JP2001228347A - Optical waveguide type wavelength filter - Google Patents

Optical waveguide type wavelength filter

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JP2001228347A
JP2001228347A JP2000038000A JP2000038000A JP2001228347A JP 2001228347 A JP2001228347 A JP 2001228347A JP 2000038000 A JP2000038000 A JP 2000038000A JP 2000038000 A JP2000038000 A JP 2000038000A JP 2001228347 A JP2001228347 A JP 2001228347A
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Japan
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optical waveguide
wavelength filter
type wavelength
waveguide type
ring resonator
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JP2000038000A
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Japanese (ja)
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Yasuo Kokubu
泰雄 國分
Takashi Kato
隆 加藤
Seitoku Shu
世徳 朱
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Japan Science and Technology Agency
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Japan Science and Technology Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small-sized and new optical waveguide type wavelength filter having an excellent boxy filter characteristic, and a 1×N optical waveguide type wavelength filter successively providing these optical waveguide type wavelength filters and a variable wavelength filter/optical switch constituted of those optical waveguide type wavelength filters. SOLUTION: In the optical waveguide type wavelength filter laminated with a crossing input side optical waveguide 1 and an output side optical waveguide 2 and a ring resonator 3, and for performing ADD/DROP operation of the input side optical waveguide 1 and the output side optical waveguide 2 each other through the ring resonator 3, plural ring resonators 3a, 3b each other are laminated.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この出願の発明は、光導波路
型波長フィルタに関するものである。さらに詳しくは、
この出願の発明は、優れた箱形フィルタ特性を有する、
新しい光導波路型波長フィルタ、およびこの光導波路型
波長フィルタを連接した1×N光導波路型波長フィル
タ、およびそれら光導波路型波長フィルタにより構成さ
れた可変波長フィルタ・光スイッチに関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical waveguide type wavelength filter. For more information,
The invention of this application has excellent box-shaped filter characteristics,
The present invention relates to a new optical waveguide type wavelength filter, a 1 × N optical waveguide type wavelength filter in which the optical waveguide type wavelength filters are connected, and a tunable wavelength filter / optical switch constituted by the optical waveguide type wavelength filters.

【0002】[0002]

【従来の技術とその課題】近年の高度情報化の著しい進
展にともない、光通信のさらなる大容量化、高機能化を
実現すべく、この出願の発明の発明者はすでに、波長ア
クセスネットワーク用のADD/DROP型フィルタな
どとして有用な、リング共振器を用いて入力側光導波路
および出力側光導波路相互のADD/DROP動作を行
う光導波路型波長フィルタを提案している(特願200
0−32480号)。
2. Description of the Related Art With the remarkable progress of advanced information technology in recent years, the inventor of the invention of the present application has already been working on a wavelength access network in order to realize further large capacity and high functionality of optical communication. An optical waveguide type wavelength filter that performs an ADD / DROP operation between an input optical waveguide and an output optical waveguide using a ring resonator, which is useful as an ADD / DROP type filter or the like, has been proposed (Japanese Patent Application No. 200-131).
0-32480).

【0003】図12は、この光導波路型波長フィルタの
一例を示したものである。図12に例示したように、入
力側光導波路(1)および出力側光導波路(2)は交叉
しており、その交点付近においてリング共振器(3)が
積層されている。このリング共振器(3)は、その一部
が入力側光導波路(1)の入力バス(11)と出力側光
導波路(2)のDROPバス(21)とに、ある間隔を
持って重なるように積層されている。またその間隔は、
リング共振器(3)と各光導波路(1)(2)との光結
合が可能な間隔となっている。この場合、入力側光導波
路(1)の入力バス(11)を導光する波長多重光のう
ち、リング共振器(3)と共振する波長光のみが、リン
グ共振器(3)を介して出力側光導波路(2)のDRO
Pバス(21)に分波される。
FIG. 12 shows an example of this optical waveguide type wavelength filter. As illustrated in FIG. 12, the input side optical waveguide (1) and the output side optical waveguide (2) intersect, and a ring resonator (3) is stacked near the intersection. Part of the ring resonator (3) overlaps the input bus (11) of the input optical waveguide (1) and the DROP bus (21) of the output optical waveguide (2) at a certain interval. Are laminated. The interval is
The distance is such that optical coupling between the ring resonator (3) and each of the optical waveguides (1) and (2) is possible. In this case, of the wavelength multiplexed light guided through the input bus (11) of the input side optical waveguide (1), only the wavelength light that resonates with the ring resonator (3) is output via the ring resonator (3). DRO of side optical waveguide (2)
The signal is branched to the P bus (21).

【0004】この光導波路型波長フィルタでは、リング
共振器(3)は半径約10μm前後が可能であり、自由
スペクトル幅(FSR)は約20nm前後が可能であ
り、小型、且つ優れたフィルタ特性となっている。
In this optical waveguide type wavelength filter, the ring resonator (3) can have a radius of about 10 μm, and the free spectral width (FSR) can be about 20 nm. Has become.

【0005】しかしながら、このように優れた光導波路
型波長フィルタも、高性能化をさらに進めるべく、フィ
ルタ特性のさらなる向上が望まれる。より具体的には、
フィルタ特性がローレンツ型であるため、透過帯域の平
坦性が十分得られていなかった。
[0005] However, in such an excellent optical waveguide type wavelength filter, further improvement in filter characteristics is desired in order to further improve the performance. More specifically,
Since the filter characteristic is of the Lorentz type, flatness of the transmission band has not been sufficiently obtained.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】そこで、この出願の発明
は、以上の通りの事情に鑑みてなされたものであり、従
来の光導波路型波長フィルタを改良し、透過帯域の平坦
化により箱形のフィルタ特性を実現した、以下の通りの
新しい光導波路型波長フィルタを提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made in view of the above circumstances, and is an improvement on a conventional optical waveguide type wavelength filter, and a flattened transmission band to form a box. The following new optical waveguide type wavelength filter which realizes the filter characteristics described above is provided.

【0007】すなわち、この出願の発明は、交叉した入
力側光導波路および出力側光導波路とリング共振器とが
積層されており、このリング共振器を介して入力側光導
波路および出力側光導波路相互のADD/DROP動作
を行う光導波路型波長フィルタにおいて、複数のリング
共振器同士が積層されていることを特徴とする光導波路
型波長フィルタ(請求項1)を提供し、この光導波路型
波長フィルタにおいて、リング共振器同士の間隔に従っ
て透過帯域の平坦性が調整されていること(請求項2)
をその一態様としている。
That is, according to the invention of this application, a crossed input optical waveguide and output optical waveguide and a ring resonator are laminated, and the input optical waveguide and the output optical waveguide are interconnected via the ring resonator. In the optical waveguide type wavelength filter which performs the ADD / DROP operation, an optical waveguide type wavelength filter is provided, wherein a plurality of ring resonators are laminated. , The flatness of the transmission band is adjusted according to the interval between the ring resonators.
Is one embodiment thereof.

【0008】また、この出願の発明は、上記の光導波路
型波長フィルタが複数、隣接する一方の光導波路型波長
フィルタの入力側光導波路のスルーバスと他方の光導波
路型波長フィルタの入力側光導波路の入力バスとが接続
されて、連接されて成り、各光導波路型波長フィルタの
積層リング共振器の共振波長が互いに異なっていること
を特徴とする1×N光導波路型波長フィルタ(請求項
3)をも提供し、この1×N光導波路型波長フィルタに
おいて、最端位置の光導波路型波長フィルタが、その出
力側光導波路のDROPバスと隣接する光導波路型波長
フィルタの入力側光導波路の入力バスとが接続されて、
隣接する光導波路型波長フィルタと連接されており、最
端位置の光導波路型波長フィルタおよび隣接する光導波
路型波長フィルタの積層リング共振器の共振波長が互い
に同一または異なっていること(請求項4)をその一態
様としている。
Further, the invention of this application is characterized in that a plurality of the above-mentioned optical waveguide type wavelength filters have a through bus of an input side optical waveguide of one adjacent optical waveguide type wavelength filter and an input side optical waveguide of the other optical waveguide type wavelength filter. A 1 × N optical waveguide type wavelength filter characterized in that the input wavelengths of the optical waveguide type wavelength filters are connected and connected to each other, and the resonance wavelengths of the laminated ring resonators of the respective optical waveguide type wavelength filters are different from each other. 3), wherein in the 1 × N optical waveguide type wavelength filter, the optical waveguide type wavelength filter at the extreme end position is the input side optical waveguide of the optical waveguide type wavelength filter adjacent to the DROP bus of the output side optical waveguide. Is connected to the input bus of
The adjacent wavelengths of the optical waveguide type wavelength filters are connected to each other, and the resonance wavelengths of the laminated ring resonators of the optical waveguide type wavelength filters at the extreme end positions and the adjacent optical waveguide type wavelength filters are the same or different from each other. ) Is one embodiment thereof.

【0009】上記の光導波路型波長フィルタまたは1×
N光導波路型波長フィルタにおいて、各光導波路のコア
層またはクラッド層もしくはその両方が、電気光学効果
を持つ材料または熱光学効果を持つ材料または光弾性効
果を持つ材料によりなるものであり、外部電界の制御ま
たは温度の制御または外部応力の制御に従って積層リン
グ共振器の共振波長が可変となっていること(請求項
5)をもその態様として提供する。
The above-mentioned optical waveguide type wavelength filter or 1 ×
In the N-waveguide type wavelength filter, the core layer and / or the cladding layer of each of the optical waveguides is made of a material having an electro-optic effect, a material having a thermo-optic effect, or a material having a photoelastic effect. According to another aspect of the present invention, the resonance wavelength of the laminated ring resonator is variable according to the control of the temperature, the control of the temperature, or the control of the external stress.

【0010】さらにまた、この出願の発明は、上記の光
導波路型波長フィルタまたは1×N光導波路型波長フィ
ルタにより構成されており、各光導波路のコア層または
クラッド層もしくはその両方が、電気光学効果を持つ材
料または熱光学効果を持つ材料または光弾性効果を持つ
材料によりなるものであり、外部電界の制御または温度
の制御または外部応力の制御に従って積層リング共振器
の共振波長が可変となっていることを特徴とする可変波
長フィルタもしくは光スイッチ(請求項6)をも提供す
る。
Further, the invention of this application is constituted by the above-mentioned optical waveguide type wavelength filter or 1 × N optical waveguide type wavelength filter, and the core layer and / or the cladding layer of each optical waveguide are formed by electro-optics. It is made of a material having an effect, a material having a thermo-optic effect, or a material having a photoelastic effect, and the resonance wavelength of the laminated ring resonator is variable according to the control of an external electric field, the control of temperature, or the control of external stress. A variable wavelength filter or an optical switch (claim 6) is also provided.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、添付した図面に沿って実施
例を示し、この出願の発明の実施の形態についてさらに
詳しく説明する。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention;

【0012】[0012]

【実施例】[実施例1]図1は、この発明の一実施例で
ある光導波路型波長フィルタを例示したものである。
[Embodiment 1] FIG. 1 illustrates an optical waveguide type wavelength filter according to an embodiment of the present invention.

【0013】たとえばこの図1に例示したように、この
発明の光導波路型波長フィルタでは、交叉した入力側光
導波路(1)および出力側光導波路(2)に積層された
リング共振器(3)自体が、さらに複数積層されている
ことを特徴としている。
For example, as exemplified in FIG. 1, in the optical waveguide type wavelength filter of the present invention, the ring resonator (3) laminated on the crossed input optical waveguide (1) and output optical waveguide (2). It is characterized by itself being further laminated.

【0014】この場合さらに説明すると、図1では二つ
のリング共振器(3a)(3b)同士が積層されてい
る。光信号が各リング共振器(3a)(3b)に結合す
ると、伝搬定数βeの偶モードおよび伝搬定数βoの奇
モードが励振される。ここで、二つのリング共振器(3
a)(3b)の間隔を調整すると、偶・奇モードの伝搬
定数差が小さくなり、それぞれの共振波長が僅かにずれ
る。このため、図2(a)に例示したようなローレンツ
型のフィルタ特性が合成されて、図2(b)に例示した
ように箱形のフィルタ特性が得られるようになる。
In this case, further description will be made. In FIG. 1, two ring resonators (3a) and (3b) are stacked. When an optical signal is coupled to each of the ring resonators (3a) and (3b), an even mode having a propagation constant βe and an odd mode having a propagation constant βo are excited. Here, two ring resonators (3
a) By adjusting the interval of (3b), the difference between the propagation constants of the even and odd modes is reduced, and the respective resonance wavelengths are slightly shifted. For this reason, the Lorentz-type filter characteristics as illustrated in FIG. 2A are synthesized, and a box-shaped filter characteristic can be obtained as illustrated in FIG. 2B.

【0015】ここで、リング共振器(3a)(3b)の
間隔を変化させて伝搬定数の解析を行った。図3に示し
たように、下層のリング共振器(3a)および上層のリ
ング共振器(3b)はともに同一構造等を有しているも
のとし、たとえば、リングコア部の幅Wr =1.50μ
m、リングコア部の厚さtr =1.50μm、リングの
半径R=10μm、コア屈折率nc =1.7852とす
る。
Here, the propagation constant was analyzed by changing the distance between the ring resonators (3a) and (3b). As shown in FIG. 3, the lower-layer ring resonator (3a) and the upper-layer ring resonator (3b) both have the same structure and the like. For example, the width W r of the ring core portion = 1.50 μm
m, the thickness t r of the ring core portion is 1.50 μm, the radius R of the ring is 10 μm, and the core refractive index n c is 1.7852.

【0016】この条件において、リング間隔trsep
1.00μm、1.25μm、1.50μmのときの、
フィネス(Finess)に対するシェイプファクタ(ShapeFact
or) を解析した。フィネスは、偶モードの3dB帯域幅
に対するFSRとして求め、シェイプファクタは、10
dB帯域幅に対する1dB帯域幅で求めた。また、入力
光は波長1.543μmのTEモード光とする。FSR
は一定と仮定する。図4は、この解析結果を例示したも
のであり、シェイプファクタのフィネス及びリング間隔
依存性を示している。この図4から明らかなように、い
ずれのリング間隔trsepにおいても、フィネスが大きく
なるほど、シェイプファクタが改善されて箱形のフィル
タ特性に近づくが、ある限度を超えるとフィルタ特性が
分離してしまい、箱形のフィルタ特性ではなくなること
がわかる。
Under this condition, the ring interval t rsep =
At 1.00 μm, 1.25 μm, and 1.50 μm,
ShapeFact for Fines
or) was analyzed. The finesse was determined as the FSR for a 3 dB bandwidth of even mode, and the shape factor was 10
It was determined with a 1 dB bandwidth relative to a dB bandwidth. The input light is a TE mode light having a wavelength of 1.543 μm. FSR
Is assumed to be constant. FIG. 4 exemplifies this analysis result and shows the dependence of the shape factor on the finesse and the ring spacing. As is clear from FIG. 4, at any ring interval t rsep , as the finesse increases, the shape factor improves and approaches the box-shaped filter characteristic. However, when the limit exceeds a certain limit, the filter characteristic is separated. It can be seen that the filter characteristics are no longer box-shaped.

【0017】以上の結果から、あるフィネスにおいて最
も箱形のフィルタ特性を得るために最適なリング間隔t
rsepは、一意的に決定されることがわかる。したがっ
て、この発明の光導波路型波長フィルタは、二つのリン
グ共振器(3a)(b)を積層し、その間隔を調整する
ことで、透過帯域の平坦性に優れた箱形フィルタ特性を
実現できる。この箱形フィルタ特性の実現により、共振
波長光のADD/DROP動作の精度向上などを図るこ
とができる。
From the above results, the optimum ring interval t for obtaining the most box-shaped filter characteristic in a certain finesse.
It can be seen that rsep is uniquely determined. Therefore, in the optical waveguide type wavelength filter of the present invention, the two ring resonators (3a) and (b) are stacked, and the interval between them is adjusted, thereby realizing a box-shaped filter characteristic excellent in flatness of the transmission band. . By realizing the box-shaped filter characteristic, it is possible to improve the accuracy of the ADD / DROP operation of the resonance wavelength light.

【0018】[実施例2]以上のようなこの発明の光導
波路型波長フィルタは、特願2000−32480号で
示したと同様に、複数連接して1×N光導波路型波長フ
ィルタを実現することができる。
[Embodiment 2] As described in Japanese Patent Application No. 2000-32480, the above-described optical waveguide type wavelength filter of the present invention realizes a 1 × N optical waveguide type wavelength filter by connecting a plurality thereof. Can be.

【0019】図5は、二つの光導波路形波長フィルタを
連接した場合の1×2光導波路型波長フィルタの一例を
示したものである。二つの光導波路型波長フィルタは、
隣接する一方の入力側光導波路(1a)のスルーバス
(12a)と他方の入力側光導波路(1b)の入力バス
(11b)とが接続されて、連接されており、隣接する
光導波路型波長フィルタ(1a)における上述のように
積層されたリング共振器(3aa)(3ab)(以下、
積層リング共振器と呼ぶ)と光導波路型波長フィルタ
(1b)における積層リング共振器(3ba)(3b
b)の共振波長が互いに異なって、1×2光導波路型波
長フィルタが構成される。
FIG. 5 shows an example of a 1 × 2 optical waveguide type wavelength filter when two optical waveguide type wavelength filters are connected. The two optical waveguide type wavelength filters are:
The through bus (12a) of one adjacent input-side optical waveguide (1a) and the input bus (11b) of the other input-side optical waveguide (1b) are connected and connected, and the adjacent optical waveguide type wavelength is used. The ring resonators (3aa) and (3ab) (hereinafter, referred to as “layer resonators”) stacked in the filter (1a) as described above.
And a laminated ring resonator (3ba) (3b) in the optical waveguide type wavelength filter (1b).
The resonance wavelengths of b) are different from each other, and a 1 × 2 optical waveguide type wavelength filter is formed.

【0020】この場合、一方の光導波路型波長フィルタ
の入力側光導波路(1a)の入力バス(11a)から入
射された波長多重光信号λ1...N は、入力側光導波路
(1a)(1b)を伝搬していく際に、積層リング共振
器(3aa)(3ab)あるいは積層リング共振器(3
ba)(3bb)の共振波長と一致する波長λa あるい
はλb の光信号が、積層リング共振器(3aa)(3a
b)あるいは積層リング共振器(3ba)(3bb)が
重なっている出力側光導波路(2a)(2b)のDRO
Pバス(21a)(21b)に分波される。他方、同様
に波長λa 光あるいは波長λb 光がADDバス(22
a)(22b)から入力されると、積層リング共振器
(3aa)(3ab)あるいは積層リング共振器(3b
a)(3bb)を介して、スルーバス(12a)(12
b)に合波される。
In this case, the wavelength-division multiplexed optical signals λ 1... N input from the input bus (11a) of the input-side optical waveguide (1a) of one of the optical-waveguide-type wavelength filters are input to the input-side optical waveguide (1a). When propagating through (1b), the laminated ring resonators (3aa) and (3ab) or the laminated ring resonators (3ab)
ba) (optical signal of the wavelength lambda a, or lambda b matching the resonant wavelength of 3bb) are laminated ring resonator (3aa) (3a
b) or DRO of the output side optical waveguides (2a) (2b) where the laminated ring resonators (3ba) (3bb) overlap.
The signal is split into the P buses (21a) and (21b). On the other hand, likewise the wavelength lambda a light or wavelength lambda b light ADD bus (22
a) When input from (22b), the multilayer ring resonator (3aa) (3ab) or the multilayer ring resonator (3b)
a) (3bb), through buses (12a) (12
b).

【0021】この1×2光導波路型波長フィルタは、こ
の発明の光導波路型波長フィルタをつなげていくだけで
よいので、非常に小型なものとすることができる。そし
て、前述したように各光導波路型波長フィルタ(3a)
(3b)のフィルタ特性は箱形となるので、1×2光導
波路型波長フィルタのフィルタ特性も箱形となる。
This 1 × 2 optical waveguide type wavelength filter can be made very small because it is only necessary to connect the optical waveguide type wavelength filter of the present invention. Then, as described above, each optical waveguide type wavelength filter (3a)
Since the filter characteristic of (3b) has a box shape, the filter characteristic of the 1 × 2 optical waveguide type wavelength filter also has a box shape.

【0022】もちろん、同様にして三つ以上の光導波路
形波長フィルタ(3)を連接させてもよく、波長多重通
信に適した、良好な箱形フィルタ特性を有する1×N光
導波路形波長フィルを実現できる。
Of course, three or more optical waveguide type wavelength filters (3) may be connected in the same manner, and a 1 × N optical waveguide type wavelength filter having good box-shaped filter characteristics suitable for wavelength multiplex communication. Can be realized.

【0023】[実施例3]図6および図7は、各々、こ
の発明の別の一実施例である1×N光導波路型波長フィ
ルタを例示したものである。
[Embodiment 3] FIGS. 6 and 7 each show a 1 × N optical waveguide type wavelength filter according to another embodiment of the present invention.

【0024】これら図6および図7に例示した1×N光
導波路型波長フィルタは、最端に位置する光導波路型波
長フィルタの出力側光導波路(2a)のDROPバス
(21a)と、隣接する他の光導波路型波長フィルタの
入力側光導波路(1b)の入力バス(11b)とが接続
された構成となっている。最端位置の光導波路型波長フ
ィルタの積層リング共振器(3aa)(3ab)は、図
6の例では、入力バス(11a)およびDROPバス
(21a)に重なっており、図7の例では、ADDバス
(22a)およびスルーバス(12a)に重なってい
る。
The 1 × N optical waveguide type wavelength filter illustrated in FIGS. 6 and 7 is adjacent to the DROP bus (21a) of the output side optical waveguide (2a) of the optical waveguide type wavelength filter located at the end. The configuration is such that an input bus (11b) of an input side optical waveguide (1b) of another optical waveguide type wavelength filter is connected. The laminated ring resonators (3aa) and (3ab) of the optical waveguide type wavelength filter at the extreme end overlap the input bus (11a) and the DROP bus (21a) in the example of FIG. 6, and in the example of FIG. It overlaps with the ADD bus (22a) and the through bus (12a).

【0025】このような構成の1×N光導波路型波長フ
ィルタでは、最端位置の光導波路型波長フィルタの積層
リング共振器(3a)(3b)の共振波長および隣接す
る他の光導波路型波長フィルタの積層リング共振器(3
a)(3b)のFSRが異なっており、一つの共振ピー
ク波長のみが一致していると、周期的なフィルタ特性
(いわゆる櫛型特性)の複数のピークから一本のピーク
だけを取り出すことができるようになる。また、それぞ
れの共振波長がほんの少しずれていれば箱形になる。
In the 1 × N optical waveguide type wavelength filter having such a configuration, the resonance wavelengths of the laminated ring resonators (3a) and (3b) of the optical waveguide type wavelength filter at the extreme end position and the other adjacent optical waveguide type wavelength filters. Filter laminated ring resonator (3
a) If the FSRs of (3b) are different and only one resonance peak wavelength matches, only one peak can be extracted from a plurality of peaks of the periodic filter characteristic (so-called comb-shaped characteristic). become able to. If the respective resonance wavelengths are slightly deviated, a box shape is obtained.

【0026】[実施例4]上述の各実施例における光導
波路型波長フィルタは、同一階層で交叉した入力側光導
波路(1)および出力側光導波路(2)の上に積層リン
グ共振器(3a)(3b)(図5〜図7において(3a
a)(3ab)または(3ba)(3bb))が積層さ
れた構成となっているが、この構成以外にも、たとえ
ば、図8に例示したように、入力側光導波路(1)の上
に積層リング共振器(3a)(3b)が積層され、上層
のリング共振器(3b)の上に出力側光導波路(2)が
積層された構成とすることもできる。もちろん、積層リ
ング共振器(3a)(3b)の一部は入力側光導波路
(1)および出力側光導波路(2)とある間隔を持って
重なっている。また、入力側光導波路(1)と出力側光
導波路(2)とはどちらが上下になっていてもよい。
[Embodiment 4] The optical waveguide type wavelength filter in each of the above-described embodiments has a laminated ring resonator (3a) on an input side optical waveguide (1) and an output side optical waveguide (2) crossed in the same layer. ) (3b) ((3a in FIGS. 5 to 7)
a) (3ab) or (3ba) (3bb)) is laminated, but other than this configuration, for example, as illustrated in FIG. 8, on the input side optical waveguide (1). The laminated ring resonators (3a) and (3b) may be laminated, and the output side optical waveguide (2) may be laminated on the upper ring resonator (3b). Of course, a part of the laminated ring resonators (3a) and (3b) overlaps the input optical waveguide (1) and the output optical waveguide (2) at a certain interval. Either the input side optical waveguide (1) or the output side optical waveguide (2) may be upside down.

【0027】[実施例5]ところで、以上のようなこの
発明の光導波路型波長フィルタまたは1×N光導波路型
波長フィルタでは、各光導波路(1)(2)のコア層ま
たはクラッド層もしくはその両方を、電気光学効果を持
つ材料または熱光学効果を持つ材料または光弾性効果を
持つ材料によりなるものとし、外部電解の制御または温
度の制御または外部応力の制御に従って積層リング共振
器(3a)(3b)の共振波長を可変なものとすること
により、可変波長フィルタや光スイッチを実現すること
ができる。
Embodiment 5 In the optical waveguide type wavelength filter or the 1 × N optical waveguide type wavelength filter according to the present invention as described above, the core layer or the cladding layer of each of the optical waveguides (1) and (2) or the same. Both are made of a material having an electro-optic effect, a material having a thermo-optic effect, or a material having a photoelastic effect, and the laminated ring resonator (3a) (3a) ( By making the resonance wavelength of 3b) variable, a variable wavelength filter or an optical switch can be realized.

【0028】図9、図10、および図11は、各々、こ
の可変波長フィルタの一実施例を示した要部構成図であ
る。各実施例では、入力側光導波路(1)および出力側
光導波路(2)のコア層またはクラッド層もしくはその
両方は、電気光学効果を持つ材料または熱光学効果を持
つ材料または光弾性効果を持つ材料によりなるものとな
っている。
FIGS. 9, 10, and 11 are main part configuration diagrams showing one embodiment of the variable wavelength filter. In each embodiment, the core layer and / or the cladding layer of the input side optical waveguide (1) and the output side optical waveguide (2) are made of a material having an electro-optic effect, a material having a thermo-optic effect, or a photo-elastic effect. It is made of material.

【0029】図9に示した例では、熱式制御手段として
の加熱素子(4)が上層のリング共振器(3b)上に備
えられ、この加熱素子(4)により積層リング共振器
(3a)(3b)の共振波長が制御できるようになって
いる。この際、加熱素子(4)が原因となって積層リン
グ共振器(3a)(3b)のQ値が減少してしまうこと
を防ぐために、上層のリング共振器(3b)と加熱素子
(4)との間には低屈折率のバッファ層を設けることが
好ましい。また、加熱素子(4)は、積層リング共振器
(3a)(3b)のカバー層(たとえばSiO2 など)
の上に備えられていてもよい。この場合には、加熱素子
(4)は、積層リング共振器(3a)(3b)の直上に
位置する必要がなく、たとえば積層リング共振器(3
a)(3b)を囲んだリング形状とすることができる。
In the example shown in FIG. 9, a heating element (4) as a thermal control means is provided on an upper ring resonator (3b), and the heating element (4) is used to form a laminated ring resonator (3a). The resonance wavelength of (3b) can be controlled. At this time, in order to prevent the Q value of the stacked ring resonators (3a) and (3b) from being reduced due to the heating element (4), the ring resonator (3b) in the upper layer and the heating element (4) are prevented. It is preferable to provide a buffer layer having a low refractive index between the layers. The heating element (4) is a cover layer (for example, SiO 2 or the like) of the laminated ring resonators (3a) (3b).
It may be provided on the top. In this case, the heating element (4) does not need to be located immediately above the multilayer ring resonators (3a) and (3b).
a) A ring shape surrounding (3b) can be provided.

【0030】一方、積層リング共振器(3a)(3b)
は高感度という特性を有しているので、上層のリング共
振器(3b)上に金属板体あるいは誘電性薄板体を備え
ることによりその共振周波数を調整することができる。
On the other hand, the laminated ring resonators (3a) (3b)
Has a characteristic of high sensitivity, the resonance frequency can be adjusted by providing a metal plate or a dielectric thin plate on the upper ring resonator (3b).

【0031】図10に例示した可変波長フィルタでは、
超小型電子機械式(MEM)ピストン(51)とこのM
EMピストン(51)により保持されたガラス製または
ポリマー製の薄板体(52)とを有する機械光学式制御
手段(5)が上層のリング共振器(3b)上方に備えら
れており、MEMピストン(51)のピストン運動に従
って薄板体(52)が上層のリング共振器(3b)上方
において上下に移動し、これにより変化するリング共振
器(3b)と薄板体(52)との間の間隔を制御するこ
とにより、積層リング共振器(3a)(3b)の共振周
波数が制御されるようになっている。
In the variable wavelength filter illustrated in FIG.
Micro electro mechanical (MEM) piston (51) and this M
A mechanical or optical control means (5) having a glass or polymer thin plate (52) held by an EM piston (51) is provided above the upper ring resonator (3b), The thin plate (52) moves up and down above the upper ring resonator (3b) in accordance with the piston movement of 51), thereby controlling the changing distance between the ring resonator (3b) and the thin plate (52). By doing so, the resonance frequency of the laminated ring resonators (3a) (3b) is controlled.

【0032】薄板体(52)は、積層リング共振器(3
a)(3b)が不均一に乱されて反射が生じてしまわな
いように、積層リング共振器(3b)の全表面を覆った
状態となっていることが望ましい。
The thin plate member (52) is provided with a laminated ring resonator (3).
a) It is desirable that the entire surface of the laminated ring resonator (3b) is covered so that reflection is not caused by unevenly disturbing (3b).

【0033】また、薄板体(52)としてポリマー製の
ものを用いた場合には、ポリマー製薄板体(52)と上
層のリング共振器(3b)とを常に接した状態としてお
くことができ、これによってポリマー製薄板体(52)
の屈折率を積層リング共振器(3a)(3b)の屈折率
よりも低いものとすることができる。そして、このポリ
マー製薄板体(52)に加圧することで、圧力によって
屈折率が変化するポリマーの光弾性効果に従って積層リ
ング共振器(3a)(3b)の共振波長を制御すること
ができる。
When a thin plate (52) made of polymer is used, the thin plate made of polymer (52) and the ring resonator (3b) in the upper layer can always be kept in contact with each other. Thereby, a thin plate made of polymer (52)
Can be made lower than the refractive indexes of the laminated ring resonators (3a) and (3b). By pressing the polymer thin plate (52), the resonance wavelength of the laminated ring resonators (3a) and (3b) can be controlled in accordance with the photoelastic effect of the polymer whose refractive index changes with pressure.

【0034】図11に例示した可変波長フィルタは、屈
折率が電気的に可変な電気光学素子(6)によって積層
リング共振器(3a)(3b)の共振波長が可変とされ
たものである。この電気光学式制御手段としての電気光
学素子(6)は、たとえば、電極(61)を介して印加
される電圧により電気的に制御される電気光学ポリマー
などの物質によりなり、これが上層のリング共振器(3
b)上に備えられている。
The variable wavelength filter illustrated in FIG. 11 is one in which the resonance wavelength of the laminated ring resonators (3a) and (3b) is made variable by an electro-optical element (6) whose refractive index is electrically variable. The electro-optical element (6) as the electro-optical control means is made of, for example, a material such as an electro-optical polymer which is electrically controlled by a voltage applied via an electrode (61), and which is a ring resonance of an upper layer. Container (3
b) provided above.

【0035】なお、本実施例3における上述の各例は可
変波長フィルタの場合であるが、同様にして、積層リン
グ共振器(3a)(3b)の位相等を調整することによ
り光導波路型光スイッチを実現することもできる。
Each of the above-described examples in the third embodiment is a case of a tunable wavelength filter. Similarly, by adjusting the phases and the like of the laminated ring resonators (3a) and (3b), the optical waveguide type light is adjusted. Switches can also be implemented.

【0036】この発明は以上の例に限定されるものでは
なく、細部については様々な態様が可能である。上述し
た各実施例は、積層されたリング共振器が二つである場
合のものであるが、もちろんそれ以上のリング共振器が
積層されていてもよく、リング共振器の積層数が多くな
ればなるほど、透過帯域の平坦性が向上されることとな
る。n個のリング共振器が積層された光導波路型波長フ
ィルタであっても、1×N光導波路型波長フィルタ、可
変波長フィルタや光スイッチをもちろん実現できる。
The present invention is not limited to the above examples, and various embodiments can be made in detail. Each of the above-described embodiments is a case where the number of stacked ring resonators is two. However, it is needless to say that more ring resonators may be stacked, and the number of stacked ring resonators may be increased. Indeed, the flatness of the transmission band is improved. Even with an optical waveguide wavelength filter in which n ring resonators are stacked, a 1 × N optical waveguide wavelength filter, a variable wavelength filter, and an optical switch can of course be realized.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上詳しく説明した通り、この発明によ
って、小型で、且つ優れた箱形フィルタ特性を有する、
新しい光導波路型波長フィルタ、およびこの光導波路型
波長フィルタを連接した1×N光導波路型波長フィル
タ、およびそれら光導波路型波長フィルタにより構成さ
れた可変波長フィルタ・光スイッチが提供される。これ
により、光通信のさらなる大容量化、高機能化を図るこ
とができるようになる。
As described in detail above, according to the present invention, a compact and excellent box-shaped filter characteristic can be obtained.
A new optical waveguide type wavelength filter, a 1 × N optical waveguide type wavelength filter in which the optical waveguide type wavelength filters are connected, and a tunable wavelength filter / optical switch constituted by the optical waveguide type wavelength filters are provided. As a result, it is possible to further increase the capacity and function of the optical communication.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の光導波路型波長フィルタを例示した
概略斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating an optical waveguide type wavelength filter of the present invention.

【図2】(a)(b)は、フィルタ特性の平坦化(箱形
化)を例示した概念図である。
FIGS. 2A and 2B are conceptual diagrams illustrating flattening (boxing) of filter characteristics. FIG.

【図3】この発明の光導波路型波長フィルタの一実施例
を示した概略断面図である。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing one embodiment of the optical waveguide type wavelength filter of the present invention.

【図4】図3の光導波路型波長フィルタにおけるシェイ
プファクタのフィネス及びリング間隔依存性を例示した
図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating the finesse and ring spacing dependence of the shape factor in the optical waveguide wavelength filter of FIG. 3;

【図5】この発明の1×N光導波路型波長フィルタの一
例を示した概略斜視図である。
FIG. 5 is a schematic perspective view showing an example of a 1 × N optical waveguide type wavelength filter of the present invention.

【図6】この発明の1×N光導波路型波長フィルタの別
の一例を示した概略平面図である。
FIG. 6 is a schematic plan view showing another example of the 1 × N optical waveguide type wavelength filter of the present invention.

【図7】この発明の1×N光導波路型波長フィルタのさ
らに別の一例を示した概略平面図である。
FIG. 7 is a schematic plan view showing still another example of the 1 × N optical waveguide type wavelength filter of the present invention.

【図8】この発明の光導波路型波長フィルタの別の一例
を示した概略図である。
FIG. 8 is a schematic view showing another example of the optical waveguide type wavelength filter of the present invention.

【図9】この発明の可変波長フィルタの一例を示した概
略斜視図である。
FIG. 9 is a schematic perspective view showing an example of the variable wavelength filter of the present invention.

【図10】この発明の可変波長フィルタの別の一例を示
した概略図である。
FIG. 10 is a schematic diagram showing another example of the variable wavelength filter of the present invention.

【図11】この発明の可変波長フィルタのさらに別の一
例を示した概略図である。
FIG. 11 is a schematic diagram showing still another example of the variable wavelength filter of the present invention.

【図12】従来の光導波路型波長フィルタの一例を示し
た概略斜視図である。
FIG. 12 is a schematic perspective view showing an example of a conventional optical waveguide type wavelength filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1a,1b 入力側光導波路 11,11a,11b 入力バス 12,12a,12b スルーバス 2,2a,2b 出力側光導波路 21,21a,21b DROPバス 22,22a,22b ADDバス 3,3a,3b リング共振器 3aa,3ab リング共振器 3ba,3bb リング共振器 4 加熱素子 5 機械光学式制御手段 51 MEMピストン 52 薄板体 6 電気光学素子 61 電極 1, 1a, 1b Input optical waveguides 11, 11a, 11b Input bus 12, 12a, 12b Through bus 2, 2a, 2b Output optical waveguides 21, 21a, 21b DROP bus 22, 22a, 22b ADD bus 3, 3a, 3b Ring resonator 3aa, 3ab Ring resonator 3ba, 3bb Ring resonator 4 Heating element 5 Mechanical-optical control means 51 MEM piston 52 Thin plate 6 Electro-optical element 61 Electrode

フロントページの続き (72)発明者 朱 世徳 M2J2B9 カナダ,オンタリオ, ノ ース ヨーク,クレアビル クレセント 17 Fターム(参考) 2H047 KA03 KA12 KB01 KB08 LA18 NA01 NA02 NA10 RA08 2K002 AA02 AB04 BA06 BA13 BA20 DA08 EA13 HA01 HA02 HA11Continuation of the front page (72) Inventor Zhu Shitoku M2J2B9 Canada, Ontario, North York, Clareville Crescent 17 F-term (reference) 2H047 KA03 KA12 KB01 KB08 LA18 NA01 NA02 NA10 RA08 2K002 AA02 AB04 BA06 BA13 BA20 DA08 EA13 HA01 HA02 HA11

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 交叉した入力側光導波路および出力側光
導波路とリング共振器とが積層されており、このリング
共振器を介して入力側光導波路および出力側光導波路相
互のADD/DROP動作を行う光導波路型波長フィル
タにおいて、複数のリング共振器同士が積層されている
ことを特徴とする光導波路型波長フィルタ。
An input optical waveguide and an output optical waveguide which are crossed with each other and a ring resonator are stacked, and an ADD / DROP operation between the input optical waveguide and the output optical waveguide is performed via the ring resonator. An optical waveguide wavelength filter, wherein a plurality of ring resonators are stacked.
【請求項2】 リング共振器同士の間隔に従って透過帯
域の平坦性が調整されている請求項1の光導波路型波長
フィルタ。
2. The optical waveguide wavelength filter according to claim 1, wherein the flatness of the transmission band is adjusted according to the distance between the ring resonators.
【請求項3】 複数の請求項1または2の光導波路型波
長フィルタが、隣接する一方の光導波路型波長フィルタ
の入力側光導波路のスルーバスと他方の光導波路型波長
フィルタの入力側光導波路の入力バスとが接続されて、
連接されて成り、各光導波路型波長フィルタの積層リン
グ共振器の共振波長が互いに異なっていることを特徴と
する1×N光導波路型波長フィルタ。
3. An optical waveguide type wavelength filter according to claim 1, wherein a plurality of optical waveguide type wavelength filters have a through bus of an input side optical waveguide of one adjacent optical waveguide type wavelength filter and an input side optical waveguide of the other optical waveguide type wavelength filter. Is connected to the input bus of
1. A 1 × N optical waveguide type wavelength filter, which is connected to each other, wherein the laminated ring resonators of the respective optical waveguide type wavelength filters have different resonance wavelengths.
【請求項4】 最端位置の光導波路型波長フィルタは、
その出力側光導波路のDROPバスと隣接する光導波路
型波長フィルタの入力側光導波路の入力バスとが接続さ
れて、隣接する光導波路型波長フィルタと連接されてお
り、最端位置の光導波路型波長フィルタおよび隣接する
光導波路型波長フィルタの積層リング共振器の共振波長
が互いに同一または異なっている請求項3の1×N光導
波路型波長フィルタ。
4. An optical waveguide type wavelength filter at an extreme end position,
The DROP bus of the output side optical waveguide is connected to the input bus of the input side optical waveguide of the adjacent optical waveguide type wavelength filter, and is connected to the adjacent optical waveguide type wavelength filter. 4. The 1 * N optical waveguide type wavelength filter according to claim 3, wherein the resonance wavelengths of the laminated ring resonators of the wavelength filter and the adjacent optical waveguide type wavelength filter are the same or different from each other.
【請求項5】 各光導波路のコア層またはクラッド層も
しくはその両方が、電気光学効果を持つ材料または熱光
学効果を持つ材料または光弾性効果を持つ材料によりな
るものであり、外部電界の制御または温度の制御または
外部応力の制御に従って積層リング共振器の共振波長が
可変となっている請求項1または2の光導波路型波長フ
ィルタもしくは請求項3または4の1×N光導波路型波
長フィルタ。
5. The core layer and / or cladding layer of each optical waveguide is made of a material having an electro-optic effect, a material having a thermo-optic effect, or a material having a photo-elastic effect, for controlling an external electric field or 5. The optical waveguide type wavelength filter according to claim 1, wherein the resonance wavelength of the laminated ring resonator is variable according to control of temperature or control of external stress, or the 1 * N optical waveguide type wavelength filter according to claim 3 or 4.
【請求項6】 請求項1または2の光導波路型波長フィ
ルタもしくは請求項3または4の1×N光導波路型波長
フィルタにより構成されており、各光導波路のコア層ま
たはクラッド層もしくはその両方が、電気光学効果を持
つ材料または熱光学効果を持つ材料または光弾性効果を
持つ材料によりなるものであり、外部電界の制御または
温度の制御または外部応力の制御に従って積層リング共
振器の共振波長が可変となっていることを特徴とする可
変波長フィルタもしくは光スイッチ。
6. The optical waveguide type wavelength filter according to claim 1 or 2 or the 1 × N optical waveguide type wavelength filter according to claim 3 or 4, wherein a core layer and / or a cladding layer of each optical waveguide is provided. It is made of a material with electro-optic effect, a material with thermo-optic effect, or a material with photo-elastic effect, and the resonance wavelength of the laminated ring resonator is variable according to the control of external electric field, the control of temperature, or the control of external stress. A tunable filter or optical switch, characterized in that:
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