JP2003142703A - Method for manufacturing integrated solar battery - Google Patents

Method for manufacturing integrated solar battery

Info

Publication number
JP2003142703A
JP2003142703A JP2001340297A JP2001340297A JP2003142703A JP 2003142703 A JP2003142703 A JP 2003142703A JP 2001340297 A JP2001340297 A JP 2001340297A JP 2001340297 A JP2001340297 A JP 2001340297A JP 2003142703 A JP2003142703 A JP 2003142703A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solar cell
lead wire
conductive adhesive
electrode
adhesive portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001340297A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazushi Yamauchi
一志 山内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2001340297A priority Critical patent/JP2003142703A/en
Publication of JP2003142703A publication Critical patent/JP2003142703A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an integrated solar battery capable of executing the conductive bonding of an electrode and a leader in a much lower temperature than that in solder without using any general solder. SOLUTION: A finger bar and a bus bar 15B made of silver paste are formed as the surface electrode of a solar battery element having a semiconductor junction. A conductive bonding part 20A constituted of alloy containing indium and tin is formed on the surface of a lead wire 12. The conductive bonding part may be formed on the surface of an electrode such as the bus bar 15B. This conductive bonding part 20A is of low-melted structure so that the conductive bonding of the leader 12 to the bus bar 15B can be executed in a low temperature. Especially, the bonding of the lead wire 12 to the bus bar 15B is executed in a temperature where a thermoplastic film 30 is crosslinked, that is, temperatures ranging from 150 deg.C to 160 deg.C so that the bonding of the lead wire 12 and the bonding of the thermoplastic film 30 can be executed in parallel.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、集積型単結晶また
は多結晶シリコン太陽電池などの製造に好適な集積型太
陽電池の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an integrated solar cell suitable for manufacturing an integrated single crystal or polycrystalline silicon solar cell.

【0002】[0002]

【従来の技術】単結晶または多結晶シリコン基板に作製
される結晶系太陽電池は、通常、数個あるいは数十個の
太陽電池素子(セル)を、例えば銅(Cu)などからな
る引出線により直列に接続した集積型太陽電池(モジュ
ール)の形で使用される。一つの太陽電池素子により発
電できる電圧は1V以下であるが、集積型太陽電池とす
ることにより使用電圧に対応することができる。
2. Description of the Related Art A crystalline solar cell manufactured on a monocrystalline or polycrystalline silicon substrate is usually made up of several or several tens of solar cell elements (cells) by a leader line made of, for example, copper (Cu). It is used in the form of integrated solar cells (modules) connected in series. The voltage that can be generated by one solar cell element is 1 V or less, but it is possible to meet the working voltage by using an integrated solar cell.

【0003】例えば、各々5cm×5cm以上の大面積
を有する太陽電池素子を集積すると、各太陽電池素子の
電極、特にバスバーに大電流が流れ、バスバーが発熱し
て電圧降下を生じる虞がある。そこで、太陽電池素子の
電極を形成した後、太陽電池素子を半田漕にディップし
て電極の表面に半田を付着させ、電極の電気抵抗を減少
させている。しかし、バスバーについては半田だけでは
不足なので、バスバーに付着した半田を用いて、太陽電
池素子を直列接続するための引出線を接着し、大電流に
よる発熱や電圧降下を防いでいる。バスバーに沿って接
着された引出線の端部は、隣接する太陽電池素子の電極
に接続される。
For example, when solar cell elements each having a large area of 5 cm × 5 cm or more are integrated, a large current may flow through the electrodes of each solar cell element, especially the bus bar, and the bus bar may generate heat to cause a voltage drop. Therefore, after the electrodes of the solar cell element are formed, the solar cell element is dipped in a solder bath and the solder is attached to the surface of the electrode to reduce the electrical resistance of the electrode. However, since solder is insufficient for the bus bar alone, solder attached to the bus bar is used to bond a lead wire for connecting the solar cell elements in series to prevent heat generation and voltage drop due to a large current. The ends of the lead lines bonded along the bus bar are connected to the electrodes of the adjacent solar cell elements.

【0004】こうして電極を形成した後、太陽電池素子
の表面に、例えばEVA(エチレンビニルアセテート)
などの透明で耐光性を有する熱可塑性フィルム,ガラス
等を接着し、太陽電池素子の表面の電極等を保護する。
After forming the electrodes in this way, for example, EVA (ethylene vinyl acetate) is formed on the surface of the solar cell element.
A transparent thermoplastic resin film having light resistance, such as glass, is adhered to protect the electrodes and the like on the surface of the solar cell element.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】引出線と電極とを導電
性接着するために、従来では、半田を使用している。従
来より用いられる一般の半田は、スズ(Sn)と鉛(P
b)との合金からなり、近年、特に半田に含まれる鉛に
よる環境汚染が問題となっている。太陽電池はクリーン
なエネルギーとして注目されているものの、電極に半田
を使用している以上、回収または廃棄の際に半田に含ま
れる鉛による環境汚染が生じる虞がある。一般の家電製
品の寿命10年に対して、太陽電池の寿命は半永久的に
長い。仮に太陽電池の耐用年数を20年とすると、20
年後に回収することになる。一般の家電製品については
既に無鉛半田を用いる方向で製品開発が進められている
が、太陽電池についても早急な安全対策を講じなけれ
ば、一般の電気製品が無鉛半田に切り替わってからも、
廃棄された太陽電池の半田の鉛による環境問題が続くこ
とになる。
Conventionally, solder has been used to electrically bond the lead wire and the electrode. Common solders that have been conventionally used are tin (Sn) and lead (Pn).
It is made of an alloy with b), and in recent years, environmental pollution due to lead contained in solder has become a problem. Although solar cells are attracting attention as clean energy, since solder is used for the electrodes, there is a possibility that lead contained in the solder may cause environmental pollution during recovery or disposal. The life of solar cells is semipermanently longer than the life of ordinary home appliances of 10 years. If the service life of a solar cell is 20 years, then 20
It will be collected after a year. For general household appliances, lead-free solder is already being used for product development, but for solar cells as well, if you do not take immediate safety measures, even if general electrical products are switched to lead-free solder,
Environmental problems due to lead in the solder of discarded solar cells will continue.

【0006】無鉛半田は、スズに鉛以外の各種の元素を
添加した構成を有するが、現在では何種類もの材料候補
があり、未だその標準は確定していない。組成がまちま
ちの無鉛半田は、回収に不便であることは言うまでもな
いが、仮に無鉛半田の世界標準が確定したとしても、回
収後の他の原料への転用は製錬の費用がかかるので難し
い。
The lead-free solder has a structure in which various elements other than lead are added to tin, but there are many kinds of material candidates at present, and the standard has not been established yet. Needless to say, lead-free solders with different compositions are inconvenient for recovery, but even if the global standard for lead-free solders is established, it will be difficult to convert them to other raw materials after recovery because of the cost of smelting.

【0007】また、太陽電池素子の表面に接着される熱
可塑性フィルムの架橋する温度は150℃程度である。
150℃程度の温度で引出線と電極とを導電性接着する
ことができれば、熱可塑性フィルムの接着と引出線の接
着とを並行して行うことができる。しかし、150℃程
度での導電性接着には、作業温度が235℃程度となる
一般の半田は使用できず、低温銀ペースト、またはエポ
キシ系の接着剤に導電性フィラーを混合した接着剤が主
に使用される。この接着方法は、強度が不十分であるこ
と、電気伝導度が小さいことなど信頼性に問題があり、
コストも高いので、長期にわたって使用される太陽電池
には殆ど使用されていない。
The temperature at which the thermoplastic film adhered to the surface of the solar cell element crosslinks is about 150.degree.
If the lead wire and the electrode can be conductively bonded at a temperature of about 150 ° C., the thermoplastic film and the lead wire can be bonded in parallel. However, for the conductive adhesion at about 150 ° C, general solder whose working temperature is about 235 ° C cannot be used, and a low-temperature silver paste or an epoxy-based adhesive mixed with a conductive filler is mainly used. Used for. This bonding method has problems in reliability such as insufficient strength and low electric conductivity,
Due to its high cost, it is rarely used in solar cells that are used for a long time.

【0008】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、一般の半田を用いずに、半田よりも
さらに低温で電極と引出線とを導電性接着することがで
きる集積型太陽電池の製造方法を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is an integrated type in which an electrode and a lead wire can be conductively bonded at a temperature lower than that of solder without using general solder. It is to provide a method for manufacturing a solar cell.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明による集積型太陽
電池の製造方法は、半導体基板に形成された半導体接合
部と電極とをそれぞれ含む複数の太陽電池素子を引出線
により直列接続した集積型太陽電池を製造するものであ
って、電極を、インジウム(In)またはインジウムを
含む合金を用いて形成するようにしたものである。
A method of manufacturing an integrated solar cell according to the present invention is an integrated solar cell in which a plurality of solar cell elements each including a semiconductor junction portion and an electrode formed on a semiconductor substrate are connected in series by a lead wire. A solar cell is manufactured, and electrodes are formed using indium (In) or an alloy containing indium.

【0010】本発明による集積型太陽電池の製造方法
は、具体的には、複数の半導体基板の各々に半導体接合
部を形成する工程と、複数の半導体基板の各々の表面に
電極を形成して半導体接合部と電極とをそれぞれ含む複
数の太陽電池素子を形成する工程と、複数の太陽電池素
子を直列接続するための引出線の表面または電極の表面
に、インジウムまたはインジウムを含む合金を用いて、
導電性接着部を形成する工程と、導電性接着部を用いて
引出線を電極に接着する工程と、複数の太陽電池素子を
引出線により直列接続する工程とを含むものである。さ
らに、導電性接着部を用いて引出線を接着する工程を、
複数の太陽電池素子の表面を保護するための熱可塑性フ
ィルムが架橋する温度で行うことにより、引出線の接着
と熱可塑性フィルムの接着とを並行して行うことが好ま
しい。そのためには、具体的には、導電性接着部を用い
て引出線を接着する工程を、熱可塑性フィルムの接着温
度と同じ温度で行うことが好ましい。一例として、熱可
塑性フィルムの接着温度、導電性接着の温度と同じ15
0℃〜160℃で同時に行うことが好ましい。
Specifically, the method of manufacturing an integrated solar cell according to the present invention comprises the steps of forming a semiconductor junction on each of a plurality of semiconductor substrates and forming an electrode on the surface of each of the plurality of semiconductor substrates. A step of forming a plurality of solar cell elements each including a semiconductor junction and an electrode, and the surface of the lead wire or the surface of the electrode for connecting the plurality of solar cell elements in series, using indium or an alloy containing indium ,
It includes a step of forming a conductive adhesive portion, a step of adhering a lead wire to an electrode using the conductive adhesive portion, and a step of connecting a plurality of solar cell elements in series by a lead wire. Furthermore, the step of adhering the leader line using the conductive adhesive portion,
It is preferable to perform the adhesion of the leader line and the adhesion of the thermoplastic films in parallel by performing the operation at a temperature at which the thermoplastic films for protecting the surfaces of the plurality of solar cell elements are crosslinked. For that purpose, specifically, it is preferable to perform the step of adhering the leader line using the conductive adhesive portion at the same temperature as the adhering temperature of the thermoplastic film. As an example, the adhesive temperature of the thermoplastic film is the same as that of the conductive adhesive.
It is preferable to carry out simultaneously at 0 ° C to 160 ° C.

【0011】本発明による集積型太陽電池の製造方法で
は、太陽電池素子の電極を、インジウムまたはインジウ
ムを含む合金を用いて形成する。具体的には、引出線の
表面または電極の表面に、インジウムまたはインジウム
を含む合金を用いて、導電性接着部を形成し、この導電
性接着部を用いて引出線を電極に接着する。導電性接着
部は低融点化されるので、引出線を電極に低温で導電性
接着することができる。したがって、引出線の接着と熱
可塑性フィルムの接着とを並行して行うことが可能とな
る。
In the method of manufacturing an integrated solar cell according to the present invention, the electrodes of the solar cell element are formed using indium or an alloy containing indium. Specifically, a conductive adhesive portion is formed on the surface of the lead wire or the surface of the electrode using indium or an alloy containing indium, and the lead wire is attached to the electrode using the conductive adhesive portion. Since the melting point of the conductive adhesive portion is lowered, the lead wire can be conductively bonded to the electrode at a low temperature. Therefore, the adhesion of the leader line and the adhesion of the thermoplastic film can be performed in parallel.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0013】[第1の実施の形態]図2は、本発明の第
1の実施の形態に係る集積型太陽電池として、例えば集
積型単結晶シリコン太陽電池の全体構成の一例を表すも
のである。この集積型太陽電池10は、複数の(図2で
は五つ)単結晶シリコン太陽電池素子を集積してなり、
複数の太陽電池素子11が一方向に配列され、例えば銅
からなる引出線12により直列接続されている。なお、
太陽電池素子11は、図2のような1次元配列に限ら
ず、2次元に配列してもよい。
[First Embodiment] FIG. 2 shows an example of the overall configuration of an integrated single crystal silicon solar cell, for example, as an integrated solar cell according to the first embodiment of the present invention. . This integrated solar cell 10 is formed by integrating a plurality of (five in FIG. 2) single crystal silicon solar cell elements,
A plurality of solar cell elements 11 are arranged in one direction and are connected in series by a lead wire 12 made of copper, for example. In addition,
The solar cell elements 11 are not limited to the one-dimensional array as shown in FIG. 2 and may be two-dimensionally arrayed.

【0014】太陽電池素子11は、図3により詳細に示
したように、p型単結晶シリコンからなる半導体基板1
3の表面近くに形成された半導体接合部14を備えてい
る。具体的には、半導体基板13のp層14Aの表面
に、リン(P)が添加されたn + 層14Bを有するとと
もに、後述の表面電極15に対応してさらにリンが添加
されたn++層14Cを有している。
The solar cell element 11 is shown in more detail in FIG.
As described above, the semiconductor substrate 1 made of p-type single crystal silicon
3 has a semiconductor junction 14 formed near the surface thereof.
It Specifically, the surface of the p layer 14A of the semiconductor substrate 13
To which n (P) was added +With layer 14B
In addition, phosphorus is further added corresponding to the surface electrode 15 described later.
N++It has a layer 14C.

【0015】太陽電池素子11の表面には、表面電極1
5として、集電のためのフィンガーバー15Fと、フィ
ンガーバー15Fが合流するバスバー15Bとが形成さ
れている。フィンガーバー15Fとバスバー15Bと
は、例えば銀(Ag)ペーストから構成されている。フ
ィンガーバー15Fおよびバスバー15Bを除く太陽電
池素子11の表面は、酸化膜(パッシベーション)17
および反射防止膜18により覆われている。なお、太陽
電池素子11の表面全体は、図2および図3には図示し
ないが、表面保護のため、例えばEVA(エチレンビニ
ルアセテート)により構成された熱可塑性フィルム等に
より覆われている。この熱可塑性フィルムについては後
述する。
The surface electrode 1 is provided on the surface of the solar cell element 11.
5, a finger bar 15F for collecting current and a bus bar 15B where the finger bar 15F joins are formed. The finger bar 15F and the bus bar 15B are made of, for example, silver (Ag) paste. The surface of the solar cell element 11 excluding the finger bar 15F and the bus bar 15B is an oxide film (passivation) 17
And is covered with the antireflection film 18. Although not shown in FIGS. 2 and 3, the entire surface of the solar cell element 11 is covered with a thermoplastic film or the like made of EVA (ethylene vinyl acetate), for example, for surface protection. This thermoplastic film will be described later.

【0016】半導体基板13の裏面には、裏面電極16
として、例えばアルミニウム(Al)膜が全面に形成さ
れている。裏面電極16の表面には、銀ペーストからな
る接着用の膜19が設けられている。接着用の膜19
は、アルミニウムからなる裏面電極16に他の層を付着
しやすくするためのものであり、例えばスクリーン印刷
により形成される。バスバー15Bおよびフィンガーバ
ー15Fからなる表面電極15と、裏面電極16とが、
本発明における「電極」に対応している。
A back surface electrode 16 is formed on the back surface of the semiconductor substrate 13.
As an example, an aluminum (Al) film is formed on the entire surface. An adhesive film 19 made of silver paste is provided on the surface of the back electrode 16. Adhesive film 19
Is for facilitating attachment of other layers to the back electrode 16 made of aluminum, and is formed by screen printing, for example. The front surface electrode 15 including the bus bar 15B and the finger bar 15F and the back surface electrode 16 are
It corresponds to the "electrode" in the present invention.

【0017】図1は、バスバー15Bの幅方向の拡大断
面図である。図1および図3に示したように、銅からな
る引出線12の表面には、導電性接着部20Aが、引出
線12の表面の全体を覆うように面状に形成されてい
る。この導電性接着部20Aを用いて、引出線12がバ
スバー15Bに沿って接着されている。引出線12をバ
スバー15Bに沿って接着するのは、バスバー15Bの
電気抵抗を減少し、大電流による発熱や電圧降下を防止
するためである。
FIG. 1 is an enlarged sectional view of the bus bar 15B in the width direction. As shown in FIGS. 1 and 3, on the surface of the lead wire 12 made of copper, a conductive adhesive portion 20A is formed in a planar shape so as to cover the entire surface of the lead wire 12. The lead wire 12 is bonded along the bus bar 15B using the conductive bonding portion 20A. The reason why the lead wire 12 is bonded along the bus bar 15B is to reduce the electric resistance of the bus bar 15B and prevent heat generation and voltage drop due to a large current.

【0018】導電性接着部20Aの材料としては、イン
ジウムとスズ(Sn)とを含む合金、またはインジウム
とガリウム(Ga)とスズとを含む合金により構成され
ている。その組成は、例えば下記の式(1)により表す
ことができる。
The conductive adhesive portion 20A is made of an alloy containing indium and tin (Sn) or an alloy containing indium, gallium (Ga) and tin. The composition can be represented by, for example, the following formula (1).

【0019】 (In1-x −Gax a −(Sn1-y −My b (1) (但し、x≦0・07、y≦0.1、a+b=1、0.
25<a<0・95であり、Mはビスマス(Bi),亜
鉛(Zn),ニッケル(Ni),銀(Ag),アンチモ
ン(Sb)から選ばれた少なくとも1つの元素、単位は
いずれも重量比)
[0019] (In 1-x -Ga x) a - (Sn 1-y -M y) b (1) ( where, x ≦ 0 · 07, y ≦ 0.1, a + b = 1,0.
25 <a <0.95, M is at least one element selected from bismuth (Bi), zinc (Zn), nickel (Ni), silver (Ag), and antimony (Sb), and each unit is a weight. ratio)

【0020】ここで、ガリウムの含有量(重量比)を
0.07よりも小さくする理由は、インジウムガリウム
合金中にガリウムが析出すると、ガリウムの融点が30
℃であるため、偏析した部分が融け出す虞があるからで
ある。また、上記式(1)においてMで表される元素の
含有量(重量比)を0.1よりも小さくする理由は、合
金の融点を高くしすぎないためである。インジウムとガ
リウムとの合計含有量(重量比)を0.25より大きく
する理由は、融点を低くするためであり、0.95より
も小さくする理由は、融点を(130℃以下に)低くし
すぎないためである。本実施の形態においては、導電性
接着部20Aは、インジウムとスズとを含む合金により
構成されている。
Here, the reason for making the content (weight ratio) of gallium smaller than 0.07 is that when gallium is deposited in the indium gallium alloy, the melting point of gallium is 30.
This is because the segregated portion may melt out because of the temperature of ° C. Further, the reason why the content (weight ratio) of the element represented by M in the above formula (1) is made smaller than 0.1 is that the melting point of the alloy is not too high. The reason why the total content (weight ratio) of indium and gallium is made larger than 0.25 is to lower the melting point, and the reason for making it smaller than 0.95 is to lower the melting point (to 130 ° C. or lower). This is because it is not too much. In the present embodiment, conductive adhesive portion 20A is made of an alloy containing indium and tin.

【0021】この集積型太陽電池10では、表面電極1
5側から照射された光の一部は反射防止膜18および酸
化膜17を透過して太陽電池素子11に入り、吸収され
る。また、太陽電池素子11を透過した光の一部は、裏
面電極16において反射し、再び太陽電池素子11に入
り、吸収される。光が吸収されたn+ 層14Bおよびp
層14Aでは、電子−正孔対が発生する。p層14Aに
おいて発生した電子は電界に引かれてn+ 層14B、さ
らにn++層14Cに入り、n+ 層14Bにおいて発生し
た正孔は電界に引かれてp層14Aに入る。これによ
り、入射光量に比例する電流が発生し、引出線12から
取り出される。
In this integrated solar cell 10, the surface electrode 1
Part of the light emitted from the 5 side passes through the antireflection film 18 and the oxide film 17, enters the solar cell element 11, and is absorbed. Further, a part of the light transmitted through the solar cell element 11 is reflected by the back surface electrode 16, enters the solar cell element 11 again, and is absorbed. Light-absorbed n + layers 14B and p
In the layer 14A, electron-hole pairs are generated. electrons generated in the p layer 14A are attracted to the field n + layer 14B, further enters the n ++ layer 14C, holes generated in the n + layer 14B enter the p layer 14A is pulled in an electric field. As a result, a current proportional to the amount of incident light is generated and taken out from the lead wire 12.

【0022】次に、図4ないし図6、ならびに先に説明
した図2および図3を参照して、この集積型太陽電池1
0の製造方法について説明する。本実施の形態では、導
電性接着部20Aを、従来の半田ではなく、インジウム
またはインジウムを含む合金を用いて形成する。
Next, with reference to FIGS. 4 to 6 and FIGS. 2 and 3 described above, the integrated solar cell 1 will be described.
The manufacturing method of 0 will be described. In the present embodiment, the conductive adhesive portion 20A is formed using indium or an alloy containing indium instead of conventional solder.

【0023】まず、図4(A)に示したように、太陽電
池素子11を形成するための半導体基板13として、例
えば(100)p型シリコン基板を用意する。次に、図
4(B)に示したように、この半導体基板13の表面電
極15に対応する領域にn++拡散してn++層14Cを形
成し、続いてn+ 拡散してn+ 層14Bを形成する。こ
れにより、p層14Aとn+ 層14Bまたはn++層14
Cとの間に半導体接合部14を形成する。
First, as shown in FIG. 4A, for example, a (100) p-type silicon substrate is prepared as a semiconductor substrate 13 for forming the solar cell element 11. Next, as shown in FIG. 4B, n ++ diffusion is performed in a region corresponding to the surface electrode 15 of the semiconductor substrate 13 to form an n ++ layer 14C, and then n + diffusion is performed. The + layer 14B is formed. As a result, the p layer 14A and the n + layer 14B or the n ++ layer 14 are formed.
The semiconductor junction portion 14 is formed between the semiconductor junction portion 14 and C.

【0024】次いで、半導体基板13の表面を熱酸化し
てパッシベーションのための酸化膜17を形成し、さら
に反射防止膜18を形成する。これらの酸化膜17およ
び反射防止膜18を選択的に除去して、図5(A)に示
したように、表面電極15の形状に合わせた溝31を形
成する。
Next, the surface of the semiconductor substrate 13 is thermally oxidized to form an oxide film 17 for passivation, and further an antireflection film 18 is formed. The oxide film 17 and the antireflection film 18 are selectively removed to form a groove 31 matching the shape of the surface electrode 15, as shown in FIG.

【0025】その後、図5(B)のように、例えば銀ペ
ーストのスクリーン印刷により、表面電極15として、
フィンガーバー15Fおよびバスバー15Bを形成し、
焼成する。半導体基板13の裏面には、裏面電極16と
してアルミニウム膜を例えばスクリーン印刷により形成
する。続いて、裏面電極16の表面に、銀ペーストから
なる接着用の膜19を例えばスクリーン印刷により形成
して焼成する。
Thereafter, as shown in FIG. 5B, the surface electrode 15 is formed by screen printing of silver paste, for example.
Form the finger bar 15F and the bus bar 15B,
Bake. On the back surface of the semiconductor substrate 13, an aluminum film is formed as the back surface electrode 16 by screen printing, for example. Subsequently, an adhesion film 19 made of a silver paste is formed on the surface of the back surface electrode 16 by screen printing, for example, and then baked.

【0026】一方、図6(A)に示したように、銅から
なる引出線12の表面に、インジウムとスズとを含む合
金(スズの含有量は例えば30重量%)を用いて、導電
性接着部20Aを形成する。なお、本実施の形態のよう
に導電性接着部20Aを引出線12の表面の全体を覆う
ように面状に形成する場合には、銀などに比べて著しく
高価なインジウムを単独で使用するよりも、インジウム
を含む合金を用いることが極めて望ましい。
On the other hand, as shown in FIG. 6A, on the surface of the lead wire 12 made of copper, an alloy containing indium and tin (the content of tin is, for example, 30% by weight) is used, and the conductivity is improved. The adhesive portion 20A is formed. In the case where the conductive adhesive portion 20A is formed in a planar shape so as to cover the entire surface of the lead wire 12 as in the present embodiment, indium, which is significantly more expensive than silver or the like, is used rather than alone. However, it is highly desirable to use an alloy containing indium.

【0027】次に、図6(B)に示したように、インジ
ウムとスズとを含む合金により構成された導電性接着部
20Aが形成された引出線12をバスバー15Bに載
せ、さらにその上から熱可塑性フィルム30をかぶせて
太陽電池素子11の表面を熱可塑性フィルム30で覆
い、加熱により熱可塑性フィルム30を太陽電池素子1
1に接着する。この加熱の温度は、例えば150℃〜1
60℃の範囲の温度、本実施の形態では例えば150℃
とする。インジウムとスズとを含む合金により構成され
た導電性接着部20Aは、上記範囲よりもやや低温、例
えば120℃〜140℃程度でも溶融することができる
が、上記範囲の温度において、例えばEVAからなる熱
可塑性フィルム30が架橋するからである。したがっ
て、上記範囲の温度に加熱することにより、引出線12
をバスバー15Bに圧着させるとともに、これと並行し
て、熱可塑性フィルム30を架橋させ太陽電池素子11
の表面に接着することができる。
Next, as shown in FIG. 6B, the lead wire 12 on which the conductive adhesive portion 20A made of an alloy containing indium and tin is formed is placed on the bus bar 15B, and further from above. The surface of the solar cell element 11 is covered with the thermoplastic film 30 by covering with the thermoplastic film 30, and the thermoplastic film 30 is heated to cover the solar cell element 1 with the solar cell element 1.
Adhere to 1. The heating temperature is, for example, 150 ° C to 1
Temperature in the range of 60 ° C, for example, 150 ° C in the present embodiment
And The conductive adhesive portion 20A made of an alloy containing indium and tin can be melted at a temperature slightly lower than the above range, for example, about 120 ° C. to 140 ° C., but is made of EVA, for example, at the temperature in the above range. This is because the thermoplastic film 30 is crosslinked. Therefore, by heating to a temperature in the above range, the lead wire 12
Is pressure-bonded to the bus bar 15B, and at the same time, the thermoplastic film 30 is cross-linked to make the solar cell element 11
Can be glued to the surface of.

【0028】引出線12の端部12Aもまた、導電性接
着部20Aを用いて、隣接する太陽電池素子11の接着
用の膜19に接着され、これにより裏面電極16に電気
的に接続される。引出線12と裏面電極16との接着
も、熱可塑性フィルム30の接着と並行して行うことが
できる。これにより、複数の太陽電池素子11を直列接
続し、本実施の形態の集積型太陽電池10を完成するこ
とができる。
The end portion 12A of the lead wire 12 is also adhered to the adhering film 19 of the adjacent solar cell element 11 using the conductive adhering portion 20A, and thereby electrically connected to the back surface electrode 16. . The adhesion of the lead wire 12 and the back electrode 16 can also be performed in parallel with the adhesion of the thermoplastic film 30. Thereby, a plurality of solar cell elements 11 are connected in series, and the integrated solar cell 10 of the present embodiment can be completed.

【0029】以上説明したように、本実施の形態におい
ては、引出線12の表面に、インジウムを含む合金を用
いて、導電性接着部20Aを形成するようにしたので、
従来の鉛−スズ合金からなる半田よりも低温で引出線1
2とバスバー15Bまたは裏面電極16との導電性接着
を行うことができる。すなわち、従来の鉛−スズ合金か
らなる半田の共晶点は183℃であるが、通常の作業温
度は約230℃である。これに対して、導電性接着部2
0Aの融点は、本実施の形態のようにインジウムとスズ
とを含む合金により構成した場合は共晶点が約120℃
となり、従来の鉛とスズとの合金からなる半田に比べて
著しく低い作業温度およびエネルギーコストにより引出
線12とバスバー15Bまたは裏面電極16との導電性
接着を行うことができる。
As described above, in the present embodiment, the conductive adhesive portion 20A is formed on the surface of the lead wire 12 by using an alloy containing indium.
Leader wire 1 at lower temperature than conventional solder made of lead-tin alloy
2 and the bus bar 15B or the back electrode 16 can be electrically conductively bonded. That is, the eutectic point of the conventional solder made of lead-tin alloy is 183 ° C, but the normal working temperature is about 230 ° C. On the other hand, the conductive adhesive portion 2
The melting point of 0 A has a eutectic point of about 120 ° C. when it is made of an alloy containing indium and tin as in this embodiment.
Therefore, the lead wire 12 and the bus bar 15B or the back electrode 16 can be electrically conductively bonded at a significantly lower working temperature and energy cost as compared with the conventional solder made of an alloy of lead and tin.

【0030】また、本実施の形態によれば、導電性接着
部20Aをインジウムとスズとを含む合金により構成す
るので、その共晶点は約120℃となる。集積型太陽電
池10は通常屋外に設置され、その内部の温度は真夏に
は80℃程度まで上昇するが、閉め切った車内でもせい
ぜい100℃程度にしかならない。したがって、導電性
接着部20Aは、低融点で作業性が良いのみならず、真
夏の車内などの高温下にあっても溶けることはなく安全
である。
Further, according to the present embodiment, since the conductive adhesive portion 20A is made of an alloy containing indium and tin, its eutectic point is about 120.degree. The integrated solar cell 10 is usually installed outdoors, and the temperature inside the solar cell 10 rises to about 80 ° C. in the midsummer, but even in a completely closed car, the temperature is only about 100 ° C. at most. Therefore, the conductive adhesive portion 20A is not only a low melting point and good in workability, but also does not melt even in a high temperature such as a car in the midsummer and is safe.

【0031】さらに、本実施の形態においては、表面に
導電性接着部20Aが形成された引出線12をバスバー
15B上に載せ、さらに、太陽電池素子11の表面を熱
可塑性フィルム30により覆い、熱可塑性フィルム30
の架橋する温度、具体的には150℃〜160℃の範囲
の温度に加熱するようにしたので、引出線12のバスバ
ー15Bへの接着と熱可塑性フィルム30の太陽電池素
子11への接着とを並行して行うことができ、製造プロ
セスが簡略化される。
Further, in the present embodiment, the lead wire 12 having the conductive adhesive portion 20A formed on the surface thereof is placed on the bus bar 15B, and the surface of the solar cell element 11 is covered with the thermoplastic film 30 to remove heat. Plastic film 30
Since the heating is carried out to the temperature at which the crosslinking is carried out, specifically, the temperature in the range of 150 ° C. to 160 ° C. It can be done in parallel and simplifies the manufacturing process.

【0032】[第2の実施の形態]次に、本発明の第2
の実施の形態に係る集積型太陽電池について説明する。
図7は、本実施の形態に係る集積型太陽電池の各太陽電
池素子を表しており、図8は、図7に示した太陽電池素
子のバスバーの幅方向の断面を表している。第1の実施
の形態においては、導電性接着部20Aを、引出線12
の表面の全体を覆うように面状に形成する。これに対し
て、本実施の形態では、導電性接着部20Bを、表面電
極15および裏面電極16の表面の全体を覆うように面
状に形成し、引出線12を、導電性接着部20Bに埋め
込まれた状態でバスバー15Bに導電性接着する。これ
以外は、本実施の形態は、第1の実施の形態と同様であ
る。したがって同一の構成要素には同一の符号を付し、
ここではその詳細な説明を省略する。
[Second Embodiment] Next, the second embodiment of the present invention will be described.
The integrated solar cell according to the embodiment will be described.
FIG. 7 shows each solar cell element of the integrated solar cell according to the present embodiment, and FIG. 8 shows a cross section in the width direction of the bus bar of the solar cell element shown in FIG. 7. In the first embodiment, the conductive adhesive portion 20A is connected to the lead wire 12
The surface is formed so as to cover the entire surface of the. On the other hand, in the present embodiment, the conductive adhesive portion 20B is formed in a planar shape so as to cover the entire surfaces of the front surface electrode 15 and the back surface electrode 16, and the leader line 12 is formed on the conductive adhesive portion 20B. The embedded state is conductively adhered to the bus bar 15B. Except for this, the present embodiment is the same as the first embodiment. Therefore, the same components are given the same reference numerals,
Here, the detailed description is omitted.

【0033】導電性接着部20Bの材料は、第1の実施
の形態において説明したのと同様であるので、ここでは
その詳細な説明を省略する。
Since the material of the conductive adhesive portion 20B is the same as that described in the first embodiment, detailed description thereof will be omitted here.

【0034】次に、本実施の形態に係る集積型太陽電池
の製造方法について説明する。本実施の形態において
は、導電性接着部20Bを、第1の実施の形態と同様
に、インジウム単独でなく、インジウムを含む合金を用
いて形成する。
Next, a method of manufacturing the integrated solar cell according to this embodiment will be described. In the present embodiment, the conductive adhesive portion 20B is formed by using an alloy containing indium instead of indium alone, as in the first embodiment.

【0035】まず、第1の実施の形態において説明した
図4(A),(B)および図5(A),(B)の各工程
と同様にして、半導体基板13に半導体接合部14、表
面電極15としてのバスバー15Bおよびフィンガーバ
ー15F、裏面電極16および接着用の膜19をそれぞ
れ形成する。ここまでの工程は、第1の実施の形態と同
様であるから、その詳細な説明は省略する。
First, in the same manner as the steps of FIGS. 4 (A), (B) and FIGS. 5 (A), (B) described in the first embodiment, the semiconductor junction portion 14 is formed on the semiconductor substrate 13. A bus bar 15B and a finger bar 15F as the front surface electrode 15, a back surface electrode 16 and a film 19 for adhesion are formed respectively. Since the steps up to this point are the same as those in the first embodiment, detailed description thereof will be omitted.

【0036】その後、太陽電池素子11を、インジウム
とスズとを含む合金(スズの含有量は例えば50重量
%)を例えば150℃に加熱した図示しないディップ漕
に浸す。これにより、インジウムとスズとを含む合金に
より構成された導電性接着部20Bを、フィンガーバー
15F、バスバー15Bおよび接着用の膜19の表面の
全体を覆うように面状に形成することができる。
Thereafter, the solar cell element 11 is dipped in an unillustrated dip bath heated to 150 ° C., for example, with an alloy containing indium and tin (tin content is 50 wt%). Thus, the conductive adhesive portion 20B made of an alloy containing indium and tin can be formed in a planar shape so as to cover the entire surfaces of the finger bar 15F, the bus bar 15B and the adhesive film 19.

【0037】その後、太陽電池素子11を例えばホット
プレート上で加熱し、導電性接着部20Bに覆われたバ
スバー15Bに沿って、例えば銅からなる引出線12を
半田ごてで接着する。こうして図7に示したように太陽
電池素子11が完成する。なお、バスバー15Bに沿っ
て接着された引出線12は、導電性接着部20B内に埋
め込まれた状態となっている。
After that, the solar cell element 11 is heated on, for example, a hot plate, and the lead wire 12 made of copper, for example, is bonded along the bus bar 15B covered with the conductive bonding portion 20B with a soldering iron. Thus, the solar cell element 11 is completed as shown in FIG. The lead wire 12 bonded along the bus bar 15B is embedded in the conductive bonding portion 20B.

【0038】最後に、バスバー15Bに沿って接着され
た引出線12の端部12Aを、隣接する太陽電池素子1
1の裏面電極16に電気的に接続し、これにより、複数
の太陽電池素子11を直列接続する。なお、引出線12
の端部12Aは、接着用の膜19上の導電性接着部20
B内に埋め込まれた状態となっている。この後、さら
に、各太陽電池素子11の表面に、例えばEVAからな
る熱可塑性フィルム30(図1参照)を接着し、表面電
極15を保護する。
Finally, the end 12A of the lead wire 12 adhered along the bus bar 15B is connected to the adjacent solar cell element 1.
It is electrically connected to the back electrode 16 of No. 1 so that the plurality of solar cell elements 11 are connected in series. In addition, leader line 12
The end portion 12A of the conductive adhesive portion 20 on the adhesive film 19 is
It is in a state of being embedded in B. Thereafter, a thermoplastic film 30 (see FIG. 1) made of EVA, for example, is further adhered to the surface of each solar cell element 11 to protect the surface electrode 15.

【0039】以上説明したように、本実施の形態におい
ては、表面電極15および接着用の膜19の表面に、イ
ンジウムを含む合金を用いて、導電性接着部20Bを形
成するようにしたので、従来の鉛−スズ合金からなる半
田に比べて低い作業温度およびエネルギーコストによ
り、引出線12とバスバー15Bまたは裏面電極16と
の導電性接着を行うことができる。
As described above, in the present embodiment, the conductive adhesive portion 20B is formed on the surface of the surface electrode 15 and the adhesive film 19 using an alloy containing indium. The lead wire 12 and the bus bar 15B or the back electrode 16 can be electrically conductively bonded to each other at a lower working temperature and lower energy cost than the conventional solder made of a lead-tin alloy.

【0040】[第3の実施の形態]次に、本発明の第3
の実施の形態に係る集積型太陽電池について説明する。
図9は、本実施の形態に係る集積型太陽電池の各太陽電
池素子のバスバーの長さ方向の断面を表している。第1
の実施の形態においては、導電性接着部20Aを、引出
線12の表面の全体を覆うように面状に形成する。これ
に対して、本実施の形態では、図9に示したように、導
電性接着部20Cを、引出線12の表面に形成されたコ
ート層12C上に間隔をおいて点状に形成するようにし
ている。これ以外は、本実施の形態は、第1の実施の形
態と同様である。したがって同一の構成要素には同一の
符号を付し、ここではその詳細な説明を省略する。
[Third Embodiment] Next, the third embodiment of the present invention will be described.
The integrated solar cell according to the embodiment will be described.
FIG. 9 shows a cross section in the longitudinal direction of the bus bar of each solar cell element of the integrated solar cell according to the present embodiment. First
In the embodiment, the conductive adhesive portion 20A is formed in a planar shape so as to cover the entire surface of the lead wire 12. On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIG. 9, the conductive adhesive portion 20C is formed on the coat layer 12C formed on the surface of the lead wire 12 in the form of dots at intervals. I have to. Except for this, the present embodiment is the same as the first embodiment. Therefore, the same components are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted here.

【0041】導電性接着部20Cの材料は、第1の実施
の形態において説明したのと同様であるので、ここでは
その詳細な説明を省略する。
Since the material of the conductive adhesive portion 20C is the same as that described in the first embodiment, its detailed description is omitted here.

【0042】次に、本実施の形態に係る集積型太陽電池
の製造方法について説明する。本実施の形態において
は、第1および第2の実施の形態と異なり、導電性接着
部20Cを、インジウムを単独で用いて形成する。
Next, a method for manufacturing the integrated solar cell according to this embodiment will be described. In the present embodiment, unlike the first and second embodiments, the conductive adhesive portion 20C is formed by using indium alone.

【0043】まず、第1の実施の形態において説明した
図4(A),(B)および図5(A),(B)の各工程
と同様にして、半導体基板13に半導体接合部14、表
面電極15としてのバスバー15Bおよびフィンガーバ
ー15F、裏面電極16および接着用の膜19をそれぞ
れ形成する。ここまでの工程は、第1の実施の形態と同
様であるから、その詳細な説明は省略する。
First, in the same manner as the steps of FIGS. 4A and 4B and FIGS. 5A and 5B described in the first embodiment, the semiconductor junction portion 14 and the semiconductor junction portion 14 are formed on the semiconductor substrate 13. A bus bar 15B and a finger bar 15F as the front surface electrode 15, a back surface electrode 16 and a film 19 for adhesion are formed respectively. Since the steps up to this point are the same as those in the first embodiment, detailed description thereof will be omitted.

【0044】一方、図10(A)に示したように、銅か
らなる引出線12の表面に、スズまたはスズを含む合金
により構成されたコート層12Cを形成する。コート層
12Cの材料としては、例えば、スズ単体、各種の無鉛
半田、またはスズの他に銀またはビスマスの少なくとも
1種を含む合金などがあげられる。
On the other hand, as shown in FIG. 10A, a coat layer 12C made of tin or an alloy containing tin is formed on the surface of the lead wire 12 made of copper. Examples of the material of the coat layer 12C include simple tin, various lead-free solders, and alloys containing at least one of silver and bismuth in addition to tin.

【0045】次に、図10(B)に示したように、引出
線12のコート層12Cの表面のところどころに、約1
cm間隔でインジウム薄片21Cを載せ、例えば160
℃に加熱し、コート層12Cに含まれるスズとインジウ
ム薄片21Bとを合金化させる。これにより、図10
(C)に示したように、引出線12のコート層12Cの
表面に、インジウムとスズとの合金により構成された導
電性接着部20C(共晶点120℃)を、間隔をおいて
点状に形成することができる。このように、本実施の形
態では、導電性接着部20Cを点状に形成するので、導
電性接着部20Cの面積が小さくなり、インジウム薄片
21Cの使用量が微量となる。
Next, as shown in FIG. 10 (B), about 1 part of the surface of the coat layer 12C of the lead wire 12 is applied.
The indium thin pieces 21C are placed at intervals of cm, for example, 160
By heating to 0 ° C., tin contained in the coating layer 12C and the indium thin piece 21B are alloyed. As a result, FIG.
As shown in (C), a conductive adhesive portion 20C (eutectic point 120 ° C.) made of an alloy of indium and tin is provided on the surface of the coat layer 12C of the lead wire 12 in a dotted pattern at intervals. Can be formed. As described above, in the present embodiment, since the conductive adhesive portion 20C is formed in a dot shape, the area of the conductive adhesive portion 20C becomes small and the amount of the indium thin piece 21C used becomes very small.

【0046】なお、導電性接着部20Cは、引出線12
の長さ方向全体にわたって設ける必要はなく、バスバー
15Bに接着される部分および隣接する太陽電池素子1
1の裏面電極16に接着される部分に設ければよい。
The conductive adhesive portion 20C is connected to the lead wire 12
Need not be provided over the entire length direction of the solar cell element 1 and the portion bonded to the bus bar 15B and the adjacent solar cell element 1
It may be provided in a portion to be bonded to the back surface electrode 16.

【0047】次に、図11に示したように、導電性接着
部20Cをバスバー15Bに対向させて引出線12をバ
スバー15B上に載せ、さらに、太陽電池素子11の表
面を熱可塑性フィルム30により覆い、熱可塑性フィル
ム30の架橋する温度、例えば150℃に加熱する。こ
れにより、図8に示したように、引出線12がバスバー
15Bに圧着されるとともに、熱可塑性フィルム30が
太陽電池素子11に接着される。
Next, as shown in FIG. 11, the lead wire 12 is placed on the bus bar 15B with the conductive adhesive portion 20C facing the bus bar 15B, and the surface of the solar cell element 11 is covered with the thermoplastic film 30. Cover and heat to a temperature at which the thermoplastic film 30 crosslinks, for example 150 ° C. Thereby, as shown in FIG. 8, the lead wire 12 is pressure-bonded to the bus bar 15B and the thermoplastic film 30 is bonded to the solar cell element 11.

【0048】引出線12の端部12Aは、導電性接着部
20Cを用いて、図示しない隣接する太陽電池素子11
の裏面電極16に電気的に接続される。これにより、複
数の太陽電池素子11を直列接続し、本実施の形態の集
積型太陽電池を完成することができる。
The end portion 12A of the lead wire 12 uses the conductive adhesive portion 20C to form an adjacent solar cell element 11 (not shown).
Is electrically connected to the back surface electrode 16 of. Thereby, the plurality of solar cell elements 11 are connected in series, and the integrated solar cell of the present embodiment can be completed.

【0049】以上説明したように、本実施の形態におい
ては、引出線12のコート層12Cの表面に、インジウ
ム薄片21Cを用いて、導電性接着部20Cを形成する
ようにしたので、第1の実施の形態と同様、従来の鉛−
スズ合金からなる半田に比べて低い作業温度およびエネ
ルギーコストにより、引出線12とバスバー15Bまた
は裏面電極16との導電性接着を行うことができる。
As described above, in the present embodiment, the indium thin piece 21C is used to form the conductive adhesive portion 20C on the surface of the coat layer 12C of the lead wire 12, so that the first adhesive layer is formed. As in the embodiment, the conventional lead-
Conductive bonding between the lead wire 12 and the bus bar 15B or the back electrode 16 can be performed due to a lower working temperature and lower energy cost than the solder made of tin alloy.

【0050】また、本実施の形態においては、導電性接
着部20Cを間隔をおいて点状に形成するようにしたの
で、高価なインジウムを単独で使用しても、その使用量
を微量にすることができる。
Further, in the present embodiment, since the conductive adhesive portions 20C are formed in the shape of dots at intervals, even if expensive indium is used alone, the amount of its use is made minute. be able to.

【0051】さらに、本実施の形態においても、第1の
実施の形態と同様に、表面に導電性接着部20Cが形成
された引出線12をバスバー15B上に載せ、さらに、
太陽電池素子11の表面を熱可塑性フィルム30により
覆い、熱可塑性フィルム30の架橋する温度、具体的に
は150℃〜160℃の範囲の温度に加熱するようにし
たので、引出線12のバスバー15Bへの接着と熱可塑
性フィルム30の太陽電池素子11への接着とを並行し
て行うことができ、製造プロセスが簡略化される。
Further, also in this embodiment, as in the first embodiment, the lead wire 12 having the conductive adhesive portion 20C formed on its surface is placed on the bus bar 15B, and further,
Since the surface of the solar cell element 11 is covered with the thermoplastic film 30 and heated to a temperature at which the thermoplastic film 30 is crosslinked, specifically, a temperature in the range of 150 ° C. to 160 ° C., the bus bar 15B of the lead wire 12 is provided. To the solar cell element 11 and the thermoplastic film 30 can be performed in parallel, and the manufacturing process is simplified.

【0052】[第4の実施の形態]次に、本発明の第4
の実施の形態に係る集積型太陽電池について説明する。
本実施の形態の集積型太陽電池は、第3の実施の形態と
製造方法のみにおいて異なっている。すなわち、第3の
実施の形態においては、導電性接着部20Cを、引出線
12の表面に形成されたコート層12C上に、間隔をお
いて点状に形成する。これに対して、本実施の形態で
は、導電性接着部20Cを、バスバー15Bの表面に、
間隔をおいて点状に形成する。これ以外は、本実施の形
態は、第3の実施の形態と同様である。したがって同一
の構成要素には同一の符号を付し、ここではその詳細な
説明を省略する。
[Fourth Embodiment] Next, the fourth embodiment of the present invention will be described.
The integrated solar cell according to the embodiment will be described.
The integrated solar cell of this embodiment is different from the third embodiment only in the manufacturing method. That is, in the third embodiment, the conductive adhesive portion 20C is formed on the coat layer 12C formed on the surface of the lead wire 12 in a dot shape at intervals. On the other hand, in the present embodiment, the conductive adhesive portion 20C is provided on the surface of the bus bar 15B,
It is formed in dots at intervals. Except for this, the present embodiment is the same as the third embodiment. Therefore, the same components are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted here.

【0053】次に、本実施の形態に係る集積型太陽電池
の製造方法について説明する。まず、第1の実施の形態
において説明した図4(A),(B)および図5
(A),(B)の各工程と同様にして、半導体基板13
に半導体接合部14、表面電極15としてのバスバー1
5Bおよびフィンガーバー15F、裏面電極16および
接着用の膜19をそれぞれ形成する。ここまでの工程
は、第1の実施の形態と同様であるから、その詳細な説
明は省略する。
Next, a method for manufacturing the integrated solar cell according to this embodiment will be described. First, FIGS. 4A, 4B and 5 described in the first embodiment are described.
Similar to the steps (A) and (B), the semiconductor substrate 13
The semiconductor junction 14 and the bus bar 1 as the surface electrode 15
5B, the finger bar 15F, the back electrode 16 and the adhesive film 19 are formed respectively. Since the steps up to this point are the same as those in the first embodiment, detailed description thereof will be omitted.

【0054】一方、図12(A)に示したように、バス
バー15Bの表面のところどころに、約1cm間隔で、
インジウム薄片21Cを載せ、例えば160℃に加熱す
る。これにより、インジウム薄片21Cは、バスバー1
5Bに含まれる銀を溶解し、、図12(B)に示したよ
うに、バスバー15Bの表面に、導電性接着部20C
(共晶点141℃)を、間隔をおいて点状に形成するこ
とができる。このように、本実施の形態では、導電性接
着部20Cを点状に形成するので、第3の実施の形態と
同様に導電性接着部20Cの面積が小さく、インジウム
薄片21Cを用いることが可能である。
On the other hand, as shown in FIG. 12 (A), on the surface of the bus bar 15B, at intervals of about 1 cm,
The indium thin piece 21C is placed and heated to, for example, 160 ° C. As a result, the indium thin piece 21C becomes the bus bar 1
The silver contained in 5B is melted, and as shown in FIG. 12B, the conductive adhesive portion 20C is formed on the surface of the bus bar 15B.
(Eutectic point 141 ° C.) can be formed in dots at intervals. As described above, in the present embodiment, since the conductive adhesive portion 20C is formed in a dot shape, the area of the conductive adhesive portion 20C is small and the indium thin piece 21C can be used as in the third embodiment. Is.

【0055】次に、150℃に温度を下げ、図13に示
したように、表面に例えばスズからなるスズコート層1
2Cが形成された引出線12を、導電性接着部20Cが
形成されたバスバー15B上に載せる。さらに、太陽電
池素子11の表面を熱可塑性フィルム30により覆う。
太陽電池素子11は、熱可塑性フィルム30の架橋する
温度、例えば150℃に保たれているので、導電性接着
部20Cにおいては銀とインジウムとスズとを含む溶融
した合金が形成され、一方、熱可塑性フィルム30は架
橋する。これを冷却することにより、図14に示したよ
うに、導電性接着部20Cにより、引出線12がバスバ
ー15Bに接着されるとともに、熱可塑性フィルム30
が太陽電池素子11に接着される。
Next, the temperature is lowered to 150 ° C., and as shown in FIG. 13, the tin coat layer 1 made of, for example, tin is formed on the surface.
The lead wire 12 having 2C formed thereon is placed on the bus bar 15B having the conductive adhesive portion 20C formed thereon. Further, the surface of the solar cell element 11 is covered with the thermoplastic film 30.
Since the solar cell element 11 is kept at the temperature at which the thermoplastic film 30 is crosslinked, for example, 150 ° C., a molten alloy containing silver, indium and tin is formed in the conductive adhesive portion 20C, while The plastic film 30 is crosslinked. By cooling this, as shown in FIG. 14, the lead wire 12 is bonded to the bus bar 15B by the conductive bonding portion 20C, and the thermoplastic film 30 is formed.
Are bonded to the solar cell element 11.

【0056】引出線12の端部12Aは、スズコート層
12Cを用いて同様に、隣接する太陽電池素子11の裏
面電極16に電気的に接続される。これにより、複数の
太陽電池素子11を直列接続し、本実施の形態の集積型
太陽電池を完成することができる。
Similarly, the end portion 12A of the lead wire 12 is electrically connected to the back surface electrode 16 of the adjacent solar cell element 11 by using the tin coat layer 12C. Thereby, the plurality of solar cell elements 11 are connected in series, and the integrated solar cell of the present embodiment can be completed.

【0057】以上説明したように、本実施の形態におい
ては、バスバー15Bの表面に、インジウムを用いて、
導電性接着部20Cを形成するようにしたので、第1の
実施の形態と同様、従来の鉛−スズ合金からなる半田に
比べて低い作業温度およびエネルギーコストにより、引
出線12とバスバー15Bまたは裏面電極16との導電
性接着を行うことができる。
As described above, in the present embodiment, indium is used for the surface of the bus bar 15B,
Since the conductive adhesive portion 20C is formed, the lead wire 12 and the bus bar 15B or the back surface can be formed at a lower working temperature and energy cost as compared with the conventional lead-tin alloy solder, as in the first embodiment. Conductive adhesion with the electrode 16 can be performed.

【0058】さらに、本実施の形態においては、導電性
接着部20Cを間隔をおいて点状に形成するようにした
ので、高価なインジウムを単独で使用しても、その使用
量を微量にすることができる。
Further, in the present embodiment, the conductive adhesive portions 20C are formed in the shape of dots at intervals. Therefore, even if expensive indium is used alone, the amount used is very small. be able to.

【0059】さらに、本実施の形態においても、第2お
よび第3の実施の形態と同様に、引出線12を、導電性
接着部20Cが形成されたバスバー15B上に載せ、さ
らに、太陽電池素子11の表面を熱可塑性フィルム30
により覆い、熱可塑性フィルム30の架橋する温度、具
体的には150℃〜160℃の範囲の温度に加熱するよ
うにしたので、引出線12のバスバー15Bへの接着と
熱可塑性フィルム30の太陽電池素子11への接着とを
並行して行うことができ、製造プロセスが簡略化され
る。
Further, also in the present embodiment, as in the second and third embodiments, the lead wire 12 is placed on the bus bar 15B on which the conductive adhesive portion 20C is formed, and the solar cell element is further provided. The surface of 11 is a thermoplastic film 30
Since it was heated by heating to a temperature at which the thermoplastic film 30 is crosslinked, specifically, a temperature in the range of 150 ° C. to 160 ° C., the adhesion of the leader wire 12 to the bus bar 15B and the solar cell of the thermoplastic film 30. Bonding to the element 11 can be performed in parallel, which simplifies the manufacturing process.

【0060】[第5の実施の形態]次に、本発明の第5
の実施の形態に係る集積型太陽電池について説明する。
本実施の形態の集積型太陽電池は、導電性接着部の材料
が第3の実施の形態とは異なっている。すなわち、第3
の実施の形態においては、導電性接着部20Cを、金属
インジウムからなるインジウム薄片21Cを用いて形成
する。これに対して、本実施の形態では、導電性接着部
20Dを、インジウムを含む合金、具体的にはインジウ
ムとガリウムとを含む合金を用いて形成する。これ以外
は、本実施の形態は、第3の実施の形態と同様である。
したがって同一の構成要素には同一の符号を付し、ここ
ではその詳細な説明を省略する。
[Fifth Embodiment] Next, the fifth embodiment of the present invention will be described.
The integrated solar cell according to the embodiment will be described.
The integrated solar cell of this embodiment is different from that of the third embodiment in the material of the conductive adhesive portion. That is, the third
In the embodiment, the conductive adhesive portion 20C is formed by using the indium thin piece 21C made of metal indium. On the other hand, in the present embodiment, the conductive adhesive portion 20D is formed using an alloy containing indium, specifically, an alloy containing indium and gallium. Except for this, the present embodiment is the same as the third embodiment.
Therefore, the same components are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted here.

【0061】導電性接着部20Dの材料については、第
1の実施の形態において説明したのと同様であるので、
ここではその詳細な説明を省略する。
Since the material of the conductive adhesive portion 20D is the same as that described in the first embodiment,
Here, the detailed description is omitted.

【0062】次に、本実施の形態に係る集積型太陽電池
の製造方法について説明する。本実施の形態において
は、導電性接着部20Dを、インジウムを含む合金を用
いて形成する。まず、第1の実施の形態において説明し
た図4(A),(B)および図5(A),(B)の各工
程と同様にして、半導体基板13に半導体接合部14、
表面電極15としてのバスバー15Bおよびフィンガー
バー15F、裏面電極16および接着用の膜19をそれ
ぞれ形成する。ここまでの工程は、第1の実施の形態と
同様であるから、その詳細な説明は省略する。
Next, a method of manufacturing the integrated solar cell according to this embodiment will be described. In the present embodiment, the conductive adhesive portion 20D is formed using an alloy containing indium. First, in the same manner as the steps of FIGS. 4A and 4B and FIGS. 5A and 5B described in the first embodiment, the semiconductor junction portion 14 is formed on the semiconductor substrate 13.
A bus bar 15B and a finger bar 15F as the front surface electrode 15, a back surface electrode 16 and a film 19 for adhesion are formed respectively. Since the steps up to this point are the same as those in the first embodiment, detailed description thereof will be omitted.

【0063】一方、銅からなる引出線12の表面に、第
3の実施の形態の図10(A)に示したように、コート
層12Cを形成する。次に、図15(A)に示したよう
に、引出線12のコート層12Cの表面に、約1cm間
隔でインジウムとガリウムとを含む合金を部分溶解さ
せ、導電性接着部20Dを点状に形成することができ
る。なお、本実施の形態では、導電性接着部20Dを間
隔をおいて点状に形成するので、第3および第4の実施
の形態と同様に導電性接着部20Dの面積が小さい。し
たがって、上記のインジウムとガリウムとを含む合金の
代わりに、インジウムを部分溶解させてもよい。
On the other hand, as shown in FIG. 10A of the third embodiment, a coat layer 12C is formed on the surface of the lead wire 12 made of copper. Next, as shown in FIG. 15 (A), an alloy containing indium and gallium is partially dissolved on the surface of the coat layer 12C of the lead wire 12 at intervals of about 1 cm, and the conductive adhesive portion 20D is formed into dots. Can be formed. In the present embodiment, since the conductive adhesive portion 20D is formed in a dot shape with an interval, the area of the conductive adhesive portion 20D is small as in the third and fourth embodiments. Therefore, indium may be partially dissolved instead of the alloy containing indium and gallium.

【0064】なお、導電性接着部20Dは、引出線12
の長さ方向全体にわたって設ける必要はなく、バスバー
15Bに接着される部分および隣接する太陽電池素子1
1の裏面電極16に接着される部分に設ければよい。
The conductive adhesive portion 20D is connected to the lead wire 12
Need not be provided over the entire length direction of the solar cell element 1 and the portion bonded to the bus bar 15B and the adjacent solar cell element 1
It may be provided in a portion to be bonded to the back surface electrode 16.

【0065】次に、図15(B)に示したように、導電
性接着部20Dをバスバー15Bに対向させて引出線1
2をバスバー15B上に載せ、さらに、太陽電池素子1
1の表面を熱可塑性フィルム30により覆い、熱可塑性
フィルム30の架橋する温度、すなわち150℃〜16
0℃の範囲の温度、例えば150℃に加熱する。これに
より、図16に示したように、引出線12がバスバー1
5Bに圧着されるとともに、熱可塑性フィルム30が太
陽電池素子11に接着される。
Next, as shown in FIG. 15B, the conductive adhesive portion 20D is made to face the bus bar 15B, and the lead wire 1 is provided.
2 is placed on the bus bar 15B, and the solar cell element 1
The surface of No. 1 is covered with the thermoplastic film 30, and the temperature at which the thermoplastic film 30 is crosslinked, that is, 150 ° C. to 16 ° C.
Heat to a temperature in the range of 0 ° C, for example 150 ° C. As a result, as shown in FIG.
The thermoplastic film 30 is bonded to the solar cell element 11 while being pressure-bonded to 5B.

【0066】引出線12の端部12Aは、導電性接着部
20Dを用いて、隣接する太陽電池素子11の裏面電極
16に電気的に接続される。これにより、複数の太陽電
池素子11を直列接続し、本実施の形態の集積型太陽電
池を完成することができる。
The end portion 12A of the lead wire 12 is electrically connected to the back surface electrode 16 of the adjacent solar cell element 11 by using the conductive adhesive portion 20D. Thereby, the plurality of solar cell elements 11 are connected in series, and the integrated solar cell of the present embodiment can be completed.

【0067】以上説明したように、本実施の形態におい
ては、引出線12のコート層12Dの表面に、インジウ
ムまたはインジウムを含む合金を用いて、導電性接着部
20Dを形成するようにしたので、第1の実施の形態と
同様、従来の鉛−スズ合金からなる半田に比べて低い作
業温度およびエネルギーコストにより、引出線12とバ
スバー15Bまたは裏面電極16との導電性接着を行う
ことができる。
As described above, in the present embodiment, the conductive adhesive portion 20D is formed on the surface of the coat layer 12D of the lead wire 12 by using indium or an alloy containing indium. Similar to the first embodiment, the lead wire 12 and the bus bar 15B or the back electrode 16 can be electrically conductively bonded at a lower working temperature and lower energy cost than the conventional solder made of a lead-tin alloy.

【0068】また、本実施の形態においては、インジウ
ムにガリウムを加えることにより、インジウムより更に
融点が下がり、接着の作業温度を下げることが可能とな
る。
Further, in the present embodiment, by adding gallium to indium, the melting point is further lowered than that of indium, and the working temperature for bonding can be lowered.

【0069】さらに、本実施の形態においては、導電性
接着部20Dを、間隔をおいて点状に形成するようにし
たので、高価なインジウムの使用量を微量にすることが
できる。
Further, in the present embodiment, since the conductive adhesive portions 20D are formed in the shape of dots at intervals, the amount of expensive indium used can be made minute.

【0070】さらに、本実施の形態においても、第1の
実施の形態と同様に、表面に導電性接着部20Dが形成
された引出線12をバスバー15B上に載せ、さらに、
太陽電池素子11の表面を熱可塑性フィルム30により
覆い、熱可塑性フィルム30の架橋する温度、具体的に
は150℃〜160℃の範囲の温度に加熱するようにし
たので、引出線12のバスバー15Bへの接着と熱可塑
性フィルム30の太陽電池素子11への接着とを並行し
て行うことができ、製造プロセスが簡略化される。
Further, also in the present embodiment, as in the first embodiment, the lead wire 12 having the conductive adhesive portion 20D formed on its surface is placed on the bus bar 15B, and further,
Since the surface of the solar cell element 11 is covered with the thermoplastic film 30 and heated to a temperature at which the thermoplastic film 30 is crosslinked, specifically, a temperature in the range of 150 ° C. to 160 ° C., the bus bar 15B of the lead wire 12 is provided. To the solar cell element 11 and the thermoplastic film 30 can be performed in parallel, and the manufacturing process is simplified.

【0071】以上、実施の形態を挙げて本発明を説明し
たが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではな
く、種々変形可能である。例えば、上記実施の形態で
は、単結晶シリコン基板に形成された単結晶シリコン太
陽電池素子を集積してなる集積型単結晶シリコン太陽電
池の場合について説明したが、本発明は集積型多結晶シ
リコン太陽電池にも適用可能である。さらに、シリコン
以外の基板上に形成した薄膜に形成されたアモルファス
シリコン,シリコン微結晶,CIS,色素増感型太陽電
池など、太陽電池一般への適用も可能である。
The present invention has been described above with reference to the embodiments, but the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made. For example, in the above embodiment, the case of an integrated type single crystal silicon solar cell in which single crystal silicon solar cell elements formed on a single crystal silicon substrate are integrated has been described. It can also be applied to batteries. Further, it can be applied to general solar cells such as amorphous silicon formed on a thin film formed on a substrate other than silicon, silicon microcrystal, CIS, and dye-sensitized solar cell.

【0072】また、上記実施の形態では、陰極としての
フィンガーバー15Fおよびバスバー15Bを半導体基
板13の表側に、陽極としての裏面電極16を裏側に形
成するようにしたが、陰極および陽極を同一の面に形成
する構成の太陽電池にも本発明は適用することができ
る。
Further, in the above embodiment, the finger bar 15F and the bus bar 15B as the cathode are formed on the front side of the semiconductor substrate 13, and the back electrode 16 as the anode is formed on the back side, but the cathode and the anode are the same. The present invention can be applied to a solar cell having a structure formed on the surface.

【0073】さらに、上記実施の形態では、表面電極1
5をバスバー15Bとこれに合流する複数のフィンガー
バー15Fとから構成し、裏面電極16は半導体基板1
3の裏面全面に形成される例について説明したが、裏面
電極16も表面電極15と同じようにバスバーとこれに
合流するフィンガ−バーとを有する構成としてもよい。
Further, in the above embodiment, the surface electrode 1
5 is composed of a bus bar 15B and a plurality of finger bars 15F that merge with the bus bar 15B.
Although the example in which it is formed on the entire back surface of No. 3 has been described, the back electrode 16 may also have a configuration having a bus bar and a finger bar that joins with the bus bar, like the front electrode 15.

【0074】また、上記実施の形態では、熱可塑性フィ
ルム30の材料として例えばEVAを用いたが、他の透
明で加工性に富む材料を使用してもよい。その例とし
て、100℃ないし百数十℃で軟化して密着性を示す、
耐光性に優れたフッ素系熱可塑性樹脂、例えばTHV
(住友スリーエム社の商品名)などを用いることができ
る。
Although EVA is used as the material of the thermoplastic film 30 in the above embodiment, other transparent and highly workable materials may be used. As an example, it is softened at 100 ° C. to a hundred and several tens of ° C. to show adhesion.
Fluorine-based thermoplastic resin with excellent light resistance, such as THV
(Product name of Sumitomo 3M Ltd.) can be used.

【0075】[0075]

【発明の効果】以上説明したように請求項1記載の集積
型太陽電池の製造方法によれば、太陽電池素子の電極
を、インジウムまたはインジウムを含む合金を用いて形
成するようにしたので、従来のスズ−鉛合金からなる半
田よりも低温で導電性接着が可能となる。より具体的に
は、請求項2ないし請求項8のいずれか1項に記載の集
積型太陽電池の製造方法によれば、引出線の表面または
電極の表面に、インジウムまたはインジウムを含む合金
を用いて、導電性接着部を形成するので、この導電性接
着部を用いて引出線を電極に低温で導電性接着すること
ができる。また、この導電性接着部は、低融点化されて
いるとはいっても、その融点は真夏の車内などの高温下
で溶けるほど低くはないので、集積型太陽電池に適用し
て安全に使用することができる。
As described above, according to the method of manufacturing an integrated solar cell according to claim 1, the electrodes of the solar cell element are formed by using indium or an alloy containing indium. Conductive adhesion is possible at a lower temperature than the solder made of tin-lead alloy. More specifically, according to the method for manufacturing an integrated solar cell according to any one of claims 2 to 8, indium or an alloy containing indium is used on the surface of the lead wire or the surface of the electrode. Since the conductive adhesive portion is formed, the lead wire can be conductively adhered to the electrode at low temperature by using the conductive adhesive portion. Also, even though the conductive adhesive part has a low melting point, its melting point is not so low that it melts under high temperature such as in a car in midsummer, so it is applied to an integrated solar cell and safely used. be able to.

【0076】特に、請求項3または請求項4記載の集積
型太陽電池の製造方法によれば、導電性接着部を用いて
引出線を接着する工程を、熱可塑性フィルムが架橋する
温度、具体的には150℃〜160℃の範囲の温度で行
うようにしたので、引出線の電極への接着と熱可塑性フ
ィルムの太陽電池素子への接着とを並行して行うことが
でき、製造プロセスが簡略化される。
In particular, according to the method for manufacturing an integrated solar cell according to claim 3 or 4, the step of adhering the leader line using the conductive adhesive portion is performed at a temperature at which the thermoplastic film is crosslinked, specifically Since it is performed at a temperature in the range of 150 ° C. to 160 ° C., the adhesion of the leader wire to the electrode and the adhesion of the thermoplastic film to the solar cell element can be performed in parallel, which simplifies the manufacturing process. Be converted.

【0077】また、特に、請求項7記載の集積型太陽電
池の製造方法によれば、導電性接着部を、引出線の表面
または電極の表面に、間隔をおいて点状に形成するよう
にしたので、高価なインジウムの使用量を微量にするこ
とができる。
Further, in particular, according to the method of manufacturing an integrated solar cell of claim 7, the conductive adhesive portions are formed on the surface of the lead wire or the surface of the electrode in a dot shape at intervals. Therefore, the amount of expensive indium used can be reduced to a very small amount.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態に係る集積型太陽電
池の各太陽電池素子のバスバーを拡大して表す幅方向の
断面図である。
FIG. 1 is an enlarged cross-sectional view showing a bus bar of each solar cell element of an integrated solar cell according to a first embodiment of the present invention in an enlarged manner.

【図2】本発明の第1の実施の形態に係る集積型太陽電
池の全体構成の一例を説明するための斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view for explaining an example of the overall configuration of the integrated solar cell according to the first embodiment of the present invention.

【図3】図2に示した太陽電池素子の拡大斜視図であ
る。
3 is an enlarged perspective view of the solar cell element shown in FIG.

【図4】図2に示した集積型太陽電池の製造工程の一例
を表す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing an example of a manufacturing process of the integrated solar cell shown in FIG.

【図5】図4に続く製造工程を表す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view illustrating a manufacturing process following FIG.

【図6】図5に続く製造工程を表す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view illustrating a manufacturing process following FIG.

【図7】本発明の第2の実施の形態に係る集積型太陽電
池の太陽電池素子の概略構成を表す斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view showing a schematic configuration of a solar cell element of an integrated solar cell according to a second embodiment of the present invention.

【図8】図7に示した太陽電池素子のバスバーを拡大し
て表す幅方向の断面図である。
8 is a cross-sectional view in a width direction in which a bus bar of the solar cell element shown in FIG. 7 is enlarged and shown.

【図9】本発明の第3の実施の形態に係る集積型太陽電
池の太陽電池素子のバスバーの長さ方向の断面図であ
る。
FIG. 9 is a longitudinal sectional view of a bus bar of a solar cell element of an integrated solar cell according to a third embodiment of the present invention.

【図10】図9に示した集積型太陽電池の製造工程の一
例を工程順に表す断面図である。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing an example of a manufacturing process of the integrated solar cell shown in FIG. 9 in process order.

【図11】図10に続く製造工程を表す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view illustrating a manufacturing process following FIG. 10.

【図12】本発明の第4の実施の形態に係る集積型太陽
電池の製造工程の一例を工程順に表す断面図である。
FIG. 12 is a cross-sectional view showing an example of a manufacturing process of the integrated solar cell according to the fourth embodiment of the present invention in the order of processes.

【図13】図12に続く製造工程を表す断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view showing a manufacturing process that follows FIG.

【図14】図13に続く製造工程を表す断面図である。FIG. 14 is a cross-sectional view showing a manufacturing process following FIG.

【図15】本発明の第5の実施の形態に係る集積型太陽
電池の製造工程の一例を工程順に表す断面図である。
FIG. 15 is a cross-sectional view showing an example of a manufacturing process of an integrated solar cell according to a fifth embodiment of the present invention in the order of processes.

【図16】図15に続く製造工程を表す断面図である。FIG. 16 is a cross-sectional view showing a manufacturing process following FIG. 15.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…集積型太陽電池、11…太陽電池素子、12…引
出線、13…半導体基板、14…半導体接合部、14A
…p層、14B…n+ 層、14C…n++層、15…表面
電極、15A…バスバー、15B…フィンガーバー、1
6…裏面電極、17…酸化膜(パッシベーション)、1
8…反射防止膜、19…接着用の膜、20A,20B,
20C,20D…導電性接着部、21C…インジウム薄
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Integrated solar cell, 11 ... Solar cell element, 12 ... Leader wire, 13 ... Semiconductor substrate, 14 ... Semiconductor junction part, 14A
... p layer, 14B ... n + layer, 14C ... n ++ layer, 15 ... surface electrode, 15A ... bus bar, 15B ... finger bar, 1
6 ... Back electrode, 17 ... Oxide film (passivation), 1
8 ... Antireflection film, 19 ... Adhesive film, 20A, 20B,
20C, 20D ... Conductive adhesive portion, 21C ... Indium flakes

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体基板に形成された半導体接合部と
電極とをそれぞれ含む複数の太陽電池素子を引出線によ
り直列接続した集積型太陽電池の製造方法であって、 前記電極を、インジウム(In)またはインジウムを含
む合金を用いて形成することを特徴とする集積型太陽電
池の製造方法。
1. A method for manufacturing an integrated solar cell in which a plurality of solar cell elements each including a semiconductor junction portion and an electrode formed on a semiconductor substrate are connected in series by a lead wire, wherein the electrode is made of indium (In ) Or an alloy containing indium is used to form the integrated solar cell.
【請求項2】 複数の半導体基板の各々に半導体接合部
を形成する工程と、 前記複数の半導体基板の各々の表面に電極を形成して前
記半導体接合部と前記電極とをそれぞれ含む複数の太陽
電池素子を形成する工程と、 前記複数の太陽電池素子を直列接続するための引出線の
表面または前記電極の表面に、インジウムまたはインジ
ウムを含む合金を用いて、導電性接着部を形成する工程
と、 前記導電性接着部を用いて前記引出線を前記電極に接着
する工程と、 前記複数の太陽電池素子を前記引出線により直列接続す
る工程とを含む集積型太陽電池の製造方法。
2. A step of forming a semiconductor junction portion on each of the plurality of semiconductor substrates, and a plurality of suns each including an electrode on each surface of the plurality of semiconductor substrates to include the semiconductor junction portion and the electrode. A step of forming a battery element, and a step of forming a conductive adhesive portion using indium or an alloy containing indium on the surface of the lead wire or the surface of the electrode for connecting the plurality of solar cell elements in series, A method for manufacturing an integrated solar cell, comprising: bonding the lead wire to the electrode using the conductive adhesive portion; and connecting the plurality of solar cell elements in series with the lead wire.
【請求項3】 前記導電性接着部を用いて前記引出線を
接着する工程を、前記複数の太陽電池素子の表面を保護
するための熱可塑性フィルムが架橋する温度で行うこと
により、前記引出線の接着と前記熱可塑性フィルムの接
着とを並行して行うことを特徴とする請求項2記載の集
積型太陽電池の製造方法。
3. The leader line is adhered by using the conductive adhesive portion at a temperature at which the thermoplastic films for protecting the surfaces of the plurality of solar cell elements are cross-linked. 3. The method for manufacturing an integrated solar cell according to claim 2, wherein the bonding of [1] and the bonding of the thermoplastic film are performed in parallel.
【請求項4】 前記導電性接着部を用いて前記引出線を
接着する工程を、150℃〜160℃の範囲の温度で行
うことを特徴とする請求項3記載の集積型太陽電池の製
造方法。
4. The method for manufacturing an integrated solar cell according to claim 3, wherein the step of adhering the lead wire using the conductive adhesive portion is performed at a temperature in the range of 150 ° C. to 160 ° C. .
【請求項5】 前記導電性接着部を、インジウムとスズ
(Sn)とを含む合金、またはインジウムとガリウム
(Ga)とスズとを含む合金により構成することを特徴
とする請求項2記載の集積型太陽電池の製造方法。
5. The integrated device according to claim 2, wherein the conductive adhesive portion is made of an alloy containing indium and tin (Sn) or an alloy containing indium, gallium (Ga) and tin. Type solar cell manufacturing method.
【請求項6】 前記導電性接着部を (In1-x −Gax a −(Sn1-y −My b (但し、x≦0・07、y≦0.1、a+b=1、0.
25<a<0・95であり、Mはビスマス(Bi),亜
鉛(Zn),ニッケル(Ni),銀(Ag),アンチモ
ン(Sb)から選ばれた少なくとも1つの元素)で表さ
れるインジウムを含む合金により構成することを特徴と
する請求項2記載の集積型太陽電池の製造方法。
6. The conductive adhesive portion is formed of (In 1-x −Ga x ) a − (Sn 1-y −M y ) b (where x ≦ 0.07, y ≦ 0.1, a + b = 1). , 0.
25 <a <0.95, M is indium represented by bismuth (Bi), zinc (Zn), nickel (Ni), silver (Ag), and antimony (Sb). The method for manufacturing an integrated solar cell according to claim 2, wherein the integrated solar cell is made of an alloy containing.
【請求項7】 前記導電性接着部を、前記引出線の表面
または前記電極の表面に、間隔をおいて点状に形成する
ことを特徴とする請求項2記載の集積型太陽電池の製造
方法。
7. The method for manufacturing an integrated solar cell according to claim 2, wherein the conductive adhesive portion is formed in a dot shape at intervals on the surface of the lead wire or the surface of the electrode. .
【請求項8】 前記導電性接着部を、前記引出線の表面
または前記電極の表面の全体を覆うように面状に形成す
ることを特徴とする請求項2記載の集積型太陽電池の製
造方法。
8. The method for manufacturing an integrated solar cell according to claim 2, wherein the conductive adhesive portion is formed in a planar shape so as to cover the entire surface of the lead wire or the entire surface of the electrode. .
JP2001340297A 2001-11-06 2001-11-06 Method for manufacturing integrated solar battery Pending JP2003142703A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001340297A JP2003142703A (en) 2001-11-06 2001-11-06 Method for manufacturing integrated solar battery

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001340297A JP2003142703A (en) 2001-11-06 2001-11-06 Method for manufacturing integrated solar battery

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003142703A true JP2003142703A (en) 2003-05-16

Family

ID=19154519

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001340297A Pending JP2003142703A (en) 2001-11-06 2001-11-06 Method for manufacturing integrated solar battery

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003142703A (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006129446A1 (en) * 2005-06-01 2006-12-07 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Solar cell and solar cell manufacturing method
JP2007207861A (en) * 2006-01-31 2007-08-16 Showa Shell Sekiyu Kk In SOLDER COATED COPPER FOIL RIBBON WIRE AND ITS CONNECTION METHOD
JP2008282919A (en) * 2007-05-09 2008-11-20 Showa Shell Sekiyu Kk Connection method of ribbon wire of electronic component module or cis-system thin-film solar cell module
JP2010056241A (en) * 2008-08-27 2010-03-11 Mitsubishi Electric Corp Photovoltaic power device, and method for manufacturing the same
JP2011211249A (en) * 2011-07-29 2011-10-20 Sanyo Electric Co Ltd Solar cell module
WO2014117216A1 (en) * 2013-01-31 2014-08-07 Newsouth Innovations Pty Limited Solar cell metallisation and interconnection method

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006129446A1 (en) * 2005-06-01 2006-12-07 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Solar cell and solar cell manufacturing method
TWI422047B (en) * 2005-06-01 2014-01-01 Shinetsu Handotai Kk Solar cell and solar cell manufacturing method
JP2007207861A (en) * 2006-01-31 2007-08-16 Showa Shell Sekiyu Kk In SOLDER COATED COPPER FOIL RIBBON WIRE AND ITS CONNECTION METHOD
JP2008282919A (en) * 2007-05-09 2008-11-20 Showa Shell Sekiyu Kk Connection method of ribbon wire of electronic component module or cis-system thin-film solar cell module
JP2010056241A (en) * 2008-08-27 2010-03-11 Mitsubishi Electric Corp Photovoltaic power device, and method for manufacturing the same
JP2011211249A (en) * 2011-07-29 2011-10-20 Sanyo Electric Co Ltd Solar cell module
WO2014117216A1 (en) * 2013-01-31 2014-08-07 Newsouth Innovations Pty Limited Solar cell metallisation and interconnection method
CN105074938A (en) * 2013-01-31 2015-11-18 新南创新私人有限公司 Solar cell metallisation and interconnection method
US9508884B2 (en) 2013-01-31 2016-11-29 Newsouth Innovations Pty Limited Solar cell metallisation and interconnection method
CN110004472A (en) * 2013-01-31 2019-07-12 新南创新私人有限公司 The method of contact structures is formed on the solar cell

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101363344B1 (en) Silicon solar module using a conductive paste in electrodes and its processing for the same
JP5410050B2 (en) Solar cell module
KR100242852B1 (en) Photovoltaic cell and method of making the same
JP3751539B2 (en) Thin film solar cell and manufacturing method thereof
JP5375450B2 (en) Solar cell and solar cell module
US20070095387A1 (en) Solar cell module
JP3323573B2 (en) Solar cell module and method of manufacturing the same
US9076922B2 (en) Method for fitting contact wires to a surface of a photovoltaic cell, photovoltaic cell, photovoltaic module, arrangement for fitting contact wires to a surface of a photovoltaic cell
JP2012129461A (en) Solar battery and method for manufacturing the same
CN106992224A (en) Solar module and its manufacture method
EP2761674B1 (en) Photovoltaic cell interconnect
CN212676285U (en) Photovoltaic module
KR101816163B1 (en) Solar cell module
CN104115277A (en) Photovoltaic cell and method of forming the same
CN112420854A (en) Photovoltaic module
JPWO2012141073A1 (en) Solar cell module and manufacturing method thereof
EP2706580A2 (en) Photoelectric device module and manufacturing method thereof
CN115763603A (en) Photovoltaic module
JP2003142703A (en) Method for manufacturing integrated solar battery
US20120088327A1 (en) Methods of Soldering to High Efficiency Thin Film Solar Panels
JP4557622B2 (en) Solar cell element connection structure and solar cell module including the same
JP3006711B2 (en) Solar cell module
JP3548379B2 (en) Photovoltaic device and manufacturing method thereof
JPH0982865A (en) Chip diode with lead terminal and solar cell module using this
JPH0888388A (en) Solar battery module