JP2000225177A - Sterilizer - Google Patents

Sterilizer

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JP2000225177A
JP2000225177A JP11028123A JP2812399A JP2000225177A JP 2000225177 A JP2000225177 A JP 2000225177A JP 11028123 A JP11028123 A JP 11028123A JP 2812399 A JP2812399 A JP 2812399A JP 2000225177 A JP2000225177 A JP 2000225177A
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JP
Japan
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electron beam
gasket
ray
ray target
beam accelerator
Prior art date
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Pending
Application number
JP11028123A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Keizo Hayashi
啓三 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nissin High Voltage Co Ltd
Original Assignee
Nissin High Voltage Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Nissin High Voltage Co Ltd filed Critical Nissin High Voltage Co Ltd
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  • Food Preservation Except Freezing, Refrigeration, And Drying (AREA)
  • Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the possibility of generating a vacuum leak form a gasket part inside and outside an electron beam accelerator caused by backscattering electron generated by an X-ray target. SOLUTION: This sterilizer is equipped with an electron beam accelerator 2 to generate and accelerate electron beam 6 in a vacuum atmosphere. On the tip end part, more concretely, on the tip end part of a scanning tube 12 constituting the electron beam accelerator 2, an X-ray target 30 is attached putting a gasket 42 therebetween. The X-ray target separates the atmospheres inside and outside the electron beam accelerator 2 and receives the electron beam 6 to generate an X-ray 34. The X-ray 34 is irradiated for sterilization to a matter 38 to be treated.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、電子線をX線タ
ーゲットに照射して発生させたX線を、例えば医療器
具、食品等の被処理物に照射して、当該被処理物に殺菌
(この明細書では滅菌も含む)処理を施す殺菌装置に関
し、より具体的には、電子線加速器の内外の雰囲気を分
離する部分の構造の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for irradiating an X-ray, which is generated by irradiating an X-ray target with an electron beam, to an object to be processed, such as a medical instrument or food, and sterilizing the object to be processed ( The present invention relates to a sterilization apparatus for performing a treatment (including sterilization in this specification), and more specifically, to an improvement in a structure of a portion for separating an atmosphere inside and outside an electron beam accelerator.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種の殺菌装置の従来例を図4に示
す。この殺菌装置は、真空雰囲気中において電子線6を
発生し加速する電子線加速器2と、この電子線加速器2
の先端部外に設けられていて上記電子線6を受けてX線
(制動X線)34を発生するX線ターゲット30とを備
えている。
2. Description of the Related Art FIG. 4 shows a conventional example of this type of sterilizer. The sterilizing apparatus includes an electron beam accelerator 2 for generating and accelerating an electron beam 6 in a vacuum atmosphere,
And an X-ray target 30 that is provided outside the tip of the X-ray generator and receives the electron beam 6 to generate an X-ray (brake X-ray) 34.

【0003】詳述すると、電子線加速器2は、この例で
は走査形のものであり、電子線源4で発生した電子線6
を、加速器8で例えば数百keV〜数MeV程度のエネ
ルギーまで加速し、走査器(例えば走査コイル)10で
この例では紙面の表裏方向(Y方向)に走査し、走査管
12の先端部に設けた窓箔20を透過させて照射雰囲気
中(例えば大気中)に取り出すよう構成されている。
More specifically, the electron beam accelerator 2 is a scanning type in this example, and the electron beam 6 generated by the electron beam source 4 is used.
Is accelerated by an accelerator 8 to an energy of, for example, several hundred keV to several MeV, and is scanned by a scanner (for example, a scanning coil) 10 in the front and back direction (Y direction) of the drawing in this example. It is configured to transmit through the provided window foil 20 and take it out in an irradiation atmosphere (for example, in the air).

【0004】窓箔20は、電子線加速器2(具体的には
その走査管12)の内側の真空雰囲気と外側の照射雰囲
気とを分離するものであり、この例では走査管12の先
端部に、真空シール用のガスケット22を挟んで、窓フ
ランジ24によって押さえ付けて固定されている。窓箔
20は、例えばチタンから成る。ガスケット22は、例
えば金属ガスケット、中空金属Oリング等である。窓箔
20は、走査管12の内外の圧力差によって内側に撓む
ので、そのように図示している。
[0004] The window foil 20 separates the vacuum atmosphere inside the electron beam accelerator 2 (specifically, the scanning tube 12 thereof) from the irradiation atmosphere outside the electron beam accelerator 2. , And is pressed and fixed by a window flange 24 with a gasket 22 for vacuum sealing interposed therebetween. The window foil 20 is made of, for example, titanium. The gasket 22 is, for example, a metal gasket, a hollow metal O-ring, or the like. The window foil 20 is shown as it flexes inward due to the pressure difference between the inside and outside of the scanning tube 12.

【0005】窓箔20は、電子線6が透過する際の損失
によって発熱するので、通常は強制冷却式にしている。
この例では、冷却ダクト26から高速の空気28を吹き
付けて冷却する構造を採用している。但し、窓箔20を
支持する桟(図示省略)等に冷却水を通して窓箔20を
冷却する構造を採用する場合もある。
[0005] The window foil 20 generates heat due to the loss when the electron beam 6 passes therethrough. Therefore, the window foil 20 is usually of a forced cooling type.
In this example, a structure is employed in which cooling is performed by blowing high-speed air 28 from the cooling duct 26. However, a structure in which the window foil 20 is cooled by passing cooling water through a bar (not shown) supporting the window foil 20 may be adopted.

【0006】上記のようにして照射雰囲気中に取り出さ
れた電子線6は、X線ターゲット30に衝突し、その部
分からX線34を発生させる。X線ターゲット30は、
例えばタンタル、タングステン等の重い(即ち原子番号
の大きい)金属から成る。電子線6はX線ターゲット3
0に衝突してほぼ全てのエネルギーを失い、X線ターゲ
ット30は発熱するので、通常はX線ターゲット30を
強制冷却式にしている。この例では、X線ターゲット3
0内に冷媒通路32を設けて、そこに例えば冷却水等の
冷媒を通して、X線ターゲット30を強制的に冷却する
構造を採用している。X線ターゲット30は、この例で
は、内部の冷媒圧力に対する機械的強度を高める等のた
めに、上に湾曲させた構造をしている。
The electron beam 6 extracted in the irradiation atmosphere as described above collides with the X-ray target 30 and generates an X-ray 34 from that portion. The X-ray target 30
For example, it is made of a heavy (ie, high atomic number) metal such as tantalum or tungsten. Electron beam 6 is X-ray target 3
Since the X-ray target 30 loses almost all energy by colliding with zero and generates heat, the X-ray target 30 is usually of a forced cooling type. In this example, the X-ray target 3
A structure is adopted in which a coolant passage 32 is provided in the chamber 0 and the X-ray target 30 is forcibly cooled through a coolant such as cooling water. In this example, the X-ray target 30 has a structure that is curved upward in order to increase mechanical strength against internal refrigerant pressure, and the like.

【0007】X線ターゲット30から発生したX線34
は、例えば医療器具、食品等の被処理物38に照射さ
れ、当該被処理物38に付着した菌を死滅させ、当該被
処理物38に殺菌処理を施すことができる。被処理物3
8は、この例ではコンベア40によって、前記Y方向と
直交するX方向に搬送される。
[0007] X-rays 34 generated from the X-ray target 30
For example, the object to be treated 38 such as a medical instrument or food is irradiated to kill bacteria attached to the object to be treated 38 and sterilize the object to be treated 38. Workpiece 3
8 is conveyed by the conveyor 40 in the X direction orthogonal to the Y direction in this example.

【0008】X線ターゲット30に照射された電子線6
の内の一部は、後方散乱電子36となって後方(即ち電
子線6の進行方向と逆方向)に散乱し、窓フランジ2
4、窓箔20および走査管12等でエネルギーを消費す
るので、それらが発熱する。このため、走査管12も、
通常は、冷却水等の冷媒を通す冷却ダクト16によって
強制的に冷却する構造を採用している。
The electron beam 6 irradiated on the X-ray target 30
Are scattered backward (that is, in the direction opposite to the traveling direction of the electron beam 6) as backscattered electrons 36, and the window flange 2
4. Since energy is consumed by the window foil 20, the scanning tube 12, and the like, they generate heat. Therefore, the scanning tube 12 also
Normally, a structure is employed in which cooling is performed forcibly by a cooling duct 16 through which a coolant such as cooling water passes.

【0009】また、照射雰囲気が大気中の場合、電子線
6が窓箔20とX線ターゲット30との間の空気層を通
過する際にオゾンを発生するので、通常は、オゾン処理
装置や、排気ブロワと煙突による大気拡散装置(いずれ
も図示省略)を設けている。
When the irradiation atmosphere is air, ozone is generated when the electron beam 6 passes through the air layer between the window foil 20 and the X-ray target 30. An air diffusion device using an exhaust blower and a chimney (both not shown) is provided.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上記殺菌装置において
は、X線発生時には、上記後方散乱電子36の入射によ
って、ガスケット22やその近くの窓フランジ24およ
び走査管12等が発熱し、これらの熱膨張によってガス
ケット22が圧縮され、X線非発生時にはこの熱膨張に
よる圧縮はなくなる。従って、この殺菌装置の運転と停
止の繰り返しによって、ガスケット22に大きな繰り返
し荷重が働き、それによって走査管12と窓箔20との
間の真空シールが不完全になって、その間から真空リー
クが発生する場合がある。
In the sterilizer, when the X-rays are generated, the gasket 22 and the window flange 24 and the scanning tube 12 near the gasket 22 generate heat due to the incidence of the backscattered electrons 36. The gasket 22 is compressed by the expansion, and when no X-rays are generated, the compression by the thermal expansion disappears. Accordingly, a large repetitive load acts on the gasket 22 due to the repetition of the operation and the stop of the sterilizer, whereby the vacuum seal between the scanning tube 12 and the window foil 20 becomes incomplete, and a vacuum leak occurs during the interval. May be.

【0011】そこでこの発明は、X線ターゲットから発
生する後方散乱電子が原因で、電子線加速器の内外の雰
囲気を分離する部分に設けられているガスケット部分か
ら真空リークが発生する可能性を低減することを主たる
目的としている。
Therefore, the present invention reduces the possibility that a vacuum leak is generated from a gasket portion provided in a portion for separating the atmosphere inside and outside of an electron beam accelerator due to backscattered electrons generated from an X-ray target. Its main purpose is to:

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】この発明に係る殺菌装置
の一つは、真空雰囲気中において電子線を発生し加速す
る電子線加速器と、この電子線加速器の先端部にガスケ
ットを挟んで取り付けられていて、当該電子線加速器の
内外の雰囲気を分離すると共に、前記電子線を受けてX
線を発生するX線ターゲットとを備えることを特徴とし
ている(請求項1)。
One of the sterilizing apparatuses according to the present invention is an electron beam accelerator for generating and accelerating an electron beam in a vacuum atmosphere, and is attached to a tip of the electron beam accelerator with a gasket interposed therebetween. And separates the atmosphere inside and outside the electron beam accelerator and receives the electron beam to
An X-ray target for generating a line is provided (claim 1).

【0013】上記構成によれば、X線ターゲットを電子
線加速器の先端部にガスケットを挟んで取り付けている
ので、ガスケット部分は、X線ターゲットに電子線が入
射する部分、即ち後方散乱電子が発生する部分の横方向
に位置するようになる。ところが、X線ターゲットから
発生する後方散乱電子の強度は、電子線の入射方向に対
する角度θ(図1参照)が大きくなるに従って急激に低
下する。
According to the above configuration, since the X-ray target is attached to the tip of the electron beam accelerator with the gasket interposed therebetween, the gasket portion is where the electron beam is incident on the X-ray target, that is, the backscattered electrons are generated. It will be located in the horizontal direction of the part where it does. However, the intensity of the backscattered electrons generated from the X-ray target sharply decreases as the angle θ (see FIG. 1) with respect to the incident direction of the electron beam increases.

【0014】従って、X線発生時にガスケット付近に入
射する後方散乱電子の強度は非常に小さくなるので、後
方散乱電子によるガスケット付近の発熱は非常に小さく
なり、当該発熱による熱膨張によってガスケットに加わ
る圧縮力も小さくなる。その結果、この殺菌装置の運転
と休止との繰り返しによってガスケットに働く繰り返し
荷重が小さくなるので、ガスケット部分から真空リーク
が発生する可能性を低減することができる。
Accordingly, the intensity of the backscattered electrons incident near the gasket at the time of X-ray generation becomes very small, so that the heat generation near the gasket due to the backscattered electrons becomes very small, and the compression applied to the gasket by the thermal expansion due to the heat generation. The power is also reduced. As a result, the repetition of the operation and the stoppage of the sterilizer reduces the repetitive load acting on the gasket, so that the possibility of vacuum leak from the gasket portion can be reduced.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】図1は、この発明に係る殺菌装置
の一例を示す図である。図4に示した従来例と同一また
は相当する部分には同一符号を付し、以下においては当
該従来例との相違点を主に説明する。
FIG. 1 is a diagram showing an example of a sterilizer according to the present invention. Parts that are the same as or correspond to those of the conventional example shown in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and differences from the conventional example will be mainly described below.

【0016】この殺菌装置においては、前述した窓箔2
0の代わりに、前述したX線ターゲット30を電子線加
速器2の先端部に取り付けている。即ち、電子線加速器
2(より具体的にはその走査管12)の先端部に、真空
シール用のガスケット42を挟んで、前述したようなX
線ターゲット30を取り付けている。ガスケット42
は、前記ガスケット22と同様、例えば金属ガスケッ
ト、中空金属Oリング等である。
In this sterilizer, the window foil 2 described above is used.
Instead of 0, the aforementioned X-ray target 30 is attached to the tip of the electron beam accelerator 2. That is, at the tip of the electron beam accelerator 2 (more specifically, the scanning tube 12 thereof), the X
A line target 30 is attached. Gasket 42
Is, for example, a metal gasket, a hollow metal O-ring or the like, similar to the gasket 22.

【0017】このX線ターゲット30は、電子線加速器
2(より具体的にはその走査管12)の内側の真空雰囲
気と外側の照射雰囲気とを分離する作用と、電子線加速
器2で加速された電子線6を受けてX線34を発生する
作用とを奏する。
The X-ray target 30 has a function of separating a vacuum atmosphere inside the electron beam accelerator 2 (more specifically, the scanning tube 12 thereof) from an irradiation atmosphere outside the electron beam accelerator 2 and has been accelerated by the electron beam accelerator 2. And an operation of receiving the electron beam 6 and generating an X-ray 34.

【0018】このX線ターゲット30から発生したX線
34は、従来例の場合と同様、前述したような被処理物
38に照射され、当該被処理物38に殺菌処理を施すこ
とができる。
The X-rays 34 generated from the X-ray target 30 are applied to the object 38 as described above, and the object 38 can be sterilized as in the conventional example.

【0019】この殺菌装置では、X線ターゲット30を
電子線加速器2の先端部にガスケット42を挟んで取り
付けているので、ガスケット42部分は、X線ターゲッ
ト30に電子線6が入射する部分、即ち後方散乱電子3
6が発生する部分の横方向に位置するようになる。X線
ターゲット30を、この例のように上に湾曲させた構造
にしている場合は、後方散乱電子36が発生する部分の
真横よりも更に下がった所にガスケット42が位置する
ようになる。
In this sterilizing apparatus, since the X-ray target 30 is attached to the tip of the electron beam accelerator 2 with the gasket 42 interposed therebetween, the gasket 42 is a portion where the electron beam 6 is incident on the X-ray target 30, that is, Backscattered electrons 3
6 is located in the lateral direction of the portion where the 6 occurs. When the X-ray target 30 has a structure that is curved upward as in this example, the gasket 42 is located at a position that is lower than the side of the portion where the backscattered electrons 36 are generated.

【0020】ところが、X線ターゲット30から発生す
る後方散乱電子36の強度分布は、例えば図2に示す例
のようにほぼガウス分布をしており、電子線6の入射方
向に対する角度θ(図1参照)が大きくなるに従って、
後方散乱電子36の強度は急激に低下する。
However, the intensity distribution of the backscattered electrons 36 generated from the X-ray target 30 has a substantially Gaussian distribution, for example, as shown in FIG. 2, and the angle θ with respect to the incident direction of the electron beam 6 (FIG. 1). See larger)
The intensity of the backscattered electrons 36 sharply decreases.

【0021】従って、X線34の発生時にガスケット4
2付近に入射する後方散乱電子36の強度は非常に小さ
くなるので、後方散乱電子36によるガスケット42付
近の発熱は非常に小さくなり、当該発熱による熱膨張に
よってガスケット42に加わる圧縮力も小さくなる。
Therefore, when the X-ray 34 is generated, the gasket 4
Since the intensity of the backscattered electrons 36 entering near 2 becomes very small, the heat generation near the gasket 42 due to the backscattered electrons 36 becomes very small, and the compressive force applied to the gasket 42 by the thermal expansion due to the heat generation also becomes small.

【0022】その結果、この殺菌装置の運転と休止との
繰り返しによってガスケット42に働く繰り返し荷重が
小さくなるので、ガスケット42の部分から真空リーク
が発生する可能性を低減することができる。
As a result, the repetition of the operation and stoppage of the sterilizer reduces the repetitive load acting on the gasket 42, so that the possibility of vacuum leakage from the gasket 42 can be reduced.

【0023】しかも、この殺菌装置によれば、従来例の
ような窓箔20、その冷却用の冷却ダクト26、それに
空気を供給するブロワ等が不要になるので、構成の簡素
化およびコスト低減を図ることができる。
Further, according to this sterilizing apparatus, the window foil 20, the cooling duct 26 for cooling the same, and a blower for supplying air to the sterilizing apparatus are not required, so that the structure is simplified and the cost is reduced. Can be planned.

【0024】更に、この殺菌装置では、電子線6はX線
ターゲット30に阻止されて照射雰囲気中には出ないの
で、照射雰囲気が大気中の場合でも、オゾンが発生しな
い。従って、オゾン処理装置等が不要になり、そのぶん
更に構成の簡素化およびコスト低減を図ることができ
る。
Further, in this sterilizing apparatus, the electron beam 6 is blocked by the X-ray target 30 and does not come out into the irradiation atmosphere, so that no ozone is generated even when the irradiation atmosphere is in the air. Therefore, an ozone treatment device or the like is not required, and the structure can be further simplified and the cost can be further reduced.

【0025】なお、X線ターゲット30は、上記のよう
にする代わりに、その冷媒通路32に空気を流したり、
外から高速の空気を吹き付けたりして、強制空冷式にし
ても良い。
It should be noted that the X-ray target 30 allows air to flow through the refrigerant passage 32 instead of
Forcible air cooling may be performed by blowing high-speed air from the outside.

【0026】図3は、この発明に係る殺菌装置の他の例
を示す図である。図1の例との相違点を主体に説明する
と、この殺菌装置では、1台の装置で、電子線6の発生
とX線34の発生とを切り換えることができるようにし
ている。
FIG. 3 is a view showing another example of the sterilizing apparatus according to the present invention. Explaining mainly the differences from the example of FIG. 1, in this sterilization apparatus, the generation of the electron beam 6 and the generation of the X-ray 34 can be switched by one apparatus.

【0027】即ち、この殺菌装置では、電子線加速器2
内において電子線6を前記Y方向と直交するX方向(紙
面の左右方向)に偏向させてその進行方向を互いに異な
る第1方向(図3中に実線で示す方向)および第2方向
(図3中に2点鎖線で示す方向)に切り換える偏向器
(例えば偏向コイル)46を、この例では加速器8と走
査器10との間に設けている。この切り換えは、例え
ば、偏向器46を駆動する直流電源の極性を反転させる
ことによって簡単に行うことができる。
That is, in this sterilizing apparatus, the electron beam accelerator 2
The electron beam 6 is deflected in the X direction (left-right direction on the paper) perpendicular to the Y direction, and the traveling directions thereof are different from each other in a first direction (a direction shown by a solid line in FIG. 3) and a second direction (FIG. 3). A deflector (for example, a deflection coil) 46 for switching to a direction indicated by a two-dot chain line is provided between the accelerator 8 and the scanner 10 in this example. This switching can be easily performed, for example, by reversing the polarity of the DC power supply that drives the deflector 46.

【0028】更に、電子線加速器2(より具体的にはそ
の走査管12)の先端部の一方の片側(図の左側)に前
記ガスケット22を挟んで前記窓箔20を設け、他方の
片側(図の右側)に前記ガスケット42を挟んで前記X
線ターゲット30を取り付けている。走査管12の先端
部内の中央部には、この例では、窓箔20およびX線タ
ーゲット30を支持する中央桟44を設けている。窓フ
ランジ24および冷却ダクト26については、図4の例
の場合と同様である。
Further, the window foil 20 is provided on one side (left side in the drawing) of the tip of the electron beam accelerator 2 (more specifically, the scanning tube 12) with the gasket 22 interposed therebetween, and the other side ( (On the right side of the figure), the X
A line target 30 is attached. In this example, a center bar 44 that supports the window foil 20 and the X-ray target 30 is provided at the center of the tip of the scanning tube 12. The window flange 24 and the cooling duct 26 are the same as in the example of FIG.

【0029】窓箔20は、電子線加速器2(より具体的
にはその走査管12)の一方の片側において内側の真空
雰囲気と外側の照射雰囲気とを分離すると共に、前記第
1方向に切り換えられた電子線6を透過させる。
The window foil 20 separates an inner vacuum atmosphere and an outer irradiation atmosphere on one side of the electron beam accelerator 2 (more specifically, the scanning tube 12 thereof), and is switched in the first direction. The electron beam 6 is transmitted.

【0030】X線ターゲット30は、電子線加速器2
(より具体的にはその走査管12)の他方の片側におい
て内側の真空雰囲気と外側の照射雰囲気とを分離すると
共に、前記第2方向に切り換えられた電子線6を受けて
X線34を発生する。
The X-ray target 30 is an electron beam accelerator 2
On the other side of the scanning tube 12 (more specifically, on the other side), an inner vacuum atmosphere and an outer irradiation atmosphere are separated, and an X-ray 34 is generated by receiving the electron beam 6 switched in the second direction. I do.

【0031】従って、この殺菌装置では、1台の装置
で、電子線6の発生とX線34の発生とを切り換えるこ
とができるので、被処理物38に対して、電子線6の照
射による殺菌処理と、X線34の照射による殺菌処理と
を切り換えて施すことができる。従って、様々な被処理
物38に対してそれにより即した殺菌処理を施すことが
できる。
Therefore, in this sterilizing apparatus, the generation of the electron beam 6 and the generation of the X-ray 34 can be switched by one apparatus, and therefore, the processing object 38 is sterilized by the irradiation of the electron beam 6. It is possible to switch between the treatment and the sterilization treatment by irradiation with X-rays 34. Accordingly, it is possible to perform various sterilization processes on the various objects 38.

【0032】例えば、電子線6は、X線34に比べて透
過力が小さいけれども、X線に変換せずにそのまま用い
れば変換損失がなくて照射効率が高いので、被処理物3
8が例えばゴム手袋、注射器等の薄いものの場合に、そ
れに電子線6を照射して殺菌処理するのに都合が良い。
For example, although the electron beam 6 has a lower penetrating power than the X-ray 34, if it is used as it is without converting it to X-rays, there is no conversion loss and the irradiation efficiency is high.
When the material 8 is a thin material such as a rubber glove, a syringe, or the like, it is convenient to irradiate the electron beam 6 to sterilize the material.

【0033】一方、電子線6からX線34への変換効率
は、例えば電子線6のエネルギーが5MeVのときで7
〜8%程度であるので、電子線6をそのまま照射すると
きよりも照射効率は低下するけれども、X線34は電子
線6に比べて透過力が大きいので、被処理物38が例え
ば多数の被殺菌物をダンボール箱のような容器内に入れ
たものの場合に、当該被処理物38にX線34を照射し
て中身を一括して殺菌処理するのに都合が良い。
On the other hand, the conversion efficiency from the electron beam 6 to the X-ray 34 is, for example, 7 when the energy of the electron beam 6 is 5 MeV.
88%, the irradiation efficiency is lower than when the electron beam 6 is irradiated as it is, but since the X-rays 34 have a higher penetrating power than the electron beam 6, the object 38 to be processed is, for example, a large number of objects. When the sterilized material is put in a container such as a cardboard box, it is convenient to irradiate the object 38 with X-rays 34 and to sterilize the contents at once.

【0034】また、X線ターゲット30を使用してX線
34を発生する場合は、X線ターゲット30は図1の例
の場合と同様に電子線加速器2の先端部にガスケット4
2を挟んで取り付けているので、図1の例の場合と同様
の理由によって、ガスケット42の部分から真空リーク
が発生する可能性を低減することができる。なお、窓箔
20用のガスケット22も、X線ターゲット30の横方
向に位置しているので、ガスケット42の場合と同様の
理由によって、ガスケット22の部分から真空リークが
発生する可能性を低減することができる。
When the X-ray 34 is generated using the X-ray target 30, the X-ray target 30 is attached to the tip of the electron beam accelerator 2 in the same manner as in the case of FIG.
2, the possibility of vacuum leakage from the gasket 42 can be reduced for the same reason as in the example of FIG. In addition, since the gasket 22 for the window foil 20 is also located in the lateral direction of the X-ray target 30, for the same reason as in the case of the gasket 42, the possibility of vacuum leak from the gasket 22 is reduced. be able to.

【0035】窓箔20側を使用して電子線6を発生する
場合は、窓箔20は電子線6を透過させるので窓箔20
からの後方散乱電子の発生はX線ターゲット30の場合
に比べて遙かに少なく、従って後方散乱電子が原因でガ
スケット22および42の部分から真空リークが発生す
る問題は生じない。
When the electron beam 6 is generated using the window foil 20, the window foil 20 transmits the electron beam 6, so
The generation of backscattered electrons from the X-ray target 30 is far less than that in the case of the X-ray target 30. Therefore, there is no problem that the backscattered electrons cause vacuum leakage from the gaskets 22 and 42.

【0036】なお、以上いずれも、電子線加速器2が走
査形の場合を例に説明したが、この発明は、電子線加速
器2が電子線6を走査しない非走査形の場合にも勿論適
用することができる。
In each of the above embodiments, the case where the electron beam accelerator 2 is of the scanning type has been described as an example. However, the present invention is of course also applied to the case of the non-scanning type in which the electron beam accelerator 2 does not scan the electron beam 6. be able to.

【0037】[0037]

【発明の効果】この発明は、上記のとおり構成されてい
るので、次のような効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.

【0038】請求項1記載の発明によれば、X線ターゲ
ットを電子線加速器の先端部にガスケットを挟んで取り
付けているので、X線発生時にガスケット付近に入射す
る後方散乱電子の強度は非常に小さくなり、後方散乱電
子によるガスケット付近の発熱は非常に小さくなる。そ
の結果、ガスケットに働く繰り返し荷重が小さくなるの
で、ガスケット部分から真空リークが発生する可能性を
低減することができる。
According to the first aspect of the present invention, since the X-ray target is attached to the tip of the electron beam accelerator with the gasket interposed therebetween, the intensity of the backscattered electrons incident near the gasket when X-rays are generated is extremely high. The heat generation near the gasket due to the backscattered electrons becomes very small. As a result, the repetitive load acting on the gasket is reduced, so that the possibility of vacuum leakage from the gasket portion can be reduced.

【0039】しかも、従来例のような窓箔、その冷却用
の冷却ダクトおよびブロワ等が不要になるので、構成の
簡素化およびコスト低減を図ることができる。
Moreover, since a window foil, a cooling duct and a blower for cooling the same as in the conventional example are not required, the structure can be simplified and the cost can be reduced.

【0040】更に、電子線はX線ターゲットに阻止され
て照射雰囲気中には出ないので、照射雰囲気が大気中の
場合でも、オゾンが発生しない。従って、オゾン処理装
置等が不要になり、そのぶん更に構成の簡素化およびコ
スト低減を図ることができる。
Further, since the electron beam is blocked by the X-ray target and does not enter the irradiation atmosphere, no ozone is generated even when the irradiation atmosphere is in the air. Therefore, an ozone treatment device or the like is not required, and the structure can be further simplified and the cost can be further reduced.

【0041】請求項2記載の発明によれば、1台の装置
で、電子線の発生とX線の発生とを切り換えることがで
きるので、被処理物に対して、電子線照射による殺菌処
理とX線照射による殺菌処理とを切り換えて施すことが
できる。従って、様々な被処理物に対してそれにより即
した殺菌処理を施すことができる。
According to the second aspect of the present invention, the generation of the electron beam and the generation of the X-ray can be switched by one apparatus. The sterilization treatment by X-ray irradiation can be switched and applied. Therefore, various objects to be processed can be subjected to a sterilization process corresponding thereto.

【0042】しかも、X線ターゲットは電子線加速器の
先端部にガスケットを挟んで取り付けているので、X線
発生時の後方散乱電子に関して、請求項1記載の発明と
同様の効果を奏する。
Further, since the X-ray target is attached to the tip of the electron beam accelerator with a gasket interposed therebetween, the same effects as those of the first aspect of the present invention can be obtained with respect to backscattered electrons when X-rays are generated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明に係る殺菌装置の一例を示す図であ
る。
FIG. 1 is a diagram showing an example of a sterilization apparatus according to the present invention.

【図2】後方散乱電子の強度分布の一例を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of an intensity distribution of backscattered electrons.

【図3】この発明に係る殺菌装置の他の例を示す図であ
る。
FIG. 3 is a view showing another example of the sterilization apparatus according to the present invention.

【図4】従来の殺菌装置の一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of a conventional sterilization apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 電子線加速器 6 電子線 20 窓箔 22 ガスケット 30 X線ターゲット 34 X線 36 後方散乱電子 38 被処理物 42 ガスケット 46 偏向器 2 electron beam accelerator 6 electron beam 20 window foil 22 gasket 30 X-ray target 34 X-ray 36 backscattered electrons 38 workpiece 42 gasket 46 deflector

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 真空雰囲気中において電子線を発生し加
速する電子線加速器と、この電子線加速器の先端部にガ
スケットを挟んで取り付けられていて、当該電子線加速
器の内外の雰囲気を分離すると共に、前記電子線を受け
てX線を発生するX線ターゲットとを備えることを特徴
とする殺菌装置。
1. An electron beam accelerator for generating and accelerating an electron beam in a vacuum atmosphere, and a gasket attached to the tip of the electron beam accelerator to separate the atmosphere inside and outside the electron beam accelerator. An X-ray target that receives the electron beam and generates X-rays.
【請求項2】 真空雰囲気中において電子線を発生し加
速する電子線加速器と、この電子線加速器内において前
記電子線を偏向させてその進行方向を互いに異なる第1
方向および第2方向に切り換える偏向器と、前記電子線
加速器の先端部の一方の片側にガスケットを挟んで取り
付けられていて、当該一方の片側において電子線加速器
の内外の雰囲気を分離すると共に、前記第1方向に切り
換えられた電子線を透過させる窓箔と、前記電子線加速
器の先端部の他方の片側にガスケットを挟んで取り付け
られていて、当該他方の片側において電子線加速器の内
外の雰囲気を分離すると共に、前記第2方向に切り換え
られた電子線を受けてX線を発生するX線ターゲットと
を備えることを特徴とする殺菌装置。
2. An electron beam accelerator for generating and accelerating an electron beam in a vacuum atmosphere, and a first electron beam which deflects the electron beam in the electron beam accelerator so that its traveling directions are different from each other.
A deflector that switches between the first and second directions, and a gasket that is attached to one end of the tip of the electron beam accelerator with a gasket interposed therebetween, and separates the atmosphere inside and outside the electron beam accelerator on the one side. A window foil for transmitting the electron beam switched in the first direction, and a gasket attached to the other side of the other end of the tip of the electron beam accelerator, and an atmosphere inside and outside the electron beam accelerator on the other side. An X-ray target that separates and receives the electron beam switched in the second direction to generate X-rays.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009058519A (en) * 2001-03-20 2009-03-19 Advanced Electron Beams Inc X-ray irradiator
CN112204693A (en) * 2018-02-20 2021-01-08 布勒股份公司 Apparatus and process for sterilizing and/or disinfecting particulate material
CN112204693B (en) * 2018-02-20 2024-06-04 布勒股份公司 Apparatus and process for sterilizing and/or disinfecting particulate material

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