JP2000298812A - Magnetic head assembly and magnetic head apparatus - Google Patents
Magnetic head assembly and magnetic head apparatusInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
に用いられる磁気ヘッド組立体及び磁気ディスク装置に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head assembly used in a magnetic disk drive and a magnetic disk drive.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気ディスク装置は、情報量の増加に伴
い高記憶容量化、高性能化、小型化が要求され、これに
より磁気ヘッド組立体も高精度、小型化、高信頼性が求
められている。磁気ヘッド組立体の磁気ヘッドスライダ
は、通常、高速回転する磁気ディスク表面上で、非常に
小さい浮上量で稼働しており、ＣＳＳ（コンタクト、ス
タート、ストップ）時には磁気ヘッドスライダ浮上面と
磁気ディスク表面とが摺動して、静電気が発生する。磁
気ヘッドスライダに静電気が発生すると、磁気ヘッド素
子部が静電気により破壊されることがある。これを防止
するために、磁気ヘッドスライダの側面と可撓性支持部
材（フレクシャ又はジンバルという）との境界面に導電
性接着剤を塗布し、磁気ヘッドスライダと可撓性支持部
材を電気的に接続している。なお、これに関する技術と
して、特開平２−２４４４１９号公報、特開平８−１１
１０１５号公報等がある。2. Description of the Related Art A magnetic disk drive is required to have a high storage capacity, a high performance, and a small size as the amount of information is increased. As a result, a magnetic head assembly is also required to have high precision, small size, and high reliability. ing. The magnetic head slider of the magnetic head assembly normally operates with a very small flying height on the surface of the magnetic disk rotating at a high speed. During CSS (contact, start, stop), the flying surface of the magnetic head slider and the magnetic disk surface Slides to generate static electricity. When static electricity is generated on the magnetic head slider, the magnetic head element may be destroyed by the static electricity. To prevent this, a conductive adhesive is applied to the boundary between the side surface of the magnetic head slider and the flexible support member (referred to as flexure or gimbal) to electrically connect the magnetic head slider and the flexible support member. Connected. In addition, as a technique related to this, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2-244419 and 8-11
No. 1015 publication.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、昨今の
磁気ヘッドスライダは、非常に小型化する傾向にあり、
導電性接着剤の塗布面積も小さくなっていることから、
単なる導電性接着剤の塗布による磁気ヘッドスライダと
可撓性支持部材の電気的な導通を図ることは困難となっ
てきている。それは導電性接着剤は一般に銀等の導電材
料（金属フィラー等）が混合されているが、温度、振動
等の厳しい使用環境において、この金属フィラー等の導
電材料が脱落し、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクと
の摺動事故を引き起こす恐れが有るからである。また、
磁気ヘッドスライダは、通常の接着剤（非導電性接着
剤）により可撓性支持部材に接着されているが、この接
着剤が磁気ヘッドスライダの下部からはみ出して、可撓
性支持部材上の配線の端子の上に達し、この配線の端子
と磁気ヘッド素子部からの配線の端子との接合に悪影響
を与える。特に小型化された磁気ヘッドスライダにおい
て、このようなことが起こりやすい。However, recent magnetic head sliders tend to be very small,
Since the application area of the conductive adhesive is also small,
It has become difficult to achieve electrical continuity between the magnetic head slider and the flexible support member by simply applying a conductive adhesive. The conductive adhesive is generally mixed with a conductive material such as silver (metal filler, etc.). However, in a severe usage environment such as temperature and vibration, the conductive material such as metal filler falls off, and the magnetic head slider and the magnetic head slider are magnetically separated. This is because a sliding accident with the disc may be caused. Also,
The magnetic head slider is adhered to the flexible support member with a normal adhesive (non-conductive adhesive). The adhesive protrudes from the lower portion of the magnetic head slider and the wiring on the flexible support member. , And adversely affects the bonding between the terminal of this wiring and the terminal of the wiring from the magnetic head element portion. This is particularly likely to occur in a miniaturized magnetic head slider.
【０００４】また、金属フィラー等の導電材料の脱落を
避けるために、磁気ヘッドスライダそのものを導電性接
着剤により可撓性支持部材に接着すると、上記と同様
に、この導電性接着剤が磁気ヘッドスライダの下部から
はみ出して、可撓性支持部材上の配線の端子上に達し、
短絡による事故が生じる。When the magnetic head slider itself is adhered to a flexible supporting member with a conductive adhesive in order to prevent a conductive material such as a metal filler from falling off, the conductive adhesive is applied to the magnetic head in the same manner as described above. Protruding from the lower part of the slider, reaching the terminal of the wiring on the flexible support member,
An accident due to a short circuit occurs.
【０００５】本発明の第１の目的は、静電気による磁気
ヘッド素子の破壊を防ぐと共に、非導電性接着剤や導電
性接着剤により生じる弊害を防止し得る磁気ヘッド組立
体を提供することにある。本発明の第２の目的は、その
ような磁気ヘッド組立体を有し、信頼性を向上させた磁
気ヘッド装置を提供することにある。A first object of the present invention is to provide a magnetic head assembly capable of preventing damage to a magnetic head element due to static electricity and preventing adverse effects caused by a non-conductive adhesive or a conductive adhesive. . A second object of the present invention is to provide a magnetic head device having such a magnetic head assembly and having improved reliability.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るために、本発明の磁気ヘッド組立体は、サスペンショ
ンと、磁気ヘッド素子部が配置された磁気ヘッドスライ
ダと、磁気ヘッドスライダを保持し、サスペンションに
接続される可撓性支持部材と、可撓性支持部材上に設け
られた配線に接続する電極端子を有し、可撓性支持部材
と磁気ヘッドスライダとが導電性接着剤により接着され
ており、可撓性支持部材上の導電性接着剤が設けられた
領域と電極端子との間に、はみ出し防止壁を設けるよう
にしたものである。In order to achieve the first object, a magnetic head assembly according to the present invention comprises a suspension, a magnetic head slider on which a magnetic head element is arranged, and a magnetic head slider. A flexible support member connected to the suspension, and an electrode terminal connected to a wiring provided on the flexible support member, wherein the flexible support member and the magnetic head slider are connected by a conductive adhesive. A protruding prevention wall is provided between the electrode terminal and the region where the conductive adhesive is provided on the flexible support member and which is adhered.
【０００７】この可撓性支持部材上の導電性接着剤が設
けられた領域と異なる領域に、磁気ヘッドスライダを接
着する非導電性接着剤が設けられた領域を有してもよ
い。このとき非導電性接着剤が設けられた領域を、上記
はみ出し防止壁により電極端子と隔てられているように
することが好ましい。A region provided with a non-conductive adhesive for bonding the magnetic head slider may be provided in a region on the flexible support member different from the region provided with the conductive adhesive. At this time, it is preferable that the region where the non-conductive adhesive is provided is separated from the electrode terminal by the protrusion prevention wall.
【０００８】さらに上記第１の目的を達成するために、
本発明の磁気ヘッド組立体は、サスペンションと、磁気
ヘッド素子部が配置された磁気ヘッドスライダと、磁気
ヘッドスライダを保持し、サスペンションに接続される
可撓性支持部材と、可撓性支持部材上に設けられた配線
に接続する電極端子とを有し、磁気ヘッドスライダと可
撓性支持部材とは非導電性接着剤により接着されてお
り、磁気ヘッドスライダと可撓性支持部材とが直接接触
するか、或いはいずれか一方に設けられた凸部により両
者が接触して電気的に接続され、可撓性支持部材上の非
導電性接着剤が設けられた領域と電極端子との間に、は
み出し防止壁を設けるようにしたものである。なお、上
記で導電性接着剤とは導電性樹脂も含む広義のものであ
る。Further, in order to achieve the first object,
A magnetic head assembly according to the present invention includes a suspension, a magnetic head slider on which a magnetic head element portion is disposed, a flexible support member holding the magnetic head slider and connected to the suspension, and a flexible support member. The magnetic head slider and the flexible support member are adhered by a non-conductive adhesive so that the magnetic head slider and the flexible support member are in direct contact with each other. Do, or both are contacted and electrically connected by a convex portion provided on one of them, between the region where the non-conductive adhesive is provided on the flexible support member and the electrode terminal, A protruding prevention wall is provided. In addition, the conductive adhesive described above has a broad meaning including a conductive resin.
【０００９】また、上記第２の目的を達成するために、
本発明の磁気ヘッド装置は、磁気ディスクと、磁気ヘッ
ド組立体と、磁気ヘッド組立体を固定軸を中心にして回
転させ、その磁気ヘッド素子部を磁気ディスク上を移動
させるためのボイスコイルモータと、これらを制御する
制御機構とを有し、この磁気ヘッド組立体として、上記
いずれか一に記載の磁気ヘッド組立体を用いるようにし
たものである。Further, in order to achieve the second object,
A magnetic head device according to the present invention includes a magnetic disk, a magnetic head assembly, a voice coil motor for rotating the magnetic head assembly around a fixed axis, and moving the magnetic head element unit over the magnetic disk. And a control mechanism for controlling these, and the magnetic head assembly according to any one of the above is used as the magnetic head assembly.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】本発明の実施形態について、添付
の図面を参照にして詳細に説明する。図８は、本発明の
一実施例の磁気ヘッド組立体の斜視図である。磁気ヘッ
ドスライダ８は、可撓性支持部材（フレクシャ）１上に
配置され、この可撓性支持部材１はロードビーム１６ａ
に接続する。ロードビーム１６ａとバネ部１６ｂとでサ
スペンションを構成する。サスペンションは、さらにア
ーム１７、アームスタック２３と接続し、アームスタッ
ク２３の位置で、磁気ヘッド装置の固定軸に嵌め込まれ
る。アーム１７にはコネクタ嵌め合い部２４がある。Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 8 is a perspective view of a magnetic head assembly according to one embodiment of the present invention. The magnetic head slider 8 is disposed on a flexible support member (flexure) 1, and the flexible support member 1 is mounted on a load beam 16a.
Connect to A suspension is constituted by the load beam 16a and the spring portion 16b. The suspension is further connected to the arm 17 and the arm stack 23, and is fitted to a fixed shaft of the magnetic head device at the position of the arm stack 23. The arm 17 has a connector fitting portion 24.
【００１１】図１は、本発明の第１の実施例の磁気ヘッ
ド組立体の可撓性支持部材（フレクシャ）１の先端部の
平面図である。ＳＵＳ３０４等の金属材料からなる可撓
性支持部材１上に、配線７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄと接続
する電極端子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄが配置されてい
る。これらの電極端子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄは磁気ヘ
ッドスライダ（図示せず）の磁気ヘッド素子部側の電極
端子と接合される。FIG. 1 is a plan view of a distal end of a flexible support member (flexure) 1 of a magnetic head assembly according to a first embodiment of the present invention. Electrode terminals 6a, 6b, 6c, 6d connected to wirings 7a, 7b, 7c, 7d are arranged on a flexible support member 1 made of a metal material such as SUS304. These electrode terminals 6a, 6b, 6c, 6d are joined to electrode terminals on the magnetic head element portion side of a magnetic head slider (not shown).
【００１２】これらの電極端子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ
と導電性接着剤塗布領域２との間には、はみ出しの防止
壁５ａ、５ｂが設けられている。また、導電性接着剤塗
布領域２の周囲にもはみ出しの防止壁５ｃが設けられて
いる。導電性接着剤の塗布量を十分に制御すれば、防止
壁５ａ、５ｂの一方だけ、或いは防止壁５ｃだけでもよ
いが、小型化された磁気ヘッド組立体では導電性接着剤
の塗布量が少なく、十分な制御することはかなり難しい
ので、２重に、或いは本実施例のように３重に設けるの
が好ましい。なお、磁気ヘッドスライダの貼付け位置４
は図に点線で示してある。These electrode terminals 6a, 6b, 6c, 6d
The protrusion prevention walls 5a and 5b are provided between the conductive adhesive application area 2 and the conductive adhesive application area 2. A protruding prevention wall 5c is also provided around the conductive adhesive application area 2. If the application amount of the conductive adhesive is sufficiently controlled, only one of the prevention walls 5a and 5b or only the prevention wall 5c may be used. However, in a downsized magnetic head assembly, the application amount of the conductive adhesive is small. Since it is quite difficult to perform sufficient control, it is preferable to provide a double or triple as in this embodiment. Note that the magnetic head slider sticking position 4
Is indicated by a dotted line in the figure.
【００１３】配線７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄは、金属材料
からなる可撓性支持部材１上に、ベース（下部絶縁膜）
のパターンを形成し、その上にＮｉ、Ｃｕ、Ａｕ等の導
電材料の膜を形成し、さらにこれらを覆う上部絶縁膜を
形成して構成する。上部、下部絶縁膜は、例えばポリイ
ミド等により形成される。具体的な方法としては、ま
ず、ポリイミド溶液をスピンコーティングし、乾燥し、
熱硬化した塗膜をフォトリソグラフィー法、プラズマエ
ッチング法又はレーザアブレーション法で所望のパター
ンとして下部絶縁膜とする。この上にＣｒの薄い膜をス
パッタリング、真空蒸着又はイオンプレーティングで成
膜し、導電材料の膜をめっきし、さらに前記と同様にし
てポリイミドの上部絶縁膜を形成する。なお、ポリイミ
ドのシートを貼り付け、同様に所望のパターンとして下
部絶縁膜等を形成してもよい。The wirings 7a, 7b, 7c and 7d are provided on a flexible supporting member 1 made of a metal material on a base (lower insulating film).
Is formed, a film of a conductive material such as Ni, Cu, or Au is formed thereon, and an upper insulating film covering these is formed. The upper and lower insulating films are formed of, for example, polyimide or the like. As a specific method, first, a polyimide solution is spin-coated, dried,
The heat-cured coating film is formed into a desired pattern by photolithography, plasma etching or laser ablation to form a lower insulating film. On this, a thin film of Cr is formed by sputtering, vacuum deposition or ion plating, a film of a conductive material is plated, and an upper insulating film of polyimide is formed in the same manner as described above. Note that a polyimide sheet may be attached and a lower insulating film or the like may be similarly formed as a desired pattern.
【００１４】防止壁５ａ、５ｂ、５ｃは、この配線と同
時に、同じ材質で形成すればよい。防止壁５ａ、５ｂ、
５ｃは実質的に同じ高さにする。実質的に同じ高さと
は、例えば、スピンコーティングによりポリイミドの塗
膜を形成すると、回転数等の条件にもよるが、回転の中
央部は薄く、外周部は厚くなるので、この程度の厚さの
差、つまり±１０％の範囲の差があってもよいことをい
う。しかし、±５％の範囲とすることが好ましい。この
高さは１０μｍから６０μｍの範囲が好ましく、３０μ
ｍから６０μｍの範囲がより好ましい。The prevention walls 5a, 5b and 5c may be formed of the same material at the same time as the wiring. Prevention walls 5a, 5b,
5c is made substantially the same height. With substantially the same height, for example, when a polyimide coating film is formed by spin coating, although it depends on conditions such as the number of rotations, the central portion of the rotation is thin, and the outer peripheral portion is thick, so this thickness is about this thickness , That is, a difference in the range of ± 10%. However, it is preferable to be within the range of ± 5%. This height is preferably in the range of 10 μm to 60 μm,
The range of m to 60 μm is more preferable.
【００１５】この防止壁５ａ、５ｂ、５ｃにより、磁気
ヘッドスライダと可撓性支持部材１との電気的接続を確
保し、かつ、導電性接着剤が電極端子６ａ、６ｂ、６
ｃ、６ｄ上にはみ出さず、電極端子間の短絡がなくな
る。また、導電性接着剤の磁気ヘッドスライダの貼付け
位置の外へのはみ出しを防ぐことにより、導電材料の脱
落もなく、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクとの摺動
事故を防止できる。The prevention walls 5a, 5b, 5c ensure the electrical connection between the magnetic head slider and the flexible support member 1, and the conductive adhesive is used for the electrode terminals 6a, 6b, 6
The electrodes do not protrude above c and 6d, and there is no short circuit between the electrode terminals. In addition, by preventing the conductive adhesive from protruding outside the position where the magnetic head slider is attached, the conductive material does not fall off, and a sliding accident between the magnetic head slider and the magnetic disk can be prevented.
【００１６】また、防止壁５ａ、５ｂ、５ｃの高さが実
質的に同じであるので、磁気ヘッドスライダの貼付け平
行度を保持することができ、磁気ヘッド装置に適用した
ときに磁気ヘッドスライダの安定した浮上特性を得るこ
とができる。Further, since the heights of the prevention walls 5a, 5b, 5c are substantially the same, the parallelism of sticking of the magnetic head slider can be maintained, and when applied to a magnetic head device, the height of the magnetic head slider can be reduced. Stable floating characteristics can be obtained.
【００１７】貼付け平行度を保持するには、例えば、磁
気ヘッドスライダと可撓性支持部材１を少し擦りあわせ
ることで防止壁５ａ、５ｂ、５ｃの表面が直接磁気ヘッ
ドスライダに接触するようにすればよい。これにより磁
気ヘッドスライダを平行に維持したまま導電性接着剤を
硬化することが可能で、硬化後もこの状態を保つととも
に、磁気ヘッドスライダと可撓性支持部材との電気的接
続を確保することができる。In order to maintain the adhesion parallelism, for example, the magnetic head slider and the flexible support member 1 are slightly rubbed so that the surfaces of the prevention walls 5a, 5b and 5c are brought into direct contact with the magnetic head slider. I just need. This makes it possible to cure the conductive adhesive while keeping the magnetic head slider parallel, to maintain this state after curing, and to secure the electrical connection between the magnetic head slider and the flexible support member. Can be.
【００１８】図２は、本発明の第２の実施例の磁気ヘッ
ド組立体の可撓性支持部材１の先端部の平面図である。
第１の実施例と同様に、可撓性支持部材１上に、配線７
ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄと接続する電極端子６ａ、６ｂ、
６ｃ、６ｄが配置され、これらの電極端子６ａ、６ｂ、
６ｃ、６ｄと導電性接着剤塗布領域２との間に、はみ出
しの防止壁５ａ、５ｂが設けられている。導電性接着剤
塗布領域２は、磁気ヘッドスライダの流入端側（電極端
子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄと逆の側）に配置され、その
周囲に導電性接着剤のはみ出しの防止壁５ｄが設けられ
ている。磁気ヘッドスライダの下部の残りの部分は、通
常の接着剤（非導電性接着剤）塗布領域３である。非導
電性接着剤塗布領域３は、少なくとも磁気ヘッドスライ
ダの長さ方向（図の上下方向）の４分の１の範囲にある
ことが好ましい。FIG. 2 is a plan view of the distal end of the flexible support member 1 of the magnetic head assembly according to the second embodiment of the present invention.
As in the first embodiment, the wiring 7 is provided on the flexible support member 1.
a, 7b, 7c, 7d, electrode terminals 6a, 6b,
6c and 6d are arranged, and these electrode terminals 6a, 6b,
Extrusion prevention walls 5a and 5b are provided between the conductive adhesive application areas 2 and 6c and 6d. The conductive adhesive application area 2 is arranged on the inflow end side (the side opposite to the electrode terminals 6a, 6b, 6c, 6d) of the magnetic head slider, and a peripheral preventing wall 5d of the conductive adhesive is provided therearound. Have been. The remaining portion below the magnetic head slider is a normal adhesive (non-conductive adhesive) application area 3. It is preferable that the non-conductive adhesive application area 3 is at least in a quarter of the length direction (vertical direction in the drawing) of the magnetic head slider.
【００１９】ここで防止壁５ａ、５ｂは、非導電性接着
剤が電極端子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ上にはみ出し、こ
れらの電極端子と磁気ヘッドスライダ素子部からの配線
と接続する電極端子（図示せず）との金ボール等による
接合に悪影響を及ぼすことを防止する。The prevention walls 5a and 5b are formed at the electrode terminals 6a, 6b, 6c and 6d where the non-conductive adhesive protrudes and connects these electrode terminals to the wiring from the magnetic head slider element portion. (Not shown) is prevented from being adversely affected by bonding with a gold ball or the like.
【００２０】はみ出しの防止壁５ａ、５ｂ、５ｄの材
質、製造方法、好ましい高さ等は、実施例１と同様であ
る。また、これらの防止壁により、磁気ヘッドスライダ
の貼付け平行度を保持することができることも同様であ
る。The material, manufacturing method, preferable height, and the like of the protrusion prevention walls 5a, 5b, and 5d are the same as those in the first embodiment. Similarly, the prevention wall can maintain the parallelism of sticking of the magnetic head slider.
【００２１】図３は、本発明の第３の実施例の磁気ヘッ
ド組立体の可撓性支持部材１の先端部の平面図である。
実施例２とほぼ同様な構成であるが、図にみられるよう
に、導電性接着剤塗布領域２は、磁気ヘッドスライダの
貼付け位置４のほぼ中央部にあり、その周りに導電性接
着剤のはみ出しの防止壁５ｅが配置されている。防止壁
５ｅの周囲は非導電性接着剤塗布領域３である。FIG. 3 is a plan view of the distal end of the flexible support member 1 of the magnetic head assembly according to the third embodiment of the present invention.
Although the configuration is almost the same as that of the second embodiment, as shown in the figure, the conductive adhesive application area 2 is located substantially at the center of the magnetic head slider attaching position 4, and the conductive adhesive is applied around it. A protrusion prevention wall 5e is arranged. The periphery of the prevention wall 5e is a non-conductive adhesive application area 3.
【００２２】図４は、本発明の第４の実施例の磁気ヘッ
ド組立体の可撓性支持部材１の先端部の断面図である。
ＳＵＳ３０４等の金属材料からなる可撓性支持部材（フ
レクシャ）１上に設けられた電極端子１３と非導電性接
着剤２１の塗布領域の間に、はみ出しの防止壁５ａ、５
ｂが設けられており、また、磁気ヘッドスライダの流入
端側にも防止壁５ｆが設けられている。電極端子１３
は、その周囲が絶縁層１２ａ、１２ｂで覆われ、その開
口部、すなわち端子部と磁気ヘッド素子部側の電極端子
２２と金ポール１１で接合される。FIG. 4 is a sectional view of the distal end of a flexible support member 1 of a magnetic head assembly according to a fourth embodiment of the present invention.
Between the electrode terminal 13 provided on the flexible support member (flexure) 1 made of a metal material such as SUS304 and the application region of the non-conductive adhesive 21, the protrusion prevention walls 5 a, 5
b, and a prevention wall 5f is also provided on the inflow end side of the magnetic head slider. Electrode terminal 13
Is covered with insulating layers 12a and 12b, and its opening, that is, the terminal portion, is connected to the electrode terminal 22 on the magnetic head element portion side by the gold pole 11.
【００２３】磁気ヘッドスライダ８のほぼ中央部の可撓
性支持部材１の上に、ＳＵＳ３０４からなる突起部９が
形成されている。突起部９の先端が直接磁気ヘッドスラ
イダに接触する。突起部９の形成は、配線パターン等を
形成する前に、所定位置をフォトリソグラフィー法で保
護し、残りのエリアをエッチング又はイオンミリングに
より除去することにより行われる。突起部９は、円錐状
又は上面半径が底面半径より小さい円筒形状であり、そ
の高さは防止壁５ａ、５ｂ、５ｆと実質的に同じ高さと
する。ここで実質的に同じ高さとは、突起部９がＳＵＳ
３０４からなるので、＋５％（突起部の方が高い）から
−１％（突起部の方が低い）の範囲とすることが可能で
あるのでその範囲にあることをいう。A protrusion 9 made of SUS304 is formed on the flexible support member 1 substantially at the center of the magnetic head slider 8. The tip of the projection 9 directly contacts the magnetic head slider. The projection 9 is formed by protecting a predetermined position by photolithography and removing the remaining area by etching or ion milling before forming a wiring pattern or the like. The protrusion 9 has a conical shape or a cylindrical shape with a top radius smaller than a bottom radius, and has a height substantially equal to the height of the prevention walls 5a, 5b, and 5f. Here, the substantially same height means that the protrusion 9 is made of SUS.
Since it is composed of 304, it can be in the range of + 5% (the protrusion is higher) to -1% (the protrusion is lower), so it is within the range.
【００２４】図５は、本発明の第５の実施例の磁気ヘッ
ド組立体の可撓性支持部材１の先端部の断面図である。
第４の実施例と異なるところは、突起部１０が磁気ヘッ
ドスライダ８と一体に製造されたアルミナであることで
ある。磁気ヘッドスライダ８の可撓性支持部材１に対抗
する面の突起部１０が形成される位置をフォトリソグラ
フィー法で保護し、残りのエリアをイオンミリング法に
より除去することにより、円錐状又は上面半径が底面半
径より小さい円筒形状に形成する。この突起部１０の高
さは防止壁５ａ、５ｂ、５ｆと実質的に同じ高さとする
こと等は第４の実施例と同様である。FIG. 5 is a sectional view of the distal end of the flexible support member 1 of the magnetic head assembly according to the fifth embodiment of the present invention.
The difference from the fourth embodiment is that the projection 10 is made of alumina integrally formed with the magnetic head slider 8. The position of the surface of the magnetic head slider 8 opposite to the flexible support member 1 where the projection 10 is formed is protected by photolithography, and the remaining area is removed by ion milling to form a conical or upper surface radius. Is formed into a cylindrical shape smaller than the bottom radius. The height of the projection 10 is substantially the same as the height of the prevention walls 5a, 5b, 5f, etc., as in the fourth embodiment.
【００２５】図６は、本発明の第６の実施例の磁気ヘッ
ド組立体の可撓性支持部材１の先端部の断面図である。
第４の実施例、第５の実施例と異なるところは、突起部
が存在せず、磁気ヘッドスライダ８の流入端２０側に防
止壁がないことである。磁気ヘッドスライダ８の流入端
２０が可撓性支持部材１に直接接触する。これら第４〜
６の実施例では、導電性接着剤を用いずに、磁気ヘッド
スライダ８と可撓性支持部材１の電気的接続を確保する
ことができる。FIG. 6 is a sectional view of the distal end of a flexible support member 1 of a magnetic head assembly according to a sixth embodiment of the present invention.
The difference from the fourth and fifth embodiments is that there is no protrusion and there is no prevention wall on the inflow end 20 side of the magnetic head slider 8. The inflow end 20 of the magnetic head slider 8 directly contacts the flexible support member 1. These 4th ~
In the sixth embodiment, electrical connection between the magnetic head slider 8 and the flexible support member 1 can be secured without using a conductive adhesive.
【００２６】図７は、本発明の一実施例の磁気ヘッド装
置の斜視図である。磁気ディスク１４はスピンドル１５
に固定される。アーム１７と接続するサスペンション１
６には、磁気ヘッドスライダ８が保持され、その磁気デ
ィスク１４に対向する位置には磁気ヘッド素子部が設け
られ、情報の記録、再生を行う。磁気ヘッド素子部は、
アーム１７が固定軸１９を中心にしてボイスコイルモー
タ１８により回転移動し、磁気ディスク１４上を移動す
る。また、これらを制御する制御機構がある。この磁気
ヘッド装置の磁気ヘッド組立体に、上記各実施例の磁気
ヘッド組立体を用いることにより、その信頼性を向上さ
せることができた。FIG. 7 is a perspective view of a magnetic head device according to one embodiment of the present invention. The magnetic disk 14 has a spindle 15
Fixed to Suspension 1 connected to arm 17
6, a magnetic head slider 8 is held, and a magnetic head element section is provided at a position facing the magnetic disk 14 to record and reproduce information. The magnetic head element is
The arm 17 is rotated around the fixed shaft 19 by the voice coil motor 18 and moves on the magnetic disk 14. There is a control mechanism for controlling these. By using the magnetic head assemblies of the above embodiments for the magnetic head assembly of this magnetic head device, the reliability thereof could be improved.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上述べたように、本発明の磁気ヘッド
組立体は、静電気による磁気ヘッド素子の破壊を防ぐと
共に、非導電性接着剤や導電性接着剤により生じる弊害
を防止することができた。また、本発明の磁気ヘッド装
置は、本発明の磁気ヘッド組立体を有することにより、
信頼性を向上させることができた。As described above, the magnetic head assembly of the present invention can prevent the destruction of the magnetic head element due to static electricity, and can prevent the adverse effects caused by the non-conductive adhesive or the conductive adhesive. Was. Further, the magnetic head device of the present invention has the magnetic head assembly of the present invention,
Reliability could be improved.
【図１】本発明の第１の実施例の磁気ヘッド組立体の可
撓性支持部材の先端部の平面図である。FIG. 1 is a plan view of a distal end portion of a flexible support member of a magnetic head assembly according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２の実施例の磁気ヘッド組立体の可
撓性支持部材の先端部の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a distal end portion of a flexible support member of a magnetic head assembly according to a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第３の実施例の磁気ヘッド組立体の可
撓性支持部材の先端部の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a distal end portion of a flexible support member of a magnetic head assembly according to a third embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第４の実施例の磁気ヘッド組立体の可
撓性支持部材の先端部の断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a distal end portion of a flexible support member of a magnetic head assembly according to a fourth embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第４の実施例の磁気ヘッド組立体の可
撓性支持部材の先端部の断面図である。FIG. 5 is a sectional view of a distal end portion of a flexible support member of a magnetic head assembly according to a fourth embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第４の実施例の磁気ヘッド組立体の可
撓性支持部材の先端部の断面図である。FIG. 6 is a sectional view of a distal end portion of a flexible support member of a magnetic head assembly according to a fourth embodiment of the present invention.
【図７】本発明の一実施例の磁気ディスク装置の分解斜
視図である。FIG. 7 is an exploded perspective view of the magnetic disk drive of one embodiment of the present invention.
【図８】本発明の１実施例の磁気ヘッド組立体の斜視図
である。FIG. 8 is a perspective view of a magnetic head assembly according to one embodiment of the present invention.
１…可撓性支持部材 ２…導電性接着剤塗布領域 ３…非導電性接着剤塗布領域 ４…（磁気ヘッドスライダの）貼付け位置 ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ、５ｆ…防止壁 ６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、１３…電極端子 ７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ…配線 ８…磁気ヘッドスライダ ９、１０…突起部 １１…金ポール １２ａ、１２ｂ…絶縁層 １４…磁気ディスク １５…スピンドル １６…サスペンション １６ａ…ロードビーム １６ｂ…バネ部 １７…アーム １８…ボイスコイルモータ １９…固定軸 ２０…流入端 ２１…非導電性接着剤 ２２…電極端子（磁気ヘッド素子部側） ２３…アームスタック ２４…コネクタ嵌め合い部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Flexible support member 2 ... Conductive adhesive application area 3 ... Non-conductive adhesive application area 4 ... Sticking position (of magnetic head slider) 5a, 5b, 5c, 5d, 5e, 5f ... Prevention wall 6a 6b, 6c, 6d, 13 ... electrode terminals 7a, 7b, 7c, 7d ... wiring 8 ... magnetic head slider 9, 10 ... protrusion 11 ... gold poles 12a, 12b ... insulating layer 14 ... magnetic disk 15 ... spindle 16 ... suspension 16a: Load beam 16b: Spring 17: Arm 18: Voice coil motor 19: Fixed shaft 20: Inflow end 21: Non-conductive adhesive 22: Electrode terminal (magnetic head element side) 23: Arm stack 24: Connector fitting Joint
Claims (5)
置された磁気ヘッドスライダと、該磁気ヘッドスライダ
を保持し、上記サスペンションに接続される可撓性支持
部材と、該可撓性支持部材上に設けられた配線に接続す
る電極端子とを有する磁気ヘッド組立体において、上記
可撓性支持部材と上記磁気ヘッドスライダとが導電性接
着剤により接着されており、上記可撓性支持部材上の該
導電性接着剤が設けられた領域と上記電極端子との間
に、はみ出し防止壁を有することを特徴とする磁気ヘッ
ド組立体。A suspension, a magnetic head slider on which a magnetic head element is disposed, a flexible support member holding the magnetic head slider and connected to the suspension, and a flexible support member mounted on the flexible support member. In the magnetic head assembly having an electrode terminal connected to the provided wiring, the flexible support member and the magnetic head slider are adhered by a conductive adhesive, and the flexible support member is provided on the flexible support member. A magnetic head assembly, comprising a protrusion prevention wall between a region provided with a conductive adhesive and the electrode terminal.
が設けられた領域と異なる領域に、上記磁気ヘッドスラ
イダを接着する非導電性接着剤が設けられた領域を有
し、該非導電性接着剤が設けられた領域は、上記はみ出
し防止壁により上記電極端子と隔てられていることを特
徴とする請求項１記載の磁気ヘッド組立体。And a region provided with a non-conductive adhesive for adhering the magnetic head slider in a region on the flexible support member different from the region provided with the conductive adhesive. 2. The magnetic head assembly according to claim 1, wherein a region where the conductive adhesive is provided is separated from the electrode terminal by the protrusion prevention wall.
置された磁気ヘッドスライダと、該磁気ヘッドスライダ
を保持し、上記サスペンションに接続される可撓性支持
部材と、該可撓性支持部材上に設けられた配線に接続す
る電極端子とを有する磁気ヘッド組立体において、上記
磁気ヘッドスライダと上記可撓性支持部材とは非導電性
接着剤により接着されており、上記磁気ヘッドスライダ
と上記可撓性支持部材とが直接接触するか、或いはいず
れか一方に設けられた凸部により両者が接触して電気的
に接続され、上記可撓性支持部材上の上記非導電性接着
剤が設けられた領域と上記電極端子との間に、はみ出し
防止壁を有することを特徴とする磁気ヘッド組立体。3. A suspension, a magnetic head slider on which a magnetic head element is arranged, a flexible support member holding the magnetic head slider and connected to the suspension, and a flexible support member mounted on the flexible support member. In the magnetic head assembly having an electrode terminal connected to the provided wiring, the magnetic head slider and the flexible support member are adhered by a non-conductive adhesive, and the magnetic head slider and the flexible The non-conductive adhesive on the flexible support member was provided, either in direct contact with the flexible support member or in contact with and electrically connected to each other by a convex portion provided on one of the flexible support members. A magnetic head assembly having a protrusion prevention wall between a region and the electrode terminal.
ら５０μｍの範囲であることを特徴とする請求項１から
３のいずれか一に記載の磁気ヘッド組立体。4. The magnetic head assembly according to claim 1, wherein the height of the protrusion prevention wall is in a range of 10 μm to 50 μm.
対向して設けられ、情報の記録、再生を行うための磁気
ヘッド素子部を有する磁気ヘッドスライダ、該磁気ヘッ
ドスライダを保持する可撓性支持部材及び該可撓性支持
部材と接続するサスペンションを有する磁気ヘッド組立
体と、該磁気ヘッド組立体を固定軸を中心にして回転さ
せ、上記磁気ヘッド素子部を上記磁気ディスク上を移動
させるためのボイスコイルモータと、これらを制御する
制御機構とを有する磁気ヘッド装置において、上記磁気
ヘッド組立体は、請求項１から４のいずれか一に記載の
磁気ヘッド組立体であることを特徴とする磁気ヘッド装
置。5. A magnetic head slider provided with a magnetic disk and a magnetic head element portion provided to face each surface of the magnetic disk for recording and reproducing information, and a flexible holding the magnetic head slider. Head assembly having a flexible support member and a suspension connected to the flexible support member, and rotating the magnetic head assembly about a fixed axis to move the magnetic head element portion over the magnetic disk And a control mechanism for controlling these voice coil motors, wherein the magnetic head assembly is the magnetic head assembly according to any one of claims 1 to 4. Magnetic head device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11104396A JP2000298812A (en) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | Magnetic head assembly and magnetic head apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11104396A JP2000298812A (en) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | Magnetic head assembly and magnetic head apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000298812A true JP2000298812A (en) | 2000-10-24 |
Family
ID=14379584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11104396A Pending JP2000298812A (en) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | Magnetic head assembly and magnetic head apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000298812A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP5150637B2 (en) * | 2007-09-10 | 2013-02-20 | アルプス電気株式会社 | Magnetic sensor module |
-
1999
- 1999-04-12 JP JP11104396A patent/JP2000298812A/en active Pending
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