JP2002027567A - 半導体製造装置のリモート操作システム、半導体製造装置および遠隔操作装置 - Google Patents
半導体製造装置のリモート操作システム、半導体製造装置および遠隔操作装置Info
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 遠隔操作装置にホスト装置と同一の画面を表
示し、かつ同一の操作を行うことのできる半導体製造装
置のリモート操作システムを提供する。 【解決手段】 １台または複数台の半導体製造装置Ｄと
ホスト装置Ｈとを含む半導体製造装置側のＬＡＮシステ
ムと、前記半導体製造装置側のホスト装置Ｈ回線を介し
てアクセス可能な通信手段Ｃｏｍを有する遠隔操作装置
Ｌとから構成され、ホスト装置Ｈは遠隔操作装置Ｌから
のリモート操作を実現させるためのＩＰルーティング機
能および必要プロトコルを実装し、かつ回線からの着信
機能を有する通信手段Ｃｏｍを実装するとともに、ホス
ト装置Ｈは、前記遠隔操作装置が前記ホスト装置に接続
する際にユーザー認証を行い、認証された遠隔操作装置
は、ホスト装置Ｈに表示される画面と同一の画面を表示
し、かつホスト装置Ｈに対して遠隔操作を行うことが可
能となる。
示し、かつ同一の操作を行うことのできる半導体製造装
置のリモート操作システムを提供する。 【解決手段】 １台または複数台の半導体製造装置Ｄと
ホスト装置Ｈとを含む半導体製造装置側のＬＡＮシステ
ムと、前記半導体製造装置側のホスト装置Ｈ回線を介し
てアクセス可能な通信手段Ｃｏｍを有する遠隔操作装置
Ｌとから構成され、ホスト装置Ｈは遠隔操作装置Ｌから
のリモート操作を実現させるためのＩＰルーティング機
能および必要プロトコルを実装し、かつ回線からの着信
機能を有する通信手段Ｃｏｍを実装するとともに、ホス
ト装置Ｈは、前記遠隔操作装置が前記ホスト装置に接続
する際にユーザー認証を行い、認証された遠隔操作装置
は、ホスト装置Ｈに表示される画面と同一の画面を表示
し、かつホスト装置Ｈに対して遠隔操作を行うことが可
能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置の
リモート操作システムに関し、特に、管理装置であるホ
スト装置を含む１台または複数台の半導体製造装置のロ
ーカルエリアネットワークシステムに、回線を介してア
クセス可能な通信手段を有する遠隔操作装置によりアク
セスし、前記ホスト装置を介して半導体製造装置を遠隔
操作により保守することが可能な半導体製造装置のリモ
ート操作システム、半導体製造装置および遠隔操作装置
に関する。
リモート操作システムに関し、特に、管理装置であるホ
スト装置を含む１台または複数台の半導体製造装置のロ
ーカルエリアネットワークシステムに、回線を介してア
クセス可能な通信手段を有する遠隔操作装置によりアク
セスし、前記ホスト装置を介して半導体製造装置を遠隔
操作により保守することが可能な半導体製造装置のリモ
ート操作システム、半導体製造装置および遠隔操作装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図８は従来の半導体製造装置におけるＬ
ＡＮシステム構成図を示すブロック図である。従来、半
導体の製造工場等においては、複数台（Ｎ台）の半導体
製造装置Ｄ’ 1、Ｄ’2・・・Ｄ’NがＲＳ２３２Ｃ等の
シリアルケーブル１を介してターミナルサーバＴＳ’に
接続され、このターミナルサーバＴＳ’のイーサネット
（登録商標）カードを介してホスト装置Ｈ’と接続され
たローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）を構成し、半
導体製造装置のモニタ、イベント、アラーム、ロット処
理等の管理を行っていた。このような構成のＬＡＮシス
テムは、同一ネットワーク内のホスト装置Ｈ’とターミ
ナルサーバＴＳ’または各半導体製造装置Ｄ’1、Ｄ’2
・・・Ｄ’N間だけで通信可能ないわゆる閉ざされたネ
ットワークである。
ＡＮシステム構成図を示すブロック図である。従来、半
導体の製造工場等においては、複数台（Ｎ台）の半導体
製造装置Ｄ’ 1、Ｄ’2・・・Ｄ’NがＲＳ２３２Ｃ等の
シリアルケーブル１を介してターミナルサーバＴＳ’に
接続され、このターミナルサーバＴＳ’のイーサネット
（登録商標）カードを介してホスト装置Ｈ’と接続され
たローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）を構成し、半
導体製造装置のモニタ、イベント、アラーム、ロット処
理等の管理を行っていた。このような構成のＬＡＮシス
テムは、同一ネットワーク内のホスト装置Ｈ’とターミ
ナルサーバＴＳ’または各半導体製造装置Ｄ’1、Ｄ’2
・・・Ｄ’N間だけで通信可能ないわゆる閉ざされたネ
ットワークである。
【０００３】そのため、このような従来のネットワーク
においてホスト装置Ｈ’には遠隔地に存在する端末や別
のネットワークにおけるホスト装置（以下、遠隔操作装
置と言う）と接続するための基本機能として、（１）ポ
イント・ツ・ポイントプロトコル（ＰＰＰ）の実装とユ
ーザー認証機能、（２）モデムやターミナルアダプタと
のシリアル通信機能および自動着信機能、（３）異なる
ネットワークへのインターネット・プロトコル（ＩＰ）
ルーティング機能等のドライバやソフトウェアが実装さ
れておらず、またホスト装置Ｈ’または半導体製造装置
Ｄ’1、Ｄ’2・・・Ｄ’Nにモデムやターミナルアダプ
タ等の通信手段やアクセスサーバ等の遠隔操作に必要な
機器が実装されていないので、ＴＣＰ（トランスミッシ
ョン・コントロール・プロトコル）／ＩＰ等による遠隔
地の端末との接続はできなかった。
においてホスト装置Ｈ’には遠隔地に存在する端末や別
のネットワークにおけるホスト装置（以下、遠隔操作装
置と言う）と接続するための基本機能として、（１）ポ
イント・ツ・ポイントプロトコル（ＰＰＰ）の実装とユ
ーザー認証機能、（２）モデムやターミナルアダプタと
のシリアル通信機能および自動着信機能、（３）異なる
ネットワークへのインターネット・プロトコル（ＩＰ）
ルーティング機能等のドライバやソフトウェアが実装さ
れておらず、またホスト装置Ｈ’または半導体製造装置
Ｄ’1、Ｄ’2・・・Ｄ’Nにモデムやターミナルアダプ
タ等の通信手段やアクセスサーバ等の遠隔操作に必要な
機器が実装されていないので、ＴＣＰ（トランスミッシ
ョン・コントロール・プロトコル）／ＩＰ等による遠隔
地の端末との接続はできなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一方、半導体製造装置
を接続したホスト装置に、遠隔操作装置からアクセスを
行ってホスト装置と同一の画面を描画し、そして遠隔操
作を行いたいという要求がある。本発明は上述した事情
に鑑みてなされたものであり、遠隔操作装置から半導体
製造装置が接続された管理装置（ホスト装置）にアクセ
スし、前記管理装置と同一の画面を表示し、かつ前記管
理装置が半導体製造装置に対して行う操作と同一の操作
を行うことのできる半導体製造装置のリモート操作シス
テムを提供することである。また、その際に遠隔装置が
正規のものか認証を行うようにして外部（第三者）から
の接続を防止し、安全性を高めるようにした半導体製造
装置のリモート操作システムを提供することである。
を接続したホスト装置に、遠隔操作装置からアクセスを
行ってホスト装置と同一の画面を描画し、そして遠隔操
作を行いたいという要求がある。本発明は上述した事情
に鑑みてなされたものであり、遠隔操作装置から半導体
製造装置が接続された管理装置（ホスト装置）にアクセ
スし、前記管理装置と同一の画面を表示し、かつ前記管
理装置が半導体製造装置に対して行う操作と同一の操作
を行うことのできる半導体製造装置のリモート操作シス
テムを提供することである。また、その際に遠隔装置が
正規のものか認証を行うようにして外部（第三者）から
の接続を防止し、安全性を高めるようにした半導体製造
装置のリモート操作システムを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、半導体製造装置の管理装置に回線を介して遠
隔操作装置からアクセス可能とした半導体製造装置のリ
モート操作システムであって、前記遠隔操作装置は、前
記管理装置に表示される画面と同一の画面を表示し、か
つ前記半導体製造装置に対して前記管理装置空の操作と
同一の操作を行うことを可能にすることを特徴とする。
本発明は、半導体製造装置の管理装置に回線を介して遠
隔操作装置からアクセス可能とした半導体製造装置のリ
モート操作システムであって、前記遠隔操作装置は、前
記管理装置に表示される画面と同一の画面を表示し、か
つ前記半導体製造装置に対して前記管理装置空の操作と
同一の操作を行うことを可能にすることを特徴とする。
【０００６】このように構成することによって、遠隔地
にある遠隔操作装置は、半導体製造装置の管理（ホス
ト）装置に回線によりアクセスすることによって前記管
理装置と同一の画面を表示し、管理装置を介して半導体
製造装置を遠隔操作することが可能となる。
にある遠隔操作装置は、半導体製造装置の管理（ホス
ト）装置に回線によりアクセスすることによって前記管
理装置と同一の画面を表示し、管理装置を介して半導体
製造装置を遠隔操作することが可能となる。
【０００７】また、本発明において、前記管理装置は前
記遠隔操作装置が前記管理装置に接続する際にユーザー
認証を行うことを特徴とするものである。
記遠隔操作装置が前記管理装置に接続する際にユーザー
認証を行うことを特徴とするものである。
【０００８】このような構成によれば、第三者の接続が
防止されて、安全性が防止される。
防止されて、安全性が防止される。
【０００９】また、本発明は前記遠隔操作装置とアクセ
ス可能な管理装置と接続された半導体製造装置を提供す
るものであり、また、その遠隔操作装置を提供するもの
である。
ス可能な管理装置と接続された半導体製造装置を提供す
るものであり、また、その遠隔操作装置を提供するもの
である。
【００１０】なお、本発明の実施の形態における半導体
製造装置のリモート操作システムは、ホスト装置（管理
装置）を含む１台または複数台の半導体製造装置とのロ
ーカルエリアネットワークシステムと、前記半導体製造
装置側のホスト装置に回線を介してアクセス可能な通信
手段を有する遠隔操作装置とから構成される半導体製造
装置のリモート操作システムであって、前記ホスト装置
は前記遠隔操作装置からのリモート操作を実現させるた
めのＩＰルーティング機能および必要プロトコルを実装
し、かつ回線からの着信機能を有する通信手段を実装す
るとともに、前記ホスト装置は、前記遠隔操作装置が前
記ホスト装置に接続する際にユーザー認証を行い、認証
された遠隔操作装置は、前記ホスト装置に表示される画
面と同一の画面を表示し、かつ前記ホスト装置に対して
遠隔操作を行うことが可能となるものである。そして、
前記ホスト装置と前記遠隔操作装置が各々通信手段とし
てモデムを有しており、前記ホスト装置と前記遠隔装置
との接続を、アナログ回線を介して行うことができる
（第１の実施の形態）。
製造装置のリモート操作システムは、ホスト装置（管理
装置）を含む１台または複数台の半導体製造装置とのロ
ーカルエリアネットワークシステムと、前記半導体製造
装置側のホスト装置に回線を介してアクセス可能な通信
手段を有する遠隔操作装置とから構成される半導体製造
装置のリモート操作システムであって、前記ホスト装置
は前記遠隔操作装置からのリモート操作を実現させるた
めのＩＰルーティング機能および必要プロトコルを実装
し、かつ回線からの着信機能を有する通信手段を実装す
るとともに、前記ホスト装置は、前記遠隔操作装置が前
記ホスト装置に接続する際にユーザー認証を行い、認証
された遠隔操作装置は、前記ホスト装置に表示される画
面と同一の画面を表示し、かつ前記ホスト装置に対して
遠隔操作を行うことが可能となるものである。そして、
前記ホスト装置と前記遠隔操作装置が各々通信手段とし
てモデムを有しており、前記ホスト装置と前記遠隔装置
との接続を、アナログ回線を介して行うことができる
（第１の実施の形態）。
【００１１】あるいは、本発明の半導体製造装置のリモ
ート操作システムにおいて、前記ホスト装置と前記遠隔
操作装置が各々通信手段としてターミナルアダプタを有
しており、前記ホスト装置と前記遠隔装置との接続を、
ＩＳＤＮ回線を介して行うことができる（第２の実施の
形態）。
ート操作システムにおいて、前記ホスト装置と前記遠隔
操作装置が各々通信手段としてターミナルアダプタを有
しており、前記ホスト装置と前記遠隔装置との接続を、
ＩＳＤＮ回線を介して行うことができる（第２の実施の
形態）。
【００１２】さらに、本発明の実施の形態における半導
体製造装置のリモート操作システムにおいて、前記半導
体製造装置側のローカルエリアネットワークシステムを
各々１台ないし複数台の半導体製造装置と接続された複
数台のホスト装置と、前記ホスト装置と接続された通信
手段としたルータから構成し、かつ前記遠隔操作装置が
通信手段としてルータを有しており、前記ホスト装置と
前記遠隔装置との接続をインターネットを介して行い
（第３の実施の形態）、またはローカルエリアネットワ
ークまたはワイドエリアネットワークを介して行い（第
４の実施の形態）、そして前記遠隔装置は、前記各ホス
ト装置の表示画面を個別に表示しかつ操作することが可
能となるように構成することもできる。
体製造装置のリモート操作システムにおいて、前記半導
体製造装置側のローカルエリアネットワークシステムを
各々１台ないし複数台の半導体製造装置と接続された複
数台のホスト装置と、前記ホスト装置と接続された通信
手段としたルータから構成し、かつ前記遠隔操作装置が
通信手段としてルータを有しており、前記ホスト装置と
前記遠隔装置との接続をインターネットを介して行い
（第３の実施の形態）、またはローカルエリアネットワ
ークまたはワイドエリアネットワークを介して行い（第
４の実施の形態）、そして前記遠隔装置は、前記各ホス
ト装置の表示画面を個別に表示しかつ操作することが可
能となるように構成することもできる。
【００１３】さらにまた、本発明の実施の形態における
半導体製造装置のリモート操作システムにおいて、前記
半導体製造装置側のローカルエリアネットワークシステ
ムを各々１台ないし複数台の半導体製造装置と接続され
た複数台のホスト装置と、前記ホスト装置と接続された
通信手段としてのアクセスサーバから構成し、複数の同
一または異なる通信手段を有する遠隔装置と接続可能と
なるように構成することも可能である（第５の実施の形
態）。
半導体製造装置のリモート操作システムにおいて、前記
半導体製造装置側のローカルエリアネットワークシステ
ムを各々１台ないし複数台の半導体製造装置と接続され
た複数台のホスト装置と、前記ホスト装置と接続された
通信手段としてのアクセスサーバから構成し、複数の同
一または異なる通信手段を有する遠隔装置と接続可能と
なるように構成することも可能である（第５の実施の形
態）。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明を添付図面に基づい
て詳細に説明する。図１は、本発明の半導体製造装置の
リモート操作システムにおける半導体製造装置側のＬＡ
Ｎシステムの基本的概念を示す構成図であり、図２は、
本発明による半導体製造装置のリモート操作システムの
基本構成を表す模式図であり、図３は、本発明の第１の
実施の形態による半導体製造装置のリモート操作システ
ムを表す模式図であり、図４は、本発明の第２の実施の
形態による半導体製造装置のリモート操作システムを表
す模式図であり、図５は、本発明の第３の実施の形態に
よる半導体製造装置のリモート操作システムを表す模式
図であり、図６は、本発明の第４の実施の形態による半
導体製造装置のリモート操作システムを表す模式図であ
り、そして図７は、本発明の第５の実施の形態による半
導体製造装置のリモート操作システムを表す模式図であ
る。
て詳細に説明する。図１は、本発明の半導体製造装置の
リモート操作システムにおける半導体製造装置側のＬＡ
Ｎシステムの基本的概念を示す構成図であり、図２は、
本発明による半導体製造装置のリモート操作システムの
基本構成を表す模式図であり、図３は、本発明の第１の
実施の形態による半導体製造装置のリモート操作システ
ムを表す模式図であり、図４は、本発明の第２の実施の
形態による半導体製造装置のリモート操作システムを表
す模式図であり、図５は、本発明の第３の実施の形態に
よる半導体製造装置のリモート操作システムを表す模式
図であり、図６は、本発明の第４の実施の形態による半
導体製造装置のリモート操作システムを表す模式図であ
り、そして図７は、本発明の第５の実施の形態による半
導体製造装置のリモート操作システムを表す模式図であ
る。
【００１５】（基本構成）まず、本発明の半導体製造装
置のリモート操作システムの基本構成を図１および図２
に基づいて説明する。本発明の半導体製造装置のリモー
ト操作システムにおける半導体製造装置側のシステム
は、図１に示す通り、複数台（Ｎ台）の半導体製造装置
Ｄ1、Ｄ2・・・ＤN、前記半導体製造装置Ｄ1、Ｄ2・・
・ＤNと接続されたターミナルサーバＴＳ、このターミ
ナルサーバＴＳとイーサネットカード等のＬＡＮカード
を介して接続されたホスト装置Ｈとから主として構成さ
れている。
置のリモート操作システムの基本構成を図１および図２
に基づいて説明する。本発明の半導体製造装置のリモー
ト操作システムにおける半導体製造装置側のシステム
は、図１に示す通り、複数台（Ｎ台）の半導体製造装置
Ｄ1、Ｄ2・・・ＤN、前記半導体製造装置Ｄ1、Ｄ2・・
・ＤNと接続されたターミナルサーバＴＳ、このターミ
ナルサーバＴＳとイーサネットカード等のＬＡＮカード
を介して接続されたホスト装置Ｈとから主として構成さ
れている。
【００１６】そして前記ホスト装置Ｈは、画像を表示す
るための表示装置であるＣＲＴ、表示したデータを印刷
するプリンタ、データを入力するためのキーボード、Ｃ
ＲＴ上の所定の箇所を決定するためのポインティングデ
バイスであるマウス等の入出力手段Ｉ／Ｏ等が接続さ
れ、さらに公衆回線と接続するための通信手段Ｃｏｍで
あるモデムまたはターミナルアダプタが接続されてい
る。また、ホスト装置Ｈは、前記通信手段Ｃｏｍの代わ
りに、ＬＡＮを介してインターネット等の外部のネット
ワークシステムにデータを通信可能なアクセスサーバま
たはルータ等のＣｏｍ’と接続する構成とすることもで
きる。
るための表示装置であるＣＲＴ、表示したデータを印刷
するプリンタ、データを入力するためのキーボード、Ｃ
ＲＴ上の所定の箇所を決定するためのポインティングデ
バイスであるマウス等の入出力手段Ｉ／Ｏ等が接続さ
れ、さらに公衆回線と接続するための通信手段Ｃｏｍで
あるモデムまたはターミナルアダプタが接続されてい
る。また、ホスト装置Ｈは、前記通信手段Ｃｏｍの代わ
りに、ＬＡＮを介してインターネット等の外部のネット
ワークシステムにデータを通信可能なアクセスサーバま
たはルータ等のＣｏｍ’と接続する構成とすることもで
きる。
【００１７】また、ホスト装置Ｈには、遠隔通信機能、
ポイント・ツ・ポイントプロトコル（ＰＰＰ）、インタ
ーネット・プロトコル（ＩＰ）ルーティング機能のソフ
トウェアが実装されており、これによって、通信手段Ｃ
ｏｍを有する遠隔操作装置と相互に通信することが可能
となる。
ポイント・ツ・ポイントプロトコル（ＰＰＰ）、インタ
ーネット・プロトコル（ＩＰ）ルーティング機能のソフ
トウェアが実装されており、これによって、通信手段Ｃ
ｏｍを有する遠隔操作装置と相互に通信することが可能
となる。
【００１８】本発明における半導体製造装置のリモート
操作システムにおける遠隔地側の遠隔操作装置Ｌは、ス
タンドアロン型の端末装置であってもあるいは遠隔地側
システムとは異なるネットワークシステムにおけるホス
ト装置あるいは端末装置であってもよく、本発明による
同一画面で遠隔操作を実施するために同一のネットワー
クオペレーティングシステムまたは同一のプログラムを
実行可能なオペレーティングシステムおよびホスト装置
と通信するのに必要なソフトウェア等が導入されてい
る。
操作システムにおける遠隔地側の遠隔操作装置Ｌは、ス
タンドアロン型の端末装置であってもあるいは遠隔地側
システムとは異なるネットワークシステムにおけるホス
ト装置あるいは端末装置であってもよく、本発明による
同一画面で遠隔操作を実施するために同一のネットワー
クオペレーティングシステムまたは同一のプログラムを
実行可能なオペレーティングシステムおよびホスト装置
と通信するのに必要なソフトウェア等が導入されてい
る。
【００１９】また、半導体製造装置側のシステムと同様
に、遠隔操作装置Ｌは、出力装置であるＣＲＴ、表示し
たデータを印刷するプリンタ、データを入力するための
キーボード、ＣＲＴ上の所定の箇所を決定するためのポ
インティングデバイスであるマウス等の入出力手段Ｉ／
Ｏ等が接続され、そしてさらに公衆回線と接続するため
の通信手段Ｃｏｍであるモデムまたはターミナルアダプ
タが接続されている。また、モデムまたはターミナルア
ダプタの代わりに、遠隔操作装置Ｌは、ＬＡＮ接続され
ている場合において、ＬＡＮを介してインターネット等
の外部のネットワークシステムにデータを通信可能なル
ータを接続する構成とすることもできる。
に、遠隔操作装置Ｌは、出力装置であるＣＲＴ、表示し
たデータを印刷するプリンタ、データを入力するための
キーボード、ＣＲＴ上の所定の箇所を決定するためのポ
インティングデバイスであるマウス等の入出力手段Ｉ／
Ｏ等が接続され、そしてさらに公衆回線と接続するため
の通信手段Ｃｏｍであるモデムまたはターミナルアダプ
タが接続されている。また、モデムまたはターミナルア
ダプタの代わりに、遠隔操作装置Ｌは、ＬＡＮ接続され
ている場合において、ＬＡＮを介してインターネット等
の外部のネットワークシステムにデータを通信可能なル
ータを接続する構成とすることもできる。
【００２０】図２に示す通り、まず遠隔装置Ｌ側におい
て、遠隔操作装置Ｌに接続されたキーボード、マウス等
の入力手段を用いて、半導体製造装置側のホスト装置Ｈ
に通信を行う（図２における矢印）。この際に使用す
るプロトコルは、半導体製造装置側のホスト装置Ｈと遠
隔操作装置Ｌとの間を接続することが可能であり、後述
の同一画面の表示およびリモート操作を遠隔操作装置Ｌ
で行えるものであれば特に制限されないが、汎用性等の
観点からＵＮＩＸ（登録商標）システムにおける経路制
御プロトコルのＴＣＰ／ＩＰとＧＵＩ制御のＸプロトコ
ルまたはインターネットの経路制御として標準のプロト
コルであるＴＣＰ／ＩＰ（トランスミッション・コント
ロール・プロトコル／インタネット・プロトコル）と標
準的なハイパーテキストの通信制御プロトコルであるＨ
ＴＴＰ（ハイパー・テキスト・トランスファ・プロトコ
ル）を用いるのが好ましい。なお、複数のデータを送信
する場合にはマルチパート形式にて送信を行うのが好ま
しい。
て、遠隔操作装置Ｌに接続されたキーボード、マウス等
の入力手段を用いて、半導体製造装置側のホスト装置Ｈ
に通信を行う（図２における矢印）。この際に使用す
るプロトコルは、半導体製造装置側のホスト装置Ｈと遠
隔操作装置Ｌとの間を接続することが可能であり、後述
の同一画面の表示およびリモート操作を遠隔操作装置Ｌ
で行えるものであれば特に制限されないが、汎用性等の
観点からＵＮＩＸ（登録商標）システムにおける経路制
御プロトコルのＴＣＰ／ＩＰとＧＵＩ制御のＸプロトコ
ルまたはインターネットの経路制御として標準のプロト
コルであるＴＣＰ／ＩＰ（トランスミッション・コント
ロール・プロトコル／インタネット・プロトコル）と標
準的なハイパーテキストの通信制御プロトコルであるＨ
ＴＴＰ（ハイパー・テキスト・トランスファ・プロトコ
ル）を用いるのが好ましい。なお、複数のデータを送信
する場合にはマルチパート形式にて送信を行うのが好ま
しい。
【００２１】例えば、遠隔操作装置ＬからＨＴＴＰ１．
０プロトコルのメソッドとしてＰＯＳＴを用い、ＰＯＳ
Ｔメソッド直後のＵＲＩは事前に規定したＵＲＩを指定
し、送信するデータはｂｏｄｙ部分で送信し、以下の表
に示すコンテント−タイプ（Ｃｏｎｔｅｎｔ−ｔｙｐ
ｅ）ヘッダを用いて送信を行う。
０プロトコルのメソッドとしてＰＯＳＴを用い、ＰＯＳ
Ｔメソッド直後のＵＲＩは事前に規定したＵＲＩを指定
し、送信するデータはｂｏｄｙ部分で送信し、以下の表
に示すコンテント−タイプ（Ｃｏｎｔｅｎｔ−ｔｙｐ
ｅ）ヘッダを用いて送信を行う。
【００２２】
【表１】
【００２３】この際に、オーソライゼーション（Ａｕｔ
ｈｏｒｉｚａｔｉｏｎ）ヘッダを用いて認証を指定し、
ＢＡＳＩＣを用いて暗号化を行い、そして暗証番号を事
前にサーバ側である半導体製造装置側のホスト装置Ｈに
登録しておく。このようにしてクライアント側である遠
隔操作装置Ｌ側から回線を通じてサーバ側である半導体
製造装置側のホスト装置Ｈに通信を行い、ホスト装置Ｈ
にて正常に登録された場合（認証・暗証番号の確認）、
遠隔操作装置Ｌ側の出力装置であるＣＲＴ上にはホスト
装置Ｈの出力装置であるＣＲＴと同一の画面が表示さ
れ、遠隔操作装置Ｌ側の入力装置であるキーボード、マ
ウス等を用いて、ホスト装置Ｈと同一の操作を行うこと
が可能となる（データリンク：図２における矢印）。
ｈｏｒｉｚａｔｉｏｎ）ヘッダを用いて認証を指定し、
ＢＡＳＩＣを用いて暗号化を行い、そして暗証番号を事
前にサーバ側である半導体製造装置側のホスト装置Ｈに
登録しておく。このようにしてクライアント側である遠
隔操作装置Ｌ側から回線を通じてサーバ側である半導体
製造装置側のホスト装置Ｈに通信を行い、ホスト装置Ｈ
にて正常に登録された場合（認証・暗証番号の確認）、
遠隔操作装置Ｌ側の出力装置であるＣＲＴ上にはホスト
装置Ｈの出力装置であるＣＲＴと同一の画面が表示さ
れ、遠隔操作装置Ｌ側の入力装置であるキーボード、マ
ウス等を用いて、ホスト装置Ｈと同一の操作を行うこと
が可能となる（データリンク：図２における矢印）。
【００２４】以下、本発明の半導体製造装置のリモート
操作システムの具体的な実施の形態を添付図面に基づい
て更に詳細に説明する。 実施の形態１．本発明の第１の実施の形態は、図３に示
す通り、回線として最も一般的なアナログ回線を用いて
半導体製造装置のホスト装置Ｈとクライアント端末であ
る遠隔操作装置Ｌ側とを接続したシステムの構成例であ
る。
操作システムの具体的な実施の形態を添付図面に基づい
て更に詳細に説明する。 実施の形態１．本発明の第１の実施の形態は、図３に示
す通り、回線として最も一般的なアナログ回線を用いて
半導体製造装置のホスト装置Ｈとクライアント端末であ
る遠隔操作装置Ｌ側とを接続したシステムの構成例であ
る。
【００２５】この実施の形態において、半導体製造装置
側のシステムは、例えば半導体製造会社等のデバイスメ
ーカーであり、そして遠隔操作装置側は例えば装置のサ
プライヤー等のメンテナンスを行うサイトである。半導
体製造装置側のシステムは、複数台（Ｎ台）の半導体製
造装置Ｄ1、Ｄ2・・・ＤN、前記半導体製造装置Ｄ1、Ｄ
2・・・ＤNとＲＳ２３２Ｃ等でシリアル接続されたター
ミナルサーバＴＳ、このターミナルサーバＴＳとイーサ
ネットカード等のＬＡＮカードを介して接続されたホス
ト装置Ｈ、ホスト装置Ｈに接続された通信手段Ｃｏｍで
あるモデムとから主として構成されている。そして、ホ
スト装置Ｈには図示しないキーボード、マウス等の入力
手段、ＣＲＴ、プリンタ等の出力手段が接続されてい
る。また、ホスト装置Ｈには例えばＵＮＩＸ系のＯＳ上
でＧＵＩ（グラフィカルユーザインタフェース）を制御
するＸウインドウシステムが導入されており、Ｎ台の半
導体装置のモニタ、イベント、アラーム、ロット処理等
を行っている。
側のシステムは、例えば半導体製造会社等のデバイスメ
ーカーであり、そして遠隔操作装置側は例えば装置のサ
プライヤー等のメンテナンスを行うサイトである。半導
体製造装置側のシステムは、複数台（Ｎ台）の半導体製
造装置Ｄ1、Ｄ2・・・ＤN、前記半導体製造装置Ｄ1、Ｄ
2・・・ＤNとＲＳ２３２Ｃ等でシリアル接続されたター
ミナルサーバＴＳ、このターミナルサーバＴＳとイーサ
ネットカード等のＬＡＮカードを介して接続されたホス
ト装置Ｈ、ホスト装置Ｈに接続された通信手段Ｃｏｍで
あるモデムとから主として構成されている。そして、ホ
スト装置Ｈには図示しないキーボード、マウス等の入力
手段、ＣＲＴ、プリンタ等の出力手段が接続されてい
る。また、ホスト装置Ｈには例えばＵＮＩＸ系のＯＳ上
でＧＵＩ（グラフィカルユーザインタフェース）を制御
するＸウインドウシステムが導入されており、Ｎ台の半
導体装置のモニタ、イベント、アラーム、ロット処理等
を行っている。
【００２６】一方、端末である遠隔操作装置Ｌは、ホス
ト装置Ｈと同様にＸサーバーソフトが導入されているＸ
端末機、Ｘウインドウ搭載のＵＮＩＸ、Ｘサーバーエミ
ュレータを搭載したパーソナルコンピュータシステムで
あり、通信手段Ｃｏｍであるモデム、図示しないキーボ
ード、マウス等の入力手段、ＣＲＴ、プリンタ等の出力
手段が接続されている。
ト装置Ｈと同様にＸサーバーソフトが導入されているＸ
端末機、Ｘウインドウ搭載のＵＮＩＸ、Ｘサーバーエミ
ュレータを搭載したパーソナルコンピュータシステムで
あり、通信手段Ｃｏｍであるモデム、図示しないキーボ
ード、マウス等の入力手段、ＣＲＴ、プリンタ等の出力
手段が接続されている。
【００２７】そして、半導体製造装置側のシステムにお
けるホスト装置Ｈとそのモデム間と端末である遠隔操作
装置Ｌとそのモデムとは、各々シリアル接続されてい
る。また、ホスト装置Ｈには、モデム着信を可能とする
制御ソフトウェアが組み込まれており、ホスト装置Ｈと
遠隔操作装置ＬとをＰＰＰプロトコルによるデータリン
クをはり、ＰＰＰデータリンク上にＴＣＰ／ＩＰによる
ソケット通信を行う構成としている。
けるホスト装置Ｈとそのモデム間と端末である遠隔操作
装置Ｌとそのモデムとは、各々シリアル接続されてい
る。また、ホスト装置Ｈには、モデム着信を可能とする
制御ソフトウェアが組み込まれており、ホスト装置Ｈと
遠隔操作装置ＬとをＰＰＰプロトコルによるデータリン
クをはり、ＰＰＰデータリンク上にＴＣＰ／ＩＰによる
ソケット通信を行う構成としている。
【００２８】このようにしてＴＣＰ／ＩＰ接続を用いた
Ｘプロトコルによりホスト装置Ｈと遠隔操作装置Ｌとを
接続することによって、遠隔操作装置Ｌは、ホスト装置
Ｈと同一の画面を表示し、かつホスト装置Ｈを操作する
ことが可能となる。また、ＴＣＰ／ＩＰ接続しているの
で、ホスト装置Ｈと遠隔操作装置Ｌとの間でファイルの
転送を行うことが可能であり、ホスト装置Ｈのプログラ
ムの入れ替えや動作パラメータファイルの差し替え等を
遠隔操作装置Ｌからリモート操作することが可能とな
る。さらに、ＴＣＰ／ＩＰ接続をベースとした遠隔ログ
イン機能を利用することにより、ホスト装置Ｈのタス
ク、プロセスの状態やハードディスク、メモリ等の周辺
デバイスのチェックが可能となる。
Ｘプロトコルによりホスト装置Ｈと遠隔操作装置Ｌとを
接続することによって、遠隔操作装置Ｌは、ホスト装置
Ｈと同一の画面を表示し、かつホスト装置Ｈを操作する
ことが可能となる。また、ＴＣＰ／ＩＰ接続しているの
で、ホスト装置Ｈと遠隔操作装置Ｌとの間でファイルの
転送を行うことが可能であり、ホスト装置Ｈのプログラ
ムの入れ替えや動作パラメータファイルの差し替え等を
遠隔操作装置Ｌからリモート操作することが可能とな
る。さらに、ＴＣＰ／ＩＰ接続をベースとした遠隔ログ
イン機能を利用することにより、ホスト装置Ｈのタス
ク、プロセスの状態やハードディスク、メモリ等の周辺
デバイスのチェックが可能となる。
【００２９】実施の形態２．本発明の第２の実施の形態
は、図４に示す通り、回線としてより高速なＩＳＤＮ回
線を用いて半導体製造装置のホスト装置Ｈとクライアン
ト端末である遠隔操作装置Ｌ側とを接続したシステムの
構成例である。この実施の形態において、半導体製造装
置側のシステムは、例えば半導体製造会社等のデバイス
メーカーであり、また、遠隔操作装置側は、例えば装置
のサプライヤー等のメンテナンスを行うサイトである。
この実施の形態は、第１の実施の形態において通信手段
Ｃｏｍとして使用したモデムの代わりにターミナルアダ
プタを用いることおよび使用する回線がより高速なデジ
タル回線であるＩＳＤＮ回線を用いること以外は、第１
の実施形態と同一であるのでその詳細な説明は省略す
る。
は、図４に示す通り、回線としてより高速なＩＳＤＮ回
線を用いて半導体製造装置のホスト装置Ｈとクライアン
ト端末である遠隔操作装置Ｌ側とを接続したシステムの
構成例である。この実施の形態において、半導体製造装
置側のシステムは、例えば半導体製造会社等のデバイス
メーカーであり、また、遠隔操作装置側は、例えば装置
のサプライヤー等のメンテナンスを行うサイトである。
この実施の形態は、第１の実施の形態において通信手段
Ｃｏｍとして使用したモデムの代わりにターミナルアダ
プタを用いることおよび使用する回線がより高速なデジ
タル回線であるＩＳＤＮ回線を用いること以外は、第１
の実施形態と同一であるのでその詳細な説明は省略す
る。
【００３０】実施の形態３．本発明の第３の実施の形態
は、図５に示す通り、ルータを用いて回線としてのイン
ターネットを介して半導体製造装置のホスト装置Ｈとク
ライアント端末である遠隔操作装置Ｌ側とを接続したシ
ステムの構成例である。この実施の形態において、半導
体製造装置側のシステムは、例えば前記第１および第２
の実施の形態よりも比較的に大規模の半導体製造会社等
のデバイスメーカーであり、また、遠隔操作装置側は、
例えば装置のサプライヤー等のメンテナンスを行うサイ
トである。
は、図５に示す通り、ルータを用いて回線としてのイン
ターネットを介して半導体製造装置のホスト装置Ｈとク
ライアント端末である遠隔操作装置Ｌ側とを接続したシ
ステムの構成例である。この実施の形態において、半導
体製造装置側のシステムは、例えば前記第１および第２
の実施の形態よりも比較的に大規模の半導体製造会社等
のデバイスメーカーであり、また、遠隔操作装置側は、
例えば装置のサプライヤー等のメンテナンスを行うサイ
トである。
【００３１】半導体製造装置側のシステムは、複数台
（Ｎ台）の半導体製造装置Ｄ1、Ｄ2・・・ＤN、前記半
導体製造装置Ｄ1、Ｄ2・・・ＤNとＲＳ２３２Ｃ等でシ
リアル接続されたターミナルサーバＴＳ、このターミナ
ルサーバＴＳとイーサネットカード等のＬＡＮカードを
介して接続されたホスト装置Ｈ1、から構成されたＬＡ
Ｎ1、・・・同様にして複数台（Ｍ台）の半導体製造装
置Ｄ1、Ｄ2・・・ＤM、前記半導体製造装置Ｄ1、Ｄ2・
・・ＤMと接続されたターミナルサーバＴＳ、このター
ミナルサーバＴＳとイーサネットカード等のＬＡＮカー
ドを介して接続されたホスト装置Ｈnから構成されたＬ
ＡＮn、そして各ホスト装置Ｈ1・・・Ｈnとイーサネッ
トを介して接続された通信手段Ｃｏｍであるルータとか
ら主として構成されている。
（Ｎ台）の半導体製造装置Ｄ1、Ｄ2・・・ＤN、前記半
導体製造装置Ｄ1、Ｄ2・・・ＤNとＲＳ２３２Ｃ等でシ
リアル接続されたターミナルサーバＴＳ、このターミナ
ルサーバＴＳとイーサネットカード等のＬＡＮカードを
介して接続されたホスト装置Ｈ1、から構成されたＬＡ
Ｎ1、・・・同様にして複数台（Ｍ台）の半導体製造装
置Ｄ1、Ｄ2・・・ＤM、前記半導体製造装置Ｄ1、Ｄ2・
・・ＤMと接続されたターミナルサーバＴＳ、このター
ミナルサーバＴＳとイーサネットカード等のＬＡＮカー
ドを介して接続されたホスト装置Ｈnから構成されたＬ
ＡＮn、そして各ホスト装置Ｈ1・・・Ｈnとイーサネッ
トを介して接続された通信手段Ｃｏｍであるルータとか
ら主として構成されている。
【００３２】そして、各ホスト装置Ｈ1、Ｈnには図示し
ないキーボード、マウス等の入力手段、ＣＲＴ、プリン
タ等の出力手段が接続されている。また、各ホスト装置
Ｈ1、Ｈnには例えばＵＮＩＸ系のＯＳ上にＧＵＩを制御
するＸウインドウシステムが導入されており、各々ＬＡ
Ｎ接続されたＮ台またはＭ台の半導体装置のモニタ、イ
ベント、アラーム、ロット処理等を行っている。
ないキーボード、マウス等の入力手段、ＣＲＴ、プリン
タ等の出力手段が接続されている。また、各ホスト装置
Ｈ1、Ｈnには例えばＵＮＩＸ系のＯＳ上にＧＵＩを制御
するＸウインドウシステムが導入されており、各々ＬＡ
Ｎ接続されたＮ台またはＭ台の半導体装置のモニタ、イ
ベント、アラーム、ロット処理等を行っている。
【００３３】一方、端末である遠隔操作装置Ｌは、各ホ
スト装置Ｈ1、Ｈnと同様にＸサーバーソフトが導入され
ているＸ端末機、Ｘウインドウ搭載のＵＮＩＸ、Ｘサー
バーエミュレータを搭載したパーソナルコンピュータシ
ステムであり、通信手段Ｃｏｍであるルータ、図示しな
いキーボード、マウス等の入力手段、ＣＲＴ、プリンタ
等の出力手段が接続されている。
スト装置Ｈ1、Ｈnと同様にＸサーバーソフトが導入され
ているＸ端末機、Ｘウインドウ搭載のＵＮＩＸ、Ｘサー
バーエミュレータを搭載したパーソナルコンピュータシ
ステムであり、通信手段Ｃｏｍであるルータ、図示しな
いキーボード、マウス等の入力手段、ＣＲＴ、プリンタ
等の出力手段が接続されている。
【００３４】そして、半導体製造装置側のシステムと遠
隔操作装置Ｌとは、インターネットを介して接続可能な
構成となっており、インターネットの出入口には各ルー
タＣｏｍ’、Ｃｏｍ’が設置されている。半導体製造装
置側のシステムに接続されたルータでは、インターネッ
トアドレス、半導体製造装置側のシステムの保有するプ
ライベートな内部アドレスの保管、アクセス制限等の中
継やアクセスコントロールを行っている。
隔操作装置Ｌとは、インターネットを介して接続可能な
構成となっており、インターネットの出入口には各ルー
タＣｏｍ’、Ｃｏｍ’が設置されている。半導体製造装
置側のシステムに接続されたルータでは、インターネッ
トアドレス、半導体製造装置側のシステムの保有するプ
ライベートな内部アドレスの保管、アクセス制限等の中
継やアクセスコントロールを行っている。
【００３５】一方、遠隔操作装置Ｌは、半導体製造装置
側の各ホスト装置Ｈ1、Ｈnのアドレスを指定することに
より、任意のホスト装置と接続することが可能である。
なお、複数のホスト装置Ｈ1、Ｈnのアドレスを指定する
ことにより、各々のホスト装置Ｈ1、Ｈnと同一の表示内
容を対応するウインドウとして表示し、操作することが
可能となる。このようにして、遠隔操作端末Ｌは、各ホ
スト装置Ｈ1、Ｈnに接続されたターミナルサーバの保守
操作や遠隔ログイン等の操作を行うことができ、また第
１および第２の形態と同様にプログラムの入れ替え、フ
ラッシュＲＯＭの情報の書き換え、ロギングモニタ等の
操作を行うことが可能となる。
側の各ホスト装置Ｈ1、Ｈnのアドレスを指定することに
より、任意のホスト装置と接続することが可能である。
なお、複数のホスト装置Ｈ1、Ｈnのアドレスを指定する
ことにより、各々のホスト装置Ｈ1、Ｈnと同一の表示内
容を対応するウインドウとして表示し、操作することが
可能となる。このようにして、遠隔操作端末Ｌは、各ホ
スト装置Ｈ1、Ｈnに接続されたターミナルサーバの保守
操作や遠隔ログイン等の操作を行うことができ、また第
１および第２の形態と同様にプログラムの入れ替え、フ
ラッシュＲＯＭの情報の書き換え、ロギングモニタ等の
操作を行うことが可能となる。
【００３６】実施の形態４．本発明の第４の実施の形態
は、図６に示す通り、ルータを用いて回線としＬＡＮま
たはＷＡＮを用いて半導体製造装置のホスト装置Ｈとク
ライアント端末である遠隔操作装置Ｌ側とを接続したシ
ステムの構成例である。この実施の形態において、半導
体製造装置側のシステムは、半導体製造会社等のデバイ
スメーカーにおける製造ラインであり、そして遠隔操作
装置側は例えば同一会社における半導体製造の管理部署
等の別のセクションである。
は、図６に示す通り、ルータを用いて回線としＬＡＮま
たはＷＡＮを用いて半導体製造装置のホスト装置Ｈとク
ライアント端末である遠隔操作装置Ｌ側とを接続したシ
ステムの構成例である。この実施の形態において、半導
体製造装置側のシステムは、半導体製造会社等のデバイ
スメーカーにおける製造ラインであり、そして遠隔操作
装置側は例えば同一会社における半導体製造の管理部署
等の別のセクションである。
【００３７】この実施の形態は、インターネットの代わ
りに社内ＬＡＮや社内ＷＡＮ等を用いる以外は前記第３
の実施の形態と同様な構成であるので、その詳細な説明
は省略する。なお、ＷＡＮとしては専用回線の他、フレ
ームリレー、セルリレー（ＡＴＭ）等といったイントラ
ネット網を用いることができる。
りに社内ＬＡＮや社内ＷＡＮ等を用いる以外は前記第３
の実施の形態と同様な構成であるので、その詳細な説明
は省略する。なお、ＷＡＮとしては専用回線の他、フレ
ームリレー、セルリレー（ＡＴＭ）等といったイントラ
ネット網を用いることができる。
【００３８】実施の形態５．本発明の第５の実施の形態
は、図７に示す通り、アクセスサーバを用いた種々の回
線に対応可能な半導体製造装置のリモート操作システム
を表す実施の形態である。この実施の形態において、半
導体製造装置側のシステムは、複数台（Ｎ台）の半導体
製造装置Ｄ1、Ｄ2・・・ＤN、前記半導体製造装置Ｄ1、
Ｄ2・・・ＤNとＲＳ２３２Ｃ等でシリアル接続されたタ
ーミナルサーバＴＳ、このターミナルサーバＴＳとイー
サネットカード等のＬＡＮカードを介して接続されたホ
スト装置Ｈ 1、から構成されたＬＡＮ1、・・・同様にし
て複数台（Ｍ台）の半導体製造装置Ｄ1、Ｄ2・・・
ＤM、前記半導体製造装置Ｄ1、Ｄ2・・・ＤMと接続され
たターミナルサーバＴＳ、このターミナルサーバＴＳと
イーサネットカード等のＬＡＮカードを介して接続され
たホスト装置Ｈnから構成されたＬＡＮn、そして各ホス
ト装置Ｈ1・・・Ｈnとイーサネットを介して接続された
通信手段を有するアクセスサーバＡｃから主として構成
されている。
は、図７に示す通り、アクセスサーバを用いた種々の回
線に対応可能な半導体製造装置のリモート操作システム
を表す実施の形態である。この実施の形態において、半
導体製造装置側のシステムは、複数台（Ｎ台）の半導体
製造装置Ｄ1、Ｄ2・・・ＤN、前記半導体製造装置Ｄ1、
Ｄ2・・・ＤNとＲＳ２３２Ｃ等でシリアル接続されたタ
ーミナルサーバＴＳ、このターミナルサーバＴＳとイー
サネットカード等のＬＡＮカードを介して接続されたホ
スト装置Ｈ 1、から構成されたＬＡＮ1、・・・同様にし
て複数台（Ｍ台）の半導体製造装置Ｄ1、Ｄ2・・・
ＤM、前記半導体製造装置Ｄ1、Ｄ2・・・ＤMと接続され
たターミナルサーバＴＳ、このターミナルサーバＴＳと
イーサネットカード等のＬＡＮカードを介して接続され
たホスト装置Ｈnから構成されたＬＡＮn、そして各ホス
ト装置Ｈ1・・・Ｈnとイーサネットを介して接続された
通信手段を有するアクセスサーバＡｃから主として構成
されている。
【００３９】一方、端末である遠隔操作装置Ｌは、第１
の実施の形態と同様にモデムが接続され、アナログ回線
を介して半導体製造装置側のシステムと接続する遠隔操
作装置Ｌ1、第２の実施の形態と同様にターミナルアダ
プタが接続され、ＩＳＤＮ回線を介して半導体製造装置
側のシステムと接続する遠隔操作装置Ｌ2、第３の実施
の形態と同様にルータが接続されインターネットを介し
て半導体製造装置側のシステムと接続する遠隔操作装置
Ｌ3、第４の実施の形態と同様にルータが接続されＬＡ
Ｎ／ＷＡＮを介して半導体製造装置側のシステムと接続
する遠隔操作装置Ｌ4等の種々の形態の遠隔操作装置Ｌ
と接続し、各遠隔操作装置Ｌから各ホストＨ1・・・Ｈn
と同一の表示画面を表示し、操作できる構成となってい
る。アクセスサーバＡｃは、認証機能を有しており、Ｉ
Ｐアドレスのフィルターリング、サービスサポートの制
限等によってセキュリティーレベルを高めることが可能
である。
の実施の形態と同様にモデムが接続され、アナログ回線
を介して半導体製造装置側のシステムと接続する遠隔操
作装置Ｌ1、第２の実施の形態と同様にターミナルアダ
プタが接続され、ＩＳＤＮ回線を介して半導体製造装置
側のシステムと接続する遠隔操作装置Ｌ2、第３の実施
の形態と同様にルータが接続されインターネットを介し
て半導体製造装置側のシステムと接続する遠隔操作装置
Ｌ3、第４の実施の形態と同様にルータが接続されＬＡ
Ｎ／ＷＡＮを介して半導体製造装置側のシステムと接続
する遠隔操作装置Ｌ4等の種々の形態の遠隔操作装置Ｌ
と接続し、各遠隔操作装置Ｌから各ホストＨ1・・・Ｈn
と同一の表示画面を表示し、操作できる構成となってい
る。アクセスサーバＡｃは、認証機能を有しており、Ｉ
Ｐアドレスのフィルターリング、サービスサポートの制
限等によってセキュリティーレベルを高めることが可能
である。
【００４０】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によると、以
下の優れた効果を奏する。 (1)同一画面同一操作 半導体製造装置側のシステム導入先（客先）で発生した
半導体製造装置の障害発生手順と同じ操作を、遠隔操作
装置Ｌ側の装置メーカサイド等にて実施しモニタが可能
である。 (2)遠隔地との同時モニタ 半導体製造装置側のシステム導入先（客先）の使用内
容、オペレーションを遠隔操作装置Ｌ側の遠隔地側で同
時表示するため、操作上の問題点並びに障害が発生する
までの状況を装置メーカの工場にてモニタすることが可
能である。 (3)半導体製造装置のリソースモニタ 半導体製造装置の装置状態やＯＳのメモリ、リソースの
状況を知ることができる。さらに、ハードウェア、周辺
機器等のモニタ、タスクモニタ、メモリダンプのモニタ
等により、製造プロセスにおける問題個所の特定ならび
に原因を突き止めることができる。
下の優れた効果を奏する。 (1)同一画面同一操作 半導体製造装置側のシステム導入先（客先）で発生した
半導体製造装置の障害発生手順と同じ操作を、遠隔操作
装置Ｌ側の装置メーカサイド等にて実施しモニタが可能
である。 (2)遠隔地との同時モニタ 半導体製造装置側のシステム導入先（客先）の使用内
容、オペレーションを遠隔操作装置Ｌ側の遠隔地側で同
時表示するため、操作上の問題点並びに障害が発生する
までの状況を装置メーカの工場にてモニタすることが可
能である。 (3)半導体製造装置のリソースモニタ 半導体製造装置の装置状態やＯＳのメモリ、リソースの
状況を知ることができる。さらに、ハードウェア、周辺
機器等のモニタ、タスクモニタ、メモリダンプのモニタ
等により、製造プロセスにおける問題個所の特定ならび
に原因を突き止めることができる。
【００４１】(4)遠隔障害解析と再現 半導体装置を保守するサービスマン等が半導体製造装置
側のシステム導入先の現場に出向くことなく障害発生状
況を遠隔操作装置Ｌ側の遠隔地にて詳細に再現できか
つ、装置設計の専門エンジニア等も設計室等の遠隔操作
装置Ｌ側にいながらにして障害状況を把握できならびに
その解析を行うことができる。 (5)顧客との正確な意志の疎通 また、同一画面同一操作の実現により、半導体製造装置
側のシステム導入先（客先）からの連絡および意志の疎
通をスムーズにすることができる。 (6)サービスマンの出張コスト削減 半導体製造装置を保守するサービスマン等が半導体製造
装置側のシステム導入現場に向かう際の出張費コスト削
減、専門家等による遠隔地からの対応を可能とする。ま
た、専門のサービスマン等の人数を減少させ、体制を小
さくすることができる。
側のシステム導入先の現場に出向くことなく障害発生状
況を遠隔操作装置Ｌ側の遠隔地にて詳細に再現できか
つ、装置設計の専門エンジニア等も設計室等の遠隔操作
装置Ｌ側にいながらにして障害状況を把握できならびに
その解析を行うことができる。 (5)顧客との正確な意志の疎通 また、同一画面同一操作の実現により、半導体製造装置
側のシステム導入先（客先）からの連絡および意志の疎
通をスムーズにすることができる。 (6)サービスマンの出張コスト削減 半導体製造装置を保守するサービスマン等が半導体製造
装置側のシステム導入現場に向かう際の出張費コスト削
減、専門家等による遠隔地からの対応を可能とする。ま
た、専門のサービスマン等の人数を減少させ、体制を小
さくすることができる。
【００４２】(7)装置障害解析の短縮 半導体製造装置のプロセス運用中における障害解析をよ
り正確に短時間に可能とする。よって、装置障害原因究
明と対策が遠隔地に出向くことなく実施できる。 (8)装置稼働率向上 半導体製造装置の障害回復時間が短くなり、ダウンタイ
ムの縮小、装置稼働率の向上、MTTRの削減、MTBFの向上
といった効果をもたらす。これにより工場全体の製造効
率向上とスループット改善を可能とする。 (9)サービス拠点削減 半導体製造装置を設置した工場内部に遠隔保守センタを
設けて、全世界の納入装置に対し遠隔保守作業が実施で
きるため、拠点を少なくでき、拠点運営費の削減が可能
となる。
り正確に短時間に可能とする。よって、装置障害原因究
明と対策が遠隔地に出向くことなく実施できる。 (8)装置稼働率向上 半導体製造装置の障害回復時間が短くなり、ダウンタイ
ムの縮小、装置稼働率の向上、MTTRの削減、MTBFの向上
といった効果をもたらす。これにより工場全体の製造効
率向上とスループット改善を可能とする。 (9)サービス拠点削減 半導体製造装置を設置した工場内部に遠隔保守センタを
設けて、全世界の納入装置に対し遠隔保守作業が実施で
きるため、拠点を少なくでき、拠点運営費の削減が可能
となる。
【００４３】(10)クレーム対応 半導体製造装置を使用するデバイスメーカからのクレー
ム報告後に、即、遠隔地接続にて装置モニタが可能であ
るためオンコールから1回目の対応を早くすることがで
き、顧客（デバイスメーカ）との信頼を高めることがで
きる。 (11)デモンストレーション 半導体製造装置を導入しようとする顧客に対し、装置納
入前に、工場内設置のデモ機と客先に持ち込んだノート
パソコンを遠隔接続して、装置と同一画面を表示するこ
とができ、デモンストレーション並びに開発途中でのプ
ロトタイプ表示を可能とし、顧客要望を最大限に取り込
んだ画面を作成することができる。 (12)プログラム入れ替え 半導体製造装置のアプリケーションプログラムの入れ替
え作業が発生する場合でも、遠隔地にサービスマンが出
向く必要が無く、作業工数の削減および経費の削減を図
れる。
ム報告後に、即、遠隔地接続にて装置モニタが可能であ
るためオンコールから1回目の対応を早くすることがで
き、顧客（デバイスメーカ）との信頼を高めることがで
きる。 (11)デモンストレーション 半導体製造装置を導入しようとする顧客に対し、装置納
入前に、工場内設置のデモ機と客先に持ち込んだノート
パソコンを遠隔接続して、装置と同一画面を表示するこ
とができ、デモンストレーション並びに開発途中でのプ
ロトタイプ表示を可能とし、顧客要望を最大限に取り込
んだ画面を作成することができる。 (12)プログラム入れ替え 半導体製造装置のアプリケーションプログラムの入れ替
え作業が発生する場合でも、遠隔地にサービスマンが出
向く必要が無く、作業工数の削減および経費の削減を図
れる。
【００４４】(13)ファイル転送 半導体製造装置で発生するアラームや稼動情報などのロ
ギング情報がファイルとして格納されているため、障害
発生時のファイルを遠隔接続にてファイル転送できる。
従って、工場にて、半導体製造プロセスがどういった状
態にあるのか、また障害発生に至るまでの経過及び障害
発生の兆候を解析できる。 (14)装置稼動状況の比較 製造装置メーカにおいて、障害が発生する遠隔モニタと
正常動作のモニタを比較することにより、障害発生の原
因特定に役立てることが可能である。 (15)ユーザ認証による安全性の向上 ユーザ認証が有った場合にのみ接続を可能とすることに
より、第３者の接続を防止でき、機密漏洩、ウィルスの
浸入等を防止でき安全性を高めることができる。
ギング情報がファイルとして格納されているため、障害
発生時のファイルを遠隔接続にてファイル転送できる。
従って、工場にて、半導体製造プロセスがどういった状
態にあるのか、また障害発生に至るまでの経過及び障害
発生の兆候を解析できる。 (14)装置稼動状況の比較 製造装置メーカにおいて、障害が発生する遠隔モニタと
正常動作のモニタを比較することにより、障害発生の原
因特定に役立てることが可能である。 (15)ユーザ認証による安全性の向上 ユーザ認証が有った場合にのみ接続を可能とすることに
より、第３者の接続を防止でき、機密漏洩、ウィルスの
浸入等を防止でき安全性を高めることができる。
【図１】本発明の半導体製造装置のリモート操作システ
ムにおける半導体製造装置側のＬＡＮシステムの基本的
概念を表す構成図である。
ムにおける半導体製造装置側のＬＡＮシステムの基本的
概念を表す構成図である。
【図２】本発明による半導体製造装置のリモート操作シ
ステムの基本構成を表す模式図である。
ステムの基本構成を表す模式図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態による半導体製造装
置のリモート操作システムを表す模式図である。
置のリモート操作システムを表す模式図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態による半導体製造装
置のリモート操作システムを表す模式図である。
置のリモート操作システムを表す模式図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態による半導体製造装
置のリモート操作システムを表す模式図である。
置のリモート操作システムを表す模式図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態による半導体製造装
置のリモート操作システムを表す模式図である。
置のリモート操作システムを表す模式図である。
【図７】本発明の第５の実施の形態による半導体製造装
置のリモート操作システムを表す模式図である。
置のリモート操作システムを表す模式図である。
【図８】従来技術による半導体製造装置のＬＡＮ構成図
である。
である。
Ｈ，Ｈ1，Ｈn ホスト装置 Ｄ1，Ｄ2・・・ＤN，ＤM 半導体製造装置 ＴＳ，ＴＳ1，ＴＳn ターミナルサーバ Ｃｏｍ，Ｃｏｍ’ 通信手段 Ｉ／Ｏ 入出力手段 Ｌ 遠隔操作装置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１２年７月２８日（２０００．７．２
８）
８）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、半導体製造装置の管理装置に回線を介して遠
隔操作装置からアクセス可能とした半導体製造装置のリ
モート操作システムであって、前記遠隔操作装置は、前
記管理装置に表示される画面と同一の画面を表示し、か
つ前記半導体製造装置に対して前記管理装置からの操作
と同一の操作を行うことを可能にすることを特徴とす
る。
本発明は、半導体製造装置の管理装置に回線を介して遠
隔操作装置からアクセス可能とした半導体製造装置のリ
モート操作システムであって、前記遠隔操作装置は、前
記管理装置に表示される画面と同一の画面を表示し、か
つ前記半導体製造装置に対して前記管理装置からの操作
と同一の操作を行うことを可能にすることを特徴とす
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5K048 AA06 BA23 DA02 DC07 EB02 FB04 FB05 FB08 GB05 HA01 HA02 HA22 5K101 KK11 LL05
Claims (4)
- 【請求項１】 半導体製造装置の管理装置に回線を介し
て遠隔操作装置からアクセス可能とした半導体製造装置
のリモート操作システムであって、 前記遠隔操作装置は、前記管理装置に表示される画面と
同一の画面を表示し、かつ前記半導体製造装置に対して
前記管理装置空の操作と同一の操作を行うことを可能に
することを特徴とする半導体製造装置のリモート操作シ
ステム。 - 【請求項２】 請求項１記載の半導体製造装置のリモー
ト操作システムにおいて、 前記管理装置は、前記遠隔操作装置が前記管理装置に接
続する際にユーザー認証を行うことを特徴とする半導体
製造装置のリモート操作システム。 - 【請求項３】 請求項１において、前記遠隔操作装置と
アクセス可能な管理装置と接続された半導体製造装置。 - 【請求項４】 請求項１における遠隔操作装置。
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|---|---|---|---|
| JP2000211849A JP2002027567A (ja) | 2000-07-12 | 2000-07-12 | 半導体製造装置のリモート操作システム、半導体製造装置および遠隔操作装置 |
| KR20010040765A KR100599066B1 (ko) | 2000-07-12 | 2001-07-09 | 반도체 제조장치의 리모트 조작 시스템, 반도체 제조장치및 원격조작장치 |
| US09/901,577 US7225046B2 (en) | 2000-07-12 | 2001-07-11 | Semiconductor manufacturing apparatus, remote control system therefor, and remote operation device |
| US11/790,800 US20070203607A1 (en) | 2000-07-12 | 2007-04-27 | Semiconductor manufacturing apparatus, remote control system therefor, and remote operation device |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000211849A JP2002027567A (ja) | 2000-07-12 | 2000-07-12 | 半導体製造装置のリモート操作システム、半導体製造装置および遠隔操作装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002027567A true JP2002027567A (ja) | 2002-01-25 |
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ID=18707875
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000211849A Pending JP2002027567A (ja) | 2000-07-12 | 2000-07-12 | 半導体製造装置のリモート操作システム、半導体製造装置および遠隔操作装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US7225046B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002027567A (ja) |
| KR (1) | KR100599066B1 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005093922A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理システム |
| JP2005524229A (ja) * | 2002-04-23 | 2005-08-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 簡略化したシステム構成のための方法および装置 |
| JP2006050111A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Hoya Corp | レンズの製造システム |
| JP2006071359A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Sysmex Corp | 遠隔管理方法、遠隔管理システム、状態報告装置、および管理装置 |
| JP2006139618A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Xybernaut Corp | 資産の保守管理又は検査システム及びその方法 |
| JP2007189477A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-07-26 | Hitachi Ltd | 監視システム、およびそれに用いられる運用端末、監視端末 |
| JP2008033572A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Digital Electronics Corp | 画面作成装置、画面作成プログラムおよびそれを記録した記録媒体 |
| WO2008096792A1 (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-14 | Tokyo Electron Limited | サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム |
| US7524378B2 (en) * | 2002-08-27 | 2009-04-28 | Tokyo Electron Limited | Maintenance system, substrate processing device, remote operation device, and communication method |
| JP2010133979A (ja) * | 2010-03-02 | 2010-06-17 | Sysmex Corp | 遠隔管理システム |
| US8271119B2 (en) | 2008-03-18 | 2012-09-18 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and substrate processing system |
| JP2020088247A (ja) * | 2018-11-28 | 2020-06-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置、メンテナンス方法、及びプログラム |
| KR20220131159A (ko) | 2021-03-19 | 2022-09-27 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 관리 장치, 데이터 처리 방법, 기록 매체, 반도체 장치의 제조 방법 및 처리 시스템 |
Families Citing this family (37)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7117239B1 (en) | 2000-07-28 | 2006-10-03 | Axeda Corporation | Reporting the state of an apparatus to a remote computer |
| US6757714B1 (en) * | 2000-07-28 | 2004-06-29 | Axeda Systems Operating Company, Inc. | Reporting the state of an apparatus to a remote computer |
| US7185014B1 (en) | 2000-09-22 | 2007-02-27 | Axeda Corporation | Retrieving data from a server |
| US8108543B2 (en) | 2000-09-22 | 2012-01-31 | Axeda Corporation | Retrieving data from a server |
| CN1402879A (zh) * | 2000-09-28 | 2003-03-12 | 株式会社东芝 | 制造设备、制造设备的控制方法、制造设备的控制系统、其中记录有制造设备的控制程序的计算机可读记录介质及制造设备的控制程序 |
| US7254601B2 (en) | 2001-12-20 | 2007-08-07 | Questra Corporation | Method and apparatus for managing intelligent assets in a distributed environment |
| US7178149B2 (en) | 2002-04-17 | 2007-02-13 | Axeda Corporation | XML scripting of soap commands |
| US7046134B2 (en) * | 2002-06-27 | 2006-05-16 | Axeda Corporation | Screen sharing |
| US7966418B2 (en) | 2003-02-21 | 2011-06-21 | Axeda Corporation | Establishing a virtual tunnel between two computer programs |
| US20080109509A1 (en) * | 2003-06-20 | 2008-05-08 | Supercritical Systems, Inc. | Computer architecture for communicating between objects |
| US20060208871A1 (en) * | 2003-06-27 | 2006-09-21 | Hansen James R | Screen sharing |
| KR100898724B1 (ko) * | 2004-11-29 | 2009-05-20 | 우완동 | 반도체생산공장의 원격조정시스템 |
| US8370479B2 (en) | 2006-10-03 | 2013-02-05 | Axeda Acquisition Corporation | System and method for dynamically grouping devices based on present device conditions |
| JP5020605B2 (ja) * | 2006-11-16 | 2012-09-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 上位制御装置、下位制御装置、画面の操作権付与方法および画面の操作権付与プログラムを記憶した記憶媒体 |
| US8065397B2 (en) | 2006-12-26 | 2011-11-22 | Axeda Acquisition Corporation | Managing configurations of distributed devices |
| US8478861B2 (en) | 2007-07-06 | 2013-07-02 | Axeda Acquisition Corp. | Managing distributed devices with limited connectivity |
| JP2013176828A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-09 | Ebara Corp | 研磨終点検出装置の遠隔監視システム |
| US10649424B2 (en) | 2013-03-04 | 2020-05-12 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Distributed industrial performance monitoring and analytics |
| US10386827B2 (en) | 2013-03-04 | 2019-08-20 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Distributed industrial performance monitoring and analytics platform |
| US10282676B2 (en) | 2014-10-06 | 2019-05-07 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Automatic signal processing-based learning in a process plant |
| US10909137B2 (en) | 2014-10-06 | 2021-02-02 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Streaming data for analytics in process control systems |
| US9665088B2 (en) | 2014-01-31 | 2017-05-30 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Managing big data in process control systems |
| US10866952B2 (en) | 2013-03-04 | 2020-12-15 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Source-independent queries in distributed industrial system |
| US9397836B2 (en) | 2014-08-11 | 2016-07-19 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Securing devices to process control systems |
| US10678225B2 (en) | 2013-03-04 | 2020-06-09 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Data analytic services for distributed industrial performance monitoring |
| US9823626B2 (en) | 2014-10-06 | 2017-11-21 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Regional big data in process control systems |
| US9804588B2 (en) | 2014-03-14 | 2017-10-31 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Determining associations and alignments of process elements and measurements in a process |
| US9558220B2 (en) | 2013-03-04 | 2017-01-31 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Big data in process control systems |
| US10223327B2 (en) | 2013-03-14 | 2019-03-05 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Collecting and delivering data to a big data machine in a process control system |
| US10649449B2 (en) | 2013-03-04 | 2020-05-12 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Distributed industrial performance monitoring and analytics |
| GB2513708B (en) * | 2013-03-15 | 2020-08-19 | Fisher Rosemount Systems Inc | Method and apparatus for seamless state transfer between user interface devices in a mobile control room |
| US10691281B2 (en) | 2013-03-15 | 2020-06-23 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Method and apparatus for controlling a process plant with location aware mobile control devices |
| EP3200131A1 (en) | 2013-03-15 | 2017-08-02 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Data modeling studio |
| JP6133164B2 (ja) * | 2013-08-12 | 2017-05-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 群管理システム及びプログラム |
| US10168691B2 (en) | 2014-10-06 | 2019-01-01 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Data pipeline for process control system analytics |
| US10503483B2 (en) | 2016-02-12 | 2019-12-10 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Rule builder in a process control network |
| WO2017158718A1 (ja) * | 2016-03-15 | 2017-09-21 | 三菱電機株式会社 | 遠隔作業支援装置、指示用端末及び現場用端末 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4414621A (en) * | 1977-06-13 | 1983-11-08 | Canadian Patents & Development Ltd. | Interactive visual communications system |
| JPS61129945A (ja) | 1984-11-28 | 1986-06-17 | Toshiba Corp | 遠隔診断装置 |
| US5650940A (en) * | 1991-10-25 | 1997-07-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Process monitoring system with remote supervision |
| US5591299A (en) * | 1995-04-28 | 1997-01-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | System for providing integrated monitoring, control and diagnostics functions for semiconductor spray process tools |
| US5874960A (en) * | 1995-07-05 | 1999-02-23 | Microsoft Corporation | Method and system for sharing applications between computer systems |
| US5930768A (en) * | 1996-02-06 | 1999-07-27 | Supersonic Boom, Inc. | Method and system for remote user controlled manufacturing |
| US5805442A (en) * | 1996-05-30 | 1998-09-08 | Control Technology Corporation | Distributed interface architecture for programmable industrial control systems |
| JP3919294B2 (ja) | 1997-06-24 | 2007-05-23 | キヤノン株式会社 | 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法 |
| JPH1097966A (ja) | 1996-07-31 | 1998-04-14 | Canon Inc | 産業用機器の遠隔保守システム及びこれを利用した生産方法 |
| TWI249760B (en) * | 1996-07-31 | 2006-02-21 | Canon Kk | Remote maintenance system |
| JPH10268930A (ja) * | 1997-03-26 | 1998-10-09 | Mitsubishi Electric Corp | プラント監視制御装置およびプラント監視制御方法 |
| JPH11122679A (ja) | 1997-10-14 | 1999-04-30 | Katsumata Denki Seisakusho:Kk | 遠隔監視制御方式および遠隔監視制御方法 |
| US6438688B1 (en) * | 1999-03-24 | 2002-08-20 | Dell Usa, L.P. | Method and computer for locally and remotely updating a basic input output system (BIOS) utilizing one update file |
| KR100418523B1 (ko) * | 2001-06-29 | 2004-02-11 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조설비의 이온주입 입력파라미터 모니터링장치및 그 방법 |
-
2000
- 2000-07-12 JP JP2000211849A patent/JP2002027567A/ja active Pending
-
2001
- 2001-07-09 KR KR20010040765A patent/KR100599066B1/ko active IP Right Grant
- 2001-07-11 US US09/901,577 patent/US7225046B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2007
- 2007-04-27 US US11/790,800 patent/US20070203607A1/en not_active Abandoned
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005524229A (ja) * | 2002-04-23 | 2005-08-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 簡略化したシステム構成のための方法および装置 |
| US7524378B2 (en) * | 2002-08-27 | 2009-04-28 | Tokyo Electron Limited | Maintenance system, substrate processing device, remote operation device, and communication method |
| US8171879B2 (en) | 2002-08-27 | 2012-05-08 | Tokyo Electron Limited | Maintenance system, substrate processing apparatus, remote operation unit and communication method |
| JP2005093922A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理システム |
| JP2006050111A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Hoya Corp | レンズの製造システム |
| JP4491296B2 (ja) * | 2004-08-03 | 2010-06-30 | Ｈｏｙａ株式会社 | レンズの製造システム |
| JP2006071359A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Sysmex Corp | 遠隔管理方法、遠隔管理システム、状態報告装置、および管理装置 |
| JP2006139618A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Xybernaut Corp | 資産の保守管理又は検査システム及びその方法 |
| JP2007189477A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-07-26 | Hitachi Ltd | 監視システム、およびそれに用いられる運用端末、監視端末 |
| JP2008033572A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Digital Electronics Corp | 画面作成装置、画面作成プログラムおよびそれを記録した記録媒体 |
| WO2008096792A1 (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-14 | Tokyo Electron Limited | サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム |
| US8607312B2 (en) | 2007-02-07 | 2013-12-10 | Tokyo Electron Limited | Server, information processing method and program |
| US8271119B2 (en) | 2008-03-18 | 2012-09-18 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and substrate processing system |
| US8768502B2 (en) | 2008-03-18 | 2014-07-01 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and substrate processing system |
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