JP2000243270A - 金属膜形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 蛍光面上に形成する金属膜にフクレ、ハガレ
が発生することを抑止するとともに、蛍光体層に対して
金属膜を強固に貼りつけることを可能とした金属膜形成
方法を提供する。 【解決手段】 蛍光体層３Ｂ，３Ｇ，３Ｒ上に金属膜６
を形成する方法であって、蛍光体層３Ｂ，３Ｇ，３Ｒ上
に界面活性剤を散布する第１のステップと、蛍光体層３
Ｂ，３Ｇ，３Ｒ上に樹脂層５を形成する第２のステップ
と、前記樹脂層５上に金属膜６を形成する第３のステッ
プと、熱処理を施して樹脂層５を熱分解して、金属膜６
を蛍光体層３Ｂ，３Ｇ，３Ｒ上に密着させる第４のステ
ップとを有する。樹脂層５をスクリーン印刷することに
より連続膜として形成することができ、これにより金属
膜６を均一に形成することができる。また、界面活性剤
の作用により蛍光体層３Ｂ，３Ｇ，３Ｒに対して金属膜
６を確実に密着させ、接着を強固なものとすることがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、陰極線管（ＣＲ
Ｔ）、電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ）等蛍光体の電子
線励起発光を利用した画像表示装置の蛍光面形成方法に
関し、特に蛍光体層上に金属蒸着膜を具備する表示装置
の金属膜形成方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年情報の多様化、高密度化に伴い、画
像表示装置には高性能化、大型化と画像品位の一層の向
上が求められてきている。一方電子線励起による発光を
利用した画像表示装置には現在陰極線管（ＣＲＴ）や蛍
光表示管（ＶＦＤ）、電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ）
などが知られているが、このうち電子の加速電圧を高く
することの可能なＣＲＴや高電圧型のＦＥＤにおいて
は、蛍光膜の帯電を防ぎ、かつ蛍光体発光を有効に表示
面へ引き出すことを目的に、蛍光体層上に金属蒸着膜を
具備させることが一般的であり、画像品位の向上を図る
場合、ピンホールの少ない金属蒸着膜をムラなく形成さ
せることが必要である。

【０００３】また、特に平面型画像表示装置であるＦＥ
Ｄの場合においては、高電流密度の電子線が蛍光体に照
射され、この刺激により反応性の高いガスを発生させる
ため、ガスの真空容器内への拡散を防御し、電子源、隔
壁等の他の装置構成部材を汚染させない効果も併せて期
待されており、この点で金属蒸着膜のピンホールを減少
させることが極めて重要となってきている。

【０００４】従来この金属蒸着膜の形成方法としては、
一旦樹脂による中間膜を蛍光体層上に形成し、これによ
り蛍光体層の凹凸を平坦化し、この後金属を蒸着し、最
後に樹脂中間層を熱分解除去させる方法が一般的であ
る。

【０００５】そして、樹脂中間層を形成させる方法とし
て実用化されているのは、下記に示す２種類の方法に大
別できる。第１の方法は、例えば特開平０７−１３０２
９１号公報に開示されていスピンコートにより溶剤系ラ
ッカーの皮膜を形成させる方法である。具体的にはコロ
イダルシリカ、界面活性剤などを含んだ水溶液を蛍光面
上に塗布し、まず蛍光体層の凹凸部を湿潤せしめ、つい
でポリメタクリレートを主成分とした樹脂を可塑剤とと
もにトルエン、キシレン等の非極性溶媒中に溶解させ、
これを蛍光面上にスプレーし、蛍光体凹凸上にｏ／ｗ型
の小滴を載せ、スピンコートにより延伸させたのち、水
分と溶剤成分を乾燥除去するといった方法である。

【０００６】第２の方法は、例えば米国特許第３５８２
３９０号において開示されており、アクリレートレジン
コポリマーの水性エマルジョンを蛍光面上に直接塗布
し、スピンコートすることにより樹脂中間層を形成する
方法である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た第１の方法には工程上次の様な問題を伴う。すなわ
ち、第１に溶剤系ラッカー液をスプレーさせるため、そ
のミストにより周囲の雰囲気を著しく汚染し、十分高い
頻度で装置周辺の清掃を行わないと、周辺に堆積したラ
ッカーゴミが蛍光面内に落下するといった問題が発生す
る。これが最終的に金属蒸着膜の巨大なピンホールとな
り画像品位と工程歩留の低下を招いてしまう。

【０００８】第２に、引火点の低い溶媒を用いたミスト
を噴霧するため、火災発生等の危険を伴い、炭酸ガス消
火設備等の多大な投資を必要とする等の問題である

【０００９】また、上述した第２の方法は下記の様な問
題点を有する。すなわち、樹脂中間層の膜厚を十分に得
ないと本来の目的である平滑化がなされないという問題
である。よってこの方法では、長時間または複数回の熱
分解除去工程を必要とするか、または意図的にガス抜け
用の小孔を形成させる必要があり、当然ピンホールの少
ない金属蒸着膜が得られないばかりではなく、しばしば
熱分解除去時に発生するガスにて金属蒸着膜が膨れる
（火ブクレ）或いは破れる（ハガレ）といった問題が発
生し易い。

【００１０】また水系の乾燥をムラ無く行うことは製造
技術上極めて困難であり、厳密にコントロールされた空
調設備と多大なエネルギーをもってしても安定せず、季
節変動等の要因によりしばしばホワイトユニフォミティ
（ＷＵ）が悪化するなどの問題が発生する。

【００１１】また上記２つの方法がスピンコート法を用
いていることによる共通の問題点がある。すなわち、塗
布液の大部分が廃却され材料の無駄が多いという問題で
ある。これは、ゼロエミッションといった時代の要請に
反するばかりではなく、本来必要としない表示面外へも
樹脂中間層皮膜を形成してしまうため、これを除去し洗
浄する工程が必要となるといった問題も発生している。

【００１２】また、ドット状またはストライプ状にパタ
ーニングされた蛍光面のように凹凸のある面へのスピン
コートは、必ずパターンエッジ部分と平滑な部分にて、
回転方向に依存する濃淡ムラが発生し、少なからず画像
品位を低下させるといった問題も発生する更に、上記の
問題点は基板の大面積化に伴い、より深刻なものとな
る。

【００１３】一方、これらの問題点を回避するための方
法も提案されている。例えば特開平１０−２３７４３７
号公報にはガラス基板上に配置された乾燥フィルム上に
蛍光体層を形成し、次いで加熱溶融させ蛍光体層をこの
フィルム内に沈めることにより金属蒸着前の蛍光面の凹
凸を平坦化させるといった方法が開示されている。

【００１４】しかしながら、この方法では必然的に蛍光
体層の膜厚と同等（２０μｍ以上）の程度の膜厚をフィ
ルムに求めることになり、熱分解除去時に発生するガス
は多大なものとなり、前記フクレ、ハガレといった問題
が深刻化する。また当然金属蒸着膜の緻密度は悪化す
る。

【００１５】また特開平１０−５１００９２号公報で
は、予め金属の蒸着された１０μｍ以下の樹脂フィルム
を、湿潤された蛍光面上に金属と蛍光面が直面するよう
に、または直面しないように配置し、熱分解除去する方
法が記載されている。

【００１６】しかし本提案者らによる同様の検討では、
必ずフィルムの熱収縮性が問題となり、非常に狭い面積
においてでさえ満足な金属蒸着面を蛍光面上に残すこと
は困難であった。また金属蒸着面を水に晒すことは、例
えば典型的に用いられるＡｌの場合酸化反応が促進さ
れ、著しい機能低下を発生させてしまう可能性が大き
い。

【００１７】従って、従来提案されてきた樹脂中間層の
形成方法では、ピンホールが少なく均一で、良好なホワ
イトユニフォミテフィを与える蛍光面を、歩留り良く、
しかも大面積の蛍光面に対し形成することは困難であっ
た。

【００１８】本発明は、このような問題を解決するため
に成されたものであり、蛍光面上形成する金属膜にフク
レ、ハガレが発生することを抑止するとともに、蛍光体
層に対して金属膜を強固に貼りつけることを可能とした
金属膜形成方法を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明の金属膜形成方法
は、蛍光体層上に金属膜を形成する方法であって、前記
蛍光体層上に界面活性剤を付与する第１のステップと、
前記蛍光体層上に樹脂層を形成する第２のステップと、
前記樹脂層上に前記金属膜を形成する第３のステップ
と、熱処理を施して前記樹脂層を熱分解して、前記金属
膜を前記蛍光体層上に密着させる第４のステップとを有
する。

【００２０】本発明の金属膜形成方法の一態様例におい
ては、前記界面活性剤が、スルホン酸ナトリウムを官能
基として有するアニオン系界面活性剤を臨界ミセル濃度
以下に調整した希薄水溶液である。

【００２１】本発明の金属膜形成方法の一態様例におい
ては、前記樹脂層は、樹脂を含むペーストを前記蛍光体
層上に付与することにより形成する。

【００２２】本発明の金属膜形成方法の一態様例におい
ては、前記樹脂を含むペーストは、ポリメタクリレート
系又はセルロース系の樹脂を、当該樹脂の融点以下の温
度に沸点を有する有機溶媒に溶解させることにより形成
されている。

【００２３】本発明の金属膜形成方法の一態様例におい
ては、前記蛍光体層は基板上に形成されており、前記第
２のステップと前記第３のステップの間に、前記ペース
トの溶媒成分を除去する第５のステップを有し、前記第
５のステップにおいて、前記蛍光体層を下側に向けた状
態で前記基板の下側に設置された熱発生源から熱を与え
ることにより、前記溶媒成分を除去する。

【００２４】本発明の金属膜形成方法の一態様例におい
て、前記樹脂層は、当該樹脂層の材料を印刷により付与
して形成される。

【００２５】本発明の金属膜形成方法の一態様例におい
て、前記界面活性剤は散布されるのが望ましい。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。先ず、本発明に係る方法により金
属膜を形成した蛍光面を有する画像表示パネルの全体構
成について説明する。

【００２７】図５は、表示パネルを示す斜視図であり、
内部構造を示すためにパネルの１部を切り欠いて示して
いる。図中、１００５はリアプレ−ト、１００６は側
壁、１００７はフェ−スプレ−トであり、１００５〜１
００７により表示パネルの内部を真空に維持するための
気密容器を形成している。気密容器を組み立てるにあた
っては、各部材の接合部に十分な強度と気密性を保持さ
せるため封着する必要があるが、たとえばフリットガラ
スを接合部に塗布し、大気中あるいは窒素雰囲気中で、
摂氏４００〜５００度で１０分以上焼成することにより
封着を達成した。気密容器内部を真空に排気する方法に
ついては後述する。

【００２８】リアプレ−ト１００５には、基板１００１
が固定されているが、該基板上には表面伝導型電子放出
素子１００２がＮ×Ｍ個形成されている。（Ｎ，Ｍは２
以上の正の整数であり、目的とする表示画素数に応じて
適宜設定される。たとえば、高品位テレビジョンの表示
を目的とした表示装置においては、Ｎ＝３０００，Ｍ＝
１０００以上の数を設定することが望ましい。本実施例
においては、Ｎ＝３０７２，Ｍ＝１０２４とした。）前
記Ｎ×Ｍ個の表面伝導型電子放出素子は、Ｍ本の行方向
配線１００３とＮ本の列方向配線１００４により単純マ
トリクス配線されている。ここで、基板１００１、表面
伝導型電子放出素子１００２、行方向配線１００３、列
方向配線１００４によって構成される部分を電子源基板
と呼ぶ。

【００２９】また、フェ−スプレ−ト１００７の下面に
は、蛍光膜１００８が形成されている。そして、蛍光膜
１００８のリアプレ−ト側の面には、ＣＲＴの分野では
公知のメタルバック１００９を設けてある。メタルバッ
ク１００９を設けた目的は、蛍光膜１００８が発する光
の一部を鏡面反射して光利用率を向上させる事や、負イ
オンの衝突から蛍光膜１００８を保護する事や、電子加
速電圧を印加するための電極として作用させる事や、蛍
光膜１００８を励起した電子の導電路として作用させる
事などである。本発明の金属膜形成方法は、このような
蛍光膜１００８（蛍光体層）上にメタルバック１００９
（金属膜）を形成する方法に関するものである。

【００３０】また、Ｄx1〜ＤxmおよびＤy1〜Ｄynおよび
Ｈｖは、当該表示パネルと不図示の電気回路とを電気的
に接続するために設けた気密構造の電気接続用端子であ
る。Ｄx1〜Ｄxmは電子源基板の行方向配線１００３と、
Ｄy1〜Ｄynは電子源基板の列方向配線１００４と、Ｈｖ
はフェ−スプレ−トのメタルバック１００９と電気的に
接続している。

【００３１】図６は、平面型の表面伝導型電子放出素子
の素子構成を示している。図６に示すのは、平面型の表
面伝導型電子放出素子の構成を説明するための平面図
（図６（ａ））および断面図（図６（ｂ））である。図
中、１１０１は基板、１１０２と１１０３は素子電極、
１１０４は導電性薄膜、１１０５は通電フォ−ミング処
理により形成した電子放出部、１１１３は通電活性化処
理により形成した薄膜である。素子電極１１０２，１１
０３に所定の電圧を印加しメタルバック１００９に高電
圧を印加することにより、電子放出部１１０５から電子
が放出されてメタルバック１００９に到達する。

【００３２】次に、図１を参照しながら本実施形態に係
る蛍光面の形成方法を説明する。図１は本実施形態に係
る蛍光面の形成方法を工程順に示す概略断面図である。

【００３３】先ず、図１（ａ）に示すように、フェイス
パネルとなるガラス基板１上に、反射層としてフォトリ
ソグラフィー法または印刷法により黒色反射層２（ブラ
ックマトリクス又はブラックストライプ）を形成する。

【００３４】そして、ドット状またはストライプ状にパ
ターニングされた青色の蛍光体３Ｂ（例えばＺｎＳ：Ａ
ｇ，Ｃｌ蛍光体：化成オプトニクス社製Ｐ２２−Ｇ
１）、緑色の蛍光体３Ｇ（例えばＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ蛍
光体：化成オプトニクス社製Ｐ２２−ＧＮ４）、赤色の
蛍光体３Ｒ（例えばＹ２Ｏ２Ｓ：Ｅｕ３＋蛍光体：化成
オプトニクス社製Ｐ２２−ＲＥ２）をスラリーフォトリ
ソグラフィー法またはスクリーン印刷法にて形成する。

【００３５】次に、これら黒色反射層２、蛍光体層３
Ｂ，３Ｇ，３Ｒの形成時に使用した有機樹脂分を加熱分
解して除去する。この工程は、蛍光体層３Ｂ，３Ｇ，３
Ｒに与える衝撃を考慮すると４５０℃以下の温度でなる
べく短い時間で焼成することが好ましい。

【００３６】また、この時点で不要な有機樹脂分を十分
に除去することにより、最終的に金属蒸着膜が形成され
た樹脂中間層５の熱分解除去時に発生するガスを大幅に
少なくすることができる。これにより、後で形成する金
属膜６におけるピンホールの発生を抑止することが可能
となる。

【００３７】続いて、樹脂分の除去された蛍光面３Ｂ，
３Ｇ，３Ｒ上に、スルホン酸ナトリウムを官能基として
有するアニオン系界面活性剤の希薄溶液を均一にスプレ
ーする。このスルホン酸ナトリウムは後述する樹脂中間
層５を熱分解して除去した後でも後で形成する金属膜６
と蛍光面の界面に残存し、両者を確実に接着させて金属
膜６（Ａｌ）のフクレを抑える効果があるが、接着部に
存在していれば良く、必ずしも高濃度の水溶液を必要と
しない。

【００３８】また、界面活性剤の表面圧低下作用により
蛍光体層３Ｂ，３Ｇ，３Ｒにおける蛍光体の粒子間の間
隙に比較的平坦な水の膜を形成させることができるが、
これら水溶液中にミセルを形成させる必要はなく、むし
ろ凝集によってゴミが発生するといった弊害に繋がる恐
れがあるため、上記アニオン系界面活性剤の水溶液は、
臨界ミセル濃度（ＣＭＣ）以下の希薄溶液として調製す
るのが好適である。すなわち、アニオン系界面活性剤の
水溶液の濃度は、できるだけ高濃度とするのが望ましい
が、扱い易いレベルの濃度にするのが好適である。

【００３９】また、この場合のアニオン系界面活性剤は
スルホン酸ナトリウムを官能基として含んでいればよ
い。アニオン系界面活性剤としては、例えばアルキルベ
ンゼンスルフォネートや第１級、第２級の高級脂肪酸硫
酸エステルのＮａ塩等があげられるが、熱分解性の良好
な低分子量のものが好ましく、また、構造中にスルホン
酸ナトリウムを複数基含む必要はない。この界面活性剤
のスプレーにより蛍光面３Ｂ，３Ｇ，３Ｒは湿潤され、
蛍光面３Ｂ，３Ｇ，３Ｒ上が図１（ｂ）に示す水の面
（濡れ面）４で覆われる。

【００４０】続いて、湿潤された蛍光体層３Ｂ，３Ｇ，
３Ｒ上に樹脂中間層５をスクリーン印刷する。これによ
り、図１（ｃ）に示すように、蛍光面３Ｂ，３Ｇ，３Ｒ
上に樹脂中間層５が形成される。このスクリーン印刷は
ベタ印刷であり、必ずしも高い精度を要求するものでは
ない。従って、大面積化に伴い問題となる、例えば版ズ
レ等の問題に拘束されることはない。

【００４１】一方、樹脂中間層５をスクリーン印刷によ
り形成させることで、例えば４２インチ以上の大型基板
に対してもムラ無く均一な皮膜（樹脂中間層５）を得る
ことが可能となる。これにより、樹脂中間層５を連続膜
として形成することができ、これに伴って、樹脂中間層
５上に形成する金属膜６も連続膜とすることができる。
また、適当なスクリーン版を選択することで、不必要な
部分への成膜を回避することができ、これによりトリミ
ング等の清浄工程を不要とし工程を簡略化できるばかり
でなく、不要な部分に樹脂層が形成されることを抑止し
て材料の有効利用を図ることが可能となる。

【００４２】また、本実施形態では印刷バインダーとし
てセルロース系樹脂またはポリメタクリレート系樹脂を
選択する。これらの樹脂は比較的低温で解重合または焼
失することから、金属蒸着後の熱分解除去工程を比較的
低温または短時間で為しうることができ、蛍光体層３
Ｂ，３Ｇ，３Ｒに与える衝撃を軽減させることが可能と
なる。

【００４３】また、ペーストの溶媒の沸点はｏ／ｗ膜上
に好適な皮膜を形成させる必要からバインダーとなる物
質の融点未満とするのが好適である。例えば、印刷バイ
ンダーとしてエチルセルロースを樹脂として用いる場
合、その融点（１５６℃）以下に沸点を有する溶媒とし
ては酢酸イソブチル、酪酸エチル、酪酸イソプロピル、
酢酸イソアミル、アセチルメチルカルビノール、蟻酸イ
ソアミル、イソ吉草酸エチル、イソチオシアン酸アリ
ル、トルエン等が挙げられる。ただし、必ずしもこれら
の溶媒に限定されるものではない。また、スクリーン印
刷に用いる印刷版は、例えばＣｒ等の蒸着により耐水処
理されたものであることが好ましい。このようにペース
トの溶媒の沸点をバインダーとなる物質の融点未満とす
ることにより、樹脂中間層５を熱分解して除去する際
に、先に溶媒の沸点に達することにより溶媒が除去され
ることになる。これにより、金属膜６に生じる損傷を抑
止することも可能である。

【００４４】続いて、水分及び印刷ペーストの溶媒を乾
燥させて除去する。この際の乾燥方法としては、図２に
示したようにシーズヒーター、セラミックヒータ又は温
風等の熱発生源７を、蛍光体層３Ｂ，３Ｇ，３Ｒが下向
きとなるよう配置されたガラス基板１と平行になるよう
に設置し、蛍光体層３Ｂ，３Ｇ，３Ｒの樹脂中間層５側
に直接熱を与えて乾燥させるのが好ましい。図２におい
て、矢印Ｂは熱発生源７からの熱が伝わる方向を示して
いる。この乾燥方法により、水分が蒸発し皮膜形成にと
って好適なｏ／ｗ界面が消滅する前に、樹脂中間層５の
皮膜を形成させることが可能となる。乾燥されたガラス
基板１は、矢印Ａの方向に搬送される。このように、樹
脂中間層５を下側に向けて乾燥させることにより、樹脂
中間層５を連続膜として形成することが可能である。

【００４５】このようにして形成された樹脂中間層５の
上に、図１（ｄ）に示すように所望の金属を蒸着するこ
とにより金属膜６を形成する。しかる後、樹脂中間層５
を熱分解除去する。

【００４６】これにより、金属膜６が蛍光体層３Ｂ，３
Ｇ，３Ｒと密着して確実に接着される。そして、図１
（ｅ）に示すように、蛍光体層３Ｂ，３Ｇ，３Ｒ上に金
属膜６が形成された好適な蛍光面を得ることができる。

【００４７】以上説明したように本実施形態によれば、
蛍光体層３Ｂ，３Ｇ，３Ｒ上に界面活性剤を散布した
後、蛍光体層３Ｂ，３Ｇ，３Ｒ上に金属膜６を形成する
ため、界面活性剤によって金属膜６と蛍光体層３Ｂ，３
Ｇ，３Ｒを確実に密着、固定することが可能となる。こ
こで、界面活性剤としてスルホン酸ナトリウムを官能基
として有するアニオン系界面活性剤を使用し、臨界ミセ
ル濃度以下に調整することにより、金属膜６と蛍光体層
３Ｂ，３Ｇ，３Ｒの接着を強固なものとすることができ
る。

【００４８】また、蛍光体層３Ｂ，３Ｇ，３Ｒと金属膜
６との間に樹脂中間層５を形成する際に、スクリーン印
刷により形成することで、連続膜として樹脂中間層５を
形成することができ、不要な部分に樹脂膜が形成される
ことを抑止することができる。樹脂中間層５を連続膜と
して形成することにより、金属膜６にフクレ、ハガレが
発生することを抑止することが可能である。そして、樹
脂中間層５を熱分解して除去することにより、蛍光体層
３Ｂ，３Ｇ，３Ｒと金属膜６を直接密着させて両者を貼
りつけることができる。

【００４９】

【実施例】以下に示す実施例及び参考例に基づいて、上
述した実施形態を更に詳細に説明する。

【００５０】（実施例１）厚さ２．８ｍｍの青板ガラス
を洗浄液ロールブラシ洗浄し、ディスクブラシ洗浄し、
純水超音波リンスで洗浄し、乾燥した後、黒色顔料ペー
ストを用いて縦方向に幅０．１０ｍｍ、ピッチ０．２９
ｍｍのストライプを２４０本、横方向に幅０．３０ｍ
ｍ、ピッチ０．６５ｍｍのストライプを７２０本有する
パターンをスクリーン印刷し、図３に示すように開口部
の面積が縦０．３０ｍｍ×横０．１９ｍｍよりなる黒色
反射層を形成した。

【００５１】次いで赤色、緑色、青色の各色蛍光体ペー
ストを用い、図４に示すように、縦方向に幅０．２１ｍ
ｍ、ピッチ０．８ｍｍにて赤色、緑色、青色の順にスト
ライプを夫々２４０本、スクリーン印刷により形成し、
次いでこの基板を４５０℃で４ｈ（時間）ベーキングす
ることにより、ペースト中に含まれる樹脂分を加熱分解
除去し、対角画面サイズ１０インチ、アスペクト比４：
３、ドット数７２０×２４０からなる蛍光面基板を得
た。

【００５２】ついで、この蛍光面基板上に５×１０^-4Ｍ
のラウリル硫酸ナトリウム溶液を均一に噴霧しムラなく
湿潤させ、この状態のままスクリーン印刷機上にローデ
ィングした。更に酪酸イソプロピル（日本香料薬品製）
８９０ｇにエチルセルロース（米ハーキュラス社製：商
品名エトセルＮ２００）５００ｇとブチルカルビトール
アセテート（関東化学工業製特級試薬）７０ｇを６０℃
に加温させながら１２時間攪拌溶解させ得られたペース
トを、この蛍光面上に、＃３２５メッシュを介すること
により、スクリーン印刷した。なお、同じ条件でガラス
基板上に印刷を行った場合の膜厚を針圧膜厚計にて測定
したところ約１．２μｍであった。

【００５３】この後、印刷後基板を図２に示す装置にて
十分乾燥させ、この面上に１０００Åのアルミニウムを
蒸着し、最後にこの基板を焼成炉内に搬入し、４５０℃
まで１℃/minの昇温速度にて昇温させ、３０分この温度
を維持したのち、−２．５℃/minの速度にて冷却させ、
樹脂中間層を熱分解除去した。

【００５４】このようにして得られた基板を光学顕微鏡
上に設置し、透過光にて４コーナー部、及び中間部、セ
ンター部夫々の顕微鏡観察を行い、１００μｍ角の面積
中に存在する１〜５μｍ、５μｍ以上のピンホールの数
をカウントした。この結果を表１に示す。表１より本実
施例における金属蒸着面はピンホールの数が全体に少な
く、しかもピンホールの分布が各観察部位にわたって均
一であり、好適なホワイトユニフォミティを与える均一
な金属蒸着膜が形成されている。

【００５５】

【表１】

【００５６】（実施例２）実施例１と同様の方法にて製
作した蛍光面基板上に５×１０^-3Ｍのオクチル硫酸ナト
リウム溶液を均一に噴霧しムラなく湿潤させ、この状態
のままスクリーン印刷機上にローディングした。

【００５７】更に酪酸イソプロピル（日本香料薬品製）
８９０ｇにエチルセルロース（米ハーキュラス社製：エ
トセルＮ１０００）２５０ｇとメチルエチルアクリレー
トコポリマー（ロームアンドハース社製：パラロイドＢ
７２）２００ｇ、ブチルカルビトールアセテート（関東
化学工業製特級試薬）７０ｇを６０℃に加温させながら
１２時間攪拌溶解させ得られたペーストを、この蛍光面
上に、＃３２５メッシュを介することにより、スクリー
ン印刷した。尚、同じ条件でガラス基板上に印刷を行っ
た場合の膜厚を針圧膜厚計にて測定したところ約１．５
μｍであった。

【００５８】こののち印刷後基板を図２に示す装置にて
十分乾燥させ、この面上に１０００Åのアルミニウムを
蒸着し、最後にこの基板を焼成炉内に搬入し、４５０℃
まで１℃/minの昇温速度にて昇温させ、３０分この温度
を維持したのち、−２．５℃/minの速度にて冷却させ、
樹脂中間層を熱分解除去した。

【００５９】このようにして得られた基板を光学顕微鏡
上に設置し、透過光にて４コーナー部、及び中間部、セ
ンター部夫々の顕微鏡観察を行い、１００μｍ角の面積
中に存在する１〜５μｍ、５μｍ以上のピンホールの数
をカウントした。この結果を表１に示す。表１より本実
施例における金属蒸着面はピンホールの数が全体に少な
く、しかもピンホールの分布が各観察部位にわたって均
一であり、好適なホワイトユニフォミティを与える均一
な金属蒸着膜が形成されている。

【００６０】（参考例１）実施例１と同様の方法にて製
作した蛍光面基板をスピンコーター上に配置し、純水に
コロイダルシリカ（日産化学工業社製：商品名スノーテ
ックスＳＴ−４０）を５重量部溶解させ、無水酢酸を用
いてｐＨ４．７に調製した溶液を、３００ｒｐｍの回転
数で基板を回転させながら塗布した。

【００６１】続いて、トルエンを溶媒にし、メチルエチ
ルアクリレートコポリマー（ロームアンド ハース社
製：パラロイドＢ７２）を１５重量部、ブチルカルビト
ールアセテート（関東化学工業製特級試薬）を３重量部
溶解させ調製したラッカー液を１２０ｒｐｍの回転数で
基板を回転させながら、全面に均一になるよう約１秒間
スプレーし、ついで９５℃の温風を１５ｍ/sの風速で１
００秒間基板面に吹きかけ乾燥させた。尚、同じ条件で
ガラス基板上にラッカーをコートした場合の膜厚を針圧
膜厚計にて測定したところ約１．８μｍであった。

【００６２】この後、蛍光面上に１０００Åのアルミニ
ウムを蒸着し、最後にこの基板を焼成炉内に搬入し、４
５０℃まで１℃/minの昇温速度にて昇温させ、３０分こ
の温度を維持したのち、−２．５℃/minの速度にて冷却
させ、樹脂中間層を熱分解除去した。

【００６３】このようにして得られた基板を光学顕微鏡
上に設置し、透過光にて４コーナー部、及び中間部、セ
ンター部夫々の顕微鏡観察を行い、１００μｍ角の面積
中に存在する１〜５μｍ、５μｍ以上のピンホールの数
をカウントした。この結果を表１に示す。表１より本参
考例における金属蒸着面はピンホールの数がやや多く、
かつ４コーナー部において特に数の多いことがわかり、
不均一でホワイトユニフォミティの悪くなる不均一な金
属蒸着膜であることがわかる。

【００６４】（参考例２）実施例１と同様の方法にて製
作した蛍光面基板をスピンコーター上に配置し、純水に
界面活性剤（ロームアンドハース社製：商品名トライト
ンＸ−４０５）を１重量部溶解した溶液を、３００ｒｐ
ｍの回転数で基板を回転させながら塗布した。

【００６５】ついで、純水にアクリルエマルジョン（ロ
ームアンドハース社製：商品名プライマルＢ−７４）２
５重量部、ブチルカルビトール（関東化学工業社製：試
薬特級）１重量部、ウレタンブロックコーポリマー溶液
（ロームアンドハース社製：商品名プライマルＲＭ−８
Ｗ）を０．５重量部溶解させ、その後アンモニア水にて
ｐＨを７．５に調製した溶液を、５０ｒｐｍの回転数で
基板上に塗布し、更に３００ｒｐｍの回転数にて基板を
回転させた。この後、基板を乾燥機内に搬入し、１２０
℃２ｈの条件にて乾燥させた。尚、同じ条件でガラス基
板上にアクリルエマルジョンをコートした場合の膜厚を
針圧膜厚計にて測定したところ約５．８μｍであった。

【００６６】この後蛍光面上に１０００Åのアルミニウ
ムを蒸着し、最後にこの基板を焼成炉内に搬入し、４５
０℃まで１℃/minの昇温スピードにて昇温させ、３０分
この温度で維持したのち、−２．５℃/minの昇温スピー
ドにて冷却させ、樹脂中間層を熱分解除去した。

【００６７】このようにして得られた基板を光学顕微鏡
上に設置し，透過光にて４コーナー部、及び中間部、セ
ンター部夫々の顕微鏡観察を行い、１００μｍ角の面積
中に存在する１〜５μｍ、５μｍ以上のピンホールの数
をカウントした。表１より本実施例における金属蒸着面
は、特に５μｍ以上の大きなピンホールの数が多く、ま
たピンホールの分布が不均一であり、画面上の対称形を
著しく欠いており、ホワイトユニフォミティの悪くな
る、不均一な金属蒸着膜であることがわかる。

【００６８】

【発明の効果】本発明によれば、蛍光面上に金属蒸着膜
をムラなく均一に成膜することが可能となる。これによ
り大画面に対してもホワイトユニフォミテイに優れた画
像表示装置を製造することが可能となり、特にＦＥＤ方
式の壁掛けテレビ実用化に寄与することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る金属膜形成方法を工
程順に示す概略断面図である。

【図２】本発明の一実施形態に係る金属膜形成方法にお
いて、樹脂中間層を加熱分解して除去する工程を示す模
式図である。

【図３】本発明の一実施形態における実施例及び比較例
に用いた蛍光面基板の黒色反射層のパターンを示す平面
図である。

【図４】本発明の一実施形態における実施例及び比較例
に用いた蛍光面基板の蛍光体層のパターンを示す平面図
である。

【図５】本発明の一実施形態に係るディスプレイパネル
の全体構成を示す模式図である。

【図６】本発明の一実施形態に係る電子放出素子の構成
を示す模式図である。

【符号の説明】

１ ガラス基板 ２ 黒色反射層 ３Ｂ，３Ｇ，３Ｒ 蛍光体層 ４ 濡れ面 ５ 樹脂中間層 ６ 金属膜 ７ 熱発生源

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 蛍光体層上に金属膜を形成する方法であ
   って、 前記蛍光体層上に界面活性剤を付与する第１のステップ
   と、 前記蛍光体層上に樹脂層を形成する第２のステップと、 前記樹脂層上に前記金属膜を形成する第３のステップ
   と、 熱処理を施して前記樹脂層を熱分解させる第４のステッ
   プとを有することを特徴とする金属膜形成方法。
2. 【請求項２】 前記界面活性剤が、スルホン酸ナトリウ
   ムを官能基として有するアニオン系界面活性剤を臨界ミ
   セル濃度以下に調整した希薄水溶液であることを特徴と
   する請求項１に記載の金属膜形成方法。
3. 【請求項３】 前記樹脂層は、樹脂を含むペーストを前
   記蛍光体層上に付与することにより形成することを特徴
   とする請求項１又は２に記載の金属膜形成方法。
4. 【請求項４】 前記樹脂を含むペーストは、ポリメタク
   リレート系又はセルロース系の樹脂を、当該樹脂の融点
   以下の温度に沸点を有する有機溶媒に溶解させることに
   より形成されたことを特徴とする請求項３に記載の金属
   膜形成方法。
5. 【請求項５】 前記蛍光体層は基板上に形成されてお
   り、 前記第２のステップと前記第３のステップの間に、前記
   ペーストの溶媒成分を除去する第５のステップを有し、 前記第５のステップにおいて、前記蛍光体層を下側に向
   けた状態で前記基板の下側に設置された熱発生源から熱
   を与えることにより、前記溶媒成分を除去することを特
   徴とする請求項３又は４に記載の金属膜形成方法。
6. 【請求項６】 前記樹脂層は、当該樹脂層の材料を印刷
   により付与して形成されることを特徴とする請求項１〜
   ５のいずれか１項に記載の金属膜形成方法。