JP2002131427A - Ultrasonic searching method and device, and ultrasonic analyzing device - Google Patents

Ultrasonic searching method and device, and ultrasonic analyzing device

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JP2002131427A
JP2002131427A JP2000327707A JP2000327707A JP2002131427A JP 2002131427 A JP2002131427 A JP 2002131427A JP 2000327707 A JP2000327707 A JP 2000327707A JP 2000327707 A JP2000327707 A JP 2000327707A JP 2002131427 A JP2002131427 A JP 2002131427A
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JP
Japan
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signal
ultrasonic
random number
pseudo
ultrasonic wave
Prior art date
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Application number
JP2000327707A
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Japanese (ja)
Inventor
Yuichi Sasano
祐一 佐々野
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Publication date
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  • Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an ultrasonic searching device that can more quickly measure and can obtain a very fine image. SOLUTION: A signal generating device 110 generates transmitting signals by modulating a carrier wave with prescribed frequency by pseudo random number signals that are M-group signals MS(1) to MS(n) here with no mutual correlation with the carrier wave. Ultrasonic transmitters 120(1) to 120(n) convert these signals to ultrasonic waves to irradiate all together to a measured object. Ultrasonic receivers 130(1) to 130(m) receive the reflection of this ultrasonic wave by the measured object. Signal separating devices 140(1) to 140(m) separate to the received signals of the ultrasonic receivers 130(1) to 130(m) with respective to each derivation by mutually correlating the M-group signals used for the modulation with the received signals. A data processor 150 obtains the position and the three-dimensional shape of the measured object by executing spatial statistic processing (aperture synthesis) on these separated signals.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波を用いて測
定対象物を探査する超音波探査方法および装置、超音波
解析装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic detection method and apparatus for detecting an object to be measured using ultrasonic waves, and an ultrasonic analysis apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】測定対象物に超音波を照射しその反射波
について空間的統計処理(たとえば、開口合成)をおこ
なうことで、測定対象物の位置、形状等を探査する技術
が開発されている。
2. Description of the Related Art A technique has been developed for irradiating an object to be measured with ultrasonic waves and subjecting the reflected wave to spatial statistical processing (for example, aperture synthesis) to search for the position and shape of the object to be measured. .

【0003】この技術においては、超音波の送信点およ
び受信点が多いほど、より詳細な画像(より解像度の高
い画像)を得ることができる。また、測定範囲を広げる
ことができる。このため、詳細な画像が必要な場合に
は、受信素子を多数配置することで、受信点を増やして
いた。一方、送信点については、送信素子を移動させな
がら測定をおこなうことによって、すなわち、送信素子
の位置をずらして繰り返し測定をおこなうことによっ
て、対処していた。
In this technique, the more the number of transmission points and reception points of ultrasonic waves, the more detailed images (higher resolution images) can be obtained. In addition, the measurement range can be expanded. For this reason, when a detailed image is required, the receiving points are increased by arranging a large number of receiving elements. On the other hand, the transmission point has been dealt with by performing measurement while moving the transmission element, that is, by repeatedly performing measurement while shifting the position of the transmission element.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
では、送信素子を移動させつつ測定を行っている関係
上、測定を完了するまでの時間が非常に長かった。この
ため、より短時間で測定をおこなうことのできる技術が
求められていた。
However, in the above-mentioned prior art, the time required to complete the measurement was very long because the measurement was performed while moving the transmitting element. Therefore, there has been a demand for a technique capable of performing measurement in a shorter time.

【0005】測定時間を短縮するには、移動速度を高め
ること等も考えられるが、測定に与える影響などの様々
な要因との関係上、送信素子を移動させる速度には限度
がある。
To reduce the measurement time, it is conceivable to increase the moving speed. However, there is a limit to the speed at which the transmitting element is moved due to various factors such as the influence on the measurement.

【0006】そこで、この発明は、上記に鑑みてなされ
たものであって、より短時間で測定を完了することがで
きる、超音波探査方法および装置、超音波解析装置を提
供することを目的とする。
Accordingly, the present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic exploration method and apparatus, and an ultrasonic analyzer which can complete a measurement in a shorter time. I do.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項1に係る超音波探査装置は、所定周波数の
信号(以下「搬送波信号」という)を生成する発信手段
と、疑似乱数信号を生成する雑音信号生成手段と、前記
疑似乱数信号を用いて前記搬送波信号を変調することで
送信信号を生成する変調手段と、送信部を備え、該送信
部から送信信号を超音波に変換して測定対象物に向けて
送信する送信手段と、前記送信手段によって送信され前
記測定対象物によって反射された超音波を受信し、受信
した超音波を電気信号(以下「受信信号」という)に変
換して出力する受信手段と、前記受信信号と前記疑似乱
数信号との相関をとることで、前記受信信号に含まれて
いる信号を分離する分離手段と、前記分離手段によって
分離した信号について開口合成をおこなうことで、前記
測定対象物の位置および/または形状を求めるデータ処
理手段と、を備えたことを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, an ultrasonic probe according to claim 1 comprises: a transmitting means for generating a signal of a predetermined frequency (hereinafter referred to as a "carrier signal"); A noise signal generating means for generating a signal; a modulating means for generating a transmission signal by modulating the carrier signal using the pseudo-random number signal; and a transmission unit, and converting the transmission signal from the transmission unit to an ultrasonic wave. Transmitting means for transmitting toward the measurement object and receiving the ultrasonic waves transmitted by the transmission means and reflected by the measurement object, and converting the received ultrasonic waves into an electric signal (hereinafter, referred to as a “reception signal”) Receiving means for converting and outputting, a separating means for separating a signal included in the received signal by correlating the received signal with the pseudo random number signal, and a signal separated by the separating means. Te By performing the aperture synthesis, and is characterized in that it comprises a data processing means for determining the position and / or shape of the measurement object.

【0008】この請求項1に記載の発明によれば、発信
手段が、搬送波信号を生成する。雑音信号生成手段が、
疑似乱数信号を生成する。変調手段は、疑似乱数信号を
用いて搬送波信号を変調することで送信信号を生成す
る。送信手段は、送信部から送信信号を超音波に変換し
て測定対象物に向けて送信する。受信手段は、測定対象
物によって反射された超音波を受信し、受信した超音波
を電気信号(受信信号)に変換して出力する。分離手段
は、受信信号と疑似乱数信号との相関をとることで、受
信信号に含まれている信号を分離する。データ処理手段
は、分離手段によって分離した信号について開口合成を
おこなうことで、測定対象物の位置および/または形状
を求める。
According to the first aspect of the present invention, the transmitting means generates a carrier signal. The noise signal generating means,
Generate a pseudorandom signal. The modulating means generates a transmission signal by modulating the carrier signal using the pseudo random number signal. The transmitting unit converts the transmission signal from the transmission unit into an ultrasonic wave and transmits the ultrasonic wave to the measurement target. The receiving means receives the ultrasonic wave reflected by the measurement object, converts the received ultrasonic wave into an electric signal (received signal), and outputs the electric signal. The separating unit separates a signal included in the received signal by correlating the received signal with the pseudo random number signal. The data processing unit obtains the position and / or shape of the measurement object by performing aperture synthesis on the signal separated by the separation unit.

【0009】請求項2に係る超音波探査装置は、所定周
波数の信号(以下「搬送波信号」という)を生成する発
信手段と、互いに相関がない複数種類の疑似乱数信号を
生成する雑音信号生成手段と、前記疑似乱数信号のそれ
ぞれを用いて前記搬送波信号を変調することで、複数種
類の送信信号を生成する変調手段と、互いに異なる位置
に配置された複数の送信部を備え、該送信部のそれぞれ
から互いに異なる送信信号を超音波に変換して測定対象
物に向けて送信する送信手段と、互いに異なる位置に配
置された複数の受信部を備え、前記送信手段によって送
信され前記測定対象物によって反射された超音波を前記
受信部のそれぞれによって受信し、受信した超音波を電
気信号(以下「受信信号」という)に変換して出力する
受信手段と、前記受信信号と前記疑似乱数信号それぞれ
との相関をとることで、前記受信信号に含まれている信
号を前記疑似乱数信号ごとに分離する分離手段と、前記
分離手段によって分離した信号について開口合成をおこ
なうことで、前記測定対象物の位置および/または形状
を求めるデータ処理手段と、を備えたことを特徴とする
ものである。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an ultrasonic probe, comprising: a transmitting means for generating a signal of a predetermined frequency (hereinafter referred to as a "carrier signal"); And, by modulating the carrier signal using each of the pseudo-random number signal, comprising a modulation means for generating a plurality of types of transmission signals, a plurality of transmission units arranged at different positions from each other, the transmission unit Transmitting means for converting a mutually different transmission signal into an ultrasonic wave and transmitting it toward the measurement target, and a plurality of receiving units arranged at different positions from each other, transmitted by the transmission means and transmitted by the measurement target Receiving means for receiving the reflected ultrasonic wave by each of the receiving units, converting the received ultrasonic wave into an electric signal (hereinafter, referred to as a “received signal”) and outputting the electric signal; A separating unit that separates a signal included in the received signal for each of the pseudo random number signals, and performs aperture synthesis on the signals separated by the separating unit by correlating the received signal with each of the pseudo random number signals. And a data processing means for obtaining the position and / or shape of the object to be measured.

【0010】この請求項2に記載の発明によれば、発信
手段が搬送波信号を生成する。雑音信号生成手段は、互
いに相関がない複数種類の疑似乱数信号を生成する。変
調手段が、疑似乱数信号のそれぞれを用いて搬送波信号
を変調することで、複数種類の送信信号を生成する。送
信手段が、送信部のそれぞれから互いに異なる送信信号
を超音波に変換して測定対象物に向けて送信する。受信
手段が、測定対象物によって反射された超音波を受信部
のそれぞれによって受信し、受信した超音波を電気信号
(受信信号)に変換して出力する。分離手段が、受信信
号と疑似乱数信号それぞれとの相関をとることで、受信
信号に含まれている信号を疑似乱数信号ごとに分離す
る。データ処理手段は、分離手段によって分離した信号
について開口合成をおこなうことで、測定対象物の位置
および/または形状を求める。
According to the second aspect of the present invention, the transmitting means generates a carrier signal. The noise signal generating means generates a plurality of types of pseudo random number signals having no correlation with each other. The modulating means generates a plurality of types of transmission signals by modulating the carrier signal using each of the pseudo-random number signals. A transmission unit converts transmission signals different from each other from each of the transmission units into ultrasonic waves and transmits the ultrasonic waves toward the measurement target. Receiving means receives the ultrasonic wave reflected by the measurement object by each of the receiving units, converts the received ultrasonic wave into an electric signal (received signal), and outputs the electric signal. Separating means separates a signal included in the received signal into each pseudo-random number signal by correlating the received signal with each of the pseudo-random number signals. The data processing unit obtains the position and / or shape of the measurement object by performing aperture synthesis on the signal separated by the separation unit.

【0011】請求項3に係る超音波探査装置は、請求項
2に記載の発明において、前記送信手段は、複数の送信
部から一斉に超音波を送信するものであること、を特徴
とするものである。
According to a third aspect of the present invention, in the ultrasonic exploration apparatus according to the second aspect, the transmitting means transmits ultrasonic waves simultaneously from a plurality of transmitting units. It is.

【0012】この請求項3に記載の発明によれば、送信
手段は、複数の送信部から一斉に超音波を送信する。
According to the third aspect of the present invention, the transmitting means transmits the ultrasonic waves from the plurality of transmitting units all at once.

【0013】請求項4に係る超音波探査装置は、請求項
1〜3のいずれか一つに記載の発明において、前記変調
手段は、前記搬送波信号の位相および振幅を変調するも
のであること、を特徴とするものである。
According to a fourth aspect of the present invention, in the ultrasonic probe according to any one of the first to third aspects, the modulating means modulates a phase and an amplitude of the carrier signal. It is characterized by the following.

【0014】この請求項4に記載の発明によれば、変調
手段は、搬送波信号の位相および振幅を変調する。
According to the present invention, the modulating means modulates the phase and the amplitude of the carrier signal.

【0015】請求項5に係る超音波探査装置は、請求項
1〜4のいずれか一つに記載の発明において、前記疑似
乱数信号は、M系列信号であること、を特徴とするもの
である。
According to a fifth aspect of the present invention, in the ultrasonic probe according to any one of the first to fourth aspects, the pseudo random number signal is an M-sequence signal. .

【0016】この請求項5に記載の発明によれば、疑似
乱数信号としてM系列信号を用いる。
According to the fifth aspect of the present invention, an M-sequence signal is used as the pseudo random number signal.

【0017】請求項6に係る超音波探査装置は、請求項
2〜4のいずれか一つに記載の発明において、前記送信
部は、前記受信部の周囲に複数個が配列されているこ
と、を特徴とするものである。
According to a sixth aspect of the present invention, in the ultrasonic probe according to any one of the second to fourth aspects, a plurality of the transmitting units are arranged around the receiving unit. It is characterized by the following.

【0018】この請求項6に記載の発明によれば、送信
部を、受信部の周囲に複数個が配列する。
According to the present invention, a plurality of transmitting units are arranged around the receiving unit.

【0019】請求項7に係る超音波解析装置は、疑似乱
数信号によって搬送波を変調することで得られた信号を
超音波に変換しこの超音波を測定対象物へ向けて照射す
るとともに、その反射を受信することで得られた受信信
号を解析することで測定対象物を探査する超音波探査装
置に用いられる超音波解析装置において、前記受信信号
と前記変調に用いられた疑似乱数信号とが入力され、前
記受信信号と前記疑似乱数信号との相関をとることで、
前記受信信号に含まれている信号を分離する分離手段
と、前記分離手段が分離した信号について開口合成をお
こなうことで、前記測定対象物の位置および/または形
状を求めるデータ処理手段と、を備えたことを特徴とす
るものである。
According to a seventh aspect of the present invention, an ultrasonic analyzer converts a signal obtained by modulating a carrier with a pseudo-random number signal into an ultrasonic wave, irradiates the ultrasonic wave to a measurement object, and reflects the ultrasonic wave on the object. In an ultrasonic analyzer used for an ultrasonic probe that searches for an object to be measured by analyzing a received signal obtained by receiving the received signal, the received signal and the pseudo random number signal used for the modulation are input. The correlation between the received signal and the pseudo random number signal,
Separating means for separating a signal included in the received signal; and data processing means for performing aperture synthesis on the signal separated by the separating means to obtain the position and / or shape of the measurement object. It is characterized by having.

【0020】この請求項7に記載の発明によれば、分離
手段には、受信信号と疑似乱数信号との相関をとること
で、受信信号に含まれている信号を分離する。データ処
理手段は、分離手段が分離した信号について開口合成を
おこなうことで、測定対象物の位置および/または形状
を求める。
According to the present invention, the separating means separates the signal included in the received signal by correlating the received signal with the pseudo random number signal. The data processing unit obtains the position and / or shape of the measurement target by performing aperture synthesis on the signal separated by the separation unit.

【0021】請求項8に係る超音波解析装置は、請求項
7に記載の発明において、前記分離手段は、複数の疑似
乱数信号が入力可能に構成されており、前記分離を疑似
乱数信号ごとにおこなうものであること、を特徴とする
ものである。
According to an eighth aspect of the present invention, in the ultrasonic analysis apparatus according to the seventh aspect, the separation means is configured to be capable of inputting a plurality of pseudo random number signals, and the separation is performed for each pseudo random number signal. Is to be performed.

【0022】この請求項8に記載の発明によれば、分離
手段は、分離を入力された疑似乱数信号ごとにおこな
う。
According to the eighth aspect of the present invention, the separating means performs the separation for each of the inputted pseudo random number signals.

【0023】請求項9に係る超音波解析装置は、請求項
8に記載の発明において、前記疑似乱数信号は、M系列
信号であること、を特徴とするものである。
According to a ninth aspect of the present invention, in the ultrasonic analysis apparatus according to the eighth aspect, the pseudo random number signal is an M-sequence signal.

【0024】この請求項9に記載の発明によれば、疑似
乱数信号として、M系列信号を用いる。
According to the present invention, an M-sequence signal is used as the pseudo random number signal.

【0025】請求項10に係る超音波探査方法は、超音
波を測定対象物へ向けて照射するとともに、その反射を
受信することで得られた受信信号を解析することで測定
対象物を探査する超音波探査方法において、所定周波数
の信号(以下「搬送波信号」という)を疑似乱数信号に
よって変調することで送信信号を生成し、この送信信号
を超音波に変換して測定対象物に向けて送信するととも
に、前記測定対象物によって反射された超音波を受信
し、その受信信号と前記疑似乱数信号との相関をとるこ
とで前記受信信号に含まれている信号を分離し、該分離
した信号について開口合成をおこなうことで前記測定対
象物の位置および/または形状を求めること、を特徴と
するものである。
According to a tenth aspect of the present invention, an ultrasonic search method irradiates an ultrasonic wave toward an object to be measured, and analyzes the received signal obtained by receiving the reflection to search for the object to be measured. In the ultrasonic detection method, a transmission signal is generated by modulating a signal of a predetermined frequency (hereinafter, referred to as a “carrier signal”) with a pseudo-random number signal, and the transmission signal is converted into an ultrasonic wave and transmitted to an object to be measured. While receiving the ultrasonic wave reflected by the measurement object, separating the signal included in the received signal by correlating the received signal with the pseudo random number signal, and regarding the separated signal The position and / or shape of the object to be measured is obtained by performing aperture synthesis.

【0026】この請求項10に記載の発明によれば、超
音波を測定対象物へ向けて照射するとともに、その反射
を受信することで得られた受信信号を解析することで測
定対象物を探査する超音波探査方法において、搬送波信
号を疑似乱数信号によって変調することで送信信号を生
成する。そして、この送信信号を超音波に変換して測定
対象物に向けて送信する。測定対象物によって反射され
た超音波を受信し、その受信信号と疑似乱数信号との相
関をとることで受信信号に含まれている信号を分離す
る。そして、分離した信号について開口合成をおこなう
ことで測定対象物の位置および/または形状を求める。
According to the tenth aspect of the present invention, the measurement object is searched for by irradiating the ultrasonic wave toward the measurement object and analyzing a reception signal obtained by receiving the reflection. In this method, a transmission signal is generated by modulating a carrier signal with a pseudo random number signal. Then, the transmission signal is converted into an ultrasonic wave and transmitted toward the object to be measured. The ultrasonic wave reflected by the object to be measured is received, and a signal included in the received signal is separated by correlating the received signal with a pseudo random number signal. Then, by performing aperture synthesis on the separated signals, the position and / or shape of the measurement target is obtained.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下、この発明につき図面を参照
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the embodiment.

【0028】この実施の形態は、多数の送信点からの測
定を同時に実施することで、測定時間の短縮などを図っ
たことを主な特徴とするものである。より具体的には、
複数の超音波送信器120によって一斉に超音波を照射
することで、測定を行っている。またこれを実現するた
め、超音波信号の生成時には疑似乱数信号によって変調
処理を、また、その受信信号の分離時にはこの疑似乱数
信号との相互相関処理を行っている。以下、詳細に説明
する。
This embodiment is characterized mainly in that measurement from a large number of transmission points is performed simultaneously to shorten the measurement time. More specifically,
The measurement is performed by simultaneously irradiating the ultrasonic waves by the plural ultrasonic transmitters 120. In order to realize this, modulation processing is performed by using a pseudo random number signal when generating an ultrasonic signal, and cross-correlation processing with the pseudo random number signal is performed when separating a received signal. The details will be described below.

【0029】本実施の形態の超音波探査装置100は、
信号発生装置110と、超音波送信器120(1)〜
(n)と、超音波受信器130(1)〜(m)と、信号
分離装置140(1)〜(m)と、データ処理装置15
0と、表示装置160を備えて構成されている。なお、
超音波送信器120(1)〜(n)については、それぞ
れを特に区別する必要がない場合には、単に超音波送信
器120と記すことがある。超音波受信器130(1)
〜(m)、信号分離装置140(1)〜(m)について
も同様に単に超音波受信器130、信号分離装置140
と記すことがある。図面での記載も同様である。
The ultrasonic probe 100 according to the present embodiment
Signal generator 110 and ultrasonic transmitters 120 (1)-
(N), the ultrasonic receivers 130 (1) to (m), the signal separators 140 (1) to (m), and the data processor 15
0 and a display device 160. In addition,
The ultrasonic transmitters 120 (1) to 120 (n) may be simply referred to as the ultrasonic transmitter 120 unless it is necessary to distinguish each of them. Ultrasonic receiver 130 (1)
To (m) and the signal separation devices 140 (1) to (m), similarly,
It may be written. The same applies to the description in the drawings.

【0030】信号発生装置110は、超音波の元になる
電気信号を発生させるものである。この実施の形態の信
号発生装置110は、図2に示すとおり、発信器111
と、疑似乱数信号発生器112と、変調回路113
(1)〜(n)とを備えて構成されている。なお、変調
回路113(1)〜(n)については、それぞれを特に
区別する必要がない場合には、単に変調回路113と記
すことがある。図面での記載も同様である。
The signal generator 110 generates an electric signal which is a source of ultrasonic waves. As shown in FIG. 2, a signal generator 110 according to this embodiment has a transmitter 111
, A pseudo-random signal generator 112, a modulation circuit 113
(1) to (n). The modulation circuits 113 (1) to 113 (n) may be simply referred to as the modulation circuit 113 unless it is necessary to distinguish each of them. The same applies to the description in the drawings.

【0031】発信器111は、測定対象物P内部を探査
するための、所定周波数の搬送波を発生させるためのも
のである。この実施の形態では、周波数5〜10MHz
の信号を発生させている。発信器111は、生成した搬
送波の信号を変調回路113へと出力している。
The transmitter 111 is for generating a carrier wave of a predetermined frequency for exploring the inside of the object P to be measured. In this embodiment, the frequency is 5 to 10 MHz.
Signal is generated. The transmitter 111 outputs the generated carrier signal to the modulation circuit 113.

【0032】なお、この実施の形態では、超音波送信器
120を複数個備え且つこれらから一斉に(あるいは、
ほぼ同時に)超音波を送信する関係上、この搬送波をそ
のまま超音波送信器120から出力させたのでは互いに
干渉し分離できなくなってしまう。このため、各搬送波
の分離を可能とするため、後述するM系列信号で変調し
た上で超音波送信器120から出力するようになってい
る。
In this embodiment, a plurality of ultrasonic transmitters 120 are provided, and all of them are simultaneously (or
Due to the transmission of the ultrasonic waves (at substantially the same time), if the carrier waves are output from the ultrasonic transmitter 120 as they are, they interfere with each other and cannot be separated. Therefore, in order to enable separation of each carrier, the carrier is modulated by an M-sequence signal described later and then output from the ultrasonic transmitter 120.

【0033】疑似乱数信号発生器112は、発信器11
1の発生した搬送波を変調するための疑似乱数信号MS
(1)〜(n)を発生させるものである。なお、疑似乱
数信号MS(1)〜(n)については、それぞれを特に
区別する必要がない場合には、単に疑似乱数信号MSと
記すことがある。図面での記載も同様である。この疑似
乱数信号MS(1)〜(n)は、互いに相関がなく、且
つ、周期が十分に長いものを用いている。
The pseudo-random number signal generator 112
Pseudo random number signal MS for modulating the carrier wave generated by
(1) to (n) are generated. The pseudo-random number signals MS (1) to (n) may be simply referred to as pseudo-random number signals MS unless it is necessary to distinguish them. The same applies to the description in the drawings. The pseudo random number signals MS (1) to (n) have no correlation with each other and have sufficiently long periods.

【0034】この疑似乱数信号発生器112は、発生さ
せた疑似乱数信号MSを変調回路113および相関器1
42へ出力している。この場合、各変調回路113およ
び相関器142へは、互いに異なる疑似乱数信号MSが
出力されている。たとえば、疑似乱数信号MS(1)
は、変調回路113(1)および相関器142(1)へ
出力されている。また、疑似乱数信号MS(2)は、変
調回路113(2)および相関器142(2)へ出力さ
れている。
The pseudo random number signal generator 112 converts the generated pseudo random number signal MS into a modulation circuit 113 and a correlator 1.
42. In this case, different pseudo random number signals MS are output to each modulation circuit 113 and correlator 142. For example, a pseudo random number signal MS (1)
Are output to the modulation circuit 113 (1) and the correlator 142 (1). Further, the pseudo random number signal MS (2) is output to the modulation circuit 113 (2) and the correlator 142 (2).

【0035】この実施の形態では、この疑似乱数信号M
Sとして、優れた相関特性を有するM系列信号を採用し
ている。M系列(maximal−length sequence)信号と
は、疑似ランダム系列(PN)信号のうち、ある長さの
シフトレジスタにおいて、各段の状態の論理結合をシフ
トレジスタの入力へフィードバックすることによって生
成される符号系列のうち、その周期が最長になる系列を
言う。Nをシフトレジスタの段数とすると、その単位長
さ(L)は、下記式(1)で定義される。
In this embodiment, the pseudo random number signal M
As S, an M-sequence signal having excellent correlation characteristics is adopted. The M-sequence (maximal-length sequence) signal is generated by feeding back the logical combination of the state of each stage to the input of the shift register in a shift register of a certain length in the pseudo random sequence (PN) signal. It refers to a sequence whose code cycle is the longest among the code sequences. Assuming that N is the number of stages of the shift register, the unit length (L) is defined by the following equation (1).

【0036】L=2N−1 …(1) この単位長さ(L)が長いほど、S/N比が向上し、よ
りよい結果が得られる。この実施の形態では、Nが10
以上のM系列信号を用いている。実際のM系列信号の長
さは、この単位長さLにサンプリングクロックを積算す
ることで得られる。
L = 2 N -1 (1) As the unit length (L) is longer, the S / N ratio is improved, and better results are obtained. In this embodiment, N is 10
The above M-sequence signal is used. The actual length of the M-sequence signal is obtained by multiplying the unit length L by the sampling clock.

【0037】変調回路113は、疑似乱数信号発生器1
12から入力される疑似乱数信号MSによって、発信器
111が生成した搬送波(信号)を変調するためのもの
である。実際の変調回路113は、乗算器を備えて構成
されている。変調回路113(1)〜(n)は、超音波
送信器120(1)〜(n)と互いに1対1の関係で対
応づけられている。そして、変調回路113は、演算結
果(変調結果)を対応する超音波送信器120へと出力
するようになっている。
The modulation circuit 113 includes the pseudo random number signal generator 1
The carrier (signal) generated by the transmitter 111 is modulated by the pseudo random number signal MS input from the transmitter 12. The actual modulation circuit 113 includes a multiplier. The modulation circuits 113 (1) to 113 (n) are associated with the ultrasonic transmitters 120 (1) to 120 (n) in a one-to-one relationship. Then, the modulation circuit 113 outputs the operation result (modulation result) to the corresponding ultrasonic transmitter 120.

【0038】超音波送信器120は、信号発生装置11
0から入力される信号に基づいて超音波を発生させるも
のである。この超音波送信器120は、図示しない固定
機構によって、液状媒体中の所定位置に固定して配置さ
れている(図3参照)。当然、超音波送信器120と測
定対象物Pとの位置関係は、あらかじめ既知である。
The ultrasonic transmitter 120 is connected to the signal generator 11
The ultrasonic wave is generated based on a signal input from 0. The ultrasonic transmitter 120 is fixedly arranged at a predetermined position in the liquid medium by a fixing mechanism (not shown) (see FIG. 3). Naturally, the positional relationship between the ultrasonic transmitter 120 and the measuring object P is known in advance.

【0039】超音波受信器130は、超音波を受信する
ためのものである。この超音波受信器130は、受信し
た超音波を信号分離装置140へと出力する構成となっ
ている。この超音波受信器130は、図示しない固定機
構によって、液状媒体中の所定位置に固定して配置され
ている(図3参照)。当然、超音波受信器130と測定
対象物Pとの位置関係は、あらかじめ既知である。当
然、超音波送信器120との位置関係も既知である。
The ultrasonic receiver 130 is for receiving ultrasonic waves. The ultrasonic receiver 130 is configured to output the received ultrasonic waves to the signal separating device 140. The ultrasonic receiver 130 is fixedly arranged at a predetermined position in the liquid medium by a fixing mechanism (not shown) (see FIG. 3). Naturally, the positional relationship between the ultrasonic receiver 130 and the measurement target P is known in advance. Naturally, the positional relationship with the ultrasonic transmitter 120 is also known.

【0040】この実施の形態では、測定範囲を広くする
ため、複数の超音波送信器120を超音波受信器130
の周囲にできるだけ互いの間隔を広げて配置している。
具体的には、図3に示すとおり、この実施の形態では、
超音波送信器120および超音波受信器130をマトリ
クス状に配置している。そして、超音波受信器130の
周囲の直交する2方向(4方)には、超音波送信器12
0がそれぞれ配置されている。なお、超音波送信器12
0および超音波受信器130を1列に直列して配置させ
る場合には、これらを交互に配置する(つまり、超音波
受信器130の両側に超音波送信器120を配置す
る)。
In this embodiment, the plurality of ultrasonic transmitters 120 are connected to the ultrasonic
Around each other as far as possible from each other.
Specifically, as shown in FIG. 3, in this embodiment,
The ultrasonic transmitter 120 and the ultrasonic receiver 130 are arranged in a matrix. In two orthogonal directions (four directions) around the ultrasonic receiver 130, the ultrasonic transmitter 12
0 are respectively arranged. The ultrasonic transmitter 12
When the zeros and the ultrasonic receivers 130 are arranged in series in a row, they are alternately arranged (that is, the ultrasonic transmitters 120 are arranged on both sides of the ultrasonic receiver 130).

【0041】信号分離装置140は、超音波受信器13
0によって受信された超音波を、その由来ごとに分離す
るためのものである。この実施の形態の信号分離装置1
40は、図4に示すとおり、信号分配器141と、相関
器142(1)〜(n)とを備えて構成されている。な
お、相関器142(1)〜(n)については、それぞれ
を区別する必要のない場合には、単に、相関器142と
記すことがある。図面での記載も同様である。
The signal separating device 140 includes the ultrasonic receiver 13
This is for separating the ultrasonic wave received by 0 for each origin. Signal separation device 1 of this embodiment
As shown in FIG. 4, 40 includes a signal distributor 141 and correlators 142 (1) to (n). The correlators 142 (1) to (n) may be simply referred to as the correlators 142 when it is not necessary to distinguish them. The same applies to the description in the drawings.

【0042】信号分配器141は、超音波受信器130
によって受信された信号を、相関器142(1)〜
(n)へと分配するものである。
The signal distributor 141 includes the ultrasonic receiver 130
Are received by the correlators 142 (1)-
(N).

【0043】相関器142は、超音波受信器130によ
って受信された信号を、当該信号の由来となった超音波
送信器120ごとに分離するものである。この分離は、
この受信信号と、疑似乱数信号発生器112によって発
生された疑似乱数信号MSとの相互相関を求めることで
おこなうようになっている。先に述べたとおり、相関器
142(1)〜(n)へ入力されている疑似乱数信号M
S(1)〜(n)は、互いに異なっており且つ相関がな
い。
The correlator 142 separates the signal received by the ultrasonic receiver 130 for each ultrasonic transmitter 120 from which the signal is derived. This separation is
This is performed by obtaining a cross-correlation between the received signal and the pseudo random number signal MS generated by the pseudo random number signal generator 112. As described above, the pseudo random number signal M input to the correlators 142 (1) to (n)
S (1) to S (n) are different from each other and have no correlation.

【0044】データ処理装置150(図1)は、信号分
離装置140によって分離された信号について空間的統
計処理、ここでは開口合成(Aperture Synthesis)を
おこなうことで、測定対象物Pの3次元形状などを求め
るものである。このデータ処理装置150は、具体的に
は、DSP(Digital Signal Processor)、マイクロ
プロセッサ、メモリなどによって構成されている。測
定、データ処理に必要な各種データ(たとえば、超音波
送信器120および超音波受信器130の位置を示す情
報)、プログラムは、あらかじめメモリに格納されてい
る。
The data processing device 150 (FIG. 1) performs spatial statistical processing on the signal separated by the signal separating device 140, in this case, aperture synthesis (Aperture Synthesis) to obtain the three-dimensional shape of the object P to be measured. Is what you want. The data processing device 150 is specifically configured by a DSP (Digital Signal Processor), a microprocessor, a memory, and the like. Various data required for measurement and data processing (for example, information indicating the positions of the ultrasonic transmitter 120 and the ultrasonic receiver 130) and programs are stored in a memory in advance.

【0045】表示装置160(図1)は、データ処理装
置150によって得られた結果、たとえば、測定対象物
Pの位置、3次元画像などを表示するためのものであ
る。
The display device 160 (FIG. 1) is for displaying the result obtained by the data processing device 150, for example, the position of the measuring object P, a three-dimensional image, and the like.

【0046】特許請求の範囲において言う「搬送波信
号」とは、この実施の形態においては発信器111が生
成、出力する信号に相当する。「発信手段」とは、発信
器111に相当する。「雑音信号生成手段」とは、疑似
乱数信号発生器112に相当する。「変調手段」とは、
変調回路113に相当する。「送信信号」とは、疑似乱
数信号によって変調された後の信号、つまり変調回路1
13が超音波送信器120へと出力する信号に相当す
る。「送信部」とは、超音波送信器120に相当する。
「送信手段」とは、超音波送信器120、さらには、こ
れを作動、固定などさせるためのすべての機構等を含ん
で構成される。「受信部」とは、超音波受信器130に
相当する。「受信手段」とは、超音波受信器130、さ
らには、これを作動、固定などさせるためのすべての機
構等を含んで構成される。「受信信号」とは、超音波受
信器130が信号分離装置140へと出力する信号に相
当する。「分離手段」は、信号分離装置140によって
実現されている。「データ処理手段」は、データ処理装
置150に相当する。ただし、上記各部は互いに密接に
連係して動作しており、ここで述べた対応関係は厳密な
ものではない。
The “carrier signal” in the claims corresponds to a signal generated and output by the transmitter 111 in this embodiment. “Transmitting means” corresponds to the transmitter 111. “Noise signal generating means” corresponds to the pseudo random number signal generator 112. "Modulation means"
It corresponds to the modulation circuit 113. The “transmission signal” is a signal modulated by a pseudo random number signal, that is, the modulation circuit 1
13 corresponds to a signal output to the ultrasonic transmitter 120. The “transmitter” corresponds to the ultrasonic transmitter 120.
The “transmitting means” includes the ultrasonic transmitter 120 and all mechanisms for operating and fixing the ultrasonic transmitter 120. The “receiving unit” corresponds to the ultrasonic receiver 130. The “receiving means” includes the ultrasonic receiver 130 and all mechanisms for operating and fixing the ultrasonic receiver 130. The “received signal” corresponds to a signal output from the ultrasonic receiver 130 to the signal separation device 140. The “separating unit” is realized by the signal separating device 140. “Data processing means” corresponds to the data processing device 150. However, the above components operate in close cooperation with each other, and the correspondence described here is not strict.

【0047】次に動作を説明する。まず、超音波の送信
動作について図1、図2および図5を用いて述べる。測
定の開始に先立って、測定対象物Pを水などの液状媒体
中に沈める。超音波送信器120および超音波受信器1
30もこの液状媒体中に位置している。
Next, the operation will be described. First, the transmission operation of the ultrasonic wave will be described with reference to FIGS. Prior to the start of the measurement, the measuring object P is submerged in a liquid medium such as water. Ultrasonic transmitter 120 and ultrasonic receiver 1
30 is also located in this liquid medium.

【0048】測定を開始すると、信号発生装置110で
は、発信器111が搬送波信号を、一方、疑似乱数信号
発生器112が疑似乱数信号(具体的には、M系列信
号)MSを生成する。変調回路113は、図5に示すと
おり、この搬送波信号の位相および振幅をこの疑似乱数
信号MSによって変調する。
When the measurement is started, in the signal generator 110, the transmitter 111 generates a carrier signal, and the pseudo random number signal generator 112 generates a pseudo random number signal (specifically, an M-sequence signal) MS. As shown in FIG. 5, the modulation circuit 113 modulates the phase and amplitude of the carrier signal with the pseudo random number signal MS.

【0049】変調回路113は、この変調後の信号を超
音波送信器120へと出力する。超音波送信器120
は、この信号(電気信号)を超音波に変換した上で、測
定対象物Pへ向けて発射することになる。この超音波
は、それぞれ測定対象物Pによって反射され、その反射
波が超音波受信器130によって受信されることにな
る。
The modulation circuit 113 outputs the modulated signal to the ultrasonic transmitter 120. Ultrasonic transmitter 120
Converts this signal (electric signal) into an ultrasonic wave and then emits it toward the measurement object P. The ultrasonic waves are respectively reflected by the measurement object P, and the reflected waves are received by the ultrasonic receiver 130.

【0050】次に、超音波の受信解析動作について図
1、図4および図6を用いて述べる。超音波受信器13
0は、受信した超音波を電気信号(以下「受信信号」)
に変換した上で、信号分離装置140へと出力する。信
号分配器141はこの受信信号を、相関器142のそれ
ぞれへと分配し入力させる。
Next, the operation of analyzing the reception of ultrasonic waves will be described with reference to FIGS. 1, 4 and 6. FIG. Ultrasonic receiver 13
0 indicates the received ultrasonic wave as an electric signal (hereinafter, "received signal")
After that, the signal is output to the signal separation device 140. The signal distributor 141 distributes the received signal to each of the correlators 142 for input.

【0051】相関器142は、疑似乱数信号発生器11
2から疑似乱数信号(ここでは、M系列信号)MSが入
力されている。相関器142は、図6に示すとおり、こ
の疑似乱数信号MSと受信信号との相関をとることで、
対応する超音波送信器120からの反射波を分離する。
この場合、相関器142(1)〜(n)のそれぞれに入
力されている疑似乱数信号MSは互いに相関がない。し
たがって、各相関器142は、自らに入力されているの
と同じ疑似乱数信号MSによって変調された信号に対応
する信号だけを確実に分離することができる。たとえ
ば、相関器142(1)は、超音波送信器120(1)
に由来するものだけを分離している。また、相関器14
2(2)は、超音波送信器120(2)に由来するもの
だけを分離している。
The correlator 142 includes the pseudo random number signal generator 11
2, a pseudo random number signal (here, an M-sequence signal) MS is input. The correlator 142 correlates the pseudo random number signal MS with the received signal as shown in FIG.
The reflected waves from the corresponding ultrasonic transmitter 120 are separated.
In this case, the pseudo random number signals MS input to each of the correlators 142 (1) to (n) have no correlation with each other. Therefore, each correlator 142 can reliably separate only a signal corresponding to a signal modulated by the same pseudo random number signal MS that is input to itself. For example, the correlator 142 (1) includes the ultrasonic transmitter 120 (1)
Only those originating from. Further, the correlator 14
2 (2) separates only those originating from the ultrasonic transmitter 120 (2).

【0052】このように相関器142は、超音波受信器
130が受信した信号(受信信号)を、その由来ごとに
分離し、分離した信号をデータ処理装置150へと出力
する。この実施の形態では、変調および分離(復調)に
おける信号処理に相関特性に優れたM系列信号を採用す
るとともに、その長さも十分に長くしているため、分離
はより確実におこなわれる。なお、長い疑似乱数信号で
は、疑似乱数信号同士が互いに部分的に近似してしまう
ことがある。そして、このような部分的な近似に起因し
たピークが生じてしまうことがある。しかし、このよう
な要因で生じるピークは発生があらかじめ予測できるた
め、信号処理によって除去することができる。
As described above, the correlator 142 separates the signal (received signal) received by the ultrasonic receiver 130 for each origin, and outputs the separated signal to the data processing device 150. In this embodiment, an M-sequence signal having excellent correlation characteristics is used for signal processing in modulation and separation (demodulation), and the length is sufficiently long, so that separation is performed more reliably. In the case of a long pseudo-random number signal, the pseudo-random number signals may partially approximate each other. And a peak resulting from such partial approximation may occur. However, peaks caused by such factors can be predicted in advance, and can be removed by signal processing.

【0053】データ処理装置150は、各相関器142
から入力された信号に対して開口合成をおこなうこと
で、測定対象物Pの3次元形状等を示すデータを求め
る。以下この開口合成の原理を図7を用いて簡単に述べ
る。
The data processing device 150 includes the correlator 142
By performing aperture synthesis on the signal input from the CPU, data indicating the three-dimensional shape or the like of the measurement target P is obtained. Hereinafter, the principle of the aperture synthesis will be briefly described with reference to FIG.

【0054】相関器142によって分離された信号に含
まれているピークのタイミングは、その相関器142で
の分離に用いられた疑似乱数信号MSによって変調され
た超音波が、超音波受信器130に到達した時刻を示し
ている。したがって、超音波を送信した時刻からそのピ
ークまでの経過時間(図7におけるt11、t12、t21
22)は、辿ってきた経路[超音波送信器120−−測
定対象物P−−超音波受信器130]の長さと対応して
いる。なお、t11は、図7における送信点1−−測定対
象物P−−受信点1という経路を辿った超音波について
の経過時間である。t12は、送信点1−−測定対象物P
−−受信点2という経路を辿った超音波についての経過
時間である。t21は、送信点2−−測定対象物P−−受
信点1という経路を辿った超音波についての経過時間で
ある。t22は、送信点2−−測定対象物P−−受信点2
という経路を辿った超音波についての経過時間である。
νは、液状媒体中での超音波の速度に対応した比例定数
である。
The timing of the peak included in the signal separated by the correlator 142 is such that the ultrasonic wave modulated by the pseudo random number signal MS used for the separation by the correlator 142 is transmitted to the ultrasonic receiver 130. Indicates the time of arrival. Therefore, the elapsed time from the time when the ultrasonic wave was transmitted to its peak (t 11 , t 12 , t 21 ,
t 22 ) corresponds to the length of the path [ultrasonic transmitter 120 測定 measurement object P 超 ultrasonic receiver 130] that has been followed. Incidentally, t 11 is the time elapsed for the ultrasonic wave following the routes of transmission points 1-- measuring object P-- reception point 1 in FIG. t 12 is the transmission point 1—the object P to be measured
--- It is the elapsed time of the ultrasonic wave following the route of the receiving point 2. t 21 is the time elapsed for the ultrasonic wave following the routes of transmission points 2-- measured object P-- receiving point 1. t 22, the transmission point 2 - the measuring object P-- receiving point 2
It is the elapsed time of the ultrasonic wave following the path.
ν is a proportional constant corresponding to the velocity of the ultrasonic wave in the liquid medium.

【0055】したがって、ある送信点から送信した超音
波が辿った経路長を満たす位置の集合(すなわち、送信
点および受信点を焦点とする楕円体であって、その表面
上の任意の位置と両焦点との距離の和が上記経過時間に
相当する楕円体の表面)を、様々な受信点での測定デー
タに基づいて求める。このようにして求められた各楕円
体表面の交点が測定対象物Pの位置である。
Therefore, a set of positions satisfying the path length traced by the ultrasonic wave transmitted from a certain transmission point (that is, an ellipsoid having the transmission point and the reception point as focal points, and an arbitrary position on the surface and both positions) An ellipsoidal surface whose sum of the distance to the focal point corresponds to the elapsed time) is obtained based on measurement data at various reception points. The intersection of each ellipsoidal surface thus obtained is the position of the measuring object P.

【0056】さらに、同様の演算処理を、より多数の送
信点、受信点での測定結果についておこなうことで、測
定対象物Pの3次元形状等を示すデータ(たとえば、表
面各所の座標データ)を得ることができる。
Further, by performing the same arithmetic processing on the measurement results at a larger number of transmission points and reception points, data indicating the three-dimensional shape and the like of the measuring object P (for example, coordinate data at various points on the surface) can be obtained. Obtainable.

【0057】具体的な演算には様々な手法があるが、こ
の実施の形態ではどのような手法を用いても構わない。
開口合成自体については既に周知の技術であるためこれ
以上の詳細な説明は省略する。
There are various methods for specific calculations, but any method may be used in this embodiment.
Since the aperture synthesis itself is a well-known technique, further detailed description will be omitted.

【0058】上述した開口合成によって測定対象物Pの
3次元形状等を示すデータを求めた後、データ処理装置
150は、このデータに基づいて測定対象物Pを描いた
画像データを作成するとともに、これを表示装置160
へと出力する。表示装置160は、この画像データ、す
なわち、測定対象物Pの3次元画像を表示する。
After obtaining the data indicating the three-dimensional shape and the like of the measuring object P by the above-described aperture synthesis, the data processing device 150 creates image data depicting the measuring object P based on this data, The display device 160
Output to The display device 160 displays this image data, that is, a three-dimensional image of the measuring object P.

【0059】以上説明したとおりこの実施の形態の超音
波探査装置によれば、以下のような効果が得られる。
As described above, according to the ultrasonic probe of this embodiment, the following effects can be obtained.

【0060】超音波信号は一般に減衰が大きいが、この
実施の形態では疑似乱数信号を用いて搬送波を変調して
いるため減衰の影響を受けにくい。また、受信信号の分
離は、この変調に用いた疑似乱数信号と受信信号との相
互相関をとることで行っているため、これらを確実に分
離できる。したがって、測定感度が高い。この実施の形
態では、位相と振幅との両方について変調を行っている
ため、このような効果がより高い。また、疑似乱数信号
として、優れた相関特性を備えたM系列信号を採用して
いるため、このような効果はさらに高い。また、M系列
信号は、生成のための回路も簡易ですむという利点もあ
る。
The ultrasonic signal generally has a large attenuation, but in this embodiment, the carrier is modulated by using a pseudo-random number signal, so that it is hardly affected by the attenuation. Further, the separation of the received signal is performed by cross-correlating the pseudo-random number signal used for this modulation with the received signal, so that these can be reliably separated. Therefore, the measurement sensitivity is high. In this embodiment, since both the phase and the amplitude are modulated, such an effect is higher. Further, such an effect is further enhanced because an M-sequence signal having excellent correlation characteristics is employed as the pseudo random number signal. Also, the M-sequence signal has an advantage that a circuit for generation is simple.

【0061】この実施の形態では、複数の超音波送信器
120を用い、且つ、これらから一斉に超音波を送信さ
せるため、測定に要する時間が短くて済む。このように
超音波を一斉に送信した場合、各超音波送信器120が
送信する超音波が互いに干渉を起こしてしまう。しか
し、先に述べたとおりこの実施の形態では、搬送波の変
調、受信信号の分離に疑似乱数信号を用いているため、
このような干渉が生じていても受信信号を確実に分離で
きる。したがって、何ら問題はない。
In this embodiment, since a plurality of ultrasonic transmitters 120 are used, and the ultrasonic waves are transmitted from them at once, the time required for the measurement can be reduced. When the ultrasonic waves are transmitted at the same time, the ultrasonic waves transmitted by the respective ultrasonic transmitters 120 interfere with each other. However, as described above, in this embodiment, since a pseudo-random number signal is used for modulating a carrier wave and separating a received signal,
Even if such interference occurs, the received signal can be reliably separated. Therefore, there is no problem at all.

【0062】さらには、複数の超音波送信器120を超
音波受信器130の周囲に配置しているため、超音波受
信器130の受信可能な範囲を十分に活かすことができ
る。つまり、測定可能な範囲が広い。
Further, since the plurality of ultrasonic transmitters 120 are arranged around the ultrasonic receiver 130, the receivable range of the ultrasonic receiver 130 can be fully utilized. That is, the measurable range is wide.

【0063】上述した実施の形態では、超音波送信器1
20等を移動させる機構が不要である。したがって保守
などの面で有利である。また、超音波送信器120を完
全に固定してその位置をより精密に規定することができ
るため、より高い測定精度を実現することができる。
In the above embodiment, the ultrasonic transmitter 1
There is no need for a mechanism for moving 20 or the like. Therefore, it is advantageous in terms of maintenance and the like. Further, since the ultrasonic transmitter 120 can be completely fixed and its position can be defined more precisely, higher measurement accuracy can be realized.

【0064】液状媒体の流れは超音波が送信点から受信
点へ至るまでの時間に影響を与えるため、高精度な測定
をおこなうためには液状媒体が完全に静止している状態
で測定をおこなう必要がある。上述した実施の形態では
測定対象物Pを浸す液状媒体中において超音波送信器1
20を移動させる必要がないため液状媒体を完全に静止
させた状態で測定をおこなうことができる。したがっ
て、より高精度な測定を迅速におこなうことが可能であ
る。なお、超音波送信器120を移動させつつ測定をお
こなう従来技術でも、送信点ごとに、液状媒体を完全に
制止するのを待って測定を実施すれば、同様に高精度な
測定が可能である。しかし、液状媒体が静止するまでに
要する時間は非常に長いため実際には困難が多い。
Since the flow of the liquid medium affects the time from the transmission of the ultrasonic wave to the reception point, the measurement is performed in a state where the liquid medium is completely stationary in order to perform a highly accurate measurement. There is a need. In the above-described embodiment, the ultrasonic transmitter 1 is immersed in the liquid medium in which the measurement object P is immersed.
Since the liquid medium 20 does not need to be moved, the measurement can be performed with the liquid medium completely stopped. Therefore, more accurate measurement can be performed quickly. In the related art in which the measurement is performed while moving the ultrasonic transmitter 120, if the measurement is performed after completely stopping the liquid medium for each transmission point, similarly high-precision measurement is possible. . However, the time required for the liquid medium to come to rest is very long, so that there are many difficulties in practice.

【0065】上述した実施の形態では、すべての超音波
送信器120から一斉に超音波を出力することを前提と
していたため、互いに相関がない疑似乱数信号MSだけ
を使用していた。超音波送信器120の送信タイミング
をずらしている場合には、疑似乱数信号MS(1)〜
(n)のすべてが必ずしも互いに相関がないものである
必要はない。たとえば超音波送信器120を第1グルー
プ(超音波送信器120(1)〜(n/2))と、第2
グループ(超音波送信器120(n/2+1)〜
(n))と2つのグループに分けグループごとに十分タ
イミングをずらして送信させる場合には、超音波送信器
120(1)と超音波送信器120(n/2+1)とに
は、相関のある疑似乱数信号(あるいは、同じ疑似乱数
信号)を用いてもよい。
In the above-described embodiment, since it is assumed that ultrasonic waves are output from all the ultrasonic transmitters 120 at the same time, only pseudo random number signals MS having no correlation with each other are used. When the transmission timing of the ultrasonic transmitter 120 is shifted, the pseudo random number signals MS (1) to
Not all of (n) need be necessarily uncorrelated. For example, the ultrasonic transmitter 120 is divided into a first group (the ultrasonic transmitters 120 (1) to (n / 2)) and a second group.
Group (ultrasonic transmitter 120 (n / 2 + 1)-
(N)) and when the transmission is performed with the timing shifted sufficiently for each group, the ultrasonic transmitter 120 (1) and the ultrasonic transmitter 120 (n / 2 + 1) have a correlation. A pseudo random number signal (or the same pseudo random number signal) may be used.

【0066】上述した実施の形態では、測定結果すなわ
ち測定対象物Pの3次元形状などを示すデータを画像化
した上で表示させていたが、測定結果の出力形態はこれ
に限定されるものではない。測定対象物Pの表面形状等
を示すデータ(たとえば、表面各所の座標データ)を表
示装置160に文字として表示させてもかまわない。
In the above-described embodiment, the measurement result, that is, the data indicating the three-dimensional shape of the measurement object P is displayed after being imaged. However, the output form of the measurement result is not limited to this. Absent. Data indicating the surface shape or the like of the measurement target P (for example, coordinate data of various points on the surface) may be displayed on the display device 160 as characters.

【0067】[0067]

【発明の効果】以上説明したように、この発明の超音波
探査方法および装置、超音波解析装置では、迅速且つ高
精度な測定が可能である。より詳細には以下の通りであ
る。
As described above, the ultrasonic detecting method and apparatus and the ultrasonic analyzing apparatus according to the present invention enable quick and highly accurate measurement. The details are as follows.

【0068】請求項1に記載の発明では、疑似乱数信号
を用いて変調および分離を行っているため、信号の分離
が確実である。したがって、測定感度が高い。
According to the first aspect of the present invention, since the modulation and the separation are performed using the pseudo random number signal, the separation of the signal is assured. Therefore, the measurement sensitivity is high.

【0069】請求項2に記載の発明では、疑似乱数信号
を用いて変調および分離を行っているため、信号の分離
が確実である。したがって、測定感度が高い。また、送
信部および受信部を複数備えているため、より高精度な
測定が可能である。この場合、送信部等を移動させる必
要がないため、測定対象物が浸されている媒体の静止状
態を保ったままで測定できる。したがって、測定はより
迅速、且つ、高精度である。
According to the second aspect of the present invention, since the modulation and the separation are performed using the pseudo random number signal, the separation of the signal is assured. Therefore, the measurement sensitivity is high. Further, since a plurality of transmission units and reception units are provided, more accurate measurement is possible. In this case, since it is not necessary to move the transmission unit or the like, the measurement can be performed while the stationary state of the medium in which the measurement object is immersed is maintained. Therefore, the measurement is faster and more accurate.

【0070】請求項3に記載の発明では、複数の送信部
から一斉に超音波を送信するため、測定時間が短くてす
む。この場合、各送信部から送信する超音波が互いに干
渉することが考えられるが、信号の変調、分離に疑似乱
数信号を用いているため、各超音波に起因した信号のそ
れぞれを確実に分離することができる。したがって、測
定精度(あるいは、測定感度)の低下を招くことはな
い。
According to the third aspect of the present invention, since the ultrasonic waves are transmitted simultaneously from the plurality of transmission units, the measurement time is short. In this case, it is conceivable that the ultrasonic waves transmitted from each transmitting unit interfere with each other, but since the pseudo random number signal is used for the modulation and separation of the signals, each of the signals caused by each ultrasonic wave is surely separated. be able to. Therefore, a decrease in measurement accuracy (or measurement sensitivity) does not occur.

【0071】請求項4に記載の発明では、位相と振幅と
の両方を用いて変調することで、分離がより確実なもの
となる。したがって、より高い測定感度が得られる。
According to the fourth aspect of the present invention, by performing modulation using both the phase and the amplitude, the separation can be made more reliable. Therefore, higher measurement sensitivity can be obtained.

【0072】請求項5に記載の発明では、M系列信号は
相関特性が優れているため、より確実に信号を分離でき
る。
According to the fifth aspect of the present invention, since the M-sequence signal has excellent correlation characteristics, the signal can be more reliably separated.

【0073】請求項6に記載の発明では、送信部による
超音波を送信可能な範囲、受信部によって超音波を受信
可能な範囲を最大限生かすことができる。したがって、
測定可能な範囲が広い。
According to the sixth aspect of the present invention, it is possible to make the most of the range in which the transmitting unit can transmit ultrasonic waves and the range in which the receiving unit can receive ultrasonic waves. Therefore,
The measurable range is wide.

【0074】請求項7に記載の発明では、変調に用いら
れた疑似乱数信号を用いて分離をおこなうため、確実に
分離できる(S/N比が高い)。したがって、これを用
いた超音波探査装置では、測定感度が高い。
According to the seventh aspect of the present invention, since the separation is performed using the pseudo random number signal used for the modulation, the separation can be reliably performed (the S / N ratio is high). Therefore, in the ultrasonic probe using this, the measurement sensitivity is high.

【0075】請求項8に記載の発明では、変調に用いら
れた疑似乱数信号ごとに、信号の分離が可能である。こ
のような超音波解析装置を用いて超音波探査装置を構成
すれば、互いに異なる疑似乱数信号で変調した超音波を
複数の送信部から照射して測定をおこなうことができ
る。したがって、より高精度且つ迅速な測定が可能であ
る。
According to the eighth aspect of the present invention, it is possible to separate signals for each pseudo random number signal used for modulation. If an ultrasonic probe is configured using such an ultrasonic analyzer, it is possible to perform measurement by irradiating ultrasonic waves modulated by mutually different pseudo-random number signals from a plurality of transmission units. Therefore, more accurate and quick measurement is possible.

【0076】請求項9に記載の発明では、M系列信号は
相関特性が優れているため、より確実に信号を分離でき
る。
According to the ninth aspect of the present invention, since the M-sequence signal has excellent correlation characteristics, the signal can be more reliably separated.

【0077】請求項10に記載の発明では、疑似乱数信
号を用いて変調および分離を行っているため、信号の分
離が確実である。したがって、測定感度が高く、高精度
な測定が可能である。また、互いに異なる疑似乱数信号
によって変調した複数種類の送信信号を生成しこれを一
斉に送信すれば、測定を短時間で完了できる。この場合
でも、各信号を互いに確実に分離できるため、測定感度
が低下することもない。
According to the tenth aspect of the present invention, since the modulation and the separation are performed using the pseudo random number signal, the separation of the signal is assured. Therefore, measurement sensitivity is high and highly accurate measurement is possible. In addition, if a plurality of types of transmission signals modulated by different pseudo-random number signals are generated and transmitted simultaneously, the measurement can be completed in a short time. Even in this case, since the signals can be reliably separated from each other, the measurement sensitivity does not decrease.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態である超音波探査装置の内
部構成を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an internal configuration of an ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention.

【図2】信号発生装置の内部構成を示すブロック図であ
る。
FIG. 2 is a block diagram showing an internal configuration of the signal generator.

【図3】超音波送信器および超音波受信器の配置を示す
図であり、(a)は背面側から見た様子を示す図、
(b)は側面側から見た様子を示す図である。
3A and 3B are diagrams illustrating an arrangement of an ultrasonic transmitter and an ultrasonic receiver, wherein FIG. 3A is a diagram illustrating a state viewed from a back side;
(B) is a figure which shows the mode seen from the side surface side.

【図4】信号分離装置の内部構成を示すブロック図であ
る。
FIG. 4 is a block diagram showing an internal configuration of a signal separation device.

【図5】信号発生装置内での処理内容を示す概念図であ
る。
FIG. 5 is a conceptual diagram showing processing contents in the signal generator.

【図6】信号分離装置内での処理内容を示す概念図であ
る。
FIG. 6 is a conceptual diagram showing processing contents in the signal separation device.

【図7】測定原理を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a measurement principle.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100 超音波探査装置 110 信号発生装置 111 発信器 112 疑似乱数信号発生器 113 変調回路 120 超音波送信器 130 超音波受信器 140 信号分離装置 141 信号分配器 142 相関器 150 データ処理装置 160 表示装置 MS 疑似乱数信号 P 測定対象物 REFERENCE SIGNS LIST 100 ultrasonic detecting device 110 signal generating device 111 transmitter 112 pseudo-random number signal generator 113 modulation circuit 120 ultrasonic transmitting device 130 ultrasonic receiving device 140 signal separating device 141 signal distributor 142 correlator 150 data processing device 160 display device MS Pseudo random number signal P Object to be measured

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定周波数の信号(以下「搬送波信号」
という)を生成する発信手段と、 疑似乱数信号を生成する雑音信号生成手段と、 前記疑似乱数信号を用いて前記搬送波信号を変調するこ
とで送信信号を生成する変調手段と、 送信部を備え、該送信部から送信信号を超音波に変換し
て測定対象物に向けて送信する送信手段と、 前記送信手段によって送信され前記測定対象物によって
反射された超音波を受信し、受信した超音波を電気信号
(以下「受信信号」という)に変換して出力する受信手
段と、 前記受信信号と前記疑似乱数信号との相関をとること
で、前記受信信号に含まれている信号を分離する分離手
段と、 前記分離手段によって分離した信号について開口合成を
おこなうことで、前記測定対象物の位置および/または
形状を求めるデータ処理手段と、 を備えたことを特徴とする超音波探査装置。
1. A signal of a predetermined frequency (hereinafter referred to as "carrier signal").
Transmitting means for generating a pseudo-random number signal; modulating means for generating a transmission signal by modulating the carrier signal using the pseudo-random number signal; A transmission unit that converts a transmission signal from the transmission unit into an ultrasonic wave and transmits the ultrasonic wave toward the measurement target; receives the ultrasonic wave transmitted by the transmission unit and reflected by the measurement target; A receiving unit that converts the signal into an electric signal (hereinafter, referred to as a “received signal”) and outputs the signal; and a separating unit that separates a signal included in the received signal by correlating the received signal with the pseudo random number signal. And data processing means for obtaining the position and / or shape of the measurement object by performing aperture synthesis on the signal separated by the separation means. A sound probe.
【請求項2】 所定周波数の信号(以下「搬送波信号」
という)を生成する発信手段と、 互いに相関がない複数種類の疑似乱数信号を生成する雑
音信号生成手段と、前記疑似乱数信号のそれぞれを用い
て前記搬送波信号を変調することで、複数種類の送信信
号を生成する変調手段と、 互いに異なる位置に配置された複数の送信部を備え、該
送信部のそれぞれから互いに異なる送信信号を超音波に
変換して測定対象物に向けて送信する送信手段と、 互いに異なる位置に配置された複数の受信部を備え、前
記送信手段によって送信され前記測定対象物によって反
射された超音波を前記受信部のそれぞれによって受信
し、受信した超音波を電気信号(以下「受信信号」とい
う)に変換して出力する受信手段と、 前記受信信号と前記疑似乱数信号それぞれとの相関をと
ることで、前記受信信号に含まれている信号を前記疑似
乱数信号ごとに分離する分離手段と、 前記分離手段によって分離した信号について開口合成を
おこなうことで、前記測定対象物の位置および/または
形状を求めるデータ処理手段と、 を備えたことを特徴とする超音波探査装置。
2. A signal of a predetermined frequency (hereinafter referred to as "carrier signal").
), Noise signal generating means for generating a plurality of types of pseudo-random number signals having no correlation with each other, and modulating the carrier signal using each of the pseudo-random number signals, thereby providing a plurality of types of transmission. A modulating means for generating a signal, a transmitting means comprising a plurality of transmitting units arranged at different positions from each other, and transmitting a different transmitting signal from each of the transmitting units to an ultrasonic wave and transmitting the ultrasonic wave toward the measuring object; A plurality of receiving units arranged at different positions from each other, each receiving the ultrasonic wave transmitted by the transmitting unit and reflected by the object to be measured, and receiving the ultrasonic wave by an electric signal (hereinafter, referred to as an electric signal). Receiving means for converting the received signal into a “received signal” and outputting the received signal; And a data processing unit for performing aperture synthesis on the signal separated by the separation unit to obtain the position and / or shape of the measurement target. An ultrasonic exploration device characterized by the above-mentioned.
【請求項3】 前記送信手段は、複数の送信部から一斉
に超音波を送信するものであること、 を特徴とする請求項2に記載の超音波探査装置。
3. The ultrasonic search device according to claim 2, wherein the transmitting unit transmits ultrasonic waves from a plurality of transmitting units at a time.
【請求項4】 前記変調手段は、前記搬送波信号の位相
および振幅を変調するものであること、 を特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の超音
波探査装置。
4. The ultrasonic search device according to claim 1, wherein the modulating means modulates a phase and an amplitude of the carrier signal.
【請求項5】 前記疑似乱数信号は、M系列信号である
こと、 を特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の超音
波探査装置。
5. The ultrasonic exploration device according to claim 1, wherein the pseudo random number signal is an M-sequence signal.
【請求項6】 前記送信部は、前記受信部の周囲に複数
個が配列されていること、 を特徴とする請求項2〜4のいずれか一つに記載の超音
波探査装置。
6. The ultrasonic search device according to claim 2, wherein a plurality of the transmission units are arranged around the reception unit.
【請求項7】 疑似乱数信号によって搬送波を変調する
ことで得られた信号を超音波に変換しこの超音波を測定
対象物へ向けて照射するとともに、その反射を受信する
ことで得られた受信信号を解析することで測定対象物を
探査する超音波探査装置に用いられる超音波解析装置に
おいて、 前記受信信号と前記変調に用いられた疑似乱数信号とが
入力され、前記受信信号と前記疑似乱数信号との相関を
とることで、前記受信信号に含まれている信号を分離す
る分離手段と、 前記分離手段が分離した信号について開口合成をおこな
うことで、前記測定対象物の位置および/または形状を
求めるデータ処理手段と、 を備えたことを特徴とする超音波解析装置。
7. A reception signal obtained by converting a signal obtained by modulating a carrier with a pseudo-random number signal into an ultrasonic wave, irradiating the ultrasonic wave toward a measurement object, and receiving a reflection thereof. An ultrasonic analyzer used in an ultrasonic probe that searches for a measurement target by analyzing a signal, wherein the received signal and the pseudo random number signal used for the modulation are input, and the received signal and the pseudo random number are input. A separating unit that separates a signal included in the received signal by correlating with the signal; and a position and / or shape of the measurement object by performing aperture synthesis on the signal separated by the separating unit. An ultrasonic analysis apparatus comprising: a data processing unit that obtains the following.
【請求項8】 前記分離手段は、複数の疑似乱数信号が
入力可能に構成されており、前記分離を疑似乱数信号ご
とにおこなうものであること、 を特徴とする請求項7に記載の超音波解析装置。
8. The ultrasonic wave according to claim 7, wherein said separation means is configured to be capable of inputting a plurality of pseudo-random number signals, and performs said separation for each pseudo-random number signal. Analysis device.
【請求項9】 前記疑似乱数信号は、M系列信号である
こと、 を特徴とする請求項8に記載の超音波解析装置。
9. The ultrasonic analyzer according to claim 8, wherein the pseudo random number signal is an M-sequence signal.
【請求項10】 超音波を測定対象物へ向けて照射する
とともに、その反射を受信することで得られた受信信号
を解析することで測定対象物を探査する超音波探査方法
において、 所定周波数の信号(以下「搬送波信号」という)を疑似
乱数信号によって変調することで送信信号を生成し、こ
の送信信号を超音波に変換して測定対象物に向けて送信
するとともに、 前記測定対象物によって反射された超音波を受信し、そ
の受信信号と前記疑似乱数信号との相関をとることで前
記受信信号に含まれている信号を分離し、該分離した信
号について開口合成をおこなうことで前記測定対象物の
位置および/または形状を求めること、 を特徴とする超音波探査方法。
10. An ultrasonic exploration method for irradiating an ultrasonic wave toward a measurement object and analyzing a received signal obtained by receiving the reflection to search the measurement object, wherein the ultrasonic wave detection method comprises: A transmission signal is generated by modulating a signal (hereinafter, referred to as a “carrier signal”) with a pseudo-random number signal, and the transmission signal is converted into an ultrasonic wave and transmitted to a measurement target, and reflected by the measurement target. Receiving the ultrasonic wave obtained, separating the signal contained in the received signal by correlating the received signal and the pseudo random number signal, and performing aperture synthesis on the separated signal, the measurement object Determining the position and / or shape of an object.
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