JP2003014760A - Probe carrier, probe fixing carrier, and their manufacturing methods - Google Patents

Probe carrier, probe fixing carrier, and their manufacturing methods

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JP2003014760A
JP2003014760A JP2002129295A JP2002129295A JP2003014760A JP 2003014760 A JP2003014760 A JP 2003014760A JP 2002129295 A JP2002129295 A JP 2002129295A JP 2002129295 A JP2002129295 A JP 2002129295A JP 2003014760 A JP2003014760 A JP 2003014760A
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JP
Japan
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probe
carrier
partition wall
index
partition
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Application number
JP2002129295A
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Japanese (ja)
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Makoto Kameyama
誠 亀山
Nobuyuki Okamura
信行 岡村
Hisashi Okamoto
尚志 岡本
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately and quickly manufacture a probe carrier that is improved in reliability (particularly, is made free from mixed liquids and voids) and increased in density and to accurately and quickly detect the position of a target compound specifically coupled with a probe fixed on the probe carrier. SOLUTION: A solution containing the probe is imparted to a specific position on the probe carrier having an index in a probe non-fixing area on the basis of the position of the index and the probe is fixed. Preferably, partition walls are formed on the carrier and the spreadability of the probe solution in the areas surrounded by the partition walls is improved by improving the water repellency of the partition walls by irradiating the walls with a plasma in a gas atmosphere containing fluorine atoms and then bringing water into contact with the carrier. In addition, the position of the target compound specifically coupled with the probe fixed on the probe carrier manufactured by the manufacturing method can be detected accurately and quickly on the basis of the index.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、特にインクジェッ
ト方式により指標を利用してプローブ溶液を担体上の特
定の位置に付与するプローブ担体の製造方法、およびそ
の製造方法により製造されたプローブ担体、さらには上
記指標を利用して該プローブ担体上でプローブと結合し
た標的物質の位置を特定する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention particularly relates to a method for producing a probe carrier in which a probe solution is applied to a specific position on a carrier by using an index by an inkjet method, and a probe carrier produced by the method, Relates to a method for identifying the position of a target substance bound to a probe on the probe carrier by using the above index.

【0002】[0002]

【従来の技術】遺伝子DNAの塩基配列の解析、あるい
は、同時に多項目に関し、高信頼性で遺伝子診断などを
行う際、目的とする塩基配列を有するDNAを複数種の
プローブを用いて選別することが必要となる。この選別
作業に利用されるプローブ複数種を提供する手段とし
て、DNAマイクロチップが注目を浴びている。また、
薬剤等のハイスループット・スクリーニングやコンビナ
トリアル・ケミストリーにおいても、対象となるタンパ
ク質や、薬物の溶液を多数(例えば、96、384、1
536種)を並べ、秩序立ったスクリーニングを行うこ
とが必要となる。その目的で多数種の薬剤を配列するた
めの手法、その状態での自動化されたスクリーニング技
術、専用の装置、一連のスクリーニング操作を制御し、
また結果を統計的に処理するためのソフトウェア等も開
発されてきている。
2. Description of the Related Art When analyzing the base sequence of a gene DNA, or simultaneously performing highly reliable gene diagnosis on many items, a DNA having a target base sequence is selected using plural kinds of probes. Is required. DNA microchips have been attracting attention as a means for providing a plurality of types of probes used for this sorting operation. Also,
Even in high-throughput screening of drugs and combinatorial chemistry, many solutions of target proteins and drugs (eg, 96, 384, 1
It is necessary to arrange (536 kinds) and perform an orderly screening. Controls a method for arranging multiple kinds of drugs for that purpose, an automated screening technique in that state, a dedicated device, a series of screening operations,
Also, software and the like for statistically processing the results have been developed.

【0003】これら並列的なスクリーニング作業は、基
本的に、評価すべき物質に対して、選別する手段となる
既知のプローブを多数並べてなる、いわゆるプローブ・
アレイを利用することで、同じ条件の下、プローブに対
する作用、反応などの有無を検出するものである。一般
的に、どのようなプローブに対する作用、反応を利用す
るかは予め決定されており、従って、ひとつのプローブ
・アレイに搭載されるプローブ種は、例えば、塩基配列
の異なる一群のDNAプローブなど、大きく区分すると
一種類の物質である。すなわち、一群のプローブに利用
される物質は、例えば、DNA、タンパク質、合成され
た化学物質(薬剤)などである。多くの場合、一群をな
すプローブ複数種からなるプローブ・アレイを用いるこ
とが多いが、スクリーニング作業性質によっては、プロ
ーブとして、同一の塩基配列を有するDNA、同一のア
ミノ酸配列を有するタンパク質、同一の化学物質を多数
点並べ、アレイ状とした形態を利用することもあり得
る。これらは主として薬剤スクリーニング等に用いられ
る。
These parallel screening operations basically consist of a large number of known probes as a means for selecting substances to be evaluated, so-called probe.
By using an array, it is possible to detect the presence or absence of an action or reaction on the probe under the same conditions. In general, what kind of action and reaction to use for the probe is determined in advance. Therefore, the probe species mounted in one probe array may be, for example, a group of DNA probes having different base sequences. It is one type of substance when roughly classified. That is, the substance used for the group of probes is, for example, DNA, protein, or a synthesized chemical substance (drug). In many cases, a probe array composed of a plurality of types of probes is often used. However, depending on the nature of the screening work, as probes, DNA having the same base sequence, protein having the same amino acid sequence, and the same chemical It is also possible to use an array form in which a large number of substances are arranged. These are mainly used for drug screening and the like.

【0004】一群をなすプローブ複数種からなるプロー
ブ・アレイでは、具体的には、異なる塩基配列を有する
一群のDNA、異なるアミノ酸配列を有する一群のタン
パク質、あるいは異なる化学物質の一群について、その
一群を構成する複数種を、所定の配列順序に従って、ア
レイ状に担体上などに配置する形態をとることが多い。
なかでも、DNAプローブ・アレイは、遺伝子DNAの
塩基配列の解析や、同時に、多項目について、信頼性の
高い遺伝子診断を行う際などに用いられる。
In a probe array consisting of a plurality of types of probes, specifically, a group of DNAs having different base sequences, a group of proteins having different amino acid sequences, or a group of different chemical substances is used. In many cases, a plurality of types of constituents are arranged in an array on a carrier according to a predetermined arrangement order.
Among them, the DNA probe array is used for analysis of the base sequence of gene DNA and, at the same time, for highly reliable gene diagnosis of many items.

【0005】この一群をなすプローブ複数種からなるプ
ローブ・アレイにおける課題のひとつは、できるだけ多
種類のプローブ、例えば、多種類の塩基配列を有するD
NAプローブを一つの担体上に載せることである。換言
するならば、如何に高密度にプローブをアレイ状に並べ
ることができるかである。
One of the problems in a probe array consisting of a plurality of types of probes forming this group is to use as many types of probes as possible, for example, D having various types of base sequences.
The NA probe is placed on one carrier. In other words, how densely the probes can be arranged in an array.

【0006】担体上にアレイ状にプローブ複数種を固定
する一つの方法として、米国特許USP 5,424,
186号公報に記載される、光分解性の保護基とフォト
リソグラフイーを用いた担体上でのDNAの逐次伸長反
応により、互いに異なる塩基配列を有するDNAプロー
ブをアレイ状に製造する手法を挙げることができる。こ
の手法を利用すると、例えば、1cm2当たり1000
0種類以上の配列が異なるDNAを搭載したDNAプロ
ーブ・アレイの調製も可能でなる。なお、この手法で
は、逐次伸長反応によりDNAを合成する際、4種の塩
基(A,T,C,G)毎に、それぞれ専用のフォトマス
クを用いてフォトリソグラフイー工程をおこない、アレ
イの所定箇所に何れかの塩基を選択的に伸長させること
で、所望の塩基配列を有する複数種のDNAを所定の配
列で担体上に合成する。従って、DNAの鎖長が長くな
ると、調製に要するコストは高くなり、また、長時間を
要する。加えて、各伸長段階における、ヌクレオチド合
成の効率は100%ではないため、設計した塩基配列に
欠損を生じたDNAの比率も小さくない。さらに、合成
の際、光分解性の保護基を用いる場合、通常の酸分解性
の保護基を用いる場合と比べて合成効率が落ちるため、
最終的に得られるアレイにおいて、設計した塩基配列通
りのDNAの占める割合が小さくなるという問題もあ
る。
[0006] As one method of immobilizing plural kinds of probes in an array on a carrier, US Pat. No. 5,424,424 has been used.
No. 186, a method for producing DNA probes having different base sequences in an array form by sequential extension reaction of DNA on a carrier using a photodegradable protecting group and photolithography. You can Using this method, for example, 1000 per 1 cm2
It is also possible to prepare a DNA probe array carrying zero or more kinds of DNAs having different sequences. In this method, when synthesizing DNA by a sequential extension reaction, a photolithography process is performed for each of four types of bases (A, T, C, G) by using a dedicated photomask, and a predetermined array is prepared. By selectively extending one of the bases at a position, a plurality of types of DNA having a desired base sequence are synthesized on the carrier with a predetermined sequence. Therefore, the longer the chain length of DNA, the higher the cost required for the preparation and the longer time required. In addition, since the efficiency of nucleotide synthesis in each extension step is not 100%, the ratio of DNA in which the designed nucleotide sequence has a defect is not small. Furthermore, in the case of using a photodegradable protective group in the synthesis, the synthesis efficiency is lower than in the case of using an ordinary acid-decomposable protective group,
In the finally obtained array, there is also a problem that the proportion of DNA according to the designed nucleotide sequence becomes small.

【0007】また、担体上で直接合成した生成物をその
まま使用するものであるため、設計した塩基配列通りの
DNAから欠損のある塩基配列を有するDNAを精製分
別により取り除くことは勿論不可能である。その他に、
最終的に得られるアレイにおいて、担体上に合成されて
いるDNAの塩基配列を確認することができないという
問題を秘めている。これは仮に、工程上のミスなどによ
り、ある伸長段階で所定の塩基の伸長がほとんどなされ
てなく、全くの不良品であった場合、この不良品プロー
ブ・アレイを用いたスクリーニングは、誤った結果を与
えるが、それを未然に防止する術が全くないことを意味
している。この塩基配列を確認することができないとい
うことが、この手法における最大かつ本質的な問題であ
る。
Further, since the product directly synthesized on the carrier is used as it is, it is, of course, impossible to remove the DNA having the defective base sequence from the designed DNA according to the designed base sequence by purification fractionation. . Other,
In the finally obtained array, there is a problem that the base sequence of DNA synthesized on the carrier cannot be confirmed. This is because if a given base was hardly extended at a certain extension stage due to an error in the process, and it was a completely defective product, the screening using this defective product probe array resulted in an incorrect result. However, it means that there is no way to prevent it. The inability to confirm this nucleotide sequence is the biggest and essential problem in this method.

【0008】前記の手法とは別な方法として、プローブ
用のDNAを予め合成、精製し、場合によってはその塩
基長を確認した上で、各DNAをマイクロディスペンサ
ーのようなデバイスにより担体上に付与し、プローブ・
アレイを調製する手法も提案されている。PCT公開公
報WO95/355O5号には、キャピラリーを用い
て、DNAをメンブラン上へ付与する手法が記載されて
いる。この手法を適用すると、原理的には、1cm2当
たり1000個程度のDNAアレイの調製が可能であ
る。基本的には、各プローブ毎に一本のキヤピラリー状
ディスペンス・デバイスでプローブ溶液を担体上の所定
位置へ付与し、その作業を繰り返すことで、プローブ・
アレイを調製する手法である。各プローブ毎に専用のキ
ヤピラリーを用意すれば、問題はないが、仮に、少数の
キヤピラリーを用いて、同じ作業を行おうとすれば、相
互汚染を防止するため、プローブ種を入れ替える際、キ
ャピラリーを十分に洗浄する必要がある。また、付与す
る位置もその度毎に制御する必要がある。従って、多種
類のプローブを高密度に配列するアレイの調製に適して
いる手法とはいえない。加えて、プローブ溶液の担体へ
の付与は、キヤピラリー先端を担体にタッピングして行
うため、再現性・信頼性も完全とはいえない。
As a method different from the above-mentioned method, DNA for a probe is previously synthesized and purified, and in some cases, after confirming the base length thereof, each DNA is applied onto a carrier by a device such as a microdispenser. And probe
Techniques for preparing arrays have also been proposed. PCT publication WO95 / 355O5 describes a method of applying DNA onto a membrane using a capillary. By applying this method, it is possible in principle to prepare about 1000 DNA arrays per cm 2. Basically, one capillary-type dispensing device for each probe is used to apply the probe solution to a predetermined position on the carrier, and this operation is repeated,
This is a method of preparing an array. There is no problem if you prepare a dedicated capillary for each probe, but if you try to do the same work with a small number of capillaries, to prevent cross-contamination, the capillaries should be sufficient when replacing the probe type. Need to be washed. Further, it is necessary to control the applied position each time. Therefore, it cannot be said to be a method suitable for preparing an array in which a large number of types of probes are arranged at high density. In addition, since the probe solution is applied to the carrier by tapping the tip of the capillary onto the carrier, reproducibility and reliability cannot be said to be perfect.

【0009】その他の手法として、担体上においてDN
Aの固相合成を行う際、各伸長段階毎に、インクジェッ
ト法により合成に必要な物質の溶液を担体上に付与する
手法も提案されている。例えば、欧州特許公告公報EP
0 703 825B1号には、DNAの固相合成に
おいて利用される、ヌクレオチドモノマー、ならびに、
アクティベ−ターをそれぞれ別のピエゾ・ジェット・ノ
ズルより付与することにより、それぞれ所定の塩基配列
を有するDNA複数種を固相合成する方法が記載されて
いる。このインクジェット法による付与(塗布)は、上
記キャピラリーを用いた溶液の付与(塗布)に比べ、付
与量の再現性など信頼性も高く、また、ノズルの構造も
微細化が可能なものであり、プローブ・アレイの高密度
化には適した特徴を有している。しかしながら、この手
法も、基本的には、担体上でのDNAの逐次伸長反応を
応用するものなので、先に述べた米国特許USP 5,
424,186号公報に記載される手法における最大の
課題である、担体上に合成されているDNAの塩基配列
を確認することができないなどの問題点は依然として残
っている。各伸長段階毎に、専用のマスクを用いるフォ
トリソグラフィーの工程を行うという煩雑さは解消され
るものの、プローブ・アレイに不可欠な要件である、各
ポイントに所定のプローブが固定されているという点
に、若干の問題を含むものである。なお、前記EP
0,703,825B1号公報には、単独に形成された
ピエゾ・ジェット・ノズルを複数個使用する方法しか記
載されておらず、この少数のノズルを用いる際には、前
述のキャピラリーを用いる手法と同様に、高密度のプロ
ーブ・アレイ調製には必ずしも適しているとはいえな
い。
Another method is to use DN on a carrier.
When performing solid phase synthesis of A, a method has also been proposed in which a solution of a substance required for synthesis is applied onto a carrier by an inkjet method at each extension step. For example, European Patent Publication EP
No. 0 703 825 B1 discloses nucleotide monomers utilized in solid phase synthesis of DNA, and
A method for solid phase synthesis of a plurality of DNA species each having a predetermined nucleotide sequence by applying activators from different piezo jet nozzles is described. The application (application) by the ink jet method is more reliable than the application (application) of the solution using the capillary, such as the reproducibility of the applied amount, and the structure of the nozzle can be miniaturized. It has characteristics suitable for increasing the density of probe arrays. However, since this method also basically applies the sequential elongation reaction of DNA on a carrier, the above-mentioned US Pat.
The biggest problem in the method described in Japanese Patent No. 424,186, that is, the problem that the base sequence of DNA synthesized on the carrier cannot be confirmed still remains. Although the complexity of performing a photolithography process using a dedicated mask for each extension step is eliminated, the point that a predetermined probe is fixed at each point, which is an essential requirement for the probe array. , With some problems. The EP
No. 0,703,825 B1 describes only a method of using a plurality of piezo jet nozzles formed independently, and when using this small number of nozzles, a method using the above-mentioned capillary is used. Similarly, it is not always suitable for high density probe array preparation.

【0010】また、特開平11−187900号公報に
は、プローブを含む液体をサーマルインクジェットヘッ
ドにより液滴として固相に付着させて、プローブを含む
スポットを固相上に形成する方法が開示されている。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-187900 discloses a method in which a liquid containing a probe is attached as droplets to a solid phase by a thermal ink jet head to form a spot containing the probe on the solid phase. There is.

【0011】インクジェット方式を利用したプローブ・
アレイ調製では、高密度化の観点からは診断等の検出効
率を向上させるため、また検体の量を多く用意しないた
めにも、一定範囲内にできるだけ多種のプローブを固定
することが望まれる。また、高信頼性の観点からは特定
のプローブが所望する位置に付与される必要がある。診
断時等のエラーを防止するためにも、プローブ担体上の
所定の場所には所望のプローブのみが固定されているこ
とが望ましい。
A probe using an inkjet method
In array preparation, it is desirable to immobilize as many kinds of probes as possible within a certain range in order to improve the detection efficiency in diagnosis and the like from the viewpoint of high density, and not to prepare a large amount of sample. Further, from the viewpoint of high reliability, a specific probe needs to be provided at a desired position. In order to prevent an error at the time of diagnosis or the like, it is desirable that only a desired probe is fixed at a predetermined place on the probe carrier.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】上記のように、今後さ
らに高密度にプローブを固定するためには、より一層の
位置制御が求められてくる。しかしながら、従来のイン
クジェット方式を用いたプローブの固定方法において
は、目視において担体全体を確認しながら担体とヘッド
との位置を調整し、吐出を行っていたため、所望の位置
に液体を付与することができない場合があった。
As described above, in order to fix the probes with higher density in the future, further position control will be required. However, in the conventional method of fixing the probe using the inkjet method, the position of the carrier and the head is adjusted while visually confirming the entire carrier to eject the liquid, so that the liquid can be applied to a desired position. There were times when I couldn't.

【0013】さらに、従来の複数回に分けてインクジェ
ット方式によりプローブ担体を製造する場合は、担体と
ヘッドのアライメントを毎回取る場合がある。この場合
は、実際にプローブ担体の吐出を行った後に付与された
プローブの全体の位置を確認した後に、再度吐出する方
法がとられる。しかしながら、最初に担体上に付与され
たプローブ溶液が乾燥してしまうと担体上のどの位置で
プローブが付与されているのか分からないため、プロー
ブ溶液が乾燥しない間に目視により確認した後に再度プ
ローブ溶液の吐出を行わなければならない等の不都合が
ある。また、この方法であると、人の目で行うためアラ
イメントに時間がかかる、測定点が多く取れないため正
確でない等の不都合が生じる。さらに、プローブ担体製
造の際にプローブ担体がヘッドに対して表裏逆向きにセ
ットされている場合、担体が透明な場合には担体だけか
らでは判定できず、検査工程においてもこの見間違いを
見落としてしまう可能性がある。
Further, when the probe carrier is manufactured by the ink jet method divided into a plurality of conventional times, the carrier and the head may be aligned each time. In this case, the method of discharging again after confirming the entire position of the applied probe after actually discharging the probe carrier is adopted. However, when the probe solution applied on the carrier is dried first, it is not known at which position on the carrier the probe is applied. However, there is an inconvenience such as the necessity of discharging In addition, this method causes inconvenience such that alignment is time-consuming because it is performed by human eyes and it is not accurate because many measurement points cannot be obtained. Furthermore, when the probe carrier is set upside down with respect to the head during manufacturing of the probe carrier, it cannot be judged only from the carrier when the carrier is transparent, and this mistake is overlooked in the inspection process. There is a possibility that it will end up.

【0014】また、特開平11−099000号公報に
は、プローブ担体において、蛍光等による検出における
コントラストを高めるために、担体上にフォトリソグラ
フィ法等を用いて遮光層の隔壁(ブラックマトリクスと
いう)を形成することにより、所望の位置に固定化する
ことが開示されている。しかし、本発明者らの鋭意研究
によって、ヘッドがプローブ担体に対して精密に位置合
わせできていないと、インクジェット方式によりプロー
ブを吐出した際、隣接する隔壁の開口部(ウエル)にプ
ローブ溶液が相互に混じり合い(混液という)、所望の
位置に所望のプローブを付与することができず、プロー
ブ担体としての特性をそこねてしまう場合があることが
わかった。また、吐出位置がずれるとウエル内のプロー
ブ溶液の広がりに偏りが生じて担体表面が多く露出して
しまい、検出のムラ、定量性の困難、白色輝点(「白抜
け」という)、非特定的な結合の増加など、さらなる課
題も生じることがわかった。「白抜け」は、吐出された
プローブ溶液が隔壁によって囲まれた領域内において十
分に濡れ拡がらないために発生する不良であり、担体上
に付与されたプローブのムラを生ずる。このムラは、D
NA等の検体とのハイブリダイゼーションを行った際
に、担体上に固定されている特定の塩基配列を持つプロ
ーブのみとの結合のみならず、白抜け部分に露出した基
板(例えばガラス)への付着も発生し、計測時の蛍光コ
ントラスト低下の原因となる。図3にその概念図を示
す。図3中、31は透明基板、32は隔壁、33はプロ
ーブ溶液、34は白抜け部分である。また、(b)は
(a)におけるA−B断面図である。「白抜け」は、図
3に示したように、複雑なコーナー部位や開口部幅が狭
小な部位ではプローブ溶液33が濡れ拡がりにくいた
め、また、隔壁32近傍部においてプローブ溶液33の
厚みが薄くなるため他の部位と比べて色が白くなるため
発生する問題である。白抜けはプローブ溶液付与量が多
くなるに従い少なくなるものの、完全に消失することは
ない。
Further, in JP-A-11-099000, in the probe carrier, in order to enhance the contrast in detection by fluorescence or the like, a partition wall of a light shielding layer (called a black matrix) is formed on the carrier by using a photolithography method or the like. It is disclosed that by forming it, it is fixed at a desired position. However, according to the earnest research of the present inventors, if the head is not precisely aligned with the probe carrier, the probe solution may not be able to interact with the opening (well) of the adjacent partition when ejecting the probe by the inkjet method. It was found that the desired probe could not be applied to the desired position due to the mixture with the above (referred to as mixed solution), and the characteristics as the probe carrier might be impaired. In addition, if the ejection position shifts, the spread of the probe solution in the well becomes uneven and the surface of the carrier is exposed a lot, resulting in uneven detection, difficulty in quantification, white bright spots (referred to as “white spots”), and non-specification. It was found that further problems such as an increase in physical coupling also occur. The “white spot” is a defect that occurs because the discharged probe solution does not spread sufficiently in the region surrounded by the partition walls, which causes unevenness of the probe applied on the carrier. This unevenness is D
When hybridized with a sample such as NA, it not only binds to only the probe having a specific base sequence immobilized on the carrier, but also adheres to the substrate (eg, glass) exposed in the blank areas. Also occurs, which causes a decrease in fluorescence contrast during measurement. The conceptual diagram is shown in FIG. In FIG. 3, 31 is a transparent substrate, 32 is a partition wall, 33 is a probe solution, and 34 is a blank portion. Moreover, (b) is an AB sectional view in (a). As shown in FIG. 3, “white spots” means that the probe solution 33 is difficult to spread in a complicated corner portion or a portion where the opening width is narrow, and the thickness of the probe solution 33 is small near the partition wall 32. This is a problem that occurs because the color becomes whiter than other parts. White spots decrease as the amount of the probe solution applied increases, but do not completely disappear.

【0015】隔壁32の形成には通常フォトレジストが
用いられ、隔壁32の開口部内にはフォトレジストに含
有される種々の成分が付着残留している場合がある。こ
の付着残留物がプローブ溶液の濡れ拡がりを妨げる場合
がある。したがって、より高信頼性、高精細のプローブ
担体を得るために、また、より歩留まりの良いプローブ
担体を得るための改善が望まれている。
A photoresist is usually used for forming the partition 32, and various components contained in the photoresist may adhere and remain in the opening of the partition 32. This adhered residue may hinder the wetting and spreading of the probe solution. Therefore, there is a demand for improvement in order to obtain a probe carrier with higher reliability and higher definition, and to obtain a probe carrier with higher yield.

【0016】さらに、アライメント時にかかる時間の短
縮は、チップ製造時間短縮における重要な課題であり、
目視による位置調整や、検出器を用いてブラックマトリ
クスの全体形状を確認してアライメントを行う方法で
は、非常に時間がかかり、チップ一枚あたりにかかるコ
ストの上昇を招いていた。
Furthermore, shortening the time required for alignment is an important issue in shortening the chip manufacturing time,
The position adjustment by visual observation and the method of performing alignment by confirming the overall shape of the black matrix by using a detector take a very long time, resulting in an increase in cost per chip.

【0017】本発明はかかる新たな技術課題の認定に基
づきなされたものであって、その目的はプローブ固定領
域内にプローブ溶液を付与する際に、プローブ溶液の吐
出位置がずれることやプローブ溶液の濡れ広がりが不十
分であることにより生ずる隣接するプローブ固定領域間
での混液や白抜け等の課題を解決したプローブ担体を提
供することである。
The present invention has been made on the basis of the recognition of such a new technical problem, and the purpose thereof is to displace the ejection position of the probe solution or to dispose the probe solution when applying the probe solution in the probe fixing region. It is an object of the present invention to provide a probe carrier that solves problems such as liquid mixture and white spots between adjacent probe fixing regions caused by insufficient wetting and spreading.

【0018】より具体的には、インクジェット方式によ
るプローブ固定用担体への吐出に際し、吐出ヘッドを担
体に対して正確かつ迅速に位置決めすること、または標
的物質の検出や定量を行う際に標的物質の位置を正確か
つ迅速に位置決めすることのできるプローブ固定用担体
およびプローブ担体を提供することである。
More specifically, when the ink is ejected onto the carrier for immobilizing the probe by the inkjet method, the ejection head is accurately and quickly positioned with respect to the carrier, or the target substance is detected or quantified when the target substance is detected or quantified. It is an object of the present invention to provide a probe immobilizing carrier and a probe carrier that can be accurately and quickly positioned.

【0019】さらに、信頼性の高いプローブ担体を歩留
まり良く提供するために、隔壁で囲まれたプローブ固定
領域内にプローブ溶液を付与する際に、隣接するプロー
ブ固定領域間での混液を防止し、且つ、該領域内でプロ
ーブ溶液を十分に拡散させて白抜けのないプローブ担体
を形成することにある。
Further, in order to provide a highly reliable probe carrier with a high yield, when a probe solution is applied to the probe fixing region surrounded by the partition wall, a mixed solution between adjacent probe fixing regions is prevented, In addition, the probe solution is sufficiently diffused in the region to form a probe carrier without white spots.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】したがって、上記課題を
解決するために、本発明の第1の態様において、担体上
に標的物質と特異的に結合可能な複数種のプローブが異
なる特定の位置に固定されたプローブ担体を製造する方
法であって、前記本発明の態様において、前記担体上の
前記特定の位置を除く部分に指標を設ける工程と、前記
指標の位置を基準として、前記プローブを含む溶液を前
記担体上の前記特定の位置に付与する工程と、前記プロ
ーブを前記担体上に固定する工程と、を有することを特
徴とするプローブ担体の製造方法を提供する。
Therefore, in order to solve the above-mentioned problems, in the first embodiment of the present invention, a plurality of kinds of probes capable of specifically binding to a target substance on a carrier are provided at different specific positions. A method for producing a fixed probe carrier, which comprises, in the aspect of the present invention, providing an index on a portion of the carrier other than the specific position, and including the probe based on the position of the index. A method for producing a probe carrier, comprising: a step of applying a solution to the specific position on the carrier; and a step of fixing the probe on the carrier.

【0021】前記本発明の態様において、前記担体は、
前記特定の位置を区画するための隔壁を有し、前記指標
は、前記隔壁の所定位置にあることが好ましい。
In the embodiment of the present invention, the carrier is
It is preferable that a partition for partitioning the specific position is provided, and the index is at a predetermined position of the partition.

【0022】前記本発明の態様において、前記担体上に
前記特定の位置を区画するための隔壁を形成する工程
と、少なくともフッ素原子を含有するガスの雰囲気下で
前記担体にプラズマを照射するプラズマ照射工程と、前
記特定の位置に付着した前記ガス成分を除去する工程
と、をさらに有することが好ましい。
In the above aspect of the present invention, a step of forming a partition wall for partitioning the specific position on the carrier, and plasma irradiation for irradiating the carrier with plasma under an atmosphere of a gas containing at least fluorine atoms. It is preferable to further include a step and a step of removing the gas component attached to the specific position.

【0023】前記本発明の態様において、前記ガス成分
の除去工程は、前記プラズマ照射した担体の表面に水を
接触させて前記ガス成分を洗い流す水洗工程であること
が好ましい。
In the aspect of the present invention, it is preferable that the gas component removing step is a water washing step of washing the gas component by bringing water into contact with the surface of the carrier irradiated with the plasma.

【0024】前記本発明の態様において、前記隔壁がフ
ォトリソグラフィ法により形成されることが好ましい。
In the aspect of the present invention, it is preferable that the partition wall is formed by a photolithography method.

【0025】前記本発明の態様において、前記フォトリ
ソグラフィ法は、前記担体表面に感光性樹脂層を形成
し、前記感光性樹脂層を前記隔壁に対応するようにパタ
ーン状に露光し、現像して前記隔壁を形成する工程を有
し、かつ前記隔壁を、前記プラズマ照射工程に先立っ
て、更に焼成する工程を含むことが好ましい。
In the above aspect of the present invention, in the photolithography method, a photosensitive resin layer is formed on the surface of the carrier, the photosensitive resin layer is exposed in a pattern corresponding to the partition walls, and developed. It is preferable that the method includes a step of forming the partition wall, and further includes a step of firing the partition wall prior to the plasma irradiation step.

【0026】前記本発明の態様において、前記水洗工程
において、前記担体を水に接触させた後、100℃以下
で乾燥することが好ましい。
In the aspect of the present invention, it is preferable that, in the washing step, the carrier is brought into contact with water and then dried at 100 ° C. or lower.

【0027】前記本発明の態様において、前記隔壁の所
定の位置に前記指標を有することが好ましい。
In the aspect of the present invention, it is preferable that the index is provided at a predetermined position of the partition wall.

【0028】前記本発明の態様において、前記プローブ
を含む溶液を前記特定の位置に付与する工程は、前記溶
液を空間を飛翔させて付与することが好ましい。
In the above aspect of the present invention, it is preferable that the step of applying the solution containing the probe to the specific position is performed by flying the solution in a space.

【0029】本発明の第2の態様において、担体上に標
的物質と特異的に結合可能な複数種のプローブを異なる
特定の位置に固定するためのプローブ固定用担体を製造
する方法であって、前記担体上に領域を区画するための
隔壁を形成する工程と、少なくともフッ素原子を含有す
るガス雰囲気下で前記担体にプラズマ照射するプラズマ
照射工程と、前記プラズマ照射を施した担体の表面に水
を接触させて前記ガス成分を洗い流す水洗工程とを有す
ることを特徴とするプローブ固定用担体の製造方法を提
供する。
In a second aspect of the present invention, there is provided a method for producing a probe-immobilizing carrier for immobilizing a plurality of types of probes capable of specifically binding to a target substance on different specific positions on a carrier, A step of forming partition walls for partitioning a region on the carrier, a plasma irradiation step of plasma-irradiating the carrier under a gas atmosphere containing at least fluorine atoms, and water on the surface of the carrier subjected to the plasma irradiation. And a step of washing with water to wash the gas component in contact therewith.

【0030】本発明の第3の態様において、上記方法で
製造されたプローブ固定用担体に前記プローブを含む溶
液を前記担体上の前記特定の位置に付与し前記プローブ
を固定することを特徴とするプローブ担体の製造方法を
提供する。
In a third aspect of the present invention, a solution containing the probe is applied to the probe-immobilizing carrier produced by the above method at the specific position on the carrier to immobilize the probe. A method for manufacturing a probe carrier is provided.

【0031】本発明の第4の態様において、標的物質と
特異的に結合可能な複数種のプローブが異なる特定の位
置に固定されたプローブ担体であって、前記担体上の前
記特定の位置を除く部分に指標を有することを特徴とす
るプローブ担体を提供する。
In the fourth aspect of the present invention, there is provided a probe carrier in which plural kinds of probes capable of specifically binding to a target substance are immobilized at different specific positions, and the specific positions on the carrier are excluded. Provided is a probe carrier having an index on a portion thereof.

【0032】前記本発明の態様において、前記担体は、
前記特定の位置を区画するための隔壁を有し、前記指標
は、前記隔壁の所定位置にあることが好ましい。
In the embodiment of the present invention, the carrier is
It is preferable that a partition for partitioning the specific position is provided, and the index is at a predetermined position of the partition.

【0033】前記本発明の態様において、前記指標は、
前記隔壁に設けられた凹部であることが好ましい。
In the above aspect of the present invention, the index is
It is preferable that the concave portion is provided in the partition wall.

【0034】前記本発明の態様において、前記隔壁は、
遮光性であることが好ましい。
In the embodiment of the present invention, the partition wall is
It is preferably light-shielding.

【0035】前記本発明の態様において、前記隔壁がカ
ーボンブラックを含む樹脂組成物で形成されていること
が好ましい。
In the aspect of the present invention, it is preferable that the partition wall is formed of a resin composition containing carbon black.

【0036】前記本発明の態様において、前記隔壁は撥
水性であって、前記隔壁の純水に対する接触角が120
°以上であり、かつ前記プローブの固定領域は親水性で
あって、前記プローブの固定領域の純水に対する接触角
が30°以下である、ことが好ましい。
In the above aspect of the invention, the partition wall is water repellent, and the partition wall has a contact angle of 120 with pure water.
It is preferable that the probe fixing region is hydrophilic, and the contact angle of the probe fixing region with respect to pure water is 30 ° or less.

【0037】前記本発明の態様において、前記隔壁の断
面の下底から隔壁最上部の高さの80〜100%の間の
高さにおける隔壁断面上部の前記基板に平行な方向の長
さの平均値aと前記隔壁の断面における下底の長さbと
の関係が、式1.3≧a/b≧0.7で示される形状を
有することが好ましい。
In the above aspect of the present invention, the average length of the partition cross-section upper portion in the direction parallel to the substrate at a height between 80% to 100% of the height of the partition top from the bottom of the partition cross section. It is preferable that the relationship between the value a and the length b of the lower bottom in the cross section of the partition wall has a shape represented by the equation 1.3 ≧ a / b ≧ 0.7.

【0038】本発明の第5の態様において、標的物質と
特異的に結合可能な複数種のプローブを異なる特定の位
置に固定するためのプローブ固定用担体であって、前記
担体上の前記特定の位置を除く部分に指標を有すること
を特徴とするプローブ固定用担体を提供する。
[0038] In the fifth aspect of the present invention, there is provided a probe-immobilizing carrier for immobilizing a plurality of types of probes capable of specifically binding to a target substance at different specific positions, the specific carrier being on the carrier. Provided is a carrier for probe immobilization, which has an index in a portion except a position.

【0039】前記本発明の態様において、前記担体は、
前記特定の位置を区画するための隔壁を有し、前記指標
は、前記隔壁の所定位置にあることが好ましい。
In the embodiment of the present invention, the carrier is
It is preferable that a partition for partitioning the specific position is provided, and the index is at a predetermined position of the partition.

【0040】前記本発明の態様において、前記指標は、
前記隔壁に設けられた凹部であることが好ましい。
In the above aspect of the present invention, the index is
It is preferable that the concave portion is provided in the partition wall.

【0041】前記本発明の態様において、前記隔壁は、
遮光性を有することが好ましい。
In the embodiment of the present invention, the partition wall is
It preferably has a light-shielding property.

【0042】前記本発明の態様において、前記隔壁は、
カーボンブラックを含む樹脂組成物で形成されているこ
とが好ましい。
In the embodiment of the present invention, the partition wall is
It is preferably formed of a resin composition containing carbon black.

【0043】前記本発明の態様において、前記隔壁が撥
水性であって、前記隔壁の純水に対する接触角が120
°以上であり、かつ前記プローブの固定領域が親水性で
あって、前記プローブの固定領域の純水に対する接触角
が30°以下である、ことが好ましい。
In the above aspect of the invention, the partition wall is water repellent, and the partition wall has a contact angle of 120 with pure water.
It is preferable that the fixing area of the probe is hydrophilic and the contact angle of the fixing area of the probe with respect to pure water is 30 degrees or less.

【0044】前記本発明の態様において、前記隔壁の断
面の下底から隔壁最上部の高さの80〜100%の間の
高さにおける隔壁断面上部の前記基板に平行な方向の長
さの平均値aと前記隔壁の断面における下底の長さbと
の関係が、式1.3≧a/b≧0.7で示される形状を
有することが好ましい。
In the above aspect of the present invention, the average length of the partition wall upper portion in the direction parallel to the substrate at a height between 80% and 100% of the height of the partition wall from the bottom of the partition wall. It is preferable that the relationship between the value a and the length b of the lower bottom in the cross section of the partition wall has a shape represented by the equation 1.3 ≧ a / b ≧ 0.7.

【0045】本発明の第6の態様において、担体上に担
持されている、標的物質と結合可能な複数種のプローブ
に前記標的物質を付与することにより前記標的物質と特
異的に結合したプローブの位置を特定する方法であっ
て、前記複数種のプローブが担持されている特定の位置
とは異なる位置に設けられている指標を基準として、前
記標的物質と特異的に結合したプローブの位置を特定す
ることを特徴とする特定方法を提供する。
In the sixth aspect of the present invention, a probe specifically bound to the target substance by imparting the target substance to a plurality of types of probes capable of binding to the target substance, which are carried on a carrier, is provided. A method for specifying a position, wherein the position of the probe specifically bound to the target substance is specified based on an index provided at a position different from the specific position where the plurality of types of probes are carried. A specific method is provided.

【0046】前記本発明の態様において、前記指標およ
び前記標的物質は、放射性標識により標識されているこ
とが好ましい。
In the above aspect of the present invention, it is preferable that the index and the target substance are labeled with a radioactive label.

【0047】前記本発明の態様において、前記指標およ
び前記標的物質は、蛍光標識により標識されていること
が好ましい。
In the above aspect of the present invention, it is preferable that the index and the target substance are labeled with a fluorescent label.

【0048】前記本発明の態様において、前記担体は、
光透過性の板状体からなる担体であり、かつ、前記担体
の一方の面に前記複数種のプローブが固定されている特
定の位置を区画するための隔壁を有し、前記放射性標識
が発した前記担体を貫通する蛍光を前記担体の他方の面
で検知することが好ましい。
In the embodiment of the present invention, the carrier is
The carrier is a light-transmissive plate-like body, and has a partition wall for partitioning a specific position where the plurality of types of probes are immobilized on one surface of the carrier, and the radioactive label is emitted. It is preferable to detect the fluorescence penetrating the carrier on the other surface of the carrier.

【0049】本発明は、特にインクジェット方式により
指標を利用してプローブ溶液を担体上の特定の位置に付
与するプローブ担体の製造方法、およびその製造方法に
より製造されたプローブ担体、さらには上記指標を利用
して該プローブ担体上でプローブと結合した標的物質の
位置を特定する方法に関する。
The present invention is particularly directed to a method for producing a probe carrier in which a probe solution is applied to a specific position on a carrier by using an index by an inkjet method, a probe carrier manufactured by the method, and further the above index. The present invention relates to a method for identifying the position of a target substance bound to a probe on the probe carrier.

【0050】[0050]

【発明の実施の形態】以下に本発明を図面を用いて詳細
に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

【0051】図1は、指標が形成された本発明のプロー
ブ担体またはプローブ固定用担体の一実施態様を例示し
た図である。図1において、11は指標、12はブラッ
クマトリクス、13は開口部(ウエル)であり、14は
各チップ、15はチップ周辺部であり、図1では該指標
11はブラックマトリクス12に囲まれて、凹状の開口
部を形成している。図1は例示であり、以下に本発明に
係るプローブ担体製造方法に使用される指標について詳
細に説明する。
FIG. 1 is a view exemplifying one embodiment of the probe carrier or probe-immobilizing carrier of the present invention on which an index is formed. In FIG. 1, 11 is an index, 12 is a black matrix, 13 is an opening (well), 14 is each chip, and 15 is a chip peripheral part. In FIG. 1, the index 11 is surrounded by a black matrix 12. , Forming a concave opening. FIG. 1 is an example, and the indices used in the method for producing a probe carrier according to the present invention will be described in detail below.

【0052】本発明に係わるプローブ担体の製造の際に
利用される指標は、典型的にはプローブ固定時に、担体
とプローブ付与手段との位置調節のアライメントに使用
されるものである。本実施形態では、前記の指標をプロ
ーブを含有するプローブ溶液を吐出ヘッドから担体上に
吐出し、プローブ担体にプローブを吐出するいわゆるイ
ンクジェット方式でのプローブの固定の際にアライメン
トマークとして使用することにより、液体吐出位置を正
確に特定することができ、かつ素早くアライメントマー
ク調整が可能になるという顕著な効果を有するが、この
構成に限るものではない。固定時に担体と、プローブ付
与手段との位置調整を必要とする方法であればどのよう
な手段を用いても構わない。また、さらに、前記指標は
検出時の走査画像のアライメント、または検出時の複数
のプローブ位置のアドレス情報を得るための点として用
いてもよい。さらに、本願発明では、これらの組み合わ
せに関しても顕著な効果を有する。例えば、プローブ固
定時の担体と付与手段とのアライメントマークとして用
いた後、該指標をプローブ検出のためのアライメントと
して用いて、且つ該指標により各プローブのアドレス情
報を得るという、すべての作業に用いることができると
いう効果も本願発明の特徴である。
The index used in the production of the probe carrier according to the present invention is typically used for alignment of position adjustment between the carrier and the probe applying means when the probe is fixed. In the present embodiment, the index is used as an alignment mark when fixing the probe in a so-called inkjet method in which a probe solution containing a probe is discharged onto a carrier from a discharge head, and the probe is discharged onto the probe carrier. The liquid ejection position can be accurately specified and the alignment mark can be adjusted quickly, but the present invention is not limited to this configuration. Any means may be used as long as it is a method that requires positional adjustment between the carrier and the probe applying means at the time of fixing. Furthermore, the index may be used as a point for alignment of a scan image at the time of detection or for obtaining address information of a plurality of probe positions at the time of detection. Further, the present invention has a remarkable effect on these combinations. For example, it is used as an alignment mark between the carrier and the applying means when the probe is fixed, then the index is used as an alignment for probe detection, and the address information of each probe is obtained from the index. The effect of being able to perform is also a feature of the present invention.

【0053】上記指標は、担体に対して凸状または凹
状、さらに担体中に形成されたものでもよい。例えば、
担体上に凹状の突起物などを設けることができ、該突起
物は樹脂材料等を用いてフォトリグラフィーなどにより
所望の形態に形成することができる。また、担体がガラ
ス基板などの場合には、レーザーカッティングまたはダ
イヤモンドカッターなどにより担体に直接指標を形成し
てもよい。ただし、検出の観点から前者の方が好まし
い。好ましくは、上記指標は、担体上に形成された隔壁
の開口部を形成していることである。
The index may be convex or concave with respect to the carrier, or may be formed in the carrier. For example,
A concave protrusion or the like can be provided on the carrier, and the protrusion can be formed into a desired shape by photolithography using a resin material or the like. When the carrier is a glass substrate or the like, the index may be directly formed on the carrier by laser cutting or a diamond cutter. However, the former is preferable from the viewpoint of detection. Preferably, the index is to form an opening of a partition wall formed on the carrier.

【0054】また、複数のプローブが2次元的に並んで
固定されたチップである場合には、このような隔壁で区
画された固定領域を図1に示すようにマトリクス状に配
列させる構成が好ましい。この場合、本発明の指標を、
隔壁を形成する部材とは別形状で非固定領域に設けるこ
とにより、該指標による正確な位置調整と、該隔壁によ
り、気流の流れ等による吐出液の不慮の位置変化によ
る、被吐出位置でのはみだしを抑え、確実な開口部への
溶液の付与が可能となる。そして、指標として存在する
部分のみを検知手段などによって、検出すればよいた
め、チップ全体の位置情報を検出した上で(例えば目視
や、隔壁の形状をCCDなどで検知する)アライメント
を行う方法等に比較して、より時間が短縮されたアライ
メント調整を行うことができ、よりチップの製造時間短
縮という顕著な効果が得られる。
Further, in the case of a chip in which a plurality of probes are two-dimensionally arranged and fixed, it is preferable that the fixing regions partitioned by such partition walls are arranged in a matrix as shown in FIG. . In this case, the index of the present invention is
By providing in a non-fixed region with a shape different from the member forming the partition wall, the position is accurately adjusted by the index, and by the partition wall, the position of the discharge target due to the unexpected position change of the discharge liquid due to the flow of the air current, etc. It is possible to suppress the overflow and reliably apply the solution to the opening. Then, since only the portion existing as an index needs to be detected by a detection means or the like, a method of performing alignment after detecting positional information of the entire chip (for example, visually or by detecting the shape of the partition wall with a CCD or the like), etc. Compared with, the alignment adjustment can be performed in a shorter time, and the remarkable effect of further shortening the chip manufacturing time can be obtained.

【0055】隔壁は、樹脂組成物または金属組成物から
成ることが好ましく、さらに樹脂組成物または金属組成
物は遮光性であることが好ましい。このような隔壁を有
する指標の製造方法は詳細に後述する。
The partition wall is preferably made of a resin composition or a metal composition, and the resin composition or the metal composition is preferably light-shielding. A method for manufacturing an index having such a partition will be described later in detail.

【0056】上記指標は、各プローブアレイにつき、少
なくとも1つ設ける。DNAチップはこれらの各プロー
ブアレイをいくつか集合させて形成される。また、イン
クジェット方式によるプローブ溶液の吐出の際に行うヘ
ッドと担体との位置合わせ、および正確かつ迅速な標的
物質の位置検出等の観点から、上記指標は各チップ上に
複数個設けた方が好ましい。2つ以上の指標を走査する
ことにより、チップ上の二次元情報がより正確に得られ
るほか、吐出ヘッドが担体に対して正確でない傾きであ
る場合に該吐出ヘッドと傾きの調整も行うことも可能と
なる。また、指標を複数個設ける場合にはすべて同じ形
状とする必要はなく、別の形状の指標を複数個用いても
良い。
At least one index is provided for each probe array. A DNA chip is formed by assembling some of these probe arrays. Further, from the viewpoints of alignment between the head and the carrier when ejecting the probe solution by the inkjet method, and accurate and rapid position detection of the target substance, it is preferable to provide a plurality of the above-mentioned indicators on each chip. . By scanning two or more indexes, two-dimensional information on the chip can be obtained more accurately, and when the ejection head has an inaccurate inclination with respect to the carrier, the ejection head and the inclination can be adjusted. It will be possible. Further, when a plurality of indexes are provided, it is not necessary that they all have the same shape, and a plurality of indexes having different shapes may be used.

【0057】各プローブアレイの指標を形成する位置
は、図1に示すように、プローブ固定領域(プローブを
固定する担体上の特定の場所をいう)以外であればいず
れにも設けることができる。図1のように、チップ周辺
部分に設けることもよいし、隣接するプローブ−プロー
ブ間領域または担体上に隔壁がある場合には開口部(ウ
エル)−開口部(ウエル)間の隔壁に設けても良い。隣
接するプローブ−プローブ間領域に設けた場合には、チ
ップ周辺部にもプローブ固定領域を広げることができ、
より多くのプローブを各チップ上に載せることができ高
密度化が図れる。また、指標を各チップ周辺部分に形成
する場合、正確な位置決めの観点から、プローブ固定領
域にできるだけ近い周辺部分に指標を形成することが好
ましい。
As shown in FIG. 1, the position for forming the index of each probe array can be provided at any position other than the probe fixing region (which means a specific place on the carrier for fixing the probe). As shown in FIG. 1, it may be provided in the peripheral portion of the chip, or in the case where there is a partition wall between the adjacent probe-probe regions or the carrier, it may be provided in the partition wall between the openings (wells). Is also good. When it is provided in the adjacent probe-probe region, the probe fixing region can be expanded to the peripheral portion of the chip,
Since more probes can be mounted on each chip, high density can be achieved. Further, when forming the index on the peripheral portion of each chip, it is preferable to form the index on the peripheral portion as close as possible to the probe fixing region from the viewpoint of accurate positioning.

【0058】指標の形状は、任意の形状とすることがで
きるが、該指標を利用して正確かつ迅速にプローブ吐出
の際のヘッドと担体の位置合わせおよび標的物質の位置
検出の目的を果たすものがよい。十字形、円形、正方
形、長方形、二等辺三角形、蝶々形等のいずれを用いる
ことができる。十字形は中心点の位置を容易に分かると
ともに、製造において形成が容易であることから好まし
い。横線幅30μm、長さ150μmと縦線幅30μ
m、長さ150μmからなる十字の指標が好ましい。
The shape of the index can be any shape, but it serves the purpose of aligning the head and the carrier and detecting the position of the target substance when the probe is ejected accurately and quickly by using the index. Is good. Any of a cross shape, a circle, a square, a rectangle, an isosceles triangle, a butterfly shape and the like can be used. The cross shape is preferable because the position of the center point can be easily identified and the shape is easy in manufacturing. Horizontal line width 30μm, length 150μm and vertical line width 30μ
A cross-shaped index having a length of m and a length of 150 μm is preferable.

【0059】指標の大きさは、位置決めや位置検出の精
度に依存して適宜変更することができる。担体上に隔壁
を設けた場合、指標の大きさは、典型的には各開口部
(ウエル)の占める面積と同程度の大きさとすることが
できる。また、指標の厚さは、隔壁と同時に形成する場
合には該隔壁と同じ厚さになり、望ましくは0.5μm
〜100μmの範囲から選択することができる。
The size of the index can be appropriately changed depending on the accuracy of positioning and position detection. When the partition wall is provided on the carrier, the size of the index can be typically set to the same size as the area occupied by each opening (well). The thickness of the index is the same as that of the partition when it is formed at the same time as the partition, and is preferably 0.5 μm.
It can be selected from the range of up to 100 μm.

【0060】本発明のプローブ担体の製造方法に使用さ
れる上記アライメントは、1個の指標で少なくともプロ
ーブ担体作製の際のヘッドと担体の位置合わせおよび標
的物質の検出の際に位置決めの双方の用途に使用でき、
両者の用途それぞれのための指標を形成する必要はな
く、この限りでプローブ非固定領域の削減が図れる。ま
た、上記指標は、上記担体の表裏を確認するためのマー
クとして使用することもできる。
The above-mentioned alignment used in the method for producing a probe carrier of the present invention uses at least one index for both the alignment of the head and the carrier during the preparation of the probe carrier and the positioning during the detection of the target substance. Can be used for
It is not necessary to form an index for each of both uses, and the probe non-fixed region can be reduced as long as this is achieved. The index can also be used as a mark for confirming the front and back of the carrier.

【0061】また、この場合、プローブの固定に関して
は、必ずしもすべてのウエルにプローブを付与する必要
はなく、使用する用途に応じてプローブの数、種類、位
置を適宜変更することができる。この際の固定化した場
所に関する情報が、この指標により確認することがされ
うる構成も好ましい。例えば、固定化するプローブの
数、種類に応じて、指標の形状、個数等の変更を行い、
検出時のプローブ位置情報を得る構成にすることも好ま
しい態様である。
Further, in this case, regarding the immobilization of the probes, it is not always necessary to attach the probes to all the wells, and the number, types and positions of the probes can be appropriately changed depending on the use purpose. It is also preferable that the information about the fixed location at this time can be confirmed by this index. For example, depending on the number and type of probes to be immobilized, change the shape and number of indicators,
It is also a preferable embodiment to adopt a configuration in which probe position information at the time of detection is obtained.

【0062】また、担体上に隔壁を設けた場合、隔壁を
形成する部材が遮光性であり、指標は隔壁の開口部であ
ると、蛍光検出などによる検出の際、隔壁部の遮光がな
され、暗室等での測定の場合であっても、指標としての
機能を十分に維持することができる。さらに、遮光性部
材の開口部に蛍光体等を塗布するなど、測定条件に適し
た材料を開口部上に有する構成にすることにより、調整
環境を選ばないアライメント調整が可能となる。
Further, when the partition wall is provided on the carrier, if the member forming the partition wall has a light shielding property and the index is the opening of the partition wall, the partition wall portion is shielded from light during detection by fluorescence detection or the like. Even in the case of measurement in a dark room or the like, the function as an index can be sufficiently maintained. Furthermore, by providing a material suitable for the measurement conditions on the opening, such as coating the opening of the light-shielding member with a fluorescent substance, it is possible to perform alignment adjustment regardless of the adjustment environment.

【0063】以下に、図面を参照して、特にプローブ非
固定領域が隔壁を有する場合の本発明のプローブ固定用
担体およびプローブを担持したプローブ担体と、これら
の製造方法について実施形態を挙げて説明する。
Hereinafter, with reference to the drawings, a probe-fixing carrier of the present invention, a probe-supporting probe carrier of the present invention, and a manufacturing method thereof, particularly when the probe non-fixing region has a partition, will be described with reference to embodiments. To do.

【0064】図2は本発明に係るプローブ担体の製造方
法を模式的に示す工程図である。以下に各工程について
説明する。図2において、11は指標、12は指標を有
する隔壁、13はウエル、21は担体、22は好ましく
は樹脂組成物または金属組成物からなる隔壁層、23は
フォトレジストマスク、24はプローブ溶液吐出ヘッ
ド、および25はプローブ溶液である。図1(a)は、
本実施態様の一例であり、該指標11は十字形を有し、
隔壁12に囲まれて、凹状の開口部を形成している。ま
た、図1(a)では、便宜的に十字の中心と開口部の中
心が重なるように記載しているが、これらに限定される
ものではない。
FIG. 2 is a process chart schematically showing a method for producing a probe carrier according to the present invention. Each step will be described below. In FIG. 2, 11 is an index, 12 is a partition having an index, 13 is a well, 21 is a carrier, 22 is a partition wall layer preferably made of a resin composition or a metal composition, 23 is a photoresist mask, and 24 is a probe solution discharge. Head and 25 are probe solutions. Figure 1 (a)
This is an example of the present embodiment, and the index 11 has a cross shape,
Surrounded by the partition wall 12, a concave opening is formed. In addition, in FIG. 1A, the center of the cross and the center of the opening are illustrated so as to overlap for convenience, but the present invention is not limited to these.

【0065】工程(a):プローブアレイ用担体 プローブ固定用担体21を用意する(図2(b)図参
照)。プローブアレイ用の「担体」とは上記プローブを
担持するものであり、プローブを保持することができ、
かつ、標的物質の検出を妨げるものでなければ特に限定
されるものではない。担体には、ガラス基板の他、シリ
コン基板、金属基板、アクリル、樹脂基板のほか、中空
体や管状担体も含まれ、また、表面を親水化するなどの
適当な表面処理をしたそれぞれの担体でも構わない。反
応を光学的に検出する場合に用いる基板としては、光学
的に透明な基板、また、場合によっては光学的に黒色の
基板が望ましい。このような望ましい担体としては、合
成石英、溶融石英等のガラス基板、シリコンウェハー、
また、アクリル、ポリカーボネート、ポリスチレン、塩
化ビニール等の樹脂基板、また、これらに黒色の顔料、
染料を混入した基板が利用できる。黒色の顔料として
は、カーボンブラック、あるいは、有機黒色顔料を用い
ることができる。担体表面には、プローブに導入される
各種有機官能基と反応して共有結合を形成する構造や、
有機官能基を導入する処理を予め行っておくことが望ま
しい。プローブ末端に導入された官能基と、該官能基と
結合できる担体表面に導入された官能基との好ましい組
み合わせとして、チオール(−SH)(核酸プローブ末
端)とマレイミド基(担体表面)との組み合わせ、アミ
ノ基(核酸プローブ末端)とエポキシ基(担体表面)と
の組合わせなどが挙げられる。
Step (a): Carrier for probe array Carrier 21 for fixing probes is prepared (see FIG. 2B). The "carrier" for the probe array is one that carries the above-mentioned probe, and can hold the probe,
Moreover, it is not particularly limited as long as it does not interfere with the detection of the target substance. The carrier includes, in addition to a glass substrate, a silicon substrate, a metal substrate, an acryl, a resin substrate, a hollow body and a tubular carrier, and each carrier may be subjected to an appropriate surface treatment such as hydrophilizing the surface. I do not care. As a substrate to be used for optically detecting the reaction, an optically transparent substrate or an optically black substrate is desirable in some cases. Such desirable carriers include synthetic quartz, glass substrates such as fused quartz, silicon wafers,
In addition, resin substrates such as acrylic, polycarbonate, polystyrene, vinyl chloride, etc.
A substrate mixed with a dye can be used. As the black pigment, carbon black or an organic black pigment can be used. On the surface of the carrier, a structure that reacts with various organic functional groups introduced into the probe to form a covalent bond,
It is desirable to perform a treatment for introducing an organic functional group in advance. As a preferred combination of the functional group introduced at the probe end and the functional group introduced on the carrier surface capable of binding to the functional group, a combination of thiol (-SH) (nucleic acid probe end) and a maleimide group (carrier surface) , A combination of an amino group (terminal of nucleic acid probe) and an epoxy group (carrier surface), and the like.

【0066】また、担体21の表面に対しては、プラズ
マ処理、UV処理、カップリング処理、アルブミン処理
等の表面処理を施しても良い。
The surface of the carrier 21 may be subjected to surface treatment such as plasma treatment, UV treatment, coupling treatment, albumin treatment and the like.

【0067】工程(b):樹脂組成物層の作製 次に、担体21上に、開口部であるウエル13および指
標11を形成する隔壁12を形成するための隔壁層22
を形成する(図2(b)図参照)。かかる隔壁12は、
黒色の遮光層である場合にブラックマトリクスという。
Step (b): Preparation of resin composition layer Next, a partition wall layer 22 for forming the partition wall 12 for forming the well 13 and the index 11 which are openings on the carrier 21.
Are formed (see FIG. 2B). The partition 12 is
When it is a black light-shielding layer, it is called a black matrix.

【0068】隔壁12は、隣接するプローブ固定領域間
を遮光する遮光層とすることが好ましく、その場合、上
記のようにブラックマトリクスとするか、或いは、ブラ
ックストライプとすることもできる。遮光層とすること
で、担体上でのプローブと標的物質とのハイブリダイゼ
イションを光学的に検出(例えば蛍光の検出)するよう
な場合の検出精度(SN比)をより一層向上させること
ができる。
The partition wall 12 is preferably a light-shielding layer that shields light between adjacent probe fixing regions, and in this case, it may be a black matrix as described above or a black stripe. The use of the light-shielding layer can further improve the detection accuracy (SN ratio) in the case of optically detecting the hybridization between the probe and the target substance on the carrier (for example, detecting fluorescence). it can.

【0069】隔壁層22の構成材料としては、例えば、
クロム、アルミ、金等の金属であっても構わない。特に
ブラッククロムの場合は遮光性が高いので、透明基板と
の組合せにおいて光学的検出を行う場合におけるの信頼
性の面からみると望ましい。ただし、金属の場合には、
どちらかといえば親水性が高く、また、膜厚等の均一性
を考慮して、蒸着等の手段で成膜する際には、数千オン
グストロームの膜厚が一般的なので、この点を考慮して
利用するとよい。
As the constituent material of the partition layer 22, for example,
It may be a metal such as chrome, aluminum or gold. In particular, black chrome has a high light-shielding property, which is desirable from the viewpoint of reliability when optical detection is performed in combination with a transparent substrate. However, in the case of metal,
If anything, it is highly hydrophilic, and considering the uniformity of the film thickness, etc., a film thickness of several thousand angstroms is common when forming a film by means such as vapor deposition, so consider this point. It is good to use.

【0070】また、隔壁層22の好適な構成材料として
は、基板に比較して相対的に疎水性が高い材料が好適で
あり、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ポリ
アミドイミドを含むポリイミド系樹脂、ウレタン系樹
脂、ポリエステル系樹脂、ポリビニル系樹脂などの感光
性または非感光性の樹脂材料を用いることができる。2
50℃以上の耐熱性を有することが好ましく、その点か
ら、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹
脂が好ましく用いられる。
Further, as a preferable constituent material of the partition wall layer 22, a material having a relatively high hydrophobicity as compared with the substrate is preferable, and, for example, an epoxy resin, an acrylic resin, a polyimide-based material including polyamide-imide is used. A photosensitive or non-photosensitive resin material such as resin, urethane resin, polyester resin, or polyvinyl resin can be used. Two
It is preferable to have a heat resistance of 50 ° C. or higher, and from this point, epoxy resin, acrylic resin, and polyimide resin are preferably used.

【0071】また、かかる隔壁12を好適な遮光層とす
る場合には、上記樹脂組成物中に、遮光剤を分散せしめ
た黒色樹脂組成物を用いて樹脂組成物層22を形成す
る。該遮光剤としては、後述するように、隔壁12の高
い撥水性及び適度な表面粗さを得る上でカーボンブラッ
クを用いることが望ましく、該カーボンブラックとして
は、チャネルブラック、ローラーブラック、ディスクブ
ラックと呼ばれているコンタクト法で製造されたもの、
ガスファーネストブラック、オイルファーネストブラッ
クと呼ばれているファーネスト法で製造されたもの、サ
ーマルブラック、アセチレンブラックと呼ばれているサ
ーマル法で製造されたものなどを用いることができる
が、特に、チャネルブラック、ガスファーネストブラッ
ク、オイルファーネストブラックが好ましい。黒色有機
顔料を含有させたものでもよい。また、一般に市販され
ている黒色レジストを用いることもできる。
When the partition wall 12 is used as a suitable light-shielding layer, the resin composition layer 22 is formed by using a black resin composition in which a light-shielding agent is dispersed in the resin composition. As the light-shielding agent, as will be described later, it is desirable to use carbon black in order to obtain high water repellency of the partition wall 12 and appropriate surface roughness. Examples of the carbon black include channel black, roller black and disc black. Manufactured by the so-called contact method,
Gas farnest black, those produced by the farnest method called oil farnest black, thermal black, those produced by the thermal method called acetylene black can be used, but in particular, Channel black, gas farnest black and oil farnest black are preferred. It may contain a black organic pigment. Further, a black resist which is generally commercially available can also be used.

【0072】隔壁層22は、スピンコート、ロールコー
ト、バーコート、スプレーコート、ディップコート、或
いは印刷法等の方法により形成することができる。
The partition layer 22 can be formed by a method such as spin coating, roll coating, bar coating, spray coating, dip coating, or a printing method.

【0073】なお、担体上に隔壁12を形成しない場合
には、この形成工程は省略される。
When the partition wall 12 is not formed on the carrier, this forming step is omitted.

【0074】工程(c):隔壁およびアラインメントの
作製 指標11およびウエル13を形成する隔壁12はフォト
リソグラフィ法により同時に形成される(図2(c)参
照)。
Step (c): Partition and alignment production index 11 and the partition 12 forming the well 13 are simultaneously formed by photolithography (see FIG. 2C).

【0075】隔壁12および指標11のパターンを形成
する一つの方法としては、上記工程(b)において担体
21の表面にコートした樹脂上に、ウエル13および指
標11のパターンを有するフォトレジストマスク23を
用いて選択的に露光し、現像することによりパターンニ
ングし、プローブ固定領域である複数のウエル13と凹
状の指標の形状を有する隔壁12を形成する方法があげ
られる。指標11の形状、配置、個数などの詳細は上述
してあるが、このような指標に対応するフォトレジスト
マスクを用いることにより、上記指標を作製することが
できる。また、感光性の樹脂であれば、樹脂そのものを
フォトマスクとして用いたフォトリソグラフィーのプロ
セスによりパターニングすることも可能となる。そのよ
うな感光性の樹脂としてはUVレジスト、DEEP−U
Vレジスト、紫外線硬化樹脂等を用いることができる。
UVレジストとしては、環化ポリイソプレン−芳香族ビ
スアジド系レジスト、フェノール樹脂−芳香族アジド化
合物系レジスト等のネガレジスト、ノボラック樹脂−ジ
アゾナフトキノン系レジスト等のポジレジストをあげる
ことができる。なお、該ブラックマトリクスの隔壁に
は、パターニング後、後述のドライエッチング等を行う
などして、撥水性をもたせることが好ましい。樹脂組成
物層22として感光性材料を用いた場合には、該樹脂層
22のパターニングによって形成したパターンを、更に
焼成して、隔壁12の撥水性を向上させることもでき
る。撥水性をもたせることにより、プローブ溶液の開口
部への付与にあたって多少の位置ずれが生じたとしても
所望のウェルにスムーズにプローブ溶液を付与すること
ができる。なお、開口部13は通常ウェルとして形成さ
れる。
As one method for forming the pattern of the partition wall 12 and the index 11, a photoresist mask 23 having the pattern of the well 13 and the index 11 is formed on the resin coated on the surface of the carrier 21 in the step (b). There is a method of forming a partition wall 12 having a plurality of wells 13 which are probe fixing regions and a concave index shape by selectively exposing and developing and patterning. The details of the shape, arrangement, number, etc. of the index 11 have been described above, but the index can be produced by using a photoresist mask corresponding to such index. Further, if it is a photosensitive resin, it is possible to perform patterning by a photolithography process using the resin itself as a photomask. As such photosensitive resin, UV resist, DEEP-U
A V resist, an ultraviolet curable resin or the like can be used.
Examples of the UV resist include a cyclized polyisoprene-aromatic bisazide-based resist, a negative resist such as a phenol resin-aromatic azide compound-based resist, and a positive resist such as a novolak resin-diazonaphthoquinone-based resist. In addition, it is preferable that the partition walls of the black matrix are made water-repellent by performing dry etching or the like described later after patterning. When a photosensitive material is used as the resin composition layer 22, the pattern formed by patterning the resin layer 22 can be further fired to improve the water repellency of the partition wall 12. By imparting water repellency, the probe solution can be smoothly applied to a desired well even if some displacement occurs in applying the probe solution to the opening. The opening 13 is usually formed as a well.

【0076】プローブ固定領域に相当する隔壁開口部1
3の形状は、形成する際の容易性、取扱性、検出を行う
場合には検出における操作性等を考慮して選択すること
ができ、各種多角形状、楕円形等など限定されないが、
正方形、長方形、円形などの単純な形状が望ましく、担
体上における該開口部の配置も所望に応じて適宜変更可
能である。
Partition opening 1 corresponding to the probe fixing region
The shape of 3 can be selected in consideration of easiness in forming, handleability, operability in detection when performing detection, and is not limited to various polygonal shapes, elliptical shapes, etc.
A simple shape such as a square, a rectangle, or a circle is desirable, and the arrangement of the openings on the carrier can be appropriately changed as desired.

【0077】一つの開口部(ウエル)13に塗布される
プローブ溶液の占める面積は、0.01(例えば0.1
μm×0.1μm)μm2〜40000(例えば200
μm×200μm)μm2とするのが一般的であるが、
該面積は、アレイ自体の大きさ、アレイ・マトリクスの
密度により決まる。したがって、プローブ溶液の占める
面積により1つの開口部(ウエル)の大きさ及び容量を
設定することができる。開口部(ウエル)の深さについ
ては、開口部(ウエル)を製造する方法にもよるが、望
ましくは、0.5μm〜100μmの範囲から選択する
ことができる。これら開口部(ウエル)の面積と深さか
ら体積が決まる。このような開口部(ウエル)の製造方
法は、例えば特開平11−099000号公報に記載の
方法をそのまま用いることができる。
The area occupied by the probe solution applied to one opening (well) 13 is 0.01 (for example, 0.1).
μm × 0.1 μm) μm 2-40,000 (for example, 200
(μm × 200 μm) μm2 is generally used,
The area is determined by the size of the array itself and the density of the array matrix. Therefore, the size and volume of one opening (well) can be set by the area occupied by the probe solution. The depth of the opening (well) depends on the method of manufacturing the opening (well), but is preferably selected in the range of 0.5 μm to 100 μm. The volume is determined by the area and depth of these openings (wells). As a method for manufacturing such an opening (well), for example, the method described in JP-A-11-099000 can be used as it is.

【0078】隔壁12は、図4のように、隔壁断面が方
形であってもよいし(隔壁42)、図5(a)のように
隔壁断面が台形状の形状であってもよい(隔壁52)。
図5(b)は図5(a)の隔壁断面の一部を拡大した図
である。また、図6のように、隔壁断面が逆台形状の形
状を有していても良い(隔壁62)。
The partition wall 12 may have a rectangular partition wall cross section as shown in FIG. 4 (partition wall 42), or may have a trapezoidal partition wall cross section as shown in FIG. 5 (a) (partition wall. 52).
FIG. 5B is an enlarged view of a part of the partition wall cross section of FIG. Further, as shown in FIG. 6, the partition wall cross section may have an inverted trapezoidal shape (partition wall 62).

【0079】図5(b)の隔壁断面図において、A1お
よびA2は、隔壁断面の下底から隔壁最上部の高さの8
0〜100%の高さにおける隔壁、B1およびB2は隔
壁断面と担体の接触する部分を示す。L1は、A1とA
2の間隔であり、L2はB1とB2の間隔であり、Tは
隔壁最上部の高さであり、T’は隔壁最上部の高さの8
0〜100%の高さである。また、A1とB1、および
A2とB2の区間を本発明における隔壁側面とする。
In the sectional view of the partition wall of FIG. 5B, A1 and A2 are 8 which is the height from the bottom of the partition wall section to the top of the partition wall.
The partition walls at heights of 0 to 100%, B1 and B2 indicate the portions where the partition wall cross section and the carrier come into contact. L1 is A1 and A
2 is the interval, L2 is the interval between B1 and B2, T is the height of the top of the partition, and T ′ is 8 the height of the top of the partition.
The height is 0 to 100%. Further, the sections A1 and B1 and A2 and B2 are defined as the side surfaces of the partition wall in the present invention.

【0080】ここで、前記隔壁52の断面の下底から隔
壁最上部の高さTの80〜100%の間の高さT’にお
ける隔壁断面上部の前記基板に平行な方向の長さL1の
平均値をaとし、前記隔壁52の断面における下底の長
さL2をbとした場合、aとbとの関係が式1.3≧a
/b≧0.7で示される形状が好ましい。a/bが0.
7未満となるとプローブ溶液のプローブにムラができ、
プローブの均一性の観点から好ましくなく、また白抜け
の問題も発生する。一方、図6に示したように、式a/
bが1より大きくすることもでき、隔壁62の断面が逆
台形となる。この場合、プローブ溶液が隔壁62のかさ
部分に入りこむため、検出の際には「白抜け」部分の面
積が狭くなりより好ましい。ただし、式a/bが大きく
なると構造が不安定になり好ましくない。式a/bは
1.3以下が好ましい。
Here, the length L1 in the direction parallel to the substrate at the partition wall upper portion at a height T'between 80% and 100% of the height T of the partition wall uppermost portion from the bottom wall of the partition wall 52 is defined. When the average value is a and the length L2 of the lower bottom in the cross section of the partition wall 52 is b, the relationship between a and b is expressed by the formula 1.3 ≧ a.
The shape represented by /b≧0.7 is preferable. a / b is 0.
When it is less than 7, unevenness occurs in the probe of the probe solution,
It is not preferable from the viewpoint of the uniformity of the probe, and the problem of white spots occurs. On the other hand, as shown in FIG.
b can be larger than 1, and the partition wall 62 has an inverted trapezoidal cross section. In this case, the probe solution enters the bulky portion of the partition wall 62, which is more preferable because the area of the "white spot" portion is narrowed at the time of detection. However, when the formula a / b becomes large, the structure becomes unstable, which is not preferable. Formula a / b is preferably 1.3 or less.

【0081】また、隔壁3の担体1の表面からの高さ
は、隔壁の形成方法や開口部の容量、供給する反応系溶
液の量等を勘案して、望ましくは、0.5μm〜100
μmの範囲から選択することができる。特に隔壁3をフ
ォトリソグラフィで形成する場合には、20μm以下で
あることが望ましい。
Further, the height of the partition wall 3 from the surface of the carrier 1 is preferably 0.5 μm to 100 in consideration of the method of forming the partition wall, the capacity of the opening, the amount of the reaction system solution to be supplied, and the like.
It can be selected from the range of μm. Particularly when the partition walls 3 are formed by photolithography, it is desirable that the thickness be 20 μm or less.

【0082】なお、担体上に隔壁12を形成しない場合
には、この形成工程を省き、所望の指標を作製すればよ
い。上記のように、樹脂材料等を用いてフォトリグラフ
ィー法などを用いて担体上に凹状の突起物などを設けて
もよいし、担体21がガラス基板などの場合には、レー
ザーカッティングまたはダイヤモンドカッターなどによ
り担体に直接凹状の指標を形成することができる。
When the partition wall 12 is not formed on the carrier, this forming step may be omitted and a desired index may be produced. As described above, a concave projection or the like may be provided on the carrier by using a photolithography method using a resin material or the like. When the carrier 21 is a glass substrate or the like, laser cutting or diamond cutter, etc. Thus, a concave index can be formed directly on the carrier.

【0083】工程(d):ドライエッチング処理 隔壁12を形成した担体21にドライエッチング処理を
施すことが望ましい。(図2(d)図参照)即ち、酸
素、アルゴン、ヘリウムのうちから選択される少なくと
も1種を含むガスを導入し、減圧雰囲気下或いは大気圧
雰囲気下で担体1にプラズマ照射を行なう減圧プラズマ
処理や大気圧プラズマ処理を行なう。
Step (d): Dry etching treatment It is desirable to perform dry etching treatment on the carrier 21 on which the partition wall 12 is formed. (See FIG. 2D) That is, low-pressure plasma in which a gas containing at least one selected from oxygen, argon, and helium is introduced, and the carrier 1 is irradiated with plasma under a reduced-pressure atmosphere or an atmospheric pressure atmosphere. Processing or atmospheric pressure plasma processing.

【0084】当該ドライエッチング処理を行なうことに
よって、隔壁12の形成工程において担体21表面に付
着した汚染物を除去し、該表面を清浄化して後工程にお
けるプローブ溶液25に対する親和性を向上し、後工程
で実施する水処理工程により開口部13内でプローブ溶
液25をより良好に拡散させることができるようにな
る。さらに、当該ドライエッチング処理によって、隔壁
12表面が粗面化され、撥水性が向上する。
By performing the dry etching treatment, contaminants attached to the surface of the carrier 21 in the step of forming the partition wall 12 are removed, and the surface is cleaned to improve the affinity for the probe solution 25 in the subsequent step. The water treatment process performed in the process allows the probe solution 25 to be better diffused in the opening 13. Further, the dry etching treatment roughens the surface of the partition wall 12 and improves the water repellency.

【0085】工程(e):プラズマ処理 必要に応じてドライエッチング処理を施した担体21
に、少なくともフッ素原子を含有するガス雰囲気下でプ
ラズマ照射するプラズマ処理を行なう。(図2(e)図
参照)当該プラズマ処理により、導入ガス中のフッ素ま
たはフッ素化合物が隔壁12表層に入り込み、隔壁12
表層の撥水性が増大する。
Step (e): Plasma treatment Carrier 21 which is dry-etched if necessary
Then, plasma treatment is performed by plasma irradiation in a gas atmosphere containing at least fluorine atoms. (See FIG. 2E) By the plasma treatment, fluorine or a fluorine compound in the introduced gas enters the surface layer of the partition wall 12 and the partition wall 12
The water repellency of the surface layer increases.

【0086】特に、隔壁12をカーボンブラックを含む
樹脂組成物で構成した場合には、非常に高い撥水性が発
現する。その理由としては、先の工程(d)におけるド
ライエッチング処理によって隔壁12表面にカーボンブ
ラックが露出し、本工程のプラズマ処理によってフッ素
またはフッ素化合物が該カーボンブラックと結合するた
めと考えられる。よって、本発明においては、隔壁12
にカーボンブラックを含ませておくことが望ましい。
Particularly when the partition wall 12 is made of a resin composition containing carbon black, extremely high water repellency is exhibited. It is considered that the reason is that the carbon black is exposed on the surface of the partition wall 12 by the dry etching treatment in the previous step (d) and fluorine or a fluorine compound is bonded to the carbon black by the plasma treatment in this step. Therefore, in the present invention, the partition wall 12
It is desirable to include carbon black in the.

【0087】本工程において導入する、少なくともフッ
素原子を含有するガスとしては、CF、CHF、C
、SF、C3F、Cから選択されるハ
ロゲンガスを1種以上用いることが好ましい。特に、C
(オクタフルオロシクロペンテン)は、オゾン破
壊能が0であると同時に、大気寿命が従来のガスに比べ
て(CF:5万年、C:3200年)0.98
年と非常に短い。従って、地球温暖化係数が90(CO
=2とした100年積算値)と、従来のガスに比べて
(CF:6500、C:8700)非常に小さ
く、オゾン層や地球環境保護に極めて有効であり、本発
明で使用する上で望ましい。
As the gas containing at least fluorine atoms, which is introduced in this step, CF 4 , CHF 3 and C are used.
It is preferable to use at least one halogen gas selected from 2 F 6 , SF 6 , C3F 8 , and C 5 F 8 . In particular, C
5 F 8 (octafluorocyclopentene) has an ozone depletion potential of 0 and at the same time has an atmospheric life of 0.98 as compared with conventional gases (CF 4 : 50,000 years, C 4 F 8 : 3200 years).
Very short in years. Therefore, the global warming potential is 90 (CO
And 2 = 2 was 100 years accumulated value), as compared with the conventional gas (CF 4: 6500, C 4 F 8: 8700) very small, it is very effective in ozone layer and global environmental protection, in the present invention Desirable for use.

【0088】さらに、導入ガスとしては、必要に応じて
酸素、アルゴン、ヘリウム等のガスを併用しても良い。
本発明においては、上記CF、CHF、C2F
SF 、C、Cから選択されるハロゲンガ
スを1種以上とOとの混合ガスを用いると、本工程に
よる撥水性の程度を制御することが可能になる。但し、
当該混合ガスにおいて、Oの混合比率が30%を超え
るとOによる酸化反応が支配的になり、撥水性向上効
果が妨げられるため、また、O混合比率が30%を超
えると樹脂に対するダメージが顕著になるため、当該混
合ガスを用いる場合にはOの混合比率が30%以下の
範囲で使用する必要がある。
Further, as the introduced gas, if necessary,
You may use together gas, such as oxygen, argon, and helium.
In the present invention, the CFFour, CHFThree, C2F6,
SF 6, CThreeF8, C5F8Halogen gas selected from
One or more types and OTwoIf you use a mixed gas of
Therefore, the degree of water repellency can be controlled. However,
O in the mixed gasTwoThe mixing ratio of exceeds 30%
And OTwoOxidation reaction due to becomes dominant and water repellency improving effect
Because the fruit is blocked, OTwoMixing ratio exceeds 30%
If this happens, the damage to the resin becomes significant, so
O when using mixed gasTwoThe mixing ratio of 30% or less
Must be used in range.

【0089】本工程及び先のドライエッチング処理工程
におけるプラズマの発生方法としては、低周波放電、高
周波放電、マイクロ波放電等の方式を用いることがで
き、プラズマ照射の際の圧力、ガス流量、放電周波数、
処理時間等の条件は、任意に設定することができる。
As a method of generating plasma in this step and the previous dry etching treatment step, a method such as low frequency discharge, high frequency discharge, microwave discharge or the like can be used, and pressure, gas flow rate, discharge during plasma irradiation frequency,
Conditions such as processing time can be set arbitrarily.

【0090】図7、図8に、本発明のドライエッチング
処理工程及びプラズマ処理工程に用いることが可能なプ
ラズマ発生装置の模式図を示す。図中、71は上部電
極、72は下部電極、73は被処理担体、74は高周波
電源である。当該装置は平行平板の2極電極に高周波電
圧を印加して、プラズマを発生させる。図7はカソード
カップリング方式、図8はアノードカップリング方式の
装置を示し、どちらの方式においても、圧力、ガス流
量、放電周波数、処理時間等の条件によって、隔壁12
表面の撥水性、表面粗さ、担体21表面の親プローブ溶
液性を所望の程度とすることができる。
FIG. 7 and FIG. 8 show schematic views of a plasma generator which can be used in the dry etching process and the plasma process of the present invention. In the figure, 71 is an upper electrode, 72 is a lower electrode, 73 is a carrier to be treated, and 74 is a high frequency power source. The apparatus applies a high frequency voltage to the parallel plate bipolar electrodes to generate plasma. FIG. 7 shows a cathode coupling type device, and FIG. 8 shows an anode coupling type device. In both types, the partition wall 12 is selected depending on conditions such as pressure, gas flow rate, discharge frequency, and treatment time.
The water repellency of the surface, the surface roughness, and the parent probe solution property of the surface of the carrier 21 can be set to desired levels.

【0091】図7、図8に示したプラズマ発生装置にお
いて、図7のカソードカップリング方式はドライエッチ
ング処理時間を短くすることが可能であり、当該処理工
程に有利である。また、図8のアノードカップリング方
式では、必要以上に担体21にダメージを与えることが
ない点で有利である。よって、ドライエッチング処理工
程及びプラズマ処理工程に用いるプラズマ発生装置は、
担体21や隔壁12の材料に応じて選択すればよい。
In the plasma generator shown in FIGS. 7 and 8, the cathode coupling method of FIG. 7 can shorten the dry etching processing time, which is advantageous for the processing step. Further, the anode coupling method of FIG. 8 is advantageous in that the carrier 21 is not damaged more than necessary. Therefore, the plasma generator used in the dry etching treatment step and the plasma treatment step is
It may be selected according to the material of the carrier 21 and the partition wall 12.

【0092】該工程により、隔壁12の開口部13に露
出した担体21表面に存在するフッ素化合物量は1/2
以下に低減され、また、該表面の表面粗さも当該工程前
に比較して大きくなる。
By this step, the amount of the fluorine compound existing on the surface of the carrier 21 exposed in the opening 13 of the partition 12 is halved.
The surface roughness of the surface is also reduced as compared with that before the step.

【0093】尚、当該工程において、担体21を水を接
触させた後、100℃を超える高温で加熱乾燥させた場
合には、プローブ溶液拡がり性が低下する場合があるた
め、当該乾燥工程は100℃以下の温度で行うことが望
ましい。
In this step, when the carrier 21 is brought into contact with water and then heated and dried at a high temperature of more than 100 ° C., the spreadability of the probe solution may decrease, so that the drying step is 100 times. It is desirable to carry out at a temperature of ℃ or less.

【0094】工程(f):水処理 プラズマ処理を施した担体21表面に水を接触させる水
処理工程を行い、隔壁12の開口部13内のプローブ溶
液拡がり性の改善を行う。(図2(f)図参照)これに
より、微量のプローブ溶液を付与した場合であってもプ
ローブ溶液が開口部13内に十分に拡がるようになる。
Step (f): Water Treatment A water treatment step of bringing water into contact with the surface of the carrier 21 subjected to the plasma treatment is carried out to improve the spreadability of the probe solution in the opening 13 of the partition 12. (See FIG. 2F) As a result, the probe solution can be sufficiently spread in the opening 13 even when a small amount of the probe solution is applied.

【0095】本工程において使用する水としては、純水
であることが好ましい。また、支持担体21を水と接触
させる方法としては、水への浸漬、水洗等、水と担体2
1を完全に接触させる方法であれば特に制約はない。し
かし、支持担体21上のパターンが複雑なパターン形状
の場合、特に、隔壁12と開口部13の境界部、コーナ
ー部といった微細な箇所での水との接触を十分に行なう
ため、支持担体21を水中に浸漬し、同時に超音波を照
射する、もしくは微細で高圧な水滴による水洗が好まし
い。
The water used in this step is preferably pure water. Further, as a method for bringing the support carrier 21 into contact with water, water and the carrier 2 may be immersed in water, washed with water, or the like.
There is no particular limitation as long as it is a method of bringing 1 into contact completely. However, in the case where the pattern on the support carrier 21 has a complicated pattern shape, in particular, since the support carrier 21 is sufficiently contacted with water at a fine portion such as a boundary portion between the partition wall 12 and the opening 13 and a corner portion, It is preferable to immerse in water and simultaneously irradiate with ultrasonic waves, or wash with fine, high-pressure water droplets.

【0096】さらに、担体21に接触させる水の温度と
しては、開口部13の表面改質を効果的に行なう観点よ
り高温の方が好ましいが、水を加熱する経済効果を考慮
すると、20〜60℃の範囲が好ましい。
Further, the temperature of the water to be brought into contact with the carrier 21 is preferably high from the viewpoint of effectively modifying the surface of the opening 13, but in consideration of the economic effect of heating the water, the temperature is 20 to 60. The range of ° C is preferred.

【0097】以下に上記工程処理後の隔壁およびプロー
ブ固定領域(開口部)の撥水性および親水性について記
載する。本発明においては、隔壁をカーボンブラックを
含む樹脂組成物で形成し、プラズマ処理及び水処理工程
後において、隔壁表面の撥水性を120°以上と高くす
ることが可能であり、本発明にかかる隔壁12表面の、
水処理工程後の撥水性の程度は、純水によって測定した
接触角が120°以上、好ましくは135°以上、より
好ましくは150°以上、最も好ましくは180°であ
る。当該接触角が120°未満では混液が生じやすく、
多量のプローブ溶液量を付与することができない。特
に、プローブ担体を製造する場合には、色純度の高いプ
ローブ担体の製造が難しくなる。従来の方法において
は、隔壁表面の撥水性を接触角120°以上にすること
は難しく、高撥水性の材料として用いられているPTF
E(ポリテトラフルオロエチレン)においても110°
弱であった。上記隔壁表面の撥水性を接触角120°以
上とすることで、効果的にプローブ溶液の混液を防止す
ることができる。
The water repellency and hydrophilicity of the partition wall and the probe fixing region (opening) after the above process treatment will be described below. In the present invention, the partition walls are formed of a resin composition containing carbon black, and the water repellency of the partition wall surface can be increased to 120 ° or more after the plasma treatment and the water treatment step. Of 12 surfaces,
The degree of water repellency after the water treatment step is such that the contact angle measured with pure water is 120 ° or more, preferably 135 ° or more, more preferably 150 ° or more, and most preferably 180 °. When the contact angle is less than 120 °, liquid mixture is likely to occur,
A large amount of probe solution cannot be applied. In particular, when manufacturing a probe carrier, it becomes difficult to manufacture a probe carrier having high color purity. In the conventional method, it is difficult to make the water repellency of the partition wall surface at a contact angle of 120 ° or more, and PTF used as a highly water repellent material.
110 ° even for E (polytetrafluoroethylene)
It was weak. By setting the water repellency of the partition surface to a contact angle of 120 ° or more, it is possible to effectively prevent the mixture of probe solutions.

【0098】また、担体21の開口部13の親水性につ
いて、純水によって測定した接触角が30°以下である
ことが好ましい。プローブ溶液に対する接触角を30°
以下とすることによって、先の工程(d)におけるドラ
イエッチング処理によって開口部13に露出した担体2
1表面に付着した汚染物が除去され、後工程で実施する
水処理によるインク拡がり性改善効果を十分に得ること
ができる。特に、20°以下とすることが望ましい。
Regarding the hydrophilicity of the opening 13 of the carrier 21, the contact angle measured with pure water is preferably 30 ° or less. 30 ° contact angle for probe solution
By the following, the carrier 2 exposed in the opening 13 by the dry etching treatment in the previous step (d)
(1) The contaminants attached to the surface can be removed, and the effect of improving the ink spreadability by the water treatment performed in the subsequent step can be sufficiently obtained. In particular, it is desirable that the angle be 20 ° or less.

【0099】以上のようにして作製された本発明のプロ
ーブ固定用担体21の開口部13のプローブ溶液に対す
る隔壁の撥水性およびプローブ固定領域の親和性に関
し、それぞれのプローブ溶液に対する接触角は該プロー
ブ溶液に含まれる溶媒により異なる。プローブ溶液の溶
媒として好適に用いられる溶液は、グリセリン7.5w
t%、尿素7.5wt%、チオジグリコール7.5wt
%、一般式(IV):
Regarding the water repellency of the partition wall and the affinity of the probe fixing region for the probe solution in the opening 13 of the probe fixing carrier 21 of the present invention produced as described above, the contact angle for each probe solution is the same. It depends on the solvent contained in the solution. A solution preferably used as a solvent for the probe solution is glycerin 7.5w.
t%, urea 7.5 wt%, thiodiglycol 7.5 wt
%, General formula (IV):

【0100】[0100]

【化1】 [Chemical 1]

【0101】で示されるアセチレンアルコール1wt%
を含む水溶液が好適に用いられる。(上記式(I)中、
R1、R2、R3及びR4はアルキル基、具体的には例
えば炭素数1〜4の直鎖状または分岐鎖状のアルキル基
を表わし、m及びnは各々整数を表わし、m=0且つn
=0、もしくは1≦m+n≦30であって、m+n=1
の場合はmまたはnは0である。)。上記プローブ溶液
を用いた場合の隔壁12のプローブ溶液に対する撥水性
に関して、隔壁12をカーボンブラックを含む樹脂組成
物で形成し、ドライエッチング処理を施した上でプラズ
マ処理を施すことによって製造した本発明に係るプロー
ブ固定用アレイでは、プローブ溶液に対する接触角を9
0°以上とすることができ、該範囲ではプローブ溶液に
対して十分な撥水性を有し、混液や白抜けを効果的に防
止することができる。100°以上であることがより好
ましく、115°以上であることがより好ましく、13
0°以上であることがより好ましい。また、隔壁12の
プローブ溶液に対する親和性に関して、該プローブ溶液
に対する接触角が30°以下であることが好ましい。該
範囲では水処理によるインク拡がり性改善効果を十分に
得ることができる。特に、20°以下であることが望ま
しい。
1 wt% of acetylene alcohol represented by
An aqueous solution containing is preferably used. (In the above formula (I),
R1, R2, R3 and R4 represent an alkyl group, specifically, for example, a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, m and n each represent an integer, and m = 0 and n.
= 0 or 1 ≦ m + n ≦ 30 and m + n = 1
In the case of, m or n is 0. ). Regarding the water repellency of the partition wall 12 with respect to the probe solution when the above probe solution is used, the present invention produced by forming the partition wall 12 from a resin composition containing carbon black, performing dry etching treatment, and then performing plasma treatment. In the probe fixing array according to the above, the contact angle with respect to the probe solution is 9
The angle can be set to 0 ° or more, and in this range, the probe solution has sufficient water repellency, and it is possible to effectively prevent liquid mixture and white spots. It is more preferably 100 ° or more, more preferably 115 ° or more, and 13
It is more preferably 0 ° or more. Further, regarding the affinity of the partition wall 12 for the probe solution, the contact angle with respect to the probe solution is preferably 30 ° or less. In this range, the effect of improving the ink spreading property by water treatment can be sufficiently obtained. In particular, it is desirable that the angle be 20 ° or less.

【0102】工程(g):担体上へのプローブ溶液の付
与および固定 担体上へのプローブ溶液の付与および固定は、担体に対
するヘッドの位置調整(描画アライメント)を行った
後、インクジェット方式の吐出装置を用いて、インクジ
ェットヘッド24よりプローブ溶液25を隔壁12のウ
エル13内に付与する(図2(g)参照)。以下、担体
上へのプローブ溶液の付与および固定に関する好適な一
実施形態について詳細に説明する。
Step (g): Application of probe solution to carrier and immobilization Probe solution is applied to and immobilization on the carrier. After adjusting the position of the head with respect to the carrier (drawing alignment), an ink jet type ejecting apparatus is used. Using, the probe solution 25 is applied from the inkjet head 24 into the well 13 of the partition 12 (see FIG. 2G). Hereinafter, one suitable embodiment regarding application and immobilization of the probe solution on the carrier will be described in detail.

【0103】(描画アライメント)描画アライメントで
は、上記のように作製した指標を、レーザ光等を光源と
してCCDカメラなどの撮像手段で撮像し、画像処理装
置で処理して認識してその位置座標を検出した結果によ
り、液体吐出装置に備わっているXYθステージを調整
して、ヘッドと担体との位置合わせ(アライメント)を
行う。上記指標の大きさを小さくしたり、指標の線幅を
狭くした場合には、位置決めの際に利用されるCCDカ
メラのエリアセンサの画素数が多いセンサにしたり、エ
リアセンサを複数配置したCCDカメラを利用してアラ
イメントを行えばよい。
(Drawing Alignment) In the drawing alignment, the index produced as described above is imaged by an image pickup means such as a CCD camera using a laser beam as a light source, processed by an image processing device, recognized, and its position coordinate is determined. Based on the detection result, the XYθ stage provided in the liquid ejection apparatus is adjusted to align the head and the carrier. When the size of the index is reduced or the line width of the index is narrowed, the area sensor of the CCD camera used for positioning has a large number of pixels, or a CCD camera having a plurality of area sensors arranged therein. Alignment may be performed using.

【0104】(液体吐出装置)本発明方法に用いられる
プローブ担体製造装置は、プローブ溶液をインクジェッ
ト方式による吐出のために用いられる液体吐出手段を具
え、プローブ非固定領域内に指標を有するプローブ固定
用担体上の特定の位置に前記指標の位置を基準としてプ
ローブを含む溶液を付与することができるプローブ担体
の製造装置である。
(Liquid Ejecting Device) The probe carrier manufacturing device used in the method of the present invention comprises a liquid ejecting means used for ejecting a probe solution by an ink jet method, and for fixing a probe having an index in the probe non-fixing region. A probe carrier manufacturing apparatus capable of applying a solution containing a probe to a specific position on a carrier with reference to the position of the index.

【0105】より具体的には、本発明方法に用いられる
プローブ担体製造装置は、プローブ溶液をインクジェッ
ト方式による吐出のために用いられる液体吐出手段を具
えているが、該液体吐出機構として、プローブ溶液を収
納する液体収納部と、該液体収納部の各々に対応して設
けられた吐出口と、該液体収納部と吐出口を共通に連通
させる液路と、該吐出口の各々に対応して設けられ、該
吐出口の各々による独立したプローブ溶液の吐出を可能
とする吐出エネルギー発生手段と、を有する液体吐出部
を、少なくとも前記複数種のプローブ溶液に対応する個
数備えた構成を具え、さらに、上記指標の位置を検出で
きる構成を具え、上記指標を基準として上記ヘッドと担
体を所望の位置に合わせた後に、前記プローブの配置位
置にそれぞれ対応する凹部を表面に有する前記担体に対
して相対的に移動させながら、該液体吐出装置から前記
配置位置に関する情報に基づいて前記複数種のプローブ
の溶液の各々を吐出させて担体上に付与できることが好
ましい。上記指標の位置を検出できる構成としては、プ
ローブアレイ担体表面を撮像するためのCCDカメラ等
の撮像手段、画像処理手段、および描画アラインメント
による位置調整を行うためのXYθステージを有するこ
とが好ましい。
More specifically, the probe carrier manufacturing apparatus used in the method of the present invention comprises a liquid ejecting means used for ejecting the probe solution by an ink jet method. As the liquid ejecting mechanism, the probe solution is used. A liquid storage portion for storing the liquid storage portion, a discharge port provided corresponding to each of the liquid storage portions, a liquid path for communicating the liquid storage portion and the discharge port in common, and a liquid passage corresponding to each of the discharge ports. A liquid ejecting section provided with ejecting energy generating means capable of ejecting an independent probe solution by each of the ejecting ports, and at least a number of liquid ejecting sections corresponding to the plurality of kinds of probe solutions are provided. , A structure capable of detecting the position of the index, and corresponding to the position where the probe is arranged after aligning the head and the carrier to a desired position with the index as a reference It is possible to eject each of the solutions of the plurality of types of probes from the liquid ejecting device based on the information regarding the arrangement position while applying relative movement to the carrier having the concave portion on the surface, and apply the solution onto the carrier. preferable. As a configuration capable of detecting the position of the index, it is preferable to have an image pickup means such as a CCD camera for picking up an image of the probe array carrier surface, an image processing means, and an XYθ stage for position adjustment by drawing alignment.

【0106】図9はプローブ担体製造装置101の制御
コントローラの構成図である。95はティーチングペン
ダント92とのデータの受け渡しを行うインタフェー
ス、96はプローブ担体製造装置101の制御及び画像
処理等を行うCPU、97はCPU96を動作させるた
めの制御プログラムを記憶しているROM、98は異常
情報等を記憶するRAM、99はプローブ溶液の吐出を
制御する吐出制御部、100はカラーフィルタ製造装置
101のXYステージ(不図示)の動作を制御するステ
ージ制御部、70はコントローラ91に接続され、その
指示に従って動作するプローブ担体製造装置を示してい
る。
FIG. 9 is a block diagram of the controller of the probe carrier manufacturing apparatus 101. Reference numeral 95 is an interface for exchanging data with the teaching pendant 92, 96 is a CPU for controlling the probe carrier manufacturing apparatus 101 and image processing, 97 is a ROM storing a control program for operating the CPU 96, and 98 is a ROM. A RAM storing abnormal information and the like, 99 an ejection control unit for controlling the ejection of the probe solution, 100 a stage control unit for controlling the operation of the XY stage (not shown) of the color filter manufacturing apparatus 101, and 70 connected to the controller 91. And a probe carrier manufacturing apparatus that operates according to the instruction.

【0107】(プローブ溶液吐出ヘッド)本発明の方法
に用いられる上記液体吐出ヘッドは、熱エネルギーを利
用して前記プローブ溶液を吐出するヘッドであって、前
記プローブ溶液に与える熱エネルギーを発生するための
熱エネルギー発生体を備えていることが好ましい。プロ
ーブ担体の製造において用いることのできるインクジェ
ット方式には、ヒータ等の電気熱変換体やレーザ光等か
ら発生する熱エネルギーを利用して気泡(バブル)を発
生させることにより液体の吐出を行うサーマルジェット
方式(バブルジェット(登録商標)方式)と、ピエゾ素
子に電圧を印可して生じる素子の変形により液体の吐出
を行うピエゾインクジェット方式があるが、本発明の方
法にはいずれも用いることができる。これらのうち、サ
ーマルジェット方式のためのヘッドはピエゾインクジェ
ット方式のためのヘッドと比較して構造が簡単であり、
ヘッドの小型化や多ノズル化に向いており、また上記の
ように、サーマルジェット方式の場合、担体への結合反
応が短時間で完了し、またDNAの二次構造も熱により
解消されるため、次に続くハイブリダイゼーション反応
の効率をも上昇させることができるという点でも、サー
マルジェット方式は本発明にとってより好適に用いられ
るインクジェット方式である。
(Probe Solution Ejection Head) The liquid ejection head used in the method of the present invention is a head for ejecting the probe solution by utilizing thermal energy, and is for generating thermal energy to be applied to the probe solution. It is preferable to provide the heat energy generator of. Inkjet methods that can be used in the manufacture of probe carriers include thermal jets that eject liquid by generating bubbles using thermal energy generated from electrothermal converters such as heaters and laser light. There are a system (a bubble jet (registered trademark) system) and a piezo inkjet system in which a liquid is ejected by the deformation of the device caused by applying a voltage to the piezo device, and any of them can be used in the method of the present invention. Of these, the head for the thermal jet method has a simpler structure than the head for the piezo inkjet method,
It is suitable for downsizing the head and increasing the number of nozzles. As mentioned above, in the case of the thermal jet method, the binding reaction to the carrier is completed in a short time, and the secondary structure of DNA is also eliminated by heat. The thermal jet method is an inkjet method more preferably used in the present invention in that the efficiency of the subsequent hybridization reaction can be increased.

【0108】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4723129号明細書、同第4740
796号明細書に開示されているインク記録分野での基
本的な原理を用いて行うものが好ましい。この方式は所
謂オンデマンド型,コンティニュアス型のいずれにも適
用可能であるが、特に、オンデマンド型の場合には、液
体(インク)が保持されているシートや液路に対応して
配置されている電気熱変換体に、記録情報に対応してい
て核沸騰を越える急速な温度上昇を与える少なくとも1
つの駆動信号を印加することによって、電気熱変換体に
熱エネルギを発生せしめ、記録ヘッド(液体吐出ヘッ
ド)の熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結果的にこの駆
動信号に一対一で対応した液体(インク)内の気泡を形
成できるので有効である。この気泡の成長、収縮により
吐出用開口を介して液体(インク)を吐出させて、少な
くとも1つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状
とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行われるので、
特に応答性に優れた液体(インク)の吐出が達成でき、
より好ましい。このパルス形状の駆動信号としては、米
国特許第4463359号明細書、同第4345262
号明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第4313124号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。
With regard to its typical structure and principle, see, for example, US Pat. Nos. 4,723,129 and 4740.
It is preferable to use the basic principle in the field of ink recording disclosed in Japanese Patent No. 796. This method can be applied to both the so-called on-demand type and the continuous type. In particular, in the case of the on-demand type, it is arranged corresponding to the sheet or liquid path holding the liquid (ink). The electrothermal converter being subjected to a rapid temperature rise corresponding to the recorded information and exceeding the nucleate boiling.
By applying two drive signals, heat energy is generated in the electrothermal converter, causing film boiling on the heat acting surface of the recording head (liquid ejection head), and as a result, one-to-one correspondence with this drive signal. This is effective because bubbles can be formed in the formed liquid (ink). The liquid (ink) is ejected through the ejection openings by the growth and contraction of the bubbles to form at least one droplet. If this drive signal is made into a pulse shape, the growth and contraction of bubbles will be performed immediately and appropriately,
In particular, it is possible to achieve ejection of liquid (ink) with excellent responsiveness,
More preferable. As the pulse-shaped drive signal, U.S. Pat. Nos. 4,463,359 and 4,345,262 are used.
Those described in the specification are suitable. If the conditions described in US Pat. No. 4,313,124 of the invention relating to the rate of temperature rise on the heat acting surface are adopted, more excellent recording can be performed.

【0109】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路,電気熱変換体
の組合せ構成(直線状液流路または直角液流路)の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第4558333号明細書、米国特許第44
59600号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通
するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示
する特開昭59−123670号公報や熱エネルギの圧
力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示す
る特開昭59−138461号公報に基いた構成として
も、本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッド
(液体吐出ヘッド)の形態がどのようなものであって
も、本発明によればプローブのスポッティングを確実に
効率よく行うことができるようになるからである。
As the constitution of the recording head, in addition to the combination constitution of the discharge port, the liquid passage, and the electrothermal converter (the linear liquid passage or the right-angled liquid passage) as disclosed in the above-mentioned respective specifications, U.S. Pat. No. 4,558,333 and U.S. Pat. No. 44, which disclose a configuration in which a heat acting portion is arranged in a bending region.
The structure using the specification of No. 59600 is also included in the present invention. In addition, Japanese Unexamined Patent Publication No. 59-123670 discloses a configuration in which a common slit is used as a discharge portion of the electrothermal converter for a plurality of electrothermal converters, and an opening for absorbing a pressure wave of thermal energy is provided. The effect of the present invention is effective even when the configuration corresponding to the ejection portion is disclosed in JP-A-59-138461. That is, regardless of the form of the recording head (liquid ejection head), according to the present invention, spotting of the probe can be performed reliably and efficiently.

【0110】さらに、液体吐出装置がスポッティングで
きる担体の最大幅に対応した長さを有するフルラインタ
イプの液体吐出ヘッドに対しても本発明は有効に適用で
きる。そのような液体吐出ヘッドとしては、複数のヘッ
ドの組合せによってその長さを満たす構成や、一体的に
形成された1個のヘッドとしての構成のいずれでもよ
い。
Furthermore, the present invention can be effectively applied to a full-line type liquid discharge head having a length corresponding to the maximum width of the carrier that can be spotted by the liquid discharge device. Such a liquid ejection head may have a configuration that fills its length by a combination of a plurality of heads or a configuration as one head that is integrally formed.

【0111】加えて、シリアルタイプのものでも、装置
本体に固定されたヘッド、あるいは装置本体に装着され
ることで装置本体との電気的な接続や装置本体からのプ
ローブ溶液の付与が可能になる交換自在のチップタイプ
の液体吐出ヘッド、あるいは液体吐出ヘッド自体に一体
的に溶液リザーバーが設けられたカートリッジタイプの
ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
In addition, even in the case of the serial type, when it is attached to the head fixed to the apparatus main body or the apparatus main body, it becomes possible to electrically connect to the apparatus main body and apply the probe solution from the apparatus main body. The present invention is also effective when a replaceable chip type liquid discharge head or a cartridge type head in which a solution reservoir is integrally provided in the liquid discharge head itself is used.

【0112】また、液体吐出装置の構成として、ヘッド
の吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加することは
本発明の効果を一層安定できるので、好ましいものであ
る。これらを具体的に挙げれば、液体吐出ヘッドに対し
てのクリーニング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱
変換体あるいはこれとは別の加熱素子あるいはこれらの
組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手段、スポッテ
ィングとは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げること
ができる。
Further, as the structure of the liquid ejecting apparatus, it is preferable to add an ejection recovering means for the head, a preliminary auxiliary means, etc. because the effects of the present invention can be further stabilized. Specific examples thereof include cleaning means for the liquid ejection head, pressurizing or suctioning means, preheating means for heating using an electrothermal converter or a heating element other than this, or a combination thereof, Preliminary ejection means for performing ejection other than spotting can be mentioned.

【0113】上述した溶液に対して最も有効なものは、
上述した膜沸騰方式を実行するものである。
The most effective of the above solutions is
The film boiling method described above is executed.

【0114】(プローブ溶液)以下に、本発明のプロー
ブ固定用担体プローブ担体を製造する場合に用いるプロ
ーブ溶液の組成や吐出方法について詳細に説明する。
(Probe Solution) The composition of the probe solution and the ejection method used when the probe carrier of the present invention is manufactured will be described in detail below.

【0115】本発明において、担体に固定されるプロー
ブは、特定の標的物質に対して特異的に結合可能なもの
である。更に、このプローブには、特定の標的によって
認識され得るオリゴヌクレオチドやポリヌクレオチド、
あるいはその他のポリマーなどが含まれる。用語「プロ
ーブ」は、個々のポリヌクレオチド分子などのプローブ
機能を有するプローブ分子そのものを意味する場合と、
分散した位置に表面固定された同じ配列のポリヌクレオ
チドなどの同じプローブ機能を有するプローブ分子の集
団を意味する場合があり、しばしばリガンドと呼ばれる
分子も含まれる。また、プローブおよび標的は、しばし
ば交換可能に使用され、プローブは、リガンド−抗リガ
ンド(レセプターと呼ぶこともある)対の一部として標
的と結合し得るか、または結合するようになり得るもの
である。本発明におけるプローブ及び標的は、天然にお
いて見出されるような塩基、またはその類似物を含み得
る。
In the present invention, the probe immobilized on the carrier is capable of specifically binding to a specific target substance. Furthermore, this probe includes an oligonucleotide or polynucleotide that can be recognized by a specific target,
Alternatively, other polymers are included. The term “probe” means a probe molecule itself having a probe function such as an individual polynucleotide molecule,
It may mean a population of probe molecules having the same probe function, such as polynucleotides of the same sequence, which are surface-immobilized at dispersed positions, and a molecule often referred to as a ligand is also included. Also, probe and target are often used interchangeably, and the probe is one that can or will become capable of binding to the target as part of a ligand-antiligand (sometimes called a receptor) pair. is there. The probes and targets in the present invention may include bases as found in nature, or analogs thereof.

【0116】また、担体上に支持されるプローブの一例
としては、標的核酸とハイブリダイゼーション可能な塩
基配列よりなるオリゴヌクレオチドの一部にリンカーを
介して担体との結合部を有するもので、担体との結合部
において担体表面に連結された構造を有するものを挙げ
ることができる。なお、このような構成の場合における
担体と結合部のオリゴヌクレオチドの分子内での位置
は、所望とするハイブリダイゼーション反応を損なわな
い範囲において限定されない。
[0116] As an example of the probe supported on the carrier, a part of an oligonucleotide consisting of a base sequence capable of hybridizing with a target nucleic acid has a binding part with the carrier via a linker. One having a structure in which it is connected to the surface of the carrier at the bonding portion of. The positions of the carrier and the binding site in the molecule of the oligonucleotide in the case of such a structure are not limited as long as the desired hybridization reaction is not impaired.

【0117】また、本発明の方法により製造されるプロ
ーブ担体に採用されるプローブは、その使用目的に応じ
て、適宜選択されるものであるが、本発明の方法を好適
に実施する上では、プローブとしては、DNA、RN
A、cDNA(コンプリメンタリーDNA)、PNA、
オリゴヌクレオチド、ポリヌクレオチド、その他の核
酸、オリゴペプチド、ポリペプチド、タンパク質、酵
素、酵素に対する基質、抗体、抗体に対するエピトー
プ、抗原、ホルモン、ホルモンレセプター、リガンド、
リガンドレセプター、オリゴ糖、ポリ糖のいずれかであ
ることが好ましく、必要に応じてこれらの2種以上を組
合せて用いることができる。
The probe employed in the probe carrier produced by the method of the present invention is appropriately selected according to the purpose of use, but in order to suitably carry out the method of the present invention, As the probe, DNA, RN
A, cDNA (complementary DNA), PNA,
Oligonucleotides, polynucleotides, other nucleic acids, oligopeptides, polypeptides, proteins, enzymes, substrates for enzymes, antibodies, epitopes for antibodies, antigens, hormones, hormone receptors, ligands,
It is preferably any one of a ligand receptor, an oligosaccharide and a polysaccharide, and if necessary, two or more kinds of these can be used in combination.

【0118】本発明においては、これらのプローブの複
数種を、それぞれ独立した領域、例えばドット状スポッ
トとして担体表面(中空体や管状担体の内壁面の表面を
含む)に固定したものをプローブ担体といい、所定の間
隔で配列されたものをプローブアレイという。
In the present invention, a probe carrier is prepared by immobilizing plural kinds of these probes on independent regions, for example, dot-shaped spots on the carrier surface (including the inner wall surface of the hollow body or tubular carrier). What is arranged at a predetermined interval is called a probe array.

【0119】一方、プローブは担体表面に結合可能な構
造を有しており、担体上へのプローブの固定がこの結合
可能な構造を介して行われていることが望ましい。その
際、プローブが有する担体表面に結合可能な構造は、ア
ミノ基、メルカプト基、カルボキシル基、水酸基、酸ハ
ライド化物(ハロホルミル基;−COX)、ハライド化
物(−X)、アジリジン、マレイミド基、スクシイミド
基、イソチオシアネート、スルフォニルクロリド(−S
Cl)基、アルデヒド(ホルミル基;−CHO)
基、ヒドラジン、ヨウ化アセトアミドなどの有機官能基
を導入する処理により形成されたものであることが好ま
しい。また、プローブ側担体への結合に必要な構造に応
じて、上記のように担体の表面に必要とされる処理を施
してもよい。
On the other hand, the probe has a structure capable of binding to the surface of the carrier, and it is desirable that the probe is immobilized on the carrier via this structure capable of binding. At that time, the structure capable of binding to the carrier surface of the probe is an amino group, a mercapto group, a carboxyl group, a hydroxyl group, an acid halide (haloformyl group; -COX), a halide (-X), an aziridine, a maleimide group, a succinimide. Group, isothiocyanate, sulfonyl chloride (-S
O 2 Cl) group, aldehyde (formyl group; —CHO)
It is preferably formed by a treatment of introducing an organic functional group such as a group, hydrazine, or iodoacetamide. Further, depending on the structure required for binding to the probe-side carrier, the surface of the carrier may be subjected to the necessary treatment as described above.

【0120】上記のような担体上にインクジェット法に
よってプローブを含むプローブ溶液を付与する場合、担
体上で不必要に液滴が広がることなく、所定の箇所にと
どまるようきに液組成を調製することが好ましい。そし
てその液組成は、該プローブ本来の性能を損なわず、ま
た該プローブに導入した担体表面の官能基との反応性を
損なうようなものでないことが好ましい。
When a probe solution containing a probe is applied onto a carrier as described above by an inkjet method, the liquid composition should be adjusted so that the liquid droplets do not unnecessarily spread on the carrier and remain at a predetermined position. Is preferred. The liquid composition preferably does not impair the original performance of the probe and does not impair the reactivity with the functional group on the surface of the carrier introduced into the probe.

【0121】またインクジェット法を用いる場合、担体
表面に付与される液滴が微小であるので、付与後蒸発乾
燥してしまうことを防ぐ為に、反応中には保湿容器のよ
うな反応容器に担体を保存しておくことは好ましい方法
であるが、吐出する液体に保湿剤を含ませておく方法も
有効である。特にサーマルジェット法においては、吐出
時に温度上昇をともなうので、保湿成分、表面張力調製
成分の存在は重要である。そのようなマーカー物質、あ
るいは、プローブを担体表面に付与する溶媒としては、
尿素を5〜10wt%、グリセリンを5〜10wt%、
チオジグリコールを5〜10wt%、及び、アセチレン
アルコールを1wt%を含んでいるものを好適に用いる
ことができる。
When the inkjet method is used, since the droplets applied to the surface of the carrier are minute, in order to prevent evaporation and drying after application, the carrier is placed in a reaction container such as a moisturizing container during the reaction. It is a preferable method to store the above, but it is also effective to include a moisturizer in the liquid to be ejected. In particular, in the thermal jet method, the presence of the moisturizing component and the surface tension adjusting component is important because the temperature is increased during the ejection. As such a marker substance, or as a solvent that imparts the probe to the carrier surface,
5-10 wt% urea, 5-10 wt% glycerin,
Those containing 5 to 10 wt% of thiodiglycol and 1 wt% of acetylene alcohol can be preferably used.

【0122】上記プローブ溶液には、該液体のインクジ
ェット吐出特性、液体中及びサーマルジェット(バブル
ジェット(登録商標))吐出時のプローブの安定性を考
慮すると、液体中には例えば2mer〜5000me
r、特には2mer〜60merの核酸プローブを、
0.05〜500μM、特には2〜50μMの濃度で含
有させることが好ましい。
Considering the ink jet discharge characteristics of the liquid, the stability of the probe in the liquid and the thermal jet (Bubble Jet (registered trademark)) discharge, the probe solution has, for example, 2 mer to 5000 me in the liquid.
r, especially a 2mer to 60mer nucleic acid probe,
It is preferably contained at a concentration of 0.05 to 500 μM, particularly 2 to 50 μM.

【0123】プローブ溶液の液体特性として、サーマル
ジェットヘッド(バブルジェット(登録商標)ヘッド)
からの吐出性という観点からは、例えば、その粘度が1
〜15cps、表面張力が30dyn/cm以上が好ま
しい。また粘度を1〜5cps、表面張力を30〜50
dyn/cmとした場合、担体上での着弾位置が極めて
正確なものとなり特に好適に用いられる。
As a liquid characteristic of the probe solution, a thermal jet head (bubble jet (registered trademark) head) is used.
From the viewpoint of dischargeability from, for example, its viscosity is 1
-15 cps and a surface tension of 30 dyn / cm or more are preferable. The viscosity is 1 to 5 cps and the surface tension is 30 to 50.
When it is set to dyn / cm, the landing position on the carrier becomes extremely accurate, and it is particularly preferably used.

【0124】なお、担体表面に、液体吐出ヘッドで担体
上に付与した液体が、該担体上で広がり、そして隣接す
るスポットとの間で混合してしまうのを防ぐような、ウ
ェルのような構造を設けた場合には、液体の粘度や表面
張力、更には核酸プローブの塩基長や濃度も上記の範囲
外であっても用いることができる。
It should be noted that a structure such as a well is formed on the surface of the carrier so as to prevent the liquid applied on the carrier by the liquid discharge head from spreading on the carrier and mixing with adjacent spots. In the case where the above is provided, the viscosity and surface tension of the liquid, and the base length and concentration of the nucleic acid probe can be used even if they are out of the above ranges.

【0125】(吐出態様)一度に一個のノズルから吐出
されるプローブ溶液の量は、プローブ担体における各プ
ローブスポットの面密度に応じて適宜選択されるもので
あるが、プローブ溶液の粘度、プローブ溶液と担体の親
和性、プローブと担体との反応性などの種々の要素を考
慮の上で、形成されるアレイのドットサイズや形状に応
じて選択される。その際の1回の吐出液量は、0.1〜
100pl(ピコリットル)、好ましくは0.1〜50
plの範囲から選択することができる。プローブの高密
度化には1回で吐出される量はできるだけ最小であるこ
とが好ましいが、極端に吐出量が少なくなると空気抵抗
により担体へ到達しなくなる。1回の吐出液量は、好ま
しくは0.1〜10plであり、より好ましくは0.1
〜5plであり、その液量に合わせてノズル径などを設
計・調製することが好ましい。
(Discharge Mode) The amount of the probe solution discharged from one nozzle at a time is appropriately selected according to the areal density of each probe spot on the probe carrier. It is selected according to the dot size and shape of the array to be formed, taking into consideration various factors such as the affinity of the carrier and the reactivity between the probe and the carrier. In this case, the amount of discharged liquid per time is 0.1 to
100 pl (picoliter), preferably 0.1-50
It can be selected from the range of pl. In order to increase the density of the probe, it is preferable that the amount discharged at one time is as small as possible, but if the amount discharged is extremely small, it will not reach the carrier due to air resistance. The discharge amount per discharge is preferably 0.1 to 10 pl, more preferably 0.1.
It is preferably up to 5 pl, and it is preferable to design and adjust the nozzle diameter and the like according to the liquid amount.

【0126】核酸プローブの担体上での密度を上記の値
(例えば1インチ各に10000個以上のスポット、上
限としては1×106個程度)にするためには、各々の
核酸プローブのスポット直径は例えば20〜100μm
程度であることが好ましく、またスポットがそれぞれ互
いに独立していることが好ましい。そしてこのようなス
ポットは、バブルジェット(登録商標)ヘッドから吐出
される液体の特性、及び該液体が付着する担体の表面特
性等によって決定される。
In order to set the density of the nucleic acid probe on the carrier to the above value (for example, 10000 or more spots per inch, the upper limit is about 1 × 10 6 spots), the spot diameter of each nucleic acid probe is For example, 20 to 100 μm
It is preferable that the spots are in the order of magnitude and that the spots are independent of each other. Then, such a spot is determined by the characteristics of the liquid ejected from the bubble jet (registered trademark) head, the surface characteristics of the carrier to which the liquid adheres, and the like.

【0127】本発明ではこれらプローブ担体にプローブ
と特異的に結合可能な標的物質の溶液を供給し、適当な
反応条件に置き、結合を行なう。個別のスポットに異な
る標的物質の溶液を供給する必要がある場合には、プロ
ーブ担体の複数のスポットのそれぞれに、プローブに結
合させるべき少なくとも1種の標的物質が溶解した溶液
を少なくとも1種供給する。また、これら標的物質の供
給にも、上述のように、液体吐出によるプローブ担体へ
の付与を行えば、微量な液量を、定量的に供給可能とな
る上に、基板と吐出ヘッドのアライメント調整にも上述
の指標を基準として用いることができ、好ましい。
In the present invention, a solution of a target substance capable of specifically binding to a probe is supplied to these probe carriers and placed under appropriate reaction conditions for binding. When it is necessary to supply solutions of different target substances to individual spots, at least one solution of at least one target substance to be bound to the probe is supplied to each of the plurality of spots of the probe carrier. . Further, when supplying these target substances to the probe carrier by ejecting the liquid as described above, it is possible to quantitatively supply a small amount of liquid and to adjust the alignment between the substrate and the ejection head. Also, the above-mentioned index can be used as a reference and is preferable.

【0128】以下に、上記指標を基準として、上記のよ
うにして製造された本発明に係るプローブ担体上に固定
されているプローブと特異的に結合した標的物質の位置
を検出する方法を説明する。
A method for detecting the position of the target substance specifically bound to the probe immobilized on the probe carrier of the present invention produced as described above will be described below with reference to the above-mentioned index. .

【0129】指標および標的物質は放射性標識または蛍
光標識により標識されていることが好ましく、標的物質
の位置検出には、特に担体が隔壁および開口部(ウエ
ル)を有する場合は、プローブと特異的に結合した標的
物質に関連した蛍光標識が発する蛍光を検出することに
より行うことが好ましい。
The indicator and the target substance are preferably labeled with a radioactive label or a fluorescent label, and for detecting the position of the target substance, particularly when the carrier has a partition wall and an opening (well), the target and the target substance are specifically labeled with the probe. It is preferably performed by detecting the fluorescence emitted by the fluorescent label associated with the bound target substance.

【0130】検出時の走査画像のアラインメントでは、
レーザ光等を光源としてCCDカメラなどの撮像手段で
撮像し、画像処理装置で処理して認識して上記指標の位
置座標を検出し、該位置座標を基準とし、蛍光標識が発
生する蛍光の位置を検出することで、あらかじめ該指標
位置座標を基準に形成した各プローブの中から蛍光を発
したプローブを同定することが出来る。上記指標が小さ
かったり、指標の線幅が狭い場合には、位置決めの際に
利用されるCCDカメラのエリアセンサの画素数が多い
センサにしたり、エリアセンサを複数配置したCCDカ
メラを利用してアライメントを行えばよい。
In the alignment of the scanned image at the time of detection,
The position of the fluorescence generated by the fluorescent marker is detected by imaging the image with an image pickup device such as a CCD camera using the laser light as a light source, processing the image with an image processing device, recognizing the position coordinate of the index, and using the position coordinate as a reference. By detecting, it is possible to identify the probe that fluoresces among the probes formed in advance with reference to the index position coordinates. If the index is small or the line width of the index is narrow, use a sensor with a large number of pixels in the area sensor of the CCD camera used for positioning, or use a CCD camera with multiple area sensors arranged for alignment. Should be done.

【0131】検出時には、ブラックマトリクス上に残留
している不要な物質の情報が検出されない方法を採用す
ることで、アルブミン処理等の表面処理の工程の簡略化
をはかることが可能となり、好ましい。例えば、担体の
裏面からレーザ光などの光源から光を照射して蛍光物質
からの蛍光を検出する方法、または、蛍光物質からの蛍
光を裏面から蛍光を検出する方法が挙げられる。より具
体的には、担体が、光透過性の板状体からなる担体であ
り、かつ、担体の一方の面に複数種のプローブが固定さ
れている特定の位置を区画するための隔壁を有し、所定
の条件下で放射性標識が発した担体を貫通する蛍光を前
記担体の他方の面で検知することにより、好適にプロー
ブの固定位置を特定することができる。
It is preferable to employ a method in which information on unnecessary substances remaining on the black matrix is not detected at the time of detection, because the step of surface treatment such as albumin treatment can be simplified. For example, a method of irradiating light from a light source such as a laser beam on the back surface of the carrier to detect fluorescence from the fluorescent material, or a method of detecting fluorescence from the fluorescent material from the back surface can be mentioned. More specifically, the carrier is a carrier made of a light-transmissive plate, and has a partition wall for partitioning a specific position where a plurality of types of probes are fixed on one surface of the carrier. Then, the fixed position of the probe can be suitably specified by detecting the fluorescence penetrating the carrier emitted by the radioactive label under the predetermined condition on the other surface of the carrier.

【0132】[0132]

【実施例】(実施例1)ガラス基板(コーニング製「1
737」)上に、カーボンブラックを含有する黒色レジ
スト(富士フイルムオーリン製「CK−A143Bレジ
スト」)を塗布し、UV露光装置による所定の露光、無
機アルカリ水溶液による現像、クリーンオーブン中で2
20℃、60分で加熱してポストベーク処理を行って、
膜厚2μm、100μm×200μmの長方形の開口部
を有するブラックマトリクスパターン(隔壁)を作製し
た。また、ブラックマトリクスパターンとともに、横線
幅30μm、長さ150μmと縦線幅30μm、長さ1
50μmからなる十字の指標をチップ周辺部の2隅に2
個形成した(図1参照)。
Example (Example 1) Glass substrate (made by Corning "1"
737 ") is coated with a black resist containing carbon black (" CK-A143B resist "manufactured by FUJIFILM Ohlin), predetermined exposure by a UV exposure device, development with an inorganic alkaline aqueous solution, and 2 in a clean oven.
After heating at 20 ° C for 60 minutes to perform post-baking,
A black matrix pattern (partition wall) having a rectangular opening with a film thickness of 2 μm and 100 μm × 200 μm was produced. Along with the black matrix pattern, the horizontal line width is 30 μm, the length is 150 μm, the vertical line width is 30 μm, and the length is 1.
A cross-shaped index consisting of 50 μm is placed in two corners around the chip.
Individually formed (see FIG. 1).

【0133】次いで、蛍光色素ローダミンBを、液体吐
出ヘッドで吐出するための溶媒、すなわち、グリセリン
7.5wt%、尿素7.5wt%、チオジグリコール
7.5wt%、一般式(IV):
Next, the solvent for ejecting the fluorescent dye Rhodamine B with the liquid ejection head, that is, glycerin 7.5 wt%, urea 7.5 wt%, thiodiglycol 7.5 wt%, general formula (IV):

【0134】[0134]

【化2】 [Chemical 2]

【0135】で示されるアセチレンアルコール(例え
ば、商品名:アセチレノールEH 川研ファインケミカ
ル株式会社)1wt%を含む水溶液に、10μMの濃度
で溶解させた。この色素溶液をインクジェット用ヘッド
の各ノズルに連接されて形成された液体リザーバーに一
個おきに注入した。ローダミンB液を注入しなかったリ
ザーバーには同様に溶液化した蛍光色素アミノFITC
(濃度10μM)を注入した。次に、上記十字の指標を
基準として描画アライメントを行った。描画アライメン
トでは、上記2個の十字形の指標を、レーザ光等を光源
としてCCDカメラで撮像し、画像処理装置で処理して
認識してその位置座標を検出した結果により、液体吐出
装置に備わっているXYθステージを調整して、ヘッド
と担体との位置合わせした。この液体吐出ヘッドの各ノ
ズルから上記二種の色素の溶液を上記洗浄済みのガラス
基板上に吐出し付与した。なお、各リザーバー、ノズル
は予め上記溶媒と各色素溶液で洗浄、真空吸引による液
体の除去を適宜繰り返した。一個の液滴(主的)の量は
10plであり、この場合、担体上に吐出された液滴
(ドット)が占める面積は約直径50μmであり、ドッ
トの間隔は約100μmである。
An aqueous solution containing 1 wt% of acetylene alcohol represented by (for example, trade name: acetylenol EH Kawaken Fine Chemical Co., Ltd.) was dissolved at a concentration of 10 μM. This dye solution was injected into every other liquid reservoir formed by being connected to each nozzle of the inkjet head. A fluorescent dye, aminoFITC, which was also similarly solubilized in the reservoir in which Rhodamine B solution was not injected
(Concentration 10 μM) was injected. Next, drawing alignment was performed using the cross index as a reference. In the drawing alignment, the two cross-shaped indicators are imaged by a CCD camera using laser light or the like as a light source, processed by an image processing device, recognized, and the position coordinates are detected. The XYθ stage that is installed was adjusted to align the head and the carrier. From each nozzle of this liquid discharge head, the solutions of the above-mentioned two kinds of dyes were discharged onto the cleaned glass substrate and applied. Each reservoir and nozzle were washed with the above solvent and each dye solution in advance, and the liquid removal by vacuum suction was appropriately repeated. The amount of one droplet (mainly) is 10 pl, and in this case, the area occupied by the droplets (dots) ejected on the carrier is about 50 μm in diameter, and the interval between dots is about 100 μm.

【0136】ニコン蛍光顕微鏡ECLIPSE E80
0(株式会社ニコン)に20倍対物レンズ(プランアポ
クロマート)と蛍光フイルタ(B−2A:ローダミンB
用、B−2E/C:アミノFITC用、いずれもニコ
ン)をセットし200倍の倍率にて、付与された各色素
水溶液の状態を蛍光にて観察したところ、混色のない水
溶液の付与が可能であった。また、各ドットは整然と配
列され、よれ、あるいは、ミスト等に由来する汚れも観
察されなかった。
Nikon fluorescence microscope ECLIPSE E80
0 (Nikon Corporation) 20x objective lens (plan apochromat) and fluorescent filter (B-2A: Rhodamine B)
, B-2E / C: for amino FITC, both are Nikon), and the state of each dye aqueous solution applied was observed with fluorescence at a magnification of 200 times, and it was possible to apply an aqueous solution without color mixing. Met. Further, each dot was arranged in an orderly manner, and no stain or stain derived from mist was observed.

【0137】(実施例2) (ハイブリダイゼーションによる混色評価)実施例1と
同様にガラス基板を洗浄した。ついで、減圧蒸留して精
製した、下記式(I):
(Example 2) (Evaluation of Color Mixing by Hybridization) The glass substrate was washed in the same manner as in Example 1. Then, the product was purified by vacuum distillation, the following formula (I):

【0138】[0138]

【化3】 (CHO)SiCNHCNH (I)Embedded image (CH 3 O) 3 SiC 3 H 6 NHC 2 H 4 NH 2 (I)

【0139】のアミノシランカップリング剤(KBM−
603:化合物I 信越化学工業株式会社製)を1%の
濃度で含む水溶液を室温下、1時間攪拌し、メトキシ基
部分を加水分解させた。次に、上記基板を洗浄後速やか
に前記シランカップリング剤水溶液に浸し、室温下、1
時間浸漬した。その後、流水(超純水)洗浄し、窒素ガ
スを吹きつけて乾燥させ、次いで、120℃のオーブン
中で1時間加熱定着させた。
Aminosilane coupling agent (KBM-
603: Compound I, an aqueous solution containing 1% concentration of Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was stirred at room temperature for 1 hour to hydrolyze the methoxy group portion. Next, after washing the substrate, it is immediately immersed in the aqueous solution of the silane coupling agent, and at room temperature for 1 minute.
Soak for hours. After that, it was washed with running water (ultra pure water), blown with nitrogen gas to be dried, and then heat-fixed in an oven at 120 ° C. for 1 hour.

【0140】冷却後、下記式(II):After cooling, the following formula (II):

【0141】[0141]

【化4】 [Chemical 4]

【0142】のN−(6−マレイミドカプロキシ)スク
シイミド(EMCS;化合物II)の0.3%溶液(エ
タノール:ジメチルスルホキシド=1:1)に基板を室
温下、2時間浸漬し、 EMCSをアミノシランカップ
リング剤のアミノ基に反応させた。反応終了後、エタノ
ール:ジメチルスルホキシド=1:1で1回、エタノー
ルで3回洗浄し、窒素ガスを吹きつけて乾燥させた。 5’−ATGAACCGGAGGCCCATC−3’ 3’−TACTTGGCCTCCGGGTAG−5’ 5’−AAAAAAAAAAAAAAAAAAAAAAAAA−3’ 3’−TTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTT−5’ 上記する、の塩基配列にそれぞれ相補的な塩基配列
である、、の塩基配列を有し、かつ、5’末端にリ
ンカーを介して上記基板表面に最終的に精製したマレイ
ミド基と反応結合可能なメルカプト基(SH基:スルフ
ィドリル基ともいう)を有するオリゴヌクレオチド(化
合物III、IV: ベックス株式会社)を本実施例の
検証に用いるオリゴヌクレオチドプローブに利用した。
式(III、IV):
The substrate was immersed in a 0.3% solution of N- (6-maleimido-caproxy) succinimide (EMCS; compound II) (ethanol: dimethylsulfoxide = 1: 1) at room temperature for 2 hours to obtain EMCS aminosilane. It was reacted with the amino group of the coupling agent. After completion of the reaction, the mixture was washed once with ethanol: dimethyl sulfoxide = 1: 1 and three times with ethanol, and dried by blowing nitrogen gas. 5'-ATGAACCGGAGGCCCATC-3 '3'-TACTTGGCCTCCGGGT-5'5'-AAAAAAAAAAAAAAAAAAAAAAAAA-3'-3'-base sequence complementary to the base sequence of each of the above-mentioned sequences and complementary 5'-TTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTT And having an mercapto group (also referred to as SH group: sulfhydryl group) capable of reacting with the finally purified maleimide group on the surface of the substrate via a linker at the 5'end (compounds III and IV: Bex Co., Ltd.) was used for the oligonucleotide probe used in the verification of this example.
Formula (III, IV):

【0143】[0143]

【化5】 3’−TACTTGGCCTCCGGGTAG−OP(O)O−(CH −5’ 化合物III 3’−TTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTT−OP(O)O −(CH−5’ 化合物IVEmbedded image 3'-TACTTGGCCTCCGGGTAG-OP (O 2 ) O- (CH 2) 6 -5 ' Compound III 3'-TTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTTT-OP (O 2) O - (CH 2) 6 -5' Compound IV

【0144】化合物III、IVをそれぞれ実施例1と
同様の吐出用溶媒に吸光度が1.0になるように溶解さ
せ、実施例1と同様に液体吐出ヘッドからガラス基板上
に一個おきに付与した。なお、各リザーバー、ノズルは
予め上記溶媒とオリゴヌクレオチドの溶液で洗浄、真空
吸引による液体の除去を適宜繰り返した。その後上記の
基板上にオリゴヌクレオチド溶液を吐出した。液滴量、
ドットサイズ、ドット間隔、吐出のパターン、吐出回
数、イオナイザーによる帯電およびミスト吸着部の帯電
は実施例1と同様である。また、上記溶媒は保湿性が高
く、リザーバー内、および、基板上でのオリゴヌクレオ
チド溶液の乾燥を防ぐことができる。
Each of the compounds III and IV was dissolved in the same solvent for ejection as in Example 1 so that the absorbance was 1.0, and every other compound was applied from the liquid ejection head onto the glass substrate in the same manner as in Example 1. . The reservoirs and nozzles were washed with the solution of the solvent and the oligonucleotide in advance and the liquid was removed by vacuum suction as appropriate. After that, the oligonucleotide solution was discharged onto the above substrate. Drop volume,
The dot size, dot interval, ejection pattern, ejection frequency, electrification by the ionizer, and electrification of the mist adsorbing portion are the same as in the first embodiment. Further, the above solvent has a high moisturizing property and can prevent the oligonucleotide solution from drying in the reservoir and on the substrate.

【0145】このように化合物III、IVの溶液を吐
出した基板を、湿度100%の保湿チャンバー内に室温
下で1時間反応させた後、流水(超純水)中で約30秒
洗浄した。次に、上記基板をBSA(牛血清アルブミン
シグマアルドリッチジャパン)を2%の濃度で含む5
0mM リン酸緩衝液(pH=7.0、1M NaCl
を含む)に1時間浸漬した後、上記緩衝液で適宜洗浄
し、この緩衝液中で保存した。
The substrates thus ejected with the solutions of the compounds III and IV were reacted in a moisturizing chamber having a humidity of 100% at room temperature for 1 hour and then washed in running water (ultra pure water) for about 30 seconds. Next, the above substrate contains BSA (bovine serum albumin Sigma-Aldrich Japan) at a concentration of 2%.
0 mM phosphate buffer (pH = 7.0, 1M NaCl
Was immersed in the buffer solution) for 1 hour, washed appropriately with the above buffer solution, and stored in this buffer solution.

【0146】(ハイブリダイゼーション)モデル標的D
NAとして実施例の、の配列を有し、5’末端にテ
トラメチルローダミンを結合した化合物V、VI(ベッ
クス株式会社より購入)をハイブリダイゼーションに用
いた。
(Hybridization) Model Target D
Compounds V and VI (purchased from Beck's Co., Ltd.) having the sequence of Example 1 as NA and having tetramethylrhodamine bound to the 5'end were used for hybridization.

【0147】モデル標的DNAとして、式(V、V
I):(Vのみ図示、VIはDNA部分がA25)
As the model target DNA, the formula (V, V
I): (only V is shown, VI has a DNA portion of A25)

【0148】[0148]

【化6】 [Chemical 6]

【0149】のDNA分子、上記、の配列を有し、
蛍光指標としてテトラメチルローダミンを5’末端に結
合した化合物V、VI(べックス株式会社より購入)を
用いて、調製された基板上のプローブとのハイブリダイ
ゼーション反応を行った。
A DNA molecule of the above, having the sequence of the above,
Compounds V and VI (purchased from Bex Co., Ltd.) having tetramethylrhodamine bound to the 5'end as a fluorescence index were used to carry out a hybridization reaction with the prepared probe on the substrate.

【0150】このハイブリダイゼーション反応は、二枚
の基板を化合物V、VIをそれぞれ5nMの濃度で含む
リン酸緩衝液(10mMリン酸緩衝液pH=7.0、5
0mMのNaClを含む)2mlを用い、ハイブリパッ
ク中で別個に行った。基板をモデル標的DNA溶液とと
もにハイブリパック中に封じ、恒温槽内で70℃まで加
熱し、その後、50℃まで冷却し、その状態で10時間
放置した。
This hybridization reaction was carried out by using a phosphate buffer solution (10 mM phosphate buffer solution, pH = 7.0, 5) containing two substrates, each containing Compound V and VI at a concentration of 5 nM.
2 ml (containing 0 mM NaCl) was used and performed separately in the hybrid pack. The substrate was sealed in a hybrid pack together with the model target DNA solution, heated to 70 ° C. in a thermostat, then cooled to 50 ° C., and left in that state for 10 hours.

【0151】次に、基板をハイブリパックから取り出
し、未反応の標的DNAを除去する目的で、ハイブリダ
イゼーション用の緩衝液で洗浄した。洗浄後、緩衝液で
覆われた状態でスライドグラス上に基板を置き、カバー
ガラスで覆って、裏面からレーザー光を照射することで
蛍光指標からの蛍光を基準として蛍光位置を観察した。
この観察に使用した蛍光顕微鏡は、ECLIPSE E
800(株式会社ニコン)に20倍対物レンズ(プラン
アポクロマート)と蛍光フイルタ(Y−2E/C)をセ
ットしたものである。各基板の標的DNAに相補的なプ
ローブが存在するべき部分からのみ蛍光が観察された。
各ドットは整然と配列されていた。
Next, the substrate was taken out from the hybrid pack and washed with a hybridization buffer for the purpose of removing unreacted target DNA. After washing, the substrate was placed on a slide glass in a state of being covered with a buffer solution, covered with a cover glass, and irradiated with laser light from the back surface to observe the fluorescence position based on fluorescence from a fluorescence index.
The fluorescence microscope used for this observation was ECLIPSE E
800 (Nikon Corporation) was set with a 20 × objective lens (plan apochromat) and a fluorescent filter (Y-2E / C). Fluorescence was observed only from the portion of each substrate where the probe complementary to the target DNA was to be present.
The dots were arranged in an orderly manner.

【0152】(実施例3)本実施例では、ブラックマト
リクスからなる隔壁を形成し、次いでドライエッチング
処理、プラズマ処理、および水処理したプローブ固定用
担体を作製した後、混色や白抜けについての評価を行っ
た。具体的には以下のように行った。
(Embodiment 3) In this embodiment, after a partition wall made of a black matrix is formed and then a dry etching treatment, a plasma treatment, and a water treatment are carried out to prepare a probe fixing carrier, evaluation of color mixture and white spots is carried out. I went. Specifically, it carried out as follows.

【0153】〔ブラックマトリクスの形成〕ガラス基板
(コーニング製「1737」)上に、カーボンブラック
を含有する黒色レジスト(富士フイルムオーリン製「C
K−A143Bレジスト」)を塗布し、UV露光装置に
よる所定の露光、無機アルカリ水溶液による現像、クリ
ーンオーブン中で220℃、60分で加熱してポストベ
ーク処理を行って、膜厚2μm、100μm×200μ
mの長方形の開口部を有するブラックマトリクスパター
ン(隔壁)を作製した。隔壁の長さaは20μmとし
た。
[Formation of Black Matrix] On a glass substrate (“1737” manufactured by Corning), a black resist containing carbon black (“C manufactured by FUJIFILM Ohlin”
K-A143B resist "), predetermined exposure with a UV exposure device, development with an inorganic alkaline aqueous solution, and post-baking treatment by heating in a clean oven at 220 ° C for 60 minutes to give a film thickness of 2 µm and 100 µm × 200μ
A black matrix pattern (partition wall) having a rectangular opening of m was produced. The length a of the partition wall was 20 μm.

【0154】〔表面粗さの評価〕ブラックマトリクスの
形成に用いたガラス基板の表面粗さを、Digital
Instrument社製「NanoScopeIII
aAFM Dimension3000ステージシステ
ム」を用い、ブラックマトリクスを形成する前に任意の
箇所にて測定した。その結果、ガラス基板表面の平均粗
さ(Ra)は3nmであった。
[Evaluation of Surface Roughness] The surface roughness of the glass substrate used for the formation of the black matrix was evaluated as Digital.
Instrument company "NanoScope III
“AAFM Dimension 3000 stage system” was used to measure at an arbitrary position before forming a black matrix. As a result, the average roughness (Ra) of the glass substrate surface was 3 nm.

【0155】〔ドライエッチング処理〕ブラックマトリ
クスを形成した前記ガラス基板(ブラックマトリクス基
板)に、カソードカップリング方式平行平板型プラズマ
処理装置を用いて、以下の条件にてプラズマ処理を行っ
た。
[Dry Etching Treatment] Plasma treatment was performed on the above glass substrate (black matrix substrate) on which a black matrix was formed under the following conditions using a cathode coupling parallel plate type plasma treatment apparatus.

【0156】 使用ガス :O ガス流量 :80sccm 圧力 :8Pa RFパワー :0.15KW 処理時間 :30secGas used: O 2 gas flow rate: 80 sccm Pressure: 8 Pa RF power: 0.15 KW Processing time: 30 sec

【0157】〔プラズマ処理〕上記ドライエッチング処
理終了後、同じ装置内で、ブラックマトリクス基板に対
して、以下の条件にてプラズマ処理を施した。 使用ガス :CF ガス流量 :330sccm 圧力 :44Pa RFパワー :1.2KW 処理時間 :130sec
[Plasma Treatment] After completion of the dry etching treatment, plasma treatment was performed on the black matrix substrate in the same apparatus under the following conditions. Gas used: CF 4 gas flow rate: 330 sccm Pressure: 44 Pa RF power: 1.2 kW Processing time: 130 sec

【0158】〔水処理〕プラズマ処理後のブラックマト
リクス基板に対して、水処理を施した。具体的には、上
記ブラックマトリクス基板を超音波純水浴中に浸漬し
た。処理条件は以下の通りとした。 純水温度:50〜60℃ 超音波周波数:40kHz 処理時間:5min 乾燥:引き上げ乾燥、60℃、5分
[Water Treatment] The black matrix substrate after the plasma treatment was subjected to water treatment. Specifically, the black matrix substrate was immersed in an ultrasonic pure water bath. The processing conditions were as follows. Pure water temperature: 50-60 ° C. Ultrasonic frequency: 40 kHz Treatment time: 5 min Drying: Pulling dry, 60 ° C., 5 minutes

【0159】〔撥水性の評価〕協和界面社製自動液晶ガ
ラス洗浄・処理検査装置「LCD−400S」を用い
て、上記水処理工程まで行った後のブラックマトリクス
基板について、純水に対する接触角を測定した。ブラッ
クマトリクス表面については微細パターンの周囲に設け
られた幅5mmの額縁上にて測定を行ない、ガラス基板
表面については該額縁のさらに外側のブラックマトリク
スパターンの設けられていない箇所にて測定を行った。
各々の純水に対する接触角は、 ガラス基板表面:12° ブラックマトリクス表面:125° であった。
[Evaluation of Water Repellency] Using a Kyowa Interface Co., Ltd. automatic liquid crystal glass cleaning / processing inspection apparatus “LCD-400S”, the contact angle to pure water was measured for the black matrix substrate after the water treatment step. It was measured. The surface of the black matrix was measured on a frame having a width of 5 mm provided around the fine pattern, and the surface of the glass substrate was measured further outside of the frame at a place where the black matrix pattern was not provided. .
The contact angle with respect to each pure water was as follows: glass substrate surface: 12 °, black matrix surface: 125 °.

【0160】[インクジェット法による担体への水系溶
液の供給]次いで、蛍光色素ローダミンBを、液体吐出
ヘッドで吐出するための溶媒、すなわち、グリセリン
7.5wt%、尿素7.5wt%、チオジグリコール
7.5wt%、一般式(IV):
[Supply of Aqueous Solution to Carrier by Inkjet Method] Next, a solvent for ejecting the fluorescent dye rhodamine B by a liquid ejecting head, that is, glycerin 7.5 wt%, urea 7.5 wt%, thiodiglycol. 7.5 wt%, general formula (IV):

【0161】[0161]

【化7】 [Chemical 7]

【0162】で示されるアセチレンアルコール(例え
ば、商品名:アセチレノールEH 川研ファインケミカ
ル株式会社)1wt%を含む水溶液に、10μMの濃度
で溶解させた。次いで、このローダミンB水溶液を、イ
ンクジェット装置により、各々の開口部に、20pl供
給した。次に、別のインクジェットヘッドから10μM
のアミノFITCの水溶液20plを他の第1の領域に
供給した。ローダミンB、アミノFITCを用いたの
は、水溶性であること、また、蛍光により供給された液
の状態、クロスコンタミネーションの状態を観察するた
めである。
An aqueous solution containing 1 wt% of acetylene alcohol (for example, trade name: acetylenol EH Kawaken Fine Chemical Co., Ltd.) represented by was dissolved at a concentration of 10 μM. Next, 20 pl of this rhodamine B aqueous solution was supplied to each opening by an inkjet device. Next, from another inkjet head, 10 μM
20 pl of an aqueous solution of amino FITC in Example 1 was supplied to the other first region. Rhodamine B and amino FITC were used because they are water-soluble and the state of the liquid supplied by fluorescence and the state of cross contamination are observed.

【0163】協和界面社製自動液晶ガラス洗浄・処理検
査装置「LCD−400S」を用いて、上記ブラックマ
トリクス基板について、上記プローブ溶液に対する接触
角を測定した。ブラックマトリクス表面については微細
パターンの周囲に設けられた幅5mmの額縁上にて測定
を行ない、ガラス基板表面については該額縁のさらに外
側のブラックマトリクスパターンの設けられていない箇
所にて測定を行った。各々のプローブ溶液に対する接触
角は、 ガラス基板表面:17° ブラックマトリクス表面:115° であった。
The contact angle of the probe solution with respect to the black matrix substrate was measured using an automatic liquid crystal glass cleaning / processing inspection device "LCD-400S" manufactured by Kyowa Interface Co., Ltd. The surface of the black matrix was measured on a frame having a width of 5 mm provided around the fine pattern, and the surface of the glass substrate was measured further outside of the frame at a place where the black matrix pattern was not provided. . The contact angle of each probe solution was 17 ° on the glass substrate surface and 115 ° on the black matrix surface.

【0164】ニコン蛍光顕微鏡にG励起フィルター(ロ
ーダミンB用)、B励起フィルター(アミノFITC
用)を装着し、100倍にて、供給された各水溶液の状
態を蛍光にて観察した。各水溶液とも、液滴を形成する
ことなく第1の領域内に均一に供給されていた。また、
それぞれの色素が供給されるべき第1の領域からは他の
色素の蛍光は観察されず、各々の第1の領域へのクロス
コンタミネーションのない水溶液の供給が可能であっ
た。また、付与した液滴の径を光学顕微鏡で観察したと
ころ、上記溶液は十分に開口部内に濡れ拡がり、液滴端
部を見出すことは難しく、本例の全てのプローブ担体に
おいて白抜けは観察されなかった。
The Nikon fluorescence microscope has a G excitation filter (for Rhodamine B) and a B excitation filter (Amino FITC).
) Was attached and the state of each supplied aqueous solution was observed by fluorescence at 100 times. Each aqueous solution was uniformly supplied in the first region without forming droplets. Also,
The fluorescence of the other dyes was not observed from the first region to which each dye was to be supplied, and it was possible to supply the aqueous solution without cross contamination to each first region. Further, when observing the diameter of the applied droplet with an optical microscope, the solution was sufficiently wet and spread in the opening, it was difficult to find the end of the droplet, and white spots were observed in all probe carriers of this example. There wasn't.

【0165】(比較例1)プラズマ処理および水処理を
行わない以外は実施例3と同様にして、プローブ担体を
作製した。ブラックマトリクス基板の純水に対する接触
角は、 ガラス基板表面:80° ブラックマトリクス表面:80° であった。
Comparative Example 1 A probe carrier was prepared in the same manner as in Example 3 except that plasma treatment and water treatment were not performed. The contact angle of the black matrix substrate with respect to pure water was 80 ° on the surface of the glass substrate and 80 ° on the surface of the black matrix.

【0166】水処理を行わない以外は実施例1と同様に
して、プローブ担体を作製した。ブラックマトリクス基
板の純水に対する接触角は、 ガラス基板表面:15° ブラックマトリクス表面:130° であった。
A probe carrier was prepared in the same manner as in Example 1 except that the water treatment was not performed. The contact angle of the black matrix substrate with respect to pure water was 15 ° on the surface of the glass substrate and 130 ° on the surface of the black matrix.

【0167】溶液の拡がり性についても評価したとこ
ろ、20plのプローブ溶液でプローブ溶液は濡れ拡が
ることなく、プローブ担体において全開口部部に白抜け
が観察された。
The spreadability of the solution was also evaluated. As a result, the probe solution did not wet and spread with 20 pl of the probe solution, and white spots were observed at all openings in the probe carrier.

【0168】(実施例4)担体上にプローブ溶液を付与
する前処理として実施例3と同様のドライエッチング処
理、プラズマ処理、水処理を行ったことを除き、実施例
1と同様の方法でプローブ担体を作製した。
Example 4 A probe was prepared in the same manner as in Example 1 except that the same dry etching treatment, plasma treatment and water treatment as in Example 3 were carried out as a pretreatment for applying the probe solution onto the carrier. A carrier was prepared.

【0169】ニコン蛍光顕微鏡ECLIPSE E80
0(株式会社ニコン)に20倍対物レンズ(プランアポ
クロマート)と蛍光フイルタ(B−2A:ローダミンB
用、B−2E/C:アミノFITC用、いずれもニコ
ン)をセットし200倍の倍率にて、付与された各色素
水溶液の状態を蛍光にて観察したところ、混色のない水
溶液の付与が可能であった。また、各ドットは整然と配
列され、よれ、あるいは、ミスト等に由来する汚れも観
察されず、さらに、溶液は十分に開口部内に濡れ拡が
り、液滴端部を見出すことは難しく、本例の全てのプロ
ーブ担体において白抜けは観察されなかった。したがっ
て、本実施例のプローブ担体では、指標を設けることに
より、該指標を基準として描画アライメントを行った際
に、より正確に所望の位置にプローブ溶液を付与するこ
とができることに加え、プラズマ処理、脱フッ素処理、
および水処理を担体に施すことにより水系プローブ溶液
に対して高い撥水性を発揮する隔壁および高い親水性を
発揮するプローブ固定領域を有するプローブ担体を作製
することで、僅かな付与位置のズレが生じてしまった場
合があっても、隔壁の有する撥水性により隣接する隔壁
の開口部(ウエル)においてプローブ溶液が混じり合う
ことなく、また濡れ広がりにより白抜けを生じることも
なく、非常に信頼性の高いプローブ担体を達成できた。
Nikon fluorescence microscope ECLIPSE E80
0 (Nikon Corporation) 20x objective lens (plan apochromat) and fluorescent filter (B-2A: Rhodamine B)
, B-2E / C: for amino FITC, both are Nikon), and the state of each dye aqueous solution applied was observed with fluorescence at a magnification of 200 times, and it was possible to apply an aqueous solution without color mixing. Met. In addition, each dot is arranged in an orderly manner, and no twist or dirt derived from mist is observed.Furthermore, the solution is sufficiently wet and spread in the opening, and it is difficult to find the end of the droplet. No white spots were observed in the probe carrier of 1. Therefore, in the probe carrier of the present embodiment, by providing an index, in addition to being able to more accurately apply the probe solution to a desired position when performing drawing alignment with the index as a reference, plasma treatment, Defluorination treatment,
By producing a probe carrier having a partition wall exhibiting high water repellency with respect to an aqueous probe solution and a probe fixing region exhibiting high hydrophilicity by subjecting the carrier to water treatment and water treatment, a slight misalignment of application position occurs. Even if it happens, the probe solution does not mix with the opening (well) of the adjacent partition due to the water repellency of the partition, and white spots do not occur due to wetting and spreading. A high probe carrier could be achieved.

【0170】[0170]

【発明の効果】本発明によれば、プローブ非固定領域内
に指標を有する担体を用い、該指標の位置を基準とし
て、前記プローブを含む溶液を前記担体上の特定の位置
に付与しプローブを固定することにより、正確かつ迅速
に、プローブ溶液の混液や白抜けのない高信頼性および
高密度化プローブ担体を製造することができる。また、
該指標を基準として上記製造方法で製造されたプローブ
担体上に固定されたプローブと特異的に結合した標的化
合物の位置を正確かつ迅速に検出することができる。さ
らに、プラズマ処理、脱フッ素処理、および水処理等の
ガス除去処理を担体に施すことにより水系プローブ溶液
に対して高い撥水性を発揮する隔壁および高い親水性を
発揮するプローブ固定領域を有するプローブ担体を作製
でき、プローブ溶液の混液や白抜けをより効果的に防止
することができる。
According to the present invention, a carrier having an index in the probe non-immobilized region is used, and a solution containing the probe is applied to a specific position on the carrier by using the position of the index as a reference. By fixing, it is possible to manufacture a highly reliable and highly densified probe carrier without a mixture of probe solutions and white spots accurately and quickly. Also,
The position of the target compound specifically bound to the probe immobilized on the probe carrier manufactured by the above-described manufacturing method can be accurately and quickly detected based on the index. Further, a probe carrier having a partition wall exhibiting high water repellency with respect to an aqueous probe solution and a probe fixing region exhibiting high hydrophilicity by subjecting the carrier to a gas removal treatment such as plasma treatment, defluorination treatment, and water treatment. Can be produced, and a mixture of probe solutions and white spots can be more effectively prevented.

【0171】[0171]

【配列表】SEQUENCE LISTING <110> CANON INC. <120> Probe carrier, Method and Apparatus for prod
ucing Probe carrier <130> 4705007 <150>JP2001/133697 <151>2001-04-27 <150>JP2001/133698 <151>2001-04-27 <160> 4 <210> 1 <211> 18 <212> DNA <213> Artificial Sequence <220> <223> Designed oligonucleotide to be hybridized wi
th the designed oligonucleotide "gatgggcctccggttca
t" <400> 1 atgaaccgga ggcccatc 18 <210> 2 <211> 18 <212> DNA <213> Artificial Sequence <220> <223> Designed oligonucleotide used as a probe to
be stabilized on a carrier <400> 2 gatgggcctc cggttcat 18 <210> 3 <211> 25 <212> DNA <213> Artificial Sequence <220> <223> Designed oligonucleotide to be hybridized wi
th the designed oligonucleotide "tttttttttttttttt
ttttttttt" <400> 3 aaaaaaaaaa aaaaaaaaaa aaaaa 25 <210> 4 <211> 25 <212> DNA <213> Artificial Sequence <220> <223> Designed oligonucleotide used as a probe to
be stabilized on a surface of a carrier <400> 4 tttttttttt tttttttttt ttttt 25
[Sequence Listing] SEQUENCE LISTING <110> CANON INC. <120> Probe carrier, Method and Apparatus for prod
ucing Probe carrier <130> 4705007 <150> JP2001 / 133697 <151> 2001-04-27 <150> JP2001 / 133698 <151> 2001-04-27 <160> 4 <210> 1 <211> 18 <212> DNA <213> Artificial Sequence <220><223> Designed oligonucleotide to be hybridized wi
th the designed oligonucleotide "gatgggcctccggttca
t "<400> 1 atgaaccgga ggcccatc 18 <210> 2 <211> 18 <212> DNA <213> Artificial Sequence <220><223> Designed oligonucleotide used as a probe to
be stabilized on a carrier <400> 2 gatgggcctc cggttcat 18 <210> 3 <211> 25 <212> DNA <213> Artificial Sequence <220><223> Designed oligonucleotide to be hybridized wi
th the designed oligonucleotide "tttttttttttttttt
ttttttttt "<400> 3 aaaaaaaaaa aaaaaaaaaa aaaaa 25 <210> 4 <211> 25 <212> DNA <213> Artificial Sequence <220><223> Designed oligonucleotide used as a probe to
be stabilized on a surface of a carrier <400> 4 tttttttttt tttttttttt ttttt 25

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】指標が形成された本発明に係るプローブ担体ま
たはプローブ固定用担体の一実施態様を例示した図であ
る。
FIG. 1 is a view exemplifying one embodiment of a probe carrier or a probe-immobilizing carrier according to the present invention in which an index is formed.

【図2】本発明に係るプローブ担体の製造方法を模式的
に示す工程図である
FIG. 2 is a process chart schematically showing a method for producing a probe carrier according to the present invention.

【図3】インクジェット方式によるプローブ担体の製造
方法において発生する白抜けの概念図である。
FIG. 3 is a conceptual diagram of white spots that occur in a method of manufacturing a probe carrier by an inkjet method.

【図4】本発明のプローブ担体の一実施形態であるプロ
ーブ担体の一例の断面模式図である。
FIG. 4 is a schematic sectional view of an example of a probe carrier that is an embodiment of the probe carrier of the present invention.

【図5】本発明のプローブ担体の一実施形態であるプロ
ーブ担体の一例の断面模式図である。
FIG. 5 is a schematic sectional view of an example of a probe carrier that is an embodiment of the probe carrier of the present invention.

【図6】本発明のプローブ担体の一実施形態であるプロ
ーブ担体の一例の断面模式図である。
FIG. 6 is a schematic sectional view of an example of a probe carrier that is an embodiment of the probe carrier of the present invention.

【図7】本発明の製造方法において用いうるプラズマ発
生装置の構成の一例を示す模式図である。
FIG. 7 is a schematic diagram showing an example of the configuration of a plasma generator that can be used in the manufacturing method of the present invention.

【図8】本発明の製造方法において用いうるプラズマ発
生装置の他の構成を示す模式図である。
FIG. 8 is a schematic diagram showing another configuration of a plasma generator that can be used in the manufacturing method of the present invention.

【図9】プローブ担体製造装置の制御コントローラの構
成図である。
FIG. 9 is a configuration diagram of a controller of the probe carrier manufacturing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 指標 12 隔壁 13 ウエル 14 チップ 15 チップ周辺部 21 担体 22 隔壁層 23 フォトレジストマスク 24 プローブ溶液吐出ヘッド 25 プローブ溶液 31 担体 32 隔壁 33 プローブ溶液 34 白抜け部分 41 担体 42 隔壁 43 プローブ溶液 51 担体 52 隔壁 53 プローブ溶液 61 担体 62 隔壁 63 プローブ溶液 71 上部電極 72 下部電極 73 被処理担体 74 高周波電源 91 コントローラ 92 ティーチングペンダント 93 操作部 94 表示部 95 インタフェース 96 CPU 97 ROM 98 RAM 99 吐出制御部 100 ステージ制御部 101 プローブ担体製造装置 11 indicators 12 partitions 13 wells 14 chips 15 Chip periphery 21 carrier 22 Partition layer 23 Photoresist mask 24 Probe solution discharge head 25 probe solution 31 Carrier 32 partitions 33 Probe solution 34 White areas 41 Carrier 42 partition 43 Probe solution 51 carrier 52 partition 53 Probe solution 61 carrier 62 bulkhead 63 probe solution 71 Upper electrode 72 Lower electrode 73 Carrier to be treated 74 high frequency power supply 91 Controller 92 Teaching pendant 93 Operation part 94 Display 95 Interface 96 CPU 97 ROM 98 RAM 99 Discharge controller 100 stage controller 101 Probe carrier manufacturing apparatus

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Claims (29)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 担体上に標的物質と特異的に結合可能な
複数種のプローブが異なる特定の位置に固定されたプロ
ーブ担体を製造する方法であって、 前記担体上の前記特定の位置を除く部分に指標を設ける
工程と、 前記指標の位置を基準として、前記プローブを含む溶液
を前記担体上の前記特定の位置に付与する工程と、 前記プローブを前記担体上に固定する工程と、を有する
ことを特徴とするプローブ担体の製造方法。
1. A method for producing a probe carrier in which a plurality of types of probes capable of specifically binding to a target substance are immobilized on different specific positions on the carrier, the specific positions on the carrier being excluded. A step of providing an index on the part, a step of applying a solution containing the probe to the specific position on the carrier with reference to the position of the index, and a step of fixing the probe on the carrier A method for producing a probe carrier, comprising:
【請求項2】 前記担体上に前記特定の位置を区画する
ための隔壁を形成する工程をさらに有することを特徴と
する請求項1記載のプローブ担体の製造方法。
2. The method for producing a probe carrier according to claim 1, further comprising the step of forming a partition wall for partitioning the specific position on the carrier.
【請求項3】 前記担体上に前記特定の位置を区画する
ための隔壁を形成する工程と、 少なくともフッ素原子を含有するガスの雰囲気下で前記
担体にプラズマを照射するプラズマ照射工程と、 前記特定の位置に付着した前記ガス成分を除去する工程
と、をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の
プローブ担体の製造方法。
3. A step of forming a partition wall for partitioning the specific position on the carrier; a plasma irradiation step of irradiating the carrier with plasma in an atmosphere of a gas containing at least fluorine atoms; The method of manufacturing a probe carrier according to claim 1, further comprising the step of removing the gas component attached to the position.
【請求項4】 前記ガス成分の除去工程は、前記プラズ
マ照射した担体の表面に水を接触させて前記ガス成分を
洗い流す水洗工程であることを特徴とする請求項3に記
載のプローブ担体の製造方法。
4. The probe carrier manufacturing method according to claim 3, wherein the step of removing the gas component is a water washing step of washing the gas component by bringing water into contact with the surface of the plasma-irradiated carrier. Method.
【請求項5】 前記隔壁がフォトリソグラフィ法により
形成されることを特徴とする請求項2から4のいずれか
1項に記載のプローブ担体の製造方法。
5. The method of manufacturing a probe carrier according to claim 2, wherein the partition wall is formed by a photolithography method.
【請求項6】 前記フォトリソグラフィ法は、前記担体
表面に感光性樹脂層を形成し、前記感光性樹脂層を前記
隔壁に対応するようにパターン状に露光し、現像して前
記隔壁を形成する工程を有し、かつ前記隔壁を、前記プ
ラズマ照射工程に先立って、更に焼成する工程を含むこ
とを特徴とする請求項5に記載のプローブ担体の製造方
法。
6. The photolithography method comprises forming a photosensitive resin layer on the surface of the carrier, exposing the photosensitive resin layer in a pattern corresponding to the partition walls, and developing to form the partition walls. The method for producing a probe carrier according to claim 5, further comprising a step of firing the partition wall prior to the plasma irradiation step.
【請求項7】 前記水洗工程において、前記担体を水に
接触させた後、100℃以下で乾燥することを特徴とす
る請求項4から6のいずれか1項に記載のプローブ担体
の製造方法。
7. The method for producing a probe carrier according to claim 4, wherein in the washing step, the carrier is brought into contact with water and then dried at 100 ° C. or lower.
【請求項8】 前記隔壁の所定の位置に前記指標を有す
ることを特徴とする請求項2から7のいずれか1項に記
載のプローブ担体の製造方法。
8. The method of manufacturing a probe carrier according to claim 2, wherein the index is provided at a predetermined position of the partition wall.
【請求項9】 前記プローブを含む溶液を前記特定の位
置に付与する工程は、前記溶液を空間を飛翔させて付与
することを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に
記載のプローブ担体の製造方法。
9. The probe according to claim 1, wherein in the step of applying the solution containing the probe to the specific position, the solution is applied by flying in a space. Method for producing carrier.
【請求項10】 担体上に標的物質と特異的に結合可能
な複数種のプローブを異なる特定の位置に固定するため
のプローブ固定用担体を製造する方法であって、 前記担体上に領域を区画するための隔壁を形成する工程
と、 少なくともフッ素原子を含有するガス雰囲気下で前記担
体にプラズマ照射するプラズマ照射工程と、 前記プラズマ照射を施した担体の表面に水を接触させて
前記ガス成分を洗い流す水洗工程と、を有することを特
徴とするプローブ固定用担体の製造方法。
10. A method for producing a probe-immobilizing carrier for immobilizing a plurality of types of probes capable of specifically binding to a target substance on a carrier at different specific positions, wherein a region is defined on the carrier. A step of forming partition walls for, a plasma irradiation step of irradiating the carrier with plasma under a gas atmosphere containing at least fluorine atoms, and contacting water with the surface of the carrier subjected to the plasma irradiation to cause the gas component And a washing step of rinsing.
【請求項11】 請求項10に記載の方法で製造された
プローブ固定用担体に前記プローブを含む溶液を前記担
体上の前記特定の位置に付与し前記プローブを固定する
ことを特徴とするプローブ担体の製造方法。
11. A probe carrier, characterized in that a solution containing the probe is applied to the probe-immobilizing carrier produced by the method according to claim 10 at the specific position on the carrier to immobilize the probe. Manufacturing method.
【請求項12】 標的物質と特異的に結合可能な複数種
のプローブが異なる特定の位置に固定されたプローブ担
体であって、前記担体上の前記特定の位置を除く部分に
指標を有することを特徴とするプローブ担体。
12. A probe carrier in which a plurality of types of probes capable of specifically binding to a target substance are immobilized at different specific positions, and an index is provided on a portion of the carrier other than the specific position. A characteristic probe carrier.
【請求項13】 前記担体は、前記特定の位置を区画す
るための隔壁を有し、前記指標は、前記隔壁の所定位置
にあることを特徴とする請求項12に記載のプローブ担
体。
13. The probe carrier according to claim 12, wherein the carrier has a partition wall for partitioning the specific position, and the index is at a predetermined position of the partition wall.
【請求項14】 前記指標は、前記隔壁に設けられた凹
部であることを特徴とする請求項13に記載のプローブ
担体。
14. The probe carrier according to claim 13, wherein the index is a recess provided in the partition wall.
【請求項15】 前記隔壁は、遮光性であることを特徴
とする請求項13または14に記載のプローブ担体。
15. The probe carrier according to claim 13, wherein the partition wall has a light-shielding property.
【請求項16】 前記隔壁は、カーボンブラックを含む
樹脂組成物で形成されていることを特徴とする請求項1
5に記載のプローブ担体。
16. The partition wall is formed of a resin composition containing carbon black.
5. The probe carrier according to item 5.
【請求項17】 前記隔壁は撥水性であって、前記隔壁
の純水に対する接触角が120°以上であり、かつ前記
プローブの固定領域は親水性であって、前記プローブの
固定領域の純水に対する接触角が30°以下である、こ
とを特徴とする請求項13から16のいずれか1項に記
載のプローブ担体。
17. The partition wall is water-repellent, the contact angle of the partition wall with respect to pure water is 120 ° or more, the probe fixing region is hydrophilic, and the probe fixing region is pure water. The probe carrier according to any one of claims 13 to 16, wherein the contact angle with respect to is 30 ° or less.
【請求項18】 前記隔壁の断面の下底から隔壁最上部
の高さの80〜100%の間の高さにおける隔壁断面上
部の前記基板に平行な方向の長さの平均値aと前記隔壁
の断面における下底の長さbとの関係が、式1.3≧a
/b≧0.7で示される形状を有することを特徴とする
請求項13から17のいずれか1項に記載のプローブ担
体。
18. The average value a of the length a of the partition cross-section upper portion in the direction parallel to the substrate at a height between 80% and 100% of the height of the partition top from the bottom of the partition cross section and the partition wall. The relation with the length b of the lower bottom in the section of
The probe carrier according to any one of claims 13 to 17, having a shape represented by /b≧0.7.
【請求項19】 標的物質と特異的に結合可能な複数種
のプローブを異なる特定の位置に固定するためのプロー
ブ固定用担体であって、前記担体上の前記特定の位置を
除く部分に指標を有することを特徴とするプローブ固定
用担体。
19. A probe-immobilizing carrier for immobilizing a plurality of types of probes capable of specifically binding to a target substance at different specific positions, wherein an index is provided on a portion of the carrier excluding the specific positions. A carrier for immobilizing a probe, which comprises:
【請求項20】 前記担体は、前記特定の位置を区画す
るための隔壁を有し、前記指標は、前記隔壁の所定位置
にあることを特徴とする請求項19に記載のプローブ固
定用担体。
20. The probe fixing carrier according to claim 19, wherein the carrier has a partition wall for partitioning the specific position, and the index is at a predetermined position of the partition wall.
【請求項21】 前記指標は、前記隔壁に設けられた凹
部であることを特徴とする請求項20に記載のプローブ
固定用担体。
21. The probe fixing carrier according to claim 20, wherein the index is a recess provided in the partition wall.
【請求項22】 前記隔壁は、遮光性を有することを特
徴とする請求項20または21に記載のプローブ固定用
担体。
22. The probe fixing carrier according to claim 20, wherein the partition wall has a light shielding property.
【請求項23】 前記隔壁は、カーボンブラックを含む
樹脂組成物で形成されていることを特徴とする請求項2
2に記載のプローブ固定用担体。
23. The partition wall is formed of a resin composition containing carbon black.
The probe-immobilizing carrier according to item 2.
【請求項24】 前記隔壁が撥水性であって、前記隔壁
の純水に対する接触角が120°以上であり、かつ前記
プローブの固定領域が親水性であって、前記プローブの
固定領域の純水に対する接触角が30°以下である、こ
とを特徴とする請求項20から23のいずれか1項に記
載のプローブ固定用担体。
24. The partition wall is water repellent, the contact angle of the partition wall with respect to pure water is 120 ° or more, the probe fixing region is hydrophilic, and the probe fixing region is pure water. The probe fixing carrier according to any one of claims 20 to 23, wherein a contact angle with respect to is 30 ° or less.
【請求項25】 前記隔壁の断面の下底から隔壁最上部
の高さの80〜100%の間の高さにおける隔壁断面上
部の前記基板に平行な方向の長さの平均値aと前記隔壁
の断面における下底の長さbとの関係が、式1.3≧a
/b≧0.7で示される形状を有することを特徴とする
請求項20から24のいずれか1項に記載のプローブ固
定用担体。
25. The average value a of the lengths in the direction parallel to the substrate at the upper portion of the partition wall section at a height between 80% and 100% of the height of the partition wall from the bottom of the partition wall to the partition wall and the partition wall. The relation with the length b of the lower bottom in the section of
The probe fixing carrier according to any one of claims 20 to 24, which has a shape represented by /b≧0.7.
【請求項26】 担体上に担持されている、標的物質と
結合可能な複数種のプローブに前記標的物質を付与する
ことにより前記標的物質と特異的に結合したプローブの
位置を特定する方法であって、 前記複数種のプローブが担持されている特定の位置とは
異なる位置に設けられている指標を基準として、前記標
的物質と特異的に結合したプローブの位置を特定するこ
とを特徴とする特定方法。
26. A method for identifying the position of a probe specifically bound to the target substance by applying the target substance to a plurality of types of probes capable of binding to the target substance, which are carried on a carrier. The reference is characterized by specifying the position of the probe specifically bound to the target substance with reference to an index provided at a position different from the specific position where the plurality of types of probes are carried. Method.
【請求項27】 前記指標および前記標的物質は、放射
性標識により標識されていることを特徴とする請求項2
6に記載の特定方法。
27. The indicator and the target substance are labeled with a radioactive label.
The identification method according to item 6.
【請求項28】 前記指標および前記標的物質は、蛍光
標識により標識されていることを特徴とする請求項26
に記載の特定方法。
28. The indicator and the target substance are labeled with a fluorescent label.
The identification method described in.
【請求項29】 前記担体は、光透過性の板状体からな
る担体であり、かつ、前記担体の一方の面に前記複数種
のプローブが固定されている特定の位置を区画するため
の隔壁を有し、前記放射性標識が発した前記担体を貫通
する蛍光を前記担体の他方の面で検知することを特徴と
する請求項28に記載の特定方法。
29. The carrier is a carrier made of a light-transmissive plate, and a partition wall for partitioning a specific position where the probes of the plurality of types are fixed on one surface of the carrier. 29. The identifying method according to claim 28, further comprising: detecting the fluorescence emitted by the radioactive label and penetrating the carrier on the other surface of the carrier.
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