JP2000182543A - Planar display device - Google Patents

Planar display device

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JP2000182543A
JP2000182543A JP36125798A JP36125798A JP2000182543A JP 2000182543 A JP2000182543 A JP 2000182543A JP 36125798 A JP36125798 A JP 36125798A JP 36125798 A JP36125798 A JP 36125798A JP 2000182543 A JP2000182543 A JP 2000182543A
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JP
Japan
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spacer
display device
substrates
spacers
flat display
Prior art date
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Pending
Application number
JP36125798A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuo Kikuchi
一夫 菊地
Hiroshi Hosokawa
弘 細川
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance the strength of spacers and dispose them in a self-supporting manner, stabilize a displayed picture and improve the quality of picture without being affected by the spacers, in the case of a planar display device. SOLUTION: In this planar display device 25, first and second substrates 1, 2 confront each other leaving a required space between them by means of spacers 23, peripheral parts of the first and second substrates 1, 2 are airtightly sealed up to form an airtight flat space between the first and second substrates 1, 2, an electron emitting part is disposed on the side of the first substrate 1, a fluorescent screen is formed on the side of the second substrate 2, and electrons taken out from the electron emitting part are accelerated and irradiated to the fluorescent screen, thereby exciting the fluorescent screen to emit light for display. The spacers 23 are each formed of at least two crossing sheet- like surfaces, and the resistance of the surfaces of the spacer is 109 to 1012 Ω/square.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電界電子放出現象
を利用した平面型表示装置に関わる。
The present invention relates to a flat panel display utilizing a field electron emission phenomenon.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の電界電子放出現象を利用した平面
型表示装置15は、例えば図9にその一部を断面とする
斜視図に示すように、夫々例えばガラス基板によって構
成される第1及び第2の基板1及び2が、補強用のスペ
ーサ3を介して、互に所要の間隔を保持して対向され、
これら相対向する基板1及び2の周辺部がセラミック等
の絶縁性の外周枠14を介して例えばガラスフリットに
て気密的に封着されて、両基板1及び2間に、気密的偏
平空間が形成され、第1の基板1側に電子放出部4が配
置され、第2の基板2側に蛍光面5が形成されて成る。
2. Description of the Related Art A conventional flat display device 15 utilizing the field electron emission phenomenon has, for example, first and second glass substrates as shown in a perspective view of FIG. The second substrates 1 and 2 are opposed to each other via a reinforcing spacer 3 with a required interval therebetween,
The peripheral portions of these opposing substrates 1 and 2 are hermetically sealed with, for example, a glass frit via an insulating peripheral frame 14 made of ceramic or the like, so that an airtight flat space is formed between the substrates 1 and 2. The electron emission portion 4 is arranged on the first substrate 1 side, and the phosphor screen 5 is formed on the second substrate 2 side.

【0003】第1の基板1上には、夫々例えばストライ
プ状の複数の第1及び第2の電極11及び12が、互い
に交叉する方向に平行配列され、互いの交叉部が絶縁層
7を介して電気的に絶縁されて形成される。
On the first substrate 1, a plurality of stripe-shaped first and second electrodes 11 and 12, for example, are respectively arranged in parallel in the direction in which they cross each other. Formed electrically insulated.

【0004】そして、例えばこれら第1及び第2の電極
11及び12の交叉部に対応して、夫々電子放出部4が
構成される。これら電子放出部4は、冷陰極構成を有
し、図11A,Bにその要部の一部を断面とする斜視図
及びその要部の断面図を示すように、第1及び第2の電
極11及び12の交叉部に、絶縁層7と上層の第2の電
極12とを貫通する透孔8が形成され、これら透孔8内
において、下層の第1の電極11上に、例えば円錐状の
いわゆるスピント型の電界放出型のカソード9が配置さ
れて成る。この場合、1画素に当たり、複数個のカソー
ド9が配置される。
[0004] For example, an electron emitting portion 4 is formed corresponding to the intersection of the first and second electrodes 11 and 12, respectively. These electron emitting portions 4 have a cold cathode configuration, and first and second electrodes are provided as shown in FIGS. At the intersection of 11 and 12, a through hole 8 penetrating through the insulating layer 7 and the upper second electrode 12 is formed. In these through holes 8, a conical shape is formed on the lower first electrode 11, for example. The so-called Spindt-type field emission cathode 9 is arranged. In this case, a plurality of cathodes 9 are arranged for one pixel.

【0005】第2の基板2側の蛍光面5上には、薄膜導
電層によるメタルバック層6が形成され、このメタルバ
ック層6に、高電圧の加速電圧の例えば5KVが供給さ
れる。
A metal back layer 6 of a thin film conductive layer is formed on the fluorescent screen 5 on the second substrate 2 side, and a high accelerating voltage of, for example, 5 KV is supplied to the metal back layer 6.

【0006】そして、第1及び第2の電極11及び12
の選択された電極間に所要の電圧が印加されることによ
って、この交叉部に配置された電子放出部4の各カソー
ド9から電子を取り出し、これを上述の加速電圧によっ
て加速させてメタルバック層6を突き抜けて蛍光面5に
衝撃させて、この部分を励起発光させて、目的とする発
光表示例えば画像表示を行なう。
Then, the first and second electrodes 11 and 12
When a required voltage is applied between the selected electrodes, electrons are taken out from each cathode 9 of the electron-emitting portion 4 disposed at the intersection, and the electrons are accelerated by the above-described acceleration voltage to thereby increase the metal back layer. 6, the fluorescent screen 5 is impacted, and this portion is excited to emit light, thereby performing a desired light emission display, for example, an image display.

【0007】このような平面型表示装置15において
は、上述した第1及び第2の基板1及び2間に形成され
る気密的偏平空間内は、高真空度に保持されるものであ
り、第1及び第2の基板1及び2には、ほぼ大気圧が掛
かる。そこで、この大気圧に対して基板1及び2が耐圧
を有することができるように、例えば断面形状が長方形
又は円形、つまり薄板や柱状の補強用のスペーサを介在
させるか、さらには、図10に示すように夫々長い長方
形薄板よりなる複数の補強用のスペーサ3を、その板面
方向が基板1及び2の板面方向と直交するように平行配
列して介在させる。
In such a flat display device 15, the airtight flat space formed between the first and second substrates 1 and 2 is maintained at a high degree of vacuum. A substantially atmospheric pressure is applied to the first and second substrates 1 and 2. In order to allow the substrates 1 and 2 to withstand the pressure against the atmospheric pressure, for example, a rectangular or circular cross-sectional shape, that is, a thin plate or a columnar reinforcing spacer is interposed, or FIG. As shown, a plurality of reinforcing spacers 3 each made of a long rectangular thin plate are interposed in parallel so that the plate surface direction is orthogonal to the plate surface direction of the substrates 1 and 2.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の平面
型表示装置15において、そのスペーサ3を薄板や柱状
で構成するときは、形成方法が簡単になるも、基板1及
び2間に配置するときに、自立が困難となり、また、荷
重を加えると座屈し、強度が得られない等、平面型表示
装置の製造、組立てが難しい。
In the above-mentioned flat display device 15, when the spacer 3 is formed of a thin plate or a column, the forming method is simplified, but the spacer 3 is not disposed between the substrates 1 and 2. In addition, it is difficult to stand and stand, and it is difficult to manufacture and assemble a flat display device, for example, it buckles when a load is applied, and cannot obtain strength.

【0009】また、図10に示すような長い薄板状のス
ペーサ3を利用する場合には、画面上に黒い線として見
え、画質を落としてしまう。長い薄板状のスペーサ3
は、これを第1及び第2の基板1及び2間に配置する場
合、長手方向に所要の張力をかけて配置されるが、基板
1及び2と同等の膨張率でないと、偏平空間内の真空排
気前に行なう焼成工程中において、熱膨張して切断等の
損傷を受けたり、或いは蛍光面等に接触して蛍光面等を
傷付けてしまう等の問題があった。また、長い薄板状の
スペーサ3により、平面型表示装置内部が区分されるの
で、内部の真空度に若干の違いが生じて、画面上で上下
の輝度に差が生じてしまう。
Further, when a long thin plate-like spacer 3 as shown in FIG. 10 is used, it appears as a black line on the screen, and the image quality deteriorates. Long thin plate spacer 3
When this is disposed between the first and second substrates 1 and 2, it is disposed by applying a required tension in the longitudinal direction, but unless the expansion coefficient is equivalent to that of the substrates 1 and 2, During the firing step performed before evacuation, there are problems such as thermal expansion and damage such as cutting, or contact with the fluorescent screen or the like to damage the fluorescent screen or the like. In addition, since the inside of the flat display device is separated by the long thin plate-shaped spacer 3, a slight difference occurs in the degree of vacuum inside the flat display device, resulting in a difference in vertical luminance on the screen.

【0010】一方、この補強用のスペーサ3は、両基板
1及び2に夫々配置された電極間の絶縁のために絶縁
体、例えばアルミナ等のセラミックによって構成する
と、電子放出部4から放射され、加速された高いエネル
ギーを有する電子の一部が、スペーサ3に衝突し、2次
電子を放出することによって、スペーサ3の表面が正に
不安定に帯電し、これによって、蛍光面5に向かうべき
電子の通路に不安定な電界を与え、これによって、電子
軌道、特にスペーサ近傍の電子軌道に影響を与えること
になり、画像ずれや、色ずれを生じ、画質の低下を来
す。
On the other hand, if the reinforcing spacers 3 are made of an insulator, for example, a ceramic such as alumina for insulation between the electrodes disposed on the substrates 1 and 2, respectively, the reinforcing spacers 3 are radiated from the electron emitting portion 4, Some of the accelerated electrons having high energy collide with the spacers 3 and emit secondary electrons, so that the surface of the spacers 3 is positively and unstablely charged, so that the surface of the spacers 3 should be directed toward the phosphor screen 5. An unstable electric field is applied to the electron path, thereby affecting the electron trajectory, particularly the electron trajectory near the spacer, causing image shift and color shift, resulting in a decrease in image quality.

【0011】本発明は、上述の点に鑑み、スペーサの強
度を高めると共に、自立を可能にし、また、スペーサに
影響されることなく画質の向上を図った平面型表示装置
を提供するものである。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a flat-panel display device which enhances the strength of a spacer, enables self-sustaining, and improves image quality without being affected by the spacer. .

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明に係る平面型表示
装置は、第1及び第2の基板がスペーサを介して所要の
間隔を保持して対向され、これら第1及び第2の基板の
対向部の周辺部が気密的に封止されてこれら第1及び第
2の基板間に気密的偏平空間が形成され、第1の基板側
に電子放出部が配置され、第2の基板側に蛍光面が形成
され、電子放出部から取り出された電子が、加速されて
蛍光面に照射され、この蛍光面を励起発光して表示を行
なうようにした平面型表示装置であって、そのスペーサ
が少なくとも交叉する薄板状の2面を有して形成された
構成とする。
In a flat panel display according to the present invention, a first and a second substrate are opposed to each other with a required distance therebetween via a spacer. The periphery of the opposing portion is hermetically sealed to form an airtight flat space between the first and second substrates, the electron emission portion is arranged on the first substrate side, and the second substrate side has an electron emission portion. A flat display device in which a phosphor screen is formed and electrons taken out of the electron emission section are accelerated and irradiated on the phosphor screen, and the phosphor screen is excited to emit light to perform display, wherein the spacer is It is configured to have at least two intersecting thin plate surfaces.

【0013】本発明の構成においては、スペーサが少な
くとも交叉する薄板状の2面を有して形成されるので、
スペーサ自体の強度が増し、また、スペーサを基板上に
自立して配置することが可能になる。
In the configuration of the present invention, since the spacer is formed to have at least two thin plate-like surfaces that intersect,
The strength of the spacer itself is increased, and the spacer can be arranged independently on the substrate.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して説明するが、本発明は、この形態に限られるもので
はない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited to these embodiments.

【0015】図1は、本実施の形態に係る電界電子放出
現象を利用した平面型表示装置の要部の一部を断面とし
た斜視図を示し、図2はその要部の断面図を示す。
FIG. 1 is a perspective view showing a part of a main part of a flat-panel display device utilizing the field electron emission phenomenon according to the present embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the main part. .

【0016】本実施の形態に係る平面型表示装置25
は、夫々例えばガラス基板によって構成される第1及び
第2の基板1及び2が、所要の高さを有する補強用のス
ペーサ23を介して、互いに所要の間隔を保持して対向
され、これら相対向する基板1及び2の周辺部がセラミ
ック等の絶縁性の外周枠14を介して例えばガラスフリ
ット(図示せず)にて気密的に封着されて、両基板1及
び2間に気密的偏平空間が形成され、第1の基板1側に
電子放出部4が配置され、第2の基板2側に蛍光面5が
形成されて成る。
The flat display device 25 according to the present embodiment.
The first and second substrates 1 and 2 each formed of, for example, a glass substrate are opposed to each other at a required interval via a reinforcing spacer 23 having a required height. The peripheral portions of the substrates 1 and 2 facing each other are hermetically sealed with, for example, a glass frit (not shown) via an insulating peripheral frame 14 made of ceramic or the like, so that the substrates 1 and 2 are airtightly flat. A space is formed, the electron emission section 4 is arranged on the first substrate 1 side, and the fluorescent screen 5 is formed on the second substrate 2 side.

【0017】第1の基板1上には、夫々例えばストライ
プ状の複数の第1及び第2の電極11及び12が、互い
に交叉する方向に平行配列され、互いの交叉部が絶縁層
7を介し電気的に絶縁されて形成される。この第2の電
極12は、いわゆる電子の引出し電極となる。
On the first substrate 1, a plurality of stripe-shaped first and second electrodes 11 and 12, for example, are respectively arranged in parallel in a direction crossing each other. It is formed electrically insulated. The second electrode 12 serves as a so-called electron extraction electrode.

【0018】そして、例えばこれら第1及び第2の電極
11及び12の各交叉部に対応して、夫々冷陰極構成を
有する電子放出部4が構成される。これら電子放出部4
は、例えば良く知られている各電子放出素子によって構
成される。例えば導電薄膜に通電がなされて形成された
表面伝導型放出素子構成とするか、あるいは前述の図1
1A,Bで説明した例えば円錐状の尖鋭形状としたいわ
ゆるスピント型の電界放出型素子(即ちカソード9)構
成とするか、あるいは金属/絶縁層/金属構成によるい
わゆるMIM型の電子放出素子構成とすることができ
る。なお、前述の図11Aに示すように1画素当たり、
複数個の電子放出素子(カソード)9を配置するを可と
する。
For example, an electron emitting portion 4 having a cold cathode configuration is formed corresponding to each intersection of the first and second electrodes 11 and 12. These electron emitting portions 4
Is composed of, for example, well-known electron-emitting devices. For example, a surface conduction electron-emitting device structure formed by energizing a conductive thin film, or the above-described FIG.
A so-called Spindt-type field emission element (that is, a cathode 9) having a sharp conical shape described in 1A and 1B, or a so-called MIM-type electron emission element having a metal / insulating layer / metal structure. can do. In addition, as shown in FIG.
A plurality of electron-emitting devices (cathodes) 9 can be arranged.

【0019】第2の基板2側の蛍光面5は、例えばカラ
ー表示による平面型表示装置を構成する場合には、例え
ば赤,緑及び青の各蛍光体R,G及びBが、所定の配列
順序をもって形成され、例えばこれら蛍光体R,G,B
間に光吸収層によるいわゆるブラックマトリックス10
が形成される。
The fluorescent screen 5 on the side of the second substrate 2 has a predetermined arrangement of, for example, red, green and blue phosphors R, G and B when forming a flat display device by color display, for example. The phosphors R, G, B are formed in order.
So-called black matrix 10 having a light absorbing layer between
Is formed.

【0020】このカラー蛍光面5は、例えば図3に示す
ように、矩形状の蛍光体R,G及びBを1組として、複
数組の蛍光体(R,G,B)がマトリックス状に配列さ
れ、各組及び各色蛍光体R,G,B間にブラックマトリ
ックス10が形成された構成を有する。蛍光面5上に
は、加速電極の機能を併せもつ薄膜導電層によるメタル
バック層6が形成され、このメタルバック層6に、加速
電源26を通じて高電圧の加速電圧の例えば5KVが供
給される。
As shown in FIG. 3, for example, as shown in FIG. 3, a plurality of sets of phosphors (R, G, B) are arranged in a matrix on the color phosphor screen 5 with one set of rectangular phosphors R, G, and B. The black matrix 10 is formed between each set and each color phosphor R, G, B. On the phosphor screen 5, a metal back layer 6 made of a thin film conductive layer having the function of an accelerating electrode is formed, and a high accelerating voltage, for example, 5 KV, is supplied to the metal back layer 6 through an accelerating power supply 26.

【0021】そして、第1及び第2の基板1及び2間
に、両基板1及び2間の間隔を所定の間隔に保持した状
態で、両基板1及び2間の気密的空間を、外圧(大気
圧)に抗して保持する補強用の複数のスペーサ23を所
要の間隔に植立させる。
Then, with the space between the first and second substrates 1 and 2 kept at a predetermined distance between the first and second substrates 1 and 2, the airtight space between the two substrates 1 and 2 is subjected to an external pressure ( A plurality of reinforcing spacers 23 that are held against atmospheric pressure) are erected at required intervals.

【0022】このスペーサ23は、少なくとも交叉する
薄板状の2面を有して構成される。即ち、スペーサ23
は、例えば図4に示すように、4枚の薄板が直交して横
断面を十字型となす構造(いわゆる薄板状の4面を有す
る構造)に形成され、図5に示すように、スペーサ23
の板面が第1及び第2の基板1及び2の板面と直交する
ように配置する構成とすることができる。
The spacer 23 has at least two intersecting thin plate surfaces. That is, the spacer 23
For example, as shown in FIG. 4, four thin plates are formed in a structure in which the cross sections are orthogonal to each other and form a cross shape (a structure having so-called four thin plate-shaped surfaces). As shown in FIG.
Can be arranged so that the plate surface of the first and second substrates 1 and 2 is orthogonal to the plate surfaces of the first and second substrates 1 and 2.

【0023】これら横断面が十字型のスペーサ23は、
単体で自立でき、図3に示すように、蛍光面5の蛍光体
R,G,Bの間にある発光しない部分、即ちブラックマ
トリックス10に重なるように配置する。これにより、
発光を妨げることがない。また、スペーサ23は、所要
の間隔、例えば5mm間隔で配置することができる。
These cross-shaped spacers 23 have a cross shape.
As shown in FIG. 3, the light-emitting device can stand alone, and is disposed so as to overlap with a non-light emitting portion between the phosphors R, G, and B of the phosphor screen 5, that is, the black matrix 10. This allows
Does not interfere with light emission. Further, the spacers 23 can be arranged at required intervals, for example, at 5 mm intervals.

【0024】この横断面が十字型のスペーサ23は、絶
縁材料で形成することができる。例えば、フォトエッチ
ング可能な感光性ガラスを利用して形成できる。具体的
には、必要な厚板状の感光性ガラスを用意し、この感光
性ガラス表面に微細な十字型のマスクパターンを形成し
た後、露光し、エッチングすることにより、所要の十字
型断面形状を有するスペーサ23が得られる。その他、
スペーサ13は、高分子材料を射出成型したり、ビーズ
ブラスト等の物理的な方法で形成することができる。
The spacer 23 having a cross-shaped cross section can be formed of an insulating material. For example, it can be formed using a photo-etchable photosensitive glass. Specifically, a necessary cross-shaped cross-sectional shape is prepared by preparing a required thick plate-shaped photosensitive glass, forming a fine cross-shaped mask pattern on the surface of the photosensitive glass, exposing, and etching. Is obtained. Others
The spacer 13 can be formed by a physical method such as injection molding of a polymer material or bead blasting.

【0025】なお、感光性ガラスとは、ガラス自体をあ
る程度結晶化しやすい組成にしておき、金属、例えばリ
チウムのコロイドを結晶成長の出発点として、紫外線で
露光された部分にだけ1ケイ酸リチウムの微結晶を析出
させることができ、この部分の希フッ酸に対する溶解速
度が透明なガラス部分に比べて約60倍も大きくなる特
徴を有する。この性質を利用してフォトエッチングによ
りガラス板に機械加工では困難な形状の切断、穴、溝等
の加工が可能となる。板厚と最小加工穴径の比は、10
乃至20にも及ぶといわれている。この感光性ガラス
は、いわゆるポジ型の性質を有する感光性ガラスであ
る。さらに、この感光性ガラスは全面露光して、一ケイ
酸リチウム結晶が析出する温度より高温で加熱すると、
ガラス全体に二ケイ酸リチウムの細かい結晶が析出し、
強度がガラスの3倍にもなる。またガラス板を重ねて加
熱すれば結晶化と同時に融着(いわゆる自己融着)でき
るので、複雑な形状のトンネルや多層構造も作ることが
できる特徴も有する(文献:ガラスあれこれ/HOYA
編/東洋経済新報社、参照)。
The photosensitive glass is a composition in which the glass itself is easily crystallized to some extent, and a colloid of a metal, for example, lithium is used as a starting point for crystal growth. Microcrystals can be precipitated, and the dissolution rate of this portion in dilute hydrofluoric acid is about 60 times as large as that of a transparent glass portion. Utilizing this property, it becomes possible to form cuts, holes, grooves, and the like in a glass plate by photoetching, which are difficult to machine by machining. The ratio of the plate thickness to the minimum processing hole diameter is 10
It is said to reach as many as 20. This photosensitive glass is a photosensitive glass having a so-called positive type property. Furthermore, when this photosensitive glass is exposed to light over the entire surface and heated at a temperature higher than the temperature at which lithium monosilicate crystals precipitate,
Fine crystals of lithium disilicate precipitate throughout the glass,
It is three times stronger than glass. Further, if the glass sheets are stacked and heated, they can be fused simultaneously with crystallization (so-called self-fusion), so that a tunnel having a complicated shape or a multilayer structure can be formed (Reference: Glass Arroyo / HOYA).
(Ed./Toyo Keizai Shimpo).

【0026】このスペーサ23は、その表面の抵抗値が
109 〜1012Ω/□となるように構成することができ
る。例えば、このスペーサ23は、図2に示すように絶
縁性のスペーサ本体231の表面に抵抗値が109 〜1
12Ω/□の高抵抗被膜232が形成された構成とする
ことができる。この高抵抗被膜232の形成方法は、例
えばスパッタ等の方法により金属あるいは金属酸化膜を
形成した後、炉等で酸化させる。使用する金属として
は、例えば、Ni,Cr,Ti等がある。また、高抵抗
被膜232は、例えば湿式のコーティングで形成するこ
とも可能である。
The spacer 23 can be configured so that its surface has a resistance of 10 9 Ω / □ to 10 12 Ω / □. For example, as shown in FIG. 2, the spacer 23 has a resistance value of 10 9 to 1 on the surface of the insulating spacer body 231.
A structure in which a high resistance coating 232 of 0 12 Ω / □ is formed can be employed. The method of forming the high resistance film 232 is to form a metal or metal oxide film by a method such as sputtering, and then oxidize the film in a furnace or the like. Examples of the metal used include Ni, Cr, and Ti. In addition, the high resistance film 232 can be formed by, for example, a wet coating.

【0027】また、このスペーサ23は、図6に示すよ
うに、表面の抵抗値が109 〜10 12Ω/□となるよう
に、それ自体高抵抗材料で形成することもできる。
The spacer 23 is formed as shown in FIG.
As shown in FIG.9-10 12Ω / □
Alternatively, it can itself be formed of a high resistance material.

【0028】そして、スペーサ23の両端面には、例え
ばAl,Cr等の導電性被膜22が形成され、スペーサ
23を、両基板1及び2間に挟み込んだ状態で、これら
導電性被膜22が、例えばメタルバック層6及び電子放
出部4を構成する第2の電極12に電気的に接続するよ
うになされる。
A conductive film 22 of, for example, Al or Cr is formed on both end surfaces of the spacer 23. With the spacer 23 sandwiched between the substrates 1 and 2, these conductive films 22 are formed. For example, it is electrically connected to the metal back layer 6 and the second electrode 12 constituting the electron emission section 4.

【0029】導電性被膜22は、例えばスパッタ等の方
法、あるいは湿式コーティング法で形成することが可能
である。
The conductive film 22 can be formed by, for example, a method such as sputtering or a wet coating method.

【0030】スペーサ23の形状は、図4の横断面が十
字型に構成する以外、自立可能な種々の形状を採り得
る。すなわち、スペーサ23としては、例えば図7に示
すように、横断面が互いに直交するL字型の構造(いわ
ゆる薄板状の2面を有する構造)に構成することができ
るし、あるいは例えば図8に示すように、横断面が互い
に直交するH字型の構造(いわゆる薄板状の3面を有す
る構造)に構成することもできる。
The shape of the spacer 23 can be any of various shapes that can be self-supporting, except that the cross section of FIG. 4 has a cross shape. That is, as the spacer 23, for example, as shown in FIG. 7, an L-shaped structure (a structure having two thin plate-like surfaces) whose cross sections are orthogonal to each other can be formed. As shown in the figure, it is also possible to form an H-shaped structure (a so-called thin plate-like structure having three surfaces) whose cross sections are orthogonal to each other.

【0031】図7の横断面L字型のスペーサ23は、上
述と同様に、感光性ガラスを利用して露光、エッチング
による形成法、高分子材料の射出成型法、ビーズブラス
ト等の物理的方法等により形成することができ、それ以
外にも、薄板状のガラスを加熱し、折り曲げることによ
り形成することができる。図8の横断面H字型のスペー
サ23も、上述と同様に、感光性ガラスを利用して露
光、エッチングによる形成法、高分子材料の射出成型
法、ビーズブラスト等の物理的方法で形成することがで
きる。
In the same manner as described above, the spacer 23 having an L-shaped cross section shown in FIG. 7 is formed by exposing and etching using photosensitive glass, a physical method such as injection molding of a polymer material, and bead blasting. Alternatively, it can be formed by heating and bending a thin glass plate. Similarly, the spacer 23 having an H-shaped cross section in FIG. 8 is formed by a physical method such as exposure and etching using photosensitive glass, injection molding of a polymer material, and bead blasting, similarly to the above. be able to.

【0032】これら図7及び図8のスペーサ23におい
て、それ以外の構成、配置は上述の図2〜図6で示すス
ペーサ23と同様であるので、重複説明を省略する。
Other configurations and arrangements of the spacer 23 shown in FIGS. 7 and 8 are the same as those of the spacer 23 shown in FIGS.

【0033】なお、上例の各スペーサ23は、その薄板
状の面が直交した構成となっているが、その他、所要の
角度で交叉した構成とすることもできる。
Each of the spacers 23 in the above example has a configuration in which the thin plate-shaped surfaces are orthogonal to each other, but may alternatively have a configuration in which the spacers intersect at a required angle.

【0034】本実施の形態に係る平面型表示装置25に
おいても、第1及び第2の電極11及び12の選択され
た電極間に所要の電圧を印加されることによって、この
交叉部に配置された電子放出部4から電子を取り出し、
これを上述の加速電圧によって加速させてメタルバック
層6を突き抜けて蛍光面5に衝撃させて、この部分を励
起発光させて、目的とする発光表示、例えば画像表示を
行なう。
Also in the flat display device 25 according to the present embodiment, a predetermined voltage is applied between selected ones of the first and second electrodes 11 and 12 so as to be arranged at the intersection. Electrons from the electron-emitting portion 4
This is accelerated by the above-mentioned accelerating voltage, penetrates through the metal back layer 6 and impacts the phosphor screen 5 to excite this portion to emit light, thereby performing a desired light emission display, for example, an image display.

【0035】なお、第2の電極12には、制御回路27
を通して制御電圧が供給されて、選択時には例えば10
0V程度が供給される。第1の電極11には、走査回路
28を通してカソード電圧が供給され、選択時には例え
ば0Vが供給される。
The control circuit 27 is connected to the second electrode 12.
And a control voltage is supplied through the
About 0 V is supplied. A cathode voltage is supplied to the first electrode 11 through the scanning circuit 28, and for example, 0 V is supplied at the time of selection.

【0036】本実施の形態に係る平面型表示装置25に
よれば、スペーサ23を横断面が例えば十字型、L字型
又はH字型等、少なくとも交叉する薄板状の2面を有す
る構造に形成されることによって、単体で自立すること
ができる。従って、製造、組立工程において、スペーサ
23を第1及び第2の基板間に自立して配置することに
より、スペーサ23と基板1,2との熱膨張係数が異な
っていた場合にも、真空排気前の焼成中にスペーサ23
が熱膨張差で破損したり、蛍光面5を傷つける等の問題
は生じない。また、スペーサ23自体は、荷重を加えら
れても座屈しにくく、十分な強度を有する。さらに、ス
ペーサ23の組立工程での作業性も向上する。
According to the flat display device 25 according to the present embodiment, the spacer 23 is formed in a structure having at least two thin plate-shaped cross sections such as a cross, an L or an H, for example. By doing so, it becomes possible to stand alone. Accordingly, in the manufacturing and assembling steps, by arranging the spacer 23 independently between the first and second substrates, even if the spacer 23 and the substrates 1 and 2 have different coefficients of thermal expansion, the vacuum evacuation is performed. Spacer 23 during previous firing
However, there is no problem such as damage due to a difference in thermal expansion or damage to the fluorescent screen 5. The spacer 23 itself does not easily buckle even when a load is applied, and has sufficient strength. Further, workability in the assembly process of the spacer 23 is also improved.

【0037】スペーサ23の表面に所要の高抵抗(10
9 〜1012Ω/□)を有する導電性を付与することによ
って、このスペーサ23に電子が衝撃し、2次電子が発
生することによる帯電を防止することができる。また、
スペーサ23の両端面に導電性被膜22を形成し、これ
をメタルバック層6及び電子放出部4を構成する第2の
電極12に電気的に接続するようになすことによって、
気密的偏平空間内の電位的不均一を生じにくくすること
ができる。
The required high resistance (10
By imparting a conductivity of 9 to 10 12 Ω / square), electrons are bombarded by the spacers 23 to prevent secondary electrons from being charged. Also,
By forming a conductive film 22 on both end surfaces of the spacer 23 and electrically connecting the conductive film 22 to the metal back layer 6 and the second electrode 12 constituting the electron-emitting portion 4,
Potential non-uniformity in the airtight flat space can be suppressed.

【0038】従って、スペーサ23によって電子の軌道
に影響を与えることがなく、加速された電子は、蛍光面
5の所望の位置に照射し、画像ずれ、色ずれのない画面
が得られ、表示画面の安定化、画質の向上を図ることが
できる。
Therefore, the accelerated electrons are irradiated to a desired position on the phosphor screen 5 without affecting the trajectory of the electrons by the spacers 23, and a screen free from image shift and color shift is obtained. Can be stabilized and the image quality can be improved.

【0039】また、スペーサ23が微細なため、膨張率
に関係なく、ブラックマトリックス10上に配置でき
る。
Since the spacers 23 are fine, they can be arranged on the black matrix 10 regardless of the expansion coefficient.

【0040】[0040]

【発明の効果】本発明に係る平面型表示装置によれば、
スペーサを少なくとも交叉する薄板状の2面を有するよ
うに形成することによって、スペーサが単体で自立する
ことができ、且つ荷重を受けても座屈することなく、十
分な強度を有することができる。
According to the flat display device of the present invention,
By forming the spacer to have at least two thin plate-like surfaces that intersect, the spacer can stand alone and can have sufficient strength without buckling even when subjected to a load.

【0041】従って、平面型表示装置の製造、組立工程
において、スペーサと第1,第2の基板との膨張率が異
なっていても、焼成中の熱膨張によってスペーサが破損
したり、蛍光面等に接触してこれを傷つけるのを防止す
ることができ、製造作業性の向上、製造歩留りの向上を
図ることができる。
Therefore, in the manufacturing and assembling steps of the flat panel display device, even if the expansion coefficients of the spacer and the first and second substrates are different, the spacer may be damaged by thermal expansion during firing, or the fluorescent screen or the like may be damaged. Can be prevented from being injured by contact with the substrate, thereby improving manufacturing workability and manufacturing yield.

【0042】スペーサの表面の抵抗を109 〜1012Ω
/□とするときは、このスペーサに電子が衝撃し、2次
電子が発生することによる帯電を防止することができる
ので、この帯電による電界の乱れを回避することがで
き、スペーサ近傍の電子軌道に影響を与えず、表示画面
の安定化、画質の向上を図ることができる。
The resistance of the surface of the spacer is 10 9 -10 12 Ω
In the case of / □, it is possible to prevent electrification due to impact of electrons on the spacer and generation of secondary electrons, so that disturbance of the electric field due to this electrification can be avoided, and the electron orbit near the spacer can be prevented. And the display screen can be stabilized and the image quality can be improved.

【0043】さらに、スペーサと加速電極及び電子放出
部との接触部の面に導電性被膜を形成するときは、気密
的偏平空間内の電位的不均一を生じにくくし、即ち、電
子放出部から加速電極に向かって、電位が均一化に変化
するいわゆる斉一電界とすることができ、電子軌道に影
響を与えず、表示画面の安定化、画質の向上を図ること
ができる。
Further, when a conductive film is formed on the surface of the contact portion between the spacer and the accelerating electrode and the electron emitting portion, potential non-uniformity in the airtight flat space is hardly generated, that is, from the electron emitting portion. A so-called uniform electric field in which the potential changes uniformly toward the accelerating electrode can be obtained, and the display screen can be stabilized and the image quality can be improved without affecting the electron trajectory.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による平面型表示装置の一実施の形態を
示す要部の一部を断面とした斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view, partially in section, of a main part showing an embodiment of a flat panel display according to the present invention.

【図2】本発明による平面型表示装置の一実施の形態の
要部の断面図である。
FIG. 2 is a sectional view of a main part of an embodiment of the flat panel display according to the present invention.

【図3】本発明による平面型表示装置の一実施の形態の
蛍光面とスペーサの配置関係を示す要部の平面図であ
る。
FIG. 3 is a plan view of a main part showing an arrangement relationship between a phosphor screen and spacers in one embodiment of the flat panel display according to the present invention.

【図4】本発明に係るスペーサの実施の形態を示す構成
図である。
FIG. 4 is a configuration diagram showing an embodiment of a spacer according to the present invention.

【図5】本発明による平面型表示装置の一実施の形態の
スペーサ配置を示す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing an arrangement of spacers in one embodiment of the flat panel display according to the present invention.

【図6】本発明による平面型表示装置の他の実施の形態
の要部の断面図である。
FIG. 6 is a sectional view of a main part of another embodiment of the flat panel display according to the present invention.

【図7】本発明に係るスペーサの他の実施の形態を示す
構成図である。
FIG. 7 is a configuration diagram showing another embodiment of the spacer according to the present invention.

【図8】本発明に係るスペーサの他の実施の形態を示す
構成図である。
FIG. 8 is a configuration diagram showing another embodiment of the spacer according to the present invention.

【図9】従来の平面型表示装置の要部の一部を断面とし
た斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view in which a part of a main part of a conventional flat display device is sectioned.

【図10】従来の平面型表示装置のスペーサ配置を示す
斜視図である。
FIG. 10 is a perspective view showing a spacer arrangement of a conventional flat panel display device.

【図11】A 平面型表示装置の電子放出部を示す斜視
図である。 B その要部の断面図である。
FIG. 11 is a perspective view showing an electron emission unit of the flat panel display device. B It is sectional drawing of the principal part.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,2‥‥基板、3,23‥‥スペーサ、4‥‥電子放
出部、5‥‥蛍光面、6‥‥メタルバック層、11‥‥
第1の電極、12‥‥第2の電極、15,25‥‥平面
型表示装置、231‥‥絶縁性スペーサ本体、232‥
‥高抵抗被膜、22‥‥導電性被膜
1,2 substrate, 3,23 spacer, 4 electron emitting part, 5 phosphor screen, 6 metal back layer, 11 layer
First electrode, 12 {second electrode, 15, 25} flat display device, 231 {insulating spacer body, 232}
{High resistance film, 22} Conductive film

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1及び第2の基板が、スペーサを介し
て所要の間隔を保持して対向され、上記第1及び第2の
基板の対向部の周辺部が気密的に封止されて該第1及び
第2の基板間に気密的偏平空間が形成され、上記第1の
基板側に電子放出部が配置され、上記第2の基板側に蛍
光面が形成され、上記電子放出部から取り出された電子
が、加速されて上記蛍光面に照射されて該蛍光面を励起
発光して表示を行なうようにした平面型表示装置であっ
て、 上記スペーサが少なくとも交叉する薄板状の2面を有し
て形成されて成ることを特徴とする平面型表示装置。
The first and second substrates are opposed to each other via a spacer with a required space therebetween, and the periphery of the opposed portion of the first and second substrates is hermetically sealed. An airtight flat space is formed between the first and second substrates, an electron emission portion is arranged on the first substrate side, a phosphor screen is formed on the second substrate side, and A flat display device in which the extracted electrons are accelerated and irradiated on the phosphor screen to excite the phosphor screen to emit light, thereby performing display, wherein the two thin plate-like surfaces intersecting at least the spacers are formed. A flat display device characterized by being formed to have.
【請求項2】 上記スペーサが絶縁性材料で形成されて
成ることを特徴とする請求項1に記載の平面型表示装
置。
2. The flat display device according to claim 1, wherein the spacer is formed of an insulating material.
【請求項3】 上記スペーサが、フォトエッチング加工
された感光性ガラスにより形成されて成ることを特徴と
する請求項1に記載の平面型表示装置。
3. The flat display device according to claim 1, wherein the spacer is formed of photo-etched photosensitive glass.
【請求項4】 上記スペーサの表面の抵抗が109 〜1
12Ω/□とされたことを特徴とする請求項1に記載の
平面型表示装置。
4. The resistance of the surface of the spacer is 10 9 -1.
2. The flat display device according to claim 1, wherein the value is set to 0 12 Ω / □.
【請求項5】 上記スペーサが絶縁性スペーサ本体の表
面に高抵抗被膜を形成した構成を有し、 該高抵抗被膜の表面の抵抗が109 〜1012Ω/□とさ
れたことを特徴とする請求項1に記載の平面型表示装
置。
5. The method according to claim 5, wherein the spacer has a structure in which a high resistance film is formed on the surface of the insulating spacer body, and the surface of the high resistance film has a resistance of 10 9 Ω / □ to 10 12 Ω / □. The flat panel display according to claim 1.
【請求項6】 上記スペーサの上記電子放出部及び上記
蛍光面に加速電位を与えるための加速電極との接触部の
面に、導電性被膜が形成されて成ることを特徴とする請
求項4に記載の平面型表示装置。
6. A conductive film is formed on a surface of a contact portion of the spacer with an acceleration electrode for applying an acceleration potential to the electron-emitting portion and the phosphor screen. 13. The flat display device according to claim 1.
【請求項7】 上記スペーサの上記電子放出部及び上記
蛍光面に加速電位を与えるための加速電極との接触部の
面に、導電性被膜が形成されて成ることを特徴とする請
求項5に記載の平面型表示装置。
7. A conductive film is formed on a surface of a contact portion of the spacer with an acceleration electrode for applying an acceleration potential to the electron-emitting portion and the fluorescent screen. 13. The flat display device according to claim 1.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100403081B1 (en) * 2001-04-18 2003-10-30 엘지전자 주식회사 Cell and spacer of structure of feild display
GB2395598A (en) * 2002-11-21 2004-05-26 Hitachi Ltd Display device including a self-standing spacer
KR100447131B1 (en) * 2002-02-04 2004-09-04 엘지전자 주식회사 Segmant Space, Field Emission Display Using The Same, And Fabricating Method Thereof
JP2005268125A (en) * 2004-03-19 2005-09-29 Hitachi Displays Ltd Display device
JP2008124027A (en) * 2006-11-14 2008-05-29 Samsung Sdi Co Ltd Light-emitting device and display device
US7383875B2 (en) 2003-07-09 2008-06-10 Canon Kabushiki Kaisha Heating/cooling method, manufacturing method of image displaying apparatus, heating/cooling apparatus, and heating/cooling processing apparatus

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100403081B1 (en) * 2001-04-18 2003-10-30 엘지전자 주식회사 Cell and spacer of structure of feild display
KR100447131B1 (en) * 2002-02-04 2004-09-04 엘지전자 주식회사 Segmant Space, Field Emission Display Using The Same, And Fabricating Method Thereof
GB2395598A (en) * 2002-11-21 2004-05-26 Hitachi Ltd Display device including a self-standing spacer
US7383875B2 (en) 2003-07-09 2008-06-10 Canon Kabushiki Kaisha Heating/cooling method, manufacturing method of image displaying apparatus, heating/cooling apparatus, and heating/cooling processing apparatus
JP2005268125A (en) * 2004-03-19 2005-09-29 Hitachi Displays Ltd Display device
JP2008124027A (en) * 2006-11-14 2008-05-29 Samsung Sdi Co Ltd Light-emitting device and display device

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