JP2000234919A - Method and device for measuring flatness - Google Patents
Method and device for measuring flatnessInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ガラス板など平
行平板の平面度を測定する測定方法および装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for measuring the flatness of a parallel plate such as a glass plate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、ガラス板など透明な平行平板の
平面度を測定する場合、フィゾー干渉計（Ｆｉｚｅａｕ
ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ）を平面度測定光学系
として用いた平面度測定装置が用いられる。このような
装置を用いて平面度測定を行う場合、試料としての平板
の裏面における反射の影響を可及的に少なくする必要が
あるとともに、平板に対する重力の影響を可及的に小さ
くする必要がある。前者に対する対策としては、測定面
に入射する測定光の入射角を大きくすることが考えら
れ、また、後者に対する対策としては、平板を鉛直方向
に保持することが考えられる。2. Description of the Related Art For example, when measuring the flatness of a transparent parallel plate such as a glass plate, a Fizeau interferometer (Fizeau interferometer) is used.
A flatness measuring device using an interferometer as a flatness measuring optical system is used. When performing flatness measurement using such an apparatus, it is necessary to minimize the influence of reflection on the back surface of the flat plate as a sample and to minimize the influence of gravity on the flat plate. is there. As a countermeasure against the former, it is conceivable to increase the angle of incidence of the measuring light incident on the measurement surface, and as a countermeasure against the latter, it is conceivable to hold the flat plate in the vertical direction.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記測
定面に入射する測定光の入射角を大きくした場合、入射
光学系と反射光学系とが試料平板を中心にして互いに離
間した状態で配置されることとなり、それだけ、装置が
大型化してしまうといった問題がある。また、前記平板
を鉛直方向に保持する手法においては、その保持方法に
よっては平板に歪みが生ずるといった問題がある。However, when the incident angle of the measuring light incident on the measuring surface is increased, the incident optical system and the reflecting optical system are arranged apart from each other about the sample plate. As a result, there is a problem that the apparatus becomes large. Further, in the method of holding the flat plate in the vertical direction, there is a problem that the flat plate is distorted depending on the holding method.
【０００４】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、透明または半透明な平板の平面
度を試料である平板の裏面反射の影響や重力の影響を可
及的に少なくし、精度よく測定することができる平面度
測定方法および装置を提供することである。The present invention has been made in consideration of the above-mentioned matters, and an object of the present invention is to reduce the flatness of a transparent or translucent flat plate as much as possible by the influence of the backside reflection of the sample flat plate and the influence of gravity. It is an object of the present invention to provide a flatness measuring method and apparatus capable of accurately measuring the flatness.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、平面度測定光学系を用いて透明また
は半透明の平板の平面度を測定する方法において、前記
平板を、その測定対象面がこの平板の屈折率と似通った
屈折率を有する液体内に、前記測定対象面が前記液面か
ら水平な状態で突出するように保持し、その状態で測定
対象面に測定光を照射するようにしている（請求項
１）。In order to achieve the above object, the present invention provides a method for measuring the flatness of a transparent or translucent flat plate using a flatness measuring optical system. The surface is held in a liquid having a refractive index similar to the refractive index of the flat plate such that the surface to be measured projects in a horizontal state from the liquid surface, and the measuring surface is irradiated with the measuring light in that state. (Claim 1).
【０００６】上記平面度測定方法においては、平板の非
測定対象面である裏面が平板の屈折率と似通った屈折率
を有する液体に漬かっているため、この裏面における反
射光による影響がほとんどなくなる。そして、平板は、
その測定対象面である表面を残して液体に浸漬されてい
るので、重力の加速度をｇ、液体中に浸漬している部分
の体積をｖ、平板の質量をｍs 、液体の密度をρo とす
ると、平板に加わる重力は、（ｍs −ｖρo ）ｇとな
り、本来の重力よりｖρo ｇ分だけ小さくなり、平板に
対する重力歪みの影響を大いに減ずることができる。In the flatness measuring method, the back surface, which is the non-measurement target surface of the flat plate, is immersed in a liquid having a refractive index similar to the refractive index of the flat plate. And the flat plate is
Since it is immersed in the liquid except for the surface to be measured, the acceleration of gravity is g, the volume of the part immersed in the liquid is v, the mass of the flat plate is m s , and the density of the liquid is ρ o When gravity acting on the flat plate, can be reduced (m s -vρ o) g, and the reduced only vρ o g fraction from the original gravity, greatly influence of gravity strain on plates.
【０００７】そして、上記平面度測定方法において、液
体として、その密度が平板の密度と似通ったものを用い
るようにしてもよい（請求項２）。このようにした場
合、平板に加わる重力をより大幅に減ずることができ
る。In the flatness measuring method, a liquid whose density is similar to the density of a flat plate may be used. In this case, the gravity applied to the flat plate can be further reduced.
【０００８】また、平板の裏面影響のみを除去する場合
には、平面度測定光学系を用いて透明または半透明の平
板の平面度を測定する方法において、前記平面度測定光
学系の下方に、前記平板の屈折率と似通った屈折率を有
し、その上面が平坦で、下面が斜めに切り落とされた試
料保持台を設け、前記平板と試料保持台の上面に平板の
屈折率と似通った屈折率を有する液体を介在させ、その
状態で測定対象面に測定光を照射するようにしてもよい
（請求項５）。In order to remove only the influence of the back surface of the flat plate, a method of measuring the flatness of a transparent or translucent flat plate using a flatness measuring optical system is described below. A sample holder having a refractive index similar to the refractive index of the flat plate, the upper surface of which is flat, and a lower surface which is cut off obliquely is provided. A liquid having a ratio may be interposed, and the measurement target surface may be irradiated with the measurement light in that state (claim 5).
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】図１〜図３は、この発明の一つの
実施の形態を示すものである。図１は、この発明の平面
度測定装置の主要部の構成を概略的に示し、この図にお
いて、１は測定試料としての透明な平板、例えば板ガラ
ス（素ガラス）で、その表面（測定対象面）１ａと裏面
（非測定対象面）１ｂが互いに平行になっている。２は
上方が開放された液槽で、その内部底面には板ガラス１
をその測定対象面１ａを水平に保持する試料ホルダ３が
設けられているとともに、内部に板ガラス１とほぼ同じ
屈折率を有する液体４が収容されている。1 to 3 show one embodiment of the present invention. FIG. 1 schematically shows a configuration of a main part of a flatness measuring apparatus according to the present invention. In this figure, reference numeral 1 denotes a transparent flat plate, for example, a sheet glass (plain glass) as a measurement sample, and its surface (surface to be measured) ) 1a and the back surface (non-measurement target surface) 1b are parallel to each other. Reference numeral 2 denotes a liquid tank having an open top, and a plate glass 1
Is provided with a sample holder 3 for horizontally holding the surface 1a to be measured, and a liquid 4 having substantially the same refractive index as the plate glass 1 is accommodated therein.
【００１０】前記試料ホルダ３は、図２に示すように、
正三角形の頂点に位置するように配置された３本のホル
ダ部３ａ〜３ｃよりなり、各ホルダ部３ａ〜３ｃは、図
３に示すように、互いに独立して上下方向に伸縮して、
板ガラス１の厚みに応じて、その測定対象面１ａが液面
４ａからわずかに突出し、水平となるように保持できる
ように構成されている。また、前記液体４としては、測
定試料が板ガラス１のときは、この屈折率が１．５前後
であるので、これに近い屈折率を有するものが好まし
く、例えばグリセリン（屈折率１．４７３）やパラフィ
ン油（屈折率１．４８）などが用いられる。The sample holder 3 is, as shown in FIG.
It consists of three holders 3a to 3c arranged so as to be located at the vertices of an equilateral triangle. Each of the holders 3a to 3c expands and contracts vertically independently of each other, as shown in FIG.
According to the thickness of the glass sheet 1, the surface 1a to be measured slightly protrudes from the liquid surface 4a, and is held so as to be horizontal. When the sample to be measured is the plate glass 1, the liquid 4 has a refractive index of about 1.5. Therefore, a liquid having a refractive index close to this is preferable. For example, glycerin (refractive index 1.473) or Paraffin oil (refractive index: 1.48) or the like is used.
【００１１】そして、図１において、５は前記液槽２の
上方に設けられる平面度測定光学系で、例えばフィゾー
干渉計よりなり、液槽２内の試料ホルダ３によって水平
に保持された板ガラス１の測定対象面１ａに対して、そ
の上方から垂直方向に測定光６を照射し、前記測定対象
面１ａからの反射光を観測するように構成されている。
すなわち、７は水平方向にレーザ光８を出力するレーザ
光源、９はレーザ光８を適宜の径の平行光に拡大するビ
ームエキスパンダ、１０は平行なレーザ光８を９０°下
方に曲げて鉛直方向に反射する反射ミラー、１１は反射
ミラー１０の下方に設けられる集光レンズである。１２
は集光レンズ１１の後段に鉛直な方向に対して４５°の
姿勢で交叉するように設けられる半透鏡で、この半透鏡
１２の鉛直な光軸１３方向には、コリメートレンズ１４
およびリファレンスフラットとしての参照板１５が設け
られ、半透鏡１２の水平な光軸１６方向には、集光レン
ズ１７およびＣＣＤカメラ１８が設けられている。In FIG. 1, reference numeral 5 denotes a flatness measuring optical system provided above the liquid tank 2, which is composed of, for example, a Fizeau interferometer, and which is horizontally held by a sample holder 3 in the liquid tank 2. The measurement target surface 1a is irradiated with the measurement light 6 from above in the vertical direction, and the reflected light from the measurement target surface 1a is observed.
That is, 7 is a laser light source that outputs a laser beam 8 in the horizontal direction, 9 is a beam expander that expands the laser beam 8 into parallel light having an appropriate diameter, and 10 is a vertical beam obtained by bending the parallel laser beam 8 downward by 90 °. A reflecting mirror 11 for reflecting light in the direction is a condenser lens provided below the reflecting mirror 10. 12
Is a semi-transmissive mirror provided at the subsequent stage of the condenser lens 11 so as to intersect at a 45 ° position with respect to the vertical direction. The semi-transparent mirror 12 has a collimating lens 14 in the vertical optical axis 13 direction.
In addition, a reference plate 15 as a reference flat is provided, and a condenser lens 17 and a CCD camera 18 are provided in the direction of the horizontal optical axis 16 of the semi-transparent mirror 12.
【００１２】なお、この発明の平面度測定装置には、平
面度測定光学系５を制御したり、これから送られてくる
出力に基づいて各種の演算を行ったり、前記試料ホルダ
３を制御するコントローラ（図示してない）に対して制
御信号を出力する機能などを備えた演算制御部としての
コンピュータ（図示していない）が設けられている。The flatness measuring device of the present invention includes a controller for controlling the flatness measuring optical system 5, performing various calculations based on the output sent from the flatness measuring optical system 5, and controlling the sample holder 3. A computer (not shown) is provided as an arithmetic control unit having a function of outputting a control signal to (not shown).
【００１３】上記構成の平面度測定装置を用いて板ガラ
ス１の平面度を測定する場合、液槽２内に、板ガラス１
と似通った屈折率を有する液体（例えばグリセリン）４
を所定深さとなるように入れる。そして、板ガラス１を
試料ホルダ３に保持させる。このとき、図３（Ａ），
（Ｂ）に示すように、各ホルダ部３ａ〜３ｃを適宜高さ
調整を行うことにより、板ガラス１の測定対象面１ａが
液面４ａから水平に突出させる。When the flatness of the glass sheet 1 is measured by using the flatness measuring apparatus having the above-mentioned configuration, the flat glass 1 is placed in the liquid tank 2.
Liquid (for example, glycerin) having a similar refractive index to that of 4
At a predetermined depth. Then, the plate glass 1 is held by the sample holder 3. At this time, FIG.
As shown in (B), by appropriately adjusting the height of each of the holder portions 3a to 3c, the measurement target surface 1a of the plate glass 1 is projected horizontally from the liquid surface 4a.
【００１４】上記のようにして保持された板ガラス１の
測定対象面１ａに対して、平面度測定光学系５における
レーザ光源７からレーザ光８を板ガラス１の測定対象面
１ａに照射し、そのときの反射光をＣＣＤカメラ１８を
入射し、そのとき得られる干渉縞をコンピュータにおい
て解析することによって、前記測定対象面１ａにおける
平面度を求めることができる。The measurement target surface 1a of the glass sheet 1 held as described above is irradiated with a laser beam 8 from the laser light source 7 in the flatness measuring optical system 5 to the measurement target surface 1a of the glass sheet 1. The reflected light is incident on the CCD camera 18 and the interference fringes obtained at that time are analyzed by a computer, whereby the flatness on the measurement target surface 1a can be obtained.
【００１５】そして、上記平面度測定装置においては、
板ガラス１の非測定対象面である裏面１ｂが板ガラス１
の屈折率と似通った屈折率を有する液体４に漬かってい
るため、この裏面１ｂにおいて反射や屈折が生ずること
がない。したがって、裏面の反射影響が大きく低減され
る。そして、板ガラス１は、その測定対象面１ａを残し
て液体４に浸漬されているので、重力の加速度をｇ、浸
漬している部分の体積をｖ、板ガラス１の質量をｍs 、
液体４の密度をρo とすると、板ガラス１に加わる重力
は、（ｍs −ｖρo ）ｇとなり、本来の重力よりｖρo
ｇ分だけ小さくなり、板ガラス１に対する重力歪みの影
響が大きく低減される。In the above flatness measuring device,
The back surface 1b which is the non-measurement target surface of the sheet glass 1 is the sheet glass 1
Since it is immersed in the liquid 4 having a refractive index similar to the refractive index of the above, no reflection or refraction occurs on the back surface 1b. Therefore, the influence of reflection on the back surface is greatly reduced. Since the glass sheet 1 is immersed in the liquid 4 except for the surface 1a to be measured, the acceleration of gravity is g, the volume of the immersed part is v, the mass of the glass sheet 1 is m s ,
When the density of the liquid 4 and [rho o, gravity acting on the glass sheet 1, (m s -vρ o) g becomes, Buiro than the original gravity o
g, and the effect of gravitational strain on the glass sheet 1 is greatly reduced.
【００１６】そして、上記測定において、液体４とし
て、その密度も板ガラス１の密度と似通ったものを用い
た場合、板ガラス１に加わる重力をより大幅に減ずるこ
とができ、特に、ρo ＝ｍs ／ｖであるような液体４を
用いた場合、重力歪みの影響を全くなくすことができ
る。In the above-mentioned measurement, when the liquid 4 having a density similar to the density of the glass sheet 1 is used, the gravity applied to the glass sheet 1 can be further reduced, and in particular, ρ o = m s In the case where the liquid 4 having a ratio of / v is used, the influence of gravity distortion can be completely eliminated.
【００１７】さらに、上記平面度測定装置を、板ガラス
１など平板を研磨する装置に付随させて設けた場合、研
磨→測定→再研磨といったプロセスを効率よく行うこと
も可能となる。Further, when the flatness measuring device is provided in addition to a flat plate polishing device such as the glass plate 1, a process such as polishing, measurement, and re-polishing can be performed efficiently.
【００１８】上述の実施の形態においては、板ガラス１
の裏面１ａにおける反射光による影響と、板ガラス１に
対する重力歪みの影響とを同時に解決するものであった
が、裏面影響のみを解消する場合には、図４に示すよう
に構成してもよい。すなわち、図４（Ａ）に示す実施の
形態において、２０は試料保持台で、板ガラス１と似通
った屈折率を有する透明な材料よりなり、その表面（上
面）２０ａは平坦で、裏面（下面）２０ｂは傾斜させて
ある。そして、試料としての板ガラス１を前記表面２０
ａに載せるのであるが、その平坦な裏面１ｂと前記表面
２０ａとの間に、板ガラス１の屈折率と似通った液体２
１を薄く設け、両者１ｂ，２０ａの間に液膜を介在させ
るのである。具体的な手法として、例えば、板ガラス１
を表面２０ａに載せる前に、前記液体２１を塗布するの
である。In the above embodiment, the sheet glass 1
Although the effect of the reflected light on the back surface 1a and the effect of the gravitational strain on the glass sheet 1 are simultaneously solved, the structure shown in FIG. That is, in the embodiment shown in FIG. 4A, reference numeral 20 denotes a sample holder, which is made of a transparent material having a refractive index similar to that of the plate glass 1, and its front surface (upper surface) 20a is flat, and its back surface (lower surface). 20b is inclined. Then, the plate glass 1 as a sample is placed on the surface 20.
a between the flat back surface 1b and the front surface 20a, a liquid 2 similar to the refractive index of the glass sheet 1.
1 is provided thin, and a liquid film is interposed between the two 1b and 20a. As a specific method, for example, a sheet glass 1
The liquid 21 is applied before the liquid 21 is placed on the surface 20a.
【００１９】上記構成においても、板ガラス１の裏面１
ｂにおける反射や屈折を生ずることがない。そして、板
ガラス１の上方から入射する測定光２２が板ガラス１、
液膜２１ａおよび試料保持台２０を経て試料保持台２０
の裏面２０ｂにおいて反射した光２４は、前記測定光２
２が板ガラス１の表面１ａにおいて反射した光２３とは
別の方向に逃がされるので、平面度の測定になんら支障
が生ずることはない。In the above structure, the back surface 1 of the glass sheet 1 is also provided.
There is no reflection or refraction at b. Then, the measurement light 22 incident from above the plate glass 1
The sample holder 20 passes through the liquid film 21a and the sample holder 20.
The light 24 reflected on the back surface 20b of the measurement light 2
2 is released in a direction different from the direction of the light 23 reflected on the surface 1a of the glass sheet 1, so that there is no trouble in measuring the flatness.
【００２０】なお、上記図４（Ａ）に示した構成におい
て、板ガラス１と試料保持台２０との間に介装される液
膜２１は、薄膜として振る舞うので、この液膜２１の膜
厚基づいてよる透過率の変化に注意する必要がある。そ
こで、このような事態を避けるため、同図（Ｂ）に示す
ように、試料保持台２０の表面側に適宜深さの液体収容
部２０ｃを形成し、この液体収容部２０ｃ内に液体２１
を収容して、板ガラス１と試料保持台２０との間に所定
の距離が形成されるようにしてもよい。In the structure shown in FIG. 4A, the liquid film 21 interposed between the plate glass 1 and the sample holder 20 behaves as a thin film. It is necessary to pay attention to the change in transmittance due to Therefore, in order to avoid such a situation, a liquid storage portion 20c having an appropriate depth is formed on the surface side of the sample holding table 20, as shown in FIG.
And a predetermined distance may be formed between the plate glass 1 and the sample holding table 20.
【００２１】上記図４に示した実施の形態によれば、簡
易な構成でありながらも、裏面影響を効果的に排除する
ことができる。According to the embodiment shown in FIG. 4, the influence of the back surface can be effectively eliminated while having a simple structure.
【００２２】上述した各実施の形態においては、試料１
が透明な平板であったが、試料１としては半透明な平板
であってもよく、素ガラス以外の素材についても、同様
に測定することができる。In each of the above embodiments, the sample 1
Is a transparent flat plate, but the sample 1 may be a translucent flat plate, and a material other than elementary glass can be similarly measured.
【００２３】また、平面度測定光学系５としては、上記
フィゾー干渉計に限られるものではなく、ハルトマン
（Ｈａｒｔｍａｎｎ）法のような測定光学系を用いるこ
ともできる。The flatness measuring optical system 5 is not limited to the Fizeau interferometer, and a measuring optical system such as a Hartmann method can be used.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上詳述したように、請求項１および３
に記載の発明によれば、透明または半透明な平板の平面
度を、試料である平板の裏面反射の影響を受けることな
く、かつ、重力の影響を可及的に少なくした状態で測定
することができ、したがって、平板の平面度を精度よく
測定することができる。As described in detail above, claims 1 and 3
According to the invention described in (1), the flatness of a transparent or translucent flat plate is measured without being affected by the back reflection of the flat plate as a sample, and with the influence of gravity being reduced as much as possible. Therefore, the flatness of the flat plate can be accurately measured.
【００２５】そして、請求項２および４に記載の発明に
よれば、上記請求項１および３に記載の発明の効果に加
えて重力の影響を全くなくすことができ、より精度の高
い測定を行うことができる。According to the second and fourth aspects of the present invention, in addition to the effects of the first and third aspects of the present invention, the effect of gravity can be completely eliminated, and more accurate measurement can be performed. be able to.
【００２６】また、請求項５に記載の発明によれば、簡
易な構成で裏面影響を排除することができる。According to the fifth aspect of the invention, the influence of the back surface can be eliminated with a simple configuration.
【図１】この発明の平面度測定装置の主要部の構成を概
略的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a main part of a flatness measuring device of the present invention.
【図２】前記平面度測定装置における試料の保持構造を
説明するための図である。FIG. 2 is a view for explaining a sample holding structure in the flatness measuring device.
【図３】前記試料の保持構造に用いられる試料ホルダの
動作を説明するための図である。FIG. 3 is a view for explaining the operation of a sample holder used for the sample holding structure.
【図４】試料保持構造の他の実施の形態を示す図であ
る。FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the sample holding structure.
１…平板、１ａ…測定対象面、２…液槽、４…液体、４
ａ…液面、５…平面度測定光学系、６…測定光、２０…
試料保持台、２０ａ…上面、２０ｂ…下面、２１…液
体、２２…測定光。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Flat plate, 1a ... Measurement object surface, 2 ... Liquid tank, 4 ... Liquid, 4
a: liquid level, 5: flatness measuring optical system, 6: measuring light, 20:
Sample holder, 20a: upper surface, 20b: lower surface, 21: liquid, 22: measuring light.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 顕雄 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 廣嶋 幸夫 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 Ｆターム(参考） 2F064 AA00 BB00 CC09 CC10 DD01 DD08 DD10 EE05 FF01 GG12 GG20 GG22 GG47 HH03 HH08 KK04 2F065 AA47 BB01 BB22 BB23 CC00 DD11 DD12 FF51 FF61 GG04 HH13 JJ03 JJ09 JJ26 LL00 LL04 LL09 LL12 NN20 PP11 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Akio Ikeda 2 Higashi-cho, Kichijoin-miya, Minami-ku, Kyoto, Kyoto Inside Horiba, Ltd. (72) Inventor Yukio Hiroshima 2 Higashi-cho, Kichijo-in, Minami-ku, Kyoto, Kyoto Address F-term in Horiba, Ltd. F-term (reference) 2F064 AA00 BB00 CC09 CC10 DD01 DD08 DD10 EE05 FF01 GG12 GG20 GG22 GG47 HH03 HH08 KK04 2F065 AA47 BB01 BB22 BB23 CC00 DD11 DD12 FF51 FF61 GG04 JJ11 JJ04 GG04
Claims (5)
透明の平板の平面度を測定する方法において、前記平板
を、その測定対象面がこの平板の屈折率と似通った屈折
率を有する液体内に、前記測定対象面が前記液面から水
平な状態で突出するように保持し、その状態で測定対象
面に測定光を照射するようにしたことを特徴とする平面
度測定方法。1. A method for measuring the flatness of a transparent or translucent flat plate using a flatness measuring optical system, wherein the flat plate is a liquid having a refractive index similar to that of the flat plate. A flatness measurement method, wherein the measurement target surface is held so as to protrude from the liquid surface in a horizontal state, and the measurement target surface is irradiated with measurement light in that state.
通ったものを用いる請求項１に記載の平面度測定方法。2. The flatness measuring method according to claim 1, wherein a liquid having a density similar to that of a flat plate is used as the liquid.
透明の平板の平面度を測定する装置において、前記平面
度測定光学系の下方に、前記平板の屈折率と似通った屈
折率を有する液体を収容した液槽を設け、前記平板をそ
の測定対象面が前記液面から水平な状態で突出するよう
に保持し、その状態で測定対象面に測定光を照射するよ
うにしたことを特徴とする平面度測定装置。3. An apparatus for measuring the flatness of a transparent or translucent flat plate using a flatness measuring optical system, wherein the flatness measuring optical system has a refractive index similar to that of the flat plate below the flatness measuring optical system. A liquid tank containing a liquid is provided, and the flat plate is held such that a surface to be measured protrudes in a horizontal state from the liquid surface, and measurement light is irradiated to the surface to be measured in that state. Flatness measuring device.
通ったものを用いる請求項３に記載の平面度測定装置。4. The flatness measuring apparatus according to claim 3, wherein a liquid having a density similar to that of a flat plate is used as the liquid.
透明の平板の平面度を測定する方法において、前記平面
度測定光学系の下方に、前記平板の屈折率と似通った屈
折率を有し、その上面が平坦で、下面が斜めに傾斜した
試料保持台を設け、前記平板と試料保持台の上面に平板
の屈折率と似通った屈折率を有する液体を介在させ、そ
の状態で測定対象面に測定光を照射するようにしたこと
を特徴とする平面度測定方法。5. A method for measuring the flatness of a transparent or translucent flat plate using a flatness measuring optical system, wherein a refractive index similar to the refractive index of the flat plate is provided below the flatness measuring optical system. A sample holder having a flat upper surface and a lower surface inclined obliquely is provided, and a liquid having a refractive index similar to that of the flat plate is interposed between the flat plate and the upper surface of the sample holder. A flatness measuring method characterized in that a surface is irradiated with measuring light.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP11034966A JP2000234919A (en) | 1999-02-12 | 1999-02-12 | Method and device for measuring flatness |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003041143A1 (en) * | 2001-11-09 | 2003-05-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser beam treatment device and semiconductor device |
| DE102007037705A1 (en) | 2007-08-09 | 2009-02-12 | Vistec Semiconductor Systems Jena Gmbh | Holding device for use in coordinates-measuring device, has supporting points for two-dimensional substrate such that supporting points carry two-dimensional substrate, where substrate is force-freely held with objects |
| CN103278103A (en) * | 2013-05-18 | 2013-09-04 | 大连理工大学 | Method and device for measuring thin substrate deformation |
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-
1999
- 1999-02-12 JP JP11034966A patent/JP2000234919A/en active Pending
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