JP2003072916A - 保管装置 - Google Patents
保管装置Info
- Publication number
- JP2003072916A JP2003072916A JP2001262161A JP2001262161A JP2003072916A JP 2003072916 A JP2003072916 A JP 2003072916A JP 2001262161 A JP2001262161 A JP 2001262161A JP 2001262161 A JP2001262161 A JP 2001262161A JP 2003072916 A JP2003072916 A JP 2003072916A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage
- physical distribution
- distribution equipment
- storage unit
- transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、受渡装置の周囲に保管装置を配置す
ることにより、受渡装置の移動スペースを最小限に抑制
し、限られた保管スペース内に従来の自動保管装置に比
べてより多くの物流機器を保管することを可能にし、且
つ、物流機器の受渡時間を短縮することができる保管装
置を提供することを目的とする。 【解決手段】本発明は、移送装置を囲むように複数の保
管棚が配置され、且つ移送装置と保管棚に配設された回
転テーブル上に物流機器が保管すされる。これにより物
流機器の収納密度を高めることができ、且つ物流機器の
受渡時間を短縮することができる。
ることにより、受渡装置の移動スペースを最小限に抑制
し、限られた保管スペース内に従来の自動保管装置に比
べてより多くの物流機器を保管することを可能にし、且
つ、物流機器の受渡時間を短縮することができる保管装
置を提供することを目的とする。 【解決手段】本発明は、移送装置を囲むように複数の保
管棚が配置され、且つ移送装置と保管棚に配設された回
転テーブル上に物流機器が保管すされる。これにより物
流機器の収納密度を高めることができ、且つ物流機器の
受渡時間を短縮することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程に
おいてワークを収納した物流機器を保管するための保管
装置に関する。
おいてワークを収納した物流機器を保管するための保管
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造に用いるクリーンルームで
は、ウェハーなどの中間製品を物流機器に収容して搬送
し、保管装置に保管する。図３（ａ）に保管装置の構造
を簡略化して示した簡略平面構造図を示す。保管装置１
００は、物流機器１０１を保管するための保管棚１０２
と、保管棚１０２へ物流機器１０１を移送するための移
送装置１０３及び移送装置１０３に物流機器１０１を搬
入する搬入装置１０４から構成される。物流機器１０１
を保管するための保管棚１０２は平行に対面するように
配置され、その間の移動スペース１０８を移送装置１０
３が移動することにより、保管棚１０２の保管部１０７
へ物流機器１０１が移送される。このとき、移送装置１
０３が所定の位置に移動することにより、保管棚１０２
の所定の位置の保管部１０７に物流機器１０１が移送さ
れる。
は、ウェハーなどの中間製品を物流機器に収容して搬送
し、保管装置に保管する。図３（ａ）に保管装置の構造
を簡略化して示した簡略平面構造図を示す。保管装置１
００は、物流機器１０１を保管するための保管棚１０２
と、保管棚１０２へ物流機器１０１を移送するための移
送装置１０３及び移送装置１０３に物流機器１０１を搬
入する搬入装置１０４から構成される。物流機器１０１
を保管するための保管棚１０２は平行に対面するように
配置され、その間の移動スペース１０８を移送装置１０
３が移動することにより、保管棚１０２の保管部１０７
へ物流機器１０１が移送される。このとき、移送装置１
０３が所定の位置に移動することにより、保管棚１０２
の所定の位置の保管部１０７に物流機器１０１が移送さ
れる。
【０００３】また、図３（ｂ）は保管装置１００の断面
構造を簡略化して示した簡略断面構造図であり、保管棚
１０２にはその高さ方向に複数のテーブル１０９が設け
られ、その上に保管部１０７がテーブル１０９の長手方
向に沿って配列される。移送装置１０３に配設された回
転テーブル１０６が上下に移動することにより、保持台
１０５が高さ方向に移動する。保持台１０５上の物流機
器１０１がその保管先である保管部１０７と同じ高さに
到達すると、保管部１０７に物流機器１０１を移送でき
る向きに回転テーブル１０６が回転し、物流機器１０１
が所定の保管部１０７に移送される。また、保管部１０
７から物流機器１０１を取り出す際にも、回転テーブル
１０６が回転し、保持台１０５が所定の保管部１０７の
高さに移動され、物流機器１０１が保管棚１０２の保管
部１０７から移送装置１０３に移送される。
構造を簡略化して示した簡略断面構造図であり、保管棚
１０２にはその高さ方向に複数のテーブル１０９が設け
られ、その上に保管部１０７がテーブル１０９の長手方
向に沿って配列される。移送装置１０３に配設された回
転テーブル１０６が上下に移動することにより、保持台
１０５が高さ方向に移動する。保持台１０５上の物流機
器１０１がその保管先である保管部１０７と同じ高さに
到達すると、保管部１０７に物流機器１０１を移送でき
る向きに回転テーブル１０６が回転し、物流機器１０１
が所定の保管部１０７に移送される。また、保管部１０
７から物流機器１０１を取り出す際にも、回転テーブル
１０６が回転し、保持台１０５が所定の保管部１０７の
高さに移動され、物流機器１０１が保管棚１０２の保管
部１０７から移送装置１０３に移送される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の保管装置では、
移送装置が水平方向に移動するための移動スペースが必
要になり、移送装置と保管部の間で物流機器が受渡され
ている間は、移送装置が移動するために使用される移動
スペースは全く利用されないスペースになってしまう。
特に、半導体製造工程では、生産性を高めるためにシリ
コンウェハーなどの中間製品のサイズが大型化した場合
には、シリコンウェハーを収納する物流機器を一時的に
保管するスペースが大きくなる。
移送装置が水平方向に移動するための移動スペースが必
要になり、移送装置と保管部の間で物流機器が受渡され
ている間は、移送装置が移動するために使用される移動
スペースは全く利用されないスペースになってしまう。
特に、半導体製造工程では、生産性を高めるためにシリ
コンウェハーなどの中間製品のサイズが大型化した場合
には、シリコンウェハーを収納する物流機器を一時的に
保管するスペースが大きくなる。
【０００５】さらに、保管棚の所定の位置で物流機器を
受渡するためには、移送装置が移動することが必要であ
ることから、移送装置が移動する時間だけ物流機器の受
渡に時間がかかってしまう。
受渡するためには、移送装置が移動することが必要であ
ることから、移送装置が移動する時間だけ物流機器の受
渡に時間がかかってしまう。
【０００６】よって、本発明は、移送装置を中心として
その周囲に保管棚を配置することにより、移送装置の移
動距離を最小限に抑制し、これまで移送装置が移動する
ために使用されていた移動スペースをほとんど必要とす
ることなく、クリーンルーム内の限られた保管スペース
内に従来の保管装置に比べてより多くの物流機器を保管
することを可能にし、且つ、物流機器の受渡時間を短縮
することができる保管装置を提供することを目的とす
る。
その周囲に保管棚を配置することにより、移送装置の移
動距離を最小限に抑制し、これまで移送装置が移動する
ために使用されていた移動スペースをほとんど必要とす
ることなく、クリーンルーム内の限られた保管スペース
内に従来の保管装置に比べてより多くの物流機器を保管
することを可能にし、且つ、物流機器の受渡時間を短縮
することができる保管装置を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の保管装置は、物
流機器を保管するための保管部と、前記保管部へ前記物
流機器を移送する移送機構とを有し、複数の前記保管部
が前記移送機構を中心としてその周囲に配置されている
ことを特徴とする。
流機器を保管するための保管部と、前記保管部へ前記物
流機器を移送する移送機構とを有し、複数の前記保管部
が前記移送機構を中心としてその周囲に配置されている
ことを特徴とする。
【０００８】保管棚は移送装置を囲むように複数配置さ
れ、移送装置が保管棚の所定の位置に移動することな
く、物流機器を移送することができる。移送装置の移動
スペースを省くことができるので、保管装置の設置面積
を小さくすることができ、設置面積に対して保管するこ
とができる物流機器の収納密度を高めることができる。
れ、移送装置が保管棚の所定の位置に移動することな
く、物流機器を移送することができる。移送装置の移動
スペースを省くことができるので、保管装置の設置面積
を小さくすることができ、設置面積に対して保管するこ
とができる物流機器の収納密度を高めることができる。
【０００９】また、保管棚には回転テーブルが設けら
れ、物流機器を保管する保管部は回転テーブルの周方向
に複数配列されている。回転テーブルを回転させること
により保管部の位置を変えることができ、移送装置と対
面するように保管部を移動させることにより移送装置と
保管部の間で物流機器の受け渡しを行うことができる。
さらに、保管棚には、その高さ方向に複数の回転テーブ
ルを配設することができ、それぞれの回転テーブルを独
立に回転させることができ、物流機器の収納密度を高め
ることができる。移送装置と保管棚の間で物流機器を受
け渡しする際に、予め保管部を移送装置と対面する位置
に移動させておくことにより、物流機器を容易に受け渡
しすることができ、且つ受け渡しに要する時間を短縮す
ることができる。
れ、物流機器を保管する保管部は回転テーブルの周方向
に複数配列されている。回転テーブルを回転させること
により保管部の位置を変えることができ、移送装置と対
面するように保管部を移動させることにより移送装置と
保管部の間で物流機器の受け渡しを行うことができる。
さらに、保管棚には、その高さ方向に複数の回転テーブ
ルを配設することができ、それぞれの回転テーブルを独
立に回転させることができ、物流機器の収納密度を高め
ることができる。移送装置と保管棚の間で物流機器を受
け渡しする際に、予め保管部を移送装置と対面する位置
に移動させておくことにより、物流機器を容易に受け渡
しすることができ、且つ受け渡しに要する時間を短縮す
ることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の保管装置について、図面
を用いて詳細に説明する。図１、図２は本発明の保管装
置の構造を簡略化して示した概略構造図であり、図１
（ａ）、図２（ａ）は平面構造図であり、図１（ｂ）、
図２（ｂ）は平面構造図のａ−ａ'線断面の断面構造図
である。
を用いて詳細に説明する。図１、図２は本発明の保管装
置の構造を簡略化して示した概略構造図であり、図１
（ａ）、図２（ａ）は平面構造図であり、図１（ｂ）、
図２（ｂ）は平面構造図のａ−ａ'線断面の断面構造図
である。
【００１１】保管装置１は、ワークが収納された物流機
器２を保管する保管棚５、物流機器２を保管棚５に移送
するための移送機構を備える移送ロボット６から構成さ
れる。まず、移送ロボット６に物流機器２を受け渡しす
る搬出ロボット７から移送ロボット６に物流機器２が受
け渡される。搬出ロボット７は複数の物流機器２を搭載
することができる。物流機器２は、製造工程で製造され
る製品及びその中間製品でありワークを収納するボック
スである。例えば、半導体製造工程では、半導体素子の
中間製品であるウェハーなどを収納するボックスであ
る。物流機器２はワークを一旦それに収納した後、次工
程に移動させる場合や、そのまま製品を保管するためな
どに使用される。また、搬出ロボット７を介さずに、作
業者が直接移送ロボット６に物流機器２を受渡しするこ
ともできる。
器２を保管する保管棚５、物流機器２を保管棚５に移送
するための移送機構を備える移送ロボット６から構成さ
れる。まず、移送ロボット６に物流機器２を受け渡しす
る搬出ロボット７から移送ロボット６に物流機器２が受
け渡される。搬出ロボット７は複数の物流機器２を搭載
することができる。物流機器２は、製造工程で製造され
る製品及びその中間製品でありワークを収納するボック
スである。例えば、半導体製造工程では、半導体素子の
中間製品であるウェハーなどを収納するボックスであ
る。物流機器２はワークを一旦それに収納した後、次工
程に移動させる場合や、そのまま製品を保管するためな
どに使用される。また、搬出ロボット７を介さずに、作
業者が直接移送ロボット６に物流機器２を受渡しするこ
ともできる。
【００１２】移送ロボット６は、保管棚５に配設された
回転テーブル４上の保管部３に物流機器２を移送する役
割を有する。移送ロボット６には回転テーブル８が配設
され、回転テーブル８上には物流機器２を保持する保持
台９が配設されている。回転テーブル８はその周方向に
自在に回転することができる。回転テーブル８が回転す
ることにより、その上に設けられた保持台９の向きを回
転テーブル８の周方向に自在に変えることができるの
で、物流機器２の移送先である所定の保管部３に保持台
９の搬出側１０を対面させることができる。
回転テーブル４上の保管部３に物流機器２を移送する役
割を有する。移送ロボット６には回転テーブル８が配設
され、回転テーブル８上には物流機器２を保持する保持
台９が配設されている。回転テーブル８はその周方向に
自在に回転することができる。回転テーブル８が回転す
ることにより、その上に設けられた保持台９の向きを回
転テーブル８の周方向に自在に変えることができるの
で、物流機器２の移送先である所定の保管部３に保持台
９の搬出側１０を対面させることができる。
【００１３】保管棚５には、円形の回転テーブル４が配
設される。本実施形態では、物流機器２を保管するため
の保管部３が回転テーブル４の周方向に複数配置され
る。保管部３の形状は、物流機器２の形状、大きさに基
づいて適用な形状のものを使用することができる。ま
た、保管部３は回転テーブル４の周方向に配置されるに
限定されず、回転テーブル４上の所要の位置に配設され
る。回転テーブル４が回転することにより、移送ロボッ
ト６と保管部３の間で物流機器２の受渡が可能な位置に
保管部３が配置されていれば良い。
設される。本実施形態では、物流機器２を保管するため
の保管部３が回転テーブル４の周方向に複数配置され
る。保管部３の形状は、物流機器２の形状、大きさに基
づいて適用な形状のものを使用することができる。ま
た、保管部３は回転テーブル４の周方向に配置されるに
限定されず、回転テーブル４上の所要の位置に配設され
る。回転テーブル４が回転することにより、移送ロボッ
ト６と保管部３の間で物流機器２の受渡が可能な位置に
保管部３が配置されていれば良い。
【００１４】移送ロボット６の周囲には、移送ロボット
６を中心とし、それを囲むように保管棚５が複数配置さ
れる。保管棚が互いに平行に対面するように配置される
場合と異なり、移送ロボット６の周りに保管棚５を配置
することにより、移送ロボット６が殆ど移動することな
く、物流機器２を保管棚５との間で受け渡しすることが
できる。保管棚５から移送ロボット６に物流機器２を取
り出す際にも、移送ロボット６が殆ど移動することなく
保管棚５から物流機器２を取り出すことができる。
６を中心とし、それを囲むように保管棚５が複数配置さ
れる。保管棚が互いに平行に対面するように配置される
場合と異なり、移送ロボット６の周りに保管棚５を配置
することにより、移送ロボット６が殆ど移動することな
く、物流機器２を保管棚５との間で受け渡しすることが
できる。保管棚５から移送ロボット６に物流機器２を取
り出す際にも、移送ロボット６が殆ど移動することなく
保管棚５から物流機器２を取り出すことができる。
【００１５】保管棚５には、回転テーブル４が保管棚５
の高さ方向に複数配置されている。各回転テーブル４上
には物流機器２を保管するための保管部３がその周方向
に複数配置されている。本実施形態では、保管部３の形
状は、略四角形状であり、物流機器２が安定して搭載さ
れるように物流機器２の搭載部分がその周りの側面部分
より低くなっている。また、本実施形態に限定されず、
保管部３の形状は搭載する物流機器２の形状、及び大き
さに基づいて、適用な形状にすることができる。更に、
回転テーブル４上において高い密度で物流機器２が搭載
できるような形状のものとすることもできる。
の高さ方向に複数配置されている。各回転テーブル４上
には物流機器２を保管するための保管部３がその周方向
に複数配置されている。本実施形態では、保管部３の形
状は、略四角形状であり、物流機器２が安定して搭載さ
れるように物流機器２の搭載部分がその周りの側面部分
より低くなっている。また、本実施形態に限定されず、
保管部３の形状は搭載する物流機器２の形状、及び大き
さに基づいて、適用な形状にすることができる。更に、
回転テーブル４上において高い密度で物流機器２が搭載
できるような形状のものとすることもできる。
【００１６】また、図１（ｂ）に示すように、保管棚５
には、その高さ方向に複数の回転テーブル４が配設さ
れ、回転テーブル４毎に保管部３が配置される。移送ロ
ボット６に設けられる回転テーブル８は上下に移動する
ことができるので、最下段の位置で搬出ロボット７から
渡された物流機器２の位置を上下に移動させることがで
きる。物流機器２は、保管先である保管部３が配設され
た回転テーブル４の高さに位置決めされた後、所定の保
管部３に移送される。
には、その高さ方向に複数の回転テーブル４が配設さ
れ、回転テーブル４毎に保管部３が配置される。移送ロ
ボット６に設けられる回転テーブル８は上下に移動する
ことができるので、最下段の位置で搬出ロボット７から
渡された物流機器２の位置を上下に移動させることがで
きる。物流機器２は、保管先である保管部３が配設され
た回転テーブル４の高さに位置決めされた後、所定の保
管部３に移送される。
【００１７】さらに、回転テーブル４はそれぞれが独立
に回転することができ、回転テーブル４が独立に回転す
ることにより、物流機器２が移送される保管部３を移送
ロボット６と対面する位置に移動させることができる。
また、保管部３から移送ロボット６に物流機器２を取り
出す際にも、移送ロボット６が物流機器２を受け取るこ
とが出来るように回転テーブル４を回転させ、所定の保
管部３を移送ロボット６と対面する位置に移動させるこ
とができる。更に、移送ロボット６の周囲に、移送ロボ
ット６を中心として複数の保管棚５を配置することによ
り、移送ロボット６がほとんど移動することなく、所定
の保管部３との間で物流機器２の受け渡しを容易に行う
ことができる。
に回転することができ、回転テーブル４が独立に回転す
ることにより、物流機器２が移送される保管部３を移送
ロボット６と対面する位置に移動させることができる。
また、保管部３から移送ロボット６に物流機器２を取り
出す際にも、移送ロボット６が物流機器２を受け取るこ
とが出来るように回転テーブル４を回転させ、所定の保
管部３を移送ロボット６と対面する位置に移動させるこ
とができる。更に、移送ロボット６の周囲に、移送ロボ
ット６を中心として複数の保管棚５を配置することによ
り、移送ロボット６がほとんど移動することなく、所定
の保管部３との間で物流機器２の受け渡しを容易に行う
ことができる。
【００１８】次に、搬出ロボット７から保管部３に物流
機器２を保管する一連の動作を説明する。先ず、搬出ロ
ボット７から移送ロボット６の保持台９に物流機器２が
移される。このとき、保持台９の搬出側１０が搬出ロボ
ット７に対面するように回転テーブル８が回転し、搬出
ロボット７から移送ロボット６に物流機器２が移され
る。
機器２を保管する一連の動作を説明する。先ず、搬出ロ
ボット７から移送ロボット６の保持台９に物流機器２が
移される。このとき、保持台９の搬出側１０が搬出ロボ
ット７に対面するように回転テーブル８が回転し、搬出
ロボット７から移送ロボット６に物流機器２が移され
る。
【００１９】物流機器２を所定の保管部３ａに移送する
場合、保管棚５に設けられた回転テーブル４が回転し、
物流機器２の保管先である保管部３ａが移送ロボット６
と対面する位置に移動され、移送ロボット６の保持台９
から物流機器２が保管部３ａに移送される。物流機器２
を搬出ロボット７から移送ロボット６に受渡するととも
に回転テーブル４が回転し、保管部３ａを移動させるこ
とができる。このとき、回転テーブル４が回転すること
により、保管部３ａを移送ロボット６と対面する位置に
移動させることができるので移送ロボット６は殆ど移動
する必要がない。よって、向かい合って平行に配置され
た保管棚の間を移送ロボット６が移動する場合に比べ、
物流機器２を保管部３に移送するための移送時間を短縮
することができる。
場合、保管棚５に設けられた回転テーブル４が回転し、
物流機器２の保管先である保管部３ａが移送ロボット６
と対面する位置に移動され、移送ロボット６の保持台９
から物流機器２が保管部３ａに移送される。物流機器２
を搬出ロボット７から移送ロボット６に受渡するととも
に回転テーブル４が回転し、保管部３ａを移動させるこ
とができる。このとき、回転テーブル４が回転すること
により、保管部３ａを移送ロボット６と対面する位置に
移動させることができるので移送ロボット６は殆ど移動
する必要がない。よって、向かい合って平行に配置され
た保管棚の間を移送ロボット６が移動する場合に比べ、
物流機器２を保管部３に移送するための移送時間を短縮
することができる。
【００２０】次に、再び物流機器２を保管棚５に移送す
る場合、図２に示すように、一旦搬出ロボット７から移
送ロボット６に物流機器２が受渡される。移送ロボット
６に設けられた回転テーブル８は上下方向に移動できる
ので、物流機器２の保管先である保管部３ｂが配置され
た高さまで回転テーブル４が移動する。保管部３ｂの高
さに回転テーブル８が移動するとともに、保持台９の受
渡側が保管部３ｂに対面するように回転テーブル８が回
転する。
る場合、図２に示すように、一旦搬出ロボット７から移
送ロボット６に物流機器２が受渡される。移送ロボット
６に設けられた回転テーブル８は上下方向に移動できる
ので、物流機器２の保管先である保管部３ｂが配置され
た高さまで回転テーブル４が移動する。保管部３ｂの高
さに回転テーブル８が移動するとともに、保持台９の受
渡側が保管部３ｂに対面するように回転テーブル８が回
転する。
【００２１】一方、回転テーブル８が上方に移動し回転
するとともに、保管棚５に設けられた回転テーブル４ｂ
も回転する。回転テーブル４ｂには物流機器２の保管先
である保管部３ｂが配置されており、回転テーブル４ｂ
が回転することにより、保管部３ｂが保持台９の受渡側
１０に対面するように移動される。回転テーブル８と回
転テーブル４ｂにより保持台９の受渡側と保管部３ｂが
移動すると、物流機器２が保管部３ｂに移送され、保管
される。
するとともに、保管棚５に設けられた回転テーブル４ｂ
も回転する。回転テーブル４ｂには物流機器２の保管先
である保管部３ｂが配置されており、回転テーブル４ｂ
が回転することにより、保管部３ｂが保持台９の受渡側
１０に対面するように移動される。回転テーブル８と回
転テーブル４ｂにより保持台９の受渡側と保管部３ｂが
移動すると、物流機器２が保管部３ｂに移送され、保管
される。
【００２２】平行に配置された保管棚の間を移送ロボッ
トが移動する場合に比べ、移送ロボットを中心としてそ
の周囲に保管棚を配置することにより、移送ロボットが
移動するための移動スペースを最小限に抑えることがで
きる。所定の保管棚に物流機器を受渡するための移送ロ
ボットが移動するスペースを最小限に抑えることができ
るので、保管装置を小型化することができる。これによ
り、保管装置に高い密度で物流機器を保管することがで
き、製造工程内の保管装置の設置面積を抑制することが
できる。例えば、半導体製造工程で、半導体素子の中間
製品であるウェハーなどのサイズが３００φｍｍのよう
に大型化された場合には、それを保管する際の保管装置
の大きさが工程内において、大きな割合を占めることと
なる。よって、本実施形態の保管装置を使用することに
より製造工程内の保管装置の機器設置面積の割合を最小
限に抑えることができ、工程内のスペースを有効に利用
することができる。
トが移動する場合に比べ、移送ロボットを中心としてそ
の周囲に保管棚を配置することにより、移送ロボットが
移動するための移動スペースを最小限に抑えることがで
きる。所定の保管棚に物流機器を受渡するための移送ロ
ボットが移動するスペースを最小限に抑えることができ
るので、保管装置を小型化することができる。これによ
り、保管装置に高い密度で物流機器を保管することがで
き、製造工程内の保管装置の設置面積を抑制することが
できる。例えば、半導体製造工程で、半導体素子の中間
製品であるウェハーなどのサイズが３００φｍｍのよう
に大型化された場合には、それを保管する際の保管装置
の大きさが工程内において、大きな割合を占めることと
なる。よって、本実施形態の保管装置を使用することに
より製造工程内の保管装置の機器設置面積の割合を最小
限に抑えることができ、工程内のスペースを有効に利用
することができる。
【００２３】また、本実施形態の保管装置は、半導体製
造工程で用いられるに留まらず、物流機器などを保管す
る保管装置を限られた設置面積内で有効に利用する際に
適用なものである。
造工程で用いられるに留まらず、物流機器などを保管す
る保管装置を限られた設置面積内で有効に利用する際に
適用なものである。
【００２４】
【発明の効果】回転テーブルを配設した移送装置を中心
としてその周囲に回転テーブルを配設した保管装置を配
置することにより、移送装置の移動スペースを最小限に
抑えることができ、保管装置の設置面積を抑制すること
ができる。よって、製造工程内において物流機器を効率
良く収納することができる。さらに、移送装置と保管棚
の両方に回転テーブルを配設し、物流機器を受渡する際
に保管部と移送装置が対面するようにそれぞれの回転テ
ーブルを回転させることにより、短時間で物流機器の受
渡を行うことができる。
としてその周囲に回転テーブルを配設した保管装置を配
置することにより、移送装置の移動スペースを最小限に
抑えることができ、保管装置の設置面積を抑制すること
ができる。よって、製造工程内において物流機器を効率
良く収納することができる。さらに、移送装置と保管棚
の両方に回転テーブルを配設し、物流機器を受渡する際
に保管部と移送装置が対面するようにそれぞれの回転テ
ーブルを回転させることにより、短時間で物流機器の受
渡を行うことができる。
【図１】本発明の実施形態の保管装置の構造を簡略化し
て示した概略構造図であり、図１（ａ）は概略平面構造
図、図１（ｂ）は概略断面構造図である。
て示した概略構造図であり、図１（ａ）は概略平面構造
図、図１（ｂ）は概略断面構造図である。
【図２】本発明の実施形態の保管装置において、物流機
器を保管部に移載する機構を簡略化して示した概略図で
あり、図２（ａ）は概略平面機構図、図２（ｂ）は概略
断面機構図である。
器を保管部に移載する機構を簡略化して示した概略図で
あり、図２（ａ）は概略平面機構図、図２（ｂ）は概略
断面機構図である。
【図３】従来の保管装置の構造を簡略化して示した概略
構造図であり、図３（ａ）は概略平面構造図、図３
（ｂ）は概略断面構造図である。
構造図であり、図３（ａ）は概略平面構造図、図３
（ｂ）は概略断面構造図である。
１ 保管装置
２ 物流機器
３、３ａ、３ｂ、１０７、１０８ 保管部
４、４ｂ、８、１０６ 回転テーブル
５ 保管棚
６ 移送ロボット
７ 搬出ロボット
９、１０５ 保持台
１０ 搬出側
１００ 保管装置
１０１ 物流機器
１０２ 保管棚
１０３ 移送装置
１０４ 搬入装置
１０８ 移動スペース
１０９ テーブル
Claims (5)
- 【請求項１】物流機器を保管するための保管部と、前記
保管部へ前記物流機器を移送する移送機構とを有し、複
数の前記保管部が前記移送機構を中心としてその周囲に
配置されていることを特徴とする保管装置。 - 【請求項２】前記保管部は、物流機器を載置する保管ス
ペースが周方向に複数配列された回転テーブルを有する
ことを特徴とする請求項１記載の保管装置。 - 【請求項３】前記回転テーブルは前記保管部の高さ方向
に複数配設されることを特徴とする請求項２記載の保管
装置。 - 【請求項４】前記回転テーブルはそれぞれ独立に回転す
ることを特徴とする請求項２記載の保管装置。 - 【請求項５】前記移送機構は、前記物流機器を保持する
保持台と、該保持台を回転操作する回転機構とを有し、
該保持台が回転することにより選択された保管部へ前記
物流機器が移送されることを特徴とする請求項１記載の
保管装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001262161A JP2003072916A (ja) | 2001-08-30 | 2001-08-30 | 保管装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001262161A JP2003072916A (ja) | 2001-08-30 | 2001-08-30 | 保管装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003072916A true JP2003072916A (ja) | 2003-03-12 |
Family
ID=19089098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001262161A Pending JP2003072916A (ja) | 2001-08-30 | 2001-08-30 | 保管装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003072916A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2004088741A1 (ja) * | 2003-03-28 | 2006-07-06 | 平田機工株式会社 | 基板搬送システム |
| JP2007512198A (ja) * | 2003-11-25 | 2007-05-17 | ハウニ・マシイネンバウ・アクチエンゲゼルシヤフト | 物品で充填された及び／又は充填すべき容器の充填及び／又は排出をするための設備と容器を搬送するための操作装置 |
| CN103787014A (zh) * | 2013-11-11 | 2014-05-14 | 珠海市远光共创智能科技股份有限公司 | 回转式传送装置 |
| EP2849968A4 (en) * | 2012-05-14 | 2016-04-13 | Amazon Tech Inc | SYSTEM AND METHOD FOR MANUFACTURING A MOBILE DRIVE UNIT |
| US9448560B2 (en) | 2006-06-19 | 2016-09-20 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for coordinating movement of mobile drive units |
| US9519284B2 (en) | 2006-06-19 | 2016-12-13 | Amazon Technologies, Inc. | Transporting inventory items using mobile drive units and conveyance equipment |
| JP2017105631A (ja) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | 天津慧尊科技▲発▼展有限公司 | 自動倉庫システム及び自動保管方法 |
| CN107253601A (zh) * | 2017-06-29 | 2017-10-17 | 重庆交通大学 | 快递自存取式新型蜂巢无人车 |
| CN113003066A (zh) * | 2019-12-20 | 2021-06-22 | 华南智能机器人创新研究院 | 一种立体货架和立体仓储系统 |
-
2001
- 2001-08-30 JP JP2001262161A patent/JP2003072916A/ja active Pending
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2004088741A1 (ja) * | 2003-03-28 | 2006-07-06 | 平田機工株式会社 | 基板搬送システム |
| JP2007512198A (ja) * | 2003-11-25 | 2007-05-17 | ハウニ・マシイネンバウ・アクチエンゲゼルシヤフト | 物品で充填された及び／又は充填すべき容器の充填及び／又は排出をするための設備と容器を搬送するための操作装置 |
| US7909557B2 (en) | 2003-11-25 | 2011-03-22 | Hauni Maschinenbau Ag | Arrangement for the filling and/or emptying of containers filled and/or for filling with articles and manipulation device for transporting the containers |
| US10133267B2 (en) | 2006-06-19 | 2018-11-20 | Amazon Technologies, Inc. | Method and system for transporting inventory items |
| US10809706B2 (en) | 2006-06-19 | 2020-10-20 | Amazon Technologies, Inc. | Method and system for transporting inventory items |
| US9448560B2 (en) | 2006-06-19 | 2016-09-20 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for coordinating movement of mobile drive units |
| US9519284B2 (en) | 2006-06-19 | 2016-12-13 | Amazon Technologies, Inc. | Transporting inventory items using mobile drive units and conveyance equipment |
| US11066282B2 (en) | 2006-06-19 | 2021-07-20 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for maneuvering a mobile drive unit |
| US9740212B2 (en) | 2006-06-19 | 2017-08-22 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for coordinating movement of mobile drive units |
| US10990088B2 (en) | 2006-06-19 | 2021-04-27 | Amazon Technologies, Inc. | Method and system for transporting inventory items |
| US10067501B2 (en) | 2006-06-19 | 2018-09-04 | Amazon Technologies, Inc. | Method and system for transporting inventory items |
| US10093526B2 (en) | 2006-06-19 | 2018-10-09 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for maneuvering a mobile drive unit |
| EP2849968A4 (en) * | 2012-05-14 | 2016-04-13 | Amazon Tech Inc | SYSTEM AND METHOD FOR MANUFACTURING A MOBILE DRIVE UNIT |
| CN103787014A (zh) * | 2013-11-11 | 2014-05-14 | 珠海市远光共创智能科技股份有限公司 | 回转式传送装置 |
| JP2017105631A (ja) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | 天津慧尊科技▲発▼展有限公司 | 自動倉庫システム及び自動保管方法 |
| CN107253601A (zh) * | 2017-06-29 | 2017-10-17 | 重庆交通大学 | 快递自存取式新型蜂巢无人车 |
| CN107253601B (zh) * | 2017-06-29 | 2023-01-24 | 重庆交通大学 | 快递自存取式蜂巢无人车 |
| CN113003066A (zh) * | 2019-12-20 | 2021-06-22 | 华南智能机器人创新研究院 | 一种立体货架和立体仓储系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102130033B (zh) | 工件支撑结构及其使用设备 | |
| US8757180B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
| US20080159832A1 (en) | Substrate transporting apparatus, substrate platform shelf and substrate processing apparatus | |
| KR20050072758A (ko) | 단일의 트랙 위치로부터 오버헤드 호이스트 운반 수단에의한 하나 이상의 재료 저장 선반 레벨로의 접근 | |
| JP2008166369A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
| JPH0355983B2 (ja) | ||
| KR20130118236A (ko) | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체 | |
| JP2019068058A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
| JP2003072916A (ja) | 保管装置 | |
| JP2014530496A5 (ja) | ||
| JPS61284357A (ja) | 被工作物のカセツト間移送方法と装置 | |
| JP2012023341A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記録した記録媒体 | |
| JP2024023874A (ja) | 基板処理装置及び基板収納容器保管方法 | |
| JPWO2015114850A1 (ja) | 基板搬送システムおよび方法 | |
| JP2913354B2 (ja) | 処理システム | |
| JPH04158508A (ja) | 半導体ウェハ搬送システム | |
| JP5442968B2 (ja) | 基板処理ユニットおよび基板処理装置 | |
| JP2008198883A (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH11329989A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2003197712A (ja) | 基板搬送装置、及び基板収納カセット搬送装置 | |
| JP2009049233A (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH0669310A (ja) | ウエハ測定システム | |
| JP5442969B2 (ja) | 基板処理ユニット、基板処理装置およびノズルの位置制御方法 | |
| JP3782263B2 (ja) | 基板の配列方法及び配列装置 | |
| JP4004260B2 (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Effective date: 20050516 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20050527 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Effective date: 20110524 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |