JP2002144576A - Liquid jet head and liquid jet device - Google Patents

Liquid jet head and liquid jet device

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JP2002144576A
JP2002144576A JP2000350434A JP2000350434A JP2002144576A JP 2002144576 A JP2002144576 A JP 2002144576A JP 2000350434 A JP2000350434 A JP 2000350434A JP 2000350434 A JP2000350434 A JP 2000350434A JP 2002144576 A JP2002144576 A JP 2002144576A
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liquid
chamber
common
flow path
common liquid
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Toru Yamane
徹 山根
Seiichiro Karita
誠一郎 刈田
Junji Yasuda
淳司 安田
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Original Assignee
Canon Inc
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    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
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    • B41J2202/01Embodiments of or processes related to ink-jet heads
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To surely perform ejection of a liquid by a method wherein a property for removing bubbles in a common liquid chamber is improved to prevent bubbles from entering a nozzle. SOLUTION: A liquid jet head comprises an element substrate 1 having a plurality of ejection nozzles 2 and a plurality of heating elements 3, the common liquid chamber 10 for supplying a liquid to ejection nozzles 2 from the rear face side of the element substrate 1 and liquid supplying holes 13, 14 for supplying the liquid to the common liquid chamber 10. An upper ceiling face 10a of the common liquid chamber 10 is formed to be inclined with respect to a horizontal plane and a bubble passage 20 for allowing bubbles 30 to flow out is connected to the uppermost section or a portion in the vicinity of the uppermost section of the upper ceiling face 10a. When the common liquid chamber 10 is filled with the liquid, the liquid is injected with a pressure through the liquid supplying hole 13 and an air is allowed to flow out through the liquid supplying hole 14 along the inclination of the upper ceiling face 10a. During the filling of the liquid or the printing, the bubbles 30 involved in the liquid in the common liquid chamber 10 are collected into the uppermost section along the inclination of the upper ceiling face 10a to be discharged to the open air from the bubble passage 20 through a dummy ejection nozzle 21.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液体を吐出口から
吐出する液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid ejecting head for ejecting liquid from an ejection port and a liquid ejecting apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】液体噴射装置(インクジェット装置)
は、いわゆるノンインパクト記録方式の装置であり、高
速な記録と様々な記録媒体に対して記録することが可能
であり、記録時における騒音がほとんど生じないといっ
た特徴を有しており、このようなことから、プリンタ、
ワードプロセッサ、ファクシミリ、複写機等の記録機構
を担う装置として広く採用されている。
2. Description of the Related Art Liquid ejecting apparatus (ink jet apparatus)
Is a so-called non-impact recording device, capable of high-speed recording and recording on various recording media, and has the feature that almost no noise is generated during recording. From the printer,
It is widely used as a device that carries a recording mechanism such as a word processor, a facsimile, and a copying machine.

【0003】液体噴射装置は、液体噴射ヘッドに配設さ
れた微小な吐出口から微小な液滴を吐出させ、この液滴
を記録媒体に対し付着させるものであり、圧電素子や電
気熱変換素子等を用いたものが知られている。このよう
な液体噴射装置は、一般に、液滴を形成するためのノズ
ルをもつ液体噴射ヘッドとこの噴射ヘッドに対して液体
を供給する液体供給系とから構成され、例えば、電気熱
変換素子を用いた液体噴射ヘッドにおいては、電気熱変
換素子をノズル内に設け、これに吐出信号となる電気パ
ルスを与えることにより、液体に熱エネルギーを与え、
そのときの液体の相変化により生じる液体の発泡(沸
騰)時の気泡圧力を液滴の吐出に利用するものである。
A liquid ejecting apparatus ejects minute liquid droplets from a minute ejection port provided in a liquid ejecting head and attaches the liquid droplets to a recording medium. And the like are known. Such a liquid ejecting apparatus generally includes a liquid ejecting head having a nozzle for forming liquid droplets and a liquid supply system for supplying a liquid to the ejecting head. In a liquid ejecting head, a heat energy is given to a liquid by providing an electrothermal conversion element in a nozzle and applying an electric pulse serving as a discharge signal to the element.
The bubble pressure at the time of bubbling (boiling) of the liquid caused by the phase change of the liquid at that time is used for discharging the droplet.

【0004】また、上記のような電気熱変換方式を用い
た液体噴射ヘッドの場合、電気熱変換素子が配列された
素子基板に対し平行に液滴を吐出させる方式(エッジシ
ューター)と電気熱変換素子が配列された素子基板に対
して垂直に液滴を吐出させる方式(サイドシューター)
がある。以下、サイドシューターを例に挙げ、従来の液
体噴射ヘッドの具体的な構成について、図13ないし図
16を用いて説明する。
In the case of a liquid ejecting head using the above-described electrothermal conversion method, a method (edge shooter) of ejecting liquid droplets in parallel to an element substrate on which electrothermal conversion elements are arranged and an electrothermal conversion method A method of ejecting liquid droplets vertically to the element substrate on which the elements are arranged (side shooter)
There is. Hereinafter, a specific configuration of a conventional liquid ejecting head will be described with reference to FIGS. 13 to 16 taking a side shooter as an example.

【0005】図13は従来のサイドシューターの液体噴
射ヘッドを液吐出面の上方から見た模式的斜視図であ
り、図14は同液体噴射ヘッドの液吐出面の平面図であ
り、図15の(a)は図13における吐出口配列方向の
X−X線に沿った断面図であり、同図(b)は図13に
おける吐出口配列方向に直交する方向のY−Y線に沿っ
た断面図であり、図16は従来の他のサイドシューター
の液体噴射ヘッドを示す図であり、同図(a)は吐出口
配列方向(X−X線)に沿った断面図であり、同図
(b)は吐出口配列方向に直交する方向(Y−Y線)に
沿った断面図である。
FIG. 13 is a schematic perspective view of a conventional liquid ejecting head of a side shooter as viewed from above a liquid ejecting surface. FIG. 14 is a plan view of the liquid ejecting surface of the liquid ejecting head. 13A is a cross-sectional view along the line XX in the discharge port arrangement direction in FIG. 13, and FIG. 13B is a cross-sectional view along the YY line in the direction orthogonal to the discharge port arrangement direction in FIG. FIG. 16 is a view showing a liquid ejecting head of another conventional side shooter, and FIG. 16A is a cross-sectional view taken along a discharge port arrangement direction (XX line). (b) is a cross-sectional view along a direction (Y-Y line) orthogonal to the discharge port arrangement direction.

【0006】図13ないし図15において、素子基板1
01の中央付近の表面側には液体を吐出するための吐出
口102が複数開口され、各々の吐出口102に対応し
て液体を発泡させるための発熱素子(電気熱変換素子ま
たは加熱ヒーター)(不図示)が素子基板101上に形
成されている。
In FIGS. 13 to 15, the element substrate 1
A plurality of discharge ports 102 for discharging the liquid are formed on the surface side near the center of 01, and a heating element (an electrothermal conversion element or a heater) for foaming the liquid corresponding to each of the discharge ports 102 ( (Not shown) is formed on the element substrate 101.

【0007】素子基板101上の発熱素子からの電気配
線は、各々、発熱素子を駆動するためのトランジスタ回
路に接続されている。このトランジスタ回路は、素子基
板の上に作り込む方法と、別体に作り込んだ素子を素子
基板に実装する方法とが知られている。通常、発熱素子
の個数が比較的少ない素子基板においては、素子基板上
にトランジスタ回路を作り込む方法が一般的であるが、
印字幅を広げる目的で、比較的多数個の発熱素子を配設
した素子基板においては、トランジスタ回路を素子基板
上に作り込む構成では素子基板の歩留まりの大幅な低下
を招くため、トランジスタ回路を別体に作り込んだ素子
を素子基板に実装する方法が、歩留まり上有利である。
そこで、図13ないし図15には、トランジスタ回路を
別体の駆動素子(ドライバーIC)105に作り込んだ
ものを実装した従来例を示している。
[0007] Electric wires from the heating elements on the element substrate 101 are each connected to a transistor circuit for driving the heating elements. For this transistor circuit, there are known a method of forming it on an element substrate and a method of mounting a separately formed element on the element substrate. Usually, in an element substrate having a relatively small number of heating elements, a method of forming a transistor circuit on the element substrate is generally used.
In the case of an element substrate on which a relatively large number of heating elements are provided for the purpose of increasing the printing width, a configuration in which the transistor circuit is formed on the element substrate causes a significant decrease in the yield of the element substrate. A method of mounting the element built in the body on the element substrate is advantageous in yield.
FIGS. 13 to 15 show a conventional example in which a transistor circuit in which a transistor circuit is built in a separate driving element (driver IC) 105 is mounted.

【0008】図13ないし図15において、発熱素子を
駆動するためのトランジスタ回路を搭載する駆動素子1
05は、異方性導電フィルムや半田バンプ等によるCO
B(chip on board )接続方法により、素子基板10
1に実装され、発熱素子からの電気配線に電気的に接続
される。また、駆動素子105には、トランジスタ回路
の他にトランジスタを駆動するためのロジック回路が搭
載されており、そのロジック回路は、素子基板101を
介してフレキシブルフィルム(フレキシブル配線基板)
106に接続され、ロジック回路を駆動する信号はフレ
キシブルフィルム106を介して与えられる。フレキシ
ブルフィルム106は、異方性導電フィルム等によるC
OB接続方法により、素子基板101とガラスエポキシ
等の複合材料からなる回路基板107に接続され、回路
基板107には外部からの電気信号を入力するための電
気コネクタ108が搭載されている。また、フレキシブ
ルフィルム106は素子基板101の端部から支持部材
112の側面に沿って略直角に折り曲げられ、回路基板
107は支持部材112の側面に固定される。
In FIG. 13 to FIG. 15, a driving element 1 on which a transistor circuit for driving a heating element is mounted is shown.
05 is CO by anisotropic conductive film or solder bump
B (chip on board) connection method, the element substrate 10
1 and electrically connected to electric wiring from the heating element. In addition, a logic circuit for driving a transistor is mounted on the driving element 105 in addition to the transistor circuit, and the logic circuit is connected to a flexible film (flexible wiring board) via the element substrate 101.
A signal which is connected to the logic circuit 106 and drives the logic circuit is provided through the flexible film 106. The flexible film 106 is made of C such as an anisotropic conductive film.
The OB connection method connects the element substrate 101 to a circuit board 107 made of a composite material such as glass epoxy, and the circuit board 107 has an electric connector 108 for inputting an external electric signal. Further, the flexible film 106 is bent at a substantially right angle from the end of the element substrate 101 along the side surface of the support member 112, and the circuit board 107 is fixed to the side surface of the support member 112.

【0009】駆動素子105およびフレキシブルフィル
ム106の電気的接続部は、電極部が露出すると、吐出
口102から飛散した液滴や記録媒体上から跳ね返った
液滴が電極に付着して電極やその下地金属を腐食するた
め、エポキシ系、フッ素、シリコン系樹脂等の封止性お
よびイオン遮断性に優れた封止剤(不図示)により被覆
され封止されている。
The electrical connection between the drive element 105 and the flexible film 106 is such that when the electrode portion is exposed, droplets scattered from the discharge port 102 or droplets rebounding from the recording medium adhere to the electrode, and In order to corrode the metal, it is covered and sealed with a sealing agent (not shown) having an excellent sealing property and ion blocking property such as an epoxy-based, fluorine-based, or silicon-based resin.

【0010】素子基板101の背面側には、図15の
(a)および(b)に示すように、素子基板の保持部材
111および支持部材112によって形成される共通液
室110が吐出口列の長さと略等しい長さで開口されて
おり、素子基板101には背面側から液体を表面側に供
給するためのスリット104が設けられている。
On the back side of the element substrate 101, as shown in FIGS. 15A and 15B, a common liquid chamber 110 formed by a holding member 111 and a supporting member 112 of the element substrate is provided in a discharge port array. The element substrate 101 is provided with a slit 104 for supplying the liquid from the back side to the front side.

【0011】共通液室110は、液体を保持してスリッ
ト104を介して吐出口102に液体を供給するための
ものであり、さらに、液供給口113に連通して、液体
噴射ヘッドの外部から液体の供給を受ける構成になって
いる。液供給口113は、液体噴射ヘッドの吐出口列の
長さ(印字幅)が短い場合には1つでもよいが、吐出口
列の長さ(印字幅)が長いもの、特に記録媒体の幅一杯
に印字幅があるフルラインタイプの液体噴射ヘッドの場
合は、単位時間当たりの液体の使用量が大きいため、図
15の(a)に示すように、複数個の液供給口113、
113を設けるのが普通である。
The common liquid chamber 110 holds the liquid and supplies the liquid to the discharge port 102 through the slit 104. The common liquid chamber 110 communicates with the liquid supply port 113 to allow the liquid to be supplied from outside the liquid jet head. It is configured to receive liquid supply. The number of the liquid supply ports 113 may be one when the length (printing width) of the ejection port row of the liquid ejecting head is short, but the length of the ejection port row (printing width) is long, especially the width of the recording medium. In the case of a full-line type liquid ejecting head having a full printing width, a large amount of liquid is used per unit time, and therefore, as shown in FIG.
Usually, 113 is provided.

【0012】以上のように構成される液体噴射ヘッドを
不図示の液体噴射装置に組み込み、共通液室110に液
体を充填する際には、左右の液供給口113、113か
ら液体を加圧流入させる方式と、片方の液供給口113
から液体を加圧流入させて液体を共通液室110内に循
環させ、同時に他方の液供給口113から空気や気泡1
30を抜く方法とがある。そして、いずれの場合におい
ても、液体噴射ヘッドによる通常の液体吐出時には、左
右の液供給口113から液体を供給する方法が従来から
知られている。
When the liquid ejecting head constructed as described above is incorporated in a liquid ejecting apparatus (not shown) and the common liquid chamber 110 is filled with the liquid, the liquid is supplied under pressure from the left and right liquid supply ports 113 and 113. And the one liquid supply port 113
From the liquid supply port 113, and at the same time, air or bubbles 1 from the other liquid supply port 113.
There is a method of removing 30. In any case, a method of supplying liquid from the left and right liquid supply ports 113 at the time of normal liquid ejection by the liquid ejecting head is conventionally known.

【0013】また、共通液室110への液体の供給に際
して、液体中に含まれる塵埃等を除去するために液体を
濾過して共通液室へ供給するように、液体供給流路にフ
ィルタボックスを介在させる方式も知られている。この
方式を適用した液体噴射ヘッドにおいては、図16の
(a)および(b)に図示するように、フィルタボック
ス150は、外部の液体供給タンク(不図示)からの液
体供給流路に接続されたチューブジョイント154から
受けた液体を濾過し、液体チューブ155を通じて共通
液室110に供給するように構成されている。
In supplying the liquid to the common liquid chamber 110, a filter box is provided in the liquid supply passage so that the liquid is filtered and supplied to the common liquid chamber in order to remove dust and the like contained in the liquid. A method of intervening is also known. In a liquid jet head to which this method is applied, as shown in FIGS. 16A and 16B, the filter box 150 is connected to a liquid supply flow path from an external liquid supply tank (not shown). The liquid received from the tube joint 154 is filtered and supplied to the common liquid chamber 110 through the liquid tube 155.

【0014】フィルタボックス150の内部は、図16
の(a)に図示するように、フィルタ部材151によっ
て、2つのチャンバ152、153に区分されており、
下方に位置するチャンバ152がチューブジョイント1
54に接続する上流側チャンバであり、上方に位置する
チャンバ153が液チューブ155を通じて共通液室1
10に接続された下流側チャンバであって、下流側チャ
ンバ153より下流には、外部から流入された液体に混
入していた塵埃が流入することがない構成となってい
る。
The inside of the filter box 150 is shown in FIG.
(A), the filter member 151 separates the chamber into two chambers 152 and 153.
The lower chamber 152 is the tube joint 1
The upper chamber 153 is connected to the common liquid chamber 1 through a liquid tube 155.
In the downstream chamber connected to 10 and downstream of the downstream chamber 153, dust mixed with the liquid flowing from the outside does not flow.

【0015】以上のように構成される液体供給流路にフ
ィルタボックスを適用した液体噴射ヘッドを不図示の液
体噴射装置に組み込み、共通液室110に液体を充填す
る際は、外部から液体加圧機構で液体を加圧して加圧充
填し、記録噴射ヘッド内の流路系統の気泡を押し出す構
成が従来から知られている。
A liquid ejecting head in which a filter box is applied to the liquid supply flow path configured as described above is incorporated in a liquid ejecting apparatus (not shown), and when the common liquid chamber 110 is filled with liquid, a liquid pressure is applied from the outside. 2. Description of the Related Art There is conventionally known a configuration in which a liquid is pressurized and filled by a mechanism, and bubbles in a flow path system in a recording jet head are pushed out.

【0016】また、液体は、素子基板101上の発熱素
子での液体の発泡安定性を向上させる目的と、上記の液
体充填時の残留気泡を消滅させる目的との2つの目的を
同時に達成する方法として、溶存ガスを脱気した液体を
用いることが従来から知られている。
The method for simultaneously achieving the two purposes of improving the foaming stability of the liquid in the heating element on the element substrate 101 and eliminating the above-mentioned residual bubbles at the time of filling the liquid. It has been conventionally known to use a liquid obtained by degassing a dissolved gas.

【0017】[0017]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たような従来の液体噴射ヘッドにおける液体の充填方法
や供給方法においては、以下のような2つの問題点があ
った。
However, the above-mentioned conventional methods of filling and supplying liquid in the liquid ejecting head have the following two problems.

【0018】第1の問題点は、液体噴射ヘッドを製作
し、初期の液体を流入充填させた際に、共通液室110
に気泡130(図15の(a)参照)が混入し、気泡1
30がその後の液体吐出時に、スリット104を通り、
不図示のノズル内に流入して、印字不良の原因となると
いう問題である。すなわち、気泡がノズル内に流入する
と、液体吐出のエネルギー源である発熱素子での発泡圧
が気泡に吸収され、吐出液滴の量や液滴の飛翔速度のバ
ラツキを生じていた。また、滞留した気泡がノズル内に
流入すると、ノズルに流入した気泡の大きさによって、
吐出液滴の量のバラツキを引き起こしたり、液滴の飛翔
速度の低下を招き、媒体への着弾精度の不良が発生し、
さらには、不吐出といったトラブルが発生し、結果的に
は印字画像の劣化や印字品位の劣化につながっていた。
The first problem is that when the liquid jet head is manufactured and the initial liquid is flowed and filled, the common liquid chamber 110 is formed.
Air bubbles 130 (see FIG. 15A) are mixed in
30 passes through the slit 104 when the liquid is subsequently discharged,
There is a problem that the ink flows into a nozzle (not shown) and causes printing failure. That is, when air bubbles flow into the nozzle, the foaming pressure in the heating element, which is the energy source for liquid ejection, is absorbed by the air bubbles, causing variations in the amount of ejected droplets and the flying speed of the droplets. Also, when the staying bubbles flow into the nozzle, depending on the size of the bubbles flowing into the nozzle,
This causes variations in the amount of ejected droplets, lowers the flying speed of the droplets, and causes poor landing accuracy on the medium.
Further, troubles such as non-ejection occurred, resulting in deterioration of a printed image and printing quality.

【0019】また、第2の問題点は、予め液体中に溶解
していた気体が液体噴射ヘッドの使用中に気化して、気
泡130となり、これが共通液室110に滞留するとい
う問題である。この場合においても、第1の問題点と同
様に、気泡130がスリット104を通りノズル内に流
入して、印字不良の原因となっていた。
The second problem is that the gas previously dissolved in the liquid is vaporized during use of the liquid ejecting head, and becomes a bubble 130 which stays in the common liquid chamber 110. Also in this case, similarly to the first problem, the air bubbles 130 flow into the nozzles through the slits 104, causing printing failure.

【0020】また、液体供給流路にフィルタボックスを
介在させる方式においては、フィルタボックス内の気泡
を効率よく確実に追い出すことができないため、前記し
たような共通液室110やノズル内への気泡の流入によ
る印字不良や印字品位の劣化が生じるという問題点があ
るとともに、さらに、以下のような問題点があった。
Further, in the system in which the filter box is interposed in the liquid supply flow path, the bubbles in the filter box cannot be efficiently and reliably expelled. In addition to the problem of poor printing and deterioration of print quality due to the inflow, there are also the following problems.

【0021】その一つの問題点は、フィルタボックス1
50内の上流側チャンバ152での気泡130の滞留に
よってフィルタ部材151の実効面積が減少することで
ある。図16の(a)に示すように、上流側チャンバ1
52のフィルタ部材151の面に大きな気泡130が滞
留した場合に、実質的に液体が通過できるフィルタ部材
151の面積が減少する。その結果として、液体吐出時
(印字時)に単位時間当たりに大量の液体を消費する際
に、共通液室110への液体供給量が不足し、液滴吐出
量が減少して、印字画像の劣化につながったり、あるい
は、液滴が正常に吐出せず、不良印字につながってしま
うという問題である。
One problem is that the filter box 1
The stagnation of the air bubbles 130 in the upstream chamber 152 in 50 reduces the effective area of the filter member 151. As shown in FIG. 16A, the upstream chamber 1
When the large air bubbles 130 stay on the surface of the filter member 151 of 52, the area of the filter member 151 through which liquid can substantially pass is reduced. As a result, when a large amount of liquid is consumed per unit time at the time of discharging liquid (at the time of printing), the amount of liquid supplied to the common liquid chamber 110 is insufficient, and the amount of discharged liquid droplets is reduced. This is a problem that leads to deterioration, or that droplets are not ejected normally, leading to defective printing.

【0022】他の問題点は、下流側チャンバ153や共
通液室110での気泡の滞留によって液体の脱気度が減
少することである。前述のように、脱気液体を使用する
目的の一つとして、発熱素子での発泡安定性がある。し
かし、大量の気泡130が下流側チャンバ153や共通
液室110で滞留し、これが脱気液体中に溶け込むこと
により、脱気度が低下し、液体吐出のための発熱素子で
の発泡が安定せず、印字画像の劣化につながってしまう
という問題点があった。
Another problem is that the degree of degassing of the liquid decreases due to the retention of bubbles in the downstream chamber 153 and the common liquid chamber 110. As described above, one of the purposes of using the degassed liquid is foaming stability in the heating element. However, a large amount of air bubbles 130 stay in the downstream chamber 153 and the common liquid chamber 110 and dissolve into the degassed liquid, thereby reducing the degree of degassing and stabilizing foaming in the heating element for discharging liquid. However, there is a problem that a printed image is deteriorated.

【0023】そこで、本発明は、前述した従来技術の有
する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、共通
液室内の気泡の除去性の向上を図り、気泡がノズル内へ
流入することをなくし、液体の吐出を適確に行うことを
可能にする液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供す
ることを目的とするものである。
In view of the foregoing, the present invention has been made in view of the above-mentioned unsolved problems of the prior art, and aims at improving the removability of air bubbles in a common liquid chamber and preventing air bubbles from flowing into a nozzle. It is an object of the present invention to provide a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus which can perform liquid ejection accurately without the need for a liquid ejecting head.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射ヘッドは、液体を吐出するための
吐出口と液体に運動エネルギーを印加するための吐出エ
ネルギー発生素子が複数個設けられた素子基板と、前記
複数の吐出エネルギー発生素子に液体を供給するための
共通液室と、該共通液室に液体を供給するための液供給
口とを有する液体噴射ヘッドにおいて、前記共通液室の
上方天井面を水平面に対して傾きをもって形成し、該上
方天井面の最上部あるいはその近傍部位に気泡を流出さ
せる気泡流出口を設けることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a liquid jet head according to the present invention is provided with a discharge port for discharging liquid and a plurality of discharge energy generating elements for applying kinetic energy to the liquid. A liquid jet head having an element substrate, a common liquid chamber for supplying liquid to the plurality of ejection energy generating elements, and a liquid supply port for supplying liquid to the common liquid chamber. An upper ceiling surface of the chamber is formed to be inclined with respect to a horizontal plane, and a bubble outlet for allowing bubbles to flow out is provided at an uppermost portion of the upper ceiling surface or a portion in the vicinity thereof.

【0025】本発明の液体噴射ヘッドにおいては、前記
共通液室に液体を供給するための液供給口が複数設けら
れ、該複数の液供給口のうち、前記共通液室の上方天井
面の最上部あるいはその近傍部位に設けられた少なくと
も一つの液供給口を、気泡を流出させる気泡流出口に兼
用することが好ましい。
In the liquid ejecting head according to the present invention, a plurality of liquid supply ports for supplying liquid to the common liquid chamber are provided, and among the plurality of liquid supply ports, an uppermost portion of an upper ceiling surface of the common liquid chamber is provided. It is preferable that at least one liquid supply port provided at the upper portion or in the vicinity thereof also serves as a bubble outlet for allowing bubbles to flow out.

【0026】本発明の液体噴射ヘッドにおいて、前記気
泡流出口は、前記吐出口と同一面あるいは略同一の面に
おいて大気に開放されていることが好ましい。
In the liquid jet head according to the present invention, it is preferable that the bubble outlet is open to the atmosphere on the same surface or substantially the same surface as the discharge port.

【0027】また、本発明の液体噴射ヘッドは、液体を
吐出するための吐出口と液体に運動エネルギーを印加す
るための吐出エネルギー発生素子が複数個設けられた素
子基板と、前記複数の吐出エネルギー発生素子に液体を
供給するための共通液室と、該共通液室に供給される液
体に含まれる塵埃を除去するフィルタ部材を備えたフィ
ルタボックスとを有する液体噴射ヘッドにおいて、前記
フィルタボックスを、前記フィルタ部材によって、外部
の液体供給タンクに連通する流路を有する上流側チャン
バと前記共通液室に連通する流路を有する下流側チャン
バの2つのチャンバに区分し、前記下流側チャンバの上
方天井面を水平面に対して傾きをもって形成し、該上方
天井面の最上部あるいはその近傍部位に、前記共通液室
に連通する流路とは別の気泡流路を接続することを特徴
とする。
The liquid ejecting head according to the present invention includes an element substrate provided with a plurality of ejection ports for ejecting liquid and ejection energy generating elements for applying kinetic energy to the liquid; In a liquid ejecting head having a common liquid chamber for supplying liquid to the generating element and a filter box including a filter member for removing dust contained in the liquid supplied to the common liquid chamber, the filter box includes: The filter member is divided into two chambers, an upstream chamber having a flow path communicating with an external liquid supply tank and a downstream chamber having a flow path communicating with the common liquid chamber, and an upper ceiling of the downstream chamber. A surface formed at an inclination relative to a horizontal plane, and a channel communicating with the common liquid chamber at an uppermost portion of the upper ceiling surface or a portion in the vicinity thereof. Wherein the connecting another bubble flow path.

【0028】本発明の液体噴射ヘッドは、液体を吐出す
るための吐出口と液体に運動エネルギーを印加するため
の吐出エネルギー発生素子が複数個設けられた素子基板
と、前記複数の吐出エネルギー発生素子に液体を供給す
るための共通液室と、該共通液室に供給される液体に含
まれる塵埃を除去するフィルタ部材を備えたフィルタボ
ックスとを有する液体噴射ヘッドにおいて、前記フィル
タボックスを、前記フィルタ部材によって、外部の液体
供給タンクに連通する流路を有する上流側チャンバと前
記共通液室に連通する流路を有する下流側チャンバの2
つのチャンバに区分し、前記上流側チャンバの上方天井
面を水平面に対して傾きをもって形成し、該上方天井面
の最上部あるいはその近傍部位に、前記液体供給タンク
に連通する流路とは別の気泡流路を接続することを特徴
とする。
The liquid ejecting head according to the present invention includes an element substrate provided with a plurality of ejection ports for ejecting a liquid and ejection energy generating elements for applying kinetic energy to the liquid, and the plurality of ejection energy generating elements. A liquid jet head having a common liquid chamber for supplying a liquid to the liquid chamber, and a filter box including a filter member for removing dust contained in the liquid supplied to the common liquid chamber. The member includes an upstream chamber having a flow path communicating with an external liquid supply tank and a downstream chamber having a flow path communicating with the common liquid chamber.
Divided into two chambers, the upper ceiling surface of the upstream chamber is formed to be inclined with respect to a horizontal plane, and the uppermost portion of the upper ceiling surface or a portion in the vicinity thereof is different from the flow path communicating with the liquid supply tank. It is characterized in that a bubble flow path is connected.

【0029】本発明の液体噴射ヘッドは、液体を吐出す
るための吐出口と液体に運動エネルギーを印加するため
の吐出エネルギー発生素子が複数個設けられた素子基板
と、前記複数の吐出エネルギー発生素子に液体を供給す
るための共通液室と、該共通液室に供給される液体に含
まれる塵埃を除去するフィルタ部材を備えたフィルタボ
ックスとを有する液体噴射ヘッドにおいて、前記フィル
タボックスを、前記フィルタ部材によって、外部の液体
供給タンクに連通する流路を有する上流側チャンバと前
記共通液室に連通する流路を有する下流側チャンバの2
つのチャンバに区分し、前記両チャンバの上方天井面を
それぞれ水平面に対して傾きをもって形成し、前記上流
側チャンバの上方天井面の最上部あるいはその近傍部位
に前記液体供給タンクに連通する流路とは別の気泡流路
を接続するとともに、前記下流側チャンバの上方天井面
の最上部あるいはその近傍部位に前記共通液室に連通す
る流路とは別の気泡流路を接続することを特徴とする。
The liquid ejecting head according to the present invention comprises an element substrate provided with a plurality of ejection ports for ejecting liquid and ejection energy generating elements for applying kinetic energy to the liquid, and the plurality of ejection energy generating elements. A liquid jet head having a common liquid chamber for supplying a liquid to the liquid chamber, and a filter box including a filter member for removing dust contained in the liquid supplied to the common liquid chamber. The member includes an upstream chamber having a flow path communicating with an external liquid supply tank and a downstream chamber having a flow path communicating with the common liquid chamber.
A flow path communicating with the liquid supply tank at an uppermost portion of the upper ceiling surface of the upstream chamber or a portion near the uppermost surface, wherein the upper ceiling surface of each of the two chambers is formed so as to be inclined with respect to a horizontal plane. Connecting another bubble flow path, and connecting a bubble flow path different from the flow path communicating with the common liquid chamber to the uppermost portion of the upper ceiling surface of the downstream chamber or a portion in the vicinity thereof. I do.

【0030】本発明の液体噴射ヘッドにおいては、前記
共通液室を前記下流側チャンバとして兼用することがで
きる。
In the liquid jet head according to the present invention, the common liquid chamber can be used also as the downstream chamber.

【0031】本発明の液体噴射ヘッドにおいては、前記
気泡流路は、前記吐出口と同一面あるいは略同一の面に
おいて大気に開放されていることが好ましく、また、前
記気泡流路の大気に開放する部分が、前記吐出口と同一
の工程で形成されるダミー吐出口であることが好まし
い。
In the liquid jet head according to the present invention, it is preferable that the bubble flow path is open to the atmosphere on the same surface or substantially the same surface as the discharge port. It is preferable that the portion to be formed is a dummy ejection port formed in the same step as the ejection port.

【0032】本発明の液体噴射ヘッドにおいては、前記
気泡流路は、前記フィルタボックスと前記大気開放部と
の間に流抵抗調節部材を有することが好ましい。
[0032] In the liquid jet head according to the present invention, it is preferable that the bubble flow path has a flow resistance adjusting member between the filter box and the atmosphere opening part.

【0033】本発明の液体噴射ヘッドにおいて、前記吐
出エネルギー発生素子は、電気エネルギーを熱エネルギ
ーに変換し、液体の発泡現象を伴って液体を吐出する発
熱素子であることが好ましい。
In the liquid ejecting head according to the present invention, it is preferable that the discharge energy generating element is a heating element that converts electric energy into heat energy and discharges the liquid with a bubbling phenomenon of the liquid.

【0034】さらに、本発明の液体噴射装置は、前述し
た液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドに複数個設けら
れた液供給口のうちの少なくとも一つの液供給口から共
通液室へ液体を加圧流入させる液体加圧機構とを有し、
該液体加圧機構により液体を前記共通液室に加圧充填す
ることを特徴とする。
Further, according to the liquid ejecting apparatus of the present invention, the liquid ejecting head described above and the liquid ejecting head from at least one of the plural liquid supplying ports provided in the liquid ejecting head are supplied to the common liquid chamber. And a liquid pressurizing mechanism for allowing pressure to flow in,
A liquid is pressurized and filled in the common liquid chamber by the liquid pressurizing mechanism.

【0035】本発明の液体噴射装置は、前述した液体噴
射ヘッドと、該液体噴射ヘッドに複数個設けられた液供
給口のうちの少なくとも一つの液供給口から共通液室へ
液体を加圧流入させる液体加圧機構と、前記液供給口の
うちの少なくとも一つの液供給口を介して前記共通液室
から液体を流出させる液体流出機構を有し、液体を循環
させながら液体を前記共通液室に充填することを特徴と
する。
According to the liquid ejecting apparatus of the present invention, the liquid is ejected from the above-described liquid ejecting head and at least one of a plurality of liquid supply ports provided in the liquid ejecting head into the common liquid chamber under pressure. A liquid pressurizing mechanism that causes the liquid to flow out of the common liquid chamber through at least one of the liquid supply ports, and circulates the liquid to the common liquid chamber. Is filled.

【0036】本発明の液体噴射装置は、前述した液体噴
射ヘッドと、該液体噴射ヘッドに供給する液体を加圧流
入させる液体加圧機構を有し、該液体加圧機構により液
体を前記共通液室に加圧充填することを特徴とする。
A liquid ejecting apparatus according to the present invention includes the above-described liquid ejecting head and a liquid pressurizing mechanism for pressurizing and inflowing the liquid supplied to the liquid ejecting head. It is characterized in that the chamber is filled under pressure.

【0037】本発明の液体噴射装置において、前記吐出
エネルギー発生素子は、電気エネルギーを熱エネルギー
に変換し、液体の発泡現象を伴って液体を吐出する発熱
素子であることが好ましい。
In the liquid ejecting apparatus according to the present invention, it is preferable that the discharge energy generating element is a heating element that converts electric energy into heat energy and discharges the liquid with a bubbling phenomenon of the liquid.

【0038】本発明の液体噴射装置においては、前記液
体が予め溶存ガスを脱気した脱気液体であることが好ま
しい。
In the liquid ejecting apparatus according to the present invention, it is preferable that the liquid is a degassed liquid obtained by previously degassing a dissolved gas.

【0039】[0039]

【作用】本発明によれば、共通液室の上方天井面を水平
面に対して傾きをもって形成し、上方天井面の最も高い
位置あるいはその近傍部位に気泡の抜ける流路を設ける
ことにより、共通液室内の気泡を効率よく除去すること
を可能にする。その結果、共通液室内の気泡の除去性を
向上させ、さらに、ノズル内への気泡の混入を防止する
ことができ、印字品位が高く、信頼性の高い液体噴射ヘ
ッドおよび液体噴射装置を提供することができる。
According to the present invention, the common liquid chamber is formed such that the upper ceiling surface is inclined with respect to the horizontal plane, and a flow path through which air bubbles escape is provided at the highest position of the upper ceiling surface or in the vicinity thereof. It is possible to efficiently remove air bubbles in a room. As a result, it is possible to improve the removability of air bubbles in the common liquid chamber and further prevent the air bubbles from being mixed into the nozzles, and to provide a liquid jet head and a liquid jet apparatus with high print quality and high reliability. be able to.

【0040】さらに、共通液室に液体を供給する流路に
配設するフィルタボックス内の上流側チャンバや下流側
チャンバの上方天井面を水平面に対して傾きをもって形
成し、その最上部あるいはその近傍部位に気泡を抜くた
めの流路を設けることにより、フィルタボックス内の気
泡を効率良く除去することができ、液体の脱気度の低下
や、ノズルへの気泡の流入、さらにフィルタ部材の気泡
閉塞による印字不良を防ぐことができ、ひいては、安価
で高い印字品位を安定して得ることができる液体噴射ヘ
ッドおよび液体噴射装置を提供することができる。
Further, the upper ceiling surface of the upstream chamber or the downstream chamber in the filter box provided in the flow path for supplying the liquid to the common liquid chamber is formed so as to be inclined with respect to the horizontal plane, and its uppermost portion or its vicinity. By providing a flow path for removing air bubbles in the part, the air bubbles in the filter box can be efficiently removed, the degree of deaeration of the liquid decreases, the air bubbles flow into the nozzle, and the air bubbles in the filter member are blocked. Thus, it is possible to provide a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus capable of stably obtaining inexpensive and high print quality.

【0041】[0041]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0042】(実施例1)本発明の液体噴射ヘッドの第
1の実施例について、図1ないし図4を用いて説明す
る。
(Embodiment 1) A first embodiment of a liquid jet head according to the present invention will be described with reference to FIGS.

【0043】図1は、本発明の液体噴射ヘッドの第1の
実施例を液吐出面の上方から見た模式的斜視図であり、
図2は、本実施例の液体噴射ヘッドの液吐出面の平面図
であり、図3の(a)は、本実施例の液体噴射ヘッドを
吐出口配列方向に直交する方向のY−Y線に沿って破断
して示す断面図であり、図3の(b)は、液体吐出部の
部分的な拡大断面図であり、図4は、本実施例の液体噴
射ヘッドを吐出口配列方向のX−X線に沿って破断して
示す断面図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view of a first embodiment of a liquid jet head according to the present invention as viewed from above a liquid discharge surface.
FIG. 2 is a plan view of the liquid ejection surface of the liquid ejecting head according to the present embodiment. FIG. 3A illustrates the liquid ejecting head according to the present embodiment taken along a line YY in a direction orthogonal to the ejection port arrangement direction. 3 (b) is a partially enlarged sectional view of the liquid ejection unit, and FIG. 4 is a sectional view of the liquid ejection head of the present embodiment in the ejection port arrangement direction. It is sectional drawing broken and shown along XX.

【0044】本実施例の液体噴射ヘッドを図示する図1
および図2において、素子基板1の中央付近の表面側に
液体を吐出するための吐出口2が複数開口しており、こ
れらの各吐出口2から吐出される液体の液滴によって記
録を行うものである。素子基板1上には、各々の吐出口
2に対応して吐出エネルギー発生素子としての発熱素子
(電気熱変換素子または加熱ヒーター)3(図2の
(b)参照)が形成されており、発熱素子3は通電加熱
して液体を発泡させ、その運動エネルギーで液体を吐出
口2から吐出させる。
FIG. 1 illustrating the liquid jet head of the present embodiment.
In FIG. 2 and FIG. 2, a plurality of ejection ports 2 for ejecting liquid are formed on the surface near the center of the element substrate 1, and recording is performed using liquid droplets ejected from each of these ejection ports 2. It is. On the element substrate 1, a heating element (electrothermal conversion element or heating heater) 3 (see FIG. 2B) is formed as an ejection energy generating element corresponding to each of the ejection ports 2. The element 3 is energized and heated to foam the liquid, and the liquid is discharged from the discharge port 2 by the kinetic energy.

【0045】発熱素子3には、外部からの電力を供給す
るための一対の配線(不図示)がそれぞれ接続され、こ
れらの配線は、各々、素子基板1上に実装された発熱素
子3を駆動するためのトランジスタ回路を搭載した駆動
素子(ドライバーIC)5に電気的に接続され、駆動素
子5は、異方性導電フィルムを介してCOB(chipon
board )接続方法により、素子基板1に実装されてい
る。また、駆動素子5には、トランジスタ回路の他にト
ランジスタを駆動するためのロジック回路が搭載されて
おり、そのロジック回路は、素子基板1を介してフレキ
シブルフィルム(フレキシブル配線基板)6に接続さ
れ、ロジック回路を駆動する信号はフレキシブルフィル
ム6を介して与えられる。フレキシブルフィルム6は、
異方性導電フィルム等によるCOB接続方法により、素
子基板1とガラスエポキシ等の複合材料からなる回路基
板(プリント基板)7にそれぞれ接続され、回路基板7
には外部からの電気信号を入力するための電気コネクタ
8が搭載されている。フレキシブルフィルム6は素子基
板1の端部から支持部材12に沿って略直角に曲げら
れ、回路基板7は支持部材12の側面に固定されてい
る。また、図1ないし図4において、15は平坦な面を
形成するための前面プレートであって、素子基板1の保
持部材11にスペーサ16を介して取り付けられ、ま
た、フレキシブルフィルム6を配置する部分ではスペー
サ16上にフレキシブルフィルム6を配置してこのフレ
キシブルフィルム6上に取り付けられており、この前面
プレート15は、液体噴射ヘッドの待機時に液体の揮発
成分の蒸発を防止するために吐出口2の領域を密閉する
キャップ(不図示)を受ける部位を形成する。
The heating element 3 is connected to a pair of wires (not shown) for supplying electric power from the outside, and these wires respectively drive the heating element 3 mounted on the element substrate 1. (Driver IC) 5 mounted with a transistor circuit for performing the driving, and the driving element 5 is connected to a COB (chipon) through an anisotropic conductive film.
board) It is mounted on the element substrate 1 by a connection method. In addition, a logic circuit for driving a transistor is mounted on the driving element 5 in addition to the transistor circuit, and the logic circuit is connected to a flexible film (flexible wiring board) 6 via the element substrate 1, A signal for driving the logic circuit is provided through the flexible film 6. The flexible film 6
The element substrate 1 and a circuit board (printed board) 7 made of a composite material such as glass epoxy are connected to each other by a COB connection method using an anisotropic conductive film or the like.
Is mounted with an electrical connector 8 for inputting an electrical signal from the outside. The flexible film 6 is bent at a substantially right angle from the end of the element substrate 1 along the support member 12, and the circuit board 7 is fixed to a side surface of the support member 12. 1 to 4, reference numeral 15 denotes a front plate for forming a flat surface, which is attached to the holding member 11 of the element substrate 1 via a spacer 16 and on which the flexible film 6 is arranged. In this example, the flexible film 6 is disposed on the spacer 16 and is mounted on the flexible film 6, and the front plate 15 is provided with the discharge port 2 for preventing the volatile component of the liquid from evaporating during standby of the liquid ejecting head. A region for receiving a cap (not shown) that seals the area is formed.

【0046】なお、図には図示していないが、駆動素子
5およびフレキシブルフィルム6の電気的接続部は、電
極部が露出すると、吐出口2から飛散した液滴や媒体上
から跳ね返った液滴が電極に付着して電極やその下地金
属を腐食するため、該電極接続部は、封止性およびイオ
ン遮断性に優れたシリコン系樹脂等の封止剤により被
覆、封止され、液体による接続信頼性の低下がないよう
にしてある。
Although not shown in the figure, the electrical connection between the drive element 5 and the flexible film 6 is such that when the electrode portion is exposed, the droplet scattered from the discharge port 2 or the droplet rebounded from the medium Is attached to the electrode and corrodes the electrode and its underlying metal, so that the electrode connection portion is covered and sealed with a sealing agent such as a silicon resin having excellent sealing properties and ion blocking properties, and is connected by a liquid. The reliability is not reduced.

【0047】また、素子基板1の背面側には、図3およ
び図4に図示するように、保持部材11および支持部材
12によって形成される液体を保持するための共通液室
10が形成されており、共通液室10は、吐出口列の長
さと略等しい長さで開口し、素子基板1にはその背面側
の共通液室10内の液体を表面側に供給するためのスリ
ット4が設けられている。
As shown in FIGS. 3 and 4, a common liquid chamber 10 for holding the liquid formed by the holding member 11 and the supporting member 12 is formed on the back side of the element substrate 1. The common liquid chamber 10 is opened with a length substantially equal to the length of the discharge port row, and the element substrate 1 is provided with a slit 4 for supplying the liquid in the common liquid chamber 10 on the back side to the front side. Have been.

【0048】共通液室10は、図4に示すように、吐出
口配列方向の両端部近傍にそれぞれ液供給口13、14
が連通されており、通常の液体吐出時には、噴射ヘッド
の外部の液体供給タンク(不図示)から双方の液供給口
13、14を通じて液体の供給を受ける構成となってい
る。さらに、共通液室10は、その上方天井面10aが
水平面に対して傾きをもって形成されており、共通液室
10の液供給口13、14は高さ方向の位置が相違して
おり、図4においては、液供給口14の位置が液供給口
13よりも高い位置に配されている。
As shown in FIG. 4, the common liquid chamber 10 has liquid supply ports 13 and 14 near both ends in the discharge port arrangement direction.
The liquid is supplied from a liquid supply tank (not shown) outside the ejection head through the two liquid supply ports 13 and 14 during normal liquid ejection. Further, the common liquid chamber 10 has an upper ceiling surface 10a formed so as to be inclined with respect to a horizontal plane, and the liquid supply ports 13 and 14 of the common liquid chamber 10 are different in the position in the height direction. In the example, the position of the liquid supply port 14 is higher than the position of the liquid supply port 13.

【0049】以上のように構成される液体噴射ヘッドに
おいて、液体を共通液室10に充填する際には、液体供
給路に設けられた液体加圧機構(不図示)により液体を
加圧して、図4に破線矢印で示すように、高さの低い位
置にある液供給口13から液体を加圧流入させ、共通液
室10内の空気を高い位置にある液供給口14から抜き
ながら、共通液室10内に空気や気泡30を残さないよ
うに共通液室10に液体を充填する構成となっている。
また、液体が共通液室10内に完全に充填されるまで、
気泡30が混入した液体を液供給口14から排出する
が、この液体を(液体流入側の)液供給口13の上流側
にある液体供給タンク(不図示)に戻す液体流出機構
(不図示)を備え、液体を循環させるタイプの液体供給
路を構成する。
In the liquid jet head configured as described above, when filling the common liquid chamber 10 with the liquid, the liquid is pressurized by a liquid pressurizing mechanism (not shown) provided in the liquid supply path. As shown by the dashed arrow in FIG. 4, the liquid is pressurized and flows in from the liquid supply port 13 at the lower position, and the air in the common liquid chamber 10 is removed from the liquid supply port 14 at the higher position. The liquid is filled in the common liquid chamber 10 so that air and bubbles 30 are not left in the liquid chamber 10.
Further, until the liquid is completely filled in the common liquid chamber 10,
The liquid mixed with the bubbles 30 is discharged from the liquid supply port 14, and the liquid is returned to a liquid supply tank (not shown) upstream of the liquid supply port 13 (on the liquid inflow side). And a liquid supply path of a type for circulating the liquid.

【0050】このように、液体噴射ヘッドの共通液室1
0に液体を充填する際には、液供給口13から液体を加
圧流入させることによって、共通液室10内の空気は、
共通液室10の上方天井面10aの傾斜によって、液供
給口13よりも高くなっている液供給口14へスムーズ
に流れ、液供給口14から排出され、共通液室10内の
空気や液体中に混入している気泡30も(液体流出側
の)液供給口14から確実に追い出すことができ、気泡
30を含まない液体を共通液室10に充填することがで
きる。
As described above, the common liquid chamber 1 of the liquid jet head
When the liquid is filled in 0, the liquid in the common liquid chamber 10 is caused to flow under pressure from the liquid supply port 13 so that
Due to the inclination of the upper ceiling surface 10 a of the common liquid chamber 10, the liquid smoothly flows to the liquid supply port 14 which is higher than the liquid supply port 13, is discharged from the liquid supply port 14, and the air or liquid in the common liquid chamber 10 is discharged. The bubbles 30 mixed in the liquid can be reliably expelled from the liquid supply port 14 (on the liquid outflow side), and the liquid containing no bubbles 30 can be filled in the common liquid chamber 10.

【0051】また、液体を共通液室10内に充填した液
体噴射ヘッドを用いて液体を吐出させる使用中において
も、共通液室10内に気泡30が発生する場合がある。
気泡30の発生原因としては、例えば、共通液室10内
の液体の溶存ガスの気化現象や、発熱素子3で加熱発泡
気化した液体の非凝集ガスの気泡化現象がある。このよ
うな気泡30が共通液室10内に多量に残存している
と、この気泡30の一部がノズル内に流入し、吐出液滴
の量のバラツキを引き起こしたり、液滴の飛翔速度の低
下を招き、記録媒体への着弾精度の不良が発生し、さら
には不吐出といったトラブルが発生し、結果的に、印字
品位の劣化につながる可能性がある。
Further, even during use in which the liquid is ejected using the liquid ejecting head filled with the liquid in the common liquid chamber 10, bubbles 30 may be generated in the common liquid chamber 10.
Causes of the generation of the bubbles 30 include, for example, a vaporization phenomenon of the dissolved gas of the liquid in the common liquid chamber 10 and a bubble generation phenomenon of the non-aggregated gas of the liquid foamed and vaporized by the heating element 3. If a large amount of such bubbles 30 remain in the common liquid chamber 10, a part of the bubbles 30 flows into the nozzle, causing a variation in the amount of ejected droplets and a decrease in the flying speed of the droplets. This may lead to a decrease in the quality of the recording medium, resulting in poor landing accuracy on the recording medium, and further a trouble such as non-ejection, which may result in deterioration of print quality.

【0052】このため、本実施例の液体噴射ヘッドにお
いては、共通液室10内に気泡30が発生した場合に
は、一方の液供給口13から液体を加圧流入させ、気泡
30を他方の液供給口14から抜く。このとき、本実施
例の液体噴射ヘッドでは、図4に示すように、共通液室
10の上方天井面10aに傾斜をつけ、他方の液供給口
14の位置を液体を加圧流入させる液供給口13よりも
高くしてあることにより、気泡30の流れをスムーズに
し、共通液室10内の気泡30を確実に追い出すことが
できる。
For this reason, in the liquid ejecting head of this embodiment, when bubbles 30 are generated in the common liquid chamber 10, the liquid is pressurized and flows in from one liquid supply port 13 to cause the bubbles 30 to flow into the other liquid supply port 13. Pull out from the liquid supply port 14. At this time, in the liquid ejecting head according to the present embodiment, as shown in FIG. 4, the upper ceiling surface 10a of the common liquid chamber 10 is inclined, and the position of the other liquid supply port 14 is supplied to the liquid supply port 14 under pressure. By setting the height higher than the opening 13, the flow of the bubbles 30 can be made smooth, and the bubbles 30 in the common liquid chamber 10 can be reliably expelled.

【0053】以上のように、本実施例によれば、ノズル
内の気泡の除去性を向上し、印字品位の高い液体噴射ヘ
ッドを提供することができる。
As described above, according to the present embodiment, it is possible to improve the removability of air bubbles in the nozzles and provide a liquid jet head with high print quality.

【0054】(実施例2)本発明の液体噴射ヘッドの第
2の実施例について、図5を用いて説明する。
(Embodiment 2) A second embodiment of the liquid jet head according to the present invention will be described with reference to FIG.

【0055】図5の(a)は、本発明の液体噴射ヘッド
の第2の実施例を吐出口配列方向(X−X線)に沿って
破断して示す断面図であり、同図(b)は、本実施例の
液体噴射ヘッドの液吐出面の平面図であり、同図(c)
は、本実施例の液体噴射ヘッドを吐出口配列方向に直交
する方向(Y−Y線)に沿って破断して示す断面図であ
る。
FIG. 5A is a cross-sectional view showing a second embodiment of the liquid jet head of the present invention, which is cut along the ejection port arrangement direction (XX line), and FIG. () Is a plan view of the liquid ejection surface of the liquid ejection head of the present embodiment, and FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the liquid ejecting head of the present embodiment cut along a direction (Y-Y line) orthogonal to the ejection port arrangement direction.

【0056】本実施例においては、図5に図示するよう
に、大気に開口して液体中の気泡を排出することができ
る気泡流路20を共通液室10に接続した点で、前述し
た第1の実施例と相違する。なお、本実施例において、
前述した第1の実施例と同様の部材や構成には同一符号
を付して詳細な説明は省略する。
In this embodiment, as shown in FIG. 5, the above-described first embodiment is different from the first embodiment in that a bubble flow path 20 which is open to the atmosphere and can discharge bubbles in the liquid is connected to the common liquid chamber 10. This is different from the first embodiment. In this embodiment,
Members and configurations similar to those of the above-described first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description is omitted.

【0057】本実施例においても、共通液室10は、図
5の(a)に図示するように、その上方天井面10aが
水平面に対して傾きをもって形成され、吐出口配列方向
の両端部近傍にそれぞれ液供給口13、14が設けられ
ており、液供給口14の位置が液供給口13よりも高く
なっている。共通液室10の最も高い位置あるいはその
近傍に気泡流路20が接続されており、気泡流路20は
支持部材12や保持部材11の内部を貫通し、気泡流路
20の他端は、素子基板1において開口する液吐出には
直接使用しないダミー吐出口21に連通する。このダミ
ー吐出口21は、液体を吐出する吐出口2を作製する工
程で吐出口2と同時に形成することができる。
Also in this embodiment, as shown in FIG. 5A, the common liquid chamber 10 has an upper ceiling surface 10a formed so as to be inclined with respect to the horizontal plane, and the vicinity of both ends in the discharge port arrangement direction. Are provided with liquid supply ports 13 and 14, respectively, and the position of the liquid supply port 14 is higher than the liquid supply port 13. A bubble flow path 20 is connected to the highest position of the common liquid chamber 10 or in the vicinity thereof, and the bubble flow path 20 penetrates the inside of the support member 12 or the holding member 11. It communicates with a dummy discharge port 21 that is not directly used for liquid discharge that is opened in the substrate 1. This dummy discharge port 21 can be formed simultaneously with the discharge port 2 in the step of producing the discharge port 2 for discharging the liquid.

【0058】以上のように構成される本実施例において
は、液体を共通液室10に充填する際には、前述した第
1の実施例と同様に、液体加圧機構(不図示)を介し
て、高さの低い位置にある液供給口13から液体を加圧
流入させ、共通液室10内の空気を、共通液室10の上
方天井面10aの傾斜に沿って高い位置にある液供給口
14から抜くことができ、さらに気泡流路20を介して
排出することができ、共通液室10内の空気や気泡30
を残すことがない。さらに、液体吐出時において気泡3
0を除去する際にも、一方の液供給口13から液体を加
圧流入させ、液体中の気泡30を共通液室10の上方天
井面10aの傾斜に沿って他方の液供給口14および気
泡流路20から抜くことができる。このように、本実施
例においては、共通液室10の最も高い位置に気泡流路
20を接続することにより、共通液室10内の気泡30
を気泡流路20から大気に排出することができる。これ
により、前述した第1の実施例に比べて、液体流出側と
なる液供給口14から液体流出機構(不図示)を介して
液体供給タンク(不図示)に還流する液体中に混入する
気泡30の量を減少させることができ、このため、液体
供給タンクに戻った気泡30が再び液供給口(流入)1
3を経由して共通液室10に流入するのを防止すること
ができる。また、気泡流路20の開放側のダミー吐出口
21を吐出口2と同一面に配置することにより、同一の
水頭となるため、気泡流路20から逆に共通液室10に
気泡30が流入するおそれや、液体が気泡流路20から
垂れ流しになるおそれがない。
In the present embodiment configured as described above, when the liquid is filled in the common liquid chamber 10, similarly to the first embodiment described above, a liquid pressure mechanism (not shown) is used. The liquid in the common liquid chamber 10 is caused to flow under pressure from the liquid supply port 13 at a low position, and the air in the common liquid chamber 10 is supplied along the slope of the upper ceiling surface 10a of the common liquid chamber 10 at a high position. It can be withdrawn from the port 14 and can be further discharged through the bubble flow path 20, so that air or bubbles 30 in the common liquid chamber 10 can be removed.
Never leave. In addition, bubbles 3
Also, when removing 0, the liquid is caused to flow under pressure from one liquid supply port 13 and bubbles 30 in the liquid are formed along the inclination of the upper ceiling surface 10a of the common liquid chamber 10 with the other liquid supply port 14 and the bubbles. It can be removed from the flow path 20. As described above, in the present embodiment, by connecting the bubble flow path 20 to the highest position of the common liquid chamber 10, the bubbles 30 in the common liquid chamber 10 are connected.
Can be discharged from the bubble flow path 20 to the atmosphere. As a result, compared to the first embodiment described above, bubbles mixed into the liquid refluxing from the liquid supply port 14 on the liquid outflow side to the liquid supply tank (not shown) via the liquid outflow mechanism (not shown). 30 can be reduced, so that the bubbles 30 that have returned to the liquid supply tank return to the liquid supply port (inflow) 1 again.
3 can be prevented from flowing into the common liquid chamber 10. In addition, since the dummy discharge port 21 on the open side of the bubble flow path 20 is arranged on the same plane as the discharge port 2, the same water head is obtained, so that the bubble 30 flows into the common liquid chamber 10 from the bubble flow path 20 in reverse. There is no danger that the liquid will flow or that the liquid will flow down from the bubble flow path 20.

【0059】(実施例3)本発明の液体噴射ヘッドの第
3の実施例について、図6を用いて説明する。
(Embodiment 3) A third embodiment of the liquid jet head according to the present invention will be described with reference to FIG.

【0060】図6の(a)は、本発明の液体噴射ヘッド
の第3の実施例を吐出口配列方向(X−X線)に沿って
破断して示す断面図であり、同図(b)は、本実施例の
液体噴射ヘッドの液吐出面の平面図であり、同図(c)
は、本実施例の液体噴射ヘッドを吐出口配列方向に直交
する方向(Y−Y線)に沿って破断して示す断面図であ
る。本実施例においても、前述した第1および第2の実
施例と同様の部材や構成には同一符号を付して詳細な説
明は省略する。
FIG. 6A is a sectional view showing a third embodiment of the liquid jet head according to the present invention, which is cut along the ejection port arrangement direction (XX line), and FIG. () Is a plan view of the liquid ejection surface of the liquid ejection head of the present embodiment, and FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the liquid ejecting head of the present embodiment cut along a direction (Y-Y line) orthogonal to the ejection port arrangement direction. Also in this embodiment, the same members and configurations as those in the above-described first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and detailed description is omitted.

【0061】本実施例においては、共通液室10は、図
6の(a)に図示するように、その上方天井面10a
が、吐出口配列方向の略中央部分において最も高く、吐
出口配列方向の両端部で最も低くなる山型形状に形成さ
れ、その両端部で最も低くなる部位の近傍にそれぞれ液
供給口13、14が設けられ、上方天井面10aの略中
央の最も高くなっている部位あるいはその近傍に気泡流
路20を接続する。気泡流路20は支持部材12や保持
部材11等の内部を貫通し、気泡流路20の他端は、素
子基板1において開口する液吐出には直接使用しないダ
ミー吐出口21に連通している。
In this embodiment, the common liquid chamber 10 has an upper ceiling surface 10a as shown in FIG.
Are formed in a chevron shape that is highest in a substantially central portion in the discharge port arrangement direction and is lowest at both ends in the discharge port arrangement direction, and near the lowest portions at both ends. Is provided, and the bubble flow path 20 is connected to the highest portion substantially at the center of the upper ceiling surface 10a or in the vicinity thereof. The bubble flow path 20 penetrates through the inside of the support member 12, the holding member 11, and the like, and the other end of the bubble flow path 20 communicates with a dummy discharge port 21 that is not used directly for liquid discharge that is opened in the element substrate 1. .

【0062】本実施例においては、初期の液体の充填時
においても、通常の液体吐出時に際して発生する気泡の
除去動作時においても、液体は、図6の(a)に破線矢
印で示すように、共通液室10の両端部近傍に設けられ
ている液供給口13、14から加圧流入させる。すなわ
ち、初期の液体の充填時においては、液体を両液供給口
13、14から加圧流入させることによって、共通液室
10内の空気は、共通液室10の上方天井面10aの傾
斜に沿って中央部分に移動し、中央部分に接続されてい
る気泡流路20を介してダミー吐出口21から排出され
る。これにより、気泡30を含まない液体を共通液室1
0に充填することができる。また、液体噴射ヘッドの使
用時において共通液室10内に発生する気泡30を除去
する際にも、液体を両液供給口13、14から加圧流入
させることによって、共通液室10内の気泡30は共通
液室10の上方天井面10aの傾斜に沿って中央部分に
集められ、気泡流路20を介してダミー吐出口21から
排出される。
In the present embodiment, the liquid is filled as shown by the dashed arrow in FIG. 6A both at the time of initial filling of the liquid and at the time of the operation of removing the bubbles generated during the ordinary liquid discharge. The liquid is supplied under pressure from liquid supply ports 13 and 14 provided near both ends of the common liquid chamber 10. That is, when the liquid is initially filled, the air in the common liquid chamber 10 is caused to flow along the inclination of the upper ceiling surface 10a of the common liquid chamber 10 by causing the liquid to flow under pressure from both the liquid supply ports 13 and 14. To the central portion, and is discharged from the dummy discharge port 21 via the bubble flow path 20 connected to the central portion. As a result, the liquid containing no bubbles 30 is transferred to the common liquid chamber 1.
Can be filled to zero. Also, when removing the air bubbles 30 generated in the common liquid chamber 10 when the liquid ejecting head is used, the liquid is pressurized and inflow from both the liquid supply ports 13 and 14 so that the air bubbles in the common liquid chamber 10 are removed. Numerals 30 are collected at a central portion along the inclination of the upper ceiling surface 10 a of the common liquid chamber 10, and are discharged from the dummy discharge port 21 through the bubble flow path 20.

【0063】以上のような構成とすることにより、本実
施例は、共通液室10の液供給口13、14から液体を
加圧流入させることにより、共通液室10内の気泡30
を効率よく除去することができる上、共通液室10内の
液体を液体供給タンク(不図示)へ還流させないので、
共通液室10内の気泡30が液体供給タンクへ流入する
ことを防止することができる。したがって、前述した第
1および第2の実施例のように液体供給タンクと液体噴
射ヘッドとの間を液体が循環する液体供給系において
は、液体の溶存ガスを予め脱気した脱気液体を使用する
場合において、気泡30の除去動作ごとに液体の脱気度
を劣化させるおそれがあるが、本実施例では、このよう
なおそれがないため、脱気液体を使用する液体供給系
に、特に適した構成となっている。
With the above-described configuration, the present embodiment is configured such that the liquid is supplied under pressure from the liquid supply ports 13 and 14 of the common liquid chamber 10 so that the bubbles 30 in the common liquid chamber 10
Is efficiently removed, and the liquid in the common liquid chamber 10 is not refluxed to the liquid supply tank (not shown).
The bubbles 30 in the common liquid chamber 10 can be prevented from flowing into the liquid supply tank. Therefore, in the liquid supply system in which the liquid circulates between the liquid supply tank and the liquid ejecting head as in the first and second embodiments described above, the deaerated liquid in which the dissolved gas of the liquid is deaerated in advance is used. In this case, there is a possibility that the degree of deaeration of the liquid may be degraded each time the bubble 30 is removed. However, in this embodiment, there is no such danger, and therefore, it is particularly suitable for a liquid supply system using a deaerated liquid. Configuration.

【0064】(実施例4)本発明の液体噴射ヘッドの第
4の実施例について、図7を用いて説明する。
(Embodiment 4) A fourth embodiment of the liquid jet head according to the present invention will be described with reference to FIG.

【0065】図7の(a)は、本発明の液体噴射ヘッド
の第4の実施例を吐出口配列方向(同図(c)に示すX
−X線)に沿って破断して示す断面図であり、同図
(b)は、本実施例の液体噴射ヘッドにおけるフィルタ
ボックス部分を拡大して示す部分断面図であり、同図
(c)は、本実施例の液体噴射ヘッドにおける液吐出面
の部分平面図である。
FIG. 7A shows a fourth embodiment of the liquid ejecting head according to the present invention, in which the X direction shown in FIG.
FIG. 2B is a sectional view taken along line X-X), and FIG. 2B is an enlarged partial sectional view showing a filter box portion in the liquid ejecting head of the present embodiment, and FIG. FIG. 3 is a partial plan view of a liquid ejection surface in the liquid ejection head of the present embodiment.

【0066】本実施例においては、液体の供給流路の構
成が、前述した各実施例と相違するが、吐出口や発熱素
子を含む液体吐出機構等に関しては前述した各実施例と
同様であり、前述した実施例と同様の部材や構成には同
一符号を付して詳細な説明は省略する。
In this embodiment, the configuration of the liquid supply flow path is different from that of each of the above-described embodiments. However, the liquid discharge mechanism including the discharge port and the heating element is the same as that of each of the above-described embodiments. The same reference numerals are given to members and configurations similar to those of the above-described embodiment, and detailed description is omitted.

【0067】本実施例における液体の供給流路の構成に
ついて説明すると、図7の(a)に図示するように、共
通液室10は、素子基板1の背面側で保持部材11およ
び支持部材12に形成され、吐出口列の長さと略等しい
長さで開口され、素子基板1に設けられているスリット
4を介して素子基板1の表面側に連通し、さらに各吐出
口2に連通している。
The structure of the liquid supply flow path in this embodiment will be described. As shown in FIG. 7A, the common liquid chamber 10 has a holding member 11 and a supporting member 12 on the back side of the element substrate 1. And is opened with a length substantially equal to the length of the ejection port array, communicates with the front surface side of the element substrate 1 through a slit 4 provided in the element substrate 1, and further communicates with each ejection port 2. I have.

【0068】共通液室10へ液体を供給する供給流路に
は、液体中に含まれる塵埃等を除去するためのフィルタ
ボックス50が設けられており、フィルタボックス50
の内部は、図7の(a)および(b)に図示するよう
に、水平に配置したフィルタ部材51によって、上下の
2つのチャンバ52、53に区分され、下方に位置する
チャンバ52がチューブジョイント54を介して外部の
液体供給タンク(不図示)に接続された上流側チャンバ
であり、上方に位置するチャンバ53が液体チューブ5
5を通じて共通液室10に連通される下流側チャンバで
ある。この構成によって、液体は、液体供給タンク(不
図示)から図示しない液体加圧機構によって加圧された
状態で、チューブジョイント54を介してフィルタボッ
クス50の上流側チャンバ52に流入され、フィルタ部
材51によって濾過されて、液体中に含まれる塵埃が排
除される。フィルタ部材51を通過した液体は、下流側
チャンバ53から液体チューブ55を介して共通液室1
0に供給され、素子基板1に形成されている吐出口2へ
供給される。
In the supply passage for supplying the liquid to the common liquid chamber 10, a filter box 50 for removing dust and the like contained in the liquid is provided.
7 is divided into two upper and lower chambers 52 and 53 by a horizontally disposed filter member 51 as shown in FIGS. 7A and 7B, and the lower chamber 52 is connected to a tube joint. An upstream chamber connected to an external liquid supply tank (not shown) through an upper chamber 54, and the upper chamber 53 is connected to the liquid tube 5.
5 is a downstream chamber that is communicated with the common liquid chamber 10 through 5. With this configuration, the liquid flows from the liquid supply tank (not shown) into the upstream chamber 52 of the filter box 50 via the tube joint 54 in a state where the liquid is pressurized by a liquid pressurizing mechanism (not shown). To remove dust contained in the liquid. The liquid that has passed through the filter member 51 is supplied from the downstream chamber 53 through the liquid tube 55 to the common liquid chamber 1.
0 is supplied to the discharge port 2 formed in the element substrate 1.

【0069】本実施例におけるフィルタボックス50に
おいては、下流側チャンバ53の上方天井面53aを水
平面に対して傾きをもって形成し、下流側チャンバ53
に流入してきた気泡30を傾斜した上方天井面53aに
沿って下流側チャンバ53の最上部に集積させる構成と
する。また、下流側チャンバ53の上方天井面53aの
最上部あるいはその近傍部位には、集積された気泡30
を液体から外部に排出するために、共通液室10に連通
する液体チューブ55とは別の気泡流路56が接続され
ている。この気泡流路56は、支持部材12や保持部材
11を貫通し、素子基板1上に配設されたダミー吐出口
57に連通して、大気に開放されている。また、気泡流
路56の途中には流抵抗調節部材58が設けられてい
る。素子基板1上に配設されたダミー吐出口57は、液
体を吐出する吐出口2を作製する工程で、吐出口2と同
様に形成することができる。
In the filter box 50 of this embodiment, the upper ceiling surface 53a of the downstream chamber 53 is formed to be inclined with respect to the horizontal plane,
The air bubbles 30 flowing into the lower chamber 53 are accumulated along the inclined upper ceiling surface 53a at the uppermost portion of the downstream chamber 53. In addition, at the uppermost portion of the upper ceiling surface 53a of the downstream chamber 53 or in the vicinity thereof, the accumulated bubbles 30
In order to discharge the liquid from the liquid to the outside, a bubble flow path 56 different from the liquid tube 55 communicating with the common liquid chamber 10 is connected. The bubble flow path 56 penetrates the support member 12 and the holding member 11, communicates with a dummy discharge port 57 provided on the element substrate 1, and is open to the atmosphere. A flow resistance adjusting member 58 is provided in the middle of the bubble flow path 56. The dummy discharge port 57 provided on the element substrate 1 can be formed in the same manner as the discharge port 2 in the step of manufacturing the discharge port 2 for discharging the liquid.

【0070】以上のように構成される本実施例におい
て、液体噴射ヘッドへの液体の充填時、および気泡30
の除去時には、液体噴射ヘッドの外部に配置されている
液体加圧機構(不図示)で加圧された液体がチューブジ
ョイント54を介してフィルタボックス50に流入され
ることによって、フィルタ部材51により濾過された液
体が下流側チャンバ53に流入すると、液体中に含まれ
る気泡30は、図7の(b)に矢印で示すように、下流
側チャンバ53の傾斜した上方天井面53aに沿って最
上部に集積され、さらに、下流側チャンバ53の最上部
に接続されている気泡流路56を通じてダミー吐出口5
7から排出される。このため、下流側チャンバ53内に
気泡30が残留することをなくすることができる。
In this embodiment configured as described above, when the liquid is ejected into the liquid jet head,
When the liquid is removed, the liquid pressurized by a liquid pressurizing mechanism (not shown) disposed outside the liquid ejecting head flows into the filter box 50 through the tube joint 54, and is filtered by the filter member 51. When the discharged liquid flows into the downstream chamber 53, the bubbles 30 contained in the liquid are moved to the uppermost part along the inclined upper ceiling surface 53a of the downstream chamber 53, as shown by the arrow in FIG. Through the bubble flow path 56 connected to the uppermost part of the downstream chamber 53.
It is discharged from 7. Therefore, the bubbles 30 can be prevented from remaining in the downstream chamber 53.

【0071】気泡流路56に配設した流抵抗調節部材5
8は、液体チューブ55から共通液室10を介して吐出
口2へ供給される吐出用液体の流路系における液体の流
抵抗と、気泡流路56の流抵抗のバランスを取るための
ものである。吐出用液体の流路系の流抵抗に対して、気
泡流路56の流抵抗が極端に低い場合、液体噴射ヘッド
の外部から液体を加圧して気泡を取り除こうとしたとき
に、大量の液体が気泡流路56を通過して排出され、一
方で共通液室10や吐出口2付近に残留した気泡が排出
されないといった現象が発生する。流抵抗調節部材58
は、このような現象を避けるために、気泡流路56の流
抵抗を大きくするために設けられたもので、本実施例に
おいては、フィルタボックス50内部に設けられたフィ
ルタ部材51と同様のフィルタ部材が内部に設けられて
いる。このフィルタ部材の大きさやメッシュの開き目
(サイズ)は、吐出用液体の流路系の流抵抗と気泡流路
56との流抵抗のバランスによって、適宜決定すること
ができ、気泡流路56自体の流抵抗が十分に大きい場合
は、流抵抗調節部材58を設けなくても、本実施例の効
果は十分に得られるものである。
Flow resistance adjusting member 5 disposed in bubble flow path 56
Numeral 8 is for balancing the flow resistance of the liquid in the flow path system of the discharge liquid supplied from the liquid tube 55 to the discharge port 2 via the common liquid chamber 10 and the flow resistance of the bubble flow path 56. is there. When the flow resistance of the bubble flow path 56 is extremely low with respect to the flow resistance of the flow path system of the ejection liquid, a large amount of liquid is generated when the liquid is pressurized from outside the liquid ejecting head to remove bubbles. A phenomenon occurs in which bubbles are discharged through the bubble flow path 56, while bubbles remaining in the vicinity of the common liquid chamber 10 and the discharge port 2 are not discharged. Flow resistance adjusting member 58
Is provided to increase the flow resistance of the bubble flow path 56 in order to avoid such a phenomenon. In the present embodiment, a filter similar to the filter member 51 provided inside the filter box 50 is provided. A member is provided inside. The size of the filter member and the mesh opening (size) can be appropriately determined by the balance between the flow resistance of the discharge liquid flow path system and the flow resistance of the bubble flow path 56. When the flow resistance is sufficiently large, the effect of the present embodiment can be sufficiently obtained without providing the flow resistance adjusting member 58.

【0072】このように、本実施例は、液体噴射ヘッド
の共通液室への液体の充填時、および、気泡の除去時に
は、液体噴射ヘッドの外部の液体加圧機構(不図示)で
加圧された液体をチューブジョイント54を介して加圧
流入することによって、下流側チャンバ53の最上部に
集積した気泡30を、気泡流路56を通じてダミー吐出
口57から排出することができ、このため、下流側チャ
ンバ53内に気泡30が残留することをなくする。
As described above, in this embodiment, when the common liquid chamber of the liquid ejecting head is filled with liquid and when bubbles are removed, the liquid is pressurized by the liquid pressurizing mechanism (not shown) external to the liquid ejecting head. The bubbles 30 collected at the uppermost part of the downstream chamber 53 can be discharged from the dummy discharge port 57 through the bubble flow path 56 by flowing the compressed liquid through the tube joint 54 under pressure. The bubbles 30 do not remain in the downstream chamber 53.

【0073】その結果、液体の脱気度を低下させて発熱
素子3上での発泡を不安定にして印字不良を引き起こし
たり、気泡30を共通液室10に流入させて吐出不良を
引き起こすことのない液体噴射ヘッドを提供することが
できる。
As a result, the degree of degassing of the liquid is reduced to cause unstable bubble generation on the heating element 3 to cause printing failure, or the bubble 30 to flow into the common liquid chamber 10 to cause ejection failure. No liquid ejecting head can be provided.

【0074】(実施例5)本発明の液体噴射ヘッドの第
5の実施例について、図8を用いて説明する。
(Embodiment 5) A fifth embodiment of the liquid jet head according to the present invention will be described with reference to FIG.

【0075】図8の(a)は、本発明の液体噴射ヘッド
の第5の実施例を吐出口配列方向(同(c)に示すX−
X線)に沿って破断して示す断面図であり、同図(b)
は、本実施例の液体噴射ヘッドにおけるフィルタボック
ス部分を拡大して示す部分断面図であり、同図(c)
は、本実施例の液体噴射ヘッドにおける液吐出面の部分
平面図である。
FIG. 8A shows a liquid jet head according to a fifth embodiment of the present invention in the discharge port arrangement direction (X-direction shown in FIG. 8C).
FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line (X-ray), and FIG.
FIG. 3 is an enlarged partial cross-sectional view showing a filter box portion in the liquid jet head according to the present embodiment, and FIG.
FIG. 3 is a partial plan view of a liquid ejection surface in the liquid ejection head of the present embodiment.

【0076】本実施例においては、フィルタボックス内
の上流側チャンバの上部天井面も下流側チャンバと同様
に水平面に対して傾きをもって形成し、それらの最上部
あるいはその近傍部位から気泡流路を形成した点で、前
述した第4の実施例と相違しているが、その他の構成は
前述した第4の実施例と同様であり、同様の部材や構成
には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
In this embodiment, the upper ceiling surface of the upstream chamber in the filter box is also formed to be inclined with respect to the horizontal plane similarly to the downstream chamber, and a bubble flow path is formed from the uppermost portion or the vicinity thereof. In this respect, the fourth embodiment is different from the above-described fourth embodiment, but the other configuration is the same as that of the above-described fourth embodiment. Is omitted.

【0077】本実施例におけるフィルタボックス50
は、図8の(a)および(b)に図示するように、上下
方向に配したフィルタ部材51によって、左右の2つの
チャンバ52、53に区分されており、図において右側
に位置する上流側チャンバ52はチューブジョイント5
4を介して外部の液体供給タンク(不図示)に接続さ
れ、左側の下流側チャンバ53は液体チューブ55を通
じて共通液室10に連通されている。
The filter box 50 in the present embodiment
As shown in FIGS. 8A and 8B, is divided into two left and right chambers 52 and 53 by a vertically arranged filter member 51, and the upstream side located on the right side in the figure. The chamber 52 is a tube joint 5
4, is connected to an external liquid supply tank (not shown), and the left downstream chamber 53 is connected to the common liquid chamber 10 through a liquid tube 55.

【0078】下流側チャンバ53の上方天井面53a
は、前述した第4の実施例と同様に、水平面に対して傾
きをもって形成され、その下流側チャンバ53の上方天
井面53aの最上部あるいはその近傍部位には、集積さ
れた気泡30を液体から外部に排出するための気泡流路
56が接続されている。そして、気泡流路56は、支持
部材12および保持部材11等を貫通して前面プレート
15上に設けられた開口部59を介して大気に開口し、
素子基板1上の吐出口2と略同一の面で大気に開放され
ており、気泡流路56の途中には流抵抗調節部材58が
設けられている。
The upper ceiling surface 53a of the downstream chamber 53
Similarly to the above-described fourth embodiment, the air bubble 30 is formed to be inclined with respect to the horizontal plane, and at the uppermost portion of the upper ceiling surface 53a of the downstream chamber 53 or in the vicinity thereof, the accumulated bubbles 30 are formed from the liquid. A bubble flow path 56 for discharging to the outside is connected. Then, the bubble flow path 56 passes through the support member 12 and the holding member 11 and the like, and opens to the atmosphere through an opening 59 provided on the front plate 15,
The discharge port 2 on the element substrate 1 is open to the atmosphere on the same surface as the discharge port 2, and a flow resistance adjusting member 58 is provided in the middle of the bubble flow path 56.

【0079】また、上流側チャンバ52の上方天井面5
2aも、下流側チャンバ53の上方天井面53aと同様
に、水平面に対して傾きをもって形成され、その上流側
チャンバ52の上方天井面52aの最上部あるいはその
近傍部位には、集積された気泡30を液体から外部に排
出するための気泡流路60が接続され、この気泡流路6
0も、下流側チャンバ53の気泡流路56と同様に、支
持部材12および保持部材11等を貫通して前面プレー
ト15上に設けられた開口部61を介して大気に開口
し、素子基板1上の吐出口2と略同一の面で大気に開放
されており、気泡流路60の途中には流抵抗調節部材6
2が設けられている。本実施例における気泡流路56、
60の大気に開放する開口部59、61は、前述した第
4の実施例の素子基板1に設けたダミー吐出口57の構
成と異なり、素子基板1の下面と略同一の面に開口する
構成としている。この構成としても、各チャンバ内の気
泡の除去効果は本質的に同じである。
The upper ceiling surface 5 of the upstream chamber 52
Similarly to the upper ceiling surface 53a of the downstream chamber 53, the inclined air bubbles 2a are formed at an upper portion of the upper ceiling surface 52a of the upstream chamber 52 or in the vicinity thereof. Is connected to a bubble flow path 60 for discharging liquid from the liquid to the outside.
Similarly to the bubble channel 56 of the downstream chamber 53, the element substrate 1 is opened to the atmosphere through an opening 61 provided on the front plate 15 through the support member 12 and the holding member 11 and the like. It is open to the atmosphere on substantially the same surface as the upper discharge port 2, and a flow resistance adjusting member 6 is provided in the middle of the bubble flow path 60.
2 are provided. The bubble channel 56 in the present embodiment,
The openings 60 and 61 that are open to the atmosphere are different from the configuration of the dummy discharge port 57 provided in the element substrate 1 of the fourth embodiment described above, and are configured to be opened on substantially the same surface as the lower surface of the element substrate 1. And Even with this configuration, the effect of removing bubbles in each chamber is essentially the same.

【0080】以上のように構成される本実施例において
は、前述した第4の実施例の作用効果に加えて、上流側
チャンバ52においても気泡30を除去することがで
き、フィルタボックス52内の気泡の除去が容易とな
り、液体噴射ヘッド内の滞留気泡除去効果をさらに向上
させることができ、また、多量の気泡がフィルタ部材を
閉塞してフィルタ部材の実効面積を減少させるのを防止
することができるとともに、液体の脱気度を低下させる
のを防止することができる。したがって、安定した印字
品位を達成できる液体噴射ヘッドを提供することができ
る。
In the present embodiment configured as described above, in addition to the functions and effects of the fourth embodiment described above, the air bubbles 30 can also be removed from the upstream chamber 52, and the inside of the filter box 52 can be removed. The removal of air bubbles is facilitated, the effect of removing the remaining air bubbles in the liquid ejecting head can be further improved, and it is possible to prevent a large amount of air bubbles from closing the filter member and reducing the effective area of the filter member. It is possible to prevent the degree of deaeration of the liquid from being lowered. Therefore, it is possible to provide a liquid ejecting head that can achieve stable printing quality.

【0081】(実施例6)本発明の液体噴射ヘッドの第
6の実施例について、図9を用いて説明する。
(Embodiment 6) A sixth embodiment of the liquid jet head according to the present invention will be described with reference to FIG.

【0082】図9の(a)は、本発明の液体噴射ヘッド
の第6の実施例を吐出口配列方向(同(c)に示すX−
X線)に沿って破断して示す断面図であり、同図(b)
は、本実施例の液体噴射ヘッドにおけるフィルタボック
ス部分を拡大して示す部分断面図であり、同図(c)
は、本実施例の液体噴射ヘッドにおける液吐出面の部分
平面図である。
FIG. 9A shows a liquid jet head according to a sixth embodiment of the present invention in the discharge port arrangement direction (X-direction shown in FIG. 9C).
FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line (X-ray), and FIG.
FIG. 3 is an enlarged partial cross-sectional view showing a filter box portion in the liquid jet head according to the present embodiment, and FIG.
FIG. 3 is a partial plan view of a liquid ejection surface in the liquid ejection head of the present embodiment.

【0083】本実施例は、前述した第5の実施例の変形
例であって、第5の実施例と同様の部材や構成には同一
符号を付して詳細な説明は省略する。
This embodiment is a modification of the above-described fifth embodiment. Members and configurations similar to those of the fifth embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description is omitted.

【0084】本実施例におけるフィルタボックス50
は、図9の(a)および(b)に図示するように、その
内部を水平に配置したフィルタ部材51によって上下の
2つのチャンバ52、53に区分され、下方のチャンバ
52を上流側チャンバとし、上方のチャンバ53を下流
側チャンバとし、下流側チャンバ53の上方天井面53
aを、前述した第5の実施例と同様に、水平面に対して
傾きをもって形成し、その上方天井面53aの最上部あ
るいはその近傍部位には、集積された気泡30を液体か
ら外部に排出するための気泡流路56を接続するととも
に、上流側チャンバ52の上方天井面となるフィルタ部
材51を水平面に対して傾斜させて配置し、その最上部
あるいはその近傍部位に気泡流路60を接続するもので
ある。すなわち、上流側チャンバ52の上方天井面52
aは、前述した第5の実施例のようにフィルタボックス
50の部材の一部でもよいし、本実施例のようにフィル
タ部材51であってもよい。
The filter box 50 in the present embodiment
As shown in FIGS. 9 (a) and 9 (b), the inside is divided into two upper and lower chambers 52, 53 by a filter member 51 having a horizontally disposed inside, and the lower chamber 52 is defined as an upstream chamber. , The upper chamber 53 as the downstream chamber, and the upper ceiling surface 53 of the downstream chamber 53.
a is formed to be inclined with respect to the horizontal plane similarly to the fifth embodiment described above, and the accumulated bubbles 30 are discharged from the liquid to the outside at the uppermost portion of the upper ceiling surface 53a or in the vicinity thereof. And a filter member 51 serving as an upper ceiling surface of the upstream chamber 52 is arranged to be inclined with respect to the horizontal plane, and the bubble flow path 60 is connected to the uppermost portion thereof or a portion in the vicinity thereof. Things. That is, the upper ceiling surface 52 of the upstream chamber 52
a may be a part of the member of the filter box 50 as in the fifth embodiment described above, or may be the filter member 51 as in the present embodiment.

【0085】このように構成される本実施例において
も、前述した第5の実施例と同様の作用効果を奏するこ
とができる。
In the present embodiment having the above-described structure, the same operation and effect as those of the fifth embodiment can be obtained.

【0086】(実施例7)本発明の液体噴射ヘッドの第
7の実施例について、図10を用いて説明する。
(Embodiment 7) A seventh embodiment of the liquid jet head according to the present invention will be described with reference to FIG.

【0087】図10の(a)は、本発明の液体噴射ヘッ
ドの第7の実施例を吐出口配列方向(同(b)に示すX
−X線)に沿って破断して示す断面図であり、同図
(b)は、本実施例の液体噴射ヘッドの液吐出面の平面
図であり、同図(c)は、本実施例の液体噴射ヘッドを
吐出口配列方向に直交する方向(同(b)に示すY−Y
線)に沿って破断して示す断面図である。
FIG. 10A shows a seventh embodiment of the liquid jet head according to the present invention.
FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line X-X), FIG. 2B is a plan view of a liquid ejection surface of the liquid ejecting head of the present embodiment, and FIG. In the direction perpendicular to the ejection port arrangement direction (Y-Y shown in FIG.
FIG. 2 is a cross-sectional view cut along line (line).

【0088】本実施例においては、共通液室10を前述
したフィルタボックスの下流側チャンバとして兼用する
点で、前述した第4ないし第6の実施例と相違してい
る。しかし、その他の構成は前述した各実施例と同様で
あり、前述した各実施例と同様の部材や構成には同一符
号を付して詳細な説明は省略する。
This embodiment is different from the above-described fourth to sixth embodiments in that the common liquid chamber 10 is also used as a downstream chamber of the above-mentioned filter box. However, other configurations are the same as those of the above-described embodiments, and the same reference numerals are given to the same members and configurations as those of the above-described embodiments, and the detailed description is omitted.

【0089】本実施例における共通液室10は、図10
の(a)に図示するように、素子基板1の背面側で保持
部材11および支持部材12に形成され、吐出口列の長
さと略等しい長さで開口され、素子基板1に設けられて
いるスリット4を介して素子基板1の表面側に連通し、
さらに各吐出口2に連通している。そして、共通液室1
0の上方天井面10aは、水平面に対して傾きをもって
形成され、その高さ方向に低い部位の上方天井面10a
の一部を開口し、その部分にフィルタボックス50のフ
ィルタ部材51を取り付ける。フィルタボックス50
は、フィルタ部材51の上方をチューブジョイント54
を介して外部の液体供給タンク(不図示)に接続される
上流側チャンバ52とし、共通液室10を下流側チャン
バとして兼用する。そして、上流側チャンバ52の上方
天井面52aも水平面に対して傾きをもって形成する。
上流側チャンバ52の上方天井面52aの最上部あるい
はその近傍部位には気泡流路65が接続され、気泡流路
65は支持部材12や保持部材11等を貫通して前面プ
レート15上に設けられた開口部66を介して開口し、
素子基板1上の吐出口2と略同一の面で大気に開放され
ている。また、下流側チャンバとしての共通液室10の
上方天井面10aの最上部あるいはその近傍部位にも気
泡流路67を接続し、この気泡流路67も支持部材12
や保持部材11等を貫通して前面プレート15上に設け
られた開口部68を介して開口し、素子基板1上の吐出
口2と略同一の面で大気に開放されている。
In this embodiment, the common liquid chamber 10
As shown in FIG. 2A, the holding member 11 and the supporting member 12 are formed on the back side of the element substrate 1, are opened with a length substantially equal to the length of the ejection port array, and are provided on the element substrate 1. Communicating with the front side of the element substrate 1 through the slit 4,
Furthermore, it communicates with each discharge port 2. And the common liquid chamber 1
0, the upper ceiling surface 10a is formed to be inclined with respect to the horizontal plane, and the upper ceiling surface 10a of a lower portion in the height direction is formed.
Is opened, and the filter member 51 of the filter box 50 is attached to the opening. Filter box 50
A tube joint 54 above the filter member 51.
, An upstream chamber 52 connected to an external liquid supply tank (not shown), and the common liquid chamber 10 also serves as a downstream chamber. The upper ceiling surface 52a of the upstream chamber 52 is also formed to be inclined with respect to the horizontal plane.
A bubble flow path 65 is connected to the uppermost portion of the upper ceiling surface 52a of the upstream chamber 52 or a portion in the vicinity thereof, and the bubble flow path 65 is provided on the front plate 15 through the support member 12, the holding member 11, and the like. Opening through the opening 66,
The discharge port 2 on the element substrate 1 is open to the atmosphere on the same surface as the discharge port 2. Further, a bubble flow path 67 is also connected to the uppermost portion of the upper ceiling surface 10a of the common liquid chamber 10 as a downstream chamber or a portion in the vicinity thereof.
It is opened through an opening 68 provided on the front plate 15 through the housing and the holding member 11 and the like, and is opened to the atmosphere on the substantially same surface as the discharge port 2 on the element substrate 1.

【0090】このように構成される本実施例において
は、共通液室10をフィルタボックスの下流側チャンバ
に兼用することにより、数少ない構成部品で、前述した
第5および第6の実施例と同様の作用効果を得ることが
でき、共通液室内の残留気泡を効率良く除去することが
できる。これにより、低コストで高い印字品位を安定し
て得ることができる液体噴射ヘッドを提供することがで
きる。
In this embodiment constructed as described above, the common liquid chamber 10 is also used as the downstream chamber of the filter box, so that the number of components is small and the same as in the above-described fifth and sixth embodiments. The operation and effect can be obtained, and the residual air bubbles in the common liquid chamber can be efficiently removed. Accordingly, it is possible to provide a liquid jet head that can stably obtain high print quality at low cost.

【0091】(その他の実施例)前述した各実施例にお
いては、液体を吐出するための吐出口2と液体に運動エ
ネルギーを印加するための発熱素子3を列状に複数設け
た素子基板1を用い、素子基板1の背面側に発熱素子3
に液体を供給するための共通液室10を配置し、印字幅
を比較的長くすることができる液体噴射ヘッドについて
説明しているが、図11に示すように、前述した素子基
板1を吐出口配列方向に複数個配列して全体の印字幅を
記録媒体の幅一杯にするフルラインタイプの液体噴射装
置を構成することも可能であり、このとき、複数個の素
子基板1の背面側の共通液室は、複数の素子基板1にわ
たって一体となった一つの共通液室10として保持部材
11と支持部材12に形成することができる。このよう
に構成される長尺の液体噴射ヘッドにおいても、前述し
た各実施例の構成を適宜適用できることはいうまでもな
い。
(Other Embodiments) In each of the above-described embodiments, the element substrate 1 provided with a plurality of discharge ports 2 for discharging liquid and a plurality of heating elements 3 for applying kinetic energy to liquid is provided. The heating element 3 is provided on the back side of the element substrate 1.
A liquid ejecting head in which a common liquid chamber 10 for supplying liquid to the liquid jet head is provided and a printing width can be made relatively long has been described. However, as shown in FIG. It is also possible to configure a full-line type liquid ejecting apparatus in which a plurality of elements are arranged in the arrangement direction to make the entire print width the full width of the recording medium. The liquid chamber can be formed on the holding member 11 and the support member 12 as one common liquid chamber 10 integrated over the plurality of element substrates 1. It goes without saying that the configuration of each of the above-described embodiments can be appropriately applied to the long liquid ejecting head configured as described above.

【0092】また、図11に示す液体噴射ヘッドにおい
ては、複数の素子基板1間に隙間や段差が生じ、液体噴
射ヘッドの液吐出面上に付着した液体をブレード等によ
って拭き取る際に、ブレードで拭き取った液体が素子基
板1間の隙間部分に溜まり、液体の吐出方向の乱れや不
吐出の原因となることがあり、さらに、ブレードが素子
基板1間の段差を通過する際に物理的ダメージを受け、
耐久性を低下させる原因となる。そこで、図12に示す
ように、複数の素子基板1間の隙間や段差部に、素子基
板1と同様の厚さを有する隙間埋め部材17を充填する
こともできる。これにより、液吐出面に付着した液体を
完全に拭き取ることができ、素子基板間の隙間部分への
液体の溜まりを解消することができ、液体の吐出に対す
る不良発生を防止することができる。さらにブレードの
稼動領域内の段差を少なくすることができ、ブレードの
拭き取り機能や耐久性を向上させることができる。
In the liquid ejecting head shown in FIG. 11, a gap or a step is formed between the plurality of element substrates 1, and when the liquid adhering to the liquid ejecting surface of the liquid ejecting head is wiped off with a blade or the like, the blade is used. The wiped liquid may accumulate in the gaps between the element substrates 1 and cause disturbance or non-ejection of the liquid ejection direction. Further, when the blade passes through a step between the element substrates 1, physical damage may occur. received,
This may cause a decrease in durability. Therefore, as shown in FIG. 12, a gap filling member 17 having the same thickness as the element substrate 1 can be filled in a gap or a step portion between the plurality of element substrates 1. As a result, the liquid adhering to the liquid ejection surface can be completely wiped off, the accumulation of the liquid in the gap between the element substrates can be eliminated, and the occurrence of a defect in the liquid ejection can be prevented. Further, the step in the operating region of the blade can be reduced, and the wiping function and durability of the blade can be improved.

【0093】また、前述した各実施例においては、サイ
ドシューターのバブルジェット(登録商標)方式の液体
噴射ヘッドについて説明したが、本発明は、エッジシュ
ーターの液体噴射ヘッドや、ピエゾ方式の液体噴射ヘッ
ドにも適用することができ、その作用効果は前述した各
実施例と同様である。
In each of the embodiments described above, the bubble jet (registered trademark) type liquid ejecting head of the side shooter has been described. However, the present invention relates to an edge shooter liquid ejecting head and a piezo type liquid ejecting head. The operation and effect are the same as those of the above-described embodiments.

【0094】[0094]

【発明の効果】【The invention's effect】

【0095】以上説明したように、本発明によれば、共
通液室の上方天井面を水平面に対して傾きをもって形成
し、上方天井面の最も高い位置あるいはその近傍部位に
気泡の抜ける流路構成をとることで、共通液室内の気泡
を効率よく除去することができる。その結果、共通液室
内の気泡の除去性を向上させ、さらにノズル内への気泡
の混入を防止することができ、印字品位の高い、信頼性
の高い液体噴射ヘッドを提供することができる。
As described above, according to the present invention, the upper ceiling surface of the common liquid chamber is formed so as to be inclined with respect to the horizontal plane, and the channel structure through which air bubbles escape at the highest position on the upper ceiling surface or in the vicinity thereof. By doing so, air bubbles in the common liquid chamber can be efficiently removed. As a result, it is possible to improve the removability of air bubbles in the common liquid chamber, prevent the air bubbles from being mixed into the nozzles, and provide a highly reliable liquid jet head with high print quality.

【0096】さらに、共通液室に液体を供給する流路に
配設するフィルタボックス内の上流側チャンバや下流側
チャンバの上方天井面を水平面に対して傾きをもって形
成し、その最上部あるいはその近傍部位から気泡を抜く
ための気泡流路を設けることにより、フィルタボックス
内の気泡を効率良く除去することができ、液体の脱気度
の低下や、共通液室やノズルへの気泡の流入、さらにフ
ィルタ部材の気泡閉塞による印字不良を防ぐことがで
き、ひいては、安価で高い印字品位を安定して得ること
ができる液体噴射ヘッドを提供することができる。
Further, the upper ceiling surface of the upstream chamber or the downstream chamber in the filter box provided in the flow path for supplying the liquid to the common liquid chamber is formed so as to be inclined with respect to the horizontal plane, and its uppermost portion or its vicinity is formed. By providing a bubble flow path for removing bubbles from the part, bubbles in the filter box can be efficiently removed, the degree of deaeration of the liquid decreases, bubbles flow into the common liquid chamber and nozzles, and It is possible to provide a liquid ejecting head that can prevent poor printing due to blockage of bubbles in the filter member, and can stably obtain low-cost and high-quality printing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の液体噴射ヘッドの第1の実施例を液吐
出面の上方から見た模式的斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view of a liquid jet head according to a first embodiment of the present invention, as viewed from above a liquid discharge surface.

【図2】本発明の液体噴射ヘッドの第1の実施例の液吐
出面の平面図である。
FIG. 2 is a plan view of a liquid ejection surface of the liquid ejection head according to the first embodiment of the present invention.

【図3】(a)は本発明の液体噴射ヘッドの第1の実施
例を吐出口配列方向に直交する方向(Y−Y線)に沿っ
て破断して示す断面図であり、(b)は液体吐出部の部
分的な拡大断面図である。
FIG. 3A is a cross-sectional view of the liquid jet head according to the first embodiment of the present invention, cut along a direction (Y-Y line) orthogonal to the discharge port arrangement direction, and FIG. FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view of a liquid discharge unit.

【図4】本発明の液体噴射ヘッドの第1の実施例を吐出
口配列方向(X−X線)に沿って破断して示す断面図で
ある。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing the first embodiment of the liquid ejecting head of the present invention, which is cut along the ejection port arrangement direction (XX line).

【図5】本発明の液体噴射ヘッドの第2の実施例を示
し、(a)は本実施例の液体噴射ヘッドを吐出口配列方
向(X−X線)に沿って破断して示す断面図であり、
(b)は本実施例の液体噴射ヘッドの液吐出面の平面図
であり、(c)は本実施例の液体噴射ヘッドを吐出口配
列方向に直交する方向(Y−Y線)に沿って破断して示
す断面図である。
FIG. 5 shows a second embodiment of the liquid ejecting head according to the present invention, in which (a) is a cross-sectional view showing the liquid ejecting head according to the present embodiment cut along the ejection port arrangement direction (XX line). And
(B) is a plan view of the liquid ejection surface of the liquid ejection head of the present embodiment, and (c) is a plan view of the liquid ejection head of the embodiment along the direction (Y-Y line) orthogonal to the ejection port arrangement direction. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a cutaway.

【図6】本発明の液体噴射ヘッドの第3の実施例を示
し、(a)は本実施例の液体噴射ヘッドを吐出口配列方
向(X−X線)に沿って破断して示す断面図であり、
(b)は本実施例の液体噴射ヘッドの液吐出面の平面図
であり、(c)は本実施例の液体噴射ヘッドを吐出口配
列方向に直交する方向(Y−Y線)に沿って破断して示
す断面図である。
FIG. 6 shows a third embodiment of the liquid ejecting head of the present invention, and FIG. 6A is a cross-sectional view showing the liquid ejecting head of the present embodiment cut along the ejection port arrangement direction (XX line). And
(B) is a plan view of the liquid ejection surface of the liquid ejection head of the present embodiment, and (c) is a plan view of the liquid ejection head of the embodiment along the direction (Y-Y line) orthogonal to the ejection port arrangement direction. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a cutaway.

【図7】本発明の液体噴射ヘッドの第4の実施例を示
し、(a)は本実施例の液体噴射ヘッドを吐出口配列方
向(X−X線)に沿って破断して示す断面図であり、
(b)は本実施例の液体噴射ヘッドにおけるフィルタボ
ックス部分を拡大して示す部分断面図であり、(c)は
本実施例の液体噴射ヘッドにおける液吐出面の部分平面
図である。
FIG. 7 shows a fourth embodiment of the liquid ejecting head of the present invention, in which (a) is a cross-sectional view showing the liquid ejecting head of the present embodiment cut along the ejection port arrangement direction (XX line). And
FIG. 2B is an enlarged partial cross-sectional view illustrating a filter box portion of the liquid ejecting head of the present embodiment, and FIG. 2C is a partial plan view of a liquid ejection surface of the liquid ejecting head of the present embodiment.

【図8】本発明の液体噴射ヘッドの第5の実施例を示
し、(a)は本実施例の液体噴射ヘッドを吐出口配列方
向(X−X線)に沿って破断して示す断面図であり、
(b)は本実施例の液体噴射ヘッドにおけるフィルタボ
ックス部分を拡大して示す部分断面図であり、(c)は
本実施例の液体噴射ヘッドにおける液吐出面の部分平面
図である。
8A and 8B show a fifth embodiment of the liquid ejecting head of the present invention, and FIG. 8A is a cross-sectional view showing the liquid ejecting head of the present embodiment cut along the ejection port arrangement direction (XX line). And
FIG. 2B is an enlarged partial cross-sectional view illustrating a filter box portion of the liquid ejecting head of the present embodiment, and FIG. 2C is a partial plan view of a liquid ejection surface of the liquid ejecting head of the present embodiment.

【図9】本発明の液体噴射ヘッドの第6の実施例を示
し、(a)は本実施例の液体噴射ヘッドを吐出口配列方
向(X−X線)に沿って破断して示す断面図であり、
(b)は本実施例の液体噴射ヘッドにおけるフィルタボ
ックス部分を拡大して示す部分断面図であり、(c)は
本実施例の液体噴射ヘッドにおける液吐出面の部分平面
図である。
FIG. 9 shows a sixth embodiment of the liquid ejecting head of the present invention, in which (a) is a cross-sectional view showing the liquid ejecting head of the present embodiment cut along the ejection port arrangement direction (XX line). And
FIG. 2B is an enlarged partial cross-sectional view illustrating a filter box portion of the liquid ejecting head of the present embodiment, and FIG. 2C is a partial plan view of a liquid ejection surface of the liquid ejecting head of the present embodiment.

【図10】本発明の液体噴射ヘッドの第7の実施例を示
し、(a)は本実施例の液体噴射ヘッドを吐出口配列方
向(X−X線)に沿って破断して示す断面図であり、
(b)は本実施例の液体噴射ヘッドの液吐出面の平面図
であり、(c)は本実施例の液体噴射ヘッドを吐出口配
列方向に直交する方向(Y−Y線)に沿って破断して示
す断面図である。
10A and 10B are cross-sectional views illustrating a liquid jet head according to a seventh embodiment of the present invention, in which FIG. 10A is a cross-sectional view illustrating the liquid jet head according to the present embodiment cut along the ejection port arrangement direction (XX line). And
(B) is a plan view of the liquid ejection surface of the liquid ejection head of the present embodiment, and (c) is a plan view of the liquid ejection head of the embodiment along the direction (Y-Y line) orthogonal to the ejection port arrangement direction. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a cutaway.

【図11】本発明の液体噴射ヘッドのさらに他の実施例
を液吐出面の上方から見た模式的斜視図である。
FIG. 11 is a schematic perspective view of a liquid jet head according to still another embodiment of the present invention as viewed from above a liquid discharge surface.

【図12】本発明の液体噴射ヘッドのさらに他の実施例
を液吐出面の上方から見た模式的斜視図である。
FIG. 12 is a schematic perspective view of a liquid ejecting head according to still another embodiment of the present invention as viewed from above a liquid ejection surface.

【図13】従来の液体噴射ヘッドを液吐出面の上方から
見た模式的斜視図である。
FIG. 13 is a schematic perspective view of a conventional liquid ejecting head viewed from above a liquid ejection surface.

【図14】図13に示す従来の液体噴射ヘッドの液吐出
面の平面図である。
FIG. 14 is a plan view of a liquid ejection surface of the conventional liquid ejection head shown in FIG.

【図15】(a)は図13に示す従来の液体噴射ヘッド
を吐出口配列方向(X−X線)に沿った断面図であり、
(b)は図13に示す従来の液体噴射ヘッドを吐出口配
列方向に直交する方向(Y−Y線)に沿った断面図であ
る。
FIG. 15A is a cross-sectional view of the conventional liquid jet head shown in FIG. 13 along a discharge port arrangement direction (XX line);
FIG. 14B is a cross-sectional view of the conventional liquid ejecting head shown in FIG. 13 taken along a direction (Y-Y line) orthogonal to the discharge port arrangement direction.

【図16】(a)は従来の他の液体噴射ヘッドを吐出口
配列方向(X−X線)に沿った断面図であり、(b)は
吐出口配列方向に直交する方向(Y−Y線)に沿った断
面図である。
FIG. 16A is a cross-sectional view of another conventional liquid ejecting head along the ejection port arrangement direction (XX line), and FIG. 16B is a direction (YY) orthogonal to the ejection port arrangement direction. FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 素子基板 2 吐出口 3 発熱素子 4 スリット 5 駆動素子 6 フレキシブルフィルム 7 回路基板 8 電気コネクタ 10 共通液室 10a 上方天井面 11 保持部材 12 支持部材 13、14 液供給口 15 前面プレート 16 スペーサ 17 隙間埋め部材 20 気泡流路 21 ダミー吐出口 30 気泡 50 フィルタボックス 51 フィルタ部材 52 上流側チャンバ 52a 上方天井面 53 下流側チャンバ 53a 上方天井面 54 チューブジョイント 55 液体チューブ 56 気泡流路 57 ダミー吐出口 58 流抵抗調節部材 59 開口部 60 気泡流路 61 開口部 62 流抵抗調節部材 65 気泡流路 66 開口部 67 気泡流路 68 開口部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Element board 2 Discharge port 3 Heating element 4 Slit 5 Drive element 6 Flexible film 7 Circuit board 8 Electric connector 10 Common liquid chamber 10a Upper ceiling surface 11 Holding member 12 Support member 13, 14 Liquid supply port 15 Front plate 16 Spacer 17 Gap Filling member 20 Bubble flow path 21 Dummy discharge port 30 Bubbles 50 Filter box 51 Filter member 52 Upstream chamber 52a Upper ceiling surface 53 Downstream chamber 53a Upper ceiling surface 54 Tube joint 55 Liquid tube 56 Bubble flow path 57 Dummy discharge port 58 Flow Resistance adjusting member 59 Opening 60 Bubble flow path 61 Opening 62 Flow resistance adjusting member 65 Bubble flow path 66 Opening 67 Bubble flow path 68 Opening

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Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液体を吐出するための吐出口と液体に運
動エネルギーを印加するための吐出エネルギー発生素子
が複数個設けられた素子基板と、前記複数の吐出エネル
ギー発生素子に液体を供給するための共通液室と、該共
通液室に液体を供給するための液供給口とを有する液体
噴射ヘッドにおいて、 前記共通液室の上方天井面を水平面に対して傾きをもっ
て形成し、該上方天井面の最上部あるいはその近傍部位
に気泡を流出させる気泡流出口を設けることを特徴とす
る液体噴射ヘッド。
1. An element substrate provided with a plurality of discharge ports for discharging liquid and a plurality of discharge energy generating elements for applying kinetic energy to the liquid, and for supplying liquid to the plurality of discharge energy generating elements. A liquid jet head having a common liquid chamber and a liquid supply port for supplying liquid to the common liquid chamber, wherein an upper ceiling surface of the common liquid chamber is formed to be inclined with respect to a horizontal plane, and the upper ceiling surface A liquid jet head, wherein a bubble outlet for discharging bubbles is provided at the uppermost portion or a portion in the vicinity thereof.
【請求項2】 前記共通液室に液体を供給するための液
供給口が複数設けられ、該複数の液供給口のうち、前記
共通液室の上方天井面の最上部あるいはその近傍部位に
設けられた少なくとも一つの液供給口を、気泡を流出さ
せる気泡流出口に兼用することを特徴とする請求項1記
載の液体噴射ヘッド。
2. A plurality of liquid supply ports for supplying a liquid to the common liquid chamber, and a plurality of liquid supply ports are provided at an uppermost portion of an upper ceiling surface of the common liquid chamber or in a vicinity thereof among the plurality of liquid supply ports. 2. The liquid jet head according to claim 1, wherein the at least one liquid supply port is also used as a bubble outlet for discharging bubbles.
【請求項3】 前記気泡流出口は、前記吐出口と同一面
あるいは略同一の面において大気に開放されていること
を特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。
3. The liquid jet head according to claim 1, wherein the bubble outlet is open to the atmosphere on the same surface or substantially the same surface as the discharge port.
【請求項4】 液体を吐出するための吐出口と液体に運
動エネルギーを印加するための吐出エネルギー発生素子
が複数個設けられた素子基板と、前記複数の吐出エネル
ギー発生素子に液体を供給するための共通液室と、該共
通液室に供給される液体に含まれる塵埃を除去するフィ
ルタ部材を備えたフィルタボックスとを有する液体噴射
ヘッドにおいて、 前記フィルタボックスを、前記フィルタ部材によって、
外部の液体供給タンクに連通する流路を有する上流側チ
ャンバと前記共通液室に連通する流路を有する下流側チ
ャンバの2つのチャンバに区分し、前記下流側チャンバ
の上方天井面を水平面に対して傾きをもって形成し、該
上方天井面の最上部あるいはその近傍部位に、前記共通
液室に連通する流路とは別の気泡流路を接続することを
特徴とする液体噴射ヘッド。
4. An element substrate provided with a plurality of discharge ports for discharging liquid and discharge energy generating elements for applying kinetic energy to the liquid, and for supplying liquid to the plurality of discharge energy generating elements. A common liquid chamber, and a filter box including a filter member for removing dust contained in the liquid supplied to the common liquid chamber, the filter box, the filter member, by the filter member,
An upper chamber having a flow path communicating with an external liquid supply tank and a downstream chamber having a flow path communicating with the common liquid chamber are divided into two chambers, and an upper ceiling surface of the downstream chamber is positioned with respect to a horizontal plane. A liquid bubble head connected to the uppermost portion of the upper ceiling surface or a portion in the vicinity thereof, which is different from a flow passage communicating with the common liquid chamber.
【請求項5】 液体を吐出するための吐出口と液体に運
動エネルギーを印加するための吐出エネルギー発生素子
が複数個設けられた素子基板と、前記複数の吐出エネル
ギー発生素子に液体を供給するための共通液室と、該共
通液室に供給される液体に含まれる塵埃を除去するフィ
ルタ部材を備えたフィルタボックスとを有する液体噴射
ヘッドにおいて、 前記フィルタボックスを、前記フィルタ部材によって、
外部の液体供給タンクに連通する流路を有する上流側チ
ャンバと前記共通液室に連通する流路を有する下流側チ
ャンバの2つのチャンバに区分し、前記上流側チャンバ
の上方天井面を水平面に対して傾きをもって形成し、該
上方天井面の最上部あるいはその近傍部位に、前記液体
供給タンクに連通する流路とは別の気泡流路を接続する
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
5. An element substrate provided with a plurality of discharge ports for discharging a liquid and a plurality of discharge energy generating elements for applying kinetic energy to the liquid, and for supplying a liquid to the plurality of discharge energy generating elements. A common liquid chamber, and a filter box including a filter member for removing dust contained in the liquid supplied to the common liquid chamber, the filter box, the filter member, by the filter member,
An upper chamber having a flow path communicating with an external liquid supply tank and a downstream chamber having a flow path communicating with the common liquid chamber are divided into two chambers, and an upper ceiling surface of the upstream chamber is positioned with respect to a horizontal plane. The liquid ejecting head is formed so as to have an inclination, and a bubble flow path different from a flow path communicating with the liquid supply tank is connected to an uppermost portion of the upper ceiling surface or a portion in the vicinity thereof.
【請求項6】 液体を吐出するための吐出口と液体に運
動エネルギーを印加するための吐出エネルギー発生素子
が複数個設けられた素子基板と、前記複数の吐出エネル
ギー発生素子に液体を供給するための共通液室と、該共
通液室に供給される液体に含まれる塵埃を除去するフィ
ルタ部材を備えたフィルタボックスとを有する液体噴射
ヘッドにおいて、 前記フィルタボックスを、前記フィルタ部材によって、
外部の液体供給タンクに連通する流路を有する上流側チ
ャンバと前記共通液室に連通する流路を有する下流側チ
ャンバの2つのチャンバに区分し、前記両チャンバの上
方天井面をそれぞれ水平面に対して傾きをもって形成
し、前記上流側チャンバの上方天井面の最上部あるいは
その近傍部位に前記液体供給タンクに連通する流路とは
別の気泡流路を接続するとともに、前記下流側チャンバ
の上方天井面の最上部あるいはその近傍部位に前記共通
液室に連通する流路とは別の気泡流路を接続することを
特徴とする液体噴射ヘッド。
6. An element substrate provided with a plurality of discharge ports for discharging liquid and a plurality of discharge energy generating elements for applying kinetic energy to the liquid, and for supplying liquid to the plurality of discharge energy generating elements. A common liquid chamber, and a filter box including a filter member for removing dust contained in the liquid supplied to the common liquid chamber, the filter box, the filter member, by the filter member,
The chamber is divided into two chambers, an upstream chamber having a flow path communicating with an external liquid supply tank, and a downstream chamber having a flow path communicating with the common liquid chamber. A bubble flow path different from the flow path communicating with the liquid supply tank is connected to the uppermost portion of the upper ceiling surface of the upstream chamber or a portion near the upper ceiling surface of the upstream chamber, and the upper ceiling of the downstream chamber is formed. A liquid jet head, wherein a bubble flow path different from a flow path communicating with the common liquid chamber is connected to an uppermost portion of the surface or a portion in the vicinity thereof.
【請求項7】 前記共通液室を前記下流側チャンバとし
て兼用することを特徴とする請求項4ないし6のいずれ
か1項に記載の液体噴射ヘッド。
7. The liquid jet head according to claim 4, wherein the common liquid chamber is also used as the downstream chamber.
【請求項8】 前記気泡流路は、前記吐出口と同一面あ
るいは略同一の面において大気に開放されていることを
特徴とする請求項4ないし7のいずれか1項に記載の液
体噴射ヘッド。
8. The liquid jet head according to claim 4, wherein the bubble flow path is open to the atmosphere on the same surface or substantially the same surface as the discharge port. .
【請求項9】 前記気泡流路の大気に開放する部分が、
前記吐出口と同一の工程で形成されるダミー吐出口であ
ることを特徴とする請求項4ないし8のいずれか1項に
記載の液体噴射ヘッド。
9. A part of the bubble channel which is open to the atmosphere,
The liquid ejection head according to claim 4, wherein the ejection port is a dummy ejection port formed in the same process as the ejection port.
【請求項10】 前記気泡流路は、前記フィルタボック
スと前記大気開放部との間に流抵抗調節部材を有するこ
とを特徴とする請求項4ないし9のいずれか1項に記載
の液体噴射ヘッド。
10. The liquid jet head according to claim 4, wherein the bubble flow path has a flow resistance adjusting member between the filter box and the atmosphere opening part. .
【請求項11】 前記吐出エネルギー発生素子は、電気
エネルギーを熱エネルギーに変換し、液体の発泡現象を
伴って液体を吐出する発熱素子であることを特徴とする
請求項1ないし10のいずれか1項に記載の液体噴射ヘ
ッド。
11. The discharge energy generating element according to claim 1, wherein the discharge energy generating element is a heating element that converts electric energy into heat energy and discharges the liquid with a bubbling phenomenon of the liquid. Item 6. The liquid jet head according to item 1.
【請求項12】 請求項1ないし3のいずれか1項に記
載の液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドに複数個設け
られた液供給口のうちの少なくとも一つの液供給口から
共通液室へ液体を加圧流入させる液体加圧機構とを有
し、該液体加圧機構により液体を前記共通液室に加圧充
填することを特徴とする液体噴射装置。
12. The liquid ejecting head according to claim 1, wherein at least one of a plurality of liquid supply ports provided in the liquid ejecting head is connected to a common liquid chamber. A liquid pressurizing mechanism for pressurizing and flowing the liquid, wherein the liquid pressurizing mechanism pressurizes and fills the common liquid chamber with the liquid.
【請求項13】 請求項1ないし3のいずれか1項に記
載の液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドに複数個設け
られた液供給口のうちの少なくとも一つの液供給口から
共通液室へ液体を加圧流入させる液体加圧機構と、前記
液供給口のうちの少なくとも一つの液供給口を介して前
記共通液室から液体を流出させる液体流出機構を有し、
液体を循環させながら液体を前記共通液室に充填するこ
とを特徴とする液体噴射装置。
13. A liquid ejecting head according to claim 1, wherein at least one of a plurality of liquid supply ports provided in the liquid ejecting head is connected to a common liquid chamber. A liquid pressurizing mechanism for pressurizing and inflowing the liquid, and a liquid outflow mechanism for flowing out the liquid from the common liquid chamber through at least one of the liquid supply ports,
A liquid ejecting apparatus, wherein the liquid is filled in the common liquid chamber while circulating the liquid.
【請求項14】 請求項4ないし10のいずれか1項に
記載の液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドに供給する
液体を加圧流入させる液体加圧機構を有し、該液体加圧
機構により液体を前記共通液室に加圧充填することを特
徴とする液体噴射装置。
14. A liquid jet head according to claim 4, further comprising a liquid pressurizing mechanism for pressurizing and inflowing a liquid to be supplied to said liquid jetting head, wherein said liquid pressurizing mechanism comprises: A liquid ejecting apparatus, wherein a liquid is pressurized and filled in the common liquid chamber.
【請求項15】 前記吐出エネルギー発生素子は、電気
エネルギーを熱エネルギーに変換し、液体の発泡現象を
伴って液体を吐出する発熱素子であることを特徴とする
請求項12ないし14のいずれか1項に記載の液体噴射
装置。
15. The discharge energy generation element according to claim 12, wherein the discharge energy generation element is a heating element that converts electric energy into heat energy and discharges the liquid with a bubbling phenomenon of the liquid. Item 6. The liquid ejecting apparatus according to item 1.
【請求項16】 前記液体が予め溶存ガスを脱気した脱
気液体であることを特徴とする請求項12ないし15の
いずれか1項に記載の液体噴射装置。
16. The liquid ejecting apparatus according to claim 12, wherein the liquid is a degassed liquid obtained by previously degassing a dissolved gas.
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