DE4026917A1 - Sensor for position measurement of body movable along axis - has capacitive sensor whereby surfaces superposition changes as body moves - Google Patents

Sensor for position measurement of body movable along axis - has capacitive sensor whereby surfaces superposition changes as body moves

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Abstract

The sensor for determining the position of a body moving along an axis contains a measurement element whose shape changes with the body position and causes a corresp. change in an electromagnetic parameter. The electromagnetic parameter is a capacitance whose variation is strictly monotonic with increasing or decreasing body position. As the body moves the superposition (1.1) of the surface (1.3) of a measurement element connected to the body with a surface (1.2) mounted on a carrier element changes. USE/ADVANTAGE - Light and compact and can be manufactured very simply.

Description

Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Lageerfassung eines längs einer Achse beweglichen Körpers gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.The invention relates to a sensor for detecting the position of a body movable along an axis according to the preamble of Claim 1.

Es ist bereits ein gattungsgemäßer Sensor bekannt (DE 35 25 199 A1), wonach ein keilförmiges Meßelement mit einem induktiven Sensor derart in Wechselwirkung steht, daß sich bei einer Bewegung des Meßelementes in dem aus dem keilförmigen Meßelement und dem induktiven Sensor bestehenden magnetischen Kreis Luftspalte derart ändern, daß eine Änderung der magne­ tischen Induktion auftritt.A generic sensor is already known (DE 35 25 199 A1), according to which a wedge-shaped measuring element with a inductive sensor interacts in such a way that at a movement of the measuring element in the wedge-shaped Measuring element and the existing magnetic inductive sensor Change circle air gaps so that a change in magne table induction occurs.

Als nachteilig könnte erachtet werden, daß die Spulen als Bau­ teile ein relativ hohes Gewicht aufweisen und ein relativ großes Bauvolumen benötigen.A disadvantage could be considered that the coils as a construction parts have a relatively high weight and a relative need large construction volume.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Sensor zur Lageerfassung eines längs einer Achse beweglichen Körpers derart zu entwik­ keln, daß er ein geringes Gewicht und ein geringes Bauvolumen aufweist und möglichst einfach zu fertigen ist.The object of the invention is a sensor for position detection to develop a body movable along an axis that it is light in weight and has a small construction volume and is as easy to manufacture as possible.

Diese Aufgabe wird bei einem gattungsgemäßen Sensor zur Lage­ erfassung eines längs einer Achse beweglichen Körpers erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst, wobei die Merkmale der Unteransprüche vor­ teilhafte Aus- und Weiterbildungen kennzeichnen.This task becomes the position in a generic sensor detection of a body movable along an axis according to the invention with the characteristic features of  Claim 1 solved, the features of the subclaims before Mark partial training and further education.

Die vorliegende Erfindung löst diese Aufgabe, indem ein Teil der Fläche eines Meßelementes mit einer auf einem Trägerelement fest aufgebrachten Fläche eine Kapazität bildet, wobei bei ei­ ner Bewegung des Meßelementes in einer Richtung die Überlage­ rung der die Kapazität bildenden Fläche des Meßelementes und der fest aufgebrachten Fläche streng monoton zunimmt, während bei einer Bewegung des Meßelementes in die andere Richtung die Überlagerung der die Kapazität bildenden Fläche des Meßele­ mentes und der fest aufgebrachten Fläche streng monoton ab­ nimmt. Somit kann aus dem momentanen Wert der Kapazität auf die aktuelle Lage des Meßelementes und somit auch des mit diesem Meßelement fest verbundenen Körpers geschlossen werden.The present invention achieves this object by part the area of a measuring element with one on a carrier element firmly applied surface forms a capacity, with ei ner movement of the measuring element in one direction the overlay tion of the capacitance forming surface of the measuring element and the firmly attached surface increases strictly monotonously, while with a movement of the measuring element in the other direction Superposition of the area of the measuring element that forms the capacitance mentes and the firmly attached surface strictly monotonously takes. Thus, from the current value of the capacity to the current position of the measuring element and thus also with this Measuring element firmly connected body are closed.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung schematisch dargestellt und wird im folgenden näher be­ schrieben. Es zeigen:An embodiment of the invention is in the drawing is shown schematically and will be described in more detail below wrote. Show it:

Fig. 1 eine Darstellung des grundlegenden Funktionsprinzips eines erfindungsgemäßen Sensors, Fig. 1 is an illustration of the basic functional principle of a sensor of the invention,

Fig. 2 eine Darstellung einer ersten speziellen Ausführungs­ form eines erfindungsgemäßen Sensors, Fig. 2 is a representation of a first specific form of execution of a sensor according to the invention,

Fig. 3 eine Darstellung einer zweiten speziellen Ausfüh­ rungsform eines erfindungsgemäßen Sensors, Fig. 3 is a representation of a second particular exporting approximate shape of a sensor according to the invention,

Fig. 4 eine Seitenansicht eines erfindungsgemäßen Sensors, Fig. 4 is a side view of a sensor according to the invention,

Fig. 5 eine erste Darstellung einer zylinderförmigen Ausbil­ dung eines erfindungsgemäßen Sensors und Fig. 5 shows a first representation of a cylindrical training of a sensor according to the invention and

Fig. 6 eine zweite Darstellung einer zylinderförmigen Aus­ bildung eines erfindungsgemäßen Sensors. Fig. 6 is a second representation of a cylindrical formation from an inventive sensor.

Wie aus Fig. 1 ersichtlich, besteht der Teil 1.1 des (in der Fig. 1 nicht explizit dargestellten) Meßelementes, der mit der auf einem Trägerelement 1.4 fest aufgebrachten Fläche 1.2 eine Überlagerung zu einer Kapazität bildet, aus einer Fläche 1.3. Wird das Meßelement und somit auch die Fläche 1.3 bewegt, er­ folgt entsprechend der Darstellung in Fig. 1 eine Änderung der Überlagerung der die Kapazität bildenden Fläche, die in Fig. 1 schraffiert dargestellt ist, so daß mittels der Bestimmung der Kapazität die Position des Meßelementes und somit auch des mit diesem Meßelement verbundenen Körpers ermittelt werden kann.As can be seen from FIG. 1, part 1.1 of the measuring element (not explicitly shown in FIG. 1), which forms a superposition to a capacitance with the surface 1.2 fixedly attached to a carrier element 1.4 , consists of a surface 1.3 . If the measuring element and thus also the surface 1.3 is moved, it follows, as shown in FIG. 1, a change in the superimposition of the area forming the capacitance, which is hatched in FIG. 1, so that the position of the measuring element is determined by determining the capacitance and thus also the body connected to this measuring element can be determined.

Fig. 2 zeigt eine Prinzipdarstellung einer vorteilhaften Aus­ führungsform eines erfindungsgemäßen Sensors, bei der keine elektrische Leitung an der Fläche 2.1 angebracht wird. Dies wird erreicht, indem eine Serienschaltung von Kapazitäten rea­ lisiert wird, indem eine erste auf einem Trägerelement 2.5 fest aufgebrachte Fläche 2.2 an den einen elektrischen Pol einer Spannungsquelle 2.4 und eine zweite auf demselben Trägerele­ ment 2.5 fest aufgebrachte Fläche 2.3 an den anderen Pol der Spannungsquelle 2.4 angeschlossen werden, wobei unmittelbar zwischen diesen beiden auf dem Trägerelement 2.5 fest aufge­ brachten Flächen 2.2 und 2.3 eine elektrische Isolierung be­ steht. In dem Ausführungsbeispiel der Fig. 2 ist die aus der Überlagerung der auf dem Trägerelement 2.5 fest aufgebrachten Fläche 2.2 und der mit dem Meßelement verbundenen Fläche 2.3 gebildete Kapazität konstant. Analog zum Ausführungsbeispiel der Fig. 1 ändert sich die aus der Überlagerung der auf dem Trägerelement 2.5 fest aufgebrachten Fläche 2.3 und der Flä­ che 2.1 gebildete Kapazität, so daß sich bei einer Bewegung des Meßelementes die aus der Serienschaltung dieser beiden Kapazi­ täten ergebende Gesamtkapazität ändert, so daß mittels der Bestimmung der Gesamtkapazität die Position des Meßelementes und somit auch des mit diesem Meßelement verbundenen Körpers ermittelt werden kann. Fig. 2 shows a schematic diagram of an advantageous embodiment of a sensor according to the invention, in which no electrical line is attached to the surface 2.1 . This is achieved by realizing a series connection of capacitances by a first surface 2.2 firmly attached to a carrier element 2.5 to one electrical pole of a voltage source 2.4 and a second surface 2.3 fixedly attached to the same carrier element 2.5 to the other pole of the voltage source 2.4 are connected, being directly between these two on the support element 2.5 firmly brought up surfaces 2.2 and 2.3, electrical insulation be. In the embodiment of FIG. 2, the capacitance formed from the superimposition of the surface 2.2 fixedly attached to the carrier element 2.5 and the surface 2.3 connected to the measuring element is constant. Analogously to the exemplary embodiment in FIG. 1, the capacitance formed from the superimposition of the surface 2.3 fixedly attached to the carrier element 2.5 and the surface 2.1 changes , so that when the measuring element moves, the total capacitance resulting from the series connection of these two capacitances changes, so that the position of the measuring element and thus also of the body connected to this measuring element can be determined by determining the total capacitance.

Fig. 3 ist eine weitere vorteilhafte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors zu entnehmen, bei der analog zum Ausführungsbeispiel der Fig. 2 keine elektrische Leitung an der Fläche 3.1 angebracht ist. Die auf dem Trägerelement 3.6 fest aufgebrachte Fläche 3.2 ist mit dem einen Pol der Spannungs­ quelle 3.5 verbunden, während die beiden anderen auf dem Trägerelement 3.6 fest aufgebrachten Flächen 3.3 und 3.4 je­ weils mit dem anderen Pol der Spannungsquelle 3.5 verbunden sind. Somit sind die aufgrund der Überlagerung der auf dem Trägerelement 3.6 fest aufgebrachten Flächen 3.4 und 3.3 mit der Fläche 3.1 entstehenden Kapazitäten parallel geschaltet, wobei die Parallelschaltung dieser beiden Kapazitäten mit der sich aufgrund der Überlagerung der auf dem Trägerelement 3.6 fest aufgebrachten Fläche 3.2 und der Fläche 3.1 entstehenden Kapazität in Serie geschaltet ist. Aufgrund der Parallelschal­ tung der Kapazitäten im Unterschied zur Fig. 2 kann somit eine Verbesserung der Signalqualität erreicht werden. FIG. 3 shows a further advantageous embodiment of a sensor according to the invention, in which, analogously to the exemplary embodiment in FIG. 2, no electrical line is attached to the surface 3.1 . The surface 3.2 firmly attached to the support element 3.6 is connected to one pole of the voltage source 3.5 , while the other two surfaces 3.3 and 3.4 firmly attached to the support element 3.6 are each connected to the other pole of the voltage source 3.5 . Thus, the capacities resulting from the superimposition of the surfaces 3.4 and 3.3 firmly attached to the carrier element 3.6 are connected in parallel with the surface 3.1 , the parallel connection of these two capacitances with the surface 3.2 and the surface due to the superimposition of the firmly attached on the carrier element 3.6 3.1 resulting capacitance is connected in series. Due to the parallel connection of the capacitances in contrast to FIG. 2, an improvement in the signal quality can thus be achieved.

Fig. 4 zeigt eine Seitenansicht eines erfindungsgemäßen Sen­ sors. Dabei ist das Trägerelement 4.1 dargestellt sowie die sich diesem Trägerelement gegenüber befindende Fläche 4.2, der mit den auf dem Trägerelement 4.1 als Schicht 4.4 fest aufge­ brachten Flächen die entsprechenden Kapazitäten bildet. Zwi­ schen der Fläche 4.2 und der Schicht 4.4 befindet sich dabei vorteilhafter Weise noch ein Dielektrikum 4.3. Fig. 4 shows a side view of a sensor according to the invention. The carrier element 4.1 is shown, as is the surface 4.2 located opposite this carrier element, which forms the corresponding capacitances with the surfaces firmly attached to the carrier element 4.1 as layer 4.4 . Between the surface 4.2 and the layer 4.4 there is advantageously a dielectric 4.3 .

Fig. 5 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer zylindrischen Aus­ bildung des erfindungsgemäßen Sensors. Dabei kann die als Ring ausgebildete Fläche 5.1 sowohl innerhalb (5.1.2) als auch au­ ßerhalb (5.1.1) des Trägerelementes 5.2.2 bzw. 5.2.1 angebracht sein. Befindet sich die als Ring ausgebildete Fläche 5.1.2 in­ nerhalb des Trägerelementes 5.2.2, so ist die die Flä­ chen 5.3.1, 5.3.2 und 5.3.4 bildende Schicht zwischen dem Trägerelement 5.2.2 und der als Ring ausgebildeten Fläche 5.1.2 angeordnet. Befindet sich der Streifen 5.1.1 innerhalb des Trägerelementes 5.2.1, so ist die die Flächen 5.3.1, 5.3.2 und 5.3.4 bildende Schicht zwischen dem Trägerelement 5.2.1 und der als Ring ausgebildeten Fläche 5.1.1 angeordnet. Um keine elek­ trischen Leitungen an die als Ring ausgebildeten Flächen 5.1.1 bzw. 5.1.2 und somit an den Körper anschließen zu müssen, ist die Fläche 5.3.2 an den einen Pol der (nicht dargestellten) Spannungsquelle angeschlossen, während die beiden Flächen 5.3.1 und 5.3.3 an den anderen Pol der Spannungsquelle angeschlossen sind. Entsprechend der Darstellung der Fig. 3 ergibt sich somit eine Parallelschaltung der durch die Flächen 5.3.1 und 5.3.3 entstehenden Kapazitäten sowie eine Reihenschaltung der durch diese Parallelschaltung entstehenden Kapazität mit der durch die Fläche 5.3.2 entstehenden Kapazität. Fig. 5 shows an embodiment of a cylindrical formation from the sensor according to the invention. The surface 5.1 designed as a ring can be attached both inside ( 5.1.2 ) and outside ( 5.1.1 ) of the carrier element 5.2.2 or 5.2.1 . If the surface 5.1.2 in the form of a ring is located within the carrier element 5.2.2 , the layer 5.3.1 , 5.3.2 and 5.3.4 forming the surfaces is between the carrier element 5.2.2 and the surface 5.1 in the form of a ring .2 arranged. If the strip 5.1.1 is located within the carrier element 5.2.1 , the layer forming the surfaces 5.3.1 , 5.3.2 and 5.3.4 is arranged between the carrier element 5.2.1 and the surface 5.1.1 formed as a ring. In order not to have to connect any electrical lines to the surfaces 5.1.1 or 5.1.2 formed as a ring and thus to the body, the surface 5.3.2 is connected to the one pole of the (not shown) voltage source, while the two surfaces 5.3.1 and 5.3.3 are connected to the other pole of the voltage source. According to the illustration of FIG. 3 is thus a parallel circuit formed by the surfaces of the 5.3.1 and 5.3.3 capacity as well as a series connection of the parallel circuit formed by this capacitance with arising from the area 5.3.2 capacitance is obtained.

Fig. 6 zeigt eine Darstellung einer auf ein Trägerelement auf­ gebrachten Schicht, deren Aufbau sich analog zu dem Ausfüh­ rungsbeispiel der Fig. 3 ergibt. Allerdings ist hier zusätzlich eine auf dem Trägerelement fest aufgebrachte Fläche 6.1 vor­ handen, die in Verbindung mit der Fläche des (nicht explizit dargestellten) Meßelementes eine Kapazität bildet. Durch eine gesonderte Messung dieser Kapazität können dann sich infolge von Temperaturänderungen einstellende Kapazitätsänderungen er­ kannt und bei der Lagebestimmung ausgeglichen werden. Gegebe­ nenfalls ist es auch möglich, einen Temperaturausgleich vorzu­ nehmen, indem die aus den Flächen 5.1.1 bzw. 5.1.2 und 5.3.2 bestehende Kapazität auf Änderungen hin untersucht wird. Fig. 6 shows an illustration of a layer applied to a carrier element, the structure of which is analogous to the exemplary embodiment of FIG. 3. However, here there is additionally a surface 6.1 firmly attached to the carrier element, which forms a capacitance in connection with the surface of the measuring element (not explicitly shown). Through a separate measurement of this capacitance, changes in capacitance which occur as a result of temperature changes can then be recognized and compensated for in the position determination. If necessary, it is also possible to carry out a temperature compensation by examining the capacity of the areas 5.1.1 or 5.1.2 and 5.3.2 for changes.

Grundsätzlich ist es möglich, andere Formen für die die Kapa­ zität bildenden Flächen vorzusehen als dies hier in den Aus­ führungsbeispielen der Fig. 1-6 dargelegt wurde.In principle, it is possible to provide other shapes for the areas forming the capacitance than was shown here in the exemplary embodiments from FIGS . 1-6.

Claims (9)

1. Sensor zur Lageerfassung eines längs einer Achse beweglichen Körpers,
  • - wobei ein Meßelement seine geometrische Form relativ zu einer feststehenden Einrichtung bei einer Veränderung der Lage des beweglichen Körpers ändert,
  • - wobei diese Änderung der geometrischen Form zu einer Änderung einer elektromagnetischen Größe führt,
  • - wobei die Änderung der elektromagnetischen Größe streng mo­ noton erfolgt,
  • - indem bei einer Änderung der Lage des beweglichen in einer Richtung eine streng monotone Zunahme der elektromagne­ tischen Größe erfolgt und
  • - indem bei einer Änderung der Lage des beweglichen Körpers inder anderen Richtung eine streng monotone Abnahme der elektromagnetischen Größe erfolgt,
1. sensor for detecting the position of a body movable along an axis,
  • a measuring element changes its geometric shape relative to a fixed device when the position of the movable body changes,
  • this change in the geometric shape leads to a change in an electromagnetic variable,
  • - The change in the electromagnetic size is strictly mo noton,
  • - By a change in the position of the movable in one direction, a strictly monotonous increase in electromagnetic size and
  • by a strictly monotonous decrease in the electromagnetic variable when the position of the movable body changes in the other direction,
dadurch gekennzeichnet,characterized,
  • - daß die elektromagnetische Größe die Kapazität ist und- That the electromagnetic quantity is the capacity and
  • - daß die streng monotone Änderung der Kapazität erfolgt, indem sich bei einer Änderung der Lage des beweglichen Körpers die Überlagerung (1.1) der Fläche (1.3, 2.1, 3.1, 4.2, 5.1.1, 5.1.2) des mit dem beweglichen Körper verbundenen Meßele­ mentes mit der auf einem Trägerelement fest aufgebrachten Fläche (1.2, 2.3, 3.3, 3.4, 4.4, 5.3.1, 5.3.3) ändert.- That the strictly monotonous change in capacity takes place in that when the position of the movable body changes, the superposition ( 1.1 ) of the surface ( 1.3 , 2.1 , 3.1 , 4.2 , 5.1.1 , 5.1.2 ) of the connected to the movable body Meßele mentes with the surface firmly attached to a carrier element ( 1.2 , 2.3 , 3.3 , 3.4 , 4.4 , 5.3.1 , 5.3.3 ) changes.
2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die auf dem Trägerelement fest aufgebrachte Fläche in meh­ rere Flächen (2.2, 2.3, 3.2, 3.3, 3.4, 5.3.1, 5.3.2, 5.3.3) unterteilt ist, wobei eine der Flächen (2.2, 3.2, 5.3.2) mit einem Pol der Spannungsquelle (2.4, 3.5) verbunden ist, während wenigstens eine andere Fläche (2.3, 3.3, 3.4, 5.3.1, 5.3.3) mit dem anderen Pol der Spannungsquelle verbunden ist, wobei alle diese Flächen (2.2, 2.3, 3.2, 3.3, 3.4, 5.3.1, 5.3.2, 5.3.3) jeweils elektrisch gegeneinander isoliert sind und mit der Fläche (1.3, 2.1, 3.1, 4.2, 5.1.1) des mit dem beweglichen Körper verbundenen Meßelementes jeweils eine Kapazität bilden.2. Sensor according to claim 1, characterized in that the surface firmly attached to the carrier element is divided into several surfaces ( 2.2 , 2.3 , 3.2 , 3.3 , 3.4 , 5.3.1 , 5.3.2 , 5.3.3 ), one of the surfaces ( 2.2 , 3.2 , 5.3.2 ) is connected to one pole of the voltage source ( 2.4 , 3.5 ), while at least one other surface ( 2.3 , 3.3 , 3.4 , 5.3.1 , 5.3.3 ) is connected to the other pole of the voltage source is connected, whereby all these surfaces ( 2.2 , 2.3 , 3.2 , 3.3 , 3.4 , 5.3.1 , 5.3.2 , 5.3.3 ) are each electrically insulated from one another and with the surface ( 1.3 , 2.1 , 3.1 , 4.2 , 5.1. 1 ) of the measuring element connected to the movable body each form a capacitance. 3. Sensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die eine der Flächen (2.2, 3.2, 5.3.2) mit der Fläche (1.3, 2.1, 3.1, 4.2, 5.1.1) des mit dem beweglichen Körper verbun­ denen Meßelementes eine konstante Kapazität bezüglich der Be­ wegung des beweglichen Körpers aufweist.3. Sensor according to claim 2, characterized in that the one of the surfaces ( 2.2 , 3.2 , 5.3.2 ) with the surface ( 1.3 , 2.1 , 3.1 , 4.2 , 5.1.1 ) of the measuring element connected to the movable body is a constant Has capacity with respect to the movement of the movable body. 4. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß sich zwischen den die Kapazitäten bildenden Flächen (1.2, 2.2, 2.3, 3.2, 3.3, 3.4, 5.3.1, 5.3.2, 5.3.3 sowie 1.3, 2.1, 3.1, 5.1.1, 5.1.2) ein Dielektrikum befindet.4. Sensor according to one of claims 1 to 3, characterized in that between the areas forming the capacitances ( 1.2 , 2.2 , 2.3 , 3.2 , 3.3 , 3.4 , 5.3.1 , 5.3.2 , 5.3.3 and 1.3 , 2.1 , 3.1 , 5.1.1 , 5.1.2 ) there is a dielectric. 5. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich eine mit der Fläche (1.3, 2.1, 3.1, 4.2, 5.1.1, 5.1.2) eine bezüglich der Bewegung des beweglichen Körpers konstante Kapazität aufweisende Fläche vorhanden ist, so daß aus Änderungen dieser Kapazität auf Änderungen der anderen Ka­ pazitäten infolge von Temperaturänderungen geschlossen werden kann.5. Sensor according to one of claims 1 to 4, characterized in that in addition to the surface ( 1.3 , 2.1 , 3.1 , 4.2 , 5.1.1 , 5.1.2 ) there is a surface with constant capacity with respect to the movement of the movable body , so that changes in this capacity can lead to changes in the other capacities due to temperature changes. 6. Sensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß aus Änderungen der aus der einen Fläche (2.2, 3.2, 5.3.2) mit der Fläche (1.3, 2.1, 3.1, 4.2, 5.1.1) des mit dem beweg­ lichen Körper verbundenen Meßelementes gebildeten Kapazität auf Änderungen der anderen Kapazitäten infolge von Temperaturände­ rungen geschlossen werden kann.6. Sensor according to claim 3, characterized in that from the changes from the one surface ( 2.2 , 3.2 , 5.3.2 ) with the surface ( 1.3 , 2.1 , 3.1 , 4.2 , 5.1.1 ) of the connected to the movable body Measuring element formed capacity on changes in other capacities due to changes in temperature can be concluded. 6. Sensor nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
  • - daß an einem Trägerelement (5.2.1), das die Form einer Zy­ lindermantelfläche aufweist, sich die eine der mit einem Pol der Spannungsquelle verbundene, auf dem Trägerelement fest aufgebrachte Fläche (5.3.2) zickzackförmig und eine kon­ stante Breite aufweisend außen aufgebracht ist, daß die bei­ den anderen Flächen (5.3.1, 5.3.3) den Rest der auf dem Trägerelement (5.2.1, 5.2.2) außen vorhandenen Fläche ein­ nehmen und somit sich in regelmäßigen Abständen befindende Spitzen aufweisen,
  • - daß die Fläche (5.1.1, 5.1.2) des mit dem beweglichen Körper fest verbundenen Meßelementes als Ring ausgebildet ist, der mit der einen Fläche (5.3.2) und den anderen Flächen (5.3.2, 5.3.3) die Kapazitäten bildet, daß dieser Ring die Zylinder­ mantelfläche außen umgibt und daß der bewegliche Körper in axialer Richtung der Zylindermantelfläche beweglich ist.
6. Sensor according to one of claims 2 to 5, characterized in that
  • - That on a carrier element ( 5.2.1 ), which has the shape of a cylinder surface, one of the connected to a pole of the voltage source, firmly attached to the carrier element surface ( 5.3.2 ) zigzag and having a constant width applied outside is that the other surfaces ( 5.3.1 , 5.3.3 ) take up the rest of the surface on the outside of the carrier element ( 5.2.1 , 5.2.2 ) and thus have peaks located at regular intervals,
  • - That the surface ( 5.1.1 , 5.1.2 ) of the measuring element firmly connected to the movable body is designed as a ring which with one surface ( 5.3.2 ) and the other surfaces ( 5.3.2 , 5.3.3 ) Capacities forms that this ring surrounds the outer cylinder surface and that the movable body is movable in the axial direction of the cylindrical surface.
7. Sensor nach Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
  • - daß an einem Trägerelement (5.2.2), das die Form einer Zy­ lindermantelfläche aufweist, sich die eine der mit einem Pol der Spannungsquelle verbundene, auf dem Trägerelement fest aufgebrachte Fläche (5.3.2) zickzackförmig und eine kon­ stante Breite aufweisend innen aufgebracht ist, daß die bei­ den anderen Flächen (5.3.1, 5.3.3) den Rast dar auf dem Trägerelement (5.2.1, 5.2.2) innen vorhandenen Fläche einnehmen und somit sich in regelmäßigen Abständen befindende Spitzen aufweisen,
  • - daß die Fläche (5.1.1, 5.1.2) des mit dem beweglichen Körper fest verbundenen Meßelementes als Ring ausgebildet ist, der mit der einen Fläche (5.3.2) und den anderen Flächen (5.3.2, 5.3.3) die Kapazitäten bildet, daß dieser Ring innerhalb der Zylindermantelfläche liegt und daß der bewegliche Körper in axialer Richtung der Zylindermantelfläche beweglich ist.
7. Sensor according to claims 2 to 5, characterized in
  • - That on a carrier element ( 5.2.2 ), which has the shape of a cylinder surface, the one of the connected to a pole of the voltage source, firmly attached to the carrier element surface ( 5.3.2 ) zigzag and a constant width applied inside is that the surface of the other surfaces ( 5.3.1 , 5.3.3 ) occupies the latch on the inside of the carrier element ( 5.2.1 , 5.2.2 ) and thus has peaks located at regular intervals,
  • - That the surface ( 5.1.1 , 5.1.2 ) of the measuring element firmly connected to the movable body is designed as a ring which with one surface ( 5.3.2 ) and the other surfaces ( 5.3.2 , 5.3.3 ) Capacities forms that this ring lies within the cylinder surface and that the movable body is movable in the axial direction of the cylinder surface.
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