JP2001015032A - Inspection method of cathode-ray tube - Google Patents

Inspection method of cathode-ray tube

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JP2001015032A
JP2001015032A JP11184354A JP18435499A JP2001015032A JP 2001015032 A JP2001015032 A JP 2001015032A JP 11184354 A JP11184354 A JP 11184354A JP 18435499 A JP18435499 A JP 18435499A JP 2001015032 A JP2001015032 A JP 2001015032A
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Japan
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ray tube
cathode ray
inspection
image
pattern
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JP11184354A
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Japanese (ja)
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Tatsuya Yamazaki
竜也 山崎
Masayuki Yoshii
正之 吉井
Toshiaki Inoue
寿昭 井上
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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  • Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide inspect a defect of a fluorescent film of a cathode-ray tube. SOLUTION: An inspection device 10 is provided with a light emitting device 23 for emitting light from phosphors having respective colors of a fluorescent film 14 of a cathode-ray tube 11, and a CCD camera 25 for photographing the fluorescent film 14. Thereby, a part having a luminance different from that of other parts over a predetermined range can be determined. When interference fringes are produced in the image of the CCD camera 25 due to the relations between the interval of dots of the fluorescent film 14 and the interval of the picture elements of the CCD camera 25, an optical system 28 of the CCD camera 25 is adjusted eliminate the interference fringes.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、陰極線管
の製造工程において、所望のパターンが形成されたか検
査する陰極線管の検査方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting a cathode ray tube, for example, for inspecting whether a desired pattern is formed in a process of manufacturing a cathode ray tube.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、一般に、カラーブラウン管などの
陰極線管の製造工程の最終検査段階において、陰極線管
の蛍光膜及びガラスパネル表面に製造工程で生じた欠陥
の検査が行われている。そして、この検査は、蛍光膜の
青(B)、赤(R)、緑(G)の蛍光体を一色ずつ発光
させ、各色の全てのドットがそれぞれ全体が発光してい
るか、あるいは、異物の混入などにより発光が阻害され
ていないかを検査確認している。
2. Description of the Related Art Conventionally, in the final inspection stage of the manufacturing process of a cathode ray tube such as a color cathode ray tube, inspection for defects generated in the manufacturing process on the fluorescent film and the glass panel surface of the cathode ray tube is generally performed. In this inspection, the blue (B), red (R), and green (G) phosphors of the fluorescent film are illuminated one by one, and all the dots of each color are illuminated entirely, Inspection is performed to confirm that light emission is not inhibited by contamination.

【0003】そして、この検査において、陰極線管の有
効な発光領域を視野に含むCCDカメラを設置して、発
光面を撮像し、この画像データを元として、青、赤、緑
の蛍光体ごとに欠陥の検出を行い、検査精度の向上を図
る構成が考えられている。そして、この構成では、検査
は、各色の発光面の輝度を、陰極線管を発光させる装置
により調整し、発光面の画像を均一な明るさに保つ。こ
の状態で、欠陥の部分は、均一な周囲の明るさに対し
て、暗くなり、あるいは明るくなって示される。すなわ
ち、画像処理装置を使用し、CCDカメラで撮像した画
像を明るさごとに階調に引き当てると、均一な発光部の
平均階調に対して、欠陥の部分は、予め設定された閾値
よりも低いあるいは高い階調差を示す。
In this inspection, a CCD camera including an effective light emitting area of a cathode ray tube in a visual field is installed, an image of a light emitting surface is taken, and based on the image data, each of blue, red, and green phosphors is taken. A configuration for detecting a defect and improving the inspection accuracy has been considered. Then, in this configuration, in the inspection, the luminance of the light emitting surface of each color is adjusted by a device that makes the cathode ray tube emit light, and the image on the light emitting surface is maintained at a uniform brightness. In this state, the defective portion is shown to be darker or brighter than the uniform surrounding brightness. In other words, when an image captured by a CCD camera is used as an image processing apparatus and a gray level is assigned to each brightness, a defect portion is more than a preset threshold with respect to a uniform average gray level of the light emitting portion. Indicates a low or high gradation difference.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では、発光部の均一性が測定の正確性を決定
し、発光面を均一に発光させる必要があるとともに、蛍
光膜の各色の蛍光体のドットのピッチとCCDカメラの
画素のピッチとの関係によっては、CCDカメラの画像
信号に干渉縞が発生し、すなわち、画像処理装置に入力
される画像信号について、欠陥以外の部分の背景の階調
が均一でなくなり、干渉縞により欠陥の検査の精度が低
下する問題を有している。
However, in the above-mentioned conventional configuration, the uniformity of the light emitting portion determines the accuracy of the measurement, it is necessary to make the light emitting surface emit light uniformly, and the phosphor of each color of the fluorescent film is required. Depending on the relationship between the pitch of the dots of the CCD camera and the pitch of the pixels of the CCD camera, interference fringes occur in the image signal of the CCD camera. There is a problem that the tone is not uniform and the accuracy of defect inspection is reduced due to interference fringes.

【0005】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、陰極線管の表示面に規則的に配置されるパターン
を、撮像手段を用いて精度良く検査できる陰極線管の検
査方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points, and provides a method of inspecting a cathode ray tube capable of accurately inspecting a pattern regularly arranged on a display surface of the cathode ray tube by using an image pickup means. The purpose is to:

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の陰極線管の検査
方法は、陰極線管の表示面に規則的に配置されるパター
ンを、撮像面に規則的に配置された画素を有する撮像手
段で撮像した画像信号を用いて検査する陰極線管の検査
方法であって、前記撮像面に映る前記パターンの像の大
きさを変化させ、前記画像信号に発生する干渉縞を抑制
した状態で、検査するものである。
According to the method of inspecting a cathode ray tube of the present invention, a pattern regularly arranged on a display surface of the cathode ray tube is imaged by an imaging means having pixels regularly arranged on an imaging surface. A method of inspecting a cathode ray tube using the image signal obtained, wherein the inspection is performed in a state where the size of an image of the pattern reflected on the imaging surface is changed and interference fringes generated in the image signal are suppressed. It is.

【0007】そして、この構成では、蛍光膜に形成され
た蛍光体の複数のドットで構成されたパターンは、蛍光
膜を発光させながら検査する。また、シャドウマスクに
穿設された複数のドットで構成されたパターンは、撮像
手段の反対側からシャドウマスクを照明しながら通孔を
透過した透過光について検査する。
In this configuration, a pattern composed of a plurality of dots of the phosphor formed on the fluorescent film is inspected while the fluorescent film emits light. In addition, a pattern formed by a plurality of dots formed in the shadow mask is inspected for transmitted light transmitted through the through hole while illuminating the shadow mask from the opposite side of the imaging unit.

【0008】そして、撮像面に映るパターンの像の大き
さを調整し、パターンのドットの像のピッチを撮像手段
の画素のピッチに一致させた状態で、あるいは、パター
ンのドットの像のピッチと撮像手段の画素のピッチとを
相対的に整数倍とした状態で検査することにより、干渉
縞を抑制した状態が実現される。
Then, the size of the image of the pattern reflected on the imaging surface is adjusted, and the pitch of the dot image of the pattern is made equal to the pitch of the pixel of the imaging means, or the pitch of the image of the dot of the pattern is adjusted. By performing the inspection in a state where the pitch of the pixels of the imaging unit is relatively an integral multiple, a state in which interference fringes are suppressed is realized.

【0009】そして、この陰極線管の検査方法では、一
般に用いられる格子状に配置された画素を有するCCD
カメラである撮像手段を用いて精度の高い検査が可能に
なる。
In the method of inspecting a cathode ray tube, a CCD having pixels generally arranged in a grid is generally used.
High-precision inspection can be performed by using an imaging unit that is a camera.

【0010】また、撮像面に映るパターンの像の大きさ
は、光学系により、あるいは、表示面と撮像面との距離
を変化させることにより、調整される。
[0010] The size of the image of the pattern reflected on the image pickup surface is adjusted by an optical system or by changing the distance between the display surface and the image pickup surface.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の陰極線管の検査方
法及びその装置の一実施の形態を図面を参照して説明す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a method and apparatus for inspecting a cathode ray tube according to the present invention will be described with reference to the drawings.

【0012】図1において、10は検査装置で、この検査
装置10は、例えば、カラーブラウン管である陰極線管(c
athode-ray tube)11の製造の最終工程を終えたものの出
荷検査などに用いられ、パネル内面に形成された被検査
対象である表示面12を構成する蛍光面である蛍光膜14の
欠陥を検査するものである。
In FIG. 1, reference numeral 10 denotes an inspection device. The inspection device 10 is, for example, a cathode ray tube (c) which is a color CRT.
(athode-ray tube) 11 Used for shipping inspection etc. after the final process of manufacturing, and inspects the fluorescent film 14 which is the fluorescent screen constituting the display surface 12 to be inspected formed on the inner surface of the panel for defects in the fluorescent film 14. Is what you do.

【0013】そして、この検査装置10は、CPUなどを
有した制御装置である演算装置21と、この演算装置21に
接続された画像処理装置22及び発光装置23を備えてい
る。さらに、画像処理装置22には、撮像手段であるCC
D(charge coupled device) カメラ25が接続され、発光
装置23には、陰極線管11に電気的に接続されるコネクタ
26が接続されている。また、図示しないが、演算装置21
には、操作者用の表示装置及び操作装置などが接続され
ている。
The inspection apparatus 10 includes an arithmetic device 21 which is a control device having a CPU and the like, and an image processing device 22 and a light emitting device 23 connected to the arithmetic device 21. Further, the image processing device 22 includes a CC
D (charge coupled device) A camera 25 is connected, and the light emitting device 23 has a connector electrically connected to the cathode ray tube 11.
26 is connected. Although not shown, the arithmetic unit 21
Is connected to a display device and an operating device for the operator.

【0014】そして、陰極線管11は、コネクタ26を介し
て発光装置23に接続され、この発光装置23に制御されて
所定の画像を表示する、すなわち蛍光膜14を所望の状態
で発光させるとともに、図示しない支持装置により、所
定の位置に位置決めして支持され固定される。
The cathode ray tube 11 is connected to a light emitting device 23 via a connector 26, and is controlled by the light emitting device 23 to display a predetermined image, that is, to cause the fluorescent film 14 to emit light in a desired state. It is positioned and supported and fixed at a predetermined position by a support device (not shown).

【0015】また、CCDカメラ25は、二次元イメージ
センサである撮像素子としてのCCD27と、電動ズーム
レンズなどの光学系28とを有し、陰極線管11の表示面12
すなわち蛍光膜14に正対して配置され、すなわちCCD
27の撮像面31が蛍光膜14と平行に、かつ、中心を合わせ
て支持され固定されている。
The CCD camera 25 has a CCD 27 as an image sensor, which is a two-dimensional image sensor, and an optical system 28 such as an electric zoom lens.
That is, it is disposed directly opposite the fluorescent film 14, that is, the CCD
27, the imaging surface 31 is supported and fixed in parallel with the fluorescent film 14 and at the center.

【0016】そして、このCCDカメラ25のCCD27の
撮像面31には、図2および図3に示すように、多数の矩
形状の画素33が所定のピッチで格子状に配置されてい
る。一方、陰極線管11の蛍光膜14には、青(B)、赤
(R)、緑(G)の蛍光体を塗布などして形成した多数
のドット35が所定のピッチで規則的に繰り返して配置さ
れ、所定のパターン36を構成している。そして、発光装
置23は、これら各色のうち、任意の一色の蛍光体を発光
させるようになっている。
As shown in FIGS. 2 and 3, a large number of rectangular pixels 33 are arranged in a lattice at a predetermined pitch on the imaging surface 31 of the CCD 27 of the CCD camera 25. On the other hand, a large number of dots 35 formed by applying blue (B), red (R), and green (G) phosphors on the fluorescent film 14 of the cathode ray tube 11 are regularly repeated at a predetermined pitch. They are arranged and constitute a predetermined pattern 36. The light emitting device 23 emits a phosphor of any one of these colors.

【0017】そして、検査の際は、陰極線管11を支持装
置により所定の位置に位置決め固定し、コネクタ26を介
して発光装置23に接続するとともに、CCDカメラ25を
陰極線管11の表示面12に正対して固定する。この状態
で、演算装置21が発光装置23を動作させ、所定の画像を
表示させる。すなわち、陰極線管11の電子銃を動作さ
せ、蛍光膜14の蛍光体のドット35を各色ごとに順次全面
輝度が均一になるように発光させる。
At the time of inspection, the cathode ray tube 11 is positioned and fixed at a predetermined position by a support device, connected to the light emitting device 23 via the connector 26, and the CCD camera 25 is attached to the display surface 12 of the cathode ray tube 11. Fix facing up. In this state, the arithmetic unit 21 operates the light emitting device 23 to display a predetermined image. In other words, the electron gun of the cathode ray tube 11 is operated to emit the phosphor dots 35 of the phosphor film 14 so that the overall luminance becomes uniform for each color.

【0018】一方、CCDカメラ25は、蛍光膜14に焦点
が合うように設定され、各色の発光状態をCCD27の撮
像面31で撮像する。そして、この撮像した画像信号は、
画像処理装置22で画像処理され、さらに、演算装置21で
処理されて、図4および図5に示すように、蛍光膜14の
面上の各位置における輝度を測定する。なお、図4およ
び図5は、説明のため、特定の線分上の測定結果のみを
示している。そして、この測定の結果は、蛍光膜14など
に欠陥がなければ、全面において、一定値である標準値
に近い値を示すことになる。また、蛍光膜14の蛍光体を
発光させる際は、蛍光膜14の輝度を全面で一定値に近づ
けるように発光装置23を調整することにより、欠陥の位
置が浮き立つようにして示される。そして、図4に示す
ように、一定値である標準値より予め設定された所定の
範囲に設定された上限値あるいは下限値を超えて上下に
外れた値を示した部分が検知されると、演算装置21は、
欠陥の位置として表示し、あるいは所定の判断のもと陰
極線管11を修正工程に搬送するなどの処理を行う。
On the other hand, the CCD camera 25 is set so as to be focused on the fluorescent film 14, and captures the light emission state of each color on the imaging surface 31 of the CCD 27. Then, the captured image signal is
The image is processed by the image processing device 22 and further processed by the arithmetic device 21 to measure the luminance at each position on the surface of the fluorescent film 14, as shown in FIGS. 4 and 5 show only measurement results on a specific line segment for explanation. Then, as a result of this measurement, if there is no defect in the fluorescent film 14 or the like, a value close to a standard value which is a constant value is shown over the entire surface. When the phosphor of the fluorescent film 14 emits light, the position of the defect is shown by adjusting the light emitting device 23 so that the luminance of the fluorescent film 14 approaches a constant value over the entire surface. Then, as shown in FIG. 4, when a portion indicating a value that deviates upward and downward beyond an upper limit value or a lower limit value set in a predetermined range set in advance from a standard value that is a constant value is detected, The arithmetic unit 21
Processing such as displaying the position of the defect, or transporting the cathode ray tube 11 to a correction process based on a predetermined determination is performed.

【0019】ここで、検査の精度の点では、CCDカメ
ラ25のCCD27の撮像面31の画素33の配置すなわちピッ
チを、蛍光膜14のドット35と合わせ、1個のドット35あ
たり1個の画素33を配置することが適している。すなわ
ち、例えば、図2に示すように、撮像面31上において、
1個の画素33が1個のドット35に相当するように分解能
を設定することが理想的な分解能となる。
Here, in terms of the accuracy of the inspection, the arrangement, that is, the pitch of the pixels 33 on the imaging surface 31 of the CCD 27 of the CCD camera 25 and the dots 35 of the fluorescent film 14 are adjusted so that one pixel per dot 35 It is suitable to place 33. That is, for example, as shown in FIG.
An ideal resolution is to set the resolution so that one pixel 33 corresponds to one dot 35.

【0020】しかしながら、実際の検査では、蛍光膜14
とCCDカメラ25との距離が厳密に設定されず、また、
この距離が若干変化することにより、図3に示すよう
に、撮像面31上において画素33とドット35との間にずれ
が生じ、ピッチが近い場合、このずれの積算の結果、全
体の画像信号には、一定方向あるいは円周上などにモア
レ状の干渉縞が生じる場合がある。
However, in actual inspection, the fluorescent film 14
The distance between the camera and the CCD camera 25 is not set strictly.
When the distance slightly changes, as shown in FIG. 3, a shift occurs between the pixel 33 and the dot 35 on the imaging surface 31. When the pitch is close, as a result of integration of the shift, the entire image signal is output. In some cases, moire-shaped interference fringes may occur in a certain direction or on the circumference.

【0021】そして、このように干渉縞が生じた状態で
は、図5に示すように、本来均一に調整してあったはず
の背景の輝度が、ある規則性を持って変動し、欠陥を示
す信号の検出に影響を及ぼす。
In the state where the interference fringes are thus generated, as shown in FIG. 5, the luminance of the background, which should have been adjusted uniformly, varies with a certain regularity, indicating a defect. Affects signal detection.

【0022】そこで、本実施の形態では、CCDカメラ
25の光学系28を手動あるいは自動で調整し、すなわち分
解能を変更し、例えば、手動の場合は、表示装置に表示
されるCCDカメラ25で撮像された映像を見ながら、ズ
ームを調整して、撮像面31上のドット35の大きさを変化
させて、画像全体の干渉縞を消し込み、図5の状態を図
4の状態にまで調整する。そして、この調整された状態
で、撮像された画像を極小に見ると、図2に示すよう
に、1個のドット35が1個の画素33に相当するように調
整される。そして、この調整状態のもとで検査すること
により、精度の高い検査が可能になる。
Therefore, in this embodiment, a CCD camera
Adjust the optical system 28 manually or automatically, that is, change the resolution, for example, in the case of manual, adjust the zoom while watching the image captured by the CCD camera 25 displayed on the display device, The state of FIG. 5 is adjusted to the state of FIG. 4 by changing the size of the dots 35 on the imaging surface 31 to eliminate the interference fringes of the entire image. Then, when the captured image is viewed in a minimum state in this adjusted state, as shown in FIG. 2, one dot 35 is adjusted so as to correspond to one pixel 33. By performing the inspection under this adjusted state, an inspection with high accuracy can be performed.

【0023】このように、本発明の陰極線管11の蛍光膜
14の検査方法によれば、陰極線管11の製造工程におい
て、CCDカメラ25を用いた検査において、干渉縞を消
し込む調整を行うことにより、撮像した画像の均一性を
向上でき、陰極線管11の蛍光膜14の欠陥を手動あるいは
自動で精度良く検査でき、信頼性の高い陰極線管11の蛍
光膜14の検査方法及びその装置を構築し、提供できる。
このため、人間に頼った検査に較べて、安定した見逃し
の少ない検査を実現でき、工業的価値が高い。
As described above, the fluorescent film of the cathode ray tube 11 of the present invention
According to the inspection method 14, in the manufacturing process of the cathode ray tube 11, in the inspection using the CCD camera 25, the uniformity of the captured image can be improved by performing adjustment to eliminate the interference fringes, A defect of the fluorescent film 14 can be inspected manually or automatically with high accuracy, and a highly reliable method and apparatus for inspecting the fluorescent film 14 of the cathode ray tube 11 can be constructed and provided.
For this reason, a stable inspection with few oversights can be realized as compared with an inspection relying on humans, and the industrial value is high.

【0024】なお、上記の実施の形態では、それぞれ規
則的に配置されたドット35と画素33とのピッチを一致さ
せ、1個のドット35が1個の画素33に相当するように調
整して干渉縞を消し込んだが、これに限られず、それぞ
れ規則的に配置されたドット35のピッチと画素33のピッ
チとをいずれかの正数倍とすることにより、同様の効果
を実現でき、すなわち、撮像した画像の均一性を向上し
て、欠陥を精度良く検査できる。さらに、同一ピッチ及
び整数倍のピッチと明らかに異なるところでも、例えば
表示装置に表示される干渉縞を観測しながら作業して、
干渉縞を消し込むことにより、同様の効果を実現でき、
すなわち、撮像した画像の均一性を向上して、欠陥を精
度良く検査できる。
In the above embodiment, the pitch between the regularly arranged dots 35 and the pixels 33 is adjusted so that one dot 35 corresponds to one pixel 33. The interference fringes have been eliminated, but the present invention is not limited to this.By setting the pitch of the regularly arranged dots 35 and the pitch of the pixels 33 to be any positive multiple, a similar effect can be realized. Defects can be inspected with high accuracy by improving the uniformity of the captured image. Further, even while clearly different from the same pitch and a pitch of an integer multiple, working while observing interference fringes displayed on a display device, for example,
By eliminating interference fringes, a similar effect can be realized,
That is, the uniformity of the captured image is improved, and the defect can be inspected with high accuracy.

【0025】また、撮像手段としてのCCDカメラ25
は、光学系28を調整して、干渉縞を消し込む調整を行っ
たが、光学的条件を変更するものであればよく、例え
ば、例えば、撮像手段と陰極線管11とのいずれかを移動
可能に設け、表示面12と撮像面31との距離を変化させ、
撮像面31上のパターン36の像の大きさを変化させること
もできる。
Further, a CCD camera 25 as an image pickup means
Has been adjusted to eliminate the interference fringes by adjusting the optical system 28, but any device that changes the optical conditions may be used.For example, any one of the imaging unit and the cathode ray tube 11 can be moved. To change the distance between the display surface 12 and the imaging surface 31,
The size of the image of the pattern 36 on the imaging surface 31 can also be changed.

【0026】さらに、撮像手段は、CCDカメラ25に限
られず、所定のピッチで規則的に配置された画素を有す
るものを利用できる。
Further, the image pickup means is not limited to the CCD camera 25, but may be one having pixels regularly arranged at a predetermined pitch.

【0027】また、上記の実施の形態では、蛍光体を発
光させて行う蛍光膜14の検査について説明したが、これ
に限られず、検査対象物としてはシャドウマスクの検査
に適用でき、上記と同様の効果を実現できる。
In the above-described embodiment, the inspection of the fluorescent film 14 performed by emitting light from the phosphor has been described. However, the present invention is not limited to this, and the inspection object can be applied to the inspection of a shadow mask. Effect can be realized.

【0028】そして、シャドウマスクの検査の場合は、
例えば、シャドウマスクをパネルに組み込む前に、シャ
ドウマスクに対してCCDカメラ25とは反対の位置に面
状の照明装置を配置し、この照明装置から照射された光
をシャドウマスクのドットとしての透孔を通過させ、各
透孔を通過した光を撮像手段で撮像して、干渉縞を消し
込み、撮像した画像の均一性を向上して、欠陥を精度良
く検査できる。
In the case of shadow mask inspection,
For example, before incorporating the shadow mask into the panel, a planar illumination device is arranged at a position opposite to the CCD camera 25 with respect to the shadow mask, and light emitted from the illumination device is transmitted as dots of the shadow mask. The light passing through the holes and the light passing through each of the holes is imaged by the imaging means, the interference fringes are eliminated, the uniformity of the captured image is improved, and the defect can be inspected accurately.

【0029】[0029]

【発明の効果】本発明の陰極線管の検査方法によれば、
陰極線管の表示面に規則的に配置されるパターンを、撮
像面に規則的に配置された画素を有する撮像手段で撮像
した画像信号を用いて検査する陰極線管の検査方法につ
いて、撮像面に映るパターンの像の大きさを変化させ、
画像信号に発生する干渉縞を抑制した状態で検査するこ
とにより、パターンの検査の精度を向上できる。
According to the cathode ray tube inspection method of the present invention,
A cathode ray tube inspection method for inspecting a pattern regularly arranged on a display surface of a cathode ray tube using an image signal imaged by an imaging unit having pixels regularly arranged on an imaging surface is shown on an imaging surface. Change the size of the image of the pattern,
By performing the inspection while suppressing the interference fringes generated in the image signal, the accuracy of the pattern inspection can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の陰極線管の検査方法の一実施の形態を
示す検査装置のブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram of an inspection apparatus showing an embodiment of a cathode ray tube inspection method according to the present invention.

【図2】同上陰極線管の検査方法の理想的な検査状態を
示す撮像面の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of an imaging surface showing an ideal inspection state of the cathode ray tube inspection method.

【図3】同上陰極線管の検査方法の干渉縞を生じる検査
状態を示す撮像面の説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of an imaging surface showing an inspection state in which interference fringes are generated in the cathode ray tube inspection method.

【図4】同上陰極線管の検査方法の理想的な検査状態を
示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing an ideal inspection state of the inspection method of the cathode ray tube.

【図5】同上陰極線管の検査方法の干渉縞を生じた検査
状態を示す説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing an inspection state in which interference fringes have occurred in the cathode ray tube inspection method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 陰極線管 12 表示面 14 蛍光膜 25 撮像手段としてのCCDカメラ 28 光学系 31 撮像面 33 画素 36 パターン 11 Cathode ray tube 12 Display surface 14 Fluorescent film 25 CCD camera as imaging means 28 Optical system 31 Imaging surface 33 Pixel 36 Pattern

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 陰極線管の表示面に規則的に配置される
パターンを、撮像面に規則的に配置された画素を有する
撮像手段で撮像した画像信号を用いて検査する陰極線管
の検査方法であって、 前記撮像面に映る前記パターンの像の大きさを変化さ
せ、前記画像信号に発生する干渉縞を抑制した状態で、
検査することを特徴とする陰極線管の検査方法。
1. A cathode ray tube inspection method for inspecting a pattern regularly arranged on a display surface of a cathode ray tube using an image signal picked up by an image pickup means having pixels arranged regularly on an image pickup surface. In the state where the size of the image of the pattern reflected on the imaging surface is changed and interference fringes generated in the image signal are suppressed,
An inspection method of a cathode ray tube, characterized by inspecting.
【請求項2】 パターンは蛍光膜に形成された蛍光体の
複数のドットで構成され、蛍光膜を発光させながら検査
することを特徴とする請求項1記載の陰極線管の検査方
法。
2. The method for inspecting a cathode ray tube according to claim 1, wherein the pattern is composed of a plurality of dots of a phosphor formed on the fluorescent film, and the fluorescent film is inspected while emitting light.
【請求項3】 パターンはシャドウマスクに穿設された
複数のドットで構成され、撮像手段の反対側から前記シ
ャドウマスクを照明しながら検査することを特徴とする
請求項1記載の陰極線管の検査方法。
3. The inspection of a cathode ray tube according to claim 1, wherein the pattern is constituted by a plurality of dots formed in the shadow mask, and the inspection is performed while illuminating the shadow mask from the opposite side of the imaging means. Method.
【請求項4】 パターンのドットの像のピッチを撮像手
段の画素のピッチに一致させた状態で検査することを特
徴とする請求項1ないし3いずれか記載の陰極線管の検
査方法。
4. The inspection method of a cathode ray tube according to claim 1, wherein the inspection is performed in a state where the pitch of the image of the dot of the pattern matches the pitch of the pixels of the imaging means.
【請求項5】 パターンのドットの像のピッチと撮像手
段の画素のピッチとを相対的に整数倍とした状態で検査
することを特徴とする請求項1ないし4いずれか記載の
陰極線管の検査方法。
5. The inspection of a cathode ray tube according to claim 1, wherein the inspection is performed in a state where the pitch of the image of the dots of the pattern and the pitch of the pixels of the imaging means are relatively integer multiples. Method.
【請求項6】 撮像手段は、格子状に配置された画素を
有するCCDカメラであることを特徴とする請求項1な
いし5いずれか記載の陰極線管の検査方法。
6. The method according to claim 1, wherein the imaging means is a CCD camera having pixels arranged in a grid.
【請求項7】 光学系により、パターンの像の大きさを
変化させることを特徴とする請求項1ないし6いずれか
記載の陰極線管の検査方法。
7. The method for inspecting a cathode ray tube according to claim 1, wherein the size of a pattern image is changed by an optical system.
【請求項8】 表示面と撮像面との距離を変化させ、パ
ターンの像の大きさを変化させることを特徴とする請求
項1ないし6いずれか記載の陰極線管の検査方法。
8. The method for inspecting a cathode ray tube according to claim 1, wherein the distance between the display surface and the imaging surface is changed to change the size of a pattern image.
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