JP2002310897A - 光コヒーレンストモグラフィーにおける透光体の動きによる高速光遅延発生方法及びその高速光遅延発生装置 - Google Patents
光コヒーレンストモグラフィーにおける透光体の動きによる高速光遅延発生方法及びその高速光遅延発生装置Info
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/0209—Low-coherence interferometers
- G01B9/02091—Tomographic interferometers, e.g. based on optical coherence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/35—Mechanical variable delay line
Abstract
(57)【要約】
【課題】 物体光における光軸の奥行き方向（Ｚ方向）
の走査距離を長く設定することができる光コヒーレンス
トモグラフィーにおける透光体の動きによる高速光遅延
発生方法及びその高速光遅延発生装置を提供する。 【解決手段】 低コヒーレンス光源１と、この低コヒー
レンス光源１からの光を被検査物Ａへの物体光と参照光
とに２分割するハーフミラー２と、前記参照光を透過さ
せる高速揺動又は高速回転する透光体（透明ガラス）を
配置する光遅延機構としての透明ガラスの移動装置１１
と、この透明ガラスの移動装置１１からの参照光を反射
回帰する固定反射ミラー１２と、被検査物Ａから回帰す
る物体光と前記透明ガラスの移動装置１１から回帰する
参照光とを合波する前記ハーフミラー２と、このハーフ
ミラー２で合波されたヘテロダイン干渉ビート信号を含
む干渉光を検出する光検出器１３とを具備する。
の走査距離を長く設定することができる光コヒーレンス
トモグラフィーにおける透光体の動きによる高速光遅延
発生方法及びその高速光遅延発生装置を提供する。 【解決手段】 低コヒーレンス光源１と、この低コヒー
レンス光源１からの光を被検査物Ａへの物体光と参照光
とに２分割するハーフミラー２と、前記参照光を透過さ
せる高速揺動又は高速回転する透光体（透明ガラス）を
配置する光遅延機構としての透明ガラスの移動装置１１
と、この透明ガラスの移動装置１１からの参照光を反射
回帰する固定反射ミラー１２と、被検査物Ａから回帰す
る物体光と前記透明ガラスの移動装置１１から回帰する
参照光とを合波する前記ハーフミラー２と、このハーフ
ミラー２で合波されたヘテロダイン干渉ビート信号を含
む干渉光を検出する光検出器１３とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光コヒーレンスト
モグラフィーにおける透光体の動きによる高速光遅延発
生方法及びその高速光遅延発生装置に関するものであ
る。
モグラフィーにおける透光体の動きによる高速光遅延発
生方法及びその高速光遅延発生装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の光コヒーレンストモグラフィーに
おける高速光遅延発生方法において、参照光の光路の、
ミラー１とミラー２の回転体回転軸に対する位置を、ミ
ラー１とミラー２の外辺を回転軸を通る弦に一致させた
方法が知られている。
おける高速光遅延発生方法において、参照光の光路の、
ミラー１とミラー２の回転体回転軸に対する位置を、ミ
ラー１とミラー２の外辺を回転軸を通る弦に一致させた
方法が知られている。
【０００３】また、回転体上のプリズムの配置を長辺の
中心となるようにしていた。
中心となるようにしていた。
【０００４】図７はかかる従来の光コヒーレンストモグ
ラフィーの光遅延発生装置の構成図である。
ラフィーの光遅延発生装置の構成図である。
【０００５】この図において、１０１は回転体、１０２
は回転体１０１の中心点、１０３はプリズムである。
は回転体１０１の中心点、１０３はプリズムである。
【０００６】ここでは、プリズム１０３の配置は、その
プリズム１０３の頂角の対角面を円周の接線におおよそ
直交するように配置されていた。
プリズム１０３の頂角の対角面を円周の接線におおよそ
直交するように配置されていた。
【０００７】このような光遅延発生装置では、図７に示
すように、反射光軸のズレが１．３５ｍｍ生じ、光ビー
ムの断面直径を例えばφ６ｍｍとした場合において、物
体光に対する参照光の合波面の横方向のずれが２２．５
％生じる。
すように、反射光軸のズレが１．３５ｍｍ生じ、光ビー
ムの断面直径を例えばφ６ｍｍとした場合において、物
体光に対する参照光の合波面の横方向のずれが２２．５
％生じる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、そのよ
うな従来の高速光遅延発生装置では、被検査物の奥行き
方向（Ｚ方向）走査の際に発生する、回転角度による入
射光軸に対する反射光軸がずれるため、光検出器の干渉
面積が減少し、ヘテロダイン干渉ビート信号は極めて限
られた範囲（角度）でしか得ることができなかった。
うな従来の高速光遅延発生装置では、被検査物の奥行き
方向（Ｚ方向）走査の際に発生する、回転角度による入
射光軸に対する反射光軸がずれるため、光検出器の干渉
面積が減少し、ヘテロダイン干渉ビート信号は極めて限
られた範囲（角度）でしか得ることができなかった。
【０００９】よって、この従来の光コヒーレンストモグ
ラフィーにおける高速光遅延発生装置は、被測定物の奥
行き方向（Ｚ方向）の走査距離が極めて短い断層画像し
か得られない、という欠点があった。
ラフィーにおける高速光遅延発生装置は、被測定物の奥
行き方向（Ｚ方向）の走査距離が極めて短い断層画像し
か得られない、という欠点があった。
【００１０】本発明は、上記状況に鑑みて、物体光にお
ける光軸の奥行き方向（Ｚ方向）の走査距離を長く設定
することができる光コヒーレンストモグラフィーにおけ
る透光体の動きによる高速光遅延発生方法及びその高速
光遅延発生装置を提供することを目的とする。
ける光軸の奥行き方向（Ｚ方向）の走査距離を長く設定
することができる光コヒーレンストモグラフィーにおけ
る透光体の動きによる高速光遅延発生方法及びその高速
光遅延発生装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕光コヒーレンストモグラフィーにおける透光体の
動きによる高速光遅延発生方法において、所定厚さの透
光体を揺動可能に配置し、この透光体に対する光束の通
過角度を連続的に変えることにより、光路長を連続的に
伸縮させ、ドップラー周波数シフトを与えることを特徴
とする。
成するために、 〔１〕光コヒーレンストモグラフィーにおける透光体の
動きによる高速光遅延発生方法において、所定厚さの透
光体を揺動可能に配置し、この透光体に対する光束の通
過角度を連続的に変えることにより、光路長を連続的に
伸縮させ、ドップラー周波数シフトを与えることを特徴
とする。
【００１２】〔２〕光コヒーレンストモグラフィーにお
ける透光体の動きによる高速光遅延発生方法において、
所定厚さの透光体を回転体に放射状に配置し、この透光
体に対する光束の通過角度を連続的に変えることによ
り、光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフ
トを与えることを特徴とする。
ける透光体の動きによる高速光遅延発生方法において、
所定厚さの透光体を回転体に放射状に配置し、この透光
体に対する光束の通過角度を連続的に変えることによ
り、光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフ
トを与えることを特徴とする。
【００１３】〔３〕光コヒーレンストモグラフィーにお
ける透光体の動きによる高速光遅延発生方法において、
透光体の正方形断面を持つ直方体の中心軸を回転軸とし
て回転させた状態で、光束を一方から透過させ、前記透
光体に対する光束の通過角度を連続的に変えることによ
り、光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフ
トを与えることを特徴とする。
ける透光体の動きによる高速光遅延発生方法において、
透光体の正方形断面を持つ直方体の中心軸を回転軸とし
て回転させた状態で、光束を一方から透過させ、前記透
光体に対する光束の通過角度を連続的に変えることによ
り、光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフ
トを与えることを特徴とする。
【００１４】〔４〕光コヒーレンストモグラフィーにお
ける透光体の動きによる高速光遅延発生方法において、
透光体の偶数多面体の中心軸を回転軸として回転させた
状態で、光束を一方から透過させ、前記透光体に対する
光束の通過角度を連続的に変えることにより、光路長を
連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを与えるこ
とを特徴とする。
ける透光体の動きによる高速光遅延発生方法において、
透光体の偶数多面体の中心軸を回転軸として回転させた
状態で、光束を一方から透過させ、前記透光体に対する
光束の通過角度を連続的に変えることにより、光路長を
連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを与えるこ
とを特徴とする。
【００１５】〔５〕光コヒーレンストモグラフィーにお
ける透光体の動きによる高速光遅延発生装置において、
低コヒーレンス光源と、この低コヒーレンス光源からの
光を被検査物への物体光と参照光とに２分割する２分割
用ハーフミラーと、前記参照光を透過させる高速揺動又
は高速回転する透光体を配置する光遅延機構と、この光
遅延機構からの参照光を反射回帰する反射ミラーと、前
記被検査物から回帰する物体光と前記光遅延機構から回
帰する参照光とを合波する前記２分割用ハーフミラー
と、この２分割用ハーフミラーで合波されたヘテロダイ
ン干渉ビート信号を含む干渉光を検出する光検出器とを
具備することを特徴とする。
ける透光体の動きによる高速光遅延発生装置において、
低コヒーレンス光源と、この低コヒーレンス光源からの
光を被検査物への物体光と参照光とに２分割する２分割
用ハーフミラーと、前記参照光を透過させる高速揺動又
は高速回転する透光体を配置する光遅延機構と、この光
遅延機構からの参照光を反射回帰する反射ミラーと、前
記被検査物から回帰する物体光と前記光遅延機構から回
帰する参照光とを合波する前記２分割用ハーフミラー
と、この２分割用ハーフミラーで合波されたヘテロダイ
ン干渉ビート信号を含む干渉光を検出する光検出器とを
具備することを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１７】図１は本発明の実施例を示す光コヒーレン
ストモグラフィー装置の構成図である。
ストモグラフィー装置の構成図である。
【００１８】この図において、１は低コヒーレンス光源
〔例えば、ＳＬＤ（スーパールミネッセントダイオー
ド）光源〕、２はハーフミラー（２分割ハーフミラ
ー）、５は面走査機構（Ｘ軸走査ミラー、Ｙ軸走査ミラ
ー）、６はダイクロイックミラー（可視光反射、赤外光
透過）、７は対物レンズ、８はカメラ光源用ハーフミラ
ー、９はＣＣＤ照明用光源、１０はモニタ用ＣＣＤ、１
１は光遅延発生機構を構成する透光体としての透明ガラ
スの移動装置、１２は全反射ミラー（固定ミラー）、１
３は光検出器、１４はＰＣ（パーソナルコンピュー
タ）、１５は表示装置である。
〔例えば、ＳＬＤ（スーパールミネッセントダイオー
ド）光源〕、２はハーフミラー（２分割ハーフミラ
ー）、５は面走査機構（Ｘ軸走査ミラー、Ｙ軸走査ミラ
ー）、６はダイクロイックミラー（可視光反射、赤外光
透過）、７は対物レンズ、８はカメラ光源用ハーフミラ
ー、９はＣＣＤ照明用光源、１０はモニタ用ＣＣＤ、１
１は光遅延発生機構を構成する透光体としての透明ガラ
スの移動装置、１２は全反射ミラー（固定ミラー）、１
３は光検出器、１４はＰＣ（パーソナルコンピュー
タ）、１５は表示装置である。
【００１９】ＳＬＤ光源１からの光波をハーフミラー２
にて、一方は被検査物Ａへの物体光、他方は参照光とに
２分割し、２分割された参照光は光遅延発生機構（透明
ガラスの移動装置）１１によって回転又は揺動により移
動する透明ガラスを透過後、全反射ミラー１２に導か
れ、この全反射ミラー１２より同一光路を反射回帰し、
ハーフミラー２に戻る。
にて、一方は被検査物Ａへの物体光、他方は参照光とに
２分割し、２分割された参照光は光遅延発生機構（透明
ガラスの移動装置）１１によって回転又は揺動により移
動する透明ガラスを透過後、全反射ミラー１２に導か
れ、この全反射ミラー１２より同一光路を反射回帰し、
ハーフミラー２に戻る。
【００２０】一方、２分割された物体光は、面走査機構
５、対物レンズ７を経て被検査物Ａに入射し、その反射
光は同一光路を反射回帰しハーフミラー２に戻る。
５、対物レンズ７を経て被検査物Ａに入射し、その反射
光は同一光路を反射回帰しハーフミラー２に戻る。
【００２１】面走査機構５は、被検査物Ａに対する物体
光を被検査物Ａの面（Ｘ−Ｙ）を高速に走査する。
光を被検査物Ａの面（Ｘ−Ｙ）を高速に走査する。
【００２２】透明ガラスの移動装置１１により透明ガラ
スは高速で回転または揺動しているので、ハーフミラー
２からの参照光は、ハーフミラー２→透明ガラス（回転
又は揺動）→全反射ミラー１２→透明ガラス（回転又は
揺動）→ハーフミラー２と光路を進む際に、透明ガラス
の回転又は揺動による光路の伸延、収縮作用のため、参
照光は紫方または赤方にドップラー周波数シフトする。
この周波数シフトに応じて、光検出器１３においてヘテ
ロダイン干渉ビート信号が発生する。
スは高速で回転または揺動しているので、ハーフミラー
２からの参照光は、ハーフミラー２→透明ガラス（回転
又は揺動）→全反射ミラー１２→透明ガラス（回転又は
揺動）→ハーフミラー２と光路を進む際に、透明ガラス
の回転又は揺動による光路の伸延、収縮作用のため、参
照光は紫方または赤方にドップラー周波数シフトする。
この周波数シフトに応じて、光検出器１３においてヘテ
ロダイン干渉ビート信号が発生する。
【００２３】このように、参照光がハーフミラー２→透
明ガラス（回転又は揺動）→全反射ミラー１２→透明ガ
ラス（回転又は揺動）→ハーフミラー２という光路を維
持できる範囲において光路の長さを任意に選択でき、故
に物体光における光軸の奥行き方向（Ｚ方向）に一致さ
せ、被検査物の深層の反射構造の深さ方向の走査を行う
ことができる。
明ガラス（回転又は揺動）→全反射ミラー１２→透明ガ
ラス（回転又は揺動）→ハーフミラー２という光路を維
持できる範囲において光路の長さを任意に選択でき、故
に物体光における光軸の奥行き方向（Ｚ方向）に一致さ
せ、被検査物の深層の反射構造の深さ方向の走査を行う
ことができる。
【００２４】また、ハーフミラー２に戻った参照光と物
体光は、ハーフミラー２で合波され光検出器１３に至
る。合波された参照光と物体光は光波の干渉現象により
干渉光となりビートが発生する。ここで、ハーフミラー
２から全反射ミラー（固定ミラー）１２までの光路長
と、ハーフミラー２から被検査物Ａまでの光路長が一致
する時、合波された干渉光はヘテロダイン干渉ビート信
号を発生する。このヘテロダイン干渉ビート信号は、光
検出器１３にて電気信号に変換され、ＰＣ１４へ送られ
る。
体光は、ハーフミラー２で合波され光検出器１３に至
る。合波された参照光と物体光は光波の干渉現象により
干渉光となりビートが発生する。ここで、ハーフミラー
２から全反射ミラー（固定ミラー）１２までの光路長
と、ハーフミラー２から被検査物Ａまでの光路長が一致
する時、合波された干渉光はヘテロダイン干渉ビート信
号を発生する。このヘテロダイン干渉ビート信号は、光
検出器１３にて電気信号に変換され、ＰＣ１４へ送られ
る。
【００２５】このＰＣ１４はヘテロダイン干渉ビート信
号の３次元画像化処理を行い、表示装置１５に被検査物
Ａの断層画像を表示する。
号の３次元画像化処理を行い、表示装置１５に被検査物
Ａの断層画像を表示する。
【００２６】また、物体光の光路途中にハーフミラーを
設置すれば、被検査物Ａからの表面実体をＣＣＤ素子等
の撮像装置にて映像化することにより、被検査物Ａに対
する検査光軸の位置合わせを容易に行うことができる。
設置すれば、被検査物Ａからの表面実体をＣＣＤ素子等
の撮像装置にて映像化することにより、被検査物Ａに対
する検査光軸の位置合わせを容易に行うことができる。
【００２７】さらに、全反射ミラー（固定ミラー）１２
を光軸方向に自在に移動させる機構（図示なし）を付加
することにより、奥行き方向（Ｚ方向）の走査基準位置
を任意に設定することが可能になる。
を光軸方向に自在に移動させる機構（図示なし）を付加
することにより、奥行き方向（Ｚ方向）の走査基準位置
を任意に設定することが可能になる。
【００２８】図２は本発明の第１実施例を示す高速光遅
延発生装置の構成図であり、図２（ａ）は光束と所定板
厚の透明ガラスが直交配置される場合、図２（ｂ）は光
束に対して所定板厚の透明ガラスが斜交する場合をそれ
ぞれ示している。
延発生装置の構成図であり、図２（ａ）は光束と所定板
厚の透明ガラスが直交配置される場合、図２（ｂ）は光
束に対して所定板厚の透明ガラスが斜交する場合をそれ
ぞれ示している。
【００２９】これらの図において、２１は揺動体（又は
回転体）、２２はその揺動体（又は回転体）２１の揺動
軸（回転軸）、２３は揺動体（回転軸）２２に取り付け
られる所定板厚の透明ガラス、２４は全反射ミラー（固
定ミラー）、２５は光束である。
回転体）、２２はその揺動体（又は回転体）２１の揺動
軸（回転軸）、２３は揺動体（回転軸）２２に取り付け
られる所定板厚の透明ガラス、２４は全反射ミラー（固
定ミラー）、２５は光束である。
【００３０】このように、透明ガラス２３の角度を変え
て、光束２５の通過角度を連続的に変えることにより、
光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを
与えつつ光軸方向の走査を行うことができる。
て、光束２５の通過角度を連続的に変えることにより、
光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを
与えつつ光軸方向の走査を行うことができる。
【００３１】図３は本発明の第２実施例を示す高速光遅
延発生装置の構成図であり、図３（ａ）は第１の回転状
態、図３（ｂ）はその第１の回転状態から反時計方向に
回転した状態を示す図である。
延発生装置の構成図であり、図３（ａ）は第１の回転状
態、図３（ｂ）はその第１の回転状態から反時計方向に
回転した状態を示す図である。
【００３２】図中、３１は回転体、３２はその回転軸、
３３は回転体３１に取り付けられる所定板厚の２枚の透
明ガラス、３４は全反射ミラー（固定ミラー）、３５は
光束である。
３３は回転体３１に取り付けられる所定板厚の２枚の透
明ガラス、３４は全反射ミラー（固定ミラー）、３５は
光束である。
【００３３】所定板厚の２枚の透明ガラス３３の一端側
を中心に回転させ、光束３５の透明ガラス３３に対する
通過角度を連続的に変えることにより、光路長を連続的
に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを与えつつ光軸方
向の走査を行う。
を中心に回転させ、光束３５の透明ガラス３３に対する
通過角度を連続的に変えることにより、光路長を連続的
に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを与えつつ光軸方
向の走査を行う。
【００３４】この第２実施例によれば、所定板厚の透明
ガラスを回転体に放射状に配置し、光束３５の透明ガラ
ス３３に対する通過角度を連続的に変えることにより、
光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを
与えることができる。そして、回転体の１回転で複数回
の光遅延を発生させることができる。
ガラスを回転体に放射状に配置し、光束３５の透明ガラ
ス３３に対する通過角度を連続的に変えることにより、
光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを
与えることができる。そして、回転体の１回転で複数回
の光遅延を発生させることができる。
【００３５】図４は本発明の第３実施例を示す高速光遅
延発生装置の構成図であり、図４（ａ）は光束と透明ガ
ラスからなる正方形断面を持つ直方体が直交配置される
場合、図４（ｂ）は光束に対して透明ガラスからなる正
方形断面を持つ直方体が斜交する場合をそれぞれ示して
いる。
延発生装置の構成図であり、図４（ａ）は光束と透明ガ
ラスからなる正方形断面を持つ直方体が直交配置される
場合、図４（ｂ）は光束に対して透明ガラスからなる正
方形断面を持つ直方体が斜交する場合をそれぞれ示して
いる。
【００３６】これらの図において、４１は透明ガラスか
らなる正方形断面を持つ直方体、４２は直方体４１の回
転軸、４３は全反射ミラー、４４は光束である。
らなる正方形断面を持つ直方体、４２は直方体４１の回
転軸、４３は全反射ミラー、４４は光束である。
【００３７】透明ガラスの正方形断面を持つ直方体４１
の回転軸４２を回転させた状態で、光束４４を真上（一
方）から透過させ、光束４４の透明ガラスの正方形断面
を持つ直方体４１に対する通過角度を連続的に変えるこ
とにより、光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波
数シフトを与えつつ光軸方向の走査を行う。
の回転軸４２を回転させた状態で、光束４４を真上（一
方）から透過させ、光束４４の透明ガラスの正方形断面
を持つ直方体４１に対する通過角度を連続的に変えるこ
とにより、光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波
数シフトを与えつつ光軸方向の走査を行う。
【００３８】上記した第３実施例によれば、透明ガラス
からなる正方形断面を持つ直方体４１の回転軸４２を回
転させた状態で、光束４４を真上（一方）から透過さ
せ、光束４４の透明ガラスからなる正方形断面を持つ直
方体４１に対する通過角度を連続的に変えることによ
り、光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフ
トを与えるものである。
からなる正方形断面を持つ直方体４１の回転軸４２を回
転させた状態で、光束４４を真上（一方）から透過さ
せ、光束４４の透明ガラスからなる正方形断面を持つ直
方体４１に対する通過角度を連続的に変えることによ
り、光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフ
トを与えるものである。
【００３９】この実施例によれば、正方形断面を持つ直
方体を用いることから１回転で４回もの繰り返し走査が
行える上に、加工が容易で精度も出し易い。また、加工
部品としては最も単純な直方体の加工であるが故に、非
常に安く製作することが可能である。
方体を用いることから１回転で４回もの繰り返し走査が
行える上に、加工が容易で精度も出し易い。また、加工
部品としては最も単純な直方体の加工であるが故に、非
常に安く製作することが可能である。
【００４０】図５は本発明の第４実施例を示す高速光遅
延発生装置の構成図であり、図５（ａ）は光束と透明ガ
ラスからなる偶数多面体が直交配置される場合、図５
（ｂ）は光束に対して透明ガラスからなる偶数多面体が
斜交する場合をそれぞれ示している。
延発生装置の構成図であり、図５（ａ）は光束と透明ガ
ラスからなる偶数多面体が直交配置される場合、図５
（ｂ）は光束に対して透明ガラスからなる偶数多面体が
斜交する場合をそれぞれ示している。
【００４１】透明ガラスの偶数多面体５１の中心軸を回
転軸５２として回転させた状態で、光束５４を真上（一
方）から透過させ、光束５４の透明ガラスの偶数多面体
５１に対する通過角度を連続的に変えることにより、光
路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを与
えつつ光軸方向の走査を行う。なお、５３は全反射ミラ
ーである。
転軸５２として回転させた状態で、光束５４を真上（一
方）から透過させ、光束５４の透明ガラスの偶数多面体
５１に対する通過角度を連続的に変えることにより、光
路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを与
えつつ光軸方向の走査を行う。なお、５３は全反射ミラ
ーである。
【００４２】この第４実施例によれば、透明ガラスの偶
数多面体５１の中心軸を回転軸５２として回転させた状
態で、光束５４を真上（一方）から透過させ、光束の透
明ガラスの偶数多面体５１に対する通過角度を連続的に
変えることにより光路長を連続的に伸縮させ、ドップラ
ー周波数シフトを与えるものである。
数多面体５１の中心軸を回転軸５２として回転させた状
態で、光束５４を真上（一方）から透過させ、光束の透
明ガラスの偶数多面体５１に対する通過角度を連続的に
変えることにより光路長を連続的に伸縮させ、ドップラ
ー周波数シフトを与えるものである。
【００４３】偶数多面体を用いることから１回転で偶数
多面体の面数分もの走査が行える上に、一体加工ができ
ることから精度も出し易く、組み付けも容易であり製作
コストを比較的抑えることが可能となる。
多面体の面数分もの走査が行える上に、一体加工ができ
ることから精度も出し易く、組み付けも容易であり製作
コストを比較的抑えることが可能となる。
【００４４】図６は本発明の第５実施例を示す高速光遅
延発生装置の構成図であり、図６（ａ）は光束と透明ガ
ラスからなる偶数多面体が直交配置される場合、図６
（ｂ）は光束に対して透明ガラスからなる偶数多面体が
斜交する場合をそれぞれ示している。
延発生装置の構成図であり、図６（ａ）は光束と透明ガ
ラスからなる偶数多面体が直交配置される場合、図６
（ｂ）は光束に対して透明ガラスからなる偶数多面体が
斜交する場合をそれぞれ示している。
【００４５】透明ガラスの偶数多面体６１の多面体対面
の各位置を、対向対面に対し鉛直且つ回転軸６２を通る
線を避けた位置に配し、偶数多面体６１の中心軸を回転
軸６２として回転させた状態で、光束６４を真上（一
方）から透過させ、光束６４の透明ガラスの偶数多面体
６１に対する通過角度を連続的に変えることにより光路
長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを与え
つつ光軸方向の走査を行う。なお、６３は全反射ミラー
である。
の各位置を、対向対面に対し鉛直且つ回転軸６２を通る
線を避けた位置に配し、偶数多面体６１の中心軸を回転
軸６２として回転させた状態で、光束６４を真上（一
方）から透過させ、光束６４の透明ガラスの偶数多面体
６１に対する通過角度を連続的に変えることにより光路
長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを与え
つつ光軸方向の走査を行う。なお、６３は全反射ミラー
である。
【００４６】この第５実施例によれば、透明ガラスの多
面体の多面体対面の各位置を、対向対面に対し鉛直且つ
回転中心を通る線を避けた位置に配し、偶数多面体の中
心軸を回転軸として回転させた状態で、光束を真上（一
方）から透過させ、光束の透明ガラスの偶数多面体に対
する通過角度を連続的に変えることにより、光路長を連
続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを与えるもの
である。
面体の多面体対面の各位置を、対向対面に対し鉛直且つ
回転中心を通る線を避けた位置に配し、偶数多面体の中
心軸を回転軸として回転させた状態で、光束を真上（一
方）から透過させ、光束の透明ガラスの偶数多面体に対
する通過角度を連続的に変えることにより、光路長を連
続的に伸縮させ、ドップラー周波数シフトを与えるもの
である。
【００４７】偶数多面体を用いることから１回転で偶数
多面体の面数分もの走査が行える上に一体加工ができる
ことから精度もだし易く、組み付けも容易であり製作コ
ストを比較的抑えることが可能となる。
多面体の面数分もの走査が行える上に一体加工ができる
ことから精度もだし易く、組み付けも容易であり製作コ
ストを比較的抑えることが可能となる。
【００４８】また、多面体対面の各位置を、対向対面に
対し、鉛直且つ回転中心を通る線を避けた位置に配置し
たことから同一特性（紫方、赤方）のドップラー周波数
シフトを長時間得ることが可能になり多面体の外径を最
小限に抑えることが可能になる。
対し、鉛直且つ回転中心を通る線を避けた位置に配置し
たことから同一特性（紫方、赤方）のドップラー周波数
シフトを長時間得ることが可能になり多面体の外径を最
小限に抑えることが可能になる。
【００４９】このように、上記した第２実施例乃至第５
実施例によれば、回転体の１回転で複数回の光遅延を発
生するように構成したものである。
実施例によれば、回転体の１回転で複数回の光遅延を発
生するように構成したものである。
【００５０】上記した第３実施例によれば、透明ガラス
の正方形断面を持つ直方体の中心軸を回転軸として回転
させた状態で、光束を真上（一方）から透過させ、光束
の透明ガラスに対する通過角度を連続的に変えることに
より、光路長を連続的に伸縮しドップラー周波数シフト
を与えるものである。
の正方形断面を持つ直方体の中心軸を回転軸として回転
させた状態で、光束を真上（一方）から透過させ、光束
の透明ガラスに対する通過角度を連続的に変えることに
より、光路長を連続的に伸縮しドップラー周波数シフト
を与えるものである。
【００５１】正方形断面を持つ直方体を用いることから
１回転で４回もの繰り返し走査が行える上に、加工が容
易で精度も出し易い。また、加工部品としては最も単純
な直方体の加工であるが故に、非常に安く製作すること
が可能である。
１回転で４回もの繰り返し走査が行える上に、加工が容
易で精度も出し易い。また、加工部品としては最も単純
な直方体の加工であるが故に、非常に安く製作すること
が可能である。
【００５２】上記した第４及び第５実施例によれば、光
束光遅延発生装置の回転ガラス部の構成を変更したもの
であり、透明ガラスの多面体の多面体対面の各位置を、
対向対面に対し鉛直且つ回転中心を通る線を避けた位置
に配置し、偶数多面体の中心軸を回転軸として回転させ
た状態で、光束を真上（一方）から透過させ、透明ガラ
スの光束に対する通過角度を連続的に変えることによ
り、光路長を連続的に伸縮しドップラー周波数シフトを
与えるものである。
束光遅延発生装置の回転ガラス部の構成を変更したもの
であり、透明ガラスの多面体の多面体対面の各位置を、
対向対面に対し鉛直且つ回転中心を通る線を避けた位置
に配置し、偶数多面体の中心軸を回転軸として回転させ
た状態で、光束を真上（一方）から透過させ、透明ガラ
スの光束に対する通過角度を連続的に変えることによ
り、光路長を連続的に伸縮しドップラー周波数シフトを
与えるものである。
【００５３】また、偶数多面体を用いることから１回転
で偶数多面体の面数分もの走査が行える上に、一体加工
ができることから精度もだし易く、組み付けも容易であ
り製作コストを比較的に抑えることが可能となる。更に
多面体対面の各位置を、対向対面に対し、鉛直且つ回転
中心を通る線を避けた位置に配置したことから同一特性
（紫方、赤方）のドップラー周波数シフトを長時間得る
ことが可能になり多面体の外径を最小限に抑えることが
可能になる。
で偶数多面体の面数分もの走査が行える上に、一体加工
ができることから精度もだし易く、組み付けも容易であ
り製作コストを比較的に抑えることが可能となる。更に
多面体対面の各位置を、対向対面に対し、鉛直且つ回転
中心を通る線を避けた位置に配置したことから同一特性
（紫方、赤方）のドップラー周波数シフトを長時間得る
ことが可能になり多面体の外径を最小限に抑えることが
可能になる。
【００５４】本発明によれば、高精度な断層情報を高速
且つ広範囲に取込み表示することが可能になるので、例
えば眼底診断装置に応用すれば、従来、眼科医の勘と経
験に頼っていた眼底の診断が、高速、広範囲、且つ容易
に行うことが可能になる。
且つ広範囲に取込み表示することが可能になるので、例
えば眼底診断装置に応用すれば、従来、眼科医の勘と経
験に頼っていた眼底の診断が、高速、広範囲、且つ容易
に行うことが可能になる。
【００５５】よって、眼底網膜疾患をより早い段階で発
見することが可能になるので、従来発見が遅れて失明に
至ったようなケースにおいても早期治癒が期待できる
上、患者の肉体的、精神的負担が大幅に軽減される。
見することが可能になるので、従来発見が遅れて失明に
至ったようなケースにおいても早期治癒が期待できる
上、患者の肉体的、精神的負担が大幅に軽減される。
【００５６】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００５７】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。
【００５８】（Ａ）物体光における光軸の奥行き方向
（Ｚ方向）の走査距離を長く設定することができる。
（Ｚ方向）の走査距離を長く設定することができる。
【００５９】（Ｂ）反射面を筐体側に固定設置できるの
で、高精度な位置合わせを容易に行えるようになる。
で、高精度な位置合わせを容易に行えるようになる。
【００６０】（Ｃ）複数枚の透明体（透明ガラス）を一
軸で回転できるので、繰り返し走査を容易に行うことが
可能となる。
軸で回転できるので、繰り返し走査を容易に行うことが
可能となる。
【００６１】（Ｄ）正方形断面を持つ直方体を用いるこ
とから１回転で４回もの繰り返し走査が行える上に、加
工が容易で精度もだし易い。また、加工部品としては最
も単純な直方体の加工であるが故に、非常に安く製作す
ることが可能である。
とから１回転で４回もの繰り返し走査が行える上に、加
工が容易で精度もだし易い。また、加工部品としては最
も単純な直方体の加工であるが故に、非常に安く製作す
ることが可能である。
【００６２】（Ｅ）偶数多面体を用いることから１回転
で偶数多面体の面数分もの走査が行える上に、一体加工
ができることから精度も出し易く、組み付けも容易であ
り、製作コストを比較的抑えることが可能となる。
で偶数多面体の面数分もの走査が行える上に、一体加工
ができることから精度も出し易く、組み付けも容易であ
り、製作コストを比較的抑えることが可能となる。
【００６３】（Ｆ）多面体対面の各位置を、対向対面に
対し鉛直且つ回転中心を通る線を避けた位置に配置した
ことから同一特性（紫方、赤方）のドップラー周波数シ
フトを長時間得ることが可能になり、多面体の外径を最
小限に抑えることが可能になる。
対し鉛直且つ回転中心を通る線を避けた位置に配置した
ことから同一特性（紫方、赤方）のドップラー周波数シ
フトを長時間得ることが可能になり、多面体の外径を最
小限に抑えることが可能になる。
【図１】本発明の実施例を示す光コヒーレンストモグラ
フィー装置の構成図である。
フィー装置の構成図である。
【図２】本発明の第１実施例を示す高速光遅延発生装置
の構成図である。
の構成図である。
【図３】本発明の第２実施例を示す高速光遅延発生装置
の構成図である。
の構成図である。
【図４】本発明の第３実施例を示す高速光遅延発生装置
の構成図である。
の構成図である。
【図５】本発明の第４実施例を示す高速光遅延発生装置
の構成図である。
の構成図である。
【図６】本発明の第５実施例を示す高速光遅延発生装置
の構成図である。
の構成図である。
【図７】従来の高速光遅延発生装置の構成図である。
１ 低コヒーレンス光源（ＳＬＤ光源） ２ ハーフミラー ５ 面走査機構 ６ ダイクロイックミラー（可視光反射、赤外光透
過） ７ 対物レンズ ８ カメラ光源用ハーフミラー ９ ＣＣＤ照明用光源 １０ モニタ用ＣＣＤ １１ 光遅延発生機構（透明ガラスの移動装置） １２，２４，３４，４３，５３，６３ 全反射ミラー
（固定ミラー） １３ 光検出器 １４ ＰＣ（パーソナルコンピュータ） １５ 表示装置 ２１ 揺動体（又は回転体） ２２ 揺動軸（又は回転軸） ２３ 透明ガラス（透光体） ２５，３５，４４，５４，６４ 光束 ３１ 回転体 ３２，４２，５２，６２ 回転軸 ３３ ２枚の透明ガラス ４１ 透明ガラスからなる正方形断面を持つ直方体 ５１，６１ 透明ガラスの偶数多面体 Ａ 被検査物
過） ７ 対物レンズ ８ カメラ光源用ハーフミラー ９ ＣＣＤ照明用光源 １０ モニタ用ＣＣＤ １１ 光遅延発生機構（透明ガラスの移動装置） １２，２４，３４，４３，５３，６３ 全反射ミラー
（固定ミラー） １３ 光検出器 １４ ＰＣ（パーソナルコンピュータ） １５ 表示装置 ２１ 揺動体（又は回転体） ２２ 揺動軸（又は回転軸） ２３ 透明ガラス（透光体） ２５，３５，４４，５４，６４ 光束 ３１ 回転体 ３２，４２，５２，６２ 回転軸 ３３ ２枚の透明ガラス ４１ 透明ガラスからなる正方形断面を持つ直方体 ５１，６１ 透明ガラスの偶数多面体 Ａ 被検査物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松村 澄男 山形県天童市北久野本１−７−43 エムテ ックスマツムラ株式会社内 (72)発明者 長谷川 倫郎 山形県天童市北久野本１−７−43 エムテ ックスマツムラ株式会社内 (72)発明者 日野 幸紀 山形県天童市北久野本１−７−43 エムテ ックスマツムラ株式会社内 (72)発明者 中川 亨 山形県天童市北久野本１−７−43 エムテ ックスマツムラ株式会社内 (72)発明者 河野 正博 山形県天童市北久野本１−７−43 エムテ ックスマツムラ株式会社内 Ｆターム(参考） 2G059 AA06 BB12 EE02 FF02 GG01 HH01 JJ07 JJ11 JJ13 JJ15 KK04
Claims (5)
- 【請求項１】 所定厚さの透光体を揺動可能に配置し、
該透光体に対する光束の通過角度を連続的に変えること
により、光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数
シフトを与えることを特徴とする光コヒーレンストモグ
ラフィーにおける透光体の動きによる高速光遅延発生方
法。 - 【請求項２】 所定厚さの透光体を回転体に放射状に配
置し、該透光体に対する光束の通過角度を連続的に変え
ることにより、光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー
周波数シフトを与えることを特徴とする光コヒーレンス
トモグラフィーにおける透光体の動きによる高速光遅延
発生方法。 - 【請求項３】 透光体の正方形断面を持つ直方体の中心
軸を回転軸として回転させた状態で、光束を一方から透
過させ、前記透光体に対する光束の通過角度を連続的に
変えることにより、光路長を連続的に伸縮させ、ドップ
ラー周波数シフトを与えることを特徴とする光コヒーレ
ンストモグラフィーにおける透光体の動きによる高速光
遅延発生方法。 - 【請求項４】 透光体の偶数多面体の中心軸を回転軸と
して回転させた状態で、光束を一方から透過させ、前記
透光体に対する光束の通過角度を連続的に変えることに
より、光路長を連続的に伸縮させ、ドップラー周波数シ
フトを与えることを特徴とする光コヒーレンストモグラ
フィーにおける透光体の動きによる高速光遅延発生方
法。 - 【請求項５】（ａ）低コヒーレンス光源と、（ｂ）該低
コヒーレンス光源からの光を被検査物への物体光と参照
光とに２分割する２分割用ハーフミラーと、（ｃ）前記
参照光を透過させる高速揺動又は高速回転する透光体を
配置する光遅延機構と、（ｄ）該光遅延機構からの参照
光を反射回帰する反射ミラーと、（ｅ）前記被検査物か
ら回帰する物体光と前記光遅延機構から回帰する参照光
とを合波する前記２分割用ハーフミラーと、（ｆ）該２
分割用ハーフミラーで合波されたヘテロダイン干渉ビー
ト信号を含む干渉光を検出する光検出器とを具備する光
コヒーレンストモグラフィーにおける透光体の動きによ
る高速光遅延発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001114895A JP2002310897A (ja) | 2001-04-13 | 2001-04-13 | 光コヒーレンストモグラフィーにおける透光体の動きによる高速光遅延発生方法及びその高速光遅延発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001114895A JP2002310897A (ja) | 2001-04-13 | 2001-04-13 | 光コヒーレンストモグラフィーにおける透光体の動きによる高速光遅延発生方法及びその高速光遅延発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002310897A true JP2002310897A (ja) | 2002-10-23 |
Family
ID=18965883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001114895A Pending JP2002310897A (ja) | 2001-04-13 | 2001-04-13 | 光コヒーレンストモグラフィーにおける透光体の動きによる高速光遅延発生方法及びその高速光遅延発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002310897A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112006003228T5 (de) | 2005-11-22 | 2008-10-02 | Shofu Inc. | Zahnmedizinischer optischer Kohärenztomograph |
| DE112006003666T5 (de) | 2006-01-19 | 2009-01-02 | Shofu Inc. | Vorrichtung zur optischen Kohärenztomographie und Messkopf |
| JP2009139117A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Naohiro Tanno | 光コヒーレンストモグラフィー装置 |
| JP2009165710A (ja) * | 2008-01-17 | 2009-07-30 | Univ Of Tsukuba | 眼底血流量の定量測定装置 |
| US7710577B2 (en) | 2004-08-09 | 2010-05-04 | University Of Tsukuba | Multiplexing spectrum interference optical coherence tomography |
| WO2013103080A1 (ja) | 2012-01-05 | 2013-07-11 | 国立大学法人筑波大学 | 波長走査型光干渉断層計及びその位相安定化方法 |
| KR20140006057A (ko) | 2011-07-12 | 2014-01-15 | 고쿠리쯔 다이가쿠 호징 츠쿠바 다이가쿠 | Ｐｓｏｃｔ의 계측 데이터를 보정하는 프로그램 및 이 프로그램을 탑재한 ｐｓｏｃｔ 시스템 |
| KR101355671B1 (ko) | 2012-09-26 | 2014-01-28 | 경북대학교 산학협력단 | 모니터 일체형 포터블 스캐닝 프로브, 및 이를 이용한 광 간섭성 단층 촬영장치 |
| US8879070B2 (en) | 2009-06-11 | 2014-11-04 | University Of Tsukuba | Two beams formed by Wollaston prism in sample arm in an optical coherence tomography apparatus |
| US9863869B2 (en) | 2014-06-06 | 2018-01-09 | University Of Tsukuba | Polarization-sensitive optical image measuring system and program installed in said system |
| US10136812B2 (en) | 2013-06-13 | 2018-11-27 | University Of Tsukuba | Optical coherence tomography apparatus for selectively visualizing and analyzing vascular network of choroidal layer, and image-processing program and image-processing method for the same |
| US10470663B2 (en) | 2013-05-24 | 2019-11-12 | University Of Tsukuba | Jones matrix OCT system and program for carrying out image processing on measured data obtained by said OCT |
-
2001
- 2001-04-13 JP JP2001114895A patent/JP2002310897A/ja active Pending
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7710577B2 (en) | 2004-08-09 | 2010-05-04 | University Of Tsukuba | Multiplexing spectrum interference optical coherence tomography |
| US7823782B2 (en) | 2005-11-22 | 2010-11-02 | Shofu Inc. | Dental optical coherence tomograph |
| DE112006003228B4 (de) | 2005-11-22 | 2019-01-17 | Shofu Inc. | Zahnmedizinischer optischer Kohärenztomograph |
| DE112006003228T5 (de) | 2005-11-22 | 2008-10-02 | Shofu Inc. | Zahnmedizinischer optischer Kohärenztomograph |
| DE112006003666T5 (de) | 2006-01-19 | 2009-01-02 | Shofu Inc. | Vorrichtung zur optischen Kohärenztomographie und Messkopf |
| US7965392B2 (en) | 2006-01-19 | 2011-06-21 | Shofu Inc. | Optical coherence tomography device and measuring head |
| JP2009139117A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Naohiro Tanno | 光コヒーレンストモグラフィー装置 |
| JP2009165710A (ja) * | 2008-01-17 | 2009-07-30 | Univ Of Tsukuba | 眼底血流量の定量測定装置 |
| US8879070B2 (en) | 2009-06-11 | 2014-11-04 | University Of Tsukuba | Two beams formed by Wollaston prism in sample arm in an optical coherence tomography apparatus |
| KR20140006057A (ko) | 2011-07-12 | 2014-01-15 | 고쿠리쯔 다이가쿠 호징 츠쿠바 다이가쿠 | Ｐｓｏｃｔ의 계측 데이터를 보정하는 프로그램 및 이 프로그램을 탑재한 ｐｓｏｃｔ 시스템 |
| US9471277B2 (en) | 2011-07-12 | 2016-10-18 | University Of Tsukuba | Program for correcting data measured by PS-OCT and PS-OCT system equipped with the program |
| US9354038B2 (en) | 2012-01-05 | 2016-05-31 | University Of Tsukuba | Swept source optical coherence tomography and method for stabilizing phase thereof |
| WO2013103080A1 (ja) | 2012-01-05 | 2013-07-11 | 国立大学法人筑波大学 | 波長走査型光干渉断層計及びその位相安定化方法 |
| WO2014051274A2 (ko) * | 2012-09-26 | 2014-04-03 | 경북대학교 산학협력단 | 모니터 일체형 포터블 스캐닝 프로브, 및 이를 이용한 광 간섭성 단층 촬영장치 |
| KR101355671B1 (ko) | 2012-09-26 | 2014-01-28 | 경북대학교 산학협력단 | 모니터 일체형 포터블 스캐닝 프로브, 및 이를 이용한 광 간섭성 단층 촬영장치 |
| WO2014051274A3 (ko) * | 2012-09-26 | 2015-04-30 | 경북대학교 산학협력단 | 모니터 일체형 포터블 스캐닝 프로브, 및 이를 이용한 광 간섭성 단층 촬영장치 |
| US10470663B2 (en) | 2013-05-24 | 2019-11-12 | University Of Tsukuba | Jones matrix OCT system and program for carrying out image processing on measured data obtained by said OCT |
| US10136812B2 (en) | 2013-06-13 | 2018-11-27 | University Of Tsukuba | Optical coherence tomography apparatus for selectively visualizing and analyzing vascular network of choroidal layer, and image-processing program and image-processing method for the same |
| US9863869B2 (en) | 2014-06-06 | 2018-01-09 | University Of Tsukuba | Polarization-sensitive optical image measuring system and program installed in said system |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A711 | Notification of change in applicant |
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| A977 | Report on retrieval |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040831 |
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| A02 | Decision of refusal |
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