DE3826561A1 - Capacitive distance pick-up - Google Patents

Capacitive distance pick-up

Info

Publication number
DE3826561A1
DE3826561A1 DE3826561A DE3826561A DE3826561A1 DE 3826561 A1 DE3826561 A1 DE 3826561A1 DE 3826561 A DE3826561 A DE 3826561A DE 3826561 A DE3826561 A DE 3826561A DE 3826561 A1 DE3826561 A1 DE 3826561A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
capacitor
vernier
ruler
transducer according
cylindrical body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE3826561A
Other languages
German (de)
Inventor
Michael Dipl Ing Robohm
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bosch Rexroth AG
Original Assignee
Mannesmann Rexroth AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mannesmann Rexroth AG filed Critical Mannesmann Rexroth AG
Priority to DE3826561A priority Critical patent/DE3826561A1/en
Publication of DE3826561A1 publication Critical patent/DE3826561A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G01D5/241—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
    • G01D5/2412—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying overlap
    • G01D5/2415—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying overlap adapted for encoders
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2815—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
    • F15B15/2846—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using detection of markings, e.g. markings on the piston rod
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/003—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2451—Incremental encoders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

The invention relates to an incremental capacitive distance pick-up, which has a rotationally symmetrical construction, so that vernier and scale are mutually displaceable and rotatable. Various designs are explained which can be advantageously used for distance measurement of hydraulic or pneumatic cylinders and valves.

Description

Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Wegaufnehmer gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.The invention relates to a capacitive displacement sensor according to the Preamble of claim 1.

Derartige kapazitive inkrementale Wegaufnehmer arbeiten nach dem Lineal-Nonius-Prinzip. Ein bekannter Wegaufnehmer ist in Fig. 1 dargestellt. Dabei sind die Kondensatorflächen 1 des Lineals nebeneinander in gleichmäßigen Abständen als einzelne Streifen auf einer Unterlage aufgebracht. In einem Abstand von einigen zehntel Millimetern über dem Lineal sind auf einer weiteren nicht dargestellten Unterlage die Kondensatorflächen 2 des Nonius und ein Koppelkondensator 3 verschiebbar angeordnet. Auch die Kondensatorflächen 2 des Nonius sind streifenförmig und in gleichmäßigen Abständen parallel zu den Kondensatorflächen 1 des Lineals angeordnet. Die Teilung des Nonius ist jedoch geringer als die des Lineals. Im dargestellten Fall beträgt die Teilungsperiode des Nonius ¾ der Teilung des Lineals. Der Koppelkondensator 3 erstreckt sich längs aller Streifen des Nonius.Such capacitive incremental displacement transducers work according to the ruler-vernier principle. A known displacement sensor is shown in Fig. 1. The capacitor surfaces 1 of the ruler are applied next to one another at regular intervals as individual strips on a base. At a distance of a few tenths of a millimeter above the ruler, the capacitor surfaces 2 of the vernier and a coupling capacitor 3 are slidably arranged on a further base, not shown. The capacitor surfaces 2 of the vernier are also strip-shaped and arranged at regular intervals parallel to the capacitor surfaces 1 of the ruler. The pitch of the vernier is, however, less than that of the ruler. In the case shown, the division period of the vernier is ¾ the division of the ruler. The coupling capacitor 3 extends along all strips of the vernier.

Eine sinus- oder rechteckförmige Spannung wird an den Koppelkondensator 3 angelegt. Somit entsteht an den Kondensatorflächen 2 des Nonius über die kapazitive Kopplung zwischen dem Koppelkondensator und dem Lineal sowie dem Nonius eine Spannung X 1 bis X 4, welche in den Fig. 2a und 2b dargestellt ist. Entsprechend den geometrischen Verhältnissen der Flächen und Abstände beim Verschieben des Nonius gegenüber dem Lineal sind die Spannungen X 1 bis X 4 gegeneinander phasenverschoben.A sinusoidal or rectangular voltage is applied to the coupling capacitor 3 . A voltage X 1 to X 4 thus arises at the capacitor surfaces 2 of the vernier via the capacitive coupling between the coupling capacitor and the ruler and the vernier, which voltage is shown in FIGS. 2a and 2b. In accordance with the geometrical relationships of the surfaces and distances when the vernier is moved relative to the ruler, the voltages X 1 to X 4 are mutually phase-shifted.

In einer nicht dargestellten bekannten Auswerteschaltung werden durch Differenzbildung die Spannungen U 1 und U 2 erzeugt. Die Phasenverschiebung zwischen den beiden Spannungen dient zur Richtungserkennung, die Anzahl der Spannungsspitzen zur Messung der zurückgelegten Weglänge. Bei der Auswerteschaltung kann es sich um eine bekannte Interpolations- und Impulsformelektronik handeln. An sich sind dem Prinzip nach nur vier Kondensatorflächen für den Nonius 2 erforderlich. In Fig. 1 ist die doppelte Anzahl gezeigt, um die Kondensatorflächen zu vergrößern und damit eine höhere Meßsicherheit zu erhalten.In a known evaluation circuit, not shown, the voltages U 1 and U 2 are generated by forming the difference. The phase shift between the two voltages is used for direction detection, the number of voltage peaks for measuring the distance covered. The evaluation circuit can be known interpolation and pulse shape electronics. In principle, only four capacitor areas are required for the vernier 2. In Fig. 1, twice the number is shown in order to enlarge the capacitor areas and thus to obtain a higher measurement reliability.

Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht darin, den kapazitiven Wegaufnehmer rotationssymmetrisch auszubilden, so daß Lineal und Nonius gegeneinander verdreht werden können und genaue Meßergebnisse liefern.The object underlying the invention is to design the capacitive displacement sensor to be rotationally symmetrical, so that ruler and vernier twisted against each other can and provide accurate measurement results.

Die Aufgabe ist erfindungsgemäß mit den Merkmalen der Patentansprüche in verschiedenen Ausführungsformen gelöst.The object of the invention is with the features of Claims solved in different embodiments.

Ein wesentlicher Vorteil des rotationssymmetrischen Aufbaus eines derartigen Wegaufnehmers besteht darin, daß er in Haudraulik- oder Pneumatikzylindern bzw. in Ventilen integriert werden kann. Insbesondere kann das Meßsystem ohne weiteres im Hochdruckteil dieser Geräte untergebracht werden, wobei von besonderem Vorteil ist, daß Hydrauliköl eine höhere Dielektrizitätskonstante als Luft hat.A major advantage of the rotationally symmetrical structure of such a displacement sensor is that it in hydraulic or pneumatic cylinders or in valves can be integrated. In particular, the measuring system easily accommodated in the high pressure part of these devices be, with particular advantage that hydraulic oil has a higher dielectric constant than air.

Die einfache rotationssymmetrische Ausführung des Wegaufnehmers (Fig. 4) hat eine Vergrößerung der Kondensatorflächen gegenüber konventionellen linearen Wegaufnehmern zur Folge, so daß sie auch empfindlicher gegenüber äußeren elektrischen Einflüssen sind. Durch die in Fig. 2c dargestellte Differenzbildung der Meßspannungen lassen sich Störeinflüsse verringern. Vorzugsweise wird erfindungsgemäß eine Phasenmessung vorgenommen, indem die Kondensatorflächen des Nonius paarweise mit einem sinus- bzw. kosinusförmigen Signal angesteuert werden. Je nach Stellung des Nonius gegenüber dem Lineal wird im Koppelkondensator ein zu dem Sinus- oder Kosinussignal phasenverschobenes Signal erzeugt. Da die beiden Signalpaare gegeneinander phasenverschoben sind, werden sie auch zeitlich nacheinander angesteuert und gemessen, da nur eine Meßleitung vorgesehen werden soll. Auch eine Richtungserkennung ist aufgrund der vor- oder nacheilenden Phase der ausgewerteten Signale möglich.The simple, rotationally symmetrical design of the displacement transducer ( FIG. 4) results in an enlargement of the capacitor areas compared to conventional linear displacement transducers, so that they are also more sensitive to external electrical influences. The influence of the measuring voltages shown in FIG. 2c can reduce interference. According to the invention, a phase measurement is preferably carried out by driving the capacitor surfaces of the vernier in pairs with a sine or cosine signal. Depending on the position of the vernier relative to the ruler, a signal that is out of phase with the sine or cosine signal is generated in the coupling capacitor. Since the two signal pairs are phase-shifted with respect to one another, they are also controlled and measured sequentially in time, since only one measuring line is to be provided. Direction detection is also possible due to the leading or lagging phase of the evaluated signals.

Auch bei Anordnung der Kondensatorflächen des Nonius und des Kopplungskondensators in einem bestimmten Muster zueinander lassen sich die Störeinflüsse erheblich verringern.Even when arranging the capacitor surfaces of the vernier and of the coupling capacitor in a certain pattern to each other the interference can be significantly reduced.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind nachstehend anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigtExemplary embodiments of the invention are described below the drawing explained in more detail. It shows

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines bekannten linearen Wegaufnehmers, Fig. 1 is a schematic representation of a known linear position transducer,

Fig. 2a, 2b und 2c Darstellungen der Signalformen, FIGS. 2a, 2b and 2c show waveforms,

Fig. 3 eine erste Ausführungsform eines rotationssymmetrischen Wegaufnehmers, Fig. 3 shows a first embodiment of a rotationally symmetrical transducer,

Fig. 4 eine perspektivische Darstellung eines Wegaufnehmers in einer zweiten Ausführungsform, Fig. 4 is a perspective view of a transducer in a second embodiment,

Fig. 5 einen Teilausschnitt des in Fig. 4 dargestellten Wegaufnehmers, Fig. 5 is a partial section of the displacement sensor shown in Fig. 4,

Fig. 6 eine bevorzugte weitere Ausführungsform des Wegaufnehmers und Fig. 6 shows a preferred further embodiment of the displacement sensor and

Fig. 7 ein Einbaubeispiel. Fig. 7 shows an installation example.

Gemäß Fig. 3 sind auf einem zylindrischen Körper 5 die Kondensatorflächen 10 des Lineals nebeneinander sich über den Gesamtumfang erstreckend als endlose Ringe ausgebildet, die in bestimmten Abständen nebeneinander angeordnet sind. Die vier Kondensatorflächen 20 des Nonius sowie der zugehörige Koppelkondensator 30 sind auf einem nicht dargestellten gegenüber dem zylindrischen Körper 5 verschiebbaren, sowie drehbaren Ring aufgebracht und liegen somit konzentrisch zum zylindrischen Körper 5. In Fig. 3 sind auch die Anschlußleitungen für den Koppelkondensator 30 und für den Nonius angedeutet. Die Breite der Streifen bzw. Ringe von Lineal und Nonius sind jeweils annähernd gleich. According to FIG. 3, the capacitor surfaces 10 of the ruler are formed next to one another on a cylindrical body 5 and extend over the entire circumference as endless rings which are arranged next to one another at certain intervals. The four capacitor surfaces 20 of the vernier and the associated coupling capacitor 30 are mounted on a ring (not shown) which is displaceable and rotatable relative to the cylindrical body 5 and are therefore concentric with the cylindrical body 5 . In Fig. 3, the connecting lines for the coupling capacitor 30 and for the vernier are indicated. The width of the strips or rings of ruler and vernier are approximately the same.

Zur Absolutwertbildung bzw. Nullpunkteichung des Wegaufnehmers ist eine Referenzmarkierung erforderlich. Hierzu sind auf dem zylindrischen Körper 5 zwei Ringe 6 aufgebracht, die zwischen jeweils zwei Kondensatorflächen 10 des Lineals liegen, jedoch schmaler ausgeführt sind, um eine Unterscheidung zu ermöglichen. Zur Abtastung dienen zwei auf dem gleichen Bauteil wie der Nonius angeordnete Abtaststreifen 7 in Verbindung mit einem Koppelkondensator 8, der wiederum an eine sinus- oder rechteckförmige Spannung wie der Koppelkondensator 30 angeschlossen ist.A reference marking is required for the absolute value formation or zero point calibration of the displacement transducer. For this purpose, two rings 6 are applied to the cylindrical body 5 , which lie between two capacitor surfaces 10 of the ruler, but are made narrower in order to make a distinction. Two scanning strips 7 arranged on the same component as the vernier are used for the scanning in connection with a coupling capacitor 8 , which in turn is connected to a sinusoidal or rectangular voltage like the coupling capacitor 30 .

In der Ausführungsform gemäß Fig. 4 ist die geometrische Anordnung der Flächen des Lineals und des Nonius vertauscht. Die Kondensatorflächen des Lineals 11 sind in zwei Reihen 12 und 13 angeordnet, die beide auf dem zylindrischen Körper 5 aufgebracht sind. In der in Fig. 4 gezeigten Darstellung sind die beiden Reihen 12 und 13 verhältnismäßig schmal. Um die Kondensatorflächen zu vergrößern, können die einzelnen Streifen in jeder Reihe 12 bzw. 13 länger ausgeführt sein und erstrecken sich die Reihen somit um etwa ein Drittel des Umfangs des zylindrischen Körpers 5.In the embodiment according to FIG. 4, the geometric arrangement of the surfaces of the ruler and the vernier is reversed. The capacitor surfaces of the ruler 11 are arranged in two rows 12 and 13 , both of which are applied to the cylindrical body 5 . In the illustration shown in FIG. 4, the two rows 12 and 13 are relatively narrow. In order to enlarge the capacitor areas, the individual strips in each row 12 or 13 can be made longer and the rows thus extend by approximately one third of the circumference of the cylindrical body 5 .

Parallel zu den beiden Reihen 12 und 13 ist ein Koppelkondensator 31 auf dem zylindrischen Körper 5 aufgebracht. A coupling capacitor 31 is applied to the cylindrical body 5 parallel to the two rows 12 and 13 .

Auf dem zum zylindrischen Körper 5 konzentrischen und verschiebbaren sowie drehbaren nicht dargestellten Ring befinden sich die Kondensatorflächen des Nonius 21. Die einzelnen Flächen sind als endlose Ringe ausgebildet und in gleichmäßigen Abständen angeordnet. Ferner sind auf dem zylindrischen Körper noch Referenzmarken 6 aufgebracht. Der Anschluß der Leitungen X 1 bis X 4 erfolgt an die Kondensatorflächen des Lineals 11.The capacitor surfaces of the vernier 21 are located on the ring (not shown) which is concentric with the cylindrical body 5 and can be moved and rotated. The individual surfaces are designed as endless rings and are evenly spaced. Furthermore, reference marks 6 are also applied to the cylindrical body. The lines X 1 to X 4 are connected to the capacitor surfaces of the ruler 11 .

Ein Ausschnitt der in Fig. 4 dargestellten Anordnung ist in Fig. 5 gezeigt. Die einzelnen Streifen 11 in der Reihe 12 sind in gleichmäßigen Abständen angeordnet wie auch die Streifen 11 in der Reihe 13. Die Streifen in beiden Reihen 12 und 13 liegen symmetrisch zueinander, so daß die Streifen 11 in der Reihe 13 gegenüber zwei aufeinanderfolgenden Streifen 11 der Reihe 12 um den halben Abstand jeweils versetzt sind.A section of the arrangement shown in FIG. 4 is shown in FIG. 5. The individual strips 11 in the row 12 are arranged at regular intervals, as are the strips 11 in the row 13 . The strips in both rows 12 and 13 are symmetrical to one another, so that the strips 11 in the row 13 are offset by half the distance in each case from two successive strips 11 of the row 12 .

Auf diese Weise ergibt sich der Vorteil, die einzelnen Streifen 11 an die Leitungen X 1 bis X 4 ohne Überkreuzung anzuschließen. Wie aus Fig. 5 erkennbar ist, wird jeweils das obere Ende jedes zweiten Streifens 11 in der Reihe 12 an die Leitung X 1 und das untere Ende jedes dazwischenliegenden Streifens an die Leitung X 3 angeschlossen. Entsprechendes gilt für die Anschlüsse der Streifen 11 in der Reihe 13 an die Leitungen X 2 und X 4.In this way, there is the advantage of connecting the individual strips 11 to the lines X 1 to X 4 without crossover. As can be seen from FIG. 5, the upper end of each second strip 11 in row 12 is connected to line X 1 and the lower end of each intermediate strip to line X 3 . The same applies to the connections of the strips 11 in the row 13 to the lines X 2 and X 4 .

In Fig. 6 ist eine weitere bevorzugte rotationssymmetrische Ausführung dargestellt. Dabei sind die einzelnen Streifen des Lineals 15 in einer einzigen Reihe 16 auf dem zylindrischen Körper 5 angeordnet. Ähnlich den Streifen 11 der Fig. 4 liegen auch die Streifen 15 auf Kreisbögen des Zylinderumfangs, erstrecken sich somit nur über einen Teilabschnitt des Zylinderumfangs. Dies hat den Vorteil, daß das Aufbringen der Streifen erleichtert ist. So lassen sich die Streifen in allen Ausführungsformen entweder auf lithografischem Wege aufbringen oder auf eine Folie, die dann auf den zylindrischen Körper bzw. den verschiebbaren konzentrischen Ring aufgeklebt wird. Der Träger für die Folie sollte vorzugsweise aus einem Material mit niedrigem Temperaturausdehnungskoeffizienten bestehen.A further preferred rotationally symmetrical embodiment is shown in FIG. 6. The individual strips of the ruler 15 are arranged in a single row 16 on the cylindrical body 5 . Similar to the strips 11 in FIG. 4, the strips 15 also lie on circular arcs of the cylinder circumference and thus only extend over a partial section of the cylinder circumference. This has the advantage that the application of the strips is facilitated. In all embodiments, the strips can be applied either lithographically or onto a film, which is then glued onto the cylindrical body or the displaceable concentric ring. The carrier for the film should preferably consist of a material with a low coefficient of thermal expansion.

In Fig. 6 trägt der nicht dargestellte verschiebbare und drehbare Ring, der konzentrisch zum Zylinder 5 liegt, ein Muster von einzelnen Kondensatorflächen für den Nonius 22 und den Koppelkondensator 32. Jede Einzelfläche 22 des Nonius sowie jede Einzelfläche 32 des Koppelkondensators ist jeweils etwa halb so groß wie eine der Flächen 15 des Lineals, so daß gewährleistet ist, daß bei einer Drehung zwischen dem Nonius 22 und dem Lineal 15 die Kapazität zwischen den einzelnen Flächen stets konstant bleibt. Hierzu sind die Kondensatorflächen 22 und 32 für Nonius und Kopplungskondensator so verteilt, daß sie abwechselnd auf Kreisbögen aufeinander folgen. Damit ergibt sich auch der Vorteil, daß sie in der in Fig. 5 entsprechenden Weise angeschlossen werden können, ohne daß sich Kreuzungspunkte ergeben. Im übrigen wird für die geometrische Anordnung der Flächen auf die Darstellung in der Zeichnung verwiesen.In Fig. 6 the not shown displaceable and rotatable ring which is concentric to the cylinder 5 carries a pattern of individual capacitor areas for the vernier 22 and the coupling capacitor 32. Each individual surface 22 of the vernier and each individual surface 32 of the coupling capacitor is each about half the size of one of the surfaces 15 of the ruler, so that it is ensured that the capacitance between the individual surfaces is always constant when rotating between the vernier 22 and the ruler 15 remains. For this purpose, the capacitor areas 22 and 32 for vernier and coupling capacitor are distributed in such a way that they follow one another alternately on circular arcs. This also has the advantage that they can be connected in the manner corresponding to FIG. 5 without crossing points. For the rest, reference is made to the illustration in the drawing for the geometric arrangement of the surfaces.

Die in Fig. 6 gewählte Anordnung der Kondensatorfläche bietet den Vorteil, daß sie gegenüber äußeren Störeinflüssen verhältnismäßig unempfindlich ist.The arrangement of the capacitor area selected in FIG. 6 offers the advantage that it is relatively insensitive to external interference.

Die Empfindlichkeit gegenüber Störeinflüssen insbesondere infolge der Vergrößerung der Kondensatorflächen läßt sich ferner durch eine abgeänderte Ansteuerung des Wegaufnehmers verbessern. Hierzu wird die Leitung X 1 an eine Spannung Sinus ω t und die Leitung X 3 an eine Spannung Kosinus ω t angeschlossen. Anstelle der Kapazitätsmessung wird dann eine Messung der Phasenverschiebung zwischen dem am Koppelkondensator 30, 31 oder 32 anstehenden Meßsignal und dem Signalpaar an den Flächen des an die Leitungen X 1 und X 3 angeschlossenen Nonius 20, 21, 22 vorgenommen. Dies ergibt die Messung der Weglänge. Für die Richtungserkennung werden die Leitungen X 2 und X 4 an eine um 180° gegenüber X 1 phasenverschobene Spannung Sinus ω t und die Leitung X 4 an eine ebenfalls um 180° gegenüber X 3 phasenverschobene Spannung Kosinus ω t angeschlossen. Die beiden Signalpaare sin, cos und sind gegeneinander phasenverschoben. Da nur eine Meßleitung zur Verfügung steht, werden sie auch zeitlich nacheinander angesteuert und gemessen.The sensitivity to interference, in particular as a result of the enlargement of the capacitor areas, can also be improved by changing the control of the displacement transducer. For this purpose, line X 1 is connected to a voltage sine ω t and line X 3 to a voltage cosine ω t . Instead of the capacitance measurement, a measurement of the phase shift is then carried out between the measurement signal present at the coupling capacitor 30, 31 or 32 and the signal pair on the surfaces of the vernier 20, 21, 22 connected to the lines X 1 and X 3 . This results in the measurement of the path length. For direction detection, the lines X 2 and X 4 are connected to a voltage sine ω t that is 180 ° out of phase with X 1 and the line X 4 is connected to a voltage cosine ω t that is also out of phase with X 3 . The two signal pairs sin, cos and are out of phase with each other. Since only one measuring line is available, they are also controlled and measured one after the other.

In Fig. 6 ist eine Referenzmarkierung auf induktiver Basis dargestellt. Zwischen den Streifen 15 des Lineals sind mäanderförmige Spulen 60 angeordnet. Auf dem gleichen Ring, auf dem Nonius und Koppelkondensator angeordnet sind, werden Spulen 61, 62 ringförmig angeordnet und in der gleichen Weise wie die Konsdensatorflächen geschaltet.In FIG. 6, a reference mark is shown on an inductive basis. Meandering coils 60 are arranged between the strips 15 of the ruler. On the same ring on which the vernier and coupling capacitor are arranged, coils 61, 62 are arranged in a ring and switched in the same way as the condenser surfaces.

Der Ring trägt ein Muster aus einzelnen mäanderförmigen Spulen 61 und 62. Jede Einzelspule 61 bzw. 62 ist jeweils halb so groß wie eine der Spulen 60 des Lineals.The ring carries a pattern of individual meandering coils 61 and 62 . Each individual coil 61 or 62 is half the size of one of the coils 60 of the ruler.

Ein Einbaubeispiel des Wegaufnehmers in einen hydraulischen Zylinder ist in Fig. 7 dargestellt. In einem Zylinder 40 ist ein Kolben 41 mit einer Kolbenstange 42 verschiebbar. Die Zu- und Abläufe in die Zylinderräume sind nicht dargestellt. Die Kolbenstange 42 weist eine Ausnehmung 44 auf, in die sich eine an der Kolbenstange 42 befestigte Stange 45 erstreckt. Die Stange bildet den aus Keramik bestehenden Träger für eine Folie, auf die in der bereits erläuterten Weise die Streifen des Lineals 16 entsprechend Fig. 6 aufgetragen sind. In den Zwischenraum zwischen der Ausnehmung 44 und dem Träger 45 taucht ein am Zylinderboden befestigtes Keramikrohr 46, an dessen Ende der Nonius 22 und Koppelkondensator 32 angeordnet ist.An installation example of the displacement sensor in a hydraulic cylinder is shown in FIG. 7. A piston 41 with a piston rod 42 is displaceable in a cylinder 40 . The inlets and outlets in the cylinder rooms are not shown. The piston rod 42 has a recess 44 into which a rod 45 fastened to the piston rod 42 extends. The rod forms the ceramic support for a film on which the strips of the ruler 16 according to FIG. 6 are applied in the manner already explained. In the space between the recess 44 and the carrier 45 a ceramic tube 46 is attached to the cylinder bottom, at the end of which the vernier 22 and coupling capacitor 32 are arranged.

Claims (16)

1. Kapazitiver Wegaufnehmer mit einem mehrere beabstandete Kondensatorflächen aufweisenden Lineal, mit einem mehrere beabstandete Kondensatorflächen unterschiedlicher Teilung im Vergleich zum Lineal aufweisenden Nonius, mit einem Koppelkondensator und mit einer Auswerteschaltung für die zwischen den Kondensatorflächen bei deren relativen Verschiebung auftretenden Meßspannung, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensatorflächen des Lineals (10, 11, 12, 13, 15) auf einem zylindrischen Körper (5) und die Kondensatorflächen des Nonius (20, 21, 22) auf einem den zylindrischen Körper konzentrisch umgebenden dreh- und verschiebbaren Ring angebracht sind.1.Capacitive displacement transducer with a ruler having a plurality of spaced capacitor areas, with a multiple spaced capacitor areas having different pitches compared to the ruler, with a coupling capacitor and with an evaluation circuit for the measuring voltage occurring between the capacitor areas during their relative displacement, characterized in that the Condenser surfaces of the ruler ( 10, 11, 12, 13, 15 ) on a cylindrical body ( 5 ) and the capacitor surfaces of the vernier ( 20, 21, 22 ) are mounted on a rotatable and displaceable ring concentrically surrounding the cylindrical body. 2. Wegaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensatorflächen des Lineals (10) als endlose in sich geschlossene Streifen auf dem zylindrischen Körper ausgebildet sind und die Kondensatorflächen des Nonius (20) und des Koppelkondensators (30) sich jeweils über einen Kreisbogen des Ringes erstrecken (Fig. 3).2. Transducer according to claim 1, characterized in that the capacitor surfaces of the ruler ( 10 ) are formed as endless, self-contained strips on the cylindrical body and the capacitor surfaces of the vernier ( 20 ) and the coupling capacitor ( 30 ) each have an arc of the Extend ring ( Fig. 3). 3. Wegaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensatorflächen des Lineals (11, 12, 13) und des Koppelkondensators (31) sich jeweils über einen Kreisbogen des zylindrischen Körpers (5) erstrecken und die Kondensatorflächen des Nonius (21) als endlose in sich geschlossene Streifen auf dem Ring ausgebildet sind (Fig. 4).3. Transducer according to claim 1, characterized in that the capacitor surfaces of the ruler ( 11, 12, 13 ) and the coupling capacitor ( 31 ) each extend over an arc of the cylindrical body ( 5 ) and the capacitor surfaces of the vernier ( 21 ) as endless self-contained strips are formed on the ring ( Fig. 4). 4. Wegaufnehmer nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensatorflächen des Lineals (11, 12, 13) in zwei auf unterschiedlichen Kreisbögen liegenden Reihen (12, 13) angeordnet sind, wobei jeweils eine Kondensatorfläche der einen Reihe gegenüber einer Kondensatorfläche der anderen Reihe um den halben Abstand einander benachbarter Kondensatorflächen versetzt angeordnet ist (Fig. 4).4. Transducer according to claim 3, characterized in that the capacitor surfaces of the ruler ( 11, 12, 13 ) are arranged in two rows ( 12, 13 ) lying on different arcs, each having a capacitor area of one row against a capacitor area of the other row is offset by half the distance between adjacent capacitor areas ( Fig. 4). 5. Wegaufnehmer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensatorflächen (11) in jeder Reihe (12, 13) abwechselnd mit ihrem einen oder anderen Ende an sich quer zu den Kondensatorflächen erstreckenden Leitungen angeschlossen sind (Fig. 4).5. Transducer according to claim 4, characterized in that the capacitor surfaces ( 11 ) in each row ( 12, 13 ) are alternately connected with their one or other end to lines extending transversely to the capacitor surfaces ( Fig. 4). 6. Wegaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensatorflächen des Lineals (15) als auf jeweils einem Kreisbogen liegende Streifen ausgebildet sind und die Kondensatorflächen des Nonius (22) und des Kopplungskondensators (32) zueinander ein bestimmtes Flächenverhältnis aufweisen, zusammen kleiner als die Kondensatorflächen des Lineals (15) sind und in einem bestimmten Muster auf dem Ring so angeordnet sind, daß die Flächen bei einer Drehung zwischen dem Lineal und dem Nonius jeweils konstant bleiben (Fig. 6).6. Transducer according to claim 1, characterized in that the capacitor surfaces of the ruler ( 15 ) are formed as strips lying on a circular arc and the capacitor surfaces of the vernier ( 22 ) and the coupling capacitor ( 32 ) to each other have a certain area ratio, together less than the capacitor surfaces of the ruler ( 15 ) and are arranged in a certain pattern on the ring so that the surfaces remain constant with a rotation between the ruler and the vernier ( Fig. 6). 7. Wegaufnehmer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Flächen des Nonius (22) und des Kopplungskondensators (32) jeweils etwa halb so groß sind wie die Kondensatorflächen des Lineals (15) (Fig. 6).7. displacement sensor according to claim 6, characterized in that the areas of the vernier ( 22 ) and the coupling capacitor ( 32 ) are each approximately half as large as the capacitor areas of the ruler ( 15 ) ( Fig. 6). 8. Wegaufnehmer nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensatorflächen des Nonius (22) und des Kopplungskondensators (32) abwechselnd aufeinanderfolgend auf dem Ring angebracht sind (Fig. 6).8. Transducer according to claim 6 or 7, characterized in that the capacitor surfaces of the vernier ( 22 ) and the coupling capacitor ( 32 ) are arranged alternately in succession on the ring ( Fig. 6). 9. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem zylindrischen Körper (5) zur Absolutwerterkennung der Weglänge Referenzmarken (6, 60) aufgebracht sind. 9. Position sensor according to one of claims 1 to 8, characterized in that on the cylindrical body ( 5 ) for absolute value detection of the path length reference marks ( 6, 60 ) are applied. 10. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Absolutwerterkennung der Weglänge zwischen den Kondensatorflächen des Lineals (10, 11, 15) einzelne Referenzstreifen bzw. induktive Referenzmarken (6, 60) eingesetzt sind.10. Displacement sensor according to one of claims 1 to 8, characterized in that individual reference strips or inductive reference marks ( 6, 60 ) are used for absolute value detection of the path length between the capacitor surfaces of the ruler ( 10, 11, 15 ). 11. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Nonius (20, 22) aus mindestens vier Kondensatorflächen besteht, von denen zwei zur Weglängenmessung und zwei zur Richtungserkennung dienen (Fig. 3, 6).11. Transducer according to one of claims 1 to 10, characterized in that the vernier ( 20, 22 ) consists of at least four capacitor surfaces, two of which are used for path length measurement and two for direction detection ( Fig. 3, 6). 12. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopplungskondensator (30, 31, 32) an eine Wechselspannung angeschlossen ist und die an den Kondensatorflächen des Nonius (20, 21, 22) auftretenden Spannungen (X 1 bis X 4) durch Differenzbildung ausgewertet werden, wobei sich zwei phasenverschobene Spannungen (U 1 = X 1 - X 3 und U 2 = X 2 - X 4) zur Weglängenmessung und Richtungserkennung ergeben.12. Transducer according to one of claims 1 to 11, characterized in that the coupling capacitor ( 30, 31, 32 ) is connected to an alternating voltage and the voltages ( X 1 to X. ) Occurring on the capacitor surfaces of the vernier ( 20, 21, 22 ) 4 ) can be evaluated by forming the difference, resulting in two phase-shifted voltages ( U 1 = X 1 - X 3 and U 2 = X 2 - X 4 ) for path length measurement and direction detection. 13. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensatorflächen des Nonius (20, 21, 22) paarweise an je ein phasenverschobenes Sinus- und Kosinussignal und der Kopplungskondensator (30, 31, 32) an ein Meßsignal angeschlossen ist, wobei die Phasenverschiebung zwischen dem Meßsignal und jeweils einem Sinus-Kosinussignalpaar zur Weglängenmessung und Richtungserkennung ausgewertet wird.13. Transducer according to one of claims 1 to 11, characterized in that the capacitor surfaces of the vernier ( 20, 21, 22 ) are connected in pairs to a phase-shifted sine and cosine signal and the coupling capacitor ( 30, 31, 32 ) to a measurement signal , wherein the phase shift between the measurement signal and a pair of sine-cosine signals is evaluated for path length measurement and direction detection. 14. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensatorflächen auf einer Folie aufgebracht sind, die auf dem zylindrischen Körper (5) aufgeklebt ist.14. Transducer according to one of claims 1 to 13, characterized in that the capacitor surfaces are applied to a film which is glued to the cylindrical body ( 5 ). 15. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensatorflächen auf fotolithografischem Weg auf den zylindrischen Körper aufgebracht sind.15. Transducer according to one of claims 1 to 13, characterized characterized in that the capacitor areas on photolithographic Applied to the cylindrical body are. 16. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 15 zum Einbau in einen hydraulischen Zylinder, dadurch gekennzeichnet, daß in einer kolbenseitigen Bohrung (44) ein stangenförmiger Träger (45) befestigt ist, der das Lineal (16) trägt und daß ein am Zylinder (40) befestigtes Rohr (46), das den Nonius trägt, in den Ringraum zwischen der Stange (45) und dem Kolben eintaucht.16. Transducer according to one of claims 1 to 15 for installation in a hydraulic cylinder, characterized in that a rod-shaped carrier ( 45 ) is fastened in a piston-side bore ( 44 ), which carries the ruler ( 16 ) and that one on the cylinder ( 40 ) attached tube ( 46 ), which carries the vernier, immersed in the annular space between the rod ( 45 ) and the piston.
DE3826561A 1988-08-04 1988-08-04 Capacitive distance pick-up Withdrawn DE3826561A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3826561A DE3826561A1 (en) 1988-08-04 1988-08-04 Capacitive distance pick-up

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3826561A DE3826561A1 (en) 1988-08-04 1988-08-04 Capacitive distance pick-up

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3826561A1 true DE3826561A1 (en) 1990-02-08

Family

ID=6360261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3826561A Withdrawn DE3826561A1 (en) 1988-08-04 1988-08-04 Capacitive distance pick-up

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3826561A1 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4201813A1 (en) * 1992-01-24 1993-07-29 Pav Praezisions Apparatebau Ag DEVICE FOR MEASURING A GEOMETRIC SIZE
DE19606609A1 (en) * 1996-02-22 1997-08-28 Claas Ohg Hydraulic steering device for self propelled drive machines e.g. forest harvesters or lawn mowers
FR2746457A1 (en) * 1996-03-22 1997-09-26 Valeo Hydraulic slave cylinder for operating clutch thrust bearing for motor vehicles
DE20203298U1 (en) * 2002-03-01 2003-07-24 Cameron Gmbh Measurement value transducer, especially a linear displacement transducer for use in a blowout preventer for an oil or gas well, has a bit pattern generator whose signal is detected and evaluated to indicate component position
DE112017000908B4 (en) * 2016-03-15 2019-11-07 Thk Co., Ltd. Encoder device and motion guide device with encoder device

Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1163563B (en) * 1958-04-01 1964-02-20 Canadian Westinghouse Company Limited, Hamilton, Ontario (Kanada) Electromechanical converter for recording mechanical displacements.
DE1163562B (en) * 1955-12-15 1964-02-20 Canadian Westinghouse Company Limited, Hamilton, Ontario (Kanada) Electromagnetic transducer for measuring displacements.
FR1525363A (en) * 1967-04-07 1968-05-17 Compteurs Et Moteurs Aster Jack comprising a device for monitoring and controlling its position
DE2217183A1 (en) * 1971-06-23 1972-12-28 Jenoptik Jena Gmbh Capacitive position and angle measuring system
FR2233512A1 (en) * 1973-06-14 1975-01-10 Repiquet Sa Vice with controlled displacement - has plastic marks on stem for photodetector
DE2348066A1 (en) * 1973-09-25 1975-03-27 Schloemann Siemag Ag Hydraulic cylinder with piston position determining device - piston rod used in dosing pumps has inlay of material different to that of rod
DE2601274A1 (en) * 1975-01-15 1976-07-22 Poclain Sa DETECTOR DEVICE
DE2853142A1 (en) * 1977-12-09 1979-06-21 Stiftelsen Inst Mikrovags MEASURING DEVICE FOR THE CAPACITIVE DETERMINATION OF THE RELATIVE POSITIONS OF TWO EACH OTHER MOVING PARTS
EP0005478A2 (en) * 1978-05-11 1979-11-28 Rotovolumetric AG Device comprising a cylinder, a piston movable therein and a piston position transducer arranged within the cylinder
DE2933557A1 (en) * 1979-08-18 1981-02-26 Bosch Gmbh Robert DEVICE FOR CONTACTLESS TRAVEL OR SPEED MEASUREMENT
DE3014432A1 (en) * 1980-04-15 1981-10-22 Zimmermann & Jansen GmbH, 5160 Düren DEVICE FOR ACCURATE POSITION REPORTING OF A DOUBLE-SIDED APPLICABLE PISTON IN A HYDRAULIC WORKING CYLINDER
FR2503609A1 (en) * 1979-11-14 1982-10-15 Festo Maschf Stoll G POSITION DETECTOR FOR WORKING CYLINDER
EP0115008A2 (en) * 1982-12-23 1984-08-08 Kabushiki Kaisha S.G. Positioning control system for a fluid powered cylinder
DE3334398C1 (en) * 1983-09-23 1984-11-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Measuring device
DE3418566A1 (en) * 1983-05-18 1984-11-22 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo SHIFT DETECTOR
DE3340782A1 (en) * 1983-11-11 1985-05-30 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf CAPACITIVE LENGTH AND ANGLE MEASURING DEVICE
DE3634730A1 (en) * 1986-10-11 1988-04-21 Klaus Huegler Working cylinder, in particular pneumatic cylinder for components of automatic handling machines
DE3127116C2 (en) * 1981-07-09 1994-09-01 H. Kuhnke Gmbh Kg, 2427 Malente, De

Patent Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1163562B (en) * 1955-12-15 1964-02-20 Canadian Westinghouse Company Limited, Hamilton, Ontario (Kanada) Electromagnetic transducer for measuring displacements.
DE1163563B (en) * 1958-04-01 1964-02-20 Canadian Westinghouse Company Limited, Hamilton, Ontario (Kanada) Electromechanical converter for recording mechanical displacements.
FR1525363A (en) * 1967-04-07 1968-05-17 Compteurs Et Moteurs Aster Jack comprising a device for monitoring and controlling its position
DE2217183A1 (en) * 1971-06-23 1972-12-28 Jenoptik Jena Gmbh Capacitive position and angle measuring system
FR2233512A1 (en) * 1973-06-14 1975-01-10 Repiquet Sa Vice with controlled displacement - has plastic marks on stem for photodetector
DE2348066A1 (en) * 1973-09-25 1975-03-27 Schloemann Siemag Ag Hydraulic cylinder with piston position determining device - piston rod used in dosing pumps has inlay of material different to that of rod
DE2601274A1 (en) * 1975-01-15 1976-07-22 Poclain Sa DETECTOR DEVICE
DE2853142A1 (en) * 1977-12-09 1979-06-21 Stiftelsen Inst Mikrovags MEASURING DEVICE FOR THE CAPACITIVE DETERMINATION OF THE RELATIVE POSITIONS OF TWO EACH OTHER MOVING PARTS
EP0005478A2 (en) * 1978-05-11 1979-11-28 Rotovolumetric AG Device comprising a cylinder, a piston movable therein and a piston position transducer arranged within the cylinder
DE2933557A1 (en) * 1979-08-18 1981-02-26 Bosch Gmbh Robert DEVICE FOR CONTACTLESS TRAVEL OR SPEED MEASUREMENT
FR2503609A1 (en) * 1979-11-14 1982-10-15 Festo Maschf Stoll G POSITION DETECTOR FOR WORKING CYLINDER
DE2945895C2 (en) * 1979-11-14 1986-06-05 Festo-Maschinenfabrik Gottlieb Stoll, 7300 Esslingen Magnetic position transmitter for hydraulic or pneumatic working cylinders
DE3014432A1 (en) * 1980-04-15 1981-10-22 Zimmermann & Jansen GmbH, 5160 Düren DEVICE FOR ACCURATE POSITION REPORTING OF A DOUBLE-SIDED APPLICABLE PISTON IN A HYDRAULIC WORKING CYLINDER
DE3127116C2 (en) * 1981-07-09 1994-09-01 H. Kuhnke Gmbh Kg, 2427 Malente, De
EP0115008A2 (en) * 1982-12-23 1984-08-08 Kabushiki Kaisha S.G. Positioning control system for a fluid powered cylinder
DE3418566A1 (en) * 1983-05-18 1984-11-22 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo SHIFT DETECTOR
DE3334398C1 (en) * 1983-09-23 1984-11-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Measuring device
DE3340782A1 (en) * 1983-11-11 1985-05-30 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf CAPACITIVE LENGTH AND ANGLE MEASURING DEVICE
DE3634730A1 (en) * 1986-10-11 1988-04-21 Klaus Huegler Working cylinder, in particular pneumatic cylinder for components of automatic handling machines

Non-Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE-AN 10407, v.7.10.54 *
DE-Z: Messen, Steuern, Regeln, Technische Rund- schau, 44, 1984, S.48-51 *
DE-Z: o+p ölhydraulik und pneumatik 31, 1987, Nr. 2, S.97-102 *
DE-Z: o+p ölhydraulik und pneumatik 32, 1988, Nr.4, S.231-246 *
JP 61 213603 A. In: Patents Abstracts of Japan, P-545, Feb.6, 1987, Vol.11, No.42 *
US-Z: Power, 4, 1985, S.99-102 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4201813A1 (en) * 1992-01-24 1993-07-29 Pav Praezisions Apparatebau Ag DEVICE FOR MEASURING A GEOMETRIC SIZE
DE19606609A1 (en) * 1996-02-22 1997-08-28 Claas Ohg Hydraulic steering device for self propelled drive machines e.g. forest harvesters or lawn mowers
FR2746457A1 (en) * 1996-03-22 1997-09-26 Valeo Hydraulic slave cylinder for operating clutch thrust bearing for motor vehicles
DE20203298U1 (en) * 2002-03-01 2003-07-24 Cameron Gmbh Measurement value transducer, especially a linear displacement transducer for use in a blowout preventer for an oil or gas well, has a bit pattern generator whose signal is detected and evaluated to indicate component position
DE112017000908B4 (en) * 2016-03-15 2019-11-07 Thk Co., Ltd. Encoder device and motion guide device with encoder device
US10591317B2 (en) 2016-03-15 2020-03-17 Thk Co., Ltd. Encoder apparatus and motion guide apparatus with encoder apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2945895C2 (en) Magnetic position transmitter for hydraulic or pneumatic working cylinders
EP0130940B1 (en) Inductive sensor device and measuring device for using the same
EP0845659B1 (en) Sensor for a position measuring device
EP2034201B1 (en) Guide rail with absolute measuring scale
DE2523163A1 (en) CAPACITIVE DIFFERENTIAL TRANSDUCER
DE3438234C2 (en)
DE3511367A1 (en) LINEARIZED CAPACITIVE PRESSURE CONVERTER AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
EP0924518B1 (en) Apparatus for measuring characteristics of a textile product
EP1632754A1 (en) Method and device for precise determination of an angle of rotation
EP0493385A1 (en) High-resolution coder.
DE2601274A1 (en) DETECTOR DEVICE
DE3826561A1 (en) Capacitive distance pick-up
DE2944692A1 (en) LOCATION MEASURING CONVERTER
EP1219933A2 (en) Differential eddy current sensor
EP2869031B1 (en) Position measuring device
WO2013149949A1 (en) Method and arrangement and sensor for determining the position of a component
EP0194611B1 (en) Measuring device
DE3834200A1 (en) Capacitive distance pick-up
EP1321743B1 (en) Absolute length measuring system with a measuring rod moving with respect to mutually spaced length sensors
DE3510651A1 (en) INCREMENTAL GUIDE
DE4202680A1 (en) DEVICE FOR GENERATING HARMONIC-FREE PERIODIC SIGNALS
EP0660085B1 (en) Absolute position measuring device
DE3102125A1 (en) Incremental length or angle measuring device
DE19921309A1 (en) Scanning unit for an optical position measuring device
DE3929681A1 (en) MEASURING DEVICE FOR DETECTING A PATH OR A TURNING ANGLE

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8139 Disposal/non-payment of the annual fee