JP2002063852A - Front glass for plasma display panel, the plasma display panel and manufacturing method of the same - Google Patents

Front glass for plasma display panel, the plasma display panel and manufacturing method of the same

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JP2002063852A
JP2002063852A JP2000245855A JP2000245855A JP2002063852A JP 2002063852 A JP2002063852 A JP 2002063852A JP 2000245855 A JP2000245855 A JP 2000245855A JP 2000245855 A JP2000245855 A JP 2000245855A JP 2002063852 A JP2002063852 A JP 2002063852A
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film
front glass
plasma display
display panel
pdp
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JP2000245855A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuyoshi Noda
和良 野田
Nobuyoshi Sakurada
信良 櫻田
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AGC Inc
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Asahi Glass Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the front glass for a plasma display panel with improved contrast at lighted part, and to provide a plasma display panel and a manufacturing method of the same. SOLUTION: A front glass of the plasma display sealed by a front glass and a back side glass, made of a transparent glass, is characterized by the antireflection treatment applied on the surface of outer light incident side. The manufacturing method of the plasma display panel with the front glass for the plasma display panel is provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は明所コントラストが
改善されたプラズマディスプレイパネル用前面ガラス
(以下、単にPDP用前面ガラスともいう)、及び該P
DP用前面ガラスを備えたPDP(プラズマディスプレ
イパネル)及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a front glass for a plasma display panel (hereinafter, also referred to simply as a front glass for a PDP) having an improved contrast in a bright place, and the P glass.
The present invention relates to a plasma display panel (PDP) having a front glass for DP and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】PDPを構成するPDP用前面ガラス
は、明所での視認性の改善が求められている。明所での
視認性は、1)太陽光線や照明等の光源の映り込みを軽
減すること、2)明所コントラストを向上させることに
より改善できる。明所コントラストについては、その画
面内で表示される画像の明所コントラストがCRT(ブ
ラウン管)並みに高くなるようにすることが要求されて
きている。ここで、明所コントラスト(BC0)は、次式
で示される。 BC0=(Ld+Lref)/(Lb+Lref) 式中、Ldは、PDPからの表示発光輝度、Lbは、P
DPからの背景発光輝度、Lrefは、外光がPDP用
前面ガラスに対して反射した反射光輝度を指す。また、
外光とはPDP画像を見る環境下において見る側からP
DP用前面ガラスへ向かう光を言う。尚、CRTの明所
コントラストは、通常、55程度であり、PDPのそれ
は通常、20程度である。明所コントラストを上げるた
めの手法として、従来、Tint(色付き)ガラスを使
用し、PDP用前面ガラスの光透過率を下げてPDPか
らの背景発光輝度Lbを小さくする試みがなされてい
る。しかし、Tintガラスは溶解しづらく非効率であ
り、また透明ガラスとの並産も非効率であるという問題
があった。
2. Description of the Related Art PDP front glasses constituting PDPs are required to have improved visibility in bright places. Visibility in a light place can be improved by 1) reducing reflection of a light source such as a sun ray or illumination, and 2) improving contrast in a light place. Regarding the bright place contrast, it is required that the bright place contrast of an image displayed in the screen be as high as that of a CRT (CRT). Here, the bright place contrast (B C0 ) is expressed by the following equation. B C0 = (Ld + Lref) / (Lb + Lref) where Ld is the display emission luminance from the PDP, and Lb is P
The background light emission luminance from the DP, Lref, refers to the reflected light luminance of external light reflected on the front glass for PDP. Also,
External light is defined as P from the viewer in an environment where PDP images are viewed.
It is the light that goes to the front glass for DP. Note that the bright place contrast of a CRT is usually about 55, and that of a PDP is usually about 20. As a technique for increasing the light place contrast, an attempt has conventionally been made to use Tint (colored) glass, reduce the light transmittance of the front glass for PDP, and reduce the background light emission luminance Lb from the PDP. However, there is a problem that tint glass is difficult to melt and is inefficient, and that parallel production with transparent glass is inefficient.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、透明
ガラス基板からなり、明所コントラストが改善されたP
DP用前面ガラス、及び該前面ガラスを備えたPDP及
びその製造方法を提供することにある。また、本発明の
別の目的は、透明ガラス基板からなり、太陽光線や照明
等の光源の映り込みが軽減されたPDP用前面ガラス、
及び該前面ガラスを備えたPDP及びその製造方法を提
供することにある。また、本発明の別の目的は、透明ガ
ラス基板からなり、明所コントラストが改善され、かつ
太陽光線や照明等の光源の映り込みが軽減されたPDP
用前面ガラス、及び該前面ガラスを備えたPDP及びそ
の製造方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a P glass comprising a transparent glass substrate and having improved light place contrast.
An object of the present invention is to provide a front glass for DP, a PDP provided with the front glass, and a method for manufacturing the same. Another object of the present invention is to provide a front glass for a PDP, which is made of a transparent glass substrate and in which reflection of a light source such as sunlight or illumination is reduced.
And a PDP having the front glass and a method for manufacturing the same. Another object of the present invention is to provide a PDP comprising a transparent glass substrate, having improved light place contrast and reduced reflection of a light source such as sunlight or illumination.
To provide a front glass for use, a PDP provided with the front glass, and a method of manufacturing the same.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、下記の
1)〜5)のプラズマディスプレイパネル用前面ガラス
と6)のプラズマディスプレイパネルの製造方法及び
7)のプラズマディスプレイパネルが提供されて、本発
明の上記目的が達成される。 1)前面ガラスと背面ガラスとが封着されてなるプラズ
マディスプレイにおける前面ガラスにおいて、前面ガラ
スは透明ガラス基板からなり、外光が入射する側の表面
上に反射防止処理が施されてなることを特徴とするプラ
ズマディスプレイパネル用前面ガラス。 2)前記反射防止処理は、透明ガラス基板上に光学干渉
膜が形成されることによるものであることを特徴とする
上記1)に記載のプラズマディスプレイパネル用前面ガ
ラス。 3)前記反射防止処理は、透明ガラス基板の表面がアン
チグレア処理されることによるものであることを特徴と
する上記1)または2)に記載のプラズマディスプレイ
パネル用前面ガラス。 4) 前記反射防止処理は、アンチグレア処理された樹
脂フィルムが透明ガラス基板上に貼着されることによる
ものであることを特徴とする上記1)に記載のプラズマ
ディスプレイパネル用前面ガラス。 5)前記反射防止処理は、光学干渉膜を有する樹脂フィ
ルムが透明ガラス基板上に貼着されることによるもので
あることを特徴とする上記1)に記載のプラズマディス
プレイパネル用前面ガラス。 6)上記1)〜5)のいずれかに記載のプラズマディス
プレイパネル用前面ガラスの反射防止処理面とは逆側の
表面上にデバイス要素を設ける工程と、背面ガラスにデ
バイス要素を設ける工程と、デバイス要素を設けた前面
ガラスとデバイス要素を設けた背面ガラスとを封着させ
る工程とを含むことを特徴とするプラズマディスプレイ
パネルの製造方法。 7)上記1)〜5)のいずれかに記載のプラズマディス
プレイパネル用前面ガラスを有することを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネル。
According to the present invention, there are provided the following front glass for a plasma display panel 1) to 5), a method for manufacturing a plasma display panel 6), and a plasma display panel 7). The above object of the present invention is achieved. 1) In the front glass of the plasma display in which the front glass and the back glass are sealed, the front glass is made of a transparent glass substrate, and the surface on the side where external light is incident is subjected to an antireflection treatment. Features front glass for plasma display panels. 2) The front glass for a plasma display panel according to the above 1), wherein the antireflection treatment is performed by forming an optical interference film on a transparent glass substrate. 3) The front glass for a plasma display panel according to the above 1) or 2), wherein the antireflection treatment is performed by performing an antiglare treatment on the surface of the transparent glass substrate. 4) The front glass for a plasma display panel according to 1) above, wherein the antireflection treatment is performed by sticking a resin film subjected to antiglare treatment on a transparent glass substrate. 5) The front glass for a plasma display panel according to 1) above, wherein the antireflection treatment is performed by sticking a resin film having an optical interference film on a transparent glass substrate. 6) a step of providing device elements on a surface of the front glass for a plasma display panel according to any one of 1) to 5) opposite to the antireflection treated surface; and a step of providing device elements on the back glass. Sealing the front glass provided with the device elements and the back glass provided with the device elements. 7) A plasma display panel comprising the front glass for a plasma display panel according to any one of 1) to 5).

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】本発明のPDP用前面ガラスは、
透明ガラス基板外側面上に反射防止処理が施されたもの
である。ここで、透明ガラス基板外側面とは、外光が透
明ガラス基板へ入射する側であって、表示発光が放出さ
れる側のガラス基板表面である。前面ガラスは透明ガラ
ス基板からなり、背面ガラスは透明ガラス基板またはT
intガラス基板からなる。透明ガラス基板は可視光透
過率が75%以上、特に85%以上であることが好まし
い。本発明のPDP用前面ガラスは透明ガラス基板外側
面上に反射防止処理を施したものである。このような反
射防止手段としては、光学干渉膜を利用する手段が挙げ
られ、具体的には透明ガラス基板外側面上に無機質膜か
らなる光学干渉膜を設けることが例示される。無機質膜
からなる光学干渉膜は、例えば光吸収タイプと透明タイ
プが挙げられ、具体的には下記の構成を好ましく挙げる
ことができる。 a.光吸収タイプ (i)基体上に、光吸収膜、低屈折率膜がこの順序で形
成されている構成。 (ii)基体上に、光吸収膜、酸化バリア膜(光吸収膜が
酸化されることを防止するする膜)、低屈折率膜がこの
順序で形成されている構成。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The front glass for PDP of the present invention comprises:
The anti-reflection treatment is performed on the outer surface of the transparent glass substrate. Here, the outer surface of the transparent glass substrate is the surface of the glass substrate on the side where external light is incident on the transparent glass substrate and the side where display light emission is emitted. The front glass is made of a transparent glass substrate, and the back glass is made of a transparent glass substrate or T
It consists of an int glass substrate. The transparent glass substrate preferably has a visible light transmittance of 75% or more, particularly preferably 85% or more. The front glass for PDP of the present invention is obtained by performing an antireflection treatment on the outer surface of a transparent glass substrate. Examples of such antireflection means include means using an optical interference film, specifically, providing an optical interference film made of an inorganic film on the outer surface of the transparent glass substrate. The optical interference film made of an inorganic film includes, for example, a light absorption type and a transparent type, and specifically, the following configurations can be preferably mentioned. a. Light absorption type (i) A structure in which a light absorption film and a low refractive index film are formed in this order on a substrate. (Ii) A structure in which a light-absorbing film, an oxidation barrier film (a film for preventing the light-absorbing film from being oxidized), and a low-refractive-index film are formed in this order on a substrate.

【0006】上記光吸収膜としては、その上方に形成さ
れる低屈折率層との光干渉効果により、外光に対する表
面反射率を実質的に低減させる材料を用いることが好ま
しい。このことにより、PDP用前面ガラスの画像の明
所コントラストが優れる結果となる。また、光吸収膜
は、導電性であることが好ましい。導電性であることに
より、PDPでの静電気防止効果や、PDP内部からの
電磁波の漏洩などを防止することとなり好ましい。この
ような特性を満たす光吸収膜としては、金、銅、チタ
ン、ジルコニウム、およびハフニウムからなる群から選
ばれる少なくとも1種の金属や、該金属(金を除く)の
窒化物を主成分とするものなどが挙げられる。なかで
も、チタン、ジルコニウム、およびハフニウムからなる
群から選ばれる少なくとも1種の金属の窒化物を主成分
とするものが、可視光領域における屈折率および消衰係
数の分散関係から好ましく、その光学定数の値により、
上層の低屈折率膜との光干渉作用により外光に対して可
視光領域での低反射領域が広がるという特長がある。ま
た、チタン、ジルコニウム、およびハフニウムからなる
群から選ばれる少なくとも1種の金属の窒化物を主成分
とする膜は、耐熱性、耐薬品性、耐擦傷性の観点からも
好ましい。光吸収膜の膜厚(幾何学的膜厚、以下同じ)
としては、5〜25mmであることが好ましい。
As the light absorbing film, it is preferable to use a material that substantially reduces the surface reflectance with respect to external light due to the light interference effect with the low refractive index layer formed thereon. This results in an excellent bright place contrast of the image of the front glass for PDP. Further, the light absorbing film is preferably conductive. By being conductive, it is preferable because the effect of preventing static electricity in the PDP and the leakage of electromagnetic waves from inside the PDP are prevented. As a light absorbing film satisfying such characteristics, at least one metal selected from the group consisting of gold, copper, titanium, zirconium, and hafnium, or a nitride of the metal (excluding gold) is used as a main component. And the like. Above all, those having a nitride of at least one metal selected from the group consisting of titanium, zirconium, and hafnium as a main component are preferable in view of the dispersion relationship between the refractive index and the extinction coefficient in the visible light region, and their optical constants Depending on the value of
There is a feature that a low-reflection region in a visible light region with respect to external light is widened by an optical interference effect with an upper low-refractive-index film. Further, a film mainly containing a nitride of at least one metal selected from the group consisting of titanium, zirconium, and hafnium is also preferable from the viewpoint of heat resistance, chemical resistance, and scratch resistance. Light absorbing film thickness (geometric thickness, the same applies hereinafter)
Is preferably 5 to 25 mm.

【0007】光吸収膜に2種以上の材料を用いる場合、
(1)複合材料として用いてもよく、(2)異なる材料
からなる膜を合計膜厚が好ましくは5〜25nmとなる
ように積層して用いてもよい。さらに、窒化チタンを主
成分とする光吸収膜は、その光学定数の可視光領域にお
ける値が低屈折率膜(特にシリカ膜)とよくマッチング
して反射率を低減させるとともに、吸収係数の値が適当
で、ほどよい光吸収率を得るための膜厚が数nm〜数十
nmの範囲となるため、生産性の点からも再現性の点か
らも特に好ましい。
When two or more materials are used for the light absorbing film,
(1) It may be used as a composite material, or (2) it may be used by laminating films made of different materials so that the total thickness is preferably 5 to 25 nm. Further, the light absorption film containing titanium nitride as a main component has a value in the visible light region of an optical constant that is well matched with a low refractive index film (particularly, a silica film) to reduce the reflectance, and has a value of an absorption coefficient. Since the film thickness for obtaining an appropriate and moderate light absorptivity is in the range of several nm to several tens nm, it is particularly preferable in terms of productivity and reproducibility.

【0008】また、低屈折率膜としては屈折率が1.3
5〜1.7である膜が好ましい。低屈折率膜としてはシ
リカを主成分とする膜(特にシリカ膜)が好ましい。シ
リカ膜の屈折率は、好ましくは1.46〜1.52(特
に好ましくは1.46〜1.47)であり、シリカ膜の
膜厚は、70〜130nmであることが低反射波長域を
可視光領域の中心部に合わせることができることから好
ましい。機械的、化学的耐久性の観点からもシリカ膜は
好ましく用いられる。シリカ膜の膜厚は80nm超12
0nm以下であることが特に好ましい。シリカの膜厚が
80nm以下では長波長側の反射率が大きくなる傾向が
現れ、120nmを超えると短波長側の反射率の立ち上
がりが長波長側にずれてくる傾向がある。
The low refractive index film has a refractive index of 1.3.
Membranes that are between 5 and 1.7 are preferred. As the low refractive index film, a film containing silica as a main component (particularly, a silica film) is preferable. The refractive index of the silica film is preferably from 1.46 to 1.52 (particularly preferably from 1.46 to 1.47), and the thickness of the silica film is preferably from 70 to 130 nm to reduce the low reflection wavelength range. This is preferable because it can be adjusted to the center of the visible light region. The silica film is preferably used also from the viewpoint of mechanical and chemical durability. The thickness of the silica film is more than 80 nm 12
It is particularly preferable that the thickness be 0 nm or less. If the silica film thickness is less than 80 nm, the reflectance on the long wavelength side tends to increase, and if it exceeds 120 nm, the rise of the reflectance on the short wavelength side tends to shift to the long wavelength side.

【0009】透明ガラス基板外側面上に光吸収膜を形成
した後、低屈折率膜としてのシリカ膜を成膜する際に該
光吸収膜が酸化する、または、成膜後の後加熱処理にお
いて該光吸収膜が酸化する、という理由で所望の特性が
得られない場合がある。そこで、該光吸収膜とシリカ膜
との間に、光吸収膜の酸化を防止する層(酸化バリア
層)を挿入することにより、成膜時の酸化を防いだり、
耐熱性を向上させることができる。酸化バリア層は、そ
の下に形成されている別の層の酸化を防ぐために形成さ
れる薄膜であり、光学的には意味を持たないものであ
る。
After forming a light absorbing film on the outer surface of a transparent glass substrate, the light absorbing film is oxidized when a silica film as a low refractive index film is formed, or in a post-heating treatment after the film formation. Desired characteristics may not be obtained because the light absorbing film is oxidized. Therefore, by inserting a layer (oxidation barrier layer) for preventing oxidation of the light absorption film between the light absorption film and the silica film, oxidation during film formation can be prevented,
Heat resistance can be improved. The oxidation barrier layer is a thin film formed to prevent oxidation of another layer formed thereunder, and has no optical significance.

【0010】酸化バリア層としては、光吸収膜の材料と
異なる各種の金属膜や金属窒化物膜を使用できる。その
膜厚は本来の反射防止性能を損なわないために20nm
以下であることが望ましい。また、この酸化バリア層の
膜厚が1nm未満であると耐熱性の向上が不充分とな
る。したがって、1〜20nmの膜厚の酸化バリア層を
挿入すると耐熱性を効果的に向上させうることから好ま
しい。
As the oxidation barrier layer, various metal films and metal nitride films different from the material of the light absorbing film can be used. Its thickness is 20 nm so as not to impair the original antireflection performance.
It is desirable that: If the thickness of the oxidation barrier layer is less than 1 nm, the improvement in heat resistance becomes insufficient. Therefore, it is preferable to insert an oxidation barrier layer having a thickness of 1 to 20 nm because heat resistance can be effectively improved.

【0011】上述したように、酸化バリア層は、光学的
には意味を持たず、光学的には不必要な層であるため、
この層の挿入により外光に対する反射防止性能が劣化す
る場合がある。特に、酸化バリア層が光吸収性(例えば
光吸収性の珪素)である場合は、反射防止性能の観点か
ら酸化バリア層の厚みはおおむね5nm以下であること
が好ましい。透明な酸化バリア層を用いる場合は、この
層の屈折率により許容される膜厚が異なる。屈折率がお
よそ2.0の材料(例えば窒化珪素や窒化アルミニウ
ム)を用いた場合に最も許容膜厚が大きくなり、およそ
20nmまでのバリア層を下層の光吸収膜と上層のシリ
カ膜層との間に、外光に対する低反射特性を維持しなが
ら挿入することができる。
As described above, the oxidation barrier layer has no optical significance and is an optically unnecessary layer.
The insertion of this layer may degrade the antireflection performance against external light. In particular, when the oxidation barrier layer is light-absorbing (for example, light-absorbing silicon), the thickness of the oxidation barrier layer is preferably about 5 nm or less from the viewpoint of antireflection performance. When a transparent oxidation barrier layer is used, the allowable thickness varies depending on the refractive index of this layer. When a material having a refractive index of about 2.0 (for example, silicon nitride or aluminum nitride) is used, the allowable film thickness becomes the largest, and a barrier layer of up to about 20 nm is formed between the lower light absorbing film and the upper silica film layer. In between, it can be inserted while maintaining low reflection characteristics against external light.

【0012】酸化バリア層としては、クロム、モリブデ
ン、タングステン、バナジウム、ニオブ、タンタル、亜
鉛、ニッケル、パラジウム、白金、アルミニウム、イン
ジウム、スズおよび珪素からなる群の少なくとも1種の
金属を主成分とする膜またはこれらの窒化物を主成分と
する膜、あるいは、チタン、ジルコニウムおよびハフニ
ウムからなる群の少なくとも1種の金属を主成分とする
膜、を用いると、充分な酸化防止性能の向上と、優れた
反射防止特性の維持を両立させうるので好ましい。特
に、珪素を主成分とする膜または窒化珪素を主成分とす
る膜は、酸化バリア性能に優れるうえ、上層のシリカ膜
を導電性のSiターゲットを用いてスパッタリング法に
より成膜する場合は、ターゲット材料を増やす必要がな
い点で、生産上有利である。
The oxidation barrier layer contains, as a main component, at least one metal selected from the group consisting of chromium, molybdenum, tungsten, vanadium, niobium, tantalum, zinc, nickel, palladium, platinum, aluminum, indium, tin and silicon. When a film or a film containing these nitrides as a main component, or a film containing at least one metal of the group consisting of titanium, zirconium and hafnium as a main component is used, sufficient antioxidant performance is improved and excellent. It is preferable because the maintenance of the anti-reflection characteristics can be compatible. In particular, a film containing silicon as a main component or a film containing silicon nitride as a main component is excellent in oxidation barrier performance. In addition, when the upper silica film is formed by a sputtering method using a conductive Si target, the target is This is advantageous in terms of production because it is not necessary to increase the material.

【0013】表面処理膜(光吸収膜、低屈折率膜または
酸化バリア膜)を透明ガラス基板外側面上に形成する手
段としては、スパッタリング法、イオンプレーティング
法、真空蒸着法、CVD法などを用いることができる。
なかでも、大面積化が容易で膜厚分布補正のしやすいス
パッタリング法や、真空蒸着法が好ましい。特に、良好
な膜質と膜質の均一性が得られやすく、生産性に優れた
インライン型のスパッタリング法を用いることが好まし
い。また、特に装置の大型化が容易なDC(直流)マグ
ネトロン型のスパッタリング法が生産性の面から好まし
い。スパッタリング法により成膜された窒化物膜(光吸
収膜)は薄膜でも良好な耐熱性を示す。
Means for forming a surface treatment film (light absorbing film, low refractive index film or oxide barrier film) on the outer surface of the transparent glass substrate include sputtering, ion plating, vacuum deposition, and CVD. Can be used.
Among them, a sputtering method and a vacuum evaporation method, which can easily increase the area and easily correct the film thickness distribution, are preferable. In particular, it is preferable to use an in-line type sputtering method in which good film quality and uniformity of the film quality are easily obtained and productivity is excellent. In addition, a DC (direct current) magnetron type sputtering method, in which the size of the apparatus can be easily increased, is preferable in terms of productivity. A nitride film (light absorbing film) formed by a sputtering method shows good heat resistance even in a thin film.

【0014】光吸収膜として金属の窒化物を主成分とす
るものを用いる場合、酸化バリア層として窒化物を主成
分とする膜を用いると、光吸収膜と酸化バリア層を同じ
ガス雰囲気中で、スパッタリングにより成膜できる。こ
れは、現実のスパッタリングによる成膜設備を想定した
場合には大きな長所となる。すなわち、量産性に優れた
いわゆるインライン型のスパッタリング装置を考えた場
合、これらの光吸収膜と酸化バリア層とを同一チャンバ
(チャンバAという)内で成膜できる。したがって、ガ
ス分離のためのチャンバは、続いて上層に形成されるシ
リカ膜成膜用のチャンバとチャンバAとの間にのみ設け
ればよいことになり、きわめて効率的である。
In the case where a film mainly composed of a metal nitride is used as the light absorption film, if a film mainly composed of a nitride is used as the oxidation barrier layer, the light absorption film and the oxidation barrier layer are formed in the same gas atmosphere. Can be formed by sputtering. This is a great advantage when an actual film forming facility by sputtering is assumed. That is, when a so-called in-line type sputtering apparatus excellent in mass productivity is considered, the light absorbing film and the oxidation barrier layer can be formed in the same chamber (referred to as chamber A). Therefore, the chamber for gas separation only needs to be provided between the chamber A and the chamber for forming a silica film which is subsequently formed on the upper layer, which is extremely efficient.

【0015】特に、光吸収膜として窒化チタンを主成分
とする膜を用い、酸化バリア層として窒化シリコンを用
いた場合、窒化チタン膜と最外層のシリカ膜の付着力が
向上する効果も得られる。
In particular, when a film containing titanium nitride as a main component is used as the light absorbing film and silicon nitride is used as the oxidation barrier layer, the effect of improving the adhesion between the titanium nitride film and the outermost silica film can be obtained. .

【0016】b.透明タイプ このタイプは、基体上に、中屈折率膜/高屈折率膜/低
屈折率膜の3層構成であることが好ましい。中屈折率膜
の材料としては、屈折率1.8〜2.2の中屈折率材料
である、SnO2、SnOxy(ここで、xは1.80
以上2.00未満、yは0超過0.13以下の範囲であ
る。)、TiO2、SnSixy、Bi23、WO3、Z
nAlxy、SnAlxy等が例示される。高屈折率膜
の材料としては、屈折率2.1〜2.5の高屈折率材料
である、TiO2、ZrO2、Ta25等を用いる構成が
好ましい。低屈折率膜としては、前述したものが好まし
く用いられる。透明タイプの膜構成は、具体的には、透
明ガラス基板外側面上に、例えば、SnO2、TiO2
SiO2がこの順序で形成されている構成や、透明ガラ
ス基板外側面上に、例えば、SnOxy、TiO2、S
iO2がこの順序で形成されている構成が挙げられ、後
者の構成は、耐熱性に優れるため、本願発明のPDPの
製造方法に好適である。この透明タイプの厚み構成は、
中屈折率膜が75〜115nm、高屈折率膜が0〜40
nm、低屈折率膜が75〜115nmの範囲であること
が好ましい。また、透明タイプの別の膜構成としては、
低屈折率膜(屈折率が1.4程度のシリカ膜や、シリコ
ーンからなる膜)を単層で形成したものなども挙げられ
る。
B. Transparent type This type preferably has a three-layer structure of a medium refractive index film / high refractive index film / low refractive index film on a substrate. As the material of the medium refractive index film, SnO 2 , SnO x N y (where x is 1.80), which is a medium refractive index material having a refractive index of 1.8 to 2.2.
And y is in the range of more than 0 and less than 0.13. ), TiO 2, SnSi x O y, Bi 2 O 3, WO 3, Z
nAl x O y and SnAl x O y are exemplified. As the material of the high refractive index film, a high refractive index material having a refractive index 2.1 to 2.5, TiO 2, ZrO 2, a configuration using a Ta 2 O 5 and the like are preferable. As the low refractive index film, those described above are preferably used. Specifically, the transparent type film configuration includes, for example, SnO 2 , TiO 2 ,
A configuration in which SiO 2 is formed in this order on a transparent glass substrate outer surface, for example, SnO x N y, TiO 2 , S
There is a configuration in which iO 2 is formed in this order, and the latter configuration is suitable for the method of manufacturing a PDP of the present invention because it has excellent heat resistance. The thickness configuration of this transparent type
The medium refractive index film is 75 to 115 nm, and the high refractive index film is 0 to 40.
It is preferable that the thickness of the low refractive index film is in the range of 75 to 115 nm. Also, as another film configuration of the transparent type,
A single-layered low-refractive-index film (a silica film having a refractive index of about 1.4 or a film made of silicone) may also be used.

【0017】次に、反射防止処理手段としてのアンチグ
レア処理について説明する。アンチグレア処理として
は、A)透明ガラス基板外側面上に凹凸を設ける処理
と、B)後述する樹脂フィルム表面に凹凸を設ける処
理、とがある。前記A)の処理は、前面ガラスを製造す
る過程で、型により設けてもよいし、前面ガラス製造後
に物理的、化学的処理により設けることもできる。前者
の物理的手段としては、サンドブラストが例示され、後
者の手段としては、エッチング処理が挙げられる。エッ
チング処理としては、具体的にフッ酸水溶液による処理
が挙げられる。また、無機質粒子を含む樹脂で被覆して
も良い。無機質粒子としては、例えば平均粒子径10〜
100μmのアルミナ、シリカ、酸化錫、雲母、二酸化
チタンなどが例示され、樹脂としては接着乃至塗料用の
アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂などが用い
られる。このような凹凸の大きさ及び分布は、適宜調整
されるが、外光が前面ガラスを透過する透過光のヘイズ
率で表すと5〜15%が好ましい。5%未満であると、
明所コントラストの改善効果がなく、15%を超えると
表示像の鮮明度を確保することが困難である。
Next, anti-glare processing as anti-reflection processing means will be described. The anti-glare treatment includes A) a treatment for forming irregularities on the outer surface of the transparent glass substrate, and B) a treatment for forming irregularities on the surface of the resin film described later. The process A) may be provided by a mold in the process of manufacturing the front glass, or may be provided by physical or chemical treatment after the front glass is manufactured. Sandblasting is exemplified as the former physical means, and etching is mentioned as the latter means. Specific examples of the etching treatment include treatment with a hydrofluoric acid aqueous solution. Further, the resin may be covered with a resin containing inorganic particles. As the inorganic particles, for example, an average particle diameter of 10
Alumina, silica, tin oxide, mica, titanium dioxide and the like having a thickness of 100 μm are exemplified. As the resin, acrylic resin, urethane resin, epoxy resin or the like for adhesion or coating is used. The size and distribution of such irregularities are appropriately adjusted, but are preferably 5 to 15% in terms of the haze ratio of the transmitted light through which the external light passes through the front glass. If it is less than 5%,
There is no effect of improving the bright place contrast, and if it exceeds 15%, it is difficult to ensure the sharpness of the displayed image.

【0018】ここでヘイズ率は前面ガラス面に直交する
方向から入射した外光が前面ガラスを透過した後に、直
進する方向以外の方向に拡散する度合を表す指標であ
り、直進透過光強度T1、全透過光強度T0(積分球を用
いて測定)であるとき、ヘイズ率はヘイズ率(%)=
(T0−T1)/T0と表される。
[0018] Here, the haze ratio after the external light incident in the direction perpendicular to the front glass surface is transmitted through the front glass, an index showing the degree of diffusion in the direction other than the direction of straight, rectilinear transmitted light intensity T 1 , And the total transmitted light intensity T 0 (measured using an integrating sphere), the haze ratio is the haze ratio (%) =
It is expressed as (T 0 −T 1 ) / T 0 .

【0019】透明ガラス基板外側面の表面粗さRaは、
好ましくは1μm以上、更に好ましくは3μm以上であ
る。上記のように透明ガラス基板に対して耐熱性に優れ
る光学干渉膜を用いる、あるいはアンチグレア処理を施
すことにより、PDPの組み立て前に前面ガラスに反射
防止処理を施すことができ、PDP組み立て後に反射防
止処理を施す場合に比べ、該処理による歩留まり低下の
危険を回避できる。
The surface roughness Ra of the outer surface of the transparent glass substrate is
It is preferably at least 1 μm, more preferably at least 3 μm. By using an optical interference film having excellent heat resistance on the transparent glass substrate as described above, or by performing an anti-glare treatment, it is possible to perform an anti-reflection treatment on the front glass before assembling the PDP, and to prevent an anti-reflection after assembling the PDP. As compared with the case where the processing is performed, it is possible to avoid the risk of a decrease in yield due to the processing.

【0020】本発明における反射防止処理手段として
は、1)アンチグレア処理された樹脂フィルムを透明ガ
ラス基板外側面上に貼着する手段や、2)無機質膜から
なる光学干渉膜を有する樹脂フィルムを透明ガラス基板
外側面上に貼着する手段がある。前記1)や2)で用い
られる樹脂フィルムとしては、前記無機質膜を担持し得
るもので、透明であれば特に制限はないが、ポリエステ
ルフィルム(例えば、PET(ポリエチレンテレフタレ
ート)フィルム)、ポリカーボネートフィルム、トリア
セテートフィルム等を例示することが出来る。その膜厚
は、20〜200μm程度が好ましい。上記無機質膜か
らなる光学干渉膜またはアンチグレア処理による凹凸
は、前記した方法で樹脂フィルム上に設けることができ
る。その後、無機質膜からなる光学干渉膜またはアンチ
グレア処理による凹凸が設けられる側と反対の面に離型
フィルムを有した粘着フィルムを設けることもでき、P
DP製造後に離型フィルムを剥がして透明ガラス基板外
側面上に貼着することができる。尚、本発明のPDP用
前面ガラスは、前面ガラスと、無機質膜からなる光学干
渉膜またはアンチグレア処理による凹凸を有する樹脂フ
ィルムと、が積層されたものを含む。前記1)、2)の
手段で用いる樹脂フィルムは、コントラストの観点から
着色された樹脂フィルムであることが好ましい。
The antireflection treatment means in the present invention includes: 1) means for adhering an antiglare-treated resin film on the outer surface of a transparent glass substrate, and 2) a resin film having an optical interference film made of an inorganic film. There is a means for sticking on the outer surface of the glass substrate. The resin film used in the above 1) and 2) can support the above-mentioned inorganic film, and is not particularly limited as long as it is transparent. However, a polyester film (for example, a PET (polyethylene terephthalate) film), a polycarbonate film, Triacetate films and the like can be exemplified. The thickness is preferably about 20 to 200 μm. The unevenness due to the optical interference film made of the inorganic film or the anti-glare treatment can be provided on the resin film by the method described above. Thereafter, an optical interference film made of an inorganic film or an adhesive film having a release film on the surface opposite to the surface provided with the unevenness by the anti-glare treatment can be provided.
After the DP is manufactured, the release film can be peeled off and adhered on the outer surface of the transparent glass substrate. The front glass for a PDP of the present invention includes a laminated front glass and an optical interference film made of an inorganic film or a resin film having irregularities formed by anti-glare treatment. The resin film used in the above 1) and 2) is preferably a colored resin film from the viewpoint of contrast.

【0021】上記PDP用透明ガラス基板外側面上に上
記無機質膜からなる光学干渉膜やアンチグレア処理等の
反射防止処理を施したPDP用前面ガラスは、その反対
側上に公知のデバイス要素、例えば、透明電極、バス電
極、透明誘電体、封止層、MgO層等を設ける。また、
前面ガラスと組み合わせられる背面ガラスには、データ
電極、白色誘電体、ストライブ隔壁、蛍光体層、封止層
等のデバイス要素が設けられる。本発明はこのように前
面ガラス上にデバイス要素を設けたものとデバイス要素
を設けた背面ガラスとを両デバイス要素が対向するよう
に封着させ、排気、ガス封入、エージングなどの工程を
経てPDPを製造することができる。
The front glass for PDP, which has been subjected to an anti-reflection treatment such as an anti-glare treatment or an optical interference film made of the inorganic film on the outer surface of the transparent glass substrate for PDP, has a known device element, for example, A transparent electrode, a bus electrode, a transparent dielectric, a sealing layer, an MgO layer, and the like are provided. Also,
The back glass combined with the front glass is provided with device elements such as data electrodes, white dielectrics, stripe barriers, phosphor layers, sealing layers, and the like. The present invention seals a device having a device element on a front glass and a rear glass provided with a device element in such a manner that both device elements face each other, and performs PDP through processes such as exhaust, gas sealing, and aging. Can be manufactured.

【0022】上記前面ガラスへのデバイス要素の形成工
程のうち透明誘電体層及び封止層の形成、及び前面ガラ
スと背面ガラスとの封着は通常、温度500〜600℃
で行われる。したがって、透明ガラス基板外側面の反射
防止処理としては、耐熱性の無機質膜からなる光学干渉
膜を透明ガラス基板外側面上に形成する方法やアンチグ
レア処理を透明ガラス基板外側面上に施す方法が施され
たものが適している。尚、本発明において、PDP用前
面ガラスとは、透明ガラス基板外側面上に反射防止処理
が施されたものであれば、上記デバイス要素が設けられ
たものであっても、設けられていないものであってもよ
い。更に、前記種々の反射防止処理は、適宜組み合わせ
てもよい。例えば、アンチグレア処理と無機質膜からな
る光学干渉膜とを併用してもよい。また、PDP用前面
ガラスの透明ガラス基板外側面上に、導電性反射防止膜
(例えば、酸化物膜とAg等の金属膜とが、交互にこの
順で(2n+1)層(n≧1)で積層された多層膜等)
がスパッタコートされたフィルムを貼ることで、PDP
からの電磁波防止を図る事もできる。
In the process of forming device elements on the front glass, the formation of the transparent dielectric layer and the sealing layer and the sealing between the front glass and the back glass are usually performed at a temperature of 500 to 600 ° C.
Done in Therefore, as the anti-reflection treatment on the outer surface of the transparent glass substrate, a method of forming an optical interference film made of a heat-resistant inorganic film on the outer surface of the transparent glass substrate or a method of performing anti-glare treatment on the outer surface of the transparent glass substrate is performed. Those that are done are suitable. In the present invention, the front glass for PDP is not provided, even if the device element is provided, provided that the antireflection treatment is performed on the outer surface of the transparent glass substrate. It may be. Further, the various antireflection treatments may be appropriately combined. For example, an anti-glare treatment and an optical interference film made of an inorganic film may be used in combination. Further, on the outer surface of the transparent glass substrate of the front glass for PDP, a conductive antireflection film (for example, an oxide film and a metal film such as Ag) are alternately formed in this order by (2n + 1) layers (n ≧ 1). Multilayer film etc.)
By attaching a sputter-coated film, PDP
It is also possible to prevent electromagnetic waves from coming.

【0023】[0023]

【実施例】以下、実施例に基づき本発明を具体的に説明
するが、本発明の範囲は実施例により制限されることは
ない。以下に示す各種データは次のように測定または計
算した。可視光透過率は入射角0度の入射光の可視光透
過率を、膜表面正反射率は反射防止処理をした側からの
入射角15度の可視光に対する可視光正反射率(非膜面
側の反射率を含まない、入射角と反射角が同一の反射
率)を、膜表面拡散反射率は反射防止処理をした側から
の入射角5度の可視光に対する可視光拡散反射率(非膜
面側の反射率を含まない、乱反射成分を含んだ反射率)
をそれぞれJIS R3106に準じて測定した。な
お、膜表面正反射率及び膜表面拡散反射率は、反射防止
処理をした面からのみの反射率を測定したもので、反射
防止処理が施されていない表面(反対側の表面)での反
射成分を除いたものである。測定に際しては、可視光透
過率、膜表面正反射率についてはファイバー分光器(大
塚電子製MCPD−3000)を用いた。膜表面拡散反
射率は、分光光度計(島津製作所製UV−3100P
C)を使用し、積分球に反射防止処理面を密着させて測
定した。なお、膜表面正反射率、膜表面拡散反射率の測
定に際しては、反射防止処理した面とは反対側のガラス
表面に黒色マジック(三菱ペイント製マーキングペン)
を塗り、裏面(反射防止処理をした面とは反対側のガラ
ス表面)からの反射を消している。Ld(表示光輝度)
は、照度計(スガ試験機製)を反射防止処理をした側か
ら(前面保護フィルターを設けた場合は該フィルター側
から)当てて、ホワイト表示の画面輝度を測定した。L
b(背景光)は、照度計(スガ試験機製)を反射防止処
理をした側から(前面保護フィルターを設けた場合は該
フィルター側から)当てて、ブラック表示の画面輝度を
暗室において測定した。Lrefは、(フィルター反射
率+(膜表面正反射率×背面板反射率2)×フィルター
透過率2)×外光[cd/m2]で求められる。なお、本実
施例においては、背面板反射率は20%、フィルター透
過率は60%、フィルター反射率は2%である。B
C0は、(Ld+Lref)/(Lb+Lref)で求め
られる。総合反射率は、フィルター反射率+膜表面正反
射率×フィルター透過率2で求められる。
EXAMPLES The present invention will be described below in detail with reference to examples, but the scope of the present invention is not limited by the examples. Various data shown below were measured or calculated as follows. The visible light transmittance is the visible light transmittance of incident light at an incident angle of 0 °, and the film surface regular reflectance is the visible light regular reflectance (non-film surface side) for visible light at an incident angle of 15 ° from the antireflection-treated side. And the film surface diffuse reflectance is the visible light diffuse reflectance (non-film) for visible light at an incident angle of 5 degrees from the antireflection-treated side. (Reflectance not including surface-side reflectance but including diffuse reflection component)
Was measured according to JIS R3106. In addition, the film surface regular reflectance and the film surface diffuse reflectance are obtained by measuring the reflectance only from the surface subjected to the antireflection treatment, and the reflection on the surface not subjected to the antireflection treatment (the opposite surface). It excludes components. In the measurement, a fiber spectrometer (MCPD-3000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.) was used for the visible light transmittance and the film surface regular reflectance. The film surface diffuse reflectance was measured using a spectrophotometer (UV-3100P manufactured by Shimadzu Corporation).
Using (C), the measurement was performed with the antireflection treated surface in close contact with the integrating sphere. When measuring the film surface regular reflectance and the film surface diffuse reflectance, a black magic (Mitsubishi Paint marking pen) was applied to the glass surface opposite to the anti-reflection treated surface.
To eliminate the reflection from the back surface (the glass surface on the opposite side of the anti-reflection treated surface). Ld (display light brightness)
Was applied from the side subjected to anti-reflection treatment (from the side of the filter when a front protective filter was provided) from an antireflection treatment side, and the screen luminance of white display was measured. L
b (background light) was measured by applying an illuminometer (manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd.) from the side on which antireflection treatment was performed (from the side of the filter when a front protective filter was provided) and measuring the screen luminance of black display in a dark room. Lref is obtained by (filter reflectance + (film surface regular reflectance × back plate reflectance 2 ) × filter transmittance 2 ) × external light [cd / m 2 ]. In this embodiment, the back plate reflectance is 20%, the filter transmittance is 60%, and the filter reflectance is 2%. B
C0 is obtained by (Ld + Lref) / (Lb + Lref). The total reflectance is obtained by (filter reflectance + film surface regular reflectance × filter transmittance 2) .

【0024】(PDP用前面ガラスの製造) 例1 光吸収タイプの無機質膜からなる光学干渉膜を設
けたPDP用前面ガラス スパッタリング法により、PDP用前面ガラス(素材:
ガラス、サイズ:厚み2.8mm 960mm×560
mm、可視光透過率は90%)の透明ガラス基板外側面
上に窒化チタン膜(光吸収膜)、窒化珪素膜(酸化バリ
ア層)、シリカ膜(低屈折率膜)を順次形成した。各膜
厚は、5.0nm(窒化チタン膜)、5.0nm(窒化
ケイ素膜)、85.0nm(シリカ膜)であった。な
お、PDP用前面ガラス単体の可視光透過率は70%、
膜表面正反射率は1%であった。
(Manufacture of Front Glass for PDP) Example 1 Front glass for PDP provided with an optical interference film composed of a light-absorbing type inorganic film The front glass for PDP (material:
Glass, size: thickness 2.8mm 960mm × 560
A titanium nitride film (light absorbing film), a silicon nitride film (oxidation barrier layer), and a silica film (low-refractive index film) were sequentially formed on the outer surface of a transparent glass substrate (mm, visible light transmittance: 90%). Each film thickness was 5.0 nm (titanium nitride film), 5.0 nm (silicon nitride film), and 85.0 nm (silica film). The visible light transmittance of the front glass for PDP is 70%,
The film surface regular reflectance was 1%.

【0025】実際の成膜は次の通り行った。インライン
型スパッタ装置を用い、第1真空槽内に、窒化チタン膜
成膜用の金属チタンターゲットと、窒化ケイ素膜成膜用
のボロンドープのシリコンターゲットを設置した。第2
真空槽内にはシリカ膜成膜用のボロンドープのシリコン
ターゲットを設置した。清浄な基材フィルムをチャンバ
内に長軸方向が上下方向(進行方向に対して垂直方向)
になるように設置後、全体の背圧を2×10-3Paまで
真空引きした。
The actual film formation was performed as follows. Using an in-line sputtering apparatus, a metal titanium target for forming a titanium nitride film and a boron-doped silicon target for forming a silicon nitride film were set in a first vacuum chamber. Second
A boron-doped silicon target for forming a silica film was provided in the vacuum chamber. A clean substrate film is placed in the chamber with the long axis direction up and down (perpendicular to the direction of travel)
Then, the whole back pressure was evacuated to 2 × 10 −3 Pa.

【0026】次いで、第1真空槽内に放電ガスとしてア
ルゴン及び窒素の混合ガス(窒素が20体積%)を導入
し、放電圧力として4×10-1Paにコンダクタンスを
設定した。その後、チタンターゲットに負の直流電圧
(電力密度は約4.0W/cm 2)を印加して、窒化チ
タン膜を成膜した。続けて、同じ雰囲気で、シリコンタ
ーゲットへ負の直流電圧(電力密度は約1.5W/cm
2)を印加して窒化ケイ素膜を成膜した。成膜された窒
化チタン膜についてESCAにより膜組成を分析したと
ころ、Ti:N:O(原子比)は1.0:0.95:
0.05であった。
Next, a discharge gas is introduced into the first vacuum chamber.
Introducing a mixed gas of Lugon and nitrogen (nitrogen is 20% by volume)
And a discharge pressure of 4 × 10-1Conductance to Pa
Set. Then, a negative DC voltage is applied to the titanium target.
(Power density is about 4.0W / cm Two) And apply
A tan film was formed. Then, in the same atmosphere,
-Negative DC voltage (power density is about 1.5 W / cm
Two) Was applied to form a silicon nitride film. Nitrogen deposited
The analysis of the titanium oxide film by ESCA
At this time, Ti: N: O (atomic ratio) is 1.0: 0.95:
It was 0.05.

【0027】次に前面ガラスを第2真空槽へ移動し高真
空に真空引きされた槽内へアルゴンと酸素の混合ガス
(酸素が約30体積%)を導入し、3×10-1Paとな
るようにコンダクタンスを設定した。次にシリコンター
ゲットへAC電源を用いて印加(電力密度は約6.0W
/cm2)してシリカ膜(屈折率n=1.47)を成膜
した。
Next, the front glass is moved to a second vacuum chamber, and a mixed gas of argon and oxygen (about 30% by volume of oxygen) is introduced into the chamber evacuated to a high vacuum, and the pressure becomes 3 × 10 -1 Pa. The conductance was set to be as follows. Next, an AC power is applied to the silicon target (the power density is about 6.0 W).
/ Cm 2 ) to form a silica film (refractive index n = 1.47).

【0028】例2 透明タイプの無機質膜からなる光学
干渉膜を設けたPDP用前面ガラス 例1に準じてスパッタリング法により、例1と同様のP
DP用前面ガラスの透明ガラス基板外側面上にSnOx
y(ここで、xは1.80、yは0.13であ
る。)、TiO2、SiO2を順次形成した。各膜厚は、
93.0nm(SnOxy膜)、15.0nm(TiO
2膜)、93.3nm(SiO2膜)であった。なお、P
DP用前面ガラス単体の可視光透過率は93%、膜表面
正反射率は1%であった。
Example 2 Front glass for PDP provided with an optical interference film made of a transparent type inorganic film. The same P as in Example 1 was obtained by sputtering according to Example 1.
SnO x on the outer surface of the transparent glass substrate of the front glass for DP
N y (where x is 1.80 and y is 0.13), TiO 2 , and SiO 2 were sequentially formed. Each film thickness is
93.0 nm (SnO x N y film), 15.0 nm (TiO
2 film) and 93.3 nm (SiO 2 film). Note that P
The visible light transmittance of the front glass for DP alone was 93%, and the film surface regular reflectance was 1%.

【0029】例3 アンチグレア処理が施されたPDP
用前面ガラス 例1と同様のPDP用前面ガラスを用いて、フッ酸エッ
チング処理により、ヘイズ率5%、Ra:2μmのアン
チグレア処理が施された前面ガラスを有するPDP用前
面ガラスを作製した。なお、PDP用前面ガラス単体の
可視光透過率は85%、膜表面拡散反射率は6%、膜表
面正反射率は1%であった。
Example 3 PDP with anti-glare treatment
Front glass for PDP Using the same front glass for PDP as in Example 1, a front glass for PDP having a front glass subjected to antiglare treatment with a haze ratio of 5% and Ra: 2 μm by hydrofluoric acid etching was produced. The visible light transmittance of the front glass for PDP alone was 85%, the diffuse reflectance of the film surface was 6%, and the regular reflectance of the film surface was 1%.

【0030】例4 無機質膜からなる光学干渉膜を有す
る樹脂フィルム 厚さ80μmのPET上に例2と同様にして93.0n
m(SnO2膜)、15.0nm(TiO2膜)、93.
3nm(SiO2膜)を設けた。次に市販の透明粘着フ
ィルム(ポラテクノ社製、AD−ROC)の片側の離型
フィルムを剥がし、上記膜と反対側にゴムロールで軽く
押さえつけながら粘着層を介して貼り合わせ、無機質膜
からなる光学干渉膜を有する樹脂フィルムを作製した。
なお、フィルム単体の可視光透過率は93%、膜表面正
反射率は2%であった。
Example 4 A resin film having an optical interference film made of an inorganic film, 93.0 n in the same manner as in Example 2 on a PET having a thickness of 80 μm.
m (SnO 2 film), 15.0 nm (TiO 2 film), 93.
3 nm (SiO 2 film) was provided. Next, the release film on one side of a commercially available transparent adhesive film (AD-ROC, manufactured by PORA TECHNO) was peeled off, and the film was bonded to the opposite side of the above film via an adhesive layer while being lightly pressed with a rubber roll, to thereby form an optical interference film made of an inorganic film. A resin film having a film was produced.
The film alone had a visible light transmittance of 93% and a film surface regular reflectance of 2%.

【0031】例5 無機質膜からなる光学干渉膜を有す
る樹脂フィルム 厚さ0.3mmの、染料により着色されたウレタンフィ
ルム上に例2と同様にして93.0nm(SnO
2膜)、15.0nm(TiO2膜)、93.3nm(S
iO2膜)を設けた。次に例4と同様に透明粘着フィル
ムを貼り合わせ、無機質膜を有する樹脂フィルムを作製
した。なお、フィルム単体の可視光透過率は56%、膜
表面正反射率は1.0%であった。
Example 5 A resin film having an optical interference film composed of an inorganic film was coated on a urethane film having a thickness of 0.3 mm and dyed with a dye in the same manner as in Example 2 to 93.0 nm (SnO).
2 ), 15.0 nm (TiO 2 film), 93.3 nm (S
iO 2 film). Next, in the same manner as in Example 4, a transparent pressure-sensitive adhesive film was adhered to produce a resin film having an inorganic film. The visible light transmittance of the film alone was 56%, and the film surface regular reflectance was 1.0%.

【0032】(PDPの製造1)例1〜3のPDP用前
面ガラスの反対側上に透明電極、バス電極、透明誘電
体、封止層、MgO層を順次設けた。そして、この前面
ガラスとデバイス要素を設けた背面ガラスを加熱封着さ
せ、排気、ガス封入、エージング工程を経て各々のPD
Pを製造した。
(Manufacture of PDP 1) A transparent electrode, a bus electrode, a transparent dielectric, a sealing layer, and an MgO layer were sequentially provided on the opposite side of the front glass for PDP of Examples 1 to 3. Then, the front glass and the rear glass provided with the device elements are heat-sealed and subjected to exhaust, gas sealing, and aging steps, so that each PD is
P was manufactured.

【0033】(PDPの製造2)PDPの製造1におい
て用いたPDP用前面ガラスのかわりとして反射防止処
理を施していないPDP用前面ガラスを用いた他は上記
と同様にしてPDPを製造し、その透明ガラス基板外側
面上に例4、5の無機質膜からなる光学干渉膜を有する
樹脂フィルムの離型フィルムを剥がして貼着し本発明の
PDPとした。得られたPDPの光学的性質は、表1に
示すとおりである。尚、比較例1は、反射防止処理なし
のものである。
(Manufacture of PDP 2) A PDP was manufactured in the same manner as above except that a front glass for PDP without anti-reflection treatment was used instead of the front glass for PDP used in Manufacturing 1 of PDP. On the outer surface of the transparent glass substrate, a release film of a resin film having an optical interference film made of an inorganic film of Examples 4 and 5 was peeled off and adhered to obtain a PDP of the present invention. The optical properties of the obtained PDP are as shown in Table 1. In Comparative Example 1, no antireflection treatment was performed.

【0034】[0034]

【表1】 [Table 1]

【0035】上表より、本発明の反射防止処理を施した
PDPは、それが施されていないものに比べて明所コン
トラスト(BC0)が改善されていることが分かる。BC0
は、実用上は、反射防止処理されてないものに対してそ
の絶対値が1以上、特に5以上であることが好ましい。
From the above table, it can be seen that the PDP that has been subjected to the anti-reflection treatment of the present invention has improved bright place contrast (B C0 ) as compared with the PDP that has not been subjected to the anti-reflection treatment. B C0
It is practically preferable that the absolute value thereof is 1 or more, particularly 5 or more, with respect to those not subjected to the antireflection treatment.

【0036】例6〜9、比較例2 例1〜4及び比較例1のPDPの前面に、前面保護フィ
ルターを設け、各種PDPを製造した。前面保護フィル
ターの構成は、周辺部に全周に渡り銀及びホウ珪酸フリ
ットを主成分とした導電性インクが印刷され、高温で焼
き付けられたクリアガラス板を基材とし、クリアガラス
板の導電性インクが印刷された側の表面に真空スパッタ
リングにより、ZnO/Ag/ZnO/Ag/ZnO/
Ag/ZnOの多層膜が設けられ、さらに該多層膜の上
に、片側の表面に低反射コートが施された厚さ80μm
のPETフィルムが該低反射コートが露出するように貼
られ、さらにクリアガラス板の前記多層膜コート面の反
対側の表面には、染料を練りこんで着色された厚さ0.
3mmのウレタン樹脂フィルムの片側の表面に低反射コ
ートが施されたフィルムが該低反射コートが露出するよ
うに貼られたものである。前面保護フィルターのPDP
への組み付け方は、PDPの筐体と、前面保護フィルタ
ーの銀インク印刷部とを導電性のガスケットで電気的に
接続させ、PDPを覆うような電磁遮蔽構造にする。本
前面保護フィルターの特性は、可視光透過率60.0
%、可視光反射率2.0%、膜抵抗2.5Ω/□、透過
色がニュートラル、電磁シールド特性は30MHz〜1
GHzにわたり−10dB以上である。
Examples 6 to 9, Comparative Example 2 A front protective filter was provided on the front of the PDPs of Examples 1 to 4 and Comparative Example 1 to produce various PDPs. The front protective filter consists of a clear glass plate printed with conductive ink containing silver and borosilicate frit as the main components around the entire periphery and baked at a high temperature. ZnO / Ag / ZnO / Ag / ZnO /
An Ag / ZnO multilayer film is provided, and a low-reflection coating is applied on one surface of the multilayer film to a thickness of 80 μm.
Is applied so that the low-reflection coat is exposed, and the surface of the clear glass plate opposite to the surface coated with the multilayer film is colored by kneading a dye with a thickness of 0.1 mm.
A film in which a low-reflection coat is applied to one surface of a 3 mm urethane resin film is attached so that the low-reflection coat is exposed. PDP with front protection filter
As for the method of assembling, the PDP housing is electrically connected to the silver ink printed portion of the front protection filter with a conductive gasket, so that an electromagnetic shielding structure that covers the PDP is provided. The characteristic of this front protective filter is visible light transmittance of 60.0
%, Visible light reflectivity 2.0%, film resistance 2.5Ω / □, transmission color is neutral, electromagnetic shielding characteristics are 30MHz ~ 1
-10 dB or more over GHz.

【0037】得られた各種PDPの光学的性質は、表2
に示すとおりである。
Table 2 shows the optical properties of the obtained PDPs.
As shown in FIG.

【0038】[0038]

【表2】 [Table 2]

【0039】前面保護フィルタ−を設けることで、通
常、輝度が低下するが、例7や例9からなる構成とする
ことで、輝度を低下させず、明所コントラストを改善す
ることができる。また、例3、8のアンチグレア処理を
施したものは、アンチグレア処理によりパネルからの正
反射成分(入射角と反射角が同一の反射成分)が低減さ
れるため、太陽光線や照明等の光源の映り込みが軽減さ
れる(総合正反射率が抑えられる)ので、視認性は向上
している。上表より、本発明の反射防止処理を施したP
DPは、それが施されていないものに比べて明所での視
認性が改善されていることが判る。
The provision of the front protection filter usually lowers the luminance. However, the configuration of Example 7 or Example 9 can improve the bright place contrast without lowering the luminance. Further, the anti-glare treatments of Examples 3 and 8 reduce the specular reflection component (reflection component having the same incident angle and reflection angle) from the panel due to the anti-glare treatment. Since the reflection is reduced (the overall regular reflectance is suppressed), the visibility is improved. From the above table, it can be seen that P having been subjected to the anti-reflection treatment of the present invention
It can be seen that the DP has improved visibility in bright places compared to the one without it.

【0040】[0040]

【発明の効果】本発明のPDP用前面ガラスは、透明ガ
ラス基板外側面上に反射防止処理を施すのみで効率的に
製造できると共に、PDPの明所コントラストあるいは
光源の映り込みが容易に改善され、PDPの視認性を改
善する。
The front glass for a PDP of the present invention can be efficiently manufactured only by performing an antireflection treatment on the outer surface of the transparent glass substrate, and the bright place contrast of the PDP or the reflection of the light source can be easily improved. And improve the visibility of the PDP.

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Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】前面ガラスと背面ガラスとが封着されてな
るプラズマディスプレイにおける前面ガラスにおいて、
前面ガラスは透明ガラス基板からなり、外光が入射する
側の表面上に反射防止処理が施されてなることを特徴と
するプラズマディスプレイパネル用前面ガラス。
1. A front glass in a plasma display in which a front glass and a back glass are sealed,
A front glass for a plasma display panel, wherein the front glass is made of a transparent glass substrate, and an antireflection treatment is applied to a surface on a side where external light is incident.
【請求項2】前記反射防止処理は、透明ガラス基板上に
光学干渉膜が形成されることによるものであることを特
徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル
用前面ガラス。
2. The front glass for a plasma display panel according to claim 1, wherein the anti-reflection treatment is performed by forming an optical interference film on a transparent glass substrate.
【請求項3】前記反射防止処理は、透明ガラス基板の表
面がアンチグレア処理されることによるものであること
を特徴とする請求項1または2に記載のプラズマディス
プレイパネル用前面ガラス。
3. The front glass for a plasma display panel according to claim 1, wherein the antireflection treatment is performed by performing an antiglare treatment on a surface of the transparent glass substrate.
【請求項4】前記反射防止処理は、アンチグレア処理さ
れた樹脂フィルムが透明ガラス基板上に貼着されること
によるものであることを特徴とする請求項1に記載のプ
ラズマディスプレイパネル用前面ガラス。
4. The front glass for a plasma display panel according to claim 1, wherein the antireflection treatment is performed by sticking a resin film subjected to an antiglare treatment on a transparent glass substrate.
【請求項5】前記反射防止処理は、光学干渉膜を有する
樹脂フィルムが透明ガラス基板上に貼着されることによ
るものであることを特徴とする請求項1に記載のプラズ
マディスプレイパネル用前面ガラス。
5. The front glass for a plasma display panel according to claim 1, wherein the antireflection treatment is performed by sticking a resin film having an optical interference film on a transparent glass substrate. .
【請求項6】請求項1〜5のいずれかに記載のプラズマ
ディスプレイパネル用前面ガラスの反射防止処理面とは
逆側の表面上にデバイス要素を設ける工程と、背面ガラ
スにデバイス要素を設ける工程と、デバイス要素を設け
た前面ガラスとデバイス要素を設けた背面ガラスとを封
着させる工程とを含むことを特徴とするプラズマディス
プレイパネルの製造方法。
6. A step of providing a device element on a surface of the front glass for a plasma display panel according to any one of claims 1 to 5 opposite to an antireflection treated surface, and a step of providing a device element on a back glass. And a step of sealing the front glass provided with the device element and the back glass provided with the device element.
【請求項7】請求項1〜5のいずれかに記載のプラズマ
ディスプレイパネル用前面ガラスを有することを特徴と
するプラズマディスプレイパネル。
7. A plasma display panel comprising the front glass for a plasma display panel according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019070857A (en) * 2014-05-26 2019-05-09 Agc株式会社 Transparent substrate

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