JP2000214318A - Color filter and its production - Google Patents

Color filter and its production

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JP2000214318A
JP2000214318A JP1186999A JP1186999A JP2000214318A JP 2000214318 A JP2000214318 A JP 2000214318A JP 1186999 A JP1186999 A JP 1186999A JP 1186999 A JP1186999 A JP 1186999A JP 2000214318 A JP2000214318 A JP 2000214318A
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JP
Japan
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low
layer
color filter
substrate
dye
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Pending
Application number
JP1186999A
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Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Sasaki
淳 佐々木
Shigeru Hirayama
茂 平山
Taketo Tsukamoto
健人 塚本
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Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
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Publication date
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  • Optical Filters (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a color filter having excellent reliability and its producing method by which decrease in the spectral trasmittance as a color filter is not caused in the production process of a panel such as film formation and wiring of transparent electrodes, and defects such as changes in the electric resistance of the transparent electrodes are not caused. SOLUTION: In the color filter consisting of a substrate 10 and a dye layer 11 regularly arranged between an overcoat layer on the substrate 10 and the substrate 10, the overcoat layer is formed by successively laminating a low melting point glass layer 12 containing 50 to 65 wt.% PbO and 25 to 35 wt.% SiO2 and an insulating metal oxide layer 13 comprising SiO2, SiON, Al2O3, Ta2O5, TiO2, Y2O3, LiO2 or multiple oxides of these. The overcoat layer covers the dye layers 11.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
イやエレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィール
ドエミッションディスプレイ、液晶ディスプレイなどの
各種表示装置や固体撮像素子に設けられ、反射率低減、
色合成あるいは色分解などのために用いられるカラーフ
ィルタ及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is provided in various display devices such as a plasma display, an electroluminescence display, a field emission display, a liquid crystal display, and a solid-state image pickup device, and has a reduced reflectance.
The present invention relates to a color filter used for color synthesis or color separation and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、カラー液晶ディスプレイでは、
カラー表示を行うためのカラーフィルタが必要であり、
公知の染色法や顔料分散法等の方法で作成されたカラー
フィルタが用いられている。これは有機染料や有機顔料
を用いて樹脂層を着色してカラーフィルタとするもので
ある。また、プラズマディスプレイにおいても、映像を
表示した際のコントラスト向上のためにカラーフィルタ
を用いることが提案されている。このように、いくつか
の電子ディスプレイデバイスではカラー表示や画質向上
のためにカラーフィルタが不可欠となっている。
2. Description of the Related Art For example, in a color liquid crystal display,
Need a color filter to perform color display,
A color filter prepared by a known method such as a dyeing method or a pigment dispersion method is used. This is to color a resin layer using an organic dye or an organic pigment to form a color filter. In a plasma display, it has been proposed to use a color filter in order to improve contrast when displaying an image. As described above, in some electronic display devices, color filters are indispensable for improving color display and image quality.

【0003】ところで、プラズマディスプレイの場合、
その作製プロセスには約450〜600℃ので焼成する
条件が含まれている。もし、液晶ディスプレイ用カラー
フィルタをプラズマディスプレイ用カラーフィルタに流
用すると、これを構成する有機染料、有機顔料、樹脂バ
インダーが、こうした作製プロセスにおいて燃焼あるい
は分解反応してしまい、カラーフィルタとしての特性が
得られなくなってしまう。
[0003] In the case of a plasma display,
The fabrication process includes conditions for firing at about 450-600 ° C. If a color filter for a liquid crystal display is diverted to a color filter for a plasma display, the organic dyes, organic pigments, and resin binders constituting the filter will burn or decompose in such a production process, and the characteristics as a color filter will be obtained. I will not be able to.

【0004】この問題の解決方法として、耐熱性の無機
顔料を基板上へ形成したものをカラーフィルタとして用
いることが提案されている。これは、無機顔料を適当な
バインダ樹脂および溶剤と混合したペーストを、所定の
基板にスクリーン印刷等の方法で所定の位置にパターニ
ングし、しかるのち焼成することによりバインダ樹脂及
び溶剤の除去を行い、無機顔料フィルタを得るものであ
る。この場合、このカラーフィルタは無機材料であるこ
とから、プラズマディスプレイ作製にかかわる高温プロ
セスに耐えることが可能である。
As a solution to this problem, it has been proposed to use a heat-resistant inorganic pigment formed on a substrate as a color filter. This means that a paste obtained by mixing an inorganic pigment with an appropriate binder resin and a solvent is patterned at a predetermined position on a predetermined substrate by a method such as screen printing, and then the binder resin and the solvent are removed by firing, This is to obtain an inorganic pigment filter. In this case, since the color filter is made of an inorganic material, it can withstand a high-temperature process involved in manufacturing a plasma display.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】プラズマディスプレイ
やエレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールド
エミッションディスプレイなどにカラーフィルタを用い
る場合、点灯させる画素の走査や維持を目的に透明電極
が、各々のパネル構造に応じて、カラーフィルタ上部あ
るいは下部に配線される。特に駆動電圧マージンの影響
を重視する場合は、透明電極がカラーフィルタ上部に形
成されることになる。従って、表示装置を正常に動作さ
せるには、透明電極は一様な電気特性を有し且つ断線や
ピンホールを発生させないことが肝要である。
When a color filter is used in a plasma display, an electroluminescence display, a field emission display, or the like, a transparent electrode is used for scanning or maintaining a pixel to be lit, according to each panel structure. Wired above or below the filter. In particular, when importance is placed on the influence of the drive voltage margin, a transparent electrode is formed above the color filter. Therefore, in order for the display device to operate normally, it is important that the transparent electrode has uniform electric characteristics and does not cause disconnection or pinholes.

【0006】こうした要求を満たすために透明電極は色
素層上に直接形成せずに、ガラスのオーバーコート層を
設けた後、その上部に形成することが提案されている。
しかしながら、オーバーコートガラス材料には低融点ガ
ラスフリットを用いなければならず、微粒化してもその
粒径を10μm以下とすることが限度で、焼成・軟化し
てもオーバーコート層自身のピンホールの発生を避けら
れずにいた。
In order to satisfy such demands, it has been proposed that a transparent electrode is not formed directly on a dye layer, but is formed on a glass overcoat layer after forming it.
However, a low-melting glass frit must be used for the overcoat glass material, and the particle size is limited to 10 μm or less even when the particles are finely divided. Outbreak was inevitable.

【0007】また、低融点ガラスフリットはディスプレ
イ製造プロセスに適合できるように基板ガラスのガラス
物性やマッチング性を満足させなければなず、フリット
成分にPbOを導入するなどして軟化点や熱膨張係数を
適宜コントロールしなければならない。
Further, the low melting point glass frit must satisfy the glass properties and matching property of the substrate glass so as to be compatible with the display manufacturing process, and the softening point and the thermal expansion coefficient are increased by introducing PbO into the frit component. Must be appropriately controlled.

【0008】しかしながらこうした低融点ガラス層をオ
ーバーコートとして色素上に形成したカラーフィルタ
は、パネル化工程で上部に透明電極を配線すると、ディ
スプレイ製造の加熱プロセスにおいて、透明電極と低融
点ガラス層間とで相互作用し電極の電気抵抗値の上昇や
オーバーコート層表面形状が変化(シワ、クラック等)
するといった問題もまた同時に抱えていた。
However, such a color filter having a low-melting glass layer formed as an overcoat on a colorant, when a transparent electrode is wired on the upper part in a paneling step, a heating process for manufacturing a display causes a gap between the transparent electrode and the low-melting glass layer. Interaction increases the electrical resistance of the electrode and changes the surface shape of the overcoat layer (wrinkles, cracks, etc.)
There was also the problem of doing it at the same time.

【0009】従って本発明は、前述した従来の課題を解
決するためになされたものであり、その目的はカラーフ
ィルタ用基板ガラスにマッチングできる低融点ガラス層
を提供し、ディスプレイ製造プロセスに適合させピンホ
ールやクラックが生じるといった問題を解決し、パネル
表示品位を維持できるカラーフィルタおよびその製造方
法を提供するものである。
Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a low-melting-point glass layer which can be matched with a substrate glass for a color filter, and which is suitable for a display manufacturing process. An object of the present invention is to provide a color filter which can solve the problem of generation of holes and cracks and can maintain panel display quality, and a method of manufacturing the same.

【0010】また他の目的は、パネル組立各工程を経て
も配線電極の電気抵抗値の上昇や低融点ガラス層の表面
形状の変化(シワ、クラック等)が生じるといった問題
も解決し、高い信頼性を有した高品質な表示特性を実現
できるカラーフィルタ及びその製造方法を提供するもの
である。
Another object of the present invention is to solve the problem that the electric resistance of the wiring electrode is increased and the surface shape of the low-melting glass layer is changed (wrinkles, cracks, etc.) even after each panel assembling step, and high reliability is achieved. An object of the present invention is to provide a color filter capable of realizing high-quality display characteristics having a characteristic and a method of manufacturing the same.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明によるカラーフィルタは、基板と、基
板上に形成されたオーバーコート層間に色素層が規則的
に配置されたカラーフィルタにおいて、該オーバーコー
ト層がPbO50〜65重量%、SiO2 25〜35重
量%を含有する低融点ガラス層及びSiO2 、SiO
N、Al2 3 、Ta2 5 、TiO2 、Nb2 5
2 3 、LiO2 またはこれらの複合酸化物から形成
されている絶縁性金属酸化物層とを順次積層したもので
あって、該色素層を被覆していることを特徴とするカラ
ーフィルタである。
In order to achieve the above object, a color filter according to the present invention comprises a color filter in which a dye layer is regularly arranged between a substrate and an overcoat layer formed on the substrate. in, the overcoat layer is PbO50~65 wt%, the low-melting point glass layer and SiO 2 containing SiO 2 25 to 35 wt%, SiO
N, Al 2 O 3 , Ta 2 O 5 , TiO 2 , Nb 2 O 5 ,
A color filter, which is obtained by sequentially laminating an insulating metal oxide layer formed of Y 2 O 3 , LiO 2 or a composite oxide thereof, and covering the dye layer. is there.

【0012】また、本発明によるカラーフィルタの製造
方法は、基板上の色素層が無機顔料とバインダー樹脂及
び溶剤とから構成される色素ペーストを用いて基板上の
所定の位置に規則的に規則的に形成される工程と、焼成
を行なって色素層中の有機成分の除去を行なう工程と、
粒径10μm以下の低融点ガラスフリットとバインダー
樹脂及び溶剤とから構成される低融点ガラスペーストを
用いて、色素層上と基板上の全面を覆うように低融点ガ
ラス層を形成する工程と、次いで焼成を行なって低融点
ガラス層中の有機成分の除去と低融点ガラスフリットの
軟化を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法
である。
Further, in the method of manufacturing a color filter according to the present invention, the dye layer on the substrate is regularly and regularly placed at a predetermined position on the substrate using a dye paste composed of an inorganic pigment, a binder resin and a solvent. And a step of performing baking to remove organic components in the dye layer,
A step of forming a low-melting glass layer so as to cover the entire surface of the dye layer and the substrate using a low-melting glass paste composed of a low-melting glass frit having a particle size of 10 μm or less, a binder resin and a solvent, and This is a method for producing a color filter, which comprises firing to remove organic components in the low-melting glass layer and soften the low-melting glass frit.

【0013】また、本発明によるカラーフィルタの製造
方法は、焼成により低融点ガラス層中の有機成分の除去
と低融点ガラスフリットの軟化を行った工程の後、光透
過性を有する絶縁性金属属酸化物層を積層形成すること
を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
Further, in the method of manufacturing a color filter according to the present invention, after the step of removing organic components in the low-melting glass layer by softening and softening the low-melting glass frit, an insulating metal group having a light-transmitting property is obtained. A method for manufacturing a color filter, comprising laminating an oxide layer.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下に、本発明を図面を用いて実
施の形態を説明する。図1は本発明によるカラーフィル
タの実施の形態を説明する断面図であり図に示されるよ
うにガラス基板10と所定位置にパターニングされて規
則的に配置された各色の色素層11R、11G、11B
と、これを覆う光透過性の低融点ガラス層12及び光透
過性の絶縁性金属酸化物層13が順次積層して構成され
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating an embodiment of a color filter according to the present invention. As shown in FIG. 1, a glass substrate 10 and dye layers 11R, 11G, and 11B of each color are patterned and arranged at predetermined positions.
And a light-transmitting low-melting glass layer 12 and a light-transmitting insulating metal oxide layer 13 covering the light-transmitting low-melting glass layer 12 are sequentially laminated.

【0015】基板は、通常のカラーフィルタに使用され
るものが適用でき、ソーダライムガラスやまた、ホウケ
イ酸ガラス、アルミノケイ酸塩ガラス等の耐熱性無アル
カリ板ガラスなどを用いることができる。
As the substrate, those used for ordinary color filters can be applied, and soda lime glass, heat-resistant alkali-free plate glass such as borosilicate glass, aluminosilicate glass, or the like can be used.

【0016】色素層11は、無機顔料とバインダー樹脂
及び溶剤とから構成される無機顔料ペーストを用いて基
板上の所定の位置に規則的に形成し、この後焼成が施さ
れる。
The dye layer 11 is regularly formed at a predetermined position on the substrate using an inorganic pigment paste composed of an inorganic pigment, a binder resin and a solvent, and then fired.

【0017】無機顔料としては、例えば赤色顔料として
Fe2 3 を、緑色顔料としてはTiO2 −CoO−N
iO−ZnO、CoO−CrO−TiO2 −Al
2 3 、青色顔料とてはCoO−Al2 3-CrO、C
oO−Al2 3 等を用いることができ、この他、用途
によっては、黄色、ブラウン、ブラック等の顔料が用い
られる。
As an inorganic pigment, for example, Fe 2 O 3 is used as a red pigment, and TiO 2 —CoO—N is used as a green pigment.
iO-ZnO, CoO-CrO- TiO 2 -Al
2 O 3 , blue pigments such as CoO-Al 2 O 3 -CrO, C
oO-Al 2 O 3 or the like can be used, and in addition, pigments such as yellow, brown, and black are used depending on the application.

【0018】バインダー樹脂としては、焼成により、有
機物を除去できる組成であることが重要である。特に、
酸素導入量の限られた雰囲気中において分解することが
必要で、焼成後に炭素質等を残留させてはならない。従
って、アクリル酸アルキル、ポリアクリル酸アルキル、
又はメタクリル酸アルキル、ポリメタクリル酸アルキ
ル、又はその各種共重合体のようなアクリル系共重合体
や水酸基の一部または全部が炭素数1乃至3の炭化水素
残基でエーテル化されたセルロース化合物をバインダー
樹脂として用いる。
It is important that the binder resin has a composition capable of removing organic substances by firing. In particular,
It is necessary to decompose in an atmosphere in which the amount of introduced oxygen is limited, and no carbonaceous substance or the like should be left after firing. Thus, alkyl acrylates, polyalkyl acrylates,
Or an acrylic copolymer such as alkyl methacrylate, polyalkyl methacrylate, or various copolymers thereof, or a cellulose compound in which a part or all of hydroxyl groups are etherified with a hydrocarbon residue having 1 to 3 carbon atoms. Used as a binder resin.

【0019】有機溶剤としては、不活性液体の有機溶媒
が使用でき、沸点は100〜350℃の範囲であること
が好ましい。このために適当な溶媒としては、シクロヘ
キサノン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケト
ンのようなケトン類、α又はβテルピノールのようなテ
ルペン又はケロセン、ジブチルフタレート、ブチルカル
ビトール、ブチルカルビトールアセテート、ヘキサメチ
レン、グリコール、及び高沸点のアルコール及びアルコ
ールエステルのような他の溶媒との混合物である。これ
らの溶剤は、各種塗工方式について所望の粘度及び揮発
性要件を得るために、適宜選択して使用する。
As the organic solvent, an inert liquid organic solvent can be used, and the boiling point is preferably in the range of 100 to 350 ° C. Suitable solvents for this include ketones such as cyclohexanone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, terpenes or kerosenes such as α or β terpinol, dibutyl phthalate, butyl carbitol, butyl carbitol acetate, hexamethylene, glycol, And mixtures with other solvents such as high boiling alcohols and alcohol esters. These solvents are appropriately selected and used in order to obtain desired viscosity and volatility requirements for various coating methods.

【0020】ガラス基板上に規則的に色素層を形成する
ための方法としては、前記無機顔料とバインダー樹脂及
び溶剤とから構成される色素ペーストで印刷法やフォト
リソグラフィー法等を行なうことが挙げられる。
As a method for regularly forming a dye layer on a glass substrate, a printing method, a photolithography method, or the like may be used with a dye paste composed of the inorganic pigment, a binder resin and a solvent. .

【0021】印刷法の場合、色素ペーストを所定の形状
で開口したスクリーンメッシュを介して押圧塗布し、パ
ターン形成するスクリーン印刷法が挙げられる。この
他、平版オフセット印刷法等など各種印刷方式で行なう
ことも可能である。
In the case of the printing method, there is a screen printing method in which a dye paste is pressed and applied through a screen mesh having a predetermined shape to form a pattern. In addition, the printing can be performed by various printing methods such as a lithographic offset printing method.

【0022】また、フォトリソグラフィー法では、無機
顔料を適当な感光化性樹脂に混練を行い、得られた色素
ペーストを基板上に塗布し、これを所定のフォトマスク
を用いて露光し、しかる後現像してパターニングを行な
う。
In the photolithography method, an inorganic pigment is kneaded in an appropriate photosensitive resin, the obtained dye paste is applied on a substrate, and this is exposed to light using a predetermined photomask, and thereafter, Develop and pattern.

【0023】低融点ガラスとしては、その組成にPbO
50〜65重量%、SiO2 25〜35重量%を基本構
成として含有しているものを用いる。PbO50重量%
以下であるとガラスの軟化点が高くなり、高い焼成温度
工程が必要となる。このため用いる基板によっては、歪
みや変形が生じてしまい、選定できる基板に制約を受け
てしまう。またPbO65重量%以上では、ガラス化が
困難になる傾向が認められる。
As the low melting point glass, PbO
50-65 wt%, used those containing SiO 2 25 to 35 wt% as a basic configuration. PbO 50% by weight
Below this, the softening point of the glass increases and a high firing temperature step is required. For this reason, depending on the substrate to be used, distortion or deformation occurs, and the substrate to be selected is restricted. When the content of PbO is 65% by weight or more, vitrification tends to be difficult.

【0024】一方、SiO2 25重量%以下では、強度
や耐酸性が低下する傾向があり、特に電極配線のエッチ
ング工程で耐薬品性の低下や剥離が生じやすくなる。ま
た、SiO2 35重量%以上ではガラスフリットの軟化
点が高くなり、失透やピンホールが残り易くなる傾向が
認められる。
On the other hand, if the SiO 2 content is 25% by weight or less, the strength and the acid resistance tend to decrease, and in particular, the chemical resistance tends to decrease and peeling tends to occur in the electrode wiring etching step. When the SiO 2 content is 35% by weight or more, the softening point of the glass frit becomes high, and the tendency that devitrification and pinholes tend to remain is recognized.

【0025】こうした、PbOとSiO2 の基本成分の
他にBaO、ZnO、B2 3 、Na2 O、K2 O或い
はF2 を加えた組成で、ガラスフリットの軟化点、熱膨
張係数を適宜コントロールして用いることができる。
With a composition obtained by adding BaO, ZnO, B 2 O 3 , Na 2 O, K 2 O or F 2 in addition to the basic components of PbO and SiO 2 , the softening point and the thermal expansion coefficient of the glass frit can be reduced. It can be appropriately controlled and used.

【0026】低融点ガラスペーストとして用いられるバ
インダー樹脂としては、焼成により、有機物を除去でき
る組成であることが重要である。特に、酸素導入量の限
られた雰囲気中において分解することが必要で、焼成後
に炭素質等を残留させてはならない。従って、アクリル
酸アルキル、ポリアクリル酸アルキル、又はメタクリル
酸アルキル、ポリメタクリル酸アルキル、又はその各種
共重合体のようなアクリル系共重合体や水酸基の一部ま
たは全部が炭素数1乃至3の炭化水素残基でエーテル化
されたセルロース化合物をバインダー樹脂として用い
る。
It is important that the binder resin used as the low-melting glass paste has a composition capable of removing organic substances by firing. In particular, it is necessary to decompose in an atmosphere in which the amount of introduced oxygen is limited, and no carbonaceous substance or the like should remain after firing. Therefore, an acrylic copolymer such as alkyl acrylate, polyalkyl acrylate, or alkyl methacrylate, polyalkyl methacrylate, or various copolymers thereof, or a part or all of the hydroxyl groups is a carbon having 1 to 3 carbon atoms. A cellulose compound etherified with a hydrogen residue is used as a binder resin.

【0027】有機溶剤としては、不活性液体の有機溶媒
が使用でき、沸点は100〜350℃の範囲であること
が好ましい。このために適当な溶媒としては、シクロヘ
キサノン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケト
ンのようなケトン類、α又はβテルピノールのようなテ
ルペン、又はケロセン、ジブチルフタレート、ブチルカ
ルビトール、ブチルカルビトールアセテート、ヘキサメ
チレン、グリコール、及び高沸点のアルコール及びアル
コールエステルのような他の溶媒との混合物である。こ
れらの溶剤は、各種塗工方式について所望の粘度及び揮
発性要件を得るために、適宜選択して使用する。
As the organic solvent, an inert liquid organic solvent can be used, and the boiling point is preferably in the range of 100 to 350 ° C. Suitable solvents for this include ketones such as cyclohexanone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, terpenes such as α or β terpinol, or kerosene, dibutyl phthalate, butyl carbitol, butyl carbitol acetate, hexamethylene, glycol And mixtures with other solvents such as high boiling alcohols and alcohol esters. These solvents are appropriately selected and used in order to obtain desired viscosity and volatility requirements for various coating methods.

【0028】色素層が形成された基板上に低融点ガラス
層を形成するために、粒径10μm以下の低融点ガラス
フリットとバインダー樹脂及び溶剤から構成される低融
点ガラスペーストを用いてスクリーン印刷法やディップ
コーティング法、スピンコーティング法等により塗布す
ることができる。ガラスフリット粒径は、10μm以上
になると焼成工程による軟化を行なっても表面平滑性が
得られ難くなる傾向があることから上記サイズ以下であ
ることが好ましい。
In order to form a low-melting glass layer on a substrate on which a dye layer has been formed, a screen-printing method is used using a low-melting glass paste composed of a low-melting glass frit having a particle size of 10 μm or less, a binder resin and a solvent. It can be applied by a dip coating method, a spin coating method, or the like. When the glass frit particle size is 10 μm or more, it is difficult to obtain surface smoothness even when softening is performed in a firing step, so that the glass frit particle size is preferably equal to or less than the above size.

【0029】光透過性の絶縁性金属酸化物層としては、
SiO2 、SiON、Al2 3 、Ta2 5 、TiO
2 、Nb2 5 、Y2 3 及びこれらの複合酸化物から
形成されているものを用いる。
As the light-transmitting insulating metal oxide layer,
SiO 2 , SiON, Al 2 O 3 , Ta 2 O 5 , TiO
2 , Nb 2 O 5 , Y 2 O 3, and those formed from composite oxides thereof are used.

【0030】光透過性の絶縁性金属酸化物層の形成方法
としては、薄膜形成用原料を真空中で加熱してその昇華
物を低融点ガラス層上に堆積させる電子線蒸着法、スパ
ッタリング法、化学気相成長法などの気相法が挙げられ
る。この他、有機溶剤に可溶な有機金属化合物を用い、
この溶液を低融点ガラス層上に塗布し、後に熱分解ある
いは酸化することによって絶縁性金属酸化物膜を皮膜形
成する液相法などが挙げられる。
The light-transmitting insulating metal oxide layer may be formed by electron beam evaporation, sputtering, in which a raw material for forming a thin film is heated in a vacuum to deposit the sublimate on the low-melting glass layer. A vapor phase method such as a chemical vapor deposition method is exemplified. In addition, using an organic metal compound soluble in an organic solvent,
This solution is applied onto a low-melting glass layer, and is then thermally decomposed or oxidized to form a film of an insulating metal oxide film.

【0031】気相法においては、物理的に膜成分を気相
に移すもので、アルゴンなどの不活性ガスや酸素などの
反応性ガスを適宜導入し、絶縁性金属酸化物用原料表面
から塗膜成分を放出させ低融点ガラス層上に光透過性を
有する絶縁性金属酸化物層を制御良く堆積させることが
できる。
In the gas phase method, a film component is physically transferred to the gas phase. An inert gas such as argon or a reactive gas such as oxygen is appropriately introduced, and the coating is applied from the surface of the insulating metal oxide raw material. By releasing the film components, an insulating metal oxide layer having light transmittance can be deposited on the low melting point glass layer with good control.

【0032】液相法においては、塗布及び熱分解で粉末
化を起こさずに均一な膜を形成できる原料として金属有
機酸塩、金属アルコキシド、およびキレート化合物など
が知られている。これらの化合物はいずれも金属が酸素
原子を介してアルキル基と結合した構造を持ち、熱分解
した後金属酸化物が生成する。
In the liquid phase method, metal organic acid salts, metal alkoxides, chelate compounds and the like are known as raw materials capable of forming a uniform film without causing powderization by coating and thermal decomposition. Each of these compounds has a structure in which a metal is bonded to an alkyl group via an oxygen atom, and a metal oxide is formed after thermal decomposition.

【0033】有機金属化合物の金属元素は、シリコン、
アルミナ、タンタル、チタン、ニオブ、イットリュウ
ム、及びリチウムの少なくとも1種類を用いている。
The metal element of the organometallic compound is silicon,
At least one of alumina, tantalum, titanium, niobium, yttrium, and lithium is used.

【0034】これらの出発原料を適当な溶媒に溶解し、
浸漬法、ドクターブレード法、スピンコート法などによ
り塗布する。この後焼成を行い、熱分解及び酸化するこ
とにって絶縁性金属酸化物膜を皮膜形成する。
These starting materials are dissolved in a suitable solvent,
Coating is performed by an immersion method, a doctor blade method, a spin coating method, or the like. Thereafter, baking is performed, and thermal decomposition and oxidation are performed to form an insulating metal oxide film.

【0035】この他、粒径〜50nm程度の金属コロイ
ド類を液状に調整した金属コロイド溶液を塗布・乾燥し
て金属コロイド溶液の含水ゲル塗膜を得た後、焼成を行
い金属酸化物を得る事もできる。
In addition, a metal colloid solution in which a metal colloid having a particle size of about 50 nm is adjusted to a liquid state is applied and dried to obtain a water-containing gel coating film of the metal colloid solution, followed by firing to obtain a metal oxide. You can do things.

【0036】以上のようにして色素層、低融点ガラス層
の形成毎、或いは色素層から低融点ガラス層、絶縁性金
属酸化物層まで形成した後一括焼成して有機成分の除去
と低融点ガラスの軟化及び絶縁性金属酸化物層の焼結を
行なうことも可能である。後者における方法で一括して
焼成を行なう場合、カラーフィルタ製造工程が簡略化さ
れ、製造時間の短縮や製造コストの削減を図ることが可
能となる。
As described above, every time a pigment layer and a low-melting glass layer are formed, or after the pigment layer is formed from the low-melting glass layer to the insulating metal oxide layer, the organic components are removed by batch firing to remove the low-melting glass. And sintering of the insulating metal oxide layer is also possible. When baking is carried out collectively by the latter method, the color filter manufacturing process is simplified, and it is possible to reduce the manufacturing time and the manufacturing cost.

【0037】本発明のカラーフィルタの構造は、基板上
に色素層、光透過性の低融点ガラス層、光透過性の絶縁
性金属酸化物が順次積層形成させるものである。従来の
カラーフィルタでは、ディスプレイ製造工程で低融点ガ
ラス層上部に透明電極(ITO:酸化インジウムスズ)
を成膜し配線していたため加熱処理工程を経ると、低融
点ガラス層の酸化鉛(PbO)成分と透明電極のIn2
3 或いはSnO2 成分とが相互に反応し、電極抵抗値
の上昇を引き起こした。また、この反応過程では、低融
点ガラス層表面形状の変形(シワ、クラック)を同時に
誘発するものであった。この問題を回避するために、低
融点ガラス層上に形成できるSiO2 、SiON、Al
2 3 、Ta2 5 、TiO2 、Nb2 5 、Y2 3
及びこれらの複合酸化物から形成される光透過性の絶縁
性金属酸化物層を見出し、本発明を実現させるに至っ
た。
The structure of the color filter of the present invention is such that a dye layer, a light-transmitting low-melting glass layer, and a light-transmitting insulating metal oxide are sequentially formed on a substrate. In a conventional color filter, a transparent electrode (ITO: indium tin oxide) is placed on the low melting glass layer during the display manufacturing process.
After the heat treatment step, the lead oxide (PbO) component of the low melting point glass layer and the In 2 of the transparent electrode were formed.
The O 3 or SnO 2 component reacted with each other, causing an increase in the electrode resistance. Further, in this reaction process, deformation (wrinkles, cracks) of the surface shape of the low-melting glass layer was simultaneously induced. To avoid this problem, SiO 2 , SiON, Al which can be formed on the low melting point glass layer
2 O 3 , Ta 2 O 5 , TiO 2 , Nb 2 O 5 , Y 2 O 3
Further, the inventors have found a light-transmitting insulating metal oxide layer formed from these composite oxides, and have achieved the present invention.

【0038】[0038]

【実施例】以下に本発明のカラーフィルタとカラーフィ
ルタの製造方法について、一実施例を挙げ、各段階の状
態を模式的に示す図面を参照しながら説明する。説明に
於ける使用材料、および温度、時間などの材料処理条件
は好適な一例を示したもので、説明に用いた図面は本発
明を各構成成分の大きさ、形状、配置関係を概略して示
したものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A color filter and a method of manufacturing a color filter according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings, which schematically show the state of each stage. The materials used in the description, and the material processing conditions such as temperature and time are just examples, and the drawings used in the description outline the present invention in terms of the size, shape and arrangement of each component. It is shown.

【0039】<実施例1>青色顔料として東洋顔料社製
「コバルトブルーX」100重量部を、バインダー樹脂
としてエチルセルロース(関東化学製)10重量部及び
α−テルピネオール(関東化学製)40重量部に混合し
て、これをロールミル分散した青色ペーストを調整し
た。
Example 1 100 parts by weight of "Cobalt Blue X" manufactured by Toyo Pigment Co., Ltd. as a blue pigment, 10 parts by weight of ethyl cellulose (manufactured by Kanto Chemical) and 40 parts by weight of α-terpineol (manufactured by Kanto Chemical) as a binder resin. The mixture was mixed to prepare a blue paste obtained by dispersing the mixture in a roll mill.

【0040】この青色ペーストをストライプ状に開口し
たポリエステル300メッシュのスクリーン版を用いて
印刷を行い、低膨張無アルカリガラス基板10上(熱膨
張係数48×10-7)に線幅150μm、ピッチ220
μm、膜厚8μmのストライプパターンの色素層11B
を印刷形成した(図2参照)。
The blue paste was printed using a screen plate of polyester 300 mesh having openings in stripes, and a line width of 150 μm and a pitch of 220 μm was formed on a low expansion alkali-free glass substrate 10 (thermal expansion coefficient: 48 × 10 −7 ).
μm, 8 μm-thick stripe pattern dye layer 11B
Was formed by printing (see FIG. 2).

【0041】以下同様に、緑色顔料として日本電工社製
「ND−801」を用い、また赤色顔料としてBASF
社製「シコトランスレッドL−2817」を用いてバイ
ンダー樹脂と共に分散・ペースト化し、スクリーン版の
位置あわせを行って、所定の位置に緑色ストライプの色
素層11Gと赤色ストライプの色素層11Rを印刷した
(図3参照)。共に線幅150μm、膜厚8μmであっ
た。
Similarly, "ND-801" manufactured by Nippon Denko KK was used as a green pigment, and BASF was used as a red pigment.
Dispersed and pasted together with a binder resin using "Sico Trans Red L-2817" manufactured by the company, the screen plate was aligned, and a green stripe dye layer 11G and a red stripe dye layer 11R were printed at predetermined positions. (See FIG. 3). Both had a line width of 150 μm and a film thickness of 8 μm.

【0042】この後、大気中420℃で30分間の工程
で焼成し、ペースト中の有機成分であるエチルセルロー
ス及びα−テルピネオールを燃焼且つ蒸発させて除去し
た。こうして青、緑、赤各色無機顔料のみからなる色素
層11B、11G、11Rをガラス基板10上に形成し
た。
Thereafter, the paste was baked at 420 ° C. in the air for 30 minutes, and the organic components ethyl cellulose and α-terpineol in the paste were removed by burning and evaporating. In this manner, the dye layers 11B, 11G, and 11R made of only the blue, green, and red inorganic pigments were formed on the glass substrate 10.

【0043】次に、低融点ガラスフリットを以下の手順
で作成した。ガラス原料としてPbO62重量%、Si
2 28重量%、B2 3 5重量%、Na2 O2.
5重量%、F2 2. 5重量%の比率でルツボを用い、1
300℃で泡がなくなるまで溶融を行なった。こうして
溶融が終了した後、純水中への投入を行い適当な粒度の
ガラス粉末を得た。更に、適当な電解質のミル添加剤を
加え、水と混合してボールミルで粉砕を行なった。こう
して粒径7〜3μmの粒度分布を有し軟化点560℃、
熱膨張係数53×10-7の低融点ガラスフリットを作成
した。
Next, a low melting point glass frit was prepared according to the following procedure. 62% by weight of PbO as glass raw material, Si
O 2 28% by weight, B 2 O 3 5% by weight, Na 2 O 2.
Using a crucible at a ratio of 5% by weight and 2.5 % by weight of F 2 ,
Melting was carried out at 300 ° C. until the bubbles disappeared. After the melting was completed, the mixture was poured into pure water to obtain a glass powder having an appropriate particle size. Further, an appropriate electrolyte mill additive was added, mixed with water, and pulverized by a ball mill. Thus, having a particle size distribution of a particle size of 7 to 3 μm, a softening point of 560 ° C.,
A low melting point glass frit having a coefficient of thermal expansion of 53 × 10 −7 was prepared.

【0044】また、上記の低融点ガラスフリット100
重量部をエチルセルロース(関東化学製)2. 5重量
部、2- (- エトキシエトキシ)エタノール20重量部
に加え、これを3本ロールミルで分散した低融点ガラス
ペーストを調整した。
In addition, the low melting point glass frit 100
The weight part was added to 2.5 parts by weight of ethyl cellulose (manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd.) and 20 parts by weight of 2-(-ethoxyethoxy) ethanol, and this was dispersed by a three-roll mill to prepare a low-melting glass paste.

【0045】この後、所定の位置に青、緑、赤色ストラ
プパターンの色素層11が形成されたガラス基板10上
に、この低融点ガラスペーストをポリエステル300メ
ッシュのスクリーン版を用いて、パターン全域を含むよ
うにベタで塗布した。塗布膜厚は20μmであった。
Then, on a glass substrate 10 on which a dye layer 11 having a blue, green, and red strap pattern is formed at a predetermined position, the entire area of the pattern is coated with this low-melting glass paste using a screen plate of polyester 300 mesh. It was applied solid to include. The applied film thickness was 20 μm.

【0046】次いで、大気中420℃で60分間と58
0℃で30分間の連続した工程で焼成を行い、低融点ガ
ラス層中の有機成分であるエチルセルロース及び2-
(2-エトキシエトキシ) エタノールを燃焼且つ蒸発さ
せて除去し、更に低融点ガラスフリットを軟化させ、ガ
ラス基板10上に青、緑、赤色の色素層11B、11
G、11Rと低融点ガラス層12を順次積層させた(図
4参照)。
Then, at 420 ° C. for 60 minutes and 58
Baking was performed in a continuous process at 0 ° C. for 30 minutes, and the organic components ethyl cellulose and 2-
(2-ethoxyethoxy) Ethanol is removed by burning and evaporating, and the low melting point glass frit is further softened, and blue, green, and red dye layers 11B and 11 are formed on the glass substrate 10.
G, 11R and the low-melting glass layer 12 were sequentially laminated (see FIG. 4).

【0047】続いて、マグネトロン- スパッタ装置をス
パッタ用ガスにArと酸素とを適当な混合比で導入し低
融点ガラス層12上に光透過性の絶縁性金属酸化物層と
してSiO2 薄膜を厚さ1000Åに成膜した。
Then, Ar and oxygen are introduced into the sputtering gas by a magnetron-sputtering apparatus at an appropriate mixing ratio, and a SiO 2 thin film is formed on the low-melting glass layer 12 as a light-transmitting insulating metal oxide layer. The film was formed to a thickness of 1000 °.

【0048】以上の工程によりガラス基板10上に青、
緑、赤色の色素層11B、11G、11Rと低融点ガラ
ス層12及び光透過性の絶縁性金属酸化物層13が順次
積層した構造のカラーフィルタを製造した(図1参
照)。
Through the above steps, blue and blue
A color filter having a structure in which green and red dye layers 11B, 11G, and 11R, a low-melting glass layer 12, and a light-transmitting insulating metal oxide layer 13 were sequentially laminated was manufactured (see FIG. 1).

【0049】こうして得たカラーフィルタを表示装置組
み立て工程であるITO成膜プロセスへ移行させた。カ
ラーフィルタ基板上面には、ITO膜(Indium
Tin Oxide)をスパッタ法によって膜厚150
0Åで製膜し更にアニールを行った。
The color filters thus obtained were transferred to an ITO film forming process as a display device assembling process. An ITO film (Indium) is formed on the upper surface of the color filter substrate.
Tin Oxide) is deposited to a thickness of 150 by sputtering.
The film was formed at 0 ° and further annealed.

【0050】得られたカラーフィルタ基板上のITOシ
ート抵抗値は、設計していた低抵抗の20Ω/ □が得ら
れた。また低融点ガラス層の表面形状は、変形(シ
ワ)、変質、クラックなどの問題のない上面平滑で良好
なカラーフィルタ基板を得る事ができた。
The designed ITO sheet resistance on the color filter substrate was as low as 20 Ω / □ as designed. In addition, the surface shape of the low melting point glass layer was able to obtain a good color filter substrate with a smooth upper surface free from problems such as deformation (wrinkles), deterioration, and cracks.

【0051】<実施例2>実施例1と同様にして低膨張
無アルカリガラス基板10上に、スクリーン印刷法によ
り青、緑、赤のペーストを繰り返して印刷を行い線幅1
50μm、膜厚8μmのストライプ状の色素層11B・
11G・11Rを形成した。この後酸化雰囲気中にて5
00℃で60分焼成を行ってカラーフィルタの有機成分
を除去した。
<Embodiment 2> Blue, green and red pastes were repeatedly printed on a low expansion alkali-free glass substrate 10 by screen printing in the same manner as in Embodiment 1 to obtain a line width of 1.
50 μm, 8 μm-thick striped dye layer 11B
11G and 11R were formed. Then, in an oxidizing atmosphere,
Baking was performed at 00 ° C. for 60 minutes to remove organic components of the color filter.

【0052】この後図4に示すように、所定の位置に
青、緑、赤色ストラプパターンの色素層11が形成され
たガラス基板10上に、前記低融点ガラスペーストをポ
リエステル300メッシュのスクリーン版を用いて、パ
ターン全域を含むようにベタで塗布した。塗布膜厚は2
0μmであった。
Thereafter, as shown in FIG. 4, a low-melting glass paste was coated on a glass substrate 10 on which a dye layer 11 having a blue, green, and red strap pattern was formed at a predetermined position. The solid was applied so as to cover the entire area of the pattern. The coating thickness is 2
It was 0 μm.

【0053】次いで、大気中420℃で60分間と58
0℃で30分間の連続した工程で焼成を行い、低融点ガ
ラスペースト中の有機成分を燃焼且つ蒸発させて除去
し、更に低融点ガラスフリットを軟化させ、ガラス基板
10上に青、緑、赤色の色素層11B、11G、11R
と低融点ガラス層12を順次積層させた。
Next, at 420 ° C. for 60 minutes and 58
Baking is performed in a continuous process at 0 ° C. for 30 minutes, and the organic components in the low-melting glass paste are removed by burning and evaporating. Further, the low-melting glass frit is softened, and blue, green, and red are formed on the glass substrate 10. Dye layers 11B, 11G, 11R
And the low-melting glass layer 12 were sequentially laminated.

【0054】続いて、マグネトロン- スパッタ装置をス
パッタ用ガスにArと酸素とを適当な混合比で導入し低
融点ガラス層12上に光透過性の絶縁性金属酸化物層と
してSiO2 薄膜を厚さ1000Åに成膜した。
Then, Ar and oxygen were introduced into the sputtering gas by a magnetron-sputtering apparatus at an appropriate mixing ratio, and a thin SiO 2 thin film was formed on the low-melting glass layer 12 as a light-transmitting insulating metal oxide layer. The film was formed to a thickness of 1000 °.

【0055】以上の工程によりガラス基板10上に色素
層11、低融点ガラス層12及び光透過性の絶縁性金属
酸化物層13が順次積層した構造のカラーフィルタ基板
を製造した(図1参照)。
Through the above steps, a color filter substrate having a structure in which the dye layer 11, the low-melting glass layer 12, and the light-transmitting insulating metal oxide layer 13 are sequentially laminated on the glass substrate 10 was manufactured (see FIG. 1). .

【0056】こうして得たカラーフィルタを表示装置組
み立て工程であるITO成膜プロセスへ移行させた。カ
ラーフィルタ基板上面には、ITO膜(Indium
Tin Oxide)をスパッタ法によって膜厚150
0Åで製膜し更にアニールを行った。
The color filter thus obtained was transferred to an ITO film forming process as a display device assembling process. An ITO film (Indium) is formed on the upper surface of the color filter substrate.
Tin Oxide) is deposited to a thickness of 150 by sputtering.
The film was formed at 0 ° and further annealed.

【0057】得られたカラーフィルタ基板上のITOシ
ート抵抗値は、設計していた低抵抗の20Ω/ □が得ら
れた。また低融点ガラス層の表面形状は、変形(シ
ワ)、変質、クラックなどの問題のない上面平滑で良好
なカラーフィルタ基板を得る事ができた。
With respect to the ITO sheet resistance value on the obtained color filter substrate, the designed low resistance of 20 Ω / □ was obtained. In addition, the surface shape of the low melting point glass layer was able to obtain a good color filter substrate with a smooth upper surface free from problems such as deformation (wrinkles), deterioration, and cracks.

【0058】<実施例3>実施例1と同様にして低膨張
無アルカリガラス基板10上に、スクリーン印刷法によ
り青、緑、赤のペーストを繰り返して印刷を行い線幅1
50μm、膜厚8μmのストライプ状の色素層11B・
11G・11Rを形成した。この後酸化雰囲気中にて5
00℃で60分焼成を行ってカラーフィルタの有機成分
を除去した。
<Example 3> Blue, green and red pastes were repeatedly printed on a low expansion alkali-free glass substrate 10 by a screen printing method in the same manner as in Example 1 to obtain a line width of 1
50 μm, 8 μm-thick striped dye layer 11B
11G and 11R were formed. Then, in an oxidizing atmosphere,
Baking was performed at 00 ° C. for 60 minutes to remove organic components of the color filter.

【0059】この後図4に示すように、所定の位置に
青、緑、赤色ストラプパターンの色素層11が形成され
たガラス基板10上に、この前記低融点ガラスペースト
をポリエステル300メッシュのスクリーン版を用い
て、パターン全域を含むようにベタで塗布した。塗布膜
厚は20μmであった。
Thereafter, as shown in FIG. 4, on a glass substrate 10 having a dye layer 11 of blue, green, and red strap patterns formed at predetermined positions, the low-melting glass paste was screen-printed with a polyester mesh of 300 mesh. Was applied in a solid pattern so as to cover the entire area of the pattern. The applied film thickness was 20 μm.

【0060】次いで、大気中420℃で60分間と58
0℃で30分間の連続した工程で焼成を行い、低融点ガ
ラスペースト中の有機成分を燃焼且つ蒸発させて除去
し、更に低融点ガラスフリットを軟化させ、ガラス基板
10上に青、緑、赤色の色素層11B、11G、11R
と低融点ガラス層12を順次積層させた。
Then, at 420 ° C. for 60 minutes and 58
Baking is performed in a continuous process at 0 ° C. for 30 minutes, and the organic components in the low-melting glass paste are removed by burning and evaporating. Further, the low-melting glass frit is softened, and blue, green, and red are formed on the glass substrate 10. Dye layers 11B, 11G, 11R
And the low-melting glass layer 12 were sequentially laminated.

【0061】続いて、別途コロイド質珪酸とカセイソー
ダとをオートクレープ中で加熱、反応、溶解させて得た
粒子系10〜20nmの球状の無水珪酸(SiO2 )を
水中に固形分比率20%で分散したコロイド溶液を調整
した。この無水珪酸溶液をスピンコート法によって、低
融点ガラス層12上に全面に塗布した。この後ゆるやか
に乾燥させコロイド溶液から含水ゲルを経た後、焼成を
行い光透過性の絶縁性金属酸化物層13として1500
ÅのSIO2 皮膜を得た。こうしてソーダライムガラス
基板10上に色素層11R・11G・11Bと低融点ガ
ラス層12及び光透過性を有する絶縁性金属酸化物層1
3を順次形成した。
Subsequently, a colloidal silicic acid and caustic soda were separately heated, reacted and dissolved in an autoclave, and a spherical silicic anhydride (SiO 2 ) having a particle system of 10 to 20 nm and a solid content ratio of 20% in water was obtained. A dispersed colloid solution was prepared. This anhydrous silicic acid solution was applied to the entire surface of the low-melting glass layer 12 by spin coating. After that, it is slowly dried, and after passing through a hydrogel from a colloid solution, it is baked to obtain 1500 as a light-transmitting insulating metal oxide layer 13.
The SIO 2 film of Å was obtained. Thus, on the soda-lime glass substrate 10, the dye layers 11R, 11G, and 11B, the low-melting glass layer 12, and the insulating metal oxide layer 1 having light transmittance are formed.
3 were sequentially formed.

【0062】以上の工程によりガラス基板上に色素層1
1、低融点ガラス層12、光透過性の絶縁性金属酸化物
層13が順次積層した構造のカラーフィルタ基板を製造
した(図1参照)。こうして得たカラーフィルタを表示
装置組み立て工程であるITO成膜プロセスへ移行させ
た。カラーフィルタ基板上面には、ITO膜(Indi
um Tin Oxide)をスパッタ法によって膜厚
1500Åで製膜し更にアニールを行った。
The dye layer 1 is formed on the glass substrate by the above steps.
1. A color filter substrate having a structure in which a low-melting glass layer 12 and a light-transmitting insulating metal oxide layer 13 were sequentially laminated was manufactured (see FIG. 1). The color filter thus obtained was transferred to an ITO film forming process as a display device assembling process. An ITO film (Indi) is formed on the upper surface of the color filter substrate.
um Tin Oxide) was formed into a film having a thickness of 1500 ° by a sputtering method, and further annealed.

【0063】得られたカラーフィルタ基板上のITOシ
ート抵抗値は、設計していた低抵抗の20Ω/ □が得ら
れた。また低融点ガラス層の表面形状は、変形(シ
ワ)、変質、クラックなどの問題のない上面平滑で良好
なカラーフィルタ基板を得ることができた。
The designed ITO sheet resistance on the color filter substrate was as low as 20 Ω / □ as designed. The surface shape of the low-melting-point glass layer was able to obtain a good color filter substrate having a smooth upper surface without problems such as deformation (wrinkles), deterioration, and cracks.

【0064】<実施例4>実施例1と同様にして低膨張
無アルカリガラス基板10上に、スクリーン印刷法によ
り青、緑、赤のペーストを繰り返して印刷を行い線幅1
50μm、膜厚8μmのストライプ状の色素層11B・
11G・11Rを形成した。この後酸化雰囲気中にて5
00℃で60分焼成を行ってカラーフィルタの有機成分
を除去した。
<Example 4> In the same manner as in Example 1, a low-expansion non-alkali glass substrate 10 was repeatedly printed with blue, green, and red pastes by a screen printing method to obtain a line width of 1.
50 μm, 8 μm-thick striped dye layer 11B
11G and 11R were formed. Then, in an oxidizing atmosphere,
Baking was performed at 00 ° C. for 60 minutes to remove organic components of the color filter.

【0065】この後図4に示すように、所定の位置に
青、緑、赤色ストラプパターンの色素層11が形成され
たガラス基板10上に、この前記低融点ガラスペースト
をポリエステル300メッシュのスクリーン版を用い
て、パターン全域を含むようにベタで塗布した。塗布膜
厚は20μmであった。
Thereafter, as shown in FIG. 4, the low-melting glass paste was applied to a screen plate of polyester 300 mesh on a glass substrate 10 having a dye layer 11 of blue, green and red strap patterns formed at predetermined positions. Was applied in a solid pattern so as to cover the entire area of the pattern. The applied film thickness was 20 μm.

【0066】次いで、大気中420℃で60分間と58
0℃で30分間の連続した工程で焼成を行い、低融点ガ
ラスペースト中の有機成分を燃焼且つ蒸発させて除去
し、更に低融点ガラスフリットを軟化させ、ガラス基板
10上に青、緑、赤色の色素層11B、11G、11R
と低融点ガラス層12を順次積層させた。
Next, at 420 ° C. for 60 minutes and 58
Baking is performed in a continuous process at 0 ° C. for 30 minutes, and the organic components in the low-melting glass paste are removed by burning and evaporating. Further, the low-melting glass frit is softened, and blue, green, and red are formed on the glass substrate 10. Dye layers 11B, 11G, 11R
And the low-melting glass layer 12 were sequentially laminated.

【0067】次いで、粒子径10〜20nmのリチウム
シリケート(SiO2 / LiO2 モル比3. 5)が水中
に固形分比率20%で分散したコロイド溶液をスピンコ
ート法によって同様に基板全面に塗布した。この後、ゆ
るやかに乾燥させコロイド溶液から含水ゲルを経た後、
焼成を行い光透過性の絶縁性金属酸化物層13として1
500Åのリチウムシリケート(SiO2 / LiO2
皮膜を得た。こうしてソーダライムガラス基板10上に
色素層11B・11G・11Rと低融点ガラス層12及
び光透過性を有する絶縁性金属酸化物層13を順次形成
した。
Next, a colloid solution in which lithium silicate (SiO 2 / LiO 2 molar ratio 3.5) having a particle diameter of 10 to 20 nm was dispersed in water at a solid content ratio of 20% was similarly applied to the entire surface of the substrate by spin coating. . After that, after gently drying and passing the hydrogel from the colloid solution,
After firing, the light-transmitting insulating metal oxide layer 13
500Å lithium silicate (SiO 2 / LiO 2 )
A film was obtained. Thus, the dye layers 11B, 11G, and 11R, the low-melting glass layer 12, and the light-transmitting insulating metal oxide layer 13 were sequentially formed on the soda-lime glass substrate 10.

【0068】以上の工程によりガラス基板上に色素層1
1、低融点ガラス層12、光透過性の絶縁性金属酸化物
層13が順次積層した構造のカラーフィルタ基板を製造
した(図1参照)。こうして得たカラーフィルタを表示
装置組み立て工程であるITO成膜プロセスへ移行させ
た。カラーフィルタ基板上面には、ITO膜(Indi
um Tin Oxide)をスパッタ法によって膜厚
1500Åで製膜し更にアニールを行った。
The dye layer 1 is formed on the glass substrate by the above steps.
1. A color filter substrate having a structure in which a low-melting glass layer 12 and a light-transmitting insulating metal oxide layer 13 were sequentially laminated was manufactured (see FIG. 1). The color filter thus obtained was transferred to an ITO film forming process as a display device assembling process. An ITO film (Indi) is formed on the upper surface of the color filter substrate.
um Tin Oxide) was formed into a film having a thickness of 1500 ° by a sputtering method, and further annealed.

【0069】得られたカラーフィルタ基板上のITOシ
ート抵抗値は、設計していた低抵抗の20Ω/ □が得ら
れた。また低融点ガラス層の表面形状は、変形(シ
ワ)、変質、クラックなどの問題のない上面平滑で良好
なカラーフィルタ基板を得ることができた。
The designed ITO sheet resistance on the color filter substrate was as low as 20 Ω / □ as designed. The surface shape of the low-melting-point glass layer was able to obtain a good color filter substrate having a smooth upper surface without problems such as deformation (wrinkles), deterioration, and cracks.

【0070】<比較例1>実施例1と同様にして低膨張
無アルカリガラス基板10上に、スクリーン印刷法によ
り青、緑、赤のペーストを繰り返して印刷を行い線幅1
50μm、膜厚8μmのストライプ状の色素層11B・
11G・11Rを形成した。この後酸化雰囲気中にて5
00℃で60分焼成を行ってカラーフィルタの有機成分
を除去した。
<Comparative Example 1> Blue, green, and red pastes were repeatedly printed on the low-expansion non-alkali glass substrate 10 by a screen printing method in the same manner as in Example 1 to obtain a line width of 1.
50 μm, 8 μm-thick striped dye layer 11B
11G and 11R were formed. Then, in an oxidizing atmosphere,
Baking was performed at 00 ° C. for 60 minutes to remove organic components of the color filter.

【0071】この後図4に示すように、所定の位置に
青、緑、赤色ストラプパターンの色素層11が形成され
たガラス基板10上に、次いで、ガラス原料としてPb
O、SiO2 、B2 3 、Na2 O、F2 から構成され
る平均粒径5μmの低融点ガラスフリットをバインダー
樹脂としてエチルセルロース(関東化学製)及び有機溶
剤としてα−テルピネオール(関東化学製)と所定の比
率で混練してオーバーコートペーストを調整した。
Thereafter, as shown in FIG. 4, on a glass substrate 10 on which a dye layer 11 having a blue, green and red strap pattern is formed at a predetermined position, Pb is then used as a glass material.
Low melting glass frit having an average particle size of 5 μm composed of O, SiO 2 , B 2 O 3 , Na 2 O and F 2 is ethyl cellulose (manufactured by Kanto Chemical) as a binder resin, and α-terpineol (manufactured by Kanto Chemical) is used as an organic solvent. ) And a predetermined ratio to prepare an overcoat paste.

【0072】この後、所定の位置に青、緑、赤色ストラ
プパターンの色素層11が形成されたガラス基板10上
に、この前記低融点ガラスペーストをポリエステル30
0メッシュのスクリーン版を用いて、パターン全域を含
むようにベタで塗布した。塗布膜厚は20μmであっ
た。
Thereafter, the low-melting glass paste was applied to a glass substrate 10 on which a dye layer 11 having a blue, green and red strap pattern was formed at a predetermined position.
Using a 0-mesh screen slab, solid coating was performed so as to cover the entire pattern. The applied film thickness was 20 μm.

【0073】次いで、大気中420℃で60分間と58
0℃で30分間の連続した工程で焼成を行い、低融点ガ
ラスペースト中の有機成分を燃焼且つ蒸発させて除去
し、更に低融点ガラスフリットを軟化させ、ガラス基板
10上に青、緑、赤色の色素層11B、11G、11R
と低融点ガラス層12を順次積層させた。
Then, at 420 ° C. for 60 minutes and 58
Baking is performed in a continuous process at 0 ° C. for 30 minutes, and the organic components in the low-melting glass paste are removed by burning and evaporating. Further, the low-melting glass frit is softened, and blue, green, and red are formed on the glass substrate 10. Dye layers 11B, 11G, 11R
And the low-melting glass layer 12 were sequentially laminated.

【0074】以上の工程によりガラス基板上に色素層1
1、低融点ガラス層12のみが順次積層されたカラーフ
ィルタ基板を製造した。
The dye layer 1 is formed on the glass substrate by the above steps.
1. A color filter substrate in which only the low melting point glass layer 12 was sequentially laminated was manufactured.

【0075】こうして得たカラーフィルタを表示装置組
み立て工程であるITO成膜プロセスへ移行させた。カ
ラーフィルタ基板上面には、ITO膜(Indium
Tin Oxide)をスパッタ法によって膜厚150
0Åで製膜し更にアニールを行った。
The color filter thus obtained was transferred to an ITO film forming process as a display device assembling process. An ITO film (Indium) is formed on the upper surface of the color filter substrate.
Tin Oxide) is deposited to a thickness of 150 by sputtering.
The film was formed at 0 ° and further annealed.

【0076】得られたカラーフィルタ基板のITOシー
ト抵抗値は、設計値20Ω/□に対し300〜5000
Ω/□に大きく上昇した。また、低融点ガラス層表面形
状は、全領域にわたって変形(シワ)が発生した。この
表面粗れに起因して表面散乱の増加、透明性の低下しカ
ラーフィルタ分光透過率特性が数十%低下するものとな
った。
The ITO sheet resistance of the obtained color filter substrate was 300 to 5000 with respect to the designed value of 20 Ω / □.
Greatly increased to Ω / □. The surface shape of the low-melting glass layer was deformed (wrinkled) over the entire area. Due to the surface roughness, the surface scattering increased, the transparency decreased, and the spectral transmittance characteristic of the color filter decreased by several tens%.

【0077】本比較例では、ITO成膜後アニール工程
を経てITO抵抗値の上昇と低融点ガラス層の変形が生
じたが、ITO成膜工程においてスパッタプラズマ温度
が基板温度を上昇させることに起因して全く同じ問題を
引き起こすことも認められた。
In this comparative example, the ITO resistance value increased and the low melting point glass layer was deformed through the annealing step after the ITO film formation, but the sputter plasma temperature increased the substrate temperature in the ITO film formation step. And cause the exact same problem.

【0078】<比較例2>実施例1と同様にして低膨張
無アルカリガラス基板10上に、スクリーン印刷法によ
り青、緑、赤のペーストを繰り返して印刷を行い線幅1
50μm、膜厚8μmのストライプ状の色素層11B・
11G・11Rを形成した。この後酸化雰囲気中にて5
00℃で60分焼成を行ってカラーフィルタの有機成分
を除去した。
<Comparative Example 2> Blue, green, and red pastes were repeatedly printed on the low-expansion non-alkali glass substrate 10 by a screen printing method in the same manner as in Example 1 to obtain a line width of 1.
50 μm, 8 μm-thick striped dye layer 11B
11G and 11R were formed. Then, in an oxidizing atmosphere,
Baking was performed at 00 ° C. for 60 minutes to remove organic components of the color filter.

【0079】この後図4に示すように、所定の位置に
青、緑、赤色ストラプパターンの色素層11が形成され
たガラス基板10上に、次いで、ガラス原料としてPb
O67重量%、SiO2 23重量%、B2 3 5重量
%、Na2 O2. 5重量%、F22. 5重量%から構成
される平均粒径13μm、軟化点530℃、熱膨張係数
61×10-7の低融点ガラスフリットを作成した。この
低融点ガラスフリットをバインダー樹脂としてエチルセ
ルロース(関東化学製)及び有機溶剤としてα−テルピ
ネオール(関東化学製)と所定の比率で混練して低湯点
ガラスペーストを調整した。
Thereafter, as shown in FIG. 4, on a glass substrate 10 on which a dye layer 11 having a blue, green and red strap pattern is formed at a predetermined position, Pb is then used as a glass material.
O 67% by weight, SiO 2 23% by weight, B 2 O 3 5% by weight, Na 2 O 2.5 % by weight, F 2 2.5 % by weight, average particle diameter 13 μm, softening point 530 ° C., coefficient of thermal expansion A low melting glass frit of 61 × 10 −7 was prepared. This low melting glass frit was kneaded with ethyl cellulose (manufactured by Kanto Kagaku) as a binder resin and α-terpineol (manufactured by Kanto Kagaku) as an organic solvent at a predetermined ratio to prepare a low melting point glass paste.

【0080】この後、所定の位置に青、緑、赤色ストラ
プパターンの色素層11が形成されたガラス基板10上
に、この前記低融点ガラスペーストをポリエステル30
0メッシュのスクリーン版を用いて、パターン全域を含
むようにベタで塗布した。塗布膜厚は20μmであっ
た。
Thereafter, the low-melting glass paste was applied to a polyester 30 on a glass substrate 10 having a blue, green and red strap pattern dye layer 11 formed at a predetermined position.
Using a 0-mesh screen slab, solid coating was performed so as to cover the entire pattern. The applied film thickness was 20 μm.

【0081】次いで、大気中420℃で60分間と58
0℃で30分間の連続した工程で焼成を行い、低融点ガ
ラスペースト中の有機成分を燃焼且つ蒸発させて除去
し、更に低融点ガラスフリットを軟化させ、ガラス基板
10上に青、緑、赤色の色素層11B、11G、11R
と低融点ガラス層12を順次積層させた。
Next, at 420 ° C. for 60 minutes and 58
Baking is performed in a continuous process at 0 ° C. for 30 minutes, and the organic components in the low-melting glass paste are removed by burning and evaporating. Further, the low-melting glass frit is softened, and blue, green, and red are formed on the glass substrate 10. Dye layers 11B, 11G, 11R
And the low-melting glass layer 12 were sequentially laminated.

【0082】以上の工程によりガラス基板上に色素層1
1、低融点ガラス層12のみが順次積層されたカラーフ
ィルタ基板を製造した。しかしながら、こうして得られ
たカラーフィルタ基板は、ガラス基板10の熱膨張係数
と低融点ガラス層12の熱膨張係数がマッチング出来て
いない事から、低融点ガラス層にクラックが多数生じて
いた。
The dye layer 1 was formed on the glass substrate by the above steps.
1. A color filter substrate in which only the low melting point glass layer 12 was sequentially laminated was manufactured. However, in the color filter substrate thus obtained, since the thermal expansion coefficient of the glass substrate 10 and the thermal expansion coefficient of the low melting point glass layer 12 could not be matched, many cracks occurred in the low melting point glass layer.

【0083】こうして得たカラーフィルタを表示装置組
み立て工程であるITO成膜プロセスへ移行させた。カ
ラーフィルタ基板上面には、ITO膜(Indium
Tin Oxide)をスパッタ法によって膜厚150
0Åで製膜し更にアニールを行った。
The color filters thus obtained were transferred to an ITO film forming process as a display device assembling process. An ITO film (Indium) is formed on the upper surface of the color filter substrate.
Tin Oxide) is deposited to a thickness of 150 by sputtering.
The film was formed at 0 ° and further annealed.

【0084】得られたカラーフィルタ基板のITOシー
ト抵抗値は、設計値20Ω/□に対し1000〜200
0Ω/□に大きく上昇した。また、低融点ガラス層表面
形状は、全領域にわたって変形(シワ)、が発生し、ク
ラックは更に増加していた。この表面粗れに起因して表
面散乱の増加、透明性の低下しカラーフィルタ分光透過
率特性が数十%低下するものとなった。
The ITO sheet resistance of the obtained color filter substrate was 1000 to 200 with respect to the designed value of 20 Ω / □.
It greatly increased to 0Ω / □. Further, the surface shape of the low-melting glass layer was deformed (wrinkled) over the entire region, and cracks were further increased. Due to the surface roughness, the surface scattering increased, the transparency decreased, and the spectral transmittance characteristic of the color filter decreased by several tens%.

【0085】本実施例及び比較例で実施した条件、また
得られた結果についてまとめて表1に示した。
Table 1 summarizes the conditions used in this example and the comparative example, and the results obtained.

【0086】[0086]

【表1】 [Table 1]

【0087】[0087]

【発明の効果】本発明のカラーフィルタ及びそのカラー
フィルタを製造し得る本発明の製造方法によれば、カラ
ーフィルタが高温焼成や透明電極の配線などの一連のパ
ネル製造プロセスを経ても、透明電極の抵抗値の上昇や
ガラス基板上に対して低融点ガラス層の透明性を低下さ
せることなく維持でき、ディスプレイとしての信頼性を
極めて向上させることが可能となる。
According to the color filter of the present invention and the manufacturing method of the present invention capable of manufacturing the color filter, even if the color filter goes through a series of panel manufacturing processes such as high-temperature firing and transparent electrode wiring, the transparent electrode can be produced. And the transparency of the low-melting glass layer with respect to the glass substrate can be maintained without lowering, and the reliability as a display can be significantly improved.

【0088】[0088]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のカラーフィルタの断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a color filter of the present invention.

【図2】本発明の一実施例であるカラーフィルタの製造
工程を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a process of manufacturing a color filter according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例であるカラーフィルタの製造
工程を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a process of manufacturing a color filter according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例であるカラーフィルタの製造
工程を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a process of manufacturing a color filter according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ガラス基板 11 色素層 12 光透過性の低融点ガラス層 13 光透過性の絶縁性金属酸化物層 Reference Signs List 10 glass substrate 11 dye layer 12 light-transmitting low-melting glass layer 13 light-transmitting insulating metal oxide layer

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板と、基板上に形成されたオーバーコー
ト層間に色素層が規則的に配置されたカラーフィルタに
おいて、該オーバーコート層がPbO50〜65重量
%、SiO2 25〜35重量%を含有する低融点ガラス
層及びSiO2 、SiON、Al2 3 、Ta2 5
TiO2 、Nb2 5 、Y2 3 、LiO2 またはこれ
らの複合酸化物から形成されている絶縁性金属酸化物層
とを順次積層したものであって、該色素層を被覆してい
ることを特徴とするカラーフィルタ。
In a color filter in which a dye layer is regularly arranged between a substrate and an overcoat layer formed on the substrate, the overcoat layer contains 50 to 65% by weight of PbO and 25 to 35% by weight of SiO 2. Containing low melting point glass layer and SiO 2 , SiON, Al 2 O 3 , Ta 2 O 5 ,
An insulating metal oxide layer formed of TiO 2 , Nb 2 O 5 , Y 2 O 3 , LiO 2, or a composite oxide thereof is sequentially laminated, and covers the pigment layer. A color filter, characterized in that:
【請求項2】基板上の色素層が無機顔料とバインダー樹
脂及び溶剤とから構成される色素ペーストを用いて基板
上の所定の位置に規則的に形成される工程と、焼成を行
なって色素層中の有機成分の除去を行なう工程と、粒径
10μm以下の低融点ガラスフリットとバインダー樹脂
及び溶剤とから構成される低融点ガラスペーストを用い
て、色素層上と基板上の全面を覆うように低融点ガラス
層を形成する工程と、次いで焼成を行なって低融点ガラ
ス層中の有機成分の除去と低融点ガラスフリットの軟化
を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
2. A process in which a dye layer on a substrate is regularly formed at a predetermined position on a substrate by using a dye paste composed of an inorganic pigment, a binder resin and a solvent. Using a low-melting glass paste composed of a low-melting glass frit having a particle size of 10 μm or less, a binder resin and a solvent, so as to cover the entire surface of the dye layer and the substrate. A method for producing a color filter, comprising: forming a low-melting glass layer; and then baking to remove organic components in the low-melting glass layer and soften the low-melting glass frit.
【請求項3】請求項2に記載のカラーフィルタの製造方
法において、焼成により低融点ガラス層中の有機成分の
除去と低融点ガラスフリットの軟化を行った工程の後、
光透過性を有する絶縁性金属属酸化物層を積層形成する
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
3. The method for producing a color filter according to claim 2, wherein after the step of removing the organic component in the low melting point glass layer and softening the low melting point glass frit by firing,
A method for manufacturing a color filter, comprising laminating an insulating metal oxide layer having light transmittance.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7041389B2 (en) 2002-01-23 2006-05-09 Fuji Electric Co., Ltd. Color-converting/filter substrate, multi-color organic EL display panel using the color-converting/filter substrate, and manufacturing methods thereof
US7579768B2 (en) 2004-10-19 2009-08-25 Fuji Electric Holdings Co., Ltd. Organic electroluminescent device with improved moisture protection
US9651810B2 (en) 2011-12-01 2017-05-16 Samsung Display Co., Ltd. Display panel and method of manufacturing a display substrate for use in the display panel
JP2020196655A (en) * 2019-06-05 2020-12-10 日本電気硝子株式会社 Powder material and powder material paste

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7041389B2 (en) 2002-01-23 2006-05-09 Fuji Electric Co., Ltd. Color-converting/filter substrate, multi-color organic EL display panel using the color-converting/filter substrate, and manufacturing methods thereof
US7579768B2 (en) 2004-10-19 2009-08-25 Fuji Electric Holdings Co., Ltd. Organic electroluminescent device with improved moisture protection
US9651810B2 (en) 2011-12-01 2017-05-16 Samsung Display Co., Ltd. Display panel and method of manufacturing a display substrate for use in the display panel
JP2020196655A (en) * 2019-06-05 2020-12-10 日本電気硝子株式会社 Powder material and powder material paste
JP7360085B2 (en) 2019-06-05 2023-10-12 日本電気硝子株式会社 Powder material and powder material paste

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