JP2001209978A - Method for positioning disk - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク、磁気
ディスク等の製造工程において、ディスクどうしを密着
させる工程における正確な位置決めを行うためのディス
クの位置決め方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of positioning a disk for performing accurate positioning in a process of closely attaching disks in a process of manufacturing an optical disk, a magnetic disk, and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光ディスク、磁気ディスクなどの製造工
程においては２枚のディスクをそれぞれの中心位置を一
致させて密着させる工程がある。従来、この２枚のディ
スクを密着させるために、図４または図５に示す位置決
め装置が用いられている。2. Description of the Related Art In a manufacturing process of an optical disk, a magnetic disk, and the like, there is a process of bringing two disks into close contact with their respective center positions coinciding with each other. Conventionally, a positioning device as shown in FIG. 4 or FIG. 5 has been used to bring these two disks into close contact.
【０００３】図４において、マスターディスク２はＺ軸
移動手段１５上に支持された保持具１４に位置決め保持
されてＺ軸方向に移動できるように配置されている。こ
のマスターディスク２に対してステージ１２に吸引保持
されたワークディスク１を対面配置させ、Ｚ軸移動手段
１５によりマスターディスク２をＺ軸方向、即ちワーク
ディスク１の方向に移動させることにより、マスターデ
ィスク２とワークディスク１とを密着させることができ
る。In FIG. 4, a master disk 2 is positioned and held by a holder 14 supported on a Z-axis moving means 15 so as to be movable in the Z-axis direction. The work disk 1 sucked and held on the stage 12 is arranged facing the master disk 2, and the master disk 2 is moved by the Z-axis moving means 15 in the Z-axis direction, that is, in the direction of the work disk 1. 2 and the work disk 1 can be brought into close contact with each other.
【０００４】また、図５に示す装置では、間欠回転手段
１６に等間隔に設けられた複数のアームの先端にそれぞ
れ配設されたステージ２２によりワークディスク１を保
持させ、間欠回転手段１６の間欠回転によりステージ２
２に保持したワークディスク１をＡ〜Ｄの各停止位置に
移動させる。この各停止位置は、ワークディスクセッ
ト、クリーニング、初期化、マスターディスク密着等の
工程に設定される。停止位置Ｄには、マスターディスク
２がＺ軸移動手段１５上に支持された保持具１４に位置
決め保持されてＺ軸方向に移動できるように配置されて
おり、間欠回転手段１６の回転により停止位置Ｄに移動
したワークディスク１に対し、Ｚ軸移動手段１５により
保持具１４を移動させることによりマスターディスク２
をワークディスク１に密着させることができる。In the apparatus shown in FIG. 5, the work disk 1 is held by the stages 22 respectively provided at the tips of a plurality of arms provided at equal intervals on the intermittent rotating means 16, and the intermittent rotating means 16 is intermittently rotated. Stage 2 by rotation
The work disk 1 held at 2 is moved to each of the stop positions A to D. These stop positions are set in processes such as work disk setting, cleaning, initialization, and master disk contact. At the stop position D, the master disk 2 is positioned and held by a holder 14 supported on the Z-axis moving means 15 so as to be movable in the Z-axis direction. By moving the holder 14 by the Z-axis moving means 15 with respect to the work disk 1
Can be brought into close contact with the work disk 1.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ワークディスク１とマ
スターディスク２との貼り合わせは、両者の中心位置を
一致させる必要があるため、位置決めにより各ディスク
は保持具１４またはステージ１２、２２に取り付けられ
る。しかし、動作の繰り返しにより位置ずれが生じるこ
とがあり、正確に位置合わせされた密着状態が得難い問
題点があった。Since the work disk 1 and the master disk 2 need to be aligned at the center position, the disks are attached to the holder 14 or the stages 12 and 22 by positioning. . However, repetition of the operation may cause a displacement, and there is a problem that it is difficult to obtain a close contact state that is accurately aligned.
【０００６】また、間欠回転手段１６を用いた装置で
は、間欠回転手段１６の停止位置の位置決め精度にばら
つきが生じると、両ディスク間に位置ずれ問題点があっ
た。Further, in the apparatus using the intermittent rotation means 16, if the positioning accuracy of the stop position of the intermittent rotation means 16 varies, there is a problem of misalignment between the two disks.
【０００７】本発明が目的とするところは、両ディスク
間の位置ずれ検出に基づいて位置ずれの補正動作を行う
ことにより、両ディスクの中心位置を一致させて密着さ
せるディスクの位置決め方法を提供することにある。An object of the present invention is to provide a method for positioning a disc in which the centers of the two discs are brought into close contact with each other by performing an operation of correcting the displacement based on the detection of the displacement between the two discs. It is in.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本願の第１発明は、ディスクの中心位置を中心とする
中心穴が形成された第１のディスクと、中心位置に中心
マークを設けた第２のディスクとをそれぞれの中心位置
を一致させて対向配置し、第２のディスクを第１のディ
スク方向に移動させて両ディスクを密着させるディスク
の位置決め方法であって、第１のディスクの中心穴の中
心と前記中心マークとの位置ずれを検出し、検出された
位置ずれ量及び位置ずれ方向に応じて前記第２のディス
クをその移動方向と直交する面内で移動させ、その中心
マークを第１のディスクの中心穴の中心に一致させた
後、第２のディスクを第１のディスク方向に移動させる
ことを特徴とするもので、第１のディスクと第２のディ
スクとの間の位置ずれを検出し、この位置ずれ量及び位
置ずれ方向に基づいて第１のディスクの中心穴の中心に
第２のディスクの中心マークを一致させるので、両ディ
スクを中心位置で一致させた状態で密着させることがで
きる。According to a first aspect of the present invention, there is provided a first disk having a center hole formed at the center of the disk, and a center mark provided at the center. A second disk that is opposed to the second disk with their respective center positions aligned, and the second disk is moved in the direction of the first disk to bring both disks into close contact with each other. Detecting the positional deviation between the center of the center hole and the center mark, moving the second disk in a plane orthogonal to the moving direction according to the detected positional deviation amount and the positional deviation direction, and After the mark is aligned with the center of the center hole of the first disk, the second disk is moved in the direction of the first disk, and the distance between the first disk and the second disk is changed. Without position Is detected, and the center mark of the second disk is made to coincide with the center of the center hole of the first disk based on the positional deviation amount and the positional deviation direction, so that both disks are brought into close contact with each other at the central position. be able to.
【０００９】より具体的には、ディスクの中心位置を中
心とする中心穴が形成された第１のディスクと中心位置
に中心マークを設けた第２のディスクとをそれぞれの中
心位置を一致させて対向配置し、第２のディスクをＺ軸
移動手段により第１のディスク方向に移動させて両ディ
スクを密着させる位置決め方法であって、前記第２のデ
ィスクを前記Ｚ軸移動手段による移動方向と直交するＸ
軸及びＹ軸方向に移動するＸＹ軸移動手段上に保持し、
このＸＹ軸移動手段をＺ軸移動手段上に搭載し、第１の
ディスクの中心穴の中心と前記中心マークとの位置ずれ
を位置ずれ検出手段により検出し、検出された位置ずれ
量及び位置ずれ方向に応じて前記ＸＹ軸移動手段を制御
して第１のディスクの中心穴の中心に第２のディスクの
中心マークを一致させた後、Ｚ軸移動手段により第２の
ディスクを第１のディスク方向に移動させることを特徴
として構成することができ、位置ずれ検出手段により第
１のディスクと第２のディスクとの間の位置ずれを検出
し、この位置ずれ量及び位置ずれ方向に基づいてＸＹ軸
移動手段により第２のディスクをＸＹ軸方向に移動させ
ると、第１のディスクの中心穴の中心に第２のディスク
の中心マークを一致させることができる。More specifically, the first disk having a center hole formed at the center position of the disk and the second disk having a center mark at the center position are aligned with each other. A positioning method in which the second disk is moved in the direction of the first disk by the Z-axis moving means so that both disks come into close contact with each other, wherein the second disk is orthogonal to the moving direction of the Z-axis moving means. X to do
Holding on XY axis moving means that moves in the axis and Y axis directions,
The XY-axis moving means is mounted on the Z-axis moving means, and the positional deviation between the center of the center hole of the first disk and the center mark is detected by the positional deviation detecting means. The XY-axis moving means is controlled in accordance with the direction so that the center mark of the second disk is aligned with the center of the center hole of the first disk, and then the second disk is moved by the Z-axis moving means. In the XY direction based on the amount of displacement and the direction of displacement based on the amount of displacement and the direction of displacement. When the second disk is moved in the X and Y axis directions by the axis moving means, the center mark of the second disk can be aligned with the center of the center hole of the first disk.
【００１０】また、本願の第２発明は、円周上の保持位
置で保持された第１のディスクを間欠回転運動により順
次円周上の停止位置に停止させた後、円周上の密着位置
に移動させ、密着位置に配設された第２のディスクに対
面配置し、両ディスクの中心位置を一致させて第２のデ
ィスクを第１のディスク方向に移動させて両ディスクを
密着させるディスクの位置決め方法であって、前記第２
のディスクの所定の保持位置からの位置ずれを検出し、
前記保持位置から密着位置に至る任意の停止位置におい
て前記第１のディスクの所定の保持位置からの位置ずれ
を検出し、この第１のディスクが密着位置に移動したと
き、検出された第１及び第２の各ディスクそれぞれの位
置ずれ量及び位置ずれ方向に応じて前記第２のディスク
をその移動方向と直交する面内で移動させ、第１のディ
スクと第２のディスクの中心位置を一致させた後、第２
のディスクを第１のディスク方向に移動させることを特
徴とするもので、第２のディスクの所定の保持位置から
の位置ずれを検出すると共に、間欠回転移動する第１の
ディスクを任意の停止位置において所定の保持位置から
の位置ずれを検出して、この第１のディスクが密着位置
に移動したとき、第１及び第２の各ディスクの位置ずれ
量及び位置ずれ方向に対応して第２のディスクをその移
動方向と直交する面内で移動させ、その中心位置を第１
の中心位置に一致させるので、両ディスクは中心位置で
一致させた状態で密着させることができる。In a second aspect of the present invention, the first disk held at the holding position on the circumference is sequentially stopped at the stop position on the circumference by intermittent rotation, and then the contact position on the circumference is set. To the second disk disposed at the close contact position, the center position of both disks is matched, the second disk is moved in the direction of the first disk, and the two disks are brought into close contact with each other. A positioning method, comprising:
Of the disc from the predetermined holding position,
A position shift of the first disk from a predetermined holding position is detected at an arbitrary stop position from the holding position to the close position, and when the first disk moves to the close position, the first and the first detected are detected. The second disk is moved in a plane perpendicular to the direction of movement of the second disk in accordance with the amount of displacement and the direction of displacement of each of the second disks so that the center positions of the first disk and the second disk coincide. After the second
Moving the first disk in the direction of the first disk, detecting a displacement of the second disk from a predetermined holding position, and moving the first disk intermittently rotating to an arbitrary stop position. In the above, when the first disc is moved to the close contact position by detecting a misalignment from a predetermined holding position, the second disc corresponding to the misalignment amount and misalignment direction of each of the first and second discs is detected. The disk is moved in a plane perpendicular to the moving direction, and the center position is set to the first position.
Therefore, both disks can be brought into close contact with each other at the center position.
【００１１】より具体的には、回転テーブルの周囲に等
間隔に複数の保持手段を設けた間欠回転手段を一方向に
間欠回転させて各保持手段を順次所定位置に停止させ、
保持位置に停止した保持手段により第１のディスクを保
持し、この第１のディスクを密着位置に移動させて密着
位置に配設された第２のディスクに対面配置し、両ディ
スクの中心位置を一致させてＺ軸移動手段により第２の
ディスクを第１のディスク方向に移動させて両ディスク
を密着させるディスクの位置決め方法であって、前記第
２のディスクを前記Ｚ軸移動手段による移動方向と直交
するＸ軸及びＹ軸方向に移動するＸＹ軸移動手段上に保
持し、このＸＹ軸移動手段をＺ軸移動手段上に搭載し、
第２のディスクの所定の保持位置からの位置ずれを第２
の位置ずれ検出手段によって検出し、前記保持位置から
密着位置に至る任意の停止位置において、前記第１のデ
ィスクの所定の保持位置からの位置ずれを第１の位置ず
れ検出手段により検出し、この第１のディスクが密着位
置に移動したとき、第１及び第２の各位置ずれ検出手段
によって検出された第１及び第２の各ディスクそれぞれ
の位置ずれ量及び位置ずれ方向に応じて前記ＺＹ軸移動
手段を制御して第１のディスクと第２のディスクの中心
位置を一致させた後、Ｚ軸移動手段により第２のディス
クを第１のディスク方向に移動させることを特徴として
構成でき、第２の位置ずれ検出手段によって第２のディ
スクの所定の保持位置からの位置ずれを検出すると共
に、第１の位置ずれ検出手段によって第１のディスク所
定の保持位置からの位置ずれを検出して、この第１のデ
ィスクが密着位置に移動したとき、第１及び第２の各デ
ィスクの位置ずれ量及び位置ずれ方向に対応して第２の
ディスクをＸＹ軸移動手段により移動させ、その中心位
置を第１の中心位置に一致させるので、両ディスクは中
心位置で一致させた状態で密着させることができる。More specifically, an intermittent rotating means provided with a plurality of holding means at equal intervals around a rotary table is intermittently rotated in one direction to sequentially stop each holding means at a predetermined position.
The first disk is held by the holding means stopped at the holding position, the first disk is moved to the close contact position, and is opposed to the second disk disposed at the close contact position. A method for positioning a disk in which both disks are brought into close contact by moving a second disk in the direction of the first disk by means of a Z-axis moving means so that the second disk is moved in the same direction as the moving direction by the Z-axis moving means. Holding on XY-axis moving means moving in orthogonal X-axis and Y-axis directions, mounting the XY-axis moving means on Z-axis moving means,
The displacement of the second disk from the predetermined holding position is
At a given stop position from the holding position to the close contact position, a first position shift detecting means detects a position shift of the first disk from a predetermined holding position. When the first disk is moved to the close contact position, the ZY axis is changed in accordance with the amount of displacement and the direction of displacement of each of the first and second discs detected by the first and second displacement detectors. After controlling the moving means to match the center positions of the first disk and the second disk, the Z-axis moving means moves the second disk in the direction of the first disk. The second discrepancy detecting means detects the displacement of the second disk from the predetermined holding position, and the first misregistration detecting means detects the first disc from the predetermined holding position. When the first disc is moved to the close contact position by detecting the displacement, the second disc is moved by the XY axis moving means in accordance with the displacement amount and the displacement direction of each of the first and second discs. Since the disk is moved so that its center position coincides with the first center position, both disks can be brought into close contact with each other at the center position.
【００１２】また、本願の第３発明は、円周上の保持位
置で保持手段によって保持された第１のディスクを間欠
回転運動により順次円周上の停止位置に停止させた後、
円周上の密着位置に移動させて密着位置に配設された第
２のディスクに対面配置し、両ディスクの中心位置を一
致させ、第２のディスクを第１のディスク方向に移動さ
せて両ディスクを密着させるディスクの位置決め方法で
あって、前記第２のディスクの所定の保持位置からの位
置ずれを検出し、前記保持位置から密着位置に至る任意
の停止位置において、前記第１のディスクの所定の保持
位置からの位置ずれを検出すると共に、前記保持手段の
停止位置の位置ずれを検出し、第２のディスクの位置ず
れ量及び位置ずれ方向と、第１のディスクの位置ずれ量
及び位置ずれ方向と、保持手段の位置ずれ量及び位置ず
れ方向とに応じて第２のディスクをその移動方向と直交
する面内で移動させ、第１のディスクと第２のディスク
との中心位置を一致させた後、第２のディスクを第１の
ディスク方向に移動させることを特徴とするもので、第
１のディスクの任意の停止位置における所定の保持位置
からの位置ずれと、保持手段の停止位置の所定位置から
の位置ずれと、第２のディスクの所定の保持位置からの
位置ずれとを検出して、この第１のディスクが密着位置
に移動したとき、各位置ずれの位置ずれ量及び位置ずれ
方向に対応して第２のディスクをその移動方向と直交す
る面内で移動させると、第２のディスクの中心位置を第
１の中心位置に一致させることができるので、両ディス
クを中心位置で一致させた状態で密着させることができ
る。Further, the third invention of the present application is characterized in that after the first disks held by the holding means at the holding positions on the circumference are sequentially stopped at the stop positions on the circumference by intermittent rotation,
The disk is moved to the close contact position on the circumference, is arranged facing the second disk disposed at the close contact position, the center positions of both disks are matched, and the second disk is moved in the direction of the first disk so that A method of positioning a disc for bringing a disc into close contact with each other, wherein a displacement of the second disc from a predetermined holding position is detected, and at any stop position from the holding position to the contact position, the first disc is positioned. A positional deviation from a predetermined holding position is detected, and a positional deviation of the stop position of the holding unit is detected, and a positional deviation amount and a positional deviation direction of the second disk, and a positional deviation amount and a position of the first disk are detected. The second disk is moved in a plane perpendicular to the moving direction according to the direction of the shift, the amount of shift of the holding means and the direction of the shift, and the center position between the first disk and the second disk is shifted by one. The second disk is moved in the direction of the first disk after the first disk is moved, and the first disk is displaced from a predetermined holding position at an arbitrary stop position, and the stop position of the holding means is changed. When the first disk is moved to the close contact position, the amount of misalignment and the amount of misalignment of each misalignment are detected. When the second disk is moved in a plane orthogonal to the moving direction in accordance with the direction of displacement, the center position of the second disk can be made to coincide with the first center position. Can be brought into close contact with each other.
【００１３】より具体的には、回転テーブルの周囲に等
間隔に複数の保持手段を設けた間欠回転手段を一方向に
間欠回転させて各保持手段を順次所定位置に停止させ、
保持位置に停止した保持手段により第１のディスクを保
持し、この第１のディスクを密着位置に移動させて密着
位置に配設された第２のディスクに対面配置し、両ディ
スクの中心位置を一致させてＺ軸移動手段により第２の
ディスクを第１のディスク方向に移動させて両ディスク
を密着させるディスクの位置決め方法であって、前記第
２のディスクを前記Ｚ軸移動手段による移動方向と直交
するＸ軸及びＹ軸方向に移動するＸＹ軸移動手段上に保
持し、このＸＹ軸移動手段をＺ軸移動手段上に搭載し、
第２のディスクの所定の保持位置からの位置ずれを第２
の位置ずれ検出手段によって検出し、前記保持位置から
密着位置に至る任意の停止位置において、前記第１のデ
ィスクの所定の保持位置からの位置ずれを第１の位置ず
れ検出手段により検出すると共に、前記保持手段の停止
位置の位置ずれを第３の位置ずれ検出手段により検出
し、前記第２の位置ずれ検出手段によって検出された第
２のディスクの位置ずれ量及び位置ずれ方向と、前記第
１の位置ずれ検出手段によって検出された第１のディス
クの位置ずれ量及び位置ずれ方向と、前記第３の位置ず
れ検出手段によって検出された保持手段の位置ずれ量及
び位置ずれ方向とに応じて前記ＸＹ軸移動手段を制御し
て第１のディスクと第２のディスクとの中心位置を一致
させた後、Ｚ軸移動手段により第２のディスクを第１の
ディスク方向に移動させることを特徴として構成でき、
第１の位置ずれ検出手段による第１のディスクの所定の
保持位置からの位置ずれと、第３の位置ずれ検出手段に
よる保持手段の停止位置の所定位置からの位置ずれと、
第２の位置ずれ検出手段による第２のディスクの所定の
保持位置からの位置ずれとを検出して、各位置ずれの位
置ずれ量及び位置ずれ方向に対応して第２のディスクを
ＸＹ軸移動手段により移動させると、第２のディスクの
中心位置を第１の中心位置に一致させることができるの
で、両ディスクを中心位置で一致させた状態で密着させ
ることができる。More specifically, an intermittent rotating means provided with a plurality of holding means at equal intervals around a rotary table is intermittently rotated in one direction to sequentially stop each holding means at a predetermined position.
The first disk is held by the holding means stopped at the holding position, the first disk is moved to the close contact position, and is opposed to the second disk disposed at the close contact position. A method for positioning a disk in which both disks are brought into close contact by moving a second disk in the direction of the first disk by means of a Z-axis moving means so that the second disk is moved in the same direction as the moving direction by the Z-axis moving means. Holding on XY-axis moving means moving in orthogonal X-axis and Y-axis directions, mounting the XY-axis moving means on Z-axis moving means,
The displacement of the second disk from the predetermined holding position is
At a given stop position from the holding position to the close contact position, wherein the first disk detects a position shift from a predetermined holding position by the first position shift detecting means, A displacement of the stop position of the holding means is detected by a third displacement detection means, and a displacement amount and a displacement direction of the second disk detected by the second displacement detection means are determined by the first displacement detection means. In accordance with the positional deviation amount and the positional deviation direction of the first disk detected by the positional deviation detecting means, and the positional deviation amount and the positional deviation direction of the holding means detected by the third positional deviation detecting means. After controlling the XY-axis moving means to match the center positions of the first disk and the second disk, the Z-axis moving means moves the second disk in the direction of the first disk. To be configured as characterized in that,
A positional deviation of the first disk from the predetermined holding position by the first positional deviation detecting means, a positional deviation of the stop position of the holding means from the predetermined position by the third positional deviation detecting means,
The second displacement detecting means detects displacement of the second disc from a predetermined holding position, and moves the second disc in the XY-axis corresponding to the displacement amount and the displacement direction of each displacement. When moved by the means, the center position of the second disk can be matched with the first center position, so that both disks can be brought into close contact with the center position.
【００１４】また、本願の第４発明は、ディスクの中心
位置を中心とする円形の中心穴が形成された第１のディ
スクと、中心位置に穴の無い第２のディスクとをそれぞ
れの中心位置を一致させて対向配置し、第２のディスク
をＺ軸移動手段により第１のディスク方向に移動させて
両ディスクを密着させるディスクの位置決め方法であっ
て、前記第１のディスクの一方面側に配置した光源と他
方面側に配置したリニアフォトセンサとを９０度回動さ
せた前後の各位置で前記中心穴を透過した光源からの光
をリニアフォトセンサで検出して、第１のディスクの位
置ずれ量及び位置ずれ方向を検出し、検出された位置ず
れ量及び位置ずれ方向に応じて前記第２のディスクをそ
の移動方向と直交する面内で移動させ、第１のディスク
の中心穴の中心に第２のディスクの中心を一致させるこ
とを特徴とするもので、第１のディスクの中心穴を透過
した光を少なくとも９０度の角度方向でリニアフォトセ
ンサによって検出することにより、第１のディスクの保
持手段による保持位置の位置ずれ方向及び位置ずれ量が
算出できるので、この位置ずれ方向及び位置ずれ量に応
じて第２のディスクをその移動方向と直交する面内で移
動させることにより、第１のディスクと第２のディスク
とは中心位置を一致させて位置決めすることができる。[0014] The fourth invention of the present application provides a first disk having a circular center hole centered on the center position of the disk and a second disk having no hole at the center position. And a second disk is moved in the direction of the first disk by the Z-axis moving means to bring both disks into close contact with each other, wherein the first disk is disposed on one surface side of the first disk. At each position before and after rotating the arranged light source and the linear photo sensor arranged on the other surface side by 90 degrees, light from the light source transmitted through the center hole is detected by the linear photo sensor, and the first disc is detected. A position shift amount and a position shift direction are detected, and the second disk is moved in a plane orthogonal to the moving direction according to the detected position shift amount and the position shift direction, and a center hole of the first disk is formed. at the center The center of the second disk is made coincident, and the light transmitted through the center hole of the first disk is detected by a linear photo sensor at least in an angle direction of 90 degrees, thereby holding the first disk. The displacement direction and the displacement amount of the holding position by the means can be calculated. By moving the second disk in a plane orthogonal to the moving direction according to the displacement direction and the displacement amount, the first displacement can be calculated. The disk and the second disk can be positioned with their center positions aligned.
【００１５】また、本願の第５発明は、ディスクの中心
位置を中心とする円形の中心穴が形成された第１のディ
スクと、中心位置に穴の無い第２のディスクとをそれぞ
れの中心位置を一致させて対向配置し、第２のディスク
を第１のディスク方向に移動させて両ディスクを密着さ
せるディスクの位置決め方法であって、前記第１のディ
スクの中心穴の円周位置を中心軸回りに回転する変位セ
ンサによって測定して第１のディスクの位置ずれ量及び
位置ずれ方向を検出し、検出された位置ずれ量及び位置
ずれ方向に応じて前記第２のディスクをその移動方向と
直交する面内で移動させ、第１のディスクの中心穴の中
心に第２のディスクの中心を一致させることを特徴とす
るもので、変位センサにより第１のディスクの中心穴の
円周位置が測定されるので、その中心が保持手段の中心
軸から位置ずれしている位置ずれ量及び位置ずれ方向が
検出でき、この位置ずれ方向及び位置ずれ量に応じて第
２のディスクをその移動方向と直交する面内で移動させ
ることにより、第１のディスクと第２のディスクとは中
心位置を一致させて位置決めすることができる。According to a fifth aspect of the present invention, a first disk having a circular center hole centered on the center position of the disk and a second disk having no hole at the center position are provided at the respective center positions. Are arranged so as to be opposed to each other, and the second disk is moved in the direction of the first disk to bring both disks into close contact with each other, wherein the circumferential position of the center hole of the first disk is defined as the central axis. The displacement amount and the displacement direction of the first disk are detected by measuring the displacement sensor rotating around, and the second disk is perpendicular to the moving direction according to the detected displacement amount and the displacement direction. The center of the second disc is made to coincide with the center of the center of the first disc. The displacement sensor measures the circumferential position of the center of the first disc. Sa Therefore, the amount of displacement and the direction of displacement, the center of which is displaced from the center axis of the holding means, can be detected, and the second disk is perpendicular to the moving direction according to the direction of displacement and the amount of displacement. By moving in the plane, the first disk and the second disk can be positioned so that their center positions coincide.
【００１６】また、本願の第６発明は、回転テーブルの
周囲に等間隔に複数の保持手段を設けた間欠回転手段を
一方向に間欠回転させて各保持手段を順次所定位置に停
止させ、保持位置に停止した保持手段により第１のディ
スクを保持し、この第１のディスクを密着位置に移動さ
せて密着位置に配設された第２のディスクに対面配置
し、両ディスクの中心位置を一致させ、第２のディスク
を第１のディスク方向に移動させて両ディスクを密着さ
せるディスクの位置決め方法であって、前記保持手段が
前記中心穴の直径より大きな内径を有する円筒状に形成
され、前記保持位置から密着位置に至るまでの任意の第
１の停止位置及び第２の停止位置において、第１のディ
スクの一方面側に配置した光源と他方面側に配置したリ
ニアフォトセンサとにより、中心穴を透過した光源から
の光を第１の停止位置と第２の停止位置とで９０度異な
るラインでリニアフォトセンサによって検出し、第１の
ディスクの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出し、検出
された位置ずれ量及び位置ずれ方向に応じて前記第２の
ディスクをその移動方向と直交する面内で移動させ、第
１のディスクの中心穴の中心に第２のディスクの中心を
一致させることを特徴とするもので、任意の第１の停止
位置及び第２の停止位置において、第１のディスクの中
心穴を透過した光を９０度異なる方向でリニアフォトセ
ンサによって検出することにより、第１のディスクの保
持手段による保持位置の位置ずれ方向及び位置ずれ量が
算出できるので、この位置ずれ方向及び位置ずれ量に応
じて第２のディスクをその移動方向と直交する面内で移
動させることにより、第１のディスクと第２のディスク
とは中心位置を一致させて位置決めすることができる。According to a sixth aspect of the present invention, an intermittent rotating means provided with a plurality of holding means at equal intervals around a rotary table is intermittently rotated in one direction to sequentially stop each holding means at a predetermined position. The first disk is held by the holding means stopped at the position, the first disk is moved to the contact position, and the first disk is placed facing the second disk disposed at the contact position, and the center positions of both disks coincide with each other. A method of positioning a disk in which the second disk is moved in the direction of the first disk to bring the two disks into close contact with each other, wherein the holding means is formed in a cylindrical shape having an inner diameter larger than the diameter of the center hole; At an arbitrary first stop position and second stop position from the holding position to the close contact position, a light source disposed on one side of the first disk and a linear photo sensor disposed on the other side of the first disk Accordingly, the light from the light source transmitted through the center hole is detected by a linear photo sensor at a line which is different from the first stop position by 90 degrees between the first stop position and the second stop position, and the displacement amount and displacement direction of the first disk are determined. The second disk is moved in a plane perpendicular to the direction of movement of the second disk in accordance with the detected amount of displacement and the detected direction of displacement, and the center of the center hole of the first disk is moved to the center of the second disk. Detecting the light transmitted through the center hole of the first disc by a linear photo sensor in directions different by 90 degrees at an arbitrary first stop position and an arbitrary second stop position. Thus, the direction and the amount of positional shift of the holding position of the first disk by the holding means can be calculated, so that the second disk is moved in the moving direction according to the direction and amount of positional shift. By moving in interlinked that plane, the first disk and the second disk can be positioned to match the center position.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施形態について説明し、本発明の理解に供する。
尚、以下に示す実施形態は本発明を具体化した一例であ
って、本発明の技術的範囲を限定するものではない。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings to provide an understanding of the present invention.
The embodiment described below is an example embodying the present invention, and does not limit the technical scope of the present invention.
【００１８】以下に示す各実施形態は、マスターディス
ク（第２のディスク）２にワークディスク（第１のディ
スク）１をそれぞれの中心位置を一致させて密着する例
を示すもので、光ディスクや磁気ディスクの製造工程に
おいて多く必要とされる２枚のディスクを密着させる工
程に適用することができる。Each of the embodiments described below shows an example in which a work disk (first disk) 1 is brought into close contact with a master disk (second disk) 2 with their respective center positions coincident with each other. The present invention can be applied to a process of closely adhering two disks, which is often required in a disk manufacturing process.
【００１９】図１は、第１の実施形態に係るディスクの
位置決め方法を適用した装置構成を示すもので、マスタ
ーディスク２は、ＸＹ軸移動手段５に取り付けられた保
持具３に保持され、前記ＸＹ軸移動手段５はＺ軸移動手
段４上に搭載されている。従って、マスターディスク２
はＺ軸方向への移動に加えて、Ｚ軸に直交するＸＹ軸方
向への移動が可能である。このマスターディスク２に対
して、ステージ（保持手段）６に吸引保持されたワーク
ディスク１を対面配置する。FIG. 1 shows an apparatus configuration to which the disk positioning method according to the first embodiment is applied. The master disk 2 is held by a holder 3 attached to an XY-axis moving means 5, and The XY axis moving means 5 is mounted on the Z axis moving means 4. Therefore, master disk 2
Can move in the XY-axis directions orthogonal to the Z-axis in addition to the movement in the Z-axis direction. The work disk 1 sucked and held by the stage (holding means) 6 is placed facing the master disk 2.
【００２０】前記マスターディスク２の中心位置には予
め中心マーク１０が付与される。また、前記ワークディ
スク１はその中心位置を中心とする中心穴９が形成され
ている。前記ステージ６は中心穴９を通してマスターデ
ィスク２が見通せるように、その中央部に貫通穴１１が
形成されている。マスターディスク２と対面する位置に
配置されたワークディスク１に対し、図示するようにＣ
ＣＤカメラ７により、ステージ６の貫通穴１１及びワー
クディスク１の中心穴９を通してマスターディスク２の
中心マーク１０を撮像する。この撮像画像から中心穴９
に対する中心マーク１０の位置を検出し、中心穴９の中
心と中心マーク１０との間の位置ずれ量と位置ずれ方向
とを算出する。算出された位置ずれ量及び位置ずれ方向
は位置補正制御部８に入力されるので、位置補正制御部
８は位置ずれ量及び位置ずれ方向に基づいて前記ＸＹ軸
移動手段５を制御する。ＸＹ軸移動手段５の動作により
マスターディスク２は位置ずれ方向に位置ずれ量だけ移
動するので、中心穴９の中心に中心マーク１０が位置す
る状態となる。A center mark 10 is previously provided at the center position of the master disk 2. Further, the work disk 1 has a center hole 9 centered on the center position. The stage 6 has a through hole 11 formed at the center thereof so that the master disk 2 can be seen through the center hole 9. With respect to the work disk 1 arranged at a position facing the master disk 2, as shown in FIG.
The center mark 10 of the master disk 2 is imaged by the CD camera 7 through the through hole 11 of the stage 6 and the center hole 9 of the work disk 1. From this captured image, the center hole 9
, The position of the center mark 10 with respect to the center mark 9 and the position shift amount and the position shift direction between the center of the center hole 9 and the center mark 10 are calculated. Since the calculated position shift amount and position shift direction are input to the position correction control unit 8, the position correction control unit 8 controls the XY axis moving unit 5 based on the position shift amount and the position shift direction. Since the master disk 2 is moved by the amount of displacement in the displacement direction by the operation of the XY-axis moving means 5, the center mark 10 is located at the center of the center hole 9.
【００２１】この制御動作により、保持具３によるマス
ターディスク２の保持位置のずれ、あるいはステージ６
によるワークディスク１の保持位置のずれが発生したと
きにも、それらの位置ずれは補正され、ワークディスク
１の中心をマスターディスク２の中心に一致させること
ができる。この中心位置を一致させる補正動作の後、Ｚ
軸移動手段４によりマスターディスク２をワークディス
ク１の方向に移動させることにより両ディスクは中心を
一致させた状態に密着させることができる。By this control operation, the displacement of the holding position of the master disk 2 by the holder 3 or the stage 6
When the displacement of the holding position of the work disk 1 occurs, the positional deviation is corrected, and the center of the work disk 1 can be made to coincide with the center of the master disk 2. After the correction operation for matching the center positions, Z
By moving the master disk 2 in the direction of the work disk 1 by the shaft moving means 4, the two disks can be brought into close contact with the center aligned.
【００２２】図２は、第２の実施形態に係るディスクの
位置決め方法を適用した装置構成を示すもので、ワーク
ディスク１を間欠回転手段２８により順次マスターディ
スク２との密着位置に移動させ、作業効率を向上させる
ように構成されている。FIG. 2 shows an apparatus configuration to which the disk positioning method according to the second embodiment is applied. The work disk 1 is sequentially moved to a close contact position with the master disk 2 by an intermittent rotating means 28 to perform a work. It is configured to improve efficiency.
【００２３】前記間欠回転手段２８は、その周囲に複数
（ここでは４本）のアーム２９が等間隔に取り付けら
れ、各アーム２９の先端には保持手段２０がそれぞれ配
設され、各保持手段２０を所定の停止位置に停止させ、
アーム２９の配設間隔で間欠回転する。各停止位置Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄは、例えばワークディスクセット、クリーニ
ング、初期化、マスターディスク密着のように設定し、
停止位置毎に所定の工程が実施される。停止位置Ａにお
いて保持手段２０にワークディスク１が保持され、この
ワークディスク１が停止位置Ｂ、停止位置Ｃを経て停止
位置Ｄに移動したとき、ワークディスク１にマスターデ
ィスク２を密着させる工程が実施される。マスターディ
スク２は、第１の実施形態の構成と同様に、Ｚ軸移動手
段４上にＸＹ軸移動手段５が搭載され、このＸＹ軸移動
手段５に取り付けられた保持具３に保持されているの
で、Ｘ−Ｙ−Ｚの各軸方向への移動が可能である。The intermittent rotation means 28 has a plurality (four in this case) of arms 29 attached at equal intervals around the periphery thereof, and holding means 20 provided at the tip of each arm 29, respectively. To a predetermined stop position,
It rotates intermittently at the interval between the arms 29. Each stop position A,
B, C, and D are set as, for example, work disk set, cleaning, initialization, and master disk contact,
A predetermined process is performed for each stop position. The work disk 1 is held by the holding means 20 at the stop position A, and when the work disk 1 moves to the stop position D via the stop position B and the stop position C, a step of bringing the master disk 2 into close contact with the work disk 1 is performed. Is done. The XY-axis moving unit 5 is mounted on the Z-axis moving unit 4, and the master disk 2 is held by the holder 3 attached to the XY-axis moving unit 5, similarly to the configuration of the first embodiment. Therefore, it is possible to move XYZ in each axis direction.
【００２４】この構成においても、保持具３によるマス
ターディスク２の保持位置の位置ずれ、保持手段２０に
よるワークディスク１の保持位置の位置ずれが発生する
恐れがある。そこで、本実施形態においては、マスター
ディスク２の所定の保持位置からの位置ずれを図示しな
い第２の位置ずれ検出手段により検出する。更に、停止
位置Ａにおいて保持手段２０に保持されたワークディス
ク１が停止位置Ｄに移動するまでの任意位置において所
定の保持位置からの位置ずれを検出する。ここでは停止
位置Ｂに移動したワークディスク１に対し、測長器２５
により位置検出を行う。停止位置ＢにおいてＸＹ軸方向
からワークディスク１の位置を測長器２５により測定
し、所定の保持位置に保持されている状態からの位置ず
れ量及び位置ずれ方向を検出する。Also in this configuration, there is a possibility that the positional deviation of the holding position of the master disk 2 by the holder 3 and the positional deviation of the holding position of the work disk 1 by the holding means 20 may occur. Therefore, in the present embodiment, the displacement of the master disk 2 from the predetermined holding position is detected by a second displacement detection unit (not shown). Further, a positional deviation from a predetermined holding position is detected at an arbitrary position until the work disk 1 held by the holding means 20 at the stopping position A moves to the stopping position D. Here, the work disc 1 moved to the stop position B is
To perform position detection. At the stop position B, the position of the work disk 1 is measured from the XY axis directions by the length measuring device 25, and the amount of displacement and the direction of displacement from the state where the work disk 1 is held at the predetermined holding position are detected.
【００２５】前記第２の位置ずれ検出手段によるマスタ
ーディスク２の所定位置からの位置ずれ量及び位置ずれ
方向と、測長器２５によるワークディスク１の位置ずれ
量及び位置ずれ方向とは位置補正制御部２６に入力され
るので、停止位置Ｂで保持位置検出されたワークディス
ク１が停止位置Ｄに移動したとき、位置補正制御部２６
は位置ずれ量及び位置ずれ方向に基づいて前記ＸＹ軸移
動手段５を制御する。The positional deviation amount and the positional deviation direction of the master disk 2 from the predetermined position by the second positional deviation detecting means and the positional deviation amount and the positional deviation direction of the work disk 1 by the length measuring device 25 are position correction control. When the work disk 1 whose holding position is detected at the stop position B moves to the stop position D, the position correction control unit 26
Controls the XY-axis moving means 5 based on the position shift amount and the position shift direction.
【００２６】いま、マスターディスク２の位置誤差をｄ
Ｘ２、ｄＹ２とし、ワークディスク１の位置誤差をｄＸ
１、ｄＹ１とすると、位置補正制御部２６はＸ−Ｙ方向
の補正量ΔＸ、ΔＹを下式のように演算し、この補正量
によりＸＹ軸移動手段５を駆動制御する。Now, let the position error of the master disk 2 be d
X2 and dY2, and the position error of the work disk 1 is dX
Assuming that 1, dY1, the position correction control unit 26 calculates the correction amounts ΔX and ΔY in the XY directions as in the following equation, and controls the driving of the XY axis moving means 5 based on the correction amounts.
【００２７】ΔＸ＝ｄＸ２−ｄＸ１ ΔＹ＝ｄＹ２−ｄＹ１ この制御動作によりＸＹ軸移動手段５はマスターディス
ク２をΔＸ、ΔＹだけ移動させるので、ワークディスク
１の中心位置とマスターディスク２の中心位置とを一致
させることができ、この制御動作の後にＺ軸移動手段４
によりマスターディスク２をＺ軸方向に移動させると、
中心位置を一致させてワークディスク１にワークディス
ク２を密着させることができる。ΔX = dX2−dX1 ΔY = dY2−dY1 By this control operation, the XY-axis moving means 5 moves the master disk 2 by ΔX and ΔY, so that the center position of the work disk 1 and the center position of the master disk 2 are determined. After this control operation, the Z-axis moving means 4
When the master disk 2 is moved in the Z-axis direction by
The work disk 2 can be brought into close contact with the work disk 1 by aligning the center positions.
【００２８】上記のように間欠回転手段２８を用いて順
次ワークディスク１をマスターディスク２に密着させる
ようにすると作業効率が向上する。しかし、間欠回転手
段２８の間欠回転の角度を精度よく維持する必要があ
り、各停止位置Ａ〜Ｄでの停止位置に誤差が生じるとワ
ークディスク１とマスターディスク２との密着位置に位
置ずれが生じることになる。これを解決する構成を第３
の実施形態として以下に説明する。If the work disks 1 are sequentially brought into close contact with the master disk 2 by using the intermittent rotation means 28 as described above, the work efficiency is improved. However, it is necessary to maintain the angle of the intermittent rotation of the intermittent rotation means 28 with high accuracy. Will happen. The third solution is to solve this problem.
An embodiment will be described below.
【００２９】図３は、第３の実施形態に係る位置決め方
法を適用した装置構成を示すもので、上記第２の実施形
態に示した構成に加えて、間欠回転手段２８の停止位置
における位置ずれを補正することができるように構成し
たものである。FIG. 3 shows an apparatus configuration to which the positioning method according to the third embodiment is applied. In addition to the configuration shown in the second embodiment, the position shift of the intermittent rotation means 28 at the stop position is shown. Is configured to be able to be corrected.
【００３０】間欠回転手段２８の停止位置Ｂ及び停止位
置Ｄに移動したアーム２９に対して第１及び第２の各測
長器３０ａ、３０ｂにより停止位置Ｂ、Ｄでの位置ずれ
が検出される。この位置ずれ検出は、Ｘ軸方向（回転方
向）とＹ軸方向（回転軸方向）とで行うとより精密な位
置ずれ検出が可能であるが、Ｙ軸方向の誤差は少ないの
で、ここではＸ軸方向の位置ずれのみを検出している。
更に、先の実施形態と同様に停止位置Ｂにおけるワーク
ディスク１の保持手段２０により所定の保持位置からの
位置ずれが第３の測長器２５によって検出される。The first and second length measuring devices 30a and 30b detect the displacement of the arm 29 moved to the stop position B and the stop position D of the intermittent rotation means 28 at the stop positions B and D. . If this displacement detection is performed in the X-axis direction (rotation direction) and in the Y-axis direction (rotation axis direction), more precise displacement detection can be performed. However, since there is little error in the Y-axis direction, X Only the axial displacement is detected.
Further, similarly to the previous embodiment, the position deviation from the predetermined holding position by the holding means 20 of the work disk 1 at the stop position B is detected by the third length measuring device 25.
【００３１】停止位置Ｂにおいて第１の測長器３０ａに
より検出されたＸ軸方向の停止位置誤差をｄＸ３、停止
位置Ｄにおいて第２の測長器３０ｂにより検出されたＸ
軸方向の停止位置誤差をｄＸ４、停止位置Ｂにおいて第
３の測長器２５により検出されたワークディスク１の保
持位置の位置誤差をｄＸ２、ｄＹ２、マスターディスク
２の保持具３による保持位置の位置誤差をｄＸ１、ｄＹ
１とすると、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の位置ずれの補正量
ΔＸ、ΔＹは下式により演算できる。尚、各検出値は間
欠回転手段２８が回転移動して停止する毎に検出される
が、ｄＸ１、ｄＹ１、ｄＸ３の値は２回前のものを用い
て演算される。The stop position error in the X-axis direction detected by the first length measuring device 30a at the stop position B is dX3, and the X position error detected by the second length measuring device 30b at the stop position D is X.
The stop position error in the axial direction is dX4, the position error of the holding position of the work disk 1 detected by the third length measuring device 25 at the stop position B is dX2, dY2, and the position of the holding position of the master disk 2 by the holder 3. Error is dX1, dY
If it is set to 1, the correction amounts ΔX and ΔY of the displacement in the X-axis direction and the Y-axis direction can be calculated by the following equations. Each detection value is detected each time the intermittent rotation means 28 rotates and stops, but the values of dX1, dY1, and dX3 are calculated using the values two times earlier.
【００３２】ΔＸ＝ｄＸ１−ｄＸ２＋ｄＸ３−ｄＸ４ ΔＹ＝ｄＹ１−ｄＹ２ 位置補正制御部２７は、この補正量ΔＸ、ΔＹを演算し
て、この値によりＸＹ移動手段５を制御するので、マス
ターディスク２の中心位置は停止位置Ｄに停止したワー
クディスク１の中心位置に一致する。この後、Ｚ軸移動
手段４によりマスターディスク２をＺ軸方向に移動させ
ると、ワークディスク１とマスターディスク２とは中心
位置を一致させて密着する。ΔX = dX1−dX2 + dX3−dX4 ΔY = dY1−dY2 The position correction control unit 27 calculates the correction amounts ΔX and ΔY and controls the XY moving means 5 based on these values. The position coincides with the center position of the work disk 1 stopped at the stop position D. Thereafter, when the master disk 2 is moved in the Z-axis direction by the Z-axis moving means 4, the work disk 1 and the master disk 2 are brought into close contact with the center positions thereof being aligned.
【００３３】次に、第４の実施形態に係るディスクの位
置決め方法について図６を参照して説明する。本実施形
態の構成は、第１の実施形態（図１参照）で示したステ
ージ６（保持手段）に保持されたワークディスク１の保
持位置の位置ずれを検出する別態様を示すものである。Next, a method for positioning a disk according to a fourth embodiment will be described with reference to FIG. The configuration of the present embodiment shows another mode of detecting a displacement of the holding position of the work disk 1 held by the stage 6 (holding unit) shown in the first embodiment (see FIG. 1).
【００３４】図６において、ワークディスク１を真空吸
引によって保持したステージ６は、光源３６とリニアフ
ォトセンサ３７とが対向配置された間に配置される。光
源３６とリニアフォトセンサ３７とは連結され、モータ
３９により回動できるように構成されている。また、光
源３６は円筒状に光を放射させてもよいが、リニアフォ
トセンサ３７のライン方向に帯状の光を放射するように
構成するのが好適である。In FIG. 6, the stage 6 holding the work disk 1 by vacuum suction is disposed while the light source 36 and the linear photo sensor 37 are disposed to face each other. The light source 36 and the linear photo sensor 37 are connected to each other, and are configured to be rotatable by a motor 39. In addition, the light source 36 may emit light in a cylindrical shape, but it is preferable that the light source 36 emits light in a band in the line direction of the linear photosensor 37.
【００３５】光源３６から放射された光は、ステージ６
に形成された貫通穴１１、ワークディスク１の中心穴９
を透過してリニアフォトセンサ３７で捕らえられるの
で、リニアフォトセンサ３７は中心穴９のＸ軸切断径と
その位置とを検出する。次に、光源３６及びリニアフォ
トセンサ３７をモータ３９によって９０度回動させ、中
心穴９を透過した光源３６からの光をリニアフォトセン
サ３７によって検出すると、中心穴９のＹ軸切断径とそ
の位置とが検出される。このＸ軸及びＹ軸方向に検出さ
れた切断径とその位置とから、中心穴９の中心位置を基
準としてステージ６に保持されたワークディスク１の保
持位置の位置ずれ方向及び位置ずれ量が算出できる。The light emitted from the light source 36 is transmitted to the stage 6
Through hole 11 formed in the center hole 9 of the work disk 1
And is captured by the linear photosensor 37, the linear photosensor 37 detects the X-axis cut diameter of the center hole 9 and its position. Next, the light source 36 and the linear photo sensor 37 are rotated by 90 degrees by the motor 39, and the light from the light source 36 transmitted through the center hole 9 is detected by the linear photo sensor 37. The position is detected. From the cutting diameters detected in the X-axis and Y-axis directions and their positions, the positional deviation direction and the positional deviation amount of the holding position of the work disk 1 held on the stage 6 are calculated based on the center position of the center hole 9. it can.
【００３６】ここで算出された位置ずれ方向及び位置ず
れ量に基づいて、図１に示した第１の実施形態の構成と
同様にＸＹ軸移動手段５が制御されるので、マスターデ
ィスク２の中心位置をワークディスク１の中心位置に一
致させることができ、マスターディスク２からワークデ
ィスク１に対する磁気転写等を正確に行うことができ
る。The XY-axis moving means 5 is controlled on the basis of the calculated displacement direction and displacement amount in the same manner as in the first embodiment shown in FIG. The position can be made coincident with the center position of the work disk 1, and magnetic transfer from the master disk 2 to the work disk 1 can be performed accurately.
【００３７】次に、第５の実施形態に係るディスクの位
置決め方法について、図７を参照して説明する。本実施
形態の構成は、第１の実施形態（図１参照）で示したス
テージ６（保持手段）に保持されたワークディスク１の
保持位置の位置ずれを検出する別態様を示すものであ
る。Next, a method for positioning a disk according to a fifth embodiment will be described with reference to FIG. The configuration of the present embodiment shows another mode of detecting a displacement of the holding position of the work disk 1 held by the stage 6 (holding unit) shown in the first embodiment (see FIG. 1).
【００３８】図７において、ワークディスク１を真空吸
引によって保持したステージ６は、マスターディスク２
と対面する位置に移動する以前に、図示するように位置
ずれ検出装置４５の配設位置に移動して位置決めされ、
ステージ６に保持されたワークディスク１の所定位置か
らの位置ずれが検出される。In FIG. 7, the stage 6 holding the work disk 1 by vacuum suction is the master disk 2
Before moving to the position facing the position, it is moved to the position where the displacement detection device 45 is disposed as shown in the drawing, and is positioned.
A displacement of the work disk 1 held on the stage 6 from a predetermined position is detected.
【００３９】位置ずれ検出装置４５は、レーザー変位計
４６のプローブ４７がモータ４８によりステージ６の中
心軸回りに回転するように構成されている。ステージ６
はプローブ４７の回転中心に中心軸が一致し、プローブ
４７の先端がワークディスク１の中心穴９内に入るよう
に位置決めされるので、モータ４８によりプローブ４７
を中心軸回りに回転させると、プローブ４７の先端と中
心穴９の内周部との間の変位が測定され、中心穴９の円
周位置が検出される。プローブ４７の先端からの変位が
一定であれば、中心穴９の中心がステージ６の中心軸と
一致していることになるが、変位が一定でない場合には
ステージ６によるワークディスク１の保持位置に位置ず
れが生じていることになる。ここで検出された中心穴９
の円周位置の中心とステージ６の中心軸との位置ずれか
ら位置ずれ量及び位置ずれ方向が算出される。The displacement detector 45 is configured such that the probe 47 of the laser displacement meter 46 is rotated around the center axis of the stage 6 by the motor 48. Stage 6
Is positioned so that the center axis coincides with the rotation center of the probe 47 and the tip of the probe 47 enters the center hole 9 of the work disk 1.
Is rotated about the center axis, the displacement between the tip of the probe 47 and the inner peripheral portion of the center hole 9 is measured, and the circumferential position of the center hole 9 is detected. If the displacement from the tip of the probe 47 is constant, the center of the center hole 9 coincides with the center axis of the stage 6, but if the displacement is not constant, the holding position of the work disk 1 by the stage 6 Is shifted. Center hole 9 detected here
From the positional deviation between the center of the circumferential position and the central axis of the stage 6, the positional deviation amount and the positional deviation direction are calculated.
【００４０】ここで算出された位置ずれ方向及び位置ず
れ量に基づいて、図１に示した第１の実施形態の構成と
同様にＸＹ軸移動手段５が制御されるので、マスターデ
ィスク２の中心位置をワークディスク１の中心位置に一
致させることができ、マスターディスク２からワークデ
ィスク１に対する磁気転写等を正確に行うことができ
る。The XY-axis moving means 5 is controlled on the basis of the calculated displacement direction and displacement amount in the same manner as in the first embodiment shown in FIG. The position can be made coincident with the center position of the work disk 1, and magnetic transfer from the master disk 2 to the work disk 1 can be performed accurately.
【００４１】次いで、第６の実施形態に係るディスクの
位置決め方法について図８を参照して説明する。本実施
形態の構成は、第２の実施形態（図２参照）で示した保
持手段２０に保持されたワークディスク１の保持位置の
位置ずれを検出する手段として、第４の実施形態に示し
た構成を適用したものである。Next, a method for positioning a disk according to a sixth embodiment will be described with reference to FIG. The configuration of the present embodiment is described in the fourth embodiment as a means for detecting a positional deviation of the holding position of the work disk 1 held by the holding means 20 shown in the second embodiment (see FIG. 2). The configuration is applied.
【００４２】図８において、間欠回転手段２８に９０度
の配置間隔で取り付けられた４本のアーム２９の先端に
設けられた保持手段２０は、間欠回転手段２８の９０度
毎の間欠回転により停止位置Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄに移動す
る。停止位置Ａにおいて保持手段２０はワークディスク
１を保持する。このワークディスク１が停止位置Ｂに移
動したとき、アーム２９に形成された開口部にＹ軸方向
をライン方向とする第１のライン光源３３が配設され、
保持手段２０及びこれに保持されたワークディスク１方
向に光を放射させる。停止位置ＢにはＹ軸方向をライン
方向とする第１のリニアフォトセンサ４１が配設され、
ワークディスク１の中心穴９を透過したライン光を検出
する。この第１のライン光源３３と第１のリニアフォト
センサ４１との構成は、先に説明した第４の実施形態の
構成と同様である。In FIG. 8, the holding means 20 provided at the tips of four arms 29 attached to the intermittent rotation means 28 at 90-degree intervals are stopped by the intermittent rotation of the intermittent rotation means 28 every 90 degrees. Move to positions A, B, C, D. At the stop position A, the holding means 20 holds the work disk 1. When the work disk 1 moves to the stop position B, a first line light source 33 having a line direction in the Y-axis direction is disposed in an opening formed in the arm 29,
Light is emitted in the direction of the holding means 20 and the work disk 1 held by the holding means 20. At the stop position B, a first linear photosensor 41 whose line direction is the Y-axis direction is provided.
The line light transmitted through the center hole 9 of the work disk 1 is detected. The configuration of the first line light source 33 and the first linear photosensor 41 is the same as the configuration of the above-described fourth embodiment.
【００４３】ワークディスク１が停止位置Ｃに移動する
と、アーム２９に形成された開口部にＺ軸方向をライン
方向とする第２のライン光源３４が配設され、保持手段
２０及びこれに保持されたワークディスク１方向に光を
放射させる。停止位置ＣにはＺ軸方向をライン方向とす
る第２のリニアフォトセンサ４２が配設され、ワークデ
ィスク１の中心穴９を透過したライン光を検出する。こ
の第２のライン光源３４と第２のリニアフォトセンサ４
２との構成も、先に説明した第４の実施形態の構成と同
様である。When the work disk 1 moves to the stop position C, a second line light source 34 having a line extending in the Z-axis direction is disposed in the opening formed in the arm 29, and is held by the holding means 20 and the holding means 20. Light is emitted in the direction of the work disk 1. A second linear photosensor 42 having a line direction in the Z-axis direction is disposed at the stop position C, and detects line light transmitted through the center hole 9 of the work disk 1. The second line light source 34 and the second linear photo sensor 4
The configuration 2 is also the same as the configuration of the fourth embodiment described above.
【００４４】停止位置Ｂ及び停止位置Ｃにおいて、ワー
クディスク１の中心穴９のＸ軸方向及びＺ軸方向の切断
径とその位置が検出されるので、Ｘ軸及びＺ軸方向に検
出された切断径とその位置からステージ６に保持された
ワークディスク１の保持位置の位置ずれ方向及び位置ず
れ量が算出できる。ここで算出された位置ずれ方向及び
位置ずれ量に基づいて、ＸＹ軸移動手段５が制御される
ので、ワークディスク１が停止位置Ｄに移動したとき、
マスターディスク２の中心位置をワークディスク１の中
心位置に一致させることができ、Ｚ軸移動手段４により
マスターディスク２をワークディスク１方向に移動させ
ると、中心位置を一致させてマスターディスク２をワー
クディスク１に密着させ、ワークディスク１に対する磁
気転写等を正確に行うことができる。At the stop position B and the stop position C, the cutting diameter and the position of the center hole 9 of the work disk 1 in the X-axis direction and the Z-axis direction are detected. From the diameter and the position, the direction and amount of displacement of the holding position of the work disk 1 held on the stage 6 can be calculated. Since the XY-axis moving means 5 is controlled based on the calculated displacement direction and displacement amount, when the work disk 1 moves to the stop position D,
The center position of the master disk 2 can be matched with the center position of the work disk 1. When the master disk 2 is moved in the direction of the work disk 1 by the Z-axis moving means 4, the center position is matched and the master disk 2 is moved. By closely adhering to the disk 1, magnetic transfer or the like to the work disk 1 can be performed accurately.
【００４５】[0045]
【発明の効果】以上の説明の通り本発明の位置決め方法
によれば、ワークディスクまたはマスターディスクに保
持位置の位置ずれが生じたときにも、マスターディスク
を保持するＸＹ移動手段によりマスターディスクの位置
をワークディスクの位置に合わせる位置補正の動作によ
り高精度の位置決めが維持される。As described above, according to the positioning method of the present invention, even when the holding position of the work disk or the master disk is shifted, the XY moving means for holding the master disk can move the position of the master disk. High-precision positioning is maintained by the position correcting operation for adjusting the position of the workpiece to the position of the work disk.
【図１】第１の実施形態に係る位置決め方法を適用した
装置構成を示す側面図。FIG. 1 is a side view showing an apparatus configuration to which a positioning method according to a first embodiment is applied.
【図２】第２の実施形態に係る位置決め方法を適用した
装置構成を示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing an apparatus configuration to which a positioning method according to a second embodiment is applied.
【図３】第３の実施形態に係る位置決め方法を適用した
装置構成を示す平面図。FIG. 3 is a plan view showing an apparatus configuration to which a positioning method according to a third embodiment is applied.
【図４】従来の位置決め装置の構成を示す側面図。FIG. 4 is a side view showing a configuration of a conventional positioning device.
【図５】従来の位置決め装置の構成を示す平面図。FIG. 5 is a plan view showing a configuration of a conventional positioning device.
【図６】第４の実施形態に係る位置決め方法を適用した
装置構成を示す断面図。FIG. 6 is a sectional view showing an apparatus configuration to which a positioning method according to a fourth embodiment is applied.
【図７】第５の実施形態に係る位置決め方法を適用した
装置構成を示す斜視図。FIG. 7 is a perspective view showing an apparatus configuration to which a positioning method according to a fifth embodiment is applied.
【図８】第６の実施形態に係る位置決め方法を適用した
装置構成を示す平面図。FIG. 8 is a plan view showing an apparatus configuration to which a positioning method according to a sixth embodiment is applied.
１ ワークディスク（第１のディスク） ２ マスターディスク（第２のディスク） ３ 保持具 ４ Ｚ軸移動手段 ５ ＸＹ軸移動手段 ６ ステージ ７ ＣＣＤカメラ ９ 中心穴 １０ 中心マーク ２０ 保持手段 ２８ 間欠回転手段 ２５、３０ａ、３０ｂ 測長器 ３３ 第１のライン光源 ３４ 第２のライン光源 ３６ 光源 ３７ リニアフォトセンサ ４１ 第１のリニアフォトセンサ ４２ 第２のリニアフォトセンサ ４５ レーザー変位計（変位センサ） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Work disk (1st disk) 2 Master disk (2nd disk) 3 Holder 4 Z axis moving means 5 XY axis moving means 6 Stage 7 CCD camera 9 Center hole 10 Center mark 20 Holding means 28 Intermittent rotation means 25 , 30a, 30b Length measuring device 33 First line light source 34 Second line light source 36 Light source 37 Linear photo sensor 41 First linear photo sensor 42 Second linear photo sensor 45 Laser displacement meter (displacement sensor)
Claims (6)
が形成された第１のディスクと、中心位置に中心マーク
を設けた第２のディスクとをそれぞれの中心位置を一致
させて対向配置し、第２のディスクを第１のディスク方
向に移動させて両ディスクを密着させるディスクの位置
決め方法であって、 前記第１のディスクの中心穴の中心と前記中心マークと
の位置ずれを検出し、検出された位置ずれ量及び位置ず
れ方向に応じて前記第２のディスクをその移動方向と直
交する面内で移動させ、その中心マークを第１のディス
クの中心穴の中心に一致させた後、第２のディスクを第
１のディスク方向に移動させることを特徴とするディス
クの位置決め方法。1. A first disk having a center hole formed around a center position of a disk and a second disk having a center mark provided at the center position are opposed to each other with their respective center positions coincident with each other. A method of positioning a disk in which a second disk is moved in a direction of a first disk to bring both disks into close contact with each other, wherein a positional deviation between a center of a center hole of the first disk and the center mark is detected; After moving the second disk in a plane orthogonal to the moving direction according to the detected positional deviation amount and the positional deviation direction, and aligning the center mark with the center of the center hole of the first disk, A method for positioning a disk, comprising: moving a second disk in a direction of the first disk.
ィスクを間欠回転運動により順次円周上の停止位置に停
止させた後、円周上の密着位置に移動させ、密着位置に
配設された第２のディスクに対面配置し、両ディスクの
中心位置を一致させて第２のディスクを第１のディスク
方向に移動させて両ディスクを密着させるディスクの位
置決め方法であって、 前記第２のディスクの所定の保持位置からの位置ずれを
検出し、前記保持位置から密着位置に至る任意の停止位
置において前記第１のディスクの所定の保持位置からの
位置ずれを検出し、この第１のディスクが密着位置に移
動したとき、検出された第１及び第２の各ディスクそれ
ぞれの位置ずれ量及び位置ずれ方向に応じて前記第２の
ディスクをその移動方向と直交する面内で移動させ、第
１のディスクと第２のディスクの中心位置を一致させた
後、第２のディスクを第１のディスク方向に移動させる
ことを特徴とするディスクの位置決め方法。2. The method according to claim 1, wherein the first disk held at the holding position on the circumference is sequentially stopped at a stop position on the circumference by intermittent rotation, and then moved to a close contact position on the circumference to move to the close position. A method of positioning a disk which is disposed facing a second disk provided, the centers of both disks are made to coincide with each other, and the second disk is moved in the direction of the first disk to bring both disks into close contact with each other. Detecting a displacement of the second disc from a predetermined holding position, detecting a displacement of the first disc from the predetermined holding position at an arbitrary stop position from the holding position to the close contact position, When the first disk is moved to the close contact position, the second disk is moved in a plane orthogonal to the moving direction according to the detected amount of displacement and the direction of displacement of each of the first and second disks. Let After matching the center position of the first and second disks, the disk positioning method, characterized in that moving the second disc in a first direction of the disc.
持された第１のディスクを間欠回転運動により順次円周
上の停止位置に停止させた後、円周上の密着位置に移動
させて密着位置に配設された第２のディスクに対面配置
し、両ディスクの中心位置を一致させ、第２のディスク
を第１のディスク方向に移動させて両ディスクを密着さ
せるディスクの位置決め方法であって、 前記第２のディスクの所定の保持位置からの位置ずれを
検出し、前記保持位置から密着位置に至る任意の停止位
置において、前記第１のディスクの所定の保持位置から
の位置ずれを検出すると共に、前記保持手段の停止位置
の位置ずれを検出し、 第２のディスクの位置ずれ量及び位置ずれ方向と、第１
のディスクの位置ずれ量及び位置ずれ方向と、保持手段
の位置ずれ量及び位置ずれ方向とに応じて第２のディス
クをその移動方向と直交する面内で移動させ、第１のデ
ィスクと第２のディスクとの中心位置を一致させた後、
第２のディスクを第１のディスク方向に移動させること
を特徴とするディスクの位置決め方法。3. The first disk held by the holding means at the holding position on the circumference is sequentially stopped at the stop position on the circumference by intermittent rotation, and then moved to the close contact position on the circumference. This is a disk positioning method in which the second disk disposed at the close contact position is disposed facing the second disk, the center positions of the two disks are matched, and the second disk is moved in the direction of the first disk to bring the two disks into close contact. Detecting a positional deviation of the second disk from a predetermined holding position, and detecting a positional deviation of the first disk from the predetermined holding position at an arbitrary stop position from the holding position to the close contact position. And detecting the positional deviation of the stop position of the holding means, and the positional deviation amount and the positional deviation direction of the second disk and the first disk.
The second disk is moved in a plane orthogonal to the moving direction according to the positional deviation amount and the positional deviation direction of the disk and the positional deviation amount and the positional deviation direction of the holding means, and the first disk and the second disk are moved. After matching the center position with the disc of
A method for positioning a disk, comprising: moving a second disk in a direction of the first disk.
中心穴が形成された第１のディスクと、中心位置に穴の
無い第２のディスクとをそれぞれの中心位置を一致させ
て対向配置し、第２のディスクをＺ軸移動手段により第
１のディスク方向に移動させて両ディスクを密着させる
ディスクの位置決め方法であって、 前記第１のディスクの一方面側に配置した光源と他方面
側に配置したリニアフォトセンサとを９０度回動させた
前後の各位置で前記中心穴を透過した光源からの光をリ
ニアフォトセンサで検出して、第１のディスクの位置ず
れ量及び位置ずれ方向を検出し、検出された位置ずれ量
及び位置ずれ方向に応じて前記第２のディスクをその移
動方向と直交する面内で移動させ、第１のディスクの中
心穴の中心に第２のディスクの中心を一致させることを
特徴とするディスクの位置決め方法。4. A first disk having a circular center hole centered on the center position of the disk and a second disk having no hole at the center position are opposed to each other so that their center positions match. A method of positioning a disk in which a second disk is moved in a direction of a first disk by a Z-axis moving means to bring both disks into close contact with each other, wherein a light source arranged on one surface of the first disk and a second surface The linear photo sensor detects the light from the light source transmitted through the center hole at each position before and after the linear photo sensor is rotated by 90 degrees with the linear photo sensor, and detects the displacement amount and the displacement direction of the first disk. Is detected, and the second disk is moved in a plane perpendicular to the direction of movement of the second disk in accordance with the detected amount of displacement and the direction of the displacement, and the center of the center hole of the first disk is moved to the center of the second disk. Center Disc positioning method which comprises bringing Itasa.
中心穴が形成された第１のディスクと、中心位置に穴の
無い第２のディスクとをそれぞれの中心位置を一致させ
て対向配置し、第２のディスクを第１のディスク方向に
移動させて両ディスクを密着させるディスクの位置決め
方法であって、 前記第１のディスクの中心穴の円周位置を中心軸回りに
回転する変位センサによって測定して第１のディスクの
位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出し、検出された位置
ずれ量及び位置ずれ方向に応じて前記第２のディスクを
その移動方向と直交する面内で移動させ、第１のディス
クの中心穴の中心に第２のディスクの中心を一致させる
ことを特徴とするディスクの位置決め方法。5. A first disk having a circular center hole centered on the center position of the disk and a second disk having no hole at the center position are opposed to each other so that their center positions match. A method of positioning a disk in which a second disk is moved in a direction of a first disk to bring both disks into close contact with each other, wherein a circumferential position of a center hole of the first disk is rotated around a central axis by a displacement sensor. Measuring and detecting the displacement amount and the displacement direction of the first disk, and moving the second disk in a plane orthogonal to the movement direction according to the detected displacement amount and the displacement direction, A method of positioning a disk, wherein the center of a center hole of a second disk is aligned with the center of a center hole of a first disk.
持手段を設けた間欠回転手段を一方向に間欠回転させて
各保持手段を順次所定位置に停止させ、保持位置に停止
した保持手段により第１のディスクを保持し、この第１
のディスクを密着位置に移動させて密着位置に配設され
た第２のディスクに対面配置し、両ディスクの中心位置
を一致させ、第２のディスクを第１のディスク方向に移
動させて両ディスクを密着させるディスクの位置決め方
法であって、 前記保持手段が前記中心穴の直径より大きな内径を有す
る円筒状に形成され、前記保持位置から密着位置に至る
までの任意の第１の停止位置及び第２の停止位置におい
て、第１のディスクの一方面側に配置した光源と他方面
側に配置したリニアフォトセンサとにより、中心穴を透
過した光源からの光を第１の停止位置と第２の停止位置
とで９０度異なるラインでリニアフォトセンサによって
検出し、第１のディスクの位置ずれ量及び位置ずれ方向
を検出し、検出された位置ずれ量及び位置ずれ方向に応
じて前記第２のディスクをその移動方向と直交する面内
で移動させ、第１のディスクの中心穴の中心に第２のデ
ィスクの中心を一致させることを特徴とするディスクの
位置決め方法。6. An intermittent rotating means provided with a plurality of holding means at equal intervals around a rotary table is intermittently rotated in one direction to sequentially stop each holding means at a predetermined position. Holds the first disk, this first disk
The second disk is moved to the close contact position, is disposed facing the second disk disposed at the close contact position, the center positions of both disks are matched, and the second disk is moved in the direction of the first disk, and both disks are moved. A method of positioning a disc for bringing the disc into close contact, wherein the holding means is formed in a cylindrical shape having an inner diameter larger than the diameter of the center hole, and an arbitrary first stop position and a second stop position from the holding position to the contact position. In the second stop position, the light from the light source transmitted through the center hole is transmitted to the first stop position and the second stop position by the light source disposed on one side of the first disk and the linear photosensor disposed on the other side. The linear photo sensor detects the line at a line that differs by 90 degrees from the stop position, detects the amount of displacement and the direction of the displacement of the first disk, and according to the detected amount of displacement and the direction of the displacement. A method of positioning a disk, comprising: moving the second disk in a plane perpendicular to the direction of movement of the second disk so that the center of the center hole of the first disk is aligned with the center of the second disk.
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|---|---|---|---|---|
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- 2000-04-21 JP JP2000120303A patent/JP4060513B2/en not_active Expired - Fee Related
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