DE3824260A1 - Dipping process and appliance for electrolytic coating of boards, especially of electrical printed circuit boards - Google Patents

Dipping process and appliance for electrolytic coating of boards, especially of electrical printed circuit boards

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Abstract

A dipping process for the electrolytic coating of stationary boards (13) is described. Coating takes place in a tank (1) which is filled with an electrolyte and dipping into which there are at least one anode (5) and, at a distance from the latter, the cathodically poled boards (13). On the surface of the latter there is generated, by electrolyte jets directed against the boards (13), an electrolyte flow by which the metal is not deposited simultaneously on all the cathodically poled regions of the boards (13), but is deposited repeatedly in regions migrating across the boards (13). In the process, the electric field prevailing between the anodes (5) and the boards (13) is attenuated or completely blanked out (masked out), with the exception of a region co-migrating with the electrolyte jets.

Description

Die vorliegende Erfindung bezweckt eine Verbesserung des in der Patentanmeldung PCT/EP87/00 785 offenbarten Verfahrens, und zwar soll die starke Streuung, die beim elektrolytischen Beschichten von Platten an den Platten­ kanten auftreten kann, gemindert werden. Die Lösung dieser Aufgabe ist Gegenstand des Anspruchs 1 dieser Zusatz­ anmeldung. Vorteilhafte Weiterbildungen dieses Verfahrens sind Gegenstand der Unteransprüche. Geeignete Vorrichtungen zur Durchführung des Verfahrens sind Gegenstand der Vor­ richtungsansprüche. Besonders bevorzugt ist eine Ausführungs­ form der Vorrichtung mit stationären Anoden und verfahrbaren Blenden zwischen den Anoden und den zu beschichtenden Platten. Dabei sollen die Blenden mit den Anoden mitbewegt werden. Da­ mit werden wenigstens gleich gute Ergebnisse erzielt wie mit der in der Hauptanmeldung offenbarten Vorrichtung, wobei je­ doch demgegenüber der Vorteil besteht, daß die Anoden wesent­ lich großflächiger ausgeführt werden können als in der Vor­ richtung gemäß Hauptpatent. Die größere Anodenfläche führt dazu, daß bei gleich großer Kathodenstromdichte die Anoden­ stromdichte reduziert ist. Damit ist auch die Wasserstoff­ produktion im Anodenbereich reduziert, die Anoden werden weniger stark passiviert, die Anodenlöslichkeit ist besser und die Lebensdauer (Standzeit) der Anoden ist verbessert. Vorteilhaft ist ferner, daß die Anoden keine beweglichen Zuleitungen benötigen. The present invention aims at an improvement that disclosed in patent application PCT / EP87 / 00 785 Procedure, namely the strong dispersion that the electrolytic coating of plates on the plates edges can occur, be reduced. The solution to this The object of claim 1 is this addition registration. Advantageous further developments of this method are the subject of the subclaims. Suitable devices to carry out the procedure are the subject of directional claims. An embodiment is particularly preferred form of the device with stationary anodes and movable Baffles between the anodes and the plates to be coated. The screens with the anodes should be moved as well. There with at least as good results as with the device disclosed in the main application, each however, there is the advantage that the anodes are essential Lich can be carried out larger than in the previous direction according to main patent. The larger anode area leads that the anodes with the same large cathode current density current density is reduced. With that is also the hydrogen Production in the anode area is reduced, the anodes are less strongly passivated, the anode solubility is better and the life (life) of the anodes is improved. It is also advantageous that the anodes are not movable Need leads.  

Als weiterer Vorteil kommt hinzu, daß sich durch mit den Düsen verfahrbare Blenden vor stationären Anoden eine günstigere Makroverteilung des elektrischen Feldes in der Ebene der zu beschichtenden Platten erzielen läßt als durch kurze, mit den Düsen mitverfahrbare Anoden. Das reversierende Andüsen der zu beschichtenden Platten hat auf die Mikroverteilung des elektrischen Feldes und damit auf die Abscheidebedingungen in Bohrungen der Platten nach wie vor einen sehr günstigen Einfluß.
Another advantage is that a more favorable macro distribution of the electric field in the plane of the plates to be coated can be achieved by means of orifices that can be moved with the nozzles in front of stationary anodes than by short anodes that can be moved with the nozzles. The reversing spraying of the plates to be coated still has a very favorable influence on the micro-distribution of the electric field and thus on the deposition conditions in the holes in the plates.

Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der bei­ gefügten Zeichnung schematisch dargestellt.Two embodiments of the invention are in the attached drawing shown schematically.

Die Zeichnung zeigt eine Vorrichtung zum elektrolytischen Beschichten von Platten mit Metall in einem vertikalen Querschnitt.The drawing shows a device for electrolytic Coating plates with metal in a vertical Cross-section.

Die Vorrichtung weist einen quaderförmigen Behälter 1 mit einem versteiften Rand 1 a auf. Auf dem Behälter 1 verlaufen in Längsrichtung mit Abstand nebeneinander ein Installations­ kanal 10, von dem aus z.B. ein Heizstab 14 und/oder Meßfühler zur Überwachung des Zustandes der in den Behälter einge­ füllten Elektrolytflüssigkeit in den Behälter 1 eintauchen, ein Absaugkanal 9 zum Absaugen von verdampfter Elektrolyt­ flüssigkeit, ein Schutzkasten 8 für eine Antriebswelle 7 und ein Abschlußkasten 11. Dazwischen sind drei abnehmbare Deckel 12 a, 12 b und 12 c angeordnet, durch welche das Innere des Behälters 1 zugänglich ist.The device has a cuboid container 1 with a stiffened edge 1 a . On the container 1 run in the longitudinal direction at a distance from one another an installation channel 10 , from which, for example, a heating rod 14 and / or sensor for monitoring the state of the electrolyte liquid filled in the container immerse in the container 1 , a suction channel 9 for suctioning evaporated Electrolyte liquid, a protective box 8 for a drive shaft 7 and a terminal box 11 . In between, three removable covers 12 a , 12 b and 12 c are arranged through which the interior of the container 1 is accessible.

Eine kathodisch gepolte Platte 13 oder eine durch eine Halterung gehaltene ebene Anordnung mehrerer solcher Platten, bei denen es sich um Vorprodukte für elektrische Leiterplatten handeln kann, ist in einer vorgegebenen Ebene 16 mitten unter dem mittleren Deckel 12 b senkrecht in den Behälter 1 eingehängt. Die Ausbildung der Halterung für solche Platten 13 ist Stand der Technik und aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht im einzelnen dargestellt.A cathodically polarized plate 13 or held by a holder planar arrangement of a plurality of such plates, which are may be precursors for electric circuit boards is mounted in a predetermined plane 16 in the midst of the central lid 12 b perpendicularly into the container. 1 The design of the holder for such plates 13 is prior art and is not shown in detail for reasons of clarity.

Unterhalb der beiden äußeren Deckel 12 a und 12 c befinden sich zwei Kathodenschienen 20 und 21, an welchen Anoden 4 hängen, welche z.B. durch Titankörbe mit einer aus Kupferkugeln be­ stehenden Füllung gebildet sind. Below the two outer covers 12 a and 12 c there are two cathode rails 20 and 21 , to which anodes 4 hang, which are formed, for example, by titanium baskets with a filling made of copper balls.

Zwischen den Anoden 4 und der Ebene 16, in welcher die Platten 13 beim elektrolytischen Beschichten angeordnet sind, ist beidseits der Ebene 16 ein Diaphragma 40 ange­ ordnet, welches in einer vertikalen Ebene verläuft und durch einen Rahmen 41 gebildet ist, welcher mit einem Kunststoff­ gewebe, z.B. aus Polypropylen, bespannt ist. Der Rahmen 41 besteht ganz oder teilweise aus Metall und hat die Funktion einer stationären Blende, welche das von den Anoden 4 aus­ gehende elektrische Feld teilweise abschirmen und die Fläche begrenzen, auf der in der Ebene 16 eine Metallabscheidung stattfinden kann.Between the anodes 4 and the level 16 , in which the plates 13 are arranged during electrolytic coating, a diaphragm 40 is arranged on both sides of the level 16 , which runs in a vertical plane and is formed by a frame 41 which is woven with a plastic , for example made of polypropylene, is covered. The frame 41 is made entirely or partially of metal and has the function of a stationary screen, which partially shields the electric field emanating from the anodes 4 and limits the area on which a metal deposition can take place in the plane 16 .

Beidseits der Ebene 16 ist zwischen dieser und dem Diaphragma 40 ein Rohr 6 angeordnet, welches waagerecht und parallel zur Ebene 16 verläuft und hintereinander eine Anzahl von Düsen 23 hat, die gegen die Ebene 16 gerichtet sind. Alternativ können auf jeder Seite der Ebene auch mehr als zwei Zeilen von Düsen 23 übereinander und vorzugsweise in Richtung senkrecht zur Zeichen­ ebene gegeneinander versetzt angeordnet sein. Die Düsen 23 befinden sich auf einem Schlitten 42, welcher mittels eines Motors im Behälter 1 senkrecht auf und ab verfahrbar ist.On both sides of the level 16 , a tube 6 is arranged between this and the diaphragm 40 , which tube runs horizontally and parallel to the level 16 and one behind the other has a number of nozzles 23 which are directed against the level 16 . Alternatively, more than two rows of nozzles 23 can be arranged one above the other on each side of the plane and preferably offset from one another in the direction perpendicular to the plane of the drawing. The nozzles 23 are located on a carriage 42 , which can be moved vertically up and down in the container 1 by means of a motor.

Am unteren Teil des Rahmens 41 des Diaphragmas ist jeweils eine Rohrleitung 48 angeordnet, welche auf ihre Länge verteilt eine Anzahl von Öffnungen hat, durch die Luft in die Elektrolyt­ flüssigkeit eingeleitet werden kann, die in Form von Luft­ blasen an den Platten 13 entlang hochsteigt. Das Einleiten von Luft ist für manche Elektrolytzusammensetzungen von Vorteil.At the lower part of the frame 41 of the diaphragm, a pipe 48 is arranged, which has a number of openings distributed over its length through which air can be introduced into the liquid electrolyte, which in the form of air bubbles rises along the plates 13 . The introduction of air is advantageous for some electrolyte compositions.

Bei der zeichnerisch dargestellten Vorrichtung ist der auf einer Seite der Ebene 16 liegende Schlitten 42 mit zwei Tüchern 43 und 44 verbunden, welche aus einem Kunststoffgewebe bestehen, insbesondere aus Polypropylen. Das eine Tuch 43 ist mit seinem einen Ende an der Unterseite des Schlittens 42 befestigt und mit seinem anderen Ende an einer unten im Behälter 1 angebrachten Rolle 45 aufgewickelt. Das andere Tuch 44 ist mit seinem einen Ende an der Oberseite des Schlittens 42 befestigt und mit seinem anderen Ende an einer oben im Behälter angebrachten zweiten Rolle 46 befestigt und aufgewickelt. Bewegt sich der Schlitten 42 nach unten, wird das obere Tuch 44 von der Rolle 46 abgewickelt und nach unten gezogen und gleichzeitig das untere Tuch 43 auf die untere Rolle 45 aufgewickelt. Fährt der Schlitten 42 nach oben, wird umgekehrt das untere Tuch 43 von der unteren Rolle 45 abgewickelt und nach oben gezogen und gleichzeitig das obere Tuch 44 auf die obere Rolle 46 aufgewickelt. Damit die Tücher 43 und 44 stets straff sind, kann man die Rollen 45 und 46 mittels Rutschkupplung und Elektromotor antreiben oder einfach einen Federmechanismus vorsehen, welcher bestrebt ist, beide Tücher auf ihre jeweilige Rolle aufzuwickeln, so daß das Abwickeln von der jeweiligen Rolle nur unter Über­ windung der Federkraft erfolgen kann.In the device shown in the drawing, the carriage 42 lying on one side of the plane 16 is connected to two cloths 43 and 44 , which consist of a plastic fabric, in particular of polypropylene. One cloth 43 is attached at one end to the underside of the carriage 42 and wound at its other end to a roller 45 attached at the bottom in the container 1 . The other cloth 44 is fastened at one end to the top of the carriage 42 and at the other end to a second roller 46 mounted at the top of the container and wound up. If the carriage 42 moves downward, the upper cloth 44 is unwound from the roll 46 and pulled down, and at the same time the lower cloth 43 is wound onto the lower roll 45 . Conversely, if the carriage 42 moves upward, the lower cloth 43 is unwound from the lower roll 45 and pulled upward, and at the same time the upper cloth 44 is wound onto the upper roll 46 . So that the cloths 43 and 44 are always taut, the rollers 45 and 46 can be driven by means of a slip clutch and an electric motor, or simply provide a spring mechanism which strives to wind both cloths on their respective roll, so that unwinding from the respective roll is only under Can be done by winding the spring force.

Der Schlitten 42, bei dem es sich am besten um eine offene Rahmenkonstruktion handelt, hat auf diese Weise zugleich die Funktion einer synchron mit den Düsen 23 mitverfahrbaren Blende, deren Wirkung ausreicht, um die sonst starke Streuung an den Plattenkanten hinreichend zu vermindern. Im übrigen kann das elektrische Feld zwischen den Anoden 4 und den kathodisch gepolten Platten 13 durch die offene Rahmenkonstruktion des Schlittens 42 um das Düsenrohr 6 herum hindurchgreifen.The carriage 42 , which is best an open frame construction, has in this way at the same time the function of a diaphragm which can be moved in synchronism with the nozzles 23 , the effect of which is sufficient to sufficiently reduce the otherwise strong scatter at the plate edges. Otherwise, the electric field between the anodes 4 and the cathodically polarized plates 13 can reach through the open frame construction of the carriage 42 around the nozzle tube 6 .

Die dargestellte Anordnung mit einer auf und ab verfahrbaren Blende auf der einen Seite und mit lediglich einer stationären Blende 40 auf der anderen Seite der Ebene 16 ist vor allem ein­ setzbar für das nur einseitige Beschichten von Platten 13. Sollen Platten beidseitig beschichtet werden, empfiehlt es sich, zur Schaffung von im wesentlichen übereinstimmenden elektrischen Feldverhältnissen auf beiden Seiten der Ebene 16 entweder auf beiden Seiten der Ebene 16 nur jeweils eine stationäre Blende 41 oder anstelle solcher stationären Blenden, vorzugsweise jedoch in Kombination mit ihnen, schmalere, auf und ab verfahrbare Blenden vorzusehen, wie sie durch den auf und ab verfahrbaren Schlitten mit daran angebrachten Diaphragma-Tüchern 43 und 44 gebildet sind.The arrangement shown with an up and down movable panel on one side and with only one stationary panel 40 on the other side of level 16 is above all one that can be used for coating panels 13 only on one side. If plates are to be coated on both sides, it is advisable to create essentially identical electrical field conditions on both sides of level 16 either on both sides of level 16 only one stationary screen 41 or instead of such stationary screens, but preferably in combination with them, to provide narrower, up and down movable panels, such as are formed by the up and down movable carriage with attached diaphragm cloths 43 and 44 .

Claims (19)

1. Tauchverfahren zum elektrolytischen Beschichten von ruhenden Platten, insbesondere von elektrischen Leiterplatten, mit Metall in einem mit einem Elektro­ lyten angefüllten Behälter, in welchen wenigstens eine Anode und mit Abstand zu dieser die kathodisch ge­ polten Platten eintauchen, an deren Oberfläche durch unterhalb der Elektrolytoberfläche erzeugte und gegen die Platten gerichtete Elektrolytstrahlen eine Elektro­ lytströmung erzeugt wird, durch welche das Metall nicht auf allen kathodisch gepolten Bereichen der Platten zu­ gleich, sondern wiederholt in über die Platten wandernden Bereichen abgeschieden wird und zu diesem Zweck die Elektro­ lytstrahlen die Platten überstreichen, dadurch gekennzeich­ net, daß das zwischen der bzw. den Anoden und den kathodisch gepolten Platten bestehende elektrische Feld mit Ausnahme eines mit den Elektrolytstrahlen mit­ wandernden, die Elektrolytstrahlen umgebenden Bereichs geschwächt oder sogar völlig ausgeblendet wird.1. Immersion method for the electrolytic coating of stationary plates, in particular of electrical circuit boards, with metal in a container filled with an electrolyte, in which at least one anode and at a distance from it dip the cathodically polarized plates, on the surface of which below the electrolyte surface generated and directed against the plates electrolyte lytströmung is generated, through which the metal is not the same on all cathodically polarized areas of the plates, but is repeatedly deposited in areas migrating over the plates and for this purpose the electro lyt rays sweep over the plates, thereby gekennzeich net that the existing between the or the anodes and the cathodically polarized plates electric field with the exception of a is weakened with the electrolyte jets migratory, which surrounds the electrolyte jets area or even completely disappears. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrolytstrahlen die Platten hin- und hergehend überstreichen.2. The method according to claim 1, characterized in that that the electrolyte jets back and forth the plates paint over here. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Elektrolytstrahlen senkrecht gegen die Platten gerichtet werden.3. The method according to claim 1 or 2, characterized net that the electrolyte rays perpendicular against the plates are straightened. 4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß Elektrolytstrahlen von beiden Seiten gegen die Platten gerichtet werden.4. The method according to claim 1, 2 or 3, characterized records that electrolyte rays from both sides against the plates. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrolytstrahlen in der Weise versetzt gegen die Platten gerichtet werden, daß, wenn auf einer Seite einer Platte an einer Stelle ein Elektrolytstrahl auftrifft, an der genau gegenüberliegenden Stelle auf der anderen Seite der Platte nicht gleichzeitig ein Elektro­ lytstrahl auftrifft.5. The method according to claim 4, characterized in that the electrolyte rays are offset in such a way against the plates that when on a Side of a plate in one place an electrolyte beam strikes at the exact opposite point on the other side of the plate not an electric at the same time lyt jet hits. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß auf jeder der zu beschichtenden Seiten der Platten zwei parallele Zeilen von Elektrolyt­ strahlen gebildet werden, die rechtwinklig zum Verlauf der Zeilen parallel zu den Platten hin- und hergehend über diese hinwegbewegt werden. 6. The method according to any one of claims 1 to 5, characterized characterized that on each of the to be coated Side of the plates two parallel rows of electrolyte rays are formed that are perpendicular to the course of the Lines parallel to the plates back and forth across them be moved away.   7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Zeilen waagerecht verlaufen und die Platten lotrecht angeordnet werden.7. The method according to claim 6, characterized in that that the lines are horizontal and the plates be arranged vertically. 8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Elektrolytstrahlen der einen Zeile bezogen auf die Bewegungsrichtung der Zeilen ver­ setzt zu den Elektrolytstrahlen der anderen Zeile erzeugt werden.8. The method according to claim 6 or 7, characterized records that the electrolyte rays of one Ver line related to the direction of movement of the lines continues to generate the electrolyte rays of the other row will. 9. Vorrichtung zum elektrolytischen Beschichten von Platten, insbesondere von elektrischen Leiter­ platten, mit Metall nach einem Tauchverfahren,
mit einem Behälter zur Aufnahme eines Elektrolyten, in welchem wenigstens eine Anode angeordnet ist,
mit einer Halterung zum Eintauchen der kathodisch ge­ polten Platten in lotrechter Lage in den Elektrolyten,
und mit unterhalb des Elektrolytspiegels im Behälter zwischen den Anoden und der für die Anordnung der Platten vorgesehenen Ebene angeordneten, gegen die eine und/oder die andere Oberfläche der Platten ge­ richteten Düsen, denen durch eine Pumpe Elektrolyt­ flüssigkeit zugeführt wird zum Erzeugen einer Elektro­ lytströmung,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Düsen (23) zum Vollführen einer wiederholt hin- und hergehenden Bewegung parallel zu der senkrechten Ebene (16) im Behälter (1), die für die Anordnung der Platten (13) vorgesehen ist, antreibbar sind,
und daß zwischen den Anoden (4) und den Platten (13) je­ weils eine Blende (41, 42, 43, 44) vorgesehen ist, welche einen die Düsen (23) umgebenden Bereich freiläßt.9. Device for the electrolytic coating of plates, in particular of electrical circuit boards, with metal by an immersion process,
with a container for receiving an electrolyte, in which at least one anode is arranged,
with a holder for immersing the cathodically polarized plates in a vertical position in the electrolyte,
and arranged below the electrolyte level in the container between the anodes and the plane provided for the arrangement of the plates, against one and / or the other surface of the plates directed nozzles, to which electrolyte liquid is supplied by a pump to produce an electrolyte flow,
characterized,
that the nozzles ( 23 ) can be driven to carry out a repeated reciprocating movement parallel to the vertical plane ( 16 ) in the container ( 1 ) which is provided for the arrangement of the plates ( 13 ),
and that an aperture ( 41 , 42 , 43 , 44 ) is provided between the anodes ( 4 ) and the plates ( 13 ), which leaves an area surrounding the nozzles ( 23 ) free. 10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende (41) stationär ist.10. The device according to claim 9, characterized in that the diaphragm ( 41 ) is stationary. 11. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende (41) synchron mit den Düsen (23) verschiebbar ist.11. The device according to claim 9, characterized in that the diaphragm ( 41 ) is displaceable synchronously with the nozzles ( 23 ). 12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen in oder an einem verfahrbaren Rahmen angeordnet sind, an welchem beidseits der Düsen eine flexible oder auf andere Weise aufrollbare, den Durchgriff des elektrischen Feldes schwächende oder verhindernde Jalousie (43, 44) befestigt ist.12. The apparatus according to claim 11, characterized in that the nozzles are arranged in or on a movable frame, on which on both sides of the nozzles a flexible or otherwise rollable, the penetration of the electric field weakening or preventing blinds ( 43 , 44 ) attached is. 13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Jalousie einteilig, mit ihren beiden Enden an dem die Düsen tragenden Rahmen befestigt und außerhalb des Verschiebeweges des Rahmens für die Düsen (23) über Um­ lenkrollen geführt ist.13. The apparatus according to claim 12, characterized in that the blind is in one piece, with its two ends attached to the frame supporting the nozzles and outside the displacement path of the frame for the nozzles ( 23 ) is guided over order steering rollers. 14. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Jalousie zweiteilig ist und daß jeder Teil (43, 44) mit seinem einen Ende an dem Rahmen mit den Düsen (23) und mit seinem anderen Ende an einer Rolle (45, 46) be­ festigt ist, die die Jalousie aufwickelt und strafft. 14. The apparatus according to claim 12, characterized in that the blind is in two parts and that each part ( 43 , 44 ) with one end on the frame with the nozzles ( 23 ) and with its other end on a roller ( 45 , 46 ) be fastened, which winds up and tightens the blind. 15. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (23) in einer oder mehreren rechtwinklig zu ihrer Verschieberichtung verlaufenden Zeilen angeordnet sind.15. The apparatus according to claim 9, characterized in that the nozzles ( 23 ) are arranged in one or more lines running at right angles to their direction of displacement. 16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer Seite oder zu beiden Seiten der Ebene (16) im Behälter (1), die für die Anordnung der Platten (13) vorgesehen sind, zwei zueinander parallele Zeilen von Düsen (23) vorgesehen sind.16. The apparatus according to claim 15, characterized in that on one side or on both sides of the plane ( 16 ) in the container ( 1 ), which are provided for the arrangement of the plates ( 13 ), two mutually parallel rows of nozzles ( 23 ) are provided. 17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß alle Düsen (23) den gleichen Abstand von der Ebene (16) im Behälter (1) haben, die für die Anordnung der Platten (13) vorgesehen ist.17. The apparatus according to claim 16, characterized in that all nozzles ( 23 ) have the same distance from the plane ( 16 ) in the container ( 1 ), which is provided for the arrangement of the plates ( 13 ). 18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß auf verschiedenen Seiten der Ebene (16), die für die Anordnung der Platten (13) im Behälter (1) vorgesehen ist, liegende Düsen (23) so gegeneinander ver­ setzt sind, daß keine Düse (23) einer anderen Düse (23) genau gegenüberliegt.18. Device according to one of claims 9 to 17, characterized in that on different sides of the plane ( 16 ), which is provided for the arrangement of the plates ( 13 ) in the container ( 1 ), lying nozzles ( 23 ) against each other ver are that no nozzle (23) exactly opposite to another nozzle (23). 19. Vorrichtung nach Anspruch 16 oder nach Anspruch 17 und 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (23) der einen Zeile von zwei benachbarten Zeilen, bezogen auf ihre Verschieberichtung gegenüber den Düsen (23) der anderen Zeile versetzt angeordnet sind.19. The apparatus of claim 16 or according to claim 17 and 19, characterized in that the nozzles ( 23 ) of one line of two adjacent lines, with respect to their direction of displacement with respect to the nozzles ( 23 ) of the other line are arranged offset.
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