JP2000252570A - 波長変換固体レーザ装置 - Google Patents
波長変換固体レーザ装置Info
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- JP2000252570A JP2000252570A JP11051039A JP5103999A JP2000252570A JP 2000252570 A JP2000252570 A JP 2000252570A JP 11051039 A JP11051039 A JP 11051039A JP 5103999 A JP5103999 A JP 5103999A JP 2000252570 A JP2000252570 A JP 2000252570A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】長期間の使用により発生するＳＨＧ素子（例え
ばＫＮ）中のドメイン（内部欠陥）によるレーザ出力強
度の不安定と、出力ビームの形の変化による固体レーザ
装置の出力強度の低下を防止する。 【解決手段】ＳＨＧ素子（ＫＮ）５は、モータ３４によ
って光軸に対し水平面で直角方向に移動されるように構
成されており、長時間レーザを連続使用中にＫＮ中にド
メインが形成された場合、ＳＨ波モニタ信号１０を介し
てＳＨ波の不安定性が演算処理部４１で検出され、その
出力信号によって、モータ駆動回路４２に電源４３が供
給され、モータ３４が回転してＫＮ内でのレーザ透過経
路が移動し、レーザ光強度の安定を維持することができ
る。
ばＫＮ）中のドメイン（内部欠陥）によるレーザ出力強
度の不安定と、出力ビームの形の変化による固体レーザ
装置の出力強度の低下を防止する。 【解決手段】ＳＨＧ素子（ＫＮ）５は、モータ３４によ
って光軸に対し水平面で直角方向に移動されるように構
成されており、長時間レーザを連続使用中にＫＮ中にド
メインが形成された場合、ＳＨ波モニタ信号１０を介し
てＳＨ波の不安定性が演算処理部４１で検出され、その
出力信号によって、モータ駆動回路４２に電源４３が供
給され、モータ３４が回転してＫＮ内でのレーザ透過経
路が移動し、レーザ光強度の安定を維持することができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、短波長光の光源、
光ディスク、半導体リソグラフィ、光通信、光スイッチ
等に用いられる波長変換固体レーザ装置、特に非線形光
学結晶を用いて波長変換を行う波長変換固体レーザ装置
に関する。
光ディスク、半導体リソグラフィ、光通信、光スイッチ
等に用いられる波長変換固体レーザ装置、特に非線形光
学結晶を用いて波長変換を行う波長変換固体レーザ装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】波長変換固体レーザ装置は、光共振器内
に置かれた固体レーザ媒質（例えばＹＡＧ結晶等）に、
半導体レーザ等の励起源から出力されたレーザ光を集光
して照射し、その固体レーザ媒質を励起することによっ
て光共振器（以下、共振器と称す）内で発振を引き起こ
させ、その共振器内に非線形光学結晶のＳＨＧ（Ｓｅｃ
ｏｎｄ Ｈａｒｍｏｎｉｃ Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ）素
子を配置し、ＳＨ波（第２高調波）を発生させる装置で
ある。この種の波長変換固体レーザ装置のうち、固体レ
ーザ媒質の励起を半導体レーザからの出力光によって行
うものにおいては、従来、ＳＨ波の出力を安定化するた
めに、ＳＨ波の出力強度を直接的にモニタし、そのモニ
タ結果に基づいて励起光強度を制御する方法が用いられ
ている。
に置かれた固体レーザ媒質（例えばＹＡＧ結晶等）に、
半導体レーザ等の励起源から出力されたレーザ光を集光
して照射し、その固体レーザ媒質を励起することによっ
て光共振器（以下、共振器と称す）内で発振を引き起こ
させ、その共振器内に非線形光学結晶のＳＨＧ（Ｓｅｃ
ｏｎｄ Ｈａｒｍｏｎｉｃ Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ）素
子を配置し、ＳＨ波（第２高調波）を発生させる装置で
ある。この種の波長変換固体レーザ装置のうち、固体レ
ーザ媒質の励起を半導体レーザからの出力光によって行
うものにおいては、従来、ＳＨ波の出力を安定化するた
めに、ＳＨ波の出力強度を直接的にモニタし、そのモニ
タ結果に基づいて励起光強度を制御する方法が用いられ
ている。
【０００３】図４はこのような出力安定化法を用いた従
来の波長変換固体レーザ装置の一構成例を示したもので
ある。本装置において、半導体レーザ（ＬＤ）１１から
の出力光は集光用のコリメータレンズ１２、フォーカシ
ングレンズ１３を介して励起光として固体レーザ媒質１
４に照射される。固体レーザ媒質１４の励起光入射端面
には、半導体レーザ１１の出力波長を透過させ、固体レ
ーザ媒質１４からの誘導波長（基本波長）並びにそのＳ
ＨＧ波長を高反射率のもとに反射させる高反射率コート
膜１４ａが形成されており、この高反射率コート膜１４
ａと、出力ミラー１６によって共振器が構成されている
と共に、その共振器内に例えばＫＮｂＯ ３（略してＫ
Ｎ）等のＳＨＧ素子１５が収容されている。半導体レー
ザ１１からの出力光による励起により固体レーザ媒質１
４から誘導放出された基本波が、このＳＨＧ素子１５に
入射されることによりＳＨ波が生成される。出力ミラー
１６はＳＨ波を主として透過させ、ＳＨ波が共振器外に
出力される。そして、この共振器外に出力されたＳＨ波
は、出力ミラー１６に近接配置されたビームスプリッタ
１７によって、実際の出力光とモニタ光に分離され、モ
ニタ光がフォトダイオード１８に導かれてその強度が検
出される。この検出結果は半導体レーザ１１の駆動用電
源１９にフィードバックされ、ＳＨ波出力強度が一定値
を保持するように駆動用電源１９から半導体レーザ１１
に供給する電流値が制御される。
来の波長変換固体レーザ装置の一構成例を示したもので
ある。本装置において、半導体レーザ（ＬＤ）１１から
の出力光は集光用のコリメータレンズ１２、フォーカシ
ングレンズ１３を介して励起光として固体レーザ媒質１
４に照射される。固体レーザ媒質１４の励起光入射端面
には、半導体レーザ１１の出力波長を透過させ、固体レ
ーザ媒質１４からの誘導波長（基本波長）並びにそのＳ
ＨＧ波長を高反射率のもとに反射させる高反射率コート
膜１４ａが形成されており、この高反射率コート膜１４
ａと、出力ミラー１６によって共振器が構成されている
と共に、その共振器内に例えばＫＮｂＯ ３（略してＫ
Ｎ）等のＳＨＧ素子１５が収容されている。半導体レー
ザ１１からの出力光による励起により固体レーザ媒質１
４から誘導放出された基本波が、このＳＨＧ素子１５に
入射されることによりＳＨ波が生成される。出力ミラー
１６はＳＨ波を主として透過させ、ＳＨ波が共振器外に
出力される。そして、この共振器外に出力されたＳＨ波
は、出力ミラー１６に近接配置されたビームスプリッタ
１７によって、実際の出力光とモニタ光に分離され、モ
ニタ光がフォトダイオード１８に導かれてその強度が検
出される。この検出結果は半導体レーザ１１の駆動用電
源１９にフィードバックされ、ＳＨ波出力強度が一定値
を保持するように駆動用電源１９から半導体レーザ１１
に供給する電流値が制御される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の波長変換固体レ
ーザ装置は上記のように構成されているが、固体レーザ
装置の共振器は長時間使用中に、ＳＨＧ素子であるＫＮ
結晶中にドメインと呼ばれる内部欠陥が形成される場合
がある。この場合、従来の波長変換固体レーザ装置のよ
うな出力安定化法では、ドメインが形成されるとレーザ
出力光強度が不規則に不安定になり、出力ビームの形が
変化して制御しきれず、ＳＨ波レーザ光の出力強度が低
下するという問題があった。
ーザ装置は上記のように構成されているが、固体レーザ
装置の共振器は長時間使用中に、ＳＨＧ素子であるＫＮ
結晶中にドメインと呼ばれる内部欠陥が形成される場合
がある。この場合、従来の波長変換固体レーザ装置のよ
うな出力安定化法では、ドメインが形成されるとレーザ
出力光強度が不規則に不安定になり、出力ビームの形が
変化して制御しきれず、ＳＨ波レーザ光の出力強度が低
下するという問題があった。
【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、長時間使用によるＫＮ結晶内でのドメ
イン形成に対して出力光強度の揺らぎや低下を生じさせ
ない波長変換固体レーザ装置を提供することを目的とす
る。
たものであって、長時間使用によるＫＮ結晶内でのドメ
イン形成に対して出力光強度の揺らぎや低下を生じさせ
ない波長変換固体レーザ装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の波長変換固体レーザ装置は半導体レーザか
らの出力光により励起される固体レーザ媒質を含む光共
振器内に非線形光学結晶を収容して、前記固体レーザ媒
質から誘導放出される基本波を光共振器内で発振させ、
そのレーザ光を非線形光学結晶に照射して得られる第２
高調波を出力ミラーを介して外部に出力するように構成
されたレーザ装置において、前記非線形光学結晶を移動
する非線形光学結晶移動手段を設け、前記非線形光学結
晶中を透過するレーザ光の透過経路を変えることができ
るようにしたことを特徴とする。
め、本発明の波長変換固体レーザ装置は半導体レーザか
らの出力光により励起される固体レーザ媒質を含む光共
振器内に非線形光学結晶を収容して、前記固体レーザ媒
質から誘導放出される基本波を光共振器内で発振させ、
そのレーザ光を非線形光学結晶に照射して得られる第２
高調波を出力ミラーを介して外部に出力するように構成
されたレーザ装置において、前記非線形光学結晶を移動
する非線形光学結晶移動手段を設け、前記非線形光学結
晶中を透過するレーザ光の透過経路を変えることができ
るようにしたことを特徴とする。
【０００７】前記非線形光学結晶（ＳＨＧ素子）移動手
段として、モータ等の駆動力によってＳＨＧ素子を固着
しているホルダを光軸に対し水平面で直角方向に移動で
きるＳＨＧ素子移動機構を用い、ホルダを移動してレー
ザ光の透過経路を変えることにより、本装置の長時間使
用による出力光強度の揺らぎや低下を防ぎ、長寿命化と
強度の安定性の向上を得ることができる。
段として、モータ等の駆動力によってＳＨＧ素子を固着
しているホルダを光軸に対し水平面で直角方向に移動で
きるＳＨＧ素子移動機構を用い、ホルダを移動してレー
ザ光の透過経路を変えることにより、本装置の長時間使
用による出力光強度の揺らぎや低下を防ぎ、長寿命化と
強度の安定性の向上を得ることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。図１は本発明の波長変換固体レーザ装
置の実施例を示す概略構成図である。本装置は励起光を
出力するための半導体レーザ１と、励起光を集光するた
めのコリメータレンズ２、フォーカシングレンズ３と、
固体レーザ媒質４、ＳＨＧ素子移動機構３０により光軸
に対し水平面で直角方向に移動可能なＳＨＧ素子５、及
び出力ミラー６からなる共振器と、ビームスプリッター
７、フォトダイオード８、ＳＨ波モニタ信号１０及び半
導体レーザを駆動するための駆動用電源９からなる出力
安定回路と、ＳＨＧ素子移動機構３０を制御するための
制御部４０から構成されている。
づいて説明する。図１は本発明の波長変換固体レーザ装
置の実施例を示す概略構成図である。本装置は励起光を
出力するための半導体レーザ１と、励起光を集光するた
めのコリメータレンズ２、フォーカシングレンズ３と、
固体レーザ媒質４、ＳＨＧ素子移動機構３０により光軸
に対し水平面で直角方向に移動可能なＳＨＧ素子５、及
び出力ミラー６からなる共振器と、ビームスプリッター
７、フォトダイオード８、ＳＨ波モニタ信号１０及び半
導体レーザを駆動するための駆動用電源９からなる出力
安定回路と、ＳＨＧ素子移動機構３０を制御するための
制御部４０から構成されている。
【０００９】前記共振器内の固体レーザ媒質４にはＮ
ｄ：ＹＡＧ結晶、ＳＨＧ素子５にはＫＮｂＯ３の非線形
光学結晶を用い、固体レーザ媒質４の励起光入射端面４
ａには基本波並びにＳＨ波に対して高い反射率をもつ、
誘電体多層膜がコーティングされている。
ｄ：ＹＡＧ結晶、ＳＨＧ素子５にはＫＮｂＯ３の非線形
光学結晶を用い、固体レーザ媒質４の励起光入射端面４
ａには基本波並びにＳＨ波に対して高い反射率をもつ、
誘電体多層膜がコーティングされている。
【００１０】前記ＳＨＧ素子移動機構３０は、図２に示
すようにＳＨＧ素子５を固着しネジ穴３１ａを設けたホ
ルダ３１と、該ホルダ３１を光軸に対し水平面で直角方
向に移動可能に滑合させるための案内溝３２ａを設けた
ベース板３２と、前記ネジ穴３１ａと螺合するネジ棒３
３を回転軸に連結した減速機構付モータ３４から構成さ
れ、図１のＳＨ波モニタ信号１０を入力とする演算処理
部４１とモータ駆動回路４２及び電源４３からなる制御
部４０によって制御される。なお、ベース板３２はＳＨ
Ｇ素子の安定化のために温度制御（図示せず）されてい
る。
すようにＳＨＧ素子５を固着しネジ穴３１ａを設けたホ
ルダ３１と、該ホルダ３１を光軸に対し水平面で直角方
向に移動可能に滑合させるための案内溝３２ａを設けた
ベース板３２と、前記ネジ穴３１ａと螺合するネジ棒３
３を回転軸に連結した減速機構付モータ３４から構成さ
れ、図１のＳＨ波モニタ信号１０を入力とする演算処理
部４１とモータ駆動回路４２及び電源４３からなる制御
部４０によって制御される。なお、ベース板３２はＳＨ
Ｇ素子の安定化のために温度制御（図示せず）されてい
る。
【００１１】前記演算処理部４１は、図３のフローチャ
ートに示すステップＳ１からＳ５の演算処理を繰り返し
実行する。すなわち、ＳＨ波モニタ信号１０を一定時間
ごとにサンプリングしてデータＰｎを記憶し（Ｓ１）、
Ｐｎと連続した過去のデータＰｎ−ｉ（ｉ＝０〜ｋ）の
平均値Ｐａｖｅを求め（Ｓ２）、この平均値Ｐａｖｅと
過去のデータＰｎ−ｉとの偏差△Ｐｎ−ｉ（ｉ＝０〜
ｋ）を求め（Ｓ３）、この偏差△Ｐｎ−ｉがデータのば
らつき幅の許容値Ａを越える度数がデータのばらつき頻
度制限値Ｂを越えるかを判定し（Ｓ４）、Ｂを越える場
合はモータ駆動回路４２に電源４３を接続するための信
号（結合信号）を一定時間出力し（Ｓ５）、Ｂを越えな
い場合はステップＳ２に戻る。
ートに示すステップＳ１からＳ５の演算処理を繰り返し
実行する。すなわち、ＳＨ波モニタ信号１０を一定時間
ごとにサンプリングしてデータＰｎを記憶し（Ｓ１）、
Ｐｎと連続した過去のデータＰｎ−ｉ（ｉ＝０〜ｋ）の
平均値Ｐａｖｅを求め（Ｓ２）、この平均値Ｐａｖｅと
過去のデータＰｎ−ｉとの偏差△Ｐｎ−ｉ（ｉ＝０〜
ｋ）を求め（Ｓ３）、この偏差△Ｐｎ−ｉがデータのば
らつき幅の許容値Ａを越える度数がデータのばらつき頻
度制限値Ｂを越えるかを判定し（Ｓ４）、Ｂを越える場
合はモータ駆動回路４２に電源４３を接続するための信
号（結合信号）を一定時間出力し（Ｓ５）、Ｂを越えな
い場合はステップＳ２に戻る。
【００１２】この波長変換固体レーザ装置では、半導体
レーザ１から発したレーザ光がコリメータレンズ２によ
って平行光線とされた後、フォーカシングレンズ３によ
って収束され、固体レーザ媒質４を励起する。この固体
レーザ媒質４は、その励起入射端面４ａと出力ミラー６
からなる共振器内に配置されており、励起されるとレー
ザ発振を起こす。このレーザ光はホルダ３１に固着した
ＳＨＧ素子５に照射され、Ｎｄ：ＹＡＧ９４６ｎｍレー
ザのＳＨ波である４７３ｎｍのブルーレーザ光を発生さ
せる。これにより波長変換が行なわれ短波長化したレー
ザ光が、出力ミラー６を通過して固体レーザ装置の外部
へ出力される。
レーザ１から発したレーザ光がコリメータレンズ２によ
って平行光線とされた後、フォーカシングレンズ３によ
って収束され、固体レーザ媒質４を励起する。この固体
レーザ媒質４は、その励起入射端面４ａと出力ミラー６
からなる共振器内に配置されており、励起されるとレー
ザ発振を起こす。このレーザ光はホルダ３１に固着した
ＳＨＧ素子５に照射され、Ｎｄ：ＹＡＧ９４６ｎｍレー
ザのＳＨ波である４７３ｎｍのブルーレーザ光を発生さ
せる。これにより波長変換が行なわれ短波長化したレー
ザ光が、出力ミラー６を通過して固体レーザ装置の外部
へ出力される。
【００１３】このブルーレーザ光はビームスプリッタ７
によって出力用ブルーレーザ光とモニタ用ブルーレーザ
光に分離され、モニタ用ブルーレーザ光はフォトダイオ
ード８によってＳＨ波モニタ信号１０に変換されてその
強度が検出される。このＳＨ波モニタ信号は、半導体レ
ーザ１の励起光強度を調節するための駆動電流を出力す
る駆動電源９にフィードバックされ、ブルーレーザ光強
度が一定になるように駆動電流が制御され、環境温度や
各構成部品の特性変化の影響を補償している。
によって出力用ブルーレーザ光とモニタ用ブルーレーザ
光に分離され、モニタ用ブルーレーザ光はフォトダイオ
ード８によってＳＨ波モニタ信号１０に変換されてその
強度が検出される。このＳＨ波モニタ信号は、半導体レ
ーザ１の励起光強度を調節するための駆動電流を出力す
る駆動電源９にフィードバックされ、ブルーレーザ光強
度が一定になるように駆動電流が制御され、環境温度や
各構成部品の特性変化の影響を補償している。
【００１４】一方、ＳＨ波モニタ信号１０は、演算処理
部４１にも入力され、図３に示したステップＳ１からＳ
５の手順に従いＳＨ波モニタ信号１０のばらつき（不安
定性）がチェックされ、ばらつき頻度の制限値Ｂを越え
ている場合、即ち、ＳＨＧ素子内にドメインが形成され
た場合、演算処理部４１から一定時間モータ駆動回路４
２に電源４３を結合するための結合信号が出力される。
そして、モータ３４が回転駆動されてネジ棒３３が一定
方向に回転され、ベース板３２上のホルダ３１はネジ棒
３３の軸方向に一定距離だけ移動する。これにより、光
軸がＳＨＧ素子５内のドメイン形成による内部欠陥部か
ら外れた正常経路を透過し、ＳＨ波モニタ信号のばらつ
きがなくなり、ホルダ３１をその安定位置に保持する。
また、前記結合信号のＯＮ／ＯＦＦを手動で行ない、ド
メイン形成前にＳＨＧ素子５の位置を変えることもでき
る。
部４１にも入力され、図３に示したステップＳ１からＳ
５の手順に従いＳＨ波モニタ信号１０のばらつき（不安
定性）がチェックされ、ばらつき頻度の制限値Ｂを越え
ている場合、即ち、ＳＨＧ素子内にドメインが形成され
た場合、演算処理部４１から一定時間モータ駆動回路４
２に電源４３を結合するための結合信号が出力される。
そして、モータ３４が回転駆動されてネジ棒３３が一定
方向に回転され、ベース板３２上のホルダ３１はネジ棒
３３の軸方向に一定距離だけ移動する。これにより、光
軸がＳＨＧ素子５内のドメイン形成による内部欠陥部か
ら外れた正常経路を透過し、ＳＨ波モニタ信号のばらつ
きがなくなり、ホルダ３１をその安定位置に保持する。
また、前記結合信号のＯＮ／ＯＦＦを手動で行ない、ド
メイン形成前にＳＨＧ素子５の位置を変えることもでき
る。
【００１５】なお、本実施例においては固体レーザ媒質
にＮｄ：ＹＡＧ結晶、ＳＨＧ素子にＫＮｂＯ３を用いた
が、固体レーザ媒質としてＮｄ：ＹＬＦやＮｄ：ＹＶＯ
４等、ＳＨＧ素子としてＬｉＢ３Ｏ５等の他の結晶を用
いることができる。また、ＳＨＧ素子にＫＴｉＯＰＯ４
を用いてグリーンレーザ（発振波長５３２ｎｍ）を発生
させる場合にも適用することができる。また、本実施例
においては励起光源に半導体レーザを、ＳＨＧ素子の移
動方法にモータを用いたが、ランプ等の他の光源や、圧
電素子あるいはカンチレバー等を使用したＳＨＧ素子移
動機構を用いることもできる。
にＮｄ：ＹＡＧ結晶、ＳＨＧ素子にＫＮｂＯ３を用いた
が、固体レーザ媒質としてＮｄ：ＹＬＦやＮｄ：ＹＶＯ
４等、ＳＨＧ素子としてＬｉＢ３Ｏ５等の他の結晶を用
いることができる。また、ＳＨＧ素子にＫＴｉＯＰＯ４
を用いてグリーンレーザ（発振波長５３２ｎｍ）を発生
させる場合にも適用することができる。また、本実施例
においては励起光源に半導体レーザを、ＳＨＧ素子の移
動方法にモータを用いたが、ランプ等の他の光源や、圧
電素子あるいはカンチレバー等を使用したＳＨＧ素子移
動機構を用いることもできる。
【００１６】さらに、演算処理部４１におけるＳＨ波の
強度のばらつきを検出する方法は本実施例に限定される
ものでなく、例えば、サンプリングデータ列の標準偏差
を求め、その大きさを判定する方法を用いてもよい。
強度のばらつきを検出する方法は本実施例に限定される
ものでなく、例えば、サンプリングデータ列の標準偏差
を求め、その大きさを判定する方法を用いてもよい。
【００１７】
【発明の効果】本発明の波長変換固体レーザ装置は上記
のように構成されており、共振器内のＳＨＧ素子（Ｋ
Ｎ）を搭載しているホルダがモータによって光軸に対し
直角方向へ移動することができるようになっているの
で、長時間使用した時にＫＮ内に形成されるドメインか
ら光軸経路を移動させることができ、出力光強度の揺ら
ぎや低下を避けることができ、長寿命化とレーザ光強度
の安定が得られる。
のように構成されており、共振器内のＳＨＧ素子（Ｋ
Ｎ）を搭載しているホルダがモータによって光軸に対し
直角方向へ移動することができるようになっているの
で、長時間使用した時にＫＮ内に形成されるドメインか
ら光軸経路を移動させることができ、出力光強度の揺ら
ぎや低下を避けることができ、長寿命化とレーザ光強度
の安定が得られる。
【図１】本発明の波長変換固体レーザ装置の実施例を示
す概略構成図である。
す概略構成図である。
【図２】本発明に用いられる非線形光学結晶移動機構を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図３】演算処理部のフローチャート図である。
【図４】従来の固体レーザ装置の概略構成図である。
１、１１・・・半導体レーザ（ＬＤ） ２、１２・・・コリメータレンズ ３、１３・・・フォーカシングレンズ ４、１４・・・固体レーザ媒質 ４ａ、１４ａ・・・高反射コート膜 ５、１５・・・ＳＨＧ素子 ６、１６・・・出力ミラー ７、１７・・・ビームスプリッター ８、１８・・・フォトダイオード ９、１９・・・駆動用電源 １０・・・ＳＨ波モニタ信号 ３０・・・ＳＨＧ素子移動機構 ３１・・・ホルダ ３１ａ・・・ネジ穴 ３２・・・ベース板 ３２ａ・・・案内溝 ３３・・・ネジ棒 ３４・・・モータ ４０・・・制御部 ４１・・・演算処理部 ４２・・・モータ駆動回路 ４３・・・電源
Claims (1)
- 【請求項１】半導体レーザからの出力光により励起され
る固体レーザ媒質を含む光共振器内に非線形光学結晶を
収容して、前記固体レーザ媒質から誘導放出される基本
波を光共振器内で発振させ、そのレーザ光を非線形光学
結晶に照射して得られる第２高調波を出力ミラーを介し
て外部に出力するように構成されたレーザ装置におい
て、前記非線形光学結晶を移動する非線形光学結晶移動
手段を設け、前記非線形光学結晶中を透過するレーザ光
の透過経路を変えることができるようにしたことを特徴
とする波長変換固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11051039A JP2000252570A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 波長変換固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11051039A JP2000252570A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 波長変換固体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000252570A true JP2000252570A (ja) | 2000-09-14 |
Family
ID=12875672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11051039A Pending JP2000252570A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 波長変換固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000252570A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003046173A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置、波長変換素子、レーザ発振器、波長変換装置およびレーザ加工方法 |
| JP2010231237A (ja) * | 2002-02-13 | 2010-10-14 | Institute Of Physical & Chemical Research | 波長変換方法およびその装置 |
| US7961378B2 (en) | 2008-11-27 | 2011-06-14 | Megaopto Co., Ltd | Wavelength conversion light source apparatus and wavelength conversion method |
| CN104882775A (zh) * | 2015-06-11 | 2015-09-02 | 温州大学 | 多波长单窗口激光器及腔内输出端自动换镜系统 |
| CN104882777A (zh) * | 2015-06-11 | 2015-09-02 | 温州大学 | 多波长激光器腔内元件切换系统 |
| JP2017040947A (ja) * | 2010-11-09 | 2017-02-23 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 非線形光学結晶中の結晶位置寿命の測定 |
-
1999
- 1999-02-26 JP JP11051039A patent/JP2000252570A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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