DE2620164C2

DE2620164C2 - Method and device for monitoring high-current glow discharges

Info

Publication number: DE2620164C2
Application number: DE2620164A
Authority: DE
Inventors: Werner Dr. 5038 Rodenkirchen Oppel
Original assignee: IONIT ANSTALT BERNHARD BERGHAUS VADUZ
Current assignee: IONIT ANSTALT BERNHARD BERGHAUS VADUZ
Priority date: 1976-05-07
Filing date: 1976-05-07
Publication date: 1978-07-06
Also published as: IT1084635B; GB1522925A; BR7702855A; ZA772644B; JPS5340644A; PL197863A1; FR2350761A1; DE2620164B1; DD129846A5; JPS5526181B2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Überwachung von stromstarken Glimmentladungen in einem Rezipienten zur Behandlung von Werkstücken, bei dem die Werkstücke zunächst einem Aufheizprozeß und anschließend der eigentlichen Behandlung unterworfen werden und Fehlentladungen unter Verwendung einer aufsummierenden Schaltungsanordnung durch kurzzeitiges Unterbrechen des Betriebsstromes !gelöscht werden.The present invention relates to a method for monitoring high-current glow discharges in a recipient for the treatment of workpieces, in which the workpieces first undergo a heating process and then subjected to the actual treatment and false discharges using an accumulating circuit arrangement by briefly interrupting the operating current !to be deleted.

Bei der Behandlung von Werkstücken mittels stromstarker Glimriu r.tiadusiuen zum Nitrierhärten, Metallisieren, Glühen, Harten, Karburieren, Entkohlen od. dgl. der Werkstücke werden diese in einem Rezipienten in einem Aufheizprozeß aufgeheizt, wonach die eigentliche Behandlung stattfindet. Eventuell während des gesamten Prozesses auftretende Lichtbögen, die die Werkstücke nachteilig beeinflussen könnten, werden ständig beispielsweise durch einen Schnellschalter, wie er in der DE-AS 12 75 228 beschrieben ist, oder durch eine ähnliche Schaltung, die eine aufsummierendeWhen treating workpieces by means of high-current Glimriu r.tiadusiuen for nitriding, Metallizing, annealing, hardening, carburizing, decarburizing or the like of the workpieces are all in one Recipients heated up in a heating process, after which the actual treatment takes place. Possible arcs occurring during the entire process, which could adversely affect the workpieces, are constantly activated, for example by a quick switch, as described in DE-AS 12 75 228, or through a similar circuit that is a summing

ίο Schaltungsanordnung verwendet, wie sie in der FR-Zusatzpatentschrift 71 673 beschrieben ist, abgeschaltet Hierbei wird der Speisestrom kurzzeitig abgeschaltet jedoch nach einer geringen Zeitspanne, in der ein aufgetretener Lichtbogen normalerweise gets löscht ist wieder eingeschaltet Fehlentladungen infolge des Zündens von Lichtbogen treten im allgemeinen nur während des Aufheizprozesses auf, bei dem unter anderem die Oberfläche der Werkstücke durch Abstäuben gereinigt wird. Diese Fehlentladungen treten außerdem statistisch verteilt an der gesamten Oberfläche der Werkstücke auf. Bei der dem Aufheizprozeß nachfolgenden eigentlichen Behandlung der Werkstükke sollten normalerweise keine Fehlentladungen auftreten. Es wurde nun festgestellt daß bei der eigentlichen Behandlung im Anschluß an das Aufheizen trotzdem auftretende Lichtbögen bevorzugt an derselben Stelle auftreten, d. h, daß es sich hierbei nicht um statistisch verteilte, sondern um lokale Lichtbogen handelt so daß sich auf die Dauer eine lokale Überhitzung des Werkstückes an der Stelle ergibt an der sich der Lichtbogen entzündet Hierdurch kann das Werkstück zerstört werden. Derartige lokale Lichtbogen haben ihre Ursache beispielsweise in nichtentferntem öl, das sich z. B. in Bohrungen des Werkstückes befindet oder in Lunkern od.. dgl. Ein Auslösen einer auf Fehlentladungen ansprechenden Schalteinrichtung kann beim Auftreten solcher (okaler Fehlentladungen die Werkstücke auf die Dauer nicht schützen, da die Fehlentladungen nicht wie beim Aufheizprozeß statistisch verteilt überall auf der Oberfläche der Werkstücke auftreten. Zum Festelllen derartiger lokaler Fehlentladungen ist bisher eine Bedienungsperson notwendig, die die Glimmentladung beobachtet und gegebenenfalls den Glimmentladungsprozeß abbricht.ίο Circuit arrangement used as shown in the FR additional patent specification 71 673 is described, switched off In this case, the feed current is switched off briefly, but after a short period of time, in which normally gets extinguished when an arc has occurred is switched on again as a result of incorrect discharges of arc ignition generally only occur during the heating process, during which, among other things, the surface of the workpieces through Dusting is cleaned. These false discharges also occur in a statistically distributed manner over the entire surface of the workpieces. During the actual treatment of the workpieces following the heating process normally no false discharges should occur. It has now been found that during the actual treatment following the heating up anyway Arcs that occur preferably at the same point occur, d. This means that this is not a statistically distributed but a local arc so that In the long run, local overheating of the workpiece occurs at the point where the Arc ignited This can destroy the workpiece. Have such local arcs their cause, for example, in not removed oil, which z. B. is in holes in the workpiece or in voids or the like. A switching device responding to faulty discharges can be triggered if it occurs Such (occlusal erroneous discharges do not protect the workpieces in the long term, since the erroneous discharges do not occur statistically distributed everywhere on the surface of the workpieces as in the heating process. To the Establishing such local incorrect discharges has hitherto been necessary for an operator to conduct the glow discharge observed and possibly interrupts the glow discharge process.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die es ermöglichen, Werkstücke bei der metallurgischen Behandlung gegen Beschädigungen durch lokale Fehlentladungen zu schützsn und dieThe object of the present invention is therefore to provide a method and a device of the type mentioned at the beginning Kind of creating that make it possible to protect workpieces in the metallurgical treatment against damage to protect by local false discharges and the

so Glimmentladungsbehandlung ohne Beaufsichtigung durch Bedienungspersonal durchführen zu können.so to be able to carry out glow discharge treatment without supervision by operating personnel.

Diese Aufgilbe wird dadurch gelöst daß erfindungsgemäß von jeder Fehlentladung in einer Pulsformerstufe ein jeweils, gleiches zeit- und amplitudenmäßig definiertes Signal erzeugt wird und die nach Beendigung des Aufheizprozesses auftretende Anzahl von Signalen während eines vorgebbaren Zeitintervalls aufsummiert und bei Überschreiten einer ebenfalls vorgebbaren Anzahl der Betriebsstrom unterbrochen und/oder eine Störmeldung abgegeben wird.This object is achieved in that, according to the invention, every faulty discharge occurs in a pulse shaper stage a signal that is defined in terms of time and amplitude is generated and that after termination The number of signals occurring during the heating process is added up during a predeterminable time interval and when a likewise predeterminable number is exceeded, the operating current is interrupted and / or a Fault message is issued.

Die bei der eigentlichen Behandlung der Werkstücke auftretenden Fshlentladungen werden somit erfaßt und der Glimmentladungsprozeß gegebenenfalls abgebrochen, wenn bei einer größeren Anzahl von auftreteidenThe sensory discharges occurring during the actual treatment of the workpieces are thus detected and the glow discharge process may be interrupted if a larger number of occur

h5 Fehleiitladungen in einem vorgegebenen Zeitintervall (?.. B. 200 Fehlsntladungen/min), die jeweils mit Hilfe einer darauf ansprechenden Schaltungsanordnung geloscht wc; (.Ich, die Gefahr besteht, daß es sich um lokaleh5 faulty discharges in a predetermined time interval (? .. B. 200 faulty discharges / min), each of which is deleted with the aid of a circuit arrangement that responds to it wc; (. I, there is a risk that it is local

Fehlentladungen handelt, die zur lokalen Überhitzung und dadurch zur Zerstörung des entsprechenden Werkstücks führen können, wobei während der eigentlichen Behandlung der Werkstücke kein Bedie nungspersonal erforderlich ist, das den GlinmentladungsprozeB beobachtet Faulty discharges are involved, which can lead to local overheating and thus to the destruction of the corresponding workpiece, with no operator being required to observe the glazing process during the actual treatment of the workpieces

Damit das erfindungsgemäße Verfahren nicht gesondert am Ende des Aufheizprozesses in Gang gesetzt werden muß, kann das Aufsummieren der Fehlentladun gen bereits während des Aufheizprozesses vorgenommen werden, wobei die vorgegebene Anzahl an auftretenden Fehlentladungen, bei deren Überschreiten der Glimmentladungsprozeß abgebrochen und/oder eine Störmeldung abgegeben wird, beim Aufheizprozeß derart groß gewählt wird, daß kein Abschalten eintreten kann, wobei sie als Funktion des ablaufenden Prozesses etwa entsprechend dem Verlauf der Temperatur oder der Zeit gesenkt wird. Durch letzteres kann zugleich erreicht werden, daß bei einem besonders starken Auftreten von Fehlentladungen auch während des Aufheizprozesses ein Abbrechen des Glimmentladungsprozesses vorgenommen wird. Hierdurch wird auch noch ein zusätzlicher Schutz der Werkstücke während des Aufheizprozesses gewährleistet, was vor allem für einen automatischen Betrieb der Glimmentladungsbehandlung wichtig ist So that the method according to the invention does not have to be started separately at the end of the heating process, the totaling of the Fehlentladun conditions can already be made during the heating process , the specified number of incorrect discharges occurring, when exceeded, the glow discharge process is aborted and / or a fault message is issued is chosen so large during the heating process that no shutdown can occur, whereby it is lowered as a function of the process taking place, for example in accordance with the course of the temperature or the time. By the latter can be simultaneously achieved in that the glow discharge is made in a particularly strong occurrence of fault discharges during the heating process, a cancel. This also ensures additional protection of the workpieces during the heating process, which is especially important for automatic operation of the glow discharge treatment

Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens kann entweder analog oder digital arbeiten. Eine an alog arbeitende Vorrichtung ist daher durch ein ÄGGIied mit einem nachgeschalteten Komparator gekennzeichnet, dessen zweiter Eingang an einer Vergleichsspannung liegt und der Ausgang des !Comparators mit einem Schaltglied verbunden ist Die Vergleichsspannung kann dabei über Potentiometer einstellbar sein. A device for performing the method can operate either analog or digital. A device that works on analog is therefore characterized by a component with a downstream comparator, the second input of which is connected to a comparison voltage and the output of the comparator is connected to a switching element . The comparison voltage can be set using a potentiometer .

Eine digital arbeitende Vorrichtung kann durch einen is Zähler mit einem einstellbare einstellbaren Schwellwert zum Zählen der Signale gekennzeichnet sein, der mit einer Löscheinrichtung gekoppelt ist, die den Inhalt des Zählers periodisch nach einer einstellbaren Zeit At löscht und dessen Ausgang mit einem Schaltglied verbunden ist A digitally operating device may through a is counter with a variable adjustable threshold value be characterized for counting the signals, which is coupled to a quenching device which periodically after a set time clears the contents of the counter At and its output connected to a switching member is

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert The invention is explained in more detail below with reference to the drawings

F i g. 1 zeigt ein Schaltbild einer analog arbeitenden Vorrichtung zur Überwachung von stromstarken Glimmentladungen;F i g. 1 shows a circuit diagram of an analog device for monitoring high-current glow discharges;

F i g. 2 zeigt ein Diagramm zur Erläuterung der Wirkungsweise der Vorrichtung von Fig. 1, wobei auf der Abzisse die Z-sit t und auf der Ordinate die Spannung (^aufgetragen ist;F i g. 2 shows a diagram to explain the mode of operation of the device of FIG. 1, the Z-sit t being plotted on the abscissa and the voltage (^ being plotted on the ordinate;

Fig. 3 zeigt ein Schaltbild einer gegenüber Fig. 1 modifizierten Vorrichtung;FIG. 3 shows a circuit diagram of a device modified with respect to FIG. 1; FIG.

Fig.4 zeigt ein Diagramm zur Erläuterung der Wirkungsweise der Vorrichtung der F i g. 3, wobei auf der Abzisse die Zeit t und auf der Ordinate die Spannung Uaufgetragen ist;FIG. 4 shows a diagram to explain the mode of operation of the device of FIG. 3, the time t being plotted on the abscissa and the voltage U being plotted on the ordinate;

Fig.5 zeigt ein Schaltbild einer digital arbeitenden Vorrichtung zur Überwachung von stromstarken Glimmentladungen.Fig.5 shows a circuit diagram of a digitally operating Device for monitoring high-current glow discharges.

Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung besitzt einen Eingang 1, an dem Impulse entsprechend der Anzahl auftretender Fehlentladungen z. B. von einem Schnellschalter erscheinen. Dem Eingang 1 folgt eine RGGIied 2, 3 nach, dessen Kondensator 3 geerdet ist. Das WGCjlied ist mit einem Eingang eines Komparator 4 b5 verbunden, dessen anderer Eingang an ein Potentiometer 5 angeschlossen ist. Durch das Potentiometer 5 wird eine Vergleichsspannung U_vgi ge'iefert, die /ur Einstellung der Ansprechempfindlichkeit der Vorrichtung veränderbar ist Wird die Vergleichsspannung U_vgi von der Spannung am Kondensator 3 überschritten, so liefen: der Komparator 4 ein Ausgangssignal an seinem Ausgitng A, das zum Abbrechen des Glimmentladungsprozesses führt da der Ausgang A des Komparators mit einem nicht dargestellten Abschaltglied, beispielsweise einen·; Relais verbunden istThe device shown in Fig. 1 has an input 1, at which pulses corresponding to the number of incorrect discharges occurring z. B. appear from a quick switch. The input 1 is followed by a RGIied 2, 3, the capacitor 3 of which is grounded. The WGCjlied is connected to one input of a comparator 4 b5, the other input of which is connected to a potentiometer 5. By the potentiometer 5 is a comparison voltage U is _vg ge'iefert i, the / for adjustment of the sensitivity of the device is variable If the comparison voltage U _vg i of the voltage across capacitor 3 is exceeded, then ran: the comparator 4 an output signal at its Ausgitng A , which leads to the abortion of the glow discharge process because the output A of the comparator is connected to a disconnection element (not shown), for example a ·; Relay is connected

Wii; sich aus F i g. 2 ergibt, steigt bei Eintreffen eines Impulses 7, der vom Schnellschalter herrührt, und am Eingang 1 erscheint und dessen Spannung höher als die Vergiieichsspannung U_vgi ist, die durch eine Gerade 8 angedeutet ist die Spannung am Kondensator 3 entsprechend dem ansteigenden Kurvenstück 9. Anschließend entlädt sich der Kondensator 3 über den Widerstand 2 entsprechend dem Kurvenstück 10. Folgen sehr viele Impulse 7 hintereinander, so findet ein ständiges Ansteigen der Spannung am Kondensator 3 statt, wie in der rechten Hälfte von F i g. 2 angedeutet ist Übersteigt die Spannung am Kondensator 3 die Vergleichsspannung U_ygi, so liefert der Komparator 4 das Abschaltsignal. Die Zeitkonstante des ÄC-Gliedes muß relativ groß gewählt werden, damit die Vorrichtung genügend träge ist und die Vergleichsspannung Uvgi in der gewünschten Zeitspanne erreicht werden kann. Allerdings arbeitet eine derartige Vorrichtung nicht mit festen aufeinanderfolgenden Zeitintervallen, sondern das Zeitintervall wird jeweils entsprechend verschoben, da sich der Kondensator 3 zwischen den Impu Isen 7 immmer wieder entladen kann.Wii; from FIG. 2, when a pulse 7 arrives from the high-speed switch and appears at input 1 and whose voltage is higher than the comparative voltage U _vg i , which is indicated by a straight line 8, the voltage on capacitor 3 increases corresponding to the rising curve segment 9. The capacitor 3 then discharges via the resistor 2 in accordance with the curve section 10. If a large number of pulses 7 follow one another, the voltage on the capacitor 3 increases continuously, as in the right half of FIG. 2 is indicated. If the voltage on the capacitor 3 _exceeds the comparison voltage U yg i, the comparator 4 supplies the switch-off signal. The time constant of the ÄC element must be selected to be relatively large so that the device is sufficiently slow and the comparison voltage Uvgi can be reached in the desired period of time. However, such a device does not work with fixed successive time intervals, but the time interval is shifted accordingly, since the capacitor 3 can always discharge again between the pulses 7.

Gemäß F i g. 3 wird eine Vorrichtung zur Überwachung von stromstarken Glimmentladungen verwendet, bei der die Anzahl an auftretenden Glimmentladungen, bei d'ixen Überschreiten der Glimmentladungsprozeß abgebrochen werden soll, entsprechend der Temperatur geändert wird, indem im Rezipienten beispielsweise an der Oberfläche der zu behandelnden Werkstücke eine Temperaturmessung vorgenommen wird, wobei die sich aufgrund dieser Temperaturmessung ergebende Spannung i'Jft von einer vorgegebenen positiven Vergleichsspannung U°ygi, die über Widerstände 5', 5" an den zweiten Eingang des Komparators 4 gelegt sind, abgezogen wird, wobei die sich hieraus ergebende Differenzspannung die auf den Komparator 4 gegebene Vergkichsspannung U_ygi darstellt. Da zu Anfang die Temperatur im Rezipienten klein ist, kommt praktisch nur U⁰YgI zum Tragen. Mit steigender Temperatur sinkt die Sollkurve 11 (Fig.4) für die jeweils gültige Vergkichsspannung ab und mündet bei Erreichen der Solltemperatur asymptotisch in eine Gerade 8 entsprechend der Vergleichsspannung U_vgi von F i g. 2, Der parallel zur Zeitachse verlaufende Teil der Sollkurve 11 entspricht dem stationären Betrieb der Glimmentladung während der metallurgischen Behandlung der Werkstück«, bei der normalerweise keinerlei Fehlentladungen antreten sollten. Während des Aufheizens treten jedoch häufig statistisch verteilte Lichtbogen auf, die zu einem Aufladen des Kondensators 3 führen. Die Spannung am Kondensator 3 ist beispielhaft durch die Kurve 12 veranschaulicht, die unterhalb der Sollkurve 11 liegt. Sollten jedoch unverhältnismäßig viele Fehlentladungen schon während des Aufheizprozesses im Rezipienten auftreten, wie es im Zeitintervall tu h von Fig. 4 dargestellt ist, so kann bereits während des Aufhe;;:prozesses ein Überschreiten der durch die Sollkurve 11 gegebenen Vergleichsspannung durch die Spannung am Kondensator 3 erfolgen, wodurch ebenfalls ein Abbrechen des Glimmentladungsprozes-According to FIG. 3, a device is used to monitor high-current glow discharges, in which the number of glow discharges that occur, if the glow discharge process is exceeded, is changed according to the temperature by taking a temperature measurement in the recipient, for example on the surface of the workpieces to be treated The voltage i'Jft resulting from this temperature measurement is subtracted from a predetermined positive comparison voltage U ° ygi which is applied to the second input of the comparator 4 via resistors 5 ', 5 ", the resulting differential voltage being the The comparison voltage U _yg i given to the comparator 4. Since the temperature in the recipient is small at the beginning, practically only U ⁰ YgI comes into play when the target temperature is reached, asymptotically into a Gera de 8 corresponding to the comparison voltage U _vg i from F i g. 2, The part of the nominal curve 11 running parallel to the time axis corresponds to the steady-state operation of the glow discharge during the metallurgical treatment of the workpiece, during which normally no faulty discharges should occur. During the heating, however, statistically distributed arcs often occur, which lead to the capacitor 3 being charged. The voltage across the capacitor 3 is exemplified by the curve 12, which lies below the target curve 11. However, should a disproportionate number of false discharges occur in the recipient during the heating process, as shown in the time interval tu h in FIG 3 take place, which also aborts the glow discharge process

ses oder eine Störmeldung bereits während des Aufheizprozesses vorgenommmen wird, so daß die Werkstücke auch beim Aufheizprozeß vor allem beim vollautomatischen Betrieb der Glimmentladung zusätzlich geschützt sind.ses or a fault message is already made during the heating process, so that the Workpieces also during the heating process, especially in the fully automatic operation of the glow discharge are protected.

Außerdem ist es möglich, daß vorgesehen wird, daß der Widerstand 2 oder der Kondensator 3 oder beide prozeßgemäß geändert werden.It is also possible that it is provided that the resistor 2 or the capacitor 3 or both be changed in accordance with the process.

Eine digital arbeitende Vorrichtung ist in Fig. 5 dargestellt, bei der der Eingang 1 für die vom Schnellschalter kommenden Impulse mit einem Zähler 20 verbunden ist, der zum Zählen von durch die Fehlentladungen ausgelösten Impulsen dient. Der Zähler 20 ist mit einer Löscheinrichtung 21 gekoppelt, die den Inhalt des Zählers periodisch jeweils nach einer Zeit Δ'. löscht, während der Ausgang des Zählers mit einem nicht dargestellten Abschaltglied, beispielsweise einem Relais, verbunden ist, das bei Überschreiten der vorgegebenen Anzahl von Fehlentladungen in den vorgegebenen Zeitintervall den Glimmentladungsprozeß abbricht. Um diese digital arbeitende Vorrichtung entsprechend der Vorrichtung von F i g. 3 auch während des Aufheizprozesses verwenden zu können, können di entsprechenden Ausgänge des Zählers für die Zahlen 2A digitally operating device is shown in FIG. 5, in which the input 1 for the pulses coming from the high-speed switch is connected to a counter 20 which is used to count the pulses triggered by the incorrect discharges. The counter 20 is coupled to a deletion device 21, which periodically reads the content of the counter after a time Δ '. clears, while the output of the counter is connected to a disconnection element (not shown), for example a relay, which interrupts the glow discharge process when the predetermined number of false discharges is exceeded in the predetermined time interval. In order to use this digitally operating device according to the device of FIG. 3 can also be used during the heating process, the corresponding outputs of the counter for the numbers 2

2' 2" mit ersten Eingängen einer entsprechenden2 ' 2 " with first inputs of a corresponding

Anzahl von Und-Gattern 22 verbunden werden, deren zweite Eingänge beispielsweise entsprechend de Temperatur der Werkstücke im Rezipienten oder demNumber of AND gates 22 are connected, the second inputs for example corresponding to de Temperature of the workpieces in the recipient or the

ίο Zeitverlauf des Glimmentladungsprozesses angesteuert werden, so daß sich eine Sollkurve entsprechend de Kurve 11 von Fig. 4 für die Anzahl der Fehlentladun gen ergibt, bei deren Überschreiten der Glimmentla dungsprozeß abgebrochen wird. Die Ausgänge de Und-Gatter 22 sind über Dioden 23 mit dem mit dem Abschaltglied verbundenen Ausgang A verbunden. Dii Dioden 23 verhindern dabei, daß sich die UND-Gatte gegenseitig beeinflussen.ίο the time course of the glow discharge process can be controlled, so that a target curve corresponding to de curve 11 of FIG. 4 results for the number of incorrect discharges, when exceeded, the glow discharge process is aborted. The outputs of the AND gate 22 are connected via diodes 23 to the output A connected to the switch-off element. Dii diodes 23 prevent the AND gates from influencing each other.

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

Claims

Patent claims:

1. Method for monitoring high-current glow discharges in a recipient for treatment of workpieces in which the workpieces first undergo a heating process and then the proper treatment and false discharges using a summing Circuit arrangement can be deleted by briefly interrupting the operating current, characterized in that one of each faulty discharge in a pulse shaper stage the same time and amplitude defined signal is generated and after the termination of the The number of signals occurring during the heating process is added up during a predeterminable time interval and interrupted when a likewise predeterminable number of Betriebsstroi.i is exceeded and / or a fault message is issued.

2 The method according to claim 1, characterized in that the predeterminable number of signals is chosen so large during the heating process that no interruption of the operating current and / or there is no fault message, and to a constant value during the heating process is lowered.

3. The method according to claim 2, characterized in that the predeterminable number of signals in Depending on the temperature of the workpieces is lowered.

4. Device for monitoring high-current glow discharges in a recipient for treating workpieces for performing the method according to one of claims 1 to 3, characterized by an RC-G \\ ed (2,3) with a downstream comparator (4), whose the second input is on a comparison voltage (U _vg ) and the output (A) of the comparator (4) is connected to a switching element.

5. Apparatus according to claim 4, characterized in that the comparison voltage (U _yg ) is adjustable via a potentiometer (5).

6. Device for monitoring current levels of glow discharges in a recipient for treating workpieces for performing the method according to one of claims 1 to 3, characterized by a counter (20) with an adjustable threshold value for counting the signals, which is provided with an erasing device (21) is coupled, which deletes the content of the counter (20) periodically after an adjustable time (Δ rj and whose output (A) is connected to a switching element.