JP2001229687A - Voltage regulator circuit and semiconductor memory - Google Patents

Voltage regulator circuit and semiconductor memory

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JP2001229687A JP2001009503A JP2001009503A JP2001229687A JP 2001229687 A JP2001229687 A JP 2001229687A JP 2001009503 A JP2001009503 A JP 2001009503A JP 2001009503 A JP2001009503 A JP 2001009503A JP 2001229687 A JP2001229687 A JP 2001229687A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a voltage regulator circuit which can generate voltage clamped accurately at a required level and can prevent DC current consumption, and to provide a semiconductor memory using it for a word line voltage generating circuit. SOLUTION: A voltage regulator circuit is constituted of regulators of two stages being connected in series for adjusting high voltage and generating regulated output voltage. The regulator of the preceding stage adjusts the high voltage to a sufficiently constant voltage, the regulator of the post stage is provided with a depletion type transistor, and adjusts the high voltage to a voltage of a required level by utilizing the voltage adjusted by the regulator of the preceding stage.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は電圧レギュレータ回
路に関し、さらにはその回路をワードライン電圧発生回
路に用いた半導体メモリ装置、詳細には、電気的に消去
及びプログラム可能な不揮発性メモリ装置に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a voltage regulator circuit, and more particularly to a semiconductor memory device using the circuit in a word line voltage generation circuit, and more particularly to a nonvolatile memory device which can be electrically erased and programmed. It is.

【0002】[0002]

【従来の技術】周知のように、不揮発性メモリ装置とし
てのフラッシュメモリ装置は、メモリセルのアレイを含
み、各メモリセルは浮遊ゲート(floating gate)と呼
ばれ、チャンネル領域上に位置したゲート電極を備えた
MOSトランジスタで構成される。浮遊ゲート電極は同一
のセルの全ての他の電極及びメモリセルが連結される回
路に対して高DCインピーダンス(high DC impedanc
e)を有する。この上に、メモリセルは制御ゲート電極
と呼ばれる第2電極を含み、第2電極は特定制御電圧に
よって作動される。メモリセルトランジスタの他の電極
はソース、ドレイン及びバルク端子として知られてい
る。
2. Description of the Related Art As is well known, a flash memory device as a non-volatile memory device includes an array of memory cells, each of which is called a floating gate and a gate electrode located on a channel region. With
It is composed of MOS transistors. The floating gate electrode has a high DC impedance with respect to a circuit to which all other electrodes of the same cell and the memory cell are connected.
e). On this, the memory cell includes a second electrode called a control gate electrode, the second electrode being activated by a specific control voltage. The other electrodes of the memory cell transistor are known as source, drain and bulk terminals.

【0003】セル端子に特定電圧値を印加することによ
って、浮遊ゲート上に存在する電荷量はFowler-Nordhei
m's TunnelingまたはChannel Hot Electron Injection
のような現象によって変化する。その結果、メモリセル
トランジスタは2ロジック状態、即ち“高”しきい値電
圧(6V〜7Vのしきい値電圧)の第1ロジック状態
(“オフ状態”と呼ばれる)と、“低”しきい値電圧
(1V〜3Vのしきい値電圧)の第2ロジック状態
(“オン状態”と呼ばれる)のうち、いずれか一つを有
する。
[0003] By applying a specific voltage value to the cell terminal, the amount of charge existing on the floating gate is reduced by the Fowler-Nordheid.
m's Tunneling or Channel Hot Electron Injection
It changes by such a phenomenon. As a result, the memory cell transistor has two logic states, a first logic state (referred to as an "off state") with a "high" threshold voltage (threshold voltage of 6-7V) and a "low" threshold. It has any one of a second logic state (called “ON state”) of a voltage (threshold voltage of 1 V to 3 V).

【0004】浮遊ゲートがメモリセルの他の端子に対し
て高インピーダンスを有するので、貯蔵電荷は電源遮断
の時にも浮遊ゲート内に残っている。だから、メモリセ
ルは不揮発性メモリの特性を有する。
[0004] Because the floating gate has a high impedance to the other terminals of the memory cell, the stored charge remains in the floating gate even when the power is turned off. Therefore, the memory cell has characteristics of a nonvolatile memory.

【0005】メモリセルがオフ状態及びオン状態のうち
いずれか一つを有するかは、読み出し動作によって判別
される。各セルの読み出し動作は制御ゲートに特定電圧
(例えば4.5V)、ビットラインに連結されたドレイ
ンに適当なレベルの電圧(例えば1V)そして、ソース
に接地電圧を印加することによって遂行される。もし、
メモリセルがオフ状態であると、ドレインからソースへ
電流が流れない。これによってビットライン上の電圧は
増加し、その結果、メモリセルは当業者に周知のような
感知増幅器(図示しない)によってオフ状態に判別され
る。もし、メモリセルがオン状態であると、ドレインか
らソースへ電流が流れる。これによってビットライン上
の電圧は減少し、その結果、メモリセルは感知増幅器に
よってオン状態に判別される。
Whether a memory cell has one of an off state and an on state is determined by a read operation. The read operation of each cell is performed by applying a specific voltage (for example, 4.5 V) to the control gate, a voltage of an appropriate level (for example, 1 V) to the drain connected to the bit line, and a ground voltage to the source. if,
When the memory cell is off, no current flows from the drain to the source. This increases the voltage on the bit line, so that the memory cell is turned off by a sense amplifier (not shown) as is well known to those skilled in the art. If the memory cell is on, a current flows from the drain to the source. This reduces the voltage on the bit line, so that the memory cells are turned on by the sense amplifier.

【0006】図1は、一般的な電圧レギュレータを備え
たNOR型フラッシュメモリ装置の概略的な構成を示す構
成図である。図1のメモリ装置は行(ワードラインWL0
〜WLi)と列(ビットラインBL0〜BLj)のマトリックス
に配列されたメモリセルのアレイ10を含む。ワードラ
イン電圧発生回路30から供給される電圧VPPiはワード
ライン電圧(又は読み出し電圧)としてデコーダ20を
通じてワードラインWLiに供給される。ワードライン電
圧発生回路30は、制御信号としてのブーストイネーブ
ル信号ENに応じて電源電圧より高い高電圧VPPを発生さ
せる高電圧発生器32(例えば当業者に周知のようなブ
ースト回路)と、高電圧VPPを要求されるレベルの電圧
VPPiに調整する電圧レギュレータ34で構成される。
高電圧VPPはブーストイネーブル信号ENが非活性化状態
である時、電源電圧に維持される。図2は図1の電圧レ
ギュレータ34を示す回路図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a schematic configuration of a NOR flash memory device having a general voltage regulator. The memory device of FIG.
WWLi) and an array 10 of memory cells arranged in a matrix of columns (bit lines BL0〜BLj). The voltage VPPi supplied from the word line voltage generation circuit 30 is supplied to the word line WLi through the decoder 20 as a word line voltage (or read voltage). The word line voltage generation circuit 30 includes a high voltage generator 32 (for example, a boost circuit as is well known to those skilled in the art) that generates a high voltage VPP higher than the power supply voltage in response to a boost enable signal EN as a control signal. The voltage regulator 34 adjusts VPP to a required level of voltage VPi.
The high voltage VPP is maintained at the power supply voltage when the boost enable signal EN is in an inactive state. FIG. 2 is a circuit diagram showing the voltage regulator 34 of FIG.

【0007】図2に示されたように、一般的な電圧レギ
ュレータ34は、コンパレータCOMP、ドライバとして使
用されるPMOSトランジスタMP1、そしてデバイダとして
使用される抵抗R1、R2で構成され、図示されたように連
結されている。コンパレータCOMPはデバイダの出力電圧
Vdivが基準電圧Vrefより低いかを判別し、PMOSトランジ
スタMP1はコンパレータCOMPの判別結果に従って動作す
る。例えば、電圧レギュレータ34によって調整された
電圧VPPiが要求されるレベルより低い(Vref>Vdiv)
と、電圧VPPiが要求されるレベルより高くなるようにPM
OSトランジスタMP1を通じて電流が供給される。これに
対して、電圧VPPiが要求されるレベルより高い(Vref
<Vdiv)と、電圧VPPiが要求されるレベルより低くなる
ようにPMOSトランジスタMP1による電流供給が遮断され
る。
As shown in FIG. 2, a general voltage regulator 34 includes a comparator COMP, a PMOS transistor MP1 used as a driver, and resistors R1 and R2 used as dividers. It is connected to. Comparator COMP is the divider output voltage
It is determined whether Vdiv is lower than the reference voltage Vref, and the PMOS transistor MP1 operates according to the determination result of the comparator COMP. For example, the voltage VPPi adjusted by the voltage regulator 34 is lower than a required level (Vref> Vdiv).
And PM so that the voltage VPPi is higher than the required level.
Current is supplied through the OS transistor MP1. On the other hand, the voltage VPPi is higher than the required level (Vref
<Vdiv), the current supply by the PMOS transistor MP1 is cut off such that the voltage VPPi becomes lower than the required level.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】前述のように、高電圧
発生器32の出力電圧VPPは、ブーストイネーブル信号
ENが非活性化状態の時、電源電圧Vccに維持される。
これに対して、ブーストイネーブル信号ENが活性化状
態の時(t1、図3参照)、高電圧発生器32は短時間
(例えばナノ秒)内に、電源電圧Vccから速く昇圧され
る高電圧VPPを発生させる。そのようにして生成された
高電圧VPPは電圧レギュレータ34を通じて要求される
レベルの電圧VPPi、即ちワードライン電圧VWLに調整さ
れる。しかし、図2に示されたように、フィードバック
スキームを備えた一般的な電圧レギュレータ34は次の
ような問題がある。
As described above, the output voltage VPP of the high voltage generator 32 is maintained at the power supply voltage Vcc when the boost enable signal EN is in an inactive state.
On the other hand, when the boost enable signal EN is in an activated state (t1, see FIG. 3), the high voltage generator 32 operates in a short time (for example, nanoseconds) to quickly raise the high voltage VPP from the power supply voltage Vcc. Generate. Such a high voltage VPP generated by the level of the voltage VPPi required through voltage regulator 34, i.e., it is adjusted to the word line voltage V WL. However, as shown in FIG. 2, a general voltage regulator 34 having a feedback scheme has the following problems.

【0009】電圧レギュレータ34によって調整された
電圧VPPiが常に感知されるので、高電圧VPPと接地電
圧の間にDC電流通路が生じ、DC電流が消耗される。
一般的に、デバイダを構成する抵抗R1、R2が大きな値を
有するように設計されることによって、高電圧VPPと接
地電圧の間に生じるDC電流を少なくし得る。しかし、
抵抗値を大に設定することによって、電圧レギュレータ
34の応答速度が低下する。応答速度低下の主な原因
は、大作動能力を備えたPMOSトランジスタの容量成分と
デバイダの抵抗成分によるRC遅延である。これによっ
て、図3に示されたように、電圧レギュレータ34によ
って調整された電圧VPPiは要求されるレベルで正確に
クランプされない。即ち、電圧VPPiは、図3に示された
ように、時間t2、t3の間で、要求されるレベル以上にオ
ーバシュートされ(オーバシュートされる電圧レベルは
RC遅延時間によって決定される)、オーバシュートされ
た電圧VPPiはワードライン電圧VWLとしてデコーダを通
じてワードラインWLに印加される。結果的に、ワード
ライン電圧VWLが要求されるレベルより高くなるので、
読み出し失敗(特に、オフ状態のメモリセルに対する読
み出し失敗)が発生する。なぜならば、ワードライン電
圧VWLがオフ状態のしきい値電圧分布内に存在するため
であったり、オフ状態のメモリセルに対する感知マージ
ンが減少するためである。だから、オーバシュート(図
3で点線Aで表示される部分)なしに、要求されるレベ
ルで電圧VPPiを正確にクランプさせることが望まし
い。
Since the voltage VPPi adjusted by the voltage regulator 34 is always sensed, a DC current path is created between the high voltage VPP and the ground voltage, and the DC current is consumed.
Generally, the DC current generated between the high voltage VPP and the ground voltage can be reduced by designing the resistors R1 and R2 constituting the divider to have a large value. But,
By setting the resistance to a large value, the response speed of the voltage regulator 34 decreases. The main cause of the decrease in response speed is RC delay due to the capacitance component of the PMOS transistor having a large operation capability and the resistance component of the divider. As a result, as shown in FIG. 3, the voltage VPPi adjusted by the voltage regulator 34 is not accurately clamped at the required level. That is, as shown in FIG. 3, the voltage VPPi overshoots to a required level or more between times t2 and t3 (the voltage level overshoot is
Is determined by the RC delay time), overshoot voltage VPPi is applied to the word line WL through the decoder as a word line voltage V WL. As a result, the word line voltage V WL becomes higher than the required level,
Reading failure (especially, reading failure for the memory cell in the off state) occurs. This is because the word line voltage VWL exists in the off-state threshold voltage distribution, or the sensing margin for the off-state memory cell is reduced. Therefore, it is desirable to accurately clamp the voltage VPPi at a required level without overshoot (the portion indicated by the dotted line A in FIG. 3).

【0010】本発明は上記の点に鑑みなされたもので、
その目的は、要求されるレベルで正確にクランプされる
電圧を発生し、かつDC電流消耗を防止し得る電圧レギ
ュレータ回路を提供することにある。
[0010] The present invention has been made in view of the above points,
It is an object of the present invention to provide a voltage regulator circuit capable of generating a voltage that is accurately clamped at a required level and preventing DC current consumption.

【0011】さらに、本発明は、上記電圧レギュレータ
回路をワードライン電圧発生回路に用いた半導体メモリ
装置を提供することを目的とする。
Still another object of the present invention is to provide a semiconductor memory device using the above-mentioned voltage regulator circuit in a word line voltage generation circuit.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の特徴によると、
不揮発性半導体メモリ装置、特にフラッシュメモリ装置
は電源電圧より高いワードライン電圧を発生させる回路
を含む。ワードライン電圧発生回路は電源電圧より高い
高電圧を発生させる高電圧発生器に連結され、調整され
た出力電圧を出力するための出力端子を備えた電圧レギ
ュレータ回路を含む。電圧レギュレータ回路は、高電圧
を調整して、調整された出力電圧より低い定電圧を出力
する第1レギュレータと、前記定電圧に従って高電圧を
調整して、調整された出力電圧を出力する第2レギュレ
ータとで構成される。第2レギュレータは高電圧に連結
されたドレイン、出力端子に連結されたソース及び定電
圧を受け入れるように連結されたゲートを備えた空乏型
NMOSトランジスタで構成される。
According to a feature of the present invention,
Non-volatile semiconductor memory devices, particularly flash memory devices, include a circuit for generating a word line voltage higher than a power supply voltage. The word line voltage generation circuit includes a voltage regulator circuit coupled to a high voltage generator for generating a high voltage higher than a power supply voltage and having an output terminal for outputting a regulated output voltage. The voltage regulator circuit adjusts the high voltage and outputs a constant voltage lower than the adjusted output voltage, and the second regulator adjusts the high voltage according to the constant voltage and outputs the adjusted output voltage. Consists of a regulator. The second regulator is a depletion type having a drain connected to a high voltage, a source connected to an output terminal, and a gate connected to receive a constant voltage.
It is composed of NMOS transistors.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の望ましい実施形態
を添付した図面を参照して詳細に説明する。
Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0014】本発明の半導体メモリ装置によると、ワー
ドライン電圧発生回路に使用される電圧レギュレータ回
路が提供される。電圧レギュレータ回路は高電圧を調整
して、調整された出力電圧を発生させる直列連結された
2段のレギュレータで構成される。前段のレギュレータ
は高電圧を十分に一定の電圧に調整し、十分に一定の電
圧は要求されるレベルの調整された出力電圧より低い。
後段のレギュレータは前段のレギュレータによって調整
された電圧を利用して、高電圧を、要求されるレベルの
電圧に調整する。さらに、後段のレギュレータはマイナ
スのしきい値電圧を有する空乏型トランジスタで構成さ
れる。このような構造によると、本発明の電圧レギュレ
ータ回路の出力電圧は、要求されるレベル以上へのオー
バシュートなしに空乏型トランジスタのしきい値電圧の
絶対値と前段のレギュレータによって調整された電圧値
とを足した電圧レベルで正確にクランプされる。
According to the semiconductor memory device of the present invention, there is provided a voltage regulator circuit used in a word line voltage generation circuit. The voltage regulator circuit is composed of a series-connected two-stage regulator that regulates a high voltage to generate a regulated output voltage. The previous regulator regulates the high voltage to a sufficiently constant voltage, which is lower than the required level of the regulated output voltage.
The subsequent-stage regulator adjusts the high voltage to a required level of voltage by using the voltage adjusted by the preceding-stage regulator. Further, the latter-stage regulator is constituted by a depletion-type transistor having a negative threshold voltage. According to such a structure, the output voltage of the voltage regulator circuit of the present invention can be adjusted to the absolute value of the threshold voltage of the depletion-type transistor and the voltage value adjusted by the regulator in the preceding stage without overshoot to a required level or more. Is clamped exactly at the voltage level plus

【0015】図4は、本発明の電圧レギュレータ回路を
備えた不揮発性メモリ装置としてのフラッシュメモリ装
置の概略的な構成を示す構成図である。図4のメモリ装
置は行(ワードラインWL0〜WLi)と列(ビットラインBL
0〜BLj)のマトリックスに配列されたメモリセルのアレ
イ100を含む。ワードライン電圧発生回路130から
供給される電圧VPPiはワードライン電圧(又は読み出し
電圧)としてデコーダ120を通じてワードラインWLi
に供給される。ワードライン電圧発生回路130は、ブ
ーストイネーブル信号ENに応じて電源電圧より高い高電
圧VPPを発生させる高電圧発生器132(例えばブース
ト回路)と、高電圧VPPを要求されるレベルの電圧VPPi
に調整する電圧レギュレータ回路134で構成される。
高電圧VPPはブーストイネーブル信号ENの非活性化状態
の時、電源電圧に維持される。
FIG. 4 is a configuration diagram showing a schematic configuration of a flash memory device as a nonvolatile memory device provided with the voltage regulator circuit of the present invention. The memory device of FIG. 4 has rows (word lines WL0-WLi) and columns (bit lines BL).
0 to BLj), including an array 100 of memory cells arranged in a matrix. The voltage VPPi supplied from the word line voltage generation circuit 130 is supplied to the word line WLi through the decoder 120 as a word line voltage (or read voltage).
Supplied to The word line voltage generation circuit 130 includes a high voltage generator 132 (for example, a boost circuit) for generating a high voltage VPP higher than the power supply voltage in response to the boost enable signal EN, and a voltage VPPI of a level required for the high voltage VPP.
And a voltage regulator circuit 134 for adjusting the voltage.
The high voltage VPP is maintained at the power supply voltage when the boost enable signal EN is in an inactive state.

【0016】電圧レギュレータ回路134は直列連結さ
れた2段レギュレータ構造を備える。即ち、本発明の電
圧レギュレータ回路134は直列連結された第1レギュ
レータ136と第2レギュレータ138で構成される。
第1レギュレータ136は高電圧発生器132の出力電
圧VPPを要求されるレベルのワードライン電圧VWLより
低い定電圧V1に調整し、第2レギュレータ138は定
電圧V1を利用して高電圧VPPを要求されるレベルの電
圧VPPiに調整する。図4の電圧レギュレータ回路13
4の実施形態が図5に示されている。
The voltage regulator circuit 134 has a two-stage regulator structure connected in series. That is, the voltage regulator circuit 134 of the present invention includes the first regulator 136 and the second regulator 138 connected in series.
The first regulator 136 regulates the output voltage VPP of the high voltage generator 132 to a constant voltage V1 lower than the required level of the word line voltage VWL , and the second regulator 138 utilizes the constant voltage V1 to regulate the high voltage VPP. Adjust to the required level of voltage VPPi. Voltage regulator circuit 13 of FIG.
Four embodiments are shown in FIG.

【0017】図5を参照すると、電圧レギュレータ回路
134は、第1レギュレータ136を構成する空乏型NM
OSトランジスタDMN1、ロードL1及びNMOSトランジスタ
MN1と、第2レギュレータ138を構成する空乏型NMOS
トランジスタDMN2とを含む。ゲートが基準電圧Vrefに
連結された空乏型NMOSトランジスタDMN1は、高電圧発生
器132の出力電圧、即ち高電圧VPPに連結されたドレ
イン(又は第1電流電極と呼ばれる)を有する。空乏型
NMOSトランジスタDMN1のソース(第2電流電極と呼ばれ
る)は、ロードL1及びNMOSトランジスタMN1を通じて
接地される。空乏型NMOSトランジスタDMN2のゲート電
極(又は制御ゲート電極と呼ばれる)は、空乏型NMOSト
ランジスタDMN1のソース(又は接地電圧の反対側に位置
したロードL1の一端子)に連結される。そして、空乏
型NMOSトランジスタDMN2のドレインは高電圧VPPに連
結され、空乏型NMOSトランジスタDMN2のソースは電圧V
PPiの出力端子139に連結される。第1レギュレータ
136のNMOSトランジスタMN1はブーストイネーブル信
号ENに従ってターンオン/オフされる。即ち、NMOSトラ
ンジスタMN1は高電圧発生器132が動作する時、ター
ンオンし、高電圧発生器132が動作しない時、ターン
オフされる。だから、高電圧発生器132が動作しない
とき、高電圧VPPと接地電圧間のDC電流経路はNMOSト
ランジスタMN1によって遮断される。
Referring to FIG. 5, a voltage regulator circuit 134 includes a depletion type NM constituting a first regulator 136.
OS transistor DMN1, load L1 and NMOS transistor
MN1 and a depletion type NMOS constituting the second regulator 138
And a transistor DMN2. The depletion type NMOS transistor DMN1 having a gate connected to the reference voltage Vref has a drain (or a first current electrode) connected to the output voltage of the high voltage generator 132, that is, the high voltage VPP. Depletion type
The source (referred to as a second current electrode) of the NMOS transistor DMN1 is grounded through the load L1 and the NMOS transistor MN1. The gate electrode (or control gate electrode) of the depletion type NMOS transistor DMN2 is connected to the source of the depletion type NMOS transistor DMN1 (or one terminal of the load L1 located on the opposite side of the ground voltage). The drain of the depletion type NMOS transistor DMN2 is connected to the high voltage VPP, and the source of the depletion type NMOS transistor DMN2 is the voltage VPP.
It is connected to the output terminal 139 of PPi. The NMOS transistor MN1 of the first regulator 136 is turned on / off according to the boost enable signal EN. That is, the NMOS transistor MN1 is turned on when the high voltage generator 132 operates, and turned off when the high voltage generator 132 does not operate. Therefore, when the high voltage generator 132 does not operate, the DC current path between the high voltage VPP and the ground voltage is cut off by the NMOS transistor MN1.

【0018】図5に示されたように、第1レギュレータ
136のロードL1はトランジスタDMN1、MN1の間に
直列連結された複数のNMOSトランジスタで構成され得
る。しかし、ロードL1が抵抗として動作する他の集積
回路素子を利用して構成され得ることは勿論である。
As shown in FIG. 5, the load L1 of the first regulator 136 may include a plurality of NMOS transistors connected in series between the transistors DMN1 and MN1. However, it goes without saying that the load L1 can be configured using another integrated circuit element that operates as a resistor.

【0019】当業者に周知のように、空乏型NMOSトラン
ジスタDMN1、DMN2の各々はマイナスのしきい値電圧−V
thd(−Vthdは空乏型NMOSトランジスタのしきい値電圧
を示す)を有し、ドレイン―ソース電圧VdsがVg−(−Vt
hd)と同一であったり、これより大きくなったりすると
き(Vds≧Vg−(−Vthd))、飽和領域で動作する。即
ち、空乏型NMOSトランジスタDMN1、DMN2はこのような
条件(Vds≧Vg−(−Vthd))でシャットオフされる。こ
のようなトランジスタの特性によると、電圧レギュレー
タ回路134によって調整される電圧VPPiはV1−(−Vt
hd2)(−Vthd2は第2レギュレータ138を構成する
空乏型NMOSトランジスタDMN2のしきい値電圧を示す)
に正確に調整され(又はクランプされ)、これに関する
動作は図6を参照して以下詳細に説明する。
As is well known to those skilled in the art, each of the depletion type NMOS transistors DMN1 and DMN2 has a negative threshold voltage −V
thd (−Vthd indicates a threshold voltage of a depletion type NMOS transistor), and the drain-source voltage Vds is Vg − (− Vt
hd), or when it is larger than this (Vds ≧ Vg − (− Vthd)), it operates in the saturation region. That is, the depletion type NMOS transistors DMN1 and DMN2 are shut off under such a condition (Vds ≧ Vg − (− Vthd)). According to such transistor characteristics, the voltage VPPi adjusted by the voltage regulator circuit 134 is V1-(-Vt
hd2) (-Vthd2 indicates the threshold voltage of the depletion type NMOS transistor DMN2 forming the second regulator 138)
The operation in this regard is described in detail below with reference to FIG.

【0020】図6に示されたように、高電圧発生器13
2が動作しない時(ブーストイネーブル信号ENが非活
性化状態のロジックローレベルに維持される時)即ち、
区間t0〜t1のとき、高電圧発生器132の出力電圧VPP
は電源電圧Vccに維持される。ブーストイネーブル信号E
Nが活性化状態のロジックハイレベルになる時t1、高電
圧発生器132の出力電圧VPPは短時間内に(例えばナ
ノ秒内に)電源電圧Vccから次第にそして速く高くな
る。すると、高電圧VPPが高くなることによって、空乏
型NMOSトランジスタDMN2のゲート電圧(又はトランジ
スタDMN1のソース電圧)もやはり高くなる。
As shown in FIG. 6, the high voltage generator 13
2 does not operate (when the boost enable signal EN is maintained at a logic low level in an inactive state),
During the interval t0 to t1, the output voltage VPP of the high voltage generator 132
Are maintained at the power supply voltage Vcc. Boost enable signal E
At time t1, when N goes to an active logic high level, the output voltage VPP of the high voltage generator 132 gradually and quickly rises from the power supply voltage Vcc within a short time (eg, within nanoseconds). Then, as the high voltage VPP increases, the gate voltage of the depletion type NMOS transistor DMN2 (or the source voltage of the transistor DMN1) also increases.

【0021】以降、空乏型NMOSトランジスタDMN1のド
レイン―ソース電圧VdsがVref−(−Vthd1)(−Vthd1は
空乏型NMOSトランジスタDMN1のしきい値電圧を示す)
に到達する時t2'、空乏型NMOSトランジスタDMN1はシャ
ットオフされる。だから、空乏型NMOSトランジスタDMN
2のゲート電圧V1はVref+Vthd1になる。即ち、空乏型N
MOSトランジスタDMN1は高電圧VPPをVref+Vthd1に調整
する(又はクランプする)。ここで、電圧Vref+Vthd1
は電源電圧Vccより高く、要求されるレベルのワードラ
イン電圧VWLより低い。
Thereafter, the drain-source voltage Vds of the depletion type NMOS transistor DMN1 is Vref-(-Vthd1) (-Vthd1 indicates the threshold voltage of the depletion type NMOS transistor DMN1).
, The depletion type NMOS transistor DMN1 is shut off. Therefore, depletion type NMOS transistor DMN
2, the gate voltage V1 becomes Vref + Vthd1. That is, depletion type N
The MOS transistor DMN1 adjusts (or clamps) the high voltage VPP to Vref + Vthd1. Here, the voltage Vref + Vthd1
Is higher than the power supply voltage Vcc and lower than the required level of the word line voltage VWL .

【0022】第1レギュレータ136のロードL1及び
NMOSトランジスタMN1は、空乏型NMOSトランジスタDMN
1のソースがフローティングされることを防止するため
に使用される。もし、ロードL1及びNMOSトランジスタMN
1が設けられないと、空乏型NMOSトランジスタDMN2の
ゲート電圧は、空乏型NMOSトランジスタDMN1のソース
電圧がVref+Vthd1になる時(又は空乏型NMOSトランジ
スタDMN1がシャットオフされる時)、ブースティング
される。これは電圧VPPiを要求されるレベルより高く設
定させる。
The load L1 of the first regulator 136 and
The NMOS transistor MN1 is a depletion type NMOS transistor DMN
It is used to prevent one source from floating. If load L1 and NMOS transistor MN
If 1 is not provided, the gate voltage of the depletion type NMOS transistor DMN2 is boosted when the source voltage of the depletion type NMOS transistor DMN1 becomes Vref + Vthd1 (or when the depletion type NMOS transistor DMN1 is shut off). This causes voltage VPPi to be set higher than required.

【0023】その次に、高電圧発生器132の出力電圧
VPPが要求されるレベルのワードライン電圧VWLに到達す
る時t2、空乏型NMOSトランジスタDMN2はシャットオフ
され、その結果、電圧VPPiは要求されるレベルのワード
ライン電圧VWLで正確にクランプされる。より詳細に説
明すると、次のようである。高電圧VPPが電圧V1以上に
高くなることによって、空乏型NMOSトランジスタDMN2
のソース電圧もやはり高くなる。この時、空乏型NMOSト
ランジスタDMN1はシャットオフされ、空乏型NMOSトラ
ンジスタDMN1のソース電圧V1はVref+Vthd1に固定され
ている。以降、空乏型NMOSトランジスタDMN2のドレイ
ン―ソース電圧VdsがV1−(−Vthd2)(−Vthd2は空乏
型NMOSトランジスタDMN2のしきい値電圧を示す)に到
達する時t2、空乏型NMOSトランジスタDMN2はシャット
オフされる。だから、電圧レギュレータ回路134によ
って調整された電圧VPPiは、空乏型NMOSトランジスタDM
N2によって電圧Vref+Vthd2に調整される(クランプさ
れる)。電圧VPPiは、基準電圧Vref及びしきい値電圧−
Vthd1、−Vthd2を調整することによって変化させ得る
ことは当業者には周知のことである。
Next, the output voltage of the high voltage generator 132
T2 when VPP reaches the word line voltage V WL of the required level, the depletion-type NMOS transistor DMN2 is shut off, as a result, the voltage VPPi is accurately clamped at the required level of the word line voltage V WL . This will be described in more detail below. When the high voltage VPP becomes higher than the voltage V1, the depletion type NMOS transistor DMN2
Is also high. At this time, the depletion type NMOS transistor DMN1 is shut off, and the source voltage V1 of the depletion type NMOS transistor DMN1 is fixed at Vref + Vthd1. Thereafter, when the drain-source voltage Vds of the depletion-type NMOS transistor DMN2 reaches V1-(-Vthd2) (-Vthd2 indicates the threshold voltage of the depletion-type NMOS transistor DMN2), at t2, the depletion-type NMOS transistor DMN2 shuts down. Turned off. Therefore, the voltage VPPi adjusted by the voltage regulator circuit 134 is equal to the depletion type NMOS transistor DM
It is adjusted (clamped) to the voltage Vref + Vthd2 by N2. The voltage VPPi is equal to the reference voltage Vref and the threshold voltage −
It is well known to those skilled in the art that it can be changed by adjusting Vthd1 and -Vthd2.

【0024】以上のように、2段レギュレータを備えた
本発明の電圧レギュレータ回路134によると、高電圧
VPPが要求されるレベルのワードライン電圧VWLに到達す
る時、第2レギュレータ138の空乏型NMOSトランジス
タDMN2はシャットオフされる。これに従って、電圧レ
ギュレータ回路134によって調整された電圧VPPiは、
時間t2で要求されるレベル以上へのオーバシュートなし
に、正確にクランプされる。だから、電圧VPPiのオーバ
シュートによる問題点(ワードライン電圧の上昇による
感知マージンの減少及び読み出し失敗)を防止し得る。
さらに、本発明の電圧レギュレータ回路134によれ
ば、図2に示された電圧レギュレータ回路で生じた高電
圧VPPと接地電圧の間のDC電流経路が遮断され、DC
電流消耗を防止し得る。
As described above, according to the voltage regulator circuit 134 of the present invention including the two-stage regulator,
When VPP reaches the word line voltage V WL of the required level, the depletion-type NMOS transistor DMN2 the second regulator 138 is shut off. Accordingly, the voltage VPPi adjusted by the voltage regulator circuit 134 is
It is clamped accurately without overshoot above the level required at time t2. Therefore, problems caused by overshoot of the voltage VPPi (reduction in sensing margin and read failure due to an increase in word line voltage) can be prevented.
Further, according to the voltage regulator circuit 134 of the present invention, the DC current path between the high voltage VPP and the ground voltage generated in the voltage regulator circuit shown in FIG.
Current consumption can be prevented.

【0025】図4に示された第1レギュレータ136の
他の実施形態が図7(A)及び図7(B)に示されてい
る。図7(A)を参照すると、第1レギュレータ136
は、高電圧VPPに連結された第1電流電極、共通接続さ
れた第2電流電極及び制御電極を備えた第1PMOSトラン
ジスタMP2と、前記高電圧VPPに連結された第1電流
電極、前記第1PMOSトランジスタMP2の制御電極に連
結された制御電極及び第2電流電極を備えた第2PMOSト
ランジスタMP3と、前記第1PMOSトランジスタMP2
の第2電流電極に連結された第1電流電極、第1NMOS
トランジスタMN3を通じて接地された第2電流電極及
び基準電圧Vrefを受け入れるように連結された制御電極
を備えた第2NMOSトランジスタMN2と、前記第2PMOS
トランジスタMP3の第2電流電極に一端が接続され、
前記第1NMOSトランジスタMN3を通じて接地電圧に他
端が連結された抵抗R3とを含み、前記第1NMOSトラン
ジスタMN3は制御信号(ブーストイネーブル信号E
N)に従ってスイッチされ、十分に一定の電圧V1は前
記第2PMOSトランジスタMP3の第2電流電極から出力
される。
Another embodiment of the first regulator 136 shown in FIG. 4 is shown in FIGS. 7A and 7B. Referring to FIG. 7A, the first regulator 136
A first PMOS transistor MP2 having a first current electrode connected to the high voltage VPP, a commonly connected second current electrode and a control electrode, a first current electrode connected to the high voltage VPP, and the first PMOS transistor MP2; A second PMOS transistor MP3 having a control electrode connected to the control electrode of the transistor MP2 and a second current electrode;
A first current electrode connected to a second current electrode of the first NMOS transistor
A second NMOS transistor MN2 having a second current electrode grounded through a transistor MN3 and a control electrode connected to receive a reference voltage Vref;
One end is connected to a second current electrode of the transistor MP3,
And a resistor R3 having the other end connected to the ground voltage through the first NMOS transistor MN3. The first NMOS transistor MN3 controls a control signal (boost enable signal E).
N) and a sufficiently constant voltage V1 is output from the second current electrode of the second PMOS transistor MP3.

【0026】このような第1レギュレータ136はブー
ストイネーブル信号ENがロジックハイレベルの時、高電
圧VPPを電圧V1にクランプする。電圧V1は電源電圧Vccよ
り高く、要求されるレベルのワードライン電圧VWLより
低い。図5と同様に、第2レギュレータ138は空乏型
NMOSトランジスタDMN2で構成されるので、電圧VPPiは
オーバシュートなしに電圧V1+Vthd2に正確にクランプ
される。これに関する動作は図5と同一であるので、説
明は省略する。
When the boost enable signal EN is at a logic high level, the first regulator 136 clamps the high voltage VPP to the voltage V1. The voltage V1 is higher than the power supply voltage Vcc and lower than the required level of the word line voltage VWL . As in FIG. 5, the second regulator 138 is a depletion type.
Since the NMOS transistor DMN2 is used, the voltage VPPi is accurately clamped to the voltage V1 + Vthd2 without overshoot. The operation related to this is the same as that in FIG.

【0027】図7(B)の第1レギュレータ136は図
7(A)の抵抗R3がダイオード結線のNMOSトランジス
タMN4、すなわち第2PMOSトランジスタMP3の第2電
流電極に共通連結された第1電流電極及び制御電極と、
第1NMOSトランジスタMN3を通じて接地された第2電
流電極とを備えた第3NMOSトランジスタMN4に代替さ
れたことを除くと、図7(A)と同一であるので、説明
は省略する。
The first regulator 136 of FIG. 7B includes a first current electrode in which the resistor R3 of FIG. 7A is commonly connected to a diode-connected NMOS transistor MN4, that is, a second current electrode of a second PMOS transistor MP3. A control electrode;
Except that the third NMOS transistor MN4 having the second current electrode grounded through the first NMOS transistor MN3 is replaced with the third NMOS transistor MN4, the description is omitted because it is the same as FIG.

【0028】本発明による回路の構成及び動作を説明及
び図面に従って説明したが、これらは一例にすぎない。
本発明は、本発明の技術的な思想及び範囲を外れない限
り、多様な変化及び変更ができる。
Although the structure and operation of the circuit according to the present invention have been described with reference to the drawings and the drawings, these are only examples.
Various changes and modifications may be made to the present invention without departing from the technical spirit and scope of the present invention.

【0029】[0029]

【発明の効果】前述のように、本発明によれば、高電圧
発生器の出力電圧が要求されるレベルのワードライン電
圧に到達する時、第2レギュレータの空乏型NMOSトラン
ジスタはシャットオフされる。これに従って、電圧レギ
ュレータ回路によって調整された電圧VPPiはオーバシュ
ートなしに、要求されるレベルで正確にクランプされ
る。だから、電圧VPPi即ち、ワードライン電圧のオーバ
シュートによる問題点(ワードライン電圧の上昇による
感知マージンの減少及び読み出し失敗)を防止し得るだ
けでなく、高電圧発生器の出力電圧と接地電圧間のDC電
流経路を遮断でき、DC電流消耗を防止し得る。
As described above, according to the present invention, when the output voltage of the high voltage generator reaches the required level of the word line voltage, the depletion type NMOS transistor of the second regulator is shut off. . Accordingly, the voltage VPPi adjusted by the voltage regulator circuit is accurately clamped at the required level without overshoot. Therefore, not only the voltage VPPi, that is, a problem due to the overshoot of the word line voltage (reduction of the sensing margin and read failure due to the rise of the word line voltage) can be prevented, but also the output voltage of the high voltage generator and the ground voltage can be prevented. The DC current path can be cut off, and DC current consumption can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】一般的な電圧レギュレータを備えたフラッシュ
メモリ装置の概略的な構成を示す構成図。
FIG. 1 is a configuration diagram illustrating a schematic configuration of a flash memory device including a general voltage regulator.

【図2】図1に示された電圧レギュレータを示す回路
図。
FIG. 2 is a circuit diagram showing the voltage regulator shown in FIG.

【図3】図2の電圧レギュレータの出力電圧変化を示す
特性図。
FIG. 3 is a characteristic diagram showing a change in output voltage of the voltage regulator of FIG. 2;

【図4】本発明の電圧レギュレータ回路を備えたフラッ
シュメモリ装置を示す構成図。
FIG. 4 is a configuration diagram showing a flash memory device including the voltage regulator circuit of the present invention.

【図5】図4に示された電圧レギュレータ回路の実施形
態を示す回路図。
FIG. 5 is a circuit diagram showing an embodiment of the voltage regulator circuit shown in FIG.

【図6】図5の電圧レギュレータ回路の出力電圧変化を
示す特性図。
FIG. 6 is a characteristic diagram showing a change in output voltage of the voltage regulator circuit of FIG. 5;

【図7】図4に示された電圧レギュレータ回路の他の実
施形態を示す回路図。
FIG. 7 is a circuit diagram showing another embodiment of the voltage regulator circuit shown in FIG. 4;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100 メモリセルアレイ 120 行デコーダ 130 ワードライン電圧発生回路 132 高電圧発生器 134 電圧レギュレータ回路 136 第1レギュレータ 138 第2レギュレータ DMN1,DMN2 空乏型NMOSトランジスタ L1 ロード MN1〜MN4 NMOSトランジスタ MP2,MP3 PMOSトランジスタ R3 抵抗 REFERENCE SIGNS LIST 100 memory cell array 120 row decoder 130 word line voltage generating circuit 132 high voltage generator 134 voltage regulator circuit 136 first regulator 138 second regulator DMN1, DMN2 depletion type NMOS transistor L1 load MN1-MN4 NMOS transistor MP2, MP3 PMOS transistor R3 resistor

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 高電圧VPPを発生させる高電圧発生器に
連結され、調整された出力電圧VPPiを出力する出力端子
を備えた電圧レギュレータ回路において、 前記高電圧VPPを受け入れて十分に一定の電圧V1を発生
させる第1手段と、 前記高電圧VPPと前記出力端子の間に連結されたドライ
バを有する第2手段とを含み、 前記第2手段は前記高電圧VPPをクランプして、前記調
整された出力電圧VPPiを出力し、前記調整された出力電
圧VPPiは前記十分に一定の電圧V1と前記ドライバのしき
い値電圧Vthとを足した電圧 V1+Vthであることを特徴
とする電圧レギュレータ回路。
1. A voltage regulator circuit coupled to a high voltage generator for generating a high voltage VPP and having an output terminal for outputting a regulated output voltage VPPi, wherein the voltage regulator circuit receives the high voltage VPP and has a sufficiently constant voltage. V1 includes first means for generating V1, and second means having a driver connected between the high voltage VPP and the output terminal, wherein the second means clamps the high voltage VPP, and A regulated output voltage VPPi, and the adjusted output voltage VPPi is a voltage V1 + Vth obtained by adding the sufficiently constant voltage V1 and a threshold voltage Vth of the driver.
【請求項2】 前記ドライバは第1空乏型MOSトランジ
スタを含み、このトランジスタは前記高電圧VPPに連結
された第1電流電極、前記出力端子に連結された第2電
流電極及び前記十分に一定の電圧V1を受け入れるように
連結された制御電極を含み、この第1空乏型MOSトラン
ジスタは前記調整された出力電圧VPPiが前記電圧V1+Vt
hに到達する時、シャットオフされることを特徴とする
請求項1に記載の電圧レギュレータ回路。
2. The driver includes a first depletion-type MOS transistor, wherein the transistor has a first current electrode connected to the high voltage VPP, a second current electrode connected to the output terminal, and the sufficiently constant MOS transistor. A control electrode coupled to receive the voltage V1, wherein the first depletion-type MOS transistor is adapted to output the regulated output voltage VPPi to the voltage V1 + Vt
The voltage regulator circuit according to claim 1, wherein the voltage regulator circuit is shut off when the voltage reaches h.
【請求項3】 前記第1手段は、 前記高電圧VPPを受け入れるように連結された第1電流
電極、前記第1空乏型MOSトランジスタの制御電極に連
結された第2電流電極及び基準電圧Vrefを受け入れるよ
うに連結された制御電極を備えた第2空乏型MOSトラン
ジスタと、 この第2空乏型MOSトランジスタと接地電圧の間に連結
され、制御信号に従ってスイッチされるスイッチとを含
むことを特徴とする請求項2に記載の電圧レギュレータ
回路。
3. The first means includes a first current electrode connected to receive the high voltage VPP, a second current electrode connected to a control electrode of the first depletion type MOS transistor, and a reference voltage Vref. A second depletion-type MOS transistor having a control electrode coupled to receive the second depletion-type MOS transistor; and a switch coupled between the second depletion-type MOS transistor and a ground voltage and switched according to a control signal. The voltage regulator circuit according to claim 2.
【請求項4】 前記第1手段は、前記第2空乏型MOSト
ランジスタとスイッチとの間に連結されたロードを付加
的に含むことを特徴とする請求項3に記載の電圧レギュ
レータ回路。
4. The voltage regulator circuit according to claim 3, wherein said first means additionally includes a load connected between said second depletion type MOS transistor and a switch.
【請求項5】 前記第1手段は、 前記高電圧VPPに連結された第1電流電極、共通接続さ
れた第2電流電極及び制御電極を備えた第1PMOSトラン
ジスタと、前記高電圧VPPに連結された第1電流電極、
前記第1PMOSトランジスタの制御電極に連結された制御
電極及び第2電流電極を備えた第2PMOSトランジスタ
と、前記第1PMOSトランジスタの第2電流電極に連結さ
れた第1電流電極、第1NMOSトランジスタを通じて接
地された第2電流電極及び基準電圧Vrefを受け入れるよ
うに連結された制御電極を備えた第2NMOSトランジスタ
と、前記第2PMOSトランジスタの第2電流電極に共通連
結された第1電流電極及び制御電極、前記第1NMOSトラ
ンジスタを通じて接地された第2電流電極を備えた第3
NMOSトランジスタとを含み、第1NMOSトランジスタは制
御信号に従ってスイッチされ、前記十分に一定の電圧V
1は前記第2PMOSトランジスタの第2電流電極から出力
されることを特徴とする請求項1に記載の電圧レギュレ
ータ回路。
5. The first means includes: a first PMOS transistor having a first current electrode connected to the high voltage VPP, a commonly connected second current electrode and a control electrode; and a first PMOS transistor connected to the high voltage VPP. A first current electrode,
A second PMOS transistor having a control electrode and a second current electrode connected to a control electrode of the first PMOS transistor; a first current electrode connected to a second current electrode of the first PMOS transistor; and a ground through a first NMOS transistor. A second NMOS transistor having a second current electrode and a control electrode connected to receive the reference voltage Vref; a first current electrode and a control electrode commonly connected to a second current electrode of the second PMOS transistor; A third with a second current electrode grounded through one NMOS transistor
An NMOS transistor, wherein the first NMOS transistor is switched in accordance with a control signal, and wherein said first constant voltage
2. The voltage regulator circuit according to claim 1, wherein 1 is output from a second current electrode of the second PMOS transistor.
【請求項6】 前記第1手段は、前記高電圧VPPに連結
された第1電流電極、共通接続された第2電流電極及び
制御電極を備えた第1PMOSトランジスタと、前記高電圧
VPPに連結された第1電流電極、前記第1PMOSトランジ
スタの制御電極に連結された制御電極及び第2電流電極
を備えた第2PMOSトランジスタと、前記第1PMOSトラン
ジスタの第2電流電極に連結された第1電流電極、第1
NMOSトランジスタを通じて接地された第2電流電極及
び基準電圧Vrefを受け入れるように連結された制御電極
を備えた第2NMOSトランジスタと、前記第2PMOSトラン
ジスタの第2電流電極に一端が接続され、前記第1NMOS
トランジスタを通じて接地電圧に他端が連結された抵抗
とを含み、前記第1NMOSトランジスタは制御信号に従っ
てスイッチされ、前記十分に一定の電圧V1は前記第2
PMOSトランジスタの第2電流電極から出力されることを
特徴とする請求項1に記載の電圧レギュレータ回路。
6. The first means includes a first PMOS transistor having a first current electrode connected to the high voltage VPP, a second current electrode connected to the high voltage VPP, and a control electrode.
A second PMOS transistor having a first current electrode connected to VPP, a control electrode connected to the control electrode of the first PMOS transistor, and a second current electrode; and a second current electrode connected to a second current electrode of the first PMOS transistor. 1 current electrode, 1st
A second NMOS transistor having a second current electrode grounded through an NMOS transistor and a control electrode connected to receive a reference voltage Vref; one end connected to a second current electrode of the second PMOS transistor;
A resistor connected at the other end to a ground voltage through a transistor, the first NMOS transistor is switched according to a control signal, and the sufficiently constant voltage V1 is applied to the second
The voltage regulator circuit according to claim 1, wherein the voltage is output from a second current electrode of a PMOS transistor.
【請求項7】 行と列のマトリックスに配列されたメモ
リセルのアレイと、前記行のうち一つを選択する行デコ
ーダと、 前記選択された行に供給されるワードライン電圧を発生
させるワードライン電圧発生回路とを含み、 前記ワードライン電圧発生回路は、高電圧を発生させる
高電圧発生器からの前記高電圧を受け入れて前記ワード
ライン電圧より低い定電圧を発生させる手段及び前記定
電圧に従って前記高電圧をクランプして前記ワードライ
ン電圧を出力する空乏型MOSトランジスタを含むことを
特徴とする半導体メモリ装置。
7. An array of memory cells arranged in a matrix of rows and columns, a row decoder for selecting one of the rows, and a word line for generating a word line voltage supplied to the selected row. A voltage generating circuit, wherein the word line voltage generating circuit receives the high voltage from a high voltage generator that generates a high voltage and generates a constant voltage lower than the word line voltage, and the word line voltage generating circuit includes: A semiconductor memory device comprising a depletion type MOS transistor which clamps a high voltage and outputs the word line voltage.
【請求項8】 前記高電圧が前記空乏型MOSトランジス
タのしきい値電圧と前記定電圧とを足した電圧値に到達
する時、前記空乏型MOSトランジスタはシャットオフさ
れ、その結果、前記ワードライン電圧が前記しきい値電
圧と前記定電圧とを足した電圧値を有するように前記高
電圧がクランプされることを特徴とする請求項7に記載
の半導体メモリ装置。
8. When the high voltage reaches a voltage value obtained by adding a threshold voltage of the depletion type MOS transistor and the constant voltage, the depletion type MOS transistor is shut off, and as a result, the word line is turned off. The semiconductor memory device according to claim 7, wherein the high voltage is clamped so that a voltage has a voltage value obtained by adding the threshold voltage and the constant voltage.
【請求項9】 電源電圧より高い高電圧を発生させる高
電圧発生器に連結され、調整された出力電圧を出力する
ための出力端子を備えた電圧レギュレータ回路におい
て、 前記高電圧を調整して、前記調整された出力電圧より低
い定電圧を出力する第1レギュレータと、 前記定電圧に従って前記高電圧を調整して、前記調整さ
れた出力電圧を出力する第2レギュレータとを含むこと
を特徴とする電圧レギュレータ回路。
9. A voltage regulator circuit coupled to a high voltage generator for generating a high voltage higher than a power supply voltage and having an output terminal for outputting a regulated output voltage, the voltage regulator circuit comprising: A first regulator that outputs a constant voltage lower than the adjusted output voltage; and a second regulator that adjusts the high voltage according to the constant voltage and outputs the adjusted output voltage. Voltage regulator circuit.
【請求項10】 前記第2レギュレータは空乏型NMOSト
ランジスタを含み、この空乏型NMOSトランジスタは前記
高電圧に連結されたドレイン、前記出力端子に連結され
たソース及び前記定電圧を受け入れるように連結された
ゲートを含むことを特徴とする請求項9に記載の電圧レ
ギュレータ回路。
10. The second regulator includes a depletion type NMOS transistor, the depletion type NMOS transistor being connected to the drain connected to the high voltage, the source connected to the output terminal, and receiving the constant voltage. The voltage regulator circuit according to claim 9, further comprising a gate.
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