JP2000158254A - Lot carrier control system, its method, and memory medium storing carrier control program - Google Patents
Lot carrier control system, its method, and memory medium storing carrier control programInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ジョブショップ方
式の製造ラインにおいて、ベイに設置されている搬送棚
から製造対象であるロットを出庫して製造装置へ搬送す
る作業を制御するロット搬送制御システム及びその搬送
制御方法ならびに搬送制御プログラムを格納した記憶媒
体に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lot transfer control system for controlling the operation of unloading a lot to be manufactured from a transfer shelf installed in a bay and transferring it to a manufacturing apparatus in a job shop type manufacturing line. And a storage medium storing the transfer control method and the transfer control program.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、ジョブショップ方式の製造ライン
におけるこの種の搬送制御システムは、製造工程ごとに
設定されたスケジュールにしたがって製造対象であるロ
ットを搬送棚から製造装置へ搬送する。2. Description of the Related Art Conventionally, this type of transport control system in a job shop type manufacturing line transports a lot to be manufactured from a transport shelf to a manufacturing apparatus according to a schedule set for each manufacturing process.
【０００３】すなわち、予めホストコンピュータに製造
工程ごとに搬送コードを記憶させておき、各製造装置か
らホストコンピュータへ作業可能な工程の搬送コードが
送られると、ホストコンピュータが受信した搬送コード
と搬送棚に格納されている製品の搬送コードとを比較す
る。そして、両搬送コードが一致した場合に、当該製品
のロットを製造装置に搬送させる。That is, a transport code is stored in the host computer in advance for each manufacturing process, and when a transport code of an operable process is sent from each manufacturing apparatus to the host computer, the transport code and the transport shelf received by the host computer are received. And compare it with the product transport code stored in. When the two transport codes match, the lot of the product is transported to the manufacturing apparatus.
【０００４】複数の製造装置から同一の搬送コードが送
出された場合、ホストコンピュータは、仕掛かりロット
の最も少ない製造装置へ優先的に、製品のロットを搬送
するように搬送制御を行う。When the same transport code is sent from a plurality of manufacturing apparatuses, the host computer controls the transport so that the product lot is transported preferentially to the manufacturing apparatus with the least number of in-process lots.
【０００５】このような、製品の製造スケジュールにし
たがってロットを搬送する従来の搬送制御技術の例とし
ては、例えば、特開平５−２７５８８８号公報や特開平
７−０４４６１４号公報に開示された技術がある。As an example of such a conventional transport control technique for transporting a lot according to a production schedule of a product, for example, a technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-275888 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-444614 is disclosed. is there.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した、製
造スケジュールに従う従来のロットの搬送制御技術は、
所定の工程の作業に要する時間が全ての製造装置におい
て同じでない場合、製造作業の完了時刻が遅くなる製造
装置へ当該ロットを搬送してしまうおそれがあるという
欠点があった。その理由は、複数の製造装置から同一の
搬送コードが送出された場合に、仕掛かりロットの個数
により搬送先の製造装置を決定するためである。However, the conventional lot transfer control technology according to the manufacturing schedule described above is:
When the time required for the operation of the predetermined process is not the same in all the manufacturing apparatuses, there is a disadvantage that the lot may be transported to the manufacturing apparatus in which the completion time of the manufacturing operation is delayed. The reason is that when the same transport code is sent from a plurality of manufacturing apparatuses, the manufacturing apparatus at the destination is determined based on the number of in-process lots.
【０００７】また、ホストコンピュターに登録された搬
送コードを使用して搬送先を決定するため、予めホスト
コンピュターに対して、工程ごとに搬送コードを登録す
る必要があり、メンテナンス工数がかかるという欠点が
あった。Further, since the transport destination is determined by using the transport code registered in the host computer, it is necessary to register the transport code in the host computer in advance for each process, which requires a maintenance man-hour. there were.
【０００８】本発明は、上記従来の欠点を解決し、製造
スケジュールやホストコンピュータに登録された搬送コ
ードを使用することなく、効率の良い搬送制御を行うこ
とができるロット搬送制御システム及びその搬送制御方
法ならびに搬送制御プログラムを格納した記憶媒体を提
供することを目的とする。The present invention solves the above-mentioned drawbacks of the prior art, and enables a lot transfer control system and a transfer control system capable of performing efficient transfer control without using a manufacturing schedule or a transfer code registered in a host computer. It is an object to provide a storage medium storing a method and a transport control program.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明は、搬送棚から製造対象であるロットを出庫して製
造装置へ搬送する作業を制御するロット搬送制御システ
ムにおいて、製造ラインに設けられた複数の前記製造装
置において所定の作業が実行可能かどうかを判断し、実
行可能と判断された前記製造装置のうちで、前記所定の
作業を終了するまでに要する時間が最短である前記製造
装置を選択して前記ロットの搬送先として決定すること
を特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a lot transfer control system for controlling the operation of unloading a lot to be manufactured from a transfer shelf and transferring the lot to a manufacturing apparatus. Determining whether a predetermined operation can be performed in the plurality of manufacturing apparatuses, and determining, among the manufacturing apparatuses determined to be executable, a time required to complete the predetermined operation as the shortest time. The apparatus is selected and determined as a destination of the lot.
【００１０】請求項２の本発明は、搬送棚から製造対象
であるロットを出庫して製造装置へ搬送する作業を制御
するロット搬送制御システムにおいて、製造ラインにお
けるロットの搬送制御を行う搬送制御手段と、製造ライ
ンに設けられた複数の前記製造装置の中からロットの搬
送先の前記製造装置を決定する搬送先決定手段とを備
え、前記搬送先決定手段が、前記製造装置において所定
の作業が実行可能かどうかを判断し、実行可能と判断さ
れた前記製造装置において前記所定の作業を実行した場
合における前記所定の作業を終了するまでに要する時間
を計算し、算出された前記所定の作業を終了するまでに
要する時間が最短である前記製造装置を選択して前記ロ
ットの搬送先として決定する演算手段と、前記演算手段
による処理に用いるデータを格納した記憶手段とを備え
ることを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a lot transfer control system for controlling an operation of unloading a lot to be manufactured from a transfer shelf and transferring the lot to a manufacturing apparatus, wherein the transfer control means controls the transfer of the lot in the manufacturing line. And a destination determining means for determining the manufacturing apparatus to which the lot is to be transported from among the plurality of manufacturing apparatuses provided on the manufacturing line, wherein the destination determining means performs a predetermined operation in the manufacturing apparatus. Determine whether or not it is feasible, calculate the time required to complete the predetermined work when the predetermined work is performed in the manufacturing apparatus determined to be feasible, and calculate the calculated predetermined work An arithmetic unit for selecting the manufacturing apparatus which requires the shortest time to complete and determining the lot as a destination of the lot, and using the arithmetic unit for processing by the arithmetic unit Characterized in that it comprises a storage means for storing over data.
【００１１】請求項３の本発明のロット搬送制御システ
ムは、前記記憶手段が、前記製造装置の現在の状態に関
する情報として、稼働状況と、現在の使用条件と、最終
ロット作業条件及びロット仕掛かり状況と、仕掛かりロ
ット作業終了予定時間とを、リアルタイムで更新しなが
ら記憶すると共に、前記製造装置の動作条件に関する情
報として、各製造装置における所定の工程の作業時間
と、他の所定の工程における最終ロットの作業条件から
前記所定の工程へ移行する際の条件変更時間と、各製造
装置において作業可能な工程とを記憶し、前記演算手段
が、前記搬送制御手段から次の作業に関して該作業の工
程名を含む情報を受け取り、前記記憶手段に格納されて
いる前記動作条件に関する情報のうちの作業可能な工程
と前記搬送制御手段から受け取った工程名とを比較する
ことにより、前記製造装置ごとに前記次の作業が実行可
能かどうかを判断し、前記記憶手段に格納された前記製
造装置の現在の状態に関する情報及び前記製造装置の動
作条件に関する情報に基づき、所定の演算式を用いて前
記次の作業を終了するまでに要する時間を計算すること
を特徴とする。According to a third aspect of the present invention, in the lot transfer control system according to the present invention, the storage means stores information on a current state of the manufacturing apparatus as an operation status, a current use condition, a final lot operation condition, and a lot in process. The situation and the scheduled end time of the in-process lot work are stored while being updated in real time, and the information on the operating conditions of the manufacturing apparatus is used as the working time of a predetermined process in each manufacturing apparatus, and in other predetermined steps. A condition change time when shifting from the work condition of the final lot to the predetermined process and a process that can be performed in each manufacturing apparatus are stored, and the calculating unit transmits the next process from the transport control unit to the next process. Receiving the information including the process name, and the workable process and the transfer control device in the information on the operating condition stored in the storage device; By comparing the received process name with the received process name, it is determined whether or not the next operation can be performed for each of the manufacturing apparatuses, and information on a current state of the manufacturing apparatus stored in the storage unit and the manufacturing apparatus Based on the information on the operating condition, the time required to complete the next operation is calculated using a predetermined arithmetic expression.
【００１２】請求項４の本発明のロット搬送制御システ
ムは、前記記憶手段が、前記製造装置の現在の状態に関
する情報として、稼働状況と、現在の使用条件と、最終
ロット作業条件及びロット仕掛かり状況と、仕掛かりロ
ット作業終了予定時間とを、リアルタイムで更新しなが
ら記憶すると共に、前記製造装置の使用条件と、各製造
装置における所定の作業条件の作業に要する作業時間を
計算するための演算式と、各製造装置において他の所定
の作業における最終ロットの作業条件から前記所定の作
業条件へ移行する際の条件変更時間を計算するための演
算式とを記憶し、前記演算手段が、前記搬送制御手段か
ら次の作業に関する情報を受け取り、該情報と前記製造
装置の使用条件とに基づいて、前記製造装置ごとに前記
次の作業が実行可能かどうかを判断し、前記搬送制御手
段から受け取った情報に基づき、所定の演算式を用い
て、前記次の作業が実行可能であると判断された前記製
造装置における前記次の作業の実行に要する作業時間
と、該製造装置における現在の作業の最終ロットの作業
条件から前記次の作業へ移行する際の条件変更時間とを
計算し、前記記憶手段に格納された前記製造装置の現在
の状態に関する情報と、算出された前記作業時間及び前
記条件変更時間とに基づき、所定の演算式を用いて前記
次の作業を終了するまでに要する時間を計算することを
特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, in the lot transfer control system according to the present invention, the storage means stores information on a current state of the manufacturing apparatus, such as an operation status, a current use condition, a final lot operation condition, and a lot in process. An operation for storing the situation and the estimated end time of the in-process lot operation while updating it in real time, and calculating the use condition of the manufacturing apparatus and the operation time required for the operation of the predetermined operation condition in each manufacturing apparatus. And an arithmetic expression for calculating a condition change time at the time of shifting from the final lot operation condition to the predetermined operation condition in another predetermined operation in each of the manufacturing apparatuses, and the arithmetic unit includes: Receiving information on the next operation from the transport control means, and executing the next operation for each of the manufacturing devices based on the information and the use conditions of the manufacturing device; It is necessary to execute the next operation in the manufacturing apparatus in which it is determined that the next operation is executable using a predetermined arithmetic expression based on the information received from the transport control unit. A work time and a condition change time at the time of shifting to the next work from the work condition of the last lot of the current work in the manufacturing apparatus are calculated, and a current state of the manufacturing apparatus stored in the storage unit is calculated. On the basis of the information, the calculated work time and the condition change time, a time required to complete the next work is calculated using a predetermined arithmetic expression.
【００１３】上記の目的を達成する他の本発明は、搬送
棚から製造対象であるロットを出庫して製造装置へ搬送
する作業を制御するロットの搬送制御方法において、前
記製造装置において次の作業が実行可能かどうかを判断
するステップと、実行可能と判断された前記製造装置に
おいて前記次の作業を実行した場合における前記次の作
業を終了するまでに要する時間を計算するステップと、
算出された前記次の作業を終了するまでに要する時間が
最短である前記製造装置を選択して前記ロットの搬送先
として決定するステップと、前記搬送先決定ステップに
て決定された搬送先の前記製造装置に前記次の作業に用
いるロットを搬送するように搬送制御を行うステップと
を含むことを特徴とするロットの搬送制御方法。Another object of the present invention to achieve the above object is to provide a lot transfer control method for controlling a work of unloading a lot to be manufactured from a transfer shelf and transferring the lot to a manufacturing apparatus. Determining whether or not it is executable, and calculating the time required to complete the next operation when the next operation is performed in the manufacturing apparatus determined to be executable,
A step of selecting the manufacturing apparatus having the shortest time required to complete the calculated next operation and determining the destination as the transport destination of the lot, and the transport destination determined in the destination determining step. Carrying out transport control so as to transport the lot to be used for the next operation to the manufacturing apparatus.
【００１４】請求項６の本発明のロットの搬送制御方法
は、前記作業可否判断ステップにおいて、前記次の作業
の工程名と予め前記製造装置ごとに設定された作業可能
な工程名とを比較することにより、所定の前記製造装置
で前記次の作業が実行可能かどうかを判断し、前記作業
終了時間計算ステップにおいて、製造工程ごとに設定さ
れた作業時間と他の作業条件から該工程へ移行する際の
条件変更時間とに基づき、所定の演算式を用いて前記次
の作業を終了するまでに要する時間を計算することを特
徴とする。According to a sixth aspect of the present invention, in the lot transfer control method of the present invention, in the work availability determination step, a process name of the next work is compared with a workable process name preset for each of the manufacturing apparatuses. Thereby, it is determined whether or not the next work can be performed by the predetermined manufacturing apparatus, and in the work end time calculation step, the process is shifted from the work time set for each manufacturing process and other work conditions to the process. Based on the condition change time at that time, a time required for completing the next operation is calculated using a predetermined arithmetic expression.
【００１５】請求項７の本発明のロットの搬送制御方法
は、前記作業可否判断ステップにおいて、前記次の作業
の作業条件と予め前記製造装置ごとに設定された使用条
件とに基づいて、前記製造装置ごとに前記次の作業が実
行可能かどうかを判断し、前記作業終了時間計算ステッ
プが、前記次の作業の作業条件に基づき、所定の演算式
を用いて、前記次の作業が実行可能であると判断された
前記製造装置における前記次の作業の実行に要する作業
時間と、該製造装置における現在の作業の最終ロットの
作業条件から前記次の作業へ移行する際の条件変更時間
とを計算するステップと、前記製造装置の現在の状態に
関する情報と、算出された前記作業時間及び前記条件変
更時間とに基づき、所定の演算式を用いて前記次の作業
を終了するまでに要する時間を計算するステップとを含
むことを特徴とする。According to a seventh aspect of the present invention, in the lot transfer control method according to the present invention, in the work availability determination step, the production is performed based on a work condition of the next work and a use condition set in advance for each of the manufacturing apparatuses. It is determined whether or not the next work is executable for each device, and the work end time calculating step is capable of executing the next work using a predetermined arithmetic expression based on work conditions of the next work. Calculate the work time required to execute the next work in the manufacturing apparatus determined to be present and the condition change time when shifting from the work condition of the last lot of the current work in the manufacturing apparatus to the next work. Based on the information on the current state of the manufacturing apparatus, the calculated work time and the condition change time, and using a predetermined arithmetic expression to complete the next work. Characterized in that it comprises the step of calculating a time.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１７】図１は、本発明の一実施形態によるロット
搬送制御システムの構成を示すブロック図である。図１
を参照すると、本実施形態のロット搬送制御システム
は、製造ラインにおけるロットの搬送制御を行うホスト
コンピュータ１０と、ロットの搬送先の製造装置を決定
する搬送先決定装置７０とを備える。当該製造ライン
は、ホストコンピュータ１０に制御された、製品のロッ
トをストックする搬送棚（ロットストッカー）２０と、
３台の製造装置４０、５０、６０と、搬送棚２０から製
造装置４０、５０、６０へロットを運ぶ搬送ロボット３
０とを備える。図１において、実線矢印は情報の経路を
示し、破線矢印は製品の流れを示す。なお、図１には、
本実施形態における特徴的な構成のみを記載し、他の一
般的な構成については記載を省略してある。FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a lot transfer control system according to one embodiment of the present invention. FIG.
Referring to FIG. 1, the lot transfer control system according to the present embodiment includes a host computer 10 that controls the transfer of a lot on a production line, and a transfer destination determining device 70 that determines a manufacturing apparatus to which the lot is transferred. The production line includes a transport shelf (lot stocker) 20 controlled by the host computer 10 for stocking product lots,
Three manufacturing apparatuses 40, 50, 60, and a transfer robot 3 for transferring a lot from the transfer shelf 20 to the manufacturing apparatuses 40, 50, 60
0. In FIG. 1, a solid arrow indicates an information path, and a broken arrow indicates a product flow. In FIG. 1,
Only the characteristic configuration in the present embodiment is described, and description of other general configurations is omitted.
【００１８】搬送先決定装置７０は、図１に示すよう
に、ロットの搬送先を決定するための演算を行う演算処
理部７２と、演算処理部７２による演算処理を制御する
演算制御部７１と、演算処理部７２による演算処理に用
いるデータを記憶する記憶部７３とを備える。本実施形
態の搬送先決定装置７０は、例えば、プログラム制御さ
れたＣＰＵとＲＡＭその他の内部メモリとで実現され
る。したがって、実際の運用においては、ホストコンピ
ュータ１０と搬送先決定装置７０とを物理的に同一のコ
ンピュータシステムにて構成し、搬送先決定装置７０の
制御シーケンスを、ホストコンピュータ１０における動
作として実現しても良い。ＣＰＵを制御して搬送先決定
装置７０の機能を実現するコンピュータプログラムは、
例えば磁気ディスクや光ディスク、半導体メモリ、その
他の一般的な記憶媒体に格納して提供される。As shown in FIG. 1, the transport destination determining device 70 includes an arithmetic processing unit 72 for performing an arithmetic operation for determining a destination of a lot, and an arithmetic control unit 71 for controlling the arithmetic processing by the arithmetic processing unit 72. And a storage unit 73 for storing data used for the arithmetic processing by the arithmetic processing unit 72. The transfer destination determining device 70 of the present embodiment is realized by, for example, a CPU controlled by a program and a RAM or other internal memory. Therefore, in actual operation, the host computer 10 and the transfer destination determining device 70 are physically configured by the same computer system, and the control sequence of the transfer destination determining device 70 is realized as an operation in the host computer 10. Is also good. A computer program that controls the CPU to realize the function of the transfer destination determining device 70 includes:
For example, it is provided by being stored in a magnetic disk, an optical disk, a semiconductor memory, or another general storage medium.
【００１９】記憶部７３は、製造装置４０、５０、６０
の現在の状態に関する情報を格納する第１の記憶領域７
３ａと、製造装置４０、５０、６０の動作条件に関する
情報を格納する第２の記憶領域７３ｂとを備える。具体
的には、第１の記憶領域７３ａは、製造装置４０、５
０、６０の各々に関して、稼働状況と、現在の使用条件
と、最終ロット作業条件及びロット仕掛かり状況と、仕
掛かりロット作業終了予定時間とを、リアルタイムで更
新しながら記憶する。また、第２の記憶領域７３ｂは、
製造装置４０、５０、６０における所定の工程［Ｘ］の
作業に要する時間（以下、作業時間と称す）と、他の所
定の工程［Ｙ］における最終ロットの条件から前記所定
の工程［Ｘ］へ移行する際の条件変更に要する時間（以
下、条件変更時間と称す）と、各製造装置４０、５０、
６０にて作業可能な工程とを記憶する。記憶領域７３ｂ
の記憶データは、製造装置４０、５０、６０からの作業
報告（作業実績）を読み込むことにより自動更新しても
良いし、キーボードその他の入力装置８０を用いて、外
部から入力するようにしても良い。The storage unit 73 stores the manufacturing apparatuses 40, 50, 60
Storage area 7 for storing information on the current state of
3a, and a second storage area 73b for storing information on operating conditions of the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60. Specifically, the first storage area 73a stores the manufacturing devices 40, 5
For each of 0 and 60, the operating status, the current use condition, the final lot operation condition, the lot in-process status, and the expected end time of the in-process lot operation are stored while being updated in real time. Also, the second storage area 73b
The time required for the operation of the predetermined process [X] in the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 (hereinafter referred to as the operation time) and the condition of the final lot in the other predetermined process [Y] are referred to as the predetermined process [X]. (Hereinafter referred to as “condition change time”), and each of the manufacturing apparatuses 40, 50,
At step 60, workable steps are stored. Storage area 73b
May be automatically updated by reading work reports (work results) from the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60, or may be externally input using a keyboard or other input device 80. good.
【００２０】演算処理部７２は、記憶部７３の記憶領域
７３ａ、７３ｂから演算に必要なパラメータを受け取
り、予めプログラムされた演算式（下記、数１参照）に
より演算を行う。そして、最短の作業時間で工程［Ｘ］
の作業を終了できるように決定された搬送コードを演算
制御部７１へ送る。The arithmetic processing unit 72 receives parameters necessary for the arithmetic operation from the storage areas 73a and 73b of the storage unit 73, and performs an arithmetic operation according to a previously programmed arithmetic expression (see Equation 1 below). Then, the process [X] with the shortest working time
Is sent to the arithmetic and control unit 71.
【００２１】[0021]
【数１】 (Equation 1)
【００２２】演算制御部７１は、ホストコンピュター１
０から次の作業に関する情報を受け取り、当該作業が実
行可能かどうかを判断し、判断結果に応じて演算処理部
７２を制御する。そして、演算処理部７２の演算結果で
ある搬送コードを受け取り、ホストコンピュータ１０へ
搬送要求として送出する。ホストコンピュター１０から
送られる情報は、具体的には、搬送棚２０から製造装置
４０、５０、６０へ送る対象ロットの品名、ロットナン
バー、作業を行う工程［Ｘ］の工程名及び作業条件を含
む。演算制御部７１は、これらの情報を受け取ると、ま
ず製造装置４０、５０、６０が当該工程名にかかる工程
［Ｘ］を作業可能かどうか判断する。当該判断は、記憶
部７３の第２の記憶領域７３ｂに格納されている各製造
装置４０、５０、６０の動作条件とホストコンピュータ
１０から受け取った情報中の工程名とを比較することに
より行う。そして、作業可能と判断した製造装置に関し
て、上述したように演算処理部７２による演算を実行さ
せ、演算結果である搬送先を示す搬送コードをホストコ
ンピュータ１０に返送する。The arithmetic control unit 71 is a host computer 1
Information about the next work is received from 0, it is determined whether or not the work is executable, and the arithmetic processing unit 72 is controlled according to the result of the determination. Then, it receives the transport code, which is the result of calculation by the arithmetic processing unit 72, and sends it to the host computer 10 as a transport request. The information sent from the host computer 10 includes, specifically, the name of the target lot to be sent from the transport shelf 20 to the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60, the lot number, the step name of the step [X] in which the work is performed, and the operation conditions. . When receiving the information, the arithmetic control unit 71 first determines whether or not the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 can perform the process [X] corresponding to the process name. This determination is made by comparing the operating conditions of each of the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 stored in the second storage area 73b of the storage unit 73 with the process name in the information received from the host computer 10. Then, for the manufacturing apparatus determined to be operable, the calculation by the calculation processing unit 72 is executed as described above, and the transfer code indicating the transfer destination, which is the calculation result, is returned to the host computer 10.
【００２３】ホストコンピュータ１０は、製造装置４
０、５０、６０による製造対象である対象ロットの搬送
棚２０における貯蔵状況を管理し、搬送先決定装置７０
を制御して対象ロットの搬送先を決定し、搬送ロボット
３０を制御して搬送棚２０から所望の製造装置４０、５
０、６０へ所望の対象ロットを搬送させる。The host computer 10 includes the manufacturing device 4
The storage status of the target lot to be manufactured according to 0, 50, 60 in the transfer shelf 20 is managed, and the transfer destination determination device 70
To determine the transfer destination of the target lot, and control the transfer robot 30 to transfer the desired manufacturing apparatus 40, 5
A desired lot is transported to 0 and 60.
【００２４】搬送棚２０、搬送ロボット３０及び製造装
置４０、５０、６０は、従来の製造ラインにて用いられ
ている搬送棚、搬送ロボット及び製造装置と同様であ
る。したがって、ホストコンピュータ１０の制御の下、
搬送棚２０に対象ロットが貯蔵され、搬送ロボット３０
が搬送棚２０に格納されている所定の対象ロットを所定
の製造装置４０、５０、６０に搬送し、製造装置４０、
５０、６０が製造作業を実行する。なお、図１に示す本
実施形態では、３台の製造装置４０、５０、６０を備え
ることとしているが、製造装置の台数が３台に制限され
ないのは言うまでもない。The transfer shelf 20, the transfer robot 30, and the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 are the same as the transfer shelf, the transfer robot, and the manufacturing apparatus used in the conventional manufacturing line. Therefore, under the control of the host computer 10,
The target lot is stored in the transfer shelf 20 and the transfer robot 30
Transports a predetermined target lot stored in the transport shelf 20 to predetermined manufacturing apparatuses 40, 50, and 60, and
50 and 60 perform the manufacturing operation. In the present embodiment shown in FIG. 1, three manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 are provided, but it goes without saying that the number of manufacturing apparatuses is not limited to three.
【００２５】次に、図２及び図３のフローチャートを参
照して本実施形態の動作について説明する。図２は、本
実施形態により対象ロットの搬送先を決定し搬送するま
での動作を示すフローチャート、図３は、作業完了後の
動作を示すフローチャートである。Next, the operation of this embodiment will be described with reference to the flowcharts of FIGS. FIG. 2 is a flowchart showing the operation from the determination of the transfer destination of the target lot to the transfer according to the present embodiment, and FIG. 3 is a flowchart showing the operation after the work is completed.
【００２６】図２を参照すると、まず、ホストコンピュ
ター１０が、次の工程（以下、対象工程と称す）［Ｘ］
における作業の対象として搬送棚２０から製造装置４
０、５０、６０へ送る対象ロットの品名、ロットナンバ
ー、工程名及び作業条件を含む情報を、搬送先決定装置
７０の演算制御部７１に送る（ステップ２０１）。Referring to FIG. 2, first, the host computer 10 executes the next step (hereinafter referred to as a target step) [X].
From the transfer shelf 20 to the manufacturing device 4
Information including the product name, lot number, process name, and work conditions of the target lot to be sent to 0, 50, and 60 is sent to the arithmetic and control unit 71 of the transfer destination determining device 70 (Step 201).
【００２７】演算制御部７１は、受け取った情報中の工
程名と記憶領域７３ｂの登録内容とを比較し、当該作業
を製造装置４０、５０、６０で実行可能か判定する（ス
テップ２０２）。ここで、当該作業を実行不可能と判断
した製造装置は、以下の搬送先を決定する演算処理の対
象から除外する（ステップ２０９）。The arithmetic control unit 71 compares the process name in the received information with the registered contents of the storage area 73b, and determines whether the work can be executed by the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 (step 202). Here, the manufacturing apparatus that has determined that the work cannot be executed is excluded from the following calculation processing for determining a transfer destination (step 209).
【００２８】次に、演算制御部７１は、記憶部７３の第
１の記憶領域７３ａから、作業可能と判断された製造装
置における現在作業中の工程［Ｙ］の仕掛かりロットの
作業終了予定時間と、最終ロットの使用条件とを読出し
て演算処理部７２に引き渡す（ステップ２０３）。ま
た、記憶部７３の第２の記憶領域７３ｂから、現在作業
中の工程［Ｙ］の最終ロットの使用条件から対象工程
［Ｘ］へ移行する場合の条件変更時間と、対象工程
［Ｘ］の作業時間とを読出して演算処理部７２へ引き渡
す（ステップ２０４）。Next, the arithmetic and control unit 71 reads, from the first storage area 73a of the storage unit 73, the estimated work end time of the in-process lot of the process [Y] in the manufacturing apparatus determined to be operable. And the use condition of the final lot are read out and transferred to the arithmetic processing unit 72 (step 203). In addition, from the second storage area 73b of the storage unit 73, the condition change time when shifting from the use condition of the last lot of the currently working process [Y] to the target process [X], and the condition change time of the target process [X]. The work time is read and transferred to the arithmetic processing unit 72 (step 204).
【００２９】演算処理部７２は、ステップ２０３及びス
テップ２０４で記憶部７３から読出したデータを上述し
た演算式（数１）に代入し、各製造装置４０、５０、６
０における対象工程［Ｘ］の作業完了時間を算出する。
そして、得られた各製造装置４０、５０、６０における
作業完了時間を比較する（ステップ２０５）。次に、比
較の結果、最短の作業時間で対象工程［Ｘ］の作業を完
了できると判断された製造装置の搬送コードを搬送先と
して演算制御部７１に送る（ステップ２０６）。ここで
は、製造装置４０が搬送先として決定されたものとす
る。The arithmetic processing unit 72 substitutes the data read from the storage unit 73 in steps 203 and 204 into the above-described arithmetic expression (Equation 1), and the respective manufacturing apparatuses 40, 50, and 6
The work completion time of the target process [X] at 0 is calculated.
Then, the work completion times of the obtained manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 are compared (step 205). Next, as a result of the comparison, the transfer code of the manufacturing apparatus determined to be able to complete the work of the target process [X] in the shortest work time is sent to the arithmetic and control unit 71 as the transfer destination (step 206). Here, it is assumed that the manufacturing apparatus 40 has been determined as the transport destination.
【００３０】演算制御部７１は、演算処理部７２から受
け取った搬送コードを、搬送要求としてホストコンピュ
ター１０へ送る（ステップ２０７）。ホストコンピュー
タ１０は、搬送棚２０へ対象ロットの出庫命令を送ると
共に、搬送ロボット３０へ演算制御部７１から受け取っ
た搬送コードを送る（ステップ２０８）。これにより、
搬送ロボット３０が指示された対象ロットを搬送棚２０
から取り出し、搬送先として指示された搬送コードを持
つ製造装置４０へ搬送する。そして、当該製造装置４０
において当該対象工程［Ｘ］の作業が実行される。The arithmetic control unit 71 sends the transport code received from the arithmetic processing unit 72 to the host computer 10 as a transport request (step 207). The host computer 10 sends a command to take out the target lot to the transfer shelf 20 and sends the transfer code received from the arithmetic and control unit 71 to the transfer robot 30 (step 208). This allows
The transfer robot 30 transfers the designated lot to the transfer shelf 20.
And transported to the manufacturing apparatus 40 having the transport code specified as the transport destination. Then, the manufacturing apparatus 40
, The operation of the target process [X] is executed.
【００３１】次に、図３を参照すると、対象ロットに対
する作業が完了した製造装置４０、５０、６０は、作業
完了時刻、作業時間、作業条件等の情報を搬送先決定装
置７０へ送る（ステップ３０１）。Next, referring to FIG. 3, the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 that have completed the work on the target lot send information such as the work completion time, work time, and work conditions to the transfer destination determining apparatus 70 (step). 301).
【００３２】次に、当該対象工程［Ｘ］の作業におい
て、対象ロットの搬送先を決定する際に使用した当該製
造装置における作業時間及び対象工程［Ｘ］の直前の工
程［Ｙ］における最終ロットの使用条件から対象工程
［Ｘ］への条件変更時間が、記憶部７３の第２記憶領域
７３ｂから再度読出され、演算処理部７２に送られる
（ステップ３０２）。Next, in the operation of the target process [X], the working time used in determining the transfer destination of the target lot and the final lot in the process [Y] immediately before the target process [X] are used. The condition change time from the use condition to the target process [X] is read out again from the second storage area 73b of the storage unit 73 and sent to the arithmetic processing unit 72 (Step 302).
【００３３】演算処理部７２は、ステップ３０１で取得
した作業時間及び工程［Ｙ］の最終ロットから工程
［Ｘ］への条件変更時間の実績時間と、ステップ３０２
で取得した作業時間及び工程［Ｙ］の最終ロットから工
程［Ｘ］への条件変更時間の登録時間とを比較する。そ
して、実績時間と登録時間との差が予め設定された更新
許容時間以内かどうかを調べる（ステップ３０３）。こ
こで、更新許容時間は、入力装置８０を用いて上限時間
と下限時間とを入力することにより設定される。すなわ
ち、演算処理部７２は、実績時間と登録時間との差が、
設定された上限時間と下限時間との間にあるかどうかを
判断する。The arithmetic processing unit 72 calculates the operation time acquired in step 301 and the actual time of the condition change time from the last lot of the process [Y] to the process [X], and step 302
And the registered time of the condition change time from the last lot of the process [Y] to the process [X]. Then, it is checked whether or not the difference between the actual time and the registration time is within a preset update allowable time (step 303). Here, the update allowable time is set by inputting the upper limit time and the lower limit time using the input device 80. That is, the arithmetic processing unit 72 determines that the difference between the actual time and the registration time is
It is determined whether the time is between the set upper limit time and lower limit time.
【００３４】実績時間と登録時間との差が更新許容時間
の範囲内にある場合は、本実施形態のロット搬送制御シ
ステムが正常に動作していることを示す。したがって、
さらに正確な搬送先の決定処理を実現するために、演算
処理部７２で搬送先を決定する処理において用いる記憶
部７３の第１の記憶領域７３ａの内容、すなわち登録さ
れている条件変更時間をステップ３０１で取得した実績
時間に置き換える（ステップ３０４）。そして、当該実
績時間の情報をホストコンピュター１０へ送信する（ス
テップ３０５）。When the difference between the actual time and the registration time is within the range of the update permissible time, it indicates that the lot transfer control system of this embodiment is operating normally. Therefore,
To realize more accurate destination determination processing, the contents of the first storage area 73a of the storage unit 73 used in the destination determination processing by the arithmetic processing unit 72, that is, the registered condition change time are set in steps. Replace with the actual time acquired in 301 (step 304). Then, the information on the actual time is transmitted to the host computer 10 (step 305).
【００３５】一方、実績時間と登録時間との差が更新許
容時間の範囲を越えている場合は、本実施形態のロット
搬送制御システムに何らかの以上が発生していることを
示す。したがって、記憶部７３の第１の記憶領域に登録
されている条件変更時間を更新せず（ステップ３０
６）、システムに以上が発生していることを通知する警
告を、表示メッセージその他の手段で出力する（ステッ
プ３０７）。その後、当該実績時間の情報をホストコン
ピュター１０へ送信する（ステップ３０５）。On the other hand, if the difference between the actual time and the registration time exceeds the range of the allowable update time, it indicates that something has occurred in the lot transfer control system of this embodiment. Therefore, the condition change time registered in the first storage area of the storage unit 73 is not updated (step 30).
6) A warning notifying that the above is occurring in the system is output by a display message or other means (step 307). After that, the information on the actual time is transmitted to the host computer 10 (step 305).
【００３６】図４は、本発明の他の実施形態によるロッ
ト搬送制御システムの構成を示すブロック図である。図
４を参照すると、本実施形態のロット搬送制御システム
は、製造ラインにおけるロットの搬送制御を行うホスト
コンピュータ１０と、ロットの搬送先の製造装置を決定
する搬送先決定装置９０とを備える。当該製造ライン
は、図１に示した第１の実施形態の場合と同様に、ホス
トコンピュータ１０に制御された、搬送棚（ロットスト
ッカー）２０と、製造装置４０、５０、６０と、搬送ロ
ボット３０とを備える。図４において、実線矢印は情報
の経路を示し、破線矢印は製品の流れを示す。なお、図
４には、本実施形態における特徴的な構成のみを記載
し、他の一般的な構成については記載を省略してある。FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a lot transfer control system according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, the lot transfer control system of the present embodiment includes a host computer 10 that controls the transfer of a lot on a manufacturing line, and a transfer destination determining device 90 that determines a manufacturing apparatus to which the lot is transferred. As in the case of the first embodiment shown in FIG. 1, the production line is controlled by a host computer 10 and includes a transport shelf (lot stocker) 20, manufacturing apparatuses 40, 50 and 60, and a transport robot 30. And In FIG. 4, a solid arrow indicates a path of information, and a broken arrow indicates a flow of a product. FIG. 4 shows only the characteristic configuration of the present embodiment, and the description of other general configurations is omitted.
【００３７】搬送先決定装置９０は、図４に示すよう
に、ロットの搬送先を決定するための演算を行う演算処
理部９２と、演算処理部９２による演算処理を制御する
演算制御部９１と、演算処理部９２による演算処理に用
いるデータを記憶する記憶部９３とを備える。本実施形
態の搬送先決定装置９０は、例えば、プログラム制御さ
れたＣＰＵとＲＡＭその他の内部メモリとで実現され
る。したがって、実際の運用においては、ホストコンピ
ュータ１０と搬送先決定装置９０とを物理的に同一のコ
ンピュータシステムにて構成し、搬送先決定装置９０の
制御シーケンスを、ホストコンピュータ１０における動
作として実現しても良い。ＣＰＵを制御して搬送先決定
装置９０の機能を実現するコンピュータプログラムは、
例えば磁気ディスクや光ディスク、半導体メモリ、その
他の一般的な記憶媒体に格納して提供される。As shown in FIG. 4, the transport destination determining device 90 includes an arithmetic processing unit 92 for performing an arithmetic operation for determining the destination of the lot, and an arithmetic control unit 91 for controlling the arithmetic processing by the arithmetic processing unit 92. And a storage unit 93 for storing data used for the arithmetic processing by the arithmetic processing unit 92. The transport destination determining device 90 of the present embodiment is realized by, for example, a CPU controlled by a program and a RAM or other internal memory. Therefore, in actual operation, the host computer 10 and the destination determining device 90 are physically configured by the same computer system, and the control sequence of the destination determining device 90 is realized as an operation in the host computer 10. Is also good. A computer program that controls the CPU to realize the function of the transfer destination determining device 90 includes:
For example, it is provided by being stored in a magnetic disk, an optical disk, a semiconductor memory, or another general storage medium.
【００３８】記憶部９３は、製造装置４０、５０、６０
の現在の状態に関する情報を格納する。具体的には、製
造装置４０、５０、６０の各々に関して、稼働状況と、
現在の使用条件と、最終ロット作業条件及びロット仕掛
かり状況と、仕掛かりロット作業終了予定時間とを、リ
アルタイムで更新しながら記憶する。すなわち、図１に
示した第１の実施形態における記憶部７３の第１の記憶
領域７３ａに相当する。本実施形態は、第１の実施形態
における記憶部７３の第２の記憶領域７３ｂに相当する
構成要素を備えていない。The storage unit 93 stores the manufacturing apparatuses 40, 50, 60
Stores information about the current state of. Specifically, for each of the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60, the operation status and
The current use conditions, final lot operation conditions, lot in-process status, and estimated in-process lot end time are stored while being updated in real time. That is, it corresponds to the first storage area 73a of the storage unit 73 in the first embodiment shown in FIG. This embodiment does not include a component corresponding to the second storage area 73b of the storage unit 73 in the first embodiment.
【００３９】演算処理部９２は、所定の工程［Ｘ］の作
業条件［Ｘ’］に基づいて、製造装置４０、５０、６０
が当該作業を実行可能かどうかを判定する。作業可否の
判定は、予め演算処理部９２に与えられている各製造装
置４０、５０、６０の使用条件に基づいて行われる。製
造装置４０、５０、６０の使用条件としては、例えば下
記のように、エネルギー、ドーズ量及びビーム電流の範
囲が定められる。 製造装置４０について １０＜エネルギー＜９０ １Ｅ１３ｃｍ-2＜ドーズ量 ＜１Ｅ１５ｃｍ-2 １．１ｍＡ＜ビーム電流＜２５ｍＡ 製造装置５０について １０＜エネルギー＜２５０ １Ｅ１２ｃｍ-2＜ドーズ量 ＜１Ｅ１４ｃｍ-2 １．０１ｍＡ＜ビーム電流＜２ｍＡ 製造装置６０について １０＜エネルギー＜３０００ １Ｅ１２ｃｍ-2＜ドーズ量 ＜１Ｅ１４ｃｍ-2 １．０１ｍＡ＜ビーム電流＜５ｍＡThe arithmetic processing unit 92 determines the manufacturing apparatus 40, 50, 60 based on the work condition [X '] of the predetermined process [X].
Judge whether the work can be executed. The determination as to whether or not work is possible is made based on the use conditions of the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 that are given to the arithmetic processing unit 92 in advance. As the use conditions of the manufacturing devices 40, 50, and 60, for example, the ranges of energy, dose, and beam current are determined as described below. About the manufacturing apparatus 40 10 <energy <90 1E13cm-2 <dose amount <1E15cm-2 1.1mA <beam current <25mA About the manufacturing apparatus 50 10 <energy <250 1E12cm-2 <dose amount <1E14cm-2 1.01mA < Beam current <2 mA Regarding the manufacturing apparatus 60 10 <energy <3000 1E12 cm -2 <dose <1E14 cm -2 1.01 mA <beam current <5 mA
【００４０】また、演算処理部９２は、作業条件
［Ｘ’］の作業を実行可能と判断された製造装置に関し
て、当該作業の実行にようする時間（作業時間）と、所
定の作業（作業条件［Ｙ’］）から当該作業へ移行する
移行する際の条件変更に要する時間（条件変更時間）と
を算出する。作業時間は、各製造装置４０、５０、６０
の使用条件に基づいて次式により算出される。 （作業時間）＝（ドーズ量）／（ビーム電流）＊定数Further, the arithmetic processing unit 92 determines, for the manufacturing apparatus determined to be capable of executing the work under the work condition [X ′], a time (work time) for executing the work and a predetermined work (work condition). [Y ′]) and the time required for changing the conditions when shifting to the work concerned (condition change time) are calculated. The working time is determined for each manufacturing apparatus 40, 50, 60.
Is calculated by the following equation based on the use condition of (Working time) = (Dose amount) / (Beam current) * Constant
【００４１】また、条件変更時間は、変更前後の作業条
件の種類に応じて製造装置４０、５０、６０ごとに予め
決定される。作業時間を計算する演算式と演算式に含ま
れる定数及び条件変更時間は、例えば記憶部９３に予め
格納し保持しておく。The condition change time is determined in advance for each of the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 in accordance with the types of work conditions before and after the change. The calculation formula for calculating the work time, the constants included in the calculation formula, and the condition change time are stored and held in advance in the storage unit 93, for example.
【００４２】さらに、演算処理部９２は、記憶部９３か
ら演算に必要なパラメータを受け取り、かつ上気算出さ
れた各製造装置４０、５０、６０における作業条件
［Ｘ’］の作業の作業時間及び他の所定の作業にて用い
られた最終ロットの使用条件（作業条件［Ｙ’］）から
作業条件［Ｘ’］の作業へ移行する際の条件変更時間を
用いて、予めプログラムされた演算式（下記、数２参
照）により演算を行う。そして、最短の作業時間で工程
［Ｘ］の作業を終了できるように決定された搬送コード
を演算制御部９１へ送る。Further, the arithmetic processing unit 92 receives the parameters required for the arithmetic operation from the storage unit 93, and calculates the work time and the operation time of the operation condition [X '] in each of the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 calculated above. An arithmetic expression programmed in advance using the condition change time when shifting from the use condition (work condition [Y ']) of the final lot used in another predetermined work to the work under the work condition [X']. (See Equation 2 below). Then, the transport code determined so that the operation of the process [X] can be completed in the shortest operation time is sent to the arithmetic and control unit 91.
【００４３】[0043]
【数２】 (Equation 2)
【００４４】演算制御部９１は、ホストコンピュター１
０から次の作業に関する情報を受け取り、当該作業が可
能かどうかを判断し、判断結果に応じて演算処理部９２
を制御する。そして、演算処理部９２の演算結果である
搬送コードを受け取り、ホストコンピュータ１０へ搬送
要求として送出する。ホストコンピュター１０から送ら
れる情報は、具体的には、搬送棚２０から製造装置４
０、５０、６０へ送る対象ロットの品名、ロットナンバ
ー、作業を行う工程［Ｘ］の作業条件［Ｘ’］を含む。
演算制御部７１は、これらの情報を受け取ると、まず製
造装置４０、５０、６０が当該作業条件［Ｘ’］の作業
を実行可能かどうか判断する。そして、作業可能と判断
した製造装置に関して、上述したように演算処理部７２
による演算を実行させ、演算結果である搬送先を示す搬
送コードをホストコンピュータ１０に返送する。The arithmetic control unit 91 is a host computer 1
From 0, information on the next work is received, it is determined whether or not the work is possible, and an arithmetic processing unit 92 is provided according to the determination result.
Control. Then, it receives the transport code, which is the result of calculation by the arithmetic processing unit 92, and sends it to the host computer 10 as a transport request. Specifically, the information sent from the host computer 10 is transmitted from the transport shelf 20 to the manufacturing apparatus 4.
The product name, lot number, and operation condition [X '] of the process [X] for performing the operation are included.
Upon receiving these pieces of information, the arithmetic control unit 71 first determines whether or not the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 can execute the work under the work condition [X ']. Then, as for the manufacturing apparatus determined to be operable, the processing unit 72
And returns a transport code indicating the transport destination as a result of the arithmetic operation to the host computer 10.
【００４５】ホストコンピュータ１０は、図１に示した
第１の実施形態におけるホストコンピュータ１０と同一
であり、搬送棚２０における貯蔵状況を管理し、搬送先
決定装置９０及び搬送ロボット３０を制御する。The host computer 10 is the same as the host computer 10 in the first embodiment shown in FIG. 1, manages the storage status in the transport shelf 20, and controls the transport destination determining device 90 and the transport robot 30.
【００４６】次に、図５及び図６のフローチャートを参
照して本実施形態の動作について説明する。図５は、本
実施形態により対象ロットの搬送先を決定し搬送するま
での動作を示すフローチャート、図６は、作業完了後の
動作を示すフローチャートである。Next, the operation of the present embodiment will be described with reference to the flowcharts of FIGS. FIG. 5 is a flowchart showing the operation from the determination of the transfer destination of the target lot to the transfer according to the present embodiment, and FIG. 6 is a flowchart showing the operation after the work is completed.
【００４７】図５を参照すると、まず、ホストコンピュ
ター１０が、次の工程（対象工程）［Ｘ］における作業
の対象として搬送棚２０から製造装置４０、５０、６０
へ送る対象ロットの品名、ロットナンバー、作業条件
［Ｘ’］を含む情報を、搬送先決定装置９０の演算制御
部９１に送る（ステップ５０１）。Referring to FIG. 5, first, the host computer 10 sends the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 from the transport shelf 20 as work targets in the next step (target step) [X].
The information including the product name, lot number, and work condition [X ′] of the target lot to be sent to the destination is sent to the arithmetic and control unit 91 of the transfer destination determining device 90 (step 501).
【００４８】演算制御部９１は、演算処理部９２を制御
して、受け取った情報中の作業条件と製造装置４０、５
０、６０の使用条件とに基づいて、当該作業を製造装置
４０、５０、６０で実行可能かどうかを判定する（ステ
ップ５０２）。ここで、当該作業を実行不可能と判断し
た製造装置は、以下の搬送先を決定する演算処理の対象
から除外する（ステップ５０９）。The arithmetic control unit 91 controls the arithmetic processing unit 92 to control the operation conditions and the manufacturing apparatuses 40, 5
Based on the usage conditions of 0 and 60, it is determined whether or not the work can be executed by the manufacturing apparatuses 40, 50 and 60 (step 502). Here, the manufacturing apparatus that has determined that the work cannot be executed is excluded from the following calculation processing for determining the transport destination (step 509).
【００４９】次に、演算制御部９１は、記憶部９３か
ら、作業可能と判断された製造装置における現在作業中
の工程［Ｙ］の仕掛かりロットの作業終了予定時間と、
最終ロットの使用条件［Ｙ’］とを読出して演算処理部
９２に引き渡す（ステップ５０３）。演算処理部９２
は、上述した演算式に基づいて、作業条件［Ｘ’］の作
業時間と、作業条件［Ｙ’］から作業条件［Ｘ’］へ変
更する場合の条件変更時間とを算出する。Next, the arithmetic control unit 91 reads from the storage unit 93 the estimated work end time of the in-process lot of the process [Y] currently in operation in the manufacturing apparatus determined to be operable,
The use condition [Y '] of the last lot is read and transferred to the arithmetic processing unit 92 (step 503). Arithmetic processing unit 92
Calculates the work time of the work condition [X '] and the condition change time when changing from the work condition [Y'] to the work condition [X '], based on the above-described arithmetic expression.
【００５０】次に、演算処理部９２は、ステップ５０３
で記憶部９３から読出したデータ及びステップ５０４で
算出されたデータを上述した演算式（数２）に代入し、
各製造装置４０、５０、６０における対象工程［Ｘ］の
作業完了時間を算出する。そして、得られた各製造装置
４０、５０、６０における作業完了時間を比較する（ス
テップ５０５）。そして、比較の結果、最短の作業時間
で対象工程［Ｘ］の作業を完了できると判断された製造
装置の搬送コードを搬送先として演算制御部７１に送る
（ステップ５０６）。ステップ５０６以降の動作は、図
２に示した第１の実施形態の動作フローチャートにおけ
るステップ２０６以降の動作と同様であるため、説明を
省略する。Next, the arithmetic processing unit 92 determines in step 503
Substitute the data read from the storage unit 93 and the data calculated in step 504 into the above-described arithmetic expression (Equation 2).
The work completion time of the target process [X] in each of the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 is calculated. Then, the obtained work completion times in the respective manufacturing apparatuses 40, 50 and 60 are compared (step 505). Then, as a result of the comparison, the transfer code of the manufacturing apparatus determined to be able to complete the work of the target process [X] in the shortest work time is sent to the arithmetic and control unit 71 as a transfer destination (step 506). The operation after step 506 is the same as the operation after step 206 in the operation flowchart of the first embodiment shown in FIG.
【００５１】次に、図６を参照すると、対象ロットに対
する作業が完了した製造装置４０、５０、６０は、作業
完了時刻、作業時間、作業条件等の情報を搬送先決定装
置９０へ送る（ステップ６０１）。搬送先決定装置９０
は、当該実績時間の情報をホストコンピュター１０へ送
信する（ステップ６０２）。Next, referring to FIG. 6, the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 that have completed the work for the target lot send information such as the work completion time, the work time, and the work conditions to the transfer destination determining apparatus 90 (step S1). 601). Transport destination determining device 90
Transmits the information on the actual time to the host computer 10 (step 602).
【００５２】以上のように、本実施形態によれば、搬送
先の決定に必要な情報と演算式とを予め与えておくこと
により、製造装置４０、５０、６０における所定の工程
［Ｘ］の作業時間等の可変情報を、内容が変化するたび
に入力する作業を省略できる。また、構成上も第１実施
形態における記憶部７３の第２の記憶領域７３ｂ（図１
参照）に相当する記憶手段を設ける必要がない。As described above, according to the present embodiment, the information necessary for determining the transport destination and the arithmetic expression are given in advance, so that the predetermined steps [X] in the manufacturing apparatuses 40, 50, and 60 can be performed. The work of inputting variable information such as work time every time the content changes can be omitted. Also, in terms of configuration, the second storage area 73b of the storage unit 73 in the first embodiment (FIG. 1)
(See Reference).
【００５３】以上好ましい実施例をあげて本発明を説明
したが、本発明は必ずしも上記実施例に限定されるもの
ではない。Although the present invention has been described with reference to the preferred embodiments, the present invention is not necessarily limited to the above embodiments.
【００５４】[0054]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のロット搬
送制御システム及びその搬送制御方法ならびに搬送制御
プログラムを格納した記憶媒体によれば、作業完了予定
時刻に基づいて作業を行わせる製造装置を選定するた
め、対象ロットを最短時間で次行程に進めることができ
る。これにより、製品ＴＡＴを短縮することができると
いう効果がある。As described above, according to the lot transfer control system, the transfer control method thereof, and the storage medium storing the transfer control program of the present invention, the manufacturing apparatus for performing the work based on the scheduled work completion time is provided. For selection, the target lot can be advanced to the next process in the shortest time. Thereby, there is an effect that the product TAT can be shortened.
【００５５】また、作業完了予定時刻に基づいて作業を
行わせる製造装置を選定するため、予め搬送コードを固
定する必要がなく、また、搬送先決定装置に予め記憶さ
れた工程名や各製造装置の使用条件に基づいて各製造装
置での作業の可否を判定するため、製造装置のメンテナ
ンス工数を削減し、さらに作業適用条件の範囲を広げる
ことできるという効果がある。Further, since the manufacturing apparatus for performing the operation is selected based on the estimated time of completion of the operation, it is not necessary to fix the transport code in advance, and the process names and the manufacturing apparatus stored in the destination determining apparatus in advance are not required. Since it is determined whether or not work can be performed in each manufacturing apparatus based on the use conditions, the number of maintenance steps of the manufacturing apparatus can be reduced, and the range of work application conditions can be further expanded.
【図１】 本発明の一実施形態によるロット搬送制御シ
ステムの構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of a lot transfer control system according to an embodiment of the present invention.
【図２】 本実施形態による搬送先決定処理の動作を示
すフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart illustrating an operation of a destination determining process according to the embodiment;
【図３】 製造装置において所定の作業が終了した後の
本実施形態の動作を示すフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart illustrating an operation of the present embodiment after a predetermined operation is completed in the manufacturing apparatus.
【図４】 本発明の他の実施形態によるロット搬送制御
システムの構成を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a lot transfer control system according to another embodiment of the present invention.
【図５】 本実施形態による搬送先決定処理の動作を示
すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart illustrating an operation of a destination determining process according to the embodiment;
【図６】 製造装置において所定の作業が終了した後の
本実施形態の動作を示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart illustrating an operation of the present embodiment after a predetermined operation is completed in the manufacturing apparatus.
１０ ホストコンピュータ ２０ 搬送棚（ロットストッカー） ３０ 搬送ロボット ４０、５０、６０ 製造装置 ７０、９０ 搬送先決定装置 ７１、９１ 演算制御部 ７２、９２ 演算処理部 ７３、９３ 記憶部 ７３ａ 第１の記憶領域 ７３ｂ 第２の記憶領域 ８０ 入力装置 REFERENCE SIGNS LIST 10 host computer 20 transfer shelf (lot stocker) 30 transfer robot 40, 50, 60 manufacturing device 70, 90 transfer destination determining device 71, 91 operation control unit 72, 92 operation processing unit 73, 93 storage unit 73a first storage area 73b Second storage area 80 Input device
─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成１１年１１月８日（１９９９．１１．
８）[Submission date] November 8, 1999 (1999.11.
8)
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】特許請求の範囲[Correction target item name] Claims
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【特許請求の範囲】[Claims]
【手続補正２】[Procedure amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００９[Correction target item name] 0009
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明は、搬送棚から製造対象であるロットを出庫して製
造装置へ搬送する作業を制御するロット搬送制御システ
ムにおいて、製造ラインに設けられた複数の前記製造装
置において所定の作業が実行可能かどうかを判断し、実
行可能と判断された前記製造装置のうちで、仕掛かりロ
ットの最終ロットの作業完了予定時刻と、仕掛かりロッ
トの最終ロットの作業から所定作業への条件変更時間
と、所定作業の作業時間を比較し、所定作業の作業完了
予定時刻が最も早いと判断された前記製造装置を選択し
て前記ロットの搬送先として決定することを特徴とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a lot transfer control system for controlling the operation of unloading a lot to be manufactured from a transfer shelf and transferring the lot to a manufacturing apparatus. It is determined whether or not a predetermined operation can be performed in the plurality of manufacturing apparatuses thus determined .
The estimated time of completion of work for the last lot of the
Condition change time from the last lot operation to the specified operation
And the work time of the specified work are compared, and the work of the specified work is completed.
The manufacturing apparatus determined to have the earliest scheduled time is selected and determined as a destination of the lot.
【手続補正３】[Procedure amendment 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１０[Correction target item name] 0010
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００１０】請求項２の本発明は、搬送棚から製造対象
であるロットを出庫して製造装置へ搬送する作業を制御
するロット搬送制御システムにおいて、製造ラインにお
けるロットの搬送制御を行う搬送制御手段と、製造ライ
ンに設けられた複数の前記製造装置の中からロットの搬
送先の前記製造装置を決定する搬送先決定手段とを備
え、前記搬送先決定手段が、前記製造装置において所定
の作業が実行可能かどうかを判断し、実行可能と判断さ
れた前記製造装置において、仕掛かりロットの最終ロッ
トの作業完了予定時刻と、仕掛かりロットの最終ロット
の作業から所定作業への条件変更時間と、所定作業の作
業時間を比較し、所定作業の作業完了予定時刻が最も早
いと判断された前記製造装置を選択して前記ロットの搬
送先として決定する演算手段と、前記演算手段による処
理に用いるデータを格納した記憶手段とを備えることを
特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a lot transfer control system for controlling an operation of unloading a lot to be manufactured from a transfer shelf and transferring the lot to a manufacturing apparatus, wherein the transfer control means controls the transfer of the lot in the manufacturing line. And a destination determining means for determining the manufacturing apparatus to which the lot is to be transported from among the plurality of manufacturing apparatuses provided on the manufacturing line, wherein the destination determining means performs a predetermined operation in the manufacturing apparatus. It is determined whether or not it is feasible, and in the manufacturing apparatus determined to be feasible, the final lot of the in-process lot is determined.
Scheduled work completion time and the final lot of the in-process lot
The time required to change the condition from
Work time is compared and the scheduled completion time of the specified work is the earliest
And a storage unit for storing data used for processing by the arithmetic unit, wherein the arithmetic unit is configured to select the manufacturing apparatus determined to be good and determine it as a destination of the lot.
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１１[Correction target item name] 0011
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００１１】請求項３の本発明のロット搬送制御システ
ムは、前記記憶手段が、前記製造装置の現在の状態に関
する情報として、稼働状況と、現在の使用条件と、最終
ロットの作業条件及びロット仕掛かり状況と、仕掛かり
ロットの作業終了予定時間とを、リアルタイムで更新し
ながら記憶すると共に、前記製造装置の動作条件に関す
る情報として、各製造装置における所定の工程の作業時
間と、他の所定の工程における最終ロットの作業条件か
ら前記所定の工程へ移行する際の条件変更時間と、各製
造装置において作業可能な工程とを記憶し、前記演算手
段が、前記搬送制御手段から次の作業に関して該作業の
工程名を含む情報を受け取り、前記記憶手段に格納され
ている前記動作条件に関する情報のうちの作業可能な工
程と前記搬送制御手段から受け取った工程名とを比較す
ることにより、前記製造装置ごとに前記次の作業が実行
可能かどうかを判断し、前記記憶手段に格納された前記
製造装置の現在の状態に関する情報及び前記製造装置の
動作条件に関する情報に基づき、所定の演算式を用いて
前記次の作業を終了するまでに要する時間を計算するこ
とを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, in the lot transfer control system according to the third aspect of the present invention, the storage means may store an operation status, a current use condition, and a final status as information on a current state of the manufacturing apparatus.
Lot working conditions, lot work in progress, and work in progress
The scheduled work end time of the lot is stored while being updated in real time, and the work time of a predetermined process in each manufacturing device and the work of the final lot in another predetermined process are stored as information on the operating conditions of the manufacturing device. A condition change time when shifting from a condition to the predetermined process and a process that can be performed in each manufacturing apparatus are stored, and the arithmetic unit includes a process name of the next operation from the transport control unit. Receiving the information, and comparing the operable process in the information on the operating condition stored in the storage unit with the process name received from the transport control unit, so that the next operation is performed for each of the manufacturing apparatuses. Is determined whether or not the information can be executed, and the information regarding the current state of the manufacturing apparatus stored in the storage unit and the operating condition of the manufacturing apparatus. Based on distribution, and calculates the time required to finish the next work using a predetermined arithmetic expression.
【手続補正５】[Procedure amendment 5]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１２[Correction target item name] 0012
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００１２】請求項４の本発明のロット搬送制御システ
ムは、前記記憶手段が、前記製造装置の現在の状態に関
する情報として、稼働状況と、現在の使用条件と、最終
ロットの作業条件及びロット仕掛かり状況と、仕掛かり
ロットの作業終了予定時間とを、リアルタイムで更新し
ながら記憶すると共に、前記製造装置の使用条件と、各
製造装置における所定の作業条件の作業に要する作業時
間を計算するための演算式と、各製造装置において他の
所定の作業における最終ロットの作業条件から前記所定
の作業条件へ移行する際の条件変更時間を計算するため
の演算式とを記憶し、前記演算手段が、前記搬送制御手
段から次の作業に関する情報を受け取り、該情報と前記
製造装置の使用条件とに基づいて、前記製造装置ごとに
前記次の作業が実行可能かどうかを判断し、前記搬送制
御手段から受け取った情報に基づき、所定の演算式を用
いて、前記次の作業が実行可能であると判断された前記
製造装置における前記次の作業の実行に要する作業時間
と、該製造装置における現在の作業の最終ロットの作業
条件から前記次の作業へ移行する際の条件変更時間とを
計算し、前記記憶手段に格納された前記製造装置の現在
の状態に関する情報と、算出された前記作業時間及び前
記条件変更時間とに基づき、所定の演算式を用いて前記
次の作業を終了するまでに要する時間を計算することを
特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, in the lot transportation control system according to the present invention, the storage means stores information on a current state of the manufacturing apparatus, an operation status, a current use condition, and a final use condition.
Lot working conditions, lot work in progress, and work in progress
The scheduled end time of the work of the lot is stored while being updated in real time, and the use condition of the manufacturing apparatus and an operation formula for calculating the work time required for the operation of the predetermined work condition in each manufacturing apparatus, An arithmetic expression for calculating a condition change time when shifting from the work condition of the last lot in the other predetermined work to the predetermined work condition in the manufacturing apparatus is stored, and the calculation unit is configured to store Receiving information on the next operation, determining whether the next operation can be performed for each of the manufacturing devices based on the information and the use conditions of the manufacturing device, and based on the information received from the transport control unit. Using a predetermined arithmetic expression, the operation time required to execute the next operation in the manufacturing apparatus determined that the next operation is executable, and Calculating the condition change time when shifting to the next operation from the operation condition of the last lot of the current operation, and information on the current state of the manufacturing apparatus stored in the storage means; Based on the work time and the condition change time, a time required for completing the next work is calculated using a predetermined arithmetic expression.
【手続補正６】[Procedure amendment 6]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１３[Correction target item name] 0013
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００１３】上記の目的を達成する他の本発明は、搬送
棚から製造対象であるロットを出庫して製造装置へ搬送
する作業を制御するロットの搬送制御方法において、前
記製造装置において次の作業が実行可能かどうかを判断
するステップと、実行可能と判断された前記製造装置に
おいて、仕掛かりロットの最終ロットの作業完了予定時
刻と、仕掛かりロットの最終ロットの作業から前記次の
作業への条件変更時間と、前記次の作業の作業時間か
ら、前記次の作業の作業完了予定時刻を算出するステッ
プと、算出された前記次の作業の作業完了予定時刻が最
も早い前記製造装置を選択して前記ロットの搬送先とし
て決定するステップと、前記搬送先決定ステップにて決
定された搬送先の前記製造装置に前記次の作業に用いる
ロットを搬送するように搬送制御を行うステップとを含
むことを特徴とする。 Another object of the present invention to achieve the above object is to provide a lot transfer control method for controlling a work of unloading a lot to be manufactured from a transfer shelf and transferring the lot to a manufacturing apparatus. Deciding whether or not the work can be executed, and when the work of the last lot of the in-process lot is scheduled to be completed in the manufacturing apparatus judged to be executable
From the work of the last lot of the in-process lot
The time to change the condition to the work and the work time for the next work
Al, a step <br/> flops for calculating a scheduled task completion time of the next work, job completion scheduled time of the next work is calculated top
Deciding the manufacturing apparatus as the destination of the lot by selecting the earlier manufacturing apparatus, and transporting the lot to be used for the next operation to the manufacturing apparatus at the destination determined in the destination determining step. Controlling) .
【手続補正７】[Procedure amendment 7]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１４[Correction target item name] 0014
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００１４】請求項６の本発明のロットの搬送制御方法
は、前記作業可否判断ステップにおいて、前記次の作業
の工程名と予め前記製造装置ごとに設定された作業可能
な工程名とを比較することにより、所定の前記製造装置
で前記次の作業が実行可能かどうかを判断することを特
徴とする。According to a sixth aspect of the present invention, in the lot transfer control method of the present invention, in the work availability determination step, the next work
Process name and work set in advance for each of the manufacturing equipment
By comparing the process name with the
It is characterized in that whether or not the next operation can be executed is determined .
【手続補正８】[Procedure amendment 8]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００３５[Correction target item name] 0035
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００３５】一方、実績時間と登録時間との差が更新許
容時間の範囲を越えている場合は、本実施形態のロット
搬送制御システムに何らかの異常が発生していることを
示す。したがって、記憶部７３の第１の記憶領域に登録
されている条件変更時間を更新せず（ステップ３０
６）、システムに異常が発生していることを通知する警
告を、表示メッセージその他の手段で出力する（ステッ
プ３０７）。その後、当該実績時間の情報をホストコン
ピュター１０へ送信する（ステップ３０５）。On the other hand, if the difference between the actual time and the registration time exceeds the allowable update time range, it indicates that some abnormality has occurred in the lot transfer control system of the present embodiment. Therefore, the condition change time registered in the first storage area of the storage unit 73 is not updated (step 30).
6) A warning notifying that an error has occurred in the system is output by a display message or other means (step 307). After that, the information on the actual time is transmitted to the host computer 10 (step 305).
【手続補正９】[Procedure amendment 9]
【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing
【補正対象項目名】図４[Correction target item name] Fig. 4
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【図４】 FIG. 4
Claims (10)
して製造装置へ搬送する作業を制御するロット搬送制御
システムにおいて、 製造ラインに設けられた複数の前記製造装置において所
定の作業が実行可能かどうかを判断し、実行可能と判断
された前記製造装置のうちで、前記所定の作業を終了す
るまでに要する時間が最短である前記製造装置を選択し
て前記ロットの搬送先として決定することを特徴とする
ロット搬送制御システム。1. A lot transfer control system for controlling a work of unloading a lot to be manufactured from a transfer shelf and transferring the lot to a manufacturing apparatus, wherein a predetermined work can be executed in a plurality of the manufacturing apparatuses provided on a manufacturing line. And determining, from among the manufacturing apparatuses determined to be feasible, the manufacturing apparatus that requires the shortest time to complete the predetermined work and determining it as the destination of the lot. A lot transfer control system characterized by the following.
して製造装置へ搬送する作業を制御するロット搬送制御
システムにおいて、 製造ラインにおけるロットの搬送制御を行う搬送制御手
段と、 製造ラインに設けられた複数の前記製造装置の中からロ
ットの搬送先の前記製造装置を決定する搬送先決定手段
とを備え、 前記搬送先決定手段が、 前記製造装置において所定の作業が実行可能かどうかを
判断し、実行可能と判断された前記製造装置において前
記所定の作業を実行した場合における前記所定の作業を
終了するまでに要する時間を計算し、算出された前記所
定の作業を終了するまでに要する時間が最短である前記
製造装置を選択して前記ロットの搬送先として決定する
演算手段と、 前記演算手段による処理に用いるデータを格納した記憶
手段とを備えることを特徴とするロット搬送制御システ
ム。2. A lot transfer control system for controlling an operation of unloading a lot to be manufactured from a transfer shelf and transferring the lot to a manufacturing apparatus, comprising: transfer control means for controlling the transfer of lots on the manufacturing line; And a destination determining unit that determines the manufacturing device to which the lot is to be transported from among the plurality of the manufactured devices, wherein the destination determining unit determines whether a predetermined operation can be performed in the manufacturing device. Calculating the time required to complete the predetermined operation when the predetermined operation is performed in the manufacturing apparatus determined to be executable; and calculating the calculated time required to complete the predetermined operation. Calculating means for selecting the shortest manufacturing apparatus and determining the lot as a transport destination, and storing data used for processing by the calculating means. Lot conveyance control system, comprising a 憶 means.
況と、現在の使用条件と、最終ロット作業条件及びロッ
ト仕掛かり状況と、仕掛かりロット作業終了予定時間と
を、リアルタイムで更新しながら記憶すると共に、 前記製造装置の動作条件に関する情報として、各製造装
置における所定の工程の作業時間と、他の所定の工程に
おける最終ロットの作業条件から前記所定の工程へ移行
する際の条件変更時間と、各製造装置において作業可能
な工程とを記憶し、 前記演算手段が、 前記搬送制御手段から次の作業に関して該作業の工程名
を含む情報を受け取り、前記記憶手段に格納されている
前記動作条件に関する情報のうちの作業可能な工程と前
記搬送制御手段から受け取った工程名とを比較すること
により、前記製造装置ごとに前記次の作業が実行可能か
どうかを判断し、 前記記憶手段に格納された前記製造装置の現在の状態に
関する情報及び前記製造装置の動作条件に関する情報に
基づき、所定の演算式を用いて前記次の作業を終了する
までに要する時間を計算することを特徴とする請求項２
に記載のロット搬送制御システム。3. The storage means includes, as information relating to a current state of the manufacturing apparatus, an operation status, a current use condition, a final lot operation condition and a lot in-process status, an in-process lot operation end scheduled time, and the like. Is stored while being updated in real time, and as information on the operating conditions of the manufacturing apparatus, the operation time of a predetermined process in each manufacturing apparatus and the operation condition of the final lot in another predetermined process are transferred to the predetermined process. A condition change time at the time of shifting and a process that can be performed in each manufacturing apparatus are stored. The arithmetic unit receives information including a process name of the next operation from the transport control unit, and the storage unit By comparing the operable process in the information on the operating condition stored in the process condition with the process name received from the transfer control unit. Determining whether the next operation can be performed for each of the manufacturing apparatuses, and performing a predetermined calculation based on the information on the current state of the manufacturing apparatus and the information on the operating conditions of the manufacturing apparatus stored in the storage unit. 3. The method according to claim 2, wherein a time required to complete the next operation is calculated using an equation.
Lot transfer control system described in 1.
況と、現在の使用条件と、最終ロット作業条件及びロッ
ト仕掛かり状況と、仕掛かりロット作業終了予定時間と
を、リアルタイムで更新しながら記憶すると共に、 前記製造装置の使用条件と、各製造装置における所定の
作業条件の作業に要する作業時間を計算するための演算
式と、各製造装置において他の所定の作業における最終
ロットの作業条件から前記所定の作業条件へ移行する際
の条件変更時間を計算するための演算式とを記憶し、 前記演算手段が、 前記搬送制御手段から次の作業に関する情報を受け取
り、該情報と前記製造装置の使用条件とに基づいて、前
記製造装置ごとに前記次の作業が実行可能かどうかを判
断し、 前記搬送制御手段から受け取った情報に基づき、所定の
演算式を用いて、前記次の作業が実行可能であると判断
された前記製造装置における前記次の作業の実行に要す
る作業時間と、該製造装置における現在の作業の最終ロ
ットの作業条件から前記次の作業へ移行する際の条件変
更時間とを計算し、 前記記憶手段に格納された前記製造装置の現在の状態に
関する情報と、算出された前記作業時間及び前記条件変
更時間とに基づき、所定の演算式を用いて前記次の作業
を終了するまでに要する時間を計算することを特徴とす
る請求項２に記載のロット搬送制御システム。4. The storage means includes, as information on a current state of the manufacturing apparatus, an operation status, a current use condition, a final lot operation condition and a lot in-process status, and a scheduled end time of the in-process lot operation. Is stored while being updated in real time, and the use condition of the manufacturing apparatus, an operation formula for calculating a work time required for work of a predetermined work condition in each manufacturing apparatus, and another predetermined And an arithmetic expression for calculating a condition change time when shifting from the work condition of the last lot to the predetermined work condition in the work, wherein the calculating means receives information on the next work from the transport control means Determining whether or not the next operation can be performed for each of the manufacturing apparatuses based on the information and the use conditions of the manufacturing apparatus; Based on the received information, using a predetermined arithmetic expression, the work time required to execute the next work in the manufacturing apparatus determined that the next work is executable, and the current time in the manufacturing apparatus Calculate the condition change time when shifting to the next work from the work condition of the final lot of the work, information on the current state of the manufacturing apparatus stored in the storage unit, the calculated work time and 3. The lot transfer control system according to claim 2, wherein a time required until the next operation is completed is calculated using a predetermined arithmetic expression based on the condition change time. 4.
して製造装置へ搬送する作業を制御するロットの搬送制
御方法において、 前記製造装置において次の作業が実行可能かどうかを判
断するステップと、 実行可能と判断された前記製造装置において前記次の作
業を実行した場合における前記次の作業を終了するまで
に要する時間を計算するステップと、 算出された前記次の作業を終了するまでに要する時間が
最短である前記製造装置を選択して前記ロットの搬送先
として決定するステップと、 前記搬送先決定ステップにて決定された搬送先の前記製
造装置に前記次の作業に用いるロットを搬送するように
搬送制御を行うステップとを含むことを特徴とするロッ
トの搬送制御方法。5. A lot transfer control method for controlling a work of unloading a lot to be manufactured from a transfer shelf and transferring the lot to a manufacturing apparatus, comprising the steps of: determining whether a next work is executable in the manufacturing apparatus; Calculating the time required to complete the next operation when the next operation is performed in the manufacturing apparatus determined to be executable; and calculating the time required to complete the calculated next operation. Selecting the manufacturing apparatus with the shortest time and determining the lot as a destination of the lot; and transferring the lot used for the next operation to the manufacturing apparatus of the destination determined in the destination determining step. Carrying out transport control as described above.
れた作業可能な工程名とを比較することにより、所定の
前記製造装置で前記次の作業が実行可能かどうかを判断
し、 前記作業終了時間計算ステップにおいて、 製造工程ごとに設定された作業時間と他の作業条件から
該工程へ移行する際の条件変更時間とに基づき、所定の
演算式を用いて前記次の作業を終了するまでに要する時
間を計算することを特徴とする請求項５に記載のロット
の搬送制御方法。6. In the work availability determination step, by comparing a process name of the next work with a workable process name set in advance for each of the manufacturing devices, the next manufacturing process in the predetermined manufacturing device is performed. It is determined whether or not the work can be performed. In the work end time calculation step, a predetermined calculation is performed based on a work time set for each manufacturing process and a condition change time when shifting to the process from other work conditions. 6. The method according to claim 5, wherein a time required for completing the next operation is calculated using an equation.
された使用条件とに基づいて、前記製造装置ごとに前記
次の作業が実行可能かどうかを判断し、 前記作業終了時間計算ステップが、 前記次の作業の作業条件に基づき、所定の演算式を用い
て、前記次の作業が実行可能であると判断された前記製
造装置における前記次の作業の実行に要する作業時間
と、該製造装置における現在の作業の最終ロットの作業
条件から前記次の作業へ移行する際の条件変更時間とを
計算するステップと、 前記製造装置の現在の状態に関する情報と、算出された
前記作業時間及び前記条件変更時間とに基づき、所定の
演算式を用いて前記次の作業を終了するまでに要する時
間を計算するステップとを含むことを特徴とする請求項
５に記載のロットの搬送制御方法。7. In the work availability determination step, whether or not the next work can be executed for each of the manufacturing apparatuses based on work conditions of the next work and use conditions set in advance for each of the manufacturing apparatuses. The work end time calculation step, based on the work conditions of the next work, using a predetermined arithmetic expression, the next work in the manufacturing device determined that the next work is executable Calculating a work time required to execute the work, and a condition change time at the time of shifting from the work condition of the last lot of the current work in the manufacturing apparatus to the next work, and a current state of the manufacturing apparatus. Calculating a time required for completing the next work using a predetermined arithmetic expression based on the information and the calculated work time and the condition change time. Conveyance control method of a lot of claim 5, wherein.
して製造装置へ搬送する作業を制御するロット搬送制御
システムの動作制御を行う制御プログラムを格納した記
憶媒体において、 前記製造装置において次の作業が実行可能かどうかを判
断するステップと、 実行可能と判断された前記製造装置において前記次の作
業を実行した場合における前記次の作業を終了するまで
に要する時間を計算するステップと、 算出された前記次の作業を終了するまでに要する時間が
最短である前記製造装置を選択して前記ロットの搬送先
として決定するステップと、 前記搬送先決定ステップにて決定された搬送先の前記製
造装置に前記次の作業に用いるロットを搬送するように
搬送制御を行うステップとを含むことを特徴とする制御
プログラムを格納した記憶媒体。8. A storage medium storing a control program for performing an operation control of a lot transfer control system for controlling operations of unloading a lot to be manufactured from a transfer shelf and transferring the lot to a manufacturing apparatus, wherein: Determining whether the work is executable; and calculating the time required to finish the next work when the next operation is performed in the manufacturing apparatus determined to be executable. Selecting the manufacturing apparatus that requires the shortest time to complete the next operation and determining the manufacturing apparatus as the destination of the lot; and the manufacturing apparatus of the destination determined in the destination determining step. Controlling the transport so as to transport the lot to be used for the next operation.憶媒 body.
可否判断ステップにおいて、 前記次の作業の工程名と予め前記製造装置ごとに設定さ
れた作業可能な工程名とを比較することにより、所定の
前記製造装置で前記次の作業が実行可能かどうかを判断
し、 前記制御プログラムに含まれる前記作業終了時間計算ス
テップにおいて、 製造工程ごとに設定された作業時間と他の作業条件から
該工程へ移行する際の条件変更時間とに基づき、所定の
演算式を用いて前記次の作業を終了するまでに要する時
間を計算することを特徴とする請求項８に記載の制御プ
ログラムを格納した記憶媒体。9. In the work availability determination step included in the control program, by comparing a process name of the next work with a workable process name set in advance for each of the manufacturing apparatuses, It is determined whether or not the next operation can be performed by the manufacturing apparatus, and in the operation end time calculation step included in the control program, the process shifts from the operation time set for each manufacturing process and other operation conditions to the process. 9. A storage medium storing a control program according to claim 8, wherein a time required for completing the next operation is calculated using a predetermined arithmetic expression based on the condition change time at that time.
業可否判断ステップにおいて、 前記次の作業の作業条件と予め前記製造装置ごとに設定
された使用条件とに基づいて、前記製造装置ごとに前記
次の作業が実行可能かどうかを判断し、 前記制御プログラムに含まれる前記作業終了時間計算ス
テップが、 前記次の作業の作業条件に基づき、所定の演算式を用い
て、前記次の作業が実行可能であると判断された前記製
造装置における前記次の作業の実行に要する作業時間
と、該製造装置における現在の作業の最終ロットの作業
条件から前記次の作業へ移行する際の条件変更時間とを
計算するステップと、 前記製造装置の現在の状態に関する情報と、算出された
前記作業時間及び前記条件変更時間とに基づき、所定の
演算式を用いて前記次の作業を終了するまでに要する時
間を計算するステップとを含むことを特徴とする請求項
８に記載の制御プログラムを格納した記憶媒体。10. The work availability determination step included in the control program, wherein, based on work conditions for the next work and use conditions set in advance for each of the manufacturing devices, the next Determining whether the work is executable, the work end time calculation step included in the control program, based on a work condition of the next work, using a predetermined arithmetic expression, the next work is executable Calculate the work time required to execute the next work in the manufacturing apparatus determined to be present and the condition change time when shifting from the work condition of the last lot of the current work in the manufacturing apparatus to the next work. Performing, based on the information on the current state of the manufacturing apparatus, the calculated work time and the condition change time, using a predetermined arithmetic expression, Storage medium storing a control program according to claim 8, characterized in that it comprises the step of calculating a time required to finish the work.
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