality of gate signal lines 3 are arranged on the substrate 2 in parallel with each other, and a plurality of source signal lines 4 are orthogonal to them with an insulating layer therebetween. Are arranged. In a region surrounded by a pair of adjacent gate signal lines 3 and a pair of adjacent source signal lines 4, that is, a pixel region, as shown in FIG. 16B, a transparent material such as indium tin oxide (ITO) is used. A pixel electrode 5 made of a conductive material and a thin film transistor 6 as a switching element thereof are arranged.

【0005】ゲート信号線3およびソース信号線4は、
それぞれ基板2の周縁部に配されたその接続端子13お
よび14において、図17(a)に示すようにアレイ基
板1上にCOG(chip on glass)により形成またはT
AB(tape automated bonding)等により搭載されたL
SI等の素子からなる駆動回路80と、または図17
(b)に示すようにフレキシブル基板90を経て他の基
板(図示せず)上に配された駆動回路(図示せず)と接
続される。このように、ゲート信号線3およびソース信
号線4が互いに交差して配されることから、ゲート信号
線3の接続端子13およびソース信号線4の接続端子1
4は、基板2の角部を隔てて隣り合う一対の端辺の周縁
部にそれぞれ設けられていた。すなわち、これらは基板
上の互いに非対称な領域に配されていた。
The gate signal line 3 and the source signal line 4 are
The connection terminals 13 and 14 respectively arranged on the peripheral portion of the substrate 2 are formed by COG (chip on glass) or T on the array substrate 1 as shown in FIG.
L mounted by AB (tape automated bonding)
A drive circuit 80 including elements such as SI, or FIG.
As shown in (b), it is connected to a drive circuit (not shown) arranged on another substrate (not shown) via the flexible substrate 90. In this way, since the gate signal line 3 and the source signal line 4 are arranged to intersect with each other, the connection terminal 13 of the gate signal line 3 and the connection terminal 1 of the source signal line 4 are arranged.
4 are provided on the peripheral portions of a pair of end sides that are adjacent to each other with the corner portion of the substrate 2 separated. That is, these were arranged in the asymmetrical regions on the substrate.

【0006】EL表示パネルにおいても同様に、アクテ
ィブマトリクス型のそれにおいては、同一基板上に複数
のソース信号線とゲート信号線が互いに直交して配され
ていた。したがって、ソース信号線とゲート信号線が互
いに直交して配されることから、ソース信号線の駆動回
路等との接続部およびゲート信号線の駆動回路等との接
続部は、互いに隣接する基板の端辺にそれぞれ設けられ
ていた。ソース信号線やゲート信号線を駆動する駆動回
路は、それぞれ基板の縁部において、これら信号線と接
続される。
Similarly, in the EL display panel of the active matrix type, a plurality of source signal lines and gate signal lines are arranged orthogonal to each other on the same substrate. Therefore, since the source signal line and the gate signal line are arranged orthogonally to each other, the connection portion of the source signal line with the driving circuit and the like and the connection portion of the gate signal line with the driving circuit and the like are provided on the substrates adjacent to each other. It was provided on each side. The drive circuits that drive the source signal lines and the gate signal lines are connected to these signal lines at the edges of the substrate.

【0007】基板の隣接する一対の端辺に素子を装着す
るためのスペースは、いわゆる非表示領域であることか
ら、それを設けることは、機器の小型化またはその表示
パネルの大型化を規制し、さらには機器、とりわけ小型
化かつ大画面化の要求が高い携帯機器の設計上の自由度
を規制するものであった。しかしながら、従来の信号線
の配置では、不可避なものであった。
Since the space for mounting the elements on the pair of adjacent edges of the substrate is a so-called non-display area, the provision of the space restricts downsizing of the device or upsizing of its display panel. Further, it regulates the degree of freedom in designing devices, especially portable devices that are highly demanded to be small and have a large screen. However, the conventional arrangement of signal lines is inevitable.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点を
解決するためのものであり、機器設計の自由度が高い信
号線の配置を可能にし、機器とりわけ携帯機器の小型化
や大画面化に適し、さらに携帯機器の設計の自由度が高
い表示パネル用アレイ基板を提供することを目的とす
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to solve the above-mentioned problems, and enables the arrangement of signal lines with a high degree of freedom in equipment design, and makes equipment, especially portable equipment, smaller and has a larger screen. It is an object of the present invention to provide an array substrate for a display panel, which is suitable for, and has a high degree of freedom in designing a mobile device.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明では、基板上にマ
トリクス状に配された複数の要素のそれぞれに系外から
の信号を供給するための一対の信号線の配置パターンに
おいて、信号配線の外部回路と接続するための一対の接
続端子を、従来、必然的に規定されていたパネルの角部
を隔てて互いに直交する2辺に代えて、基板の相対する
一対の端辺または同一の端辺に配置する。
According to the present invention, in a layout pattern of a pair of signal lines for supplying a signal from outside the system to each of a plurality of elements arranged in a matrix on a substrate, The pair of connection terminals for connecting to an external circuit are replaced with two sides which are inevitably defined in the past and which are orthogonal to each other with a corner portion of the panel therebetween, and a pair of opposite edges or the same edge of the substrate. Place on the side.

【0010】たとえば、絶縁性の基板と、基板の表面に
マトリクス状に配され、それぞれ半導体層、ソース電
極、ドレイン電極およびゲート電極を備えた複数の薄膜
トランジスタと、薄膜トランジスタのドレイン電極にそ
れぞれ接続された画素電極と、基板の表面に配された、
それぞれ所定の列の薄膜トランジスタのソース電極にソ
ース信号を供給するための複数のソース信号線と、基板
の表面に配された、それぞれ所定の行の薄膜トランジス
タのゲート電極にゲート信号を供給するためのゲート信
号線と、ソース信号線が配された層とゲート信号線が配
された層との間に配された絶縁層とを備えた薄膜トラン
ジスタアレイ基板において、基板の相対する2辺、また
は同一辺にこれら信号線の接続端子が配置される。
For example, an insulating substrate, a plurality of thin film transistors arranged in a matrix on the surface of the substrate, each having a semiconductor layer, a source electrode, a drain electrode and a gate electrode, and respectively connected to the drain electrode of the thin film transistor. The pixel electrode and the surface of the substrate,
A plurality of source signal lines for supplying source signals to the source electrodes of the thin film transistors in predetermined columns, and a gate for supplying a gate signal to the gate electrodes of the thin film transistors in predetermined rows arranged on the surface of the substrate. In a thin film transistor array substrate including a signal line and an insulating layer arranged between a layer on which a source signal line is arranged and a layer on which a gate signal line is arranged, the thin film transistor array substrate is provided on two opposite sides or the same side of the substrate. Connection terminals for these signal lines are arranged.

【0011】一方の信号配線は、略線状であって互いに
平行に配され、他方の信号配線は、それぞれそれらと平
行に配された略線状の幹線部および幹線部に直交し薄膜
トランジスタに接続した略線状の枝線部を含む略十字形
であってその複数が格子状に配される。スイッチング素
子としての薄膜トランジスタの複数は、いわゆるダイア
ゴナル配列のように、基板上に複数の行(または列)に
配列して、さらにそれとは直角の方向にも配列して配さ
れる。また、いわゆるデルタ配列のように、基板上に複
数の行(または列)に配列して、さらに同一行(または
列)上の隣接する一対の薄膜トランジスタとそれらの最
近傍に位置する隣接行(または列)上の薄膜トランジス
タとが三角形の各頂点に位置するように配される。信号
線は、薄膜トランジスタの間をぬって配される。たとえ
ば、ダイアゴナル配列では、上記の一方の信号配線およ
び他方の信号線の幹線部には直線状のものが用いられ、
デルタ配列では、信号配線および幹線部には直線状また
は屈曲部を有する線状のものが用いられる。
One of the signal wirings is substantially linear and is arranged in parallel with each other, and the other signal wiring is arranged substantially parallel to the substantially linear trunk portion and is orthogonal to the trunk portion and connected to the thin film transistor. The shape is a substantially cross shape including substantially linear branch lines, and a plurality of them are arranged in a grid pattern. A plurality of thin film transistors as switching elements are arranged in a plurality of rows (or columns) on the substrate, and are also arranged in a direction at right angles thereto, as in a so-called diagonal arrangement. In addition, like a so-called delta arrangement, a plurality of rows (or columns) are arranged on the substrate, and a pair of thin film transistors adjacent to each other on the same row (or column) and adjacent rows (or adjacent rows) located closest to them are arranged. The thin film transistors on the (rows) are arranged at the respective vertices of the triangle. The signal line is arranged between the thin film transistors. For example, in the diagonal array, the one of the signal wirings and the trunk portion of the other signal line are linear ones,
In the delta arrangement, the signal wiring and the main line portion are linear or have a linear portion having a bent portion.

【0012】本発明は、薄膜トランジスタの配置の形態
に関わらず適用され、一対の略十字状の信号線が交差す
る領域において、それらが互いに電気的に絶縁されて立
体的に交差するよう、その一方は、一部が絶縁層に設け
られた孔を通じて絶縁層を挟んだ他の層に配される。こ
の他の層に配された信号線要素を、たとえば略線状信号
線と同じ材料でそれらと同時に形成すると、従来の信号
線を形成するプロセスと比べて新たな工程を付与するこ
とがない。
The present invention is applied regardless of the layout of thin film transistors, and in a region where a pair of substantially cross-shaped signal lines intersect, they are electrically insulated from each other and three-dimensionally intersect each other. Are partially disposed in the other layers sandwiching the insulating layer through the holes provided in the insulating layer. When the signal line elements arranged on the other layers are formed simultaneously with, for example, the same material as the substantially linear signal line, no new process is added as compared with the conventional signal line forming process.

【0013】ここで、互いに平行に配された略線状の信
号線と他方の信号線の幹線部を、他層の信号線要素と接
続するその端部を除いて互いに重ね合わせることで、ア
レイ基板においてこれらの占める面積を小さくすること
ができ、表示パネルの開口率を高くすることができる。
同一端辺側に信号回路等と接続するためのこれら信号線
の端部を配する場合には、これらを互いに離間した列上
にそれぞれ配するとよい。
Here, the substantially linear signal lines arranged in parallel with each other and the main line portion of the other signal line are overlapped with each other except for the end portions which connect to the signal line elements of the other layer. The area occupied by these in the substrate can be reduced, and the aperture ratio of the display panel can be increased.
When arranging the end portions of these signal lines for connecting to a signal circuit or the like on the same end side, it is preferable to arrange these on separate columns.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、アクティブマトリクス型表
示パネル用薄膜トランジスタアレイ基板を例にして、本
発明の好ましい実施例を、図面を用いて詳細に説明す
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings, taking a thin film transistor array substrate for an active matrix type display panel as an example.

【0015】《実施例1》本実施例のアレイ基板を図1
に示す。図1に示すように、ガラス等からなる絶縁性の
基板2の上には、略線状のソース信号線4および略十字
状、すなわち本発明でいう幹線部と枝線部を有するゲー
ト信号線3が配されている。ゲート信号線3およびソー
ス信号線4は、基板2の一端辺側に配されたゲート信号
線接続端子13およびソース信号線接続端子14にそれ
ぞれ接続されている。ゲート信号線3は、幹線部を構成
する一方の線分がソース信号線4と平行に配され、幹線
部の一部と枝線部を含む十字状要素3a、十字状要素3
aと同一層にソース信号線4と平行に配され、幹線部の
一部を構成する線分要素3b、およびそれらとは絶縁層
を隔てた異なる層に配され、幹線部の一部を構成する架
橋要素3cを含む。
<< Embodiment 1 >> An array substrate of this embodiment is shown in FIG.
Shown in. As shown in FIG. 1, a substantially linear source signal line 4 and a substantially cross shape are formed on an insulating substrate 2 made of glass or the like, that is, a gate signal line having a trunk line portion and a branch line portion in the present invention. Three are arranged. The gate signal line 3 and the source signal line 4 are connected to the gate signal line connection terminal 13 and the source signal line connection terminal 14 arranged on one end side of the substrate 2, respectively. In the gate signal line 3, one line segment that constitutes the main line portion is arranged in parallel with the source signal line 4, and the cross-shaped element 3a and the cross-shaped element 3 that include a part of the main line portion and the branch line portion.
a line segment element 3b which is arranged in the same layer as a in parallel with the source signal line 4 and constitutes a part of the main line portion, and a line segment element 3b which is arranged in a different layer separated from them by an insulating layer and constitutes a part of the main line portion Bridging element 3c.

【0016】ゲート信号線3およびソース信号線4によ
り格子状に区画された各領域には、図2(a)に示すよ
うに、画素電極5およびそのスイッチング素子としての
薄膜トランジスタ(TFT)6が配されている。ここで
示すTFT6はいわゆるトップゲート型であって、図2
(b)に示すように、基板2のアンダーコート層9の上
にTFT6の半導体層60が配され、絶縁層10aを隔
てたその上層にゲート電極61が配されている。十字状
要素3aは、同一行に配列したTFT6の半導体層60
のチャネル領域60bを覆うゲート電極61と一体に形
成されている。
As shown in FIG. 2A, a pixel electrode 5 and a thin film transistor (TFT) 6 as a switching element for the pixel electrode 5 are arranged in each region partitioned by the gate signal line 3 and the source signal line 4 in a grid pattern. Has been done. The TFT 6 shown here is a so-called top gate type, and
As shown in (b), the semiconductor layer 60 of the TFT 6 is arranged on the undercoat layer 9 of the substrate 2, and the gate electrode 61 is arranged on the insulating layer 10a. The cross-shaped elements 3a are the semiconductor layers 60 of the TFTs 6 arranged in the same row.
Is integrally formed with the gate electrode 61 covering the channel region 60b.

【0017】ゲート信号線3の十字状要素3aおよび線
分要素3bは、図2(c)に示すように他のゲート信号
線3の十字状要素3aの枝線部と交差する箇所において
断絶していて、この十字状要素3aの枝線部を隔てて対
向する他の十字状要素3aと線分要素3b、または一対
の線分要素3bは、絶縁層10bを隔てて配された架橋
要素3cによりコンタクトホール11aを通じて電気的
に接続されている。したがって、ゲート信号線3は、互
いに交差する領域において電気的に隔離されている。
The cross-shaped element 3a and the line segment element 3b of the gate signal line 3 are disconnected at a position intersecting with the branch line portion of the cross-shaped element 3a of another gate signal line 3 as shown in FIG. 2 (c). The other cross-shaped element 3a and the line segment element 3b or the pair of line segment elements 3b facing each other with the branch line portion of the cross-shaped element 3a interposed therebetween are the bridging elements 3c arranged with the insulating layer 10b interposed therebetween. Are electrically connected through the contact hole 11a. Therefore, the gate signal lines 3 are electrically isolated from each other in the regions intersecting with each other.

【0018】ソース信号線4は、架橋要素3cと同一
層、すなわち絶縁層10bを隔てて十字状要素3aおよ
び線分要素3bよりも上層に配されている。ソース信号
線4は、同一列のTFT6のソース領域60aをそれぞ
れコンタクトホール11bを介してソース信号線4と接
続するソース電極62と一体に形成されていて、さらに
同一層にはTFT6のドレイン領域60cを画素電極5
と接続するドレイン電極63が形成されている。
The source signal line 4 is arranged in the same layer as the bridging element 3c, that is, in a layer above the cross-shaped element 3a and the line segment element 3b with the insulating layer 10b interposed therebetween. The source signal line 4 is integrally formed with a source electrode 62 that connects the source regions 60a of the TFTs 6 in the same column to the source signal lines 4 through the contact holes 11b, and the drain regions 60c of the TFTs 6 are formed in the same layer. The pixel electrode 5
A drain electrode 63 is formed to connect with the.

【0019】本実施例のアレイ基板は、ゲート信号線接
続端子13およびソース信号線接続端子14が基板2の
同一の端辺側に配されることから、他の3端辺の付近に
これら接続端子を設ける領域、すなわち表示に直接的に
寄与しない非表示領域を設ける必要がない。したがっ
て、機器の設計の自由度が大幅に向上する。また、ゲー
ト信号線3の駆動回路およびソース信号線4の駆動回路
を同一の素子に作り込むことができる。すなわち素子の
1チップ化が可能になる。
In the array substrate of this embodiment, since the gate signal line connecting terminals 13 and the source signal line connecting terminals 14 are arranged on the same side of the substrate 2, these are connected near the other three sides. It is not necessary to provide a region in which terminals are provided, that is, a non-display region that does not directly contribute to display. Therefore, the degree of freedom in designing the device is significantly improved. Further, the drive circuit for the gate signal line 3 and the drive circuit for the source signal line 4 can be formed in the same element. That is, the device can be made into one chip.

【0020】以下、このアレイ基板の製造方法の例につ
いて説明する。まず、絶縁性の基板2の上にSiOx
らなる厚さ400nmのアンダーコート層9を形成し、
さらにその上に厚さ60nmの非晶質シリコン膜を形成
した後、この基板をたとえば温度が450℃の真空また
は不活性ガスで置換した雰囲気下で2時間熱処理し、さ
らに真空中で非晶質シリコン膜にエキシマレーザを照射
してこれを結晶化させる。その後、基板2上にアンダー
コート膜9を隔てて形成された多結晶シリコン膜を個片
に加工して、図3の(a)および(b)に示すように、
アレイ状に配置されたTFT用の半導体層60を形成す
る。
An example of the method of manufacturing the array substrate will be described below. First, an undercoat layer 9 made of SiO x and having a thickness of 400 nm is formed on the insulating substrate 2.
After further forming an amorphous silicon film with a thickness of 60 nm thereon, this substrate is heat-treated for 2 hours in a vacuum at a temperature of 450 ° C. or in an atmosphere replaced with an inert gas, and further amorphous in vacuum. The silicon film is irradiated with an excimer laser to crystallize it. After that, the polycrystalline silicon film formed on the substrate 2 with the undercoat film 9 interposed therebetween is processed into individual pieces, and as shown in (a) and (b) of FIG.
A semiconductor layer 60 for TFTs arranged in an array is formed.

【0021】ついで、これらを覆うように基板2の表面
にSiOxからなる厚さ90nmの絶縁層10aを形成
し、さらにその上にアルミニウム合金からなる導電膜を
形成した後、これを図4に示すように所定のパターンに
加工する。これにより、ゲート信号線3の構成要素とし
ての十字状要素3aおよび線分要素3bが略格子状に形
成され、同時にそれらに接続したゲート信号線接続端子
13およびゲート電極61がそれぞれ形成される。
Next, an insulating layer 10a made of SiO x and having a thickness of 90 nm is formed on the surface of the substrate 2 so as to cover them, and a conductive film made of an aluminum alloy is further formed on the insulating layer 10a, which is shown in FIG. As shown, it is processed into a predetermined pattern. As a result, the cross-shaped elements 3a and the line segment elements 3b as the constituent elements of the gate signal line 3 are formed in a substantially lattice shape, and at the same time, the gate signal line connection terminal 13 and the gate electrode 61 connected to them are respectively formed.

【0022】ここで、図4(a)に示すように、十字状
要素3aが、その枝線部が行方向(図中横方向)に配列
した半導体層60のそれぞれの上にその一対の端部を除
いて覆うように配されたゲート電極61と一体化して、
互いに平行に形成される。形成される十字状要素3aの
数すなわちその枝線部の数は、アレイ状に配列した半導
体層60の行数と等しい。これら十字状要素3aは、そ
の枝線部が半導体層60の配された領域すなわち表示パ
ネルに組み立てられたときに表示領域となる領域内に配
される。列方向(図中縦方向)には、図4(c)に示す
ように、基板2の一端辺近傍に配されたゲート信号線接
続端子13、幹線要素3aの幹線部および線分要素3b
が、同一列上に配される。すなわち、他のゲート信号線
3の幹線要素3aと交差する箇所において断続して、ゲ
ート信号線3の幹線部要素が形成される。
Here, as shown in FIG. 4A, the cross-shaped element 3a has a pair of ends on each of the semiconductor layers 60 whose branch lines are arranged in the row direction (horizontal direction in the drawing). Integrated with the gate electrode 61 arranged so as to cover except the portion,
They are formed parallel to each other. The number of formed cross-shaped elements 3a, that is, the number of branch lines thereof is equal to the number of rows of the semiconductor layers 60 arranged in an array. These cross-shaped elements 3a are arranged in a region where the branch line portion thereof is arranged, that is, a region which becomes a display region when assembled in a display panel. In the column direction (vertical direction in the figure), as shown in FIG. 4C, the gate signal line connection terminals 13, the trunk line portion of the trunk line element 3a, and the line segment element 3b arranged near one end side of the substrate 2.
Are arranged on the same row. That is, the trunk line element of the gate signal line 3 is formed intermittently at a position intersecting with the trunk line element 3a of the other gate signal line 3.

【0023】上記のようにして、ゲート信号線3の各要
素およびゲート電極61が形成された後、ゲート電極6
1をマスクとして半導体層60に、As等のn型の不純
物を注入する。これにより、半導体層60のゲート電極
61より露出した一対の端部に不純物が吸入され、図4
(b)に示すように、半導体層60に不純物を含まない
チャネル領域60bとそれを挟んだソース領域60aお
よびドレイン領域60cが形成される。
After the respective elements of the gate signal line 3 and the gate electrode 61 are formed as described above, the gate electrode 6 is formed.
Using the mask 1 as a mask, an n-type impurity such as As is implanted into the semiconductor layer 60. As a result, impurities are sucked into the pair of end portions of the semiconductor layer 60 exposed from the gate electrode 61.
As shown in (b), a channel region 60b containing no impurities, and a source region 60a and a drain region 60c sandwiching the channel region 60b are formed in the semiconductor layer 60.

【0024】不純物注入の後、これらを覆うように、基
板2の全面にSiOxからなる膜およびSiNxからなる
膜が積層した絶縁層10bを形成し、さらに図5に示す
ように十字状要素3aの枝線部を挟んで対峙している一
対の要素の直上領域(すなわち、幹線部の端部および線
分要素3bの端部)の絶縁層10bと、ソース領域60
aおよびドレイン領域60cのそれぞれ直上領域の絶縁
層10bに、貫通したコンタクトホール11aおよび1
1bを形成する。その後、これらを覆うように基板2の
全面に、チタン膜およびアルミニウム膜が積層した導電
膜を形成し、さらにこの導電膜を所定のパターンに加工
して、図6に示すように、ゲート信号接続端子13が配
された基板2の一端辺近傍にソース信号接続端子14
を、それに接続してゲート信号線3の十字状要素3aの
幹線部の配列方向にソース信号線4を、さらに同方向に
配列した半導体層60のソース領域60aとソース信号
線4をコンタクトホール11aを介して接続するソース
電極62を一体に形成する。このとき、さらにコンタク
トホール11bを介して半導体層60のドレイン領域6
0cに接続したドレイン電極63と、十字状要素3aの
枝線部を挟んで対峙している一対のゲート信号線3の構
成要素を接続する架橋要素3cが同時に形成される。こ
の架橋要素3cの形成によって、ゲート信号線3の構成
要素が電気的に接続される。
After the impurity implantation, an insulating layer 10b in which a film made of SiO x and a film made of SiN x are laminated is formed on the entire surface of the substrate 2 so as to cover them, and further, as shown in FIG. The insulating layer 10b in the region directly above the pair of elements (that is, the end of the main line portion and the end of the line segment element 3b) facing each other with the branch line portion 3a interposed therebetween, and the source region 60.
a and the drain region 60c, contact holes 11a and
1b is formed. After that, a conductive film in which a titanium film and an aluminum film are stacked is formed on the entire surface of the substrate 2 so as to cover them, and the conductive film is processed into a predetermined pattern, and gate signal connection is performed as shown in FIG. A source signal connection terminal 14 is provided near one end of the substrate 2 on which the terminal 13 is arranged.
Is connected to the source signal line 4 in the arrangement direction of the trunk portion of the cross-shaped element 3a of the gate signal line 3, and the source region 60a of the semiconductor layer 60 and the source signal line 4 arranged in the same direction are connected to the contact hole 11a. The source electrode 62 connected through is formed integrally. At this time, the drain region 6 of the semiconductor layer 60 is further inserted through the contact hole 11b.
The drain electrode 63 connected to 0c and the bridging element 3c connecting the constituent elements of the pair of gate signal lines 3 facing each other with the branch portion of the cross-shaped element 3a interposed therebetween are formed at the same time. Due to the formation of the bridging element 3c, the constituent elements of the gate signal line 3 are electrically connected.

【0025】これらを覆うように基板2の全面に、たと
えばSiOxからなる絶縁層10cを形成し、さらに絶
縁層10cのドレイン電極63の直上にコンタクトホー
ル11cを形成した後、これらを覆うように基板2の全
面に、ITO等からなる透明導電層を形成する。この透
明導電層を所定のパターンに加工して画素電極5が形成
される。なお、他方の信号線とともに架橋要素を先に形
成した後、架橋要素に接続して十字状要素および線分要
素を形成することもできる。たとえば、略十字状のソー
ス信号線と略線状のゲート信号線を用いて、図7に示す
ように、ソース信号線の架橋要素4cを十字状要素4a
および線分要素4bよりも下層に配することも可能であ
る。もちろん、ソース信号線とゲート信号線のいずれに
略十字状のものをもちいるかは、任意に選択できる。
An insulating layer 10c made of, for example, SiO x is formed on the entire surface of the substrate 2 so as to cover them, and a contact hole 11c is formed immediately above the drain electrode 63 of the insulating layer 10c, and then these are covered. A transparent conductive layer made of ITO or the like is formed on the entire surface of the substrate 2. The transparent conductive layer is processed into a predetermined pattern to form the pixel electrode 5. It is also possible to first form the bridging element together with the other signal line and then connect the bridging element to form the cross-shaped element and the line segment element. For example, using a substantially cross-shaped source signal line and a substantially linear gate signal line, as shown in FIG. 7, the bridging element 4c of the source signal line is replaced by the cross-shaped element 4a.
It is also possible to arrange it in a layer lower than the line segment element 4b. Of course, which of the source signal line and the gate signal line has a substantially cross shape can be arbitrarily selected.

【0026】画素電極等が形成された基板の表面に、た
とえばポリイミドからなる配向膜を所定の方法で形成す
ると、液晶表示パネル用のアレイ基板が得られる。
An array substrate for a liquid crystal display panel is obtained by forming an alignment film made of, for example, polyimide on the surface of the substrate on which the pixel electrodes are formed by a predetermined method.

【0027】以上のようにして得られたアレイ基板を用
いた透過型アクティブマトリクス型液晶表示パネルの例
を図8に示す。表面に配向膜15を備えたアレイ基板1
は、同様に配向膜15を備えた対向基板20と互いに向
かい合うようにして配される。両基板間には液晶層24
が配される。対向基板20の表面には、透明導電材から
なる対向電極21が配されている。アレイ基板1上のT
FT6がONになると、画素電極5と対向電極21の間
に電界が形成され、液層層24中の液晶分子の配向が変
化する。この液晶分子の配向の変化により、バックライ
ト27より照射されて偏光板25を透過した偏光の旋回
角が調整され、検光板26を透過する光の強度が調整さ
れる。
FIG. 8 shows an example of a transmissive active matrix type liquid crystal display panel using the array substrate obtained as described above. Array substrate 1 having alignment film 15 on the surface
Are arranged so as to face each other with the counter substrate 20 similarly provided with the alignment film 15. Liquid crystal layer 24 between both substrates
Are arranged. A counter electrode 21 made of a transparent conductive material is arranged on the surface of the counter substrate 20. T on the array substrate 1
When the FT 6 is turned on, an electric field is formed between the pixel electrode 5 and the counter electrode 21, and the orientation of liquid crystal molecules in the liquid layer 24 changes. Due to this change in the orientation of the liquid crystal molecules, the turning angle of the polarized light that is emitted from the backlight 27 and transmitted through the polarizing plate 25 is adjusted, and the intensity of the light transmitted through the light analyzing plate 26 is adjusted.

【0028】なお、いわゆる半透過型の液晶表示パネル
においては、たとえば図9に示すように、ドレイン電極
を反射電極5aとして用いればよい。また、反射電極5
aの表面には、入射光を散乱させるための突起50を設
けるとよい。
In a so-called semi-transmissive liquid crystal display panel, the drain electrode may be used as the reflective electrode 5a as shown in FIG. 9, for example. In addition, the reflective electrode 5
Protrusions 50 for scattering incident light may be provided on the surface of a.

【0029】ゲート信号線接続端子13およびソース信
号線接続端子14を、図10の(a)に示すように基板
2の端辺からの距離を互いに異なるようにしてそれぞれ
配列すると、(b)および(c)に示すように、駆動回
路と接続するためまたはそれを搭載したフレキシブル基
板90との接続が容易になる。また、駆動用の素子を直
接基板上に配する場合にも、同様にそれとの接続が容易
になる。2種類の接続端子13および14は、上記実施
例で示したように基板の同一の辺に配するほか、図11
に示すように互いに相対する辺に配してもよい。
When the gate signal line connection terminals 13 and the source signal line connection terminals 14 are arranged so that the distances from the edges of the substrate 2 are different from each other as shown in FIG. As shown in (c), the connection with the drive circuit or the connection with the flexible substrate 90 on which the drive circuit is mounted becomes easy. Also, when the driving element is directly arranged on the substrate, the connection with the same becomes easy. The two types of connection terminals 13 and 14 are arranged on the same side of the substrate as shown in the above-described embodiment, and
They may be arranged on opposite sides as shown in FIG.

【0030】《実施例2》本実施例のアレイ基板の要部
を図12に示す。このアレイ基板1では、架橋要素3c
と接続するための端部を除き、十字状要素3aの幹線部
と線分要素3bは、絶縁層(図示せず)を挟んでソース
信号線4に重ね合わさって配されている。下層に配され
た十字状要素3aおよび線分要素3bは、その他のゲー
ト信号線3の枝線部と立体的に交差させるために架橋要
素3cと接続する端部が、屈曲してソース信号線4の直
下より露出している。このアレイ基板1では、ゲート信
号線3とソース信号線4を重ねあわせることで表示に直
接的に寄与しないソース信号線等の占める領域を小さく
することができ、実施例1のアレイ基板と比べて画素の
開口率をより高くすることができる。すなわち、実施例
1のそれと比べてより高輝度の表示が可能になる。
<< Embodiment 2 >> FIG. 12 shows a main part of an array substrate of the present embodiment. In this array substrate 1, the bridging element 3c
The main line portion of the cross-shaped element 3a and the line segment element 3b are arranged so as to be superposed on the source signal line 4 with an insulating layer (not shown) interposed therebetween, except for the end portion for connecting with. In the cross-shaped element 3a and the line segment element 3b arranged in the lower layer, the end portion connected to the bridging element 3c in order to three-dimensionally intersect the branch line portion of the other gate signal line 3 is bent and the source signal line is bent. It is exposed from just below 4. In this array substrate 1, by overlapping the gate signal lines 3 and the source signal lines 4, it is possible to reduce the area occupied by the source signal lines and the like that do not directly contribute to the display. The aperture ratio of the pixel can be increased. That is, it is possible to display with higher brightness than that of the first embodiment.

【0031】ここで、(b)に示すように、十字状要素
3aの幹線部と枝線部の交差部近傍に、幹線部端部や線
分要素3bの屈曲した端部と同様の形状を有するダミー
パターン3dを設けることで、表示パネルとして用いた
場合に、十字状要素3aの近傍の画素とそれ以外の画素
との間に生じる表示品質の不均一を小さくすることがで
きる。すなわち、屈曲した配線端部による遮光の影響
や、そのような配線端部が画素電極5に形成される電界
に及ぼす影響を抑制することができる。
Here, as shown in (b), in the vicinity of the intersection of the main line portion and the branch line portion of the cross-shaped element 3a, the same shape as the end portion of the main line portion or the bent end portion of the line segment element 3b is formed. By providing the dummy pattern 3d, it is possible to reduce the non-uniformity of the display quality that occurs between the pixels in the vicinity of the cross-shaped element 3a and the other pixels when used as a display panel. That is, it is possible to suppress the influence of light shielding by the bent wiring end portion and the influence of such wiring end portion on the electric field formed in the pixel electrode 5.

【0032】《実施例3》たとえば、VGA(640×
480ドット)においては、ソース信号線は1440本
(=480×3)であるのに対して、ゲート信号線は半
分以下の640本である。したがって、このようにソー
ス信号線の数とゲート信号線の数が異なる場合には、図
13(a)に示すように、画素電極5間に複数本の信号
線を配すればよい。ここで、上記のように、画素の表示
品質を均一に保つためには、画素の構成や画素電極間の
間隔が等しいことが望まれる。そこで、上記VGAな
ど、ソース信号線の数(画素列の数)がゲート信号線の
数(画素行の数)よりも多い場合などには、図13
(b)に示すように、画素間に配するソース信号線4の
幹線部の数を一定にして、余剰の幹線部は、他の幹線部
に接続された枝線部にさらに接続する。複数の幹線部を
同一の枝線部に接続する、すなわち複数の端子からTF
Tへの出力を可能にすることで、製造工程において画素
列へのソース信号の経路の一方に断線等のパターン不良
があった場合にも、他方の経路より画素列には正常に信
号が供給されるため、その列の画素は良好な表示が可能
になる。また、配線の低抵抗化にも寄与する。余剰の信
号線は、好ましくは画素間の表示品質の格差を抑制する
ためのダミーパターンとする。ダミーの信号線は、場合
によってはリペア用の配線として用いることも可能であ
る。
Example 3 For example, VGA (640 ×
In the case of 480 dots, the number of source signal lines is 1440 (= 480 × 3), while the number of gate signal lines is 640 which is less than half. Therefore, when the number of source signal lines and the number of gate signal lines are different as described above, a plurality of signal lines may be arranged between the pixel electrodes 5 as shown in FIG. Here, as described above, in order to keep the display quality of the pixels uniform, it is desired that the pixel configurations and the intervals between the pixel electrodes are equal. Therefore, in the case where the number of source signal lines (the number of pixel columns) is larger than the number of gate signal lines (the number of pixel rows), such as the VGA described above, FIG.
As shown in (b), the number of main line portions of the source signal line 4 arranged between the pixels is made constant, and the redundant main line portions are further connected to branch line portions connected to other main line portions. Connect multiple trunk lines to the same branch line, that is, TF from multiple terminals
By enabling output to T, even if there is a pattern defect such as disconnection in one of the paths of the source signal to the pixel column in the manufacturing process, the signal is normally supplied to the pixel column from the other path. Therefore, the pixels in that column can display excellently. In addition, it also contributes to lowering the resistance of the wiring. The surplus signal line is preferably a dummy pattern for suppressing a difference in display quality between pixels. The dummy signal line can be used as a repair wiring depending on the case.

【0033】《実施例4》本実施例では、半透過型液晶
表示パネル用のアレイ基板の他の例について説明する。
本実施例のアレイ基板を図14に示す。ソース信号配線
4の十字状要素4aおよび線分要素4bは、反射電極5
aと同じ層にそれと同じ材料を用いて形成されている。
これらは、いずれも一部が反射電極5aおよび透過電極
5bに重ね合わさって配されている。透明電極5bの直
下に配された要素は透過表示モードにおいて光の透過を
遮断するものの、画素電極間にそれを配した場合と比べ
て同等の開口率を得ることができる。また、一方で、反
射表示モードにおいては、この透明電極5bの直下に配
された配線要素は、反射板として機能することからより
輝度の高い表示が可能になる。
Example 4 In this example, another example of an array substrate for a transflective liquid crystal display panel will be described.
The array substrate of this embodiment is shown in FIG. The cross-shaped element 4a and the line segment element 4b of the source signal wiring 4 are connected to the reflective electrode 5
It is formed in the same layer as a using the same material as that.
Part of each of these is arranged so as to overlap the reflective electrode 5a and the transmissive electrode 5b. Although the element arranged immediately below the transparent electrode 5b blocks the transmission of light in the transmissive display mode, the aperture ratio equivalent to that in the case where it is arranged between the pixel electrodes can be obtained. On the other hand, in the reflective display mode, since the wiring element arranged directly under the transparent electrode 5b functions as a reflector, it is possible to display with higher brightness.

【0034】また、同様にEL表示パネルや反射型液晶
表示パネルなど、TFTに接続して形成される表示用の
電極が反射性のそれなど透明性を有さない表示パネルに
おいても、これら電極の直下に信号線を配してもよい。
Similarly, in a display panel such as an EL display panel or a reflective liquid crystal display panel which is connected to the TFT and has a display electrode that is not transparent such as a reflective electrode. A signal line may be arranged directly below.

【0035】《実施例5》本実施例では、有機ELパネ
ルの例について説明する。有機ELパネルにおいては、
基本的に上記実施例で示した液晶表示パネル用のアレイ
基板と同様に、各画素に一つのスイッチング素子が配さ
れるが、より良質な表示が可能であるとして、複数のス
イッチングを配した有機ELパネルも提案されている。
たとえば、図15に示すように一画素内にTFT6a〜
6dが配され、端子AおよびBにそれぞれゲート信号線
30aおよび30bが、さらに端子CおよびDにそれぞ
れソース信号線40aおよび40bが接続される。画素
間には(b)に示すようにこれら信号線が立体的に交差
して配される。
Example 5 In this example, an example of an organic EL panel will be described. In the organic EL panel,
Basically, one switching element is arranged in each pixel similarly to the array substrate for the liquid crystal display panel shown in the above-mentioned embodiment. EL panels have also been proposed.
For example, as shown in FIG.
6d is provided, terminals A and B are connected to gate signal lines 30a and 30b, respectively, and terminals C and D are connected to source signal lines 40a and 40b, respectively. These signal lines are three-dimensionally crossed between the pixels as shown in (b).

【0036】[0036]

【発明の効果】本発明によると、基板上の同一の辺また
は相対する辺に駆動回路またはそれとの接続端子を配す
ることが可能になり、自由度の高い機器の設計が可能に
なる。したがって、小型で大画面の携帯機器を提供する
ことが可能になる。
According to the present invention, it becomes possible to dispose the drive circuit or the connection terminal to the drive circuit on the same side or the opposite side on the substrate, and it becomes possible to design a device with a high degree of freedom. Therefore, it is possible to provide a small-sized and large-screen mobile device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例のアレイ基板の要部を示す平
面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a main part of an array substrate according to an embodiment of the present invention.

【図2】(b)は同基板の画素領域を示す拡大した平面
図であって、(b)は同基板に形成された薄膜トランジ
スタとその周囲の縦断面図であり、(c)はゲート信号
線の立体交差部の縦断面図である。
2B is an enlarged plan view showing a pixel region of the same substrate, FIG. 2B is a vertical cross-sectional view of a thin film transistor formed on the same substrate and its periphery, and FIG. 2C is a gate signal. It is a longitudinal cross-sectional view of a three-dimensional intersection of lines.

【図3】同アレイ基板の製造工程の一段階を示す図であ
って、(a)は要部の平面図であり、(b)は同基板に
形成された半導体層とその周囲の縦断面図である。
FIG. 3 is a diagram showing a step in the manufacturing process of the array substrate, in which (a) is a plan view of a main portion, and (b) is a vertical cross-sectional view of a semiconductor layer formed on the substrate and the periphery thereof. It is a figure.

【図4】同アレイ基板の製造工程のさらに他の段階を示
す図であって、(a)は要部の平面図であり、(b)は
同基板に形成された半導体層とその周囲の縦断面図であ
り、(c)はゲート信号線の立体交差部を形成しようと
する領域の縦断面図である。
FIG. 4 is a view showing still another stage of the manufacturing process of the array substrate, (a) is a plan view of a main part, and (b) is a semiconductor layer formed on the same substrate and its surroundings; It is a longitudinal cross-sectional view, (c) is a vertical cross-sectional view of a region to form a three-dimensional intersection of the gate signal line.

【図5】同アレイ基板の製造工程のさらに他の段階を示
す図であって、(a)は要部の平面図であり、(b)は
同基板に形成された半導体層とその周囲の縦断面図であ
り、(c)はゲート信号線の立体交差部を形成しようと
する領域の縦断面図である。
5A and 5B are diagrams showing still another stage of the manufacturing process of the array substrate, FIG. 5A is a plan view of a main part, and FIG. 5B is a diagram showing a semiconductor layer formed on the substrate and its periphery. It is a longitudinal cross-sectional view, (c) is a vertical cross-sectional view of a region to form a three-dimensional intersection of the gate signal line.

【図6】同アレイ基板の製造工程のさらに他の段階を示
す図であって、(a)は要部の平面図であり、(b)は
同基板に形成された薄膜トランジスタとその周囲の縦断
面図であり、(c)はゲート信号線の立体交差部とその
周囲の縦断面図である。
6A and 6B are views showing still another stage of the manufacturing process of the array substrate, FIG. 6A is a plan view of a main part, and FIG. 6B is a vertical cross-sectional view of a thin film transistor formed on the substrate and its periphery. FIG. 3C is a plan view, and FIG. 3C is a vertical cross-sectional view of a three-dimensional intersection of gate signal lines and the surroundings thereof.

【図7】本発明の他の実施例のアレイ基板の信号線立体
交差部とその周囲を示す縦断面図である。
FIG. 7 is a vertical cross-sectional view showing a signal line grade intersection and its surroundings of an array substrate according to another embodiment of the present invention.

【図8】本発明の一実施例の液晶表示パネルの構成を示
す要部の縦断面図である。
FIG. 8 is a vertical cross-sectional view of a main part showing a configuration of a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention.

【図9】本発明のさらに他の実施例のアレイ基板の要部
を示す図であって、(a)は要部の平面図であり、
(b)は要部の縦断面図である。
FIG. 9 is a view showing a main part of an array substrate according to still another embodiment of the present invention, (a) is a plan view of the main part,
(B) is a longitudinal cross-sectional view of a main part.

【図10】本発明のさらに他の実施例のアレイ基板上に
配された信号線接続端子を示す図であって、(a)はア
レイ基板の要部の平面図であり、(b)は液晶表示パネ
ルに組み立てられた後の信号線接続端子とフレキシブル
基板との接続部の縦断面図であり、(c)はフレキシブ
ル基板が接続された同表示パネルの平面図である。
10A and 10B are diagrams showing signal line connection terminals arranged on an array substrate according to still another embodiment of the present invention, FIG. 10A is a plan view of a main part of the array substrate, and FIG. It is a longitudinal cross-sectional view of a connection portion between a signal line connection terminal and a flexible substrate after being assembled to a liquid crystal display panel, and (c) is a plan view of the display panel to which the flexible substrate is connected.

【図11】本発明のさらに他の実施例のアレイ基板を示
す平面図である。
FIG. 11 is a plan view showing an array substrate of still another embodiment of the present invention.

【図12】本発明のさらに他の実施例のアレイ基板の要
部を示す要部の平面図であって、(a)は接続端子およ
び画素領域を含む領域の平面図であり、(b)は画素領
域の拡大した平面図である。
FIG. 12 is a plan view of a main part showing a main part of an array substrate according to still another embodiment of the present invention, in which (a) is a plan view of a region including a connection terminal and a pixel region, and (b). FIG. 4 is an enlarged plan view of a pixel area.

【図13】本発明のさらに他の実施例のアレイ基板を示
す図であって、(a)は平面図であり、(b)は信号線
の回路を示すモデル図である。
13A and 13B are diagrams showing an array substrate of still another embodiment of the present invention, wherein FIG. 13A is a plan view and FIG. 13B is a model diagram showing a circuit of a signal line.

【図14】本発明のさらに他の実施例のアレイ基板を示
す図であって、(a)は接続端子および画素領域を含む
領域の平面図であり、(b)は要部の縦断面図である。
14A and 14B are diagrams showing an array substrate of still another embodiment of the present invention, in which FIG. 14A is a plan view of a region including a connection terminal and a pixel region, and FIG. Is.

【図15】(a)は、本発明の一実施例のエレクトロル
ミネッセンス表示パネル用アレイ基板の画素の構成を示
す回路図であって、(b)は、同基板の信号線の配置を
示す回路図である。
15A is a circuit diagram showing a pixel configuration of an array substrate for an electroluminescent display panel according to an embodiment of the present invention, and FIG. 15B is a circuit showing an arrangement of signal lines on the substrate. It is a figure.

【図16】従来のアレイ基板における信号線の配置の形
態を示す図であって、(a)は同基板の概略した平面図
であり、(b)は同基板の画素領域の平面図である。
16A and 16B are diagrams showing the arrangement of signal lines in a conventional array substrate, FIG. 16A is a schematic plan view of the same substrate, and FIG. 16B is a plan view of a pixel region of the same substrate. .

【図17】従来の表示パネルにおけるアレイ基板と駆動
回路との接続の形態を示す概略した平面図であって、
(a)は表面に駆動回路が直接実装されたアレイ基板を
示し、(b)は、駆動回路とフレキシブル基板を介して
接続されたアレイ基板を示す。
FIG. 17 is a schematic plan view showing a form of connection between an array substrate and a drive circuit in a conventional display panel,
(A) shows an array substrate in which a drive circuit is directly mounted on the surface, and (b) shows an array substrate connected to the drive circuit via a flexible substrate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 アレイ基板 2 基板 3、30a、30b ゲート信号線 3a、4a 十字状要素 3b、4b 線分要素 3c、4c 架橋要素 3d ダミーパターン 4、40a、40b ソース信号線 5 画素電極 5a 反射電極 5b 透明電極 6、6a、6b、6c、6d 薄膜トランジスタ 9 アンダーコート層 10a、10b、10c 絶縁層 11a、11b、11c コンタクトホール 13 ゲート信号線接続端子 14 ソース信号線接続端子 15 配向膜 20 対向基板 21 対向電極 22 カラーフィルタ 23 ブラックマトリクス 24 液晶層 25 偏光板 26 検光板 27 バックライト 50 突起 60 半導体層 60a ソース領域 60b チャネル領域 60c ドレイン領域 61 ゲート電極 62 ソース電極 63 ドレイン電極 70 有機エレクトロルミネッセンス素子 80 駆動回路 90 フレキシブル基板 100 液晶表示パネル 1 Array substrate 2 substrates 3, 30a, 30b Gate signal line 3a, 4a Cruciform element 3b, 4b Line segment element 3c, 4c bridging element 3d dummy pattern 4, 40a, 40b Source signal line 5 pixel electrodes 5a reflective electrode 5b transparent electrode 6, 6a, 6b, 6c, 6d thin film transistor 9 Undercoat layer 10a, 10b, 10c insulating layer 11a, 11b, 11c Contact hole 13 Gate signal line connection terminal 14 Source signal line connection terminal 15 Alignment film 20 Counter substrate 21 Counter electrode 22 Color filter 23 Black Matrix 24 Liquid crystal layer 25 Polarizer 26 Analyzer 27 Backlight 50 protrusions 60 semiconductor layers 60a source area 60b channel region 60c drain region 61 Gate electrode 62 source electrode 63 drain electrode 70 Organic electroluminescence device 80 drive circuit 90 Flexible board 100 LCD display panel

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // G02F 1/1368 H01L 21/88 Fターム(参考) 2H092 GA50 GA51 JA25 JA29 JA36 JA38 JA42 JA44 JA46 KA04 KA12 KA18 KA22 MA05 MA08 MA13 MA17 MA30 MA35 MA37 PA06 PA13 5C094 AA14 AA15 BA03 BA27 BA43 CA19 EA04 EA07 5F033 GG04 HH08 HH18 JJ08 JJ18 KK04 KK08 MM05 MM26 QQ37 RR04 UU04 VV06 VV15 5F110 AA30 BB02 CC02 DD02 DD13 EE06 EE37 FF02 GG02 GG13 GG25 HJ01 HJ13 HL03 HL04 HL11 HM19 NN03 NN23 NN24 PP01 PP03 PP10 PP13 PP29 QQ11 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) // G02F 1/1368 H01L 21/88 F term (reference) 2H092 GA50 GA51 JA25 JA29 JA36 JA38 JA42 JA44 JA46 KA04 KA12 KA18 KA22 MA05 MA08 MA13 MA17 MA30 MA35 MA37 PA06 PA13 5C094 AA14 AA15 BA03 BA27 BA43 CA19 EA04 EA07 5F033 GG04 HH08 HH18 JJ08 JJ18 KK04 KK08 HG05 GG05 JJ05 JJ05 JJ26 GG06 GG26A02 BB06 V13 V6 HL04 HL11 HM19 NN03 NN23 NN24 PP01 PP03 PP10 PP13 PP29 QQ11

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上にマトリクス状に配された複数の
要素のそれぞれに系外からの信号を供給するための一対
の信号線を前記基板上に配置する方法であって、前記信
号線を外部回路と接続するための一対の端子部を、前記
基板の相対する一対の端辺または同一の端辺に配する配
線方法。
1. A method of arranging a pair of signal lines for supplying a signal from outside the system to each of a plurality of elements arranged in a matrix on a substrate, the signal line comprising: A wiring method in which a pair of terminal portions for connecting to an external circuit are arranged on a pair of opposite edges or the same edge of the substrate.
【請求項2】 絶縁性の基板と、 前記基板の表面にマトリクス状に配され、それぞれ半導
体層、ソース電極、ドレイン電極およびゲート電極を備
えた複数の薄膜トランジスタと、 前記薄膜トランジスタの前記ドレイン電極にそれぞれ接
続された画素電極と、 前記基板の表面に配された、それぞれ所定の列の前記薄
膜トランジスタの前記ソース電極にソース信号を供給す
るための複数のソース信号線と、 前記基板の表面に配された、それぞれ所定の行の前記薄
膜トランジスタの前記ゲート電極にゲート信号を供給す
るための複数のゲート信号線と、 前記ソース信号線が配された層と前記ゲート信号線が配
された層との間に配された絶縁層とを具備し、 前記ソース信号線およびゲート信号線のうち一方の信号
配線は、略線状であって互いに平行に配され、 他方の信号配線は、それぞれ前記一方の信号配線と平行
に配された略線状の幹線部および前記幹線部に直交し前
記薄膜トランジスタに接続した略線状の枝線部を含む略
十字形であって複数が格子状に配され、その一対が交差
する領域において互いに電気的に絶縁されて立体的に交
差するよう、一部が前記絶縁層に設けられた孔を通じて
前記絶縁層を挟んだ他の層に配された薄膜トランジスタ
アレイ基板。
2. An insulating substrate, a plurality of thin film transistors arranged in a matrix on the surface of the substrate, each having a semiconductor layer, a source electrode, a drain electrode, and a gate electrode, and the drain electrode of the thin film transistor, respectively. Pixel electrodes connected to each other, a plurality of source signal lines arranged on the surface of the substrate for supplying source signals to the source electrodes of the thin film transistors in predetermined columns, and arranged on the surface of the substrate. A plurality of gate signal lines for supplying a gate signal to the gate electrodes of the thin film transistors in predetermined rows, and between a layer on which the source signal line is arranged and a layer on which the gate signal line is arranged. An insulating layer is provided, and one of the source signal line and the gate signal line is substantially linear and parallel to each other. And the other signal wiring includes a substantially linear trunk line portion arranged in parallel with the one signal wiring line, and a substantially linear branch line portion orthogonal to the trunk line portion and connected to the thin film transistor. A plurality of cross-shaped insulating layers are arranged through a hole provided in the insulating layer so that they are three-dimensionally crossed by being electrically insulated from each other in a region where a pair of them are arranged in a lattice. A thin film transistor array substrate arranged on another layer sandwiched therebetween.
【請求項3】 前記他方の信号配線の他層に配された要
素が、前記一方の信号線と同一の層に前記一方の信号線
と同じ材料で形成された請求項2記載の薄膜トランジス
タアレイ基板。
3. The thin film transistor array substrate according to claim 2, wherein the elements arranged on the other layer of the other signal line are formed of the same material as the one signal line in the same layer as the one signal line. .
【請求項4】 前記一方の信号配線および前記他方の信
号線の前記幹線部が、信号回路と接続するためのそれぞ
れの端部および前記交差する領域を除いて互いに重ね合
わさって配された請求項3記載の薄膜トランジスタアレ
イ基板。
4. The one signal wiring and the main line portion of the other signal line are arranged so as to be overlapped with each other except for respective end portions for connecting with a signal circuit and the intersecting regions. 3. The thin film transistor array substrate described in 3.
【請求項5】 前記一方の信号配線が前記ソース信号線
であって、前記他方の信号配線が前記ゲート信号線であ
る請求項2記載の薄膜トランジスタアレイ基板。
5. The thin film transistor array substrate according to claim 2, wherein the one signal wiring is the source signal line and the other signal wiring is the gate signal line.
【請求項6】 ともに信号回路と接続するための前記ソ
ース信号線の端部および前記ソース信号線の端部が、前
記基板の同一の端辺側に配された請求項2記載の薄膜ト
ランジスタアレイ基板。
6. The thin film transistor array substrate according to claim 2, wherein both end portions of the source signal line and the end portion of the source signal line for connecting to a signal circuit are arranged on the same edge side of the substrate. .
【請求項7】 前記ソース信号線の前記端部および前記
ソース信号線の前記端部が、互いに離間した列上にそれ
ぞれ配された請求項6記載の薄膜トランジスタアレイ基
板。
7. The thin film transistor array substrate according to claim 6, wherein the end portion of the source signal line and the end portion of the source signal line are arranged on columns separated from each other.
【請求項8】 ともに信号回路と接続するための前記ソ
ース信号線の端部および前記ソース信号線の端部が、そ
れぞれ前記基板の相対する端辺側に配された請求項2記
載の薄膜トランジスタアレイ基板。
8. The thin film transistor array according to claim 2, wherein an end portion of the source signal line and an end portion of the source signal line both for connecting to a signal circuit are arranged on opposite side edges of the substrate, respectively. substrate.
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