JP2003131240A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

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JP2003131240A
JP2003131240A JP2001330157A JP2001330157A JP2003131240A JP 2003131240 A JP2003131240 A JP 2003131240A JP 2001330157 A JP2001330157 A JP 2001330157A JP 2001330157 A JP2001330157 A JP 2001330157A JP 2003131240 A JP2003131240 A JP 2003131240A
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JP
Japan
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liquid crystal
signal line
signal lines
gate signal
color filter
Prior art date
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Pending
Application number
JP2001330157A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takahiro Ochiai
孝洋 落合
Kikuo Ono
記久雄 小野
Ryutaro Oke
隆太郎 桶
Yoshiaki Nakayoshi
良彰 仲吉
Nagatoshi Kurahashi
永年 倉橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent light from leaking due to alignment defects of a liquid crystal in the periphery of spacers. SOLUTION: Of each substrate arranged to face each other via a liquid crystal in-between, a plurality of signal lines in parallel and a plurality of drain signal lines arranged in parallel crossing these gate signal lines are formed on the liquid crystal side surface of one substrate, each pixel area enclosed by each of these signal lines is provided therein with a thin film transistor operated by a scanning signal from a gate signal line, a pixel electrode supplied with a video signal from a drain signal line via this transistor, and a color filter of another color formed bordering on a color filter of an adjacent pixel area on the upper part of the drain signal line, and the other substrate is provided with columnar spacers formed on the liquid crystal side surface.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置に係
り、特に、カラー表示用のアクティブ・マトリクス型の
液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to an active matrix type liquid crystal display device for color display.

【0002】[0002]

【従来の技術】アクティブ・マトリクス型の液晶表示装
置は、液晶を介して配置される各基板のうち一方の基板
の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線とこの
ゲート信号線と交差するようにして並設された複数のド
レイン信号線とで囲まれた画素領域を備え、これら各画
素領域に、ゲート信号線からの走査信号によって作動す
る薄膜トランジスタと、この薄膜トランジスタを介して
ドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電極と
が形成されている。
2. Description of the Related Art In an active matrix type liquid crystal display device, a plurality of gate signal lines arranged in parallel and a plurality of gate signal lines arranged on the liquid crystal side surface of one of the substrates arranged via liquid crystal. A pixel region surrounded by a plurality of drain signal lines arranged in parallel to intersect with each other, and in each of these pixel regions, a thin film transistor operated by a scanning signal from the gate signal line and a drain via the thin film transistor A pixel electrode to which a video signal from the signal line is supplied is formed.

【0003】この画素電極は、映像信号に対して基準と
なる電圧信号が供給される対向電極との間に電界を発生
せしめ、この電界によって画素領域内の液晶の光透過率
を制御するように構成されている。
This pixel electrode generates an electric field between itself and a counter electrode to which a voltage signal serving as a reference for the video signal is supplied, and the electric field controls the light transmittance of the liquid crystal in the pixel region. It is configured.

【0004】また、前記液晶の層厚は表示の輝度の均一
化を図るため一定であることが好ましく、このため、一
方の基板に対して他方の基板とのギャップの均一化を確
保するのに、いずれかの基板の液晶側の面に形成される
支柱状のスペーサが用いられているものが知られてい
る。このスペーサは基板面に形成されたたとえば樹脂膜
を周知のフォトリソグラフィ技術による選択エッチング
をすることによって形成できる。
Further, it is preferable that the layer thickness of the liquid crystal is constant in order to make the brightness of the display uniform. Therefore, in order to ensure the uniform gap between one substrate and the other substrate. It is known that a pillar-shaped spacer formed on the liquid crystal side surface of one of the substrates is used. The spacers can be formed by subjecting, for example, a resin film formed on the substrate surface to selective etching by a well-known photolithography technique.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、このように構
成された液晶表示装置は、前記スペーサの周囲において
液晶の配向状態が他の部分と異なっていることが確認さ
れた。通常、該スペーサは遮光膜となるブラックマトリ
クスの形成領域に形成され、それ自体は目視されないよ
うに構成しているが、その周囲における液晶の配向状態
の乱れは該ブラックマトリクスの形成されていない領域
にも及び、たとえば光漏れという現象で観測されること
になる。
However, it was confirmed that in the liquid crystal display device having such a structure, the alignment state of the liquid crystal around the spacer is different from that of other portions. Usually, the spacer is formed in a black matrix forming region which serves as a light-shielding film and is configured so as not to be visually observed, but the disturbance of the alignment state of the liquid crystal around the spacer is a region where the black matrix is not formed. Moreover, it will be observed, for example, by a phenomenon called light leakage.

【0006】この原因を追求した結果、前記スペーサを
形成する基板面には既に幾層ものパターン化された膜が
形成され、その表面に凹凸が顕在化されており、これが
原因で、該スペーサの周側面のテーパが所定の角度で形
成されていないことが判明した。本発明は、このような
事情に基づいてなされたもので、その目的は、スペーサ
周辺の液晶の配向乱れによる光漏れの生じない液晶表示
装置を提供することにある。
As a result of pursuing this cause, a number of layers of patterned films have already been formed on the surface of the substrate on which the spacer is to be formed, and unevenness is revealed on the surface. It was found that the taper on the peripheral side surface was not formed at a predetermined angle. The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a liquid crystal display device in which light leakage does not occur due to disordered alignment of liquid crystal around spacers.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
Among the inventions disclosed in the present application, a brief description will be given to the outline of typical ones.
It is as follows.

【0008】手段1.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち、一
方の基板の液晶側の面に並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線が形成され、これら各信号線で囲まれた画素
領域に、ゲート信号線からの走査信号によって作動する
薄膜トランジスタと、この薄膜トランジスタを介してド
レイン信号線からの映像信号が供給される画素電極と、
前記ドレイン信号線の上方で隣接する画素領域側のカラ
ーフィルタと境界を有して形成される他の色のカラーフ
ィルタとを備え、前記各基板のうち他方の基板の液晶側
の面に該基板面に形成された支柱状のスペーサを備える
ことを特徴とするものである。
Means 1. The liquid crystal display device according to the present invention is, for example, a plurality of gate signal lines arranged in parallel on the liquid crystal side surface of one of the substrates opposed to each other with the liquid crystal interposed therebetween and the gate signal lines intersecting these gate signal lines. A plurality of drain signal lines arranged in parallel are formed, and in a pixel region surrounded by each of these signal lines, a thin film transistor operated by a scanning signal from the gate signal line and a video signal from the drain signal line through the thin film transistor. A pixel electrode supplied with
A color filter on the side of the pixel region adjacent above the drain signal line and a color filter of another color formed with a boundary; and the substrate on the liquid crystal side surface of the other substrate of the substrates. It is characterized in that it is provided with a pillar-shaped spacer formed on the surface.

【0009】手段2.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、手段1の構成を前提として、ドレイン信号線は
ブラックマトリクスの機能を兼用させていることを特徴
とするものである。
Means 2. The liquid crystal display device according to the present invention is, for example, on the premise of the configuration of the means 1, characterized in that the drain signal line also functions as a black matrix.

【0010】手段3.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、手段1の構成を前提として、支柱状のスペーサ
はその頂部が一方の基板側に形成されたカラーフィルタ
の他の隣接するカラーフィルタとの境界に位置づけられ
ていることを特徴とするものである。
Means 3. In the liquid crystal display device according to the present invention, for example, on the premise of the configuration of the means 1, the pillar-shaped spacer has its apex positioned at the boundary of another color filter adjacent to another color filter formed on one substrate side. It is characterized by being present.

【0011】手段4.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち、一
方の基板の液晶側の面に並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線が形成され、これら各信号線で囲まれた画素
領域に、ゲート信号線からの走査信号によって作動する
薄膜トランジスタと、この薄膜トランジスタを介してド
レイン信号線からの映像信号が供給される画素電極と、
前記ゲート信号線の上方で隣接する画素領域側のカラー
フィルタと境界を有して形成される他の色のカラーフィ
ルタとを備え、前記各基板のうち他方の基板の液晶側の
面に該基板面に形成された支柱状のスペーサを備えるこ
とを特徴とするものである。
Means 4. The liquid crystal display device according to the present invention is, for example, a plurality of gate signal lines arranged in parallel on the liquid crystal side surface of one of the substrates opposed to each other with the liquid crystal interposed therebetween and the gate signal lines intersecting these gate signal lines. A plurality of drain signal lines arranged in parallel are formed, and in a pixel region surrounded by each of these signal lines, a thin film transistor which operates by a scanning signal from the gate signal line and a video signal from the drain signal line through the thin film transistor. A pixel electrode supplied with
A color filter on the side of the pixel region adjacent above the gate signal line and a color filter of another color formed with a boundary; and the substrate on the liquid crystal side surface of the other substrate of the substrates. It is characterized in that it is provided with a pillar-shaped spacer formed on the surface.

【0012】手段5.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、手段4の構成を前提として、ゲート信号線はブ
ラックマトリクスの機能を兼用させていることを特徴と
するものである。
Means 5. The liquid crystal display device according to the present invention is, for example, characterized in that the gate signal line also has a function of a black matrix on the premise of the configuration of the means 4.

【0013】手段6.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、手段4の構成を前提として、支柱状のスペーサ
はその頂部が一方の基板側に形成されたカラーフィルタ
の他の隣接するカラーフィルタとの境界に位置づけられ
ていることを特徴とするものである。
Means 6. In the liquid crystal display device according to the present invention, for example, on the premise of the constitution of the means 4, the pillar-shaped spacers are positioned such that the tops thereof are positioned at the boundaries between the color filters formed on one substrate side and other adjacent color filters. It is characterized by being present.

【0014】手段7.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、手段1あるいは4の構成を前提として、支柱状
のスペーサはそれが形成されている他方の基板面に対す
る周側面のテーパの角度θの値が0°から40°の範
囲内に設定されていることを特徴とするものである。
Means 7. In the liquid crystal display device according to the present invention, for example, on the premise of the constitution of the means 1 or 4, the columnar spacer has a taper angle θ 1 of the peripheral side surface with respect to the other substrate surface on which the spacer is formed from 0 °. It is characterized in that it is set within a range of 40 °.

【0015】手段8.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち、一
方の基板の液晶側の面に並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線が形成され、これら各信号線で囲まれた画素
領域に、ゲート信号線からの走査信号によって作動する
薄膜トランジスタと、この薄膜トランジスタを介してド
レイン信号線からの映像信号が供給される画素電極と、
前記ドレイン信号線の上方で隣接する画素領域側のカラ
ーフィルタと境界を有して形成される他の色のカラーフ
ィルタとを備え、前記各基板のうち他方の基板の液晶側
の面にイオンの通過を遮断する膜を介して配向膜が形成
されていることを特徴とするものである。
Means 8. The liquid crystal display device according to the present invention is, for example, a plurality of gate signal lines arranged in parallel on the liquid crystal side surface of one of the substrates opposed to each other with the liquid crystal interposed therebetween and the gate signal lines intersecting these gate signal lines. A plurality of drain signal lines arranged in parallel are formed, and in a pixel region surrounded by each of these signal lines, a thin film transistor operated by a scanning signal from the gate signal line and a video signal from the drain signal line through the thin film transistor. A pixel electrode supplied with
A color filter on the side of the pixel region adjacent above the drain signal line and a color filter of another color formed with a boundary are provided, and ions on the liquid crystal side surface of the other substrate of the substrates. It is characterized in that an alignment film is formed through a film that blocks passage.

【0016】手段9.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち、一
方の基板の液晶側の面に並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線が形成され、これら各信号線で囲まれた画素
領域に、ゲート信号線からの走査信号によって作動する
薄膜トランジスタと、この薄膜トランジスタを介してド
レイン信号線からの映像信号が供給される画素電極と、
前記ドレイン信号線の上方で隣接する画素領域側のカラ
ーフィルタと境界を有して形成される他の色のカラーフ
ィルタとを備え、前記各基板のうち他方の基板の液晶側
の面にイオンの通過を遮断する膜を介して配向膜が形成
されていることを特徴とするものである。
Means 9. The liquid crystal display device according to the present invention is, for example, a plurality of gate signal lines arranged in parallel on the liquid crystal side surface of one of the substrates opposed to each other with the liquid crystal interposed therebetween and the gate signal lines intersecting these gate signal lines. A plurality of drain signal lines arranged in parallel are formed, and in a pixel region surrounded by each of these signal lines, a thin film transistor operated by a scanning signal from the gate signal line and a video signal from the drain signal line through the thin film transistor. A pixel electrode supplied with
A color filter on the side of the pixel region adjacent above the drain signal line and a color filter of another color formed with a boundary are provided, and ions on the liquid crystal side surface of the other substrate of the substrates. It is characterized in that an alignment film is formed through a film that blocks passage.

【0017】手段10.本発明による液晶表示装置は、
たとえば、手段8あるいは9の構成を前提として、イオ
ンの通過を遮断する膜はSiN、SiOあるいは有機
材料層からなっていることを特徴とするものである。
Means 10. The liquid crystal display device according to the present invention,
For example, on the premise of the constitution of the means 8 or 9, the film for blocking the passage of ions is characterized by being made of SiN, SiO 2 or an organic material layer.

【0018】手段11.本発明による液晶表示装置は、
たとえば、手段1あるいは4の構成を前提として、支柱
状のスペーサはその頂部が一方の基板側に形成されたカ
ラーフィルタの前記ゲート信号線上に形成された領域に
位置づけられていることを特徴とするものである。
Means 11. The liquid crystal display device according to the present invention,
For example, on the premise of the configuration of the means 1 or 4, the pillar-shaped spacer is characterized in that its top is positioned in the region formed on the gate signal line of the color filter formed on one substrate side. It is a thing.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明による液晶表示装置
の実施例を図面を用いて説明をする。 実施例1. 《等価回路》図2は、本発明による液晶表示装置の一実
施例を示す等価回路図である。同図は等価回路ではある
が、実際の幾何学的配置に対応させて描いている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a liquid crystal display device according to the present invention will be described below with reference to the drawings. Example 1. << Equivalent Circuit >> FIG. 2 is an equivalent circuit diagram showing an embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention. Although the figure is an equivalent circuit, it is drawn corresponding to the actual geometrical arrangement.

【0020】液晶を介して互いに対向配置される一対の
透明基板SUB1、SUB2があり、該液晶は一方の透
明基板SUB1に対する他方の透明基板SUB2の固定
を兼ねるシール材SLによって封入されている。
There is a pair of transparent substrates SUB1 and SUB2 which are arranged so as to face each other with a liquid crystal interposed therebetween, and the liquid crystal is sealed by a seal material SL which also fixes one transparent substrate SUB1 to the other transparent substrate SUB2.

【0021】シール材SLによって囲まれた前記一方の
透明基板SUB1の液晶側の面には、そのx方向に延在
しy方向に並設されたゲート信号線GLとy方向に延在
しx方向に並設されたドレイン信号線DLとが形成され
ている。
On the liquid crystal side surface of the one transparent substrate SUB1 surrounded by the seal material SL, the gate signal lines GL extending in the x direction and juxtaposed in the y direction and the x extending in the y direction are provided. A drain signal line DL is formed side by side in the direction.

【0022】各ゲート信号線GLと各ドレイン信号線D
Lとで囲まれた領域は画素領域を構成するとともに、こ
れら各画素領域のマトリクス状の集合体は液晶表示部A
Rを構成するようになっている。
Each gate signal line GL and each drain signal line D
The region surrounded by L and L constitutes a pixel region, and the matrix-shaped aggregate of these pixel regions is the liquid crystal display unit A.
It constitutes R.

【0023】また、x方向に並設される各画素領域のそ
れぞれにはそれら各画素領域内に走行された共通の対向
電圧信号線CLが形成されている。この対向電圧信号線
CLは各画素領域の後述する対向電極CTに映像信号に
対して基準となる電圧を供給するための信号線となるも
のである。
Further, a common counter voltage signal line CL running in each of the pixel regions is formed in each of the pixel regions arranged in parallel in the x direction. The counter voltage signal line CL serves as a signal line for supplying a reference voltage for a video signal to a counter electrode CT described later in each pixel region.

【0024】各画素領域には、その片側のゲート信号線
GLからの走査信号によって作動される薄膜トランジス
タTFTと、この薄膜トランジスタTFTを介して片側
のドレイン信号線DLからの映像信号が供給される画素
電極PXが形成されている。
In each pixel region, a thin film transistor TFT operated by a scanning signal from the gate signal line GL on one side thereof and a pixel electrode to which a video signal from the drain signal line DL on one side is supplied via the thin film transistor TFT. PX is formed.

【0025】この画素電極PXは、前記対向電圧信号線
CLに接続された対向電極CTとの間に電界を発生さ
せ、この電界によって液晶の光透過率を制御させるよう
になっている。
The pixel electrode PX generates an electric field between itself and the counter electrode CT connected to the counter voltage signal line CL, and the electric field controls the light transmittance of the liquid crystal.

【0026】前記ゲート信号線GLのそれぞれの一端は
前記シール材SLを超えて延在され、その延在端は垂直
走査駆動回路Vの出力端子が接続される端子を構成する
ようになっている。また、前記垂直走査駆動回路Vの入
力端子は液晶表示パネルの外部に配置されたプリント基
板からの信号が入力されるようになっている。
One end of each of the gate signal lines GL extends beyond the seal material SL, and the extended end constitutes a terminal to which the output terminal of the vertical scanning drive circuit V is connected. . Further, a signal from a printed circuit board arranged outside the liquid crystal display panel is inputted to an input terminal of the vertical scanning drive circuit V.

【0027】垂直走査駆動回路Vは複数個の半導体装置
からなり、互いに隣接する複数のゲート信号線どおしが
グループ化され、これら各グループ毎に一個の半導体装
置があてがわれるようになっている。
The vertical scanning drive circuit V comprises a plurality of semiconductor devices, a plurality of gate signal lines adjacent to each other are grouped, and one semiconductor device is applied to each of these groups. There is.

【0028】同様に、前記ドレイン信号線DLのそれぞ
れの一端は前記シール材SLを超えて延在され、その延
在端は映像信号駆動回路Heの出力端子が接続される端
子を構成するようになっている。また、前記映像信号駆
動回路Heの入力端子は液晶表示パネルの外部に配置さ
れたプリント基板からの信号が入力されるようになって
いる。
Similarly, one end of each of the drain signal lines DL extends beyond the sealing material SL, and the extended end constitutes a terminal to which the output terminal of the video signal drive circuit He is connected. Has become. Further, a signal from a printed circuit board arranged outside the liquid crystal display panel is input to the input terminal of the video signal drive circuit He.

【0029】この映像信号駆動回路Heも複数個の半導
体装置からなり、互いに隣接する複数のドレイン信号線
どおしがグループ化され、これら各グループ毎に一個の
半導体装置があてがわれるようになっている。
The video signal driving circuit He is also composed of a plurality of semiconductor devices, and a plurality of drain signal lines adjacent to each other are grouped, and one semiconductor device is applied to each of these groups. ing.

【0030】また、x方向に併設された各画素領域に共
通な前記対向電圧信号線CLは図中右側の端部で共通に
接続され、その接続線はシール材SLを超えて延在さ
れ、その延在端において端子CLTを構成している。こ
の端子CLTからは映像信号に対して基準となる電圧が
供給されるようになっている。
Further, the counter voltage signal lines CL common to the respective pixel regions juxtaposed in the x direction are commonly connected at the end portion on the right side in the drawing, and the connection lines extend beyond the sealing material SL, A terminal CLT is formed at the extending end. From this terminal CLT, a reference voltage for the video signal is supplied.

【0031】前記各ゲート信号線GLは、垂直走査回路
Vからの走査信号によって、その一つが順次選択される
ようになっている。また、前記各ドレイン信号線DLの
それぞれには、映像信号駆動回路Heによって、前記ゲ
ート信号線GLの選択のタイミングに合わせて映像信号
が供給されるようになっている。
One of the gate signal lines GL is sequentially selected by the scanning signal from the vertical scanning circuit V. Further, a video signal is supplied to each of the drain signal lines DL by a video signal drive circuit He at the timing of selecting the gate signal line GL.

【0032】《画素の構成》図3は、透明基板SUB1
側の前記画素領域における構成の一実施例を示す平面図
である。なお、図3のI−I線における断面図を図1
に、IV−IV線における断面図を図4に示している。
<< Pixel Configuration >> FIG. 3 shows a transparent substrate SUB1.
It is a top view showing an example of composition in the above-mentioned pixel field of the side. In addition, a cross-sectional view taken along line I-I of FIG.
FIG. 4 shows a sectional view taken along line IV-IV.

【0033】透明基板SUB1の液晶側の面に、まず、
x方向に延在しy方向に並設される一対のゲート信号線
GL(図では一方を省略している)が形成されている。
これらゲート信号線GLは後述の一対のドレイン信号線
DLとともに矩形状の領域を囲むようになっており、こ
の領域を画素領域として構成するようになっている。
First, on the liquid crystal side surface of the transparent substrate SUB1,
A pair of gate signal lines GL (one of which is omitted in the drawing) extending in the x direction and arranged side by side in the y direction is formed.
These gate signal lines GL surround a rectangular area together with a pair of drain signal lines DL described later, and this area is configured as a pixel area.

【0034】このようにゲート信号線GLが形成された
透明基板SUB1の表面にはたとえばSiNからなる絶
縁膜GIが該ゲート信号線GLをも被って形成されてい
る。この絶縁膜GIは、後述のドレイン信号線DLおよ
び対向電圧信号線CLの形成領域においては前記ゲート
信号線GLに対する層間絶縁膜としての機能を、後述の
薄膜トランジスタTFTの形成領域においてはそのゲー
ト絶縁膜としての機能を、後述の容量素子Cstgの形
成領域においてはその誘電体膜の一部としての機能する
ようになっている。
An insulating film GI made of, for example, SiN is formed on the surface of the transparent substrate SUB1 on which the gate signal lines GL have been formed as described above so as to cover the gate signal lines GL as well. The insulating film GI functions as an interlayer insulating film for the gate signal line GL in the formation region of the drain signal line DL and the counter voltage signal line CL described later, and the gate insulation film in the formation region of the thin film transistor TFT described later. The above function as a part of the dielectric film in the formation region of the capacitive element Cstg described later.

【0035】そして、この絶縁膜GIの表面であって、
前記ゲート信号線GLの一部に重畳するようにしてたと
えばアモルファスSiからなる半導体層ASが形成され
ている。この半導体層ASは、薄膜トランジスタTFT
のそれであって、その上面にドレイン電極SD1および
ソース電極SD2を形成することにより、ゲート信号線
GLの一部をゲート電極とする逆スタガ構造のMIS型
トランジスタを構成することができる。
On the surface of the insulating film GI,
A semiconductor layer AS made of, for example, amorphous Si is formed so as to overlap a part of the gate signal line GL. This semiconductor layer AS is a thin film transistor TFT.
In addition, by forming the drain electrode SD1 and the source electrode SD2 on the upper surface thereof, it is possible to configure the MIS transistor having the inverted stagger structure in which a part of the gate signal line GL is used as the gate electrode.

【0036】ここで、前記ドイレン電極SD1およびソ
ース電極SD2はドレイン信号線DLの形成の際に同時
に形成されるようになっている。すなわち、y方向に延
在されx方向に並設されるドレイン信号線DLが形成さ
れ、その一部が前記半導体層ASの上面にまで延在され
てドレイン電極SD1が形成され、また、このドレイン
電極SD1と薄膜トランジスタTFTのチャネル長分だ
け離間されてソース電極SD2が形成されている。
Here, the drain electrode SD1 and the source electrode SD2 are formed at the same time when the drain signal line DL is formed. That is, the drain signal line DL extending in the y direction and arranged in parallel in the x direction is formed, and a part of the drain signal line DL extends to the upper surface of the semiconductor layer AS to form the drain electrode SD1. A source electrode SD2 is formed apart from the electrode SD1 by the channel length of the thin film transistor TFT.

【0037】このソース電極SD2は半導体層AS面か
ら画素領域側の絶縁膜GIの上面に至るまで若干延在さ
れ、後述の画素電極PXとの接続を図るためのコンタク
ト部CNが形成されている。
The source electrode SD2 extends slightly from the surface of the semiconductor layer AS to the upper surface of the insulating film GI on the pixel region side, and a contact portion CN for connecting to a pixel electrode PX described later is formed. .

【0038】なお、半導体層ASとドレイン電極SD1
およびソース電極SD2との界面には高濃度の不純物が
ドープされた薄い層が形成され、この層はコンタクト層
として機能するようになっている。
The semiconductor layer AS and the drain electrode SD1
A thin layer doped with a high concentration of impurities is formed at the interface with the source electrode SD2, and this layer functions as a contact layer.

【0039】このコンタクト層は、たとえば半導体層A
Sの形成時に、その表面にすでに高濃度の不純物層が形
成されており、その上面に形成したドレイン電極SD1
およびソース電極SD2のパターンをマスクとしてそれ
から露出された前記不純物層をエッチングすることによ
って形成することができる。
This contact layer is, for example, the semiconductor layer A.
When S is formed, a high-concentration impurity layer is already formed on the surface thereof, and the drain electrode SD1 formed on the upper surface of the impurity layer is formed.
And the impurity layer exposed from the pattern of the source electrode SD2 as a mask may be etched.

【0040】このように構成された透明基板SUB1の
表面にはたとえばSiN膜等からなる保護膜PSVが形
成されている。この保護膜PSVは前記薄膜トランジス
タTFTの液晶との直接の接触を回避して該薄膜トラン
ジスタTFTの特性劣化を生じさせないために形成され
るものである。
A protective film PSV made of, for example, a SiN film is formed on the surface of the transparent substrate SUB1 thus configured. This protective film PSV is formed in order to avoid direct contact of the thin film transistor TFT with the liquid crystal and prevent the characteristic deterioration of the thin film transistor TFT.

【0041】そして、この保護膜PSVの上面にはカラ
ーフィルタFILが形成されている。このカラーフィル
タFILはたとえば樹脂材のなかに顔料を混入させて構
成され、たとえば赤(R)、緑(G)、青(B)の各色
からなっている。
A color filter FIL is formed on the upper surface of the protective film PSV. The color filter FIL is formed, for example, by mixing a pigment in a resin material, and is made of, for example, each color of red (R), green (G), and blue (B).

【0042】たとえば赤色のカラーフィルタFILはy
方向に並設される各画素領域からなる一の画素領域群に
共通に形成され、その画素領域群に対して(+)x方向
に並設される他の画素領域群に共通に緑色、青色、赤
色、緑色、……というように順次形成されている。
For example, the red color filter FIL is y
Formed in common in one pixel region group consisting of the respective pixel regions arranged in the same direction, and in common with other pixel region groups arranged in the (+) x direction with respect to the pixel region group, green and blue. , Red, green, and so on.

【0043】このため、図1に示す画措領域におけるカ
ラーフィルタFIL(1)は、x方向に隣接する他の画
素領域におけるカラーフィルタFIL(0)、FIL
(2)と、ドレイン信号線DL上で境界を有するように
なっている。そして、上述した各色のカラーフィルタF
ILの上面には、対向電圧信号線CLとこの対向電圧信
号線CLと一体に形成された対向電極CTとが形成され
ている。
For this reason, the color filters FIL (1) in the image treatment area shown in FIG. 1 are the color filters FIL (0), FIL in the other pixel areas adjacent in the x direction.
(2) has a boundary on the drain signal line DL. Then, the color filter F for each color described above
On the upper surface of IL, a counter voltage signal line CL and a counter electrode CT formed integrally with the counter voltage signal line CL are formed.

【0044】対向電圧信号線CLは画素領域の中央をゲ
ート信号線GLと平行に走行され、対向電極CTは画素
領域内をy方向に延在するたとえば3本の電極群から構
成されている。そして、これら各対向電極CTの離間距
離は等しいものとなっている。
The counter voltage signal line CL runs in the center of the pixel region in parallel with the gate signal line GL, and the counter electrode CT is composed of, for example, three electrode groups extending in the y direction in the pixel region. Further, the distances of the respective counter electrodes CT are equal.

【0045】ここで、各対向電極群のうち、両脇に位置
付けられる一対の対向電極CT、換言すればドレイン信
号線DLに隣接する対向電極CTは他の対向電極CTよ
りも若干その幅が大きく形成されている。
Here, in each counter electrode group, the pair of counter electrodes CT positioned on both sides, in other words, the counter electrode CT adjacent to the drain signal line DL, has a slightly larger width than the other counter electrodes CT. Has been formed.

【0046】この理由は、ドレイン信号線DLからの電
気力線がそれに隣接する対向電極CTに終端させやすく
し、その対向電極CTを越えて後述の画素電極PXに終
端するのを防止するためである。画素電極PXに該電気
力線が終端した場合にそれがノイズとなってしまうから
である。
The reason for this is to make it easier for the lines of electric force from the drain signal line DL to terminate at the counter electrode CT adjacent thereto, and to prevent the line of electric force from terminating beyond the counter electrode CT and terminating at the pixel electrode PX described later. is there. This is because when the line of electric force terminates at the pixel electrode PX, it becomes noise.

【0047】前記対向電圧信号線CLおよび対向電極C
Tが形成されたカラーフィルタFIL上には該対向電圧
信号線CLおよび対向電極CTをも被ってたとえばSi
Nからなる絶縁膜が形成されている。この絶縁膜は後述
する画素電極PXとの絶縁を図る層間絶縁膜INとなる
ものである。
Counter voltage signal line CL and counter electrode C
On the color filter FIL formed with T, the counter voltage signal line CL and the counter electrode CT are also covered, for example, Si.
An insulating film made of N is formed. This insulating film serves as an interlayer insulating film IN for insulating the pixel electrode PX described later.

【0048】そして、この層間絶縁膜INの上面には画
素電極PXが形成されている。この画素電極PXは前述
の対向電極CTと同様にy方向に延在されx方向に並設
された複数(図では2本)の電極群から構成され、か
つ、これら画素電極PXは、平面的に観た場合、前記対
向電極CTの間に該対向電極CTと隙間を有して位置づ
けられるようになっている。すなわち、これら各電極
は、一方の側のドレイン信号線DLから他方の側のドレ
イン信号線DLにかけて、対向電極CT、画素電極P
X、対向電極CT、画素電極PX、……、対向電極CT
の順にそれぞれ等間隔に配置されている。
A pixel electrode PX is formed on the upper surface of the interlayer insulating film IN. This pixel electrode PX is composed of a plurality (two in the figure) of electrode groups that extend in the y direction and are juxtaposed in the x direction similarly to the above-described counter electrode CT, and these pixel electrodes PX are planar. When viewed from above, it is positioned with a gap between the counter electrodes CT and the counter electrodes CT. That is, each of these electrodes extends from the drain signal line DL on one side to the drain signal line DL on the other side, and the counter electrode CT and the pixel electrode P are provided.
X, counter electrode CT, pixel electrode PX, ..., Counter electrode CT
Are arranged at equal intervals in this order.

【0049】また、このように電極群からなる画素電極
PXは、それらが前記対向電圧信号線CLと重畳された
部分で互いに電気的に接続されている。そして、この部
分は比較的大きな面積を有し、対向電圧信号線CLとの
間に前記保護膜PSVを誘電体膜とする容量素子Cst
gが形成されるようになっている。この容量素子Cst
gは、たとえば画素電極PXに供給された映像信号を比
較的長く蓄積させる等の機能をもたせるようになってい
る。
Further, the pixel electrodes PX, which are made up of the electrode group as described above, are electrically connected to each other at the portion where they overlap the counter voltage signal line CL. This portion has a relatively large area, and the capacitive element Cst having the protective film PSV as a dielectric film is formed between the portion and the counter voltage signal line CL.
g is formed. This capacitive element Cst
g has a function of, for example, accumulating the video signal supplied to the pixel electrode PX for a relatively long time.

【0050】そして、このように画素電極PXが形成さ
れた透明基板SUB1の上面には該画素電極PXをも被
って配向膜ORI1が形成されている。この配向膜OR
I1は液晶と直接に当接する膜で、その表面に形成され
たラビングによって該液晶の分子の初期配向方向を決定
づけるようになっている。なお、透明基板SUB1の液
晶と反対側の面には位相差フィルムPF1および偏光板
POL1が順次貼付されている。
An alignment film ORI1 is formed on the upper surface of the transparent substrate SUB1 on which the pixel electrodes PX are formed so as to cover the pixel electrodes PX as well. This alignment film OR
I1 is a film that directly contacts the liquid crystal, and the rubbing formed on the surface thereof determines the initial alignment direction of the molecules of the liquid crystal. A retardation film PF1 and a polarizing plate POL1 are sequentially attached to the surface of the transparent substrate SUB1 opposite to the liquid crystal.

【0051】《透明基板SUB1の製造方法》図5は、
前記透明基板SUB1の製造方法の一実施例を示す工程
図である。以下工程順に説明する。
<< Method of Manufacturing Transparent Substrate SUB1 >> FIG.
FIG. 6 is a process diagram showing an example of a method of manufacturing the transparent substrate SUB1. The steps will be described below in order.

【0052】工程1.(図5(a)) 透明基板SUB1を用意し、その液晶側の面(主表面)
にたとえばCrとCr−Mo合金の順次積層体を形成す
る。この積層体を周知のフォトリソグラフィ技術による
選択エッチング方法によってゲート信号線GL(図示さ
れていない)を形成する。その後、該ゲート信号線GL
をも被って、透明基板SUB1の主表面にたとえばSi
Nからなる絶縁膜GIを形成する。
Step 1. (FIG. 5A) A transparent substrate SUB1 is prepared, and its liquid crystal side surface (main surface)
Then, for example, a sequentially laminated body of Cr and a Cr-Mo alloy is formed. A gate signal line GL (not shown) is formed on the stacked body by a well-known photolithography selective etching method. Then, the gate signal line GL
And the main surface of the transparent substrate SUB1 is covered with, for example, Si.
An insulating film GI made of N is formed.

【0053】前記絶縁膜GIの形成に引き続いて、さら
に、Siからなる半導体膜AS、該半導体膜ASの表面
にP(燐)を微量添加させたドープ半導体層の順次積層
体を形成する。
Subsequent to the formation of the insulating film GI, a semiconductor film AS made of Si and a doped semiconductor layer in which a small amount of P (phosphorus) is added to the surface of the semiconductor film AS are sequentially formed.

【0054】前記半導体層ASをドープ半導体層ととも
に周知のフォトリソグラフィ技術による選択エッチング
方法によってエッチングし、薄膜トランジスタTFTの
形成領域のそれを残存させる(図示されていない)。こ
の場合、絶縁膜GIはエッチングすることなく残存させ
ておく。
The semiconductor layer AS is etched together with the doped semiconductor layer by the well-known photolithographic selective etching method to leave it in the formation region of the thin film transistor TFT (not shown). In this case, the insulating film GI is left without being etched.

【0055】工程2.(図5(b)) 透明基板SUB1の主表面の全域にCrとCr−Mo合
金の順次積層体を形成し、これを周知のフォトリソグラ
フィ技術による選択エッチング方法によってエッチング
し、ドレイン信号線DL、薄膜トランジスタTFTのド
レイン電極SD1およびソース電極SD2を形成する。
なお、同図ではドレイン信号線DLのみが図示されてい
る。その後、前記ドレイン電極SD1およびソース電極
SD2をマスクとして半導体層ASの表面に形成された
ドープ半導体層をエッチング除去する。
Step 2. (FIG. 5B) A sequentially laminated body of Cr and a Cr—Mo alloy is formed on the entire main surface of the transparent substrate SUB1, and the laminated body is etched by a known selective etching method using a photolithography technique to form a drain signal line DL, The drain electrode SD1 and the source electrode SD2 of the thin film transistor TFT are formed.
Note that only the drain signal line DL is shown in the figure. Then, the doped semiconductor layer formed on the surface of the semiconductor layer AS is removed by etching using the drain electrode SD1 and the source electrode SD2 as a mask.

【0056】工程3.(図5(c)) そして、透明基板SUB1の主表面の全域にたとえばS
iNからなる保護膜PSVを形成する。なお、図示され
ていないが、該保護膜PSVは、ソース電極SD2の延
在部の一部、ゲート信号線GLの端子部、ドレイン信号
線DLの端子部が露出されるようにパターン化され、こ
れにより形成された孔から露出された前記絶縁膜GIに
も孔を形成する。
Step 3. (FIG. 5C) Then, for example, S is formed on the entire main surface of the transparent substrate SUB1.
A protective film PSV made of iN is formed. Although not shown, the protective film PSV is patterned so that a part of the extending portion of the source electrode SD2, the terminal portion of the gate signal line GL, and the terminal portion of the drain signal line DL are exposed. A hole is also formed in the insulating film GI exposed from the hole thus formed.

【0057】工程4.(図5(d)) 前記保護膜PSVの上面にカラーフィルタFILを形成
する。この場合、たとえば、緑色に着色されたカラーフ
ィルタFIL、赤色に着色されたカラーフィルタFI
L、青色に着色されたカラーフィルタFILというよう
に順次形成する。この場合、各色のカラーフィルタFI
Lにはそれぞれソース電極SD2の延在部の一部を露出
させる孔が形成される。
Step 4. (FIG. 5D) A color filter FIL is formed on the upper surface of the protective film PSV. In this case, for example, the color filter FIL colored in green and the color filter FI colored in red.
L and a color filter FIL colored in blue are sequentially formed. In this case, the color filter FI for each color
A hole is formed in each L to expose a part of the extending portion of the source electrode SD2.

【0058】また、一の色のカラーフィルタFILに対
してその両側に配置される他の色のカラーフィルタFI
Lとの境界はドレイン信号線DL上に位置づけられるよ
うにして形成される。この場合、一の色のカラーフィル
タFILと他の色のカラーフィルタFILとの境界はそ
れらが若干の幅で重畳されるように構成してもよい。こ
のようにした場合前記重畳部はドレイン信号線DL上に
おいて遮光膜の機能を有するようになり、透明基板SU
B1上にブラックマトリクスBMを形成したのとほぼ同
様の効果を有するようになる。
Further, with respect to the color filter FIL of one color, the color filters FI of the other colors arranged on both sides of the color filter FIL.
The boundary with L is formed so as to be positioned on the drain signal line DL. In this case, the boundary between the color filter FIL of one color and the color filter FIL of another color may be configured such that they are overlapped with each other with a slight width. In this case, the overlapping portion has a function of a light shielding film on the drain signal line DL, and the transparent substrate SU
The same effect can be obtained as when the black matrix BM is formed on B1.

【0059】工程5.(図5(e)) 透明基板SUB1の主表面の全域にCrとCr−Mo合
金の順次積層体を形成し、周知のフォトリソグラフィ技
術による選択エッチングによって、画素電極PXを形成
する。この場合、画素電極PXはカラーフィルタFIL
および保護膜PSVに形成された孔を通して薄膜トラン
ジスタTFTのソース電極SD2と電気的な接続が図れ
るようになる。
Step 5. (FIG. 5E) A sequentially laminated body of Cr and a Cr—Mo alloy is formed on the entire main surface of the transparent substrate SUB1, and the pixel electrode PX is formed by selective etching by a well-known photolithography technique. In this case, the pixel electrode PX has the color filter FIL.
Also, the source electrode SD2 of the thin film transistor TFT can be electrically connected through the hole formed in the protective film PSV.

【0060】工程6.(図5(f)) 透明基板SUB1の主表面の全域にアクリル系有機絶縁
膜を形成する。このアクリル系有機絶縁膜は前記画素電
極PXの後述する対向電極CTとの層間絶縁を図る層間
絶縁膜INとしての機能を有するようになる。
Step 6. (FIG. 5F) An acrylic organic insulating film is formed on the entire main surface of the transparent substrate SUB1. The acrylic organic insulating film has a function as an interlayer insulating film IN for performing interlayer insulation between the pixel electrode PX and a counter electrode CT described later.

【0061】工程7.(図5(g)) CrとCr−Mo合金との順次積層体を形成し、周知の
フォトリソグラフィ技術による選択エッチングによって
対向電極CTおよび対向電圧信号線CLを形成する。
Step 7. (FIG. 5G) A laminated body of Cr and a Cr—Mo alloy is sequentially formed, and the counter electrode CT and the counter voltage signal line CL are formed by selective etching by a well-known photolithography technique.

【0062】工程8.(図5(h)) 透明基板SUB1の主表面の全域にたとえばポリイミド
系有機絶縁膜を形成し、この表面をラビング処理するこ
とにより配向膜ORI1を形成する。また、透明基板S
UB1の液晶と反対側の面に位相差フィルム、および偏
光板を順次貼付する。
Step 8. (FIG. 5 (h)) For example, a polyimide organic insulating film is formed on the entire main surface of the transparent substrate SUB1, and the surface is rubbed to form an alignment film ORI1. In addition, the transparent substrate S
A retardation film and a polarizing plate are sequentially attached to the surface of UB1 opposite to the liquid crystal side.

【0063】《透明基板SUB2の構成》図1に示すよ
うに、透明基板SUB1と液晶を介して対向配置される
透明基板SUB2の液晶側の面には、ブラックマトリク
スBMおよびカラーフィルタFILが形成されていない
構成となっている。上述したようにカラーフィルタFI
Lは透明基板SUB1側に形成しており、また、ブラッ
クマトリクスBMはドレイン信号線DLおよびゲート信
号線GLにおいて同様の機能をもたせているからであ
る。
<< Structure of Transparent Substrate SUB2 >> As shown in FIG. 1, a black matrix BM and a color filter FIL are formed on the surface of the transparent substrate SUB2 facing the transparent substrate SUB1 with the liquid crystal interposed therebetween on the liquid crystal side. Not configured. As described above, the color filter FI
This is because L is formed on the transparent substrate SUB1 side, and the black matrix BM has the same function in the drain signal line DL and the gate signal line GL.

【0064】そして、透明基板SUB2の液晶側の面に
は支柱状のスペーサSPが形成されている。このスペー
サSPはたとえば透明基板SUB2の面に形成した樹脂
膜を選択エッチングにより形成したもので、画素領域の
任意の個所に、また、液晶表示部AR中において任意の
数に設定して形成することができる。また、前記樹脂膜
をその膜厚を均一にして形成する限り各スペーサSPは
その高さを全て一様に形成することができる。
A pillar-like spacer SP is formed on the liquid crystal side surface of the transparent substrate SUB2. The spacer SP is formed by, for example, selective etching of a resin film formed on the surface of the transparent substrate SUB2, and is formed by setting an arbitrary number in the pixel region and an arbitrary number in the liquid crystal display section AR. You can Further, as long as the resin film is formed to have a uniform film thickness, each spacer SP can be formed to have a uniform height.

【0065】この実施例では、前記スペーサSPは一画
素領域当たりたとえば1個設けたものを示し、その頂部
はドレイン信号線DLの上方、換言すれば、色の異なる
各カラーフィルタFILの境界に対向するようにして位
置づけられている。
In this embodiment, for example, one spacer SP is provided for each pixel region, and the top thereof faces above the drain signal line DL, in other words, faces the boundary of each color filter FIL having different colors. It is positioned to do so.

【0066】ドレイン信号線DLにはブラックマトリク
スBMの機能を兼用させていることから、該スペーサS
Pは遮光領域内に形成され、画素の開口率の低減に影響
を与えなくて済むからである。
Since the drain signal line DL also has the function of the black matrix BM, the spacer S
This is because P is formed in the light-shielded area and does not have to affect the reduction of the aperture ratio of the pixel.

【0067】また、ゲート信号線GLもブラックマトリ
クスBMの機能を兼用するため、スペーサSPをゲート
信号線GLの上方、換言すれば、同一の色のカラーフィ
ルタFIL上に形成してもよい。
Further, since the gate signal line GL also has the function of the black matrix BM, the spacer SP may be formed above the gate signal line GL, in other words, on the color filter FIL of the same color.

【0068】なお、図示されていない他の画素領域にお
けるスペーサSPにおいても、図1に示す個所に形成さ
れ、これにより、各透明基板SUB1、SUB2の間の
ギャップの均一化を図っている。
The spacers SP in the other pixel regions (not shown) are also formed at the locations shown in FIG. 1 to make the gaps between the transparent substrates SUB1 and SUB2 uniform.

【0069】ここで、前記スペーサSPは、その中心軸
を含む平面で断面をとった形状を考慮すると、右側のテ
ーパの角度をθとし左側のテーパの角度をθとした
場合に、前記θは、θ−10<θ1<θ+10の
範囲に抑えることができる。すなわち、前記スペーサS
Pはその固定部となる平面に対するスペーサ底部での全
周のテーパの角度をほぼ均一にすることができ、ある特
定方向におけるテーパの角度が他の方向におけるテーパ
の角度と極端に異なってしまうということがなくなる。
Here, considering the shape of the spacer SP which is taken in a plane including the central axis thereof, when the taper angle on the right side is θ 1 and the taper angle on the left side is θ 2 , θ 1 can be suppressed within the range of θ 2 −10 <θ 12 +10. That is, the spacer S
In P, the taper angle of the entire circumference at the spacer bottom with respect to the plane serving as the fixed portion can be made substantially uniform, and the taper angle in one specific direction is extremely different from the taper angle in the other direction. Will disappear.

【0070】このように構成できる理由は、スペーサS
Pを形成する透明基板SUB2の表面が該スペーサSP
を中心とした広い領域に及んで平坦化が確保されている
からである。
The reason why this structure is possible is that the spacer S is
The surface of the transparent substrate SUB2 forming P is the spacer SP.
This is because the flatness is ensured over a wide area centered on.

【0071】しかも、前記θの値を0°から40°の
範囲内にすることで、該スペーサSPを後述する配向膜
ORI2によって被った状態のその周囲の液晶の配向状
態を改善でき、さらに0°から30°の範囲とすること
で実用上液晶表示部ARのそれと区別する必要ないレベ
ルに改善できる。そして、さらに、0°から10°の範
囲内とすることで、液晶表示部ARのそれとほぼ同様に
なることが確かめられた。
Moreover, by setting the value of θ 1 within the range of 0 ° to 40 °, the alignment state of the liquid crystal around the spacer SP covered with the alignment film ORI2 described later can be improved, and further By setting the angle in the range of 0 ° to 30 °, it is possible to improve the level to a level that is practically not necessary to be distinguished from that of the liquid crystal display section AR. Further, it was confirmed that by setting the angle within the range of 0 ° to 10 °, it became almost the same as that of the liquid crystal display section AR.

【0072】そして、前記スペーサSPが形成された透
明基板SUB2の表面には該スペーサSPをも被って配
向膜ORI2が形成されている。なお、透明基板SUB
2の液晶と反対側の面には位相差フィルムPF2および
偏光板POL2が順次貼付されている。
Then, on the surface of the transparent substrate SUB2 on which the spacer SP is formed, an alignment film ORI2 is formed so as to cover the spacer SP as well. In addition, the transparent substrate SUB
A retardation film PF2 and a polarizing plate POL2 are sequentially attached to the surface of 2 opposite to the liquid crystal.

【0073】《透明基板SUB2の製造方法》図6は、
前記透明基板SUB2の製造方法の一実施例を示す工程
図である。以下工程順に説明する。 工程1.(図6(a)) まず、透明基板SUB2を用意する。
<< Method of Manufacturing Transparent Substrate SUB2 >> FIG.
FIG. 6 is a process diagram showing an example of a method of manufacturing the transparent substrate SUB2. The steps will be described below in order. Step 1. (FIG. 6A) First, the transparent substrate SUB2 is prepared.

【0074】工程2.(図6(b)) 該透明基板SUB2の液晶側の面にたとえばアクリルか
らなる樹脂材をたとえばスピンコートで塗布し、これに
より形成された膜厚0.5〜6μmの目的とするギャッ
プに応じた厚みの樹脂層を周知のフォトリソグラフィ技
術による選択エッチング法を用いて選択エッチングす
る。残存された樹脂層は支柱状のスペーサSPを構成す
るようになり、その側壁面は透明基板SUB2側に末広
がり状となるテーパが形成される。このテーパは該スペ
ーサSPの中心軸の全周に対してほぼ均等な角度を有
し、このためスペーサSPに対してその中心軸を含むい
くつかの断面をとった場合、それらの形状は全て同じ断
面形状となるように形成される。該スペーサSPを表面
が完全な平面となっている透明基板SUB2上に形成で
きるからである。
Step 2. (FIG. 6 (b)) A resin material made of, for example, acrylic is applied to the surface of the transparent substrate SUB2 on the liquid crystal side by, for example, spin coating, and a desired gap having a film thickness of 0.5 to 6 μm is formed. A resin layer having a different thickness is selectively etched by using a well-known selective etching method using a photolithography technique. The remaining resin layer constitutes a pillar-shaped spacer SP, and the side wall surface thereof is tapered toward the transparent substrate SUB2 side so as to widen toward the end. This taper has a substantially uniform angle with respect to the entire circumference of the central axis of the spacer SP, and therefore, when several cross sections including the central axis of the spacer SP are taken, their shapes are all the same. It is formed to have a cross-sectional shape. This is because the spacer SP can be formed on the transparent substrate SUB2 having a completely flat surface.

【0075】工程3.(図6(c)) 前記透明基板SUB2の液晶側の面に前記支柱上のスペ
ーサSPをも被ってたとえばポリイミドからなる樹脂材
をたとえば印刷法で形成し、これにより形成された樹脂
膜を配向膜ORI2として構成する。
Step 3. (FIG. 6C) A resin material made of, for example, polyimide is formed on the liquid crystal side surface of the transparent substrate SUB2 so as to cover the spacers SP on the pillars, for example, by a printing method, and the resin film thus formed is oriented. It is configured as a film ORI2.

【0076】工程4.(図6(d)) 前記透明基板SUB2の液晶と反対側の面に、位相差フ
ィルムPF2および偏光板POL2を順次貼付する。
Step 4. (FIG. 6D) The retardation film PF2 and the polarizing plate POL2 are sequentially attached to the surface of the transparent substrate SUB2 opposite to the liquid crystal.

【0077】実施例2.図7は、本発明による液晶表示
装置の他の実施例を示す構成図で、図1と対応した図と
なっている。図1の場合と比較して異なる構成は、透明
基板SUB2において、その液晶側の面の少なくとも液
晶表示部ARの領域にたとえばSiNからなる薄膜TH
Fが形成され、この薄膜THFの上面に前記支柱状のス
ペーサSPおよび配向膜ORI2が形成されている。前
記薄膜THFは、透明基板SUB2の液晶側の面の大部
分の領域において配向膜ORI2しか形成されていない
ことに鑑みて形成されたものである。
Example 2. FIG. 7 is a constitutional view showing another embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention and corresponds to FIG. The configuration different from that of FIG. 1 is that in the transparent substrate SUB2, a thin film TH made of, for example, SiN is formed on at least the region of the liquid crystal display portion AR on the liquid crystal side surface thereof.
F is formed, and the pillar-shaped spacer SP and the alignment film ORI2 are formed on the upper surface of the thin film THF. The thin film THF is formed in view of the fact that only the alignment film ORI2 is formed in most regions of the liquid crystal side surface of the transparent substrate SUB2.

【0078】すなわち、該配向膜ORI2の一部領域に
欠損が生じ、そこから透明基板SUB2の表面が露出し
た場合に、透明基板SUB2内からアルカリイオンが液
晶側へ染み出でるようになり、該液晶の比抵抗を下げて
しまい、表示において輝度むらや輝度低下を引き起こす
ことになる。
That is, when a defect occurs in a partial region of the alignment film ORI2 and the surface of the transparent substrate SUB2 is exposed from the defect, alkali ions are leached from the transparent substrate SUB2 to the liquid crystal side. This lowers the specific resistance of the liquid crystal, which causes uneven brightness and reduced brightness in the display.

【0079】前記薄膜は、このような不都合を解消する
ために形成されるもので、透明基板SUB2内のアルカ
リイオンが液晶側へ染み出すのを回避する機能を有す
る。このことから、この薄膜の材質としては必ずしもS
iNに限定されることはなく、SiOであってもよ
く、また、有機材料層からなるものであってもよい。ま
た、前記薄膜は支柱状のスペーサSP上に形成してもよ
い。該スペーサSPからの汚染物質の染み出しを構造的
に回避できるからである。
The thin film is formed to eliminate such inconvenience, and has a function of preventing alkali ions in the transparent substrate SUB2 from seeping out to the liquid crystal side. Therefore, the material of this thin film is not necessarily S
The material is not limited to iN, and may be SiO 2 or may be composed of an organic material layer. Further, the thin film may be formed on the pillar-shaped spacer SP. This is because the contaminants can be structurally prevented from seeping out from the spacer SP.

【0080】実施例3.図8は、前記実施例1の構成を
前提にしたもので、透明基板SUB1および透明基板S
UB2のそれぞれにアライメントマークAM1、AM2
を形成し、これらアライメントマークAM1、AM2に
よって透明基板SUB1に対する透明基板SUB2に対
する合わせ精度を良好にしたものである。
Example 3. FIG. 8 is based on the configuration of the first embodiment, and includes a transparent substrate SUB1 and a transparent substrate S.
Alignment marks AM1 and AM2 on UB2 respectively
And the alignment marks AM1 and AM2 improve the alignment accuracy of the transparent substrate SUB1 to the transparent substrate SUB2.

【0081】これにより、透明基板SUB2側に形成さ
れた支柱状のスペーサSPを、その頂部が透明基板SU
B1の各画素領域のうちの所定の個所に正確に対向させ
て、換言すれば、前記スペーサSPをブラックマトリク
スBMの機能を兼ねるドレイン信号線DL上にずれなく
配置させることができる。
As a result, the pillar-shaped spacer SP formed on the transparent substrate SUB2 side has the top of the transparent substrate SU.
It is possible to exactly face a predetermined portion of each pixel region of B1, in other words, to arrange the spacer SP on the drain signal line DL also having the function of the black matrix BM without displacement.

【0082】図9では、透明基板SUB2および透明基
板SUB1における各アライメントマークの位置を示す
ともに(図9(a))、透明基板SUB2側のアライメ
ントマークAM2を十文字形のパターンとし(図9
(b))、これに対して、透明基板SUB1側のアライ
メントマークAM1を前記十文字形を一定の距離を隔て
て囲むようにした十文字枠のパターンとして(図9
(c))構成していることを示している。
FIG. 9 shows the positions of the respective alignment marks on the transparent substrate SUB2 and transparent substrate SUB1 (FIG. 9 (a)), and the alignment mark AM2 on the transparent substrate SUB2 side has a cross-shaped pattern (see FIG. 9).
(B)), on the other hand, as a cross-shaped frame pattern in which the alignment mark AM1 on the transparent substrate SUB1 side is surrounded by the above-mentioned cross-shaped pattern with a constant distance (FIG. 9).
(C)) It shows that it is configured.

【0083】このような各アライメントマークは、図1
0に示すように十文字枠のパターン内に十文字形のパタ
ーンがそれらの中心を一致づけて配置されることによっ
て、透明基板SUB1に対する透明基板SUB2に対す
る合わせがずれなくなされていることを示すことにな
る。
Such alignment marks are shown in FIG.
By arranging the cross-shaped patterns in the cross-shaped frame pattern so that their centers coincide with each other as shown by 0, it is indicated that the alignment of the transparent substrate SUB1 with the transparent substrate SUB2 is not displaced. .

【0084】ここで、透明基板SUB1側のアライメン
トマークはたとえばゲート信号線GLの形成と同時に該
ゲート信号線GLと同一の材料で形成され、透明基板S
UB2側のアライメントマークはたとえば支柱状のスペ
ーサSPと同一の材料で形成されている。
Here, the alignment mark on the transparent substrate SUB1 side is formed of the same material as the gate signal line GL at the same time when the gate signal line GL is formed.
The alignment mark on the UB2 side is made of, for example, the same material as the pillar-shaped spacer SP.

【0085】透明基板SUB1側のアライメントマーク
はゲート信号線GLの材料、ドレイン信号線DLの材料
のいずれによって形成してもよい。本実施例では、特
に、カラーフィルタFILの形成領域外にアライメント
マークを形成したため、ゲート信号線GLもしくはドレ
イン信号線DLの材料で形成することで認識性の優れた
アライメントマークとでき、透明基板SUB2側の支柱
状のスペーサSPの材料によるアライメントマークとの
光学的識別を充分に図ることができる。
The alignment mark on the transparent substrate SUB1 side may be formed of either the material of the gate signal line GL or the material of the drain signal line DL. In the present embodiment, in particular, since the alignment mark is formed outside the formation region of the color filter FIL, the alignment mark having excellent recognizability can be obtained by forming the alignment mark with the material of the gate signal line GL or the drain signal line DL, and the transparent substrate SUB2. Optical discrimination from the alignment mark made of the material of the pillar-shaped spacer SP on the side can be sufficiently achieved.

【0086】なお、図11は前記実施例2の構成を前提
にしたもので、透明基板SUB1および透明基板SUB
2のそれぞれにアライメントマークAM1、AM2が形
成されていることを示している。
Note that FIG. 11 is based on the configuration of the second embodiment, and includes a transparent substrate SUB1 and a transparent substrate SUB.
2 shows that alignment marks AM1 and AM2 are formed on each of the two.

【0087】実施例4.上述した各実施例の液晶表示装
置は、そのいずれもがいわゆる横電界方式と称されるも
ので、一方の透明基板側に隣接配置された画素電極PX
と対向電極CTとの間に該透明基板とのほぼ平行な成分
の電界によって液晶を挙動させる構成のものを示した。
Example 4. Each of the liquid crystal display devices of the above-described embodiments is a so-called horizontal electric field type, and the pixel electrodes PX adjacent to one transparent substrate side are arranged.
There is shown a structure in which the liquid crystal behaves by an electric field of a component substantially parallel to the transparent substrate between and the counter electrode CT.

【0088】しかし、いわゆる縦電界方式と称されるも
のにおいても本発明を適用できることはいうまでもな
い。縦電界方式は、たとえば透明基板SUB1の画素領
域の周辺を除く中央部の大部分の領域に透光性の導電材
で形成された画素電極PXが形成されており、この画素
電極PXは上述した各実施例と同様に薄膜トランジスタ
TFTのソース電極SD2と接続されている。
However, it goes without saying that the present invention can be applied to a so-called vertical electric field system. In the vertical electric field method, for example, the pixel electrode PX formed of a translucent conductive material is formed in most of the central region of the transparent substrate SUB1 excluding the periphery of the pixel region, and the pixel electrode PX has been described above. Similar to each embodiment, it is connected to the source electrode SD2 of the thin film transistor TFT.

【0089】一方、透明基板SUB2の液晶側の面には
その各画素領域に共通に透光性の導電材で形成された対
向電極CTが形成され、この対向電極CTには映像信号
に対して基準となる電圧信号が供給されるようになって
いる。
On the other hand, on the surface of the transparent substrate SUB2 on the liquid crystal side, a counter electrode CT formed of a light-transmitting conductive material is formed in common in each pixel region, and the counter electrode CT for the video signal is formed. A reference voltage signal is supplied.

【0090】各透明基板の間に介在された液晶は前記画
素電極PXとこの画素電極PXと対向する対向電極との
間に発生する電界(透明基板に対して垂直方向の電界)
によって挙動されるようになる。
The liquid crystal interposed between the transparent substrates is an electric field generated between the pixel electrode PX and a counter electrode facing the pixel electrode PX (electric field in the direction perpendicular to the transparent substrate).
Behaved by.

【0091】このような構成の液晶表示装置にあって、
カラーフィルタFILを透明基板SUB1側に形成する
ことによって、上述した各実施例の場合と全く事情が同
様となる。この場合、透明基板SUB2の液晶側の面に
は対向電極CTが形成されているが、この対向電極CT
は各画素領域に共通に形成され、凹凸のない平坦な膜と
して形成されることになる。このため、支柱状のスペー
サSPは、上述した各実施例の場合と同様に、たとえ対
向電極CTが形成されていても、凹凸のない平坦な面を
有する透明基板SUB2に形成されることになる。
In the liquid crystal display device having such a structure,
By forming the color filter FIL on the transparent substrate SUB1 side, the situation is exactly the same as in the above-described embodiments. In this case, the counter electrode CT is formed on the liquid crystal side surface of the transparent substrate SUB2.
Is commonly formed in each pixel region and is formed as a flat film having no unevenness. Therefore, the pillar-shaped spacer SP is formed on the transparent substrate SUB2 having a flat surface without unevenness, even if the counter electrode CT is formed, as in the case of each of the above-described embodiments. .

【0092】実施例5.上述した各実施例では、各カラ
ーフィルタFILはドレイン信号線DLの長手方向に沿
って並設された各画素領域に共通に形成されたものであ
る。しかし、これに限定されず、各カラーフィルタFI
Lをゲート信号線GLの長手方向に沿って並設された各
画素領域に共通に形成するようにしてもよいことはいう
までもない。このようにした場合、スペーサSPはその
頂部がゲート信号線GLの上方に対向配置させることに
よって上述したと同様な効果をもたらすことができる。
Example 5. In each of the above-described embodiments, each color filter FIL is commonly formed in each pixel region arranged in parallel along the longitudinal direction of the drain signal line DL. However, the color filter FI is not limited to this.
It goes without saying that L may be formed commonly to the pixel regions arranged in parallel along the longitudinal direction of the gate signal line GL. In this case, the spacer SP can bring about the same effect as described above by disposing the top of the spacer SP so as to face the gate signal line GL.

【0093】[0093]

【発明の効果】以上説明したことから明らかとなるよう
に、本発明による液晶表示装置によれば、スペーサ周辺
の液晶の配向乱れによる光漏れを生じさせないようにす
ることができる。
As is apparent from the above description, according to the liquid crystal display device of the present invention, it is possible to prevent the light leakage due to the alignment disorder of the liquid crystal around the spacer.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明による液晶表示装置の画素の一実施例
を示す構成図で、図3のI−Iにおける断面図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a pixel of a liquid crystal display device according to the present invention, and is a cross-sectional view taken along line I-I of FIG.

【図2】 本発明による液晶表示装置の一実施例を示す
等価回路図である。
FIG. 2 is an equivalent circuit diagram showing an embodiment of a liquid crystal display device according to the present invention.

【図3】 本発明による液晶表示装置の画素の一実施例
を示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view showing an embodiment of a pixel of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図4】 図3のIV−IV線における断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG.

【図5】 本発明による液晶表示装置の透明基板SUB
1の製造方法の一実施例を示す工程図である。
FIG. 5 is a transparent substrate SUB of the liquid crystal display device according to the present invention.
FIG. 3 is a process chart showing an example of the manufacturing method of No. 1;

【図6】 本発明による液晶表示装置の透明基板SUB
2の製造方法の一実施例を示す工程図である。
FIG. 6 is a transparent substrate SUB of the liquid crystal display device according to the present invention.
It is a flowchart showing an example of a manufacturing method of No. 2.

【図7】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す平面図である。
FIG. 7 is a plan view showing another embodiment of the pixel of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図8】 本発明による液晶表示装置の他の実施例を示
す平面図である。
FIG. 8 is a plan view showing another embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図9】 本発明による液晶表示装置の他の実施例の効
果を示す説明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram showing an effect of another embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図10】 本発明による液晶表示装置の他の実施例の
効果を示す説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram showing an effect of another embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図11】 本発明による液晶表示装置の他の実施例を
示す平面図である。
FIG. 11 is a plan view showing another embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

SP…スペーサ、ORI2…配向膜、SUB2…透明基
板、SUB1…透明基板、GL…ゲート信号線、DL…
ドレイン信号線、PSV…保護膜、FIL…カラーフィ
ルタ、PX…画素電極、CT…対向電極、TFT…薄膜
トランジスタ、ORI1…配向膜。
SP ... Spacer, ORI2 ... Alignment film, SUB2 ... Transparent substrate, SUB1 ... Transparent substrate, GL ... Gate signal line, DL ...
Drain signal line, PSV ... Protective film, FIL ... Color filter, PX ... Pixel electrode, CT ... Counter electrode, TFT ... Thin film transistor, ORI1 ... Alignment film.

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02F 1/1368 G02F 1/1368 G09F 9/30 320 G09F 9/30 320 338 338 349 349B 349Z 9/35 9/35 (72)発明者 桶 隆太郎 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所ディスプレイグループ内 (72)発明者 仲吉 良彰 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所ディスプレイグループ内 (72)発明者 倉橋 永年 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所ディスプレイグループ内 Fターム(参考) 2H089 HA15 LA02 LA09 LA10 LA16 MA03X NA05 NA14 QA15 TA02 TA04 TA05 TA09 TA12 TA13 2H090 HA01 HA11 HB03X HB04X HB07X HD02 LA01 LA02 LA04 LA15 2H091 FA02Y FA35Y FD04 GA02 GA06 GA07 GA08 GA13 LA16 2H092 GA14 JA26 JB24 JB33 JB58 KB24 NA04 PA02 PA03 PA08 PA09 5C094 AA07 AA08 AA12 AA16 AA31 AA36 AA43 AA48 AA53 BA03 BA43 CA19 CA24 DA12 DA13 DB01 EA04 EA07 EB02 EC03 ED03 ED15 ED20 FA01 FA02 FA03 FB12 FB15 GB10 JA09Front page continuation (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G02F 1/1368 G02F 1/1368 G09F 9/30 320 G09F 9/30 320 338 338 349 349B 349Z 9/35 9/35 ( 72) Inventor Ryutaro Oke, 3300 Hayano, Mobara, Chiba Prefecture, Hitachi, Ltd., Display Group (72) Inventor, Yoshiaki Nakayoshi 3300, Hayano, Mobara, Chiba Prefecture, Hitachi, Ltd., Display Group, (72) Inventor, Kurahashi, Seiji Chiba 3300 Hayano, Mobara-shi Hitachi Ltd. Display group F-term (reference) 2H089 HA15 LA02 LA09 LA10 LA16 MA03X NA05 NA14 QA15 TA02 TA04 TA05 TA09 TA12 TA13 2H090 HA01 HA11 HB03X HB04X HB07X HD02 LA01 LA02 LA04 LA15 2H091 FA04Y0202 GA07 GA08 GA13 LA16 2H092 GA14 JA26 JB24 JB33 JB58 KB24 NA04 PA02 PA03 PA08 PA09 5C094 AA07 AA08 AA12 AA16 AA31 AA36 AA43 AA48 AA53 BA03 BA43 CA19 CA24 DA12 DA13 DB01 EA04 E A07 EB02 EC03 ED03 ED15 ED20 FA01 FA02 FA03 FB12 FB15 GB10 JA09

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち、一方の基板の液晶側の面に並設された複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設された複数
のドレイン信号線が形成され、 これら各信号線で囲まれた画素領域に、ゲート信号線か
らの走査信号によって作動する薄膜トランジスタと、こ
の薄膜トランジスタを介してドレイン信号線からの映像
信号が供給される画素電極と、前記ドレイン信号線の上
方で隣接する画素領域側のカラーフィルタと境界を有し
て形成される他の色のカラーフィルタとを備え、 前記各基板のうち他方の基板の液晶側の面に該基板面に
形成された支柱状のスペーサを備えることを特徴とする
液晶表示装置。
1. A plurality of gate signal lines arranged in parallel on a liquid crystal side surface of one of the substrates opposed to each other with a liquid crystal interposed therebetween and a plurality of gate signal lines arranged so as to intersect these gate signal lines. Drain signal lines are formed, and a pixel region surrounded by each of these signal lines is provided with a thin film transistor which operates by a scanning signal from the gate signal line and a pixel to which a video signal from the drain signal line is supplied via the thin film transistor. An electrode and a color filter of another color formed having a boundary with a color filter on the pixel region side adjacent above the drain signal line, and a liquid crystal side surface of the other substrate of the respective substrates. A liquid crystal display device comprising: a pillar-shaped spacer formed on the surface of the substrate.
【請求項2】 ドレイン信号線はブラックマトリクスの
機能を兼用させていることを特徴とする請求項1に記載
の液晶表示装置。
2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the drain signal line also has a function of a black matrix.
【請求項3】 支柱状のスペーサはその頂部が一方の基
板側に形成されたカラーフィルタの他の隣接するカラー
フィルタとの境界に位置づけられていることを特徴とす
る請求項1に記載の液晶表示装置。
3. The liquid crystal according to claim 1, wherein the pillar-shaped spacer has a top portion positioned at a boundary between another color filter adjacent to another color filter formed on one substrate side. Display device.
【請求項4】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち、一方の基板の液晶側の面に並設された複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設された複数
のドレイン信号線が形成され、 これら各信号線で囲まれた画素領域に、ゲート信号線か
らの走査信号によって作動する薄膜トランジスタと、こ
の薄膜トランジスタを介してドレイン信号線からの映像
信号が供給される画素電極と、前記ゲート信号線の上方
で隣接する画素領域側のカラーフィルタと境界を有して
形成される他の色のカラーフィルタとを備え、 前記各基板のうち他方の基板の液晶側の面に該基板面に
形成された支柱状のスペーサを備えることを特徴とする
液晶表示装置。
4. A plurality of gate signal lines arranged in parallel on a liquid crystal side surface of one of the substrates opposed to each other with a liquid crystal interposed therebetween and a plurality of gate signal lines arranged so as to intersect these gate signal lines. Drain signal lines are formed, and a pixel region surrounded by each of these signal lines is provided with a thin film transistor which operates by a scanning signal from the gate signal line and a pixel to which a video signal from the drain signal line is supplied via the thin film transistor. An electrode and a color filter of another color formed having a boundary with a color filter on the pixel area side adjacent above the gate signal line, and a surface of the other substrate on the liquid crystal side of the respective substrates. A liquid crystal display device comprising: a pillar-shaped spacer formed on the surface of the substrate.
【請求項5】 ゲート信号線はブラックマトリクスの機
能を兼用させていることを特徴とする請求項4に記載の
液晶表示装置。
5. The liquid crystal display device according to claim 4, wherein the gate signal line also has a function of a black matrix.
【請求項6】 支柱状のスペーサはその頂部が一方の基
板側に形成されたカラーフィルタの他の隣接するカラー
フィルタとの境界に位置づけられていることを特徴とす
る請求項4に記載の液晶表示装置。
6. The liquid crystal according to claim 4, wherein the pillar-shaped spacer has a top portion positioned at a boundary between another color filter adjacent to another color filter formed on one substrate side. Display device.
【請求項7】 支柱状のスペーサはそれが形成されてい
る他方の基板面に対する周側面のテーパの角度θの値
が0°から40°の範囲内に設定されていることを特徴
とする請求項1、4のうちいずれかに記載の液晶表示装
置。
7. The pillar-shaped spacer is characterized in that the value of the taper angle θ 1 of the peripheral side surface with respect to the other substrate surface on which it is formed is set within the range of 0 ° to 40 °. The liquid crystal display device according to claim 1.
【請求項8】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち、一方の基板の液晶側の面に並設された複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設された複数
のドレイン信号線が形成され、 これら各信号線で囲まれた画素領域に、ゲート信号線か
らの走査信号によって作動する薄膜トランジスタと、こ
の薄膜トランジスタを介してドレイン信号線からの映像
信号が供給される画素電極と、前記ドレイン信号線の上
方で隣接する画素領域側のカラーフィルタと境界を有し
て形成される他の色のカラーフィルタとを備え、 前記各基板のうち他方の基板の液晶側の面にイオンの通
過を遮断する膜を介して配向膜が形成されていることを
特徴とする液晶表示装置。
8. A plurality of gate signal lines arranged in parallel on a liquid crystal side surface of one of the substrates opposed to each other with a liquid crystal interposed therebetween, and a plurality of gate signal lines arranged crossing these gate signal lines. Drain signal lines are formed, and a pixel region surrounded by each of these signal lines is provided with a thin film transistor which operates by a scanning signal from the gate signal line and a pixel to which a video signal from the drain signal line is supplied via the thin film transistor. An electrode and a color filter of another color formed having a boundary with a color filter on the pixel region side adjacent above the drain signal line, and a liquid crystal side surface of the other substrate of the respective substrates. A liquid crystal display device characterized in that an alignment film is formed on the substrate through a film that blocks the passage of ions.
【請求項9】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち、一方の基板の液晶側の面に並設された複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設された複数
のドレイン信号線が形成され、 これら各信号線で囲まれた画素領域に、ゲート信号線か
らの走査信号によって作動する薄膜トランジスタと、こ
の薄膜トランジスタを介してドレイン信号線からの映像
信号が供給される画素電極と、前記ドレイン信号線の上
方で隣接する画素領域側のカラーフィルタと境界を有し
て形成される他の色のカラーフィルタとを備え、 前記各基板のうち他方の基板の液晶側の面にイオンの通
過を遮断する膜を介して配向膜が形成されていることを
特徴とする液晶表示装置。
9. A plurality of gate signal lines arranged in parallel on the liquid crystal side surface of one of the substrates opposed to each other with a liquid crystal in between, and a plurality of gate signal lines arranged crossing these gate signal lines. Drain signal lines are formed, and a pixel region surrounded by each of these signal lines is provided with a thin film transistor which operates by a scanning signal from the gate signal line and a pixel to which a video signal from the drain signal line is supplied via the thin film transistor. An electrode and a color filter of another color formed having a boundary with a color filter on the pixel region side adjacent above the drain signal line, and a liquid crystal side surface of the other substrate of the respective substrates. A liquid crystal display device characterized in that an alignment film is formed on the substrate through a film that blocks the passage of ions.
【請求項10】 イオンの通過を遮断する膜はSiN、
SiOあるいは有機材料層からなっていることを特徴
とする請求項8,9のうちいずれかに記載の液晶表示装
置。
10. The film for blocking the passage of ions is SiN,
10. The liquid crystal display device according to claim 8, wherein the liquid crystal display device is made of SiO 2 or an organic material layer.
【請求項11】 支柱状のスペーサはその頂部が一方の
基板側に形成されたカラーフィルタの前記ゲート信号線
上に形成された領域に位置づけられていることを特徴と
する請求項1もしくは4に記載の液晶表示装置。
11. The pillar-shaped spacer has a top portion thereof positioned in a region formed on the gate signal line of the color filter formed on one substrate side. Liquid crystal display device.
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