JP2001282526A - Software management device, its method and computer readable storage medium - Google Patents

Software management device, its method and computer readable storage medium

Info

Publication number
JP2001282526A
JP2001282526A JP2000096472A JP2000096472A JP2001282526A JP 2001282526 A JP2001282526 A JP 2001282526A JP 2000096472 A JP2000096472 A JP 2000096472A JP 2000096472 A JP2000096472 A JP 2000096472A JP 2001282526 A JP2001282526 A JP 2001282526A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
software
time information
information
predetermined
program
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000096472A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoshi Kiyoutoku
諭 京徳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2000096472A priority Critical patent/JP2001282526A/en
Publication of JP2001282526A publication Critical patent/JP2001282526A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Position Fixing By Use Of Radio Waves (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To detect and prevent the illegal use of expensive software such as its use by illegal copying and its use over an expired term. SOLUTION: The latitude/longitude information on a place in which a device loaded with expensive software is installed is acquired from a GPS receiver 108, the information acquired from the receiver 108 is compared with latitude/ longitude information read out from the software, and when a difference between the values of both the information is within an offset range, the execution of a program is continued. When the difference is deviated from the offset range, a warning message indicating the possibility of license violation is displayed and the execution of the program is stopped.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はソフトウェア管理装
置、方法、及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体に
係り、複数の拠点を有する半導体製造工場等において使
用される高額なソフトウェアの違法コピー等の不正使用
を防止するのに適する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a software management apparatus, a method, and a computer-readable storage medium, which are used to prevent illegal use of expensive software used in a semiconductor manufacturing factory having a plurality of bases. Suitable to prevent.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、一般のパーソナルコンピュータは
もちろんのこと、特定業務向けの装置(半導体製造装置
等)の機器制御プログラム、或いはモバイル端末のよう
なものもフラッシュROM化されることにより機能のソ
フトウェア化が進み、機能の全部又は一部をソフトウェ
アのみの更新で提供できるようになってきている。ユー
ザは、ハードウェアの買い替えなしに、ソフトウェアを
購入するだけで新しい機能を利用することができるのが
一般的となってきている。
2. Description of the Related Art In recent years, not only general personal computers but also equipment control programs for equipment for specific tasks (semiconductor manufacturing equipment, etc.) or software such as mobile terminals have been converted into flash ROMs to implement functional software. As a result, all or part of the functions can be provided by updating only software. It has become common for users to be able to use new functions simply by purchasing software without replacing hardware.

【0003】ところが、ユーザの中には、新機能を持っ
たソフトウェアを1パッケージだけ購入して、十数台の
装置に新機能を持ったソフトウェアを違法コピーしてイ
ンストールし、利用するといった不正使用の問題が生じ
ている。例えば、半導体露光装置等に使用される半導体
製造関連のソフトウェアは、莫大な開発費がかかってい
る一方で、出荷本数が全世界で数本のみといった場合も
あり、ソフトウェア単価が数千万円を超えることも多く
ある。このような高額なソフトウェアが違法コピーによ
り不正使用されるのでは、開発費の回収が不可能となる
ため、抜本的な対策が必要とされている。
[0003] However, some users have purchased only one package of software with new functions, and illegally copied and installed and used the software with new functions in more than a dozen devices. The problem has arisen. For example, software related to semiconductor manufacturing used for semiconductor exposure equipment, etc., requires enormous development costs, but the number of shipments may be only a few worldwide, resulting in a software unit price of tens of millions of yen. There are many things that can be exceeded. If such expensive software is illegally used by illegal copying, it will be impossible to recover development costs, and drastic measures are required.

【0004】従来、違法コピー防止のための対策として
は、例えば、ソフトウェア供給媒体に特殊なノイズを記
録してマスター媒体からのコピーを防止したり、ハード
ウェアにシリアル番号識別子(シリアルID)を持つ部
品を取り付け、上記ハードウェアを識別することでソフ
トウェアの動作するハードウェア本体を限定したり、或
いはハードウェア本体のプリンタポート等の外部デバイ
ス用インターフェースにハードウェア的な鍵(ハードウ
ェアキー)を取り付けて、上記ハードウェアキーと通信
できなければソフトウェアを動作させなかったりすると
いったことがなされていた。
Conventionally, as measures for preventing illegal copying, for example, a special noise is recorded on a software supply medium to prevent copying from a master medium, or a hardware has a serial number identifier (serial ID). By attaching parts and identifying the above hardware, the hardware main body on which the software operates is limited, or a hardware key (hardware key) is attached to an interface for an external device such as a printer port of the hardware main body. Therefore, software cannot be operated if communication with the hardware key is not possible.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たコピー防止対策(プロテクト方法)は、半導体製造工
場等で働いているマニア技術者によって簡単にノンプロ
テクト化されているのが実情であった。
However, in reality, the above-described copy protection measures (protection method) are simply non-protected by a mania engineer working in a semiconductor manufacturing factory or the like.

【0006】また、高額なソフトウェアであるが故に、
ユーザは購入前に一定期間の評価期間を設け、評価版の
ソフトウェアを要求する場合がある。ソフトウェア供給
メーカでは、評価版のソフトウェアのバイナリプログラ
ム内に使用期限を設定し、装置の時刻が評価期間を超え
た場合に、動作させないようにする等の対策をとってい
る。しかし、故意に装置の時刻を過去に戻し、継続的に
評価版のソフトウェアを不正使用する例も多々発生して
いる。
[0006] Also, because the software is expensive,
The user may set an evaluation period for a certain period before purchasing and request an evaluation version of the software. Software vendors take measures such as setting an expiration date in a binary program of an evaluation version of the software so that the device is not operated if the time of the device exceeds the evaluation period. However, there are many cases where the time of the apparatus is intentionally set back to the past and the evaluation version of the software is illegally used continuously.

【0007】本発明は、上記のような実情に鑑みてなさ
れたものであり、より確実にソフトウェアの違法コピー
等の不正使用を発見し、防止することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to more reliably detect and prevent unauthorized use of software such as illegal copies.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明のソフトウェア管
理装置は、所定装置に搭載された所定のソフトウェアを
管理するためのソフトウェア管理装置であって、時刻情
報及び/又は上記所定のソフトウェアが搭載された上記
所定装置の位置情報を外部から取得する情報取得手段
と、上記時刻情報及び/又は上記位置情報が上記ソフト
ウェアから読み出された所定範囲内にあるか否かを判断
する判断手段とを備えた点に特徴を有する。
A software management device according to the present invention is a software management device for managing predetermined software mounted on a predetermined device, and includes time information and / or the predetermined software. Information acquisition means for acquiring the position information of the predetermined device from outside, and determination means for determining whether the time information and / or the position information is within a predetermined range read from the software. It is characterized by

【0009】また、本発明のソフトウェア管理装置の他
の特徴とするところは、上記時刻情報及び/又は上記位
置情報が上記所定範囲内にない場合に、上記所定のソフ
トウェアのプログラムの実行を停止するプログラム停止
手段を備えた点にある。
Another feature of the software management device of the present invention is that when the time information and / or the position information is not within the predetermined range, the execution of the predetermined software program is stopped. The point is that a program stopping means is provided.

【0010】また、本発明のソフトウェア管理装置の他
の特徴とするところは、上記情報取得手段は、GPS受
信機から上記時刻情報及び/又は上記位置情報を取得す
る点にある。
Another feature of the software management apparatus of the present invention is that the information acquisition means acquires the time information and / or the position information from a GPS receiver.

【0011】また、本発明のソフトウェア管理装置の他
の特徴とするところは、上記情報取得手段は、上記時刻
情報及び/又は上記位置情報を上記GPS受信機から通
信を介して取得する点にある。
Another feature of the software management apparatus of the present invention is that the information acquisition means acquires the time information and / or the position information from the GPS receiver via communication. .

【0012】また、本発明のソフトウェア管理装置の他
の特徴とするところは、上記GPS受信機から取得して
解読した上記時刻情報及び/又は時刻情報を外部に送信
する送信手段を備えた点にある。
Another feature of the software management apparatus of the present invention is that the software management apparatus is provided with transmission means for transmitting the time information and / or time information obtained and decoded from the GPS receiver to the outside. is there.

【0013】本発明のソフトウェア管理方法は、所定装
置に搭載された所定のソフトウェアを管理するためのソ
フトウェア管理方法であって、時刻情報及び/又は上記
所定のソフトウェアが搭載された上記所定装置の位置情
報を外部から取得する情報取得処理と、上記時刻情報及
び/又は上記位置情報が上記ソフトウェアから読み出さ
れた所定範囲内にあるか否かを判断する判断処理とを行
う点に特徴を有する。
[0013] A software management method according to the present invention is a software management method for managing predetermined software installed in a predetermined device, and includes time information and / or a position of the predetermined device in which the predetermined software is installed. It is characterized in that an information acquisition process for acquiring information from outside and a determination process for determining whether the time information and / or the position information are within a predetermined range read from the software are performed.

【0014】また、本発明のソフトウェア管理方法の他
の特徴とするところは、上記時刻情報及び/又は上記位
置情報が上記所定範囲内にない場合に、上記所定のソフ
トウェアのプログラムの実行を停止するプログラム停止
処理を行う点にある。
Another feature of the software management method of the present invention is that when the time information and / or the position information is not within the predetermined range, the execution of the predetermined software program is stopped. The point is that program stop processing is performed.

【0015】また、本発明のソフトウェア管理方法の他
の特徴とするところは、上記情報取得処理では、GPS
受信機から上記時刻情報及び/又は上記位置情報を取得
する点にある。
Another feature of the software management method according to the present invention is that the information acquisition process includes a GPS
The point is to acquire the time information and / or the position information from a receiver.

【0016】また、本発明のソフトウェア管理方法の他
の特徴とするところは、上記情報取得処理では、上記時
刻情報及び/又は上記位置情報を上記GPS受信機から
通信を介して取得する点にある。
Another feature of the software management method of the present invention is that, in the information acquisition process, the time information and / or the position information are acquired from the GPS receiver via communication. .

【0017】また、本発明のソフトウェア管理方法の他
の特徴とするところは、上記GPS受信機から取得して
解読した上記時刻情報及び/又は時刻情報を外部に送信
する送信処理を行う点にある。
Another feature of the software management method of the present invention is that the time information obtained from the GPS receiver and decoded and / or the transmission processing for transmitting the time information to the outside are performed. .

【0018】本発明のコンピュータ読み取り可能な記憶
媒体は、上記各手段としてコンピュータを機能させるた
めのプログラムを格納した点に特徴を有する。
The computer-readable storage medium of the present invention is characterized in that a program for causing a computer to function as each of the above means is stored.

【0019】本発明のコンピュータ読み取り可能な記憶
媒体は、上記各処理を実行するためのプログラムを格納
した点に特徴を有する。
The computer-readable storage medium of the present invention is characterized in that a program for executing each of the above processes is stored.

【0020】以上述べた本発明では、時刻情報や所定の
ソフトウェアが搭載された装置の位置情報をGPS受信
機から取得し、その時刻情報や上記位置情報が所定範囲
にあるかどうかを判断することにより、ソフトウェアの
不正使用が行われているか否かを判断することができ
る。例えば、所定のソフトウェアが搭載された装置が本
来設置されているべき場所から離れた場所にあったり、
評価版のソフトウェアの使用期限を越えていたりした場
合に、そのプログラムを停止する等して不正使用を防止
することができる。
According to the present invention described above, time information and position information of a device having predetermined software are acquired from a GPS receiver, and it is determined whether the time information and the position information are within a predetermined range. Thus, it can be determined whether or not the software has been illegally used. For example, if the device with the specified software is located away from the place where it should be installed,
If the expiration date of the evaluation version software is exceeded, the program can be stopped to prevent unauthorized use.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
ソフトウェア管理装置、方法、及びコンピュータ読み取
り可能な記憶媒体の実施の形態について説明する。本実
施の形態では、本発明でいう所定装置として、すなわ
ち、違法コピー等の不正使用から保護されるべき高額な
ソフトウェアが搭載される装置として、ステッパー(光
縮小投影露光装置)等の半導体露光装置を例に説明す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a software management device, a method, and a computer-readable storage medium according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In this embodiment, a semiconductor exposure apparatus such as a stepper (optical reduction projection exposure apparatus) is used as the predetermined apparatus according to the present invention, that is, as an apparatus on which expensive software to be protected from unauthorized use such as illegal copying is installed. Will be described as an example.

【0022】(第1の実施の形態)図1には、半導体露
光装置のハードウェア構成を示す。101はコンソール
用CPUであり、半導体露光装置のコンソール表示とコ
ンソールコマンド入力による操作の制御を司る。102
はRAMであり、CPU101が実行プログラムを格納
したりデータを格納したりする。103はROMであ
り、プログラムを格納する。
(First Embodiment) FIG. 1 shows a hardware configuration of a semiconductor exposure apparatus. Reference numeral 101 denotes a console CPU, which controls console display of the semiconductor exposure apparatus and operation control by console command input. 102
Is a RAM, in which the CPU 101 stores an execution program and data. A ROM 103 stores a program.

【0023】104は補助記憶装置であり、データ及び
プログラムを格納するために用いられる。本実施の形態
では、不正使用から保護されるべき高額のソフトウェア
は、この補助記憶装置104に保存される。ソフトウェ
アプログラムは、一般にファイルシステムを補助記憶装
置104上に構成し、ファイルとして管理する。補助記
憶装置104としては、ハードディスク等の磁気ディス
ク装置を用いることが多いが、装置構成や露光作業の性
質、運用の違いに応じてフラッシュメモリやNV−RA
M(不揮発性メモリ)、EEP―ROMといったソフト
ウェア的な書き換え可能な部品を用いることもある。
An auxiliary storage device 104 is used for storing data and programs. In this embodiment, expensive software to be protected from unauthorized use is stored in the auxiliary storage device 104. The software program generally configures a file system on the auxiliary storage device 104 and manages it as a file. As the auxiliary storage device 104, a magnetic disk device such as a hard disk is often used. However, a flash memory or NV-RA
In some cases, software rewritable components such as M (nonvolatile memory) and EEP-ROM may be used.

【0024】105は通信インターフェースであり、後
述するGPS受信機108と通信を行う。通信インター
フェース105としては、一般にRS232C等のシリ
アル通信インターフェースを用いることが多いが、GP
S通信のデータ量によってはパラレルインターフェース
やSCSIインターフェース等を用いてもかまわない。
また、通信インターフェース105とGPS受信機10
8との間で行う通信のプロトコルとして、一般に無手順
非同期方式を用いるが、同期式やバイナリ手順を採用し
てもかまわない。
A communication interface 105 communicates with a GPS receiver 108 described later. In general, a serial communication interface such as RS232C is often used as the communication interface 105.
A parallel interface, a SCSI interface, or the like may be used depending on the data amount of the S communication.
The communication interface 105 and the GPS receiver 10
Generally, a non-procedure asynchronous system is used as a protocol for communication with the communication system 8, but a synchronous system or a binary procedure may be employed.

【0025】106はコンソール装置であり、オペレー
タ(操作者)は本装置106よりコンソール用CPU1
01に対する指令を行うことができる。コンソール装置
106の表示装置としては、CRTや液晶表示装置、E
Lパネル、或いはプラズマディスプレイ等が一般に用い
られる。また、コンソール装置106の入力装置として
は、コマンドをキー入力するためのキーボードが用いら
れることが多いが、電子ペンによるペン入力装置(タブ
レット)やタッチパネル等で構成されることもある。
Reference numeral 106 denotes a console device. An operator (operator) receives a console CPU 1 from the device 106.
01 can be issued. As a display device of the console device 106, a CRT, a liquid crystal display device, an E
An L panel, a plasma display, or the like is generally used. As the input device of the console device 106, a keyboard for inputting a command by a key is often used. However, the input device may be a pen input device (tablet) using an electronic pen or a touch panel.

【0026】108はGPS(Global Positioning Sys
tem)受信機であり、衛星からのGPS電波を受信する
GPSアンテナからGPS電波内のディジタル信号を復
号(デコード)し、半導体露光装置が設置されている緯
度経度情報(位置情報)等を取得する。GPSアンテナ
は、装置がクリーンルーム等の電波の届かない所にある
場合、電波の届く外部まで電線を延長して敷設する。
Reference numeral 108 denotes a GPS (Global Positioning Sys
tem) is a receiver that decodes (decodes) a digital signal in a GPS radio wave from a GPS antenna that receives a GPS radio wave from a satellite, and obtains latitude and longitude information (position information) where the semiconductor exposure apparatus is installed. . When the device is located in a place where radio waves do not reach, such as a clean room, the GPS antenna is installed by extending an electric wire to the outside where radio waves reach.

【0027】109は外部記憶装置であり、FDD(フ
ロッピディスクドライブ)やMOD(光磁気ディスクド
ライブ)といったものが用いられる。不正使用から保護
されるべき高額なソフトウェアプログラムは、一般に外
部記憶装置109からソフトウェアのみの形態でFDや
MOといった供給媒体に保存されて供給されることが多
いが、ネットワークインストール等ができる場合は外部
記憶装置109は必須ではない。上記ネットワークイン
ストール等を採用する場合は、別途LANインターフェ
ース等を装備する必要があるが、基本動作としては同様
なので、本実施の形態ではネットワークインストールを
用いた場合の詳細についての説明は省略する。
Reference numeral 109 denotes an external storage device, such as an FDD (floppy disk drive) or a MOD (magneto-optical disk drive). Expensive software programs to be protected from unauthorized use are generally supplied from the external storage device 109 in the form of software only in a supply medium such as FD or MO. The storage device 109 is not essential. When the above-described network installation or the like is adopted, it is necessary to separately provide a LAN interface or the like, but since the basic operation is the same, a detailed description of the case where the network installation is used is omitted in the present embodiment.

【0028】110はメインCPUであり、半導体露光
装置を構成する各種の制御装置を全体制御する。当該メ
インCPU110と上記コンソール用CPU101と
は、メインCPUバス107により接続されて半導体露
光装置として動作する。
Reference numeral 110 denotes a main CPU, which controls the entire control of various control units constituting the semiconductor exposure apparatus. The main CPU 110 and the console CPU 101 are connected by a main CPU bus 107 and operate as a semiconductor exposure apparatus.

【0029】111は照明装置であり、半導体製造用の
ウェハに対して露光する光源を制御するためのものであ
る。112はレクチル駆動装置であり、半導体製造用の
ウェハに対して露光するパターンを描いたレクチル(フ
ォトマスク)の搬入搬出等を制御するためのものであ
る。113はステージ駆動装置であり、半導体製造用の
ウェハをステップアンドリピートの方式で露光するため
にXYステージ上等でウェハを駆動制御するためのもの
である。114はアライメント用TVシステムであり、
半導体製造用のウェハの正確な位置決めをして制御する
ためのものである。これら各装置111〜114は、周
辺機器用バス115によりメインCPU110の制御下
におかれる。本実施の形態では、周辺機器用バス115
としてSCSIを用いるが、どのような汎用の標準バス
で構成されていてもかまわない。
An illumination device 111 controls a light source for exposing a semiconductor manufacturing wafer. Reference numeral 112 denotes a reticle driving device, which controls loading and unloading of a reticle (photomask) depicting a pattern to be exposed on a semiconductor manufacturing wafer. Reference numeral 113 denotes a stage driving device, which drives and controls the wafer on an XY stage or the like in order to expose a semiconductor manufacturing wafer by a step-and-repeat method. 114 is an alignment TV system,
This is for accurately controlling the position of a semiconductor manufacturing wafer. These devices 111 to 114 are under the control of the main CPU 110 by a peripheral device bus 115. In the present embodiment, the peripheral device bus 115
SCSI is used as the standard, but any general-purpose standard bus may be used.

【0030】次に、図2のフローチャートに基づいて、
本実施の形態における処理動作について説明する。前提
として、不正使用から保護されるべきソフトウェアプロ
グラム内には、コンパイルリンク作成時に、ユーザから
の情報により当該ソフトウェアが搭載される半導体露光
装置の設置場所の緯度経度情報を取得しておき、プログ
ラムのバイナリコード内に、図2のフローチャートに示
すプログラムルーチンが数個所から数百個所にわたって
埋め込まれているものとする。
Next, based on the flowchart of FIG.
The processing operation in the present embodiment will be described. As a premise, in the software program to be protected from unauthorized use, at the time of creating the compile link, the latitude and longitude information of the installation location of the semiconductor exposure apparatus on which the software is It is assumed that the program routine shown in the flowchart of FIG. 2 is embedded in several to several hundred locations in the binary code.

【0031】以下、半導体露光装置の設置場所検査の処
理動作について説明する。まず、ステップS201にお
いて、GPS受信機108から半導体露光装置が設置さ
れている緯度経度情報を取得する。
The processing operation for inspecting the installation location of the semiconductor exposure apparatus will be described below. First, in step S201, information on the latitude and longitude where the semiconductor exposure apparatus is installed is acquired from the GPS receiver.

【0032】次に、ステップS202において、ソフト
ウェアのプログラムコード内に埋め込まれている半導体
露光装置の設置場所の緯度経度情報と、許容される緯度
経度のオフセット範囲(どのくらいの距離の移動を許容
するかという範囲)とを読み出す。緯度経度のオフセッ
ト範囲は、ユーザ情報として様々であるが、例えば、工
場の広さに応じて10キロメートル四方といった値を設
定する。
Next, in step S202, the latitude / longitude information of the installation location of the semiconductor exposure apparatus embedded in the software program code and the allowable latitude / longitude offset range (how long the movement is allowed) Is read). The latitude / longitude offset range varies as user information. For example, a value such as 10 km square is set according to the size of the factory.

【0033】次に、ステップS203において、GPS
受信機108から得られた緯度経度情報(ステップS2
01)と、ソフトウェアのプログラムコードから読み出
された緯度経度情報(ステップS202)とを比較し、
オフセット範囲内にある場合は、プログラムの実行を継
続する(ステップS206)。オフセット範囲を逸脱し
ていた場合は、ライセンス違反の可能性があるという警
告メッセージを表示し(ステップS204)、ユーザに
確認を求め、プログラムの実行を停止する(ステップS
205)。
Next, in step S203, the GPS
Latitude and longitude information obtained from the receiver 108 (step S2
01) and the latitude and longitude information (step S202) read from the software program code,
If it is within the offset range, the execution of the program is continued (step S206). If it is out of the offset range, a warning message indicating a possibility of a license violation is displayed (step S204), a confirmation is requested from the user, and the execution of the program is stopped (step S204).
205).

【0034】以上述べた動作により、ソフトウェアが違
法コピーされてライセンス許諾した装置の設置場所以外
の場所で使用されていることを発見することができる。
そして、その場合にプログラムの実行を停止することに
より、不正使用を防止することができる。なお、本実施
の形態では、図2で説明したプログラムルーチンに基づ
いて、半導体露光装置のコンソール用CPU101等が
本発明のソフトウェア管理装置として機能するものであ
る。
By the operation described above, it is possible to discover that the software has been illegally copied and used in a place other than the installation place of the licensed device.
Then, by stopping the execution of the program in that case, unauthorized use can be prevented. In the present embodiment, the console CPU 101 and the like of the semiconductor exposure apparatus function as the software management device of the present invention based on the program routine described with reference to FIG.

【0035】(第2の実施の形態)上記第1の実施の形
態では、GPS受信機108から得られた半導体露光装
置の緯度経度情報を用いてソフトウェアを管理していた
が、本第2の実施の形態では、GPS受信機108から
時刻情報を取得し、その時刻情報を用いてソフトウェア
を管理する。なお、半導体露光装置のハードウェア構成
は図1に示したのと同様であり、ここではその詳細な説
明は省略する。
(Second Embodiment) In the first embodiment, the software is managed using the latitude and longitude information of the semiconductor exposure apparatus obtained from the GPS receiver 108. In the embodiment, time information is acquired from the GPS receiver 108, and software is managed using the time information. The hardware configuration of the semiconductor exposure apparatus is the same as that shown in FIG. 1, and a detailed description thereof will be omitted.

【0036】次に、図3のフローチャートに基づいて、
本実施の形態における処理動作について説明する。前提
として、ソフトウェアプログラム内には、コンパイルリ
ンク作成時に、当該ソフトウェアを評価使用しうる使用
期限情報を取得しておき、プログラムのバイナリコード
内に、図3のフローチャートに示すプログラムルーチン
を数個所から数百個所にわたって埋め込んでおくものと
する。
Next, based on the flowchart of FIG.
The processing operation in the present embodiment will be described. As a premise, at the time of creating a compile link, use-by date information that can evaluate and use the software is acquired in the software program, and the program routine shown in the flowchart of FIG. It shall be embedded in 100 places.

【0037】以下、評価版ソフトウェアの使用期限検査
の処理動作について説明する。まず、ステップS301
において、GPS受信機108から現在の時刻情報を取
得する。
The processing operation of the expiration date check of the evaluation version software will be described below. First, step S301
In, the current time information is acquired from the GPS receiver.

【0038】次に、ステップS302において、ソフト
ウェアのプログラムコード内に埋め込まれた評価版ソフ
トウェアの使用期限情報を読み出す。
Next, in step S302, the expiration date information of the evaluation version software embedded in the program code of the software is read.

【0039】次に、ステップS303において、GPS
受信機108から得られた時刻情報(ステップS30
1)と、ソフトウェアのプログラムコードから読み出さ
れた使用期限情報(ステップS302)とを比較し、使
用期限内にある場合は、プログラムの実行を継続する
(ステップS306)。使用期限を過ぎていた場合は、
その旨の警告メッセージを表示し(ステップS30
4)、ユーザに確認を求め、プログラムの実行を停止す
る(ステップS305)。
Next, in step S303, the GPS
The time information obtained from the receiver 108 (step S30
1) is compared with the expiration date information (step S302) read from the software program code. If the expiration date is within the expiration date, the execution of the program is continued (step S306). If the expiration date has passed,
A warning message to that effect is displayed (step S30).
4) The user is asked for confirmation and the execution of the program is stopped (step S305).

【0040】以上述べた動作により、GPS受信機から
正確な時刻情報を得ることができるので、ユーザが装置
のクロックが持つ時刻を故意に変更して評価版ソフトウ
ェアを不正に継続使用するを発見し、防止することがで
きる。
By the above-described operation, accurate time information can be obtained from the GPS receiver. Therefore, it is found that the user intentionally changes the time of the clock of the device and illegally continues using the evaluation version software. , Can be prevented.

【0041】なお、図1におけるGPS受信機108と
装置とのインターフェースを装置の内部に埋め込むこと
なく、LAN等のネットワークによる通信網を介して、
GPS受信機108よりのデータを送信する実施の形態
も実現可能である。例えば、半導体露光装置がクリーン
ルームに設置されており、装置に埋め込まれたGPS受
信機からアンテナをGPS電波の受信可能な場所まで敷
設することが困難な場合に効果的である。
It should be noted that the interface between the GPS receiver 108 and the apparatus in FIG. 1 is not embedded in the apparatus, but via a communication network such as a LAN.
An embodiment for transmitting data from the GPS receiver 108 is also feasible. For example, this is effective when a semiconductor exposure apparatus is installed in a clean room and it is difficult to lay an antenna from a GPS receiver embedded in the apparatus to a place where GPS radio waves can be received.

【0042】ただし、本方式ではネットワークとの通信
インターフェースがGPS受信機108と装置との間に
介在するため、ネットワークパケット内容の改竄や暗号
の解読により、本方式による違法コピー防止方式が破ら
れてしまうおそれがある。最も強力な実施の形態は、装
置内部にGPS受信機108と装置との切り離し不可能
なインターフェースを確保する形態である。
However, in this method, since the communication interface with the network is interposed between the GPS receiver 108 and the device, the illegal copy prevention method by this method is broken by falsification of the contents of the network packet or decryption of the encryption. There is a possibility that it will. The most powerful embodiment is a mode that secures an inseparable interface between the GPS receiver 108 and the device inside the device.

【0043】上記第1、2の実施の形態において、もし
何らかの手段によりGPS受信機108からのデータが
改竄され、本方式のプロテクトが破られた場合に、ライ
センス管理元でプロテクト破りが発生したことを検知す
るようにしておいてもよい。具体的には、GPS受信機
108から取得したデータを随時インターネット等の通
信手段を用いてライセンス管理元へ通知し、ライセンス
管理元のGPS受信機から取得したデータと比較するこ
とにより、ライセンス使用先においてGPS受信データ
の改竄が行われていないかをチェックする。
In the first and second embodiments, if data from the GPS receiver 108 is falsified by any means and the protection of the present method is broken, the protection is broken by the license management source. May be detected. Specifically, the data obtained from the GPS receiver 108 is notified to the license management source using communication means such as the Internet as needed, and compared with the data obtained from the license management source GPS receiver. Check whether the GPS received data has been tampered with.

【0044】以下、図4のフローチャートに基づいて、
プロテクト破りを発見するための処理動作について説明
する。半導体露光装置側では、ステップS401におい
て、GPS受信機108で得た信号を解読してGPS受
信データを取得する。次に、ステップS402におい
て、上記GPS受信機データをインターネット等の通信
手段によりライセンス管理元へ送付する。
Hereinafter, based on the flowchart of FIG.
A processing operation for finding protection break will be described. In step S401, the semiconductor exposure apparatus decodes a signal obtained by the GPS receiver 108 to obtain GPS reception data. Next, in step S402, the GPS receiver data is sent to the license management source by a communication means such as the Internet.

【0045】一方、ライセンス管理元では、ステップS
403において、ライセンス管理サーバ等によりライセ
ンス使用先から上記GPS受信データを受け取り、ライ
センス管理元のGPS受信機から取得したGPS受信デ
ータと照合する。そして、ステップS404において、
上記データの差分に基づいて、ライセンス使用先で取得
された上記GPS受信データが、実際のGPS衛星から
得た信号を基に解読されたデータであるかどうかを判定
し、著しくデータが異なった場合は、何らかの改竄が行
われたものとしてステップS405に移り、ラインセン
ス違反の可能性をライセンス管理元の管理者に報告す
る。これにより、プロテクト破りを行っている証拠を得
ることができ、ライセンスされたソフトウェアの使用元
に対して警告をしたり、証拠資料として利用したりする
ことができる。
On the other hand, at the license management source, step S
In step 403, the GPS reception data is received from the license use destination by a license management server or the like, and is compared with the GPS reception data acquired from the license management source GPS receiver. Then, in step S404,
Based on the difference between the data, it is determined whether or not the GPS reception data obtained at the license destination is data decoded based on a signal obtained from an actual GPS satellite. Proceeds to step S405 assuming that some tampering has been performed, and reports the possibility of a license violation to the administrator of the license management source. As a result, it is possible to obtain evidence that the protection has been broken, warn the use source of the licensed software, and use it as evidence.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、違法
コピーによるソフトウェアの使用や、使用期限を過ぎた
ソフトウェアの使用といった不正使用を発見することが
できる。
As described above, according to the present invention, illegal use such as use of software due to illegal copying and use of software whose expiration date has passed can be detected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】半導体露光装置のハードウェア構成を示す図で
ある。
FIG. 1 is a diagram illustrating a hardware configuration of a semiconductor exposure apparatus.

【図2】第1の実施の形態における処理動作を示すフロ
ーチャートである。
FIG. 2 is a flowchart illustrating a processing operation according to the first embodiment.

【図3】第2の実施の形態における処理動作を示すフロ
ーチャートである。
FIG. 3 is a flowchart illustrating a processing operation according to the second embodiment.

【図4】プロテクト破りを発見するための処理動作を示
すフローチャートである。
FIG. 4 is a flowchart showing a processing operation for finding a protection break.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 コンソール用CPU 102 RAM 103 ROM 104 補助記憶装置 105 コンソール装置 106 通信インターフェース 107 メインCPUバス 108 GPS受信機 109 外部記憶装置 110 メインCPU 111 照明装置 112 レクチル駆動装置 113 ステージ駆動装置 114 TVシステム 115 周辺機器用バス Reference Signs List 101 Console CPU 102 RAM 103 ROM 104 Auxiliary storage device 105 Console device 106 Communication interface 107 Main CPU bus 108 GPS receiver 109 External storage device 110 Main CPU 111 Lighting device 112 Rectil drive 113 Stage drive 114 TV system 115 Peripheral equipment Bus

─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成13年3月15日(2001.3.1
5)
[Submission date] March 15, 2001 (2001.3.1.1)
5)

【手続補正1】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】特許請求の範囲[Correction target item name] Claims

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【特許請求の範囲】[Claims]

【手続補正2】[Procedure amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0009[Correction target item name] 0009

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0009】また、本発明のソフトウェア管理方法は、
所定装置に搭載された所定のソフトウェアを管理するた
めのソフトウェア管理方法であって、時刻情報及び/又
は上記所定のソフトウェアが搭載された上記所定装置の
位置情報を外部から取得する情報取得処理と、上記時刻
情報及び/又は上記位置情報が上記ソフトウェアから読
み出された所定範囲内にあるか否かを判断する判断処理
とを行う点に特徴を有する。
Further, the software management method of the present invention comprises:
A software management method for managing predetermined software mounted on a predetermined device, comprising: an information acquisition process for externally obtaining time information and / or position information of the predetermined device on which the predetermined software is mounted; A determination process of determining whether or not the time information and / or the position information is within a predetermined range read from the software.

【手続補正3】[Procedure amendment 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0010[Correction target item name] 0010

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0010】本発明の他のソフトウェア管理装置は、ソ
フトウェアが使用される装置が設置されている位置を表
わす位置情報を取得する取得手段と、上記取得手段によ
り取得された位置情報、及び、上記ソフトウェアに埋め
込まれた使用許諾範囲を示す情報に応じて、上記ソフト
ウェアが使用される装置が上記ソフトウェアの使用が許
諾されている範囲に位置するかを判断する判断手段とを
備えた点に特徴を有する。
According to another aspect of the present invention, there is provided a software management apparatus comprising: an acquiring unit for acquiring position information indicating a position where an apparatus using software is installed; a position information acquired by the acquiring unit; Determining means for determining whether a device using the software is located in a range in which the use of the software is permitted according to the information indicating the license range embedded in the software. .

【手続補正4】[Procedure amendment 4]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0011[Correction target item name] 0011

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0011】また、本発明の他のソフトウェア管理方法
は、ソフトウェアが使用される装置が設置されている位
置を表わす位置情報を取得する取得処理と、上記取得処
理により取得された位置情報、及び、上記ソフトウェア
に埋め込まれた使用許諾範囲を示す情報に応じて、上記
ソフトウェアが使用される装置が上記ソフトウェアの使
用が許諾されている範囲に位置するかを判断する判断処
理とを行う点に特徴を有する。
Further, another software management method of the present invention includes an acquisition process for acquiring position information indicating a position where an apparatus using the software is installed, a position information acquired by the acquisition process, and A determination process of determining whether a device using the software is located in a range in which the use of the software is permitted, in accordance with information indicating a license range embedded in the software. Have.

【手続補正5】[Procedure amendment 5]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0012[Correction target item name] 0012

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0012】本発明の他のソフトウェア管理装置は、G
PS受信機から時刻情報を取得する取得手段と、上記取
得手段により取得された時刻情報が、管理すべきソフト
ウェアに埋め込まれた使用期限内かを判断する判断手段
とを備えた点に特徴を有する。
[0012] Another software management device of the present invention comprises:
It is characterized in that it comprises an obtaining means for obtaining time information from a PS receiver, and a determining means for determining whether the time information obtained by the obtaining means is within the expiration date embedded in software to be managed. .

【手続補正6】[Procedure amendment 6]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0013[Correction target item name] 0013

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0013】また、本発明の他のソフトウェア管理方法
は、GPS受信機から時刻情報を取得する取得処理と、
上記取得処理により取得された時刻情報が、管理すべき
ソフトウェアに埋め込まれた使用期限内かを判断する判
断処理とを行う点に特徴を有する。
[0013] Further, another software management method of the present invention includes an acquisition process for acquiring time information from a GPS receiver;
It is characterized in that the time information obtained by the above-mentioned obtaining process is subjected to a determining process of determining whether or not it is within the expiration date embedded in the software to be managed.

【手続補正7】[Procedure amendment 7]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0014[Correction target item name] 0014

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0014】本発明の他のソフトウェア管理方法は、ソ
フトウェアのライセンス使用先のGPS受信データをラ
イセンス管理元へ送付し、ライセンス管理元のGPS受
信機から取得したGPS受信データと照合して、ライセ
ンス使用先のGPS受信データの改竄の有無を判定する
点に特徴を有する。
According to another software management method of the present invention, a license reception destination of a software license is sent to a license management source, and is compared with GPS reception data obtained from the license management source GPS receiver. It is characterized in that the presence or absence of falsification of the previous GPS reception data is determined.

【手続補正8】[Procedure amendment 8]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0015[Correction target item name] 0015

【補正方法】削除[Correction method] Deleted

【手続補正9】[Procedure amendment 9]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0016[Correction target item name] 0016

【補正方法】削除[Correction method] Deleted

【手続補正10】[Procedure amendment 10]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0017[Correction target item name] 0017

【補正方法】削除[Correction method] Deleted

【手続補正11】[Procedure amendment 11]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0018[Correction target item name] 0018

【補正方法】削除[Correction method] Deleted

【手続補正12】[Procedure amendment 12]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0019[Correction target item name] 0019

【補正方法】削除[Correction method] Deleted

【手続補正13】[Procedure amendment 13]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0040[Correction target item name] 0040

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0040】以上述べた動作により、GPS受信機から
正確な時刻情報を得ることができるので、ユーザが装置
のクロックが持つ時刻を故意に変更して評価版ソフトウ
ェアを不正に継続使用することを発見し、防止すること
ができる。
By the above-described operation, accurate time information can be obtained from the GPS receiver. Therefore, it has been discovered that the user intentionally changes the time of the device clock and illegally continues using the evaluation version software. And can be prevented.

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定装置に搭載された所定のソフトウェ
アを管理するためのソフトウェア管理装置であって、 時刻情報及び/又は上記所定のソフトウェアが搭載され
た上記所定装置の位置情報を外部から取得する情報取得
手段と、 上記時刻情報及び/又は上記位置情報が上記ソフトウェ
アから読み出された所定範囲内にあるか否かを判断する
判断手段とを備えたことを特徴とするソフトウェア管理
装置。
1. A software management device for managing predetermined software mounted on a predetermined device, wherein time information and / or position information of the predetermined device on which the predetermined software is mounted are obtained from outside. A software management apparatus comprising: an information acquisition unit; and a determination unit configured to determine whether the time information and / or the position information is within a predetermined range read from the software.
【請求項2】 上記時刻情報及び/又は上記位置情報が
上記所定範囲内にない場合に、上記所定のソフトウェア
のプログラムの実行を停止するプログラム停止手段を備
えたことを特徴とする請求項1に記載のソフトウェア管
理装置。
2. The apparatus according to claim 1, further comprising a program stopping means for stopping the execution of the program of the predetermined software when the time information and / or the position information is not within the predetermined range. Software management device as described.
【請求項3】 上記情報取得手段は、GPS受信機から
上記時刻情報及び/又は上記位置情報を取得することを
特徴とする請求項1又は2に記載のソフトウェア管理装
置。
3. The software management device according to claim 1, wherein the information acquisition unit acquires the time information and / or the position information from a GPS receiver.
【請求項4】 上記情報取得手段は、上記時刻情報及び
/又は上記位置情報を上記GPS受信機から通信を介し
て取得することを特徴とする請求項3に記載のソフトウ
ェア管理装置。
4. The software management device according to claim 3, wherein the information acquisition unit acquires the time information and / or the position information from the GPS receiver via communication.
【請求項5】 上記GPS受信機から取得して解読した
上記時刻情報及び/又は時刻情報を外部に送信する送信
手段を備えたことを特徴とする請求項3又は4に記載の
ソフトウェア管理装置。
5. The software management device according to claim 3, further comprising a transmission unit that transmits the time information and / or the time information obtained and decoded from the GPS receiver to the outside.
【請求項6】 所定装置に搭載された所定のソフトウェ
アを管理するためのソフトウェア管理方法であって、 時刻情報及び/又は上記所定のソフトウェアが搭載され
た上記所定装置の位置情報を外部から取得する情報取得
処理と、 上記時刻情報及び/又は上記位置情報が上記ソフトウェ
アから読み出された所定範囲内にあるか否かを判断する
判断処理とを行うことを特徴とするソフトウェア管理方
法。
6. A software management method for managing predetermined software mounted on a predetermined device, wherein time information and / or position information of the predetermined device on which the predetermined software is mounted are obtained from outside. A software management method comprising: performing an information acquisition process; and a determination process of determining whether the time information and / or the position information is within a predetermined range read from the software.
【請求項7】 上記時刻情報及び/又は上記位置情報が
上記所定範囲内にない場合に、上記所定のソフトウェア
のプログラムの実行を停止するプログラム停止処理を行
うこと特徴とする請求項6に記載のソフトウェア管理方
法。
7. The program according to claim 6, wherein when the time information and / or the position information are not within the predetermined range, a program stop process for stopping execution of the program of the predetermined software is performed. Software management method.
【請求項8】 上記情報取得処理では、GPS受信機か
ら上記時刻情報及び/又は上記位置情報を取得すること
を特徴とする請求項6又は7に記載のソフトウェア管理
方法。
8. The software management method according to claim 6, wherein the information acquisition processing acquires the time information and / or the position information from a GPS receiver.
【請求項9】 上記情報取得処理では、上記時刻情報及
び/又は上記位置情報を上記GPS受信機から通信を介
して取得することを特徴とする請求項8に記載のソフト
ウェア管理方法。
9. The software management method according to claim 8, wherein in the information acquisition processing, the time information and / or the position information is acquired from the GPS receiver via communication.
【請求項10】 上記GPS受信機から取得して解読し
た上記時刻情報及び/又は時刻情報を外部に送信する送
信処理を行うことを特徴とする請求項8又は9に記載の
ソフトウェア管理方法。
10. The software management method according to claim 8, wherein a transmission process of transmitting the time information and / or the time information obtained and decoded from the GPS receiver to the outside is performed.
【請求項11】 請求項1〜5に記載の各手段としてコ
ンピュータを機能させるためのプログラムを格納したこ
とを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
11. A computer-readable storage medium storing a program for causing a computer to function as each of the means according to claim 1. Description:
【請求項12】 請求項6〜10に記載の各処理を実行
するためのプログラムを格納したことを特徴とするコン
ピュータ読み取り可能な記憶媒体。
12. A computer-readable storage medium storing a program for executing each of the processes according to claim 6. Description:
JP2000096472A 2000-03-31 2000-03-31 Software management device, its method and computer readable storage medium Pending JP2001282526A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000096472A JP2001282526A (en) 2000-03-31 2000-03-31 Software management device, its method and computer readable storage medium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000096472A JP2001282526A (en) 2000-03-31 2000-03-31 Software management device, its method and computer readable storage medium

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001282526A true JP2001282526A (en) 2001-10-12

Family

ID=18611239

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000096472A Pending JP2001282526A (en) 2000-03-31 2000-03-31 Software management device, its method and computer readable storage medium

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001282526A (en)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005333637A (en) * 2004-05-17 2005-12-02 Agilent Technol Inc System and method for detecting signal tampering
WO2006016619A1 (en) * 2004-08-12 2006-02-16 Nikon Corporation Substrate processing apparatus, use state ascertaining method, and false use preventing method
JP2013171346A (en) * 2012-02-17 2013-09-02 Fuji Electric Co Ltd Control system, control device, and program execution control method
US20130271945A1 (en) 2004-02-06 2013-10-17 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US9341954B2 (en) 2007-10-24 2016-05-17 Nikon Corporation Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9423698B2 (en) 2003-10-28 2016-08-23 Nikon Corporation Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus
US9678437B2 (en) 2003-04-09 2017-06-13 Nikon Corporation Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction
US9678332B2 (en) 2007-11-06 2017-06-13 Nikon Corporation Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9885872B2 (en) 2003-11-20 2018-02-06 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light
US9891539B2 (en) 2005-05-12 2018-02-13 Nikon Corporation Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method
US10101666B2 (en) 2007-10-12 2018-10-16 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method

Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9885959B2 (en) 2003-04-09 2018-02-06 Nikon Corporation Illumination optical apparatus having deflecting member, lens, polarization member to set polarization in circumference direction, and optical integrator
US9678437B2 (en) 2003-04-09 2017-06-13 Nikon Corporation Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction
US9423698B2 (en) 2003-10-28 2016-08-23 Nikon Corporation Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus
US9760014B2 (en) 2003-10-28 2017-09-12 Nikon Corporation Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus
US9885872B2 (en) 2003-11-20 2018-02-06 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light
US10281632B2 (en) 2003-11-20 2019-05-07 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical member with optical rotatory power to rotate linear polarization direction
US20130271945A1 (en) 2004-02-06 2013-10-17 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US10241417B2 (en) 2004-02-06 2019-03-26 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US10234770B2 (en) 2004-02-06 2019-03-19 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US10007194B2 (en) 2004-02-06 2018-06-26 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
JP2005333637A (en) * 2004-05-17 2005-12-02 Agilent Technol Inc System and method for detecting signal tampering
AU2005272460B2 (en) * 2004-08-12 2012-03-22 Nikon Corporation Substrate Processing System, Method Of Confirmation Of Its State Of Use, And Method Of Prevention Of Illicit Use
JPWO2006016619A1 (en) * 2004-08-12 2008-05-01 株式会社ニコン Substrate processing apparatus, usage status confirmation method, and unauthorized use prevention method
WO2006016619A1 (en) * 2004-08-12 2006-02-16 Nikon Corporation Substrate processing apparatus, use state ascertaining method, and false use preventing method
JP4705034B2 (en) * 2004-08-12 2011-06-22 株式会社ニコン Substrate processing equipment, usage status confirmation method
US8996422B2 (en) 2004-08-12 2015-03-31 Nikon Corporation Substrate processing system, method of confirmation of its state of use, and method of prevention of illicit use
US9891539B2 (en) 2005-05-12 2018-02-13 Nikon Corporation Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method
US10101666B2 (en) 2007-10-12 2018-10-16 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9857599B2 (en) 2007-10-24 2018-01-02 Nikon Corporation Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9341954B2 (en) 2007-10-24 2016-05-17 Nikon Corporation Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9678332B2 (en) 2007-11-06 2017-06-13 Nikon Corporation Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method
JP2013171346A (en) * 2012-02-17 2013-09-02 Fuji Electric Co Ltd Control system, control device, and program execution control method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9436806B2 (en) Content protection in a wireless network
US8112814B2 (en) Information processing apparatus, access control method, access control program product, recording medium, and image forming apparatus
JP5107159B2 (en) Image forming apparatus, activation method, program, storage medium
US20050152334A1 (en) Data protecting apparatus and image forming apparatus
US11943369B2 (en) Technology validation and ownership
US8613082B2 (en) License management server, license management method, and computer program product
US20060015465A1 (en) Apparatus, method and program for license information ascertainment
US8387156B2 (en) Equipment managing system, equipment managing method, and computer-readable storage medium
US20070168294A1 (en) Digital content use right management system
JP2001282526A (en) Software management device, its method and computer readable storage medium
JP5239755B2 (en) Information processing apparatus, installation method, program, and storage medium
JPH11282753A (en) Method and device for accessing object and storage medium storing program controlling access to object
US20030110011A1 (en) Software unlawful use prevention apparatus
US20040230842A1 (en) Image forming apparatus, launching method of program in the apparatus, image forming system, and program and storage medium therefor
JPWO2008146408A1 (en) License management program, software usage control method, and license management apparatus
US6418486B1 (en) Device handling system and method
JP2010186376A (en) License management system, image forming apparatus and license management method
JP2011054044A (en) Image forming apparatus, license processing method, and license processing program
US20030005093A1 (en) Server configuration versioning tool
JP2001265581A (en) System and method for preventing illegal use of software
JP2001306530A (en) Network system, device and method for performing remote access and computer-readable storage medium
JP2006260404A (en) Image processor, and information setting method
JP2005208935A (en) Software management system and software management program
JP2002222021A (en) License managing method for software and storage medium
JP2006235682A (en) Maintenance contract management system, client, server, information equipment, and maintenance contract management program

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040921

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20050201