JP2000164980A - 外部共振器型波長可変半導体レーザ光源 - Google Patents
外部共振器型波長可変半導体レーザ光源Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 外部共振器型波長可変半導体レーザ光源にお
いて、外部共振器長を短縮することにより、安定したレ
ーザ発振を実現する。 【解決手段】 ＬＤ（半導体レーザ）１からの出射光
を、レンズ４で平行光に変換して回折格子２に入射さ
せ、この回折格子２で波長選択した光を、一旦ミラーに
当てて反射させた後、再び回折格子２に入射させて、Ｌ
Ｄ１に帰還させる外部共振器型波長可変半導体レーザ光
源である。ミラーは、例えば、三角プリズム３により構
成されていて、ＬＤ１及びレンズ４が収納される筐体１
０に最も近い側面３ｂと、表面反射膜が施された反射面
３ａとのなす角３ｃが鋭角になっている。
いて、外部共振器長を短縮することにより、安定したレ
ーザ発振を実現する。 【解決手段】 ＬＤ（半導体レーザ）１からの出射光
を、レンズ４で平行光に変換して回折格子２に入射さ
せ、この回折格子２で波長選択した光を、一旦ミラーに
当てて反射させた後、再び回折格子２に入射させて、Ｌ
Ｄ１に帰還させる外部共振器型波長可変半導体レーザ光
源である。ミラーは、例えば、三角プリズム３により構
成されていて、ＬＤ１及びレンズ４が収納される筐体１
０に最も近い側面３ｂと、表面反射膜が施された反射面
３ａとのなす角３ｃが鋭角になっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光コヒーレント通
信・計測技術分野で使用する外部共振器型波長可変半導
体レーザ光源に関する。
信・計測技術分野で使用する外部共振器型波長可変半導
体レーザ光源に関する。
【０００２】
【従来の技術】外部共振器型波長可変半導体レーザ光源
は、一般的に、片側端面に反射防止膜を施した半導体レ
ーザ（以下、半導体レーザをＬＤと略称する）と、ＬＤ
からの光を平行光にするレンズと、任意の波長を選択す
る波長選択素子とからなる。波長選択素子には、主とし
て狭帯域のバンドパスフィルタや回折格子などが用いら
れている。中でも、回折格子を用いた外部共振器型波長
可変ＬＤ光源において、リットマン配置と呼ばれる方式
が、その波長選択性の高さからよく用いられている。こ
のリットマン配置では、図４に示すように、ＬＤ１、レ
ンズ４、回折格子２に加えミラー２０が用いられる。図
４に示すリットマン配置によれば、ＬＤ１からの出射光
を、レンズ４で平行光に変換して回折格子２に入射さ
せ、この回折格子２で波長選択した光を、一旦ミラー２
０に当てて反射させた後、再び回折格子２に入射させ
て、ＬＤ１に帰還させることで、優れた波長選択性を実
現している。
は、一般的に、片側端面に反射防止膜を施した半導体レ
ーザ（以下、半導体レーザをＬＤと略称する）と、ＬＤ
からの光を平行光にするレンズと、任意の波長を選択す
る波長選択素子とからなる。波長選択素子には、主とし
て狭帯域のバンドパスフィルタや回折格子などが用いら
れている。中でも、回折格子を用いた外部共振器型波長
可変ＬＤ光源において、リットマン配置と呼ばれる方式
が、その波長選択性の高さからよく用いられている。こ
のリットマン配置では、図４に示すように、ＬＤ１、レ
ンズ４、回折格子２に加えミラー２０が用いられる。図
４に示すリットマン配置によれば、ＬＤ１からの出射光
を、レンズ４で平行光に変換して回折格子２に入射さ
せ、この回折格子２で波長選択した光を、一旦ミラー２
０に当てて反射させた後、再び回折格子２に入射させ
て、ＬＤ１に帰還させることで、優れた波長選択性を実
現している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記リ
ットマン配置においては、回折格子２の回折光出射方向
の特性上、ミラー２０をＬＤ１やレンズ４に近い位置に
取り付ける必要がり、また、波長選択に際して、ＬＤ１
及びレンズ４を収納する筐体１０にぶつからないようミ
ラー２０を回転する必要があるため、外部共振器長が長
くなる傾向があった。
ットマン配置においては、回折格子２の回折光出射方向
の特性上、ミラー２０をＬＤ１やレンズ４に近い位置に
取り付ける必要がり、また、波長選択に際して、ＬＤ１
及びレンズ４を収納する筐体１０にぶつからないようミ
ラー２０を回転する必要があるため、外部共振器長が長
くなる傾向があった。
【０００４】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、外部共振器型波長可変ＬＤ光源
において、外部共振器長を短縮することにより、安定し
たレーザ発振を実現することを目的とする。
ためになされたもので、外部共振器型波長可変ＬＤ光源
において、外部共振器長を短縮することにより、安定し
たレーザ発振を実現することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、半導体レーザからの出射光
を、レンズで平行光に変換して回折格子に入射させ、こ
の回折格子で波長選択した光を、一旦ミラーに当てて反
射させた後、再び前記回折格子に入射させて、前記半導
体レーザに帰還させる外部共振器型波長可変半導体レー
ザ光源において、前記ミラーが、略柱形状に形成されて
いて、前記半導体レーザ及び前記レンズが収納される筐
体に最も近い側面と、表面反射膜が施された反射面との
なす角が鋭角に形成されている構成とした。
め、請求項１記載の発明は、半導体レーザからの出射光
を、レンズで平行光に変換して回折格子に入射させ、こ
の回折格子で波長選択した光を、一旦ミラーに当てて反
射させた後、再び前記回折格子に入射させて、前記半導
体レーザに帰還させる外部共振器型波長可変半導体レー
ザ光源において、前記ミラーが、略柱形状に形成されて
いて、前記半導体レーザ及び前記レンズが収納される筐
体に最も近い側面と、表面反射膜が施された反射面との
なす角が鋭角に形成されている構成とした。
【０００６】請求項１記載の発明によれば、ミラーが略
柱形状に形成されていて、半導体レーザ及びレンズが収
納される筐体に最も近い側面と、表面反射膜が施された
反射面とのなす角が鋭角に形成されているため、例え
ば、一般的な直方体状のミラーを用いた場合と比較し
て、ミラーの反射面をより筐体に接近させることが可能
になる。即ち、当該外部共振器型波長可変半導体レーザ
光源の外部共振器長を短くすることが可能になり、それ
により、安定したレーザ発振を実現できる。
柱形状に形成されていて、半導体レーザ及びレンズが収
納される筐体に最も近い側面と、表面反射膜が施された
反射面とのなす角が鋭角に形成されているため、例え
ば、一般的な直方体状のミラーを用いた場合と比較し
て、ミラーの反射面をより筐体に接近させることが可能
になる。即ち、当該外部共振器型波長可変半導体レーザ
光源の外部共振器長を短くすることが可能になり、それ
により、安定したレーザ発振を実現できる。
【０００７】請求項２記載の発明は、請求項１記載の外
部共振器型波長可変半導体レーザ光源において、前記ミ
ラーが回転可能に構成されている。
部共振器型波長可変半導体レーザ光源において、前記ミ
ラーが回転可能に構成されている。
【０００８】請求項２記載の発明によれば、ミラーが回
転可能に構成されているため、ミラーの回転角に対応し
た波長掃引が可能になる。そして、このような外部共振
器型波長可変半導体レーザ光源の場合には、ミラーが回
転することによって外部共振器長が長くなる傾向にある
ため、筐体に最も近い側面と、反射面とのなす角が鋭角
に形成されたミラーを用いることによる効果がさらに大
きくなる。
転可能に構成されているため、ミラーの回転角に対応し
た波長掃引が可能になる。そして、このような外部共振
器型波長可変半導体レーザ光源の場合には、ミラーが回
転することによって外部共振器長が長くなる傾向にある
ため、筐体に最も近い側面と、反射面とのなす角が鋭角
に形成されたミラーを用いることによる効果がさらに大
きくなる。
【０００９】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の外部共振器型波長可変半導体レーザ光源において、
前記半導体レーザの前記回折格子から離れている方の端
面の、前記回折格子に対する光学的位置を起点にして、
光軸に対し垂直に延ばした線と、前記回折格子の回折面
の延長線との交点を前記ミラーの回転中心に一致させる
と共に、前記ミラーの反射面の延長線が前記交点を通過
するように前記ミラーを配置した構成とした。
載の外部共振器型波長可変半導体レーザ光源において、
前記半導体レーザの前記回折格子から離れている方の端
面の、前記回折格子に対する光学的位置を起点にして、
光軸に対し垂直に延ばした線と、前記回折格子の回折面
の延長線との交点を前記ミラーの回転中心に一致させる
と共に、前記ミラーの反射面の延長線が前記交点を通過
するように前記ミラーを配置した構成とした。
【００１０】請求項３記載の発明によれば、半導体レー
ザの回折格子から離れている方の端面の、回折格子に対
する光学的位置を起点にして、光軸に対し垂直に延ばし
た線と、回折格子の回折面の延長線との交点をミラーの
回転中心に一致させると共に、ミラーの反射面の延長線
が前記交点を通過するようにミラーを配置したため、広
い帯域にわたりモードホップの発生を防止でき、光出力
の変動の少ない連続的な波長掃引が可能になる。そし
て、このような外部共振器型波長可変半導体レーザ光源
の場合には、ミラーの回転半径が大きいことから外部共
振器長がさらに長くなる傾向にあるため、筐体に最も近
い側面と、反射面とのなす角が鋭角に形成されたミラー
を用いることによる効果がより一層大きくなる。
ザの回折格子から離れている方の端面の、回折格子に対
する光学的位置を起点にして、光軸に対し垂直に延ばし
た線と、回折格子の回折面の延長線との交点をミラーの
回転中心に一致させると共に、ミラーの反射面の延長線
が前記交点を通過するようにミラーを配置したため、広
い帯域にわたりモードホップの発生を防止でき、光出力
の変動の少ない連続的な波長掃引が可能になる。そし
て、このような外部共振器型波長可変半導体レーザ光源
の場合には、ミラーの回転半径が大きいことから外部共
振器長がさらに長くなる傾向にあるため、筐体に最も近
い側面と、反射面とのなす角が鋭角に形成されたミラー
を用いることによる効果がより一層大きくなる。
【００１１】請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何
れかに記載の外部共振器型波長可変半導体レーザ光源に
おいて、前記ミラーが、三角プリズムにより構成されて
いる。
れかに記載の外部共振器型波長可変半導体レーザ光源に
おいて、前記ミラーが、三角プリズムにより構成されて
いる。
【００１２】請求項４記載の発明によれば、ミラーが、
成形が容易な三角プリズムにより構成されているため、
ミラーのコストを低減できる。
成形が容易な三角プリズムにより構成されているため、
ミラーのコストを低減できる。
【００１３】請求項５記載の発明は、請求項１〜３の何
れかに記載の外部共振器型波長可変半導体レーザ光源に
おいて、前記ミラーが、平行四辺形プリズムにより構成
されている。
れかに記載の外部共振器型波長可変半導体レーザ光源に
おいて、前記ミラーが、平行四辺形プリズムにより構成
されている。
【００１４】請求項５記載の発明によれば、ミラーが、
成形が容易な平行四辺形プリズムにより構成されている
ため、ミラーのコストを低減できる。
成形が容易な平行四辺形プリズムにより構成されている
ため、ミラーのコストを低減できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図１〜図３の図面を参照しながら説明する。
て、図１〜図３の図面を参照しながら説明する。
【００１６】図１は、本発明を適用した外部共振器型波
長可変ＬＤ光源の一例を示すブロック図である。図２
は、図１の外部共振器型波長可変ＬＤ光源を構成するミ
ラーの配置及び動作を説明する図である。
長可変ＬＤ光源の一例を示すブロック図である。図２
は、図１の外部共振器型波長可変ＬＤ光源を構成するミ
ラーの配置及び動作を説明する図である。
【００１７】この実施の形態の外部共振器型波長可変Ｌ
Ｄ光源は、図１に示すように、一方の端面１ａに反射防
止膜１Ａが施されたＬＤ１、波長選択素子としての回折
格子２、ミラーとして例示する三角プリズム３、ＬＤ１
からの光を平行光にするレンズ４、ＬＤ１及びレンズ４
を収納する筐体１０等により構成されている。
Ｄ光源は、図１に示すように、一方の端面１ａに反射防
止膜１Ａが施されたＬＤ１、波長選択素子としての回折
格子２、ミラーとして例示する三角プリズム３、ＬＤ１
からの光を平行光にするレンズ４、ＬＤ１及びレンズ４
を収納する筐体１０等により構成されている。
【００１８】三角プリズム３は、略三角柱形状に形成さ
れていて、筐体１０に最も近い側面３ｂと、表面反射膜
が施された反射面３ａとのなす角３ｃが鋭角に形成され
ている。このため、例えば、一般的な直方体状のミラー
２０（図４）と比較して、反射面３ａをより筐体１０に
接近させて、外部共振器長を短縮することが可能になっ
ている。
れていて、筐体１０に最も近い側面３ｂと、表面反射膜
が施された反射面３ａとのなす角３ｃが鋭角に形成され
ている。このため、例えば、一般的な直方体状のミラー
２０（図４）と比較して、反射面３ａをより筐体１０に
接近させて、外部共振器長を短縮することが可能になっ
ている。
【００１９】図１の外部共振器型波長可変ＬＤ光源によ
れば、ＬＤ１の端面１ａから出射した光はレンズ４によ
り平行光にされた後、回折格子２に入射する。そして、
回折格子２に入射して波長選択された回折光は、一旦三
角プリズム３に垂直に入射して三角プリズム３の反射面
３ａで全反射した後、回折格子２に戻るようになってい
る。即ち、２回の回折格子２による波長選択により、波
長選択性が高められている。
れば、ＬＤ１の端面１ａから出射した光はレンズ４によ
り平行光にされた後、回折格子２に入射する。そして、
回折格子２に入射して波長選択された回折光は、一旦三
角プリズム３に垂直に入射して三角プリズム３の反射面
３ａで全反射した後、回折格子２に戻るようになってい
る。即ち、２回の回折格子２による波長選択により、波
長選択性が高められている。
【００２０】こうして波長選択された光は、レンズ４に
より集光されて、ＬＤ１に帰還する。即ち、ＬＤ１の端
面１ｂと回折格子２とにより外部共振器が構成されて、
レーザ発振するようになっている。また、ＬＤ１の端面
１ｂからの出射光は、図には現れないレンズや光アイソ
レータ等を経由して集光された後、光ファイバから出力
光として取り出される。
より集光されて、ＬＤ１に帰還する。即ち、ＬＤ１の端
面１ｂと回折格子２とにより外部共振器が構成されて、
レーザ発振するようになっている。また、ＬＤ１の端面
１ｂからの出射光は、図には現れないレンズや光アイソ
レータ等を経由して集光された後、光ファイバから出力
光として取り出される。
【００２１】また、図１の外部共振器型波長可変ＬＤ光
源には、三角プリズム３を回転可能な回転機構（図示省
略）が設けられていて、この回転機構による三角プリズ
ム３の回転により波長掃引が可能となっている。ここ
で、三角プリズム３の回転中心は、図２に示すように、
回折格子２に対するＬＤ１の端面１ｂの光学的位置Ｃ１
（レンズ４及びＬＤ１の光軸方向の長さを空気換算した
場合の、回折格子２に対する端面１ｂの位置）を起点に
して光軸に対し垂直に延ばした線分Ｌ１と、回折格子２
の回折面の延長線Ｌ２との交点Ｃに一致している。ま
た、三角プリズム３は、その反射面３ａの延長線Ｌ３が
交点Ｃを通過するように配置されている。このような三
角プリズム３、回折格子２及びＬＤ１の配置は、「Nove
l geometry for single-mode scanning of tunable las
ers, Karen Liu & Michael G.Littman/March 1981/Vol.
6 No.3/Optics Letters p117〜p118」において開示され
ており、この配置によれば、広い帯域にわたりモードホ
ップの発生を防止でき、光出力の変動の少ない連続的な
波長掃引が可能となっている。
源には、三角プリズム３を回転可能な回転機構（図示省
略）が設けられていて、この回転機構による三角プリズ
ム３の回転により波長掃引が可能となっている。ここ
で、三角プリズム３の回転中心は、図２に示すように、
回折格子２に対するＬＤ１の端面１ｂの光学的位置Ｃ１
（レンズ４及びＬＤ１の光軸方向の長さを空気換算した
場合の、回折格子２に対する端面１ｂの位置）を起点に
して光軸に対し垂直に延ばした線分Ｌ１と、回折格子２
の回折面の延長線Ｌ２との交点Ｃに一致している。ま
た、三角プリズム３は、その反射面３ａの延長線Ｌ３が
交点Ｃを通過するように配置されている。このような三
角プリズム３、回折格子２及びＬＤ１の配置は、「Nove
l geometry for single-mode scanning of tunable las
ers, Karen Liu & Michael G.Littman/March 1981/Vol.
6 No.3/Optics Letters p117〜p118」において開示され
ており、この配置によれば、広い帯域にわたりモードホ
ップの発生を防止でき、光出力の変動の少ない連続的な
波長掃引が可能となっている。
【００２２】また、三角プリズム３を回転する回転機構
としては、例えば、交点Ｃを軸心として回転自在に保持
されたサインバーと、このサインバーを回転させる駆動
手段（例えば、直動モータなど）と、により構成するこ
とができる。この場合、三角プリズム３は、熱膨張等に
よる影響を少なくするため、その底面（図１から見て背
面）がサインバーの先端側に固着される。ここで、三角
プリズム３は、平板状のミラーではなく、柱状のミラー
であるため、安定した状態でサインバーに固定される。
としては、例えば、交点Ｃを軸心として回転自在に保持
されたサインバーと、このサインバーを回転させる駆動
手段（例えば、直動モータなど）と、により構成するこ
とができる。この場合、三角プリズム３は、熱膨張等に
よる影響を少なくするため、その底面（図１から見て背
面）がサインバーの先端側に固着される。ここで、三角
プリズム３は、平板状のミラーではなく、柱状のミラー
であるため、安定した状態でサインバーに固定される。
【００２３】以上のように、この実施の形態の外部共振
器型波長可変ＬＤ光源によれば、ミラーが三角プリズム
３により構成されていて、筐体１０に最も近い側面３ｂ
と、表面反射膜が施された反射面３ａとのなす角３ｃが
鋭角に形成されているため、例えば、一般的な直方体状
のミラーを用いた場合と比較して、ミラーの反射面３ａ
をより筐体１０に接近させることが可能になる。即ち、
当該外部共振器型波長可変半導体レーザ光源の外部共振
器長を短くすることが可能になり、それにより、安定し
たレーザ発振を実現できる。また、回折格子２に対する
ＬＤ１の端面１ｂの光学的位置Ｃ１を起点にして、光軸
に対し垂直に延ばした線分Ｌ１と、回折格子２の回折面
の延長線Ｌ２との交点Ｃを三角プリズム３の回転中心に
一致させると共に、三角プリズム３の反射面３ａの延長
線Ｌ３が交点Ｃを通過するように三角プリズム３を配置
したため、広い帯域にわたりモードホップの発生を防止
でき、光出力の変動の少ない連続的な波長掃引が可能に
なる。そして、このような配置の場合には、ミラーの回
転半径が大きいことから外部共振器長が長くなる傾向に
あるが、ミラーに三角プリズム３を用いたことによっ
て、外部共振器長が短縮される。従って、このような配
置の外部共振器型波長可変半導体レーザ光源において
も、安定したレーザ発振を実現できる。
器型波長可変ＬＤ光源によれば、ミラーが三角プリズム
３により構成されていて、筐体１０に最も近い側面３ｂ
と、表面反射膜が施された反射面３ａとのなす角３ｃが
鋭角に形成されているため、例えば、一般的な直方体状
のミラーを用いた場合と比較して、ミラーの反射面３ａ
をより筐体１０に接近させることが可能になる。即ち、
当該外部共振器型波長可変半導体レーザ光源の外部共振
器長を短くすることが可能になり、それにより、安定し
たレーザ発振を実現できる。また、回折格子２に対する
ＬＤ１の端面１ｂの光学的位置Ｃ１を起点にして、光軸
に対し垂直に延ばした線分Ｌ１と、回折格子２の回折面
の延長線Ｌ２との交点Ｃを三角プリズム３の回転中心に
一致させると共に、三角プリズム３の反射面３ａの延長
線Ｌ３が交点Ｃを通過するように三角プリズム３を配置
したため、広い帯域にわたりモードホップの発生を防止
でき、光出力の変動の少ない連続的な波長掃引が可能に
なる。そして、このような配置の場合には、ミラーの回
転半径が大きいことから外部共振器長が長くなる傾向に
あるが、ミラーに三角プリズム３を用いたことによっ
て、外部共振器長が短縮される。従って、このような配
置の外部共振器型波長可変半導体レーザ光源において
も、安定したレーザ発振を実現できる。
【００２４】なお、以上の実施の形態例においては、ミ
ラーとして三角プリズム３を例示したが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、例えば、図３に示すような
平行四辺形プリズム１３など、略柱形状に形成されてい
て、筐体１０に最も近い側面（ここでは、側面１３ｂ）
と、表面反射膜が施された反射面（ここでは、反射面１
３ａ）とのなす角（ここでは、角１３ｃ）が鋭角に形成
されていれば、どのようなミラーとしてもよい。また、
外部共振器型波長可変半導体レーザ光源を構成する三角
プリズム３、回折格子２及びＬＤ１の配置は、図２に示
す配置に限られるものではなく、例えば、一般的なリッ
トマン配置であってもよい。その他、具体的な細部構造
等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
ラーとして三角プリズム３を例示したが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、例えば、図３に示すような
平行四辺形プリズム１３など、略柱形状に形成されてい
て、筐体１０に最も近い側面（ここでは、側面１３ｂ）
と、表面反射膜が施された反射面（ここでは、反射面１
３ａ）とのなす角（ここでは、角１３ｃ）が鋭角に形成
されていれば、どのようなミラーとしてもよい。また、
外部共振器型波長可変半導体レーザ光源を構成する三角
プリズム３、回折格子２及びＬＤ１の配置は、図２に示
す配置に限られるものではなく、例えば、一般的なリッ
トマン配置であってもよい。その他、具体的な細部構造
等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
【００２５】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、ミラーが
略柱形状に形成されていて、半導体レーザ及びレンズが
収納される筐体に最も近い側面と、表面反射膜が施され
た反射面とのなす角が鋭角に形成されているため、例え
ば、一般的な直方体状のミラーを用いた場合と比較し
て、ミラーの反射面をより筐体に接近させることが可能
になる。即ち、当該外部共振器型波長可変半導体レーザ
光源の外部共振器長を短くすることが可能になり、それ
により、安定したレーザ発振を実現できる。
略柱形状に形成されていて、半導体レーザ及びレンズが
収納される筐体に最も近い側面と、表面反射膜が施され
た反射面とのなす角が鋭角に形成されているため、例え
ば、一般的な直方体状のミラーを用いた場合と比較し
て、ミラーの反射面をより筐体に接近させることが可能
になる。即ち、当該外部共振器型波長可変半導体レーザ
光源の外部共振器長を短くすることが可能になり、それ
により、安定したレーザ発振を実現できる。
【００２６】請求項２記載の発明によれば、ミラーが回
転可能に構成されているため、ミラーの回転角に対応し
た波長掃引が可能になる。そして、このような外部共振
器型波長可変半導体レーザ光源の場合には、ミラーが回
転することによって外部共振器長が長くなる傾向にある
ため、筐体に最も近い側面と、反射面とのなす角が鋭角
に形成されたミラーを用いることによる効果がさらに大
きくなる。
転可能に構成されているため、ミラーの回転角に対応し
た波長掃引が可能になる。そして、このような外部共振
器型波長可変半導体レーザ光源の場合には、ミラーが回
転することによって外部共振器長が長くなる傾向にある
ため、筐体に最も近い側面と、反射面とのなす角が鋭角
に形成されたミラーを用いることによる効果がさらに大
きくなる。
【００２７】請求項３記載の発明によれば、半導体レー
ザの回折格子から離れている方の端面の、回折格子に対
する光学的位置を起点にして、光軸に対し垂直に延ばし
た線と、回折格子の回折面の延長線との交点をミラーの
回転中心に一致させると共に、ミラーの反射面の延長線
が前記交点を通過するようにミラーを配置したため、広
い帯域にわたりモードホップの発生を防止でき、光出力
の変動の少ない連続的な波長掃引が可能になる。そし
て、このような外部共振器型波長可変半導体レーザ光源
の場合には、ミラーの回転半径が大きいことから外部共
振器長がさらに長くなる傾向にあるため、筐体に最も近
い側面と、反射面とのなす角が鋭角に形成されたミラー
を用いることによる効果がより一層大きくなる。
ザの回折格子から離れている方の端面の、回折格子に対
する光学的位置を起点にして、光軸に対し垂直に延ばし
た線と、回折格子の回折面の延長線との交点をミラーの
回転中心に一致させると共に、ミラーの反射面の延長線
が前記交点を通過するようにミラーを配置したため、広
い帯域にわたりモードホップの発生を防止でき、光出力
の変動の少ない連続的な波長掃引が可能になる。そし
て、このような外部共振器型波長可変半導体レーザ光源
の場合には、ミラーの回転半径が大きいことから外部共
振器長がさらに長くなる傾向にあるため、筐体に最も近
い側面と、反射面とのなす角が鋭角に形成されたミラー
を用いることによる効果がより一層大きくなる。
【００２８】請求項４記載の発明によれば、ミラーが、
成形が容易な三角プリズムにより構成されているため、
ミラーのコストを低減できる。
成形が容易な三角プリズムにより構成されているため、
ミラーのコストを低減できる。
【００２９】請求項５記載の発明によれば、ミラーが、
成形が容易な平行四辺形プリズムにより構成されている
ため、ミラーのコストを低減できる。
成形が容易な平行四辺形プリズムにより構成されている
ため、ミラーのコストを低減できる。
【図１】本発明を適用した外部共振器型波長可変ＬＤ光
源の一例を示すブロック図である。
源の一例を示すブロック図である。
【図２】図１の外部共振器型波長可変ＬＤ光源を構成す
るミラーの配置及び動作を説明する図である。
るミラーの配置及び動作を説明する図である。
【図３】ミラーを平行四辺形プリズムで構成した場合
の、外部共振器型波長可変ＬＤ光源の一例を示すブロッ
ク図である。
の、外部共振器型波長可変ＬＤ光源の一例を示すブロッ
ク図である。
【図４】従来の外部共振器型波長可変ＬＤ光源の一例
（リットマン配置）を示すブロック図である。
（リットマン配置）を示すブロック図である。
１ ＬＤ（半導体レーザ） ２ 回折格子 ３ 三角プリズム（ミラー） ３ａ 反射面 ４ レンズ １０ 筐体 １３ 平行四辺形プリズム（ミラー）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F072 AB13 HH05 JJ05 KK01 KK06 KK07 MM16 5F073 AA63 AA83 AB25 AB27 AB29 EA04
Claims (5)
- 【請求項１】半導体レーザからの出射光を、レンズで平
行光に変換して回折格子に入射させ、この回折格子で波
長選択した光を、一旦ミラーに当てて反射させた後、再
び前記回折格子に入射させて、前記半導体レーザに帰還
させる外部共振器型波長可変半導体レーザ光源におい
て、 前記ミラーは、略柱形状に形成されていて、前記半導体
レーザ及び前記レンズが収納される筐体に最も近い側面
と、表面反射膜が施された反射面とのなす角が鋭角に形
成されていることを特徴とする外部共振器型波長可変半
導体レーザ光源。 - 【請求項２】前記ミラーが回転可能に構成されているこ
とを特徴とする請求項１記載の外部共振器型波長可変半
導体レーザ光源。 - 【請求項３】前記半導体レーザの前記回折格子から離れ
ている方の端面の、前記回折格子に対する光学的位置を
起点にして、光軸に対し垂直に延ばした線と、前記回折
格子の回折面の延長線との交点を前記ミラーの回転中心
に一致させると共に、 前記ミラーの反射面の延長線が前記交点を通過するよう
に前記ミラーを配置したことを特徴とする請求項１又は
２記載の外部共振器型波長可変半導体レーザ光源。 - 【請求項４】前記ミラーは、三角プリズムにより構成さ
れていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載
の外部共振器型波長可変半導体レーザ光源。 - 【請求項５】前記ミラーは、平行四辺形プリズムにより
構成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか
に記載の外部共振器型波長可変半導体レーザ光源。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10334421A JP2000164980A (ja) | 1998-11-25 | 1998-11-25 | 外部共振器型波長可変半導体レーザ光源 |
| DE1999615778 DE69915778T2 (de) | 1998-11-25 | 1999-11-19 | Verstimmbare Laserlichtquelle mit externem Resonator |
| EP19990123033 EP1005117B1 (en) | 1998-11-25 | 1999-11-19 | External cavity type tunable semiconductor laser source |
| CA 2290208 CA2290208A1 (en) | 1998-11-25 | 1999-11-19 | External cavity type tunable semiconductor laser source |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10334421A JP2000164980A (ja) | 1998-11-25 | 1998-11-25 | 外部共振器型波長可変半導体レーザ光源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000164980A true JP2000164980A (ja) | 2000-06-16 |
Family
ID=18277195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10334421A Pending JP2000164980A (ja) | 1998-11-25 | 1998-11-25 | 外部共振器型波長可変半導体レーザ光源 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1005117B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000164980A (ja) |
| CA (1) | CA2290208A1 (ja) |
| DE (1) | DE69915778T2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007309881A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Fujifilm Corp | 波長掃引光源および光断層画像化装置 |
| KR100945422B1 (ko) | 2008-04-04 | 2010-03-04 | (주)레이저옵텍 | 파장가변 외부공진 레이저 |
| KR101338309B1 (ko) | 2012-03-20 | 2013-12-09 | 연세대학교 산학협력단 | 외부 공진기 레이저 시스템 |
| JP2018152604A (ja) * | 2003-06-06 | 2018-09-27 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | 波長同調発信源装置及びその方法 |
| CN113131340A (zh) * | 2021-04-08 | 2021-07-16 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种外腔调制的半导体激光器 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5871687A (ja) * | 1981-10-23 | 1983-04-28 | Ricoh Co Ltd | 発振波長を安定化した半導体レ−ザ装置 |
| JPH0216782A (ja) * | 1988-07-04 | 1990-01-19 | Toshiba Corp | 狭帯域レーザ装置 |
| DE19544897C2 (de) * | 1995-12-01 | 2000-10-12 | Hannover Laser Zentrum | Modensprungfrei abstimmbares Halbleiter-Lasersystem |
-
1998
- 1998-11-25 JP JP10334421A patent/JP2000164980A/ja active Pending
-
1999
- 1999-11-19 EP EP19990123033 patent/EP1005117B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-11-19 CA CA 2290208 patent/CA2290208A1/en not_active Abandoned
- 1999-11-19 DE DE1999615778 patent/DE69915778T2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018152604A (ja) * | 2003-06-06 | 2018-09-27 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | 波長同調発信源装置及びその方法 |
| JP7002407B2 (ja) | 2003-06-06 | 2022-01-20 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | 波長同調発信源装置 |
| JP2007309881A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Fujifilm Corp | 波長掃引光源および光断層画像化装置 |
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| KR101338309B1 (ko) | 2012-03-20 | 2013-12-09 | 연세대학교 산학협력단 | 외부 공진기 레이저 시스템 |
| CN113131340A (zh) * | 2021-04-08 | 2021-07-16 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种外腔调制的半导体激光器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69915778T2 (de) | 2004-08-05 |
| EP1005117B1 (en) | 2004-03-24 |
| DE69915778D1 (de) | 2004-04-29 |
| CA2290208A1 (en) | 2000-05-25 |
| EP1005117A1 (en) | 2000-05-31 |
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Legal Events
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040212 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040217 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040408 |
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| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20041001 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20050216 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050216 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050927 |