JP2001249865A - Communication simulator - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置と
これを制御するホストシステムとの間の通信をシミュレ
ートする通信シミュレータに関するものである。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a communication simulator for simulating communication between a semiconductor manufacturing apparatus and a host system that controls the semiconductor manufacturing apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、コンピュータ技術や情報技術の発
達により、半導体製造ラインの制御はますます高度化つ
つある。2. Description of the Related Art In recent years, with the development of computer technology and information technology, control of a semiconductor manufacturing line is becoming increasingly sophisticated.
【０００３】図３に半導体生産ラインの概略例を示す。
図３で、ネットワーク１０上に半導体製造装置２１〜２
３とホストシステム３０が接続されている。ネットワー
ク１０は、例えば、ＳＥＣＳプロトコル、ＨＳＭＳプロ
トコル等に準拠した通信回線である。半導体製造装置２
１〜２３（半導体製造装置を装置と略称する）は、半導
体の製造に用いる装置で、例えば、酸化装置、成膜装
置、イオン注入装置等である。ホストシステム３０（ホ
ストシステムをホストと略称する）は、半導体製造装置
２１〜２３を制御する。FIG. 3 shows a schematic example of a semiconductor production line.
In FIG. 3, the semiconductor manufacturing apparatuses 21 and 2
3 and the host system 30 are connected. The network 10 is, for example, a communication line based on the SECS protocol, the HSMS protocol, and the like. Semiconductor manufacturing equipment 2
1 to 23 (semiconductor manufacturing apparatuses are abbreviated as apparatuses) are apparatuses used for manufacturing a semiconductor, such as an oxidizing apparatus, a film forming apparatus, and an ion implanting apparatus. The host system 30 (the host system is abbreviated as a host) controls the semiconductor manufacturing apparatuses 21 to 23.
【０００４】ホストから装置に対するリモート指示を行
ったり、装置から各種データをホストに送ってモニタリ
ングをするために、装置とホストをネットワークに接続
している。装置とホストをネットワークに接続するため
には、装置とホストの両方にオンラインソフトウェアが
必要となる。オンラインソフトウェアは装置とホストの
メーカ等によって異なる。オンラインソフトウェアは未
だ各社の独自性が強いため、装置とホストをネットワー
クに接続するときには、ユーザは通信テストを行い、正
常に通信が行われるかどうかを確認している。[0004] The device and the host are connected to a network in order to perform a remote instruction from the host to the device or to send various data from the device to the host for monitoring. In order to connect the device and the host to the network, both the device and the host require online software. The online software differs depending on the device and the manufacturer of the host. Because online software is still unique among companies, when connecting devices and hosts to a network, users conduct communication tests to confirm that communication is normal.
【０００５】実機を組む前に通信テストを実行するため
のツールとして、装置またはホストの通信動作を模擬す
るシミュレータがあった。例えば、装置の実機が組まれ
ている場合は、シミュレータはホストの通信動作をシミ
ュレートし、ホストの実機が組まれている場合は、シミ
ュレータは装置の通信動作をシミュレートする。[0005] As a tool for executing a communication test before assembling a real machine, there has been a simulator that simulates a communication operation of an apparatus or a host. For example, when the actual device of the device is assembled, the simulator simulates the communication operation of the host, and when the actual device of the host is assembled, the simulator simulates the communication operation of the device.
【０００６】図４は上述したシミュレータの従来例の構
成図である。図の例では、装置が実機でホストがシミュ
レータである場合を示している。実機の半導体製造装置
２１とホストのシミュレータ４０はネットワーク１０に
接続されている。FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional example of the above-described simulator. The example in the figure shows a case where the device is a real machine and the host is a simulator. The actual semiconductor manufacturing apparatus 21 and the host simulator 40 are connected to the network 10.
【０００７】記憶手段４０１には、シミュレーションを
実行するためのシミュレータソフトウェア４０２が格納
されている。表示手段４０４は、例えばデータ設定画面
を表示する。設定手段４０５は、データ設定画面から入
力された設定データをシミュレータソフトウェア４０２
に設定する。[0007] The storage means 401 stores simulator software 402 for executing a simulation. The display unit 404 displays, for example, a data setting screen. The setting unit 405 converts the setting data input from the data setting screen into the simulator software 402.
Set to.
【０００８】実行手段４０６はシミュレータソフトウェ
ア４０２を用いてホストの通信動作をシミュレートす
る。通信ドライバ４０７、は実行手段４０６がシミュレ
ーションを実行すると半導体製造装置２１と通信を行
う。通信ドライバ４０７ネットワークの種類に応じた通
信プロトコルに従って通信を行う。テスト手段４０８
は、ネットワーク１０を経由して半導体製造装置２１と
の間で通信テストを行う。通信テストの結果はテキスト
データ形式でログファイル４０９に格納する。テストで
は、シミュレータ４０から半導体製造装置２１にデータ
を送り、これに対して半導体製造装置２１が期待値どお
りの応答データを返してきたかどうかに基づいて可否判
定を行う。[0008] The execution means 406 simulates the communication operation of the host using the simulator software 402. The communication driver 407 communicates with the semiconductor manufacturing apparatus 21 when the execution unit 406 executes the simulation. The communication driver 407 performs communication according to a communication protocol corresponding to the type of network. Test means 408
Performs a communication test with the semiconductor manufacturing apparatus 21 via the network 10. The result of the communication test is stored in the log file 409 in a text data format. In the test, data is sent from the simulator 40 to the semiconductor manufacturing apparatus 21, and whether or not the semiconductor manufacturing apparatus 21 has returned response data as expected in response to the data is determined.
【０００９】しかし、従来のシミュレータでは次の問題
点があった。 シミュレータソフトウェアに設定する各種データは、
全て画面から入力する必要があることから、多大な工数
が費やさる。また、手入力をしているため、入力ミスが
発生しやすい。 １台のシミュレータに対して１台の装置もしくはホス
トしか接続できない。このため、通信テストの効率が悪
い。 開発環境で生成されたシミュレータは、実際に接続し
た段階では一切のデータ変更が許されない。このため、
データ変更をするときは、シミュレータの接続を切り離
し、再度開発環境にて修正データを入力する必要があ
る。 通信テストで得た半導体製造装置２１の応答データ
は、ログファイルからダンプアウトされるが、通信テス
トの可否判定は人が介在しないと実施できない。However, the conventional simulator has the following problems. Various data set in the simulator software are
Since all data must be entered from the screen, a great deal of man-hours are spent. In addition, since a manual input is performed, an input error easily occurs. Only one device or host can be connected to one simulator. Therefore, the efficiency of the communication test is low. The simulator generated in the development environment does not allow any data changes at the stage of actual connection. For this reason,
When changing data, it is necessary to disconnect the simulator and input the correction data again in the development environment. The response data of the semiconductor manufacturing apparatus 21 obtained in the communication test is dumped out of the log file, but the judgment of the communication test cannot be performed without human intervention.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述した問題
点を解決するためになされたものであり、通信シミュレ
ーション環境の構築に要する工数を大幅に削減でき、通
信テストの効率を向上させることができ、通信テストの
実行環境でもデータの変更が可能で、しかもテスト結果
の解析を容易に行うことができる通信シミュレータを実
現することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and can significantly reduce the man-hour required for constructing a communication simulation environment and improve the efficiency of a communication test. It is an object of the present invention to provide a communication simulator which can change data even in a communication test execution environment and can easily analyze test results.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明は次のとおりの構
成になった通信シミュレータである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a communication simulator having the following configuration.
【００１２】（１）半導体製造装置とこれを制御するホ
ストシステムとの間の通信をシミュレートする通信シミ
ュレータにおいて、実物の半導体製造装置が用意されて
いるときはホストシステム側に設けられ、実物のホスト
システムが用意されているときは半導体製造装置側に設
けられ、実物の通信相手にある通信仕様書の電子ファイ
ルから電子データを転写する転写手段と、転写した電子
データをシミュレータソフトウェアに与え、通信シミュ
レーション環境を構築する環境構築手段と、この環境構
築手段で構築した環境の下で、実物の通信相手と通信シ
ミュレーションを行う通信手段と、を有することを特徴
とする通信シミュレータ。(1) In a communication simulator for simulating communication between a semiconductor manufacturing apparatus and a host system that controls the semiconductor manufacturing apparatus, when a real semiconductor manufacturing apparatus is prepared, it is provided on the host system side. When a host system is prepared, it is provided on the semiconductor manufacturing equipment side, and a transfer means for transferring electronic data from an electronic file of a communication specification at a real communication partner, and the transferred electronic data is given to the simulator software to perform communication. A communication simulator comprising: an environment construction means for constructing a simulation environment; and communication means for performing a communication simulation with a real communication partner under the environment constructed by the environment construction means.
【００１３】（２）前記転写手段で転写する電子データ
は、通信手順のデータを含むことを特徴とする（１）記
載の通信シミュレータ。(2) The communication simulator according to (1), wherein the electronic data transferred by the transfer means includes communication procedure data.
【００１４】（３）半導体製造装置とこれを制御するホ
ストシステムとの間の通信をシミュレートする通信シミ
ュレータにおいて、実物の半導体製造装置が用意されて
いるときはホストシステム側に設けられ、実物のホスト
システムが用意されているときは半導体製造装置側に設
けられ、シミュレータソフトウェアに従って通信シミュ
レーションを行う通信手段と、通信シミュレーションで
用いるデータを設定する設定手段と、この設定手段で設
定したデータをファイル化して保存するデータファイル
と、通信に用いるデータを前記データファイルから読み
出してメモリ上に展開する読出手段と、前記メモリ上に
展開されたデータの設定を変更する設定変更手段と、を
有することを特徴とする通信シミュレータ。(3) In a communication simulator for simulating communication between a semiconductor manufacturing apparatus and a host system which controls the semiconductor manufacturing apparatus, when a real semiconductor manufacturing apparatus is prepared, it is provided on the host system side. When a host system is provided, it is provided on the semiconductor manufacturing apparatus side and performs communication simulation according to simulator software, setting means for setting data used in the communication simulation, and file-setting the data set by the setting means. A data file to be stored and stored, reading means for reading data used for communication from the data file and expanding the data on a memory, and setting changing means for changing settings of the data expanded on the memory. Communication simulator.
【００１５】（４）半導体製造装置とこれを制御するホ
ストシステムとの間の通信をシミュレートする通信シミ
ュレータにおいて、実物の半導体製造装置が用意されて
いるときはホストシステム側に設けられ、実物のホスト
システムが用意されているときは半導体製造装置側に設
けられ、シミュレータソフトウェアに従って通信シミュ
レーションを行う通信手段と、実物の通信相手にデータ
を送ったときに実物の通信相手が期待値どおりのデータ
を返してきたかどうかに基づいて可否判定を行う判定手
段と、この判定手段の判定結果を表形式に編集する編集
手段と、編集した判定結果を画面表示する表示手段と、
を有することを特徴とする通信シミュレータ。(4) In a communication simulator for simulating communication between a semiconductor manufacturing apparatus and a host system controlling the same, when a real semiconductor manufacturing apparatus is prepared, it is provided on the host system side, and is provided on the host system side. When a host system is prepared, it is provided on the semiconductor manufacturing equipment side and performs communication simulation according to simulator software.When sending data to the real communication partner, the real communication partner sends data as expected. Determining means for determining whether or not it has been returned, editing means for editing the determination result of the determining means in a table format, display means for displaying the edited determination result on a screen,
A communication simulator comprising:
【００１６】（５）半導体製造装置とこれを制御するホ
ストシステムとの間の通信をシミュレートする通信シミ
ュレータにおいて、実物の半導体製造装置が用意されて
いるときはホストシステム側に設けられ、実物のホスト
システムが用意されているときは半導体製造装置側に設
けられ、マルチタスク処理によりネットワーク上に接続
された複数の実物の通信相手と通信シミュレーションを
行う通信手段を有することを特徴とする請求項の通信シ
ミュレータ。(5) In a communication simulator for simulating communication between a semiconductor manufacturing apparatus and a host system for controlling the same, when a real semiconductor manufacturing apparatus is prepared, it is provided on the host system side and the real semiconductor manufacturing apparatus is provided. When a host system is prepared, the communication system is provided on the semiconductor manufacturing apparatus side and has communication means for performing communication simulation with a plurality of real communication partners connected on a network by multitask processing. Communication simulator.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。図１で前出の図と同一のものは同一符号を付ける。
図の例では、装置が実機でホストがシミュレータである
場合を示している。図１で、ネットワーク１０には、実
物の半導体製造装置２１〜２３と、ホストの通信動作を
模擬するシミュレータ５０が接続されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of the present invention. In FIG. 1, the same components as those described above are denoted by the same reference numerals.
The example in the figure shows a case where the device is a real machine and the host is a simulator. In FIG. 1, real semiconductor manufacturing apparatuses 21 to 23 and a simulator 50 for simulating a communication operation of a host are connected to the network 10.
【００１８】転写手段５０１は、半導体製造装置２１〜
２３にある通信仕様書の電子ファイルから電子データを
転写する。転写する電子データには、例えば、通信手
順、通信内容のデータ等が含まれている。半導体製造装
置には、通信仕様書を電子データの形にして電子ファイ
ルに格納したものがある。通信仕様書は半導体製造装置
のメーカ、機種等によって異なる。The transfer means 501 includes semiconductor manufacturing apparatuses 21 to 21.
The electronic data is transferred from the electronic file of the communication specification at 23. The electronic data to be transcribed includes, for example, data on communication procedures and communication contents. 2. Description of the Related Art Some semiconductor manufacturing apparatuses store communication specifications in the form of electronic data in an electronic file. Communication specifications vary depending on the manufacturer, model, and the like of the semiconductor manufacturing apparatus.
【００１９】環境構築手段５０２は、転写した電子デー
タをシミュレータソフトウェア５０３に与えることによ
って、通信シミュレーション環境を構築する。シミュレ
ータソフトウェア５０３は、シミュレータ５０が実物ホ
ストの通信動作を模擬するためのプログラムが記述され
ている。シミュレータソフトウェア５０３は記憶手段５
０４に格納されている。The environment construction means 502 constructs a communication simulation environment by giving the transferred electronic data to the simulator software 503. The simulator software 503 describes a program for the simulator 50 to simulate the communication operation of the real host. Simulator software 503 is stored in storage unit 5
04.
【００２０】通信手段５０５は、環境構築手段５０２で
構築した環境の下で、半導体製造装置２１〜２３と通信
シミュレーションを行う。通信手段５０５は、マルチタ
スクプログラム５０６を実行することによって、複数の
半導体製造装置２１〜２３と通信シミュレーションを行
う。これによって、ネットワーク１０上の複数の装置に
対して同時に通信テストを行うことができる。設定手段
５０７は、通信シミュレーションで用いるデータを設定
する。データファイル５０８は、設定手段５０７で設定
したデータをファイル化して保存する。読出手段５０９
は、通信に用いるデータをデータファイル５０８から読
み出してメモリ５１０上に展開する。設定変更手段５１
１は、メモリ上で展開されたデータの設定を変更する。The communication unit 505 performs a communication simulation with the semiconductor manufacturing apparatuses 21 to 23 under the environment constructed by the environment construction unit 502. The communication unit 505 performs a communication simulation with the plurality of semiconductor manufacturing apparatuses 21 to 23 by executing the multitask program 506. Thus, a communication test can be performed on a plurality of devices on the network 10 at the same time. The setting unit 507 sets data used in the communication simulation. The data file 508 stores the data set by the setting unit 507 as a file. Read means 509
Reads data used for communication from the data file 508 and expands the data on the memory 510. Setting change means 51
1 changes the setting of the data expanded on the memory.
【００２１】判定手段５１２は、半導体製造装置２１〜
２３にデータを送ったときに半導体製造装置２１〜２３
が期待値どおりのデータを返してきたかどうかに基づい
て可否判定を行う。編集手段５１３は、判定手段５１２
の判定結果を表形式に編集する。表示手段５１４は編集
した判定結果を画面表示する。The determining means 512 includes the semiconductor manufacturing apparatuses 21 to 21.
23, the semiconductor manufacturing apparatuses 21 to 23
Is determined based on whether or not has returned data as expected. The editing unit 513 includes a determination unit 512
Edit the judgment result in the table format. The display unit 514 displays the edited determination result on a screen.
【００２２】このような通信シミュレータで、半導体製
造装置２１〜２３にある通信仕様書の電子ファイルから
通信手順、通信内容等の電子データを転写（カットアン
ドペースト）する。ここでいう通信内容は、例えばメッ
セージフォーマットである。環境構築手段５０２は、転
写した電子データをシミュレータソフトウェア５０３に
反映する。これによって、データの手入力を行わずに、
半導体製造装置の機種に応じた通信シミュレーション環
境が構築される。With such a communication simulator, electronic data such as communication procedures and communication contents are transferred (cut and pasted) from electronic files of communication specifications in the semiconductor manufacturing apparatuses 21 to 23. The communication content here is, for example, a message format. The environment construction means 502 reflects the transferred electronic data on the simulator software 503. This allows you to manually enter data without
A communication simulation environment corresponding to the type of the semiconductor manufacturing device is constructed.
【００２３】通信手段５０５は、マルチタスクプログラ
ム５０６を実行することによって、複数の半導体製造装
置２１〜２３と通信シミュレーションを行う。これによ
って、ネットワーク１０上の複数の装置に対して同時に
通信テストを行うことができる。The communication means 505 executes a multitask program 506 to simulate communication with a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses 21 to 23. Thus, a communication test can be performed on a plurality of devices on the network 10 at the same time.
【００２４】通信テストを行うために設定されたデータ
はファイル化され、データファイル５０８に格納されて
いる。通信を行うときは、読出手段５０９はデータファ
イル５０８からデータを読み出し、メモリ５１０上で展
開する。展開されたメモリ上でデータに設定変更を行う
ことにより、通信テストの実行環境でもデータの数値、
属性等を変更できる。Data set for performing a communication test is filed and stored in a data file 508. When performing communication, the reading unit 509 reads data from the data file 508 and expands the data on the memory 510. By making settings changes to the data on the expanded memory, the data values,
Attributes can be changed.
【００２５】通信テストでは、既知のデータを半導体製
造装置２１〜２３に送る。これに対して半導体製造装置
２１〜２３が期待値どおりの応答データを返してきたと
きは、判定手段５１０は「可」と判定する。期待値と異
なるときは「否」と判定する。編集手段５１１は、この
ようにして得た判定結果を表計算用ソフトウェアで編集
する。表示手段５１２は、表形式に編集した判定結果を
画面表示する。In the communication test, known data is sent to the semiconductor manufacturing apparatuses 21 to 23. On the other hand, when the semiconductor manufacturing apparatuses 21 to 23 return response data as expected, the determination unit 510 determines “OK”. When it is different from the expected value, it is determined as “No”. The editing unit 511 edits the determination result obtained in this way using spreadsheet software. The display unit 512 displays the determination result edited in a table format on a screen.
【００２６】図２は表形式に編集した判定結果の表示例
を示した図である。図２に示すように、半導体製造装置
に送った送信データ、半導体製造装置が返した応答デー
タ、期待値、判定結果を一覧表示している。これによっ
て、テスト結果の解析が容易になる。FIG. 2 is a diagram showing a display example of a judgment result edited in a table format. As shown in FIG. 2, transmission data sent to the semiconductor manufacturing apparatus, response data returned by the semiconductor manufacturing apparatus, expected values, and determination results are displayed in a list. This facilitates analysis of test results.
【００２７】なお、ホストを実機で構成し、装置をシミ
ュレータで構成してもよい。It should be noted that the host may be constituted by an actual machine and the device may be constituted by a simulator.
【００２８】[0028]
【発明の効果】本発明によれば次の効果が得られる。According to the present invention, the following effects can be obtained.
【００２９】請求項１及び請求項２記載の発明では、シ
ミュレータは実物の装置またはホストから通信仕様書の
電子データを転写し、転写したデータをもとに通信シミ
ュレーション環境を構築している。これによって、通信
シミュレーション環境の構築に要する工数を大幅に削減
できる。また、データの手入力が不要になることから、
人為的ミスを防止できる。According to the first and second aspects of the present invention, the simulator transcribes electronic data of a communication specification from a real device or a host, and constructs a communication simulation environment based on the transcribed data. As a result, the number of steps required for constructing the communication simulation environment can be significantly reduced. Also, since there is no need to manually enter data,
Human error can be prevented.
【００３０】請求項３記載の発明では、通信テストを行
うために設定されたデータはファイル化してデータファ
イルに格納しておき、通信を行うときは、データファイ
ルからデータを読み出してメモリ上に展開し、展開した
メモリ上でデータに設定変更を行っている。これによっ
て、通信テストの実行環境でもデータの数値、属性等を
変更できる。According to the third aspect of the present invention, data set for performing a communication test is filed and stored in a data file, and when performing communication, data is read from the data file and expanded on a memory. Then, the settings are changed to the data on the expanded memory. As a result, numerical values, attributes, and the like of data can be changed even in the communication test execution environment.
【００３１】請求項４記載の発明では、通信テストの判
定結果を表形式に編集して画面表示しているため、テス
ト結果の解析が容易になる。According to the fourth aspect of the present invention, the judgment result of the communication test is edited in the form of a table and displayed on the screen, so that the analysis of the test result becomes easy.
【００３２】請求項５記載の発明では、マルチタスク処
理により複数の装置またはホストと通信シミュレーショ
ンを行っている。これによって、複数の装置またはホス
トと同時に通信テストを行うことができ、テスト効率を
向上できる。According to the fifth aspect of the present invention, communication simulation with a plurality of devices or hosts is performed by multitask processing. Thus, a communication test can be performed simultaneously with a plurality of devices or hosts, and test efficiency can be improved.
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of the present invention.
【図２】本発明によるテスト結果の一例を示した図であ
る。FIG. 2 is a diagram showing an example of a test result according to the present invention.
【図３】半導体生産ラインの概略例を示した図である。FIG. 3 is a diagram showing a schematic example of a semiconductor production line.
【図４】通信シミュレータの従来例の構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional example of a communication simulator.
１０ ネットワーク ２１〜２３ 半導体製造装置 ５０ シミュレータ ５０１ 転写手段 ５０２ 環境構築手段 ５０３ シミュレータソフトウェア ５０５ 通信手段 ５０６ マルチタスクプログラム ５０７ 設定手段 ５０８ データファイル ５０９ 読出手段 ５１０ メモリ ５１１ 設定変更手段 ５１２ 判定手段 ５１３ 編集手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Network 21-23 Semiconductor manufacturing apparatus 50 Simulator 501 Transfer means 502 Environment construction means 503 Simulator software 505 Communication means 506 Multitask program 507 Setting means 508 Data file 509 Reading means 510 Memory 511 Setting change means 512 Judgment means 513 Editing means
─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成１３年３月９日（２００１．３．９）[Submission date] March 9, 2001 (2001.3.9)
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】請求項５[Correction target item name] Claim 5
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【手続補正２】[Procedure amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１６[Correction target item name] 0016
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００１６】（５）半導体製造装置とこれを制御するホ
ストシステムとの間の通信をシミュレートする通信シミ
ュレータにおいて、実物の半導体製造装置が用意されて
いるときはホストシステム側に設けられ、実物のホスト
システムが用意されているときは半導体製造装置側に設
けられ、マルチタスク処理によりネットワーク上に接続
された複数の実物の通信相手と通信シミュレーションを
行う通信手段を有することを特徴とする通信シミュレー
タ。(5) In a communication simulator for simulating communication between a semiconductor manufacturing apparatus and a host system for controlling the same, when a real semiconductor manufacturing apparatus is prepared, it is provided on the host system side and provided with a real semiconductor manufacturing apparatus. A communication simulator provided on the semiconductor manufacturing apparatus side when a host system is prepared, and having communication means for performing communication simulation with a plurality of real communication partners connected on a network by multitask processing.
Claims (5)
システムとの間の通信をシミュレートする通信シミュレ
ータにおいて、 実物の半導体製造装置が用意されているときはホストシ
ステム側に設けられ、実物のホストシステムが用意され
ているときは半導体製造装置側に設けられ、 実物の通信相手にある通信仕様書の電子ファイルから電
子データを転写する転写手段と、 転写した電子データをシミュレータソフトウェアに与
え、通信シミュレーション環境を構築する環境構築手段
と、 この環境構築手段で構築した環境の下で、実物の通信相
手と通信シミュレーションを行う通信手段と、を有する
ことを特徴とする通信シミュレータ。1. A communication simulator for simulating communication between a semiconductor manufacturing apparatus and a host system that controls the semiconductor manufacturing apparatus. When the system is prepared, it is provided on the semiconductor manufacturing equipment side, and a transfer means for transferring electronic data from the electronic file of the communication specification of the actual communication partner, and the transferred electronic data is given to the simulator software to perform communication simulation. A communication simulator comprising: an environment construction means for constructing an environment; and communication means for performing a communication simulation with a real communication partner under the environment constructed by the environment construction means.
通信手順のデータを含むことを特徴とする請求項１記載
の通信シミュレータ。2. The electronic data transferred by the transfer means,
2. The communication simulator according to claim 1, further comprising data of a communication procedure.
システムとの間の通信をシミュレートする通信シミュレ
ータにおいて、 実物の半導体製造装置が用意されているときはホストシ
ステム側に設けられ、実物のホストシステムが用意され
ているときは半導体製造装置側に設けられ、 シミュレータソフトウェアに従って通信シミュレーショ
ンを行う通信手段と、通信シミュレーションで用いるデ
ータを設定する設定手段と、 この設定手段で設定したデータをファイル化して保存す
るデータファイルと、 通信に用いるデータを前記データファイルから読み出し
てメモリ上に展開する読出手段と、 前記メモリ上に展開されたデータの設定を変更する設定
変更手段と、を有することを特徴とする通信シミュレー
タ。3. A communication simulator for simulating communication between a semiconductor manufacturing apparatus and a host system that controls the semiconductor manufacturing apparatus, wherein a real semiconductor manufacturing apparatus is provided on a host system side when a real semiconductor manufacturing apparatus is prepared. When the system is prepared, it is provided on the semiconductor manufacturing equipment side and performs communication simulation according to the simulator software, setting means for setting data used in the communication simulation, and file-setting the data set by the setting means. A data file to be stored; read means for reading data used for communication from the data file and expanding the data on a memory; and setting change means for changing settings of the data expanded on the memory. Communication simulator.
システムとの間の通信をシミュレートする通信シミュレ
ータにおいて、 実物の半導体製造装置が用意されているときはホストシ
ステム側に設けられ、実物のホストシステムが用意され
ているときは半導体製造装置側に設けられ、 シミュレータソフトウェアに従って通信シミュレーショ
ンを行う通信手段と、 実物の通信相手にデータを送ったときに実物の通信相手
が期待値どおりのデータを返してきたかどうかに基づい
て可否判定を行う判定手段と、 この判定手段の判定結果を表形式に編集する編集手段
と、 編集した判定結果を画面表示する表示手段と、を有する
ことを特徴とする通信シミュレータ。4. A communication simulator for simulating communication between a semiconductor manufacturing apparatus and a host system that controls the semiconductor manufacturing apparatus. When the system is prepared, it is provided on the semiconductor manufacturing equipment side and performs communication simulation according to the simulator software.When sending data to the real communication partner, the real communication partner returns data as expected Communication means comprising: determination means for determining whether or not the determination has been made, editing means for editing the determination result of the determination means in a tabular form, and display means for displaying the edited determination result on a screen. Simulator.
システムとの間の通信をシミュレートする通信シミュレ
ータにおいて、 実物の半導体製造装置が用意されているときはホストシ
ステム側に設けられ、実物のホストシステムが用意され
ているときは半導体製造装置側に設けられ、 マルチタスク処理によりネットワーク上に接続された複
数の実物の通信相手と通信シミュレーションを行う通信
手段を有することを特徴とする請求項の通信シミュレー
タ。5. A communication simulator for simulating communication between a semiconductor manufacturing apparatus and a host system that controls the semiconductor manufacturing apparatus, wherein a real semiconductor manufacturing apparatus is provided on the host system side when the real semiconductor manufacturing apparatus is prepared. The communication according to claim 1, further comprising a communication unit provided on the semiconductor manufacturing apparatus side when the system is prepared, and performing communication simulation with a plurality of real communication partners connected on the network by multitask processing. Simulator.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005039360A (en) * | 2003-07-16 | 2005-02-10 | Ics:Kk | Device and method for multiple communication tests equipped with plurality of virtualized input and output communication port couples |
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|---|---|---|---|---|
| JP2005039360A (en) * | 2003-07-16 | 2005-02-10 | Ics:Kk | Device and method for multiple communication tests equipped with plurality of virtualized input and output communication port couples |
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