JP2003032537A - Imaging device moving apparatus and electronic camera - Google Patents

Imaging device moving apparatus and electronic camera

Info

Publication number
JP2003032537A
JP2003032537A JP2001213349A JP2001213349A JP2003032537A JP 2003032537 A JP2003032537 A JP 2003032537A JP 2001213349 A JP2001213349 A JP 2001213349A JP 2001213349 A JP2001213349 A JP 2001213349A JP 2003032537 A JP2003032537 A JP 2003032537A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image pickup
pickup device
image
piezoelectric actuator
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001213349A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuichiro Mori
佑一郎 森
Toshio Saito
利夫 斉藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Miwa Engineering Corp
Original Assignee
Miwa Engineering Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Miwa Engineering Corp filed Critical Miwa Engineering Corp
Priority to JP2001213349A priority Critical patent/JP2003032537A/en
Publication of JP2003032537A publication Critical patent/JP2003032537A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an imaging device moving apparatus that is suitable for making an electronic camera small in size and thin in thickness and can largely shift and imaging device. SOLUTION: The imaging element moving device is provided with the imaging device 11 that images an optical image obtained via a lens system, flexible printed circuit boards 12a, 12b that energize the image pickup device 11 to a fixed position, and piezoelectric actuators 13a, 13b that deliver a generated displacement to the imaging device 11 via the flexible printed circuit boards 12a, 12b to shift the imaging device 11 in an optical axis direction.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子カメラ等にお
いて撮像素子を移動させて焦点を調節する装置に関し、
特に、小型化かつ薄型化に適した撮像素子移動装置に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for adjusting a focus by moving an image sensor in an electronic camera or the like,
In particular, the present invention relates to an image pickup element moving device suitable for downsizing and thinning.

【0002】[0002]

【従来の技術】ビデオカメラやデジタルスチルカメラ等
の電子カメラは、さらなる小型化・薄型化が望まれてい
る。例えば、携帯電話機やPDA(携帯情報端末)等に
電子カメラを組み込み、音声や文字データだけでなく、
映像や画像についてもリアルタイムに送受信したいとの
要望がある。
2. Description of the Related Art Electronic cameras such as video cameras and digital still cameras are desired to be further miniaturized and thinned. For example, by incorporating an electronic camera in a mobile phone, PDA (personal digital assistant), etc., not only voice and character data,
There is a desire to send and receive video and images in real time.

【0003】電子カメラの小型化を図る従来の技術とし
て、例えば、特開平5−48957号公報に開示された
「ビデオカメラ」がある。このビデオカメラは、フォー
カスレンズを動かす代わりに、圧電アクチュエータによ
って撮像素子を光学軸方向に移動させることで合焦を行
っている。これによって、合焦のための駆動機構が不要
となり、部品点数が少なくなるために、ビデオカメラの
小型化が図られるというものである。
As a conventional technique for reducing the size of an electronic camera, for example, there is a "video camera" disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 5-48957. In this video camera, instead of moving a focus lens, a piezoelectric actuator moves an image sensor in the optical axis direction to perform focusing. This eliminates the need for a drive mechanism for focusing and reduces the number of parts, which leads to downsizing of the video camera.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来技術では、圧電アクチュエータによって直接、
撮像素子を移動させているので、圧電アクチュエータが
発生した変位量だけ撮像素子を移動させるに止まり、そ
の移動距離が充分ではないという問題がある。そのため
に、合焦の能力が限定され、適用可能なレンズの種類
(焦点距離の範囲)が限られたものとなり、電子カメラ
の用途も限定されてしまう。
However, in such a conventional technique, the piezoelectric actuator directly
Since the image pickup device is moved, there is a problem that the image pickup device is moved only by the amount of displacement generated by the piezoelectric actuator, and the moving distance is not sufficient. Therefore, the focusing ability is limited, the type of applicable lens (range of focal length) is limited, and the application of the electronic camera is also limited.

【0005】そこで、本発明は、このような問題点に鑑
みてなされてものであり、小型化・薄型化に適した撮像
素子移動装置であって、圧電アクチュエータによって直
接、撮像素子を移動させる場合よりも大きな距離を移動
させることが可能な撮像素子移動装置を提供することを
目的とする。
Therefore, the present invention has been made in view of such problems, and is an image pickup device moving apparatus suitable for downsizing and thinning, in which the image pickup device is directly moved by a piezoelectric actuator. An object of the present invention is to provide an image pickup element moving device that can move a larger distance.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る撮像素子移動装置は、レンズ系を介し
て得られる光学像を撮像する撮像素子と、配線材として
前記撮像素子に接続されるとともに、前記撮像素子を定
位置に付勢するフレキシブル回路基板と、発生した変位
を、前記フレキシブル回路基板を介して前記撮像素子に
伝達することにより前記撮像素子を光学軸方向に移動さ
せる圧電アクチュエータとを備えることを特徴とする。
In order to achieve the above object, an image pickup device moving apparatus according to the present invention includes an image pickup device for picking up an optical image obtained through a lens system and a wiring member for the image pickup device. A flexible circuit board that is connected and urges the image sensor to a fixed position, and transfers the generated displacement to the image sensor via the flexible circuit board to move the image sensor in the optical axis direction. A piezoelectric actuator is provided.

【0007】そして、前記圧電アクチュエータは、その
一部が前記フレキシブル回路基板に固定され、前記フレ
キシブル回路基板をたわみ板として変形させることによ
り前記撮像素子を移動させる。
A part of the piezoelectric actuator is fixed to the flexible circuit board, and the flexible circuit board is deformed as a flexible plate to move the image pickup device.

【0008】また、前記圧電アクチュエータは、2以上
の独立した部分圧電アクチュエータの集まりからなり、
前記撮像素子移動装置は、さらに、光学軸に対する前記
撮像素子の撮像面の向きを検知する方向センサーと、前
記撮像素子の撮像面が光学軸と直交するように、前記方
向センサーからの信号に基づいて、前記2以上の部分圧
電アクチュエータそれぞれを独立して駆動する信号を発
生する駆動制御回路とを備えてもよい。
The piezoelectric actuator is composed of a group of two or more independent partial piezoelectric actuators,
The image pickup device moving device further includes a direction sensor that detects a direction of an image pickup surface of the image pickup device with respect to an optical axis, and a signal from the direction sensor so that the image pickup surface of the image pickup device is orthogonal to the optical axis. And a drive control circuit for generating a signal for independently driving each of the two or more partial piezoelectric actuators.

【0009】さらに、本発明は、上記撮像素子移動装置
と、前記撮像素子移動装置の圧電アクチュエータを駆動
する信号を発生する駆動回路と、シャッターボタンと、
前記シャッターボタンが押下されたときに、前記撮像素
子移動装置の撮像素子が合焦位置に移動するように前記
駆動回路から前記信号を発生させた後に、前記撮像素子
に結像された光学像を読み出す制御回路とを備えること
を特徴とする電子カメラとして実現してもよい。
Further, according to the present invention, the image pickup device moving device, a drive circuit for generating a signal for driving a piezoelectric actuator of the image pickup device moving device, a shutter button,
After the signal is generated from the drive circuit so that the image sensor of the image sensor moving device moves to the in-focus position when the shutter button is pressed, an optical image formed on the image sensor is displayed. It may be realized as an electronic camera having a control circuit for reading.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を用いて詳細に説明する。図1は、本発明の第1
の実施の形態における撮像素子移動装置10の外観図で
ある。この撮像素子移動装置10は、圧電アクチュエー
タによって間接的に撮像素子を移動させることによって
広い範囲にわたって焦点調節を行う小型(例えば、約1
cm四方)の撮像装置であり、図1(a)の斜視図に示
されるように、CCDやCMOS受像素子(イメージセ
ンサ)等の撮像素子11と、その電気接続用フレキシブ
ル・プリント基板12a及び12bと、撮像素子11を
光学軸方向に移動させる駆動体である圧電アクチュエー
タ13a及び13bと、圧電アクチュエータ13a及び
13bの変位をフレキシブル・プリント基板12a及び
12bに伝達する滑り部材14a及び14bと、フレキ
シブル・プリント基板12a及び12bを滑り部材14
a及び14bに押さえて固定しておくための押さえ板1
7a及び17bと、圧電アクチュエータ13a及び13
bの中心位置を固定しておく載置台としての突起部15
と、ベース基板16a及び16bとから構成されてい
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 shows the first of the present invention.
3 is an external view of the image pickup element moving device 10 according to the embodiment of FIG. The image pickup device moving apparatus 10 is a small size device (for example, about 1) that performs focus adjustment over a wide range by indirectly moving the image pickup device by a piezoelectric actuator.
1 cm, the image pickup device 11 such as a CCD or a CMOS image receiving device (image sensor), its flexible printed board 12a for electrical connection, and the like are shown in the perspective view of FIG. 12b, piezoelectric actuators 13a and 13b that are driving bodies that move the image pickup device 11 in the optical axis direction, sliding members 14a and 14b that transmit displacement of the piezoelectric actuators 13a and 13b to the flexible printed boards 12a and 12b, and flexible -The printed circuit boards 12a and 12b are attached to the sliding member 14
Presser plate 1 for pressing and fixing to a and 14b
7a and 17b, and piezoelectric actuators 13a and 13
Projection 15 as a mounting table for fixing the center position of b
And base substrates 16a and 16b.

【0011】ベース基板16a及び16bは、エポキシ
樹脂等の電気絶縁体であり、ベース基板16bの裏面に
は、図1(b)に示されるように、電気接続用の端子が
プリントされている。これらの端子は、ベース基板16
bに形成されたスルーホールを経て、フレキシブル・プ
リント基板12a及び12b内の配線や、圧電アクチュ
エータ13a及び13bへの配線ケーブル等に接続され
ている。
The base substrates 16a and 16b are electrical insulators such as epoxy resin, and terminals for electrical connection are printed on the back surface of the base substrate 16b, as shown in FIG. 1 (b). These terminals are the base substrate 16
Via the through holes formed in b, the wirings in the flexible printed boards 12a and 12b and the wiring cables to the piezoelectric actuators 13a and 13b are connected.

【0012】撮像素子11は、左右に分割して配線を引
き出している2つのフレキシブル・プリント基板12
a、12bの付勢力によって定位置に保持されている。
撮像素子11から左右に延びた2つのフレキシブル・プ
リント基板12a及び12bは、折り返すように曲げら
れ、その端部が2枚のベース基板16a及び16bに挟
まれて圧着固定されるとともに、その配線の途中におい
て、押さえ板17a及び17bと滑り部材14a及び1
4bとに挟まれて固定されている。
The image pickup device 11 has two flexible printed circuit boards 12 which are divided into left and right parts and lead out wiring.
It is held in a fixed position by the biasing forces of a and 12b.
The two flexible printed boards 12a and 12b extending left and right from the image pickup element 11 are bent so as to be folded back, and the end portions thereof are sandwiched between the two base boards 16a and 16b to be pressure-bonded and fixed, and the wiring of Along the way, pressing plates 17a and 17b and sliding members 14a and 1b
It is sandwiched and fixed to 4b.

【0013】2つの圧電アクチュエータ13a及び13
bは、積層型の圧電セラミック等であり、電圧が印加さ
れると積層方向に変位を生じる。これらの圧電アクチュ
エータ13a及び13bは、その中心部に、ベース基板
16aに固定された突起部15と噛み合う凹部を有し、
その両端は、滑り部材14a及び14bの側面に接着剤
等で固定されている。
Two piezoelectric actuators 13a and 13
Reference numeral b denotes a laminated piezoelectric ceramic or the like, which is displaced in the laminating direction when a voltage is applied. Each of the piezoelectric actuators 13a and 13b has a recess at the center thereof that meshes with the protrusion 15 fixed to the base substrate 16a.
Both ends thereof are fixed to the side surfaces of the sliding members 14a and 14b with an adhesive or the like.

【0014】滑り部材14a及び14bは、プラスチッ
ク等からなる柱状体であり、その内側面において圧電ア
クチュエータ13a及び13bの端部と固定され、その
上面においてフレキシブル・プリント基板12a及び1
2bと固定されているが、その底面においては、ベース
基板16aと固定されていない。したがって、滑り部材
14a及び14bは、圧電アクチュエータ13a及び1
3bの伸縮運動に連動して、ベース基板16aの上面を
滑るようにスライド移動する。
The sliding members 14a and 14b are columnar bodies made of plastic or the like, and are fixed to the end portions of the piezoelectric actuators 13a and 13b on the inner side surfaces thereof, and the flexible printed boards 12a and 1b on the upper surface thereof.
2b, but not on the bottom surface thereof, with the base substrate 16a. Therefore, the sliding members 14a and 14b are connected to the piezoelectric actuators 13a and 1a.
Interlocking with the expansion and contraction movement of 3b, it slides on the upper surface of the base substrate 16a so as to slide.

【0015】図2は、このような構成を有する撮像素子
移動装置10による焦点調節の動作を説明する図であ
る。図2(a)は、圧電アクチュエータ13a及び13
bに電圧が印加されていないアイドル状態における撮像
素子移動装置10の正面図であり、図2(b)は、圧電
アクチュエータ13a及び13bに電圧が印加され、圧
電アクチュエータ13a及び13bが縮む方向に変位を
生じたときの撮像素子移動装置10の正面図である。
FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of focus adjustment by the image pickup device moving apparatus 10 having such a configuration. FIG. 2A shows the piezoelectric actuators 13a and 13a.
2B is a front view of the image pickup device moving apparatus 10 in an idle state in which a voltage is not applied to b, and FIG. 2B is a diagram in which a voltage is applied to the piezoelectric actuators 13a and 13b and the piezoelectric actuators 13a and 13b are displaced in a contracting direction. It is a front view of the image pick-up element moving device 10 when it occurs.

【0016】図2(b)に示されるように、電圧が印加
され、圧電アクチュエータ13a及び13bが積層方向
に縮んだ場合には、圧電アクチュエータ13a及び13
bの中央部が突起部15によって固定されているため
に、圧電アクチュエータ13a及び13bの両端に固定
されていた滑り部材14a及び14bが中央部(突起部
15)に向けて等しい移動量だけスライド移動する。こ
れら2つの滑り部材14a及び14bが近づくように移
動することで、フレキシブル・プリント基板12a及び
12bがたわみ、撮像素子11は、上方に押し出される
(光学軸方向のレンズ系に近づく)。
As shown in FIG. 2B, when a voltage is applied and the piezoelectric actuators 13a and 13b contract in the stacking direction, the piezoelectric actuators 13a and 13b.
Since the central portion of b is fixed by the projection 15, the sliding members 14a and 14b fixed to both ends of the piezoelectric actuators 13a and 13b slide and move toward the central portion (projection 15) by an equal amount. To do. When the two sliding members 14a and 14b move so as to approach each other, the flexible printed circuit boards 12a and 12b bend, and the image pickup device 11 is pushed upward (approaching the lens system in the optical axis direction).

【0017】つまり、滑り部材14a及び14bがフレ
キシブル・プリント基板12a及び12bを長手方向に
押し縮めように圧迫するので、その長手方向と直交する
光学軸方向に、フレキシブル・プリント基板12a及び
12bが押し出され、変位量が増幅される。これによっ
て、圧電アクチュエータ13a及び13bによる微小な
変位が増幅されて撮像素子11を移動させることとな
り、圧電アクチュエータによって直接、撮像素子を移動
させる従来の技術に比べ、広い範囲にわたって焦点距離
が変化するレンズ系に対応した焦点調節が可能となる。
That is, since the sliding members 14a and 14b press the flexible printed boards 12a and 12b so as to compress them in the longitudinal direction, the flexible printed boards 12a and 12b are pushed out in the optical axis direction orthogonal to the longitudinal direction. The displacement amount is amplified. As a result, the minute displacements caused by the piezoelectric actuators 13a and 13b are amplified to move the image sensor 11, and the lens having a focal length that changes over a wider range than the conventional technique in which the piezoelectric actuator moves the image sensor directly. It is possible to adjust the focus according to the system.

【0018】図3は、この撮像素子移動装置10の2つ
の圧電アクチュエータ13a及び13bの配置及び電気
的な接続を示す図である。2つの圧電アクチュエータ1
3a及び13bは、それぞれ、厚み方向に分極したセラ
ミック板を積み重ねて一体化したものであり、隣り合っ
たセラミック板では分極方向が互いに180度異なって
いる。各セラミック板は電気的には並列接続されてお
り、積層軸方向に生じる変位(例えば、数十μm)が利
用される。
FIG. 3 is a view showing the arrangement and electrical connection of the two piezoelectric actuators 13a and 13b of the image pickup device moving apparatus 10. Two piezoelectric actuators 1
3a and 13b are ceramic plates polarized in the thickness direction, which are stacked and integrated, and the adjacent ceramic plates have polarization directions different from each other by 180 degrees. The ceramic plates are electrically connected in parallel, and the displacement (for example, several tens of μm) generated in the stacking axis direction is used.

【0019】これら2つの圧電アクチュエータ13a及
び13bは、積層軸方向に平行するように配置され、そ
れぞれ、独立した駆動信号(電圧)が印加される。これ
は、圧電アクチュエータ13a及び13bそれぞれでの
発生変位を独立させることで、撮像素子11の傾き(平
行度)を調整し、撮像素子11の撮像面を光学軸に直交
させる制御を可能にするためである。
These two piezoelectric actuators 13a and 13b are arranged so as to be parallel to the stacking axis direction, and an independent drive signal (voltage) is applied to each of them. This is because it is possible to control the inclination (parallelism) of the image sensor 11 by making the generated displacements of the piezoelectric actuators 13a and 13b independent so that the image plane of the image sensor 11 is orthogonal to the optical axis. Is.

【0020】図4は、本発明の第2の実施の形態におけ
る撮像素子移動装置20の外観図である。この撮像素子
移動装置20は、図1に示された第1の実施の形態にお
ける撮像素子移動装置10に、シャフト機構(2つのシ
ャフト22a及び22b、4つのシャフト支持部21a
〜21d)を付加したものに相当する。このシャフト機
構は、滑り部材14a及び14bがベース基板16a上
をスライド移動する際の移動軸を固定しておくものであ
り、ベース基板16aに固定されていない可動部分(圧
電アクチュエータ13a及び13b、滑り部材14a及
び14b等)が伸縮運動したときにベース基板16aか
ら浮き上がってしまうこと等を防いでいる。
FIG. 4 is an external view of the image pickup device moving device 20 according to the second embodiment of the present invention. The image pickup device moving device 20 is similar to the image pickup device moving device 10 according to the first embodiment shown in FIG. 1 except that a shaft mechanism (two shafts 22a and 22b, four shaft support portions 21a) is provided.
.About.21d) is added. This shaft mechanism fixes the moving shaft when the sliding members 14a and 14b slide on the base substrate 16a, and does not move the movable parts (the piezoelectric actuators 13a and 13b, the sliding members) that are not fixed to the base substrate 16a. The members 14a and 14b, etc.) are prevented from rising from the base substrate 16a when they expand and contract.

【0021】2本のシャフト22a及び22bは、プラ
スチック等の棒体であり、滑り部材14a及び14bを
遊貫(遊びがある状態で貫通)し、その両端が、シャフ
ト支持部21a・21c及び21b・21dの内側面に
設けられた凹部で軸支されている。
The two shafts 22a and 22b are rods made of plastic or the like, and penetrate the sliding members 14a and 14b (through with play), and both ends of the shafts 21a, 21c and 21b. The shaft is supported by a recess provided on the inner surface of 21d.

【0022】図5(a)は、図4に示された撮像素子移
動装置20の正面図、図5(b)は、平面図、図5
(c)は、滑り部材14a(14b)の平面図、図5
(d)は、滑り部材14a(14b)の側面図である。
なお、滑り部材14a(14b)の貫通孔は、図5
(d)に示されるように、シャフト22a及び22bと
密着しているのではなく、2つの圧電アクチュエータ1
3a及び13bが異なる変位を発生した場合に滑り部材
14a及び14bが傾くことを考慮し、ベース基板16
aと平行する方向に、遊びを有している。
FIG. 5 (a) is a front view of the image pickup device moving device 20 shown in FIG. 4, and FIG. 5 (b) is a plan view.
5C is a plan view of the sliding member 14a (14b), FIG.
(D) is a side view of the sliding member 14a (14b).
The through hole of the sliding member 14a (14b) is shown in FIG.
As shown in (d), the two piezoelectric actuators 1 are not in close contact with the shafts 22a and 22b.
Considering that the sliding members 14a and 14b are inclined when 3a and 13b generate different displacements, the base substrate 16
It has a play in a direction parallel to a.

【0023】図6は、本発明の第3の実施の形態におけ
る撮像素子移動装置30の外観図である。この撮像素子
移動装置30は、図4に示された第2の実施の形態にお
ける撮像素子移動装置20に、渡し板31等からなる2
種類のセンサー(撮像素子11の平行度及び移動量を計
測するセンサー)を付加したものに相当する。なお、撮
像素子11の平行度とは、撮像素子11の撮像面が光学
軸と直交している程度をいい、撮像素子11の移動量と
は、撮像素子11の光学軸上の移動量をいう。
FIG. 6 is an external view of an image pickup device moving device 30 according to the third embodiment of the present invention. The image pickup device moving device 30 is the same as the image pickup device moving device 20 of the second embodiment shown in FIG.
This corresponds to the one to which a kind of sensor (a sensor that measures the parallelism and the movement amount of the image sensor 11) is added. The parallelism of the image pickup device 11 means the degree to which the image pickup surface of the image pickup device 11 is orthogonal to the optical axis, and the moving amount of the image pickup device 11 means the moving amount of the image pickup device 11 on the optical axis. .

【0024】渡し板31は、エポキシ樹脂等の電気絶縁
基板であり、フレキシブル・プリント基板12a及び1
2bの長手方向(図示されたX軸方向)と直交する方向
(図示されたY軸方向)に、撮像素子11と圧電アクチ
ュエータ13a及び13bとの隙間空間を貫通するとと
もに、その両端が直角に折り曲げられ、ベース基板16
a及び16bの側面に接着材等で固定されている。
The transfer board 31 is an electrically insulating board made of epoxy resin or the like, and is flexible printed boards 12a and 1a.
2b penetrates a gap space between the image sensor 11 and the piezoelectric actuators 13a and 13b in a direction (Y-axis direction shown) orthogonal to the longitudinal direction of 2b (X-axis direction shown), and bends both ends thereof at a right angle. And the base substrate 16
It is fixed to the side surfaces of a and 16b with an adhesive or the like.

【0025】図7(a)は、図6に示された撮像素子移
動装置30のAA切断面(光学軸を通り、かつ、Y軸に
平行な切断面)での断面図である。なお、この断面図で
は、渡し板31よりも下方の構成要素は、その図示が省
略されている。
FIG. 7A is a sectional view taken along the line AA of the image pickup device moving device 30 shown in FIG. 6 (a plane that passes through the optical axis and is parallel to the Y axis). In addition, in this cross-sectional view, the illustration of components below the bridge plate 31 is omitted.

【0026】撮像素子11の裏面(あるいは、撮像素子
11の底面にフレキシブル・プリント基板が貼り付けら
れている場合には、そのフレキシブル・プリント基板の
裏面)と渡し板31の上面それぞれの3箇所に、銅箔等
の電極が向かい合って貼り付けられ、これによって、Y
軸方向に等間隔で並ぶ3つのコンデンサ32a〜32c
が形成されている。
The back surface of the image pickup element 11 (or the back surface of the flexible print board when the bottom surface of the image pickup element 11 is attached to the flexible print board) and the upper surface of the transfer plate 31 are respectively provided at three locations. , Electrodes such as copper foil are attached facing each other.
Three capacitors 32a to 32c arranged at equal intervals in the axial direction
Are formed.

【0027】3つのコンデンサ32a〜32cは、電極
間距離に依存して容量が変化することを利用した距離
(位置)センサーとしての機能を果たしている。具体的
には、コンデンサ32aとコンデンサ32cは、Y軸方
向における撮像素子11の平行度を検出するセンサーの
役割を果たし、一方、コンデンサ32bは、撮像素子1
1の光学軸方向における変位量を検出するセンサーの役
割を果たしている。
The three capacitors 32a to 32c function as a distance (position) sensor that utilizes the change in capacitance depending on the distance between the electrodes. Specifically, the capacitors 32a and 32c serve as a sensor that detects the parallelism of the image sensor 11 in the Y-axis direction, while the capacitor 32b functions as a sensor.
1 plays the role of a sensor that detects the amount of displacement in the optical axis direction.

【0028】図7(b)は、これらのコンデンサ32a
〜32cをセンサーして撮像素子11の平行度及び変位
量を計測する回路の例である。ここでは、定電流源及び
差動増幅器等を用いて2つの容量電圧変換器33a及び
33cと加算器34を構成することで、2つのコンデン
サ32a及び32cの容量差に相当する電圧を方向信
号、即ち、撮像素子11のY軸方向における平行度を示
す信号として出力している。同様に、1つの容量電圧変
換器33bを用いることで、コンデンサ32bの容量に
相当する電圧を変位信号、即ち、撮像素子11の光学軸
方向における位置を示す信号として出力している。
FIG. 7B shows these capacitors 32a.
It is an example of a circuit which measures the parallelism and the amount of displacement of the image sensor 11 by sensing .about.32c. Here, by configuring the two capacitance-voltage converters 33a and 33c and the adder 34 using a constant current source and a differential amplifier, a voltage corresponding to the capacitance difference between the two capacitors 32a and 32c is output as a direction signal, That is, it is output as a signal indicating the parallelism of the image sensor 11 in the Y-axis direction. Similarly, by using one capacitance-voltage converter 33b, a voltage corresponding to the capacitance of the capacitor 32b is output as a displacement signal, that is, a signal indicating the position of the image sensor 11 in the optical axis direction.

【0029】このようにして得られた方向信号の大きさ
に依存させて2つの圧電アクチュエータ13a及び13
bそれぞれに印加する電圧を決定することで、撮像素子
11をY軸方向について平行に保持することが可能とな
る。
Two piezoelectric actuators 13a and 13a are provided depending on the magnitude of the direction signal thus obtained.
By determining the voltage to be applied to each b, the image sensor 11 can be held parallel to the Y-axis direction.

【0030】図8(a)は、本発明の第4の実施の形態
における撮像素子移動装置40の外観図である。この撮
像素子移動装置40は、Y軸方向だけでなく、X軸方向
についても撮像素子11の傾きを調整することが可能な
装置であり、撮像素子11の4辺から四方に分割して
(点対称に)配線を引き出している4つのフレキシブル
・プリント基板12a〜12dと、それらフレキシブル
・プリント基板12a〜12dに挟持して固定された4
組の滑り部材41a〜41d及び押さえ板42a〜42
d等を備える。
FIG. 8A is an external view of the image pickup device moving device 40 according to the fourth embodiment of the present invention. The image pickup device moving device 40 is a device capable of adjusting the tilt of the image pickup device 11 not only in the Y-axis direction but also in the X-axis direction, and is divided into four sides from four sides of the image pickup device 11 (dots). (Symmetrically) Four flexible printed circuit boards 12a to 12d that draw out wiring, and four fixed and sandwiched between these flexible printed circuit boards 12a to 12d.
Set of sliding members 41a to 41d and pressing plates 42a to 42
d and so on.

【0031】図8(b)は、この撮像素子移動装置40
の平面図(ここでは、撮像素子11とフレキシブル・プ
リント基板12a〜12dの図示が省略されている)で
ある。ベース基板16aの中心部には、正四角柱の突起
部44が固着されている。その突起部44の4つの側面
には、積層型の圧電アクチュエータ43a〜43dの一
端が固定され、各圧電アクチュエータ43a〜43dの
他端(先端)には、滑り部材41a〜41dが固定され
ている。
FIG. 8B shows the image pickup device moving device 40.
2 is a plan view (here, the image pickup element 11 and the flexible printed boards 12a to 12d are omitted). A protrusion portion 44 of a regular square pole is fixed to the central portion of the base substrate 16a. One end of the laminated piezoelectric actuators 43a to 43d is fixed to the four side surfaces of the protrusion 44, and the sliding members 41a to 41d are fixed to the other ends (tips) of the piezoelectric actuators 43a to 43d. .

【0032】4つの圧電アクチュエータ43a〜43d
は、それぞれ別個の駆動信号によって駆動されるよう
に、独立した配線が施されている。これによって、4つ
の圧電アクチュエータ43a〜43dを独立に駆動する
ことで、X軸方向及びY軸方向の2次元について、撮像
素子11の傾きを調整し、より完全な平行度を維持する
制御が可能となる。
Four piezoelectric actuators 43a to 43d
Are provided with independent wirings so that they are driven by respective separate drive signals. With this, by independently driving the four piezoelectric actuators 43a to 43d, it is possible to control the inclination of the image pickup device 11 in two dimensions in the X-axis direction and the Y-axis direction to maintain more complete parallelism. Becomes

【0033】なお、このような4つの独立した圧電アク
チュエータは、積層型に限られるものではなく、バイモ
ルフ型であってもよい。図9は、バイモルフ型の4組の
圧電アクチュエータ55a及び55b、56a及び56
b、57a及び57b、58a及び58bを備える撮像
素子移動装置50の構成例を示す。図9(a)は、その
撮像素子移動装置50の平面図(ここでは、撮像素子1
1の図示が省略されている)であり、図9(b)は、図
9(a)に示された撮像素子移動装置50のBB切断面
での断面図であって、4組の圧電アクチュエータ55a
〜58bに電圧が印加されていないとき、図9(c)
は、4組の圧電アクチュエータ55a〜58bに電圧が
印加され、撮像素子11が持ち上げられたときの同断面
図である。
The four independent piezoelectric actuators are not limited to the laminated type, but may be the bimorph type. FIG. 9 shows four bimorph type piezoelectric actuators 55a and 55b, 56a and 56.
The structural example of the image pick-up element moving device 50 provided with b, 57a and 57b, 58a and 58b is shown. FIG. 9A is a plan view of the image pickup device moving device 50 (here, the image pickup device 1).
1 is omitted), and FIG. 9B is a cross-sectional view taken along the line BB of the image pickup device moving device 50 shown in FIG. 9A, showing four sets of piezoelectric actuators. 55a
When no voltage is applied to ~ 58b, FIG.
FIG. 6 is a cross-sectional view when a voltage is applied to the four sets of piezoelectric actuators 55a to 58b and the image pickup device 11 is lifted.

【0034】4組の圧電アクチュエータ55a及び55
b、56a及び56b、57a及び57b、58a及び
58bは、一端が突起部53に固定され、他端(先端)
が自由端(片持ち)となって撮像素子11を支えてお
り、卍型に配置されている。これは、限られた空間に、
ストロークの長い4組のバイモルフ型圧電アクチュエー
タを収納させるためであり、小さいサイズ(体積)であ
りながら大きな変位(例えば、100μm等の増幅され
た変位)を発生することが可能となる。
Four sets of piezoelectric actuators 55a and 55
b, 56a and 56b, 57a and 57b, 58a and 58b have one end fixed to the protrusion 53 and the other end (tip).
Serves as a free end (cantilever) to support the image pickup element 11, and is arranged in a swastika shape. This is a limited space
This is for accommodating four pairs of bimorph type piezoelectric actuators having a long stroke, and it is possible to generate a large displacement (for example, an amplified displacement of 100 μm or the like) while having a small size (volume).

【0035】なお、これら圧電アクチュエータの各スト
ロークを構成している直線部分は、図9(c)に示され
るように、電圧が印加されたときに、S字状にたわむよ
うに、長手方向の中間位置を境に、分極方向の異なる圧
電セラミックがつなぎ合わされている。このようなS字
駆動によって、電圧が印加されたときに、圧電アクチュ
エータの各ストロークの先端がねじれてしまうことが防
止され、撮像素子11は、その平行度を保持したまま上
方に持ち上げられる。
It should be noted that, as shown in FIG. 9C, the straight line portion forming each stroke of these piezoelectric actuators extends in the longitudinal direction so as to bend in an S-shape when a voltage is applied. Piezoelectric ceramics having different polarization directions are connected to each other at an intermediate position. By such an S-shaped drive, the tip of each stroke of the piezoelectric actuator is prevented from being twisted when a voltage is applied, and the imaging element 11 is lifted upward while maintaining its parallelism.

【0036】また、バイモルフ型の圧電アクチュエータ
を用いた他の例として、図10(a)の平面図(ここで
は、撮像素子11の図示が省略されている)及び図10
(b)の正面図に示された撮像素子移動装置60として
もよい。この撮像素子移動装置60は、図1に示された
第1の実施の形態における撮像素子移動装置10におけ
る2つの積層型圧電アクチュエータ13a及び13bを
2組のバイモルフ型圧電アクチュエータ61a及び61
b、62a及び62bに置き換えた構造を有する。ここ
では、バイモルフ型圧電アクチュエータ61a及び61
b、62a及び62bは、背面が突起部63に固定さ
れ、S字駆動によって、光学軸と直交する方向に変位を
発生し、押し部材64a〜64dを介して滑り部材14
a及び14bを移動させ、さらにフレキシブル・プリン
ト基板12a及び12bを介して撮像素子11を光学軸
方向に移動させる。
As another example using the bimorph type piezoelectric actuator, a plan view of FIG. 10A (the image pickup device 11 is not shown here) and FIG.
The image pickup device moving device 60 shown in the front view of FIG. The image pickup device moving device 60 includes two stacked piezoelectric actuators 13a and 13b in the image pickup device moving device 10 according to the first embodiment shown in FIG. 1, and two sets of bimorph type piezoelectric actuators 61a and 61b.
b, 62a and 62b. Here, the bimorph type piezoelectric actuators 61a and 61a
The back surfaces of the b, 62a, and 62b are fixed to the protrusion 63, and displacement is generated in the direction orthogonal to the optical axis by the S-shaped drive, and the sliding member 14 is pressed through the pressing members 64a to 64d.
a and 14b are moved, and further the image pickup device 11 is moved in the optical axis direction via the flexible printed boards 12a and 12b.

【0037】さらに、バイモルフ型の圧電アクチュエー
タを用いた他の例として、図11(a)の平面図(ここ
では、撮像素子11の図示が省略されている)及び図1
1(b)の正面図に示される撮像素子移動装置70とし
てもよい。ここでは、4組の圧電アクチュエータ71a
及び71b、72a及び72b、73a及び73b、7
4a及び74bが、それぞれ、支柱75、76、77、
78に支えられて固定され、他端が自由端(片持ち)と
なって変位を発生し、挟み板79a〜79dで固定され
たフレキシブル・プリント基板12a及び12bの撓み
具合を変化させる。つまり、圧電アクチュエータ71a
及び71b、72a及び72b、73a及び73b、7
4a及び74bは、光学軸と平行する方向に変位を発生
し、フレキシブル・プリント基板12a及び12bを介
して、撮像素子11を光学軸方向に移動させる。このと
き、フレキシブル・プリント基板12a及び12bは、
S字状に大きく撓んだ状態から、少しだけ撓んだ状態に
引き伸ばされるので(角度変化が利用され)、圧電アク
チュエータ71a及び71b、72a及び72b、73
a及び73b、74a及び74bの先端部での変位が増
幅され、撮像素子11が大きく持ち上げられる。
Further, as another example using a bimorph type piezoelectric actuator, a plan view of FIG. 11A (the image pickup device 11 is not shown here) and FIG.
The image pickup device moving device 70 shown in the front view of FIG. Here, four sets of piezoelectric actuators 71a
And 71b, 72a and 72b, 73a and 73b, 7
4a and 74b are columns 75, 76, 77, respectively.
The flexible printed circuit boards 12a and 12b fixed by being supported by 78 and having the other end serving as a free end (cantilever) generate a displacement to change the degree of bending of the flexible printed boards 12a and 12b fixed by the sandwiching plates 79a to 79d. That is, the piezoelectric actuator 71a
And 71b, 72a and 72b, 73a and 73b, 7
4a and 74b generate a displacement in a direction parallel to the optical axis, and move the image pickup device 11 in the optical axis direction via the flexible printed boards 12a and 12b. At this time, the flexible printed boards 12a and 12b are
The piezoelectric actuators 71a and 71b, 72a and 72b, 73 are stretched from the state of being largely bent in the S shape to the state of being slightly bent (the change in angle is utilized).
The displacements at the tips of a and 73b, 74a and 74b are amplified, and the image pickup device 11 is greatly lifted.

【0038】図12は、以上のような本発明に係る撮像
素子移動装置10〜70を電子機器に適用した例を示す
図である。図12(a)は、本発明に係る撮像素子移動
装置を備えた電子カメラが組み込まれた携帯電話機80
の外観図であり、液晶表示画面の上部に、光学像を取り
込む電子カメラのレンズ81が設けられている。図12
(b)は、本発明に係る撮像素子移動装置を備えた電子
カメラが組み込まれたPDA(携帯情報端末)90の外
観図であり、液晶表示画面の上部に、光学像を取り込む
電子カメラのレンズ91が設けられている。
FIG. 12 is a diagram showing an example in which the image pickup device moving apparatuses 10 to 70 according to the present invention as described above are applied to an electronic device. FIG. 12A shows a mobile phone 80 in which an electronic camera equipped with the image sensor moving device according to the present invention is incorporated.
Is an external view of the above, and a lens 81 of an electronic camera for capturing an optical image is provided above the liquid crystal display screen. 12
(B) is an external view of a PDA (Personal Digital Assistant) 90 in which an electronic camera equipped with the image pickup device moving device according to the present invention is incorporated. 91 is provided.

【0039】図13は、図12(b)に示されたPDA
90の構成(電子カメラに関連する要素だけ)を示す図
である。このPDA90は、第3の実施の形態における
撮像素子移動装置30と、レンズ91と、LCD92
と、シャッターボタン93と、駆動回路94と、制御回
路95と、メモリ96とからなる電子カメラを備える。
FIG. 13 shows the PDA shown in FIG.
It is a figure which shows the structure of 90 (only the element relevant to an electronic camera). The PDA 90 includes an image pickup device moving device 30, a lens 91, and an LCD 92 according to the third embodiment.
And an electronic camera including a shutter button 93, a drive circuit 94, a control circuit 95, and a memory 96.

【0040】レンズ91は、フォーカスレンズやズーム
レンズ等であり、LCD92は、液晶表示装置であり、
シャッターボタン93は、押しボタンであり、メモリ9
6は、画像データを保存する半導体メモリカード等であ
る。
The lens 91 is a focus lens or a zoom lens, and the LCD 92 is a liquid crystal display device.
The shutter button 93 is a push button and is used for the memory 9
Reference numeral 6 is a semiconductor memory card or the like for storing image data.

【0041】駆動回路94は、D/A変換器や電圧源回
路等からなり、制御回路95からの指示に基づいて、撮
像素子移動装置30の2つの圧電アクチュエータ13a
及び13bそれぞれに駆動信号1及び2を出力すること
で、撮像素子11を光学軸方向に前後移動させて焦点調
節をしたり、撮像素子11が光学軸に対して直交するよ
うに平行度を維持したりする。
The drive circuit 94 is composed of a D / A converter, a voltage source circuit, etc., and based on an instruction from the control circuit 95, the two piezoelectric actuators 13a of the image pickup device moving device 30.
And 13b output driving signals 1 and 2 respectively to move the image sensor 11 back and forth in the optical axis direction for focus adjustment, and maintain parallelism so that the image sensor 11 is orthogonal to the optical axis. To do

【0042】制御回路95は、CPU、プログラムを格
納したROM及びA/D変換器等からなり、撮像素子1
1からの方向信号に基づいて(方向信号の大きさがゼロ
となるように)、駆動回路94から出力される2つの駆
動信号1及び2のバランスについての指示を駆動回路9
4に与えたり、撮像素子11からの変位信号に基づい
て、合焦のための指示を駆動回路94に与えたり、シャ
ッターボタン93からの押下信号に基づいて、撮像素子
11に結像された画像を画像信号として読み出し、デジ
タルRGB等の画像データに変換してメモリ96に格納
したり、メモリ96に格納された画像データを読み出し
てLCD92に転送したりする。
The control circuit 95 is composed of a CPU, a ROM storing a program, an A / D converter, and the like.
Based on the direction signal from 1 (so that the magnitude of the direction signal is zero), the drive circuit 9 outputs an instruction about the balance between the two drive signals 1 and 2 output from the drive circuit 94.
4 or a displacement signal from the image sensor 11 to give an instruction for focusing to the drive circuit 94, or an image formed on the image sensor 11 based on a depression signal from the shutter button 93. Is read as an image signal, converted into image data such as digital RGB and stored in the memory 96, or the image data stored in the memory 96 is read and transferred to the LCD 92.

【0043】なお、制御回路95は、シャッターボタン
93が半分だけ押下されたときに、駆動回路94を制御
することによって撮像素子11を前後移動させて焦点調
節を行い、その後、シャッターボタン93が完全に押下
されたときに、撮像素子11からの画像信号を取り込ん
でいる。これによって、シャッターボタン93を押下す
る1つの動作だけで、自動焦点調節と画像取り込みの2
つの動作を連動させることができる。
When the shutter button 93 is pressed halfway down, the control circuit 95 controls the drive circuit 94 to move the image sensor 11 back and forth to adjust the focus, and then the shutter button 93 is completely released. When pressed down, the image signal from the image sensor 11 is captured. As a result, with only one operation of pressing the shutter button 93, it is possible to perform automatic focusing and image capturing.
The two movements can be linked.

【0044】以上のように、本発明に係る撮像素子移動
装置によれば、フレキシブル・プリント基板が3つの役
割、即ち、(i)撮像素子からの配線の引き出しと、(ii)
圧電アクチュエータが発生した変位を増幅して撮像素子
に伝達する役割と、(iii)圧電アクチュエータを定位置
に付勢しておくバネ部材としての役割とを果たしてい
る。これによって、簡易な構造であるにも拘わらず、撮
像素子を大きく移動させることができるとともに、撮像
素子の向き等を安定化させることができ、小型で、か
つ、広い範囲にわたって正確な焦点調節ができる電子カ
メラが実現される。
As described above, according to the image pickup device moving apparatus of the present invention, the flexible printed circuit board has three functions, namely (i) wiring lead-out from the image pickup device, and (ii)
It plays a role of amplifying the displacement generated by the piezoelectric actuator and transmitting it to the image pickup element, and (iii) a role of a spring member for urging the piezoelectric actuator to a fixed position. As a result, despite the simple structure, the image sensor can be largely moved, the orientation of the image sensor, etc. can be stabilized, and the size is small, and accurate focus adjustment is possible over a wide range. An electronic camera that can be realized is realized.

【0045】以上、本発明に係る撮像素子移動装置につ
いて、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、こ
れらの実施の形態に限定されるものではない。
The image pickup device moving apparatus according to the present invention has been described above based on the embodiments, but the present invention is not limited to these embodiments.

【0046】例えば、図2に示された撮像素子移動装置
10では、電圧の印加によって圧電アクチュエータ13
a及び13bが収縮し、それによって、撮像素子11が
前面に押し出され、レンズ系に近い位置に移動したが、
逆の方向に移動させる構造としてもよい。例えば、図2
(b)に示された状態がアイドル状態(圧電アクチュエ
ータ13a及び13bに電圧が印加されていない状態)
とし、図2(a)に示された状態が駆動状態(圧電アク
チュエータ13a及び13bに電圧が印加されている状
態)となるように、フレキシブル・プリント基板12a
及び12bの取り付け状態や印加電圧の極性等を変更す
ることができる。
For example, in the image pickup device moving apparatus 10 shown in FIG. 2, the piezoelectric actuator 13 is applied by applying a voltage.
Although a and 13b contract, the image sensor 11 is pushed to the front and moved to a position close to the lens system.
The structure may be moved in the opposite direction. For example, in FIG.
The state shown in (b) is an idle state (state in which no voltage is applied to the piezoelectric actuators 13a and 13b).
2A so that the state shown in FIG. 2A becomes a driving state (state in which voltage is applied to the piezoelectric actuators 13a and 13b).
It is possible to change the attachment state of 12 and 12b, the polarity of the applied voltage, and the like.

【0047】また、第1〜第4の実施の形態における特
徴を任意に組み合わせることで、さらに異なる形態の撮
像素子移動装置が実現される。例えば、図8に示された
撮像素子移動装置40に、図6に示された渡し板31を
付加し、撮像素子11のX軸及びY軸方向の傾きを検出
する4つのコンデンサを設けることによって、撮像素子
11の傾きを高い精度で検出し、より完全な平行度を保
持する制御が可能となる。
Further, by arbitrarily combining the features of the first to fourth embodiments, an image pickup device moving apparatus having a different form can be realized. For example, by adding the transfer plate 31 shown in FIG. 6 to the image pickup device moving device 40 shown in FIG. 8 and providing four capacitors for detecting inclinations of the image pickup device 11 in the X-axis and Y-axis directions. The inclination of the image pickup device 11 can be detected with high accuracy, and control can be performed to maintain more complete parallelism.

【0048】また、撮像素子の傾きや移動量(位置)に
ついては、コンデンサをセンサーとする電気的な検出方
式だけでなく、光の反射による光学的な検出方式や、撮
像素子からの画像信号に含まれる周波数成分による検出
方式等を採用してもよい。そして、これら各種センサー
を撮像素子上に搭載し、さらなる小型化を図ってもよ
い。
Regarding the tilt and movement amount (position) of the image pickup device, not only an electrical detection system using a capacitor as a sensor but also an optical detection system by reflection of light and an image signal from the image pickup device are used. A detection method or the like based on the included frequency component may be adopted. Then, these various sensors may be mounted on the image sensor to further reduce the size.

【0049】また、フレキシブル・プリント基板やベー
ス基板の空き領域に、各種検出回路、駆動回路、制御回
路等を形成しておいたり、メモリIC等を搭載しておい
たりすることで、電子カメラとして必要な機能を併せ持
つ高機能でコンパクトな撮像素子移動装置(電子カメラ
モジュール)を実現することもできる。
Also, by forming various detection circuits, drive circuits, control circuits, etc., and mounting memory ICs, etc. in the vacant areas of the flexible printed circuit board and the base substrate, an electronic camera can be obtained. It is also possible to realize a highly functional and compact image pickup device moving device (electronic camera module) that also has necessary functions.

【0050】[0050]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る撮像素子移動装置は、レンズ系を介して得られる
光学像を撮像する撮像素子と、配線材として前記撮像素
子に接続されるとともに、前記撮像素子を定位置に付勢
するフレキシブル回路基板と、発生した変位を、前記フ
レキシブル回路基板を介して前記撮像素子に伝達するこ
とにより前記撮像素子を光学軸方向に移動させる圧電ア
クチュエータとを備えることを特徴とする。これによっ
て、フレキシブル回路基板は、配線材とバネ材とを兼ね
備えることとなり、撮像素子移動装置のコンパクト化が
図られる。
As is apparent from the above description, the image pickup device moving apparatus according to the present invention is connected to the image pickup device for picking up an optical image obtained through the lens system and the image pickup device as a wiring member. At the same time, a flexible circuit board for urging the image pickup element to a fixed position, and a piezoelectric actuator for moving the image pickup element in the optical axis direction by transmitting the generated displacement to the image pickup element via the flexible circuit board. It is characterized by including. As a result, the flexible circuit board has both a wiring material and a spring material, and the imaging device moving device can be made compact.

【0051】そして、前記圧電アクチュエータは、その
一部が前記フレキシブル回路基板に固定され、前記フレ
キシブル回路基板をたわみ板として変形させることによ
り前記撮像素子を移動させる。これによって、圧電アク
チュエータが発生した変位は、フレキシブル回路基板に
よって増幅されて撮像素子に伝達されるので、合焦能力
の高い撮像素子移動装置が実現される。
A part of the piezoelectric actuator is fixed to the flexible circuit board, and the flexible circuit board is deformed as a flexible plate to move the image pickup device. As a result, the displacement generated by the piezoelectric actuator is amplified by the flexible circuit board and transmitted to the image pickup device, so that an image pickup device moving device having a high focusing ability is realized.

【0052】また、前記圧電アクチュエータは、2以上
の独立した部分圧電アクチュエータの集まりからなり、
前記撮像素子移動装置は、さらに、光学軸に対する前記
撮像素子の撮像面の向きを検知する方向センサーと、前
記撮像素子の撮像面が光学軸と直交するように、前記方
向センサーからの信号に基づいて、前記2以上の部分圧
電アクチュエータそれぞれを独立して駆動する信号を発
生する駆動制御回路とを備える構成としてもよい。これ
によって、撮像素子の位置に拘わらず、常に撮像面を光
学軸と直交させることが可能となり、高い精度での焦点
調節が可能となる。
The piezoelectric actuator comprises a group of two or more independent partial piezoelectric actuators,
The image pickup device moving device further includes a direction sensor that detects a direction of an image pickup surface of the image pickup device with respect to an optical axis, and a signal from the direction sensor so that the image pickup surface of the image pickup device is orthogonal to the optical axis. And a drive control circuit for generating a signal for independently driving each of the two or more partial piezoelectric actuators. This makes it possible to always make the image pickup surface orthogonal to the optical axis regardless of the position of the image pickup element, and to perform focus adjustment with high accuracy.

【0053】以上のように、本発明により、簡易な構造
であるにも拘わらず、撮像素子を大きく移動させること
が可能な撮像素子移動装置が実現され、特に、携帯用電
子機器に組み込む小型・薄型で、かつ、高機能な電子カ
メラに適用することができ、その実用的価値は極めて大
きい。
As described above, according to the present invention, it is possible to realize an image pickup device moving device capable of moving an image pickup device largely despite its simple structure. It can be applied to a thin and highly functional electronic camera, and its practical value is extremely large.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態における撮像素子移
動装置の外観図である。
FIG. 1 is an external view of an image pickup element moving device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】(a)は、同撮像素子移動装置の圧電アクチュ
エータに電圧が印加されていないアイドル状態、(b)
は、圧電アクチュエータに電圧が印加され駆動されたと
きの状態を示す。
FIG. 2A is an idle state in which no voltage is applied to the piezoelectric actuator of the image pickup device moving apparatus, and FIG.
Shows the state when a voltage is applied to the piezoelectric actuator to drive it.

【図3】同撮像素子移動装置の2つの圧電アクチュエー
タの配置及び電気的な接続を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing an arrangement and electrical connection of two piezoelectric actuators of the image pickup device moving apparatus.

【図4】本発明の第2の実施の形態における撮像素子移
動装置の外観図である。
FIG. 4 is an external view of an image pickup element moving device according to a second embodiment of the present invention.

【図5】(a)は、同撮像素子移動装置の正面図、
(b)は、平面図、(c)は、その滑り部材の平面図、
(d)は、その滑り部材の側面図である。
FIG. 5A is a front view of the image pickup device moving device,
(B) is a plan view, (c) is a plan view of the sliding member,
(D) is a side view of the sliding member.

【図6】本発明の第3の実施の形態における撮像素子移
動装置の外観図である。
FIG. 6 is an external view of an image pickup element moving device according to a third embodiment of the present invention.

【図7】(a)は、図6におけるAA切断面での断面
図、(b)は、(a)に示されたコンデンサをセンサー
して撮像素子の平行度及び変位量を計測する回路の例で
ある。
7A is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 6, and FIG. 7B is a circuit diagram for measuring the parallelism and displacement of the image sensor by sensing the capacitor shown in FIG. Here is an example.

【図8】(a)は、本発明の第4の実施の形態における
撮像素子移動装置の外観図、(b)は、その内部の平面
図である。
FIG. 8A is an external view of an image pickup device moving apparatus according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 8B is a plan view of the inside thereof.

【図9】バイモルフ型の4組の圧電アクチュエータを備
える撮像素子移動装置の構成例であり、(a)は、その
内部の平面図、(b)は、4組の圧電アクチュエータに
電圧が印加されていないときの、(a)におけるBB切
断面での断面図、(c)は、4組の圧電アクチュエータ
に電圧が印加され、撮像素子が持ち上げられたときの同
断面図である。
9A and 9B are configuration examples of an image pickup device moving device including four bimorph type piezoelectric actuators, in which FIG. 9A is a plan view of the inside, and FIG. 9B is a diagram in which a voltage is applied to the four piezoelectric actuators. 6A is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 7A when the image pickup element is not lifted, and FIG. 8C is a cross-sectional view when the image pickup element is lifted by applying a voltage to four sets of piezoelectric actuators.

【図10】バイモルフ型の圧電アクチュエータを備える
別の撮像素子移動装置の構成例であり、(a)は、その
内部の平面図、(b)は、その正面図である。
10A and 10B are configuration examples of another image pickup element moving device provided with a bimorph type piezoelectric actuator, in which FIG. 10A is a plan view of the inside thereof, and FIG. 10B is a front view thereof.

【図11】バイモルフ型の圧電アクチュエータを備える
さらに別の撮像素子移動装置の構成例であり、(a)
は、その内部の平面図、(b)は、その正面図である。
FIG. 11 is a configuration example of still another image pickup element moving device including a bimorph type piezoelectric actuator,
Is a plan view of the inside thereof, and (b) is a front view thereof.

【図12】本発明に係る撮像素子移動装置の電子機器へ
の適用例を示し、(a)は、撮像素子移動装置を備える
電子カメラが組み込まれた携帯電話機の外観図であり、
(b)は、撮像素子移動装置を備える電子カメラが組み
込まれたPDA(携帯情報端末)の外観図である。
FIG. 12 shows an application example of the image pickup device moving device according to the present invention to an electronic device, and FIG. 12A is an external view of a mobile phone incorporating an electronic camera including the image pickup device moving device,
(B) is an external view of a PDA (personal digital assistant) incorporating an electronic camera including an image sensor moving device.

【図13】同PDAの構成(電子カメラに関連する要素
だけ)を示す図である。
FIG. 13 is a diagram showing the configuration of the PDA (only the elements related to the electronic camera).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10、20、30、40、50、60、70 撮像素
子移動装置 11 撮像素子 12、12a〜12d プリント基板 13a、13b、43a〜43d 積層型の圧電アクチ
ュエータ 14a、14b、41a〜41d 滑り部材 15、44、53、63 突起部 16a、16b ベース基板 17a、17b、42a〜42d 押さえ板 21a〜21d シャフト支持部 22a、21b シャフト 31 渡し板 32a〜32c コンデンサ 33a〜33c 容量電圧変換器 34 加算器 55a、55b、56a、56b、57a、57b、5
8a、58b、61a、61b、62a、62b、71
a、71b、72a、72b、73a、73b、74
a、74b バイモルフ型の圧電アクチュエータ 64a〜64d 押し部材 75〜78 支柱 79a〜79d 挟み板 80 携帯電話機 81 レンズ 90 PDA 91 レンズ 92 LCD 93 シャッターボタン 94 駆動回路 95 制御回路 96 メモリ
10, 20, 30, 40, 50, 60, 70 Image sensor moving device 11 Image sensor 12, 12a-12d Printed circuit boards 13a, 13b, 43a-43d Laminated piezoelectric actuators 14a, 14b, 41a-41d Sliding member 15, 44, 53, 63 Protrusions 16a, 16b Base substrates 17a, 17b, 42a to 42d Pressing plates 21a to 21d Shaft supporting portions 22a, 21b Shaft 31 Transfer plates 32a to 32c Capacitors 33a to 33c Capacitance voltage converter 34 Adder 55a, 55b, 56a, 56b, 57a, 57b, 5
8a, 58b, 61a, 61b, 62a, 62b, 71
a, 71b, 72a, 72b, 73a, 73b, 74
a, 74b Bimorph type piezoelectric actuators 64a to 64d Pushing members 75 to 78 Struts 79a to 79d Clamp plate 80 Mobile phone 81 Lens 90 PDA 91 Lens 92 LCD 93 Shutter button 94 Drive circuit 95 Control circuit 96 Memory

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G03B 13/36 H01L 27/14 D 5C024 17/02 G02B 7/11 P H01L 27/14 N H04N 5/225 G03B 3/00 A 5/335 3/04 // H04N 101:00 Fターム(参考) 2H011 AA03 CA00 CA12 2H051 AA00 EA25 FA02 FA07 FA08 FA19 GB15 2H100 BB06 BB11 4M118 BA10 FA06 HA25 HA27 5C022 AA13 AB44 AB46 AC42 AC54 AC70 AC77 5C024 BX01 CY49 EX22 EX23 EX42 HX01 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G03B 13/36 H01L 27/14 D 5C024 17/02 G02B 7/11 P H01L 27/14 N H04N 5/225 G03B 3/00 A 5/335 3/04 // H04N 101: 00 F term (reference) 2H011 AA03 CA00 CA12 2H051 AA00 EA25 FA02 FA07 FA08 FA19 GB15 2H100 BB06 BB11 4M118 BA10 FA06 HA25 HA27 5C022 AA13 AB44 AB46 AC42 AC54 AC70 AC77 5C024 BX01 CY49 EX22 EX23 EX42 HX01

Claims (19)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レンズ系を介して得られる光学像を撮像
する撮像素子と、 配線材として前記撮像素子に接続されるとともに、前記
撮像素子を定位置に付勢するフレキシブル回路基板と、 発生した変位を、前記フレキシブル回路基板を介して前
記撮像素子に伝達することにより前記撮像素子を光学軸
方向に移動させる圧電アクチュエータとを備えることを
特徴とする撮像素子移動装置。
1. An image pickup device for picking up an optical image obtained through a lens system, and a flexible circuit board connected to the image pickup device as a wiring member and urging the image pickup device to a fixed position. An image pickup element moving device, comprising: a piezoelectric actuator that moves the image pickup element in the optical axis direction by transmitting displacement to the image pickup element via the flexible circuit board.
【請求項2】 前記圧電アクチュエータは、その一部が
前記フレキシブル回路基板に固定され、前記フレキシブ
ル回路基板をたわみ板として変形させることにより前記
撮像素子を移動させることを特徴とする請求項1記載の
撮像素子移動装置。
2. The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein a part of the piezoelectric actuator is fixed to the flexible circuit board, and the image pickup device is moved by deforming the flexible circuit board as a flexible plate. Image sensor moving device.
【請求項3】 前記フレキシブル回路基板は、180度
異なる2つの方向に前記撮像素子からの配線を引き出す
第1及び第2フレキシブル回路基板からなり、 前記圧電アクチュエータは、積層型の柱状体であり、そ
の両端が、それぞれ、前記第1及び第2フレキシブル回
路基板に固定されていることを特徴とする請求項2記載
の撮像素子移動装置。
3. The flexible circuit board comprises first and second flexible circuit boards for drawing out wiring from the image pickup element in two directions different by 180 degrees, and the piezoelectric actuator is a stacked columnar body, 3. The image pickup device moving device according to claim 2, wherein both ends thereof are fixed to the first and second flexible circuit boards, respectively.
【請求項4】 前記圧電アクチュエータは、光学軸と直
交する方向に変位を発生することにより、前記第1及び
第2のフレキシブル回路基板を変形させることを特徴と
する請求項3記載の撮像素子移動装置。
4. The image sensor movement according to claim 3, wherein the piezoelectric actuator deforms the first and second flexible circuit boards by generating displacement in a direction orthogonal to an optical axis. apparatus.
【請求項5】 前記圧電アクチュエータは、その積層方
向における中央部が固定され、その両端において等しい
変位を発生することを特徴とする請求項4記載の撮像素
子移動装置。
5. The image pickup device moving apparatus according to claim 4, wherein the central portion of the piezoelectric actuator in the stacking direction is fixed and both ends of the piezoelectric actuator generate the same displacement.
【請求項6】 前記撮像素子は、前記圧電アクチュエー
タに電圧が印加されていないときに、前記フレキシブル
回路基板により、レンズ系に最も近い位置に保持されて
いることを特徴とする請求項1記載の撮像素子移動装
置。
6. The image pickup device according to claim 1, which is held at a position closest to the lens system by the flexible circuit board when a voltage is not applied to the piezoelectric actuator. Image sensor moving device.
【請求項7】 前記撮像素子は、前記圧電アクチュエー
タに電圧が印加されていないときに、前記フレキシブル
回路基板により、レンズ系に最も遠い位置に保持されて
いることを特徴とする請求項1記載の撮像素子移動装
置。
7. The image pickup device according to claim 1, which is held at a position farthest from the lens system by the flexible circuit board when a voltage is not applied to the piezoelectric actuator. Image sensor moving device.
【請求項8】 前記圧電アクチュエータは、2以上の独
立した部分圧電アクチュエータの集まりからなり、 前記撮像素子移動装置は、さらに、 前記2以上の部分圧電アクチュエータそれぞれを独立し
て駆動する信号を発生する駆動回路を備えることを特徴
とする請求項1記載の撮像素子移動装置。
8. The piezoelectric actuator comprises a group of two or more independent partial piezoelectric actuators, and the image pickup device moving device further generates a signal for independently driving each of the two or more partial piezoelectric actuators. The image pickup device moving apparatus according to claim 1, further comprising a drive circuit.
【請求項9】 前記2以上の部分圧電アクチュエータ
は、平行する方向に変位を発生するように配置されてい
ることを特徴とする請求項8記載の撮像素子移動装置。
9. The image pickup device moving device according to claim 8, wherein the two or more partial piezoelectric actuators are arranged so as to generate a displacement in a parallel direction.
【請求項10】 前記撮像素子移動装置は、さらに、 光学軸に対する前記撮像素子の撮像面の向きを検知する
方向センサーを備えることを特徴とする請求項1記載の
撮像素子移動装置。
10. The image pickup device moving apparatus according to claim 1, further comprising a direction sensor for detecting a direction of an image pickup surface of the image pickup device with respect to an optical axis.
【請求項11】 前記圧電アクチュエータは、2以上の
独立した部分圧電アクチュエータの集まりからなり、 前記撮像素子移動装置は、さらに、 光学軸に対する前記撮像素子の撮像面の向きを検知する
方向センサーと、 前記撮像素子の撮像面が光学軸と直交するように、前記
方向センサーからの信号に基づいて、前記2以上の部分
圧電アクチュエータそれぞれを独立して駆動する信号を
発生する駆動制御回路とを備えることを特徴とする請求
項1記載の撮像素子移動装置。
11. The piezoelectric actuator comprises a group of two or more independent partial piezoelectric actuators, the image pickup device moving device further includes a direction sensor for detecting a direction of an image pickup surface of the image pickup device with respect to an optical axis, A drive control circuit for generating a signal for independently driving each of the two or more partial piezoelectric actuators based on a signal from the direction sensor so that an image pickup surface of the image pickup element is orthogonal to an optical axis. The image pickup device moving device according to claim 1.
【請求項12】 前記撮像素子からの配線は、前記フレ
キシブル回路基板により、点対称に分割されていること
を特徴とする請求項1記載の撮像素子移動装置。
12. The image pickup device moving apparatus according to claim 1, wherein the wiring from the image pickup device is point-symmetrically divided by the flexible circuit board.
【請求項13】 前記撮像素子からの配線は、前記フレ
キシブル回路基板により、同一平面上の4つの方向に分
割されていることを特徴とする請求項12記載の撮像素
子移動装置。
13. The image pickup device moving apparatus according to claim 12, wherein the wiring from the image pickup device is divided into four directions on the same plane by the flexible circuit board.
【請求項14】 前記撮像素子移動装置は、さらに、 前記撮像素子の光学軸方向における変位量を検知する変
位センサーを備えることを特徴とする請求項1記載の撮
像素子移動装置。
14. The image sensor moving device according to claim 1, wherein the image sensor moving device further includes a displacement sensor that detects a displacement amount of the image sensor in the optical axis direction.
【請求項15】 前記変位センサーは、前記撮像素子上
に搭載されていることを特徴とする請求項14記載の撮
像素子移動装置。
15. The image sensor moving device according to claim 14, wherein the displacement sensor is mounted on the image sensor.
【請求項16】 前記圧電アクチュエータは、バイモル
フ型の圧電セラミックからなることを特徴とする請求項
1記載の撮像素子移動装置。
16. The image pickup device moving apparatus according to claim 1, wherein the piezoelectric actuator is made of a bimorph type piezoelectric ceramic.
【請求項17】 前記撮像素子は、CCDであることを
特徴とする請求項1記載の撮像素子移動装置。
17. The image pickup device moving apparatus according to claim 1, wherein the image pickup device is a CCD.
【請求項18】 前記撮像素子は、C−MOS受像素子
であることを特徴とする請求項1記載の撮像素子移動装
置。
18. The image pickup device moving apparatus according to claim 1, wherein the image pickup device is a C-MOS image receiving device.
【請求項19】 請求項1記載の撮像素子移動装置と、 前記撮像素子移動装置の圧電アクチュエータを駆動する
信号を発生する駆動回路と、 シャッターボタンと、 前記シャッターボタンが押下されたときに、前記撮像素
子移動装置の撮像素子が合焦位置に移動するように前記
駆動回路から前記信号を発生させた後に、前記撮像素子
に結像された光学像を読み出す制御回路とを備えること
を特徴とする電子カメラ。
19. The image pickup device moving device according to claim 1, a drive circuit for generating a signal for driving a piezoelectric actuator of the image pickup device moving device, a shutter button, and the shutter button when the shutter button is pressed. And a control circuit for reading an optical image formed on the image pickup device after generating the signal from the drive circuit so that the image pickup device of the image pickup device moving device moves to a focus position. Electronic camera.
JP2001213349A 2001-07-13 2001-07-13 Imaging device moving apparatus and electronic camera Pending JP2003032537A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001213349A JP2003032537A (en) 2001-07-13 2001-07-13 Imaging device moving apparatus and electronic camera

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001213349A JP2003032537A (en) 2001-07-13 2001-07-13 Imaging device moving apparatus and electronic camera

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003032537A true JP2003032537A (en) 2003-01-31

Family

ID=19048342

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001213349A Pending JP2003032537A (en) 2001-07-13 2001-07-13 Imaging device moving apparatus and electronic camera

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003032537A (en)

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005041562A1 (en) * 2003-10-22 2005-05-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Imaging device and method of producing the device, portable apparatus, and imaging element and method of producing the element
WO2006005657A1 (en) * 2004-07-12 2006-01-19 Siemens Aktiengesellschaft Device and method for adjusting an orientation of an element detecting electromagnetic radiation, and camera comprising said device
WO2006043549A1 (en) * 2004-10-19 2006-04-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Piezoelectric actuator, and image pickup element moving device and image pickup device using such piezoelectric actuator
WO2006057101A1 (en) * 2004-11-25 2006-06-01 Sharp Kabushiki Kaisha Focusing area adjusting camera-carrying portable terminal
JP2006145813A (en) * 2004-11-19 2006-06-08 Pentax Corp Digital camera
JP2006211594A (en) * 2005-01-31 2006-08-10 Seiko Precision Inc Solid-state image pickup device and electronic apparatus provided with solid-state image pickup device
JP2006211596A (en) * 2005-01-31 2006-08-10 Seiko Precision Inc Solid-state image pickup device and electronic apparatus provided with the same
WO2006086249A1 (en) * 2005-02-08 2006-08-17 Micron Technology, Inc. Microelectronic imaging units and their method of manufacturing
WO2007063359A1 (en) * 2005-11-30 2007-06-07 Nokia Corporation Method and system for image stabilization
JP2007147701A (en) * 2005-11-24 2007-06-14 Pentax Corp Imaging module
EP1873574A2 (en) * 2006-06-30 2008-01-02 Northrop Grumman Corporation Multi-spectral sensor system and methods
CN100405208C (en) * 2003-12-20 2008-07-23 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 Automatic focusing device and method for digital camera
JP2009089306A (en) * 2007-10-03 2009-04-23 Konica Minolta Holdings Inc Movement mechanism, imaging unit, and imaging apparatus
JP2009251373A (en) * 2008-04-08 2009-10-29 Konica Minolta Holdings Inc Driving device
WO2011031359A1 (en) * 2009-09-10 2011-03-17 Raytheon Company Optical system with adjustable shims
KR20130106914A (en) * 2012-03-21 2013-10-01 엘지이노텍 주식회사 Camera module
DE102014208652A1 (en) * 2014-05-08 2015-11-12 Olympus Winter & Ibe Gmbh Videoscope
JP2020060727A (en) * 2018-10-12 2020-04-16 新思考電機有限公司 Power feeding device to imaging element and camera device and electronic apparatus equipped therewith
JP2021099516A (en) * 2017-09-27 2021-07-01 富士フイルム株式会社 Movable support device, image blurring correction device, and imaging apparatus
US11323599B1 (en) 2020-12-23 2022-05-03 Waymo Llc Flexure amplified piezo actuator for focus adjustment
CN114793258A (en) * 2021-01-25 2022-07-26 昆山丘钛微电子科技股份有限公司 Camera module and terminal equipment

Cited By (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8218032B2 (en) 2003-10-22 2012-07-10 Panasonic Corporation Imaging apparatus and method for producing the same, portable equipment, and imaging sensor and method for producing the same
WO2005041562A1 (en) * 2003-10-22 2005-05-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Imaging device and method of producing the device, portable apparatus, and imaging element and method of producing the element
US7924327B2 (en) 2003-10-22 2011-04-12 Panasonic Corporation Imaging apparatus and method for producing the same, portable equipment, and imaging sensor and method for producing the same
CN100405208C (en) * 2003-12-20 2008-07-23 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 Automatic focusing device and method for digital camera
WO2006005657A1 (en) * 2004-07-12 2006-01-19 Siemens Aktiengesellschaft Device and method for adjusting an orientation of an element detecting electromagnetic radiation, and camera comprising said device
WO2006043549A1 (en) * 2004-10-19 2006-04-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Piezoelectric actuator, and image pickup element moving device and image pickup device using such piezoelectric actuator
US7508117B2 (en) 2004-10-19 2009-03-24 Panasonic Corporation Piezoelectric actuator, imaging element moving device using the same, and imaging device using the same
JP2006145813A (en) * 2004-11-19 2006-06-08 Pentax Corp Digital camera
WO2006057101A1 (en) * 2004-11-25 2006-06-01 Sharp Kabushiki Kaisha Focusing area adjusting camera-carrying portable terminal
JP2006211596A (en) * 2005-01-31 2006-08-10 Seiko Precision Inc Solid-state image pickup device and electronic apparatus provided with the same
JP2006211594A (en) * 2005-01-31 2006-08-10 Seiko Precision Inc Solid-state image pickup device and electronic apparatus provided with solid-state image pickup device
US7214919B2 (en) 2005-02-08 2007-05-08 Micron Technology, Inc. Microelectronic imaging units and methods of manufacturing microelectronic imaging units
WO2006086249A1 (en) * 2005-02-08 2006-08-17 Micron Technology, Inc. Microelectronic imaging units and their method of manufacturing
KR100929483B1 (en) * 2005-02-08 2009-12-02 마이크론 테크놀로지, 인크 Microelectronic Imaging Device and Manufacturing Method Thereof
JP2008530862A (en) * 2005-02-08 2008-08-07 マイクロン テクノロジー, インク. Microelectronic imaging device and method for manufacturing the same
JP2007147701A (en) * 2005-11-24 2007-06-14 Pentax Corp Imaging module
WO2007063359A1 (en) * 2005-11-30 2007-06-07 Nokia Corporation Method and system for image stabilization
US7417210B2 (en) 2006-06-30 2008-08-26 Northrop Grumman Corporation Multi-spectral sensor system and methods
EP1873574A3 (en) * 2006-06-30 2008-02-20 Northrop Grumman Corporation Multi-spectral sensor system and methods
EP1873574A2 (en) * 2006-06-30 2008-01-02 Northrop Grumman Corporation Multi-spectral sensor system and methods
JP2009089306A (en) * 2007-10-03 2009-04-23 Konica Minolta Holdings Inc Movement mechanism, imaging unit, and imaging apparatus
JP2009251373A (en) * 2008-04-08 2009-10-29 Konica Minolta Holdings Inc Driving device
WO2011031359A1 (en) * 2009-09-10 2011-03-17 Raytheon Company Optical system with adjustable shims
US8190012B2 (en) 2009-09-10 2012-05-29 Raytheon Company Optical system with adjustable shims
KR20130106914A (en) * 2012-03-21 2013-10-01 엘지이노텍 주식회사 Camera module
KR101975893B1 (en) * 2012-03-21 2019-09-10 엘지이노텍 주식회사 Camera Module
DE102014208652A1 (en) * 2014-05-08 2015-11-12 Olympus Winter & Ibe Gmbh Videoscope
JP7228609B2 (en) 2017-09-27 2023-02-24 富士フイルム株式会社 Movable support device, image blur correction device, and imaging device
JP2023062048A (en) * 2017-09-27 2023-05-02 富士フイルム株式会社 Movable assistance device
JP2021099516A (en) * 2017-09-27 2021-07-01 富士フイルム株式会社 Movable support device, image blurring correction device, and imaging apparatus
CN113311639A (en) * 2017-09-27 2021-08-27 富士胶片株式会社 Movable auxiliary device, image shake correction device, and imaging device
CN113311639B (en) * 2017-09-27 2023-04-07 富士胶片株式会社 Movable auxiliary device, image shake correction device, and imaging device
JP7258508B2 (en) 2018-10-12 2023-04-17 新思考電機有限公司 Power feeding device for imaging device, camera device and electronic device equipped with same
JP2020060727A (en) * 2018-10-12 2020-04-16 新思考電機有限公司 Power feeding device to imaging element and camera device and electronic apparatus equipped therewith
US11323599B1 (en) 2020-12-23 2022-05-03 Waymo Llc Flexure amplified piezo actuator for focus adjustment
US11678039B2 (en) 2020-12-23 2023-06-13 Waymo Llc Flexure amplified piezo actuator for focus adjustment
CN114793258A (en) * 2021-01-25 2022-07-26 昆山丘钛微电子科技股份有限公司 Camera module and terminal equipment
CN114793258B (en) * 2021-01-25 2024-04-30 昆山丘钛微电子科技股份有限公司 Camera module and terminal equipment

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2003032537A (en) Imaging device moving apparatus and electronic camera
US11425295B2 (en) Integrated substrate for anti-shake apparatus
US11550118B2 (en) Lens driving apparatus, photographing module and electronic device
US9712748B2 (en) Driver and image instrument
US6392827B1 (en) Drive and guide mechanism and apparatus using the mechanism
US8928766B2 (en) Anti-shake device for a lens module
KR102003043B1 (en) Flexible printed circuit board and small camera apparatus having the same
US11809013B2 (en) Optical system
US9277108B2 (en) Camera module including a lens barrel
JP5919440B2 (en) Imaging module and electronic device
US11258929B2 (en) Lens moving apparatus, and camera module and optical device comprising same
US7800651B2 (en) Image-stabilization driving device
KR20130108283A (en) Camera apparatus
US11953703B2 (en) Lens module and camera module including the same
US11002941B2 (en) Calibration method
WO2015016043A1 (en) Imaging module and electronic apparatus
JP5919439B2 (en) Imaging module
CN214381127U (en) Optical image stabilizing device, camera module and electronic device
US20190129130A1 (en) Lens driving apparatus, photographing module and electronic device
US7999442B2 (en) Piezoelectric actuator and electronics device using the same
US11635632B2 (en) Mirror-based microelectromechanical system for optical image stabilization
US20090290061A1 (en) Camera module
US11985404B2 (en) Lens moving apparatus, and camera module and optical device comprising same
KR20220045517A (en) A lens moving unit, and camera module and optical instrument including the same
CN116194833A (en) Optical unit with shake correction function and bending method of flexible printed circuit board