JP2003107235A - 転写フィルムの吸着方法及び転写フィルム吸着用の押さえ手段 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 転写フィルムを基板と良好に密着させ、その
転写フィルムをステージに吸着させる作業を容易かつ確
実に行える吸着方法を提供する。 【解決手段】 ステージ４上の基板１０をその基板１０
よりも大きな転写フィルム１１にて覆った後、押さえ板
２０とその外周を取り囲む密封部材２２とを有する押さ
え手段１８をステージ４上の転写フィルム１１に被せて
転写フィルム１１と基板１０とを押さえ手段１８内部の
密閉空間２４に収容し、密閉空間２４から空気を排気し
て押さえ板１８を転写フィルム１１に向けて弾性変形さ
せることにより転写フィルム１１を基板１０に押し付
け、転写フィルム１１の周縁部をステージ４に吸着す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱溶融型の着色剤
層が形成された転写フィルムをブラックマトリクス基板
に密着させ、部分的に熱転写することで液晶ディスプレ
イ用カラーフィルタを作成する場合等に好適な転写フィ
ルムを基板に密着させる為の吸着方法及びその為の押さ
え手段に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイ等のカラーフィルタの
基板に着色層を形成する方法としてレーザ転写法が提案
されている（例えば特開平１０−２０６６２５号公報、
特開平７−１０４１１３号公報参照）。レーザ転写法
は、フィルム状の基材に予め熱溶融型の着色剤を塗布し
て転写フィルムを形成し、その転写フィルムとカラーフ
ィルタの基板とを重ね合わせた状態で転写フィルムにレ
ーザビームを当てて着色剤を溶融させることにより、基
板に所望のパターンで着色剤を転写する方法である。

【０００３】上記のレーザ転写法においては、転写装置
のステージに載置された基板に対して、これを覆うよう
に転写フィルムを供給する必要がある。従来の供給方法
では、一回の転写に必要な寸法のフィルムをステージ上
に移送し、覆い被せた後にゴムローラ等を用いて密着さ
せていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記のレーザ転写法を
利用する場合、転写フィルムを隙間なく基板と密着させ
るとともに、基板や転写フィルムがずれないようにそれ
らをステージ上に確実に保持しておく必要がある。そこ
で、ステージの表面に開口する多数の吸着孔から空気を
吸引して基板をステージに吸着するとともに、転写フィ
ルムを基板よりも幾らか大きく形成し、基板からはみ出
た転写フィルムの周縁部を同様にステージに吸着するこ
とが試みられている。しかし、転写フィルムを皺や弛み
が生じないように注意しながら基板に被せてステージに
吸着する作業は難しく、その作業を容易かつ確実に行え
る吸着方法の開発が望まれていた。

【０００５】本発明は、転写フィルムを基板と良好に密
着させ、その転写フィルムをステージに吸着させる作業
を容易かつ確実に行える吸着方法及びその方法に実施に
適した押さえ手段を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】以下、本発明の吸着方法
について説明する。なお、本発明の理解を容易にするた
めに添付図面の参照符号を括弧書きにて付記するが、そ
れにより本発明が図示の形態に限定されるものではな
い。

【０００７】本発明は、ステージ（４）上の基板（１
０）をその基板よりも大きな転写フィルム（１１）にて
覆った後、前記転写フィルムの前記基板からはみ出た周
縁部（１１ａ）に前記ステージ側から吸着力を作用させ
て前記転写フィルムをステージ上に保持する転写フィル
ムの吸着方法であって、押さえ板（２０）とその外周を
取り囲む密封部材（２２）とを有する押さえ手段（１
８）を前記ステージ上の転写フィルムに被せて該転写フ
ィルムと前記基板とを押さえ手段内部の密閉空間（２
４）に収容する処理と、前記密閉空間から空気を排気し
て前記押さえ板を前記転写フィルムに向けて弾性変形さ
せることにより前記転写フィルムを前記基板に押し付け
る処理と、前記押さえ板にて前記転写フィルムを前記基
板に押し付けた状態で、前記転写フィルムの前記周縁部
を前記ステージに吸着する処理とを含むことを特徴とす
る転写フィルムの吸着方法により、上述した課題を解決
する。

【０００８】この吸着方法によれば、密閉空間から空気
を排気することにより、密閉空間の気圧が大気圧よりも
低くなり、それに伴って外周が密閉部材にて支持された
押さえ板は、その支持位置から最も離れた部分、すなわ
ち中央部から下方に撓み始める。その中央部の撓みによ
り、基板の中央部において転写フィルムが基板上に押し
付けられる。密閉空間の気圧が徐々に低くなるにつれ、
押さえ板の撓みが中央部から外周へ向かって徐々に拡大
し、それに伴って押さえ板が転写フィルムを基板上に押
し付ける部分も押さえ板の中央から外周へ徐々に拡大す
る。これにより、皺や弛みなく転写フィルムを基板と密
着させることができる。その後、押さえ板により転写フ
ィルムを基板全体に押し付けた状態で、転写フィルムを
ステージに吸着させるので、基板に押し付けられた転写
フィルムがその後にずれて皺や弛みを発生させるおそれ
がない。また、転写フィルムが基板に押し付けられる前
にステージに吸着されて皺や弛みを誘発するおそれもな
い。従って、転写フィルムを基板と密着させ、ステージ
に吸着させる作業を容易かつ確実に行うことができる。

【０００９】前記密閉部材は弾性体を構成要素としても
よい。この場合、押さえ板を大気圧によって弾性変形さ
せることにより転写フィルムを基板に対し密着させる過
程で、押さえ板を支持する密閉部材は押さえ板からの圧
縮荷重により弾性変形することとなる。よって、押さえ
板の外周でも転写フィルムを基板と密着させることがで
きる。従って押さえ板の面積を小さくし、押さえ手段を
小型化することができる。

【００１０】前記押さえ板は透過性を有していてもよ
い。これによって、押さえ手段にて転写フィルムを基板
に押し付けた状態で、転写フィルムに皺や弛みがあるか
否かを検査することができる。

【００１１】前記転写フィルムの前記周縁部を前記ステ
ージに吸着した後に、前記押さえ板を前記ステージから
取り外し可能としてもよい。これによって、基板上に皺
や弛みなく密着された転写フィルムにレーザービームを
照射するなどの処理を行うことができる。

【００１２】本発明の吸着方法において、一対のロール
（１４，１５）に前記転写フィルムを巻き掛けてそれら
のロール間には前記基板を覆うに必要な長さの転写フィ
ルムを繰り出し、その繰り出された転写フィルムにて前
記基板を覆った後に前記押さえ手段を前記繰り出された
転写フィルムに被せてもよい。

【００１３】この場合には、未使用の転写フィルムを一
方のロールから繰り出しつつ他方のロールに使用済みの
転写フィルムを巻き取る処理と、押さえ手段を繰り出さ
れた転写フィルムに被せる処理とを交互に繰り返すこと
により、複数の基板に対して繰り返し本発明の吸着方法
を適用することができる。

【００１４】前記押さえ手段を前記繰り出された転写フ
ィルムに被せる前に、前記ロール間に繰り出された転写
フィルムに張力を付加してもよい。この場合には、押さ
え手段にて転写フィルムを基板を押し付ける前に転写フ
ィルムが基板に沿って張り渡された状態になり、押さえ
手段による転写フィルムの押し付けをスムーズに行うこ
とができる。

【００１５】本発明の転写フィルム（１１）吸着用の押
さえ手段（１８）は、ステージ（４）上の基板（１０）
と対向配置される押さえ板（２０）と、その押さえ板の
外周を取り囲むように配置され、前記基板よりも外側に
て前記ステージと密着可能な密封部材（２２）とを有
し、前記ステージへの搭載時に前記押さえ板及び前記密
封部材の内側に生成される密封空間（２４）から空気を
排気するための排気孔（２３）がいずれかの部位に形成
されていることを特徴とする。

【００１６】この押さえ手段をステージ上の転写フィル
ムに被せ、排気孔から空気を排気することにより、本発
明の吸着方法に従って転写フィルムを基板に押し付ける
ことができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図７を参照して本発
明の一実施形態を説明する。図７は液晶ディスプレイの
カラーフィルタを作成する際のガラス基板（ブラックマ
トリクス基板）に着色層を形成する為の転写装置１の全
体構成を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図であ
る。転写装置１は、ベッド２と、門型のコラム３と、ス
テージ４とを有している。ステージ４は直線案内装置５
を介してベッド２に取り付けられて水平面内の所定の軸
方向（図７（ａ）に矢印で示す方向。）に沿って段取り
位置Ｐ１とコラム３の直下の転写位置Ｐ２との間を移動
可能である。段取り位置Ｐ１では基板１０の載せ替え等
の段取り作業が行われる。

【００１８】コラム３にはレーザ照射部６が取り付けら
れている。レーザ照射部６は転写位置Ｐ２に送られたス
テージ４に向かってレーザビームを照射する。レーザ照
射部６は、水平面内でステージ４の移動方向と直交する
方向にレーザビームを走査する機能を有している。転写
装置１は、レーザ照射部６におけるレーザビームの走査
とステージ４の移動との組み合わせによってステージ４
上の任意の位置にレーザビームを照射可能である。な
お、ステージ４は一枚の基板１０を搭載するに適した大
きさに設計されている。

【００１９】図１は、転写装置１のステージ４に載置さ
れた一枚の基板１０の上に転写フィルム１１を供給する
方法の一例を示している。この例においては、転写フィ
ルム１１がカートリッジ１２に収容されており、そのカ
ートリッジ１２がそのままステージ４に搭載されて基板
１０上に転写フィルム１１が供給される。転写フィルム
１１には、例えば基板１０に形成すべき３原色（Ｒ，
Ｇ，Ｂ）の着色層のうちいずれか１色の着色層に対応し
た熱溶融型の着色剤が予め定着される。基板１０上に供
給された転写フィルム１１の上方には、転写フィルム１
１を基板１０と密着させるために、押さえ手段として、
ガラス板２０と、その外周の外枠２１と、パッキン２２
とを有する押さえユニット１８が配置される。なお、ス
テージ４上におけるパッキン２２の位置を想像線２２ａ
で示す。

【００２０】図２（ａ）はステージ４上に配置されたカ
ートリッジ１２及び押さえユニット１８を上方から見た
図であり、図２（ｂ）はその断面図である。カートリッ
ジ１２は互いに平行に配置された一対の板状のフレーム
１３，１３を有している。フレーム１３，１３の一端側
には供給ロール１４が取り付けられ、フレーム１３の他
端側には巻取ロール１５が取り付けられている。各ロー
ル１４，１５は互いに平行な軸線の回りに回転自在であ
る。

【００２１】各ロール１４，１５の間には、ステージ４
に載置される基板１０の長さよりも長いスペース１６が
確保されている。転写フィルム１１に対するレーザビー
ムの照射と転写フィルム１１から基板１０へのパターン
の転写とを可能とするためにスペース１６の上下は開放
されている。つまり、レーザビームの導入用の開口部
と、転写フィルム１１と基板１０とを密着させるための
開口部とがカートリッジ１２の上下に設けられている。

【００２２】カートリッジ１２の使用開始前の初期状態
において、供給ロール１４には多数枚（例えば１００〜
４００枚）の基板１０の転写に対応可能な長さの転写フ
ィルム１１が巻き付けられている。これによりフレーム
１３の一端側に転写フィルム１１の供給部１２ａが構成
される。供給ロール１４から引き出された転写フィルム
１１はカートリッジ１２の下端に沿って真っ直ぐに伸ば
された上で巻取ロール１５に巻き取られている。これに
よりフレーム１３の他端側に転写フィルム１１の回収部
１２ｂが構成される。そして、供給部１２ａと回収部１
２ｂとの間に転写フィルム１１の繰り出し部１２ｃが構
成される。

【００２３】繰り出し部１２ｃに繰り出されている転写
フィルム１１の長さは基板１０よりも長い。また、転写
フィルム１１の幅は基板１０の幅よりも大きい。このた
め、転写装置１の段取り位置Ｐ１にて、ステージ４に基
板１０を載置し、その上から繰り出し部１２ｃを下にし
てカートリッジ１２をステージ４に載せることにより、
基板１０を繰り出し部１２ｃの転写フィルム１１にて完
全に覆うことができる。そして、基板１０を覆う転写フ
ィルム１１の幅方向の両側部１１ａ、１１ａ（図２参
照）は基板１０よりもはみ出る。なお、ここでいう幅と
は、ロール１４，１５の軸線と平行な方向の寸法を意味
する。

【００２４】カートリッジ１２を載せたままステージ４
を転写位置Ｐ２まで移動させながらレーザ照射部６から
転写フィルム１１にレーザビームを照射することによ
り、基板１０に転写フィルム１１上の着色剤等の被転写
物質を基板１０に転写することができる。

【００２５】なお、カートリッジ１２の全長はステージ
４の全長より大きくてもよいし、小さくてもよい。但
し、ステージ４の負荷を軽減するため、カートリッジ１
２は可能な限り小型かつ軽量に構成することが望まし
い。

【００２６】前記のように押さえユニット１８は、ガラ
ス板２０と、その外周に設けられた外枠２１と、パッキ
ン２２とを備えており、ガラス板２０が押さえ板に、パ
ッキン２２が密封部材にそれぞれ相当する。ガラス板２
０は、転写フィルム１１を基板１０全体に押し付けるた
めに、基板１０の長さよりも長く、基板１０の幅よりも
大きい。また、ガラス板２０に代えて、アクリル等を用
いて押さえ板を構成してもよい。外枠２１はアルミニウ
ム等の金属材料を矩形の枠状に形成したものである。ガ
ラス板２０は外枠２１の下面側に固定されている。パッ
キン２２も外枠２１の下面に固定されている。パッキン
２２の下端はガラス板２０よりも下方に突出する。この
ため、パッキン２２をステージ４に載置したとき、ステ
ージ４と押さえユニット１８との間には基板１０を収容
する密閉空間２４が形成される。このときの基板１０と
ガラス板２０とのクリアランスは、０．１〜１．０ｍｍ
が好適である。パッキン２２は例えばウレタン系のゴム
等を加工して形成される。パッキン２２は、密閉空間２
４の気圧を所定値まで下げたとき、ガラス板２０が基板
１０全体に押し付けられるまで変形し、かつ、密閉空間
２４の気圧をその所定値まで下げていく過程では、ガラ
ス板２０が湾曲しないまま基板１０に押し付けられるほ
ど変形しない弾性を有する。図３に示すように、外枠２
１には、密閉空間２４から空気を排気するための排気孔
２３が設けられる。排気孔２３は真空ポンプと連結され
ている。排気孔２３の個数は一以上の任意の数に設定し
てよい。なお、図３は押さえユニット１３を上下に反転
させて示してる。

【００２７】図１に示すように、ステージ４の基板１０
（図１に想像線１０ａで示す。）よりも外側の領域には
吸着孔１９…１９が列をなして形成されている。これら
の吸着孔１９は真空ポンプと連結されている。各吸着孔
１９から空気を吸い込むことにより転写フィルム１１を
基板１０と密着した状態でステージ４上に保持すること
ができる。また、吸着孔１９…１９は転写フィルムがガ
ラス板２０によって押し付けられる範囲内に設ける。こ
れにより、転写フィルム１１を吸着孔１９…１９によっ
て吸着した後、転写フィルム１１にレーザービームを当
てるために排気孔２３の排気を解除し、押さえユニット
１８を転写フィルム１１上から取り除いても、ガラス板
２０に押し付けられた範囲外にある皺や弛みによって、
基板１０上の範囲にある転写フィルム１１に皺や弛みが
生じることがない。ステージ４には基板１０を吸着する
ための吸着孔も設けられるが、その図示は省略した。

【００２８】図４及び図５は、転写フィルム１１をステ
ージ４に吸着させる手順を示している。本実施形態にお
いては、まず、カートリッジ１２の繰り出し部１２ｃに
繰り出されている転写フィルム１１上に押さえユニット
１８を配置する（図４（ａ）参照）。次に、押さえユニ
ット１８が基板１０を収容するようにカートリッジ１２
をステージ４に搭載する（図４（ｂ）参照）。なお、カ
ートリッジ１２をステージ４上に搭載してから、押さえ
ユニット１８をカートリッジ１２の繰り出し部１２ｃに
繰り出されている転写フィルム１１上に配置してもよ
い。

【００２９】この後、図４（ｃ）に矢印Ｓで示すよう
に、外枠２１の排気孔２３から徐々に空気を排気する。
その結果、密閉空間２４の気圧が大気圧より低くなり、
外周を外枠２１及びパッキン２２によって支持されてい
るガラス板２０は、上方からの大気圧によって下方に湾
曲するように撓む。この場合、支持されている外周から
最も離れた部分、すなわち押さえ板の中央部が最も撓み
が大きく、その中央部において最初に転写フィルムが基
板上に押し付けられる。さらに、密閉空間の気圧が徐々
に低くなるにつれ、転写フィルムを基板上に押し付けて
いる部分は押さえ板の中央から外周へ徐々に広がる。

【００３０】このガラス板２０の変形する過程の概念を
３次元で示すと図６のようになる。図６（ａ）に示すよ
うに、密閉空間２４の気圧と大気圧が等しいときはガラ
ス板２０は平面である。密閉空間２４の空気を排気して
気圧を下げていくと、ガラス板２０は大気圧によって、
ガラス板２０の中央を最下点として湾曲し始める（図６
（ｂ））。更に気圧が下がると、ガラス板２０の中央が
転写フィルム１１を介して基板１０に接触する。すなわ
ち、転写フィルム１１を基板１０に押し付ける。転写フ
ィルム１１を基板１０に押し付けた部分は、密閉空間２
４の気圧の低下に伴い、図６（ｃ）に示すように徐々に
中央から外周に向かって広がってゆく。これによって、
中央から外周に向かって皺や弛みをなくすように転写フ
ィルム１１を基板１０と密着させることができる。ガラ
ス板２０は転写フィルム１１を基板１０に対し密着させ
つつ自己を支持するパッキン２２を圧縮荷重によって弾
性変形させており、密閉空間２４が十分に排気されると
転写フィルム１１を基板１０全体と密着させた状態で平
面となる（図６（ｄ）参照）。

【００３１】このようにガラス板２０にて転写フィルム
１１を基板１０全体に対し密着させた後、図５（ａ）に
示すように、吸着孔１９…１９から空気を吸い込む。こ
れにより転写フィルム１１を基板１０と密着した状態で
ステージ４上に保持することができる。転写フィルム１
１をステージ４に吸着した後は、密封空間２４を大気圧
に開放し、その後、転写フィルム１１にレーザービーム
を当てるために、押さえユニット１８を転写フィルム１
１上から取り除く（図５（ｂ））。

【００３２】吸着完了後は図７のレーザ照射部６からレ
ーザビームが照射されて着色層の転写が開始される。転
写終了後はステージ４への転写フィルム１１の吸着を停
止し、カートリッジ１２をステージ４から取り外して別
の色のカートリッジ１２をステージ４に供給し、以下同
様手順でフィルムを吸着する。ステージ４に対してＲ，
Ｇ，Ｂの３色のカートリッジ１２を交互に載せ代えて３
回の転写を行うことにより一枚の基板１０に対する着色
層の形成が完了する。なお、同一カートリッジ１２をス
テージ４に載せたまま転写を続行する場合には、一回の
転写終了後に一旦吸着を解除し、フィルム１１を一回の
転写で使用する長さだけ供給ロール１４から巻取ロール
１５に送り、押さえユニット１８を配置した後、密閉空
間２４から空気を排気する処理を行えばよい。

【００３３】本発明は以上の実施形態に限定されず、種
々の形態にて実施してよい。例えば押さえ板はガラス板
に限らず、密封空間からの排気に伴って下方に撓むこと
ができる弾性を有していれば、ガラス以外の弾性材料に
て形成してよい。外枠２１を省略し、押さえ板と密封部
材のみで押さえ手段を構成してもよい。押さえ手段とス
テージとの間に形成される密封空間からの排気は、ステ
ージ側の排気孔を利用して行ってもよい。

【００３４】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の吸着方
法によれば、押さえ板をその中央部から外周に向かって
徐々に基板側に撓み変形させることにより、基板に被せ
られた転写フィルムを基板の中央部から外周部に向かっ
て徐々に基板に押し付けることができるから、皺や弛み
を発生させることなく転写フィルムを基板と密着させる
ことができる。その後、押さえ板により転写フィルムを
基板全体に押し付けた状態で、転写フィルムをステージ
に吸着させることにより、基板に押し付けられた転写フ
ィルムがずれないようにして転写フィルムの周縁部をス
テージに吸着して転写フィルムの皺や弛みの発生を確実
に防止することができる。また、転写フィルムが基板に
押し付けられる前にステージに吸着されて皺や弛みを誘
発するおそれもない。従って、転写フィルムを基板と密
着させ、ステージに吸着させる作業を容易かつ確実に行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の方法により転写装置のステージに載置
された一枚の基板上に転写フィルムを供給する実施形態
を示す斜視図。

【図２】ステージ上に配置されたカートリッジ及び押さ
えユニットの様子を示す図。

【図３】押さえユニットを裏返し状態にて示す斜視図。

【図４】本発明により転写フィルムを吸着する手順を示
す図。

【図５】図４に続いて転写フィルムを吸着する手順を示
す図。

【図６】押さえ板が変形する過程を示す概念図。

【図７】転写装置の一例を示す図。

【符号の説明】

１ 転写装置 ４ ステージ ６ レーザ照射部 １０ 基板 １１ 転写フィルム １１ａ 転写フィルムの周縁部 １２ カートリッジ １２ａ 供給部 １２ｂ 回収部 １２ｃ 繰り出し部 １３ フレーム １４ 供給ロール １５ 巻取ロール １８ 押さえユニット（押さえ手段） １９ 吸着孔 ２０ ガラス板（押さえ板） ２１ 外枠 ２２ パッキン（密閉部材） ２３ 排気孔 ２４ 密閉空間

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 謙作 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 高橋 達見 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 2H048 BA43 BB02 2H091 FA02Y FA35Y FD15 LA12

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ステージ上の基板をその基板よりも大き
   な転写フィルムにて覆った後、前記転写フィルムの前記
   基板からはみ出た周縁部に前記ステージ側から吸着力を
   作用させて前記転写フィルムをステージ上に保持する転
   写フィルムの吸着方法であって、 押さえ板とその外周を取り囲む密封部材とを有する押さ
   え手段を前記ステージ上の転写フィルムに被せて該転写
   フィルムと前記基板とを押さえ手段内部の密閉空間に収
   容する処理と、 前記密閉空間から空気を排気して前記押さえ板を前記転
   写フィルムに向けて弾性変形させることにより前記転写
   フィルムを前記基板に押し付ける処理と、 前記押さえ板にて前記転写フィルムを前記基板に押し付
   けた状態で、前記転写フィルムの前記周縁部を前記ステ
   ージに吸着する処理と、を含むことを特徴とする転写フ
   ィルムの吸着方法。
2. 【請求項２】 前記密閉部材は弾性体を構成要素とする
   ことを特徴とする請求項１に記載の転写フィルムの吸着
   方法。
3. 【請求項３】 前記押さえ板は透過性を有することを特
   徴とする請求項１又は請求項２に記載の転写フィルムの
   吸着方法。
4. 【請求項４】 前記転写フィルムの前記周縁部を前記ス
   テージに吸着した後に、前記押さえ板を前記ステージか
   ら取り外し可能としたことを特徴とする請求項１〜３の
   いずれかに記載の転写フィルムの吸着方法。
5. 【請求項５】 一対のロールに前記転写フィルムを巻き
   掛けてそれらのロール間には前記基板を覆うに必要な長
   さの転写フィルムを繰り出し、その繰り出された転写フ
   ィルムにて前記基板を覆った後に、前記押さえ手段を前
   記繰り出された転写フィルムに被せることを特徴とする
   請求項１〜４のいずれかに記載の転写フィルムの吸着方
   法。
6. 【請求項６】 前記押さえ手段を前記繰り出された転写
   フィルムに被せる前に、前記ロール間に繰り出された転
   写フィルムに張力を付加することを特徴とする請求項５
   に記載の転写フィルムの吸着方法。
7. 【請求項７】 ステージ上の基板と対向配置される押さ
   え板と、その押さえ板の外周を取り囲むように配置さ
   れ、前記基板よりも外側にて前記ステージと密着可能な
   密封部材とを有し、前記ステージへの搭載時に前記押さ
   え板及び前記密封部材の内側に生成される密封空間から
   空気を排気するための排気孔がいずれかの部位に形成さ
   れていることを特徴とする転写フィルム吸着用の押さえ
   手段。