DE3250105C2 - Ink jet printer head - Google Patents

Ink jet printer head

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DE3250105C2
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liquid jet
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Hiroshi Sugitani
Hiroto Matsuda
Masami Ikeda
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Abstract

The multiple nozzle print head on an ink jet printer has a base plate (1) on which are mounted a number of pressure pulse generating elements, such as piezoelectric devices (2). The base plate is produced in a stable material, such as glass, ceramic, etc. A photolithographic process may be used to form the conductors that connect with the elements. A second plate (5) has slots that align with alternate piezoelectric elements and are part of a chamber (6) that has connections with an ink supply. A second plate (12) connects with the other elements via an intermediate plate (11). The plates are bonded together and the holes and perforations may be etched or stamped. The top plate has a full series of jet nozzles (8-3,9-3) to allow matrix printing to occur using either one or both groups to be used.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Flüssigkeitsstrahlaufzeich­ nungskopf gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to a liquid jet record nungskopf according to the preamble of claim 1.

Ein gattungsgemäßer Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf ist aus der JP 56-172 (A) bekannt. Dieser herkömmliche Flüssigkeits­ strahlaufzeichnungskopf ist schichtweise aufgebaut, wobei auf eine mit Energieerzeugungselementen versehene Grundplatte eine eine Flüssigkeitskammer bildende Zwischenplatte und darauf eine mit Flüssigkeitsstrahlöffnungen versehene Öffnungsplatte aufla­ miniert sind. Die Tinte wird durch eine Bohrung in der Zwischen­ platte seitlich zugeführt und tritt im rechten Winkel zur Zu­ führrichtung aus den Flüssigkeitsstrahlöffnungen nach oben aus. Die Energieerzeugungselemente liegen auf der der Flüssigkeits­ kammer abgewandten Seite der Grundplatte.A generic liquid jet recording head is out JP 56-172 (A) known. This conventional liquid beam recording head is built up in layers, whereby on a base plate provided with energy generating elements an intermediate plate forming a liquid chamber and then one opening plate provided with liquid jet openings are mined. The ink passes through a hole in the middle plate fed laterally and enters at a right angle to out of the liquid jet openings upwards. The energy generating elements lie on that of the liquid side of the base plate facing away from the chamber.

Die DE 29 44 005 A1 zeigt einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungs­ kopf in Schichtbauweise, bei dem der Zutritt und Austritt der Flüssigkeit in vollständig verschiedenen Richtungen stattfindet. Die Flüssigkeit tritt außerdem ebenfalls seitlich in die Flüs­ sigkeitskammer. DE 29 44 005 A1 shows a liquid jet recording Layered head, in which the entry and exit of the Liquid takes place in completely different directions. The liquid also enters the rivers laterally liquidity chamber.  

Bei dem in Schichtbauweise aufgebauten Flüssigkeitsstrahlauf­ zeichnungskopf der DE 26 52 924 A1 stehen die Zutritts- und Aus­ trittsrichtung im wesentlichen im rechten Winkel zueinander. Das Energieerzeugungselement liegt zudem auf der der Flüssigkeits­ kammer abgewandten Seite der Grundplatte. Die Flüssigkeitskammer ist durch Aussparungen in mehreren Zwischenplatten abgegrenzt.With the liquid jet structure built up in layers drawing head of DE 26 52 924 A1 are the access and off direction substantially at right angles to each other. The Energy generating element is also on the liquid side of the base plate facing away from the chamber. The liquid chamber is delimited by recesses in several intermediate plates.

Ebenso sind die Zutritts- und Austrittsrichtung bei der DE 29 45 658 A1 zueinander rechtwinklig, wobei die Zuführöffnung der die Energieerzeugungselemente tragenden Grundplatte gegenüberliegend vorgesehen ist. Alternativ dazu zeigt diese Druckschrift auch, daß die Zutritts- und Austrittsrichtung im wesentlichen gleich sein können, wobei die Zutrittsöffnung aber nicht in der mit den Energieerzeugungselementen versehenen Grundplatte sondern seit­ lich dazu ausgebildet ist.Likewise, the entry and exit directions in DE 29 45 658 A1 perpendicular to each other, the feed opening of the Power plate carrying base plate opposite is provided. Alternatively, this document also shows that the entry and exit directions are essentially the same can be, but the access opening but not in the with Energy generating elements provided base plate but since Lich trained to.

Auch bei der DE 28 31 558 A1 stehen die Zutritts- und Austritts­ richtung zueinander senkrecht. Zudem sind die Energieerzeugung­ selemente auf der von der Flüssigkeitskammer abgewandten Seite der Grundplatte angeordnet.DE 28 31 558 A1 also provides access and exit direction perpendicular to each other. In addition, the generation of energy elements on the side facing away from the liquid chamber arranged the base plate.

Bei der DE 25 43 451 A1 sind zwar die Zutrittsrichtung der Flüs­ sigkeit in die Flüssigkeitskammer und Austrittsrichtung durch die Flüssigkeitsstrahlöffnungen im wesentlich gleich. Die Ener­ gieerzeugungselemente sind jedoch nicht auf der Grundplatte flüssigkeitskammerseitig sondern entlang von Kanälen von der Flüssigkeitskammer zu den Flüssigkeitsstrahlöffnungen angeord­ net.In DE 25 43 451 A1 the direction of entry of the rivers is admittedly liquid in the liquid chamber and exit direction the liquid jet openings are substantially the same. The Ener However, giezeugungselemente are not on the base plate on the liquid chamber side but along channels of the Liquid chamber arranged to the liquid jet openings net.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Flüssigkeits­ strahlaufzeichnungskopf gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 so weiterzubilden, daß sich möglichst günstige Durchströmungsver­ hältnisse ergeben.The invention has for its object a liquid beam recording head according to the preamble of claim 1 so to further develop that the most favorable throughflow ver relationships result.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des An­ spruchs 1 gelöst. This object is achieved by the features of the An spell 1 solved.  

Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen definiert.Advantageous further developments are in the dependent claims Are defined.

Erfindungsgemäß ist die Energieerzeugungselemente tragende Grundplatte des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes mit einer Durchgangsöffnung versehen, über die von der Zuleitung zuströ­ mende Flüssigkeit im wesentlichen in der Richtung in die Flüs­ sigkeitskammer eintritt, in der sie die Flüssigkeitskammer durch Flüssigkeitsstrahlöffnungen der Öffnungsplatte auch verläßt. Durch diese Ausgestaltung wird ein Entstehen von den Aufzeich­ nungsvorgang störenden Wirbeln bzw. Rückströmungen verhindert. Eine gleichmäßige Zuführung von Flüssigkeit wird gewährleistet, wodurch ein gutes Tintenabgabevermögen sichergestellt ist. Die Flüssigkeit tritt durch die Grundplatte in die Flüssigkeitskam­ mer ein und wird durch die auf der Grundplatte flüssigkeitskam­ merseitig angeordneten Energieerzeugungselemente zum Austreten angeregt, wobei die Ausströmrichtung im wesentlich gleich der Eintrittsrichtung und senkrecht zum Schichtaufbau ist. Die Ener­ gieerzeugungselemente sind im wesentlichen in der Projektion der Flüssigkeitsstrahlöffnungen aber seitlich versetzt zu der die Grundplatte durchdringenden Durchgangsöffnung vorgesehen. Die Flüssigkeitskammer ist zudem durch eine Aussparung in nur einer Zwischenplatte ausgebildet, woraus ein relativ flacher Aufbau der Flüssigkeitskammer folgt, der die Durchströmungsverhältnisse weiter positiv beeinflußt.According to the invention, the energy generating elements are load-bearing Base plate of the liquid jet recording head with one Provide through opening through which flows from the supply line liquid essentially in the direction of the rivers liquid chamber occurs in which they pass through the liquid chamber Liquid jet openings of the orifice plate also leaves. With this configuration, the record is created interfering vortex or backflow prevented. An even supply of liquid is guaranteed which ensures good ink dispensing ability. The Liquid enters the liquid through the base plate mer and is due to the liquid on the base plate Power generation elements arranged on the side for exiting excited, the outflow direction substantially equal to that Direction of entry and perpendicular to the layer structure. The Ener Energy generating elements are essentially in the projection of the Liquid jet openings but laterally offset from the Base plate penetrating through opening provided. The Liquid chamber is also through a recess in only one Intermediate plate formed, resulting in a relatively flat structure the liquid chamber follows the flow conditions further positively influenced.

Aufgrund dieser Ausgestaltung hat der erfindungsgemäße Flüssig­ keitsstrahlaufzeichnungskopf ein Aufzeichnungsvermögen mit hoher Geschwindigkeit und mit hoher Dichte. Ferner kann der Flüssig­ keitsstrahlaufzeichnungskopf sehr kompakt ausgestaltet werden. Der Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf ist neben der Einfarben­ aufzeichnung auch zur Mehrfarben- und/oder Vollfarbenaufzeich­ nung geeignet.Because of this configuration, the liquid according to the invention high-speed recording head Speed and high density. Furthermore, the liquid can be made very compact. The liquid jet recording head is next to the single color recording also for multi-color and / or full-color recording suitable.

Die Erfindung wird nunmehr anhand von bevorzugten Ausführungs­ beispielen in Verbindung mit den Zeichnungen im einzelnen erläutert.The invention is now based on preferred embodiment examples in connection with the drawings in individual explained.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht einer Ausführungsform eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes; Fig. 1 is an exploded perspective view of an embodiment of a liquid jet recording head;

Fig. 2 eine perspektivische Außenansicht der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform; Fig. 2 is an external perspective view of the embodiment shown in Fig. 1;

Fig. 3 eine perspektivische Außenansicht einer anderen Ausführungsform eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes; Fig. 3 is an external perspective view of another embodiment of a liquid jet recording head;

Fig. 4 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes; Fig. 4 is an exploded perspective view of another embodiment of a liquid jet recording head;

Fig. 5 eine Draufsicht auf den Hauptabschnitt einer weiteren Ausführungsform eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes; Fig. 5 is a plan view of the main portion of another embodiment of a liquid jet recording head;

die Fig. 6 bis 8 auseinandergezogene perspektivische Ansich­ ten von weiteren Ausführungsformen eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes; Figs. 6 to 8 exploded perspective Ansich th of further embodiments of a liquid jet recording head;

Fig. 9A eine perspektivische Außenansicht einer anderen Ausführungsform eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes; FIG. 9A is an external perspective view of another embodiment of a liquid jet recording head;

Fig. 9B Schnitt entlang der Linie X-X' in Fig. 9A; Fig. 9B section along the line XX 'in Fig. 9A;

Fig. 10A eine perspektivische Außenansicht einer Ausführungsform eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes, die eine langgezogene Form besitzt; und 10A is an external perspective view of an embodiment of a liquid jet recording head having an elongated form. and

die Fig. 10B und 10C Schnitte entlang der Linie Y-Y' in Fig. 10A. FIGS. 10B and 10C sections along the line YY 'in Fig. 10A.

Wie man Fig. 1 entnehmen kann, die eine auseinander­ gezogene perspektivische Ansicht einer Ausführungsform eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes zeigt, wird eine ge­ wünschte Anzahl (in Fig. 1 acht) von Energieerzeugungselementen 2 für den Flüssigkeitsstrahl, wie beispiels­ weise Heizelemente oder piezoelektrische Elemente, zuerst auf einer Grundplatte 1 angeordnet, die aus einem geeigneten Material besteht, beispielsweise aus Glas, Keramik, Kunststoff, Silizium, Metallen o. ä. Wenn es sich bei den Energieerzeugungselementen 2 um Heizelemente handelt, wird der Strahldruck erzeugt, indem die dem Heizelement benachbarte Flüssigkeit erhitzt wird. Wenn die Energieerzeugungselemente 2 piezoelektrische Elemente sind, wird der Druck durch mechanische Schwingungen erzeugt. Diese Energieerzeugungselemente 2 sind jeweils an eine Elektrode zum Anlegen eines Eingangssignals angeschlossen, die nicht gezeigt ist. Hierzu kann eine Mehrschichtverdrahtung Anwendung finden, bei der beispielsweise mittels Photolithographie oder Vakuumabscheidung gearbeitet wird. Die Grundplatte 1 ist mit zwei Durchgangsöffnungen 3-1 und 3-2 versehen, an die Zuleitungen 4-1 und 4-2 angeschlossen sind. In diesem Fall steht die Zuleitung 4-1 mit der nachstehend be­ schriebenen ersten Flüssigkeitskammer 6 in Verbindung.As can be seen in Fig. 1, which shows an exploded perspective view of an embodiment of a liquid jet recording head, a desired number (eight in Fig. 1) of energy generating elements 2 for the liquid jet, such as heating elements or piezoelectric elements, is first on one Base plate 1 is arranged, which consists of a suitable material, such as glass, ceramic, plastic, silicon, metals or the like. If the energy generating elements 2 are heating elements, the jet pressure is generated by heating the liquid adjacent to the heating element . If the energy generating elements 2 are piezoelectric elements, the pressure is generated by mechanical vibrations. These energy generating elements 2 are each connected to an electrode for applying an input signal, which is not shown. For this purpose, multi-layer wiring can be used, for example by means of photolithography or vacuum deposition. The base plate 1 is provided with two through openings 3-1 and 3-2 , to which supply lines 4-1 and 4-2 are connected. In this case, the feed line 4-1 is connected to the first liquid chamber 6 described below.

Eine Zwischenplatte 5, die auf die Oberfläche der Grundplatte 1 (die die Energieerzeugungselemente 2 aufweist) gelegt ist, weist erstens eine Durchtrittsöffnung 7 auf, die mit der Zuleitung 4-2 in Verbindung steht, zweitens eine Aussparung als erste Flüssigkeitskammer 6, die über einen begrenzten Raum mit der Zuleitung 4-1 in Verbindung steht und mit be­ grenzten Abschnitten auf das jeweils übernächste Energieerzeugungselement 2 weist, und drittens Durchtrittsöffnungen 8-1, die getrennt davon auf die anderen Energieerzeugungselemente (2) weisen. Eine andere Zwischenplatte 11, die auf die Oberfläche der Zwischenplatte 5 gelegt wird, besitzt erstens eine Durchtrittsöffnung 10, die mit der Durchtrittsöffnung 7 in Verbindung steht, zweitens Durchtrittsöffnungen 8-2, die getrennt voneinander mit den einzelnen Durchtritts­ öffnungen 8-1 in Verbindung stehen und drittens Durchtrittsöffnungen 9-1, die getrennt voneinander mit den vorstehend er­ wähnten Räumen der Aussparung in Verbindung stehen, welche getrennt voneinander auf die übernächsten Energieerzeugungselemente 2 weisen. Die Durchtrittsöffnungen 8-2 und 9-1 sind daher zueinander ausgerichtet, so daß sie den Energieerzeugungselementen 2 in deren Reihenanordnung entsprechen. Eine Zwischenplatte 12, die auf die Oberfläche der Zwischenplatte 11 gelegt wird, weist eine Aussparung als zweite Flüssig­ keitskammer 13 auf, die eine ähnliche Form besitzt, wie die Aussparung der ersten Flüssigkeitskammer 6, jedoch über Durchtrittsöffnungen 7 und 10 mit den Durchtrittsöffnungen 8-2 und der Zuleitung 4-2 in Verbindung steht, sowie Durchtrittsöffnungen 9-2, die getrennt voneinander mit den einzelnen Durchtrittsöffnungen 9-1 in Verbindung stehen. Eine Öffnungsplatte 14, bei der es sich um die Deckplatte handelt, die auf die Oberfläche der Zwischenplatte 12 gelegt wird, besitzt Flüssigkeitsstrahlöffnungen 8-3 und 9-3, die zueinander ausgerichtet sind, so daß sie in ihrer Reihenanordnung den Energieerzeugungselementen 2 entsprechen.An intermediate plate 5 , which is placed on the surface of the base plate 1 (which has the energy generating elements 2 ), firstly has a passage opening 7 , which is connected to the feed line 4-2 , secondly, a recess as the first liquid chamber 6 , which has a limited space is connected to the supply line 4-1 and points with limited sections to the next but one energy generation element 2 , and thirdly passage openings 8-1 , which point separately to the other energy generation elements ( 2 ). Another intermediate plate 11 , which is placed on the surface of the intermediate plate 5 , first has a passage opening 10 , which is connected to the passage opening 7 , second, passage openings 8-2 , which are separate from one another with the individual passage openings 8-1 and thirdly, through openings 9-1 , which are separate from one another with the above-mentioned spaces of the recess, which separate from one another point to the next but one energy generating elements 2 . The passage openings 8-2 and 9-1 are therefore aligned with each other so that they correspond to the energy generating elements 2 in their row arrangement. An intermediate plate 12 , which is placed on the surface of the intermediate plate 11 , has a recess as a second liquid chamber 13 , which has a similar shape as the recess of the first liquid chamber 6 , but through openings 7 and 10 with the openings 8-2 and the feed line 4-2 is connected, and passage openings 9-2 , which are connected separately from one another to the individual passage openings 9-1 . An orifice plate 14 , which is the cover plate that is placed on the surface of the intermediate plate 12 , has liquid jet openings 8-3 and 9-3 that are aligned with each other so that they correspond to the power generating elements 2 in their series arrangement.

Die Grundplatte 1, die Zwischenplatten 5, 11, 12 und die Öffnungsplatte 14 werden aufeinandergelegt, miteinander ausgerichtet, um die Durchtrittsöffnungen und Aussparungen zu positionieren, und mit einem Kleber, Schrauben o. ä. zu einem einzigen Körper miteinander verbunden. Die Zwischenplatte 5, 11, 12 und die Öffnungsplatte 14 können aus irgendeinem geeigneten Material be­ stehen, beispielsweise aus Silizium, Glas, Keramik, Kunststoff und Metallen (die wünschenswerterweise in bezug auf die Flüssigkeit antikorrosiv sein sollten). The base plate 1 , the intermediate plates 5 , 11 , 12 and the opening plate 14 are placed one on top of the other, aligned with one another in order to position the passage openings and recesses, and connected to one another with adhesive, screws or the like to form a single body. The intermediate plate 5 , 11 , 12 and the orifice plate 14 may be made of any suitable material, such as silicon, glass, ceramic, plastic and metals (which should desirably be anti-corrosive to the liquid).

Die Herstellung der Flüssigkeitsstrahlöffnungen, Durchtrittsöffnungen und Aussparungen kann auf verschiedene Weise erfolgen, beispielsweise durch Bohren, Gießen, Stanzen, Ätzen. Ferner kann ein Verfahren Verwendung finden, bei dem ein Photoresist belichtet und entwickelt wird, wonach die den Durchtritts­ öffnungen und Aussparungen entsprechenden Abschnitte durch Auflösung entfernt werden. Für die Grundplatte 1 sind Materialien mit hoher Schlagzähigkeit geeignet, wenn piezoelektrische Elemente als Energieerzeugungselemente 2 Ver­ wendung finden. Wenn Heizelemente als Energieerzeugungselemente 2 benutzt werden, sind Materialien mit guter Wärmebeständigkeit und guter Wärmeabfuhr geeignet. Für die Zwischenplatten 5, 11, 12 und die Öffnungsplatte 14 können auch etwas elastische Materialien Verwendung finden, und die Querschnitte der Flüssigkeitsstrahlöffnungen und Durchtrittsöffnungen dieser Platten müssen nicht unbedingt kreisförmig sein, wie in Fig. 1 gezeigt, sondern können beispielsweise eine recht­ eckförmige oder elliptische Gestalt aufweisen.The liquid jet openings, passage openings and recesses can be produced in various ways, for example by drilling, casting, punching, etching. Furthermore, a method can be used in which a photoresist is exposed and developed, after which the sections corresponding to the through openings and recesses are removed by resolution. Materials with high impact strength are suitable for the base plate 1 if piezoelectric elements are used as energy generating elements 2 . If heating elements are used as energy generating elements 2 , materials with good heat resistance and good heat dissipation are suitable. Some elastic materials can also be used for the intermediate plates 5 , 11 , 12 and the opening plate 14 , and the cross sections of the liquid jet openings and passage openings of these plates do not necessarily have to be circular, as shown in FIG. 1, but can be, for example, a quite corner-shaped or elliptical Have shape.

Da der auf diese Weise ausgebildete und in Fig. 1 gezeigte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf zwei isolierte Flüssigkeitskammern 6 und 13 und zwei isolierte Gruppen von Flüssigkeitsbahnen besitzt, kann eine Mehrfarbenaufzeichnung, in Form einer dichromatischen Tintenstrahlaufzeichnung, ohne weiteres durchgeführt werden, indem man den Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf bedient, während unterschiedliche Farbtinten separat zugeführt werden.Since the liquid jet recording head thus formed and shown in Fig. 1 has two isolated liquid chambers 6 and 13 and two isolated groups of liquid paths, multi-color recording in the form of a dichromatic ink jet recording can be easily carried out by operating the liquid jet recording head while different ones Color inks are fed separately.

In Fig. 2, die eine perspektivische Ansicht des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes der Fig. 1 nach dessen Endmontage zeigt, besitzen die gleichen Bezugsziffern wie in Fig. 1 die gleiche, vorstehend erläuterte Bedeutung.In Fig. 2, which shows a perspective view of the liquid jet recording head of Fig. 1 after its final assembly, the same reference numerals as in Fig. 1 have the same meaning as explained above.

Fig. 3 zeigt eine perspektivische Ansicht eines anderen fertigen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes, der zwei parallel angeordnete Köpfe aufweist, die nahezu den gleichen Aufbau besitzen wie in Fig. 1, d. h. zwei Reihen von Flüssigkeitsstrahlöffnungen aufweisen. In Fig. 3 besitzen die gleichen Bezugs­ ziffern wie in Fig. 1 die gleiche, vorstehend er­ läuterte Bedeutung. Mit 20-1 und 20-2 sind Zuleitungen für die Flüssigkeit bezeichnet, während mit 21-3 und 22-3 Flüssigkeitsstrahlöffnungen gekennzeichnet sind. Da der in Fig. 3 dargestellte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf vier isolierte Flüssigkeitskammern und vier isolierte Gruppen von Flüssigkeitskanälen aufweist, ist er vorzugsweise für eine Mehrfarben­ aufzeichnung geeignet, indem separat Tinten mit unterschiedlichen Farben (gelb, blau, rot und schwarz) dem Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf zugeführt werden. Es ist ebenfalls möglich, obwohl dies in der Zeichnung nicht dargestellt ist, den Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf der Fig. 1 so zu modifizieren, daß er drei oder mehr isolierte Flüssigkeitskammern in Dickenrichtung des Kopfes aufweist (dadurch steigt die Anzahl der Zwischenplatten geringfügig an). Fig. 3 shows a perspective view of another finished liquid jet recording head, which has two parallel arranged heads which have almost the same structure as in Fig. 1, that is, two rows of liquid jet openings. In Fig. 3 have the same reference numerals as in Fig. 1, the same, he explained above. With 20-1 and 20-2 supply lines for the liquid are designated, while with 21-3 and 22-3 liquid jet openings are identified. Since the liquid jet recording head shown in Fig. 3 has four isolated liquid chambers and four isolated groups of liquid channels, it is preferably suitable for multicolor recording by separately supplying inks of different colors (yellow, blue, red and black) to the liquid jet recording head. It is also possible, although not shown in the drawing, to modify the liquid jet recording head of Fig. 1 so that it has three or more insulated liquid chambers in the thickness direction of the head (this slightly increases the number of the intermediate plates).

Der vorstehend beschriebene Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf weist die folgenden Vorteile auf:
The liquid jet recording head described above has the following advantages:

  • 1. Da eine Vielzahl von isolierten Flüssigkeits­ kammern (und von isolierten Gruppen von Flüssig­ keitskanälen) mit hoher Dichte in dem Kopf inte­ griert ist, kann eine Mehrfarben- Tintenstrahlabscheidung ohne weiteres durchge­ führt werden, indem jede Tinte mit spezieller Farbe in jede isolierte Flüssigkeitskammer (und isolierte Gruppe von Flüssigkeitskanälen) des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes eingeführt wird.1. Because a variety of isolated liquid chambers (and of isolated groups of liquid channels) with high density in the head inte is multicolored Ink jet deposition easily performed be made by each ink with special color into each isolated liquid chamber (and isolated Group of liquid channels) of the liquid jet recording head is introduced.
  • 2. Da eine Vielzahl von Flüssigkeitskammern (und von Flüssigkeitskanälen) in Dickenrichtung des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes integriert ist, kann der Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf dünn und kompakt gehalten werden. 2. Since a variety of liquid chambers (and of Liquid channels) in the thickness direction of the liquid jet recording head is integrated, the liquid jet recording head be kept thin and compact.  
  • 3. Deshalb ist der Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf für ein Reihenaufzeichnungssystem ohne weiteres geeignet.3. Therefore, the liquid jet recording head is for one Row recording system easily suitable.

Fig. 4 ist eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht einer anderen Ausführungsform eines Flüssigkeits­ strahlaufzeichnungskopfes. Wie man Fig. 4 entnehmen kann, ist eine gewünschte Anzahl (in Fig. 4 acht) von Energieerzeugungselementen 402 für einen Flüssigkeitsstrahl, wie bei­ spielsweise Heizelementen oder piezoelektrischen Elementen, auf einer Grundplatte 401 angeordnet, die aus einem geeigneten Material besteht, beispielsweise aus Glas, Keramik, Kunststoff, Silizium, Metallen o. ä. Wenn es sich bei den Energieerzeugungselementen 402 um Heizelemente handelt, wird der Flüssigkeitsstrahldruck durch Erhitzen der in der Nachbarschaft dieser Elemente befindlichen Flüssigkeit erzielt. Wenn die Energieerzeugungselemente 402 piezo­ elektrische Elemente sind, findet die Druckerzeugung durch mechanische Schwingungen oder Verschiebungen statt. Diese Energieerzeugungselemente402 sind an eine Elektrode zum Anlegen eines Eingangssignales angeschlossen, die nicht gezeigt ist. Zur Herstellung dieser Elemente und Elek­ troden kann ein Mehrschichtverdrahtungsverfahren unter Verwendung einer Vakuumabscheidung u. ä. Anwendung finden. Fig. 4 is an exploded perspective view of another embodiment of a liquid jet recording head. As can be seen in FIG. 4, a desired number (eight in FIG. 4) of energy generating elements 402 for a liquid jet, such as for example heating elements or piezoelectric elements, are arranged on a base plate 401 , which is made of a suitable material, for example glass , Ceramics, plastics, silicon, metals or the like. When the power generating elements 402 are heating elements, the liquid jet pressure is obtained by heating the liquid in the vicinity of these elements. If the energy generating elements 402 are piezoelectric elements, the pressure generation takes place by mechanical vibrations or displacements. These energy generating elements 402 are connected to an electrode for applying an input signal, which is not shown. To manufacture these elements and electrodes, a multi-layer wiring method using vacuum deposition can be used. Find application.

Die Grundplatte 401 ist mit einer Durchgangsöffnung 403 versehen, in die eine Zuleitung 404 eingesetzt ist. Eine Zwischenplatte 405, die auf die Oberfläche der Grundplatte 401 gesetzt wird, weist ein offenes Fenster mit der in Fig. 4 gezeigten Form auf. Die Zwischenplatte 405 kann durch Aushärten eines Harzes, das in dieser Form auf die Grundplatte 401 gedruckt und danach ausgehärtet wird, her­ gestellt werden, ferner durch maschinelles Fräsen, Gießen oder Ausstanzen einer Platte aus Silizium, Glas, Keramik, Kunststoff oder Metall. Schließlich kann es sich hierbei um eine ausgehärtete Platte handeln, die aus der Belichtung und Entwicklung eines photoempfind­ lichen Harzes (Photoresist) und der nachfolgenden Auflösung der dem offenen Fenster entsprechenden Abschnitte resultiert. Nachdem die auf diese Weise hergestellte Zwischenplatte 405 auf die Grundplatte 401 gesetzt worden ist, wird sie mittels eines Klebers, mit Hilfe von Schrauben o. ä. dicht auf der Grund­ platte 401 befestigt.The base plate 401 is provided with a through opening 403 into which a feed line 404 is inserted. An intermediate plate 405 , which is placed on the surface of the base plate 401 , has an open window with the shape shown in FIG. 4. The intermediate plate 405 can be produced by curing a resin, which is printed in this form on the base plate 401 and then cured, and also by machine milling, casting or punching out a plate made of silicon, glass, ceramic, plastic or metal. Finally, this can be a hardened plate which results from the exposure and development of a photosensitive resin (photoresist) and the subsequent dissolution of the sections corresponding to the open window. After the intermediate plate 405 produced in this way has been placed on the base plate 401 , it is fastened tightly to the base plate 401 by means of an adhesive, with the aid of screws or the like.

Auf diese Weise werden zwei Hauptflüssigkeitskanäle 406-1 und 406-2 und ihre entsprechenden Zweigkanäle 407-1 und 407-2 auf der Grundplatte 401 geformt. Die Zweigkanäle sind alle durch die Zähne des kamm­ ähnlichen Teiles der Zwischenplatte 405, die sich abwechselnd in die entgegengesetzten Richtungen erstrecken, vonein­ ander getrennt. Die innersten Teile der Zweigkanäle weisen jeweils auf die Energieerzeugungselemente 402. Die auf diese Weise hergestellten alternierenden parallelen Zweigkanäle können eine größere Breite aufweisen als Kanäle, die alle parallel zueinander angeordnet und miteinander verbunden sind.In this way, two main liquid channels 406-1 and 406-2 and their corresponding branch channels 407-1 and 407-2 are formed on the base plate 401 . The branch channels are all separated by the teeth of the comb-like part of the intermediate plate 405 , which alternately extend in the opposite directions. The innermost parts of the branch channels each point to the energy generating elements 402 . The alternating parallel branch channels produced in this way can have a greater width than channels, which are all arranged parallel to one another and connected to one another.

Eine Öffnungsplatte 408 liegt auf der Oberfläche der Zwischenplatte 405 und ist mit Flüssigkeitsstrahlöffnungen 409 versehen, die so ausgerichtet sind, daß sie mit den einzelnen Energieerzeugungselementen 402 übereinstimmen. Diese Öffnungsplatte 408 kann in der gleichen Weise und aus dem gleichen Material hergestellt werden wie die Zwischenplatte 405.An orifice plate 408 lies on the surface of the intermediate plate 405 and is provided with liquid jet openings 409 , which are aligned so that they coincide with the individual energy generating elements 402 . This orifice plate 408 can be made in the same manner and from the same material as the intermediate plate 405 .

Die Zwischenplatte 405 und die Öffnungsplatte 408 werden aufeinander gelegt, zueinander ausgerichtet, so daß die Flüssigkeitsstrahlöffnungen 409 korrekt auf die Energieerzeugungselemente 402 weisen, und mit einem Kleber, mit Hilfe von Schrauben o. ä. sicher aneinander befestigt. Die Zwischenplatte 405 und die Öffnungsplatte 408 können auch vorher zu einem einzigen Körper geformt werden. The intermediate plate 405 and the opening plate 408 are placed on top of one another, aligned with one another so that the liquid jet openings 409 correctly point to the energy generating elements 402 , and are securely fastened to one another with an adhesive, with the aid of screws or the like. The intermediate plate 405 and the opening plate 408 can also be formed into a single body beforehand.

Bei den für die Grundplatte 401 und für die Öffnungs- und Zwischenplatten 405 und 408 verwendeten Materialien handelt es sich vorzugsweise um solche, die gegenüber der verwendeten Tinte extrem korrosionsfest sind. Wenn ein Material mit einer schlechten Korrosionswiderstandsfähigkeit verwendet werden soll, so ist es zweckmäßig, dieses Material vor seiner Verwendung einer Korrosions­ schutzbehandlung zu unterziehen.The materials used for the base plate 401 and for the opening and intermediate plates 405 and 408 are preferably those which are extremely corrosion-resistant to the ink used. If a material with poor corrosion resistance is to be used, it is advisable to subject this material to a corrosion protection treatment before use.

Die Anzahl der Energieerzeugungselemente 402, der Zweigkanäle 407-1 und 407-2 und der Flüssigkeitsstrahlöffnungen 409 ist keinen Beschränkungen ausge­ setzt, obwohl in Fig. 4 acht von diesen Elementen gezeigt sind. Auch die Anzahl der in der Grundplatte 401 befestigten Zuleitungen ist nicht auf eine begrenzt, sondern kann auch größer sein. Durch Modi­ fikation der in Fig. 4 gezeigten Ausführungsform ist es auch möglich, die Hauptkanäle 406-1 und 406-2 an einer Stelle miteinander zu verbinden, die stromab von der Durchgangsöffnung 403 liegt.The number of power generating elements 402 , branch channels 407-1 and 407-2, and liquid jet orifices 409 is not limited, although eight of these elements are shown in FIG. 4. The number of supply lines fastened in the base plate 401 is also not limited to one, but can also be greater. By modifying the embodiment shown in FIG. 4, it is also possible to connect the main channels 406-1 and 406-2 to one another at a location which is downstream of the through opening 403 .

Der in Fig. 4 dargestellte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungs­ kopf arbeitet nach Einführung der Tinte durch die Zuleitung 404 und Auffüllung der Hauptkanäle 406-1 und 406-2 sowie aller Zweigkanäle 407-1 und 407-2 bei Betäti­ gung von gewünschten Energieerzeugungslementen 402 derart, daß die Tinte durch diejenigen Flüssigkeitsstrahlöffnungen 409 ausgestoßen wird, die den entsprechenden betätigten Energieerzeugungselementen 402 zu­ geordnet sind. Es ist in diesem Fall möglich, alle Energieerzeugungselemente 402 gleichzeitig oder hintereinander zu betätigen. Auch kann ein ausgewählter Teil der Energieerzeugungselemente 402 einzeln betätigt werden.The liquid jet recording head shown in Fig. 4 operates after the introduction of the ink through the supply line 404 and filling of the main channels 406-1 and 406-2 and all branch channels 407-1 and 407-2 with actuation of desired energy generating elements 402 such that the ink is ejected through those liquid jet openings 409 which are assigned to the corresponding actuated energy generating elements 402 . In this case, it is possible to actuate all energy generating elements 402 simultaneously or in succession. A selected part of the energy generating elements 402 can also be actuated individually.

Eine geänderte Ausführungsform des in Fig. 4 gezeigten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes, wobei sich die Änderung insbesondere auf die Form der Tintenbahnen bezieht, ist in Fig. 5 dar­ gestellt. Fig. 5 zeigt eine Draufsicht auf diese Ausführungsform, wobei die Öffnungsplatte entfernt worden ist. In Fig. 5 sind mit 521 eine Grundplatte und mit 522 Energieerzeugungslemente für Tintenstrahlen dargestellt, die alle den in Fig. 4 gezeigten ent­ sprechen. Die Bauteile 525, 523 und 526-1 und 526-2 ent­ sprechen der Zwischenplatte 405, der Durchgangsöffnung 403 und den Hauptkanälen 406-1 und 406-2 der Fig. 4. Bei der vorliegenden Ausführungsform stehen Zweigkanäle 527-1, 527-2, 527-3 und 527-4, die breiter sind als die in Fig. 4 gezeigten, jeweils mit zwei alternierenden (übernächsten) Energieerzeugungselementen 522 in Verbindung, wie in Fig. 5 gezeigt. Durch eine derartige Anordnung der Zweigkanäle wird die Wirksamkeit beim Wiederauffüllen der Tinte weiter verbessert, da der Widerstand in bezug auf die Tintenströmung durch die Zweigkanäle im Vergleich mit der Ausführungsform der Fig. 4 redu­ ziert wird.A modified embodiment of the liquid jet recording head shown in FIG. 4, the change relating in particular to the shape of the ink paths, is shown in FIG. 5. Figure 5 shows a top view of this embodiment with the orifice plate removed. In Fig. 5 with 521 a base plate and with 522 energy generating elements for ink jets are shown, all of which correspond to those shown in Fig. 4 ent. The components 525 , 523 and 526-1 and 526-2 correspond to the intermediate plate 405 , the through opening 403 and the main channels 406-1 and 406-2 of FIG. 4. In the present embodiment, branch channels 527-1 , 527-2 , 527-3 and 527-4 , which are wider than those shown in FIG. 4, each with two alternating (next but one) energy generating elements 522 in connection, as shown in FIG. 5. Such an arrangement of the branch channels further improves the efficiency in refilling the ink, since the resistance to the ink flow through the branch channels is reduced in comparison with the embodiment of FIG. 4.

In den Fig. 6 bis 8 sind andere Ausführungsformen eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes dargestellt.In Figs. 6 to 8 different embodiments are shown of a liquid jet recording head.

Wenn bei diesen Darstellungen die letzte Ziffer und die mit Bindestrich versehene Ziffer der Bezugsziffern mit denen der Fig. 4 übereinstimmen, bezeichnen die Bezugsziffern gleiche Teile, so daß deren Bedeutung nicht mehr erläutert wird.If in these representations the last digit and the hyphenated number of the reference numbers correspond to those of FIG. 4, the reference numbers designate the same parts, so that their meaning is no longer explained.

Da bei der in Fig. 6 gezeigten Ausführungsform der Flüssigkeitskanal aus einem Hauptkanal 636-1 und Zweigkanälen 637-1 und aus einem Hauptkanal 636-2 und Zweigkanälen 637-2 besteht, die voneinander isoliert sind, kann eine dichromatische Tinten­ strahlaufzeichnung sofort durchgeführt werden, indem auf separatem Wege zwei Tinten mit unterschiedlicher Farbe durch die Zuleitungen 634-1 und 634-2 eingeführt werden. Since the liquid channel in the embodiment shown in FIG. 6 consists of a main channel 636-1 and branch channels 637-1 and a main channel 636-2 and branch channels 637-2 , which are isolated from one another, dichromatic ink jet recording can be carried out immediately, by separately inserting two inks of different colors through leads 634-1 and 634-2 .

In Fig. 8 ist eine abgeänderte Ausführungsform des in Fig. 6 gezeigten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes dargestellt, die insofern etwas abgeändert ist, als daß Flüssigkeitsstrahlöffnungen abwechselnd auf zwei eng benachbarten Linien angeord­ net sind. Mit dem in Fig. 8 gezeigten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf kann daher eine dichromatische Tintenstrahlaufzeichnung wie mit dem Kopf der Fig. 6 in einfacher Weise durchgeführt werden. Die Ausführungsformen der Fig. 6 und 8 können derart modifiziert werden, daß sie drei oder mehr isolierte Flüssigkeitskanäle (nicht gezeigt) aufweisen, mit denen drei- oder mehrfarbige Tinten­ strahlaufzeichnungen unter Verwendung von drei oder mehr Tinten mit unterschiedlichen Farben durchgeführt werden können.In Fig. 8, a modified embodiment of the liquid jet recording head shown in Fig. 6 is shown, which is slightly modified in that the liquid jet openings are alternately on two closely adjacent lines angeord net. Therefore, with the liquid jet recording head shown in Fig. 8, dichromatic ink jet recording as with the head of Fig. 6 can be easily performed. The embodiments of Figures 6 and 8 can be modified to have three or more isolated liquid channels (not shown) by which three or more color ink jet recordings can be made using three or more different color inks.

Fig. 7 zeigt eine geänderte Ausführungsform des in Fig. 4 gezeigten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes, die dahingehend etwas abgeändert ist, daß die Flüssigkeitsstrahlöffnungen ab­ wechselnd auf zwei eng benachbarten Linien angeord­ net sind. Bei den Ausführungsformen der Fig. 7 und 8 kann daher die Kopflänge in Richtung der Flucht der Flüssigkeitsstrahlöffnungen in ausreichender Weise reduziert werden. Die Ausführungsform der Fig. 7 kann darüber hinaus in ähnlicher Weise wie die Ausführungsform der Fig. 4 modifiziert werden (nicht gezeigt). Fig. 7 shows a modified embodiment of the liquid jet recording head shown in Fig. 4, which is somewhat modified in that the liquid jet openings are alternately from two closely adjacent lines angeord net. In the embodiments of FIGS. 7 and 8, the head length in the direction of the alignment of the liquid jet openings can therefore be reduced to a sufficient extent. The embodiment of FIG. 7 may also be modified in a manner similar to the embodiment of FIG. 4 (not shown).

Wie in Verbindung mit den Fig. 4 bis 8 erläutert wurde, sind die Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsköpfe, die die Form von dünnen Platten aufweisen, mit verzweigten Flüssigkeitskanälen versehen, deren Breite mindestens auf das Doppelte der Breite von Flüssigkeitszweig­ kanälen erhöht werden kann, die alle parallel zuein­ ander angeordnet und miteinander verbunden sind. Diese erhöhten Breiten von Flüssigkeitszweigkanälen reduzieren den Widerstand der Tintenströmung stark, ermöglichen eine Herabsetzung der zum Wiederauffüllen der Tinte benötigten Zeit nach Abgabe eines Tintenstrahles und machen daher einen Tintenausstoß mit hoher Frequenz möglich. Da die Flüssigkeitszweigkanäle darüber hinaus in zwei Gruppen unterteilt sind, ist es möglich, die Dichte der zueinander fluchtend eingerichteten Zweigkanäle zu reduzieren. Es können daher Flüssig­ keitskanäle mit reduziertem Strömungswiderstand mit einer niedrigeren Dichte angeordnet werden als dies bei den Flüssigkeitsstrahlöffnungen der Fall ist.As explained in connection with Figs. 4 to 8, the liquid jet recording heads, which are in the form of thin plates, are provided with branched liquid channels, the width of which can be increased at least twice the width of liquid branch channels, all of which are parallel to one another arranged and connected to each other. These increased widths of liquid branch channels greatly reduce the resistance of the ink flow, allow a reduction in the time required to refill the ink after dispensing an ink jet, and therefore enable high frequency ink ejection. Since the liquid branch channels are also divided into two groups, it is possible to reduce the density of the branch channels aligned with one another. It can therefore be arranged liquid channels with reduced flow resistance with a lower density than is the case with the liquid jet openings.

Mit den vorstehend beschriebenen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsköpfen, die mit hoher Frequenz arbeiten, ist daher eine Aufzeichnung mit hoher Geschwindigkeit möglich. Aufgrund der Aus­ richtung der Flüssigkeitsstrahlöffnungen auf diesen Köpfen mit hoher Dichte ist ferner eine Aufzeichnung mit hoher Dichte möglich. Darüber hinaus können diese Köpfe dünn und kompakt ausgebildet sein. Ein anderer Vorteil besteht darin, daß eine dichromatische oder Mehrfarben- Tintenstrahlaufzeichnung in einfacher Weise mit einem einzigen Kopf durchgeführt werden kann, indem Flüssigkeitszweigkanäle in zwei oder mehrere isolierte Gruppen aufgeteilt werden und jede dieser isolierten Gruppen als eine isolierte Flüssigkeitskammer wirkt.With the liquid jet recording heads described above, the Working at high frequency is therefore a record possible at high speed. Because of the out direction of the liquid jet openings on these heads with high Density is also a high density record possible. In addition, these heads can be thin and be compact. Another advantage is there in that a dichromatic or multicolor Inkjet recording in a simple way a single head can be done by Liquid branch channels in two or more isolated Groups are divided and each of these is isolated Groups act as an isolated liquid chamber.

Es folgt nunmehr eine Beschreibung der Fig. 9A und 9B, in denen andere Ausführungsformen eines Flüssigkeits­ strahlaufzeichnungskopfes gezeigt sind.It now follows a description of the Figs. 9A and 9B, in which other embodiments of a liquid jet recording head are shown.

Fig. 9A ist eine perspektivische Ansicht dieser Aus­ führungsformen von außen, während die Fig. 9B einen Schnitt entlang der Linie X-X' in Fig. 9A zeigt. Fig. 9A is a perspective view of these embodiments from the outside, while Fig. 9B shows a section along the line XX 'in Fig. 9A.

Mit 901 ist eine Grundplatte bezeichnet, die aus einem Material wie Glas, Keramik, Kunststoff, Silizium, Metall o. ä. besteht. Zwei Energieerzeugungselemente 902 für Flüssig­ keitsstrahlen, beispielsweise Heizelemente oder piezoelektrische Elemente, sind auf der Oberfläche der Grundplatte 901 angeordnet. Wenn es sich bei den Energieerzeugungselementen 902 um Heizelemente handelt, wird der Strahl­ druck durch Erhitzen der in der Nachbarschaft dieser Elemente befindlichen Flüssigkeit erreicht. Wenn die Energieerzeugungselemente 902 piezoelektrische Elemente sind, erfolgt dies durch mechanische Schwingungen oder Verschie­ bungen. Diese Energieerzeugungselemente sind jeweils an eine Elektrode zum Anlegen eines Eingangssignales angeschlossen, die nicht gezeigt ist. Zum Anschluß kann die gegenwärtig in der Halbleiterindustrie häufig verwendete Mehr­ schichtverdrahtungstechnik Anwendung finden, bei der durch Photolithographie auf leitenden Filmen aus Al, Au o. ä., die zusammen mit elektrisch isolierenden Filmen aus SiO2, Si3N4 oder Polyimid abwechselnd laminiert sind, gewünschte Muster ausgebildet werden.With 901 a base plate is designated, which consists of a material such as glass, ceramic, plastic, silicon, metal or the like. Two energy generating elements 902 for liquid jets, for example heating elements or piezoelectric elements, are arranged on the surface of the base plate 901 . If the energy generating elements 902 are heating elements, the jet pressure is achieved by heating the liquid in the vicinity of these elements. If the energy generating elements 902 are piezoelectric elements, this is done by mechanical vibrations or displacements. These energy generating elements are each connected to an electrode for applying an input signal, which is not shown. For connection, the multilayer wiring technology currently frequently used in the semiconductor industry can be used, in which by photolithography on conductive films made of Al, Au or the like, which are alternately laminated together with electrically insulating films made of SiO 2 , Si 3 N 4 or polyimide , desired patterns are formed.

Bei der Zwischenplatte 903 handelt es sich um einen Abstands­ halter, der aus ähnlichem Material besteht wie die Grundplatte 901 und einen inneren offenen Raum be­ sitzt, der als Flüssigkeitskammer 904 dient. Durch eine Zuleitung 905, die in einer nicht gezeigten Durchgangsöffnung, die die Grundplatte 901 durch­ dringt, befestigt ist, kann Tinte in die Flüssigkeits­ kammer 904 eingeführt werden. Die Anzahl von derartigen Zuleitungen ist nicht auf die in Fig. 9A gezeigte begrenzt. Eine Öffnungsplatte 906, die aus ähnlichem Material besteht wie die Grundplatte 901, ist mit Flüssigkeitsstrahl­ öffnungen 907a und 907b versehen, die so eng nebeneinander angeordnet sind, wie dies die Mikrofabrikationstechnik ermöglicht. Die Anzahl dieser Flüssigkeitsstrahlöffnungen ist ebenfalls nicht auf die in Fig. 9A gezeigte begrenzt; pro Flüssigkeitskammer 904 können eben­ falls drei oder mehr, beispielsweise drei bis fünf Flüssigkeitsstrahlöffnungen in dichter Anordnung vorgesehen sein.The intermediate plate 903 is a spacer, which is made of a similar material as the base plate 901 and an inner open space that serves as a liquid chamber 904 . Ink can be introduced into the liquid chamber 904 through a feed line 905 , which is fastened in a through opening, not shown, which penetrates the base plate 901 . The number of such leads is not limited to that shown in Fig. 9A. An opening plate 906 , which is made of a similar material as the base plate 901 , is provided with liquid jet openings 907 a and 907 b, which are arranged as close to one another as is possible with microfabrication technology. The number of these liquid jet openings is also not limited to that shown in Fig. 9A; per liquid chamber 904 , three or more, for example three to five, liquid jet openings can also be provided in a dense arrangement.

Wenn Aufzeichnungspapier (nicht gezeigt) von dem auf diese Weise ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf in einer Richtung nahezu senkrecht zur Linie X-X' über­ strichen wird, wobei die mit den Flüssigkeitsstrahlöffnungen versehene Fläche des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes gegenüberliegend angeordnet und eng am Papier gehalten wird, werden bei Betätigung der Energieerzeugungselemente 902 Tintentröpfchen durch die Flüssigkeitsstrahlöffnungen 907a und 907b abgestrahlt, so daß sich auf dem Auf­ zeichnungspapier Tintenpunkte in dem gleichen Abstand bilden, der zwischen den Flüssigkeitsstrahlöffnungen 907a und 907b vorhanden ist. Mit anderen Worten, die Entfernung zwischen den Tintenpunkten aufgrund der Flüssigkeitsstrahlöffnungen 907a und 907b entspricht der Entfernung zwischen den Flüssigkeitsstrahlöffnungen 907a und 907b. Die Flüssigkeitsstrahlöffnungen sind so eng benachbart angeordnet, daß sich die beiden Tinten­ punkte überlappen. Dies führt dazu, daß man auf den bedruckten Bögen kontinuierliche Linien wahrnimmt, und zwar insbesondere in Längsrichtung, was bei den Tintenstrahlköpfen des Standes der Technik nicht der Fall war.When recording paper (not shown) is swept by the liquid jet recording head thus formed in a direction almost perpendicular to the line XX 'with the liquid jet opening face of the liquid jet recording head being opposed and held close to the paper, the power generating elements 902 are actuated upon operation Ink droplets emitted through the liquid jet openings 907 a and 907 b, so that ink dots form on the recording paper at the same distance that is present between the liquid jet openings 907 a and 907 b. In other words, the distance between the ink dots due to the liquid jet openings 907 a and 907 b corresponds to the distance between the liquid jet openings 907 a and 907 b. The liquid jet openings are so closely adjacent that the two ink points overlap. As a result, continuous lines are perceived on the printed sheets, particularly in the longitudinal direction, which was not the case with the ink jet heads of the prior art.

Weitere Ausführungsformen sind in Fig. 10A dargestellt, die eine perspektivische Außenansicht dieser Ausführungsformen zeigt. Die Fig. 10B und 10C stellen Schnitte entlang der Linie Y-Y' in Fig. 10A dar.Further embodiments are shown in FIG. 10A, which shows an external perspective view of these embodiments. FIGS. 10B and 10C show sections along the line YY 'in Fig. 10A represents.

Mit 1011 ist eine Grundplatte bezeichnet, die der Grundplatte 901 der Fig. 9A entspricht. Die Bauteile 1012 entsprechen den Energieerzeugungselementen 902; 1013 der Zwischenplatte 903; 1014a, 1014b, 1014c und 1014d alle der Flüssigkeitskammer 904; 1015 der Zuleitung 905; 1016 der Öffnungsplatte 906; und 1017a, 1017b . . . und 1017h alle den Flüssigkeits­ strahlöffnungen der Fig. 9. 1011 denotes a base plate which corresponds to base plate 901 in FIG. 9A. The components 1012 correspond to the energy generating elements 902 ; 1013 of the intermediate plate 903 ; 1014 a, 1014 b, 1014 c and 1014 d all of the liquid chamber 904 ; 1015 of the feed line 905 ; 1016 of orifice plate 906 ; and 1017 a, 1017 b. , , and 1017 h all of the liquid jet openings of FIG. 9.

Wie bei dem Kopf der Fig. 9A sind die Flüssigkeits­ strahlöffnungen 1017a, 1017b . . . und 1017h linear angeordnet, wie in Fig. 10A gezeigt, oder in Zick­ zackform angeordnet, so eng wie möglich benachbart, wie dies die Mikrofabrikationstechnik erlaubt. Die Anzahl dieser Öffnungen ist nicht auf die in Fig. 10A gezeigte begrenzt; für eine Flüssigkeits­ kammer können auch drei oder mehr, d. h. 3-5, Öffnungen in dichter Weise angeordnet sein.As with the head of FIG. 9A, the liquid jet openings 1017 a, 1017 b. , , and 1017 h arranged linearly as shown in FIG. 10A, or arranged in a zigzag shape, as closely adjacent as possible as the microfabrication technique allows. The number of these openings is not limited to that shown in Fig. 10A; for a liquid chamber, three or more, ie 3-5, openings can be arranged in a sealed manner.

Ähnlich wie bei der in der Fig. 9C dargestellten Ausführungsform kann das Energieerzeugungselement 1012 so modifiziert werden, daß es getrennt den einzelnen Flüssigkeits­ strahlöffnungen zugeordnet ist, wie in Fig. 10C gezeigt. Mit anderen Worten, die gleiche Anzahl von Energieerzeugungselementen 1012 wie die der Öffnungen kann in jeder Flüssigkeitskammer angeordnet werden.Similar to the embodiment shown in FIG. 9C, the energy generating element 1012 can be modified such that it is separately assigned to the individual liquid jet openings, as shown in FIG. 10C. In other words, the same number of energy generating elements 1012 as that of the openings can be arranged in each liquid chamber.

Wenn Aufzeichnungspapier (nicht gezeigt) von einem derart ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf in einer Richtung nahezu senkrecht zur Linie Y-Y' überstrichen wird, wobei die mit den Öffnungen versehene Fläche des Kopfes dem Papier gegenüberliegt und eng benach­ bart zu diesem gehalten wird, werden bei Betätigung der Energieerzeugungselemente 1012 Tintentröpfchen durch die Öffnungen 1017a, 1017b . . . 1017h ausgestoßen, die auf dem Papier Tintenpunkte mit dem gleichen Abstand bilden, der zwischen den Öffnungen vorhanden ist. Die Öffnungen sind so eng benachbart zueinander angeordnet, daß sich benachbarte Tintenpunkte überlappen. Es erweckt daher den Anschein, als ob die auf das Papier gedruckten Buchstaben aus kontinuierlichen Linien bestehen, ins­ besondere in Längsrichtung.When recording paper (not shown) is swept by such a liquid jet recording head in a direction almost perpendicular to the line YY 'with the apertured surface of the head facing the paper and kept closely adjacent thereto, the power generating elements 1012 are actuated upon actuation Ink droplets through openings 1017 a, 1017 b. , , 1017 h, which form ink dots on the paper with the same distance between the openings. The openings are so closely adjacent to each other that adjacent ink dots overlap. It therefore appears as if the letters printed on the paper consist of continuous lines, particularly in the longitudinal direction.

Wenn ein derart langer Kopf wie in Fig. 10A gezeigt verwendet wird, der Flüssigkeitsstrahlöffnungen auf­ weist, die über die gleiche Länge angeordnet sind, wie sie das verwendete Aufzeichnungspapier besitzt, ist es möglich, die Aufzeichnung über den gesamten Bereich des Bogens mit einem einzigen Durchlauf vorzunehmen, so daß auf diese Weise eine beträchtliche Herabsetzung der Aufzeichnungszeit im Vergleich zum Einsatz von kurzen Köpfen, wie sie beispielsweise in Fig. 9A gezeigt sind, erreicht wird.When using such a long head as shown in Fig. 10A, which has liquid jet openings arranged the same length as that of the recording paper used, it is possible to record over the entire area of the sheet with a single pass so that a considerable reduction in the recording time is achieved compared to the use of short heads, as shown, for example, in FIG. 9A.

Die Betätigung der Vielzahl von Energieerzeugungselementen für die Flüssigkeitsstrahlen kann auf ver­ schiedene Weise erfolgen, beispielsweise gleich­ zeitig oder nacheinander.The actuation of the large number of energy generating elements for the liquid jets can on ver different ways, for example the same early or sequentially.

Wie vorstehend beschrieben, haben die in den Fig. 9 und 10 dargestellten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsköpfe die folgenden Vorteile:
As described above, the liquid jet recording heads shown in Figs. 9 and 10 have the following advantages:

  • 1. Diese Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsköpfe führen zum Drucken mit hoher Qualität, die mit dem Stand der Technik nicht erreichbar waren, da Tintenpunkte mit hoher Dichte gebildet werden, die insbesondere in Längsrichtung dicht angeordnet sind. 1. These liquid jet recording heads result in high quality printing, that could not be reached with the state of the art, because high density ink dots are formed, which are particularly closely arranged in the longitudinal direction are.  
  • 2. Da die Flüssigkeitsstrahlöffnungen sehr nahe an den Energieerzeugungselementen für die Flüssigkeitsstrahlen und mit hohe Dichte ange­ ordnet sind, können diese Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsköpfe sehr dünn und kompakt ausgebildet werden.2. Because the liquid jet openings are very close on the power generation elements for the Liquid jets and with high density are arranged, these liquid jet recording heads can be very thin and be compact.
  • 3. Da es relativ einfach ist, die Flüssigkeits­ strahlöffnungen mit hoher Dichte fein auszubilden, können die Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsköpfe selbst in einfacher Weise mit hoher Ausbeute hergestellt werden.3. Since it is relatively simple, the liquid to form jet openings with high density, can use the liquid jet recording heads themselves in a simple manner high yield.

Die in den Fig. 9 und 10 dargestellten Systeme können bei den in den Fig. 1 und 3 bis 8 ge­ zeigten Systemen Anwendung finden.The systems shown in FIGS. 9 and 10 can be applied to the systems shown in FIGS. 1 and 3 to 8.

Zuerst können die in den Fig. 1, 4, 5, 7 und 8 gezeigten Ausführungsformen derart modifiziert werden, daß eine Vielzahl von Flüssigkeitsstrahlöffnungen einem Energieerzeugungselement entspricht, wie in Fig. 10B gezeigt. Beispielsweise kann in Fig. 1 jede Flüssigkeitsstrahlöffnung weiter in eine Vielzahl von Öffnungen aufgeteilt werden.First, the embodiments shown in Figs. 1, 4, 5, 7 and 8 can be modified such that a plurality of liquid jet openings correspond to one power generating element, as shown in Fig. 10B. For example, in Fig. 1, each liquid jet opening can be further divided into a plurality of openings.

Ferner können die in den Fig. 1, 4, 5, 7 und 8 gezeigten Ausführungsformen derart modifiziert werden, daß eine Vielzahl von Energieerzeugungselementen in einer Flüssigkeitskammer (d. h. in jedem Zweigkanal) ausgebildet werden, die der gleichen Anzahl von Flüssigkeitsstrahlöffnungen in einer Flüssigkeitskammer (d. h. in jedem Zweigkanal) entspricht, wie in den Fig. 9B und 10C gezeigt. Beispielsweise kann in Fig. 4 jedes Energieerzeugungselement in eine Vielzahl von Elementen und jede Flüssigkeitsstrahlöffnung entspre­ chend der Aufteilung der Elemente weiter aufge­ teilt werden. Furthermore, the embodiments shown in Figs. 1, 4, 5, 7 and 8 can be modified such that a plurality of energy generating elements are formed in a liquid chamber (ie in each branch channel) which have the same number of liquid jet openings in a liquid chamber (ie in each branch channel) as shown in Figs. 9B and 10C. For example, in Fig. 4, each energy generating element can be further divided into a plurality of elements and each liquid jet opening according to the division of the elements.

Gemäß diesen Ausführungsformen wird somit ein Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf vorgeschlagen, der eine Vielzahl von Energieerzeugungselementen für Flüssigkeitsstrahlen und eine Vielzahl von Flüssigkeitsstrahlöffnungen aufweist, die diesen Elementen durch einen Flüssigkeitskanal getrennt gegenüberliegen. Der Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach den Fig. 1 bis 8 ist dadurch gekennzeichnet, daß benachbarte Elemente getrennt sind und mit einem oder mehreren isolierten Flüssigkeitskanal/-kanälen in Verbindung stehen.According to these embodiments, a liquid jet recording head is therefore proposed which has a multiplicity of energy generating elements for liquid jets and a multiplicity of liquid jet openings which are opposite these elements separated by a liquid channel. The liquid jet recording head according to FIGS. 1 to 8 is characterized in that adjacent elements are separated and are connected to one or more isolated liquid channels.

Claims (8)

1. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf mit
einer Grundplatte (1, 401, 521, 631, 741, 851, 901, 1011), die eine Mehrzahl von in mindestens einer Abfolge angeordneten Energieerzeugungselementen (2, 402, 522, 632, 742, 852, 902, 1012) aufweist,
mindestens einer Zwischenplatte (5, 11, 12, 405, 525, 635, 745, 855, 903, 1013), die auf der Grundplatte (1, 401, 521, 631, 741, 851, 901, 1011) aufbauend schichtweise übereinander laminiert ist und eine Aussparung zur Bildung mindestens einer Flüssigkeitskammer (6, 13, 406-1, 406-2, 527-1, 527-2, 527-3, 527-4, 636-1, 636-2, 746-1, 746-2, 856-1, 856-2, 904, 1014a, 1014b, 1014c, 1014d) und deren Verbindung mit den zugehörigen Energieerzeugungselementen (2, 402, 522, 632, 742, 852, 902, 1012) aufweist, wobei in jede Flüssigkeitskammer (6, 13, 406-1, 406-2, 527-1, 527-2, 527-3, 527-4, 636-1, 636-2, 746-1, 746-2, 856-1, 856-2, 904, 1014a, 1014b, 1014c, 1014d) über mindestens eine Zuleitung (4-1, 4-2, 20-1, 20-2, 404, 634-1, 634-2, 744, 854-1, 854-2, 905, 1015) Flüssigkeit transportierbar ist, und mit
einer auf die Zwischenplatte (5, 11, 12, 405, 525, 635, 745, 855, 903, 1013) auflaminierten oder mit dieser einstückigen Öffnungsplatte (14, 408, 638, 748, 858, 906, 1016), die Flüssigkeitsstrahlöffnungen (8-3, 9-3, 21-3, 22-3, 409, 639, 749, 859, 907a, 907b, 1017a, 1017b, 1017c, 1017d, 1017e, 1017f, 1017g, 1017h) aufweist, die den Energieerzeugungselementen (2, 402, 522, 632, 742, 852, 902, 1012) zugeordnet sind,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Grundplatte (1, 401, 521, 631, 741, 851, 901, 1011) mit mindestens einer Durchgangsöffnung (3-1, 3-2, 403, 523, 633-1, 633-2, 743, 853-1, 853-2) versehen ist, in der die mindestens eine Zuleitung (4-1, 4-2, 20-1, 20-2, 404, 634-1, 634-2, 744, 854-1, 854-2, 905, 1015) mündet,
daß die Energieerzeugungselemente (2, 402, 522, 632, 742, 852, 902, 1012) auf der Flüssigkeitskammerseite der Grundplatte (1, 401, 521, 631, 741, 851, 901, 1011) seitlich versetzt zu der mindestens einen Durchgangsöffnung (3-1, 3-2, 403, 523, 633-1, 633-2, 743, 853-1, 853-2) und im wesentlichen in der Projektion der Flüssigkeitsstrahlöffnungen (8-3, 9-3, 21-3, 22-3, 409, 639, 749, 859, 907a, 907b, 1017a, 1017b, 1017c, 1017d, 1017e, 1017f, 1017g, 1017h) angeordnet sind,
daß die Flüssigkeitskammer (6, 13, 406-1, 406-2, 527-1, 527-2, 527-3, 527-4, 636-1, 636-2, 746-1, 746-2, 856-1, 856-2, 904, 1014a, 1014b, 1014c, 1014d) in flacher Bauweise im wesentlichen durch eine Aussparung in nur einer Zwischenplatte (5, 11, 12, 405, 525, 635, 745, 855, 903, 1013) gebildet ist,
wobei die Flüssigkeit in die Flüssigkeitskammer (6, 13, 406-1, 406-2, 527-1, 527-2, 527-3, 527-4, 636-1, 636-2, 746-1, 746-2, 856-1, 856-2, 904, 1014a, 1014b, 1014c, 1014d) von der Seite zugeführt wird, die zur Seite mit den Flüssigkeitsstrahlöffnungen (8-3, 9-3, 21-3, 22-3, 409, 639, 749, 859, 907a, 907b, 1017a, 1017b, 1017c, 1017d, 1017e, 1017f, 1017g, 1017h) entgegengesetzt ist und
die Zuführrichtung der Flüssigkeit durch die mindestens eine Durchgangsöffnung (3-1, 3-2, 403, 523, 633-1, 633-2, 743, 853-1, 853-2) in die Flüssigkeitskammer (6, 13, 406-1, 406-2, 527-1, 527-2, 527-3, 527-4, 636-1, 636-2, 746-1, 746-2, 856-1, 856-2, 904, 1014a, 1014b, 1014c, 1014d) im wesentlichen der Austrittsrichtung der Flüssigkeit durch die Flüssigkeitsstrahlöffnungen (8-3, 9-3, 21-3, 22-3, 409, 639, 749, 859, 907a, 907b, 1017a, 1017b, 1017c, 1017d, 1017e, 1017f, 1017g, 1017h) entspricht.1. Liquid jet recording head with
a base plate ( 1 , 401 , 521 , 631 , 741 , 851 , 901 , 1011 ) which has a plurality of energy generation elements ( 2 , 402 , 522 , 632 , 742 , 852 , 902 , 1012 ) arranged in at least one sequence,
at least one intermediate plate ( 5 , 11 , 12 , 405 , 525 , 635 , 745 , 855 , 903 , 1013 ), which builds up layer by layer on the base plate ( 1 , 401 , 521 , 631 , 741 , 851 , 901 , 1011 ) and a recess for forming at least one liquid chamber ( 6 , 13 , 406-1 , 406-2 , 527-1 , 527-2 , 527-3 , 527-4 , 636-1 , 636-2 , 746-1 , 746-2 , 856-1 , 856-2 , 904 , 1014 a, 1014 b, 1014 c, 1014 d) and their connection with the associated power generation elements ( 2 , 402 , 522 , 632 , 742 , 852 , 902 , 1012 ) , with each liquid chamber ( 6 , 13 , 406-1 , 406-2 , 527-1 , 527-2 , 527-3 , 527-4 , 636-1 , 636-2 , 746-1 , 746-2 , 856-1 , 856-2 , 904 , 1014 a, 1014 b, 1014 c, 1014 d) via at least one supply line ( 4-1 , 4-2 , 20-1 , 20-2 , 404 , 634-1 , 634-2 , 744 , 854-1 , 854-2 , 905 , 1015 ) liquid can be transported, and with
one on the intermediate plate ( 5 , 11 , 12 , 405 , 525 , 635 , 745 , 855 , 903 , 1013 ) laminated or with this one-piece opening plate ( 14 , 408 , 638 , 748 , 858 , 906 , 1016 ), the liquid jet openings ( 8-3 , 9-3 , 21-3 , 22-3 , 409 , 639 , 749 , 859 , 907 a, 907 b, 1017 a, 1017 b, 1017 c, 1017 d, 1017 e, 1017 f, 1017 g , 1017 h), which are assigned to the energy generating elements ( 2 , 402 , 522 , 632 , 742 , 852 , 902 , 1012 ),
characterized by
that the base plate ( 1 , 401 , 521 , 631 , 741 , 851 , 901 , 1011 ) with at least one through opening ( 3-1 , 3-2 , 403 , 523 , 633-1 , 633-2 , 743 , 853-1 , 853-2 ) is provided, in which the at least one feed line ( 4-1 , 4-2 , 20-1, 20-2 , 404 , 634-1 , 634-2 , 744 , 854-1 , 854-2 , 905 , 1015 ) opens,
that the energy generating elements ( 2 , 402 , 522 , 632 , 742 , 852 , 902 , 1012 ) on the liquid chamber side of the base plate ( 1 , 401 , 521 , 631 , 741 , 851 , 901 , 1011 ) laterally offset to the at least one through opening ( 3-1 , 3-2 , 403 , 523 , 633-1 , 633-2 , 743 , 853-1 , 853-2 ) and essentially in the projection of the liquid jet openings ( 8-3 , 9-3 , 21-3 , 22-3 , 409 , 639 , 749 , 859 , 907 a, 907 b, 1017 a, 1017 b, 1017 c, 1017 d, 1017 e, 1017 f, 1017 g, 1017 h) are arranged,
that the liquid chamber ( 6 , 13 , 406-1 , 406-2 , 527-1 , 527-2 , 527-3 , 527-4 , 636-1 , 636-2 , 746-1 , 746-2 , 856- 1 , 856-2 , 904 , 1014 a, 1014 b, 1014 c, 1014 d) in flat design essentially through a recess in only one intermediate plate ( 5 , 11 , 12 , 405 , 525 , 635 , 745 , 855 , 903 , 1013 ) is formed,
the liquid entering the liquid chamber ( 6 , 13 , 406-1 , 406-2 , 527-1 , 527-2 , 527-3 , 527-4 , 636-1 , 636-2 , 746-1 , 746-2 , 856-1 , 856-2 , 904 , 1014 a, 1014 b, 1014 c, 1014 d) is fed from the side that is to the side with the liquid jet openings ( 8-3 , 9-3 , 21-3 , 22- 3 , 409 , 639 , 749 , 859 , 907 a, 907 b, 1017 a, 1017 b, 1017 c, 1017 d, 1017 e, 1017 f, 1017 g, 1017 h) is opposite and
the direction of supply of the liquid through the at least one through opening ( 3-1 , 3-2 , 403 , 523 , 633-1 , 633-2 , 743 , 853-1 , 853-2 ) into the liquid chamber ( 6 , 13 , 406- 1 , 406-2 , 527-1 , 527-2 , 527-3 , 527-4 , 636-1 , 636-2 , 746-1 , 746-2 , 856-1 , 856-2 , 904 , 1014 a , 1014 b, 1014 c, 1014 d) essentially the direction of exit of the liquid through the liquid jet openings ( 8-3 , 9-3 , 21-3 , 22-3 , 409 , 639 , 749 , 859 , 907 a, 907 b, 1017 a, 1017 b, 1017 c, 1017 d, 1017 e, 1017 f, 1017 g, 1017 h). 2. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet; daß die Energieerzeugungselemente (2, 402, 522, 632, 742, 852, 902, 1012) als wärmeerzeugende Elemente ausgebildet sind.2. A liquid jet recording head according to claim 1, characterized in that; that the energy generating elements ( 2 , 402 , 522 , 632 , 742 , 852 , 902 , 1012 ) are designed as heat-generating elements. 3. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenplatten (5, 11, 12, 405, 525, 635, 745, 855, 903, 1013) aus Kunststoff und die Aussparungen mit Hilfe eines Photoresistverfahrens hergestellt sind.3. Liquid jet recording head according to one of the preceding claims, characterized in that the intermediate plates ( 5 , 11 , 12 , 405 , 525 , 635 , 745 , 855 , 903 , 1013 ) are made of plastic and the recesses are produced with the aid of a photoresist process. 4. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Flüssigkeitsstrahlöffnungen (1017a, 1017b, 1017c, 1017d, 1017e, 1017f, 1017g, 1017h) einem Energieerzeugungselement (1012) zugeordnet sind.4. Liquid jet recording head according to one of the preceding claims, characterized in that at least two liquid jet openings ( 1017 a, 1017 b, 1017 c, 1017 d, 1017 e, 1017 f, 1017 g, 1017 h) are associated with an energy generating element ( 1012 ). 5. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeitskammer (6, 13, 406-1, 406-2, 527-1, 527-2, 527-3, 527-4, 636-1, 636-2, 746-1, 746-2, 856-1, 856-2) in mindestens zwei Gruppen aufgeteilt ist und daß benachbarte Energieerzeugungselemente (2, 402, 522, 632, 742, 852) getrennt mit entsprechenden isolierten Flüssigkeitskammern (6, 13, 406-1, 406-2, 527-1, 527-2, 527-3, 527-4, 636-1, 636-2, 746-1, 746-2, 856-1, 856-2) in Verbindung stehen.5. Liquid jet recording head according to one of the preceding claims, characterized in that the liquid chamber ( 6 , 13 , 406-1 , 406-2 , 527-1 , 527-2, 527-3 , 527-4 , 636-1 , 636- 2 , 746-1 , 746-2 , 856-1 , 856-2 ) is divided into at least two groups and that neighboring energy generating elements ( 2 , 402 , 522 , 632 , 742 , 852 ) are separated with corresponding insulated liquid chambers ( 6 , 13 , 406-1 , 406-2 , 527-1 , 527-2 , 527-3 , 527-4 , 636-1 , 636-2 , 746-1 , 746-2 , 856-1 , 856-2 ) in Connect. 6. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeitskammer (6, 13) in Dickenrichtung des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes in zwei oder mehr Abschnitte aufgeteilt ist.6. Liquid jet recording head according to one of the preceding claims, characterized in that the liquid chamber ( 6 , 13 ) is divided into two or more sections in the thickness direction of the liquid jet recording head. 7. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeitskammer (6, 13, 406-1, 406-2, 527-1; 527-2, 527-3, 527-4, 636-1, 636-2, 746-1, 746-2, 856-1, 856-2) aufgeteilte Gruppen von kammförmigen Flüssigkeitszweigkanälen (407-1, 407-2, 527-1, 527-2, 527-3, 527-4, 637-1, 637-2, 747-1, 747-2, 857-1, 857-2) aufweist.7. Liquid jet recording head according to one of the preceding claims, characterized in that the liquid chamber ( 6 , 13 , 406-1 , 406-2 , 527-1 ; 527-2 , 527-3 , 527-4 , 636-1 , 636- 2 , 746-1 , 746-2 , 856-1 , 856-2 ) divided groups of comb-shaped liquid branch channels ( 407-1 , 407-2 , 527-1 , 527-2 , 527-3 , 527-4 , 637- 1 , 637-2 , 747-1 , 747-2 , 857-1 , 857-2 ). 8. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Energieerzeugungselement (2, 402, 522, 632, 742, 852, 902, 1012) durch eine Vielzahl kleinerer Elemente gebildet ist.8. Liquid jet recording head according to one of the preceding claims, characterized in that each energy generating element ( 2 , 402 , 522 , 632 , 742 , 852 , 902 , 1012 ) is formed by a plurality of smaller elements.
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