DE60306438T2 - Method and apparatus for decomposing semiconductor device patterns in phase and chrome regions for chromium-free phase lithography - Google Patents

Method and apparatus for decomposing semiconductor device patterns in phase and chrome regions for chromium-free phase lithography Download PDF

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft im allgemeinen die Erzeugung eines Maskenmusters zur Verwendung mit chromfreien Phasenlithographieverfahren und insbesondere zur Zerlegung eines Zieldesigns in ein entsprechendes Maskenmuster, das Strukturen unter Verwendung von sowohl Chrom- als auch Phasenverschiebungsverfahren druckt. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von Bauelementen unter Verwendung einer lithographischen Vorrichtung, die ein Strahlungssystem zur Bereitstellung eines Projektionsstrahls aus Strahlung, einen Maskentisch zum Halten einer Maske, die dazu dient, den Projektionsstrahl mit einem Muster zu versehen, einen Substrattisch zum Halten eines Substrats und ein Projektionssystem zum Projizieren des gemusterten Projektionsstrahls auf einen Zielabschnitt des Substrats umfasst.The The present invention generally relates to the production of a Mask pattern for use with chromium-free phase lithography method and in particular for decomposing a target design into a corresponding one Mask pattern that features structures using both chrome as well as phase shift printing. Furthermore, the The present invention relates to a method of manufacturing devices using a lithographic apparatus comprising a radiation system for providing a projection beam of radiation, a Mask table for holding a mask that serves to project the projection beam to provide a pattern, a substrate table for holding a Substrate and a projection system for projecting the patterned Projection beam to a target portion of the substrate comprises.

Lithographische Projektionsvorrichtungen (Werkzeuge) können beispielsweise für die Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) verwendet werden. In so einem Fall enthält die Maske ein Schaltungsmuster entsprechend einer einzelnen Schicht der integrierten Schaltung und dieses Muster kann auf einen Zielabschnitt (der z.B. einen oder mehrere Dies enthält) auf einem Substrat (Silizium-Wafer), das mit einer Schicht aus strahlungssensitivem Material (Schutzlack) überzogen worden ist, abgebildet werden. Im allgemeinen enthält ein einzelner Wafer ein ganzes Netzwerk benachbarter Zielabschnitte, die sukzessive einer nach dem anderen durch das Projektionssystem bestrahlt werden. Bei einer Art von lithographischer Projektionsvorrichtung wird jeder Zielabschnitt bestrahlt, indem das gesamte Maskenmuster in einem Schritt auf den Zielabschnitt aufgebracht wird; eine derartige Vorrichtung wird im allgemeinen als Wafer-Stepper bezeichnet. Bei einer anderen Vorrichtung – die im allgemeinen als Step-and-Scan-Vorrichtung bezeichnet wird – wird jeder Zielabschnitt bestrahlt, indem das Maskenmuster unter dem Projektionsstrahl in einer vorbestimmten Referenzrichtung (der „Scan"-Richtung) fortschreitend abgetastet wird, während der Substrattisch parallel oder antiparallel zu dieser Richtung synchron abgetastet wird; da das Projektionssystem im allgemeinen einen Vergrößerungsfaktor M (im allgemeinen < 1) aufweist, ist die Geschwindigkeit V, bei welcher der Substrattisch abgetastet wird, um einen Faktor M mal so groß wie diejenige, bei welcher der Maskentisch abgetastet wird. Weitere Informationen hinsichtlich lithographischer Vorrichtungen, wie sie hier beschrieben sind, können beispielsweise der US 6,046,792 entnommen werden.Lithographic projection devices (tools) can be used, for example, for the production of integrated circuits (ICs). In such a case, the mask includes a circuit pattern corresponding to a single layer of the integrated circuit and this pattern may be applied to a target portion (eg containing one or more dies) on a substrate (silicon wafer) coated with a layer of radiation-sensitive material (resist ) has been covered. In general, a single wafer will contain a whole network of adjacent target portions, which will be successively irradiated one at a time by the projection system. In one type of lithographic projection apparatus, each target portion is irradiated by applying the entire mask pattern to the target portion in one step; Such a device is generally referred to as a wafer stepper. In another device - commonly referred to as a step-and-scan device - each target section is irradiated by progressively scanning the mask pattern under the projection beam in a predetermined reference direction (the "scan" direction) while the substrate table is parallel since the projection system generally has a magnification factor M (generally <1), the velocity V at which the substrate table is scanned is a factor M times that at which the velocity .multidot Further information regarding lithographic devices as described herein may be provided, for example, in U.S. Pat US 6,046,792 be removed.

Bei einem Herstellungsprozess, bei dem eine lithographische Projektionsvorrichtung eingesetzt wird, wird ein Maskenmuster auf ein Substrat abgebildet, das zumindest teilweise von einer Schicht aus strahlungsempfindlichem Material (Resist) bedeckt ist. Vor diesem Abbildungsschritt kann das Substrat mehreren Verfahrensschritten unterzogen werden, wie z.B. Grundieren, Schutzlackbeschichtung und ein Softbake. Nach der Belichtung kann das Substrat weiteren Verfahrensschritten ausgesetzt werden, wie z.B. Post-Exposurebake (PEB), Entwicklung, Hardbake und Messen/Inspizieren der abgebildeten Strukturen. Diese Folge von Verfahrensschritten wird als Basis verwendet, um eine einzelne Schicht eines Bauelements, z.B. einer integrierten Schaltung, mit einem Muster zu versehen. Eine derart gemusterte Schicht kann dann mehreren Verfahrensschritten wie z.B. Ätzen, Ionenimplantation (Doping), Metallisierung, Oxydation, chemo-mechanisches Polieren etc. ausgesetzt werden, die alle dazu dienen, eine einzelne Schicht fertig zu stellen. Sind mehrere Schichten erforderlich, muss die gesamte Prozedur, oder eine Variante davon, für jede neue Schicht wiederholt werden. Schließlich befindet sich eine Gruppe von Bauelementen auf dem Substrat (Wafer). Diese Elemente werden dann durch ein Verfahren wie z.B. Teilen (Dicing) oder Sägen voneinander getrennt. Danach können die einzelnen Elemente auf einen Träger montiert, an Pins angeschlossen werden, etc.. Weitere Informationen hinsichtlich derartiger Verfahrensschritte können zum Beispiel dem Buch „Microchip Fabrication: A Practical Guide to Semiconductor Processing", 3. Ausgabe, von Peter van Zant, McGraw Hill Publishing Co., 1997, ISBN 0-07-067250-4 entnommen werden.at a manufacturing process in which a lithographic projection apparatus is used, a mask pattern is imaged onto a substrate, that at least partially from a layer of radiation-sensitive Material (resist) is covered. Before this imaging step, the Substrate are subjected to several process steps, such. Priming, protective coating and a softbake. After the exposure can the substrate are subjected to further process steps, such as e.g. Post-Exposurebake (PEB), Development, Hardbake and Measuring / Inspecting the depicted structures. This sequence of process steps is used as a basis to form a single layer of a device, e.g. an integrated circuit to provide a pattern. A such patterned layer can then several steps such as. Etching, Ion implantation (doping), metallization, oxidation, chemo-mechanical Polishing etc. are exposed, all of which serve a single one Finish shift. If multiple layers are required, must have the entire procedure, or a variant of it, for each new one Be repeated layer. Finally there is a group of components on the substrate (wafer). These elements will be then by a method such as Divide (dicing) or sawing each other separated. After that you can the individual elements mounted on a support, connected to pins etc., for further information regarding such process steps can for example the book "Microchip Fabrication: A Practical Guide to Semiconductor Processing ", 3rd Edition, by Peter van Zant, McGraw Hill Publishing Co., 1997, ISBN 0-07-067250-4 be removed.

Das lithographische Werkzeug kann derart sein, dass es zwei oder mehr Substrattische (und/oder zwei oder mehr Maskentische) aufweist. Bei derartigen „mehrstufigen" Geräten können die zusätzlichen Tische parallel verwendet werden, bzw. es können an einem oder an mehreren Tischen vorbereitende Schritte durchgeführt werden, während ein oder mehrere weitere Tische für Belichtungen verwendet werden. Zweistufige lithographische Vorrichtungen sind zum Beispiel in der US 5,969,441 und in der WO 98/40791 beschrieben.The lithographic tool may be such that it has two or more substrate tables (and / or two or more mask tables). In such "multi-stage" devices, the additional tables may be used in parallel, or preparatory steps may be performed on one or more tables while one or more other tables are being used for exposures US 5,969,441 and described in WO 98/40791.

Die vorstehend genannten photolithographischen Masken umfassen geometrische Muster, die den Schaltungskomponenten entsprechen, die auf einen Silizium-Wafer aufgebracht werden sollen. Die für die Herstellung derartiger Masken verwendeten Muster werden unter Verwendung von CAD-Programmen (rechnergestützte Programme) erzeugt, wobei dieser Vorgang oft mit EDA (Electronic Design Automation) bezeichnet wird. Die meisten CAD-Programme folgen bei der Herstellung von Funktionsmasken einem Satz von vorab bestimmten Designregeln. Diese Regeln sind durch Bearbeitungs- und Designeinschränkungen festgelegt. Beispielsweise definieren Designregeln die Abstandstoleranz zwischen Schaltungselementen (wie Gates, Kondensatoren etc.) oder Verbindungsleitungen, um dadurch gewährleisten zu können, dass sich die Schaltungselemente oder -leitungen nicht auf unerwünschte Weise gegenseitig beeinflussen.The above-mentioned photolithographic masks include geometric patterns corresponding to the circuit components to be applied to a silicon wafer. The patterns used to make such masks are generated using CAD (Computer Aided Program) programs, often referred to as EDA (Electronic Design Automation). Most CAD programs follow a set of pre-determined design rules when making function masks. These rules are determined by editing and design restrictions. For example, design rules define the spacing tolerance between circuit elements (such as gates, capacitors, etc.) or interconnect lines to thereby provide To ensure that the circuit elements or lines do not interfere with each other in an undesirable way.

Selbstverständlich besteht eins der Ziele bei der Herstellung integrierter Schaltungen darin, das ursprüngliche Schaltungsmuster gewissenhaft auf den Wafer (durch die Maske) zu reproduzieren. Ein weiteres Ziel ist es, so viel wie möglich von der Masse des Halbleiter-Wafers zu verwenden. Da die Größe einer integrierten Schaltung reduziert und ihre Dichte jedoch zugenommen hat, nähert sich die kritische Dimension (CD) ihres entsprechenden Maskenmusters der Auflö sungsgrenze des optischen Belichtungswerkzeugs an. Die Auflösung für ein Belichtungswerkzeug ist als die kleinste Struktur definiert, die das Belichtungswerkzeug wiederholt auf den Wafer belichten kann. Der Auflösungswert gegenwärtiger Belichtungseinrichtungen engt die kritische Dimension vieler weiter entwickelter IC-Schaltungsmuster oft ein.Of course, there is one of the goals in making integrated circuits therein, the original one Circuit pattern conscientiously toward the wafer (through the mask) too reproduce. Another goal is to get as much as possible from the mass of the semiconductor wafer to use. Because the size of a integrated circuit reduced and its density, however, increased has, approaches the critical dimension (CD) of their corresponding mask pattern of Resolution limit of the optical exposure tool. The resolution for an exposure tool is defined as the smallest structure that the exposure tool repeatedly exposed to the wafer. The resolution value current Exposure equipment narrows the critical dimension of many developed IC circuit pattern often.

Ferner stehen die konstanten Verbesserungen der Mikroprozessor-Geschwindigkeit, der Speicherpackdichte und des niedrigen Stromverbrauchs für mikroelektronische Bauelemente direkt in Bezug zu der Fähigkeit lithographischer Verfahren, Muster auf die verschiedenen Schichten eines Halbleiterbauteils zu übertragen und dort zu bilden. Der momentane Stand der Technik erfordert eine Musteraufbringung von kritischen Dimensionen weit unterhalb der verfügbaren Wellenlängen von Lichtquellen. Beispielsweise wird die momentane Produktionswellenlänge von 248 nm gerade dahingehend entwickelt, kritische Dimensionen bei weniger als 100 nm zu mustern. Dieser industrielle Trend wird weiter anhalten und sich in den kommenden 5–10 Jahren möglicherweise beschleunigen, wie in der International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS 2000) beschrieben.Further are the constant improvements in microprocessor speed, memory pack density and low power consumption for microelectronic Components directly related to the ability of lithographic processes, Pattern on the different layers of a semiconductor device transferred to and to form there. The current state of the art requires one Pattern application of critical dimensions far below the available wavelength from light sources. For example, the current production wavelength of 248 nm just developed to critical dimensions at less than 100 nm. This industrial trend will continue and possibly in the next 5-10 years accelerate, as in the International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS 2000).

Ein Verfahren zur weiteren Verbesserung der Auflösungs-/Druckmöglichkeiten photolithographischer Ausrüstungen, das momentan zusätzliche Aufmerksamkeit in der Photolithographie erhält, wird als chromfreie Phasenlithographie „CPL" bzeichnet. Ein Beispiel der Anwendung dieses Verfahrens ist im Artikel „Complex 2D Pattern Lithography at λ/4 Resolution Using Chromeless Phase Lithography (CPL)" von D. Van Den Broeke et al. Proceedings, SPIE Bd. 4691 (2002), S. 196–214 offenbart. Wie bekannt, umfasst bei der Verwendung von CPL-Verfahren das sich ergebende Maskenmuster gewöhnlich Strukturen (die den auf den Wafer aufzudruckenden Strukturen entsprechen), welche die Verwendung von Chrom nicht erforderlich machen (d.h. die Strukturen werden durch Phasenverschiebungsverfahren aufgedruckt) sowie solche, die Chrom verwenden. Daraus folgt, dass es für Maskendesigner tatsächlich erforderlich ist zu verifizieren, dass die Maskenstrukturen, welche die verschiedenen Techniken verwenden, alle in akzeptabler Weise so miteinander in Wechselwirkung stehen, dass das gewünschte Muster auf den Wafer aufgedruckt wird. Dies kann jedoch aufgrund der Komplexität heutiger Masken ein langer, ermüdender und schwieriger Prozess sein.One Method for further improving the resolution / printing possibilities photolithographic equipment, the currently additional Attention in photolithography is referred to as chromium-free phase lithography "CPL." An example the application of this method is described in the article "Complex 2D Pattern Lithography at λ / 4 resolution Using Chromeless Phase Lithography (CPL) "by D. Van Den Broeke et al., Proceedings, SPIE Vol. 4691 (2002), pp. 196-214 disclosed. As is known, when using CPL methods the resulting mask pattern usually has structures (which are the correspond to structures to be printed on the wafer), which correspond to the Do not require the use of chromium (i.e., the structures become printed by phase shift method) as well as those which Use chrome. It follows that it is actually required for mask designers to verify that the mask structures representing the different Using techniques all interact in an acceptable manner stand that desired Pattern is printed on the wafer. However, this may be due to the complexity today's masks a long, tiring and difficult process.

Folglich besteht ein Bedarf an einem Verfahren, das eine einfache und systematische Herangehensweise zum Definieren eines Maskenmusters unter Verwendung von CPL-Verfahren schafft, das ein genaues Drucken des gewünschten Musters erlaubt.consequently There is a need for a method that is simple and systematic An approach to defining a mask pattern using By CPL method that provides accurate printing of the desired Pattern allowed.

Zur Lösung der vorstehend genannten Anforderungen ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Erzeugung eines Maskenmusters unter Verwendung von CPL-Verfahren von einem gewünschten Zielmuster oder Design zu schaffen. Noch wichtiger: es ist eine Aufgabe, ein einfaches und systematisches Verfahren zum Umwandeln des gewünschten Zielmusters in ein Maskenmuster zu schaffen, durch das die für das Maskendesign erforderliche Zeit reduziert wird, während gleichzeitig die Genauigkeit des auf den Wafer aufgedruckten Designs verbessert wird.to solution It is an object of the present invention to meet the above requirements Invention, a method for generating a mask pattern under Use of CPL methods from a desired target pattern or design to accomplish. More importantly, it is a task, a simple one and systematic method for converting the desired To create a target pattern in a mask pattern through which the mask design required time is reduced, while at the same time the accuracy of the printed on the wafer design is improved.

Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung bei einer exemplarischen Ausführungsform ein Verfahren zur Erzeugung einer Maske zum Aufdrucken eines Zielmusters auf ein Substrat. Das Verfahren umfasst folgende Schritte: (a) Bestimmen einer maximalen Breite von Strukturen, die auf das Substrat abzubilden sind unter Verwendung von in der Maske gebildeten Phasenstrukturen; (b) Identifizieren aller im Zielmuster enthaltenen Strukturen, deren Breite der maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt; (c) Extrahieren aller Strukturen, deren Breite der maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt, von dem Zielmuster; (d) Bilden von Phasenstrukturen in der Maske, die allen in Schritt (b) identifizierten Strukturen entsprechen; und (e) Bilden von Opakstrukturen in der Maske für alle Strukturen, die nach Durchführung von Schritt (c) im Zielmuster verbleiben.Especially relates to the present invention in an exemplary embodiment a method for producing a mask for printing a target pattern on a substrate. The method comprises the following steps: (a) determining a maximum width of structures that map to the substrate are using phase structures formed in the mask; (b) identifying all structures contained in the target pattern, their width the maximum width is equal or less; (c) Extract all structures whose width is equal to the maximum width or underneath, from the target pattern; (d) forming phase structures in the mask, all the structures identified in step (b) correspond; and (e) forming opaque structures in the mask for all structures, the after execution of step (c) remain in the target pattern.

Auch wenn in diesem Text ein spezieller Bezug auf die Anwendung der Erfindung bei der Herstellung von integrierten Schaltungen genommen werden kann, sollte es selbstverständlich sein, dass die Erfindung viele weitere Anwendungsmöglichkeiten hat. Sie kann zum Beispiel bei der Herstellung von integrierten optischen Systemen, Leit- und Erfassungsmustern für Magnetblasenspeicher, Flüssigkristall-Anzeigetafeln, Dünnschicht-Magnetköpfen und dergleichen verwendet werden. Der Fachmann wird erkennen, dass im Kontext mit derartigen alternativen Anwendungsmöglichkeiten jede Benutzung der Begriffe „Retikel", „Wafer" oder „Die" in diesem Text jeweils durch die allgemeineren Begriffe „Maske", „Substrat" und „Zielabschnitt" ersetzt werden können.Also if in this text a specific reference to the application of the invention be taken in the manufacture of integrated circuits should, of course, should Be that the invention many more uses Has. You can, for example, in the production of integrated optical systems, control and acquisition patterns for magnetic bubble storage, Liquid crystal display panels, Thin-film magnetic heads and the like can be used. The skilled person will recognize that in the Context with such alternative uses any use of the Terms "reticle", "wafer" or "die" in this text respectively can be replaced by the more general terms "mask", "substrate" and "target portion".

Im vorliegenden Dokument werden die Begriffe „Strahlung" und „Strahl" verwendet, um alle Arten elektromagnetischer Strahlung, einschließlich ultravioletter Strahlung (z.B. mit einer Wellenlänge von 365, 248, 193, 157 bzw. 126 nm) und EUV (extrem ultraviolette Strahlung, z.B. mit einer Wellenlänge von 5–20 nm) mit einzuschließen.in the This document uses the terms "radiation" and "beam" to describe all types of electromagnetic Radiation, including ultraviolet radiation (e.g., having a wavelength of 365, 248, 193, 157 or 126 nm) and EUV (extreme ultraviolet radiation, for example with a wavelength from 5-20 nm).

Der Begriff Maske, wie er in diesem Text verwendet wird, kann so weit interpretiert werden, dass er sich auf generische Musteraufbringungseinrichtungen bezieht, die dafür verwendet werden können, einen eingehenden Strahl aus Strahlung mit einem gemusterten Querschnitt zu versehen, der einem Muster entspricht, das in einem Zielabschnitt des Substrats erzeugt werden soll; der Begriff „Lichtventil" kann in diesem Zusammenhang ebenfalls verwendet werden. Neben der klassischen Maske (lichtdurchlässig oder reflektierend; binär, phasenverschiebend, hybrid, etc.) umfassen Beispiele für weitere Musteraufbringungseinrichtungen folgendes:

  • a) Ein programmierbares Spiegelfeld. Ein Beispiel für ein derartiges Element ist eine matrixadressierbare Oberfläche, die eine viskoelastische Steuerschicht und eine reflektierende Oberfläche aufweist. Das Grundprinzip hinter einer derartigen Vorrichtung ist, dass (zum Beispiel) adressierte Bereiche der reflektierenden Oberfläche auftreffendes Licht als gebeugtes Licht reflektieren, wohingegen unadressierte Bereiche auftreffendes Licht als ungebeugtes Licht reflektieren. Wird ein geeigneter Filter verwendet, kann das besagte ungebeugte Licht aus dem reflektierten Strahl herausgefiltert werden, wobei nur das gebeugte Licht zurückgelassen wird; auf diese Weise wird der Strahl gemäß dem Adressierungsmuster der matrixadressierbaren Oberfläche gemustert. Die erforderliche Matrixadressierung kann unter Verwendung geeigneter elektronischer Einrichtungen durchgeführt werden. Weitere Informationen über derartige Spiegelfelder können beispielsweise den US-Patenten 5,296,891 und US 5,523,193 entnommen werden.
  • b) Ein programmierbares LCD-Feld. Ein Beispiel für eine derartige Konstruktion ist im US-Patent 5,229,872 gegeben.
The term mask as used in this text may be interpreted as referring to generic patterning means that may be used to provide an incoming beam of radiation having a patterned cross section corresponding to a pattern corresponding to a pattern to be generated in a target portion of the substrate; The term "light valve" may also be used in this context: In addition to the classical mask (translucent or reflective, binary, phase-shifting, hybrid, etc.), examples of other patterning means include:
  • a) A programmable mirror field. An example of such an element is a matrix-addressable surface having a viscoelastic control layer and a reflective surface. The basic principle behind such a device is that (for example) addressed areas of the reflective surface reflect incident light as diffracted light, whereas unaddressed areas reflect incident light as undiffracted light. If a suitable filter is used, said undiffracted light can be filtered out of the reflected beam, leaving only the diffracted light behind; in this way, the beam is patterned according to the addressing pattern of the matrix-addressable surface. The required matrix addressing can be performed using appropriate electronic equipment. Further information on such mirror fields can be found, for example, in US Pat. Nos. 5,296,891 and 5,523,193.
  • b) A programmable LCD panel. An example of such a construction is given in U.S. Patent 5,229,872.

Das Verfahren der vorliegenden Erfindung schafft wichtige Vorteile gegenüber dem Stand der Technik. So schafft zum Beispiel das vorgenannte Verfahren des Zerlegens eines Zielmusters in Phasenstrukturen und Opakstrukturen zum Definieren/Erzeugen einer Maske, die zum Drucken des Zielmusters verwendet wird, ein einfaches und systematisches Verfahren zum Umwandeln des Zielmusters in ein Maskenmuster, das die für das Maskendesign erforderliche Zeit reduziert, während gleichzeitig die Genauigkeit des auf den Wafer aufgedruckten Designs zunimmt.The Method of the present invention provides important advantages over the State of the art. So, for example, creates the aforementioned method decomposing a target pattern into phase structures and opaque structures for defining / creating a mask used to print the target pattern is used, a simple and systematic method of conversion of the target pattern into a mask pattern corresponding to that required for the mask design Time reduced while simultaneously the accuracy of the design printed on the wafer increases.

Weitere Vorteile der vorliegenden Erfindung werden dem Fachmann anhand der folgenden detaillierten Beschreibung exemplarischer Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung klar.Further Advantages of the present invention will be apparent to those skilled in the art from the following detailed description of exemplary embodiments of the present invention.

Die Erfindung selbst wird zusammen mit weiteren Zielen und Vorteilen anhand der folgenden detaillierten Beschreibung und der begleitenden Zeichnungen besser verständlich, wobei:The Invention itself is combined with other goals and benefits from the following detailed description and the accompanying Better understandable drawings, in which:

1 ein exemplarisches Flussdiagramm ist, welches eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt. 1 an exemplary flowchart illustrating an embodiment of the present invention.

2a–2c drei exemplarische Muster und die Identifikation der Vertikalstrukturen, die dann vom Muster extrahiert werden, darstellen. 2a - 2c three exemplary patterns and the identification of the vertical structures, which are then extracted from the pattern represent.

3a–3c jeweils den in 2a–2c dargestellten Mustern entsprechen und die vom Muster zu extrahierenden Horizontalstrukturen darstellen. 3a - 3c each in the 2a - 2c represent patterns represented and represent the horizontal structures to be extracted from the pattern.

4a–4c die Schnittpunktbereiche zwischen den Vertikal- und den Horizontalmustern darstellen, die jeweils in den 2a–2c und 3a–3c extrahiert worden sind. 4a - 4c represent the intersection areas between the vertical and horizontal patterns, each in the 2a - 2c and 3a - 3c have been extracted.

5a–5c das entsprechende Enddesign der Maske für die entsprechenden Muster darstellen, die jeweils in den 2a, 3a und 4a; 2b, 3b und 4b und 2c, 3c und 4c festgelegt worden sind. 5a - 5c represent the corresponding final design of the mask for the corresponding patterns, each in the 2a . 3a and 4a ; 2 B . 3b and 4b and 2c . 3c and 4c have been set.

6a–6c verschiedene Unter-Auflösungsmuster darstellen, mit denen Streulicht reduziert werden kann. 6a - 6c represent different sub-resolution patterns with which stray light can be reduced.

7 das Verhältnis zwischen dem Durchlässigkeitsgrad eines Chrom-Unterauflösungsmusters und dem gleichen Muster, das aus 180°-Phasenstrukturen besteht, zeigt. 7 the relationship between the transmittance of a chromium sub-resolution pattern and the same pattern consisting of 180 ° phase structures.

8 eine schematische Darstellung einer lithographischen Projektionsvorrichtung darstellt, die für die Verwendung der Masken geeignet ist, die mit Hilfe der vorliegenden Erfindung entwickelt worden sind. 8th Fig. 10 is a schematic illustration of a lithographic projection apparatus suitable for use with the masks developed by the present invention.

Wie im Folgenden genauer erläutert, betrifft die bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zum Zerlegen eines (auf einen Wafer aufzudruckenden) gewünschten Zielmusters, um ein Maskenmuster (d.h. Retikel) zu erzeugen, das dazu verwendet werden kann, den Wafer/das Substrat mit einer Abbildung zu versehen und das Zielmuster darauf zu erzeugen. Gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet das zu erzeugende Maskenmuster CPL-Verfahren. Als solches umfasst das Maskenmuster Bereiche, die annähernd 100% Durchlässigkeit und null Phasenverschiebung aufweisen, Bereiche, die annähernd 100% Durchlässigkeit und 180° Phasenverschiebung aufweisen und Bereiche, die annähernd 0% Durchlässigkeit aufweisen. Aufgrund dieser unterschiedlichen Arten von Bereichen, die zum Aufdrucken von Strukturen bei Verwendung von CPL-Verfahren in Kombination mit der Komplexität typischer Masken verwendet werden, kann die Entwicklung von Masken eine schwierige und zeitaufwändige Aufgabe sein. Wie nachstehend genauer erläutert, reduziert die vorliegende Erfindung die zur Maskenerzeugung erforderliche Zeit, indem ein einfaches Zerlegungsverfahren geschaffen worden ist, das zum Erzeugen eines Maskenmusters direkt vom Zielmuster verwendet werden kann. Ferner ist festzustellen, dass das erfindungsgemäße Verfahren unter Verwendung eines CAD-Standardsystems (wie die vorstehend genannten) durchgeführt werden kann, das so programmiert ist, dass es gemäß der folgenden Beschreibung arbeitet.As will be explained in more detail below, the preferred embodiment of the present invention relates to a method for disassembling a desired target pattern (to be printed on a wafer) to produce a mask pattern (ie, reticle) that can be used to enclose the wafer / substrate To map and create the target pattern on it. According to the present invention, the mask pattern to be generated uses CPL methods. As such, the mask pattern includes areas that are approximately 100% Have transmittance and zero phase shift, regions having approximately 100% transmission and 180 ° phase shift, and regions having approximately 0% transmission. Because of these different types of areas used to imprint structures using CPL techniques in combination with the complexity of typical masks, mask development can be a difficult and time consuming task. As explained in more detail below, the present invention reduces the time required for mask generation by providing a simple decomposition method that can be used to generate a mask pattern directly from the target pattern. It should also be appreciated that the method of the present invention may be performed using a standard CAD system (such as those mentioned above) that is programmed to operate as described below.

1 ist ein Flussdiagramm, das den erfindungsgemäßen Herstellungsvorgang der Maske im allgemeinen zeigt. Wie vorstehend gesagt, ist bei Anwendung von CPL-Verfahren die sich daraus ergebende Maske in der Lage, Strukturen zum Beispiel unter Verwendung von Phasenverschiebungen oder Phasenkanten, die im Maskenretikel gebildet sind, zu drucken (d.h. ohne Chrom) und Strukturen zu drucken, die zumindest teilweise Chromstrukturen in der Maske verwenden. Nach 1 besteht der erste Schritt, Schritt 11, des Verfahrens darin, die maximale Breite der Strukturen zu bestimmen, die unter Verwendung von Phasenstrukturen (d.h. ohne Chrom) gedruckt werden können. In anderen Worten: es ist erforderlich, die Strukturbreite zu definieren, bei der es erforderlich ist, die Verwendung von Chrom einzufügen, um die Struktur präzise auf den Wafer reproduzieren zu können. Diese maximale Breite, die bestimmt werden kann auf der Basis der Abbildungssystemparameter wie beispielsweise, jedoch nicht ausschließlich, Wellenlänge, numerische Apertur, Beleuchtungs- und Wafer-Stepper-Konditionen, kann durch bekannte Verfahren wie beispielsweise die Verwendung eines Luftbildsimulators leicht bestimmt werden. Insbesondere ist es durch die Verwendung eines Luftbildsimulators möglich zu bestimmen, bei welcher Breite der Phasenstruktur das Bild beginnt sich zu zerlegen. Die maximale Breite würde auf unter diesen Zerlegungspunkt eingestellt werden. Die maximale Breite kann auch auf der Basis einer Definition der kritischen Strukturen innerhalb des gewünschten Musters, wie beispielsweise Mindestgröße der Struktur, Mindestabstand und maximaler Auslastungsgrad, bestimmt werden. Um die maximale Breite auf der Basis der kritischen Strukturen zu bestimmen, ist die maximale Phasengröße so eingestellt, dass alle kritischen Kleinststrukturen in den Phasenbereich fallen. Dann werden unter Verwendung dieser Breite die Beleuchtungseinstellungen bestimmt, die geeignete Abbildungsergebnisse für diese Phasengröße bereitstellen. Dies geschieht auch mit einem Luftbildsimulator. In anderen Worten: die Beleuchtung wird festgelegt und die maximale Breite wird bestimmt, bzw. die maximale Breite der kritischen Geometrie wird festgelegt und danach wird die erforderliche Beleuchtung bestimmt. Folglich wird in Schritt 11 die maximale Breite der Strukturen bestimmt, die unter Verwendung von Phasenverschiebungsschritten aufgedruckt werden können. Alle Strukturen, die diese Breite übersteigen, müssen für eine geeignete Abbildung auf den Wafer Chrom verwenden. 1 Fig. 3 is a flow chart generally showing the mask manufacturing process of the present invention. As stated above, using CPL techniques, the resulting mask is capable of printing (ie, devoid of chromium) structures, for example using phase shifts or phase edges formed in the mask reticle, and printing structures that are at least partially use chrome structures in the mask. To 1 is the first step, step 11 , The method is to determine the maximum width of the structures that can be printed using phase structures (ie without chromium). In other words, it is necessary to define the feature width at which it is necessary to insert the use of chromium to accurately reproduce the structure on the wafer. This maximum width, which may be determined based on the imaging system parameters such as, but not limited to, wavelength, numerical aperture, illumination and wafer stepper conditions, may be readily determined by known methods such as the use of an aerial simulator. In particular, by using an aerial simulator, it is possible to determine at which width of the phase structure the image begins to disassemble. The maximum width would be set below this decomposition point. The maximum width may also be determined based on a definition of the critical structures within the desired pattern, such as minimum size of the structure, minimum distance, and maximum utilization. To determine the maximum width based on the critical structures, the maximum phase size is set so that all critical micropatterns fall within the phase range. Then, using this width, the illumination settings that provide suitable imaging results for that phase size are determined. This also happens with an aerial simulator. In other words, the lighting is set and the maximum width is determined, or the maximum width of the critical geometry is determined, and then the required illumination is determined. Consequently, in step 11 determines the maximum width of the structures that can be printed using phase shift steps. Any structures that exceed this width must use chromium for a suitable image on the wafer.

Dann wird in Schritt 12 das Zielmuster untersucht, und alle vertikalen Komponenten/Strukturen, die der maximalen Breite gleich sind oder darunter liegen, werden identifiziert und vom ursprünglichen Design extrahiert. Die 2a–2c zeigen drei exemplarische Muster und die Identifikation der Vertikalstrukturen, die dann vom Muster extrahiert werden. Wie in jeder der 2a–2c gezeigt, entsprechen die Vertikalstrukturen 21 den Vertikalstrukturen, die der in Schritt 11 bestimmten maximalen Breite gleich sind oder darunter liegen und werden daher vom ursprünglichen Design (d.h. Zielmuster) in ein separates Muster extrahiert, das als Muster A bezeichnet wird. Wie in 2b gezeigt, werden die Vertikalstrukturen, welche die maximale Breite übersteigen (siehe z.B. die vertikale Struktur 23), nicht extrahiert. Festzustellen ist, dass die extrahierten und in Muster A angeordneten Strukturen unter Verwendung von Phasenstrukturen gedruckt werden können. Ferner ist festzustellen, dass die Vertikalstrukturen 21, sobald sie einmal identifiziert worden sind, vom Zielmuster unter Verwendung von allgemein bekannten Booleschen Operationen extrahiert werden können.Then in step 12 the target pattern is examined, and any vertical components / structures equal to or less than the maximum width are identified and extracted from the original design. The 2a - 2c show three exemplary patterns and the identification of the vertical structures, which are then extracted from the pattern. As in each of the 2a - 2c shown correspond to the vertical structures 21 the vertical structures that in step 11 certain maximum widths are equal to or less than and are therefore extracted from the original design (ie, target pattern) into a separate pattern called pattern A. As in 2 B are shown, the vertical structures, which exceed the maximum width (see, for example, the vertical structure 23 ), not extracted. It should be noted that the extracted structures arranged in pattern A can be printed using phase structures. It should also be noted that the vertical structures 21 Once identified, they can be extracted from the target pattern using well-known Boolean operations.

In gleicher Weise werden in Schritt 13 alle horizontalen Komponenten/Strukturen, die der maximalen Breite gleich sind oder darunter liegen, identifiziert und vom Zielmuster extrahiert. Die 3a–3c entsprechen den jeweils in den 2a–2c dargestellten. Wie in jeder der 3b–3c gezeigt, entsprechen die Horizontalstrukturen 31 Horizontalstrukturen, die der in Schritt 11 bestimmten maximalen Breite gleich sind oder darunter liegen und werden daher vom ursprünglichen Design in ein separates Muster extrahiert, das als Muster B bezeichnet ist. Wie in den 3a–3c gezeigt, werden die Horizontalstrukturen, welche die maximale Breite übersteigen (siehe z.B. Horizontalstrukturen 33) nicht extrahiert. Festzustellen ist, dass die extrahierten und in Muster B angeordneten Strukturen unter Verwendung von Phasenstrukturen gedruckt werden können. Ferner ist festzustellen, dass die Horizontalstrukturen 31, sobald sie einmal identifiziert worden sind, vom ursprünglichen Muster unter Verwendung von allgemein bekannten Booleschen Operationen extrahiert werden können.In the same way in step 13 Identifies all horizontal components / structures equal to or less than the maximum width and extracts them from the target pattern. The 3a - 3c correspond to each in the 2a - 2c shown. As in each of the 3b - 3c shown correspond to the horizontal structures 31 Horizontal structures that in step 11 certain maximum widths are equal or less than, and are therefore extracted from the original design into a separate pattern, referred to as pattern B. As in the 3a - 3c shown, the horizontal structures, which exceed the maximum width (see eg horizontal structures 33 ) not extracted. It should be noted that the extracted structures arranged in pattern B can be printed using phase structures. It should also be noted that the horizontal structures 31 once they have been identified, from ur pattern can be extracted using well-known Boolean operations.

Der nächste Verfahrensschritt, Schritt 14, bewirkt die Identifizierung der Schnittpunkte zwischen den Vertikalstrukturen 21 und den Horizontalstrukturen 31, die unter Verwendung von Phasenstrukturen gedruckt werden. Wie im Fol genden genauer erläutert, ist es manchmal erforderlich, derartige Schnittpunkte zu identifizieren, so dass die Menge des an den Schnittpunkte angelegten Chroms unabhängig von dem an anderen Mustern angelegten Chrom gesteuert werden kann. Schritt 14, der bei dem Verfahren ein optionaler Schritt ist, ist manchmal erforderlich, um sicherzustellen, dass die Schnittpunkte korrekt auf das Substrat gedruckt werden (d.h. ohne Unterbrechung der Leitung). Die Identifizierung der Schnittpunkte erfolgt folgendermaßen. Zunächst werden die im Muster A enthaltenen Vertikalstrukturen entlang der Vertikalrichtung an beiden Enden jeder Struktur verlängert. Dann werden die im Muster B enthaltenen Horizontalstrukturen entlang der Horizontalrichtung an beiden Enden jeder Struktur verlängert. Diese Vergrößerung der in den Mustern A und B enthaltenen Vertikal- und Horizontalstrukturen ist erforderlich, um eine richtige Identifizierung der Schnittpunkte zu gewährleisten. Angenommen, eine Struktur weist beispielsweise eine L-Form auf, geht beim Extrahieren des vertikalen (bzw. horizontalen) Bereichs dieser Struktur der Bereich der Vertikalstruktur, der ebenfalls Teil des Schnittpunktes ist, verloren (d.h. er wird nicht extrahiert). Indem die Länge der Vertikalstruktur um eine vorab bestimmte Größe verlängert wird, wird der im Schnittpunkt befindliche Bereich der Vertikalstruktur zurückgeholt. Das Gleiche gilt für die Horizontalstrukturen. Festzustellen ist, dass sowohl die vertikalen als auch die horizontalen Strukturen vorzugsweise um die gleiche Größe verlängert werden. Ferner ist festzustellen, dass eine allgemeine Regel hinsichtlich der Größe der Zunahme 2 mal die maximale Phasenbreite beträgt.The next step, step 14 , causes the identification of the intersections between the vertical structures 21 and the horizontal structures 31 which are printed using phase structures. As explained in more detail below, it is sometimes necessary to identify such intersections so that the amount of chromium applied at the intersections can be controlled independently of the chromium applied to other patterns. step 14 Sometimes, which is an optional step in the process is sometimes necessary to ensure that the intersections are printed correctly on the substrate (ie, without interrupting the line). The identification of the intersections takes place as follows. First, the vertical structures contained in the pattern A are lengthened along the vertical direction at both ends of each structure. Then, the horizontal structures contained in the pattern B are lengthened along the horizontal direction at both ends of each structure. This increase in the vertical and horizontal structures included in patterns A and B is required to ensure proper identification of the intersections. For example, assuming a structure has an L-shape, extracting the vertical (or horizontal) area of that structure will lose (ie, not extract) the area of the vertical structure that is also part of the intersection. By extending the length of the vertical structure by a predetermined amount, the intersecting portion of the vertical structure is retrieved. The same applies to the horizontal structures. It should be noted that both the vertical and the horizontal structures are preferably extended by the same size. It should also be noted that a general rule regarding the magnitude of the increase is 2 times the maximum phase width.

Danach wird, sobald die Vertikalstrukturen in Muster A und die Horizontalstrukturen in Muster B verlängert worden sind, eine Boolesche „UND"-Operation unter Verwendung von Muster A und Muster B durchgeführt, deren Ergebnis (als Muster C bezeichnet) die Schnittpunkte zwischen den unter Verwendung von Phasenstrukturen zu druckenden Vertikal- und Horizontalstrukturen identifiziert. Das Ergebnis dieser Operation für die in den 2a–2c und 3a–3c genannten exemplarischen Muster ist jeweils in den 4a–4c dargestellt. Genauer gesagt: in 4a sind keine Schnittpunkte identifiziert, da das in 3a gezeigte entsprechende horizontale Muster keinerlei unter Verwendung von Phasenstrukturen zu druckende Horizontalstrukturen aufwies. Die Bezugsziffer 41 in 4b und 4c bezeichnet die Schnittpunkte zwischen den in den 2b und 3b und 2c und 3c jeweils identifizierten Vertikal- und Horizontalstrukturen. Festzustellen ist, dass nach der Trennung der Schnittpunkte vom Rest des Zielmusters zusätzliche Behandlungen wie z.B. Klassieren bei dem Chrom-Schnittpunktmuster erfolgen können.Thereafter, once the vertical patterns in pattern A and the horizontal patterns in pattern B have been lengthened, a Boolean "AND" operation is performed using pattern A and pattern B, the result of which (referred to as pattern C) is the intersections between the patterns The result of this operation for the vertical and horizontal structures to be printed is the result of this operation 2a - 2c and 3a - 3c Each of these examples is listed in the 4a - 4c shown. More precisely: in 4a No intersections are identified because the in 3a shown corresponding horizontal pattern had no horizontal structures to be printed using phase structures. The reference number 41 in 4b and 4c denotes the intersections between the in the 2 B and 3b and 2c and 3c each identified vertical and horizontal structures. It should be noted that after the separation of the intersection points from the rest of the target pattern, additional treatments such as classifying at the chrome intersection pattern may be made.

Dann bewirkt der nächste Schritt, Schritt 15, sobald der vorstehend erwähnte Vorgang durchgeführt wird, die Zerlegung des Musters in Phasenbereiche (z.B. 100% Durchlässigkeit und 180° Phasenverschiebung) und Opakbereiche (z.B. null Durchlässigkeit). Festzustellen ist, dass die vorstehenden Anforderungen im Hinblick auf Phasenbereiche nur exemplarisch sind, es können weitere Konditionen, die für den Druck der Phasenstrukturen geeignet sind, eingesetzt werden. Beispielsweise ist es möglich, dass das Verfahren 25% Durchlässigkeit oder 50% Durchlässigkeit verwenden kann oder multiple Durchlässigkeiten auf der Photomaske schafft. Im Hinblick auf die Zerlegung wird zunächst das Phasenmuster definiert, indem eine Boolesche „ODER"-Verknüpfung von Muster A und Muster B durchgeführt wird. Das Ergebnis dieser „ODER"-Verknüpfung (die als Muster D bezeichnet wird) ist ein Muster, das sowohl Vertikal- als auch Horizontalstrukturen enthält, die unter Verwendung nur von Phasenstrukturen (d.h. ohne Chrom) zu drucken sind. Als zweites wird der Bereich des ursprünglichen Musters identifiziert, der nicht unter Verwendung von Phasenstrukturen zu drucken ist und der kein Schnittpunkt zwischen vertikalen und horizontalen Phasenstrukturen ist, indem Muster D und Muster C vom ursprünglichen Muster subtrahiert werden. Das sich daraus ergebende Muster, das als Muster E bezeichnet wird, kann erzielt werden, indem die folgende Boolesche Operation durchgeführt wird: Muster E = das „ursprüngliche Muster" – (Muster C „ODER" Muster D). Muster E repräsentiert als solches jene Bereiche des Musters, die unter Verwendung von Null-Durchlässigkeitsstrukturen auf die Maske aufgedruckt werden (d.h. Chromstrukturen).Then the next step, step 15 as soon as the above-mentioned operation is performed, the decomposition of the pattern into phase areas (eg 100% transmission and 180 ° phase shift) and opaque areas (eg zero transmission). It should be noted that the above requirements with respect to phase ranges are exemplary only, other conditions suitable for printing the phase structures may be used. For example, it is possible that the method may use 25% transmission or 50% transmission, or provide multiple transmissions on the photomask. In terms of decomposition, the phase pattern is first defined by performing a Boolean "OR" conjunction of Pattern A and Pattern B. The result of this "OR" conjunction (referred to as Pattern D) is a pattern that both Contains vertical as well as horizontal structures which are to be printed using only phase structures (ie without chromium). Second, the region of the original pattern that is not to be printed using phase structures and that is not an intersection between vertical and horizontal phase structures is identified by subtracting pattern D and pattern C from the original pattern. The resulting pattern, referred to as pattern E, can be obtained by performing the following Boolean operation: pattern E = the "original pattern" - (pattern C "OR" pattern D). As such, pattern E represents those regions of the pattern that are printed on the mask (ie, chrome structures) using zero-transmission structures.

Somit sind, sobald der vorgenannte Schritt beendet worden ist, die folgenden drei bestimmten Bereiche der Maske definiert worden: (1) Muster D – die Vertikal- und Horizontalstrukturen, die unter Verwendung von Phasenstrukturen aufzudrucken sind, (2) Muster C – die Schnittpunkte zwischen den Vertikal- und Horizontalstrukturen, die unter Verwendung von Opakstrukturen (d.h. Null-Durchlässigkeitsstrukturen) aufzudrucken sind und (3) Muster E – alle übrigen im ursprünglichen Design-Muster enthaltenen Strukturen, die nicht in Muster C oder D enthalten sind. Festzustellen ist, dass Muster C und Muster E zu einem einzelnen Muster kombiniert werden können, da alle in jedem Muster enthaltenen Strukturen mit einer Opakstruktur (d.h. Null-Durchlässigkeit) aufgedruckt sind. Die Kombination von Muster C und E wird als Muster F bezeichnet.Consequently are as follows once the above step has been completed three specific areas of the mask have been defined: (1) pattern D - the Vertical and horizontal structures using phase structures (2) Pattern C - the intersections between the vertical and horizontal structures using Opaque structures (i.e., zero transmission structures) and (3) sample E - all others in the original one Design patterns included structures that are not in pattern C or D are included. It should be noted that pattern C and pattern E too a single pattern can be combined, since all in each pattern contained structures with an opaque structure (i.e., zero transmissivity) are printed. The combination of patterns C and E becomes a pattern F denotes.

Im letzten Schritt werden die vorgenannten Muster verwendet, um die Maske zu erzeugen, die zum Abbilden des gewünschten Musters auf das Substrat verwendet werden. Genauer gesagt: Muster D und Muster F werden kombiniert, so dass sie eine einzelne Maske bilden, was unter Anwendung einer Booleschen „ADDIER"-Funktion erreicht werden kann. Nach den 5a–5c, die das entsprechende endgültige Maskendesign für die entsprechenden in den 2a, 3a und 4a; 2b, 3b und 4b; und 2c, 3c und 4c jeweils dargestellten Muster repräsentieren, enthält die endgültige Maske Phasenstrukturen 51 zum Drucken der vertikalen und horizontalen Komponenten, deren Breite zum Drucken mit Phasenstrukturen geeignet ist, und Opakstrukturen 53 zum Drucken von Komponenten, die zum Drucken mit Phasenstrukturen nicht geeignet sind, sowie die Schnittpunkte zwischen den vertikalen und horizontalen Komponenten, die mit Opakstrukturen zu drucken sind. Bei der exemplarischen Ausführungsform ist der in der Maske von 5c enthaltene Hintergrundbereich 55 mit 100% Durchlässigkeit und 0° Phasenverschiebung definiert, die Phasenstrukturen 51 sind mit 100% Durchlässigkeit und 180° Phasenverschiebung definiert und die Opakstrukturen 53 sind mit 0% Durchlässigkeit definiert. Festzustellen ist, dass der Hintergrundbereich der Maske mit den Phasenstrukturen 51 zusammenarbeitet, um die in Muster D festgelegten Vertikal- und Horizontalkomponenten zu drucken. Ferner ist festzustellen, dass das vorstehend genannte Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung nicht auf die vorgenannten speziellen Charakteristika der Durchlässigkeit und der Phasenverschiebung eingeschränkt sein soll. Variationen des Vorgenannten sind selbstverständlich möglich.In the final step, the aforementioned patterns are used to create the mask that will be used to image the desired pattern onto the substrate. More specifically, pattern D and pattern F are combined to form a single mask, which can be accomplished using a Boolean "ADDIER" function 5a - 5c which has the appropriate final mask design for the corresponding in the 2a . 3a and 4a ; 2 B . 3b and 4b ; and 2c . 3c and 4c represent respectively represented patterns, the final mask contains phase structures 51 for printing the vertical and horizontal components whose width is suitable for printing with phase structures, and opaque structures 53 for printing components that are not suitable for printing with phase structures, as well as the intersections between the vertical and horizontal components that are to be printed with opaque textures. In the exemplary embodiment, the one in the mask of 5c included background area 55 defined with 100% transmission and 0 ° phase shift, the phase structures 51 are defined with 100% transmission and 180 ° phase shift and the opaque structures 53 are defined as 0% transmittance. It should be noted that the background area of the mask with the phase structures 51 works together to print the vertical and horizontal components specified in Pattern D. Further, it should be noted that the above method according to the present invention should not be limited to the aforementioned specific characteristics of transmittance and phase shift. Variations of the above are of course possible.

Ferner ist es auch möglich, durch das Verfahren der vorliegenden Erfindung optische Näherungskorrekturverfahren oder Kantenabschrägungen durchzuführen. Es ist beispielsweise möglich, die Verwendung von Streustäben in das sich ergebende Maskendesign einzufügen. Darüber hinaus können die Streustäbe bei unterschiedlichen Verfahrensschritten in das Maskendesign eingefügt werden. Wie bekannt, können Streustäbe als Opak-Streustäbe oder als Phasenkanten-Streustäbe konstruiert sein. Eine der wichtigen Anforderungen besteht darin, dass die Streustäbe unter der Auflösungsgrenze bleiben. Die 5a–5c zeigen exemplarische Streustäbe 57, die in das endgültige Maskendesign eingefügt sind.Further, it is also possible to perform optical approximation correction methods or edge bevels by the method of the present invention. For example, it is possible to include the use of scattering bars in the resulting mask design. In addition, the scattering rods can be inserted into the mask design at different process steps. As is known, scattering bars can be constructed as opaque scattering bars or as phase-edge scattering bars. One of the important requirements is that the scattering bars remain below the resolution limit. The 5a - 5c show exemplary scattering rods 57 which are inserted in the final mask design.

Wie vorstehend festgestellt, schafft das vorgenannte Verfahren der Zerlegung eines Zielmusters in Phasenstrukturen und in Opakstrukturen, um eine Maske zu definieren/erzeugen zu können, die zum Drucken des Zielmusters verwendet wird, einen einfachen und systematischen Vorgang zum Umwandeln des Zielmusters in ein Maskenmuster, wodurch die für das Maskendesign erforderliche Zeit reduziert wird, während gleichzeitig die Genauigkeit des auf den Wafer aufgedruckten Designs verbessert wird.As stated above, provides the aforementioned method of decomposition of a target pattern in phase structures and in opaque structures to define / create a mask that is used to print the target pattern is used, a simple and systematic process for converting of the target pattern into a mask pattern, thereby reducing the mask design required time is reduced, while at the same time the accuracy of the printed on the wafer design is improved.

Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft eine weitere Modifikation des Maskenmusters, um die Auswirkungen von „Streulicht" im mit einer Abbildung versehenen Substrat zu reduzieren. Wie bekannt, entspricht „Streulicht" unerwünschtem Hintergrundlicht, welches die Qualität des Luftbildes auf der Bildebene (d.h. gewöhnlich der Oberfläche des Wafers) mindert. Die Auswirkungen des Streulichts sind jedoch weitreichend (d.h. die Menge an Streulicht an einem bestimmten Punkt hängt von einem großen Bereich um den bestimmten Punkt herum ab) und können daher nicht durch Anwenden herkömmlicher OPC-Verfahren korrigiert werden. Einige momentan geltende Theorien hinsichtlich der Ursachen für Streulicht sind: Zerstreuen von Licht innerhalb des optischen Systems; der Kontrast des Luftbildes und nicht ausgelöschtes Licht nullter Ordnung. Festzustellen ist, dass das Hintergrundlicht oder Streulicht, das auf eine spezielle Geometrie stößt, von einem großen Bereich um die Geometrie herum, nicht von der Geometrie selbst, kommt. Somit kann die Reduzierung der Intensität der Energie in den großen hellen Bereichen des Musters um nur 30% einen sehr großen positiven Effekt auf die Reduzierung der ungewünschten Streulichtkomponente ausüben.One Another aspect of the present invention relates to another Modification of the mask pattern to reflect the effects of "stray light" in an image provided substrate to reduce. As is known, "stray light" corresponds to unwanted background light, which the quality of the aerial image on the image plane (i.e., usually the surface of the Wafers) reduces. However, the effects of the scattered light are far-reaching (i.e., the amount of stray light at a particular point depends on a big one Area around the specific point) and therefore can not be applied by applying conventional OPC procedures are corrected. Some current theories regarding the causes of Scattered light is: scattering of light within the optical system; the contrast of the aerial image and undeleted zero-order light. Detecting is that the backlight or stray light that is on a special Geometry thrusts, from a big one Area around the geometry, not the geometry itself, comes. Thus, reducing the intensity of energy in the big bright Areas of the pattern by only 30% a very big positive effect on the Reduction of unwanted Exercise scattered light component.

Im Folgenden werden verschiedene Verfahren zum Reduzieren der Streulichtkomponente vom Luftbild genannt. Vor der Erörterung der Verfahren wird festgestellt, dass die folgenden Verfahren auf die großen Bereiche der Maske implementiert werden, die keine zu druckenden Strukturen oder Komponenten enthalten. Zum Beispiel wird mit Bezug auf 6a–6c die folgende Modifikation in Maskenbereiche außerhalb der in diesen Figuren gezeigten Bereiche implementiert.In the following, various methods for reducing the stray light component from the aerial image are mentioned. Prior to discussing the methods, it will be noted that the following methods are implemented on the large areas of the mask that do not contain structures or components to be printed. For example, with reference to 6a - 6c implements the following modification in mask areas outside the areas shown in these figures.

Gemäß des ersten Verfahrens nach 6a werden Unter-Auflösungs-Opakmuster dem Maskenmuster in Bereichen hinzugefügt, die der freien Fläche des Designs entsprechen (z.B. Bereiche, die 200nm oder mehr von jeglicher Mustergeometrie entfernt sind). Wie in der Figur dargestellt, wirkt ein Schachbrettmuster aus Chromstrukturen 61, das die freie Fläche zu 25% ausfüllt, so, dass die Intensität im Feldbereich auf annähernd 82% der einfallenden Intensität reduziert wird. Bei einem zweiten Verfahren, das in 6b gezeigt ist, wird ein Schachbrettmuster aus um 180° phasenverschobenen Strukturen 63, das die freie Fläche zu 25% ausfüllt, der freien Fläche hinzugefügt. Mit diesem Muster wird die Intensität im Feldbereich auf annähernd 35% der einfallenden Intensität reduziert. Bei einem dritten Verfahren, das in 6c gezeigt ist, wird ein Schachbrettmuster aus um 120° phasenverschobenen Strukturen 65, das die freie Fläche zu 25% ausfüllt, der freien Fläche hinzugefügt. Mit diesem Muster wird die Intensität im Feldbereich auf annähernd 75% der einfallenden Intensität reduziert. Es ist festzustellen, dass die Energiestärke auf dem großen Feldbereich direkt vom Füllgrad im Streulicht-reduzierten Muster abhängt.According to the first method according to 6a For example, sub-resolution opaque patterns are added to the mask pattern in areas corresponding to the free area of the design (eg, areas 200nm or more away from any pattern geometry). As shown in the figure, a checkerboard pattern of chrome structures 61 , which fills the free area by 25%, so that the intensity in the field area is reduced to approximately 82% of the incident intensity. In a second method, which is in 6b is shown, a checkerboard pattern of 180 ° out of phase structures 63 , which fills the free area to 25%, added to the free area. With this pattern, the intensity in the field area is reduced to approximately 35% of the incident intensity. In a third method, which in 6c is shown, a checkerboard pattern of 120 ° out of phase structures 65 , which fills the free area to 25%, add to the free area together. With this pattern, the intensity in the field region is reduced to approximately 75% of the incident intensity. It can be seen that the energy intensity on the large field area depends directly on the degree of filling in the scattered light-reduced pattern.

7 zeigt das Verhältnis zwischen dem Durchlässigkeitsgrad eines Chrom-Unterauflösungsmusters und des gleichen Musters, das aus 180° Phasenstrukturen besteht. Wie dargestellt, weist dann, wenn ein Chrom-Muster 50% des einfallenden Lichts durchlässt, das gleiche Muster mit 180° Phasenverschiebung, 100% Durchlässigkeitsstrukturen null Intensität auf. 7 Figure 12 shows the relationship between the transmittance of a chromium sub-resolution pattern and the same pattern consisting of 180 ° phase structures. As shown, when a chromium pattern transmits 50% of the incident light, the same pattern with 180 ° phase shift, 100% transmission structures has zero intensity.

Ferner ist festzustellen, dass das vorstehend genannte Schachbrettmuster und die Größen der Phasenverschiebung oder Verwendung von Chrom rein exemplarisch sind. Variationen des Vorgenannten können durchgeführt werden, bis die gewünschte Menge an Streulichtreduzierung erzielt wird. Beispielsweise könnte das mögliche Muster folgendes umfassen, jedoch nicht darauf beschränkt sein: Linien-/Leerraummuster, rechteckiges Schachbrett, alternierende Horizontal- und Vertikallinien, übereinstimmende Linien-/Leerraummuster, etc. Der wichtige Aspekt ist, dass die im Streulicht-reduzierten Muster enthaltenen Strukturen unter der Auflösungsgrenze bleiben.Further it should be noted that the above checkerboard pattern and the magnitudes of the phase shift or use of chromium are purely exemplary. Variations of the The above can carried out be until the desired amount at scattered light reduction is achieved. For example, that could possible Patterns include, but are not limited to: Line / space pattern, rectangular chessboard, alternating Horizontal and vertical lines, matching Line / space patterns, etc. The important aspect is that the im Stray light-reduced patterns contained structures below the resolution limit stay.

8 ist eine schematische Darstellung einer lithographischen Projektionsvorrichtung, die für eine Verwendung mit Masken geeignet ist, die mit Hilfe der vorliegenden Erfindung entwickelt worden sind. Die Vorrichtung umfasst:

  • – ein Strahlungssystem Ex, IL, zum Liefern eines Projektionsstrahls PB aus Strahlung. In diesem speziellen Fall umfasst das Strahlungssystem auch eine Strahlungsquelle LA;
  • – einen ersten Objekttisch (Maskentisch) MT, der einen Maskenhalter zum Halten einer Maske MA (z.B. ein Retikel) aufweist und mit ersten Positio nierungsmitteln zur akkuraten Positionierung der Maske in Bezug auf Gegenstand PL verbunden ist;
  • – einen zweiten Objekttisch (Substrattisch) WT, der einen Substrathalter zum Halten eines Substrats W (z.B. ein mit einer Schutzschicht überzogener Silizium-Wafer) aufweist und mit zweiten Positionierungsmitteln zur akkuraten Positionierung des Substrats in Bezug auf Gegenstand PL verbunden ist;
  • – ein Projektionssystem („Linse") PL (z.B. ein brechendes, katoptrisches oder katadioptrisches optisches System) zum Abbilden eines bestrahlten Abschnitts der Maske MA auf einen Zielabschnitt C (der z.B. einen oder mehrere Dies aufweist) des Substrats W.
8th Figure 4 is a schematic representation of a lithographic projection apparatus suitable for use with masks developed using the present invention. The device comprises:
  • A radiation system Ex, IL, for supplying a projection beam PB of radiation. In this particular case, the radiation system also includes a radiation source LA;
  • A first stage (mask table) MT having a mask holder for holding a mask MA (eg, a reticle) and being connected to first positioning means for accurately positioning the mask with respect to the object PL;
  • A second stage (substrate table) WT having a substrate holder for holding a substrate W (eg, a protective layer coated silicon wafer) and connected to second positioning means for accurately positioning the substrate with respect to the object PL;
  • A projection system ("lens") PL (eg a refractive, catoptric or catadioptric optical system) for imaging an irradiated portion of the mask MA onto a target portion C (eg comprising one or more dies) of the substrate W.

Wie hier dargestellt, ist die Vorrichtung lichtdurchlässiger Art (d.h. sie weist eine durchlässige Maske auf). Im allgemeinen kann sie jedoch zum Beispiel auch reflektierender Art sein (mit einer reflektierenden Maske). Alternativ kann die Vorrichtung eine weitere Art von Musteraufbringungseinrichtung als Alternative zur Verwendung einer Maske verwenden; Beispiele umfassen ein programmierbares Spiegelfeld oder eine LCD-Matrix.As shown here, the device is translucent type (i.e., it has a transmissive mask on). In general, however, it can also be reflective, for example Be kind (with a reflective mask). Alternatively, the Device another type of pattern application device as an alternative to use a mask; Examples include a programmable one Mirror field or an LCD matrix.

Die Quelle LA (z.B. eine Quecksilberlampe, ein Excimer-Laser oder eine Plasmaabführquelle) erzeugt einen Strahl aus Strahlung. Dieser Strahl wird zu einem Beleuchtungssystem (Illuminator) IL geführt, entweder direkt oder nachdem er Konditionierungseinrichtungen wie zum Beispiel einen Strahlexpander Ex durchlaufen hat. Der Illuminator IL kann Anpassungsmittel AM zum Anpassen der äußeren und/oder inneren radialen Erstreckung (im allgemeinen jeweils mit σ-innen und σ-außen bezeichnet) der Intensitätsverteilung im Strahl umfassen. Darüber hinaus umfasst er im allgemeinen verschiedene andere Bauelemente wie z.B. einen Integrator IN und einem Kondensor CO. Auf diese Weise erhält der auf die Maske MA auftreffende Strahl PB in seinem Querschnitt eine gewünschte Gleichmäßigkeit und Intensitätsverteilung.The Source LA (e.g., a mercury lamp, an excimer laser, or a plasma discharge source) generates a beam of radiation. This ray becomes one Lighting system (Illuminator) IL led, either directly or after he conditioning devices such as a Strahlexpander Ex has gone through. The Illuminator IL can be adaptive AM for adjusting the outer and / or inner radial extent (generally designated σ-inner and σ-outer, respectively) the intensity distribution in the beam. About that In addition, it generally includes various other components such as. an integrator IN and a condenser CO. In this way receives the beam PB striking the mask MA in its cross section a desired one uniformity and intensity distribution.

Mit Bezug auf 8 ist festzustellen, dass die Quelle LA innerhalb des Gehäuses der lithographischen Projektionsvorrichtung angeordnet sein kann (wie es oft der Fall ist, wenn die Quelle LA beispielsweise eine Quecksilberlampe ist), sie kann sich jedoch auch entfernt von der lithographischen Projektionsvorrichtung befinden, wobei der durch sie erzeugte Strahlungsstrahl in die Vorrichtung geleitet wird (z.B. mit Hilfe geeigneter Leitungsspiegel); dieses letztgenannte Szenario ist oft gegeben, wenn die Quelle LA ein Excimer-Laser ist (der z.B. auf KrF-, ArF- oder F2-Laserbetrieb basiert). Die vorliegende Erfindung und ihre Ansprüche beinhalten beide Szenarien.Regarding 8th It should be appreciated that the source LA may be located within the housing of the lithographic projection apparatus (as is often the case when the source LA is a mercury lamp, for example), but it may also be located remotely from the lithographic projection apparatus generated radiation beam is directed into the device (eg with the help of suitable conduction mirrors); this latter scenario is often the case when the source LA is an excimer laser (eg based on KrF, ArF or F 2 laser operation). The present invention and its claims include both scenarios.

Danach tritt der Strahl PB in die Maske MA ein, die in einem Maskenhalter auf einem Maskentisch MT gehalten wird. Nachdem er die Maske MA durchquert hat, läuft der Strahl PB durch die Linse PL, die den Strahl PB auf einen Zielabschnitt C des Substrats W fokussiert. Mit Hilfe des zweiten Positionierungsmittels (und interferometrischen Messmittels IF) kann der Substrattisch WT genau bewegt werden, zum Beispiel um unterschiedliche Zielabschnitte C im Weg des Strahls PB zu positionieren. Auf gleiche Weise kann das erste Positionierungsmittel verwendet werden, um die Maske MA im Hinblick auf den Weg des Strahls PB genau zu positionieren, zum Beispiel nachdem die Maske MA mechanisch von einer Maskenbibliothek geholt worden ist oder während einer Abtastung. Im allgemeinen wird die Bewegung der Objekttische MT, WT mit Hilfe eines langhubigen Moduls (Grobpositionierung) und eines kurzhubigen Moduls (Feinpositionierung) durchgeführt, die in 8 nicht explizit dargestellt sind. Allerdings kann im Falle eines Wafer-Steppers (im Gegensatz zu einer Step-and-scan-Vorrichtung) der Maskentisch MT nur mit einem kurzhubigen Betätigungselement verbunden werden, oder er kann fixiert sein.Thereafter, the beam PB enters the mask MA, which is held in a mask holder on a mask table MT. After passing through the mask MA, the beam PB passes through the lens PL, which focuses the beam PB on a target portion C of the substrate W. By means of the second positioning means (and interferometric measuring means IF), the substrate table WT can be moved accurately, for example in order to position different target sections C in the path of the beam PB. Similarly, the first positioning means may be used to accurately position the mask MA with respect to the path of the beam PB, for example, after the mask MA has been mechanically fetched from a mask library or during a scan. In general, the movement of the object tables MT, WT with the aid of a long-stroke module (coarse positioning) and a short-stroke Module (fine positioning) performed in 8th are not explicitly shown. However, in the case of a wafer stepper (as opposed to a step-and-scan device), the mask table MT may only be connected to a short-stroke actuator, or it may be fixed.

Die gezeigte Vorrichtung kann auf zwei unterschiedliche Arten eingesetzt werden:

  • – Im Step-Modus wird der Maskentisch MT im wesentlichen stationär gehalten, und ein ganzes Maskenbild wird in einem Schritt (d.h. einem einzel nen „Flash") auf einen Zielabschnitt C projiziert. Der Substrattisch WT wird dann in X- und/oder Y-Richtung verschoben, so dass ein anderer Zielabschnitt C durch den Strahl PB bestrahlt werden kann.
  • – Im Scan-Modus geschieht im wesentlichen das Gleiche, mit der Ausnahme, dass ein bestimmter Zielabschnitt C nicht in einem einzigen „Flash" belichtet wird. Stattdessen ist der Maskentisch MT in einer vorgegebenen Richtung (der sogenannten „Abtastrichtung", z.B. der y-Richtung) mit einer Geschwindigkeit v bewegbar, um zu veranlassen, dass der Projektionsstrahl PB ein Maskenbild abtastet; gleichzeitig wird der Substrattisch WT simultan in die gleiche oder entgegengesetzte Richtung mit einer Geschwindigkeit V = Mv bewegt, wobei M die Vergrößerung der Linse PL ist (gewöhnlich ist M = ¼ oder 1/5). Auf diese Weise kann ein relativ großer Zielabschnitt C belichtet werden, ohne dass hinsichtlich der Auflösung Kompromisse eingegangen werden müssen.
The device shown can be used in two different ways:
  • In the step mode, the mask table MT is kept essentially stationary, and an entire mask image is projected in one step (ie a single "flash") onto a target section C. The substrate table WT is then written in X and / or Y. Direction shifted so that another target portion C can be irradiated by the beam PB.
  • In scan mode, essentially the same thing happens except that a certain target portion C is not exposed in a single "flash." Instead, the mask table MT is in a predetermined direction (the so-called "scan direction", eg, the y axis). Direction) at a speed v to cause the projection beam PB to scan a mask image; at the same time, the substrate table WT is simultaneously moved in the same or opposite direction at a speed V = Mv, where M is the magnification of the lens PL (usually M = 1/4 or 1/5). In this way, a relatively large target portion C can be exposed without having to compromise on the resolution.

Die vorliegenden Ausführungsformen sind in jeder Hinsicht als darstellend und nicht als einschränkend zu betrachten, wobei der Umfang der Erfindung durch die beigefügten Ansprüche gezeigt wird.The present embodiments are in all respects as illustrative and not restrictive The scope of the invention is shown by the appended claims becomes.

Claims (15)

Verfahren zur Erzeugung eines Maskenmusters beim Aufdrucken eines Zielmusters auf ein Substrat, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: (a) Bestimmen (11) einer maximalen Breite von Strukturen, die auf das Substrat abzubilden sind unter Verwendung von in dem besagten Maskenmuster gebildeten Phasenstrukturen; (b) Identifizieren (12, 13) aller in dem Zielmuster enthaltenen Strukturen, deren Breite der maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt; (c) Extrahieren (12, 13) aller Strukturen, deren Breite der maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt, von dem besagten Zielmuster; (d) Bilden (15) von Phasenstrukturen in dem besagten Maskenmuster, die allen in Schritt (b) identifizierten Strukturen entsprechen; und (e) Bilden (15) von Opakstrukturen in dem besagten Maskenmuster für alle Strukturen, die nach Durchführung von Schritt (c) im besagten Zielmuster verbleiben.A method of forming a mask pattern in printing a target pattern on a substrate, the method comprising the steps of: (a) determining ( 11 ) a maximum width of structures to be imaged on the substrate using phase structures formed in said mask pattern; (b) identify ( 12 . 13 ) of all structures included in the target pattern whose width is equal to or less than the maximum width; (c) Extract ( 12 . 13 ) of all structures whose width is equal to or less than the maximum width of said target pattern; (d) forming ( 15 ) phase structures in said mask pattern that correspond to all structures identified in step (b); and (e) forming ( 15 ) of opaque structures in said mask pattern for all structures remaining in said target pattern after performing step (c). Verfahren nach Anspruch 1, wobei Schritt (b) folgende Schritte umfasst: (f) Identifizieren (12) aller Vertikalstrukturen, deren Breite der maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt; (g) Extrahieren (12) aller in Schritt (f) identifizierten Vertikalstrukturen; (h) Identifizieren (13) aller Horizontalstrukturen, deren Breite der maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt; (i) Extrahieren (13) aller in Schritt (h) identifizierten Horizontalstrukturen.The method of claim 1, wherein step (b) comprises the steps of: (f) identifying ( 12 ) of all vertical structures whose width is equal to or less than the maximum width; (g) Extract ( 12 ) of all vertical structures identified in step (f); (h) identify ( 13 ) of horizontal structures whose width is equal to or less than the maximum width; (i) Extract ( 13 ) of all horizontal structures identified in step (h). Verfahren nach Anspruch 2, ferner umfassend die Schritte des Identifizierens (14) aller Schnittpunkte zwischen den besagten in Schritt (f) identifizierten Vertikalstrukturen und den besagten in Schritt (h) identifizierten Horizontalstrukturen, und des Bildens (15) von Opakstrukturen in dem besagten Maskenmuster, die allen besagten Schnittpunkten entsprechen.The method of claim 2, further comprising the steps of identifying ( 14 ) of all intersections between said vertical structures identified in step (f) and said horizontal structures identified in step (h), and forming ( 15 ) of opaque structures in said mask pattern corresponding to all said intersections. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die besagten Schnittpunkte identifiziert werden, indem eine Boolsche „UND"-Funktion zwischen den in Schritt (g) extrahierten Vertikalstrukturen und den in Schritt (h) extrahierten Horizontalstrukturen durchgeführt wird.The method of claim 3, wherein said intersections can be identified by using a Boolean "AND" function between those extracted in step (g) Vertical structures and the horizontal structures extracted in step (h) carried out becomes. Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4, wobei die besagten Phasenstrukturen in dem besagten Maskenmuster durch Bereiche gebildet werden, die im wesentlichen 100%ige Durchlässigkeit und 180° Phasenverschiebung aufweisen, und die Opakstrukturen in dem besagten Maskenmuster durch Bereiche gebildet werden, die eine 0%ige Durchlässigkeit aufweisen.The method of claim 1, 2, 3 or 4, wherein the said phase structures in said mask pattern by regions which are essentially 100% permeable and 180 ° phase shift and the opaque structures in said mask pattern Areas are formed which have a 0% permeability. Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3, 4 oder 5, ferner umfassend den Schritt des Einschließens von Korrekturmerkmalen optischer Nähe oder Kantenschrägen in dem besagten Maskenmuster.The method of claim 1, 2, 3, 4 or 5, further comprising the step of including correction features optical proximity or beveled edges in the said mask pattern. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit dem weiteren Schritt des Bildens einer mit dem besagten Maskenmuster versehenen Maske.Method according to one of the preceding claims, with the further step of forming one with said mask pattern provided mask. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 6, mit dem weiteren Schritt des Bildens eines Datensatzes zum Steuern einer programmierbaren Musteraufbringungseinrichtung, wobei der Datensatz das besagte Maskenmuster enthält.Method according to one of the preceding claims 1 to 6, with the further step of forming a record for controlling a programmable pattern applying device, wherein the data set containing said mask pattern. Vorrichtung zum Erzeugen eines Maskenmusters beim Aufdrucken eines Zielmusters auf ein Substrat, wobei die Vorrichtung folgendes umfasst: Mittel zum Bestimmen (11) einer maximalen Breite von Strukturen, die unter Verwendung von in dem besagten Maskenmuster gebildeten Phasenstrukturen auf das besagte Substrat abzubilden sind; Mittel zum Identifizieren (12, 13) aller in dem besagten Maskenmuster enthaltenen Strukturen, deren Breite der besagten maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt; Mittel zum Extrahieren (12, 13) aller Strukturen, deren Breite der besagten maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt, von dem besagten Zielmuster; Mittel zum Bilden von Phasenstrukturen (15) in dem besagten Maskenmuster, die allen Strukturen entsprechen, deren Breite der besagten maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt; und Mittel zum Bilden von Opakstrukturen (15) in dem besagten Maskenmuster für alle Strukturen, deren Breite größer ist als die besagte maximale Breite.Apparatus for generating a mask pattern when printing a target pattern onto a substrate, the apparatus comprising: means for determining ( 11 ) a maximum width of structures using in the be said mask patterns are phase patterns to be imaged on said substrate; Means for identifying ( 12 . 13 ) all structures contained in said mask pattern whose width is equal to or less than said maximum width; Means for extracting ( 12 . 13 ) of all structures whose width is equal to or less than said maximum width from said target pattern; Means for forming phase structures ( 15 ) in said mask pattern corresponding to all structures whose width is equal to or less than said maximum width; and means for forming opaque structures ( 15 ) in said mask pattern for all structures whose width is greater than said maximum width. Vorrichtung nach Anspruch 9, wobei die Mittel zum Identifizieren aller in dem besagten Zielmuster enthaltenen Strukturen, deren Breite der maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt, folgendes umfassen: Mittel zum Identifizieren aller Vertikalstrukturen (12), deren Breite der maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt; Mittel zum Extrahieren aller Vertikalstrukturen (12), deren Breite der maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt; Mittel zum Identifizieren aller Horizontalstrukturen (13), deren Breite der maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt; und Mittel zum Extrahieren aller Horizontalstrukturen (13), deren Breite der maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt.Apparatus according to claim 9, wherein the means for identifying all structures included in said target pattern whose width is equal to or less than the maximum width comprise: means for identifying all vertical structures ( 12 ) whose width is equal to or less than the maximum width; Means for extracting all vertical structures ( 12 ) whose width is equal to or less than the maximum width; Means for identifying all horizontal structures ( 13 ) whose width is equal to or less than the maximum width; and means for extracting all horizontal structures ( 13 ) whose width is equal to or less than the maximum width. Vorrichtung nach Anspruch 10, wobei ferner Mittel zum Identifizieren (14) aller Schnittstellen zwischen den besagten Vertikalstrukturen, deren Breite der maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt, und den besagten Horizontalstrukturen, deren Breite der maximalen Breite gleich ist oder darunter liegt, vorgesehen sind, und Opakstrukturen (15) in der besagten Maske gebildet werden, die sämtlichen der besagten Schnittstellen entsprechen.Apparatus according to claim 10, further comprising means for identifying ( 14 ) of all interfaces between said vertical structures whose width is equal to or less than the maximum width, and said horizontal structures whose width is equal to or less than the maximum width, and opaque structures ( 15 ) are formed in said mask, which correspond to all of said interfaces. Vorrichtung nach Anspruch 11, wobei die besagten Schnittstellen identifiziert werden, indem eine Boolsche „UND"-Funktion zwischen den durch das Mittel zum Extrahieren aller Vertikalstrukturen extrahierten Vertikalstrukturen und den durch das Mittel zum Extrahieren aller Horizontalstrukturen extrahierten Horizontalstrukturen durchgeführt wird.Apparatus according to claim 11, wherein said Interfaces are identified by a Boolean "AND" function between extracted by the means for extracting all the vertical structures Vertical structures and by the means for extracting all Horizontal structures extracted horizontal structures is performed. Vorrichtung nach Anspruch 9, 10, 11 oder 12, wobei die besagten Phasenstrukturen in dem besagten Maskenmuster durch Bereiche gebildet werden, die im wesentlichen 100%ige Durchlässigkeit und 180° Phasenverschiebung aufweisen, und die besagten Opakstrukturen in dem besagten Maskenmuster durch Bereiche gebildet werden, die eine 0%ige Durchlässigkeit aufweisen.Apparatus according to claim 9, 10, 11 or 12, wherein the said phase structures in said mask pattern Areas are formed that are essentially 100% permeable and 180 ° phase shift and said opaque structures in said mask pattern are formed by areas that have a 0% permeability exhibit. Vorrichtung nach Anspruch 9, 10, 11, 12 oder 13, ferner mit Mitteln, die optische Korrekturfähigkeiten oder Kantenschrägen in dem besagten Maskenmuster umfassen.Apparatus according to claim 9, 10, 11, 12 or 13, further comprising means for correcting optical aberrations or bevels in the comprise said mask patterns. Computerprogramm, mit Programmcodemitteln, die bei Einsatz in einem Computersystem das Computersystem anweisen, das Verfahren nach jedem der Ansprüche 1 bis 6 und 8 durchzuführen.Computer program, with program code means included in Use in a computer system to instruct the computer system that Method according to any of the claims 1 to 6 and 8.
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