JP2000171446A - 光音響顕微鏡装置及び映像法 - Google Patents
光音響顕微鏡装置及び映像法Info
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- JP2000171446A JP2000171446A JP10377789A JP37778998A JP2000171446A JP 2000171446 A JP2000171446 A JP 2000171446A JP 10377789 A JP10377789 A JP 10377789A JP 37778998 A JP37778998 A JP 37778998A JP 2000171446 A JP2000171446 A JP 2000171446A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】光音響顕微鏡の駆動装置部を高速にし、かつ静
粛な動作環境を実現し、光ビームを試料に対してランダ
ムに走査する事を可能にする。 【解決手段】光音響顕微鏡の駆動装置部にリニア・モー
ターを用いたスライド・ステージを用いる事により実現
する。
粛な動作環境を実現し、光ビームを試料に対してランダ
ムに走査する事を可能にする。 【解決手段】光音響顕微鏡の駆動装置部にリニア・モー
ターを用いたスライド・ステージを用いる事により実現
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体試料の表面および
内部欠陥、ならびに微小試料の表面および内部の品質を
非破壊的に評価・検査し測定する装置、ならびに生体も
含めた固体試料に任意の位置に任意のタイミングで光ビ
ームを照射し、光音響効果を用いて検出する装置、及び
それらを応用した映像法に関するものである。
内部欠陥、ならびに微小試料の表面および内部の品質を
非破壊的に評価・検査し測定する装置、ならびに生体も
含めた固体試料に任意の位置に任意のタイミングで光ビ
ームを照射し、光音響効果を用いて検出する装置、及び
それらを応用した映像法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、光音響顕微鏡では、圧電素子を用
いる方法とコンデンサーマイクロフォン法を用いる方法
が主であった。いずれの場合にも光ビームの走査系に関
しては、精密さが要求される工業計測の場合、パルスモ
ーターやサーボモーターなどで駆動する機械的なスライ
ド・ステージを用いるものがほとんどであった。
いる方法とコンデンサーマイクロフォン法を用いる方法
が主であった。いずれの場合にも光ビームの走査系に関
しては、精密さが要求される工業計測の場合、パルスモ
ーターやサーボモーターなどで駆動する機械的なスライ
ド・ステージを用いるものがほとんどであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の光音響顕微鏡を
用いて、微少なサイズから大きなサイズまでの汎用の試
料に対して試料の高速駆動を行おうとすると、ウオーム
ギヤなどの機構を用いているステージを使用する事が必
要不可欠となるが、その際に発生する音響的な騒音と、
駆動にかなりの時間を必要とするアクセス時間が解決し
なければならない問題となっており、ここに技術的な隘
路が存在していた。
用いて、微少なサイズから大きなサイズまでの汎用の試
料に対して試料の高速駆動を行おうとすると、ウオーム
ギヤなどの機構を用いているステージを使用する事が必
要不可欠となるが、その際に発生する音響的な騒音と、
駆動にかなりの時間を必要とするアクセス時間が解決し
なければならない問題となっており、ここに技術的な隘
路が存在していた。
【０００４】本発明は、精密さが要求される工業計測に
おいても、微少なサイズから大きなサイズまでの汎用の
試料に対して試料の高速駆動を音響的な騒音の発生を極
力抑止した環境下で行う事を目的としており、同時に電
磁力に基づくリニア・モーター式のスライド・ステージ
を用い、その制御をプログラミング的に工夫する事によ
り試料の任意の位置へのランダム・アクセスをも可能に
する装置を実現し、同時にそれを応用した映像法を実現
する事を目的としている。
おいても、微少なサイズから大きなサイズまでの汎用の
試料に対して試料の高速駆動を音響的な騒音の発生を極
力抑止した環境下で行う事を目的としており、同時に電
磁力に基づくリニア・モーター式のスライド・ステージ
を用い、その制御をプログラミング的に工夫する事によ
り試料の任意の位置へのランダム・アクセスをも可能に
する装置を実現し、同時にそれを応用した映像法を実現
する事を目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明では、上記の静粛
さと高速性、ならびにランダム・アクセスと言う技術的
ニーズを解決する事を最も主要な特徴とする。この目的
を達成するため、試料駆動用にリニア・モーター・ステ
ージを用いることによって、上記の目的を達成した。
さと高速性、ならびにランダム・アクセスと言う技術的
ニーズを解決する事を最も主要な特徴とする。この目的
を達成するため、試料駆動用にリニア・モーター・ステ
ージを用いることによって、上記の目的を達成した。
【０００６】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を実施例にもと
づいて図面を参照して説明する。図１は、本発明装置の
一実施例であって、本発明の装置の基本的な構成を示し
たものである。１は光源となるレーザー、２は光変調
器、３はレーザー・ビームの位置を試料表面に照射する
ためのミラーである。４は光学顕微鏡で、レーザー・ビ
ームの集光に用いられる。５は光音響セルで、この中に
試料６を装着する。７はコンデンサ・マイクロフォン等
の音響センサである。８は駆動系に用いられるリニア・
モーター・ステージである。９、１０はそれぞれプリア
ンプ、ロックイン・アンプ等の電気信号の増幅・整形機
能を持たせた部分である。１１は情報の表示部、記録部
となるマイクロコンピュータで、ステージ制御装置１２
と１３のＧＰ−ＩＢなどの情報バスを経由して制御のた
めの通信を行っている。なお、コンピューターと計測器
とを直接接続する場合、バスは省略可能である。
づいて図面を参照して説明する。図１は、本発明装置の
一実施例であって、本発明の装置の基本的な構成を示し
たものである。１は光源となるレーザー、２は光変調
器、３はレーザー・ビームの位置を試料表面に照射する
ためのミラーである。４は光学顕微鏡で、レーザー・ビ
ームの集光に用いられる。５は光音響セルで、この中に
試料６を装着する。７はコンデンサ・マイクロフォン等
の音響センサである。８は駆動系に用いられるリニア・
モーター・ステージである。９、１０はそれぞれプリア
ンプ、ロックイン・アンプ等の電気信号の増幅・整形機
能を持たせた部分である。１１は情報の表示部、記録部
となるマイクロコンピュータで、ステージ制御装置１２
と１３のＧＰ−ＩＢなどの情報バスを経由して制御のた
めの通信を行っている。なお、コンピューターと計測器
とを直接接続する場合、バスは省略可能である。
【０００７】
【発明の効果】本発明は、静粛さと高速性、またコンピ
ューター制御によるランダム・アクセス性を兼ね備えた
光音響顕微鏡を実現するもので、本装置によればマイク
ロマシンや微小電子部品の内部欠陥を非破壊的に検査し
たり、また尿や血液などの時間変化しやすい生体試料な
どをランダムな順序で定量的に測定する事が１台の装置
で可能となる。
ューター制御によるランダム・アクセス性を兼ね備えた
光音響顕微鏡を実現するもので、本装置によればマイク
ロマシンや微小電子部品の内部欠陥を非破壊的に検査し
たり、また尿や血液などの時間変化しやすい生体試料な
どをランダムな順序で定量的に測定する事が１台の装置
で可能となる。
【０００８】
【図１】光音響顕微鏡の基本的構成を示した説明図であ
る。
る。
１ レーザー ２ 光変調器 ３ ミラー ４ 光学顕微鏡 ５ 光音響セル ６ 試料 ７ 音響センサ ８ リニア・モーター・ステージ ９ プリアンプ １０ ロックイン・アンプ １１ マイクロコンピュータ １２ ステージ制御部 １３ 情報バス
Claims (2)
- 【請求項１】レーザー（１）などの光線を変調器（２）
により変調し、顕微鏡（４）などの光学系により光音響
セル（５）などの検出部内部に、あるいは隣接して設置
された試料（６）表面に照射する事によって物質内部に
熱を発生させ、これを音波などの変化として音響センサ
ー（７）などにより検出し、信号処理部、パーソナルコ
ンピューター（１１）などにより画像として再構成する
光音響顕微鏡装置であって、検出部の内部に、あるいは
隣接して設置された試料を走査・駆動する部分にリニア
・モーター式などのスライド・ステージ（８）を用いて
駆動することにより、広範囲な範囲にわたり、高速でか
つ静粛な走査を可能にした点を特徴とする、光音響顕微
鏡装置、及び同装置を用いた映像法。 - 【請求項２】 プログラミングなどにより、光ビームを
試料（６）表面の上にランダムに走査することを可能に
したことを特徴とする請求項１記載の光音響顕微鏡装
置、及び同装置を用いた映像法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10377789A JP2000171446A (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 光音響顕微鏡装置及び映像法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10377789A JP2000171446A (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 光音響顕微鏡装置及び映像法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000171446A true JP2000171446A (ja) | 2000-06-23 |
Family
ID=18509160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10377789A Pending JP2000171446A (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 光音響顕微鏡装置及び映像法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000171446A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006242816A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 光音響顕微鏡装置 |
| US7595463B2 (en) * | 2002-08-01 | 2009-09-29 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Laser processing machine with monitoring of gas atmosphere and operating gases |
| CN100585378C (zh) * | 2006-10-27 | 2010-01-27 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器 |
| CN101782518A (zh) * | 2010-02-11 | 2010-07-21 | 华南师范大学 | 细胞光声显微成像方法及其装置 |
| CN102866144A (zh) * | 2011-07-04 | 2013-01-09 | 南京理工大学 | 固体材料表面疲劳裂纹的无损检测方法 |
| CN111398175A (zh) * | 2020-03-05 | 2020-07-10 | 南京大学 | 一种声速自适应的光声-超声双模态显微镜成像方法 |
| CN112945851A (zh) * | 2021-01-29 | 2021-06-11 | 大连理工大学 | 一种减少外界干扰且可拆卸的固定光声池的装置 |
-
1998
- 1998-12-09 JP JP10377789A patent/JP2000171446A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7595463B2 (en) * | 2002-08-01 | 2009-09-29 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Laser processing machine with monitoring of gas atmosphere and operating gases |
| JP2006242816A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 光音響顕微鏡装置 |
| JP4511977B2 (ja) * | 2005-03-04 | 2010-07-28 | 三井造船株式会社 | 光音響顕微鏡装置 |
| CN100585378C (zh) * | 2006-10-27 | 2010-01-27 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器 |
| CN101782518A (zh) * | 2010-02-11 | 2010-07-21 | 华南师范大学 | 细胞光声显微成像方法及其装置 |
| CN102866144A (zh) * | 2011-07-04 | 2013-01-09 | 南京理工大学 | 固体材料表面疲劳裂纹的无损检测方法 |
| CN111398175A (zh) * | 2020-03-05 | 2020-07-10 | 南京大学 | 一种声速自适应的光声-超声双模态显微镜成像方法 |
| CN111398175B (zh) * | 2020-03-05 | 2021-09-07 | 南京大学 | 一种声速自适应的光声-超声双模态显微镜成像方法 |
| CN112945851A (zh) * | 2021-01-29 | 2021-06-11 | 大连理工大学 | 一种减少外界干扰且可拆卸的固定光声池的装置 |
| CN112945851B (zh) * | 2021-01-29 | 2023-10-13 | 大连理工大学 | 一种减少外界干扰且可拆卸的固定光声池的装置 |
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